特開 2024-178799 光合波器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024178799

(43)【公開日】2024-12-25

(54)【発明の名称】光合波器

(51)【国際特許分類】

   G02B 6/12 20060101AFI20241218BHJP

   G02B 6/122 20060101ALI20241218BHJP

   G02B 6/125 20060101ALI20241218BHJP

   G02B 6/42 20060101ALI20241218BHJP

【ＦＩ】

G02B6/12 331

G02B6/122 311

G02B6/125 301

G02B6/42

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023097222

(22)【出願日】2023-06-13

(71)【出願人】

【識別番号】300081763

【氏名又は名称】セーレンＫＳＴ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110003524

【氏名又は名称】弁理士法人愛宕綜合特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】矢部 勇多

(72)【発明者】

【氏名】姫野 明

(72)【発明者】

【氏名】川崎 修

(72)【発明者】

【氏名】岩端 一樹

(72)【発明者】

【氏名】吉田 哲文

(72)【発明者】

【氏名】神尾 具喜

(72)【発明者】

【氏名】堀井 浩一

(72)【発明者】

【氏名】亀井 洋次郎

【テーマコード（参考）】

2H137

2H147

【Ｆターム（参考）】

2H137AB11

2H137BA44

2H137BA46

2H137BB02

2H137BC51

2H147AA04

2H147AB17

2H147BE13

2H147BE14

2H147CA13

2H147GA25

(57)【要約】

【課題】光強度が向上すると共に、スペックルノイズを低減した、高品質の画像をスクリーン上に表示することが可能な出力光を得ることができる、小型の光合波器を提供する。
【解決手段】少なくとも２つの導波路からそれぞれ多重光を出力する光合波器であって、それぞれの多重光は、単色光を伝搬する少なくとも２つの導波路が１つの導波路に合流することにより合波された多重光であることを特徴とする光合波器。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

少なくとも２つの導波路からそれぞれ多重光を出力する光合波器であって、それぞれの多重光は、単色光を伝搬する少なくとも２つの導波路が１つの導波路に合流することにより合波された多重光であることを特徴とする光合波器。

【請求項2】

前記１つの導波路の幅が、前記単色光を伝搬する少なくとも２つの導波路のそれぞれの幅より大きい請求項１に記載された光合波器。

【請求項3】

前記１つの導波路の幅が、前記単色光を伝搬する少なくとも２つの導波路の幅の合計以上大きい請求項１に記載された光合波器。

【請求項4】

前記少なくとも２つの導波路からそれぞれ多重光を出力する光合波器が、少なくとも３つの導波路からそれぞれ多重光を出力する光合波器であり、かつ、前記それぞれの多重光における少なくとも２つの導波路を伝搬する単色光が同色の単色光である請求項１に記載された光合波器。

【請求項5】

前記少なくとも３つの導波路からそれぞれ多重光を出力する光合波器における、前記同色の単色光が少なくとも青色光、緑色光及び赤色光を含む請求項４に記載された光合波器。

【請求項6】

前記それぞれの多重光における少なくとも２つの導波路を伝搬する単色光が異なる色の単色光である請求項１に記載された光合波器。

【請求項7】

前記それぞれの多重光は、互いに異なる色の単色光を伝搬する２つの導波路が１つの導波路に合流することにより合波された後、さらに別の異なる色の単色光を伝搬する１つの導波路が合流することにより合波された多重光である請求項１に記載された光合波器。

【請求項8】

前記異なる色の単色光が、少なくとも青色光、緑色光、及び赤色光から選択される請求項６または７に記載された光合波器。

【請求項9】

請求項１に記載された光合波器に加え、少なくとも２つの多重光を走査する走査ミラー、及び前記単色光の光源としてレーザダイオードを備える画像表示装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、少なくとも２つの導波路からそれぞれ多重光を出力する光合波器であって、それぞれの多重光は、単色光を伝搬する少なくとも２つの導波路が１つの導波路に合流することにより合波された多重光であることを特徴とする光合波器に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、眼鏡型端末や携帯型プロジェクタ等の小型の画像投影装置の光源回路として、複数のレーザダイオードを光源として用い、導波路からなる方向性結合器により光結合を行う光合波器を備えた画像表示装置が知られている（特許文献１を参照）。前記光合波器における導波路は、シリコン基板上に公知の化学気相成長法（ＣＶＤ）やスパッタリング法等を用いて低屈折率及び高屈折率のシリコン酸化膜を積層形成した後、フォトマスクを用いたフォトリソグラフィー法によりパターニングを行い、さらに低屈折率シリコン酸化膜を積層形成するという工程を経て製造される。

