特開 2024-178888 真空ポンプ用のポンプスタンド

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024178888

(43)【公開日】2024-12-25

(54)【発明の名称】真空ポンプ用のポンプスタンド

(51)【国際特許分類】

   F04B 37/16 20060101AFI20241218BHJP

   F04C 25/02 20060101ALI20241218BHJP

   F04C 29/06 20060101ALI20241218BHJP

   F04C 29/00 20060101ALI20241218BHJP

【ＦＩ】

F04B37/16 G

F04C25/02 A

F04C29/06 A

F04C29/00 B

F04C29/00 U

【審査請求】有

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2023210075

(22)【出願日】2023-12-13

(31)【優先権主張番号】23178938

(32)【優先日】2023-06-13

(33)【優先権主張国・地域又は機関】EP

(71)【出願人】

【識別番号】520415627

【氏名又は名称】プファイファー・ヴァキューム・テクノロジー・アクチエンゲゼルシャフト

(74)【代理人】

【識別番号】100069556

【弁理士】

【氏名又は名称】江崎 光史

(74)【代理人】

【識別番号】100111486

【弁理士】

【氏名又は名称】鍛冶澤 實

(74)【代理人】

【識別番号】100191835

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 真介

(74)【代理人】

【識別番号】100221981

【弁理士】

【氏名又は名称】石田 大成

(74)【代理人】

【識別番号】100191938

【弁理士】

【氏名又は名称】高原 昭典

(72)【発明者】

【氏名】ミルコ・メコタ

(72)【発明者】

【氏名】ゼンケ・ギルブリヒ

(72)【発明者】

【氏名】ドミニク・ハーン

【テーマコード（参考）】

3H076

3H129

【Ｆターム（参考）】

3H076AA14

3H076AA21

3H076BB01

3H076CC35

3H076CC39

3H076CC47

3H129AA04

3H129AA05

3H129AA18

3H129AA23

3H129AB02

3H129AB06

3H129BB21

3H129BB32

3H129BB44

3H129CC09

3H129CC10

3H129CC28

3H129CC30

3H129CC39

(57)【要約】

【課題】真空ポンプスタンドにおいて、真空ポンプ、特に予備真空ポンプから出発する振動がポンプスタンドへと伝達されず、これと同様にポンプスタンドの真空ポンプ、特に予備真空ポンプへと外部の衝撃が伝達され得ないようにする。
【解決手段】ポンプスタンド１０は、ベース要素２２を有し、ベース要素２２に、ポンプスタンドから真空ポンプ１４を振動技術的に分離する支承ユニットが設けられていて、支承ユニットは、真空ポンプを少なくとも間接的に支持するキャリア要素１６と、少なくとも１つのばね要素２０と、軸部２６を有する取付要素２４と、スペーサスリーブ３２と、を有する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

真空ポンプ（１４）、特に補助真空ポンプ用のポンプスタンド（１０）であって、
前記ポンプスタンド（１０）は、ベース要素（２２）を有し、前記ベース要素（２２）に、前記ポンプスタンド（１０）から真空ポンプ（１４）、特に補助真空ポンプを振動技術的に分離する支承ユニットが設けられていて、
前記支承ユニットは、
真空ポンプ（１４）を少なくとも間接的に支持するキャリア要素（１６）と、
少なくとも１つのばね要素（２０）であって、前記ばね要素（２０）を介して、前記キャリア要素（１６）は、前記ベース要素（２２）に支持されていて、そのために、前記ばね要素（２０）は、前記キャリア要素（１６）と前記ベース要素（２２）との互いに向き合う側の間に延在する、ばね要素（２０）と、
特にねじの形態の、軸部（２６）を有する取付要素（２４）であって、前記取付要素（２４）によって、前記キャリア要素（１６）は、前記ベース要素（２２）に緊締されている、取付要素（２４）と、
スペーサスリーブ（３２）であって、前記スペーサスリーブ（３２）は、前記ばね要素（２０）によって取り囲まれていて、前記スペーサスリーブ（３２）自体は、前記取付要素（２４）の前記軸部（２６）を、前記ベース要素（２２）と前記キャリア要素（１６）との締め付けの結果として伸長する延伸長さにわたって取り囲む、スペーサスリーブ（３２）と、
を有する、ポンプスタンド（１０）。

【請求項2】

前記スペーサスリーブ（３２）の軸方向の長さは、前記支承ユニットの無負荷状態で、前記取付要素（２４）の前記軸部（２６）が専ら前記取付要素（２４）の締付けモーメントに基づいて締め付けられるような大きさに選択されている、請求項１に記載のポンプスタンド（１０）。

