特開 2024-177914 流量計

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024177914

(43)【公開日】2024-12-24

(54)【発明の名称】流量計

(51)【国際特許分類】

   G01F 1/00 20220101AFI20241217BHJP

【ＦＩ】

G01F1/00 G

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023096316

(22)【出願日】2023-06-12

(71)【出願人】

【識別番号】000116633

【氏名又は名称】愛知時計電機株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】000220262

【氏名又は名称】東京瓦斯株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】000000284

【氏名又は名称】大阪瓦斯株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】000221834

【氏名又は名称】東邦瓦斯株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】000150109

【氏名又は名称】株式会社竹中製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110000992

【氏名又は名称】弁理士法人ネクスト

(72)【発明者】

【氏名】酒向 正義

(72)【発明者】

【氏名】各務 亮

(72)【発明者】

【氏名】浅野 博昭

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 美裕

(72)【発明者】

【氏名】後藤 慎治

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 真一

(72)【発明者】

【氏名】金澤 一弘

(72)【発明者】

【氏名】堀木 紗英

(72)【発明者】

【氏名】浅田 昭治

(72)【発明者】

【氏名】村中 一郎

(72)【発明者】

【氏名】松井 彰

(72)【発明者】

【氏名】石橋 卓也

(72)【発明者】

【氏名】重村 丈留

(72)【発明者】

【氏名】能登 雅弘

(72)【発明者】

【氏名】飯田 雄太

【テーマコード（参考）】

2F030

【Ｆターム（参考）】

2F030CA03

2F030CC13

2F030CE11

2F030CF15

(57)【要約】

【課題】取付け方向が規定されている流量計測ユニットを規定されている方向に間違いなく取り付けることが可能となる流量計を提供する。
【解決手段】流量計は、被計測流体が流れる計測流路部１１を有し、計測流路部１１を流れる被計測流体の流量を計測する流量計測ユニット１０と、流量計測ユニット１０の周囲の、被計測流体の流れの下流側に取り付けられ、被計測流体の流れの上流側には取り付けられないパッキン３０と、パッキン３０の取り付けられた流量計測ユニット１０を外側から取り付け、流量計測ユニット１０の計測流路部１１を流れてきた被計測流体を流入し、その被計測流体を排出する排出路に向けて中継する内機ケース５０と、を備えたことを特徴とする。
【選択図】 図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被計測流体が流れる計測流路部を有し、前記計測流路部を流れる前記被計測流体の流量を計測する流量計測ユニットと、
前記流量計測ユニットの周囲の、前記被計測流体の流れの下流側に取り付けられ、前記被計測流体の流れの上流側には取り付けられないパッキンと、
前記パッキンの取り付けられた前記流量計測ユニットを外側から取り付け、前記流量計測ユニットの前記計測流路部を流れてきた前記被計測流体を流入し、その被計測流体を排出する排出路に向けて中継する中継ケースと、
を備えたことを特徴とする流量計。

【請求項2】

前記流量計測ユニットは、
その周囲の前記下流側及び前記上流側のそれぞれに形成された、前記パッキンを嵌め込み可能な溝部と、
前記上流側の溝部と前記下流側の溝部との間に位置し、前記上流側の溝部との間隔が前記下流側の溝部との間隔より狭い位置に設けられた突起部と、
を有し、
前記パッキンは、
前記中継ケースに取り付ける際に対向する面と反対側の面に形成した、所定長のリブ
を有し、
前記パッキンを前記上流側の溝部に嵌め込む際には、前記リブが前記突起部に当接し、前記パッキンを前記上流側の溝部に嵌め込むことができない、
ことを特徴とする請求項１に記載の流量計。

【請求項3】

前記パッキンは、平面視円形状をなし、
前記中継ケースは、
前記円形状の前記パッキンを取り付けるための円形状の孔と、
前記孔の周りに形成された複数のボス部であって、前記パッキンを取り付ける際の前記孔に対する前記パッキンの回転角を規定するボス部と、
を有し、
前記パッキンは、
前記円形状の周縁に形成された複数のフランジ部
を有し、
前記複数のフランジ部のそれぞれには、前記複数のボス部のそれぞれに対応する位置に、各ボス部と嵌合する孔が形成された、
ことを特徴とする請求項２に記載の流量計。

