特開 2024-178573 対物レンズ装置及び顕微鏡観察装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024178573

(43)【公開日】2024-12-25

(54)【発明の名称】対物レンズ装置及び顕微鏡観察装置

(51)【国際特許分類】

   G02B 21/02 20060101AFI20241218BHJP

   G02B 21/36 20060101ALI20241218BHJP

   G02B 21/00 20060101ALN20241218BHJP

【ＦＩ】

G02B21/02

G02B21/36

G02B21/00

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023096802

(22)【出願日】2023-06-13

(71)【出願人】

【識別番号】592163734

【氏名又は名称】京セラＳＯＣ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001379

【氏名又は名称】弁理士法人大島特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】山中 健史

【テーマコード（参考）】

2H052

2H087

【Ｆターム（参考）】

2H052AB02

2H052AB21

2H052AC04

2H052AD03

2H052AF14

2H087KA09

2H087LA01

2H087NA01

2H087PA08

2H087PA09

2H087PA16

2H087PB14

2H087PB16

2H087PB17

2H087QA01

2H087QA03

2H087QA07

2H087QA12

2H087QA13

2H087QA21

2H087QA25

2H087QA26

2H087QA32

2H087QA39

2H087QA41

2H087QA42

2H087QA45

2H087QA46

2H087RA42

2H087UA03

2H087UA04

(57)【要約】

【課題】浸液の変化及びサンプルが載置される容器の厚さ・光学特性の変化が大きい場合であっても、良好な結像性能を発揮できる対物レンズ装置を提供する。
【解決手段】対物レンズ装置１は、光軸方向に移動可能に設けられた第１可動レンズ群Ａと、第１可動レンズ群Ａを光軸方向に移動させることによって軸上色収差を補正する第１補正装置Ａｃと、光軸方向に移動可能に設けられた第２可動レンズ群Ｂと、第２可動レンズ群Ｂを光軸方向に移動させる第２補正装置Ｂｃとを備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

対物レンズ装置であって、
光軸方向に移動可能に設けられた第１可動レンズ群と、
前記第１可動レンズ群を光軸方向に移動させる第１補正装置と、
光軸方向に移動可能に設けられた第２可動レンズ群と、
前記第２可動レンズ群を光軸方向に移動させる第２補正装置と、を備える対物レンズ装置。

【請求項2】

前記第１可動レンズ群は、平凸レンズと平凹レンズとを接合してなる接合レンズから構成される、請求項１に記載の対物レンズ装置。

【請求項3】

前記平凸レンズ及び前記平凹レンズが以下の条件式（１）、（２）を満足する、請求項２に記載の対物レンズ装置。
｜ｎ_１－ｎ_２｜＜０．０５ ・・・（１）
｜ｖ_１－ｖ_２｜＞１０ ・・・（２）
ただし、
ｎ_１：基準波長における前記平凸レンズの屈折率
ｎ_２：基準波長における前記平凹レンズの屈折率
ｖ_１：前記平凸レンズのアッベ数
ｖ_２:前記平凹レンズのアッベ数、である。

【請求項4】

顕微鏡観察装置であって、
請求項１～３のいずれか１項に記載の対物レンズ装置と、
前記対物レンズ装置の前記第１補正装置及び前記第２補正装置を制御する制御装置と、
前記対物レンズ装置の像を結像する結像レンズと、
前記結像レンズが結像する画像を取得する画像取得装置と、を備え、
前記制御装置は、前記画像取得装置によって取得された画像データから補正量を算出し、算出された前記補正量に基づいて前記第１補正装置及び前記第２補正装置を制御する、顕微鏡観察装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は顕微鏡対物レンズ及び顕微鏡観察装置に関する。

【背景技術】

【0002】

現在、細胞を３次元的に培養して得られる細胞凝集塊や、細胞凝集塊を使った研究が注目されている。近年では、顕微鏡装置を用いて細胞凝集塊を撮影し、取得した顕微鏡画像データに対して画像解析技術を用いて創薬のためにスクリーニングを行い、薬効を評価するといったことも行われている（特許文献１～２）。

【0003】

上記のような観察対象物に対する深部撮影の際には、屈折率ミスマッチによる球面収差の発生を抑制するべく液浸対物レンズを用い、倒立顕微鏡にて観察されることが多い。このような用途に好適な液浸対物レンズが公知である（特許文献３～６）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０２２－７８６３８号公報

