特開 2024-17693 クリーンルームシステム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024017693

(43)【公開日】2024-02-08

(54)【発明の名称】クリーンルームシステム

(51)【国際特許分類】

   F24F 7/06 20060101AFI20240201BHJP

   F24F 9/00 20060101ALI20240201BHJP

【ＦＩ】

F24F7/06 C

F24F9/00 J

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022120506

(22)【出願日】2022-07-28

(71)【出願人】

【識別番号】000003621

【氏名又は名称】株式会社竹中工務店

(74)【代理人】

【識別番号】110001519

【氏名又は名称】弁理士法人太陽国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 彰悟

(72)【発明者】

【氏名】天野 健太郎

(72)【発明者】

【氏名】千葉 友樹

(72)【発明者】

【氏名】曽根 大二郎

(72)【発明者】

【氏名】清水 耕平

【テーマコード（参考）】

3L058

【Ｆターム（参考）】

3L058BF04

3L058BG04

(57)【要約】

【課題】ハザード物質等の封じ込め対象物質を処理室に封じ込めた上で、扉を開閉することなく、一の処理室から他の処理室へ移動することができるクリーンルームシステムを得る。
【解決手段】クリーンルームシステムは、封じ込め対象物質を扱う複数の処理室と、
複数の処理室に対して入退室を可能とする開口部を介して接続された通路部と、通路部に対して清浄空気を供給する供給部と、複数の処理室に夫々設けられ、供給部から供給されて開口部を通過した清浄空気を外部に排気する排気部と、開口部に夫々設けられ、処理室と通路部とを仕切るエアカーテンを形成するエアバリア部と、開口部を通過する通過物を検知する検知部と、検知部が開口部を通過する通過物を検知すると、エアバリア部を稼動させて、通過物が通過する開口部にエアカーテンを形成し、検知部が開口部を通過物が通過したのを検知すると、エアバリア部を非稼働とする制御部とを備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

封じ込め対象物質を扱う複数の処理室と、
複数の前記処理室に対して入退室を可能とする開口部を介して接続された通路部と、
前記通路部に対して清浄空気を供給する供給部と、
複数の前記処理室に夫々設けられ、前記供給部から供給されて前記開口部を通過した清浄空気を外部に排気する排気部と、
前記開口部に夫々設けられ、前記処理室と前記通路部とを仕切るエアカーテンを形成するエアバリア部と、
前記開口部を通過する通過物を検知する検知部と、
前記検知部が前記開口部を通過する通過物を検知すると、前記エアバリア部を稼動させて、通過物が通過する前記開口部にエアカーテンを形成させ、前記検知部が前記開口部を通過物が通過したのを検知すると、前記エアバリア部を非稼働とする制御部と、
を備えるクリーンルームシステム。

【請求項2】

前記供給部は、夫々の前記開口部に対応するように複数設けられている、
請求項１に記載のクリーンルームシステム。

【請求項3】

水平方向で対向するように一対設けられ、前記供給部から供給された空気を前記開口部へ案内する案内部が前記通路部に配置され、
前記エアバリア部は、清浄空気を押し出す押出部と、前記押出部によって押し出された清浄空気を引き込む引込部とを備え、
前記押出部は、一方の前記案内部に設けられ、前記引込部は、他方の前記案内部に設けられている、
請求項１に記載のクリーンルームシステム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、クリーンルームシステムに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１に記載のクリーンブースでは、外部空気給気口から作業ブースに給気される清浄空気（外部空気）によって外部空気給気口から第１出入口に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流が作業ブースの内部に発生するように、ファンフィルターユニットの給気風量が調節され、第１出入口から第２出入口に向かって緩衝スペースを通流する空気が第１出入口から作業ブースの内部に逆流することなく、作業ブースの内部の空気が第１出入口から緩衝スペースに流出する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１９-９５１５２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