【請求項3】

前記ばね要素（２０）は、前記支承ユニットの無負荷状態では、前記キャリア要素（１６）の荷重だけを受けている、請求項１又は２に記載のポンプスタンド（１０）。

【請求項4】

前記ばね要素（２０）は、圧縮コイルばね（２０）である、請求項１から３のいずれか一項に記載のポンプスタンド（１０）。

【請求項5】

前記キャリア要素（１６）及び／又は前記ベース要素（２２）に、前記ばね要素（２０）用の少なくとも１つのガイドが形成されている、請求項１から４のいずれか一項に記載のポンプスタンド（１０）。

【請求項6】

前記ガイドは、前記ベース要素（２２）及び／又は前記キャリア要素（１６）に形成されたドーム（３８）であり、前記ドーム（３８）を、前記ばね要素（２０）が取り囲み、前記ドーム（３８）上に、前記スペーサスリーブ（３２）の端部が立設されていて、
特に、前記取付要素（２４）の前記軸部（２６）が、前記ドーム（３８）に螺入されていることが想定されている、請求項５に記載のポンプスタンド（１０）。

【請求項7】

前記ガイドは、前記ベース要素（２２）及び／又は前記キャリア要素（１６）に形成された凹部（３６）であり、前記凹部（３６）は、前記ばね要素（２０）のそれぞれの端部を収容する、請求項５に記載のポンプスタンド（１０）。

【請求項8】

前記スペーサスリーブ（３２）は、プラスチック材料から製作されている、請求項１から７のいずれか一項に記載のポンプスタンド（１０）。

【請求項9】

前記キャリア要素（１６）は、少なくとも１つの曲げビーム（１８）を有し、前記曲げビーム（１８）は、複数の端部で、それぞれ１つの前記ばね要素（２０）を介して前記ベース要素（２２）に支持されていて、かつ取付要素（２４）によって、前記ベース要素（２２）に緊締されていて、前記取付要素（２４）の前記軸部（２６）は、前記スペーサスリーブ（３２）を通って延在する、請求項１から８のいずれか一項に記載のポンプスタンド（１０）。

【請求項10】

前記キャリア要素（１６）は、互いに平行に延在する２つの曲げビーム（１８）を有する、請求項９に記載のポンプスタンド（１０）。

【請求項11】

２つの前記曲げビーム（１８）上に、２つの前記曲げビーム（１８）の間の間隔をブリッジする真空ポンプ（１４）、特にダイヤフラム真空ポンプ（１４）又はロータリベーンポンプが取り付けられている、請求項１０に記載のポンプスタンド（１０）。

【請求項12】

前記ばね要素（２０）は、前記ばね要素（２０）が前記真空ポンプ（１４）の運転中に密着しないように選択されたばね定数を有する、請求項１から１１のいずれか一項に記載のポンプスタンド（１０）。

【請求項13】

前記ポンプスタンド（１０）は、少なくとも２つの支承ユニットを有し、これらの支承ユニットのばね要素、スペーサスリーブ（３２）及び取付要素（２４）は、互いに垂直に配向されている、請求項１から１２のいずれか一項に記載のポンプスタンド（１０）。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空ポンプ用、特にダイヤフラム真空ポンプ用のポンプスタンドに関する。

【背景技術】

【0002】

真空ポンプスタンドは、複数の真空ポンプを収容するために用いられる。これらの真空ポンプは、流れ技術的に互いに接続されていて、特に相前後して接続されていて、これにより、そうして達成可能な圧力段に関して補足している。例えば、真空ポンプスタンドは、補助真空ポンプとしてのダイヤフラム真空ポンプと高真空ポンプとしてのターボ分子ポンプとを有してよい。この場合、ダイヤフラム真空ポンプが、ダイヤフラム真空ポンプを収容するためのポンプスタンド又はポンプスタンドのベース要素に固く取り付けられると、場合によっては、ダイヤフラム真空ポンプの運転中、ダイヤフラム真空ポンプから出発する振動が望ましくない形でターボ分子真空ポンプへと伝達され得、このことがターボ分子ポンプの機能トラブルを引き起こしてしまうおそれがある。

【0003】

さらに、ポンプスタンドの搬送中、搬送に起因する衝撃が、例えば、ダイヤフラム真空ポンプとして又はロータリベーンポンプとして構成された予備真空ポンプがポンプスタンドに固く取り付けられていると、予備真空ポンプへと伝達され得、このことが予備真空ポンプの損傷を招いてしまうおそれがある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

したがって、本発の基礎をなす課題は、真空ポンプスタンドにおいて、真空ポンプ、特に予備真空ポンプから出発する振動がポンプスタンドへと伝達されず、これと同様にポンプスタンドの真空ポンプ、特に予備真空ポンプへと外部の衝撃が伝達され得ないようにすることである。さらに、真空ポンプのための付加的な搬送ロックが不要となるようにするべきである。そうでない場合、搬送ロックは、ポンプスタンドの始動時にわざわざ解除しなければならない。

