特開 2024-179139 熱拡散デバイス及び電子機器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024179139

(43)【公開日】2024-12-26

(54)【発明の名称】熱拡散デバイス及び電子機器

(51)【国際特許分類】

   F28D 15/04 20060101AFI20241219BHJP

   F28D 15/02 20060101ALI20241219BHJP

   H01L 23/427 20060101ALI20241219BHJP

【ＦＩ】

F28D15/04 H

F28D15/02 101H

F28D15/02 L

H01L23/46 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】17

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023097730

(22)【出願日】2023-06-14

(71)【出願人】

【識別番号】000006231

【氏名又は名称】株式会社村田製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110000914

【氏名又は名称】弁理士法人ＷｉｓｅＰｌｕｓ

(72)【発明者】

【氏名】森上 誠士

【テーマコード（参考）】

5F136

【Ｆターム（参考）】

5F136CC14

5F136CC17

(57)【要約】      （修正有）

【課題】複数のウィック層が積層された構成において最大熱輸送量を向上可能な熱拡散デバイスを提供する。
【解決手段】内部空間が設けられた筐体１０と、作動媒体２０と、ウィック３０と、を備え、ウィック３０は、厚み方向Ｔにおいて、第１ウィック層３１と、第１ウィック層と第２ウィック層３２と、を含み、第１ウィック層３１には、厚み方向Ｔにおいて第１貫通孔４１が設けられ、第２ウィック層３２には、厚み方向Ｔにおいて第１内面１０ａに近づく突出部５２が周縁に位置する第２貫通孔４２が設けられ、厚み方向Ｔから見たとき、第２貫通孔４２は、第１貫通孔４１に重なり、厚み方向Ｔにおいて、第２貫通孔４２の周縁に位置する突出部５２の第１内面１０ａ側の端部５２ａと第２内面１０ｂとの間の距離をＡ１、第１貫通孔４１の第２内面１０ｂ側の端部Ｐ１と第２内面１０ｂとの間の距離をＢ１としたとき、Ａ１≧Ｂ１の関係を満たす、熱拡散デバイス１。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

厚み方向に対向する第１内面及び第２内面を有し、かつ、内部空間が設けられた筐体と、
前記筐体の前記内部空間に封入された作動媒体と、
前記筐体の前記内部空間に設けられたウィックと、を備え、
前記ウィックは、前記厚み方向において、第１ウィック層と、前記第１ウィック層の前記第２内面側に隣り合う第２ウィック層と、を含み、
前記第１ウィック層には、前記厚み方向において第１貫通孔が設けられ、
前記第２ウィック層には、前記厚み方向において前記第１内面に近づく突出部が周縁に位置する第２貫通孔が設けられ、
前記厚み方向から見たとき、前記第２貫通孔は、前記第１貫通孔に重なり、
前記厚み方向において、前記第２貫通孔の周縁に位置する前記突出部の前記第１内面側の端部と前記第２内面との間の距離をＡ１、前記第１貫通孔の前記第２内面側の端部と前記第２内面との間の距離をＢ１としたとき、Ａ１≧Ｂ１の関係を満たす、ことを特徴とする熱拡散デバイス。

【請求項2】

前記第１ウィック層には、前記第１貫通孔に加えて、前記厚み方向から見たときに前記第２貫通孔に重ならない貫通孔が更に設けられ、
前記厚み方向において、前記第１ウィック層の前記第１貫通孔以外の前記貫通孔の前記第１内面側の端部と前記第２内面との間の距離をＣ１としたとき、Ａ１≧Ｃ１の関係を満たす、請求項１に記載の熱拡散デバイス。

【請求項3】

前記厚み方向において、前記第１貫通孔の前記第１内面側の端部と前記第２内面との間の距離をＤ１としたとき、Ａ１≧Ｄ１の関係を満たす、請求項１に記載の熱拡散デバイス。

【請求項4】

前記第１貫通孔の周縁には、前記厚み方向において前記第１内面に近づく突出部が位置している、請求項１～３のいずれか１つに記載の熱拡散デバイス。

【請求項5】

前記第１貫通孔の周縁に位置する前記突出部の内面の少なくとも一部は、前記第２貫通孔の周縁に位置する前記突出部の外面の少なくとも一部に接している、請求項４に記載の熱拡散デバイス。

【請求項6】

前記第１貫通孔の周縁に位置する前記突出部の内面の全体は、前記第２貫通孔の周縁に位置する前記突出部の外面の少なくとも一部に接している、請求項５に記載の熱拡散デバイス。

【請求項7】

前記第１ウィック層は、前記ウィックのうちで、前記厚み方向において最も前記第１内面側に位置し、
前記第２ウィック層は、前記ウィックのうちで、前記厚み方向において最も前記第２内面側に位置している、請求項１～３のいずれか１つに記載の熱拡散デバイス。

【請求項8】

前記ウィックは、前記厚み方向において前記第２ウィック層の前記第２内面側に隣り合う第３ウィック層を更に含んでいる、請求項１～３のいずれか１つに記載の熱拡散デバイス。

【請求項9】

前記第３ウィック層には、前記厚み方向において前記第１内面に近づく突出部が周縁に位置する第３貫通孔が設けられ、
前記厚み方向から見たとき、前記第３貫通孔は、前記第２貫通孔に重なり、
前記厚み方向において、前記第３貫通孔の周縁に位置する前記突出部の前記第１内面側の端部と前記第２内面との間の距離をＡ２、前記第２貫通孔の前記第２内面側の端部と前記第２内面との間の距離をＢ２としたとき、Ａ２≧Ｂ２の関係を満たす、請求項８に記載の熱拡散デバイス。

【請求項10】

前記第２ウィック層には、前記第２貫通孔に加えて、前記厚み方向から見たときに前記第３貫通孔に重ならない貫通孔が更に設けられ、
前記厚み方向において、前記第２ウィック層の前記第２貫通孔以外の前記貫通孔の前記第１内面側の端部と前記第２内面との間の距離をＣ２としたとき、Ａ２≧Ｃ２の関係を満たす、請求項９に記載の熱拡散デバイス。

【請求項11】

前記厚み方向において、前記第２貫通孔の前記第１内面側の端部と前記第２内面との間の距離をＤ２としたとき、Ａ２≧Ｄ２の関係を満たす、請求項９に記載の熱拡散デバイス。

【請求項12】

Ａ２≧Ｂ１の関係を満たす、請求項９に記載の熱拡散デバイス。

【請求項13】

前記第１ウィック層には、前記第１貫通孔に加えて、前記厚み方向から見たときに前記第２貫通孔に重ならない貫通孔が更に設けられ、
前記厚み方向において、前記第１ウィック層の前記第１貫通孔以外の前記貫通孔の前記第１内面側の端部と前記第２内面との間の距離をＣ１としたとき、Ａ２≧Ｃ１の関係を満たす、請求項１２に記載の熱拡散デバイス。

【請求項14】

前記厚み方向において、前記第１貫通孔の前記第１内面側の端部と前記第２内面との間の距離をＤ１としたとき、Ａ２≧Ｄ１の関係を満たす、請求項１２に記載の熱拡散デバイス。

【請求項15】

前記第１ウィック層は、前記ウィックのうちで、前記厚み方向において最も前記第１内面側に位置し、
前記第３ウィック層は、前記ウィックのうちで、前記厚み方向において最も前記第２内面側に位置している、請求項８に記載の熱拡散デバイス。

【請求項16】

前記厚み方向において、前記ウィックと前記第１内面との間の距離は、前記ウィックと前記第２内面との間の距離よりも大きい、請求項１～３のいずれか１つに記載の熱拡散デバイス。

【請求項17】

請求項１～３のいずれか１つに記載の熱拡散デバイスを備える、ことを特徴とする電子機器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、熱拡散デバイス及び電子機器に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、素子の高集積化及び高性能化により、発熱量が増加している。また、製品の小型化により、発熱密度が増加している。このような状況は、スマートフォン、タブレット等のモバイル端末の分野において特に顕著である。このような事情から、放熱対策を行うことが重要となっている。

【0003】

放熱対策用の部材としては、グラファイトシート等が用いられることが多いが、その熱輸送量は充分ではないため、熱を拡散させることが可能である様々な熱拡散デバイスの使用が検討されている。

【0004】

このような熱拡散デバイスの一例として、特許文献１には、筐体の内部空間においてウィックが３つ以上積層されたベーパーチャンバーが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】国際公開第２０２２／０５１９５８号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ベーパーチャンバーにおいては、より多くの熱を拡散させるために最大熱輸送量を向上させることが求められている。ベーパーチャンバーの最大熱輸送量を向上させるための方法としては、例えば、液相の作動媒体が通る液体流路のウィックに占める体積を大きくする、具体的には、液体流路がウィックを透過する領域の断面積を大きくすることが考えられる。

【0007】

これに対して、特許文献１に記載のベーパーチャンバーでは、ウィックを積層することにより、液体流路がウィック全体を透過する領域の断面積を大きくしている。しかしながら、特許文献１に記載のベーパーチャンバーでは、隣り合うウィックの界面が、気相の作動媒体が通る蒸気流路に接していない。そのため、特許文献１に記載のベーパーチャンバーでは、蒸気流路に接していないウィックの界面において、液相の作動媒体が蒸発して気相の作動媒体に変化しにくい。よって、特許文献１に記載のベーパーチャンバーでは、ウィック全体において、液相の作動媒体が気相の作動媒体に変化することで生じる、液相の作動媒体を駆動する駆動力が弱くなりやすいため、液相の作動媒体が移動しにくくなるおそれがある。

【0008】

以上のことから、特許文献１に記載のベーパーチャンバーでは、ウィックを積層することで、液体流路がウィックを透過する領域の断面積を大きくしても、かえって液相の作動媒体が移動しにくくなることで、最大熱輸送量が向上しにくくなるおそれがある。

【0009】

なお、上記の問題は、ベーパーチャンバーに限らず、ベーパーチャンバーと同様の構成によって熱を拡散させることが可能な熱拡散デバイスに共通する問題である。

【0010】

本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、複数のウィック層が積層された構成において最大熱輸送量を向上可能な熱拡散デバイスを提供することを目的とするものである。また、本発明は、上記熱拡散デバイスを有する電子機器を提供することを目的とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0011】

本発明の熱拡散デバイスは、厚み方向に対向する第１内面及び第２内面を有し、かつ、内部空間が設けられた筐体と、上記筐体の上記内部空間に封入された作動媒体と、上記筐体の上記内部空間に設けられたウィックと、を備え、上記ウィックは、上記厚み方向において、第１ウィック層と、上記第１ウィック層の上記第２内面側に隣り合う第２ウィック層と、を含み、上記第１ウィック層には、上記厚み方向において第１貫通孔が設けられ、上記第２ウィック層には、上記厚み方向において上記第１内面に近づく突出部が周縁に位置する第２貫通孔が設けられ、上記厚み方向から見たとき、上記第２貫通孔は、上記第１貫通孔に重なり、上記厚み方向において、上記第２貫通孔の周縁に位置する上記突出部の上記第１内面側の端部と上記第２内面との間の距離をＡ１、上記第１貫通孔の上記第２内面側の端部と上記第２内面との間の距離をＢ１としたとき、Ａ１≧Ｂ１の関係を満たす、ことを特徴とする。

【0012】

本発明の電子機器は、本発明の熱拡散デバイスを備える、ことを特徴とする。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、複数のウィック層が積層された構成において最大熱輸送量を向上可能な熱拡散デバイスを提供できる。また、本発明によれば、上記熱拡散デバイスを有する電子機器を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】図１は、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスの一例を示す斜視模式図である。

【図2】図２は、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスの内部構造の一例を示す平面模式図である。

【図3】図３は、図２に示す熱拡散デバイスの線分ａ１－ａ２に沿う断面の一例を示す断面模式図である。

【図4】図４は、図３に示す熱拡散デバイスの一部を拡大して示す断面模式図である。

【図5】図５は、本発明の実施形態２の熱拡散デバイスにおける断面の一例を示す断面模式図である。

【図6】図６は、図５に示す熱拡散デバイスの一部を拡大して示す断面模式図である。

【図7】図７は、本発明の実施形態３の熱拡散デバイスの内部構造の一例を示す平面模式図である。

【図8】図８は、図７に示す熱拡散デバイスの線分ｂ１－ｂ２に沿う断面の一例を示す断面模式図である。

【図9】図９は、図８に示す熱拡散デバイスの一部を拡大して示す断面模式図である。

【図10】図１０は、図７に示す熱拡散デバイスの線分ｂ３－ｂ４に沿う断面の一例を示す断面模式図である。

【図11】図１１は、本発明の実施形態４の熱拡散デバイスにおける断面の一例を示す断面模式図である。

【図12】図１２は、図１１に示す熱拡散デバイスの一部を拡大して示す断面模式図である。

【図13】図１３は、本発明の実施形態４の熱拡散デバイスにおける別の断面の一例を示す断面模式図である。

【図14】図１４は、本発明の実施形態５の熱拡散デバイスにおける断面の一例を示す断面模式図である。

【図15】図１５は、図１４に示す熱拡散デバイスの一部を拡大して示す断面模式図である。

【図16】図１６は、本発明の実施形態６の熱拡散デバイスにおける断面の一例を示す断面模式図である。

【図17】図１７は、図１６に示す熱拡散デバイスの一部を拡大して示す断面模式図である。

【図18】図１８は、本発明の電子機器の一例を示す斜視模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、本発明の熱拡散デバイスと、本発明の電子機器とについて説明する。なお、本発明は、以下の構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更されてもよい。また、以下において記載する個々の好ましい構成を複数組み合わせたものもまた本発明である。

【0016】

以下に示す各実施形態は例示であり、異なる実施形態で示す構成の部分的な置換又は組み合わせが可能であることは言うまでもない。実施形態２以降では、実施形態１と共通の事項についての記載は省略し、異なる点を主に説明する。特に、同様の構成による同様の作用効果については、実施形態毎に逐次言及しない。

【0017】

以下の説明において、各実施形態を特に区別しない場合、単に「本発明の熱拡散デバイス」及び「本発明の電子機器」と言う。

【0018】

以下の各実施形態では、本発明の熱拡散デバイスの一例として、ベーパーチャンバーを示す。本発明の熱拡散デバイスは、ヒートパイプ等の熱拡散デバイスにも適用可能である。

【0019】

以下に示す図面は模式図であり、その寸法、縦横比の縮尺等は実際の製品と異なる場合がある。

【0020】

本明細書中、特に断らない限り、要素間の関係性を示す用語（例えば、「平行」、「垂直」等）及び要素の形状を示す用語は、文字通りの厳密な態様のみを意味するだけではなく、実質的に同等な範囲、例えば、数％程度の差異を含む範囲も意味する。

