特開 2024-176741 真空ポンプ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024176741

(43)【公開日】2024-12-19

(54)【発明の名称】真空ポンプ

(51)【国際特許分類】

   F04D 19/04 20060101AFI20241212BHJP

   F04C 25/02 20060101ALI20241212BHJP

   F04D 29/60 20060101ALI20241212BHJP

【ＦＩ】

F04D19/04 H

F04C25/02 A

F04D29/60 H

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023095518

(22)【出願日】2023-06-09

(71)【出願人】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100121382

【弁理士】

【氏名又は名称】山下 託嗣

(74)【代理人】

【識別番号】100149009

【弁理士】

【氏名又は名称】古賀 稔久

(72)【発明者】

【氏名】板東 龍矢

【テーマコード（参考）】

3H129

3H130

3H131

【Ｆターム（参考）】

3H129AA01

3H129AB06

3H129BB47

3H129CC09

3H130AB28

3H130AC02

3H130BA87A

3H130BA97A

3H130CA21

3H130EA01A

3H130EA07A

3H131AA02

3H131BA06

3H131BA09

3H131CA31

(57)【要約】

【課題】底面側の固定構造を小型化することが可能な真空ポンプを提供すること。
【解決手段】真空ポンプ１は、真空ポンプ本体１００と、底固定板１２０と、を備える。真空ポンプ本体１００は、底面３１と、側面３２と、を有する。側面３２は、底面３１から形成されたポンプ側平面３４を含む。底固定板１２０は、真空ポンプ本体１００の底面３１と締結される。底固定板１２０は、ポンプ側平面３４と対向する固定側平面５６ａを有する。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

底面と、前記底面から形成された第１平面を含む側面と、を有する真空ポンプ本体と、
前記真空ポンプ本体の前記底面と締結される底固定部材と、を備え、
前記底固定部材は、前記第１平面と対向する第２平面を有する、
真空ポンプ。

【請求項2】

前記底固定部材は、前記真空ポンプ本体の前記底面が嵌る凹部を有し、
前記凹部は、前記底面が載置される載置面と、前記載置面の周囲に配置された内周面と、を有し、
前記第２平面は、前記内周面に配置されている、
請求項１に記載の真空ポンプ。

【請求項3】

前記底面と前記底固定部材は、第１締結部材によって締結されており、
前記第１締結部材は、前記第１平面と平行に配置されている、
請求項１に記載の真空ポンプ。

【請求項4】

前記底固定部材は、前記底面よりも外側において固定対象物と第２締結部材によって締結されており、
前記第２締結部材は、前記第１平面と平行に配置されている、
請求項１に記載の真空ポンプ。

【請求項5】

前記底固定部材は、前記第２締結部材が通る貫通孔を有し、
前記第２締結部材は、前記貫通孔を通って前記固定対象物に挿入され、
前記第１平面と前記第２平面との間の隙間は、前記貫通孔の内周面と前記第２締結部材の間の隙間より小さい、
請求項４に記載の真空ポンプ。

【請求項6】

固定対象物に締結される底面と、
前記底面から形成された第１平面を有する側面と、を備え、
前記固定対象物に前記底面が締結された状態において、前記第１平面は、前記固定対象物に形成された第２平面と対向する、
真空ポンプ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空ポンプに関する。

【背景技術】

【0002】

半導体製造装置等の分野において、高真空雰囲気にするために真空ポンプの一種であるターボ分子ポンプが用いられている。ターボ分子ポンプでは、ロータがケーシング内で高速回転するため、ロータが破壊した際のエネルギーが、ターボ分子ポンプを接続する装置側に伝わりにくいようにすることを目的として、フランジ部の変形によって吸収する構造が開示されている（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

また、真空ポンプのロータ破壊時の衝撃に対する強度を確保するために、上記特許文献１のようにフランジが設けられた上面側とともに、底面側も固定する場合がある。底面側の固定構造として、例えば、真空ポンプ本体が底固定板にポンプ固定ボルトで締結され、底固定板が固定対象物に底固定ボルトで締結されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０２３－００３０７０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、底固定ボルトには破壊トルクの衝撃に耐えうる強度確保が必要となるため、ボルトの本数、ボルトの強度、およびボルトピッチ円直径の大きさの確保が必要となり、底面側の固定構造が大型化していた。