従来、ハザード物質等の封じ込め対象物質を扱うクリーンルームである処理室が複数設けられている場合には、夫々の処理室に更衣室が設けられている。ここで、ハザード物質等の封じ込め対象物質を処理室に封じ込める必要があるため、処理室と更衣室とは、開閉される扉で仕切られている。これによって、一の処理室から他の処理室への移動は、一の処理室から扉を開閉して一の処理室を退室した後、他の更衣室へ入り、他の更衣室の扉を開閉して他の処理室へ移動していた。このため、一の処理室から他の処理室への移動に、手間がかかっていた。

【0005】

本願の課題は、ハザード物質等の封じ込め対象物質を処理室に封じ込めた上で、扉を開閉することなく、一の処理室から他の処理室へ移動することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

第１態様に係るクリーンルームシステムは、封じ込め対象物質を扱う複数の処理室と、複数の前記処理室に対して入退室を可能とする開口部を介して接続された通路部と、前記通路部に対して清浄空気を供給する供給部と、複数の前記処理室に夫々設けられ、前記供給部から供給されて前記開口部を通過した清浄空気を外部に排気する排気部と、前記開口部に夫々設けられ、前記処理室と前記通路部とを仕切るエアカーテンを形成するエアバリア部と、前記開口部を通過する通過物を検知する検知部と、前記検知部が前記開口部を通過する通過物を検知すると、前記エアバリア部を稼動させて、通過物が通過する前記開口部にエアカーテンを形成させ、前記検知部が前記開口部を通過物が通過したのを検知すると、前記エアバリア部を非稼働とする制御部と、を備えることを特徴とする。

【0007】

第１態様に係る構成によれば、供給部から供給された清浄空気は、開口部を通過して処理室へ流入して排気部から排気される。これにより、通路部から処理室へ向かう一方向の空気の流れが形成されているため、ハザード物質等の封じ込め対象物質が処理室に封じ込められる。

【0008】

さらに、検知部が開口部を通過する通過物を検知すると、エアバリア部が稼動し、処理室と通路部とを仕切るエアカーテンが開口部に形成される。このため、通過物が開口部を通過することで、ハザード物質等の封じ込め対象物質が処理室から通路部へ漏れるのが抑制される。

【0009】

ここで、通路部から夫々の処理室に対して入退室を可能とする開口部には扉が設けられていない。つまり、ハザード物質等の封じ込め対象物質を処理室に封じ込めた上で、扉を開閉することなく、一の処理室から他の処理室へ移動することができる。

【0010】

第２態様に係るクリーンルームシステムは、第１態様に係るクリーンルームシステムにおいて、前記供給部は、夫々の前記開口部に対応するように複数設けられていることを特徴とする。

【0011】

第２態様に係る構成によれば、供給部は、夫々の開口部に対応するように複数設けられている。このため、供給部が１個の場合と比して、通路部から処理室へ向かう一方向の空気の流れを効果的に形成することができる。

【0012】

第３態様に係るクリーンルームシステムは、第１態様に係るクリーンルームシステムにおいて、水平方向で対向するように一対設けられ、前記供給部から供給された空気を前記開口部へ案内する案内部が前記通路部に配置され、前記エアバリア部は、清浄空気を押し出す押出部と、前記押出部によって押し出された清浄空気を引き込む引込部とを備え、前記押出部は、一方の前記案内部に設けられ、前記引込部は、他方の前記案内部に設けられていることを特徴とする。

【0013】

第３態様に係る構成によれば、供給部によって通路部へ供給された清浄空気は、案内部によって案内されて処理室へ流入する。これにより、開口部へ向かう清浄空気の流れが整えられて速くなることで、ハザード物質等の封じ込め対象物質が、処理室から通路部へ漏れるのを抑制することができる。

【0014】

また、エアバリア部を構成する押出部は、一方の案内部に設けられ、エアバリア部を構成する引込部は、他方の案内部に設けられている。このため、エアバリア部と案内部とが別個に設けられる場合と比して、省スペース化されている。

【発明の効果】

【0015】

本開示によれば、ハザード物質等の封じ込め対象物質を処理室に封じ込めた上で、扉を開閉することなく、一の処理室から他の処理室へ移動することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】（Ａ）（Ｂ）本開示の実施形態に係るクリーンルームシステムを示した概略構成図である。

