特開 2024-176393 全自動のレーザー厚さ測定の多軸研磨洗浄装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024176393

(43)【公開日】2024-12-19

(54)【発明の名称】全自動のレーザー厚さ測定の多軸研磨洗浄装置

(51)【国際特許分類】

   B24B 7/12 20060101AFI20241212BHJP

   B24B 55/06 20060101ALI20241212BHJP

   B24B 49/12 20060101ALI20241212BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20241212BHJP

   B23Q 11/00 20060101ALI20241212BHJP

   B23Q 17/20 20060101ALI20241212BHJP

   B08B 3/02 20060101ALI20241212BHJP

   B08B 5/02 20060101ALI20241212BHJP

【ＦＩ】

B24B7/12

B24B55/06

B24B49/12

B24B41/06 A

B23Q11/00 L

B23Q17/20 A

B08B3/02 F

B08B5/02 Z

【審査請求】有

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023094891

(22)【出願日】2023-06-08

(71)【出願人】

【識別番号】523218843

【氏名又は名称】正嘉科技（広東）有限公司

(74)【代理人】

【識別番号】100088063

【弁理士】

【氏名又は名称】坪内 康治

(72)【発明者】

【氏名】譚義満

【テーマコード（参考）】

3B116

3B201

3C029

3C034

3C043

3C047

【Ｆターム（参考）】

3B116AA46

3B116AB51

3B116BB22

3B116BB62

3B201AA46

3B201AB51

3B201BB22

3B201BB62

3B201BB92

3C029BB06

3C029BB10

3C034AA13

3C034AA19

3C034BB83

3C034BB87

3C034BB93

3C034CA04

3C034CB01

3C034CB14

3C043BB13

3C043CC03

3C043CC11

3C043DD02

3C043DD05

3C043DD06

3C043DD12

3C043EE04

3C047FF09

3C047FF19

3C047HH15

(57)【要約】      （修正有）

【課題】本発明の目的は、全自動のレーザー厚さ測定の多軸研磨洗浄装置を提供し、現在の研磨対象パネルの厚さを測定することにより、第１研磨ローラと第２研磨ローラとの間の距離を調整し、研磨の正確性を向上させることである。
【解決手段】研磨洗浄装置は、フレームに設けられた厚さ測定機構、輸送機構、複数の研磨機構、及び研磨機構の数と一致する洗浄機構を含み、前記厚さ測定機構は、輸送機構の供給端に位置し、前記洗浄機構は、対応する研磨機構の上方に位置し、前記洗浄機構は、研磨機構に洗浄液をスプレーするために使用される。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

フレームを含む、全自動のレーザー厚さ測定の多軸研磨洗浄装置であって、フレームに設けられた厚さ測定機構、輸送機構、複数の研磨機構、及び研磨機構の数と一致する洗浄機構を更に含み、前記厚さ測定機構は、輸送機構の供給端に位置し、前記洗浄機構は、対応する研磨機構の上方に位置し、前記洗浄機構は、研磨機構に洗浄液をスプレーするために使用され、
前記研磨機構は、第１研磨ローラと、第１研磨ローラの下方に位置する第２研磨ローラと、フレームに設けられた第１研磨回転駆動機構、第２研磨回転駆動機構、第１研磨昇降駆動機構及び第２研磨昇降駆動機構とを含み、前記第１研磨昇降駆動機構及び第２研磨昇降駆動機構はそれぞれ厚さ測定機構に電気的に接続され、前記第１研磨ローラの両端及び第２研磨ローラの両端はそれぞれフレームに上下にスライド可能に接続され、前記第１研磨回転駆動機構は、第１研磨ローラが回転するように駆動するために使用され、前記第２研磨回転駆動機構は、第２研磨ローラが回転するように駆動するために使用され、前記第１研磨昇降駆動機構は、第１研磨ローラが上下に昇降して移動するように駆動するために使用され、第２研磨昇降駆動機構は、第２研磨ローラが上下に昇降して移動するように駆動するために使用されることを特徴とする、全自動のレーザー厚さ測定の多軸研磨洗浄装置。

