特開 2024-178860 コリオリ質量流量計

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024178860

(43)【公開日】2024-12-25

(54)【発明の名称】コリオリ質量流量計

(51)【国際特許分類】

   G01F 1/84 20060101AFI20241218BHJP

【ＦＩ】

G01F1/84

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023097340

(22)【出願日】2023-06-13

(71)【出願人】

【識別番号】000006507

【氏名又は名称】横河電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】木村 壮

【テーマコード（参考）】

2F035

【Ｆターム（参考）】

2F035JA02

(57)【要約】

【課題】容易に測定感度を高めること。
【解決手段】コリオリ質量流量計１００は、両端が固定され、両端の中心を軸に回転対称の形状であり、両端の一端側から他端側へ被測定対象の流体が流れる測定管１と、測定管１に対して軸を中心とする回転振動を与えるエキサイター２、３と、回転振動させた測定管１に作用するコリオリ力の方向において回転振動の振幅に比例して測定管１に生じる変位、速度または加速度を検出するセンサ４と、検出された変位、速度または加速度に基づいて流体の質量流量を算出する変換器１２と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

両端が固定され、前記両端の中心を軸に回転対称の形状であり、前記両端の一端側から他端側へ被測定対象の流体が流れる測定管と、
前記測定管に対して前記軸を中心とする回転振動を与える励振部と、
前記回転振動させた測定管に作用するコリオリ力の方向において前記回転振動の振幅に比例して前記測定管に生じる変位、速度または加速度を検出するセンサ部と、
検出された前記変位、前記速度または前記加速度に基づいて前記流体の質量流量を算出する算出部と、
を備えることを特徴とするコリオリ質量流量計。

【請求項2】

前記励振部は、前記測定管の前記軸に対して一方向側に設けられた第１の励振部と、前記測定管の前記軸に対して他方向側に設けられた第２の励振部とを含み、前記第１の励振部および前記第２の励振部が互いに逆位相で駆動することで前記回転振動を与える、
ことを特徴とする請求項１に記載のコリオリ質量流量計。

【請求項3】

前記センサ部は、前記軸上に１つ設けられる、
ことを特徴とする請求項１に記載のコリオリ質量流量計。

【請求項4】

前記測定管は、前記一端側から延在する第１の管部と、前記第１の管部から直角に屈曲して延在する第２の管部と、前記第２の管部から直角に屈曲して前記他端側に延在する第３の管部とを有するコ字形状である、
ことを特徴とする請求項１に記載のコリオリ質量流量計。

【請求項5】

前記算出部は、前記変位をｙ_ｐ、前記測定管のたわみ量と等分布荷重の比例係数をＫ、前記回転振動における前記測定管のねじれ角をθ、前記質量流量をＱ_ｍ、前記回転振動の振幅をＦ_ｅｘ０、前記第２の管部の幅をＬ_ｂｍ、前記軸回りの前記測定管の運動に対する減衰係数をＤ_θ、前記励振部の駆動振動数をω_θおよび前記励振部の励振力に対する位相遅れをφ_θとした次の式（１）をもとに、

【数1】

前記変位、前記速度または前記加速度に基づく前記質量流量を算出する、
特徴とする請求項４に記載のコリオリ質量流量計。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、コリオリ質量流量計に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、測定管内を流れる流体の流量を測定する流量計として、コリオリ質量流量計が知られている。図６は、従来のコリオリ質量流量計の構成および動作の概要を説明する説明図である。

【0003】

図６に示すように、被測定対象の流体が流れる測定管１０１は、Ｚ軸（例えば鉛直方向）を中心として１８０°回転対称の「コ」字の形状である。測定管１０１において、流体が流入および流出する両端部は、Ｘ軸上に固定される。

【0004】

測定管１０１において、流体の流入口側の管部には、（速度）変位を検出するセンサ１０２が設置されている。また、センサ１０２と同じ高さ（Ｚ座標）の、流出口側の管部には、（速度）変位を検出するセンサ１０３が設置されている。このセンサ１０２、１０３は、同じ高さ（Ｚ座標）の設置部位における測定管１０１の（速度）変位を検出する。