【0003】

また、複数のレーザダイオードから出力されるそれぞれの光ビームの出力時間を変更してタイムシフトすることにより光強度を制御すると共に、水平方向および垂直方向に反射して画像を投影する走査ミラーを備えた画像表示装置も知られている（特許文献２を参照）。ここで、特許文献２に記載された画像表示装置は、光源として青色光源、緑色光源、及び２つの赤色光源を備えているが、上記２つの赤色光源は、片方の赤色光源の高温時に出力が低下する不具合を解消するために、高温でも駆動可能な、もう片方の赤色光源を用いており、実質的に１つの赤色光源を用いている。

【0004】

上記従来技術における画像表示装置の光源部分においては、実質的に青色光源、緑色光源、及び赤色光源を１つずつしか用いていないことから、出力光の明るさ（光強度）を向上することに限界があった。また、上記各色の光源を１つずつ用いた出力光をスクリーンに投影した場合、スクリーン上に表示される画像には光強度分布がばらつくスペックルノイズが生じて画質が低下するため、高品質の画像を得ることが困難であった。そのため、上記３色の光源をそれぞれ２つずつ計６個に増加した光源を用いることにより、出力光の明るさを向上すると共に、スペックルノイズを低減することが考えられるが、光源部分の装置が大型化し、画像表示装置の小型化が困難となる問題があると共に、ダイクロイックミラーやＭＥＭＳミラー等を用いて、走査ミラーを用いて２次元画像のラスタースキャンを行う場合、色ずれを補正するための上記６個の光源の発光タイミングに合わせた走査ミラーの駆動操作が複雑化して制御が困難となる問題がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１３－１９５６０３号公報

【特許文献2】特開２００９－２５８２０７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明の目的は、このような事情に鑑みてなされたものであり、光強度が向上すると共に、スペックルノイズを低減した、高品質の画像をスクリーン上に表示することが可能な出力光を得ることができる、小型の光合波器を提供することである。

【0007】

本発明のさらなる目的は、本発明の光合波器を用いることにより、走査ミラーの駆動操作が容易であり、制御が困難とならない画像表示装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明は、少なくとも２つの導波路からそれぞれ多重光を出力する光合波器であって、それぞれの多重光は、単色光を伝搬する少なくとも２つの導波路が１つの導波路に合流することにより合波された多重光であることを特徴とする光合波器を提供する。

【0009】

前記１つの導波路の幅が、前記単色光を伝搬する少なくとも２つの導波路のそれぞれの幅より大きいことが好ましい。

【0010】

前記１つの導波路の幅が、前記単色光を伝搬する少なくとも２つの導波路の幅の合計以上大きいことが好ましい。

【0011】

前記少なくとも２つの導波路からそれぞれ多重光を出力する光合波器が、少なくとも３つの導波路からそれぞれ多重光を出力する光合波器であり、かつ、前記それぞれの多重光における少なくとも２つの導波路を伝搬する単色光が同色の単色光であることが好ましい。

【0012】

前記少なくとも３つの導波路からそれぞれ多重光を出力する光合波器における、前記同色の単色光が少なくとも青色光、緑色光及び赤色光を含むことが好ましい。

【0013】

前記それぞれの多重光における少なくとも２つの導波路を伝搬する単色光が異なる色の単色光であることが好ましい。

【0014】

前記それぞれの多重光は、互いに異なる色の単色光を伝搬する２つの導波路が１つの導波路に合流することにより合波された後、さらに別の異なる色の単色光を伝搬する１つの導波路が合流することにより合波された多重光であることが好ましい。