【0006】

本発明は、底面側の固定構造を小型化することが可能な真空ポンプを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の第１の態様に係る真空ポンプは、真空ポンプ本体と、底固定部材と、を備える。真空ポンプ本体は、底面と、側面と、を有する。側面は、底面から形成された第１平面を含む。底固定部材は、真空ポンプ本体の底面と締結される。底固定部材は、第１平面と対向する第２平面を有する。

【0008】

本発明の第２の態様に係る真空ポンプは、底面と、側面とを備える。底面は、固定対象物に締結される。側面は、底面から形成された第１平面を有する。固定対象物に底面が締結された状態において、第１平面は、固定対象物に形成された第２平面と対向する。

【発明の効果】

【0009】

上述した本発明の態様によれば、真空ポンプの底面側の固定構造を小型化することが可能な真空ポンプを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明に係る実施形態の真空ポンプの正面図である。

【図2】本発明に係る実施形態の真空ポンプ本体の内部構成を示す図である。

【図3】本発明に係る実施形態の真空ポンプ本体のベースの近傍および底側固定構造を示す斜視図である。

【図4】（ａ）本発明に係る実施形態の真空ポンプ本体の底面図である。（ｂ）図４（ａ）のＢ拡大図である。

【図5】本発明に係る実施形態の底固定板の斜視図である。

【図6】（ａ）本発明に係る実施形態の底固定板の上面図である。（ｂ）図６（ａ）のＣ部拡大図である。

【図7】（ａ）本発明に係る実施形態の真空ポンプのポンプ側平面と固定側平面との位置関係を示す模式平面図である。（ｂ）図７（ａ）を矢印Ｅに沿って視た模式図である。

【図8】本発明に係る実施形態の変形例の底固板の斜視図である。

【図9】本発明に係る実施形態の変形例の真空ポンプの正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、発明にかかる実施の形態の真空ポンプシステムについて図面を参照しながら説明する。

【0012】

＜構成＞
（真空ポンプ１の概要）
図１は、真空ポンプ１の正面図である。真空ポンプ１は、真空ポンプ本体１００と、底側固定構造１１０と、を備える。真空ポンプ本体１００は、チャンバに接続され、チャンバ内のガスを排気する。底側固定構造１１０は、真空ポンプ本体１００の底面側を固定対象物２００に固定する。固定対象物２００は、例えば、チャンバを支持する支持フレームであるが、限定されるものではない。詳しくは後述するが、底側固定構造１１０は、底固定板１２０を有している。真空ポンプ本体１００が底固定板１２０に締結され、底固定板１２０が固定対象物２００に締結されることによって、真空ポンプ本体１００が固定対象物２００に固定される。図１では、底固定板１２０の下側に真空ポンプ本体１００を駆動するための電源ユニット２１０が配置されている。

【0013】

（真空ポンプ本体１００）
図２は、実施形態に係る真空ポンプ本体１００の断面図である。

【0014】

真空ポンプ本体１００は、タービン部Ｐ１と、ドラッグポンプ部Ｐ２と、を含む。タービン部Ｐ１は、ターボ分子ポンプを構成する。ドラッグポンプ部Ｐ２は、ネジ溝ポンプを構成する。真空ポンプ本体１００は、チャンバに接続される。チャンバからのガスは、タービン部Ｐ１で排気された後、ドラッグポンプ部Ｐ２で排気され、真空ポンプ本体１００の外に排気される。

【0015】

真空ポンプ本体１００は、図２に示すように、筐体２と、ロータ３と、モータ４と、複数のステータ翼ユニット５と、ステータ円筒部６と、を有する。筐体２は、ロータ３と、モータ４と、複数のステータ翼ユニット５と、ステータ円筒部６とを収容する。

【0016】

筐体２は、ケーシング８と、ベース９と、固定フランジ１０と、を有する。筐体２は、アルミニウム合金または鉄等の金属によって形成されている。ケーシング８は、一端に固定フランジ１０を有する筒状の部材である。