【請求項4】

平面視円形状をなしたパッキンであって、
前記円形状の周縁に形成された複数のフランジ部
を有し、
前記複数のフランジ部のそれぞれには、前記パッキンの被取付部材であって、前記パッキンを取り付けるために形成された孔と、前記孔の周りに形成された複数のボス部であって、前記パッキンを取り付ける際の前記孔に対する前記パッキンの回転角を規定するボス部と、を有する被取付部材における、前記複数のボス部のそれぞれに対応する位置に、各ボス部と嵌合する孔が形成された、
ことを特徴とするパッキン。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本願は、被計測流体の流量を計測する流量計に関するものである。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、流量計測ユニットを筐体に組み込んで構成した超音波流量計が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１７－９０３６１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、特許文献１に記載の超音波流量計では、流量計測ユニットを組み込む際に、組み込み方向が規定されている場合、上流側と下流側とを逆向きに組み込んでしまう虞があった。

【0005】

本願は、取付け方向が規定されている流量計測ユニットを規定されている方向に間違いなく取り付けることが可能となる流量計を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的を達成するため、本願の流量計は、被計測流体が流れる計測流路部を有し、計測流路部を流れる被計測流体の流量を計測する流量計測ユニットと、流量計測ユニットの周囲の、被計測流体の流れの下流側に取り付けられ、被計測流体の流れの上流側には取り付けられないパッキンと、パッキンの取り付けられた流量計測ユニットを外側から取り付け、流量計測ユニットの計測流路部を流れてきた被計測流体を流入し、その被計測流体を排出する排出路に向けて中継する中継ケースと、を備えたことを特徴とする。

【0007】

本願の流量計では、パッキンは、流量計測ユニットの周囲の、被計測流体の流れの下流側に取り付けられ、被計測流体の流れの上流側には取り付けられないので、流量計測ユニットの周囲にパッキンを誤って取り付けることを防止できる。そして、中継ケースには、パッキンの取り付けられた流量計測ユニットが外側から取り付けられるので、つまり、パッキンの取り付けられていない流量計測ユニットは、中継ケースに外側から取り付けられないので、結果的に、取付け方向が規定されている流量計測ユニットを規定されている方向に間違いなく取り付けることが可能となる。

【0008】

また、流量計測ユニットは、その周囲の下流側及び上流側のそれぞれに形成された、パッキンを嵌め込み可能な溝部と、上流側の溝部と下流側の溝部との間に位置し、上流側の溝部との間隔が下流側の溝部との間隔より狭い位置に設けられた突起部と、を有し、パッキンは、中継ケースに取り付ける際に対向する面と反対側の面に形成した、所定長のリブを有し、パッキンを上流側の溝部に嵌め込む際には、リブが突起部に当接し、パッキンを上流側の溝部に嵌め込むことができない、ことを特徴とする。

【0009】

これにより、パッキンを流量計測ユニットに取り付けている操作者は、パッキンを間違った方向から取り付けていることを知ることができるので、誤取付けを防止することができる。

【0010】

また、パッキンは、平面視円形状をなし、中継ケースは、円形状のパッキンを取り付けるための円形状の孔と、孔の周りに形成された複数のボス部であって、パッキンを取り付ける際の孔に対するパッキンの回転角を規定するボス部と、を有し、パッキンは、円形状の周縁に形成された複数のフランジ部を有し、複数のフランジ部のそれぞれには、複数のボス部のそれぞれに対応する位置に、各ボス部と嵌合する孔が形成された、ことを特徴とする。

【0011】

これにより、流量計測ユニットを、パッキンを介して中継ケースに取り付けている操作者は、複数のフランジの各孔に各ボス部を嵌合させた状態で、流量計測ユニットを中継ケースに取り付けるという簡単な操作だけで、流量計測ユニットを回転方向の正確な角度で中継ケースに取り付けることができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本願の一実施形態に係る流量計に含まれる流量計測ユニットと内機ケースを接続した状態の外観を示す斜視図である。