【特許文献2】特開２０２２－１６９８５３号公報

【特許文献3】特開２０２３－３２５６１号公報

【特許文献4】米国特許第７３４９１６２号明細書

【特許文献5】特許６９６０４８７号公報

【特許文献6】特開平５－１９６８７３号公報

【非特許文献】

【0005】

【非特許文献1】M. Bass, et al: Handbook of Optics vol.II, McGraw-Hill

【非特許文献2】R. Kingslake: Lens Design Fundamentals, SPIE

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ところで、スクリーニング研究においてはサンプルを収容するための複数の窪み（ウェル）がマトリクス状に形成された容器（ウェルプレート、マイクロプレート等と呼ばれる。以下、本明細書ではウェルプレートと呼称する。）が用いられることがある。このような容器を用いることで、条件の異なる多数のサンプルを容易に作成することができる。このようなウェルプレートは、たとえば特許文献１など、多くのものが開示されている。

【0007】

従来のカバーガラス上にサンプルを載置して観察する場合に対し、ウェルプレートに収容されたサンプルを観察する場合にはいくつかの課題がある。

【0008】

まず、ウェルプレートの多くはアクリル、ポリエチレン、ポリスチレンなどで製作されており、多様な形状の製品が入手可能である。換言すれば、ウェルプレートの形状（特に厚さ）にばらつきがあり、このばらつきが光学性能変化につながってしまう。

【0009】

また、ポリスチレンなどのポリマー材料は、材料の微妙な配合の違いや、射出成型プロセスの条件の違いなどにより、ガラスに比べて光学特性及び厚さのばらつきが大きくなる（非特許文献１）。

【0010】

これらの厚さ及び光学特性の違いによって、主に球面収差と色収差が変化してしまう（非特許文献２）。かかる収差変化によって、十分な結像性能が実現できず、所望の観察ができなくなるという課題がある。

【0011】

加えて、液浸対物レンズの使用において、複数の浸液を使い分ける場合がある。異なる浸液を使用すると屈折率・アッベ数が変化することになり、やはり球面収差と色収差が変化する。

【0012】

以下、上記の課題を念頭に、既存の液浸対物レンズについて詳細に検討する。

【0013】

特許文献３では、屈折率及びアッベ数の少なくとも一方が５％以上異なる浸液の変化に際し、一部のレンズ群を光軸方向に移動させることによって球面収差と色収差を補正する対物レンズが開示されている。しかしながら、この方式では球面収差と色収差を同時に補正するため、屈折率が等しくアッベ数が異なるような浸液の変化に際しては、精緻な補正ができないという課題がある。この状況は、たとえば特許文献３で列記されている浸液のうちＡの浸液とＥの浸液とを使い分ける場合に相当するが、その場合の補正方法は開示されていない。

【0014】

特許文献４では複数のレンズ群を適切に移動させ、カバーガラス厚、温度、浸液の変化に応じて、適切に収差補正された状態を選択できる対物レンズが開示されている。しかしこの方式は、各レンズ群を同時に動かすものであり、設計時に想定された数種類のパターンには対応できても、それ以外の場合には対応できないという課題がある。

【0015】

特許文献５では浸液に応じて適切な平行平面板を挿抜することによって球面収差と色収差を補正する対物レンズが開示されている。しかしながら、この方式では、ある決まった浸液に対する離散的な調整はできても、設計時に想定されていないような、光学特性の不明な浸液に対しては適用できない。また、サンプルが載置される容器の光学特性変化については考慮されていない。さらに、試料側に平行平面板を保持するためのスペースを確保する必要があり、対物レンズの大型化につながるという課題もある。

【0016】

特許文献６では、カバーガラスの有無に応じて補正レンズを挿抜することで収差補正を行う対物レンズが開示されている。しかしながらこの方式では、カバーガラスがあるかないかの２つの状態間の変化は対応できても、カバーガラスがあり、かつ厚さが異なるような場合には対応できないという課題がある。

【0017】

本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、浸液の変化及びサンプルが載置される容器の厚さ・光学特性の変化が大きい場合であっても、良好な結像性能を発揮できる対物レンズ装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0018】

上記課題を解決するために本発明のある態様は、対物レンズ装置であって、光軸方向に移動可能な第１可動レンズ群（Ａ）と、前記第１可動レンズ群を光軸方向に移動させることによって軸上色収差を補正する第１補正装置（Ａｃ）と、光軸方向に移動可能な第２可動レンズ群（Ｂ）と、前記第２可動レンズ群を光軸方向に移動させることによって球面収差を補正する第２補正装置（Ｂｃ）と、を備えている。