【0015】

前記異なる色の単色光が、少なくとも青色光、緑色光、及び赤色光から選択されることが好ましい。

【0016】

また、本発明は、前記光合波器に加え、少なくとも２つの多重光を走査する走査ミラー、及び前記単色光の光源としてレーザダイオードを備える画像表示装置を提供する。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、眼鏡型端末や携帯型プロジェクタ等の画像投影装置用途に使用される画像表示装置に用いる小型の光合波器を提供することができる。本発明の光合波器は、少なくとも２つの導波路からそれぞれ多重光を出力する光合波器であり、同色の光源を２つ以上用いることが可能であることから、光強度が向上し、高輝度の画像を得ることが可能となると共に、スペックルノイズを低減した、高品質の画像をスクリーン上に表示することが可能となる。また、本発明の光合波器を用いた画像表示装置においては、走査ミラーの駆動操作が容易であり、制御が困難となることはない。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明における実施例１の光合波器の上面図である。

【図2】本発明における実施例２の光合波器の上面図である。

【図3】本発明における実施例３の光合波器の上面図である。

【図4】本発明における実施例１の光合波器を用いた画像表示装置の概略図である。

【図5】本発明における実施例２の光合波器を用いた画像表示装置の概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、本発明を実施するための実施例について、図面を参照しながら説明する。なお、本発明はこれらの実施例に限られるものではない。

【0020】

図１は、実施例１の光合波器１００の上面図を示す。光合波器１００は、光源として左側に配置された第１赤色レーザダイオード１、第２赤色レーザダイオード２の２つの赤色レーザダイオードから出力された赤色光が、左側端面からそれぞれの導波路１１、１２に入力され、伝搬した後、導波路１３として合流することにより合波され、伝搬した後、右側端面から多重光２０が出力される。ここで、導波路１１、１２、１３の幅は、それぞれ導波路幅Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３で表され、導波路幅Ｗ３は導波路幅Ｗ１、Ｗ２のそれぞれより大きいことが好ましく、導波路幅Ｗ１、Ｗ２の合計以上大きいことがさらに好ましい。導波路幅Ｗ３が導波路幅Ｗ１、Ｗ２のいずれかの幅以下である場合、合波の段階で光の損失が発生する可能性がある。

【0021】

また、上記光合波器１００は、光源として左側に配置された第１緑色レーザダイオード３、第２緑色レーザダイオード４の２つの緑色レーザダイオードから出力された緑色光が、左側端面からそれぞれの導波路１４、１５に入力され、伝搬した後、導波路１６として合流することにより合波され、伝搬した後、右側端面から多重光２１が出力されると共に、光源として左側に配置された第１青色レーザダイオード５、第２青色レーザダイオード６の２つの青色レーザダイオードから出力された青色光が、左側端面からそれぞれの導波路１７、１８に入力され、伝搬した後、導波路１９として合流することにより合波され、伝搬した後、右側端面から多重光２２が出力される。そして、導波路１４～１９の幅は、それぞれ導波路幅Ｗ４～Ｗ９で表され、導波路幅Ｗ６と導波路幅Ｗ４、５の大小関係、及び導波路幅Ｗ９と導波路幅Ｗ７、８の大小関係は、上記導波路幅Ｗ３と導波路幅Ｗ１、２の大小関係と同様である。したがって、上記光合波器１００は、右側端面の３つの導波路から同色の単色光が合波した、それぞれ赤色光、緑色光及び青色光の多重光２０、２１及び２２を出力する光合波器である。