【0021】

［熱拡散デバイス］
本発明の熱拡散デバイスは、厚み方向に対向する第１内面及び第２内面を有し、かつ、内部空間が設けられた筐体と、上記筐体の上記内部空間に封入された作動媒体と、上記筐体の上記内部空間に設けられたウィックと、を備え、上記ウィックは、上記厚み方向において、第１ウィック層と、上記第１ウィック層の上記第２内面側に隣り合う第２ウィック層と、を含み、上記第１ウィック層には、上記厚み方向において第１貫通孔が設けられ、上記第２ウィック層には、上記厚み方向において上記第１内面に近づく突出部が周縁に位置する第２貫通孔が設けられ、上記厚み方向から見たとき、上記第２貫通孔は、上記第１貫通孔に重なり、上記厚み方向において、上記第２貫通孔の周縁に位置する上記突出部の上記第１内面側の端部と上記第２内面との間の距離をＡ１、上記第１貫通孔の上記第２内面側の端部と上記第２内面との間の距離をＢ１としたとき、Ａ１≧Ｂ１の関係を満たす、ことを特徴とする。

【0022】

＜実施形態１＞
本発明の実施形態１の熱拡散デバイスにおいて、第１ウィック層は、ウィックのうちで、厚み方向において最も第１内面側に位置し、第２ウィック層は、ウィックのうちで、厚み方向において最も第２内面側に位置している。

【0023】

図１は、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスの一例を示す斜視模式図である。

【0024】

図１に示すベーパーチャンバー（熱拡散デバイス）１は、筐体１０を有している。

【0025】

筐体１０は、気密状態に密閉されており、中空構造を有している。

【0026】

筐体１０の外面には、発熱素子である熱源ＨＳが設けられている。

【0027】

熱源ＨＳとしては、例えば、電子部品等が挙げられる。

【0028】

本明細書中、長さ方向、厚み方向、及び、幅方向を、図１等に示すように、各々、Ｌ、Ｔ、及び、Ｗで定められる方向とする。長さ方向Ｌと厚み方向Ｔと幅方向Ｗとは、互いに垂直の関係にある。また、厚み方向Ｔに垂直な方向であって、長さ方向Ｌ及び幅方向Ｗを包含する方向を、面方向とする。

【0029】

ベーパーチャンバー１は、全体として面状であることが好ましい。すなわち、筐体１０は、全体として面状であることが好ましい。

【0030】

本明細書中、面状とは、板状及びシート状を包含する形状であり、長さ方向の寸法及び幅方向の寸法が、厚み方向の寸法に対して相当に大きい形状、例えば、長さ方向の寸法及び幅方向の寸法が、厚み方向の寸法の１０倍以上、好ましくは１００倍以上である形状を意味する。

【0031】

ベーパーチャンバー１の大きさは、特に限定されない。

【0032】

ベーパーチャンバー１の長さ方向Ｌの寸法及び幅方向Ｗの寸法は、各々、好ましくは５ｍｍ以上、５００ｍｍ以下、より好ましくは２０ｍｍ以上、３００ｍｍ以下、更に好ましくは５０ｍｍ以上、２００ｍｍ以下である。

【0033】

ベーパーチャンバー１の長さ方向Ｌの寸法及び幅方向Ｗの寸法は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよい。

【0034】

ベーパーチャンバー１の厚み方向Ｔの寸法は、好ましくは５０μｍ以上、５００μｍ以下である。

【0035】

ベーパーチャンバー１の長さ方向Ｌの寸法、厚み方向Ｔの寸法、及び、幅方向Ｗの寸法は、各々、長さ方向Ｌ、厚み方向Ｔ、及び、幅方向Ｗの最大寸法として定められる。

【0036】

筐体１０は、外縁部同士が接合された第１シート１１及び第２シート１２で構成されることが好ましい。この場合、第１シート１１と第２シート１２とは、端部同士が一致するように重なっていてもよいし、端部同士がずれて重なっていてもよい。

【0037】

第１シート１１及び第２シート１２の外縁部同士の接合方法としては、例えば、レーザー溶接、抵抗溶接、拡散接合、ロウ接、ＴＩＧ溶接（タングステン－不活性ガス溶接）、超音波接合、樹脂封止等が挙げられる。中でも、レーザー溶接、抵抗溶接、又は、ロウ接が好ましい。

【0038】

第１シート１１及び第２シート１２の構成材料は、ベーパーチャンバーに適した特性、例えば、熱伝導性、強度、柔軟性、可撓性等を有するものであれば、特に限定されない。第１シート１１及び第２シート１２の構成材料は、好ましくは金属、例えば、銅、ニッケル、アルミニウム、マグネシウム、チタン、鉄、これらの金属の少なくとも１種を主成分とする合金等であり、特に好ましくは銅又はアルミニウムである。

【0039】

第１シート１１及び第２シート１２の構成材料は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよい。

【0040】

第１シート１１及び第２シート１２の構成材料が互いに異なる場合、第１シート１１及び第２シート１２で異なる機能を発揮させることができる。このような機能としては、特に限定されないが、例えば、熱伝導機能、電磁波シールド機能等が挙げられる。

【0041】

第１シート１１及び第２シート１２の形状は、特に限定されない。例えば、第１シート１１は、厚み方向Ｔの寸法が一定の平板状であり、第２シート１２は、外縁部が外縁部以外の部分よりも厚み方向Ｔの寸法が大きい形状であってもよい。あるいは、第１シート１１は、厚み方向Ｔの寸法が一定の平板状であり、第２シート１２は、厚み方向Ｔの寸法が一定で、かつ、外縁部に対して外縁部以外の部分が外側に凸の形状であってもよい。この場合、筐体１０の外縁部に凹みが設けられることになる。このような筐体１０の外縁部の凹みは、ベーパーチャンバー１を搭載する際に利用可能である。また、筐体１０の外縁部の凹みには、他の部品を配置できる。

【0042】

第１シート１１及び第２シート１２の厚み方向Ｔの寸法は、各々、好ましくは１０μｍ以上、２００μｍ以下、より好ましくは３０μｍ以上、１００μｍ以下、更に好ましくは４０μｍ以上、６０μｍ以下である。

【0043】

第１シート１１及び第２シート１２の厚み方向Ｔの寸法は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよい。

【0044】

第１シート１１及び第２シート１２の厚み方向Ｔの寸法は、各々、全体にわたって同じであってもよいし、一部で異なっていてもよい。

【0045】

第１シート１１及び第２シート１２の厚み方向Ｔの寸法は、各々、厚み方向Ｔの最大寸法として定められる。

【0046】

厚み方向Ｔから見たときの筐体１０の平面形状としては、例えば、三角形、矩形等の多角形、円形、楕円形、これらを組み合わせた形状等が挙げられる。また、筐体１０の平面形状は、Ｌ字型、Ｃ字型（コの字型）、階段型等であってもよい。また、筐体１０には、厚み方向Ｔに貫通口が設けられていてもよい。筐体１０の平面形状は、ベーパーチャンバー１の用途に応じた形状であってもよいし、ベーパーチャンバー１の搭載箇所に応じた形状であってもよいし、近傍に存在する他の部品に応じた形状であってもよい。

【0047】

筐体１０の大きさは、特に限定されない。

【0048】

筐体１０の長さ方向Ｌの寸法及び幅方向Ｗの寸法は、各々、好ましくは５ｍｍ以上、５００ｍｍ以下、より好ましくは２０ｍｍ以上、３００ｍｍ以下、更に好ましくは５０ｍｍ以上、２００ｍｍ以下である。

【0049】

筐体１０の長さ方向Ｌの寸法及び幅方向Ｗの寸法は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよい。

【0050】

筐体１０の厚み方向Ｔの寸法は、好ましくは５０μｍ以上、５００μｍ以下である。

【0051】

筐体１０の長さ方向Ｌの寸法、厚み方向Ｔの寸法、及び、幅方向Ｗの寸法は、各々、長さ方向Ｌ、厚み方向Ｔ、及び、幅方向Ｗの最大寸法として定められる。

【0052】

図１では、筐体１０が第１シート１１及び第２シート１２の２つのシートで構成される態様を例示したが、筐体１０は、１つのシートで構成されてもよいし、３つ以上のシートで構成されてもよい。

【0053】

図２は、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスの内部構造の一例を示す平面模式図である。図３は、図２に示す熱拡散デバイスの線分ａ１－ａ２に沿う断面の一例を示す断面模式図である。図４は、図３に示す熱拡散デバイスの一部を拡大して示す断面模式図である。

【0054】

図２及び図３に示すベーパーチャンバー１は、筐体１０と、作動媒体２０と、ウィック３０と、を有している。

【0055】

図３に示すように、筐体１０は、厚み方向Ｔに対向する第１内面１０ａ及び第２内面１０ｂを有している。

【0056】

図３に示す例では、筐体１０が第１シート１１及び第２シート１２で構成されており、第１シート１１の内面が筐体１０の第１内面１０ａに該当し、第２シート１２の内面が筐体１０の第２内面１０ｂに該当する。

【0057】

筐体１０には、内部空間が設けられている。より具体的には、筐体１０には、第１内面１０ａ及び第２内面１０ｂで囲まれた内部空間が設けられている。

【0058】

図２に示すように、筐体１０は、蒸発部ＥＰを内部空間に有していることが好ましい。

【0059】

蒸発部ＥＰは、後述する液相の作動媒体２０を蒸発させて、気相の作動媒体２０に変化させる部分である。より具体的には、蒸発部ＥＰは、筐体１０の内部空間のうち、図１に示す熱源ＨＳの近傍部分であって、熱源ＨＳによって加熱される部分に該当する。

【0060】

蒸発部ＥＰの数は、熱源ＨＳの数に応じて、図２に示すように１つのみであってもよいし、複数であってもよい。つまり、筐体１０の外面には、熱源ＨＳが、１つのみ設けられていてもよいし、複数設けられていてもよい。

【0061】

熱源ＨＳは、筐体１０の第１内面１０ａと反対側の外面、ここでは、第１シート１１の外面に設けられていてもよいし、筐体１０の第２内面１０ｂと反対側の外面、ここでは、第２シート１２の外面に設けられていてもよい。

【0062】

図２及び図３に示すように、作動媒体２０は、筐体１０の内部空間に封入されている。

【0063】

作動媒体２０は、筐体１０内の環境下において気－液の相変化を生じ得るものであれば、特に限定されない。作動媒体２０としては、例えば、水、アルコール類、代替フロン等が挙げられる。作動媒体２０は、水性化合物であることが好ましく、中でも、水であることが特に好ましい。

【0064】

図２及び図３に示すように、ウィック３０は、筐体１０の内部空間に設けられている。

【0065】

ウィック３０は、毛細管力により液相の作動媒体２０を移動させることができる毛細管構造を有している。

【0066】

ウィック３０の毛細管構造としては、従来の熱拡散デバイス（ベーパーチャンバー等）で用いられる公知の構造であってもよい。このような毛細管構造としては、細孔、溝、突起等の凹凸を有する微細構造、例えば、多孔構造、繊維構造、溝構造、網目構造等が挙げられる。

【0067】

ウィック３０は、液相の作動媒体２０を毛細管力により吸い上げて輸送する液輸送部として機能する。

【0068】

厚み方向Ｔから見たとき、ウィック３０は、筐体１０の内部空間において連続して設けられていることが好ましい。例えば、厚み方向Ｔから見たとき、ウィック３０は、筐体１０の内部空間の全体に設けられていてもよいし、筐体１０の内部空間の一部に設けられていてもよい。

【0069】

ウィック３０は、多孔質体で構成されることが好ましい。

【0070】

多孔質体としては、例えば、焼結体、不織布、メッシュ、エッチング多孔板、繊維束等が挙げられる。

【0071】

焼結体としては、例えば、金属多孔質焼結体、セラミックス多孔質焼結体等が挙げられる。中でも、金属多孔質焼結体が好ましく、銅又はニッケルの多孔質焼結体がより好ましい。

【0072】

不織布としては、例えば、金属不織布等が挙げられる。ウィック３０は、不織布で構成される場合、安価に作製可能である。

【0073】

メッシュとしては、例えば、金属メッシュ、樹脂メッシュ、表面コートされたこれらのメッシュ等が挙げられる。中でも、銅メッシュ、ステンレス（ＳＵＳ）メッシュ、又は、ポリエステルメッシュが好ましい。ウィック３０は、メッシュで構成される場合、安価に作製可能である。

【0074】

エッチング多孔板は、例えば、平板状の金属板をエッチング加工することにより作製される。ウィック３０は、このように作製されたエッチング多孔板で構成される場合、平坦性に優れたものとなる。

【0075】

繊維束は、例えば、複数の繊維を線状に束ねることにより作製される。繊維束は、液相の作動媒体２０を毛細管力により吸い上げて保持する液保持部として機能しつつ、吸い上げた液相の作動媒体２０を輸送する液輸送部としても機能する。

【0076】

ウィック３０は、繊維束で構成される場合、編み込み状の繊維束で構成されることが好ましい。複数の繊維が編み込まれた編み込み状の繊維束では、表面に凹凸が存在しやすくなるため、ウィック３０が編み込み状の繊維束で構成される場合、液相の作動媒体２０が輸送されやすくなる。

【0077】

繊維束を構成する繊維としては、例えば、銅、アルミニウム、ステンレス等の金属線、カーボン繊維、ガラス繊維等の非金属線等が挙げられる。中でも、金属線は、熱伝導率が高いことから好ましい。例えば、直径が０．０３ｍｍ程度の銅線を２００本程度束ねることにより、繊維束とすることができる。

【0078】

ウィック３０の厚み方向Ｔの寸法は、好ましくは２μｍ以上、２００μｍ以下、より好ましくは５μｍ以上、１００μｍ以下、更に好ましくは１０μｍ以上、４０μｍ以下である。

【0079】

ウィック３０の厚み方向Ｔの寸法は、全体にわたって同じであってもよいし、一部で異なっていてもよい。

【0080】

図３に示すように、ウィック３０は、厚み方向Ｔにおいて、第１ウィック層３１と、第１ウィック層３１の第２内面１０ｂ側に隣り合う第２ウィック層３２と、を含んでいる。このように、ウィック３０は、第１ウィック層３１及び第２ウィック層３２を含む複数のウィック層が厚み方向Ｔに積層された構成を有している。

【0081】

図３に示すように、第１ウィック層３１は、ウィック３０のうちで、厚み方向Ｔにおいて最も第１内面１０ａ側に位置している。更に、図３に示すように、第２ウィック層３２は、ウィック３０のうちで、厚み方向Ｔにおいて最も第２内面１０ｂ側に位置している。つまり、ベーパーチャンバー１において、ウィック３０は、第１ウィック層３１及び第２ウィック層３２の２つのウィック層が厚み方向Ｔに積層された構成を有している。

【0082】

図３に示すように、第１ウィック層３１と第２内面１０ｂとの間の領域は、液相の作動媒体２０を主として含む液体流路を構成している。

【0083】

液体流路は、液相の作動媒体２０が主として存在すると言える領域であれば、気相の作動媒体２０を含んでいてもよい。

【0084】

以上のように、ベーパーチャンバー１では、ウィック３０で、液相の作動媒体２０に対する毛細管力を発現しつつ、液相の作動媒体２０の液体流路を構成することにより、液相の作動媒体２０の輸送を制御できる。

【0085】

筐体１０の内部空間において、液体流路以外の領域は、気相の作動媒体２０を主として含む蒸気流路を構成している。図３に示す例では、ウィック３０と第１内面１０ａとの間の領域、具体的には、第１ウィック層３１と第１内面１０ａとの間の領域が、気相の作動媒体２０を主として含む蒸気流路を構成している。