【0005】

測定管１０１の中央（Ｚ軸上）には、測定管１０１を励振させる励振装置としてエキサイター１０４が設置されている。エキサイター１０４は、変換器１１１によって動作が制御され、Ｙ方向の調和励振力１０５を与える。エキサイター１０４は、Ｙ方向の調和励振力１０５により、図中の点線で示すように、測定管１０１をＹ方向にたわませる振動モード（たわみモード）で共振させる。

【0006】

測定管１０１に生じる振動振幅は微小であるため、エキサイター１０４の調和励振力１０５による測定管１０１の振幅は、測定管１０１のＸ軸まわりの回転振動とみなせる。また、測定管１０１を基準にすると、Ｘ軸は、測定管１０１の共振周波数で回転振動する回転座標系である。

【0007】

ここで、測定管１０１における流体の流れに沿って、測定管１０１を眺めた時に流入口から最初に屈曲する箇所までを流入口側、最後に屈曲した箇所から流出口までを流出口側と呼ぶ。流入口側における流体の流速ベクトル１０６は、正のＺ軸方向のベクトルとなる。また、流出口側における流体の流速ベクトル１０７は、流速ベクトル１０６とは逆ベクトル（負のＺ軸方向のベクトル）となる。

【0008】

Ｚ軸方向における流速ベクトル１０６、１０７は、回転座標系における軸ベクトル（Ｘ軸方向）と直交するため、Ｙ方向には流体によるコリオリ力が発生する。具体的には、流入口側には正のＹ方向に働くコリオリ力１０８、流出口側には負のＹ方向に働くコリオリ力１０９が発生する。このコリオリ力１０８、１０９は、流体の質量流量に比例する。

【0009】

図６の矢印右側の図は、流入口側に働くコリオリ力１０８と、流出口側に働くコリオリ力１０９を取り出したものを示している。コリオリ力１０８、１０９の大きさは等しいため、コリオリ力１０８、１０９は、測定管１０１をＺ軸まわりに回転させるねじれ振動１１０となる。したがって、測定管１０１には、たわみモードの振動運動のみならず、Ｚ軸まわりのねじれ振動１１０が重畳する。このねじれ振動１１０における振動成分の振幅（ねじれ角）は、コリオリ力に比例する。

【0010】

このとき、上記のセンサ１０２、１０３で検出される(速度)変位は、基本的にたわみモードの振動となるが、ねじれ振動１１０が互いに逆位相でそれぞれに重畳する。したがって、センサ１０２、１０３が検出する振動波形には、わずかな位相差が生じる。この位相差は、ねじれ振動１１０に由来し、そのねじれ角に比例する。

【0011】

変換器１１１、センサ１０２、１０３から受信した信号を処理することで上記の位相差を検出する。さらに、変換器１１１は、上記の位相差、ねじれ角、コリオリ力及び質量流量の比例関係を用い、検出した位相差に適切な比例定数を乗じることで、測定管１０１を流れる流体の質量流量を算出する。変換器１１１は、算出した流体の質量流量のデータをＤＣＳ（Distributed Control System）等の統合生産制御システムやＰＣ（Personal Computer）などの外部機器へ送信する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0012】

【特許文献1】特開昭５４－５２５７０号公報

【特許文献2】特開２００２－１３９６１号公報

【非特許文献】

【0013】

【非特許文献1】ＪＩＳ Ｂ ７５５５ コリオリメータによる流量計測方法（質量流量，密度及び体積流量計測）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0014】

上記の従来技術では、質量流量の測定感度は位相差の大きさに比例する。位相差の大きさは、測定管１０１の形状やセンサ１０２、１０３の位置などの装置上の幾何学的な要素によって決まる。測定管１０１の形状は、流量計の大きさなどに強く制約を受ける。また、センサ１０２、１０３の位置の調整においては、位相差の大きさとセンサ１０２、１０３に誘起される信号強度とトレードオフの関係にある制約を受ける。このように、位相差を大きくするにはさまざまな制約があることから、従来技術では、測定感度を高めることが困難であるという問題がある。

【0015】

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、容易に測定感度を高めることを可能とするコリオリ質量流量計を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0016】