【0022】

図２は、実施例２の光合波器１０１の上面図を示す。光合波器１０１は、左側に配置された光源である第１赤色レーザダイオード１、第１緑色レーザダイオード３及び第１青色レーザダイオード５から出力された、それぞれ赤色光、緑色光及び青色光が、左側端面からそれぞれの導波路３１、３２及び３３に入力され、伝搬した後、最初に導波路３１及び３２が合流することにより、赤色光と緑色光が合波され、伝搬した後、さらに、導波路３３が加わって、導波路３４として合流することにより、赤色光、緑色光及び青色光が合波され、伝搬した後、右側端面から多重光３９が出力される。ここで、導波路３１、３２及び３３の幅は、それぞれ導波路幅Ｗ１１、Ｗ１２及びＷ１３で表され、図１で説明した内容と同様に、導波路３１と３２が合流した導波路の幅である導波路幅Ｗ１４は、導波路幅Ｗ１１、Ｗ１２のそれぞれより大きいことが好ましく、導波路幅Ｗ１１、Ｗ１２の合計以上大きいことがさらに好ましい。導波路幅Ｗ１４が導波路幅Ｗ１１、Ｗ１２のいずれかの幅以下である場合、合波の段階で光の損失が発生する可能性がある。さらに、導波路３４の幅である導波路幅Ｗ１５は、導波路幅Ｗ１３、Ｗ１４のそれぞれより大きいことが好ましく、導波路幅Ｗ１３、Ｗ１４の合計以上大きいことがさらに好ましい。導波路幅Ｗ１５が導波路幅Ｗ１３、Ｗ１４のいずれかの幅以下である場合、合波の段階で光の損失が発生する可能性がある。

【0023】

また、上記光合波器１０１は、左側に配置された光源である第２赤色レーザダイオード２、第２緑色レーザダイオード４及び第２青色レーザダイオード６から出力された、それぞれ赤色光、緑色光及び青色光が、左側端面からそれぞれの導波路３７、３６及び３５に入力され、伝搬した後、最初に導波路３７及び３６が合流することにより、赤色光と緑色光が合波され、伝搬した後、さらに、導波路３５が加わって、導波路３８として合流することにより、赤色光、緑色光及び青色光が合波され、伝搬した後、右側端面から多重光４０が出力される。そして、導波路３５～３８の幅は、それぞれ導波路幅Ｗ１６～Ｗ２０で表され、導波路幅Ｗ２０と導波路幅Ｗ１６～１９の大小関係は、上記導波路幅Ｗ１５と導波路幅Ｗ１１～１４の大小関係と同様である。したがって、上記光合波器１０１は、右側端面の２つの導波路から、それぞれ異なる色の単色光である赤色光、緑色光及び青色光の多重光３９、４０を出力する光合波器である。

【0024】

図３は、実施例３の光合波器１０２の上面図を示す。光合波器１０２は、左側に配置された光源である第１赤色レーザダイオード１、第１緑色レーザダイオード３及び第１青色レーザダイオード５から出力された、それぞれ赤色光、緑色光及び青色光が、左側端面からそれぞれの導波路４１、４２及び４３に入力され、伝搬した後、導波路４４として合流することにより、赤色光、緑色光及び青色光が合波され、伝搬した後、右側端面から多重光４９が出力される。ここで、導波路４１、４２及び４３の幅は、それぞれ導波路幅Ｗ２１、Ｗ２２及びＷ２３で表され、図１で説明した内容と同様に、導波路４４の幅である導波路幅Ｗ２４は、導波路幅Ｗ２１、Ｗ２２及びＷ２３のそれぞれより大きいことが好ましく、導波路幅Ｗ２１、Ｗ２２及びＷ２３の合計以上大きいことがさらに好ましい。導波路幅Ｗ４４が導波路幅Ｗ２１、Ｗ２２及びＷ２３のいずれかの幅以下である場合、合波の段階で光の損失が発生する可能性がある。

【0025】

また、上記光合波器１０２は、左側に配置された光源である第２赤色レーザダイオード２、第２緑色レーザダイオード４及び第２青色レーザダイオード６から出力された、それぞれ赤色光、緑色光及び青色光が、左側端面からそれぞれの導波路４５、４６及び４７に入力され、伝搬した後、導波路４８として合流することにより、赤色光、緑色光及び青色光が合波され、伝搬した後、右側端面から多重光５０が出力される。そして、導波路４５～４８の幅は、それぞれ導波路幅Ｗ２５～Ｗ２８で表され、導波路幅Ｗ２８と導波路幅Ｗ２５～２７の大小関係は、上記導波路幅Ｗ２４と導波路幅Ｗ２１～２３の大小関係と同様である。したがって、上記光合波器１０２は、右側端面の２つの導波路から、それぞれ異なる色の単色光である赤色光、緑色光及び青色光の多重光４９、５０を出力する光合波器である。

