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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024176925
(43)【公開日】2024-12-19
(54)【発明の名称】検査装置
(51)【国際特許分類】
B65G 1/04 20060101AFI20241212BHJP
B65G 1/00 20060101ALI20241212BHJP
【ＦＩ】
B65G1/04 551D
B65G1/00 521D
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023095808
(22)【出願日】2023-06-09
(71)【出願人】
【識別番号】000003643
【氏名又は名称】株式会社ダイフク
(74)【代理人】
【識別番号】110001818
【氏名又は名称】弁理士法人Ｒ＆Ｃ
(72)【発明者】
【氏名】山田 颯汰
【テーマコード（参考）】
3F022
【Ｆターム（参考）】
3F022AA08
3F022CC02
3F022EE05
3F022KK12
3F022LL12
3F022LL14
3F022MM02
3F022NN12
3F022PP06
(57)【要約】
【課題】互いに異なる種類の搬送対象物と搬送対象物のそれぞれに対応した移載対象箇所とが含まれる搬送設備を低コストで検査可能な検査装置を提供する。
【解決手段】第１被検出ユニット３０との相対位置関係、及び、第２被検出ユニットとの相対位置関係を検出する検出ユニット４０と、第１移載対象箇所３ａに対して位置決めされた状態で第１移載対象箇所３ａに載置される第１載置部５０ａと、検出ユニット４０を位置決めした状態で保持する第１ユニット保持部５０ｂと、を備えた第１アダプタユニット５０と、第２移載対象箇所に対して位置決めされた状態で第２移載対象箇所に載置される第２載置部と、検出ユニット４０を位置決めした状態で保持する第２ユニット保持部と、を備えた第２アダプタユニットと、を備える。
【選択図】図４
【解決手段】第１被検出ユニット３０との相対位置関係、及び、第２被検出ユニットとの相対位置関係を検出する検出ユニット４０と、第１移載対象箇所３ａに対して位置決めされた状態で第１移載対象箇所３ａに載置される第１載置部５０ａと、検出ユニット４０を位置決めした状態で保持する第１ユニット保持部５０ｂと、を備えた第１アダプタユニット５０と、第２移載対象箇所に対して位置決めされた状態で第２移載対象箇所に載置される第２載置部と、検出ユニット４０を位置決めした状態で保持する第２ユニット保持部と、を備えた第２アダプタユニットと、を備える。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
保持部により搬送対象物を保持して前記搬送対象物を搬送する搬送車と、前記搬送車による前記搬送対象物の移載が行われる移載対象箇所と、を備え、前記搬送対象物には互いに異なる種類の第１対象物と第２対象物とが含まれ、前記移載対象箇所には、前記第１対象物の移載が行われる第１移載対象箇所と、前記第２対象物の移載が行われる第２移載対象箇所とが含まれる搬送設備において用いられる検査装置であって、
前記第１対象物の代わりに前記保持部に保持される第１被検出ユニットと、
前記第２対象物の代わりに前記保持部に保持される第２被検出ユニットと、
前記第１被検出ユニットと前記第２被検出ユニットとの双方を検出対象とするように構成され、前記第１被検出ユニットとの相対位置関係、及び、前記第２被検出ユニットとの相対位置関係を検出する検出ユニットと、
前記第１移載対象箇所に対して位置決めされた状態で前記第１移載対象箇所に載置される第１載置部と、前記検出ユニットを位置決めした状態で保持する第１ユニット保持部と、を備えた第１アダプタユニットと、
前記第２移載対象箇所に対して位置決めされた状態で前記第２移載対象箇所に載置される第２載置部と、前記検出ユニットを位置決めした状態で保持する第２ユニット保持部と、を備えた第２アダプタユニットと、
を備える、検査装置。
前記第１対象物の代わりに前記保持部に保持される第１被検出ユニットと、
前記第２対象物の代わりに前記保持部に保持される第２被検出ユニットと、
前記第１被検出ユニットと前記第２被検出ユニットとの双方を検出対象とするように構成され、前記第１被検出ユニットとの相対位置関係、及び、前記第２被検出ユニットとの相対位置関係を検出する検出ユニットと、
前記第１移載対象箇所に対して位置決めされた状態で前記第１移載対象箇所に載置される第１載置部と、前記検出ユニットを位置決めした状態で保持する第１ユニット保持部と、を備えた第１アダプタユニットと、
前記第２移載対象箇所に対して位置決めされた状態で前記第２移載対象箇所に載置される第２載置部と、前記検出ユニットを位置決めした状態で保持する第２ユニット保持部と、を備えた第２アダプタユニットと、
を備える、検査装置。
【請求項2】
前記第１移載対象箇所には、前記第１対象物が載置された状態で前記第１対象物の位置決めを行うための第１係合部が設けられ、
前記第２移載対象箇所には、前記第２対象物が載置された状態で前記第２対象物の位置決めを行うための第２係合部が設けられ、
前記検出ユニットは、前記第１ユニット保持部及び前記第２ユニット保持部に係合するための第３係合部を備え、
前記第１アダプタユニットは、前記第１載置部に設けられて前記第１移載対象箇所に載置された状態で前記第１係合部と係合する第１被係合部と、前記第１ユニット保持部に設けられて前記検出ユニットを保持した状態で前記第３係合部と係合する第３被係合部と、を備え、
前記第２アダプタユニットは、前記第２載置部に設けられて前記第２移載対象箇所に載置された状態で前記第２係合部と係合する第２被係合部と、前記第２ユニット保持部に設けられて前記検出ユニットを保持した状態で前記第３係合部と係合する第４被係合部と、を備える、請求項１に記載の検査装置。
前記第２移載対象箇所には、前記第２対象物が載置された状態で前記第２対象物の位置決めを行うための第２係合部が設けられ、
前記検出ユニットは、前記第１ユニット保持部及び前記第２ユニット保持部に係合するための第３係合部を備え、
前記第１アダプタユニットは、前記第１載置部に設けられて前記第１移載対象箇所に載置された状態で前記第１係合部と係合する第１被係合部と、前記第１ユニット保持部に設けられて前記検出ユニットを保持した状態で前記第３係合部と係合する第３被係合部と、を備え、
前記第２アダプタユニットは、前記第２載置部に設けられて前記第２移載対象箇所に載置された状態で前記第２係合部と係合する第２被係合部と、前記第２ユニット保持部に設けられて前記検出ユニットを保持した状態で前記第３係合部と係合する第４被係合部と、を備える、請求項１に記載の検査装置。
【請求項3】
前記第１対象物と前記第２対象物とは、形状、重量、及び、重心位置の少なくとも１つが互いに異なり、
前記第１被検出ユニットは、前記保持部に保持される被保持部の形状が前記第１対象物に対応する形状であると共に、重量及び重心位置が前記第１対象物と同等であり、
前記第２被検出ユニットは、前記保持部に保持される被保持部の形状が前記第２対象物に対応する形状であると共に、重量及び重心位置が前記第２対象物と同等である、請求項１に記載の検査装置。
前記第１被検出ユニットは、前記保持部に保持される被保持部の形状が前記第１対象物に対応する形状であると共に、重量及び重心位置が前記第１対象物と同等であり、
前記第２被検出ユニットは、前記保持部に保持される被保持部の形状が前記第２対象物に対応する形状であると共に、重量及び重心位置が前記第２対象物と同等である、請求項１に記載の検査装置。
