特開 2024-17625 部品選別装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024017625

(43)【公開日】2024-02-08

(54)【発明の名称】部品選別装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/956 20060101AFI20240201BHJP

【ＦＩ】

G01N21/956 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022120387

(22)【出願日】2022-07-28

(71)【出願人】

【識別番号】000006231

【氏名又は名称】株式会社村田製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100145713

【弁理士】

【氏名又は名称】加藤 竜太

(74)【代理人】

【識別番号】100165157

【弁理士】

【氏名又は名称】芝 哲央

(72)【発明者】

【氏名】渡辺 大地

(72)【発明者】

【氏名】小久貫 太一

(72)【発明者】

【氏名】山本 良巳

(72)【発明者】

【氏名】香川 啓太

【テーマコード（参考）】

2G051

【Ｆターム（参考）】

2G051AA61

2G051AB02

2G051CA04

2G051CB01

2G051DA08

2G051DA13

2G051EA16

2G051EB01

(57)【要約】

【課題】部品選別の精度を向上する部品選別装置を提供する。
【解決手段】部品選別装置１は、部品を搬送しながら検査し、良品を選別する部品選別装置であって、部品を回転搬送するターンテーブル３０と、ターンテーブル３０上の部品における複数の外面をそれぞれ撮像する複数の撮像デバイス４０と、複数の撮像デバイス４０からの撮像結果に基づいて部品の外観検査を行い、外観検査の結果に基づいて良品を選別する検査選別コントローラ７０と、検査選別コントローラ７０によって選別された良品を、ターンテーブル３０から排出する排出機構５０と、ターンテーブル３０上に配置され、ターンテーブル３０上において回転搬送される部品を覆うカバーとを備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

部品を搬送しながら検査し、良品を選別する部品選別装置であって、
前記部品を回転搬送するターンテーブルと、
前記ターンテーブル上の前記部品における複数の外面をそれぞれ撮像する複数の撮像デバイスと、
前記複数の撮像デバイスからの撮像結果に基づいて前記部品の外観検査を行い、前記外観検査の結果に基づいて前記良品を選別する検査選別コントローラと、
前記検査選別コントローラによって選別された前記良品を、前記ターンテーブルから排出する排出機構と、
前記ターンテーブル上に配置され、前記ターンテーブル上において回転搬送される前記部品を覆うカバーと、
を備える、部品選別装置。

【請求項2】

前記カバーは光透過性を有する、請求項１に記載の部品選別装置。

【請求項3】

前記カバーと前記ターンテーブルとは離間しており、
前記カバーと前記ターンテーブルとの離間距離は、前記部品の長さ、幅および厚さのうちの最も小さい寸法よりも小さい、
請求項１に記載の部品選別装置。

【請求項4】

前記カバーは、前記ターンテーブル上の前記部品の回転搬送経路を覆うように配置されており、
前記複数の撮像デバイスの各々は、前記カバーを介して前記部品を撮像する、
請求項１～３のいずれか１項に記載の部品選別装置。

【請求項5】

前記カバーは、前記ターンテーブル上の前記回転搬送経路に沿った円弧形状を有する、請求項４に記載の部品選別装置。

【請求項6】

前記カバーは、前記複数の撮像デバイスの各々の視線に対して垂直な面を有する、請求項４に記載の部品選別装置。

【請求項7】

前記ターンテーブル上の前記回転搬送経路に交差する前記カバーの断面形状は、円弧形状である、請求項６に記載の部品選別装置。

【請求項8】

前記カバーは、前記ターンテーブル上の前記回転搬送経路に沿う方向に傾斜する面を有する、請求項６に記載の部品選別装置。

【請求項9】

前記カバーにおける前記複数の撮像デバイスの各々の視線に対して垂直な面は、前記カバーにおける他の面よりも薄い、請求項６に記載の部品選別装置。

【請求項10】

前記カバーは、偏光性を有する、請求項１～３のいずれか１項に記載の部品選別装置。

【請求項11】

前記カバーは、有色である、請求項１～３のいずれか１項に記載の部品選別装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、部品選別装置に関する。

【背景技術】

【0002】

積層セラミックコンデンサ等の表面実装型の電子部品（チップ部品ともいう。）の良品および不良品を選別する装置がある。特許文献１には、このような部品選別装置として外観検査装置が開示されている。特許文献１に開示の外観検査装置は、電子部品を搬送するリニアフィーダと、リニアフィーダによって搬送された電子部品を回転搬送するターンテーブルと、ターンテーブル上の電子部品の６面を撮像する複数の撮像デバイスとを備え、電子部品を搬送しながら電子部品の６面の外観検査を行う。これにより、良品および不良品を選別して排出することができる。

