特開 2024-179214 外縁部被覆装置および外縁部被覆方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024179214

(43)【公開日】2024-12-26

(54)【発明の名称】外縁部被覆装置および外縁部被覆方法

(51)【国際特許分類】

   B29C 48/15 20190101AFI20241219BHJP

   B29C 63/00 20060101ALI20241219BHJP

   B29C 48/30 20190101ALI20241219BHJP

   B29C 48/86 20190101ALI20241219BHJP

   B29C 48/25 20190101ALI20241219BHJP

   B05D 7/00 20060101ALI20241219BHJP

【ＦＩ】

B29C48/15

B29C63/00

B29C48/30

B29C48/86

B29C48/25

B05D7/00 P

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023097880

(22)【出願日】2023-06-14

(71)【出願人】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120592

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 崇裕

(74)【代理人】

【識別番号】100184712

【弁理士】

【氏名又は名称】扇原 梢伸

(74)【代理人】

【識別番号】100192223

【弁理士】

【氏名又は名称】加久田 典子

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【テーマコード（参考）】

4D075

4F207

4F211

【Ｆターム（参考）】

4D075AC64

4D075AC76

4D075AC88

4D075AC91

4D075BB18Z

4D075BB41Z

4D075BB42Z

4D075BB46Z

4D075BB57Z

4D075BB91Z

4D075BB93Z

4D075CA47

4D075CA48

4D075DA34

4D075DA35

4D075EA05

4D075EA15

4D075EA21

4D075EA35

4D075EB01

4D075EB12

4D075EB13

4D075EB19

4D075EB35

4D075EB38

4D075EB39

4D075EB43

4D075EC37

4F207AG03

4F207AG23

4F207AJ08

4F207KA01

4F207KA17

4F207KB11

4F207KK45

4F207KL57

4F211AG23

4F211SA09

4F211SC09

4F211SD02

4F211SG01

4F211SJ15

4F211SN13

4F211SP41

(57)【要約】

【課題】被覆材と被着体との間に隙間が形成されることを防止することができる外縁部被覆装置および外縁部被覆方法を提供すること。
【解決手段】被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥを被覆材ＣＭで被覆する外縁部被覆装置ＥＡにおいて、液体状態の被覆材ＣＭを外縁部ＷＫＥに装着する装着手段１０と、外縁部ＷＫＥに装着された液体状態の被覆材ＣＭを固体状態にする固体化手段３０を備えている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被着体の外縁部を被覆材で被覆する外縁部被覆装置において、
液体状態の前記被覆材を前記外縁部に装着する装着手段と、
前記外縁部に装着された液体状態の前記被覆材を固体状態にする固体化手段とを備えていることを特徴とする外縁部被覆装置。

【請求項2】

前記被覆材は、当該外縁部被覆装置が設置されている雰囲気温度において固体状態で存在し、当該雰囲気温度からの加熱によって液体状態となる性質を有し、
前記被覆材を加熱して液体状態にする加熱手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載の外縁部被覆装置。

【請求項3】

前記被覆材は、当該外縁部被覆装置が設置されている雰囲気において液体状態で存在し、乾燥によって固体状態となる性質を有し、
前記固体化手段は、前記外縁部に装着された前記被覆材を乾燥させることを特徴とする請求項１に記載の外縁部被覆装置。

【請求項4】

前記被覆材は、当該外縁部被覆装置が設置されている雰囲気において液体状態で存在し、所定のエネルギー線が付与されることによって固体状態となる性質を有し、
前記固体化手段は、前記外縁部に装着された前記被覆材に前記エネルギー線を付与することを特徴とする請求項１に記載の外縁部被覆装置。

【請求項5】

被着体の外縁部を被覆材で被覆する外縁部被覆方法において、
液体状態の前記被覆材を前記外縁部に装着する装着工程と、
前記外縁部に装着された液体状態の前記被覆材を固体状態にする固体化工程とを実施することを特徴とする外縁部被覆方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、外縁部被覆装置および外縁部被覆方法に関する。

【背景技術】

【0002】

被着体の外縁部を被覆材で被覆する外縁部被覆装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２２－３０８７７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたテープ貼り付けシステム（外縁部被覆装置）では、ウェハＷ（被着体）の外縁部のような三次元形状部に、平らな保護テープ２７（被覆材）を無理矢理変形させて装着するため、被覆材と被着体との間に隙間ができてしまうという不都合を発生する。このような不都合は、平らな保護テープ２７（被覆材）の平面形状を別の平面形状に無理矢理変形させて装着する際にも発生する。