【請求項4】
前記第１被検出ユニットは、前記検出ユニットにより前記相対位置関係が検出される状態で前記検出ユニットに対向する部位に、前記検出ユニットの側から前記保持部の側へ向けて窪んだ第１窪み部を備え、
前記第１窪み部の内面に、前記検出ユニットによる検出対象となる面であって、互いに直交する３つの第１検出対象面が形成され、
前記第２被検出ユニットは、前記検出ユニットにより前記相対位置関係が検出される状態で前記検出ユニットに対向する部位に、前記検出ユニットの側から前記保持部の側へ向けて窪んだ第２窪み部を備え、
前記第２窪み部の内面に、前記検出ユニットによる検出対象となる面であって、互いに直交する３つの第２検出対象面が形成されている、請求項１から３の何れか一項に記載の検査装置。
前記第１窪み部の内面に、前記検出ユニットによる検出対象となる面であって、互いに直交する３つの第１検出対象面が形成され、
前記第２被検出ユニットは、前記検出ユニットにより前記相対位置関係が検出される状態で前記検出ユニットに対向する部位に、前記検出ユニットの側から前記保持部の側へ向けて窪んだ第２窪み部を備え、
前記第２窪み部の内面に、前記検出ユニットによる検出対象となる面であって、互いに直交する３つの第２検出対象面が形成されている、請求項１から３の何れか一項に記載の検査装置。
【請求項5】
前記検出ユニットを保持して搬送するためのユニット搬送台車を更に備え、
前記ユニット搬送台車は、
前記検出ユニットを位置決めした状態で保持する台車側保持部と、
前記台車側保持部に対する位置が固定され、前記台車側保持部に保持された前記検出ユニットによる検出対象となる台車側被検出部とを備える、請求項１から３の何れか一項に記載の検査装置。
前記ユニット搬送台車は、
前記検出ユニットを位置決めした状態で保持する台車側保持部と、
前記台車側保持部に対する位置が固定され、前記台車側保持部に保持された前記検出ユニットによる検出対象となる台車側被検出部とを備える、請求項１から３の何れか一項に記載の検査装置。
【請求項6】
前記ユニット搬送台車は、前記第１被検出ユニット及び前記第２被検出ユニットから選択される一方を取り付け可能な取り付け部を備え、
前記取り付け部に取り付けられた、前記第１被検出ユニット又は前記第２被検出ユニットが、前記台車側被検出部として機能する、請求項５に記載の検査装置。
前記取り付け部に取り付けられた、前記第１被検出ユニット又は前記第２被検出ユニットが、前記台車側被検出部として機能する、請求項５に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、保持部により搬送対象物を保持して搬送対象物を搬送する搬送車と、搬送車による搬送対象物の移載が行われる移載対象箇所とを備える搬送設備において用いられる検査装置に関する。
【背景技術】
【0002】
搬送対象物を搬送車の保持部により保持して自動的に搬送する搬送設備において、搬送車が移載対象箇所との間での搬送対象物の移載を適切に行うためには、搬送車と移載対象箇所との相対位置の精度を高めた状態で搬送対象物の移載を行うことが好ましい。具体的には、このような搬送対象物の移載を適切に行うためには、搬送車の停止位置や搬送対象物を保持する搬送車の保持部の位置や姿勢が、移載対象箇所に対して精度良く調整されていることが好ましい。
【0003】
特許文献１（特許第６１４６５３７号公報）には、このような調整のためのティーチングを行う検査装置が開示されている。より詳細には、特許文献１に開示された検査装置では、搬送車（１０）の保持部（１５）にティーチングニット（２０）が保持され、移載対象箇所（３）にターゲットユニット（３０）が設置されている。
ティーチングユニット（２０）には、複数の距離センサ（２３Ｘ１、２３Ｙ１、２３Ｙ２、２３Ｚ１、２３Ｚ２、２３Ｚ３）が設けられ、複数の距離センサは、ＸＹＺ軸３次元直交座標系におけるＸ、Ｙ、Ｚ軸方向を検出方向としている。ターゲットユニット（３０）には、それぞれＸ、Ｙ、Ｚ軸方向を検出方向とするそれぞれの距離センサの検出対象となるターゲットプレート（３２、３３、３４）が備えられている。ティーチングユニット（２０）は、複数の距離センサによるこれらのターゲットプレート（３２、３３、３４）の検出結果に基づいて、搬送車（１０）の保持部（１５）と移載対象箇所（３）との３次元空間での相対位置関係を検出する。
ティーチングユニット（２０）には、複数の距離センサ（２３Ｘ１、２３Ｙ１、２３Ｙ２、２３Ｚ１、２３Ｚ２、２３Ｚ３）が設けられ、複数の距離センサは、ＸＹＺ軸３次元直交座標系におけるＸ、Ｙ、Ｚ軸方向を検出方向としている。ターゲットユニット（３０）には、それぞれＸ、Ｙ、Ｚ軸方向を検出方向とするそれぞれの距離センサの検出対象となるターゲットプレート（３２、３３、３４）が備えられている。ティーチングユニット（２０）は、複数の距離センサによるこれらのターゲットプレート（３２、３３、３４）の検出結果に基づいて、搬送車（１０）の保持部（１５）と移載対象箇所（３）との３次元空間での相対位置関係を検出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特許第６１４６５３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
上記特許文献１に開示の検査装置によれば、ティーチングユニットとターゲットユニットとを用いたティーチングにより、搬送車の保持部と移載対象箇所との３次元空間での相対位置関係を検出することができる。しかし、互いに異なる複数種類の搬送対象物とそれぞれの種類の搬送対象物に対応した移載対象箇所とが含まれる搬送設備にあっては、搬送対象物の種類毎に、搬送対象物の形状等が異なるだけでなく、それぞれの搬送対象物が移載される移載対象箇所の形状等も異なる場合がある。このような場合には、複数のセンサ類を含むティーチングユニットを搬送対象物の種類毎にそれぞれ用意する必要があり、検査装置のコストが高くなり易かった。
【0006】
上記背景に鑑みて、互いに異なる複数種類の搬送対象物と搬送対象物の種類のそれぞれに対応した移載対象箇所とが含まれる搬送設備を低コストで検査できる検査装置の提供が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記に鑑みた、検査装置の特徴構成は、保持部により搬送対象物を保持して前記搬送対象物を搬送する搬送車と、前記搬送車による前記搬送対象物の移載が行われる移載対象箇所と、を備え、前記搬送対象物には互いに異なる種類の第１対象物と第２対象物とが含まれ、前記移載対象箇所には、前記第１対象物の移載が行われる第１移載対象箇所と、前記第２対象物の移載が行われる第２移載対象箇所とが含まれる搬送設備において用いられる検査装置であって、前記第１対象物の代わりに前記保持部に保持される第１被検出ユニットと、前記第２対象物の代わりに前記保持部に保持される第２被検出ユニットと、前記第１被検出ユニットと前記第２被検出ユニットとの双方を検出対象とするように構成され、前記第１被検出ユニットとの相対位置関係、及び、前記第２被検出ユニットとの相対位置関係を検出する検出ユニットと、前記第１移載対象箇所に対して位置決めされた状態で前記第１移載対象箇所に載置される第１載置部と、前記検出ユニットを位置決めした状態で保持する第１ユニット保持部と、を備えた第１アダプタユニットと、前記第２移載対象箇所に対して位置決めされた状態で前記第２移載対象箇所に載置される第２載置部と、前記検出ユニットを位置決めした状態で保持する第２ユニット保持部と、を備えた第２アダプタユニットと、を備える点にある。
【0008】