【0026】

ここで、上記第１赤色レーザダイオード１、第２赤色レーザダイオード２から出力された２つの赤色光、第１緑色レーザダイオード３、第２緑色レーザダイオード４から出力された２つの緑色光、及び第１青色レーザダイオード５、第２青色レーザダイオード６から出力された２つの青色光について、本発明においては、それぞれ赤色、緑色及び青色の同色の単色光であるが、実際の目視した時の光の色を示す主波長について、厳密に同一波長の光である必要はなく、一般的に同色として認識される波長の光であれば、これを同色の単色光として扱う。例えば、４３０～４９５ｎｍの青色光、４９５～５７０ｎｍの緑色光及び６１０～７７０ｎｍの赤色光は、それぞれ同色の単色光であり、さらに、５７０～５９５ｎｍの黄色光、５９５～６１０ｎｍの橙色光、４００～４３０ｎｍの紫色光についても、それぞれ同色の単色光である。そして、上記青色光、緑色光、赤色光、黄色光、橙色光及び紫色光は、それぞれ相互に異なる色の単色光として扱う。

【0027】

なお、光合波器１００、１０１及び１０２は、特許文献１等に記載されている公知の手段、方法を用いることによって製造することができる。また、実施例１～３の光源としてレーザダイオードを用いたが、反射型発光ダイオード等の他の光源を用いてもよい。さらに、実施例には、同色の単色光として、赤色光、緑色光及び青色光の光源を各色２個ずつしか用いていないが、必要に応じて、上記黄色光、橙色光及び紫色光を用いてもよく、光源の数も各色３個以上用いてもよい。ヒトの網膜における錐体細胞が赤色光、緑色光及び青色光に反応することから、少なくとも赤色光、緑色光及び青色光の光源を含むことが好ましく、また、高輝度の画像を得ることを可能とするため、少なくとも光源を各色２個ずつ用いることが好ましい。

【0028】

図４は、実施例１の光合波器１００を用いた画像表示装置の概略図を示す。光合波器１００から出力された多重光２０～２２は、スクリーン５２上の点５３で重なるように走査ミラー５１で反射される。走査ミラー５１は可動式であり、多重光２０～２２の出力時間を変更するタイムシフトに対応して、それぞれ多重光２０～２２を反射する角度を変更することにより、点５３で重なるように制御する。さらに、点５３を水平及び垂直方向に走査し、スクリーン５２上に画像を表示する。

【0029】

走査ミラー５１は特許文献２等に記載されている公知の手段、方法を用いることによって制御することができる。また、その他の電源や駆動回路等、図４で省略した画像表示装置に必要な構成要素についても特許文献２等に記載されている公知の構成要素を用いることができる。

【0030】

走査ミラー５１はモーターを用いた機械的回転式ミラー、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ－Ｅｌｅｃｔｒｏ－Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）ミラー等の公知の走査ミラーを用いることができる。低消費電力であり、光学的振れ角が広く、ミラー反射率が高いことからＭＥＭＳミラーを用いることが好ましい。

【0031】

図５は、実施例２の光合波器１０１を用いた画像表示装置の概略図を示す。光合波器１０１から多重光３９及び４０が出力されること以外は図４の画像表示装置と同様の原理、構成を用いることができる。また、上記光合波器１０１に代えて、実施例３の光合波器１０２を用いることもできる。

【0032】

図４及び図５における画像表示装置において、本発明である光合波器の光源として、赤色レーザダイオード、緑色レーザダイオード及び青色レーザダイオードをそれぞれ２つずつ用いていることから、それぞれ１つずつ用いた場合に比較して光強度が向上している。また、それぞれ１つずつ用いた場合に発生するスペックルノイズについても、それぞれ２つずつ用いることにより光強度分布のばらつきが低減され、高品質の画像を得ることができる。さらに、光源であるレーザダイオードの数が６であったとしても、光合波器から出力する多重光の数が２または３であることから、２次元画像のラスタースキャンを行う際の上記走査ミラー５１の駆動操作は容易であり、制御が困難となることはない。

【産業上の利用可能性】

【0033】

本発明の光合波器は、眼鏡型端末や携帯型プロジェクタ等の小型の画像投影装置の光源回路として使用することができ、光強度が向上すると共に、スペックルノイズを低減した、高品質の画像をスクリーン上に表示することを可能とする出力光を得ることが可能である。