【0003】

特許文献１に開示の外観検査装置は、リニアフィーダにおいて、振動により電子部品を搬送することによって、電子部品を帯電させ、ターンテーブルにおいて、静電気により電子部品を静電吸着して回転搬送する。ターンテーブルの搬送速度は、リニアフィーダの搬送速度よりも速い。これにより、ターンテーブルにおいて電子部品の間隔を空けることができ、電子部品の搬送方向の端面の外観検査が可能となる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１７－４４５７９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

このような部品選別装置では、製造ロットごとに異なる種類の電子部品の検査および選別を行うことがある。例えば、表面実装型の電子部品には、同一サイズであっても特性が異なる部品がある。より具体的には、積層セラミックコンデンサには、同一サイズであっても容量が異なる部品がある。

【0006】

また、このような部品検査装置では、ターンテーブル上の電子部品を撮像デバイスで撮像するため、一般にターンテーブル上は開放状態であり、ターンテーブル上に種類が異なる電子部品が混入してしまう可能性がある。このように同サイズ／異特性の電子部品が混入してしまうと、例え外観検査の精度が高くとも、選別の精度が低下してしまう。

【0007】

本発明は、部品選別の精度を向上する部品選別装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

（１） 本発明に係る部品選別装置は、部品を搬送しながら検査し、良品を選別する部品選別装置であって、前記部品を回転搬送するターンテーブルと、前記ターンテーブル上の前記部品における複数の外面をそれぞれ撮像する複数の撮像デバイスと、前記複数の撮像デバイスからの撮像結果に基づいて前記部品の外観検査を行い、前記外観検査の結果に基づいて前記良品を選別する検査選別コントローラと、前記検査選別コントローラによって選別された前記良品を、前記ターンテーブルから排出する排出機構と、前記ターンテーブル上に配置され、前記ターンテーブル上において回転搬送される前記部品を覆うカバーと、を備える。

【0009】

（２） （１）に記載の部品選別装置において、前記カバーは光透過性を有していてもよい。

【0010】

（３） （１）または（２）に記載の部品選別装置において、前記カバーと前記ターンテーブルとは離間していてもよく、前記カバーと前記ターンテーブルとの離間距離は、前記部品の長さ、幅および厚さのうちの最も小さい寸法よりも小さくてもよい。

【0011】

（４） （１）から（３）のいずれか１つに記載の部品選別装置において、前記カバーは、前記ターンテーブル上の前記部品の回転搬送経路を覆うように配置されていてもよく、前記複数の撮像デバイスの各々は、前記カバーを介して前記部品を撮像してもよい。

【0012】

（５） （４）に記載の部品選別装置において、前記カバーは、前記ターンテーブル上の前記回転搬送経路に沿った円弧形状を有していてもよい。

【0013】

（６） （４）または（５）に記載の部品選別装置において、前記カバーは、前記複数の撮像デバイスの各々の視線に対して垂直な面を有していてもよい。

【0014】

（７） （６）に記載の部品選別装置において、前記ターンテーブル上の前記回転搬送経路に交差する前記カバーの断面形状は、円弧形状であってもよい。

【0015】

（８） （６）に記載の部品選別装置において、前記カバーは、前記ターンテーブル上の前記回転搬送経路に沿う方向に傾斜する面を有していてもよい。

【0016】

（９） （６）から（８）のいずれか１つに記載の部品選別装置において、前記カバーにおける前記複数の撮像デバイスの各々の視線に対して垂直な面は、前記カバーにおける他の面よりも薄くてもよい。

【0017】

（１０） （１）から（９）のいずれか１つに記載の部品選別装置において、前記カバーは、偏光性を有していてもよい。

【0018】

（１１） （１）から（９）のいずれか１つに記載の部品選別装置において、前記カバーは、有色であってもよい。

【発明の効果】

【0019】

本発明によれば、部品選別装置における部品選別の精度を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本実施形態に係る部品選別装置の一例を上方からみた概略平面図である。