【課題を解決するための手段】

【0005】

この課題は、請求項１の特徴を有するポンプスタンドによって、特にポンプスタンドが少なくとも１つの支承ユニットを有し、支承ユニットを介して、ポンプスタンドからの真空ポンプの振動技術的な分離を達成できることによって解決される。

【0006】

支承ユニットは、この場合、真空ポンプを支持するキャリア要素を有し、この場合、キャリア要素は、例えば真空ポンプを支持する平らなプレート又は１つ若しくは複数の曲げビームであってよい。さらに、支承ユニットは、例えば圧縮コイルばねの形態の少なくとも１つのばね要素を有し、ばね要素を介して、キャリア要素は、ポンプスタンドのベース要素にばね弾性的に支持されていて、そのために、ばね要素は、キャリア要素とベース要素との互いに向き合う側の間に延在する。キャリア要素が、たとえば矩形のキャリアプレートであると、キャリアプレートは、その四隅で、そこに存在するばね要素を介してばね弾性的にポンプスタンドのベース要素に支持されてよい。

【0007】

キャリア要素を、ベース要素に紛失しないように保持し、ポンプスタンドの搬送中に持ち上がる力に対して確保できるようにするために、支承ユニットは、さらに例えば軸部を有するねじの形態の少なくとも１つの取付要素を有し、軸部は、ばね要素を通って延在し、取付要素によって、キャリア要素は、ベース要素に緊締されていて、この場合、特に、キャリア要素は、取付要素によって、ばね要素のプリロードに対抗してベース要素に緊締されている、ことが想定され得る。

【0008】

少なくとも１つのばね要素は、支承ユニットの無負荷状態では、プリロードをキャリア要素に及ぼさない又は力を掛けていないはずであり、これにより、さらに全ての取付要素（取付要素を介してキャリア要素はポンプスタンドのベース要素に支持されている）を同じ強さで締め付けることができるので、支承ユニットは、スペーサスリーブをさらに有し、スペーサスリーブは、ばね要素によって取り囲まれていて、スペーサスリーブ自体は、取付要素の軸部を、ベース要素とキャリア要素との緊締の結果として伸長する延伸長さにわたって取り囲む。

【0009】

したがって、取付要素の軸部とスペーサスリーブとばね要素とは、本質的に互いに同心に配置されていて、この場合、スペーサスリーブは、キャリア要素とベース要素との緊締の結果として伸長する取付要素の締付け長さひいては軸部の長さに相当する延伸長さを有する。換言すると、スペーサリーブの長さは、キャリア要素とベース要素との緊締の結果として伸長する軸部の部分に相当する。そのために、スペーサスリーブの軸方向の長さは、取付要素の軸部が既に支承ユニットの無負荷状態で締め付けられるような大きさに選択しなければならない。同様に、スペーサスリーブの軸方向の長さは、ばね要素が、支承ユニットの無負荷状態で、すなわちキャリア要素上に真空ポンプが存在しない状態で力を掛けない、又はプリロードを及ぼさないように、ばね要素の軸方向の延伸長さに合わせて調整されるべきである。

【0010】

したがって、スペーサスリーブによって、支承ユニットの無負荷状態で、キャリア要素とベース要素との間の相互間隔が設定され、これにより、ばね要素が支承ユニットの無負荷状態でプリロードを及ぼさないことが同様に保証される。換言すると、要するに取付要素は、キャリア要素とベース要素との間の所定の間隔が生じるまで締め付けることができる。

【0011】

以下、本発明の好適な実施形態について述べる。別の実施形態は、従属請求項、図面の説明及び図面自体から明らかであってよい。

【0012】

したがって、一実施形態によれば、キャリア要素及び／又はベース要素に、ばね要素のための少なくとも１つのガイドが形成されていて、ガイドによって、ばね要素がポンプの運転中に純粋に軸方向に圧縮されることを保証できる。したがって、ガイドによって、ばね要素の、場合によっては生じる横方向の変位を防止できる。同様に、このようなガイドは、ばね要素のための位置固定部として用いられ、これにより、ばね要素は、取付要素と、取付要素の軸部を取り囲むスペーサスリーブとに対するその同心の位置を保持する。これにより、ばね要素がスペーサスリーブに接触することを防止できる。そうでないときには、接触によって、真空ポンプの運転中に望ましくないがたつき音を招いてしまうおそれがある。

【0013】

一実施形態によれば、ここで言及しているガイドは、例えばベース要素及び／又はキャリア要素に形成されたドームであってよく、ドームを、ばね要素が取り囲み、ドームに、スペーサスリーブのそれぞれの端部が接触する。この場合、特に、取付要素の軸部の端部がドームに螺入されていて、そのために、ドームに、対応する雌ねじ山を有する中空空間が形成されてよい、ことが想定され得る。