【0086】

蒸気流路は、気相の作動媒体２０が主として存在すると言える領域であれば、液相の作動媒体２０を含んでいてもよい。

【0087】

図３に示すように、厚み方向Ｔにおいて、ウィック３０と第１内面１０ａとの間の距離は、ウィック３０と第２内面１０ｂとの間の距離よりも大きいことが好ましい。つまり、厚み方向Ｔにおいて、ウィック３０のうちで最も第１内面１０ａ側に位置するウィック層と第１内面１０ａとの間の距離は、ウィック３０のうちで最も第２内面１０ｂ側に位置するウィック層と第２内面１０ｂとの間の距離よりも大きいことが好ましい。図３に示す例では、厚み方向Ｔにおいて、第１ウィック層３１と第１内面１０ａとの間の距離が、第２ウィック層３２と第２内面１０ｂとの間の距離よりも大きい。このように、厚み方向Ｔにおいて、ウィック３０と第１内面１０ａとの間の距離が、ウィック３０と第２内面１０ｂとの間の距離よりも大きいと、ウィック３０と第１内面１０ａとの間の領域が蒸気流路として機能しやすくなる。

【0088】

以下では、ウィック３０を構成する各ウィック層の詳細について説明する。

【0089】

図３及び図４に示すように、第１ウィック層３１には、厚み方向Ｔにおいて第１貫通孔４１が設けられている。

【0090】

第１貫通孔４１は、作動媒体２０に対する毛細管力を発現する。つまり、作動媒体２０は、第１貫通孔４１の内部において、毛細管力により移動する。

【0091】

厚み方向Ｔに垂直な断面を見たときの第１貫通孔４１の断面形状としては、特に限定されず、例えば、三角形、矩形等の多角形、円形、楕円形、これらを組み合わせた形状等が挙げられる。

【0092】

図３に示す例では、第１貫通孔４１が複数設けられているが、厚み方向Ｔに垂直な断面を見たとき、複数の第１貫通孔４１の断面形状は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

【0093】

厚み方向Ｔに沿う断面を見たときの第１貫通孔４１の断面形状は、特に限定されず、例えば、第１内面１０ａに向かうにつれて、図３及び図４に示すように第１貫通孔４１の径（図３及び図４では、幅方向Ｗの寸法）が小さくなる形状であってもよいし、第１貫通孔４１の径が大きくなる形状であってもよい。また、厚み方向Ｔに沿う断面を見たときの第１貫通孔４１の断面形状は、第１内面１０ａに向かって、第１貫通孔４１の径が一定である形状であってもよい。

【0094】

図３に示す例では、第１貫通孔４１が複数設けられているが、厚み方向Ｔに沿う断面を見たとき、複数の第１貫通孔４１の断面形状は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

【0095】

第１貫通孔４１の大きさは、特に限定されない。例えば、第１貫通孔４１の面方向（例えば、長さ方向Ｌ又は幅方向Ｗ）の寸法は、特に限定されない。

【0096】

図３に示す例では、第１貫通孔４１が複数設けられているが、複数の第１貫通孔４１の大きさは、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。例えば、複数の第１貫通孔４１の面方向（例えば、長さ方向Ｌ又は幅方向Ｗ）の寸法は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

【0097】

第１貫通孔４１の寸法、形状、個数、配置等は、実際の製品において、図３に示す例と異なっていてもよい。

【0098】

図３及び図４に示すように、第１貫通孔４１の周縁には、厚み方向Ｔにおいて第１内面１０ａに近づく突出部５１が位置していることが好ましい。

【0099】

突出部５１は、第１貫通孔４１の周縁の全体に位置していることが好ましい。

【0100】

なお、突出部５１は、第１貫通孔４１の周縁の一部に位置していてもよい。

【0101】

図３に示す例では、第１貫通孔４１が複数設けられていることに伴って、突出部５１が複数存在しているが、複数の突出部５１のうち、すべての突出部５１が、第１貫通孔４１の周縁の全体に位置していることが好ましい。複数の突出部５１のうち、一部の突出部５１が、第１貫通孔４１の周縁の全体に位置していてもよい。このように、複数の突出部５１のうち、少なくとも一部の突出部５１が、第１貫通孔４１の周縁の全体に位置していてもよい。

【0102】

図３に示すように、突出部５１は、第１内面１０ａに厚み方向Ｔで接していないことが好ましい。つまり、突出部５１は、第１内面１０ａから厚み方向Ｔに離れていることが好ましい。

【0103】

なお、突出部５１は、第１内面１０ａに厚み方向Ｔで接していてもよい。

【0104】

図３に示す例では、突出部５１が複数存在しているが、複数の突出部５１のうち、すべての突出部５１が、第１内面１０ａから厚み方向Ｔに離れていることが好ましい。複数の突出部５１のうち、一部の突出部５１が、第１内面１０ａから厚み方向Ｔに離れていてもよい。このように、複数の突出部５１のうち、少なくとも１つの突出部５１が、第１内面１０ａから厚み方向Ｔに離れていてもよい。

【0105】

厚み方向Ｔに沿う断面を見たときの突出部５１の断面形状は、特に限定されず、第１内面１０ａに向かうにつれて、図３及び図４に示すように突出部５１の内面間の距離（図３及び図４では、幅方向Ｗの距離）が小さくなる形状であってもよいし、突出部５１の内面間の距離が大きくなる形状であってもよい。また、突出部５１の断面形状は、第１内面１０ａに向かって、突出部５１の内面間の距離が一定である形状であってもよい。

【0106】

突出部５１は、第１内面１０ａ側の端部において、第１貫通孔４１側（内側）に屈曲していてもよいし、第１貫通孔４１と反対側（外側）に屈曲していてもよい。

【0107】

図３に示す例では、突出部５１が複数存在しているが、厚み方向Ｔに沿う断面を見たとき、複数の突出部５１の断面形状は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

【0108】

突出部５１の大きさは、特に限定されない。例えば、突出部５１の厚み方向Ｔの寸法は、第１貫通孔４１の面方向（例えば、長さ方向Ｌ又は幅方向Ｗ）の寸法よりも大きくてもよいし、第１貫通孔４１の面方向の寸法よりも小さくてもよいし、第１貫通孔４１の面方向の寸法と同じでもよい。

【0109】

図３に示す例では、突出部５１が複数存在しているが、複数の突出部５１の大きさは、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。例えば、複数の突出部５１の厚み方向Ｔの寸法は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

【0110】

突出部５１の寸法、形状、配置等は、実際の製品において、図３に示す例と異なっていてもよい。

【0111】

なお、第１貫通孔４１の周縁には、突出部が位置していなくてもよい。具体的には、第１貫通孔４１の周縁には、厚み方向Ｔにおいて第１内面１０ａ又は第２内面１０ｂに近づく突出部が位置していなくてもよい。

【0112】

図３及び図４に示すように、第１ウィック層３１には、第１貫通孔４１に加えて、厚み方向Ｔから見たときに後述する第２貫通孔４２に重ならない貫通孔４１Ａが更に設けられていてもよい。

【0113】

図３及び図４に示すように、貫通孔４１Ａの周縁には、厚み方向Ｔにおいて第２内面１０ｂに近づく突出部５１Ａが位置していてもよい。

【0114】

突出部５１Ａは、貫通孔４１Ａの周縁の全体に位置していることが好ましい。

【0115】

なお、突出部５１Ａは、貫通孔４１Ａの周縁の一部に位置していてもよい。

【0116】

図３に示す例では、貫通孔４１Ａが複数設けられていることに伴って、突出部５１Ａが複数存在しているが、複数の突出部５１Ａのうち、すべての突出部５１Ａが、貫通孔４１Ａの周縁の全体に位置していることが好ましい。複数の突出部５１Ａのうち、一部の突出部５１Ａが、貫通孔４１Ａの周縁の全体に位置していてもよい。このように、複数の突出部５１Ａのうち、少なくとも一部の突出部５１Ａが、貫通孔４１Ａの周縁の全体に位置していてもよい。

【0117】

厚み方向Ｔに沿う断面を見たときの突出部５１Ａの断面形状は、特に限定されず、第２内面１０ｂに向かうにつれて、図３及び図４に示すように突出部５１Ａの内面間の距離（図３及び図４では、幅方向Ｗの距離）が小さくなる形状であってもよいし、突出部５１Ａの内面間の距離が大きくなる形状であってもよい。また、突出部５１Ａの断面形状は、第２内面１０ｂに向かって、突出部５１Ａの内面間の距離が一定である形状であってもよい。

【0118】

突出部５１Ａは、第２内面１０ｂ側の端部において、貫通孔４１Ａ側（内側）に屈曲していてもよいし、貫通孔４１Ａと反対側（外側）に屈曲していてもよい。

【0119】

図３に示す例では、突出部５１Ａが複数存在しているが、厚み方向Ｔに沿う断面を見たとき、複数の突出部５１Ａの断面形状は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

【0120】

突出部５１Ａの大きさは、特に限定されない。例えば、突出部５１Ａの厚み方向Ｔの寸法は、貫通孔４１Ａの面方向（例えば、長さ方向Ｌ又は幅方向Ｗ）の寸法よりも大きくてもよいし、貫通孔４１Ａの面方向の寸法よりも小さくてもよいし、貫通孔４１Ａの面方向の寸法と同じでもよい。

【0121】

図３に示す例では、突出部５１Ａが複数存在しているが、複数の突出部５１Ａの大きさは、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。例えば、複数の突出部５１Ａの厚み方向Ｔの寸法は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

【0122】

突出部５１Ａの寸法、形状、配置等は、実際の製品において、図３に示す例と異なっていてもよい。

【0123】

図３及び図４に示すように、第１ウィック層３１には、第１貫通孔４１に加えて、厚み方向Ｔから見たときに後述する第２貫通孔４２に重ならない貫通孔４１Ｂが更に設けられていてもよい。

【0124】

図３及び図４に示すように、貫通孔４１Ｂの周縁には、突出部が位置していなくてもよい。具体的には、貫通孔４１Ｂの周縁には、厚み方向Ｔにおいて第１内面１０ａ又は第２内面１０ｂに近づく突出部が位置していなくてもよい。

【0125】

図３及び図４に示すように、第２ウィック層３２には、厚み方向Ｔにおいて第２貫通孔４２が設けられている。

【0126】

第２貫通孔４２は、作動媒体２０に対する毛細管力を発現する。つまり、作動媒体２０は、第２貫通孔４２の内部において、毛細管力により移動する。

【0127】

第２貫通孔４２の他の特徴は、第１貫通孔４１と同様である。

【0128】

図３及び図４に示すように、第２貫通孔４２の周縁には、厚み方向Ｔにおいて第１内面１０ａに近づく突出部５２が位置している。

【0129】

突出部５２は、第２貫通孔４２の周縁の全体に位置していることが好ましい。

【0130】

なお、突出部５２は、第２貫通孔４２の周縁の一部に位置していてもよい。

【0131】

図３に示す例では、第２貫通孔４２が複数設けられていることに伴って、突出部５２が複数存在しているが、複数の突出部５２のうち、すべての突出部５２が、第２貫通孔４２の周縁の全体に位置していることが好ましい。複数の突出部５２のうち、一部の突出部５２が、第２貫通孔４２の周縁の全体に位置していてもよい。このように、複数の突出部５２のうち、少なくとも一部の突出部５２が、第２貫通孔４２の周縁の全体に位置していてもよい。

【0132】

図３に示すように、突出部５２は、第１内面１０ａに厚み方向Ｔで接していないことが好ましい。つまり、突出部５２は、第１内面１０ａから厚み方向Ｔに離れていることが好ましい。

【0133】

なお、突出部５２は、第１内面１０ａに厚み方向Ｔで接していてもよい。

【0134】

図３に示す例では、突出部５２が複数存在しているが、複数の突出部５２のうち、すべての突出部５２が、第１内面１０ａから厚み方向Ｔに離れていることが好ましい。複数の突出部５２のうち、一部の突出部５２が、第１内面１０ａから厚み方向Ｔに離れていてもよい。このように、複数の突出部５２のうち、少なくとも１つの突出部５２が、第１内面１０ａから厚み方向Ｔに離れていてもよい。

【0135】

厚み方向Ｔに沿う断面を見たときの突出部５２の断面形状は、特に限定されず、第１内面１０ａに向かうにつれて、図３及び図４に示すように突出部５２の内面間の距離（図３及び図４では、幅方向Ｗの距離）が小さくなる形状であってもよいし、突出部５２の内面間の距離が大きくなる形状であってもよい。また、突出部５２の断面形状は、第１内面１０ａに向かって、突出部５２の内面間の距離が一定である形状であってもよい。

【0136】

突出部５２は、第１内面１０ａ側の端部において、第２貫通孔４２側（内側）に屈曲していてもよいし、第２貫通孔４２と反対側（外側）に屈曲していてもよい。

【0137】

図３に示す例では、突出部５２が複数存在しているが、厚み方向Ｔに沿う断面を見たとき、複数の突出部５２の断面形状は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

【0138】

突出部５２の大きさは、特に限定されない。例えば、突出部５２の厚み方向Ｔの寸法は、第２貫通孔４２の面方向（例えば、長さ方向Ｌ又は幅方向Ｗ）の寸法よりも大きくてもよいし、第２貫通孔４２の面方向の寸法よりも小さくてもよいし、第２貫通孔４２の面方向の寸法と同じでもよい。

【0139】

図３に示す例では、突出部５２が複数存在しているが、複数の突出部５２の大きさは、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。例えば、複数の突出部５２の厚み方向Ｔの寸法は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

【0140】

突出部５２の寸法、形状、配置等は、実際の製品において、図３に示す例と異なっていてもよい。

【0141】

図３及び図４に示すように、第２ウィック層３２には、第２貫通孔４２に加えて、厚み方向Ｔから見たときに第１貫通孔４１に重ならない貫通孔４２Ａが更に設けられていてもよい。

【0142】

図３及び図４に示すように、貫通孔４２Ａの周縁には、厚み方向Ｔにおいて第２内面１０ｂに近づく突出部５２Ａが位置していてもよい。

【0143】

図３に示すように、突出部５２Ａは、第２内面１０ｂに厚み方向Ｔで接していることが好ましい。この場合、ウィック３０は、突出部５２Ａで支持される。

【0144】

突出部５２Ａが第２内面１０ｂに厚み方向Ｔで接している場合、突出部５２Ａは、第２内面１０ｂに固定されていてもよいし、固定されていなくてもよい。例えば、突出部５２Ａは、第２内面１０ｂに接合されていてもよいし、接合されていなくてもよい。突出部５２Ａと第２内面１０ｂとの接合方法としては、例えば、拡散接合、超音波接合、スポット溶接等が挙げられる。

【0145】

図３に示す例では、突出部５２Ａが複数存在しているが、複数の突出部５２Ａのうち、すべての突出部５２Ａが、第２内面１０ｂに厚み方向Ｔで接していることが好ましい。複数の突出部５２Ａのうち、一部の突出部５２Ａが、第２内面１０ｂに厚み方向Ｔで接していてもよい。このように、複数の突出部５２Ａのうち、少なくとも１つの突出部５２Ａが、第２内面１０ｂに厚み方向Ｔで接していてもよい。