本発明は、両端が固定され、前記両端の中心を軸に回転対称の形状であり、前記両端の一端側から他端側へ被測定対象の流体が流れる測定管と、前記測定管に対して前記軸を中心とする回転振動を与える励振部と、前記回転振動させた測定管に作用するコリオリ力の方向において前記回転振動の振幅に比例して前記測定管に生じる変位、速度または加速度を検出するセンサ部と、検出された前記変位、前記速度または前記加速度に基づいて前記流体の質量流量を算出する算出部と、を備えることを特徴とするコリオリ質量流量計を提供する。

【0017】

本発明によれば、容易に測定感度を高めることができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】図１は、実施形態にかかるコリオリ質量流量計の構成例を示す説明図である。

【図2】図２は、実施形態にかかるコリオリ質量流量計の測定管における周波数応答を説明するグラフである。

【図3】図３は、測定管の寸法関係を説明する説明図である。

【図4】図４は、測定管にかかるコリオリ力を説明する説明図である。

【図5】図５は、変換器の機能構成例を示すブロック図である。

【図6】図６は、従来のコリオリ質量流量計の構成および動作の概要を説明する説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下に、本発明の一実施形態に係るコリオリ質量流量計を、図面を参照して詳細に説明する。なお、本発明は、以下に説明する実施形態により限定されるものではない。

【0020】

図１は、実施形態にかかるコリオリ質量流量計の構成例を示す説明図である。図１に示すように、コリオリ質量流量計１００において、被測定対象の流体が流れる測定管１は、例えば鉛直方向のＺ軸を中心として１８０°回転対称の形状である。

【0021】

測定管１は、Ｘ軸上に固定、すなわち、流体が流入する流入口側と、流体が流出する流出口側の両端部が支持部材１ａにより固定されている。流体は、支持部材１ａにより固定された測定管１の流入口側から流出口側へと流れる。

【0022】

測定管１は、流入口側から正のＺ軸方向に延在する管部１ｂと、管部１ｂから直角に屈曲してＸ軸方向に延在する管部１ｃと、管部１ｃから直角に屈曲して流出口側（負のＺ軸方向）に延在する管部１ｄとを有する「コ」字の形状である。

【0023】

なお、測定管１は、本実施形態では「コ」字形状としているが、Ｚ軸を中心として１８０°回転対称の弓形状（「Ｕ」字形状）または「Ｖ」字形状などであっても構わない。

【0024】

測定管１の流入口側と流出口側、具体的には管部１ｂ、１ｄの上部には、エキサイター２、３が設置されている。エキサイター２、３は、変換器１２によって動作が制御され、測定管１に対してＹ方向の調和励振力を与える。このとき、エキサイター２、３は、例えばそれぞれ同じ巻数のコイルと同じ磁力の磁石によって構成されるが、コイルは互い逆向きに巻かれ、かつ導線により並列に接続されるなどにより、互いに逆位相で駆動するものとする。これにより、エキサイター２、３は、測定管１をＺ軸まわりにねじれる振動モード（ねじれモード）で共振させる。

【0025】

図２は、実施形態にかかるコリオリ質量流量計１００の測定管１における周波数応答を説明するグラフである。図２に示すグラフＧは、横軸を周波数（Frequency）、縦軸を振動強度（Gain）とした場合の測定管１の周波数応答を示している。グラフＧに示すように、測定管１においては、たわみモードの共振周波数Ｆ１よりも、ねじれモードの共振周波数Ｆ２の方が高くなる。

【0026】

このねじれモードの振動振幅は、微小であるため、エキサイター２、３の励振力による振幅は、測定管１のＺ軸まわりの回転振動とみなせる。すなわち、エキサイター２、３は、励振部の一例である。なお、測定管１に対してＺ軸を中心とする回転振動を与える構成は、上記のエキサイター２、３によるものに限定しない。例えば、励振部は、測定管１を回転振動させる１つのエキサイターであってもよい。

【0027】

図３は、測定管１の寸法関係を説明する説明図である。図３に示すように、管部１ｂ、１ｄの長さは、Ｌ_ｐｌとする。管部１ｃの長さは、Ｌ_ｂｍとする。Ｚ軸を中心とする測定管１の回転角（ねじれ角）はθとする。Ｘ軸を中心とする測定管１の回転角はφとする。