【0014】

ばね要素がドームを取り囲むことによって、ドーム上に立設されているスペーサスリーブに対するばね要素の半径方向の位置取りが固定されるので、ばね要素は、望ましくはスペーサスリーブに接触しない。そうしないと、所望されないがたつき音の原因となり得る。

【0015】

前述の実施形態に対して付加的又は代替的に、ガイドは、ベース要素及び／又はキャリア要素に形成された、袋穴の形態の凹部であってもよく、凹部は、ばね要素のそれぞれの端部を収容する。これによっても、スペーサスリーブに対するばね要素の整列エラーを防止でき、これにより、望ましくないがたつき音が防止される。そうしないと、ばね要素がスペーサスリーブに当接するとがたつき音が生じてしまうおそれがある。

【0016】

さらに別の一実施形態によれば、スペーサスリーブを案内するためにベース要素にドームが形成されていて、ドームを、ばね要素が取り囲み、ドーム上にスペーサスリーブの一端が立設されている一方、キャリア要素には、対応する凹部が形成されていて、凹部は、ばね要素の別の一端を収容する。しかも、これに対して代替的に、ドームがキャリア要素に、そして凹部がベース要素に形成されてもよい。

【0017】

さらに別の一実施形態によれば、スペーサスリーブは、プラスチック材料から製造されていることが想定されてよい。というのも、これにより、たとえ振動が厳密には軸方向に経過しない場合にばね要素とスペーサ部材との間に接触生じたとしても、これにより望ましくないがたつき音が引き起こされないことを保証できるからである。これと同様に、スペーサスリーブがプラスチック材料から構成されていることによって、スペーサスリーブと取付要素の軸部とキャリア要素との接触に基づく望ましくないがたつき音を防止できる。スペーサスリーブをプラスチック材料から構成することは、ばね要素のためのガイドが設けられていないときに有利であると証明できる。というのも、この場合、ばね要素とスペーサスリーブとが接触したとしても、望ましくないがたつき音を防止できるからである。

【0018】

既に簡単に前述したように、キャリア要素は、例えばその上に真空ポンプを取り付けることができるキャリアプレートであってよい。これに対して代替的に、別の一実施形態によれば、キャリア要素は、少なくとも１つの曲げビームを有し、曲げビームは、その一端で、それぞればね要素を介してベース要素に支持されていて、取付要素によって、スペーサスリーブを通って延在するばね要素の軸部は、ベース要素に緊締されている。したがって、曲げビームは、その両端で、支承ユニットによって前述したように支承されているので、曲げビームは、静的な意味で単純梁を形成する。好ましくは、キャリア要素は、互いに略平行に延在するそのような２つの曲げビームを有する。この場合、２つの曲げビーム上に真空ポンプが取り付けられてよく、真空ポンプは、２つの曲げビームの間の間隔をブリッジする。したがって、２つの曲げビームは、振動技術的には互いに分離されているので、一方の曲げビームの振れが他方の曲げビームの振れへの影響を有さず、またその逆もいえる。

【0019】

たとえばね要素の変位が極めて大きくてもポンプスタンドに伝達が行われないように、好適な一実施形態によれば、各支承ユニットのそれぞれのばね要素が、真空ポンプの運転中にばね要素が密着しないような大きさに選択されたばね定数を有する、ことが想定され得る。

【0020】

鉛直方向と水平方向との両方で真空ポンプとポンプスタンドとの間の振動技術的な分離をもたらすために、別の一実施形態によれば、ポンプスタンドが、少なくとも２つの支承ユニットを有し、支承ユニットのばね要素、スペーサスリーブ及び取付要素が、互いに垂直に配向されていることがさらに想定され得る。

【0021】

以下、本発明を、ここで単なる例として、図面を参照して説明する。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】本発明に係るポンプスタンドの一部を一観察方向から示す。

【図2】本発明による支承ユニットの第１の実施形態を示す。

【図3】本発明による支承ユニットの第２の実施形態を示す。

【図4】本発明による支承ユニットの第３の実施形態を示す。

【図5】本発明による支承ユニットの第４の実施形態を示す。

【図6】互いに垂直に配向された２つの支承ユニットを有する一実施形態を示す。

【発明を実施するための形態】

【0023】

図１は、本発明に係るポンプスタンド１０の一部を一観察方向から示す。特に、図１は、ポンプスタンド１０のハウジング１２の一部を示す。ハウジング１２内に、ダイヤフラム真空ポンプの形態の予備真空ポンプ１４が収容されている。ポンプスタンド１０によって、特にポンプスタンド１０のハウジング１２によって支持された、例えばターボ分子ポンプの形態の高真空ポンプは、図示されていない。高真空ポンプは、流れ方向で予備真空ポンプ１４の上流側に接続されている。