【0146】

複数の突出部５２Ａが第２内面１０ｂに厚み方向Ｔで接している場合、複数の突出部５２Ａのうち、少なくとも１つの突出部５２Ａが、第２内面１０ｂに固定されていてもよい。例えば、複数の突出部５２Ａのうち、少なくとも１つの突出部５２Ａが、第２内面１０ｂに接合されていてもよい。より具体的には、複数の突出部５２Ａのうち、すべての突出部５２Ａが第２内面１０ｂに接合されていてもよいし、一部の突出部５２Ａが第２内面１０ｂに接合されていてもよい。

【0147】

なお、突出部５２Ａは、第２内面１０ｂに厚み方向Ｔで接していなくてもよい。つまり、突出部５２Ａは、第２内面１０ｂから厚み方向Ｔに離れていてもよい。

【0148】

突出部５２Ａの他の特徴は、突出部５１Ａと同様である。

【0149】

厚み方向Ｔから見たとき、貫通孔４２Ａは、貫通孔４１Ａに重なっていてもよい。

【0150】

なお、厚み方向Ｔから見たとき、貫通孔４２Ａは、貫通孔４１Ａに重なっていなくてもよい。

【0151】

貫通孔４２Ａの他の特徴は、貫通孔４１Ａと同様である。

【0152】

図３及び図４に示すように、第２ウィック層３２には、第２貫通孔４２に加えて、厚み方向Ｔから見たときに第１貫通孔４１に重ならない貫通孔４２Ｂが更に設けられていてもよい。

【0153】

図３及び図４に示すように、貫通孔４２Ｂの周縁には、突出部が位置していなくてもよい。具体的には、貫通孔４２Ｂの周縁には、厚み方向Ｔにおいて第１内面１０ａ又は第２内面１０ｂに近づく突出部が位置していなくてもよい。

【0154】

厚み方向Ｔから見たとき、貫通孔４２Ｂは、貫通孔４１Ｂに重なっていてもよい。

【0155】

なお、厚み方向Ｔから見たとき、貫通孔４２Ｂは、貫通孔４１Ｂに重なっていなくてもよい。

【0156】

貫通孔４２Ｂの他の特徴は、貫通孔４１Ｂと同様である。

【0157】

図３及び図４に示すように、各ウィック層において、貫通孔（第１貫通孔４１、第２貫通孔４２等を含む）の間には、平坦部が存在している。

【0158】

厚み方向Ｔから見たとき、第２貫通孔４２は、第１貫通孔４１に重なっている。

【0159】

図３及び図４に示すように、厚み方向Ｔにおいて、第２貫通孔４２の周縁に位置する突出部５２の第１内面１０ａ側の端部５２ａと第２内面１０ｂとの間の距離をＡ１、第１貫通孔４１の第２内面１０ｂ側の端部Ｐ１と第２内面１０ｂとの間の距離をＢ１としたとき、Ａ１≧Ｂ１の関係を満たしている。図３及び図４に示す例では、Ａ１＞Ｂ１の関係を満たしている。

【0160】

言い換えれば、厚み方向Ｔで第２内面１０ｂを基準とする高さを定義したとき、図３及び図４に示すように、厚み方向Ｔにおいて、第２貫通孔４２の周縁に位置する突出部５２の第１内面１０ａ側の端部５２ａは、第１貫通孔４１の第２内面１０ｂ側の端部Ｐ１と同じ高さに位置しているか、第１貫通孔４１の第２内面１０ｂ側の端部Ｐ１よりも第１内面１０ａ側の高さに位置している。図３及び図４に示す例では、厚み方向Ｔにおいて、突出部５２の第１内面１０ａ側の端部５２ａが、第１貫通孔４１の第２内面１０ｂ側の端部Ｐ１よりも第１内面１０ａ側の高さに位置している。

【0161】

ベーパーチャンバー１では、第１ウィック層３１が、第１ウィック層３１と第１内面１０ａとの間の領域で構成される蒸気流路に接しているため、第１ウィック層３１に含まれる液相の作動媒体２０、好ましくは、第１ウィック層３１と第２ウィック層３２との間の領域に含まれる液相の作動媒体２０が、蒸発（揮発蒸散とも言う）して気相の作動媒体２０に変化しつつ蒸気流路に移動できる。

【0162】

一方、ベーパーチャンバー１では、第１ウィック層３１に対して、第１ウィック層３１の第２内面１０ｂ側に隣り合う第２ウィック層３２が更に積層されている。ここで、複数のウィック層が単に積層されただけの従来のベーパーチャンバーでは、蒸気流路から遠いウィック層が、隣り合うウィック層との界面において蒸気流路に接しない構成となる。そのため、複数のウィック層が積層された従来のベーパーチャンバーでは、蒸気流路から遠いウィック層に含まれる液相の作動媒体が、蒸発して気相の作動媒体に変化しにくい。よって、複数のウィック層が積層された従来のベーパーチャンバーでは、蒸気流路から遠いウィック層において、液相の作動媒体が気相の作動媒体に変化することで生じる、液相の作動媒体を駆動する駆動力が弱くなりやすいため、液相の作動媒体が移動しにくくなるおそれがある。

【0163】

これに対して、ベーパーチャンバー１では、蒸気流路から遠い第２ウィック層３２に設けられた第２貫通孔４２が、蒸気流路に接する第１ウィック層３１に設けられた第１貫通孔４１に対して、上述した距離（高さ）の関係を満たすように重なっていることにより、第２貫通孔４２が第１貫通孔４１に接続される。そのため、ベーパーチャンバー１では、第２ウィック層３２に含まれる液相の作動媒体２０、好ましくは、第２ウィック層３２と第２内面１０ｂとの間の領域に含まれる液相の作動媒体２０が、第２貫通孔４２、更には、第２貫通孔４２に接続される第１貫通孔４１を通じて、蒸発して気相の作動媒体２０に変化しつつ蒸気流路に移動しやすくなる。

【0164】

以上により、ベーパーチャンバー１では、第１ウィック層３１だけではなく、第２ウィック層３２においても、液相の作動媒体２０が気相の作動媒体２０に変化することで生じる、液相の作動媒体２０を駆動する駆動力が確保される。よって、ベーパーチャンバー１では、第１ウィック層３１及び第２ウィック層３２が積層されていても、毛細管力により液相の作動媒体２０を移動させるという機能が、第１ウィック層３１ではもちろんのこと、第２ウィック層３２でも損なわれにくい。そのため、ベーパーチャンバー１では、第１ウィック層３１及び第２ウィック層３２が積層されたことで液体流路がウィック３０を透過する領域の断面積が大きくなる分、最大熱輸送量が向上しやすくなる。

【0165】

以上のことから、ベーパーチャンバー１によれば、複数のウィック層が積層された構成において最大熱輸送量を向上可能な熱拡散デバイスを実現できる。

【0166】

ベーパーチャンバー１において、第１貫通孔４１及び第２貫通孔４２が上述した距離（高さ）の関係を満たすように重なる構成は、例えば、第１ウィック層３１及び第２ウィック層３２が厚み方向Ｔに積層された構成を有するウィック３０に対して、第１貫通孔４１及び第２貫通孔４２が重なるように第１ウィック層３１及び第２ウィック層３２の位置関係を調整した後、第１ウィック層３１側及び第２ウィック層３２側の両側から同時にプレス加工を行うことにより実現される。第１貫通孔４１及び第２貫通孔４２が上述した距離（高さ）の関係を満たすように重なる構成を実現する方法は、上述したプレス加工を行う方法に限定されない。

【0167】

図３及び図４に示すように、第１ウィック層３１に、第１貫通孔４１に加えて、厚み方向Ｔから見たときに第２貫通孔４２に重ならない貫通孔４１Ａ又は貫通孔４１Ｂが更に設けられている場合、厚み方向Ｔにおいて、第１ウィック層３１の第１貫通孔４１以外の貫通孔４１Ａ又は貫通孔４１Ｂの第１内面１０ａ側の端部Ｑ１と第２内面１０ｂとの間の距離をＣ１としたとき、Ａ１≧Ｃ１の関係を満たしていることが好ましい。図３及び図４に示す例では、Ａ１＞Ｃ１の関係を満たしている。

【0168】

言い換えれば、図３及び図４に示すように、第１ウィック層３１に、第１貫通孔４１に加えて、厚み方向Ｔから見たときに第２貫通孔４２に重ならない貫通孔４１Ａ又は貫通孔４１Ｂが更に設けられている場合、厚み方向Ｔにおいて、第２貫通孔４２の周縁に位置する突出部５２の第１内面１０ａ側の端部５２ａは、第１ウィック層３１の貫通孔４１Ａ又は貫通孔４１Ｂの第１内面１０ａ側の端部Ｑ１と同じ高さに位置しているか、第１ウィック層３１の貫通孔４１Ａ又は貫通孔４１Ｂの第１内面１０ａ側の端部Ｑ１よりも第１内面１０ａ側の高さに位置していることが好ましい。図３及び図４に示す例では、厚み方向Ｔにおいて、突出部５２の第１内面１０ａ側の端部５２ａが、貫通孔４１Ａ又は貫通孔４１Ｂの第１内面１０ａ側の端部Ｑ１よりも第１内面１０ａ側の高さに位置している。

【0169】

ベーパーチャンバー１では、第２貫通孔４２が、上述した距離（高さ）の関係を満たすように第１貫通孔４１に重なっていることにより、第２ウィック層３２に含まれる液相の作動媒体２０、好ましくは、第２ウィック層３２と第２内面１０ｂとの間の領域に含まれる液相の作動媒体２０が、第２貫通孔４２、更には、第１貫通孔４１を通じて、蒸発して気相の作動媒体２０に変化しつつ蒸気流路に更に移動しやすくなる。よって、ベーパーチャンバー１では、毛細管力により液相の作動媒体２０を移動させるという機能が、第２ウィック層３２で更に損なわれにくくなり、結果的に、最大熱輸送量が更に向上しやすくなる。

【0170】

図３及び図４に示す例において、貫通孔４１Ａの第１内面１０ａ側の端部と第２内面１０ｂとの間の距離、及び、貫通孔４１Ｂの第１内面１０ａ側の端部と第２内面１０ｂとの間の距離は、距離Ｃ１として、互いに同じである。言い換えれば、図３及び図４に示す例において、貫通孔４１Ａ及び貫通孔４１Ｂの第１内面１０ａ側の端部は、端部Ｑ１として、互いに同じ高さに位置している。

【0171】

なお、貫通孔４１Ａの第１内面１０ａ側の端部と第２内面１０ｂとの間の距離、及び、貫通孔４１Ｂの第１内面１０ａ側の端部と第２内面１０ｂとの間の距離は、互いに異なっていてもよい。言い換えれば、貫通孔４１Ａ及び貫通孔４１Ｂの第１内面１０ａ側の端部は、互いに異なる高さに位置していてもよい。この場合、貫通孔４１Ａの第１内面１０ａ側の端部は、貫通孔４１Ｂの第１内面１０ａ側の端部よりも第１内面１０ａ側の高さに位置していてもよいし、貫通孔４１Ｂの第１内面１０ａ側の端部よりも第２内面１０ｂ側の高さに位置していてもよい。

【0172】

貫通孔４１Ａ及び貫通孔４１Ｂの第１内面１０ａ側の端部が、互いに異なる高さに位置している場合、厚み方向Ｔにおいて、突出部５２の第１内面１０ａ側の端部５２ａは、貫通孔４１Ａの第１内面１０ａ側の端部と同じ高さに位置しているか、貫通孔４１Ａの第１内面１０ａ側の端部よりも第１内面１０ａ側の高さに位置していてもよい。あるいは、厚み方向Ｔにおいて、突出部５２の第１内面１０ａ側の端部５２ａは、貫通孔４１Ｂの第１内面１０ａ側の端部と同じ高さに位置しているか、貫通孔４１Ｂの第１内面１０ａ側の端部よりも第１内面１０ａ側の高さに位置していてもよい。

【0173】

図３及び図４に示すように、第１貫通孔４１の周縁に位置する突出部５１の内面の少なくとも一部は、第２貫通孔４２の周縁に位置する突出部５２の外面の少なくとも一部に接していることが好ましい。図３及び図４に示す例では、突出部５１の内面の一部が、突出部５２の外面の一部に接している。

【0174】

突出部５１の内面の少なくとも一部が突出部５２の外面の少なくとも一部に接していると、第１ウィック層３１及び第２ウィック層３２は、例えば、突出部５１及び突出部５２でかしめられて互いに接合される。これにより、第１ウィック層３１及び第２ウィック層３２は、互いの位置関係がずれにくくなる。

【0175】

なお、突出部５１の内面は、突出部５２の外面に接していなくてもよい。

【0176】

ベーパーチャンバー１は、例えば、以下のようにして作動する。

【0177】

ベーパーチャンバー１において、液相の作動媒体２０は、蒸発部ＥＰ近傍の領域に存在するウィック３０及び液体流路において、熱源ＨＳからの熱を吸収することで蒸発し、気相の作動媒体２０に変化する。そして、蒸発部ＥＰで発生した気相の作動媒体２０は、蒸気流路を通って、蒸発部ＥＰから離れた領域、例えば、蒸気流路の長さ方向Ｌにおける蒸発部ＥＰと反対側の端部周辺に移動し、そこで冷却されて液相の作動媒体２０に変化する。以下では、気相の作動媒体２０が凝縮して液相の作動媒体２０に変化する部分を、凝縮部と言う。凝縮部は、蒸発部ＥＰから離れた領域、例えば、筐体１０の内部空間の長さ方向Ｌにおける蒸発部ＥＰと反対側の端部周辺に位置しやすい。そして、凝縮部で発生した液相の作動媒体２０は、ウィック３０及び液体流路に回収された後、蒸発部ＥＰに輸送される。

【0178】

ベーパーチャンバー１では、以上の過程が繰り返されることにより、作動媒体２０が気－液の相変化を生じつつ循環する。この際、熱源ＨＳからの熱は、蒸発部ＥＰにおいて液相の作動媒体２０を気相の作動媒体２０に変化させる蒸発潜熱として吸収された後、凝縮部（例えば、蒸発部ＥＰから長さ方向Ｌに離れた領域）において気相の作動媒体２０を液相の作動媒体２０に変化させる凝縮潜熱として放出される。このようにして、ベーパーチャンバー１は、外部動力を必要とすることなく自立的に作動し、更には、作動媒体２０の蒸発潜熱及び凝縮潜熱を利用することにより、熱源ＨＳからの熱を二次元的に高速で拡散できる。

【0179】

＜実施形態２＞
本発明の実施形態２の熱拡散デバイスにおいて、ウィックは、厚み方向において第２ウィック層の第２内面側に隣り合う第３ウィック層を更に含んでいる。

【0180】

本発明の実施形態２の熱拡散デバイスにおいて、第１ウィック層は、ウィックのうちで、厚み方向において最も第１内面側に位置し、第３ウィック層は、ウィックのうちで、厚み方向において最も第２内面側に位置している。

【0181】

本発明の実施形態２の熱拡散デバイスは、上記の点以外、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスと同様である。