【図2】図１に示す部品選別装置におけるII部分を拡大した概略平面図である。

【図3】図１に示す部品選別装置を側方からみた概略側面図であって、II部分を拡大した概略側面図である。

【図4A】図１に示す部品選別装置のIV-IV線断面図である。

【図4B】変形例に係る部品選別装置の断面図であって、図１に示す部品選別装置のIV-IV線相当の断面図である。

【図4C】変形例に係る部品選別装置の断面図であって、図１に示す部品選別装置のIV-IV線相当の断面図である。

【図5】図１に示す部品選別装置のV-V線断面図である。

【図6】図１に示す部品選別装置のVI-VI線断面図である。

【図7】本実施形態の変形例に係る部品選別装置の一例を上方からみた概略平面図である。

【図8】部品の外観の概略斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、添付の図面を参照して本発明の実施形態の一例について説明する。なお、各図面において同一または相当の部分に対しては同一の符号を附すこととする。

【0022】

図１は、本実施形態に係る部品選別装置の一例を上方からみた概略平面図であり、図２は、図１に示す部品選別装置におけるII部分を拡大した概略平面図であり、図３は、図１に示す部品選別装置を側方からみた概略側面図であって、II部分を拡大した概略側面図である。なお、図１～図３には、ＸＹ直交座標系が示されている。

【0023】

図１～図３に示す部品選別装置１は、複数の電子部品３を順次に搬送しながら検査し、良品を選別する装置である。部品選別装置１は、ボールフィーダ１０と、リニアフィーダ２０と、ターンテーブル３０と、カバー３６と、複数の撮像デバイス４０と、排出機構５０と、検査選別コントローラ７０とを備える。

【0024】

電子部品３は、積層セラミックコンデンサ等の表面実装型の電子部品（チップ部品ともいう。）である。電子部品３は、例えば図８に示すように、セラミック材料からなる複数の誘電体層と１または複数の導体層とが積層された積層体３ａと、積層体３aの２つの端面の各々に配置された２つの外部電極３ｂとを備える。積層体３ａ、すなわち電子部品３は、直方体形状であり、積層方向に相対する２つの主面ＴＳ１およびＴＳ２と、積層方向に交差する幅方向に相対する２つの側面ＷＳ１およびＷＳ２と、積層方向および幅方向に交差する長さ方向に相対する２つの端面ＬＳ１およびＬＳ２とを有する。

【0025】

電子部品３の寸法は特に限定されないが、例えば、長さ方向の寸法が３．２ｍｍ以上０．１ｍｍ以下であり、幅方向の寸法が１．６ｍｍ以上０．０５ｍｍ以下であり、積層方向の寸法が１．６ｍｍ以上０．０５ｍｍ以下であってもよい。なお、これらの寸法は、交差により変動し得る。

【0026】

電子部品３は、上述した誘電体セラミックを用いた積層セラミックコンデンサに限定されず、圧電体セラミックを用いた圧電部品、半導体セラミックを用いたサーミスタ、磁性体セラミックを用いたインダクタ等の種々の電子部品であってもよい。

【0027】

図１～図３に示すように、ボールフィーダ１０は、例えばホッパーによって供給された複数の電子部品３を整列させて搬送する。ホッパーは、ボールフィーダ１０内の電子部品３の数の不足を検知して、ボールフィーダ１０に電子部品３を自動的に補充し、ボールフィーダ１０内の電子部品３の数を一定量に保つ装置である。

【0028】

ボールフィーダ１０には、ボールフィーダ１０に振動を供給する振動機構１２が設けられている。振動機構１２としては、例えば電圧に応じた周波数の振動を発生する圧電素子が挙げられる。ボールフィーダ１０の外形形状は円形状である。ボールフィーダ１０は、振動により、円形状の中央部から外側へ向けて、電子部品３を円運動させながら、スパイラル状に整列させて搬送する。

【0029】

リニアフィーダ２０は、ボールフィーダ１０によって整列搬送された複数の電子部品３を順次に直線的に搬送する。リニアフィーダ２０には、リニアフィーダ２０に振動を供給する振動機構２２が設けられている。振動機構２２としては、例えば電圧に応じた周波数の振動を発生する圧電素子が挙げられる。リニアフィーダ２０は水平面に対して傾斜していると好ましい。リニアフィーダ２０は、振動により、電子部品３を搬送する。

【0030】

リニアフィーダ２０は、ＳＵＳ等の材料からなると好ましい。これにより、リニアフィーダ２０において、振動によって電子部品３を搬送する際に、電子部品３を帯電させることができる。