本構成によれば、搬送設備において２種類の搬送対象物が搬送され、且つ、搬送対象物の種類のそれぞれに対応して２種類の移載対象箇所が設けられている搬送設備においても、１種類の検査装置により、２種類の移載対象箇所のそれぞれと搬送車の保持部との相対位置関係を検出することができる。一般的に、検査装置は計測機器等を備えるために高コストになり易いが、本構成によれば、このような検査装置を２種類用意する必要がない。そのため、検査装置の低コスト化を図り易い。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】搬送設備の平面図
【図2】搬送車及び処理装置の側面図
【図3】制御ブロック図
【図4】ティーチング時の検査装置の側面図（紙面左側の図）、及び移載姿勢確認時の検査装置の側面図（紙面右側の図）
【図5】第１被検出ユニット及び検出ユニットの斜視図
【図6】第１アダプタユニット及び第１移載対象箇所の斜視図
【図7】第２被検出ユニット及び検出ユニットの斜視図
【図8】第２アダプタユニット及び第２移載対象箇所の斜視図
【図9】検出ユニット及び第１被検出ユニットを保持するユニット搬送台車の側面図
【発明を実施するための形態】
【0010】
１．実施形態
搬送設備において用いられる検査装置の実施形態について図面に基づいて説明する。
図１、２に示すように、搬送設備２００は、天井近くを走行経路Ｌに沿って走行すると共に搬送対象物Ｗを保持して搬送対象物Ｗを搬送する搬送車１と、搬送車１による搬送対象物Ｗの移載が行われる支持台３（移載対象箇所の一例）と、当該支持台３に隣接する状態で設置され搬送対象物Ｗに対して処理を行う処理装置２と、検査装置１００とを備えている。
搬送設備２００の制御装置Ｓｈと搬送車１の作動制御部Ｓｓとは、図３に示すように、例えば無線ＬＡＮ等によってワイヤレス通信を行う。搬送車１の作動制御部Ｓｓは、マイクロコンピュータ等によって構成され、搬送制御では、搬送設備２００の制御装置Ｓｈからの指令に基づいて搬送車１を自律制御により作動させる。
搬送設備において用いられる検査装置の実施形態について図面に基づいて説明する。
図１、２に示すように、搬送設備２００は、天井近くを走行経路Ｌに沿って走行すると共に搬送対象物Ｗを保持して搬送対象物Ｗを搬送する搬送車１と、搬送車１による搬送対象物Ｗの移載が行われる支持台３（移載対象箇所の一例）と、当該支持台３に隣接する状態で設置され搬送対象物Ｗに対して処理を行う処理装置２と、検査装置１００とを備えている。
搬送設備２００の制御装置Ｓｈと搬送車１の作動制御部Ｓｓとは、図３に示すように、例えば無線ＬＡＮ等によってワイヤレス通信を行う。搬送車１の作動制御部Ｓｓは、マイクロコンピュータ等によって構成され、搬送制御では、搬送設備２００の制御装置Ｓｈからの指令に基づいて搬送車１を自律制御により作動させる。
【0011】
本実施形態では、搬送対象物Ｗは、互いに異なる種類の第１対象物Ｗ１と第２対象物Ｗ２を含み、第１対象物Ｗ１はＥＵＶポッド(Extreme ultraviolet lithography pod)、第２対象物Ｗ２はレチクルポッドである。更に、支持台３として、第１対象物Ｗ１の移載が行われる第１支持台３ａ（第１移載対象箇所の一例）と、第２対象物Ｗ２の移載が行われる第２支持台３ｂ（第２移載対象箇所の一例）を備えている。
【0012】
以下、図１～９に示すように、走行経路Ｌに沿って設置されているレール５が延在する方向を延在方向Ｘと称し、上下方向Ｚに沿う上下方向視で延在方向Ｘに対して直交する方向を幅方向Ｙと称する。尚、本例では、搬送車１は、延在方向Ｘに沿って走行する。
【0013】
図２又は図３に示すように、搬送車１は、レール５上をそのレール５に沿って延在方向Ｘに走行する走行部６と、搬送対象物Ｗを吊り下げ状態で支持する昇降部７と、昇降部７を上下方向Ｚに移動させる昇降装置８と、昇降部７を走行部６に対して幅方向Ｙにスライド移動させる動力を供給するスライド用モータ１６ｂと、昇降部７を上下方向Ｚに沿う縦軸心周りに回転させる動力を供給する回転用モータ１６ａとを備えている。このように、搬送車１は、昇降部７を、上下方向Ｚに昇降自在で、且つ延在方向Ｘ及び幅方向Ｙにスライド移動自在で、且つ上下方向Ｚに沿う縦軸心周りで回転自在である。
走行部６は、第１走行ユニット６Ａと、この第１走行ユニット６Ａに対して延在方向Ｘで隣接する第２走行ユニット６Ｂとを備えている。第１走行ユニット６Ａは、レール５上を転動する一対の車輪１１と、一対の車輪１１を回転させる走行用モータ１２とを備えている。また、第２走行ユニット６Ｂは、第１走行ユニット６Ａと同様に、一対の車輪１１と走行用モータ１２とを備えている。
走行部６は、第１走行ユニット６Ａと、この第１走行ユニット６Ａに対して延在方向Ｘで隣接する第２走行ユニット６Ｂとを備えている。第１走行ユニット６Ａは、レール５上を転動する一対の車輪１１と、一対の車輪１１を回転させる走行用モータ１２とを備えている。また、第２走行ユニット６Ｂは、第１走行ユニット６Ａと同様に、一対の車輪１１と走行用モータ１２とを備えている。
【0014】
図２に示すように、昇降装置８は、巻回体１４と、巻回体１４に巻回されて先端部に昇降部７が連結されている巻き取りベルト１５と、巻回体１４を回転駆動させる昇降用モータ１６ｃと、を備えている。昇降装置８は、昇降用モータ１６ｃの駆動により、巻回体１４を正方向に回転させて巻き取りベルト１５を繰り出すことで昇降部７を下降させ、巻回体１４を逆方向に回転させて巻き取りベルト１５を巻き取ることで昇降部７を上昇させるように構成されている。
【0015】
昇降部７は、水平方向（図２では延在方向Ｘ）に沿って互いに接近又は離間する方向に移動自在な一対の把持爪１８と、一対の把持爪１８のそれぞれを互いに接近又は離間する方向に移動させる把持用モータ１９と、把持用モータ１９を収容する筐体２０と、を備えている。昇降部７は、把持用モータ１９の駆動により一対の把持爪１８を互いに接近又は離間する方向に移動させることで、一対の把持爪１８によって搬送対象物Ｗを把持する状態と、一対の把持爪１８による搬送対象物Ｗに対する把持を解除する状態と、に状態移行するように構成されている。
【0016】
次に、検査装置１００について説明する。当該検査装置１００は、上述したように、搬送対象物Ｗとして、互いに異なる種類の第１対象物Ｗ１と第２対象物Ｗ２を含み、それぞれの搬送対象物Ｗに対応して、第１支持台３ａ（第１移載対象箇所の一例）と第２支持台３ｂ（第２移載対象箇所の一例）との２種類の支持台３が設けられる搬送設備２００においても、１種類の検出ユニット４０（図４に図示）により、２種類の支持台３のそれぞれと搬送車１の把持爪１８（保持部の一例）との相対位置関係を検出することができるものである。
因みに、検査装置１００の検出ユニット４０と搬送車１とは、２種類の支持台３のそれぞれと搬送車１の把持爪１８（保持部の一例）との相対位置関係が検出された後、例えば近距離無線通信や無線ＬＡＮによるワイヤレス通信や、ケーブル等を介した有線通信を行い、検出した相対位置関係に基づいて、搬送車１の調整（プロファイル情報の設定や更新）を行う。
因みに、検査装置１００の検出ユニット４０と搬送車１とは、２種類の支持台３のそれぞれと搬送車１の把持爪１８（保持部の一例）との相対位置関係が検出された後、例えば近距離無線通信や無線ＬＡＮによるワイヤレス通信や、ケーブル等を介した有線通信を行い、検出した相対位置関係に基づいて、搬送車１の調整（プロファイル情報の設定や更新）を行う。
【0017】