【0182】

図５は、本発明の実施形態２の熱拡散デバイスにおける断面の一例を示す断面模式図である。図６は、図５に示す熱拡散デバイスの一部を拡大して示す断面模式図である。

【0183】

なお、図５は、図３に相当する位置における断面を示す。

【0184】

図５に示すベーパーチャンバー２において、ウィック３０は、厚み方向Ｔにおいて第２ウィック層３２の第２内面１０ｂ側に隣り合う第３ウィック層３３を更に含んでいる。

【0185】

図５に示すように、第１ウィック層３１は、ウィック３０のうちで、厚み方向Ｔにおいて最も第１内面１０ａ側に位置している。更に、図５に示すように、第３ウィック層３３は、ウィック３０のうちで、厚み方向Ｔにおいて最も第２内面１０ｂ側に位置している。つまり、ベーパーチャンバー２において、ウィック３０は、第１ウィック層３１、第２ウィック層３２、及び、第３ウィック層３３の３つのウィック層が厚み方向Ｔに積層された構成を有している。

【0186】

図５及び図６に示すように、第３ウィック層３３には、厚み方向Ｔにおいて第３貫通孔４３が設けられていることが好ましい。

【0187】

第３貫通孔４３は、作動媒体２０に対する毛細管力を発現する。つまり、作動媒体２０は、第３貫通孔４３の内部において、毛細管力により移動する。

【0188】

第３貫通孔４３の他の特徴は、第１貫通孔４１及び第２貫通孔４２と同様である。

【0189】

図５及び図６に示すように、第３貫通孔４３の周縁には、厚み方向Ｔにおいて第１内面１０ａに近づく突出部５３が位置していることが好ましい。

【0190】

突出部５３は、第３貫通孔４３の周縁の全体に位置していることが好ましい。

【0191】

なお、突出部５３は、第３貫通孔４３の周縁の一部に位置していてもよい。

【0192】

第３貫通孔４３が複数設けられていることに伴って、突出部５３が複数存在している場合、複数の突出部５３のうち、すべての突出部５３が、第３貫通孔４３の周縁の全体に位置していることが好ましい。複数の突出部５３のうち、一部の突出部５３が、第３貫通孔４３の周縁の全体に位置していてもよい。このように、複数の突出部５３のうち、少なくとも一部の突出部５３が、第３貫通孔４３の周縁の全体に位置していてもよい。

【0193】

図５に示すように、突出部５３は、第１内面１０ａに厚み方向Ｔで接していないことが好ましい。つまり、突出部５３は、第１内面１０ａから厚み方向Ｔに離れていることが好ましい。

【0194】

なお、突出部５３は、第１内面１０ａに厚み方向Ｔで接していてもよい。

【0195】

突出部５３が複数存在している場合、複数の突出部５３のうち、すべての突出部５３が、第１内面１０ａから厚み方向Ｔに離れていることが好ましい。複数の突出部５３のうち、一部の突出部５３が、第１内面１０ａから厚み方向Ｔに離れていてもよい。このように、複数の突出部５３のうち、少なくとも１つの突出部５３が、第１内面１０ａから厚み方向Ｔに離れていてもよい。

【0196】

厚み方向Ｔに沿う断面を見たときの突出部５３の断面形状は、特に限定されず、第１内面１０ａに向かうにつれて、図５及び図６に示すように突出部５３の内面間の距離（図５及び図６では、幅方向Ｗの距離）が小さくなる形状であってもよいし、突出部５３の内面間の距離が大きくなる形状であってもよい。また、突出部５３の断面形状は、第１内面１０ａに向かって、突出部５３の内面間の距離が一定である形状であってもよい。

【0197】

突出部５３は、第１内面１０ａ側の端部において、第３貫通孔４３側（内側）に屈曲していてもよいし、第３貫通孔４３と反対側（外側）に屈曲していてもよい。

【0198】

突出部５３が複数存在している場合、厚み方向Ｔに沿う断面を見たとき、複数の突出部５３の断面形状は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

【0199】

突出部５３の大きさは、特に限定されない。例えば、突出部５３の厚み方向Ｔの寸法は、第３貫通孔４３の面方向（例えば、長さ方向Ｌ又は幅方向Ｗ）の寸法よりも大きくてもよいし、第３貫通孔４３の面方向の寸法よりも小さくてもよいし、第３貫通孔４３の面方向の寸法と同じでもよい。

【0200】

突出部５３が複数存在している場合、複数の突出部５３の大きさは、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。例えば、複数の突出部５３の厚み方向Ｔの寸法は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

【0201】

突出部５３の寸法、形状、配置等は、実際の製品において、図５に示す例と異なっていてもよい。

【0202】

図５及び図６に示すように、第３ウィック層３３には、第３貫通孔４３に加えて、厚み方向Ｔにおいて貫通孔４３Ａが更に設けられていてもよい。

【0203】

図５及び図６に示すように、貫通孔４３Ａの周縁には、厚み方向Ｔにおいて第２内面１０ｂに近づく突出部５３Ａが位置していてもよい。

【0204】

図５に示すように、突出部５３Ａは、第２内面１０ｂに厚み方向Ｔで接していることが好ましい。この場合、ウィック３０は、突出部５３Ａで支持される。

【0205】

なお、突出部５３Ａは、第２内面１０ｂに厚み方向Ｔで接していなくてもよい。つまり、突出部５３Ａは、第２内面１０ｂから厚み方向Ｔに離れていてもよい。

【0206】

突出部５３Ａの他の特徴は、突出部５１Ａ及び突出部５２Ａと同様である。

【0207】

厚み方向Ｔから見たとき、貫通孔４３Ａは、第１貫通孔４１に重なっていてもよいし、第２貫通孔４２に重なっていてもよいし、貫通孔４１Ａに重なっていてもよいし、貫通孔４２Ａに重なっていてもよい。

【0208】

なお、厚み方向Ｔから見たとき、貫通孔４３Ａは、第１貫通孔４１、第２貫通孔４２、貫通孔４１Ａ、及び、貫通孔４２Ａに重なっていなくてもよい。

【0209】

貫通孔４３Ａの他の特徴は、貫通孔４１Ａ及び貫通孔４２Ａと同様である。

【0210】

図５及び図６に示すように、第３ウィック層３３には、第３貫通孔４３に加えて、厚み方向Ｔにおいて貫通孔４３Ｂが更に設けられていてもよい。

【0211】

図５及び図６に示すように、貫通孔４３Ｂの周縁には、突出部が位置していなくてもよい。具体的には、貫通孔４３Ｂの周縁には、厚み方向Ｔにおいて第１内面１０ａ又は第２内面１０ｂに近づく突出部が位置していなくてもよい。

【0212】

厚み方向Ｔから見たとき、貫通孔４３Ｂは、貫通孔４１Ｂに重なっていてもよいし、貫通孔４２Ｂに重なっていてもよい。

【0213】

なお、厚み方向Ｔから見たとき、貫通孔４３Ｂは、貫通孔４１Ｂ及び貫通孔４２Ｂに重なっていなくてもよい。

【0214】

貫通孔４３Ｂの他の特徴は、貫通孔４１Ｂ及び貫通孔４２Ｂと同様である。

【0215】

厚み方向Ｔから見たとき、第３貫通孔４３は、第２貫通孔４２に重なっていることが好ましい。

【0216】

図５及び図６に示すように、厚み方向Ｔにおいて、第３貫通孔４３の周縁に位置する突出部５３の第１内面１０ａ側の端部５３ａと第２内面１０ｂとの間の距離をＡ２、第２貫通孔４２の第２内面１０ｂ側の端部Ｐ２と第２内面１０ｂとの間の距離をＢ２としたとき、Ａ２≧Ｂ２の関係を満たしていることが好ましい。図５及び図６に示す例では、Ａ２＞Ｂ２の関係を満たしている。

【0217】

言い換えれば、図５及び図６に示すように、厚み方向Ｔにおいて、第３貫通孔４３の周縁に位置する突出部５３の第１内面１０ａ側の端部５３ａは、第２貫通孔４２の第２内面１０ｂ側の端部Ｐ２と同じ高さに位置しているか、第２貫通孔４２の第２内面１０ｂ側の端部Ｐ２よりも第１内面１０ａ側の高さに位置していることが好ましい。図５及び図６に示す例では、厚み方向Ｔにおいて、突出部５３の第１内面１０ａ側の端部５３ａが、第２貫通孔４２の第２内面１０ｂ側の端部Ｐ２よりも第１内面１０ａ側の高さに位置している。

【0218】

ベーパーチャンバー２では、第３ウィック層３３に設けられた第３貫通孔４３が、第３ウィック層３３よりも蒸気流路に近い第２ウィック層３２に設けられた第２貫通孔４２に対して、上述した距離（高さ）の関係を満たすように重なっていることにより、第３貫通孔４３が第２貫通孔４２に接続される。更に、ベーパーチャンバー２では、ベーパーチャンバー１と同様に、第２ウィック層３２に設けられた第２貫通孔４２が、蒸気流路に接する第１ウィック層３１に設けられた第１貫通孔４１に重なっていることにより、第２貫通孔４２が第１貫通孔４１に接続される。つまり、ベーパーチャンバー２では、第３貫通孔４３が、第２貫通孔４２を通じて、第１貫通孔４１に接続される。そのため、ベーパーチャンバー２では、第３ウィック層３３に含まれる液相の作動媒体２０、好ましくは、第３ウィック層３３と第２内面１０ｂとの間の領域に含まれる液相の作動媒体２０が、第３貫通孔４３、第３貫通孔４３に接続される第２貫通孔４２、更には、第２貫通孔４２に接続される第１貫通孔４１を通じて、蒸発して気相の作動媒体２０に変化しつつ蒸気流路に移動しやすくなる。

【0219】

以上により、ベーパーチャンバー２では、第１ウィック層３１及び第２ウィック層３２だけではなく、第３ウィック層３３においても、液相の作動媒体２０が気相の作動媒体２０に変化することで生じる、液相の作動媒体２０を駆動する駆動力が確保される。よって、ベーパーチャンバー２では、第１ウィック層３１、第２ウィック層３２、及び、第３ウィック層３３が積層されていても、毛細管力により液相の作動媒体２０を移動させるという機能が、第１ウィック層３１及び第２ウィック層３２ではもちろんのこと、第３ウィック層３３でも損なわれにくい。そのため、ベーパーチャンバー２では、第１ウィック層３１、第２ウィック層３２、及び、第３ウィック層３３が積層されたことで液体流路がウィック３０を透過する領域の断面積が大きくなる分、最大熱輸送量が向上しやすくなる。

【0220】

図５及び図６に示すように、第２ウィック層３２には、第２貫通孔４２に加えて、厚み方向Ｔから見たときに第３貫通孔４３に重ならない貫通孔４２Ａが更に設けられていてもよい。

【0221】

図５及び図６に示すように、貫通孔４２Ａの周縁には、厚み方向Ｔにおいて第２内面１０ｂに近づく突出部５２Ａが位置していてもよい。

【0222】

図５及び図６に示す貫通孔４２Ａ及び突出部５２Ａの他の特徴は、各々、図３及び図４に示す貫通孔４２Ａ及び突出部５２Ａと同様である。

【0223】

図５及び図６に示すように、第２ウィック層３２には、第２貫通孔４２に加えて、厚み方向Ｔから見たときに第３貫通孔４３に重ならない貫通孔４２Ｂが更に設けられていてもよい。

【0224】

図５及び図６に示すように、貫通孔４２Ｂの周縁には、突出部が位置していなくてもよい。具体的には、貫通孔４２Ｂの周縁には、厚み方向Ｔにおいて第１内面１０ａ又は第２内面１０ｂに近づく突出部が位置していなくてもよい。

【0225】

図５及び図６に示す貫通孔４２Ｂの他の特徴は、図３及び図４に示す貫通孔４２Ｂと同様である。

【0226】

図５及び図６に示すように、第２ウィック層３２に、第２貫通孔４２に加えて、厚み方向Ｔから見たときに第３貫通孔４３に重ならない貫通孔４２Ａ又は貫通孔４２Ｂが更に設けられている場合、厚み方向Ｔにおいて、第２ウィック層３２の第２貫通孔４２以外の貫通孔４２Ａ又は貫通孔４２Ｂの第１内面１０ａ側の端部Ｑ２と第２内面１０ｂとの間の距離をＣ２としたとき、Ａ２≧Ｃ２の関係を満たしていることが好ましい。図５及び図６に示す例では、Ａ２＞Ｃ２の関係を満たしている。

【0227】

言い換えれば、図５及び図６に示すように、第２ウィック層３２に、第２貫通孔４２に加えて、厚み方向Ｔから見たときに第３貫通孔４３に重ならない貫通孔４２Ａ又は貫通孔４２Ｂが更に設けられている場合、厚み方向Ｔにおいて、第３貫通孔４３の周縁に位置する突出部５３の第１内面１０ａ側の端部５３ａは、第２ウィック層３２の貫通孔４２Ａ又は貫通孔４２Ｂの第１内面１０ａ側の端部Ｑ２と同じ高さに位置しているか、第２ウィック層３２の貫通孔４２Ａ又は貫通孔４２Ｂの第１内面１０ａ側の端部Ｑ２よりも第１内面１０ａ側の高さに位置していることが好ましい。図５及び図６に示す例では、厚み方向Ｔにおいて、突出部５３の第１内面１０ａ側の端部５３ａが、貫通孔４２Ａ又は貫通孔４２Ｂの第１内面１０ａ側の端部Ｑ２よりも第１内面１０ａ側の高さに位置している。

【0228】

ベーパーチャンバー２では、第３貫通孔４３が、上述した距離（高さ）の関係を満たすように第２貫通孔４２に重なっていることにより、第３ウィック層３３に含まれる液相の作動媒体２０、好ましくは、第３ウィック層３３と第２内面１０ｂとの間の領域に含まれる液相の作動媒体２０が、第３貫通孔４３、第２貫通孔４２、更には、第１貫通孔４１を通じて、蒸発して気相の作動媒体２０に変化しつつ蒸気流路に更に移動しやすくなる。よって、ベーパーチャンバー２では、毛細管力により液相の作動媒体２０を移動させるという機能が、第３ウィック層３３で更に損なわれにくくなり、結果的に、最大熱輸送量が更に向上しやすくなる。

【0229】

図５及び図６に示す例において、貫通孔４２Ａの第１内面１０ａ側の端部と第２内面１０ｂとの間の距離、及び、貫通孔４２Ｂの第１内面１０ａ側の端部と第２内面１０ｂとの間の距離は、距離Ｃ２として、互いに同じである。言い換えれば、図５及び図６に示す例において、貫通孔４２Ａ及び貫通孔４２Ｂの第１内面１０ａ側の端部は、端部Ｑ２として、互いに同じ高さに位置している。

【0230】

なお、貫通孔４２Ａの第１内面１０ａ側の端部と第２内面１０ｂとの間の距離、及び、貫通孔４２Ｂの第１内面１０ａ側の端部と第２内面１０ｂとの間の距離は、互いに異なっていてもよい。言い換えれば、貫通孔４２Ａ及び貫通孔４２Ｂの第１内面１０ａ側の端部は、互いに異なる高さに位置していてもよい。この場合、貫通孔４２Ａの第１内面１０ａ側の端部は、貫通孔４２Ｂの第１内面１０ａ側の端部よりも第１内面１０ａ側の高さに位置していてもよいし、貫通孔４２Ｂの第１内面１０ａ側の端部よりも第２内面１０ｂ側の高さに位置していてもよい。