【請求項2】

前記第１研磨回転駆動機構は、第１回転駆動部材、第１同期ホイール、第１同期ベルト、第２同期ホイール、及びテンション機構を含み、前記第１回転駆動部材は、フレームに設けられ、前記第１同期ホイールは、第１回転駆動部材の出力端に設けられ、前記第２同期ホイールは、第１研磨ローラの一端に設けられ、前記第１同期ホイールは、第１同期ベルトを介して第２同期ホイールに駆動可能に接続され、前記テンション機構は、第１同期ベルトを引張するために使用されることを特徴とする、請求項１に記載の全自動のレーザー厚さ測定の多軸研磨洗浄装置。

【請求項3】

前記引張機構は、フレームに設けられたテンションベース、テンションベースに設けられた第１弾性部材、及び第１弾性部材の一端に設けられたテンションホイールを含み、前記テンションホイールは、第１同期ベルトに当接され、
テンションホイールが第１同期ベルトに当接される場合、前記第１弾性部材は、テンションホイールが第１同期ベルトを引張するように駆動するために収縮することを特徴とする、請求項２に記載の全自動のレーザー厚さ測定の多軸研磨洗浄装置。

【請求項4】

前記第２研磨回転駆動機構の構造は、第１研磨回転駆動機構の構造と同じであることを特徴とする、請求項２又は３に記載の全自動のレーザー厚さ測定の多軸研磨洗浄装置。

【請求項5】

前記第１研磨昇降駆動機構は、フレームに設けられた第１昇降駆動部材、及びフレームに上下にスライド可能に設けられた第１軸受台を含み、前記第１昇降駆動部材の出力端は、第１軸受台の下端に接続され、前記第１軸受台の軸受は、第１研磨ローラの一端に嵌着されることを特徴とする、請求項１に記載の全自動のレーザー厚さ測定の多軸研磨洗浄装置。

【請求項6】

前記第２研磨昇降駆動機構の構造は、第１研磨昇降駆動機構の構造と同じであることを特徴とする、請求項５に記載の全自動のレーザー厚さ測定の多軸研磨洗浄装置。

【請求項7】

前記洗浄機構は、液体輸送管、及び液体輸送管の片側に設けられた複数のノズルを含み、複数の前記ノズルは、液体輸送管と連通し、前記研磨洗浄装置は、フレームに設けられた水管を更に含み、前記水管の末端はそれぞれ複数の洗浄機構の液体輸送管と連通し、前記水管の給水端は、外部の液体供給部と連通するために使用されることを特徴とする、請求項１に記載の全自動のレーザー厚さ測定の多軸研磨洗浄装置。

【請求項8】

前記輸送機構は、輸送駆動機構、共平面で設けられた複数の第１輸送ローラ、及び第１輸送ローラの数と同じである第２輸送ローラを含み、前記第２輸送ローラは、対応する第１輸送ローラの上端に当接され、前記輸送機構は、第１輸送ローラが転がるように駆動するために使用されることを特徴とする、請求項１に記載の全自動のレーザー厚さ測定の多軸研磨洗浄装置。

【請求項9】

前記輸送機構は、第２輸送ローラの両端に対称に設けられた２つの第２弾性部材、及び第２輸送ローラの両端に対称に設けられた２つの第２軸受台を更に含み、前記第２弾性部材の上端は、フレームに接続され、前記第２軸受台は、フレームに上下にスライド可能に接続され、前記第２弾性部材の下端は、第２軸受台の上端に接続され、前記第２軸受台の軸受は、第２輸送ローラの一端に嵌着されることを特徴とする、請求項８に記載の全自動のレーザー厚さ測定の多軸研磨洗浄装置。