【図2】流量計測ユニットと内機ケースを接続する前の状態を示す斜視図である。

【図3】流量計測ユニットにパッキンを正しく取り付けた状態を示す断面斜視図（（ａ））と領域Ａの拡大斜視図（（ｂ））である。

【図4】流量計測ユニットにパッキンを間違って取り付けた状態を示す断面斜視図（（ａ））と領域Ｂの拡大斜視図（（ｂ））である。

【図5】流量計測ユニットを内機ケースに正しく取り付けた状態を示す斜視図（（ａ））と領域Ｃの拡大斜視図（（ｂ））である。

【図6】流量計測ユニットを内機ケースに間違って取り付けた状態を示す斜視図（（ａ））と領域Ｃの拡大斜視図（（ｂ））である。

【図7】本願の他の実施形態に係る流量計に含まれる流量計測ユニットと内機ケースを接続した状態の外観を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本願の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。以下の説明に用いる図面では、基本的構成の一部が省略されて描かれていることがあり、描かれた各部の寸法比等は必ずしも正確ではない。各図において、前後方向Ｄ１、上下方向Ｄ２、及び左右方向Ｄ３は、各図に記載された通りである。

【0014】

図１は、本願の一実施形態に係る流量計に含まれる流量計測ユニット１０と内機ケース５０を、パッキン３０を介して接続した状態を示している。図２は、パッキン３０が取り付けられた流量計測ユニット１０を内機ケース５０に接続する前の状態を示している。

【0015】

流量計測ユニット１０は、略角筒状の計測流路部１１を備えている。計測流路部１１は、上下方向Ｄ２と左右方向Ｄ３とからなる平面で切断したときの切断面が矩形状である。計測流路部１１の両端には、入口部１２と出口部１３とが設けられている。計測流路部１１内では、入口部１２から出口部１３に向かって被計測流体（例えば、都市ガスやＬＰガス等の燃料ガス）が流れる。

【0016】

計測流路部１１の前後方向Ｄ１の中央上側に、回路ケース１４が設けられている。回路ケース１４は、一対の超音波振動子（図示せず）を内蔵している。流量計測ユニット１０は、その一対の超音波振動子が測定した値に基づいて、計測流路部１１内を流れる被計測流体の流量を計測する。

【0017】

回路ケース１４の前端部１４Ａと出口部１３との間の計測流路部１１の矩形状外周には、第１溝部１５（図４（ａ）参照）が形成され、回路ケース１４の後端部１４Ｂと入口部１２との間の計測流路部１１の矩形状外周には、第２溝部１６が形成されている。また、回路ケース１４の後端部１４Ｂには、後方に向けて突起部１７が設けられている。

【0018】

パッキン３０は、平面視円形状をなし、その周縁部３１には間隔をおいて３つのフランジ部３２Ａ～３２Ｃが形成されている。フランジ部３２Ａ～３２Ｃのそれぞれには、孔３３Ａ～３３Ｃが穿孔されている。フランジ部３２Ａは、平面視円形状のパッキン３０の中心から上下方向Ｄ２の上側に延ばした半径を基準として反時計方向に４５°の位置に形成され、フランジ部３２Ｂは、その半径を基準として時計方向に４５°の位置に形成され、フランジ部３２Ｃは、パッキン３０の中心から上下方向Ｄ２の下側に延ばした半径を基準として反時計方向に３０°の位置に形成されている。なお、フランジ部３２Ｃは、パッキン３０の中心から真下の位置に形成してもよい。

【0019】

パッキン３０には、図３（ｂ）に示すように、計測流路部１１の矩形状外周に取り付けるための矩形状の孔３４が形成されている。そして、孔３４を形成する周壁３４Ａには、第１溝部１５と嵌合する嵌合凸部３５が形成されている。

【0020】

またパッキン３０の表面３０Ａには、図２に示すように、リブ３６が（図２では後方に）立設されている。リブ３６は、パッキン３０の表面３０Ａから所定の高さを有している。さらにパッキン３０の裏側（図２では前側）には、互いに対向した一対のリブ３７が円形状外周に亘って形成されている。そして、一対のリブ３７によって円形状溝部３８が形成されている。