【0028】

測定管１に対してＺ軸を中心とする回転振動を与えるときの、測定管１の運動方程式は、図３の寸法関係を用いると次の式（１）のとおりとなる。

【0029】

【数1】

【0030】

ただし、Ｊ_θは、Ｚ軸回りの慣性モーメントである。Ｄ_θは、Ｚ軸回りの測定管１の運動に対する減衰係数である。Ｋ_θは、Ｚ軸周りの測定管１のねじれ運動に対する復元力となる弾性係数である。Ｆ_ｅｘ０は、エキサイター２、３の励振力の振幅とである。ω_θｎは、変換器１２に制御される測定管１、２の駆動振動数である。

【0031】

式（１）に示す運動方程式から十分時間が経ったときの測定管１のねじれ角θは、次の式（２）のとおりとなる。ただし、φ_θは、エキサイター２、３の励振力に対する測定管１の振動の位相遅れである。

【0032】

【数2】

【0033】

また、流入口側の測定管１の管部１ｂに注目すると、管部１ｂがＹ方向に微小にたわむため、Ｘ軸まわりの回転振動とみなせる。同様に、流出口側の測定管１の管部１ｄに注目すると、管部１ｄがＹ方向に微小にたわむため、Ｘ軸まわりの回転振動とみなせるが、エキサイター２、３の駆動方向は逆方向であることから、流入口側と流出口側のＸ軸周りも回転は逆となる。

【0034】

このとき、流入口側の測定管１の管部１ｂにおける微小長さｄＬ_ｐｌにかかるコリオリ力ｄＦ_ｃは、図３の寸法関係を用いると次の式（３）のとおりとなる。なお、Ａは、流速に垂直な測定管１の断面積である。ｖは、内部に流れる流体の流速である。ρは、流体の密度である。Ｑ_ｍは、質量流量（ρＡｖ）である。

【0035】

【数3】

【0036】

流入口側の流体の流速ベクトル７と、流入口側の流体の流速ベクトル８は、逆ベクトルの関係にある。また、流入口側の管部１ｂと流出口側の管部１ｄの回転も同じであるため、流出口側の測定管１の管部１ｄにおける微小長さにかかるコリオリ力もｄＦ_ｃとなる。したがって、測定管１に作用するコリオリ力９、１０は、測定管１をＹ方向にたわませる（変位させる）。

【0037】

図４は、測定管１にかかるコリオリ力を説明する説明図である。図４では、測定管１にかかるコリオリ力による測定管１のたわみを点線で示している。

【0038】

図４に示すように、測定管１をＹＺ平面で見ると、測定管１は、コリオリ力由来の等分布荷重を受ける片持ち梁とみなせる。この等分布荷重は、次の式（４）のとおりである。

【0039】

【数4】

【0040】

測定管１を片持ち梁とみなした場合の、この片持ち梁のたわみ量１１は等分布荷重に比例するため、測定管１の端部におけるＹ方向の変位ｙ_ｐは、次の式（５）のとおりとなる。なお、Ｋは、たわみ量１１と等分布荷重の比例係数である。

【0041】

【数5】

【0042】

この式（５）が示すように、測定管１に作用するコリオリ力９、１０による測定管１のＹ方向の変位、速度または加速度は質量流量と比例する。測定管１のＺ軸上に設置されたセンサ４は、このＹ方向の変位、速度または加速度を検出する。具体的には、センサ４は、測定管１の管部１ｃ、すなわち測定管１を片持ち梁とみなした場合の端部に設置される。

【0043】

変換器１２は、センサ４から受信したＹ方向の変位、速度または加速度に対応する信号を処理し、上記の式（５）に示す適切な比例定数を乗じることで、測定管１内を流れる流体の質量流量を算出する。変換器１２は、算出した流体の質量流量を示すデータをＤＣＳ等の統合生産制御システムやＰＣなどの外部機器へ送信する。変換器１２は、算出部の一例である。

【0044】

図５は、変換器１２の機能構成例を示すブロック図である。図５に示すように、変換器１２は、通信部１３と、記憶部１４と、制御部１５とを有する。

【0045】

通信部１３は、制御部１５の制御のもと、エキサイター２、３への駆動信号の送信、センサ４が検出した信号の受信、質量流量を示すデータの外部機器への送信等を行う通信インタフェースである。