【0019】

この態様によれば、第１補正装置及び第２補正装置のそれぞれによって異なる収差を補正できるため、浸液の変化及びサンプルが載置される容器の厚さ・光学特性の変化が大きい場合であっても、対物レンズ装置の結像性能を良好にすることができる。

【0020】

上記の態様において、前記第１可動レンズ群（Ａ）は、平凸レンズ（Ａ１）と平凹レンズ（Ａ２）とを接合してなる接合レンズから構成するとよい。

【0021】

この態様によれば、簡単なレンズ構成によって第１可動レンズ群を具現化することができる。

【0022】

上記の態様において、前記平凸レンズ（Ａ１）と前記平凹レンズ（Ａ２）が以下の条件式（１）、（２）を満足するとよい。
｜ｎ_１－ｎ_２｜＜０．０５ ・・・（１）
｜ｖ_１－ｖ_２｜＞１０ ・・・（２）
ただし、
ｎ_１：基準波長における前記平凸レンズ（Ａ１）の屈折率
ｎ_２：基準波長における前記平凹レンズ（Ａ２）の屈折率
ｖ_１：前記平凸レンズ（Ａ１）のアッベ数
ｖ_２:前記平凹レンズ（Ａ２）のアッベ数、である。

【0023】

この態様によれば、浸液の変化及びサンプルが載置される容器の厚さ・光学特性の変化が大きい場合の対物レンズ装置の結像性能を、より良好にすることができる。

【0024】

上記の課題を解決するために、本発明の他の態様は、顕微鏡観察装置（１００）であって、前記第１可動レンズ群（Ａ）と、前記第１補正装置（Ａｃ）と、前記第２可動レンズ群（Ｂ）と、前記第２補正装置（Ｂｃ）と、を備える構成の対物レンズ装置（１）と、前記対物レンズ装置の前記第１補正装置（Ａｃ）及び前記第２補正装置（Ｂｃ）を制御する制御装置（２０）と、前記対物レンズ装置の像を結像する結像レンズ（２）と、前記結像レンズが結像する画像を取得する画像取得装置（３）と、を備え、前記制御装置は、前記画像取得装置によって取得された画像データから補正量を算出し、算出された前記補正量に基づいて前記第１補正装置及び前記第２補正装置を制御する。

【0025】

この態様によれば、第１補正装置によって軸上色収差を補正でき、第２補正装置によって球面収差を補正することができる。そのため、浸液の変化及びサンプルが載置される容器の厚さ・光学特性の変化が大きい場合であっても、対物レンズ装置の結像性能を良好にすることができる。

【発明の効果】

【0026】

以上の態様によれば、サンプルが載置される容器の厚さや光学特性変化、浸液の変化に際しても、球面収差と色収差を個別に補正し、良好な結像性能を得られる対物レンズ装置及び顕微鏡観察装置が実現できる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】本実施形態の対物レンズ装置を示す構成図

【図2】実施例１にかかる対物レンズ装置において、通常状態及び可動レンズ群を移動させた状態それぞれにおける、基準波長の球面収差を示す図

【図3】実施例１にかかる対物レンズ装置における、通常状態から可動レンズ群を移動させた際の軸上色収差の変化を表す図

【図4】実施例１の光路図

【図5】実施例１の第１の状態の縦収差図

【図6】実施例１の第２の状態の縦収差図

【図7】実施例１の第３の状態の縦収差図

【図8】実施例１の第１の状態の横収差図

【図9】実施例１の第２の状態の横収差図

【図10】実施例１の第３の状態の横収差図

【図11】実施例２の光路図

【図12】実施例２の第１の状態の縦収差図

【図13】実施例２の第２の状態の縦収差図

【図14】実施例２の第３の状態の縦収差図

【図15】実施例２の第１の状態の横収差図

【図16】実施例２の第２の状態の横収差図

【図17】実施例２の第３の状態の横収差図

【図18】実施例３の光路図

【図19】実施例３の第１の状態の縦収差図

【図20】実施例３の第２の状態の縦収差図

【図21】実施例３の第３の状態の縦収差図

【図22】実施例３の第１の状態の横収差図

【図23】実施例３の第２の状態の横収差図

【図24】実施例３の第３の状態の横収差図

【図25】実施例４の顕微鏡観察装置の模式図

【発明を実施するための形態】

【0028】

まず、本発明の一実施形態にかかる対物レンズ装置１について説明する。

【0029】

図１に示すように、対物レンズ装置１は、対物レンズを構成する複数のレンズからなる光学系１０と、この光学系１０を保持する鏡筒１１とを備えている。対物レンズ装置１は光軸方向に移動可能な第１可動レンズ群Ａを光学系１０に備えている。対物レンズ装置１は、第１補正装置Ａｃによって第１可動レンズ群Ａを光軸方向に移動させることで、軸上色収差を補正することができる。第１補正装置Ａｃは第１可動レンズ群Ａを鏡筒１１に対して移動させる駆動装置である。