【0231】

貫通孔４２Ａ及び貫通孔４２Ｂの第１内面１０ａ側の端部が、互いに異なる高さに位置している場合、厚み方向Ｔにおいて、突出部５３の第１内面１０ａ側の端部５３ａは、貫通孔４２Ａの第１内面１０ａ側の端部と同じ高さに位置しているか、貫通孔４２Ａの第１内面１０ａ側の端部よりも第１内面１０ａ側の高さに位置していてもよい。あるいは、厚み方向Ｔにおいて、突出部５３の第１内面１０ａ側の端部５３ａは、貫通孔４２Ｂの第１内面１０ａ側の端部と同じ高さに位置しているか、貫通孔４２Ｂの第１内面１０ａ側の端部よりも第１内面１０ａ側の高さに位置していてもよい。

【0232】

図５及び図６に示すように、Ａ２≧Ｂ１の関係を満たしていることが好ましい。図５及び図６に示す例では、Ａ２＞Ｂ１の関係を満たしている。

【0233】

言い換えれば、図５及び図６に示すように、厚み方向Ｔにおいて、第３貫通孔４３の周縁に位置する突出部５３の第１内面１０ａ側の端部５３ａは、第１貫通孔４１の第２内面１０ｂ側の端部Ｐ１と同じ高さに位置しているか、第１貫通孔４１の第２内面１０ｂ側の端部Ｐ１よりも第１内面１０ａ側の高さに位置していることが好ましい。図５及び図６に示す例では、厚み方向Ｔにおいて、突出部５３の第１内面１０ａ側の端部５３ａが、第１貫通孔４１の第２内面１０ｂ側の端部Ｐ１よりも第１内面１０ａ側の高さに位置している。

【0234】

ベーパーチャンバー２では、第３貫通孔４３が、上述した距離（高さ）の関係を満たすように、第２貫通孔４２、更には、第１貫通孔４１に重なっていることにより、第３ウィック層３３に含まれる液相の作動媒体２０、好ましくは、第３ウィック層３３と第２内面１０ｂとの間の領域に含まれる液相の作動媒体２０が、第３貫通孔４３、第２貫通孔４２、更には、第１貫通孔４１を通じて、蒸発して気相の作動媒体２０に変化しつつ蒸気流路に更に移動しやすくなる。その結果、ベーパーチャンバー２では、最大熱輸送量が更に向上しやすくなる。

【0235】

図５及び図６に示すように、第１ウィック層３１に、第１貫通孔４１に加えて、厚み方向Ｔから見たときに第２貫通孔４２に重ならない貫通孔４１Ａ又は貫通孔４１Ｂが更に設けられている場合、厚み方向Ｔにおいて、第１ウィック層３１の第１貫通孔４１以外の貫通孔４１Ａ又は貫通孔４１Ｂの第１内面１０ａ側の端部Ｑ１と第２内面１０ｂとの間の距離をＣ１としたとき、Ａ２≧Ｃ１の関係を満たしていることが好ましい。図５及び図６に示す例では、Ａ２＞Ｃ１の関係を満たしている。

【0236】

言い換えれば、図５及び図６に示すように、第１ウィック層３１に、第１貫通孔４１に加えて、厚み方向Ｔから見たときに第２貫通孔４２に重ならない貫通孔４１Ａ又は貫通孔４１Ｂが更に設けられている場合、厚み方向Ｔにおいて、第３貫通孔４３の周縁に位置する突出部５３の第１内面１０ａ側の端部５３ａは、第１ウィック層３１の貫通孔４１Ａ又は貫通孔４１Ｂの第１内面１０ａ側の端部Ｑ１と同じ高さに位置しているか、第１ウィック層３１の貫通孔４１Ａ又は貫通孔４１Ｂの第１内面１０ａ側の端部Ｑ１よりも第１内面１０ａ側の高さに位置していることが好ましい。図５及び図６に示す例では、厚み方向Ｔにおいて、突出部５３の第１内面１０ａ側の端部５３ａが、貫通孔４１Ａ又は貫通孔４１Ｂの第１内面１０ａ側の端部Ｑ１よりも第１内面１０ａ側の高さに位置している。

【0237】

ベーパーチャンバー２では、第３貫通孔４３が、上述した距離（高さ）の関係を満たすように、第２貫通孔４２、更には、第１貫通孔４１に重なっていることにより、第３ウィック層３３に含まれる液相の作動媒体２０、好ましくは、第３ウィック層３３と第２内面１０ｂとの間の領域に含まれる液相の作動媒体２０が、第３貫通孔４３、第２貫通孔４２、更には、第１貫通孔４１を通じて、蒸発して気相の作動媒体２０に変化しつつ蒸気流路に更に移動しやすくなる。その結果、ベーパーチャンバー２では、最大熱輸送量が更に向上しやすくなる。

【0238】

図５及び図６に示すように、第２貫通孔４２の周縁に位置する突出部５２の内面の少なくとも一部は、第３貫通孔４３の周縁に位置する突出部５３の外面の少なくとも一部に接していることが好ましい。図５及び図６に示す例では、突出部５２の内面の一部が、突出部５３の外面の一部に接している。

【0239】

突出部５２の内面の少なくとも一部が突出部５３の外面の少なくとも一部に接していると、第２ウィック層３２及び第３ウィック層３３は、例えば、突出部５２及び突出部５３でかしめられて互いに接合される。これにより、第２ウィック層３２及び第３ウィック層３３は、互いの位置関係がずれにくくなる。

【0240】

なお、突出部５２の内面は、突出部５３の外面に接していなくてもよい。

【0241】

＜実施形態３＞
本発明の実施形態１、２の熱拡散デバイスでは、ウィックにおいて、貫通孔（第１貫通孔、第２貫通孔、及び、第３貫通孔等を含む）の間に平坦部が存在している態様を示したが、貫通孔の間には平坦部が存在していなくてもよく、例えば、貫通孔の間には湾曲部が存在していてもよい。

【0242】

本発明の実施形態３の熱拡散デバイスでは、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスと同様に、ウィックが、第１ウィック層及び第２ウィック層の２つのウィック層が厚み方向に積層された構成を有している。

【0243】

本発明の実施形態３の熱拡散デバイスでは、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスと異なり、貫通孔の間に湾曲部が存在している。

【0244】

図７は、本発明の実施形態３の熱拡散デバイスの内部構造の一例を示す平面模式図である。図８は、図７に示す熱拡散デバイスの線分ｂ１－ｂ２に沿う断面の一例を示す断面模式図である。図９は、図８に示す熱拡散デバイスの一部を拡大して示す断面模式図である。図１０は、図７に示す熱拡散デバイスの線分ｂ３－ｂ４に沿う断面の一例を示す断面模式図である。

【0245】

図７、図８、及び、図１０に示すベーパーチャンバー３において、ウィック３０は、第１ウィック層３１及び第２ウィック層３２の２つのウィック層が厚み方向Ｔに積層された構成を有している。

【0246】

図８及び図９に示すように、第１ウィック層３１には、厚み方向Ｔにおいて第１貫通孔４１が設けられている。

【0247】

図８及び図９に示すように、第１貫通孔４１の周縁には、厚み方向Ｔにおいて第１内面１０ａに近づく突出部５１が位置していることが好ましい。

【0248】

図８及び図９に示す第１貫通孔４１及び突出部５１の他の特徴は、各々、図３及び図４に示す第１貫通孔４１及び突出部５１と同様である。

【0249】

図８及び図９に示すように、第１ウィック層３１には、第１貫通孔４１に加えて、厚み方向Ｔから見たときに後述する第２貫通孔４２に重ならない貫通孔４１Ｃが更に設けられていてもよい。

【0250】

図８及び図９に示すように、貫通孔４１Ｃの周縁には、厚み方向Ｔにおいて第１内面１０ａに近づく突出部５１Ｃが位置していてもよい。

【0251】

突出部５１Ｃは、貫通孔４１Ｃの周縁の全体に位置していることが好ましい。

【0252】

なお、突出部５１Ｃは、貫通孔４１Ｃの周縁の一部に位置していてもよい。

【0253】

図８に示す例では、貫通孔４１Ｃが複数設けられていることに伴って、突出部５１Ｃが複数存在しているが、複数の突出部５１Ｃのうち、すべての突出部５１Ｃが、貫通孔４１Ｃの周縁の全体に位置していることが好ましい。複数の突出部５１Ｃのうち、一部の突出部５１Ｃが、貫通孔４１Ｃの周縁の全体に位置していてもよい。このように、複数の突出部５１Ｃのうち、少なくとも一部の突出部５１Ｃが、貫通孔４１Ｃの周縁の全体に位置していてもよい。

【0254】

厚み方向Ｔに沿う断面を見たときの突出部５１Ｃの断面形状は、特に限定されず、第１内面１０ａに向かうにつれて、図８及び図９に示すように突出部５１Ｃの内面間の距離（図８及び図９では、幅方向Ｗの距離）が小さくなる形状であってもよいし、突出部５１Ｃの内面間の距離が大きくなる形状であってもよい。また、突出部５１Ｃの断面形状は、第１内面１０ａに向かって、突出部５１Ｃの内面間の距離が一定である形状であってもよい。

【0255】

突出部５１Ｃは、第１内面１０ａ側の端部において、貫通孔４１Ｃ側（内側）に屈曲していてもよいし、貫通孔４１Ｃと反対側（外側）に屈曲していてもよい。

【0256】

図８に示す例では、突出部５１Ｃが複数存在しているが、厚み方向Ｔに沿う断面を見たとき、複数の突出部５１Ｃの断面形状は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

【0257】

突出部５１Ｃの大きさは、特に限定されない。例えば、突出部５１Ｃの厚み方向Ｔの寸法は、貫通孔４１Ｃの面方向（例えば、長さ方向Ｌ又は幅方向Ｗ）の寸法よりも大きくてもよいし、貫通孔４１Ｃの面方向の寸法よりも小さくてもよいし、貫通孔４１Ｃの面方向の寸法と同じでもよい。

【0258】

図８に示す例では、突出部５１Ｃが複数存在しているが、複数の突出部５１Ｃの大きさは、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。例えば、複数の突出部５１Ｃの厚み方向Ｔの寸法は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

【0259】

突出部５１Ｃの寸法、形状、配置等は、実際の製品において、図８に示す例と異なっていてもよい。

【0260】

図１０に示すように、第１ウィック層３１には、第１貫通孔４１に加えて、厚み方向Ｔから見たときに後述する第２貫通孔４２に重ならない貫通孔４１Ｄが更に設けられていてもよい。

【0261】

図１０に示すように、貫通孔４１Ｄの周縁には、厚み方向Ｔにおいて第２内面１０ｂに近づく突出部５１Ｄが位置していてもよい。

【0262】

突出部５１Ｄは、貫通孔４１Ｄの周縁の全体に位置していることが好ましい。

【0263】

なお、突出部５１Ｄは、貫通孔４１Ｄの周縁の一部に位置していてもよい。

【0264】

図１０に示す例では、貫通孔４１Ｄが複数設けられていることに伴って、突出部５１Ｄが複数存在しているが、複数の突出部５１Ｄのうち、すべての突出部５１Ｄが、貫通孔４１Ｄの周縁の全体に位置していることが好ましい。複数の突出部５１Ｄのうち、一部の突出部５１Ｄが、貫通孔４１Ｄの周縁の全体に位置していてもよい。このように、複数の突出部５１Ｄのうち、少なくとも一部の突出部５１Ｄが、貫通孔４１Ｄの周縁の全体に位置していてもよい。

【0265】

厚み方向Ｔに沿う断面を見たときの突出部５１Ｄの断面形状は、特に限定されず、第２内面１０ｂに向かうにつれて、図１０に示すように突出部５１Ｄの内面間の距離（図１０では、幅方向Ｗの距離）が小さくなる形状であってもよいし、突出部５１Ｄの内面間の距離が大きくなる形状であってもよい。また、突出部５１Ｄの断面形状は、第２内面１０ｂに向かって、突出部５１Ｄの内面間の距離が一定である形状であってもよい。

【0266】

突出部５１Ｄは、第２内面１０ｂ側の端部において、貫通孔４１Ｄ側（内側）に屈曲していてもよいし、貫通孔４１Ｄと反対側（外側）に屈曲していてもよい。

【0267】

図１０に示す例では、突出部５１Ｄが複数存在しているが、厚み方向Ｔに沿う断面を見たとき、複数の突出部５１Ｄの断面形状は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

【0268】

突出部５１Ｄの大きさは、特に限定されない。例えば、突出部５１Ｄの厚み方向Ｔの寸法は、貫通孔４１Ｄの面方向（例えば、長さ方向Ｌ又は幅方向Ｗ）の寸法よりも大きくてもよいし、貫通孔４１Ｄの面方向の寸法よりも小さくてもよいし、貫通孔４１Ｄの面方向の寸法と同じでもよい。

【0269】

図１０に示す例では、突出部５１Ｄが複数存在しているが、複数の突出部５１Ｄの大きさは、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。例えば、複数の突出部５１Ｄの厚み方向Ｔの寸法は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

【0270】

突出部５１Ｄの寸法、形状、配置等は、実際の製品において、図１０に示す例と異なっていてもよい。

【0271】

図８及び図９に示すように、第２ウィック層３２には、厚み方向Ｔにおいて第２貫通孔４２が設けられている。

【0272】

図８及び図９に示すように、第２貫通孔４２の周縁には、厚み方向Ｔにおいて第１内面１０ａに近づく突出部５２が位置している。

【0273】

図８及び図９に示す第２貫通孔４２及び突出部５２の他の特徴は、図３及び図４に示す第２貫通孔４２及び突出部５２と同様である。

【0274】

図８及び図９に示すように、第２ウィック層３２には、第２貫通孔４２に加えて、厚み方向Ｔから見たときに第１貫通孔４１に重ならない貫通孔４２Ｃが更に設けられていてもよい。

【0275】

図８及び図９に示すように、貫通孔４２Ｃの周縁には、厚み方向Ｔにおいて第１内面１０ａに近づく突出部５２Ｃが位置していてもよい。

【0276】

突出部５２Ｃの他の特徴は、突出部５１Ｃと同様である。

【0277】

厚み方向Ｔから見たとき、貫通孔４２Ｃは、貫通孔４１Ｃに重なっていてもよい。

【0278】

なお、厚み方向Ｔから見たとき、貫通孔４２Ｃは、貫通孔４１Ｃに重なっていなくてもよい。

【0279】

貫通孔４２Ｃの他の特徴は、貫通孔４１Ｃと同様である。

【0280】

図１０に示すように、第２ウィック層３２には、第２貫通孔４２に加えて、厚み方向Ｔから見たときに第１貫通孔４１に重ならない貫通孔４２Ｄが更に設けられていてもよい。

【0281】

図１０に示すように、貫通孔４２Ｄの周縁には、厚み方向Ｔにおいて第２内面１０ｂに近づく突出部５２Ｄが位置していてもよい。

【0282】

図１０に示すように、突出部５２Ｄは、第２内面１０ｂに厚み方向Ｔで接していることが好ましい。この場合、ウィック３０は、突出部５２Ｄで支持される。

【0283】

なお、突出部５２Ｄは、第２内面１０ｂに厚み方向Ｔで接していなくてもよい。つまり、突出部５２Ｄは、第２内面１０ｂから厚み方向Ｔに離れていてもよい。

【0284】

突出部５２Ｄの他の特徴は、突出部５１Ｄと同様である。

【0285】

厚み方向Ｔから見たとき、貫通孔４２Ｄは、貫通孔４１Ｄに重なっていてもよい。

【0286】

なお、厚み方向Ｔから見たとき、貫通孔４２Ｄは、貫通孔４１Ｄに重なっていなくてもよい。

【0287】

貫通孔４２Ｄの他の特徴は、貫通孔４１Ｄと同様である。

【0288】

図８、図９、及び、図１０に示すように、各ウィック層において、貫通孔（第１貫通孔４１、第２貫通孔４２等を含む）の間には、湾曲部が存在している。

【0289】

図８及び図９に示すように、厚み方向Ｔにおいて、第１貫通孔４１の第１内面１０ａ側の端部Ｒ１と第２内面１０ｂとの間の距離をＤ１としたとき、Ａ１≧Ｄ１の関係を満たしていることが好ましい。図８及び図９に示す例では、Ａ１＞Ｄ１の関係を満たしている。