【0031】

ターンテーブル３０は、リニアフィーダ２０によって搬送された複数の電子部品３を順次に回転搬送する。図１および図２に示すように、ターンテーブル３０は、上流側にガイド機構３２を有し、ガイド機構３２によって、リニアフィーダ２０からの電子部品３を、回転搬送経路（回転搬送軌跡）３１に導く。ターンテーブル３０は、回転搬送経路３１に沿って電子部品３を搬送する。

【0032】

図３に示すように、ターンテーブル３０の下側には、静電吸着機構３４が設けられていると好ましい。これにより、リニアフィーダ２０において帯電した電子部品３を静電吸着して搬送することができる。

【0033】

ターンテーブル３０の搬送速度は、リニアフィーダ２０の搬送速度よりも速い。これにより、図２および図３に示すように、電子部品３の間隔を空けることができ、電子部品３の端面側の外観検査が可能となる。

【0034】

ターンテーブル３０は、ガラスまたは樹脂等の材料からなり、透明性を有する。これにより、電子部品３の裏面側の外観検査が可能となる。

【0035】

図１に示すように、ターンテーブル３０上には、電子部品３を覆うためのカバー３６が配置されている。カバー３６の詳細は後述する。

【0036】

図１に示すように、撮像デバイス４０は、例えばカメラまたはイメージセンサである。なお、図示しないがカメラ近傍に光源を備えている。ターンテーブル３０の回転搬送経路３１に沿って、６個の撮像デバイス４０が設けられている。６個の撮像デバイス４０は、ターンテーブル３０上の電子部品３の６個の外面、すなわち２つの主面ＴＳ１およびＴＳ２、２つの側面ＷＳ１およびＷＳ２、および２つの端面ＬＳ１およびＬＳ２、をそれぞれ撮像する。撮像デバイス４０の各々には、電子部品３の撮像面を照らす、リング照明またはドーム照明等の照明デバイスが設けられてもよい。

【0037】

図１に示すように、排出機構５０は、後述する検査選別コントローラ７０によって外観検査の結果に基づいて選別された良品を、ターンテーブル３０から排出してケース等に収容する。排出機構５０による良品の排出方法は、特に限定されないが、エアー吹付、エアー吸引、物理的接触押出、等が挙げられる。例えば、排出機構５０は、良品が搬送されてきた場合、検査選別コントローラ７０からの指令に従って、ターンテーブル３０上の良品にエアーを吹き付けることにより、良品をターンテーブル３０から排出してケース等に収容する。

【0038】

検査選別コントローラ７０は、部品選別装置１全体を制御する。具体的には、検査選別コントローラ７０は、撮像デバイス４０からの撮像結果に基づいて、ターンテーブル３０上の電子部品３の外観検査を行い、外観検査の結果に基づいて良品および不良品を選別する。

【0039】

また、検査選別コントローラ７０は、排出機構５０による良品の排出を制御する。例えば、検査選別コントローラ７０は、ターンテーブル３０の搬送速度（或いは、回転速度、および、回転搬送経路長さまたは半径）、ターンテーブル３０における撮像デバイス４０の位置等の情報から、良品を排出機構５０から排出するタイミングを算出して、排出機構５０に指令する。

【0040】

検査選別コントローラ７０は、例えば、ＰＬＣ（Programmable Logic Controller）、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）、ＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）等の演算プロセッサで構成される。検査選別コントローラ７０の各種機能は、例えば記憶部に格納された所定のソフトウェア（プログラム）を実行することで実現される。検査選別コントローラ７０の各種機能は、ハードウェアとソフトウェアとの協働で実現されてもよいし、ハードウェア（電子回路）のみで実現されてもよい。

【0041】

検査選別コントローラ７０における記憶部は、例えばＥＥＰＲＯＭ等の書き換え可能なメモリである。記憶部は、選別コントローラの各種機能を実行するための所定のソフトウェア（プログラム）を格納する。また、記憶部は、例えば外部から入力された各種設定値を格納する。各種設定値は、リニアフィーダ２０の搬送速度、ターンテーブル３０の搬送速度（或いは、回転速度、および、回転搬送経路長さまたは半径）、撮像デバイス４０の位置、および排出機構５０の位置に関する情報、および良品／不良品の判定基準、等を含む。