【請求項10】

前記輸送駆動機構は、輸送駆動部材、チェーン、及び複数の歯車を含み、複数の歯車はそれぞれ第１輸送ローラの一端に一対一対応して設けられ、前記輸送駆動部材は、チェーンを介してそれぞれ複数の歯車に駆動可能に接続されることを特徴とする、請求項８に記載の全自動のレーザー厚さ測定の多軸研磨洗浄装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、研磨の技術分野に係り、具体的には、全自動のレーザー厚さ測定の多軸研磨洗浄装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、膜、紙、不織布、金属箔、鋼板などの加工対象物（以下、パネルと略称する）を使用する前に、研磨処理を行う必要があり、一般的には、金属箔の研磨は多段階で行う必要があるため、金属箔の厚さは徐々に薄くなる。しかし、実際には、各金属箔の初期厚さには一定の誤差があり、研磨ローラの位置を調整できないため、研磨工程中、厚さにばらつきが生じ、研磨精度に影響を与える。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

従来技術の欠陥及び不足を克服するために、本発明の目的は、全自動のレーザー厚さ測定の多軸研磨洗浄装置を提供し、現在の研磨対象パネルの厚さを測定することにより、第１研磨ローラと第２研磨ローラとの間の距離を調整し、研磨の正確性を向上させることである。

【課題を解決するための手段】

【0004】

本発明は、以下の技術的解決手段によって実現されるものである。

【0005】

全自動のレーザー厚さ測定の多軸研磨洗浄装置は、フレーム、フレームに設けられた厚さ測定機構、輸送機構、複数の研磨機構、及び研磨機構の数と一致する洗浄機構を含み、前記厚さ測定機構は、輸送機構の供給端に位置し、前記洗浄機構は、対応する研磨機構の上方に位置し、前記洗浄機構は、研磨機構に洗浄液をスプレーするために使用され、
前記研磨機構は、第１研磨ローラと、第１研磨ローラの下方に位置する第２研磨ローラと、フレームに設けられた第１研磨回転駆動機構、第２研磨回転駆動機構、第１研磨昇降駆動機構及び第２研磨昇降駆動機構とを含み、前記第１研磨昇降駆動機構及び第２研磨昇降駆動機構はそれぞれ厚さ測定機構に電気的に接続され、前記第１研磨ローラの両端及び第２研磨ローラの両端はそれぞれフレームに上下にスライド可能に接続され、前記第１研磨回転駆動機構は、第１研磨ローラが回転するように駆動するために使用され、前記第２研磨回転駆動機構は、第２研磨ローラが回転するように駆動するために使用され、前記第１研磨昇降駆動機構は、第１研磨ローラが上下に昇降して移動するように駆動するために使用され、第２研磨昇降駆動機構は、第２研磨ローラが上下に昇降して移動するように駆動するために使用される。

【0006】

ここで、前記第１研磨回転駆動機構は、第１回転駆動部材、第１同期ホイール、第１同期ベルト、第２同期ホイール、及びテンション機構を含み、前記第１回転駆動部材は、フレームに設けられ、前記第１同期ホイールは、第１回転駆動部材の出力端に設けられ、前記第２同期ホイールは、第１研磨ローラの一端に設けられ、前記第１同期ホイールは、第１同期ベルトを介して第２同期ホイールに駆動可能に接続され、前記テンション機構は、第１同期ベルトを引張するために使用される。

【0007】

ここで、前記引張機構は、フレームに設けられたテンションベース、テンションベースに設けられた第１弾性部材、及び第１弾性部材の一端に設けられたテンションホイールを含み、前記テンションホイールは、第１同期ベルトに当接され、

【0008】

テンションホイールが第１同期ベルトに当接される場合、前記第１弾性部材は、テンションホイールが第１同期ベルトを引張するように駆動するために収縮する。

【0009】

ここで、前記第２研磨回転駆動機構の構造は、第１研磨回転駆動機構の構造と同じである。

【0010】

ここで、前記第１研磨昇降駆動機構は、フレームに設けられた第１昇降駆動部材、及びフレームに上下にスライド可能に設けられた第１軸受台を含み、前記第１昇降駆動部材の出力端は、第１軸受台の下端に接続され、前記第１軸受台の軸受は、第１研磨ローラの一端に嵌着される。