【0030】

さらに、対物レンズ装置１は光軸方向に移動可能な第２可動レンズ群Ｂを光学系１０に備えている。対物レンズ装置１は、第２補正装置Ｂｃによって第２可動レンズ群Ｂを光軸方向に移動させることで、球面収差を補正することができる。第２補正装置Ｂｃは第２可動レンズ群Ｂを鏡筒１１に対して移動させる駆動装置である。

【0031】

このように対物レンズ装置１は、軸上色収差を補正する第１可動レンズ群Ａと球面収差を補正する第２可動レンズ群Ｂとの２つ可動レンズ群Ａ、Ｂを備え、それぞれを個別に移動させることによって、軸上色収差と球面収差を個別に補正することができる。これにより、柔軟な収差補正が実現できる。

【0032】

第１補正装置Ａｃ及び第２補正装置Ｂｃは、たとえば補正環によって具現化される。あるいは、各可動レンズ群Ａ、Ｂを電動アクチュエータで移動させる方式で具現化されてもよい。電動アクチュエータを使用する場合、コンピュータを備える顕微鏡装置と電気的に接続することによって、柔軟な制御が可能となる。

【0033】

第１可動レンズ群Ａは平凸レンズＡ１と平凹レンズＡ２とを接合した接合レンズから構成されている。このとき、平凸レンズＡ１及び平凹レンズＡ２は次の条件式（１）、（２）を満足している。
｜ｎ_１－ｎ_２｜＜０．０５ ・・・（１）
｜ｖ_１－ｖ_２｜＞１０ ・・・（２）
ただし、ｎ_１：基準波長における平凸レンズＡ１の屈折率、ｎ_２：基準波長における平凹レンズＡ２の屈折率、ｖ_１：平凸レンズＡ１のアッベ数、ｖ_２：平凹レンズＡ２のアッベ数、である。

【0034】

より望ましくは、平凸レンズＡ１及び平凹レンズＡ２は次の条件式（３）、（４）を満足するとよい。
｜ｎ_１－ｎ_２｜＜０．０１ ・・・（３）
｜ｖ_１－ｖ_２｜＞２０ ・・・（４）

【0035】

上記の式は、基準波長での屈折率がほぼ等しく、アッベ数の異なる２種の硝材を接合することを意味している。このような構成にすることによって、軸上色収差を選択的に変化させることが可能となる。

【0036】

いま、この第１可動レンズ群Ａを光軸方向に移動させ、第１可動レンズ群Ａに入射する光線高を変化させることを考える。このとき、第１可動レンズ群Ａは基準波長については平行平面板とみなせるため、光線高が変化しても収差に影響を与えない。しかし、第１可動レンズ群Ａは基準波長以外の波長に対してはパワーを持つので、光線高の変化によって軸上色収差が変化する。

【0037】

本発明の収差補正方法について、具体例を用いて説明する。

【0038】

図２は、後述する実施例１にかかる対物レンズ装置１において、通常状態と第１可動レンズ群Ａを移動させた状態（移動状態）とのそれぞれにおける、基準波長の球面収差を重ねて図示している。図２から分かるように、第１可動レンズ群Ａを移動させても、基準波長の球面収差はほとんど変化していない。

【0039】

図３は、実施例１にかかる対物レンズ装置１における、通常状態から第１可動レンズ群Ａを移動させた際の色収差への影響、具体的には軸上色収差の変化量（フォーカスシフト）を表している。図３から分かるように、第１可動レンズ群Ａを移動させると軸上色収差が大きく変化する。

【0040】

図２及び図３から示されるように、第１可動レンズ群Ａを移動させることで、基準波長の球面収差に有意な変化を与えることなく、軸上色収差を変化させることが可能となっている。