【図2】本開示の実施形態に係るクリーンルームシステムにおいて、作業員等が開口部を通過していない状態を示した断面図である。

【図3】本開示の実施形態に係るクリーンルームシステムにおいて、作業員等が開口部を通過している状態を示した側断面図である。

【図4】本開示の実施形態に係るクリーンルームシステムにおいて、作業員等が開口部を通過している状態を示した側断面図である。

【図5】本開示の実施形態に係るクリーンルームシステムにおいて、作業員等が開口部を通過していない状態を示した平断面図である。

【図6】本開示の実施形態に係るクリーンルームシステムにおいて、作業員等が開口部を通過している状態を示した平断面図である。

【図7】本開示の実施形態に係るクリーンルームシステムに備えられた制御部の制御系を示したブロック図である。

【図8】（Ａ）（Ｂ）本開示の実施形態に対する比較形態に係るクリーンルームシステムを示した概略構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

本開示の実施形態に係るクリーンルームシステムの一例について図１～図８を用いて説明する。

【0018】

各図に示す矢印Ｈは、クリーンルームシステムが設けられた構造物の上下方向であって、矢印Ｄは、構造物の奥行き方向であって、矢印Ｗは、構造物の幅方向である。なお、上下方向は、鉛直方向であって、奥行き方向及び幅方向は、水平方向である。

【0019】

クリーンルームシステム１００を備えた構造物１０には、図１（Ａ）（Ｂ）に示されるように、クリーンルームシステム１００を構成すると共に幅方向に並んだ複数の処理室１２が設けられている。さらに、構造物１０には、クリーンルームシステム１００を構成すると共に幅方向に延びる通路部１４と、作業員が着替えを行う更衣室１６と、器材が通過する準備室１８とが設けられている。

【0020】

（更衣室１６、準備室１８）
更衣室１６及び準備室１８は、図１（Ａ）（Ｂ）に示されるように、幅方向に並んで配置され、夫々１室設けられている。つまり、複数の処理室１２に対して更衣室１６及び準備室１８は、夫々１室設けられている。

【0021】

更衣室１６及び準備室１８は、幅方向に延びる通路部１４に臨んでいる。そして、更衣室１６には、更衣室１６に入室するための扉１６ａと、更衣室１６から通路部１４へ移動するための扉１６ｂとが設けられている。

【0022】

同様に、準備室１８には、準備室１８に入室するための扉１８ａと、準備室１８から通路部１４へ移動するための扉１８ｂとが設けられている。

【0023】

さらに、更衣室１６の天井には、清浄空気を更衣室１６へ供給する供給部１６ｃが設けられ、更衣室１６の側壁には、供給部１６ｃによって更衣室１６に供給された清浄空気を外部へ排気する排気部１６ｄが設けられている。同様に、準備室１８には、清浄空気を準備室１８へ供給する供給部１８ｃと、供給部１８ｃによって準備室１８に供給された清浄空気を外部へ排気する排気部１８ｄとが設けられている。

【0024】

この構成において、更衣室１６の清浄度、及び準備室１８の清浄度は、一例としてグレードＣとされている。

【0025】

（通路部１４、処理室１２）
通路部１４は、図１（Ａ）（Ｂ）に示されるように、幅方向に延びており、幅方向に並んだ複数の処理室１２は、通路部１４を挟んで更衣室１６及び準備室１８の反対側に配置されている。

【0026】

本実施形態では、処理室１２は、３室設けられている。以下説明の便宜上、処理室１２については、幅方向の一方側（図中左側）から他方側（図中右側）へ、処理室１２ａ、処理室１２ｂ、及び処理室１２ｃと称することがある。なお、夫々の処理室１２を区別しない場合は、末尾のアルファベットを省略する。

【0027】

また、以下の説明では、処理室１２に対応して夫々設けられる部材の符号の末尾にａが付されている部材については、処理室１２ａに対応した部材であって、末尾にｂが付されている部材については、処理室１２ｂに対応した部材であって、末尾にｃが付されている部材については、処理室１２ｃに対応した部材である。