【0017】

ケーシング８は、複数のステータ翼ユニット５と、ロータ３に設けられた複数段のロータ翼ユニット２２と、を収容する。ケーシング８は、第１端部１１と、第２端部１２と、側面１３と、を有する。

【0018】

第１端部１１は、排気対象装置に取り付けられる。第１端部１１には、吸気口１４が設けられている。第２端部１２は、ロータ３の中心の軸Ａにおいて、固定フランジ１０と反対側に位置している。第２端部１２は、ベース９に接続される。側面１３は、第１端部１１と第２端部１２の間に設けられている。ケーシング８の内側には、第１内部空間Ｓ１が形成される。

【0019】

ベース９は、ケーシング８の第２端部１２側の開口を塞ぐように配置されている。ベース９は、ステータ円筒部６と、ロータ３に設けられているロータ円筒部２３と、を収納する。ベース９は、ベース端部３３においてケーシング８の第２端部１２に接続される。ベース９の内側には、第２内部空間Ｓ２が形成される。第２内部空間Ｓ２は、第１内部空間Ｓ１と連通している。ベース９の側面３２には、排気口３０が形成されている。排気口３０には、排気管と接続する接続具１６が配置されている。排気口３０は、第２内部空間Ｓ２と連通している。ベース９の構成については、後段にて更に説明する。

【0020】

固定フランジ１０は、ケーシング８に接続されている。固定フランジ１０は、ケーシング８から突出している。固定フランジ１０は、ボルトによって排気対象装置に固定される。なお、「接続」とは、互いに別体の部材が接合されることを含むものとする。また、「接続」とは、一体の部材において別々の部分が連なっていることを含むものとする。

【0021】

ロータ３は、シャフト２１と、複数段のロータ翼ユニット２２と、ロータ円筒部２３と、を有する。シャフト２１は、ロータ３の軸Ａに沿って延びている。以下の説明では、軸Ａに沿った方向おいて、ケーシング８からベース９に向かう方向が下方と定義され、その反対方向が上方と定義される。

【0022】

真空ポンプ本体１００は、保護軸受２９と、複数の軸受２４Ａ－２４Ｃと、を含む。保護軸受２９は、シャフト２１の上部側のラジアル方向の振れを制限するタッチダウンベアリングとして機能する。保護軸受２９は、ベース９に取り付けられている。シャフト２１が定常回転している状態では、シャフト２１と保護軸受２９は接触しておらず、大外乱が加わった場合や、回転の加速または減速時にシャフト２１の振れ回りが大きくなった場合に、シャフト２１が保護軸受２９の内輪の内面に接触する。保護軸受２９は、例えばボールベアリング等を用いることができる。

【0023】

複数の軸受２４Ａ－２４Ｃは、ロータ３を回転可能に支持する。複数の軸受２４Ａ－２４Ｃは、ベース９に取り付けられている。複数の軸受２４Ａ－２４Ｃは、例えば磁気軸受を含む。ただし、複数の軸受２４Ａ－２４Ｃは、ボールベアリングなどの他の種類の軸受を含んでもよい。

【0024】

複数段のロータ翼ユニット２２は、それぞれシャフト２１に接続されている。複数段のロータ翼ユニット２２は、軸Ａに沿った方向に互いに間隔をおいて配置されている。各々のロータ翼ユニット２２は、複数のロータ翼２５を含む、図示を省略するが、複数のロータ翼２５の各々は、シャフト２１を中心にして放射状に延びている。なお、図面においては、複数段のロータ翼ユニット２２の１つ、および複数のロータ翼２５の１つのみに符号が付されており、他のロータ翼ユニット２２および他のロータ翼２５の符号は省略されている。

【0025】

ロータ円筒部２３は、シャフト２１に接続されている。ロータ円筒部２３は、ロータ翼ユニット２２の下方に配置されている。ロータ円筒部２３は、円筒状であり、軸Ａに沿った方向に延びている。ロータ円筒部２３は、シャフト２１の外周側においてシャフト２１を囲むように配置されている。