【0005】

本発明の目的は、被覆材と被着体との間に隙間が形成されることを防止することができる外縁部被覆装置および外縁部被覆方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、液体状態で被着体の外縁部に装着した被覆材を固体状態にするので、被覆材と被着体との間に隙間が形成されることを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】（Ａ）～（Ｅ）は、本発明の一実施形態に係る外縁部被覆装置の説明図および同装置の動作説明図。（Ｆ）～（Ｉ）は、本発明の変形例に係る外縁部被覆装置の説明図および同装置の動作説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＤＲ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。なお、図１（Ｄ）、（Ｈ）は、図１（Ａ）のＡＡ矢視図。

【0010】

本発明の外縁部被覆方法を実施する外縁部被覆装置ＥＡは、被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥを被覆材ＣＭで被覆する装置であり、液体状態の被覆材ＣＭを外縁部ＷＫＥに装着する装着工程を実施する装着手段１０と、被覆材ＣＭを加熱して液体状態にする加熱工程を実施する加熱手段２０と、外縁部ＷＫＥに装着された液体状態の被覆材ＣＭを固体状態にする固体化工程を実施する固体化手段３０とを備え、装着手段１０、加熱手段２０および固体化手段３０に対して被着体ＷＫを相対移動させる移動工程を実施する移動手段４０の近傍に配置されている。
なお、本実施形態の被覆材ＣＭは、当該外縁部被覆装置ＥＡが設置されている雰囲気温度において固体状態で存在し、当該雰囲気温度からの加熱によって液体状態となる性質を有し、液体状態から温度が低下すると固体化が始まり、雰囲気温度となった時点では再度固体状態になっている性質を有している。このような被覆材ＣＭとしては、例えば、ＥＶＡ（エチレン酢酸ビニル）、オレフィン、ゴム、ポリアミド（ナイロン）、ポリウレタン、ポリエステル等をベースとして構成された冷却硬化型の材料である所謂ホットメルト剤が例示できる。
被着体ＷＫは、図１（Ａ）に示すように、平面視形状（上方から見下ろした形状）が被着体中心ＷＫＣを中心とする円形形状のものが採用されている。

【0011】

装着手段１０は、固体状態の被覆材ＣＭを貯蔵する貯蔵手段としてのタンク１１と、加熱手段２０によって液体状態とされた被覆材ＣＭを誘導手段としての配管１２Ａ内に供給する供給手段としての加圧ポンプ１２と、配管１２Ａ内の被覆材ＣＭを吐出手段としてのノズル１３Ａから吐出させる吐出制御手段としての電磁弁１３とを備えている。
ノズル１３Ａは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、液体状態とされた被覆材ＣＭを被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥに装着可能な位置に配置されている（図１（Ｃ）参照）。
なお、本実施形態の装着手段１０は、図１（Ｂ）に示すように、被着体ＷＫの上面ＷＫ１における外周面ＷＫ３寄りの領域と、当該被着体ＷＫの下面ＷＫ２における外周面ＷＫ３寄りの領域と、外周面ＷＫ３とからなる領域を外縁部ＷＫＥとし、当該外縁部に被覆材ＣＭを装着するようになっている。

【0012】

加熱手段２０は、タンク１１内に挿入された固体状態の被覆材ＣＭを加熱して当該被覆材ＣＭを液体状態にする加熱機器としてのコイルヒータ２１を備えている。
なお、本実施形態のコイルヒータ２１は、加圧ポンプ１２、配管１２Ａ、電磁弁１３およびノズル１３Ａも加熱するようになっている。

【0013】

固体化手段３０は、被覆材ＣＭを固体状態にするために当該被覆材ＣＭを冷却するものであり、空気を冷却して冷却媒体としての冷気ＣＡ（図１（Ｄ）参照）を生成する冷却手段としてのチラー３１と、チラー３１で生成した冷気ＣＡを、被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭに吹き付ける吹付手段としての送風ファン３２とを備えている。

【0014】

移動手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１と、そのスライダ４１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ４２と、回動モータ４２の出力軸４２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面４３Ａを有する支持テーブル４３とを備えている。
なお、本実施形態の支持テーブル４３は、回動モータ４２によってテーブル中心４３Ｃを中心に回転する構成となっている。

【0015】

以上の外縁部被覆装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置された外縁部被覆装置ＥＡに対し、当該外縁部被覆装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が、図１（Ａ）に示すように、固体状態の被覆材ＣＭをタンク１１内に投入した後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、加熱手段２０がコイルヒータ２１を駆動し、タンク１１内に投入された固体状態の被覆材ＣＭの加熱を開始し、当該被覆材ＣＭを液体状態にする（図１（Ｃ）参照）。次いで、被覆材ＣＭが液体状態になると、装着手段１０が加圧ポンプ１２を駆動し、液体状態となった被覆材ＣＭを配管１２Ａ内へ送り、当該配管１２Ａ内での被覆材ＣＭの加圧を開始するとともに、固体化手段３０がチラー３１を駆動し、空気を冷却して冷気ＣＡの生成を開始する。その後、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体中心ＷＫＣがテーブル中心４３Ｃと重なるようにして被着体ＷＫを支持面４３Ａ上に載置すると、移動手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面４３Ａでの吸着保持を開始する。