【0024】

図１から看取できるように、補助真空ポンプ１４は、キャリア要素１６上に位置し、キャリア要素１６は、その上に補助真空ポンプ１４が立設されたキャリアプレートであってよい。これに対して代替的に、キャリア要素１６は、図平面に対して垂直に互いに間隔を置いてかつ互いに平行に延在する２つの曲げビーム１８を有してよく、曲げビーム１８上に、予備真空ポンプ１４が、２つの曲げビーム１８の間の間隔をブリッジするように取り付けられている。

【0025】

既に図１から看取できるように、それぞれの曲げビーム１８は、その両端で、それぞればね要素２０によって、ハウジング１２のベース要素２２に弾性的に支持されていて、これにより、予備真空ポンプ１４の、運転に起因する振動がハウジング１２へ伝達され、そこからハウジング１２に支承されたターボ分子真空ポンプ（図示されていない）へと伝達され得ることを防止できる。

【0026】

図２の拡大図から看取されるように、キャリア要素１６又は曲げビーム１８は、ベース要素２２に、圧縮コイルばね２０の形態のばね要素２０を介して支持されていて、そのために、ばね要素２０は、キャリア要素１６とベース要素２２との、互いに向き合う２つの面の間に延在する。ポンプスタンド１０の搬送中に持ち上がる力に対してキャリア要素１６又は曲げビーム１８を確保できるようにするために、キャリア要素１６は、ボルト２４の形態の取付要素２４によって、ベース要素２２に緊締されていて、その際、ボルト２４の軸部２６は、圧縮コイルばね２０を通して延在する。キャリア要素１６をベース要素２２に緊締するために、ボルト２４の軸部２６の自由端は、ベース要素２２に形成された雌ねじ山に、又はベース要素２２の下方でベース要素２２に接して位置するナットに螺入できる。図示の実施形態では、これに対して、ねじ頭２８は、ワッシャ３０を介してキャリア要素１６の上面に当接するので、キャリア要素１６は、持ち上がる力に対抗してベース要素２２に確保されている。ただし、ワッシャ３０は、キャリア要素１６の孔３４が小さくてねじ頭２８が通過しない又はフランジヘッドねじが使用されるときには必ずしも必要ではない。したがって、取付要素２４によって、搬送ロックが提供され、搬送ロックによって、ポンプスタンド１０の搬送中にキャリア要素１６がばね要素２０から跳ね落ち得ることを防止できる。したがって、キャリア要素１６を、搬送のために、ばね要素２０が密着するまでベース要素２２に緊締できる別個の搬送ロックは不要となる。このような別個の搬送ロックの場合、搬送後に、搬送ロックの解除を忘れてしまうことが起こり得、これにより、運転中に高真空ポンプへの望ましくない振動伝達を招いてしまうことがある。したがって、本発明による支承ユニットの取付要素２４は、ポンプスタンド１０の搬送後に取り外す必要がないので、誤使用が発生しにくい搬送ロックが提供される。

【0027】

ばね要素２０から出発するプリロードは、キャリア要素１６が取付要素２４によってベース要素２２に締め付けられるほど大きくなるので、取付要素２４の軸部２６は、スペーサスリーブ３２によって取り囲まれている。スペーサスリーブ３２は、好ましくはプラスチック材料から製造されてよい。この場合、具体的には、スペーサスリーブ３２は、ワッシャ３０の下面とベース要素２２の、キャリア要素１６に向いた側との間に延在する。特に、スペーサスリーブ３２は、キャリア要素１６に形成された開口３４を通って延在し、取付要素２４の軸部２６もこの開口３４を通って延在する。したがって、スペーサスリーブ３２の軸方向の延伸長さによって、キャリア要素１６とベース要素２２との間の最大間隔が設定される。これにより、取付要素２４を、ばね要素２０が事前に決定された大きさのプリロード力を及ぼすまで正確に締め付けることができる、ことが保証される。

【0028】

したがって、スペーサスリーブ３２は、ワッシャ３０の下面とベース要素２２の、キャリア要素１６に向いた側との間に延在するので、スペーサスリーブ３２の軸方向の延伸長さによって、ねじ軸部２６の、応力下で伸長する長さが設定される。ねじ軸部の、応力下で伸長する長さは、通常、締付け長さと称され、締付け長さとは、技術的な機構学では、場合によっては存在するワッシャを含む、結合しようとする部品の厚みを意味する。