検査装置１００は、図４又は図５又は図６に示すように、第１対象物Ｗ１（図１に図示）の代わりに把持爪１８に把持される第１被検出ユニット３０と、第１被検出ユニット３０を検出対象とするように構成され第１被検出ユニット３０との相対位置関係を検出する検出ユニット４０と、第１支持台３ａに対して位置決めされた状態で第１支持台３ａに載置される第１底面部５０ａ（第１載置部の一例）と検出ユニット４０を位置決めした状態で保持する第１天面部５０ｂ（第１ユニット保持部の一例）とを備えた第１アダプタユニット５０とを備える。更に、検査装置１００は、図７又は図８に示すように、第２対象物Ｗ２（図１に図示）の代わりに把持爪１８（図示せず）に把持される第２被検出ユニット７０と、第２支持台３ｂに対して位置決めされた状態で第２支持台３ｂに載置される第２底面部８０ａ（第２載置部の一例）と検出ユニット４０を位置決めした状態で保持する第２天面部８０ｂ（第２ユニット保持部の一例）とを備えた第２アダプタユニット８０とを備える。
ここで、検出ユニット４０は、第２被検出ユニット７０も検出対象とするように構成され、第２被検出ユニット７０との相対位置関係を検出する。即ち、検出ユニット４０は、第１被検出ユニット３０と第２被検出ユニット７０との双方を択一的に検出対象とするように構成され、第１被検出ユニット３０との相対位置関係、及び、第２被検出ユニット７０との相対位置関係を検出する。
ここで、検出ユニット４０は、第２被検出ユニット７０も検出対象とするように構成され、第２被検出ユニット７０との相対位置関係を検出する。即ち、検出ユニット４０は、第１被検出ユニット３０と第２被検出ユニット７０との双方を択一的に検出対象とするように構成され、第１被検出ユニット３０との相対位置関係、及び、第２被検出ユニット７０との相対位置関係を検出する。
【0018】
より詳細には、図４又は図５又は図６に示すように、第１支持台３ａには、第１対象物Ｗ１が載置された状態で第１対象物Ｗ１の位置決めを行うためのキネマティックピン６１（第１係合部の一例）が設けられ、検出ユニット４０は、第１アダプタユニット５０の第１天面部５０ｂに係合するための第３係合孔４１（第３係合部の一例）を備え、第１アダプタユニット５０は、第１底面部５０ａに設けられて第１支持台３ａに載置された状態でキネマティックピン６１と係合する第１係合孔５２（第１被係合部の一例）と、第１天面部５０ｂに設けられて検出ユニット４０を保持した状態で第３係合孔４１と係合する第１突起５１（第３被係合部の一例）と、を備える。
更に、図７又は図８に示すように、第２支持台３ｂには、第２対象物Ｗ２が載置された状態で第２対象物Ｗ２の位置決めを行うための凹欠部９１（第２係合部の一例）が設けられ、検出ユニット４０は、第２アダプタユニット８０の第２天面部８０ｂに係合するための第３係合孔４１を備え、第２アダプタユニット８０は、第２底面部８０ａに設けられて第２支持台３ｂに載置された状態で凹欠部９１に係合する第２本体部８０ｃ（第２被係合部の一例）と、第２天面部８０ｂに設けられて検出ユニット４０を保持した状態で第３係合孔４１と係合する第２突起８１（第４被係合部の一例）と、を備える。
更に、図７又は図８に示すように、第２支持台３ｂには、第２対象物Ｗ２が載置された状態で第２対象物Ｗ２の位置決めを行うための凹欠部９１（第２係合部の一例）が設けられ、検出ユニット４０は、第２アダプタユニット８０の第２天面部８０ｂに係合するための第３係合孔４１を備え、第２アダプタユニット８０は、第２底面部８０ａに設けられて第２支持台３ｂに載置された状態で凹欠部９１に係合する第２本体部８０ｃ（第２被係合部の一例）と、第２天面部８０ｂに設けられて検出ユニット４０を保持した状態で第３係合孔４１と係合する第２突起８１（第４被係合部の一例）と、を備える。
【0019】
即ち、第１アダプタユニット５０の第１突起５１と、第２アダプタユニット８０の第２突起８１との双方は、検出ユニット４０の第３係合孔４１に係合する同一形状の突起である。
以上の如く、第１支持台３ａに第１アダプタユニット５０の第１底面部５０ａを載置し、第１アダプタユニット５０の第１天面部５０ｂに検出ユニット４０を位置決めした状態で保持できると共に、第２支持台３ｂに第２アダプタユニット８０の第２底面部８０ａを載置し、第２アダプタユニット８０の第２天面部８０ｂに検出ユニット４０を位置決めした状態で保持できる。これにより、第１支持台３ａと第２支持台３ｂとの双方で、検出ユニット４０を共用できる。
以上の如く、第１支持台３ａに第１アダプタユニット５０の第１底面部５０ａを載置し、第１アダプタユニット５０の第１天面部５０ｂに検出ユニット４０を位置決めした状態で保持できると共に、第２支持台３ｂに第２アダプタユニット８０の第２底面部８０ａを載置し、第２アダプタユニット８０の第２天面部８０ｂに検出ユニット４０を位置決めした状態で保持できる。これにより、第１支持台３ａと第２支持台３ｂとの双方で、検出ユニット４０を共用できる。
【0020】
第１支持台３ａ及び第２支持台３ｂは、図示は省略するが、例えば、上下方向Ｚに沿う方向視で、搬送設備２００の走行経路Ｌに沿って併設される。
第１支持台３ａは、図４又は図６に示すように、上下方向Ｚで上方の第３天面部６２に、上下方向Ｚで上方へ延設される３つのキネマティックピン６１を備えている。
第２支持台３ｂは、図８に示すように、上下方向Ｚで上方の第４天面部９２に、上下方向Ｚで下方へ凹んで形成される凹欠部９１を備えている。当該凹欠部９１は、上下方向Ｚに沿う方向視で、第２アダプタユニット８０の第２本体部８０ｃが嵌り込む矩形形状であり、上下方向Ｚでの深さは、第２アダプタユニット８０の第２本体部８０ｃの上下方向Ｚでの厚みよりも小さい。
第１支持台３ａは、図４又は図６に示すように、上下方向Ｚで上方の第３天面部６２に、上下方向Ｚで上方へ延設される３つのキネマティックピン６１を備えている。
第２支持台３ｂは、図８に示すように、上下方向Ｚで上方の第４天面部９２に、上下方向Ｚで下方へ凹んで形成される凹欠部９１を備えている。当該凹欠部９１は、上下方向Ｚに沿う方向視で、第２アダプタユニット８０の第２本体部８０ｃが嵌り込む矩形形状であり、上下方向Ｚでの深さは、第２アダプタユニット８０の第２本体部８０ｃの上下方向Ｚでの厚みよりも小さい。
【0021】
第１アダプタユニット５０は、図４又は図６に示すように、平板形状の第１本体部５０ｃを備え、第１本体部５０ｃの上下方向Ｚで下方の底面として第１底面部５０ａを備えると共に、第１本体部５０ｃの上下方向Ｚで上方の天面として第１天面部５０ｂを備える。第１アダプタユニット５０は、第１支持台３ａに載置された状態で、キネマティックピン６１に係合する３つの第１係合孔５２を第１底面部５０ａに備え、第１天面部５０ｂに検出ユニット４０を載置し保持した状態で、検出ユニット４０の一対の第３係合孔４１（図５に図示）に係合する一対の第１突起５１を第１天面部５０ｂに備えている。
第２アダプタユニット８０は、図８に示すように、平板形状の第２本体部８０ｃを備え、第２本体部８０ｃの上下方向Ｚで下方の底面として第２底面部８０ａを備えると共に、第２本体部８０ｃの上下方向Ｚで上方の天面として第２天面部８０ｂを備える。第２アダプタユニット８０は、第２天面部８０ｂに検出ユニット４０を載置し保持した状態で、検出ユニット４０の一対の第３係合孔４１（図７に図示）に係合する一対の第２突起８１を第２天面部８０ｂに備えている。尚、第２アダプタユニット８０の第２本体部８０ｃは、第２支持台３ｂに載置された状態で、第２支持台３ｂの凹欠部９１に嵌り込む。
第２アダプタユニット８０は、図８に示すように、平板形状の第２本体部８０ｃを備え、第２本体部８０ｃの上下方向Ｚで下方の底面として第２底面部８０ａを備えると共に、第２本体部８０ｃの上下方向Ｚで上方の天面として第２天面部８０ｂを備える。第２アダプタユニット８０は、第２天面部８０ｂに検出ユニット４０を載置し保持した状態で、検出ユニット４０の一対の第３係合孔４１（図７に図示）に係合する一対の第２突起８１を第２天面部８０ｂに備えている。尚、第２アダプタユニット８０の第２本体部８０ｃは、第２支持台３ｂに載置された状態で、第２支持台３ｂの凹欠部９１に嵌り込む。