【0041】

第２可動レンズ群Ｂに球面収差補正機能を持たせることで、球面収差と軸上色収差の両方を良好に補正することが可能となる。

【0042】

次に、本発明の別の側面としての観察方法について説明する。

【0043】

観察方法は図１８に例示される観察装置によって具現化される。詳細については第３実施例で説明するが、観察装置は、顕微鏡観察装置１００であり、少なくとも１つの対物レンズ装置１を備えた顕微鏡本体１５と、顕微鏡本体１５を制御する制御装置２０とを備えている。顕微鏡本体１５はさらに、結像レンズ２と、画像取得装置３とを備えている。なお、対物レンズ装置１は、軸上色収差を補正する第１補正装置Ａｃ（図１）と、球面収差を補正する第２補正装置Ｂｃ（図１）とを備えている。

【0044】

制御装置２０は、対物レンズ補正装置制御装置２１と、顕微鏡制御装置２２と、計算端末２３とを備える。計算端末２３は、画像取得装置３で取得された画像情報に基づいて残存収差量を算出する。このとき、計算端末２３は観察対象として解像チャート等を用いてもよい。計算端末２３は画像から像点ずれ量や残存収差量を算出し、これをもとに対物レンズ補正装置制御装置２１は各可動レンズ群Ａ、Ｂの移動量を算出する。これをもとに制御装置２０は顕微鏡制御装置２２を通じて第１補正装置Ａｃ及び第２補正装置Ｂｃを駆動することで、良好な結像性能が発揮された状態を得ることができる。

【0045】

このように本発明によれば、サンプルが載置される容器６の厚さや光学特性変化、浸液の変化に際しても、球面収差と色収差を個別に補正し、良好な結像性能を得られる対物レンズ装置１及び顕微鏡観察装置１００が実現できる。

【0046】

以下、本発明の対物レンズ装置１にかかる複数の実施例について説明する。図４～図１０及び表１～表４は実施例１を示し、図１１～図１７及び表５～表８は実施例２を示し、図１８～図２４及び表９～表１２は実施例３を示し、図２５は実施例４を示す。

【0047】

表１及び表５は対物レンズ装置１のレンズデータを示す。表２及び表６は対物レンズ装置１の焦点距離などの基本データを示す。諸元は特に断りのない限り基準波長での値である。表３及び表７は対物レンズ装置１に使用される浸液データを示す。「浸液データ」には、各浸液の屈折率とアッベ数が示されている。表４及び表８は対物レンズ装置１の可変間隔データを示す。「可変間隔データ」には、第１～第３の状態の変化に伴う可変間隔の値が示されている。

【0048】

なお、以下のすべての諸元の値において、記載している焦点距離、曲率半径、レンズ面間隔、その他の長さの単位は特記のない限りミリメートル（ｍｍ）を使用する。ただし、光学系では比例拡大と比例縮小とにおいても同等の光学性能が得られるので、これに限られるものではない。

【実施例0049】

図４は実施例１の対物レンズ装置１の光路図を示す。図５～図７は、対物レンズ装置１の第１～第３の状態の縦収差図を示し、図８～図１０は、対物レンズ装置１の第１～第３の状態の横収差図を示す。

【0050】

実施例１にかかる対物レンズ装置１は、第１固定レンズ群ＦＡ、第１可動レンズ群Ａ、第２固定レンズ群ＦＢ、第２可動レンズ群Ｂ、第３固定レンズ群ＦＣから構成されている。第１固定レンズ群ＦＡは、接合レンズを含む複数のレンズ成分（ともに凹メニスカスレンズからなる第１レンズ成分Ｌ１（接合レンズ）及び第２レンズ成分Ｌ２（単レンズ））から構成されている。ここでレンズ成分とは、接合レンズまたは単レンズからなる１つのレンズを意味する。第１可動レンズ群Ａは平凸レンズＡ１と平凹レンズＡ２とを接合した接合レンズ（第３レンズ成分Ｌ３）で構成されている。第２固定レンズ群ＦＢは接合レンズ（凸メニスカスレンズからなる第４レンズ成分Ｌ４）から構成されている。第２可動レンズ群Ｂはそれぞれ両凸レンズをなす２つの接合レンズ（第５レンズ成分Ｌ５及び第６レンズ成分Ｌ６）から構成されている。第３固定レンズ群ＦＣは、接合レンズを含む複数のレンズ（両凸レンズからなる第７レンズ成分Ｌ７、凸メニスカスレンズからなる第８レンズ成分Ｌ８及び第９レンズ成分Ｌ９によって構成されている。