【0042】

以下では、カバー３６について詳細に説明する。図１に示すように、カバー３６は、ターンテーブル３０上に配置されており、ターンテーブル３０上において回転搬送される電子部品３を覆う。より具体的には、カバー３６は、ターンテーブル３０上の電子部品３の回転搬送経路３１を覆うように配置されている。カバー３６は、ターンテーブル３０上の回転搬送経路３１に沿った円弧形状を有する。

【0043】

図４Ａは、図１に示す部品選別装置のIV-IV線断面図であり、図５は、図１に示す部品選別装置のV-V線断面図である。図４Ａおよび図５に示すように、ターンテーブル３０上の回転搬送経路３１に交差するカバー３６の断面形状は、円弧形状である。これにより、図４Ａに示すように、カバー３６は、例えば電子部品３の主面を撮像する撮像デバイス４０の視線に対して垂直な面を有することができる。また、図５に示すように、カバー３６は、例えば電子部品３の側面を撮像する撮像デバイス４０の視線に対して垂直な面を有することができる。このように、カバー３６の面が撮像デバイス４０の視線に対して垂直であると、カバー３６による屈折を低減でき、電子部品３の主面および側面を正確に撮像することができる。なお、円弧形状に限られず、撮像デバイス４０の視線に対して垂直な面を持つ形状を含むものとする。また、カバーの一部をレンズ状にして拡大機能を持たせてもよい。

【0044】

図４Ａおよび図５において、カバー３６における撮像デバイス４０の視線に対して垂直な面は、カバー３６における他の面よりも薄くてもよい。これによれば、カバー３６による屈折をより低減でき、電子部品３の主面および側面をより正確に撮像することができる。

【0045】

図６は、図１に示す部品選別装置のVI-VI線断面図である。図６に示すように、カバー３６は、ターンテーブル３０上の回転搬送経路３１に沿う方向に傾斜する面を有する。これにより、カバー３６は、例えば電子部品３の端面を撮像する撮像デバイス４０の視線に対して垂直な面を有することができる。このように、カバー３６の面が撮像デバイス４０の視線に対して垂直であると、カバー３６による屈折を低減でき、電子部品３の端面を正確に撮像することができる。

【0046】

図６において、カバー３６における撮像デバイス４０の視線に対して垂直な面は、カバー３６における他の面よりも薄くてもよい。これによれば、カバー３６による屈折をより低減でき、電子部品３の端面をより正確に撮像することができる。

【0047】

また、図４Ａおよび図５に示すように、カバー３６とターンテーブル３０とは離間している。例えば、図１および図４Ａに示すように、カバー３６は、固定部材（図示省略）に固定された支持柱等を含むカバー支持部材４７であって、等間隔に並んだ複数のカバー支持部材４７によって、吊るされて支持されていてもよい。或いは、図４Ｂに示すように、カバー３６は、撮像デバイス４０の各々に固定された支持柱等を含む複数のカバー支持部材４７によって、吊るされて支持されていてもよい。或いは、図４Ｃに示すように、カバー３６は、カバー３６とターンテーブル３０との間に設けられた車輪等を含むカバー支持部材４７であって、等間隔に並んだ複数のカバー支持部材４７によって、支持されていてもよい。これにより、ターンテーブル３０は、カバー３６と干渉することなく、回転することができる。カバー３６とターンテーブル３０との離間距離は、電子部品３の長さ、幅および厚さのうちの最も小さい寸法よりも小さい。これにより、カバー３６内に、すなわちターンテーブル３０上の回転搬送経路３１に、種類が異なる電子部品が混入することを防止することができる。また、カバー３６の外に、すなわちターンテーブル３０上の回転搬送経路３１の外に、搬送中の電子部品３が外れることを防止することができる。

【0048】

カバー３６は、ガラスまたは樹脂等の材料からなり、光透過性（例えば、透明性）を有する。これにより、撮像デバイス４０は、カバー３６を介して電子部品３を撮像することができる。

【0049】

なお、カバー３６は、有色（例えば、長波長変調（赤色）または短波長変調（青色）させる色等）であってもよい。これにより、光を変調させ、透明光では検出できない部品の表面状態を検出することができる。或いは、カバー３６は、偏光性を有していてもよい。これにより、透明光では検出できない部品の表面状態を検出することができる。なお、光の変調はカバーに限られず、光源の光を変調させてもいい。