【0021】

内機ケース５０は、略直方体状をなし、その上面５１は開口している。内機ケース５０は、４つの側壁５２Ａ～５２Ｄを備え、後側側壁５２Ａには、パッキン３０の裏側に形成された円形状溝部３８に嵌合する孔５３が穿孔されている。孔５３の周りには、３つのボス部５４Ａ～５４Ｃが（図２では後方に）立設されている。ボス部５４Ａは、孔５３の中心から上下方向Ｄ２の上側に延ばした半径を基準として反時計方向に４５°の位置に形成され、ボス部５４Ｂは、その半径を基準として時計方向に４５°の位置に形成され、ボス部５４Ｃは、孔５３の中心から上下方向Ｄ２の下側に延ばした半径を基準として反時計方向に３０°の位置に形成されている。なお、ボス部５４Ｃは、孔５３の中心から真下の位置に形成してもよい。

【0022】

図１に示すように、流量計測ユニット１０がパッキン３０を介して内機ケース５０に接続された状態で、内機ケース５０は、その上縁部５５から外方に張り出して形成されたフランジ部５６を介して排気管（図示せず）と接続される。そして、排気管と、流量計測ユニット１０が接続された内機ケース５０とが締結された状態で、図示しない外側ケース内に収納される。

【0023】

被計測流体は、外側ケースに設けられた流入口（図示せず）から外側ケース内に流入し、流量計測ユニット１０を通って内機ケース５０内に流入し、排気管を通って外側ケースに設けられた流出口（図示せず）から外側ケース外へ流出する。この過程で、被計測流体の流量が、流量計測ユニットによって計測される。このように、内機ケース５０は、流量計測ユニット１０の計測流路部１１を流れてきた被計測流体を流入し、その被計測流体を排気する排気管に向けて中継する機能を果たしている。

【0024】

以上のように構成された流量計測ユニット１０、パッキン３０及び内機ケース５０の組立について、以下説明する。

【0025】

図３は、流量計測ユニット１０にパッキン３０を正しく取り付けた状態を示している。図３（ａ）に示すように、パッキン３０をその表面３０Ａが回路ケース１４の前端部１４Ａと対向する状態で、流量計測ユニット１０の出口部１３から入口部１２に向けて移動させると、図３（ｂ）に示すように、パッキン３０は、その表面３０Ａに形成されたリブ３６が回路ケース１４の前端部１４Ａ近傍の部材と干渉せずに、パッキン３０の孔３４の周壁３４Ａに形成された嵌合凸部３５が計測流路部１１の第１溝部１５と嵌合する位置まで移動する。

【0026】

これに対して、図４（ａ）に示すように、パッキン３０をその表面３０Ａが回路ケース１４の後端部１４Ｂと対向する状態で、流量計測ユニット１０の入口部１２から出口部１３に向けて移動させると、図４（ｂ）に示すように、パッキン３０は、その表面３０Ａに形成されたリブ３６が回路ケース１４の後端部１４Ｂに形成された突起部１７と干渉し、パッキン３０の孔３４の周壁３４Ａに形成された嵌合凸部３５が計測流路部１１の第２溝部１６と嵌合する位置まで移動しない。これにより、パッキン３０を流量計測ユニット１０に取り付けている操作者は、パッキン３０を間違った方向から取り付けていることを知ることができる。

【0027】

図５は、パッキン３０を正しく取り付けた流量計測ユニット１０を内機ケース５０に正しく取り付けた状態を示している。図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、パッキン３０のフランジ部３２Ａ～３２Ｃの各孔３３Ａ～３３Ｃに、内機ケース５０の後側側壁５２Ａに形成された各ボス部５４Ａ～５４Ｃを挿通させた状態で、パッキン３０を内機ケース５０に取り付けると、流量計測ユニット１０は、回転方向の正しい角度を保持したまま、内機ケース５０に取り付けられる。