【0028】

処理室１２の側壁には、通路部１４からの入退室を可能とする開口部２２が設けられている。換言すれば、通路部１４は、複数の処理室１２に対して入退室を可能とする開口部２２を介して接続されている。そして、開口部２２には、扉は設けられておらず、開口部２２は、上下方向に延びる矩形状とされており、作業員及び器材が通過可能とされている。

【0029】

さらに、処理室１２において開口部２２と奥行き方向で対向する側壁には、処理室１２から退室するための扉２６が一対設けられている。一方の扉２６が作業員の退室に用いれ、他方の扉２６が器材を退室させるのに用いられる。そして、この処理室１２は、ハザード物質等の封じ込め対象物質（以下単に「対象物質」と記載することがある）が発生する部屋、又は対象物質を扱う部屋である。

【0030】

〔供給部２４、案内部２８、排気部３６〕
通路部１４の天井には、図１（Ａ）、図２に示されるように、清浄空気を通路部１４に供給する供給部２４が複数設けられている。具体的には、夫々の供給部２４は、上方から見て夫々の開口部２２と奥行方向で並ぶように配置されている。また、供給部２４から供給された空気を開口部２２へ案内する一対の案内部２８が、図５に示されるように、幅方向で対向して配置されている。具体的には、一対の案内部２８は、通路部１４に配置されており、一対の案内部２８には、供給部２４から供給された清浄空気を開口部２２へ案内する案内面３０が夫々形成されている。この案内面３０は、幅方向から見て、上下方向に延びる矩形状とされ、案内面３０の縁部は、開口部２２の縁部に接している。

【0031】

また、処理室１２の側壁には、図１（Ａ）（Ｂ）、図２に示されるように、供給部２４によって通路部１４へ供給され、案内部２８によって案内されて処理室１２へ流入した清浄空気を外部へ排気する排気部３６が設けられている。具体的には、排気部３６は、処理室１２において開口部２２と奥行き方向で対向する側壁の下方部分に配置されている。

【0032】

この構成において、図２、図５に示されるように、供給部２４によって通路部１４へ供給された清浄空気は、案内部２８によって案内されて処理室１２へ流入する。さらに、処理室１２へ流入した清浄空気は、排気部３６から排気される。このように、通路部１４から処理室１２へ向かう一方向の空気の流れが形成される。

【0033】

これにより、通路部１４の清浄度、及び処理室１２の清浄度は、一例としてグレードＢとされる。換言すれば、通路部１４及び処理室１２は、クリーンルームとされる。

【0034】

〔エアバリア部４０〕
夫々の開口部２２には、図６に示されるように、処理室１２と通路部１４とを仕切るエアカーテンを形成するエアバリア部４０が設けられている。このエアバリア部４０は、清浄空気を押し出す押出部４２と、押出部４２によって押し出された空気を引き込む引込部４４とを備えている。本実施形態では、エアバリア部４０には、所謂プッシュプル装置が用いられている。

【0035】

そして、押出部４２は、一方の案内部２８に設けられ、引込部４４は、他方の案内部２８に設けられている。

【0036】

この構成において、エアバリア部４０を稼動させることで、図６に示されるように、押出部４２が引込部４４へ向かって清浄空気を押し出し、引込部４４が押出部４２によって押し出された清浄空気を引き込む。これにより、処理室１２と通路部１４とを仕切るエアカーテンが、開口部２２の上下方向に亘って形成される。

【0037】

ここで、本実施形態では、通路部１４から処理室１２へ向かう一方向の空気の流れによって、開口部２２に形成するエアカーテン気流が阻害されないように、各部によって生じる風力が決められている。

【0038】

〔検知部５０、５２〕
また、処理室１２の天井、及び通路部１４の天井には、図３、図４に示されるように、開口部２２を通過する作業員又は器材（以下「作業員等」）を非接触で検知する一対の検知部５０、５２が設けられている。具体的には、処理室１２の天井には、検知部５０が設けられ、通路部１４の天井には、検知部５２が設けられている。なお、作業員等は、通過物の一例である。