【0050】

以上説明したように、本実施形態の部品選別装置１によれば、電子部品３を回転搬送する透明なターンテーブル３０と、ターンテーブル３０上の電子部品３の６つの外面をそれぞれ撮像する６つの撮像デバイス４０と、撮像デバイス４０からの撮像結果に基づいて電子部品３の外観検査を行い、外観検査の結果に基づいて良品を選別する検査選別コントローラ７０と、検査選別コントローラ７０によって選別された良品を、ターンテーブル３０から排出する排出機構５０とを備える。これにより、複数の電子部品３を搬送しながら外観検査し、良品を選別することができる。

【0051】

ここで、このような部品選別装置では、製造ロットごとに異なる種類の電子部品の検査および選別を行うことがある。例えば、表面実装型の電子部品には、同一サイズであっても特性が異なる部品がある。より具体的には、積層セラミックコンデンサには、同一サイズであっても容量が異なる部品がある。

【0052】

また、従来の部品選別装置では、ターンテーブル上の電子部品を撮像デバイスで撮像するため、ターンテーブル上は開放状態であった。そのため、ターンテーブル上の回転搬送経路３１に、種類が異なる電子部品が混入してしまう可能性がある。このように同サイズ／異特性の電子部品が混入してしい、良品として排出されてしまうと、部品の混入が生じてしまう。

【0053】

この点に関し、本実施形態の部品選別装置１によれば、ターンテーブル３０上に、ターンテーブル３０上において回転搬送される電子部品３を覆うカバー３６が配置されている。これにより、カバー３６内に、すなわちターンテーブル上の回転搬送経路３１に、種類が異なる電子部品が混入することを防止することができる。そのため、部品選別の精度を向上することができる。

【0054】

また、ターンテーブル上が開放状態である従来の部品選別装置では、搬送中の電子部品が、回転搬送経路の外に外れてしまい、前回ロットの電子部品がターンテーブル上に残ってしまうことがある。このような場合に、今回ロットの電子部品の種類が前回ロットの電子部品の種類と異なると、今回ロットの電子部品に、種類が異なる前回ロットの電子部品が混入してしまう可能性がある。このように同サイズ／異特性の電子部品が混入してしまうと、例え外観検査の精度が高くとも、選別の精度が低下してしまう。

【0055】

この点に関し、本実施形態の部品選別装置によれば、カバー３６は、ターンテーブル３０上の電子部品３の回転搬送経路３１を覆うように配置されている。これにより、カバー３６の外に、すなわちターンテーブル３０上の回転搬送経路３１の外に、搬送中の電子部品３が外れることを防止することができる。そのため、部品選別の精度を向上することができる。

【0056】

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されることなく、種々の変更および変形が可能である。上述した実施形態では、ターンテーブル３０上の電子部品３の回転搬送経路３１に沿って連続する１つのカバー３６を備える部品選別装置１を例示した（図１）。しかし、本発明はこれに限定されず、例えば、部品選別装置１は、ターンテーブル３０上の電子部品３の回転搬送経路３１に沿って分割された複数のカバー３６を備える形態であってもよい（図７、なお図７では上述したカバー支持部材３７を省略）。この場合、隣り合うカバー３６の離間間隔は、電子部品３の長さ、幅および厚さのうちの最も小さい寸法よりも小さいことが好ましい。例えば、０．０２ｍｍ以下が好ましい。

【0057】

また、上述した実施形態では、ターンテーブル３０上の電子部品３の回転搬送経路３１を覆うように、ターンテーブル３０上の回転搬送経路３１に沿った円弧形状を有するカバー３６を備える部品選別装置１を例示した。しかし、本発明はこれに限定されず、例えば、部品選別装置１は、ターンテーブル３０の全体を覆うカバー３６を備える形態であってもよい。

【0058】

また、上述した実施形態では、カバー３６がターンテーブル３０と撮像デバイス４０との間に介在する部品選別装置１を例示した。しかし、本発明はこれに限定されず、例えば、部品選別装置１は、カバー３６が撮像デバイス４０をも覆う形態であってもよい。

【符号の説明】

【0059】

１ 部品選別装置
３ 電子部品
１０ ボールフィーダ
１２ 振動機構
２０ リニアフィーダ
２２ 振動機構
３０ ターンテーブル
３１ 回転搬送経路（回転搬送軌跡）
３２ ガイド機構
３４ 静電吸着機構
３６ カバー
３７ カバー支持部材
４０ 撮像デバイス
５０ 排出機構
７０ 検査選別コントローラ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4A】

【図4B】

【図4C】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】