【0011】

ここで、前記第２研磨昇降駆動機構の構造は、第１研磨昇降駆動機構の構造と同じである。

【0012】

ここで、前記洗浄機構は、液体輸送管、及び液体輸送管の片側に設けられた複数のノズルを含み、複数の前記ノズルは、液体輸送管と連通し、前記研磨洗浄装置は、フレームに設けられた水管を更に含み、前記水管の末端はそれぞれ複数の洗浄機構の液体輸送管と連通し、前記水管の給水端は、外部の液体供給部と連通するために使用される。

【0013】

ここで、前記輸送機構は、輸送駆動機構、共平面で設けられた複数の第１輸送ローラ、及び第１輸送ローラの数と同じである第２輸送ローラを含み、前記第２輸送ローラは、対応する第１輸送ローラの上端に当接され、前記輸送機構は、第１輸送ローラが転がるように駆動するために使用される。

【0014】

ここで、前記輸送機構は、第２輸送ローラの両端に対称に設けられた２つの第２弾性部材、及び第２輸送ローラの両端に対称に設けられた２つの第２軸受台を更に含み、前記第２弾性部材の上端は、フレームに接続され、前記第２軸受台は、フレームに上下にスライド可能に接続され、前記第２弾性部材の下端は、第２軸受台の上端に接続され、前記第２軸受台の軸受は、第２輸送ローラの一端に嵌着される。

【0015】

ここで、前記輸送駆動機構は、輸送駆動部材、チェーン、及び複数の歯車を含み、複数の歯車はそれぞれ第１輸送ローラの一端に一対一対応して設けられ、前記輸送駆動部材は、チェーンを介してそれぞれ複数の歯車に駆動可能に接続される。

【発明の効果】

【0016】

本発明の有益な効果は、以下のとおりである。

【0017】

本発明による全自動のレーザー厚さ測定の多軸研磨洗浄装置では、厚さ測定機構及び研磨機構が設けられ、ここで、厚さ測定機構は、研磨対象パネルの厚さを測定でき、研磨機構の第１研磨昇降駆動機構及び第２研磨昇降駆動機構は、それぞれ厚さ測定機構で得られた数値に基づいて、第１研磨ローラ及び第２研磨ローラに対応してそれぞれ昇降することができ、その結果、第１研磨ローラと第２研磨ローラとの間の距離を調整し、研磨の正確性を向上させる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

図面を参照しながら、本発明を更に説明し、しかし、図面の実施例は、本発明を限定せず、当業者にとって、創造的な労働なしに、以下の図面に従って他の図面を取得することもできる。

【0019】

【図1】本発明の斜視図である。

【図2】本発明の正面図である。

【図3】本発明の背面図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

本発明の上記の目的、特徴及び利点をより明確にするために、以下、図面を参照しながら、本発明の特定の実施形態を詳細に説明する。以下の説明では、本発明への完全な理解を提供するために、多くの具体的な詳細が記載される。しかし、本発明は、ここでは説明される以外の多くの方法で実施することができ、当業者は、本発明の含意から逸脱することなく同様の改良を行うことができるため、本発明は、以下に開示される特定の実施形態に限定されない。

【0021】

本発明の説明において、理解に必要なものとして、「中心」、「横方向」、「縦方向」、「幅」、「長さ」、「厚さ」、「上」、「下」、「前」、「後」、「左」、「右」、「垂直」、「水平」、「頂」、「底」、「内」、「外」、「時計回り」、「反時計回り」、「軸方向」、「直径方向」、「円周方向」などの用語で示される配向又は位置関係は、添付の図面に示される配向又は位置関係に基づいており、本発明を説明し、説明を簡略化するためにのみ使用され、言及される装置又は要素が特定の配向を有し、特定の方向で構築及び動作しなければならないことを示したり暗示したりするものではなく、従って、それらは本発明への限定として解釈されるべきではない。