【0046】

記憶部１４は、不揮発性メモリなどであり、設定情報１４ａ、履歴情報１４ｂなどを格納する。設定情報１４ａは、Ｙ方向の変位、速度または加速度から流体の質量流量を算出するための比例定数などを含む、各種の設定内容を記述したデータである。履歴情報１４ｂは、センサ４の検出結果（Ｙ方向の変位、速度または加速度の値）、算出結果（質量流量の値）の履歴を、例えばタイムスタンプなどを付与して時系列順に列挙したデータである。

【0047】

制御部１５は、例えばプロセッサにより実現されるコンピュータであり、励振制御部１５ａ、信号処理部１５ｂ、流量算出部１５ｃ、データ送信部１５ｄを有する。

【0048】

励振制御部１５ａは、通信部１３を介してエキサイター２、３に駆動信号を出力することで、エキサイター２、３の駆動（励振）を制御する。具体的には、励振制御部１５ａは、設定情報１４ａにより設定された所定の励振力、振動駆動数でエキサイター２、３を駆動させる。

【0049】

信号処理部１５ｂは、通信部１３を介してセンサ４より受信した信号を処理し、Ｙ方向の変位、速度または加速度の値に変換する。例えば、信号処理部１５ｂは、励振制御部１５ａが所定の励振力、振動駆動数でエキサイター２、３を駆動させ、一定時間経過した後にセンサ４より信号を受信する。ついで、信号処理部１５ｂは、センサ４より受信した信号を処理することで、ねじれモードが落ち着いたところのＹ方向の変位、速度または加速度の値を取得する。

【0050】

流量算出部１５ｃは、信号処理部１５ｂが変換したＹ方向の変位、速度または加速度の値をもとに、設定情報１４ａにより設定された比例定数を乗じることで、測定管１内を流れる流体の質量流量を算出する。流量算出部１５ｃは、算出した質量流量、算出元となったＹ方向の変位、速度または加速度の値などを、タイムスタンプを付与して履歴情報１４ｂに格納する。

【0051】

データ送信部１５ｄは、流量算出部１５ｃが算出した流体の質量流量を示すデータを、通信部１３を介して外部機器に送信する。例えば、データ送信部１５ｄは、履歴情報１４ｂに含まれる直近の質量流量をタイムスタンプなどとともに外部機器に送信する。また、データ送信部１５ｄは、所定の時間間隔で履歴情報１４ｂにおいて更新された質量流量をタイムスタンプなどとともに外部機器に送信してもよい。

【0052】

（効果）
コリオリ質量流量計１００は、両端が固定され、両端の中心をＺ軸に回転対称の形状であり、両端の一端側から他端側へ被測定対象の流体が流れる測定管１を備える。コリオリ質量流量計１００は、測定管１に対してＺ軸を中心とする回転振動を与える励振部を備える。コリオリ質量流量計１００は、回転振動させた測定管１に作用するコリオリ力９、１０のＹ方向において回転振動の振幅に比例して測定管１に生じる変位、速度または加速度を検出するセンサ部を備える。コリオリ質量流量計１００は、検出された変位、速度または加速度に基づいて流体の質量流量を算出する算出部を備える。

【0053】

このため、コリオリ質量流量計１００では、回転振動が大きくなるほど、センサ部が検出する測定管１に生じる変位、速度または加速度も大きくなることから、感度の高い質量流量のセンシングが可能となる。例えば、コリオリ質量流量計１００では、回転振動を大きくすることで、容易に質量流量の測定感度を高めることができる。

【0054】

また、励振部は、測定管１の一端側に設けられた第１の励振部（エキサイター２）と、測定管１の他端側に設けられた第２の励振部（エキサイター３）とを含み、第１の励振部および第２の励振部が互いに逆位相で駆動することで回転振動を与える。これにより、コリオリ質量流量計１００では、回転振動（ねじれ）にかかるモーメントを大きくすることができ、測定管１の固有角振動数が高くなる場合であっても測定管１を十分な振幅で振動させることができる。