【0016】

次に、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、テーブル中心４３Ｃ（被着体中心ＷＫＣ）が基準位置ＲＰと一致するように支持テーブル４３を移動させた後、リニアモータ４１の駆動を停止する。そして、移動手段４０が回動モータ４２を駆動し、被着体ＷＫを矢印ＲＤ方向に回転させるとともに、装着手段１０が電磁弁１３を駆動し、液体状態の被覆材ＣＭをノズル１３Ａから吐出させる。これにより、ノズル１３Ａから吐出された液体状態の被覆材ＣＭは、図１（Ｃ）に示すように、装着手段１０が被覆材ＣＭを装着する装着位置で、被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥに装着されていく。

【0017】

次いで、外縁部ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭの供給方向先端縁（以下、単に「先端縁」ともいう）が、固体化手段３０が冷却を行う固体化位置手前に到達すると、当該固体化手段３０が送風ファン３２を駆動し、被着体ＷＫに向けた冷気ＣＡの吹き付けを開始する。その後、外縁部ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭが固体化位置を通過すると、図１（Ｄ）に示すように、当該被覆材ＣＭに冷気ＣＡが当たって冷却される。なお、被覆材ＣＭは、固体化位置を通過した時点で完全に固体状態になっていてもよいが、固体化位置を通過した後に、経時によって温度が低下して固体状態になってもよいので、固体化位置を通過した時点で完全に固体状態になっていなくてもよい。

【0018】

次に、被覆材ＣＭの先端縁が再び装着位置に到達すると、装着手段１０が電磁弁１３を駆動し、ノズル１３Ａからの被覆材ＣＭの吐出を停止する。これにより、外縁部ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭは、供給方向後端縁（以下、単に「後端縁」ともいう）と先端縁とが繋がった状態となる。そして、外縁部ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭの後端縁が固体化位置を通過すると、固体化手段３０が送風ファン３２の駆動を停止する。これにより、図１（Ｅ）に示すように、被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥ全周が被覆材ＣＭで被覆された一体物ＵＰが形成される。

【0019】

次いで、被覆材ＣＭの後端縁が所定の位置に到達すると、移動手段４０が回動モータ４２の駆動を停止した後、リニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４３を初期位置に復帰させる。その後、移動手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面４３Ａでの吸着保持を解除すると、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを支持面４３Ａ上から取り去り、当該一体物ＵＰを次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0020】

以上のような実施形態によれば、液体状態で被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥに装着した被覆材ＣＭを固体状態にするので、被覆材ＣＭと被着体ＷＫとの間に隙間が形成されることを防止することができる。

【0021】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、装着手段は、液体状態の被覆材を外縁部に装着可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0022】

外縁部被覆装置ＥＡは、図１（Ｆ）に示すように、当該外縁部被覆装置ＥＡが設置されている雰囲気において液体状態で存在し、乾燥によって固体状態となる性質を有する被覆材ＣＭが採用された場合、外縁ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭを乾燥させる固体化工程を実施する固体化手段３０が採用されてもよい。このような被覆材ＣＭとしては、乾燥硬化型の材料であるペンキが例示できる。
この場合の固体化手段３０としては、図１（Ｈ）に示すように、空気を加熱して除湿媒体としての乾燥空気ＤＡを生成する除湿手段としてのコイルヒータ３３と、コイルヒータ３３で生成した乾燥空気ＤＡを、被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭに吹き付ける吹付手段としての送風ファン３４とを備えたものが例示できる。
このような外縁部被覆装置ＥＡは、図１（Ｇ）に示すように、ノズル１３から吐出させて被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥに装着した液体状態の被覆材ＣＭを、図１（Ｈ）に示すように、固体化手段３０が乾燥を行う固体化位置を通過させる。この場合においても、被覆材ＣＭは、固体化位置を通過した時点で完全に固体状態になっていてもよいが、固体化位置を通過した後に、経時によって乾燥して固体状態になってもよいので、固体化位置を通過した時点で完全に固体状態になっていなくてもよい。
なお、この場合の外縁部被覆装置ＥＡは、被覆材ＣＭの特性、特質、性質、材質、組成、構成や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件を考慮して加熱手段２０が備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0023】