【0022】

また、「第１」、「第２」という用語は、説明のみを目的として使用されており、相対的な重要性を示したり暗示したりし又は技術的特徴の数量を暗示したり示したりすると解釈されるべきではない。従って、「第１」及び「第２」で区切られた特徴には、その特徴の１つ以上が明示的又は暗示的に含まれる場合がある。本発明の説明において、特に明記されない限り、「複数」の意味は、２つ以上、例えば、２つ、３つを指す。

【0023】

従来、膜、紙、不織布、金属箔、鋼板などの加工対象物（以下、パネルと略称する）を使用する前に、研磨処理を行う必要があり、一般的には、金属箔の研磨は多段階で行う必要があるため、金属箔の厚さは徐々に薄くなる。しかし、実際には、各金属箔の初期厚さには一定の誤差があり、研磨ローラの位置を調整できないため、研磨工程中、厚さにばらつきが生じ、研磨精度に影響を与える。

【0024】

上記の問題を解決するために、本実施例は、全自動のレーザー厚さ測定の多軸研磨洗浄装置を開示し、その構造は、図１～図３に示され、該研磨洗浄装置は、フレーム１００、フレーム１００に設けられた厚さ測定機構１０１、輸送機構２００、複数の研磨機構３０１、及び研磨機構３０１の数と一致する洗浄機構４０１を含み、前記厚さ測定機構１０１は、輸送機構２００の供給端に位置し、前記洗浄機構４０１は、対応する研磨機構３０１の上方に位置し、前記洗浄機構４０１は、研磨機構３０１に洗浄液をスプレーするために使用され、

【0025】

前記研磨機構３０１は、第１研磨ローラ３０２と、第１研磨ローラ３０２の下方に位置する第２研磨ローラ３０３と、フレーム１００に設けられた第１研磨回転駆動機構３０４、第２研磨回転駆動機構３１３、第１研磨昇降駆動機構３１４及び第２研磨昇降駆動機構３１７とを含み、前記第１研磨昇降駆動機構３１４及び第２研磨昇降駆動機構３１７はそれぞれ厚さ測定機構１０１に電気的に接続され、前記第１研磨ローラ３０２の両端及び第２研磨ローラ３０３の両端はそれぞれフレーム１００に上下にスライド可能に接続され、前記第１研磨回転駆動機構は３０４、第１研磨ローラ３０２が回転するように駆動するために使用され、前記第２研磨回転駆動機構３１３は、第２研磨ローラ３０３が回転するように駆動するために使用され、前記第１研磨昇降駆動機構３１４は、第１研磨ローラ３０２が上下に昇降して移動するように駆動するために使用され、第２研磨昇降駆動機構は３１７、第２研磨ローラ３０３が上下に昇降して移動するように駆動するために使用される。

【0026】

図２及び図３から分かるように、本実施例における研磨機構３０１は、３セットの第１研磨回転駆動機構３０４及び３セットの第２研磨回転駆動機構３１３を含み、即ち、本実施例の第１研磨ローラ３０２及び第２研磨ローラ３０３の数はいずれも３つであり、上記の３セットの構造により、パネルに対して３つの段階の異なる厚さの研磨を行い、左右３軸、合計６軸の研磨効果を実現する。なお、本実施例における厚さ測定機構１０１は従来技術であり、ここでは説明を省略する。

【0027】

本発明による全自動のレーザー厚さ測定の多軸研磨洗浄装置では、厚さ測定機構１０１及び研磨機構３０１が設けられ、ここで、厚さ測定機構１０１は、研磨対象パネルの厚さを測定でき、研磨機構３０１の第１研磨昇降駆動機構３１４及び第２研磨昇降駆動機構３１７は、それぞれ厚さ測定機構１０１で得られた数値に基づいて、第１研磨ローラ３０２及び第２研磨ローラ３０３に対応してそれぞれ昇降することができ、その結果、第１研磨ローラと第２研磨ローラとの間の距離を調整し、研磨の正確性を向上させる。