【0290】

言い換えれば、図８及び図９に示すように、厚み方向Ｔにおいて、第２貫通孔４２の周縁に位置する突出部５２の第１内面１０ａ側の端部５２ａは、第１貫通孔４１の第１内面１０ａ側の端部Ｒ１と同じ高さに位置しているか、第１貫通孔４１の第１内面１０ａ側の端部Ｒ１よりも第１内面１０ａ側の高さに位置していることが好ましい。図８及び図９に示す例では、厚み方向Ｔにおいて、突出部５２の第１内面１０ａ側の端部５２ａが、第１貫通孔４１の第１内面１０ａ側の端部Ｒ１よりも第１内面１０ａ側の高さに位置している。

【0291】

ベーパーチャンバー３では、第２貫通孔４２が、上述した距離（高さ）の関係を満たすように第１貫通孔４１に重なっていることにより、第２ウィック層３２に含まれる液相の作動媒体２０、好ましくは、第２ウィック層３２と第２内面１０ｂとの間の領域に含まれる液相の作動媒体２０が、第２貫通孔４２、更には、第１貫通孔４１を通じて、蒸発して気相の作動媒体２０に変化しつつ蒸気流路に充分に移動しやすくなる。その結果、ベーパーチャンバー３では、最大熱輸送量が充分に向上しやすくなる。

【0292】

＜実施形態４＞
本発明の実施形態４の熱拡散デバイスでは、本発明の実施形態２の熱拡散デバイスと同様に、ウィックが、第１ウィック層、第２ウィック層、及び、第３ウィック層の３つのウィック層が厚み方向に積層された構成を有している。

【0293】

本発明の実施形態４の熱拡散デバイスでは、本発明の実施形態２の熱拡散デバイスと異なり、貫通孔の間に湾曲部が存在している。

【0294】

図１１は、本発明の実施形態４の熱拡散デバイスにおける断面の一例を示す断面模式図である。図１２は、図１１に示す熱拡散デバイスの一部を拡大して示す断面模式図である。図１３は、本発明の実施形態４の熱拡散デバイスにおける別の断面の一例を示す断面模式図である。

【0295】

なお、図１１及び図１３は、各々、図８及び図１０に相当する位置における断面を示す。

【0296】

図１１及び図１３に示すベーパーチャンバー４において、ウィック３０は、第１ウィック層３１、第２ウィック層３２、及び、第３ウィック層３３の３つのウィック層が厚み方向Ｔに積層された構成を有している。

【0297】

図１１及び図１２に示すように、第３ウィック層３３には、厚み方向Ｔにおいて第３貫通孔４３が設けられていることが好ましい。

【0298】

図１１及び図１２に示すように、第３貫通孔４３の周縁には、厚み方向Ｔにおいて第１内面１０ａに近づく突出部５３が位置していることが好ましい。

【0299】

図１１及び図１２に示す第３貫通孔４３及び突出部５３の他の特徴は、各々、図５及び図６に示す第３貫通孔４３及び突出部５３と同様である。

【0300】

図１１及び図１２に示すように、第３ウィック層３３には、第３貫通孔４３に加えて、厚み方向Ｔにおいて貫通孔４３Ｃが更に設けられていてもよい。

【0301】

図１１及び図１２に示すように、貫通孔４３Ｃの周縁には、厚み方向Ｔにおいて第１内面１０ａに近づく突出部５３Ｃが位置していてもよい。

【0302】

突出部５３Ｃの他の特徴は、突出部５１Ｃ及び突出部５２Ｃと同様である。

【0303】

厚み方向Ｔから見たとき、貫通孔４３Ｃは、貫通孔４１Ｃに重なっていてもよいし、貫通孔４２Ｃに重なっていてもよい。

【0304】

なお、厚み方向Ｔから見たとき、貫通孔４３Ｃは、貫通孔４１Ｃ及び貫通孔４２Ｃに重なっていなくてもよい。

【0305】

貫通孔４３Ｃの他の特徴は、貫通孔４１Ｃ及び貫通孔４２Ｃと同様である。

【0306】

図１３に示すように、第３ウィック層３３には、第３貫通孔４３に加えて、厚み方向Ｔにおいて貫通孔４３Ｄが更に設けられていてもよい。

【0307】

図１３に示すように、貫通孔４３Ｄの周縁には、厚み方向Ｔにおいて第２内面１０ｂに近づく突出部５３Ｄが位置していてもよい。

【0308】

図１３に示すように、突出部５３Ｄは、第２内面１０ｂに厚み方向Ｔで接していることが好ましい。この場合、ウィック３０は、突出部５３Ｄで支持される。

【0309】

なお、突出部５３Ｄは、第２内面１０ｂに厚み方向Ｔで接していなくてもよい。つまり、突出部５３Ｄは、第２内面１０ｂから厚み方向Ｔに離れていてもよい。

【0310】

突出部５３Ｄの他の特徴は、突出部５１Ｄ及び突出部５２Ｄと同様である。

【0311】

厚み方向Ｔから見たとき、貫通孔４３Ｄは、貫通孔４１Ｄに重なっていてもよいし、貫通孔４２Ｄに重なっていてもよい。

【0312】

なお、厚み方向Ｔから見たとき、貫通孔４３Ｄは、貫通孔４１Ｄ及び貫通孔４２Ｄに重なっていなくてもよい。

【0313】

貫通孔４３Ｄの他の特徴は、貫通孔４１Ｄ及び貫通孔４２Ｄと同様である。

【0314】

図１１、図１２、及び、図１３に示すように、各ウィック層において、貫通孔（第１貫通孔４１、第２貫通孔４２、第３貫通孔４３等を含む）の間には、湾曲部が存在している。

【0315】

図１１及び図１２に示すように、厚み方向Ｔにおいて、第２貫通孔４２の第１内面１０ａ側の端部Ｒ２と第２内面１０ｂとの間の距離をＤ２としたとき、Ａ２≧Ｄ２の関係を満たしていることが好ましい。図１１及び図１２に示す例では、Ａ２＞Ｄ２の関係を満たしている。

【0316】

言い換えれば、図１１及び図１２に示すように、厚み方向Ｔにおいて、第３貫通孔４３の周縁に位置する突出部５３の第１内面１０ａ側の端部５３ａは、第２貫通孔４２の第１内面１０ａ側の端部Ｒ２と同じ高さに位置しているか、第２貫通孔４２の第１内面１０ａ側の端部Ｒ２よりも第１内面１０ａ側の高さに位置していることが好ましい。図１１及び図１２に示す例では、厚み方向Ｔにおいて、突出部５３の第１内面１０ａ側の端部５３ａが、第２貫通孔４２の第１内面１０ａ側の端部Ｒ２よりも第１内面１０ａ側の高さに位置している。

【0317】

ベーパーチャンバー４では、第３貫通孔４３が、上述した距離（高さ）の関係を満たすように第２貫通孔４２に重なっていることにより、第３ウィック層３３に含まれる液相の作動媒体２０、好ましくは、第３ウィック層３３と第２内面１０ｂとの間の領域に含まれる液相の作動媒体２０が、第３貫通孔４３、第２貫通孔４２、更には、第１貫通孔４１を通じて、蒸発して気相の作動媒体２０に変化しつつ蒸気流路に充分に移動しやすくなる。その結果、ベーパーチャンバー４では、最大熱輸送量が充分に向上しやすくなる。

【0318】

図１１及び図１２に示すように、厚み方向Ｔにおいて、第１貫通孔４１の第１内面１０ａ側の端部Ｒ１と第２内面１０ｂとの間の距離をＤ１としたとき、Ａ２≧Ｄ１の関係を満たしていることが好ましい。図１１及び図１２に示す例では、Ａ２＞Ｄ１の関係を満たしている。

【0319】

言い換えれば、図１１及び図１２に示すように、厚み方向Ｔにおいて、第３貫通孔４３の周縁に位置する突出部５３の第１内面１０ａ側の端部５３ａは、第１貫通孔４１の第１内面１０ａ側の端部Ｒ１と同じ高さに位置しているか、第１貫通孔４１の第１内面１０ａ側の端部Ｒ１よりも第１内面１０ａ側の高さに位置していることが好ましい。図１１及び図１２に示す例では、厚み方向Ｔにおいて、突出部５３の第１内面１０ａ側の端部５３ａが、第１貫通孔４１の第１内面１０ａ側の端部Ｒ１よりも第１内面１０ａ側の高さに位置している。

【0320】

ベーパーチャンバー４では、第３貫通孔４３が、上述した距離（高さ）の関係を満たすように、第２貫通孔４２、更には、第１貫通孔４１に重なっていることにより、第３ウィック層３３に含まれる液相の作動媒体２０、好ましくは、第３ウィック層３３と第２内面１０ｂとの間の領域に含まれる液相の作動媒体２０が、第３貫通孔４３、第２貫通孔４２、更には、第１貫通孔４１を通じて、蒸発して気相の作動媒体２０に変化しつつ蒸気流路に充分に移動しやすくなる。その結果、ベーパーチャンバー４では、最大熱輸送量が充分に向上しやすくなる。

【0321】

図１１及び図１２に示す例では、Ｄ１＜Ｄ２の関係を満たしているが、Ｄ１＝Ｄ２の関係を満たしていてもよいし、Ｄ１＞Ｄ２の関係を満たしていてもよい。言い換えれば、図１１及び図１２に示す例では、第１貫通孔４１の第１内面１０ａ側の端部Ｒ１が、第２貫通孔４２の第１内面１０ａ側の端部Ｒ２よりも第２内面１０ｂ側の高さに位置しているが、第１貫通孔４１の第１内面１０ａ側の端部Ｒ１は、第２貫通孔４２の第１内面１０ａ側の端部Ｒ２と同じ高さに位置していてもよいし、第２貫通孔４２の第１内面１０ａ側の端部Ｒ２よりも第１内面１０ａ側の高さに位置していてもよい。

【0322】

＜実施形態５＞
本発明の実施形態１～４の熱拡散デバイスでは、第１貫通孔の周縁に位置する突出部の内面の一部が、第２貫通孔の周縁に位置する突出部の外面の一部に接している態様を示したが、第１貫通孔の周縁に位置する突出部の内面の全体が、第２貫通孔の周縁に位置する突出部の外面の少なくとも一部に接していてもよい。

【0323】

本発明の実施形態５の熱拡散デバイスでは、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスに対して、第１貫通孔の周縁に位置する突出部の内面の全体が、第２貫通孔の周縁に位置する突出部の外面の少なくとも一部に接している構成とした態様を示す。

【0324】

図１４は、本発明の実施形態５の熱拡散デバイスにおける断面の一例を示す断面模式図である。図１５は、図１４に示す熱拡散デバイスの一部を拡大して示す断面模式図である。

【0325】

なお、図１４は、図３に相当する位置における断面を示す。

【0326】

図１４に示すベーパーチャンバー５において、第１貫通孔４１の周縁に位置する突出部５１の内面の全体は、第２貫通孔４２の周縁に位置する突出部５２の外面の少なくとも一部に接している。図１４及び図１５に示す例では、突出部５１の内面の全体が、突出部５２の外面の全体に接している。

【0327】

ベーパーチャンバー５では、突出部５１の内面の全体が突出部５２の外面の少なくとも一部に接していることにより、第１ウィック層３１及び第２ウィック層３２が、突出部５１及び突出部５２で更に強固にかしめられるため、両者の接合強度が更に高まる。

【0328】

更に、ベーパーチャンバー５では、突出部５１の内面の全体が突出部５２の外面の少なくとも一部に接していることにより、図１４及び図１５に示すような、突出部５１が第２ウィック層３２側に埋め込まれた構成とすることができる。よって、ベーパーチャンバー５では、突出部５１が第２ウィック層３２側に埋め込まれた分だけ、ベーパーチャンバー１と比較して、第１ウィック層３１と第１内面１０ａとの間の蒸気流路が広がるため、熱拡散性が向上しやすくなり、結果的に、最大熱輸送量が向上しやすくなる。

【0329】

更に、ベーパーチャンバー５では、突出部５１が第２ウィック層３２側に埋め込まれた分だけ、ベーパーチャンバー１と比較して、ウィック３０の厚み方向Ｔの寸法が小さくなるため、ベーパーチャンバーの薄型化が可能となる。

【0330】

＜実施形態６＞
本発明の実施形態６の熱拡散デバイスでは、本発明の実施形態３の熱拡散デバイスに対して、第１貫通孔の周縁に位置する突出部の内面の全体が、第２貫通孔の周縁に位置する突出部の外面の少なくとも一部に接している構成とした態様を示す。

【0331】

図１６は、本発明の実施形態６の熱拡散デバイスにおける断面の一例を示す断面模式図である。図１７は、図１６に示す熱拡散デバイスの一部を拡大して示す断面模式図である。

【0332】

なお、図１６は、図８に相当する位置における断面を示す。

【0333】

図１６に示すベーパーチャンバー６において、第１貫通孔４１の周縁に位置する突出部５１の内面の全体は、第２貫通孔４２の周縁に位置する突出部５２の外面の少なくとも一部に接している。図１６及び図１７に示す例では、突出部５１の内面の全体が、突出部５２の外面の一部に接している。

【0334】

ベーパーチャンバー６では、突出部５１の内面の全体が突出部５２の外面の少なくとも一部に接していることにより、第１ウィック層３１及び第２ウィック層３２が、突出部５１及び突出部５２で更に強固にかしめられるため、両者の接合強度が更に高まる。

【0335】

更に、ベーパーチャンバー６では、突出部５１の内面の全体が突出部５２の外面の少なくとも一部に接していることにより、図１６及び図１７に示すような、突出部５１が第２ウィック層３２側に埋め込まれた構成とすることができる。よって、ベーパーチャンバー６では、突出部５１が第２ウィック層３２側に埋め込まれた分だけ、ベーパーチャンバー３と比較して、第１ウィック層３１と第１内面１０ａとの間の蒸気流路が広がるため、熱拡散性が向上しやすくなり、結果的に、最大熱輸送量が向上しやすくなる。