【0029】

この場合、スペーサスリーブ３２の軸方向の長さは、まだポンプがキャリア要素１６上に置かれていない支承ユニットの無負荷状態では、ばね要素２０がプリロードを及ぼさず、したがって、取付要素２４の軸部２６が専ら取付要素２４の締付けモーメントによって締め付けられるような大きさに、選択されるべきである。これに対して、ばね要素２０のばね定数は、キャリア要素１６に取り付けられた補助真空ポンプの運転中であってもばね要素２０が密着しないような大きさに、選択されるべきである。

【0030】

前述のように、スペーサスリーブ３２をプラスチック材料から製造することが推奨される。というのも、これにより、ばね要素２０とスペーサスリーブ３２との接触時に不都合ながたつき音が生じないことを保証できるからである。

【0031】

しかし、ばね要素２０とスペーサスリーブ３２とのこのような接触を最初から排除できるように、図３に示された実施形態では、キャリア要素１６の、ベース要素２２に向いた側に、中空円筒形の凹部３６が形成されていて、凹部３６は、ばね要素２０の対応する端部を収容するともに、キャリア要素１６に設けられた開口３４と同軸に整列されていることが想定されている。したがって、ばね要素２０は、凹部３６に半径方向で保持され、これにより、ばね要素２０とスペーサスリーブ３２と取付要素２４との同軸の配置が持続的に保持される。

【0032】

図３に示された実施形態に対して代替的に、図４に示された実施形態では、ベース要素２２の、キャリア要素１６に向いた側に、中空円筒形の隆起部の形態のドーム３８が形成されていることが想定されていて、この場合、圧縮コイルばね２０がドーム３８を包囲するので、圧縮コイルばね２０は、半径方向で所定の位置に保持される。さらに、図４に示された実施形態では、ここでもプラスチック材料からなるスペーサスリーブ３２の下端は、ドーム３８上に立設されている。このことは、ベース要素２２とのキャリア要素２０の緊締の結果として伸長する取付要素２４の軸部２６の長さ部分と、ドーム３８の軸方向の延伸高さとが、図２の実施形態のときよりも小さいことを意味する。

【0033】

図４の実施形態では、ドーム３８に雌ねじ山（図示されていない）が設けられていて、雌ねじ山には、軸部２６の自由端が螺入されていて、しかも、これに対して代替的に、ドーム３８は、軸部２６が貫通して延在する貫通開口だけを画定してもよく、この場合、ベース要素２２の下方又はキャリア要素１６の上方に、ベース要素２２又はキャリア要素１６に当接するナットが設けられてよく、ナットに、軸部２６の自由端が螺入されている。

【0034】

図５の実施形態は、ある意味図３の実施形態と図４の実施形態との組合わせである。というのも、図５の実施形態によれば、ベース要素２２にドーム３８が形成されていて、キャリア要素１６にそれぞれのばね端を確保するための凹部３６が形成されているからである。

【0035】

したがって、前述の支承ユニットによって、鉛直方向の真空ポンプ１４とポンプスタンド１０との間の振動技術的な分離をもたらすことができる。しかも水平のポンプ振動も抑制又は少なくとも減衰できるように、図６に示された実施形態によれば、キャリア要素１６は、アングル状の断面を有する曲げビーム１８であり、この場合、鉛直のアングル脚片４０が、ばね要素２０とスペーサスリーブ３２と取付要素２４とからなる支承ユニット用の水平のアングル脚片に相応する形で、鉛直のベース要素部分２２’に確保されている。

【符号の説明】

【0036】

１０ ポンプスタンド
１２ ハウジング
１４ 補助真空ポンプ
１６ キャリア要素
１８ 曲げビーム
２０ ばね要素
２２ ベース要素
２２’ ベース要素部分
２４ 取付要素／ねじ山付きボルト
２６ 軸部
２８ ねじ頭
３０ ワッシャ
３２ スペーサスリーブ
３４ 開口
３６ 凹部
３８ ドーム
４０ 鉛直のアングル脚片
４２ 水平のアングル脚片

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【手続補正書】

【提出日】2024-02-13

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

真空ポンプ（１４）、特に補助真空ポンプ用のポンプスタンド（１０）であって、
前記ポンプスタンド（１０）は、ベース要素（２２）を有し、前記ベース要素（２２）に、前記ポンプスタンド（１０）から真空ポンプ（１４）、特に補助真空ポンプを振動技術的に分離する支承ユニットが設けられていて、
前記支承ユニットは、
真空ポンプ（１４）を少なくとも間接的に支持するキャリア要素（１６）と、
少なくとも１つのばね要素（２０）であって、前記ばね要素（２０）を介して、前記キャリア要素（１６）は、前記ベース要素（２２）に支持されていて、そのために、前記ばね要素（２０）は、前記キャリア要素（１６）と前記ベース要素（２２）との互いに向き合う側の間に延在する、ばね要素（２０）と、
特にねじの形態の、軸部（２６）を有する取付要素（２４）であって、前記取付要素（２４）によって、前記キャリア要素（１６）は、前記ベース要素（２２）に緊締されている、取付要素（２４）と、
スペーサスリーブ（３２）であって、前記スペーサスリーブ（３２）は、前記ばね要素（２０）によって取り囲まれていて、前記スペーサスリーブ（３２）自体は、前記取付要素（２４）の前記軸部（２６）を、前記ベース要素（２２）と前記キャリア要素（１６）との締め付けの結果として伸長する延伸長さにわたって取り囲む、スペーサスリーブ（３２）と、
を有する、ポンプスタンド（１０）。