【0026】

モータ４は、ロータ３を回転駆動する。モータ４としては、例えばＤＣブラシレスモータが用いられる。モータ４は、モータロータと、モータステータと、を有する。例えば、モータロータは、シャフト２１に取り付けられている。モータステータは、ベース９に取り付けられている。モータステータは、モータロータと向かい合って配置されている。

【0027】

複数段のステータ翼ユニット５は、ケーシング８の内面に接続されている。複数段のステータ翼ユニット５は、軸Ａに沿った方向において、互いに間隔を空けて配置されている。複数段のステータ翼ユニット５の各々は、複数段のロータ翼ユニット２２の間に配置されている。各々のステータ翼ユニット５は、複数のステータ翼２８を含む。図示を省略するが、複数のステータ翼２８は、それぞれシャフト２１を中心として放射状に延びている。

【0028】

複数段のロータ翼ユニット２２と複数段のステータ翼ユニット５とは、タービン部Ｐ１（ターボ分子ポンプ）を構成する。なお、図面においては、複数のステータ翼ユニット５の１つ、および複数のステータ翼２８の１つのみに符号が付されており、他のステータ翼ユニット５および他のステータ翼２８の符号は省略されている。

【0029】

ステータ円筒部６は、ロータ円筒部２３の径方向外側に配置されている。ステータ円筒部６は、ベース９に接続されている。ステータ円筒部６は、ロータ円筒部２３の径方向において、ロータ円筒部２３と向かい合って配置されている。

【0030】

ステータ円筒部６の内周面には、らせん状のネジ溝が設けられている。ロータ円筒部２３とステータ円筒部６は、ドラッグポンプ部Ｐ２（ネジ溝ポンプ）を構成する。なお、らせん状のネジ溝は、ステータ円筒部６の内周面ではなく、ロータ円筒部２３の外周面に設けられていてもよい。

【0031】

（ベース９）
図３は、ベース９および底固定板１２０の近傍を示す斜視図である。図３では、底固定板１２０が二点鎖線で示されている。図４（ａ）は、真空ポンプ本体１００の底面図である。図４（ｂ）は、図４（ａ）のＢ部拡大図である。

【0032】

ベース９は、底を有する略円筒形状である。ベース９は、図２に示すように、底面３１と、側面３２と、ベース端部３３と、を有する。底面３１は、底固定板１２０に固定される。底面３１には、図４（ａ）に示すように、後述するポンプ固定ボルト１３０が挿入されるボルト孔３１ａが複数形成されている。ボルト孔３１ａは、軸Ａを中心とする円周上に配置されている。ボルト孔３１ａの内周面には、ポンプ固定ボルト１３０の雄ネジと螺合する雌ネジが形成されている。本実施形態では、ボルト孔３１ａは８つ形成されているが、図４（ａ）では１つのみに符号を付す。

【0033】

側面３２は、底面３１の周囲から吸気口１４に向かって配置されている。ベース端部３３は、側面３２の吸気口１４側の端に配置されている。ベース端部３３は、側面３２から外側（軸Ａから遠ざかる方向）に向かって突出している。図２および図３に示すように、ベース端部３３は、ケーシング８の第２端部１２に接続される。

【0034】

側面３２の外形は、概ね、外径の異なる円柱が上下に並んだ形状である。側面３２は、底面３１側の方が吸気口１４側よりも外径が大きく形成されている。側面３２は、ポンプ側平面３４（第１平面）を有する。側面３２の外形は、これに限らず、同一径の円筒状であってもよい。

【0035】

ポンプ側平面３４は、図３、図４（ａ）および図４（ｂ）に示すように、底面３１と繋がっている。ポンプ側平面３４は、底面３１の端から上方向（吸気口１４側）に向かって形成されている。ポンプ側平面３４は、軸Ａに対して平行に配置されている。真空ポンプ本体１００が底固定板１２０に固定された際に、ポンプ側平面３４は、後述する底固定板１２０の固定側平面５６ａ（第２平面）と対向する。