【0028】

これに対して、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、パッキン３０のフランジ部３２Ａ～３２Ｃの各孔３３Ａ～３３Ｃに、内機ケース５０の後側側壁５２Ａに形成された各ボス部５４Ａ～５４Ｃを挿通させない状態で、パッキン３０を内機ケース５０に取り付けると、流量計測ユニット１０は、回転方向の間違った角度で、内機ケース５０に取り付けられる。これにより、流量計測ユニット１０を、パッキン３０を介して内機ケース５０に取り付けている操作者は、流量計測ユニット１０を回転方向の間違った角度で取り付けていることを知ることができる。

【0029】

以上説明したように、本実施形態の流量計は、被計測流体が流れる計測流路部１１を有し、計測流路部１１を流れる被計測流体の流量を計測する流量計測ユニット１０と、流量計測ユニット１０の周囲の、被計測流体の流れの下流側に取り付けられ、被計測流体の流れの上流側には取り付けられないパッキン３０と、パッキン３０の取り付けられた流量計測ユニット１０を外側から取り付け、流量計測ユニット１０の計測流路部１１を流れてきた被計測流体を流入し、その被計測流体を排出する排出路に向けて中継する内機ケース５０と、を備えたことを特徴とする。

【0030】

このように、本実施形態の流量計では、パッキン３０は、流量計測ユニット１０の周囲の、被計測流体の流れの下流側に取り付けられ、被計測流体の流れの上流側には取り付けられないので、流量計測ユニット１０の周囲にパッキン３０を誤って取り付けることを防止できる。そして、内機ケース５０には、パッキン３０の取り付けられた流量計測ユニット１０が外側から取り付けられるので、つまり、パッキン３０の取り付けられていない流量計測ユニット１０は、内機ケース５０に外側から取り付けられないので、結果的に、取付け方向が規定されている流量計測ユニット１０を規定されている方向に間違いなく取り付けることが可能となる。

【0031】

また、流量計測ユニット１０は、その周囲の下流側及び上流側のそれぞれに形成された、パッキン３０を嵌め込み可能な第１及び第２溝部１５，１６と、上流側の第２溝部１６と下流側の第１溝部１５との間に位置し、上流側の第２溝部１６との間隔が下流側の第１溝部１５との間隔より狭い位置に設けられた突起部１７と、を有し、パッキン３０は、内機ケース５０に取り付ける際に対向する面と反対側の表面３０Ａに形成した、所定長のリブ３６を有し、パッキン３０を上流側の第２溝部１６に嵌め込む際には、リブ３６が突起部１７に当接し、パッキン３０を上流側の第２溝部１６に嵌め込むことができない、ことを特徴とする。

【0032】

これにより、パッキン３０を流量計測ユニット１０に取り付けている操作者は、パッキン３０を間違った方向から取り付けていることを知ることができるので、誤取付けを防止することができる。

【0033】

また、パッキン３０は、平面視円形状をなし、内機ケース５０は、円形状のパッキン３０を取り付けるための円形状の孔５３と、孔５３の周りに形成された複数のボス部５４Ａ～５４Ｃであって、パッキン３０を取り付ける際の孔５３に対するパッキン３０の回転角を規定するボス部５４Ａ～５４Ｃと、を有し、パッキン３０は、円形状の周縁部３１に形成された複数のフランジ部３２Ａ～３２Ｃを有し、複数のフランジ部３２Ａ～３２Ｃのそれぞれには、複数のボス部５４Ａ～５４Ｃのそれぞれに対応する位置に、各ボス部５４Ａ～５４Ｃと嵌合する孔３３Ａ～３３Ｃが形成された、ことを特徴とする。

【0034】

これにより、流量計測ユニット１０を、パッキン３０を介して内機ケース５０に取り付けている操作者は、フランジ部３２Ａ～３２Ｃの各孔３３Ａ～３３Ｃに各ボス部５４Ａ～５４Ｃを嵌合させた状態で、流量計測ユニット１０を内機ケース５０に取り付けるという簡単な操作だけで、流量計測ユニット１０を回転方向の正確な角度で内機ケース５０に取り付けることができる。