【請求項2】

前記スペーサスリーブ（３２）の軸方向の長さは、前記支承ユニットの無負荷状態で、前記取付要素（２４）の前記軸部（２６）が専ら前記取付要素（２４）の締付けモーメントに基づいて締め付けられるような大きさに選択されている、請求項１に記載のポンプスタンド（１０）。

【請求項3】

前記ばね要素（２０）は、前記支承ユニットの無負荷状態では、前記キャリア要素（１６）の荷重だけを受けている、請求項１又は２に記載のポンプスタンド（１０）。

【請求項4】

前記ばね要素（２０）は、圧縮コイルばね（２０）である、請求項１又は２に記載のポンプスタンド（１０）。

【請求項5】

前記キャリア要素（１６）及び／又は前記ベース要素（２２）に、前記ばね要素（２０）用の少なくとも１つのガイドが形成されている、請求項１又は２に記載のポンプスタンド（１０）。

【請求項6】

前記ガイドは、前記ベース要素（２２）及び／又は前記キャリア要素（１６）に形成されたドーム（３８）であり、前記ドーム（３８）を、前記ばね要素（２０）が取り囲み、前記ドーム（３８）上に、前記スペーサスリーブ（３２）の端部が立設されていて、
特に、前記取付要素（２４）の前記軸部（２６）が、前記ドーム（３８）に螺入されていることが想定されている、請求項５に記載のポンプスタンド（１０）。

【請求項7】

前記ガイドは、前記ベース要素（２２）及び／又は前記キャリア要素（１６）に形成された凹部（３６）であり、前記凹部（３６）は、前記ばね要素（２０）のそれぞれの端部を収容する、請求項５に記載のポンプスタンド（１０）。

【請求項8】

前記スペーサスリーブ（３２）は、プラスチック材料から製作されている、請求項１又は２に記載のポンプスタンド（１０）。

【請求項9】

前記キャリア要素（１６）は、少なくとも１つの曲げビーム（１８）を有し、前記曲げビーム（１８）は、複数の端部で、それぞれ１つの前記ばね要素（２０）を介して前記ベース要素（２２）に支持されていて、かつ取付要素（２４）によって、前記ベース要素（２２）に緊締されていて、前記取付要素（２４）の前記軸部（２６）は、前記スペーサスリーブ（３２）を通って延在する、請求項１又は２に記載のポンプスタンド（１０）。

【請求項10】

前記キャリア要素（１６）は、互いに平行に延在する２つの曲げビーム（１８）を有する、請求項９に記載のポンプスタンド（１０）。

【請求項11】

２つの前記曲げビーム（１８）上に、２つの前記曲げビーム（１８）の間の間隔をブリッジする真空ポンプ（１４）、特にダイヤフラム真空ポンプ（１４）又はロータリベーンポンプが取り付けられている、請求項１０に記載のポンプスタンド（１０）。

【請求項12】

前記ばね要素（２０）は、前記ばね要素（２０）が前記真空ポンプ（１４）の運転中に密着しないように選択されたばね定数を有する、請求項１又は２に記載のポンプスタンド（１０）。

【請求項13】

前記ポンプスタンド（１０）は、少なくとも２つの支承ユニットを有し、これらの支承ユニットのばね要素、スペーサスリーブ（３２）及び取付要素（２４）は、互いに垂直に配向されている、請求項１又は２に記載のポンプスタンド（１０）。