【0036】

図３に示すように、側面３２のうち、底面３１近傍の部分であって、後述する底固定板１２０の凹部５４に嵌る部分を側面下端部３５とする。側面下端部３５は、平面部分３５ａと、湾曲部分３５ｂと、を有する。平面部分３５ａは、ポンプ側平面３４の一部である（後述する図７（ｂ）参照）。湾曲部分３５ｂは、側面下端部３５のうち平面部分３５ａ以外の部分である。平面視において、図４（ａ）に示すように、湾曲部分３５ｂは軸Ａを中心とする同一円周上に形成されている。平面部分３５ａは直線上となる。平面部分３５ａは、ポンプ側平面３４と平面視では重なっているため、図４（ａ）において平面部分３５ａの符号は括弧内に示す。

【0037】

（底側固定構造１１０）
底側固定構造１１０は、図１に示すように、底固定板１２０（底固定部材）と、ポンプ固定ボルト１３０（第１締結部材）（図３参照）と、底固定治具１４０と、底固定ボルト１５０（第２締結部材）と、を備える。底固定板１２０は、図３に示すように、ポンプ固定ボルト１３０によって真空ポンプ本体１００と締結される。底固定治具１４０は、底固定板１２０と固定対象物２００との間に配置される。底固定ボルト１５０は、上方から底固定板１２０および底固定治具１４０を介して固定対象物２００まで挿入されている。底固定ボルト１５０は、軸Ａと平行に配置されている。これにより、真空ポンプ本体１００を固定対象物２００に固定することができる。

【0038】

図５は、底固定板１２０の斜視図である。図６（ａ）は、底固定板１２０の上面図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）のＣ部拡大図である。

【0039】

底固定板１２０は、本体部４０と、複数の突出部４１と、を有する。本体部４０は、板状である。本体部４０は、第１面５１と、第２面５２と、開口５３と、凹部５４と、を有する。第１面５１は、真空ポンプ本体１００が載置される側の面である。第２面５２は、固定対象物２００が配置されている側の面である。

【0040】

開口５３は、第１面５１から第２面５２まで本体部４０を貫通する。開口５３は、電源ユニット２１０から真空ポンプ本体１００に延びるケーブル等を通すために設けられている。

【0041】

凹部５４は、第１面５１に形成されている。凹部５４に、真空ポンプ本体１００の底面３１および側面下端部３５が嵌まり込む。凹部５４に、開口５３が形成されている。凹部５４は、載置面５５と、内周面５６と、を有する。載置面５５には、真空ポンプ本体１００の底面３１が載置される。内周面５６は、載置面５５の周縁から上方に向かって形成されている。内周面５６は、真空ポンプ本体１００の側面下端部３５に対向する。

【0042】

内周面５６は、固定側平面５６ａと、湾曲面５６ｂと、を含む。固定側平面５６ａは、真空ポンプ本体１００を凹部５４に載置した際に、平面部分３５ａに対向する。平面部分３５ａはポンプ側平面３４に含まれているため、固定側平面５６ａは、ポンプ側平面３４に対向するともいえる。固定側平面５６ａは、図５に示すように、軸Ａに垂直な方向から視て矩形状に形成されている。湾曲面５６ｂは、真空ポンプ本体１００の上述した湾曲部分３５ｂに沿って形成されている。湾曲面５６ｂは、図６（ａ）に示すように、平面視において軸Ａを中心とする同一半径の円周上に形成されている。図６（ｂ）に示すように、平面視において、固定側平面５６ａは直線上に形成されている。

【0043】

本体部４０には、第２面５２から載置面５５まで貫通した複数の貫通孔４０ａが形成されている。貫通孔４０ａは、軸Ａを中心とする円周上に配置されている。本実施形態では、貫通孔４０ａは、８つ形成されているが、図では１つのみに符号を付す。例えば、貫通孔４０ａの内周面は、滑らかな曲面であり、雌ネジ形状が形成されていない。下方から底固定板１２０の貫通孔４０ａを通って、真空ポンプ本体１００の底面３１のボルト孔３１ａにポンプ固定ボルト１３０（図３参照）が挿入される。ポンプ固定ボルト１３０は、軸Ａと平行に配置されている。ポンプ固定ボルト１３０（締結部材の一例）の外周の雄ネジは、ボルト孔３１ａの内周の雌ネジに螺合している。これによって、真空ポンプ本体１００を底固定板１２０に固定することができる。