【0039】

この構成において、検知部５２が、開口部２２を通過しようとしている作業員等を検知し、検知部５０が、開口部２２を通過した作業員等を検知する（図３参照）。又は、検知部５０が、開口部２２を通過しようとしている作業員等を検知し、検知部５２が、開口部２２を通過した作業員等を検知する（図４参照）。

【0040】

〔制御部６０〕
制御部６０は、図７に示されるように、検知部５０、５２から検知情報を取得するようになっている。また、制御部６０は、供給部２４、排気部３６、及びエアバリア部４０を制御するようになっている。なお、制御部６０による各部の制御については、後述する作用と共に説明する。

【0041】

（作用）
次に、本実施形態に係るクリーンルームシステム１００の作用について、比較形態に係るクリーンルームシステム３００と比較しつつ説明する。先ず、比較形態に係るクリーンルームシステム３００の構成についてクリーンルームシステム１００と異なる部分を主に説明する。

【0042】

〔比較形態に係るクリーンルームシステム３００の構成〕
比較形態に係るクリーンルームシステム３００を備えた構造物３１０には、図８（Ａ）（Ｂ）に示されるように、クリーンルームシステム３００を構成すると共に幅方向に並んだ複数の処理室３１２が設けられている。処理室３１２は、３個設けられている。以下説明の便宜上、処理室３１２については、幅方向の一方側（図中左側）から他方側（図中右側）へ、処理室３１２ａ、処理室３１２ｂ、及び処理室３１２ｃと称することがある。なお、夫々の処理室３１２を区別しない場合は、末尾のアルファベットを省略する。

【0043】

さらに、構造物３１０には、処理室３１２毎に、更衣室３１６及び準備室３１８が夫々設けられている。

【0044】

また、更衣室３１６には、更衣室３１６に入室するための扉３１４と、更衣室３１６から処理室３１２へ移動するための扉３１５が設けられている。また、準備室３１８には、準備室３１８に入室するための扉３１７と、準備室３１８から処理室３１２へ移動するための扉３１９が設けられている。

【0045】

さらに、処理室３１２には、処理室３１２から退室するための一対の扉３２６が設けられている。一方の扉３２６が作業員の退室に用いれ、他方の扉３２６が器材を退室させるのに用いられる。

【0046】

また、更衣室３１６の天井には、清浄空気を更衣室３１６へ供給する供給部３３０が設けられ、更衣室３１６の側壁には、供給部３３０によって更衣室３１６に供給された清浄空気を外部へ排気する排気部３３２が設けられている。同様に、準備室３１８には、清浄空気を準備室３１８へ供給する供給部３３６と、供給部３３６によって準備室３１８に供給された清浄空気を外部へ排気する排気部３３８とが設けられている。

【0047】

この構成において、更衣室３１６の清浄度、及び準備室３１８の清浄度は、一例としてグレードＣとされている。

【0048】

さらに、夫々の処理室３１２の天井には、清浄空気を処理室３１２へ供給する一対の供給部３４０が設けられ、処理室３１２の側壁には、供給部３４０によって処理室３１２に供給された清浄空気を外部へ排気する排気部３４２が設けられている。

【0049】

この構成において、処理室３１２の清浄度は、一例としてグレードＢとされている。

【0050】

〔比較形態に係るクリーンルームシステム３００の作用〕
比較形態に係るクリーンルームシステム３００においては、処理室３１２ａへ入室しようとする作業員は、図８（Ｂ）の実線矢印で示されるように、扉３１４ａを開閉して更衣室３１６ａへ入室する。さらに、作業員は、扉３１５ａを開閉して処理室３１２ａへ入室する。

【0051】

処理室３１２ａへ入室した作業員が処理室３１２ｂへ移動する場合には、処理室３１２ａの作業員は、扉３２６ａを開閉して処理室３１２の外部へ移動する。また、作業員は、扉３１４ｂを開閉して更衣室３１６ｂへ入室する。さらに、作業員は、扉３１５ｂを開閉して処理室３１２ｂへ入室する。