【手続補正2】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３５

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0035】

したがって、前述の支承ユニットによって、鉛直方向の真空ポンプ１４とポンプスタンド１０との間の振動技術的な分離をもたらすことができる。しかも水平のポンプ振動も抑制又は少なくとも減衰できるように、図６に示された実施形態によれば、キャリア要素１６は、アングル状の断面を有する曲げビーム１８であり、この場合、鉛直のアングル脚片４０が、ばね要素２０とスペーサスリーブ３２と取付要素２４とからなる支承ユニット用の水平のアングル脚片に相応する形で、鉛直のベース要素部分２２’に確保されている。
なお、本願は、特許請求の範囲に記載の発明に関するものであるが、他の観点として以下を含む。
１．
真空ポンプ（１４）、特に補助真空ポンプ用のポンプスタンド（１０）であって、
前記ポンプスタンド（１０）は、ベース要素（２２）を有し、前記ベース要素（２２）に、前記ポンプスタンド（１０）から真空ポンプ（１４）、特に補助真空ポンプを振動技術的に分離する支承ユニットが設けられていて、
前記支承ユニットは、
真空ポンプ（１４）を少なくとも間接的に支持するキャリア要素（１６）と、
少なくとも１つのばね要素（２０）であって、前記ばね要素（２０）を介して、前記キャリア要素（１６）は、前記ベース要素（２２）に支持されていて、そのために、前記ばね要素（２０）は、前記キャリア要素（１６）と前記ベース要素（２２）との互いに向き合う側の間に延在する、ばね要素（２０）と、
特にねじの形態の、軸部（２６）を有する取付要素（２４）であって、前記取付要素（２４）によって、前記キャリア要素（１６）は、前記ベース要素（２２）に緊締されている、取付要素（２４）と、
スペーサスリーブ（３２）であって、前記スペーサスリーブ（３２）は、前記ばね要素（２０）によって取り囲まれていて、前記スペーサスリーブ（３２）自体は、前記取付要素（２４）の前記軸部（２６）を、前記ベース要素（２２）と前記キャリア要素（１６）との締め付けの結果として伸長する延伸長さにわたって取り囲む、スペーサスリーブ（３２）と、
を有する、ポンプスタンド（１０）。
２．
前記スペーサスリーブ（３２）の軸方向の長さは、前記支承ユニットの無負荷状態で、前記取付要素（２４）の前記軸部（２６）が専ら前記取付要素（２４）の締付けモーメントに基づいて締め付けられるような大きさに選択されている、上記１のポンプスタンド（１０）。
３．
前記ばね要素（２０）は、前記支承ユニットの無負荷状態では、前記キャリア要素（１６）の荷重だけを受けている、上記１又は２のポンプスタンド（１０）。
４．
前記ばね要素（２０）は、圧縮コイルばね（２０）である、上記１から３のいずれか一つのポンプスタンド（１０）。
５．
前記キャリア要素（１６）及び／又は前記ベース要素（２２）に、前記ばね要素（２０）用の少なくとも１つのガイドが形成されている、上記１から４のいずれか一つのポンプスタンド（１０）。
６．
前記ガイドは、前記ベース要素（２２）及び／又は前記キャリア要素（１６）に形成されたドーム（３８）であり、前記ドーム（３８）を、前記ばね要素（２０）が取り囲み、前記ドーム（３８）上に、前記スペーサスリーブ（３２）の端部が立設されていて、
特に、前記取付要素（２４）の前記軸部（２６）が、前記ドーム（３８）に螺入されていることが想定されている、上記５のポンプスタンド（１０）。
７．
前記ガイドは、前記ベース要素（２２）及び／又は前記キャリア要素（１６）に形成された凹部（３６）であり、前記凹部（３６）は、前記ばね要素（２０）のそれぞれの端部を収容する、上記５のポンプスタンド（１０）。
８．
前記スペーサスリーブ（３２）は、プラスチック材料から製作されている、上記１から７のいずれか一つのポンプスタンド（１０）。
９．
前記キャリア要素（１６）は、少なくとも１つの曲げビーム（１８）を有し、前記曲げビーム（１８）は、複数の端部で、それぞれ１つの前記ばね要素（２０）を介して前記ベース要素（２２）に支持されていて、かつ取付要素（２４）によって、前記ベース要素（２２）に緊締されていて、前記取付要素（２４）の前記軸部（２６）は、前記スペーサスリーブ（３２）を通って延在する、上記１から８のいずれか一つのポンプスタンド（１０）。
１０．
前記キャリア要素（１６）は、互いに平行に延在する２つの曲げビーム（１８）を有する、上記９のポンプスタンド（１０）。
１１．
２つの前記曲げビーム（１８）上に、２つの前記曲げビーム（１８）の間の間隔をブリッジする真空ポンプ（１４）、特にダイヤフラム真空ポンプ（１４）又はロータリベーンポンプが取り付けられている、上記１０のポンプスタンド（１０）。
１２．
前記ばね要素（２０）は、前記ばね要素（２０）が前記真空ポンプ（１４）の運転中に密着しないように選択されたばね定数を有する、上記１から１１のいずれか一つのポンプスタンド（１０）。
１３．
前記ポンプスタンド（１０）は、少なくとも２つの支承ユニットを有し、これらの支承ユニットのばね要素、スペーサスリーブ（３２）及び取付要素（２４）は、互いに垂直に配向されている、上記１から１２のいずれか一つのポンプスタンド（１０）。

【外国語明細書】