【符号の説明】

【0034】

１ 第１赤色レーザダイオード
２ 第２赤色レーザダイオード
３ 第１緑色レーザダイオード
４ 第２緑色レーザダイオード
５ 第１青色レーザダイオード
６ 第２青色レーザダイオード
１１ 図１における第１赤色レーザダイオード１の出力光が入力される導波路
１２ 図１における第２赤色レーザダイオード２の出力光が入力される導波路
１３ 導波路１１、１２が合流する導波路
１４ 図１における第１緑色レーザダイオード３の出力光が入力される導波路
１５ 図１における第２緑色レーザダイオード４の出力光が入力される導波路
１６ 導波路１４、１５が合流する導波路
１７ 図１における第１青色レーザダイオード５の出力光が入力される導波路
１８ 図１における第２青色レーザダイオード６の出力光が入力される導波路
１９ 導波路１７、１８が合流する導波路
２０ 導波路１３から出力される赤色多重光
２１ 導波路１６から出力される緑色多重光
２２ 導波路１９から出力される青色多重光
３１ 図２における第１赤色レーザダイオード１の出力光が入力される導波路
３２ 図２における第１緑色レーザダイオード３の出力光が入力される導波路
３３ 図２における第１青色レーザダイオード５の出力光が入力される導波路
３４ 導波路３１、３２及び３３が合流する導波路
３５ 図２における第２青色レーザダイオード６の出力光が入力される導波路
３６ 図２における第２緑色レーザダイオード４の出力光が入力される導波路
３７ 図２における第２赤色レーザダイオード２の出力光が入力される導波路
３８ 導波路３５、３６及び３７が合流する導波路
３９ 導波路３４から出力される多重光
４０ 導波路３８から出力される多重光
４１ 図３における第１赤色レーザダイオード１の出力光が入力される導波路
４２ 図３における第１緑色レーザダイオード３の出力光が入力される導波路
４３ 図３における第１青色レーザダイオード５の出力光が入力される導波路
４４ 導波路４１、４２及び４３が合流する導波路
４５ 図３における第２赤色レーザダイオード２の出力光が入力される導波路
４６ 図３における第２緑色レーザダイオード４の出力光が入力される導波路
４７ 図３における第２青色レーザダイオード６の出力光が入力される導波路
４８ 導波路４５、４６及び４７が合流する導波路
４９ 導波路４４から出力される多重光
５０ 導波路４８から出力される多重光
５１ 走査ミラー
５２ スクリーン
５３ スクリーン５２上の点
１００ 実施例１の光合波器
１０１ 実施例２の光合波器
１０２ 実施例３の光合波器
Ｗ１ 導波路１１の導波路幅
Ｗ２ 導波路１２の導波路幅
Ｗ３ 導波路１３の導波路幅
Ｗ４ 導波路１４の導波路幅
Ｗ５ 導波路１５の導波路幅
Ｗ６ 導波路１６の導波路幅
Ｗ７ 導波路１７の導波路幅
Ｗ８ 導波路１８の導波路幅
Ｗ９ 導波路１９の導波路幅
Ｗ１１ 導波路３１の導波路幅
Ｗ１２ 導波路３２の導波路幅
Ｗ１３ 導波路３３の導波路幅
Ｗ１４ 導波路３１と３２が合流する導波路の導波路幅
Ｗ１５ 導波路３４の導波路幅
Ｗ１６ 導波路３５の導波路幅
Ｗ１７ 導波路３６の導波路幅
Ｗ１８ 導波路３７の導波路幅
Ｗ１９ 導波路３６と３７が合流する導波路の導波路幅
Ｗ２０ 導波路３８の導波路幅
Ｗ２１ 導波路４１の導波路幅
Ｗ２２ 導波路４２の導波路幅
Ｗ２３ 導波路４３の導波路幅
Ｗ２４ 導波路４４の導波路幅
Ｗ２５ 導波路４５の導波路幅
Ｗ２６ 導波路４６の導波路幅
Ｗ２７ 導波路４７の導波路幅
Ｗ２８ 導波路４８の導波路幅

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】