【0035】

また、パッキン３０は、平面視円形状をなし、円形状の周縁部３１に形成された複数のフランジ部３２Ａ～３２Ｃを有し、複数のフランジ部３２Ａ～３２Ｃのそれぞれには、パッキン３０の被取付部材である内機ケース５０であって、パッキン３０を取り付けるために形成された孔５３と、孔５３の周りに形成された複数のボス部５４Ａ～５４Ｃであって、パッキン３０を取り付ける際の孔５３に対するパッキン３０の回転角を規定するボス部５４Ａ～５４Ｃと、を有する内機ケース５０における、複数のボス部５４Ａ～５４Ｃのそれぞれに対応する位置に、各ボス部５４Ａ～５４Ｃと嵌合する孔３３Ａ～３３Ｃが形成された、ことを特徴とする。

【0036】

これにより、流量計測ユニット１０を、パッキン３０を介して内機ケース５０に取り付けている操作者は、フランジ部３２Ａ～３２Ｃの各孔３３Ａ～３３Ｃに各ボス部５４Ａ～５４Ｃを嵌合させた状態で、流量計測ユニット１０を内機ケース５０に取り付けるという簡単な操作だけで、流量計測ユニット１０を回転方向の正確な角度で内機ケース５０に取り付けることができる。

【0037】

（他の実施形態）
図７は、上記実施形態とは異なる他の実施形態に係る流量計に含まれる流量計測ユニット１０と内機ケース５０′を、パッキン３０を介して接続した状態を示している。図１と図７とを見比べれば分かるように、上記実施形態の内機ケース５０が、流量計測ユニット１０を１台のみ接続可能に構成されていたのに対して、本実施形態の内機ケース５０′は、流量計測ユニット１０を、例えば２台接続することができるように構成されている。そして、図７には、内機ケース５０′に流量計測ユニット１０を１台接続した例が示されている。

【0038】

図７に示すように、内機ケース５０′の後側側壁５２Ａ′には、パッキン３０を取り付けるための、孔５３′を含む２個の孔が穿孔され、孔５３′でない方の孔（図示せず）にパッキン３０が取り付けられて、パッキン３０を介して、流量計測ユニット１０と内機ケース５０′とが接続されている。したがって、図７の例では、孔５３′はパッキン３０により閉じられない状態となるため、パッキン３０と同様の形状のパッキン３０′を用いて孔５３′を閉じるようにしている。ただし、パッキン３０′には、パッキン３０と異なり、矩形状の孔３４（図３（ｂ）参照）は形成されていない。パッキン３０′は、単に孔５３′を閉じる役割を果たすものだからである。

【0039】

このように本実施形態では、内機ケース５０′として、例えば汎用性のあるものを用いたときに、流量計測ユニット１０を取り付けるための孔５３′が余った場合でも、パッキン３０′をその孔５３′に嵌合させて孔５３′を閉じることができるので、便利である。

【0040】

なお、本実施形態では、流量計測ユニット１０を取り付けるための孔として、２個を例に挙げたが、この個数は３個以上であってもよい。孔の個数が、例えば３個である場合、３個のうち、１個のみに流量計測ユニット１０を取り付けるようにしてもよいし、２個に流量計測ユニット１０を取り付けるようにしてもよい。その取付位置は、任意に選択すればよい。

【0041】

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。

【0042】

（１）上記実施形態では、フランジ部３２Ａ～３２Ｃの孔３３Ａ～３３Ｃとボス部５４Ａ～５４Ｃの個数を３個にしたが、３個より多くても少なくてもよい。ただし、１個を採用した場合、その１個の孔に１個のボス部を嵌合させた状態で、流量計測ユニット１０を内機ケース５０に取り付けたとき、回転方向の正確な角度からずれが生ずることがあるので、好ましいとは言えない。

【0043】

（２）上記実施形態では、パッキン３０として、平面視円形状のものを採用したが、これに限らず、例えば、楕円形状でもよい。ただし、矩形状は、頂点近傍のシールが甘くなるため、好ましいとは言えない。

【符号の説明】

【0044】

１０…流量計測ユニット、１１…計測流路部、１５…第１溝部、１６…第２溝部、１７…突起部、３０…パッキン、３０Ａ…表面、３２Ａ～３２Ｃ…フランジ部、３３Ａ～３３Ｃ，５３…孔、３６…リブ、５０…内機ケース（中継ケース）、５４Ａ～５４Ｃ…ボス部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】