【0028】

更に、前記第１研磨回転駆動機構３０４は、第１回転駆動部材３０５、第１同期ホイール３０６、第１同期ベルト３０７、第２同期ホイール３０８、及びテンション機構３０９を含み、前記第１回転駆動部材３０５は、フレーム１００に設けられ、前記第１同期ホイール３０６は、第１回転駆動部材３０５の出力端に設けられ、前記第２同期ホイール３０８は、第１研磨ローラ３０２の一端に設けられ、前記第１同期ホイール３０６は、第１同期ベルト３０７を介して第２同期ホイール３０８に駆動可能に接続され、前記テンション機構３０９は、第１同期ベルト３０７を引張するために使用される。

【0029】

本実施例では、第１回転駆動部材３０５は、好ましくは、サーボモータであり、第１研磨昇降駆動機構３１４は、第１研磨ローラ３０２が昇降するように駆動する過程において、第１同期ホイール３０６と第２同期ホイール３０８との間の距離が変化するため、第１同期ベルト３０７の長さはある程度の余裕を持たせる必要があり、この場合、第１同期ベルト３０７と第１同期ホイール３０６及び第２同期ホイール３０８が緩んで落ちることを回避するために、テンション機構３０９により、第１同期ベルト３０７に対して自己適応の引張処理を行う。

【0030】

更に、前記テンション機構３０９は、フレーム１００に設けられたテンションベース３１０、テンションベース３１０に設けられた第１弾性部材３１１、及び第１弾性部材３１１の一端に設けられたテンションホイール３１２を含み、第１弾性部材３１１は、好ましくは、ばねであり、前記テンションホイール３１２は、第１同期ベルト３０７に当接され、図２から分かるように、テンションホイール３１２は、第１同期ベルト３０７の内側に位置し、第１研磨ローラ３０２と第２研磨ローラ３０３が相互に離れる場合、第１同期ベルト３０７は、第１弾性部材３１１が伸びるように引き、第１研磨ローラ３０２と第２研磨ローラ３０３が相互に近づく場合、第１弾性部材３１１は、テンションホイール３１２が常に第１同期ベルト３０７との当接を維持するために収縮する。そのため、いつでもテンションホイール３１２が第１同期ベルト３０７に当接され、前記第１弾性部材３１１は、テンションホイール３１２が第１同期ベルト３０７を引張するように駆動するために収縮する。

【0031】

なお、本実施例における第２研磨回転駆動機構３１３の構造は、第１研磨回転駆動機構３０４の構造と同じであるため、第２研磨回転駆動機構３１３は第２研磨ローラ３０３が回転するように駆動するという動作原理は、第１研磨回転駆動機構３０４は第１研磨ローラ３０２が回転するように駆動するという動作原理と同じであり、ここでは説明を省略する。

【0032】

更に、前記第１研磨昇降駆動機構３１４は、フレーム１００に設けられた第１昇降駆動部材３１５、及びフレーム１００に上下にスライド可能に設けられた第１軸受台３１６を含み、前記第１昇降駆動部材３１５の出力端は、第１軸受台３１６の下端に接続され、前記第１軸受台３１６の軸受は、第１研磨ローラ３０２の一端に嵌着される。

【0033】

本実施例では、第１昇降駆動部材３１５は、好ましくは、油圧シリンダであり、第１昇降駆動部材３１５は、軸受台が上下に昇降するように駆動し、第１研磨ローラ３０２が昇降するように動かす。

【0034】

なお、本実施例における第２研磨昇降駆動機構３１７の構造は、第１研磨昇降駆動機構３１４の構造と同じであるため、第２研磨昇降駆動機構３１７は第２研磨ローラ３０３が昇降するように駆動するという動作原理は、第１研磨昇降駆動機構３１４は第１研磨ローラ３０２が昇降するように駆動するという動作原理と同じであり、ここでは説明を省略する。