【0022】
第１被検出ユニット３０は、図４に示すように、把持爪１８に把持され保持されるトップフランジとしての第１被保持部３１の形状が第１対象物Ｗ１（図２に図示）に対応する形状であると共に、重量及び重心位置が第１対象物Ｗ１と同等である。第２被検出ユニット７０は、図７に示すように、把持爪１８に把持され保持されるトップフランジとしての第２被保持部７１の形状が第２対象物Ｗ２（図２に図示）に対応する形状であると共に、重量及び重心位置が第２対象物Ｗ２と同等である。
ここで、互いに種類の異なる第１対象物Ｗ１と第２対象物Ｗ２とは、形状、重量、及び、重心位置が互いに異なる。尚、当該実施形態において、同等とは、同じ機能を果たせる程度に同じであればよく、完全同一でなくても良い。
ここで、互いに種類の異なる第１対象物Ｗ１と第２対象物Ｗ２とは、形状、重量、及び、重心位置が互いに異なる。尚、当該実施形態において、同等とは、同じ機能を果たせる程度に同じであればよく、完全同一でなくても良い。
【0023】
第１被検出ユニット３０は、図４又は図５に示すように、検出ユニット４０により相対位置関係が検出される状態で検出ユニット４０に対向する部位に、検出ユニット４０の側から把持爪１８の側へ向けて窪んだ第１窪み部３５を備え、第１窪み部３５の内面に、検出ユニット４０による検出対象となる面であって、互いに直交する３つの第１検出対象面３２が形成されている。ここで、第１窪み部３５の内面は、第１窪み部３５を囲む全ての面を含む。
第１検出対象面３２は、検出ユニット４０により相対位置関係が検出される状態で検出ユニット４０に対向する平面である第１対向面３２ａと、当該第１対向面３２ａに直交する第１直交第１面３２ｃと、第１対向面３２ａ及び第１直交第１面３２ｃに直交する第１直交第２面３２ｂとを含む。尚、第１直交第２面３２ｂは、第１対向面３２ａに直交して形成される壁部３４に形成され、当該壁部３４の底面には、図４右図に示す移載位置を確認する確認状態において、第１アダプタユニット５０の第１突起５１が係合する一対の第４係合孔３３が備えられる。尚、第１被保持部３１は、図４及び図５に示すように、第１対向面３２ａと平行な平板部材３１ａから成る。
第１検出対象面３２は、検出ユニット４０により相対位置関係が検出される状態で検出ユニット４０に対向する平面である第１対向面３２ａと、当該第１対向面３２ａに直交する第１直交第１面３２ｃと、第１対向面３２ａ及び第１直交第１面３２ｃに直交する第１直交第２面３２ｂとを含む。尚、第１直交第２面３２ｂは、第１対向面３２ａに直交して形成される壁部３４に形成され、当該壁部３４の底面には、図４右図に示す移載位置を確認する確認状態において、第１アダプタユニット５０の第１突起５１が係合する一対の第４係合孔３３が備えられる。尚、第１被保持部３１は、図４及び図５に示すように、第１対向面３２ａと平行な平板部材３１ａから成る。
【0024】
第２被検出ユニット７０は、図７に示すように、検出ユニット４０により相対位置関係が検出される状態で検出ユニット４０に対向する部位に、検出ユニット４０の側から把持爪１８の側へ向けて窪んだ第２窪み部７５を備え、第２窪み部７５の内面に、検出ユニット４０による検出対象となる面であって、互いに直交する３つの第２検出対象面７２が形成されている。ここで、第２窪み部７５の内面は、第２窪み部７５を囲む全ての面を含む。
第２検出対象面７２は、検出ユニット４０により相対位置関係が検出される状態で検出ユニット４０に対向する平面である第２対向面７２ａと、当該第２対向面７２ａに直交する第２直交第１面７２ｃと、第２対向面７２ａ及び第２直交第１面７２ｃに直交する第２直交第２面７２ｂとを含む。尚、第２直交第２面７２ｂは、第２対向面７２ａに直交して形成される壁部７４に形成され、当該壁部７４の底面には、移載位置を確認する確認状態において、第２アダプタユニット８０（図８に図示）の第２突起８１（図８に図示）が係合する一対の第５係合孔７３が備えられる。尚、第２被保持部７１は、図７に示すように、第２対向面７２ａと平行な第１把持部位７６を有する第１フランジ部７１ａと、第２対向面７２ａに平行な第２把持部位７７を有する第２フランジ部７１ｂとから成る。
第２検出対象面７２は、検出ユニット４０により相対位置関係が検出される状態で検出ユニット４０に対向する平面である第２対向面７２ａと、当該第２対向面７２ａに直交する第２直交第１面７２ｃと、第２対向面７２ａ及び第２直交第１面７２ｃに直交する第２直交第２面７２ｂとを含む。尚、第２直交第２面７２ｂは、第２対向面７２ａに直交して形成される壁部７４に形成され、当該壁部７４の底面には、移載位置を確認する確認状態において、第２アダプタユニット８０（図８に図示）の第２突起８１（図８に図示）が係合する一対の第５係合孔７３が備えられる。尚、第２被保持部７１は、図７に示すように、第２対向面７２ａと平行な第１把持部位７６を有する第１フランジ部７１ａと、第２対向面７２ａに平行な第２把持部位７７を有する第２フランジ部７１ｂとから成る。
【0025】
検出ユニット４０は、図５又は図７に示すように、第１被検出ユニット３０及び第２被検出ユニット７０との相対位置関係を検出する状態で、第１窪み部３５及び第２窪み部７５と対向する部位に、センサユニット４２を備え、センサユニット４２は、ＸＹＺ軸３次元直交座標系におけるＸ、Ｙ、Ｚ軸方向を検出方向としている。当該実施形態では、Ｘ軸方向は延在方向Ｘと同義であり、Ｙ軸方向は幅方向Ｙと同義であり、Ｚ軸方向は上下方向Ｚと同義であるが、ここでは３次元直交座標系での説明であることから、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向と記載する。
センサユニット４２は、Ｘ軸方向を検出方向とする第１距離センサ４２Ｘ１及び第２距離センサ４２Ｘ２と、Ｙ軸方向を検出方向とする第３距離センサ４２Ｙと、Ｚ軸方向を検出方向とする第４距離センサ４２Ｚ１及び第５距離センサ４２Ｚ２及び第６距離センサ４２Ｚ３とから構成されている。
センサユニット４２は、Ｘ軸方向を検出方向とする第１距離センサ４２Ｘ１及び第２距離センサ４２Ｘ２と、Ｙ軸方向を検出方向とする第３距離センサ４２Ｙと、Ｚ軸方向を検出方向とする第４距離センサ４２Ｚ１及び第５距離センサ４２Ｚ２及び第６距離センサ４２Ｚ３とから構成されている。
【0026】
検出ユニット４０が第１被検出ユニット３０との相対位置関係を検出する場合、図５に示すように、Ｘ軸方向を検出方向とする第１距離センサ４２Ｘ１及び第２距離センサ４２Ｘ２が第１直交第２面３２ｂとの距離を検出し、Ｙ軸方向を検出方向とする第３距離センサ４２Ｙが第１直交第１面３２ｃとの距離を検出し、Ｚ軸方向を検出方向とする第４距離センサ４２Ｚ１及び第５距離センサ４２Ｚ２及び第６距離センサ４２Ｚ３が第１対向面３２ａとの距離を検出する。
検出ユニット４０は、以上の構成により、第１被検出ユニット３０とのＸ軸方向及びＹ軸方向での相対位置、Ｚ軸回りでの回転角度、Ｚ軸に対する傾き角度を検出する。
検出ユニット４０は、以上の構成により、第１被検出ユニット３０とのＸ軸方向及びＹ軸方向での相対位置、Ｚ軸回りでの回転角度、Ｚ軸に対する傾き角度を検出する。
【0027】
更に、検出ユニット４０は、第２被検出ユニット７０との相対位置関係を検出する場合、図７に示すように、Ｘ軸方向を検出方向とする第１距離センサ４２Ｘ１及び第２距離センサ４２Ｘ２が第２直交第２面７２ｂとの距離を検出し、Ｙ軸方向を検出方向とする第３距離センサ４２Ｙが第２直交第１面７２ｃとの距離を検出し、Ｚ軸方向を検出方向とする第４距離センサ４２Ｚ１及び第５距離センサ４２Ｚ２及び第６距離センサ４２Ｚ３が第２対向面７２ａとの距離を検出する。