【0044】

本体部４０には、第１面５１のうち凹部５４の外側部分から第２面５２まで貫通した複数の貫通孔４０ｂが設けられている。複数の貫通孔４０ｂは、軸Ａを中心とする円周上に配置されている。本実施形態では、貫通孔４０ｂは、８つ形成されているが、図では１つのみに符号を付す。例えば、貫通孔４０ｂの内周面は、滑らかな曲面であり、雌ネジ形状が形成されていない。貫通孔４０ｂは、本体部４０の周囲に沿って配置されている。図１に示すボルト１６０が貫通孔４０ｂを介して電源ユニット２１０の上面に形成されたボルト孔に挿入されている。ボルト１６０の外周の雄ネジは、ボルト孔の内周の雌ネジに螺合している。

【0045】

複数の突出部４１は、本体部４０の外周から外側に向かって突出している。本実施形態では、突出部４１は２つ設けられている。各々の突出部４１は板状である。各々の突出部４１には、底固定ボルト１５０が挿入される貫通孔４１ａが複数形成されている。本実施形態では、１つの突出部４１に貫通孔４１ａは６つ形成されているが、図では１つのみに符号を付す。貫通孔４１ａと固定対象物２００との間に底固定治具１４０が配置されている。底固定治具１４０は、円筒状である。例えば、貫通孔４１ａの内周面および底固定治具１４０の内周は、滑らかな曲面であり、雌ネジ形状が形成されていない。底固定ボルト１５０は、上方から突出部４１の貫通孔４１ａおよび底固定治具１４０の内側を通って、固定対象物２００に挿入されている。底固定ボルト１５０は、軸Ａと平行に配置されている。底固定ボルト１５０の外周の雄ネジは、固定対象物２００のボルト孔の内周の雌ネジに螺合している。これによって、底固定板１２０を固定対象物２００に固定することができる。

【0046】

本実施形態の真空ポンプ１では、真空ポンプ本体１００のポンプ側平面３４と、底固定板１２０の固定側平面５８が互いに対向する平面として設けられている。このため、ロータの破壊時にポンプ側平面３４が固定側平面５６ａに当接することになり、底固定板１２０は、破壊トルクを面で受けることができ、底固定ボルト１５０にかかる破壊トルクを低減することができる。

【0047】

底固定板１２０の内周面５６は、側面下端部３５との間に隙間が設けられている。図７（ａ）は、ポンプ側平面３４と固定側平面５６ａとの位置関係を示す模式平面図である。図７（ａ）は、図６（ｂ）に、側面下端部３５を図示したものである。図７（ｂ）は、図７（ａ）を矢印Ｅに沿って視た模式図である。ポンプ側平面３４と固定側平面５６ａの間の隙間ｄは、底固定板１２０の貫通孔４１ａの内周面と底固定ボルト１５０の間の隙間よりも小さく形成されている。また、複数の底固定ボルト１５０と貫通孔４１ａの内周面との隙間において最も小さい隙間よりも隙間ｄが小さい方が好ましい。これにより、ロータ３の破壊時において、底固定ボルト１５０が貫通孔４１ａに接触するよりも先に、ポンプ側平面３４が固定側平面５６ａに接触するため、底固定ボルト１５０にかかる破壊トルクを低減することができる。

【0048】

また、平面視におけるポンプ側平面３４の幅をＷ１とし、固定側平面５６ａの幅をＷ２とすると、Ｗ２はＷ１よりも大きい方が好ましい。また、幅Ｗ１，Ｗ２、および隙間ｄは、真空ポンプ本体１００が、底固定板１２０に対して軸Ａを中心として回転した際にポンプ側平面３４が固定側平面５６ａに接触するように設定される方が好ましい。