【0052】

このように、クリーンルームシステム３００においては、処理室３１２ａから処理室３１２ｂへ移動するために、作業員は、扉３２６ａを開閉し、扉３１４ｂを開閉し、扉３１５ｂを開閉する。つまり、作業員は、扉を３回開閉する。

【0053】

〔クリーンルームシステム１００の作用〕

【0054】

これに対して、本実施形態に係るクリーンルームシステム１００においては、図２、図５に示されるように、制御部６０（図７参照）の制御によって、夫々の供給部２４及び排気部３６が稼動しており、通路部１４から処理室１２へ向かう一方向の空気の流れが形成されている。具体的には、開口部２２を介して通路部１４と処理室１２と間で作業員等の入退室がない場合は、供給部２４によって通路部１４へ供給された清浄空気は、案内部２８によって案内されて処理室１２へ流入する。さらに、処理室１２へ流入した清浄空気は、排気部３６から排気される。このように、通路部１４から処理室１２へ向かう一方向の空気の流れが形成されている。

【0055】

ここで、処理室１２ａへ入室しようとする作業員は、図１（Ｂ）の実線矢印で示されるように、扉１６ａを開閉して更衣室１６へ入室する。さらに、作業員は、扉１６ｂを開閉して通路部１４へ移動する。そして、通路部１４に移動した作業員が、処理室１２ａへ入室しようとすると、図３に示す検知部５２ａが、開口部２２ａを通過しようとしている作業員等を検知する。

【0056】

検知部５２ａが作業員等を検知すると、制御部６０は、エアバリア部４０ａを稼動させる。そうすると、図６に示されるように、押出部４２ａが引込部４４ａへ向かって清浄空気を押し出し、引込部４４ａが押出部４２ａによって押し出された清浄空気を引き込む。これにより、処理室１２ａと通路部１４とを仕切るエアカーテンが、開口部２２ａの上下方向に亘って形成される。

【0057】

そして、作業員等は、エアカーテンを通過して処理室１２ａへ入室すると、図３に示す検知部５０ａが、開口部２２ａを通過した作業員等を検知する。検知部５０ａが作業員等を検知すると、制御部６０は、エアバリア部４０ａを非稼働とする。エアバリア部４０ａを非稼働とすることで、通路部１４から処理室１２ａへの一方向の空気の流れが形成される。

【0058】

さらに、処理室１２ａへ入室した作業員が処理室１２ｂへ移動する場合には、図４に示す検知部５０ａが、開口部２２ａを通過しようとしている作業員等を検知する。

【0059】

検知部５０ａが作業員等を検知すると、制御部６０は、エアバリア部４０ａを稼動させる。そうすると、図６に示されるように、押出部４２ａが引込部４４ｂへ向かって空気を押し出し、引込部４４ａが押出部４２ａによって押し出された清浄空気を引き込む。これにより、処理室１２ａと通路部１４とを仕切るエアカーテンが、開口部２２ａの上下方向に亘って形成される。

【0060】

そして、作業員等は、エアカーテンを通過して通路部１４へ移動する。さらに、図４に示す検知部５２ａが、開口部２２ａを通過した作業員等を検知する。検知部５２ａが作業員等を検知すると、制御部６０は、エアバリア部４０ａを非稼働とする。エアバリア部４０ａを非稼働とすることで、通路部１４から処理室１２ａへの一方向の空気の流れが形成される。

【0061】

通路部１４に移動した作業員が、処理室１２ｂへ入室しようとすると、図３に示す検知部５２ｂが、開口部２２ｂを通過しようとしている作業員等を検知する。

【0062】

検知部５２ｂが作業員等を検知すると、制御部６０は、エアバリア部４０ｂを稼動させる。そうすると、図６に示されるように、押出部４２ｂが引込部４４ｂへ向かって清浄空気を押し出し、引込部４４ｂが押出部４２ｂによって押し出された空気を引き込む。これにより、処理室１２ｂと通路部１４とを仕切るエアカーテンが、開口部２２ｂの上下方向に亘って形成される。