検出ユニット４０は、以上の構成により、第２被検出ユニット７０とのＸ軸方向及びＹ軸方向での相対位置、Ｚ軸回りでの回転角度、Ｚ軸に対する傾き角度を検出する。
検出ユニット４０による検出結果、即ちティーチング結果は、搬送車１の作動制御部Ｓｓと共有される。搬送車１は、ティーチング結果に基づいて、第１対象物Ｗ１を第１支持台３ａへ移載する際の第１支持台３ａと把持爪１８との相対位置関係を調整すると共に、第２対象物Ｗ２を第２支持台３ｂへ移載する際の第２支持台３ｂと把持爪１８との相対位置関係を調整する。
検出ユニット４０は、以上の構成により、第２被検出ユニット７０とのＸ軸方向及びＹ軸方向での相対位置、Ｚ軸回りでの回転角度、Ｚ軸に対する傾き角度を検出する。
検出ユニット４０による検出結果、即ちティーチング結果は、搬送車１の作動制御部Ｓｓと共有される。搬送車１は、ティーチング結果に基づいて、第１対象物Ｗ１を第１支持台３ａへ移載する際の第１支持台３ａと把持爪１８との相対位置関係を調整すると共に、第２対象物Ｗ２を第２支持台３ｂへ移載する際の第２支持台３ｂと把持爪１８との相対位置関係を調整する。
【0028】
検出ユニット４０のセンサユニット４２は、上下方向Ｚ視である平面視において、第１被検出ユニット３０及び第２被検出ユニット７０と重畳しており、平面視での検出ユニット４０のコンパクト化を図っている。
検出ユニット４０の底面部４３には、第１アダプタユニット５０の第１天面部５０ｂに設けられる一対の第１突起５１、及び第２アダプタユニット８０の第２天面部８０ｂに設けられる一対の第２突起８１との双方に係合する第３係合孔４１が設けられる。
検出ユニット４０の底面部４３には、第１アダプタユニット５０の第１天面部５０ｂに設けられる一対の第１突起５１、及び第２アダプタユニット８０の第２天面部８０ｂに設けられる一対の第２突起８１との双方に係合する第３係合孔４１が設けられる。
【0029】
検査装置１００は、図９に示すように、検出ユニット４０を保持して搬送するためのユニット搬送台車Ｋを更に備え、当該ユニット搬送台車Ｋは、車輪Ｋ２を備えて移動可能に構成されている。ユニット搬送台車Ｋは、検出ユニット４０を位置決めした状態で保持する支持板Ｋ３（台車側保持部の一例）と、支持板Ｋ３に対する位置が固定され、支持板Ｋ３に保持された検出ユニット４０による検出対象となる台車側被検出部とを備える。因みに、支持板Ｋ３には、検出ユニット４０の一対の第３係合孔４１に係合する一対の第３突起Ｋ１が設けられており、第３係合孔４１に第３突起Ｋ１が係合することで、検出ユニット４０が支持板Ｋ３に位置決め固定される。
ユニット搬送台車Ｋは、第１被検出ユニット３０及び第２被検出ユニット７０から選択される一方を取り付け可能な取り付け部Ｔを備えている。取り付け部Ｔは、第１被検出ユニット３０を取り付け可能な第１取り付け部Ｔ１を備え、第１取り付け部Ｔ１に取り付けられた第１被検出ユニット３０が台車側被検出部として機能する。更に、取り付け部Ｔは、第２被検出ユニット７０を取り付け可能な第２取り付け部Ｔ２を備え、第２取り付け部Ｔ２に取り付けられた第２被検出ユニット７０が台車側被検出部として機能する。
以上の如く、ユニット搬送台車Ｋに、検出ユニット４０を位置決めした状態とし、且つ第１被検出ユニット３０を第１取り付け部Ｔ１に取り付けた状態において、検出ユニット４０に対する第１被検出ユニット３０の相対位置関係の検出に係る校正を行うことができる。また、ユニット搬送台車Ｋに、検出ユニット４０を位置決めした状態とし、且つ第２被検出ユニット７０を第２取り付け部Ｔ２に取り付けた状態において、検出ユニット４０に対する第２被検出ユニット７０の相対位置関係の検出に係る校正を行うことができる。
ユニット搬送台車Ｋは、第１被検出ユニット３０及び第２被検出ユニット７０から選択される一方を取り付け可能な取り付け部Ｔを備えている。取り付け部Ｔは、第１被検出ユニット３０を取り付け可能な第１取り付け部Ｔ１を備え、第１取り付け部Ｔ１に取り付けられた第１被検出ユニット３０が台車側被検出部として機能する。更に、取り付け部Ｔは、第２被検出ユニット７０を取り付け可能な第２取り付け部Ｔ２を備え、第２取り付け部Ｔ２に取り付けられた第２被検出ユニット７０が台車側被検出部として機能する。
以上の如く、ユニット搬送台車Ｋに、検出ユニット４０を位置決めした状態とし、且つ第１被検出ユニット３０を第１取り付け部Ｔ１に取り付けた状態において、検出ユニット４０に対する第１被検出ユニット３０の相対位置関係の検出に係る校正を行うことができる。また、ユニット搬送台車Ｋに、検出ユニット４０を位置決めした状態とし、且つ第２被検出ユニット７０を第２取り付け部Ｔ２に取り付けた状態において、検出ユニット４０に対する第２被検出ユニット７０の相対位置関係の検出に係る校正を行うことができる。
【0030】
２．その他の実施形態
（１）上記実施形態では、搬送対象物Ｗが、２つの互いに種類の異なる第１対象物Ｗ１と第２対象物Ｗ２であり、第１対象物Ｗ１の移載が行われる第１支持台３ａ（第１移載対象箇所の一例）と、第２対象物Ｗ２の移載が行われる第２支持台３ｂ（第２移載対象箇所の一例）とを備える搬送設備２００において用いられる検査装置１００を例として説明した。
しかしながら、搬送対象物Ｗして、互いに異なる３種類以上の対象物を含み、それぞれの対象物の移載が行われる移載対象箇所を、それぞれの搬送対象物Ｗ毎に備える搬送設備２００において用いられる検査装置１００とすることができる。
当該検査装置１００では、搬送対象物Ｗとしての対象物毎に、対象物の代わりに把持爪１８に把持される被検出ユニットと、対象物の移載が行われる移載箇所に対して位置決めされた状態で移載対象箇所に載置される載置部と検出ユニット４０を位置決めした状態で保持するユニット保持部とを備えたアダプタユニットとが備えられる。
（１）上記実施形態では、搬送対象物Ｗが、２つの互いに種類の異なる第１対象物Ｗ１と第２対象物Ｗ２であり、第１対象物Ｗ１の移載が行われる第１支持台３ａ（第１移載対象箇所の一例）と、第２対象物Ｗ２の移載が行われる第２支持台３ｂ（第２移載対象箇所の一例）とを備える搬送設備２００において用いられる検査装置１００を例として説明した。
しかしながら、搬送対象物Ｗして、互いに異なる３種類以上の対象物を含み、それぞれの対象物の移載が行われる移載対象箇所を、それぞれの搬送対象物Ｗ毎に備える搬送設備２００において用いられる検査装置１００とすることができる。
当該検査装置１００では、搬送対象物Ｗとしての対象物毎に、対象物の代わりに把持爪１８に把持される被検出ユニットと、対象物の移載が行われる移載箇所に対して位置決めされた状態で移載対象箇所に載置される載置部と検出ユニット４０を位置決めした状態で保持するユニット保持部とを備えたアダプタユニットとが備えられる。
【0031】
（２）上記実施形態では、第１被検出ユニット３０と第２被検出ユニット７０は、互いに、把持爪１８に把持されるトップフランジ（第１被保持部３１及び第２被保持部７１）の形状が異なると共に、その重量及び重心位置が異なる例を説明した。
しかしながら、当該構成に限定されることなく、第１被検出ユニット３０と第２被検出ユニット７０は、形状、重量及び重心位置の何れか一つのみが異なっていても良い。例えば、形状及び重量は同じで重心位置のみが異なっていても良い。
しかしながら、当該構成に限定されることなく、第１被検出ユニット３０と第２被検出ユニット７０は、形状、重量及び重心位置の何れか一つのみが異なっていても良い。例えば、形状及び重量は同じで重心位置のみが異なっていても良い。