【0049】

（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【0050】

上記実施形態では、ポンプ側平面３４と固定側平面５６ａは１組のみ設けられているが、複数組設けられていてもよい。

【0051】

上記実施形態では、ポンプ側平面３４は、固定側平面５６ａよりも上方まで伸びているが、固定側平面５６ａと同じ高さの部分（平面部分３５ａ）まで形成されていてもよい。

【0052】

上記実施形態では、底固定板１２０に凹部５４を形成し、凹部５４の内周面５６に、ポンプ側平面３４と対向する固定側平面５６ａを設けているが、このような構成に限らなくてもよい。図８は、変形例の底固定板３２０を示す斜視図である。底固定板３２０は、底固定板１２０と比較して本体部３４０の第１面３５１に凹部５４が形成されていない。底固定板３２０は、第１面３５１に凸部３５４を有している。凸部３５４は、内側に面する固定側平面３５４ａを有する。固定側平面３５４ａは、真空ポンプ本体１００を底固定板３２０に固定した際に、ポンプ側平面３４に対向する。このように、ポンプ側平面３４に対向する面を、凹部５４の内周面５６に設けずに、凸部３５４に設けてもよい。

【0053】

上記実施形態では、突出部４１は２つ設けられており、各々の突出部４１には、６つの貫通孔４１ａが形成されているが、これらの数に限られるものではない。同様に、貫通孔４０ａ、４０ｂの数も上記８つに限られるものではない。

【0054】

上記実施形態では、底固定板１２０の下側に電源ユニット２１０が配置され、底固定板１２０と電源ユニット２１０がボルトによって締結されているが、電源ユニット２１０が底固定板１２０の下側に配置されていなくてもよい。

【0055】

上記実施形態では、底固定板１２０を介して真空ポンプ本体１００が固定対象物２００に固定されているが、図９に示すように、真空ポンプ本体１００が固定対象物２００に直接固定されていてもよい。この場合、固定側平面５６ａが形成されている凹部５４は、固定対象物２００の表面２００ａに形成されている。ポンプ固定ボルト１３０は、固定対象物２００の裏面２００ｂ側から挿入されている。このように、真空ポンプ本体１００のポンプ側平面３４が、固定対象物２００の固定側平面５６ａに対向してもよい。

【0056】

上記実施形態では、底固定板１２０の内周面５６は、側面下端部３５との間に隙間が設けられていると記載したが、真空ポンプ本体１００の側面下端部３５と、底固定板１２０の内周面５６の間の全部または一部に隙間が設けられておらず接触していてもよい。また、ポンプ側平面３４と固定側平面５６ａの間に隙間が設けられておらず接触していてもよい。

【0057】

（態様）
上述した複数の例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

【0058】

（第１項）第１態様に係る真空ポンプは、真空ポンプ本体と、底固定部材と、を備える。真空ポンプ本体は、底面と、側面と、を有する。側面は、底面から形成された第１平面を含む。底固定部材は、真空ポンプ本体の底面と締結される。底固定部材は、第１平面と対向する第２平面を有する。

【0059】

第１項に係る真空ポンプによれば、真空ポンプ本体のロータが破壊した場合、底固定部材の第２平面に真空ポンプ本体の第１平面が接触することになる。このように、底固定部材が真空ポンプ本体に生じる破壊トルクを面で受けることができ、底固定部材と固定対象物との固定に用いる第２締結部材にかかる破壊トルクを低減することができる。そのため、第２締結部材の本数を減らし、強度を下げ、ボルトピッチ円直径（ロータの中心軸からボルトまで長さを半径とする円の直径）を小さくすることができる。これにより、真空ポンプの底面側の固定構造を小型化することができる。

【0060】

（第２項）第１項に記載の真空ポンプにおいて、底固定部材は、真空ポンプ本体の底面が嵌る凹部を有していてもよい。凹部は、底面が載置される載置面と、上面の周囲に配置された内周面と、を有していてもよい。第２平面は、内周面に配置されていてもよい。

【0061】

第２項に係る真空ポンプによれば、ロータが破壊した場合、凹部の内周面に形成された第２平面に真空ポンプ本体の第１平面が接触することで、底固定部材が破壊トルクを面で受けることができる。