【0055】

また、コリオリ質量流量計１００において、センサ部は、Ｚ軸上に１つ設けられる。これにより、コリオリ質量流量計１００では、位相差検出のために２つのセンサを有する従来のコリオリ質量流量計と比較して、複数のセンサ機差によるノイズを低減することができる。

【0056】

また、測定管１は、一端側から延在する第１の管部（管部１ｂ）と、第１の管部から直角に屈曲して延在する第２の管部（管部１ｃ）と、第２の管部から直角に屈曲して他端側に延在する第３の管部（管部１ｄ）とを有するコ字形状である。このようなコ字形状のコリオリ質量流量計の共振運動は、一般的に、たわみモードの共振周波数Ｆ１よりもねじれモードの共振周波数Ｆ２の方が高くなる。このため、コ字形状の測定管１を用いたコリオリ質量流量計１００では、比較的低い振動数を持つ外部振動の測定への影響を受けにくくすることができる。

【0057】

また、算出部は、式（５）をもとに、コ字形状の端部において検出された変位、速度または加速度に基づく質量流量を算出する。これにより、コリオリ質量流量計１００では、コ字形状の端部において検出された変位、速度または加速度をもとに質量流量を算出することができる。

【0058】

開示される技術特徴の組合せのいくつかの例を以下に記載する。

【0059】

（１）両端が固定され、前記両端の中心を軸に回転対称の形状であり、前記両端の一端側から他端側へ被測定対象の流体が流れる測定管と、
前記測定管に対して前記軸を中心とする回転振動を与える励振部と、
前記回転振動させた測定管に作用するコリオリ力の方向において前記回転振動の振幅に比例して前記測定管に生じる変位、速度または加速度を検出するセンサ部と、
検出された前記変位、前記速度または前記加速度に基づいて前記流体の質量流量を算出する算出部と、
を備えることを特徴とするコリオリ質量流量計。

【0060】

（２）前記励振部は、前記測定管の前記軸に対して一方向側に設けられた第１の励振部と、前記測定管の前記軸に対して他方向側に設けられた第２の励振部とを含み、前記第１の励振部および前記第２の励振部が互いに逆位相で駆動することで前記回転振動を与える、
ことを特徴とする（１）に記載のコリオリ質量流量計。

【0061】

（３）前記センサ部は、前記軸上に１つ設けられる、
ことを特徴とする（１）または（２）に記載のコリオリ質量流量計。

【0062】

（４）前記測定管は、前記一端側から延在する第１の管部と、前記第１の管部から直角に屈曲して延在する第２の管部と、前記第２の管部から直角に屈曲して前記他端側に延在する第３の管部とを有するコ字形状である、
ことを特徴とする（１）～（３）のいずれか１つに記載のコリオリ質量流量計。

【0063】

（５）前記算出部は、前記変位をｙ_ｐ、前記測定管のたわみ量と等分布荷重の比例係数をＫ、前記回転振動における前記測定管のねじれ角をθ、前記質量流量をＱ_ｍ、前記回転振動の振幅をＦ_ｅｘ０、前記第２の管部の幅をＬ_ｂｍ、前記軸回りの前記測定管の運動に対する減衰係数をＤ_θ、前記励振部の駆動振動数をω_θおよび前記励振部の励振力に対する位相遅れをφ_θとした式（５）をもとに、
前記変位、前記速度または前記加速度に基づく前記質量流量を算出する、
特徴とする（４）に記載のコリオリ質量流量計。

【符号の説明】

【0064】

１００…コリオリ質量流量計
１、１０１…測定管
１ａ…支持部材
１ｂ～１ｄ…管部
２、３、１０４…エキサイター
４、１０２、１０３…センサ
５、６、１０５…励振力
７、８、１０６、１０７…流速ベクトル
９、１０、１０８、１０９…コリオリ力
１１…たわみ量
１２、１１１…変換器
１３…通信部
１４…記憶部
１４ａ…設定情報
１４ｂ…履歴情報
１５…制御部
１５ａ…励振制御部
１５ｂ…信号処理部
１５ｃ…流量算出部
１５ｄ…データ送信部
１１０…ねじれ振動
Ｆ１、Ｆ２…共振周波数
Ｇ…グラフ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】