【0032】
（３）上記実施形態において、キネマティックピン６１は３つ、第１突起５１及び第２突起８１のそれぞれは、一対設けられる構成例を示した。
しかしながら、当該構成に限定されることなく、キネマティックピン６１、第１突起５１及び第２突起８１のそれぞれが、２つ以上の複数設けられる構成であれば良い。
この場合、キネマティックピン６１と係合する第１係合孔５２はキネマティックピン６１と同数設けられ、第１突起５１に係合する第３係合孔４１及び第４係合孔３３のそれぞれも第１突起５１と同数設けられ、第２突起８１に係合する第３係合孔４１及び第５係合孔７３のそれぞれも第２突起８１と同数設けられる。
しかしながら、当該構成に限定されることなく、キネマティックピン６１、第１突起５１及び第２突起８１のそれぞれが、２つ以上の複数設けられる構成であれば良い。
この場合、キネマティックピン６１と係合する第１係合孔５２はキネマティックピン６１と同数設けられ、第１突起５１に係合する第３係合孔４１及び第４係合孔３３のそれぞれも第１突起５１と同数設けられ、第２突起８１に係合する第３係合孔４１及び第５係合孔７３のそれぞれも第２突起８１と同数設けられる。
【0033】
（４）上記実施形態では、台車側被検出部として、第１取り付け部Ｔ１に取り付けられる第１被検出ユニット３０、又は第２取り付け部Ｔ２に取り付けられる第２被検出ユニット７０を備える構成を示した。
しかしながら当該構成に限定されることなく、台車側被検出部として、第１被検出ユニット３０又は第２被検出ユニット７０が、ユニット搬送台車Ｋに一体的に設けられる構成としても良い。
しかしながら当該構成に限定されることなく、台車側被検出部として、第１被検出ユニット３０又は第２被検出ユニット７０が、ユニット搬送台車Ｋに一体的に設けられる構成としても良い。
【0034】
尚、上記実施形態（別実施形態を含む、以下同じ）で開示される構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示される構成と組み合わせて適用することが可能であり、また、本明細書において開示された実施形態は例示であって、本発明の実施形態はこれに限定されず、本発明の目的を逸脱しない範囲内で適宜改変することが可能である。
【0035】
３．本実施形態のまとめ
検査装置は、保持部により搬送対象物を保持して前記搬送対象物を搬送する搬送車と、前記搬送車による前記搬送対象物の移載が行われる移載対象箇所と、を備え、前記搬送対象物には互いに異なる種類の第１対象物と第２対象物とが含まれ、前記移載対象箇所には、前記第１対象物の移載が行われる第１移載対象箇所と、前記第２対象物の移載が行われる第２移載対象箇所とが含まれる搬送設備において用いられる検査装置であって、
前記第１対象物の代わりに前記保持部に保持される第１被検出ユニットと、
前記第２対象物の代わりに前記保持部に保持される第２被検出ユニットと、
前記第１被検出ユニットと前記第２被検出ユニットとの双方を検出対象とするように構成され、前記第１被検出ユニットとの相対位置関係、及び、前記第２被検出ユニットとの相対位置関係を検出する検出ユニットと、
前記第１移載対象箇所に対して位置決めされた状態で前記第１移載対象箇所に載置される第１載置部と、前記検出ユニットを位置決めした状態で保持する第１ユニット保持部と、を備えた第１アダプタユニットと、
前記第２移載対象箇所に対して位置決めされた状態で前記第２移載対象箇所に載置される第２載置部と、前記検出ユニットを位置決めした状態で保持する第２ユニット保持部と、を備えた第２アダプタユニットと、を備える。
検査装置は、保持部により搬送対象物を保持して前記搬送対象物を搬送する搬送車と、前記搬送車による前記搬送対象物の移載が行われる移載対象箇所と、を備え、前記搬送対象物には互いに異なる種類の第１対象物と第２対象物とが含まれ、前記移載対象箇所には、前記第１対象物の移載が行われる第１移載対象箇所と、前記第２対象物の移載が行われる第２移載対象箇所とが含まれる搬送設備において用いられる検査装置であって、
前記第１対象物の代わりに前記保持部に保持される第１被検出ユニットと、
前記第２対象物の代わりに前記保持部に保持される第２被検出ユニットと、
前記第１被検出ユニットと前記第２被検出ユニットとの双方を検出対象とするように構成され、前記第１被検出ユニットとの相対位置関係、及び、前記第２被検出ユニットとの相対位置関係を検出する検出ユニットと、
前記第１移載対象箇所に対して位置決めされた状態で前記第１移載対象箇所に載置される第１載置部と、前記検出ユニットを位置決めした状態で保持する第１ユニット保持部と、を備えた第１アダプタユニットと、
前記第２移載対象箇所に対して位置決めされた状態で前記第２移載対象箇所に載置される第２載置部と、前記検出ユニットを位置決めした状態で保持する第２ユニット保持部と、を備えた第２アダプタユニットと、を備える。
【0036】
本構成によれば、搬送設備において２種類の搬送対象物が搬送され、且つ、搬送対象物の種類のそれぞれに対応して２種類の移載対象箇所が設けられている搬送設備においても、１種類の検査装置により、２種類の移載対象箇所のそれぞれと搬送車の保持部との相対位置関係を検出することができる。一般的に、検査装置は計測機器等を備えるために高コストになり易いが、本構成によれば、このような検査装置を２種類用意する必要がない。そのため、検査装置の低コスト化を図り易い。
【0037】
ここで、前記第１移載対象箇所には、前記第１対象物が載置された状態で前記第１対象物の位置決めを行うための第１係合部が設けられ、
前記第２移載対象箇所には、前記第２対象物が載置された状態で前記第２対象物の位置決めを行うための第２係合部が設けられ、
前記検出ユニットは、前記第１ユニット保持部及び前記第２ユニット保持部に係合するための第３係合部を備え、
前記第１アダプタユニットは、前記第１載置部に設けられて前記第１移載対象箇所に載置された状態で前記第１係合部と係合する第１被係合部と、前記第１ユニット保持部に設けられて前記検出ユニットを保持した状態で前記第３係合部と係合する第３被係合部と、を備え、
前記第２アダプタユニットは、前記第２載置部に設けられて前記第２移載対象箇所に載置された状態で前記第２係合部と係合する第２被係合部と、前記第２ユニット保持部に設けられて前記検出ユニットを保持した状態で前記第３係合部と係合する第４被係合部と、を備えると好適である。
前記第２移載対象箇所には、前記第２対象物が載置された状態で前記第２対象物の位置決めを行うための第２係合部が設けられ、
前記検出ユニットは、前記第１ユニット保持部及び前記第２ユニット保持部に係合するための第３係合部を備え、
前記第１アダプタユニットは、前記第１載置部に設けられて前記第１移載対象箇所に載置された状態で前記第１係合部と係合する第１被係合部と、前記第１ユニット保持部に設けられて前記検出ユニットを保持した状態で前記第３係合部と係合する第３被係合部と、を備え、
前記第２アダプタユニットは、前記第２載置部に設けられて前記第２移載対象箇所に載置された状態で前記第２係合部と係合する第２被係合部と、前記第２ユニット保持部に設けられて前記検出ユニットを保持した状態で前記第３係合部と係合する第４被係合部と、を備えると好適である。
【0038】
本構成によれば、第１アダプタユニットを介して検出ユニットを第１移載対象箇所に適切に位置決めした状態で保持することができると共に、第２アダプタユニットを介して検出ユニットを第２移載対象箇所に適切に位置決めした状態で保持することができる。従って、１種類の検査装置を２種類の移載対象箇所の双方に適切に保持させ、２種類の移載対象箇所のそれぞれと搬送車の保持部との相対位置関係を検出することができる。