【0062】

（第３項）第１項に記載の真空ポンプにおいて、底面と底固定部材は、第１締結部材によって締結されてもよい。第１締結部材は、第１平面と平行に配置されていてもよい。

【0063】

第３項に係る真空ポンプによれば、ロータが破壊した場合に、真空ポンプ本体と底固定部材を締結する第１締結部材にかかる破壊トルクを低減することができる。

【0064】

（第４項）第１項に記載の真空ポンプにおいて、底固定部材は、底面よりも外側において固定対象物と第２締結部材によって締結されていてもよい。第２締結部材は、第１平面と平行に配置されていてもよい。

【0065】

第４項に係る真空ポンプによれば、ロータが破壊した場合に、底固定部材と固定対象物を締結する第２締結部材にかかる破壊トルクを低減することができる。

【0066】

（第５項）第３項に記載の真空ポンプにおいて、底固定部材は、第２締結部材が通る貫通孔を有していてもよい、第２締結部材は、貫通孔を通って固定対象物に挿入されてもよい。第１平面と第２平面との間の隙間は、貫通孔の内周面と第２締結部材の間の隙間より小さくてもよい。

【0067】

第５項に係る真空ポンプによれば、ロータが破壊した場合、第２締結部材が貫通孔の内周面に接触するよりも先に、第１平面が第２平面に接触するため、締結部材にかかる破壊トルクを低減することができる。

【0068】

（第６項）第２の態様に係る真空ポンプは、底面と、側面とを備える。底面は、固定対象物に締結される。側面は、底面から形成された第１平面を有する。固定対象物に底面が締結された状態において、第１平面は、固定対象物に形成された第２平面と対向する。

【0069】

第６項に係る真空ポンプによれば、真空ポンプ本体のロータが破壊した場合、底固定部材の第２平面に真空ポンプ本体の第１平面が接触することになる。このように、底固定部材が真空ポンプ本体に生じる破壊トルクを面で受けることができ、底固定部材と真空ポンプ本体を締結する締結部材、または、底固定部材と固定対象物との固定に用いる締結部材にかかる破壊トルクを低減することができる。そのため、第１締結部材と第２締結部材の本数を減らし、強度を下げ、ボルトピッチ円直径（ロータの中心軸からボルトまで長さを半径とする円の直径）を小さくすることができる。これにより、真空ポンプの底面側の固定構造を小型化することができる。

【符号の説明】

【0070】

１：真空ポンプ、２：筐体、３：ロータ、４：モータ、５：ステータ翼ユニット、６：ステータ円筒部、８：ケーシング、９：ベース、１０：固定フランジ、１１：第１端部、１２：第２端部、１３：側面、１４：吸気口、１６：接続具、２１：シャフト、２２：ロータ翼ユニット、２３：ロータ円筒部、２４Ａ－２４Ｃ：軸受、２５：ロータ翼、２８：ステータ翼、２９：保護軸受、３０：排気口、３１：底面、３１ａ：ボルト孔、３２：側面、３３：ベース部、３４：ポンプ側平面、３５：側面下端部、３５ａ：平面部分、３５ｂ：湾曲部分、４０：本体部、４０ａ：貫通孔、４０ｂ：貫通孔、４１：突出部、４１ａ：貫通孔、５１：第１面、５２：第２面、５３：開口、５４：凹部、５５：載置面、５６：内周面、５６ａ：固定側平面、５６ｂ：湾曲面、１００：真空ポンプ本体、１１０：底側固定構造、１２０：底固定板、１３０：ポンプ固定ボルト、１４０：底固定治具、１５０：底固定ボルト、１６０：ボルト、２００：固定対象物、２００ａ：表面、２００ｂ：裏面、２１０：電源ユニット、３２０：底固定板、３４０：本体部、３５１：第１面、３５４：凸部、Ａ：軸、Ｐ１：タービン部、Ｐ２：ドラッグポンプ部、Ｓ１：第１内部空間、Ｓ２：第２内部空間、ｄ：隙間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】