【0035】

更に、前記洗浄機構４０１は、液体輸送管４０２、及び液体輸送管４０２の片側に設けられた複数のノズル４０３を含み、複数の前記ノズル４０３は、液体輸送管４０２と連通し、前記研磨洗浄装置は、フレーム１００に設けられた水管４０４を更に含み、前記水管４０４の末端はそれぞれ複数の洗浄機構４０１の液体輸送管４０２と連通し、前記水管４０４の給水端は、外部の液体供給部と連通するために使用される。本実施例では、水管４０４の末端は、外部から水ポンプに接続することができ、水ポンプは洗浄液を水管４０４から各液体輸送管４０２に注入し、その後、対応するノズル４０３によって研磨機構３０１にスプレーする。

【0036】

更に、前記輸送機構２００は、輸送駆動機構２０１、共平面で設けられた複数の第１輸送ローラ２０２、及び第１輸送ローラ２０２の数と同じである第２輸送ローラ２０３を含み、前記第２輸送ローラ２０３は、対応する第１輸送ローラ２０２の上端に当接され、前記輸送機構２０１は、第１輸送ローラ２０２が転がるように駆動するために使用される。

【0037】

本実施例では、輸送駆動部材２０４、チェーン２０５及び複数の歯車２０６を含み、複数の前記歯車２０６はそれぞれ第１輸送ローラ２０２の一端に一対一対応して設けられ、前記輸送駆動部材２０４は、チェーン２０５を介してそれぞれ複数の歯車２０６に駆動可能に接続され、輸送駆動部材２０４は、好ましくは、サーボモータであり、輸送駆動部材２０４は、チェーン２０５を介して歯車２０６が回転するように動かし、その結果、パネル輸送効果を実現する。

【0038】

具体的には、前記輸送機構２００は、第２輸送ローラ２０３の両端に対称に設けられた２つの第２弾性部材２０７、及び第２輸送ローラ２０３の両端に対称に設けられた２つの第２軸受台２０８を更に含み、前記第２弾性部材２０７の上端は、フレーム１００に接続され、前記第２軸受台２０８は、フレーム１００に上下にスライド可能に接続され、前記第２弾性部材２０７の下端は、第２軸受台２０８の上端に接続され、前記第２軸受台２０８の軸受は、第２輸送ローラ２０３の一端に嵌着される。実際の使用中、パネルは、第１研磨ローラ３０２と第２研磨ローラ３０３を通過する場合、第１研磨ローラ３０２を持ち上げることができ、同時に、第２弾性部材２０７を介して第１研磨ローラ３０２と第２研磨ローラ３０３をそれぞれパネルの２つの端面に当接し、その結果、パネル輸送の安定性を確保する。

【0039】

最後に、説明すべきものとして、以上の実施例は、本発明の技術的解決手段を説明するためにのみ使用され、本発明の保護範囲を限定せず、好ましい実施例を参照して本発明を詳細に説明するが、当業者は、本発明の技術的解決手段の実質及び範囲から逸脱することなく、本発明の技術的解決手段に対して修正又は同等の置換を行うことができることを理解すべきである。

【符号の説明】

【0040】

フレーム--１００、厚さ測定機構--１０１、
輸送機構--２００、輸送駆動機構--２０１、第１輸送ローラ--２０２、第２輸送ローラ--２０３、輸送駆動部材--２０４、チェーン--２０５、歯車--２０６、第２弾性部材--２０７、第２軸受台--２０８、
研磨機構--３０１、第１研磨ローラ--３０２、第２研磨ローラ--３０３、第１研磨回転駆動機構--３０４、第１回転駆動部材--３０５、第１同期ホイール--３０６、第１同期ベルト--３０７、第２同期ホイール--３０８、テンション機構--３０９、テンションベース--３１０、第１弾性部材--３１１、テンションホイール--３１２、第２研磨回転駆動機構--３１３、第１研磨昇降駆動機構--３１４、第１昇降駆動部材--３１５、第１軸受台--３１６、第２研磨昇降駆動機構--３１７、
洗浄機構--４０１、液体輸送管--４０２、ノズル--４０３、水管--４０４

【図1】

【図2】

【図3】