【0039】
ここで、前記第１対象物と前記第２対象物とは、形状、重量、及び、重心位置の少なくとも１つが互いに異なり、
前記第１被検出ユニットは、前記保持部に保持される被保持部の形状が前記第１対象物に対応する形状であると共に、重量及び重心位置が前記第１対象物と同等であり、
前記第２被検出ユニットは、前記保持部に保持される被保持部の形状が前記第２対象物に対応する形状であると共に、重量及び重心位置が前記第２対象物と同等であると好適である。
前記第１被検出ユニットは、前記保持部に保持される被保持部の形状が前記第１対象物に対応する形状であると共に、重量及び重心位置が前記第１対象物と同等であり、
前記第２被検出ユニットは、前記保持部に保持される被保持部の形状が前記第２対象物に対応する形状であると共に、重量及び重心位置が前記第２対象物と同等であると好適である。
【0040】
本構成によれば、搬送車の保持部により第１対象物を保持している状態と同様の状態で検査装置により第１被検出ユニットを検出することができ、搬送車の保持部により第２対象物を保持している状態と同様の状態で検査装置により第２被検出ユニットを検出することができる。従って、２種類の移載対象箇所のそれぞれと搬送車の保持部との相対位置関係を検出する精度を高め易い。
【0041】
ここで、前記第１被検出ユニットは、前記検出ユニットにより前記相対位置関係が検出される状態で前記検出ユニットに対向する部位に、前記検出ユニットの側から前記保持部の側へ向けて窪んだ第１窪み部を備え、
前記第１窪み部の内面に、前記検出ユニットによる検出対象となる面であって、互いに直交する３つの第１検出対象面が形成され、
前記第２被検出ユニットは、前記検出ユニットにより前記相対位置関係が検出される状態で前記検出ユニットに対向する部位に、前記検出ユニットの側から前記保持部の側へ向けて窪んだ第２窪み部を備え、
前記第２窪み部の内面に、前記検出ユニットによる検出対象となる面であって、互いに直交する３つの第２検出対象面が形成されていると好適である。
前記第１窪み部の内面に、前記検出ユニットによる検出対象となる面であって、互いに直交する３つの第１検出対象面が形成され、
前記第２被検出ユニットは、前記検出ユニットにより前記相対位置関係が検出される状態で前記検出ユニットに対向する部位に、前記検出ユニットの側から前記保持部の側へ向けて窪んだ第２窪み部を備え、
前記第２窪み部の内面に、前記検出ユニットによる検出対象となる面であって、互いに直交する３つの第２検出対象面が形成されていると好適である。
【0042】
本構成によれば、検出ユニットにより相対位置関係を検出する際に、検出ユニットのセンサ等の検出部を、第１被検出ユニットの第１窪み部又は第２被検出ユニットの第２窪み部の内側に配置することができるから、検出ユニットの検出部を第１被検出ユニット又は第２被検出ユニットより外側に配置する場合に比べ、検出ユニットの外形の小型化を図り易い。
また、第１窪み部及び第２窪み部のそれぞれの内面に、互いに直交する３つの検出対象面が形成されるから、搬送車の保持部と移載対応箇所との３次元空間での相対位置関係を適切に検出することができる。
また、第１窪み部及び第２窪み部のそれぞれの内面に、互いに直交する３つの検出対象面が形成されるから、搬送車の保持部と移載対応箇所との３次元空間での相対位置関係を適切に検出することができる。
【0043】
ここで、前記検出ユニットを保持して搬送するためのユニット搬送台車を更に備え、
前記ユニット搬送台車は、
前記検出ユニットを位置決めした状態で保持する台車側保持部と、
前記台車側保持部に対する位置が固定され、前記台車側保持部に保持された前記検出ユニットによる検出対象となる台車側被検出部とを備えると好適である。
前記ユニット搬送台車は、
前記検出ユニットを位置決めした状態で保持する台車側保持部と、
前記台車側保持部に対する位置が固定され、前記台車側保持部に保持された前記検出ユニットによる検出対象となる台車側被検出部とを備えると好適である。
【0044】
本構成によれば、検出ユニットを容易に搬送することができると共に、ユニット搬送台車に検出ユニットを保持した状態で、検出ユニットに台車側被検出部を検出させることにより、検出ユニットの校正処理を行うことができる。
【0045】
ここで、前記ユニット搬送台車は、前記第１被検出ユニット及び前記第２被検出ユニットから選択される一方を取り付け可能な取り付け部を備え、
前記取り付け部に取り付けられた、前記第１被検出ユニット又は前記第２被検出ユニットが、前記台車側被検出部として機能すると好適である。
前記取り付け部に取り付けられた、前記第１被検出ユニット又は前記第２被検出ユニットが、前記台車側被検出部として機能すると好適である。
【0046】
本構成によれば、実際に使用する被検出ユニットを用いて校正処理を行うことができるため、校正処理の精度を高めやすい。
【産業上の利用可能性】
【0047】
本発明に係る技術は、互いに異なる種類の搬送対象物と搬送対象物のそれぞれに対応した移載対象箇所とが含まれる搬送設備を低コストで検査可能な検査装置に利用できる。
【符号の説明】
【0048】
１ ：搬送車
３ ：支持台（移載対象箇所）
３ａ ：第１支持台（第１移載対象箇所）
３ｂ ：第２支持台（第２移載対象箇所）
１８ ：把持爪（保持部）
３０ ：第１被検出ユニット
３１ ：第１被保持部
３２ ：第１検出対象面
３３ ：第４係合孔
３５ ：第１窪み部
４０ ：検出ユニット
４１ ：第３係合孔（第３係合部）
５０ ：第１アダプタユニット
５０ａ ：第１底面部（第１載置部）
５０ｂ ：第１天面部（第１ユニット保持部）
５１ ：第１突起（第３被係合部）
５２ ：第１係合孔（第１被係合部）
６１ ：キネマティックピン（第１係合部）
７０ ：第２被検出ユニット
７１ ：第２被保持部
７２ ：第２検出対象面
７３ ：第５係合孔
７５ ：第２窪み部
８０ ：第２アダプタユニット
８０ａ ：第２底面部（第２載置部）
８０ｂ ：第２天面部（第２ユニット保持部）
８０ｃ ：第２本体部（第２被係合部）
８１ ：第２突起（第４被係合部）
９１ ：凹欠部（第２係合部）
１００ ：検査装置
２００ ：搬送設備
Ｋ ：ユニット搬送台車
Ｋ３ ：支持板（台車側保持部）
Ｔ ：取り付け部
Ｗ ：搬送対象物
Ｗ１ ：第１対象物
Ｗ２ ：第２対象物
３ ：支持台（移載対象箇所）
３ａ ：第１支持台（第１移載対象箇所）
３ｂ ：第２支持台（第２移載対象箇所）
１８ ：把持爪（保持部）
３０ ：第１被検出ユニット
３１ ：第１被保持部
３２ ：第１検出対象面
３３ ：第４係合孔
３５ ：第１窪み部
４０ ：検出ユニット
４１ ：第３係合孔（第３係合部）
５０ ：第１アダプタユニット
５０ａ ：第１底面部（第１載置部）
５０ｂ ：第１天面部（第１ユニット保持部）
５１ ：第１突起（第３被係合部）
５２ ：第１係合孔（第１被係合部）
６１ ：キネマティックピン（第１係合部）
７０ ：第２被検出ユニット
７１ ：第２被保持部
７２ ：第２検出対象面
７３ ：第５係合孔
７５ ：第２窪み部
８０ ：第２アダプタユニット
８０ａ ：第２底面部（第２載置部）
８０ｂ ：第２天面部（第２ユニット保持部）
８０ｃ ：第２本体部（第２被係合部）
８１ ：第２突起（第４被係合部）
９１ ：凹欠部（第２係合部）
１００ ：検査装置
２００ ：搬送設備
Ｋ ：ユニット搬送台車
Ｋ３ ：支持板（台車側保持部）
Ｔ ：取り付け部
Ｗ ：搬送対象物
Ｗ１ ：第１対象物
Ｗ２ ：第２対象物
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】