【0336】

更に、ベーパーチャンバー６では、突出部５１が第２ウィック層３２側に埋め込まれた分だけ、ベーパーチャンバー３と比較して、ウィック３０の厚み方向Ｔの寸法が小さくなるため、ベーパーチャンバーの薄型化が可能となる。

【0337】

＜その他の実施形態＞
本発明の熱拡散デバイスについて、実施形態１～６以外の実施形態として、以下の態様が挙げられる。

【0338】

本発明の実施形態２、４の熱拡散デバイスに対して、第１貫通孔の周縁に位置する突出部の内面の全体が、第２貫通孔の周縁に位置する突出部の外面の少なくとも一部に接している構成としてもよい。

【0339】

本発明の実施形態２、４の熱拡散デバイスに対して、第２貫通孔の周縁に位置する突出部の内面の全体が、第３貫通孔の周縁に位置する突出部の外面の少なくとも一部に接している構成としてもよい。

【0340】

本発明の実施形態１～６の熱拡散デバイス（ウィック層の積層数が２層又は３層である態様）に対して、ウィック層の積層数を４層以上としてもよい。つまり、本発明の熱拡散デバイスにおいて、ウィック層の積層数は、特に限定されない。

【0341】

上述したように、複数のウィック層が積層された従来のベーパーチャンバーでは、特に、蒸気流路から遠いウィック層において、液相の作動媒体を駆動する駆動力が弱くなりやすいため、液相の作動媒体が移動しにくくなるおそれがある。このような問題は、ウィック層の積層数が多くなるほど顕著になりやすく、例えば、蒸気流路からより遠いウィック層において顕著になりやすい。

【0342】

これに対して、本発明の熱拡散デバイスによれば、ウィック層の積層数を、２層、３層、４層、５層、６層等と、筐体の内部空間の厚み方向の寸法の範囲内で増やしても、本発明の実施形態１～６の熱拡散デバイスと同様のメカニズムで、蒸気流路から遠いウィック層においても、液相の作動媒体を駆動する駆動力が確保される。そのため、本発明の熱拡散デバイスによれば、ウィック層の積層数を増やすことで、液体流路がウィックを透過する領域の断面積を大きくする分、最大熱輸送量を大幅に向上できる。

【0343】

なお、本発明の実施形態１～６の熱拡散デバイスでは、第１ウィック層が、ウィックのうちで、厚み方向において最も第１内面側に位置している態様を示したが、第１ウィック層は、ウィックのうちで、厚み方向において最も第１内面側に位置していなくてもよい。例えば、第１ウィック層の第１内面側には、少なくとも１つのウィック層が更に積層されていてもよい。

【0344】

また、本発明の実施形態１～６の熱拡散デバイスでは、第２ウィック層又は第３ウィック層が、ウィックのうちで、厚み方向において最も第２内面側に位置している態様を示したが、第２ウィック層又は第３ウィック層は、ウィックのうちで、厚み方向において最も第２内面側に位置していなくてもよい。例えば、第２ウィック層又は第３ウィック層の第２内面側には、少なくとも１つのウィック層が更に積層されていてもよい。

【0345】

［電子機器］
本発明の電子機器は、本発明の熱拡散デバイスを備える、ことを特徴とする。

【0346】

以下では、本発明の電子機器の一例として、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスを有する電子機器について説明する。本発明の他の実施形態の熱拡散デバイスを有する電子機器についても同様である。

【0347】

図１８は、本発明の電子機器の一例を示す斜視模式図である。

【0348】

図１８に示す電子機器１００は、ベーパーチャンバー１を有している。

【0349】

図１８に示すように、電子機器１００は、電子部品１１０を更に有していることが好ましい。

【0350】

図１８に示すように、電子部品１１０は、ベーパーチャンバー１の筐体１０の外面に設けられていることが好ましい。この場合、電子部品１１０を図１に示す熱源ＨＳとして、ベーパーチャンバー１が機能できる。

【0351】

電子部品１１０は、図３に示すベーパーチャンバー１の筐体１０に対して、筐体１０の第１内面１０ａと反対側の外面、ここでは、第１シート１１の外面に設けられていてもよいし、筐体１０の第２内面１０ｂと反対側の外面、ここでは、第２シート１２の外面に設けられていてもよい。

【0352】

電子部品１１０は、筐体１０の外面に直に設けられていてもよいし、熱伝導性の高い粘着剤、シート、テープ等の他の部材を介して設けられていてもよい。

【0353】

電子部品１１０は、筐体１０の外面に設けられたときに、厚み方向Ｔから見て蒸発部ＥＰに重なっていることが好ましい。

【0354】

電子部品１１０としては、例えば、中央処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱素子が挙げられる。

【0355】

図１８に示すように、電子機器１００は、機器筐体１２０を更に有していることが好ましい。

【0356】

図１８に示す例において、ベーパーチャンバー１及び電子部品１１０は、機器筐体１２０の内部空間に設けられている。

【0357】

筐体１０と機器筐体１２０とは、接合部材を介して接合されていることが好ましい。より具体的には、筐体１０の外面と機器筐体１２０の内面とは、接合部材を介して接合されていることが好ましい。この場合、筐体１０と機器筐体１２０との密着性が向上する。

【0358】

筐体１０と機器筐体１２０とを接合する接合部材は、熱伝導性部材であることが好ましい。この場合、熱源ＨＳからの熱、ここでは、電子部品１１０からの熱が、筐体１０から機器筐体１２０へ伝導しやすくなる。つまり、筐体１０から機器筐体１２０への経路によっても、熱源ＨＳからの熱、ここでは、電子部品１１０からの熱が拡散しやすくなる。

【0359】

熱伝導性部材としては、例えば、熱伝導性テープ、熱伝導性粘着剤等が挙げられる。

【0360】

上述したように、ベーパーチャンバー１は、外部動力を必要とすることなく自立的に作動し、更には、作動媒体２０の蒸発潜熱及び凝縮潜熱を利用することにより、熱源ＨＳからの熱、ここでは、電子部品１１０からの熱を二次元的に高速で拡散できる。以上のことから、ベーパーチャンバー１を有する電子機器１００により、電子機器１００の内部の限られたスペースにおいて、放熱を効果的に実現できる。

【0361】

本明細書には、以下の内容が開示されている。

【0362】

＜１＞
厚み方向に対向する第１内面及び第２内面を有し、かつ、内部空間が設けられた筐体と、
上記筐体の上記内部空間に封入された作動媒体と、
上記筐体の上記内部空間に設けられたウィックと、を備え、
上記ウィックは、上記厚み方向において、第１ウィック層と、上記第１ウィック層の上記第２内面側に隣り合う第２ウィック層と、を含み、
上記第１ウィック層には、上記厚み方向において第１貫通孔が設けられ、
上記第２ウィック層には、上記厚み方向において上記第１内面に近づく突出部が周縁に位置する第２貫通孔が設けられ、
上記厚み方向から見たとき、上記第２貫通孔は、上記第１貫通孔に重なり、
上記厚み方向において、上記第２貫通孔の周縁に位置する上記突出部の上記第１内面側の端部と上記第２内面との間の距離をＡ１、上記第１貫通孔の上記第２内面側の端部と上記第２内面との間の距離をＢ１としたとき、Ａ１≧Ｂ１の関係を満たす、ことを特徴とする熱拡散デバイス。

【0363】

＜２＞
上記第１ウィック層には、上記第１貫通孔に加えて、上記厚み方向から見たときに上記第２貫通孔に重ならない貫通孔が更に設けられ、
上記厚み方向において、上記第１ウィック層の上記第１貫通孔以外の上記貫通孔の上記第１内面側の端部と上記第２内面との間の距離をＣ１としたとき、Ａ１≧Ｃ１の関係を満たす、＜１＞に記載の熱拡散デバイス。

【0364】

＜３＞
上記厚み方向において、上記第１貫通孔の上記第１内面側の端部と上記第２内面との間の距離をＤ１としたとき、Ａ１≧Ｄ１の関係を満たす、＜１＞又は＜２＞に記載の熱拡散デバイス。

【0365】

＜４＞
上記第１貫通孔の周縁には、上記厚み方向において上記第１内面に近づく突出部が位置している、＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載の熱拡散デバイス。

【0366】

＜５＞
上記第１貫通孔の周縁に位置する上記突出部の内面の少なくとも一部は、上記第２貫通孔の周縁に位置する上記突出部の外面の少なくとも一部に接している、＜４＞に記載の熱拡散デバイス。

【0367】

＜６＞
上記第１貫通孔の周縁に位置する上記突出部の内面の全体は、上記第２貫通孔の周縁に位置する上記突出部の外面の少なくとも一部に接している、＜５＞に記載の熱拡散デバイス。

【0368】

＜７＞
上記第１ウィック層は、上記ウィックのうちで、上記厚み方向において最も上記第１内面側に位置し、
上記第２ウィック層は、上記ウィックのうちで、上記厚み方向において最も上記第２内面側に位置している、＜１＞～＜６＞のいずれか１つに記載の熱拡散デバイス。

【0369】

＜８＞
上記ウィックは、上記厚み方向において上記第２ウィック層の上記第２内面側に隣り合う第３ウィック層を更に含んでいる、＜１＞～＜６＞のいずれか１つに記載の熱拡散デバイス。

【0370】

＜９＞
上記第３ウィック層には、上記厚み方向において上記第１内面に近づく突出部が周縁に位置する第３貫通孔が設けられ、
上記厚み方向から見たとき、上記第３貫通孔は、上記第２貫通孔に重なり、
上記厚み方向において、上記第３貫通孔の周縁に位置する上記突出部の上記第１内面側の端部と上記第２内面との間の距離をＡ２、上記第２貫通孔の上記第２内面側の端部と上記第２内面との間の距離をＢ２としたとき、Ａ２≧Ｂ２の関係を満たす、＜８＞に記載の熱拡散デバイス。

【0371】

＜１０＞
上記第２ウィック層には、上記第２貫通孔に加えて、上記厚み方向から見たときに上記第３貫通孔に重ならない貫通孔が更に設けられ、
上記厚み方向において、上記第２ウィック層の上記第２貫通孔以外の上記貫通孔の上記第１内面側の端部と上記第２内面との間の距離をＣ２としたとき、Ａ２≧Ｃ２の関係を満たす、＜９＞に記載の熱拡散デバイス。

【0372】

＜１１＞
上記厚み方向において、上記第２貫通孔の上記第１内面側の端部と上記第２内面との間の距離をＤ２としたとき、Ａ２≧Ｄ２の関係を満たす、＜９＞又は＜１０＞に記載の熱拡散デバイス。

【0373】

＜１２＞
Ａ２≧Ｂ１の関係を満たす、＜９＞～＜１１＞のいずれか１つに記載の熱拡散デバイス。

【0374】

＜１３＞
上記第１ウィック層には、上記第１貫通孔に加えて、上記厚み方向から見たときに上記第２貫通孔に重ならない貫通孔が更に設けられ、
上記厚み方向において、上記第１ウィック層の上記第１貫通孔以外の上記貫通孔の上記第１内面側の端部と上記第２内面との間の距離をＣ１としたとき、Ａ２≧Ｃ１の関係を満たす、＜１２＞に記載の熱拡散デバイス。

【0375】

＜１４＞
上記厚み方向において、上記第１貫通孔の上記第１内面側の端部と上記第２内面との間の距離をＤ１としたとき、Ａ２≧Ｄ１の関係を満たす、＜１２＞又は＜１３＞に記載の熱拡散デバイス。

【0376】

＜１５＞
上記第１ウィック層は、上記ウィックのうちで、上記厚み方向において最も上記第１内面側に位置し、
上記第３ウィック層は、上記ウィックのうちで、上記厚み方向において最も上記第２内面側に位置している、＜８＞～＜１４＞のいずれか１つに記載の熱拡散デバイス。

【0377】

＜１６＞
上記厚み方向において、上記ウィックと上記第１内面との間の距離は、上記ウィックと上記第２内面との間の距離よりも大きい、＜１＞～＜１５＞のいずれか１つに記載の熱拡散デバイス。

【0378】

＜１７＞
＜１＞～＜１６＞のいずれか１つに記載の熱拡散デバイスを備える、ことを特徴とする電子機器。

【産業上の利用可能性】

【0379】

本発明の熱拡散デバイスは、携帯情報端末等の分野において、広範な用途に使用可能である。本発明の熱拡散デバイスは、例えば、中央処理装置等の熱源の温度を下げ、電子機器の使用時間を延ばすために使用可能であり、スマートフォン、タブレット端末、ノートパソコン、ゲーム機器、ウェアラブルデバイス等の電子機器に使用可能である。

【符号の説明】

【0380】

１、２、３、４、５、６ ベーパーチャンバー（熱拡散デバイス）
１０ 筐体
１０ａ 第１内面
１０ｂ 第２内面
１１ 第１シート
１２ 第２シート
２０ 作動媒体
３０ ウィック
３１ 第１ウィック層
３２ 第２ウィック層
３３ 第３ウィック層
４１ 第１貫通孔
４２ 第２貫通孔
４３ 第３貫通孔
４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃ、４１Ｄ、４２Ａ、４２Ｂ、４２Ｃ、４２Ｄ、４３Ａ、４３Ｂ、４３Ｃ、４３Ｄ 貫通孔
５１、５１Ａ、５１Ｃ、５１Ｄ、５２、５２Ａ、５２Ｃ、５２Ｄ、５３、５３Ａ、５３Ｃ、５３Ｄ 突出部
５２ａ 第２ウィック層の第２貫通孔の周縁に位置する突出部の第１内面側の端部
５３ａ 第３ウィック層の第３貫通孔の周縁に位置する突出部の第１内面側の端部
１００ 電子機器
１１０ 電子部品
１２０ 機器筐体
Ａ１ 第２ウィック層の第２貫通孔の周縁に位置する突出部の第１内面側の端部と第２内面との間の距離
Ａ２ 第３ウィック層の第３貫通孔の周縁に位置する突出部の第１内面側の端部と第２内面との間の距離
Ｂ１ 第１ウィック層の第１貫通孔の第２内面側の端部と第２内面との間の距離
Ｂ２ 第２ウィック層の第２貫通孔の第２内面側の端部と第２内面との間の距離
Ｃ１ 第１ウィック層の第１貫通孔以外の貫通孔の第１内面側の端部と第２内面との間の距離
Ｃ２ 第２ウィック層の第２貫通孔以外の貫通孔の第１内面側の端部と第２内面との間の距離
Ｄ１ 第１ウィック層の第１貫通孔の第１内面側の端部と第２内面との間の距離
Ｄ２ 第２ウィック層の第２貫通孔の第１内面側の端部と第２内面との間の距離
ＥＰ 蒸発部
ＨＳ 熱源
Ｌ 長さ方向
Ｐ１ 第１ウィック層の第１貫通孔の第２内面側の端部
Ｐ２ 第２ウィック層の第２貫通孔の第２内面側の端部
Ｑ１ 第１ウィック層の第１貫通孔以外の貫通孔の第１内面側の端部
Ｑ２ 第２ウィック層の第２貫通孔以外の貫通孔の第１内面側の端部
Ｒ１ 第１ウィック層の第１貫通孔の第１内面側の端部
Ｒ２ 第２ウィック層の第２貫通孔の第１内面側の端部
Ｔ 厚み方向
Ｗ 幅方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】