【0051】

第２可動レンズ群Ｂは光軸方向へ移動可能となっている。光線高の高いレンズ群を可動とすることで、球面収差の補正に効果がある。

【0052】

また、第２可動レンズ群Ｂから射出する光線は略アフォーカルとなっている。このような構成にすることで、第２可動レンズ群Ｂを移動させた際に軸上色収差の変化を抑制することができる。

【0053】

第１補正装置Ａｃは第１可動レンズ群Ａを光軸方向に移動させる。また、第２補正装置Ｂｃは第２可動レンズ群Ｂを光軸方向に移動させる。

【0054】

観察対象は、ポリスチレン製のウェルプレートに載置されている。ただし、図４の光路図ではウェルの底部のみが図示されている。

【0055】

ウェルプレートと対物レンズ装置１の間隙は浸液で満たされている。

【0056】

第１の状態は基準となる状態であり、所定厚さのウェルプレートと所定の浸液を使用する状態である。なお、基準波長はｄ線である。第２の状態は、第１の状態とは異なる浸液を使用する状態である。さらに第３の状態は、第２の状態からウェルプレートの厚さが異なる状態である。

【0057】

実施例１のレンズデータを以下に示す。なお、「Ｓ－」から始まる硝材はすべてオハラ社のガラス名称である。またPOLYSTYRはポリスチレンである。

【表1】

【表2】

【表3】

【表4】

【0058】

実施例１の対物レンズ装置１の第１～第３の状態の縦収差図は図５～図７に示す通りである。また、実施例１の対物レンズ装置１の第１～第３の状態の横収差図は図８～図１０に示す通りである。

【実施例0059】

図１１は実施例２の対物レンズ装置１の光路図を示す。図１２～図１４は、対物レンズ装置１の第１～第３の状態の縦収差図を示し、図１５～図１７は、対物レンズ装置１の第１～第３の状態の横収差図を示す。

【0060】

実施例２にかかる対物レンズ装置１は、第２可動レンズ群Ｂと、第１固定レンズ群ＦＡとで構成されている。第２可動レンズ群Ｂ内に第１可動レンズ群Ａが備えられている。第２可動レンズ群Ｂの光軸方向の移動に伴い、第１可動レンズ群Ａも一体となって移動する。

【0061】

第２可動レンズ群Ｂは、４つの接合レンズ（凹メニスカスレンズからなる第１１レンズ成分Ｌ１１、平板レンズからなる第１２レンズ成分Ｌ１２、凹メニスカスレンズからなる第１３レンズ成分Ｌ１３、平凸レンズからなる第１４レンズ成分Ｌ１４）から構成されている。第１可動レンズ群Ａは平凸レンズＡ１と平凹レンズＡ２とを接合した接合レンズ（第１２レンズ成分Ｌ１２）で構成されている。第１固定レンズ群ＦＡは接合レンズを含む複数のレンズ（両凸レンズからなる第１５レンズ成分Ｌ１５、ともに凸メニスカスレンズからなる第１６レンズ成分Ｌ１６、第１７レンズ成分Ｌ１７及び第１８レンズ成分Ｌ１８によって構成されている。

【0062】

軸上色収差補正のため第１可動レンズ群Ａを光軸方向へ移動させるとき、第２可動レンズ群Ｂは固定されている。

【0063】

第１補正装置Ａｃは第１可動レンズ群Ａを光軸方向に移動させる。また、第２補正装置Ｂｃは第２可動レンズ群Ｂを光軸方向に移動させる。

【0064】

第１可動レンズ群Ａは平凸レンズＡ１と平凹レンズＡ２とを接合した接合レンズで構成されている。

【0065】

観察対象は、ポリスチレン製のウェルプレートに載置されている。ただし、図１１の光路図ではウェルの底部のみが図示されている。

【0066】

ウェルプレートと対物レンズ装置１の間隙は浸液で満たされている。

【0067】

第１の状態は基準となる状態であり、所定厚さのウェルプレートと所定の浸液を使用する状態である。なお、基準波長はｄ線である。第２の状態は、第１の状態とは異なる浸液を使用する状態である。さらに第３の状態は、第２の状態からウェルプレートの厚さが異なる状態である。

【0068】

実施例２のレンズデータを以下に示す。なお、「Ｓ－」から始まる硝材はすべてオハラ社のガラス名称である。またPOLYSTYRはポリスチレンである。

【表5】

【表6】

【表7】

【表8】

【0069】

実施例２の対物レンズ装置１の第１～第３の状態の縦収差図は図１２～図１４に示す通りである。また、実施例２の対物レンズ装置１の第１～第３の状態の横収差図は図１５～図１７に示す通りである。