【0063】

そして、作業員等は、エアカーテンを通過して処理室１２ｂへ入室する。さらに、図３に示す検知部５０ｂが、開口部２２ｂを通過した作業員等を検知する。検知部５０ｂが作業員等を検知すると、制御部６０は、エアバリア部４０ｂを非稼働とする。エアバリア部４０ｂを非稼働とすることで、通路部１４から処理室１２ｂへの一方向の空気の流れが形成される。

【0064】

このように、クリーンルームシステム１００においては、処理室１２ａから処理室１２ｂへ移動するために、作業員は、扉を開閉することがない。

【0065】

（まとめ）
以上説明したように、クリーンルームシステム１００においては、作業員等が開口部２２を通過しない通常時にはエアバリア部４０ａが非稼働とされ、通路部１４から処理室１２へ向かう一方向の空気の流れが形成されている。このため、処理室１２において扱われている対象物質が、処理室１２から通路部１４へ漏れるのを抑制することができる。換言すれば、対象物質を処理室１２に封じ込めることができる。

【0066】

また、クリーンルームシステム１００においては、作業員等が、開口部２２を通過するときには、エアバリア部４０が稼動し、処理室１２と通路部１４とを仕切るエアカーテンが開口部２２の上下方向に亘って形成される。これにより、作業員等の開口部２２の通過による外乱によって、対象物質が、処理室１２から通路部１４へ漏れるのを抑制することができる。

【0067】

なお、エアカーテンを形成させるのを作業員等が開口部２２を通過するときに限定するのは、エアカーテンによって、周囲の空気が誘引され、処理室１２の空気の流れを乱すためである。さらに、エアカーテンによって、処理室１２の換気効率が低下するのを抑制するためである。

【0068】

このように、クリーンルームシステム１００においては、開口部２２を作業員等が通過しない通常時には、通路部１４から処理室１２へ向かう一方向の空気の流れが形成されている。さらに、作業員等が、開口部２２を通過するときには、エアバリア部４０が稼動し、処理室１２と通路部１４とを仕切るエアカーテンが開口部２２の上下方向に亘って形成される。

【0069】

以上により、クリーンルームシステム１００においては、処理室１２ａから処理室１２ｂへ移動するために、作業員は、扉を開閉することがない。つまり、クリーンルームシステム１００においては、対象物質を処理室１２に封じ込めた上で、扉を開閉することなく、一の処理室１２から他の処理室１２へ移動することができる。

【0070】

また、クリーンルームシステム１００においては、供給部２４は、夫々の開口部２２に対応するように複数設けられている。このため、供給部が１個の場合と比して、通路部１４から処理室１２へ向かう一方向の空気の流れを効果的に形成することができる。

【0071】

また、クリーンルームシステム１００においては、供給部２４から供給された空気（清浄空気）を開口部２２へ案内する案内部２８が通路部１４に配置されている。そして、供給部２４によって通路部１４へ供給された清浄空気は、案内部２８によって案内されて処理室１２へ流入する。これにより、開口部２２へ向かう清浄空気の流れが整えられて速くなるため、対象物質が、処理室１２から通路部１４へ漏れるのを抑制することができる。

【0072】

なお、本開示を特定の実施形態について詳細に説明したが、本開示は係る実施形態に限定されるものではなく、本開示の範囲内にて他の種々の実施形態をとることが可能であることは当業者にとって明らかである。上記実施形態では、検知部５０、５２は、作業員等を非接触で検知したが、例えば、開口部２２を通過しようとする作業員が、検知部を操作することで、検知部が作業員等を検知してもよい。つまり、作業員が検知部である検知スイッチを操作することで、開口部２２を通過しようとする作業員等が検知されてもよい。

【0073】

また、上記実施形態では、特に説明しなかったが、図１（Ｂ）、図５（Ｂ）に示す実線矢印は、作業員の移動を示し、二点鎖線の矢印は、器材の移動を示す。

【符号の説明】

【0074】

１２ 処理室
１４ 通路部
２２ 開口部
２４ 供給部
２８ 案内部
３６ 排気部
４０ エアバリア部
４２ 押出部
４４ 引込部
５０ 検知部
５２ 検知部
６０ 制御部
１００ クリーンルームシステム

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】