また、外縁部被覆装置ＥＡは、図１（Ｆ）に示すように、当該外縁部被覆装置ＥＡが設置されている雰囲気において液体状態で存在し、所定のエネルギー線としての紫外線ＵＶが付与されることによって固体状態となる性質を有する被覆材ＣＭが採用された場合、外縁ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭに紫外線ＵＶを付与する固体化工程を実施する固体化手段３０が採用されてもよい。このような被覆材ＣＭとしては、エネルギー線硬化型の材料である紫外線硬化型の樹脂が例示できる。
この場合の固体化手段３０としては、図１（Ｈ）に示すように、紫外線ＵＶを生成する発光手段としてのＬＥＤランプ３５と、ＬＥＤランプ３５で生成した紫外線ＵＶを、被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭに集光する集光手段としてのレンズ３６とを備えたものが例示できる。
このような外縁部被覆装置ＥＡもまた、図１（Ｇ）に示すように、ノズル１３から吐出させて被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥに装着した液体状態の被覆材ＣＭを、図１（Ｈ）に示すように、固体化手段３０が紫外線ＵＶを照射する固体化位置を通過させる。この場合においても、被覆材ＣＭは、固体化位置を通過した時点で完全に固体状態になっていてもよいが、固体化位置を通過した後に、連鎖反応が進むことで遅れて固体状態になったり、雰囲気の紫外線によって固体状態になってもよいので、固体化位置を通過した時点で完全に固体状態になっていなくてもよい。
なお、この場合の外縁部被覆装置ＥＡもまた、被覆材ＣＭの特性、特質、性質、材質、組成、構成や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件を考慮して加熱手段２０および乾燥手段５０の少なくとも一方が備わっていてもよいし、それら両方が備わっていなくてもよい。

【0024】

装着手段１０は、貯蔵手段として、カセット容器や漏斗等、どのようなものが採用されてもよいし、タンク１１や漏斗等の上部に開口部を塞ぐ開閉式や着脱式等の蓋が備わっていてもよいし、供給手段として、タービンやシリンジ等、どのようなものが採用されてもよいし、誘導手段として、ホースや凹溝通路等、どのようなものが採用されてもよいし、吐出制御手段として、モータやバタフライバルブ等、どのようなものが採用されてもよいし、吐出手段として、ホースやパイプ等、どのようなものが採用されてもよいし、吐出制御手段を採用することなく、供給手段の駆動によって誘導手段や吐出手段から被覆材ＣＭを吐出させてもよいし、供給手段を採用することなく、例えば、貯蔵手段、供給手段、誘導手段または吐出手段から被覆材ＣＭを滴下させ、液体状態の被覆材ＣＭを外縁部ＷＫＥに装着してもよいし、貯蔵手段、供給手段、誘導手段または吐出手段の何れかに刷毛やブラシ等の毛束状部材を取り付け、液体状態の被覆材ＣＭを外縁部ＷＫＥに塗り付けるようにして装着してもよいし、貯蔵手段、供給手段、誘導手段または吐出手段の何れかにスポンジやローラ等の転写部材を取り付け、液体状態の被覆材ＣＭを外縁部ＷＫＥに転写して装着してもよいし、貯蔵手段、供給手段、誘導手段または吐出手段の何れかにエアブラシを取り付け、液体状態の被覆材ＣＭを噴霧して当該被覆材ＣＭを外縁部ＷＫＥに装着してもよい。
装着手段１０は、被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥの一部に被覆材ＣＭ装着してもよいし、貯蔵手段、供給手段、誘導手段、吐出手段等、当該装着手段１０を構成するもの形状や数が実施形態で例示したものと異なっていてもよいし、外縁部ＷＫＥに装着した被覆材ＣＭの厚みを所定の厚みにするスクレーパ、ヘラ、ローラ等の厚み調整手段を採用してもよいし、周方向の複数箇所に設けられていてもよいし、外縁部ＷＫＥに被覆材ＣＭを複数回重ねて装着してもよいし、外縁部ＷＫＥの上半分と下半分との複数回に分けて被覆材ＣＭを装着してもよいし、外縁部ＷＫＥに対するノズル１３Ａの吐出角度が可変となるものでもよい。
装着手段１０は、例えば、平面視形状が円形、楕円形、多角形等の被着体ＷＫに対し、図１（Ｉ）に示すように、上面ＷＫ１の外周面ＷＫ３寄りの領域と、外周面ＷＫ３の上方部とからなる領域を外縁部ＷＫＥとし、当該外縁部ＷＫＥに被覆材ＣＭを装着してもよいし、下面ＷＫ２の外周面ＷＫ３寄りの領域と、外周面ＷＫ３の下方部とからなる領域を外縁部とし、当該外縁部に被覆材ＣＭを装着してもよいし（不図示）、上面ＷＫ１の外周面ＷＫ３寄りの領域を外縁部とし、当該外縁部に被覆材ＣＭを装着してもよいし（不図示）、図１（Ｉ）中二点鎖線で示すように、下面ＷＫ２の外周面ＷＫ３寄りの領域を外縁部ＷＫＥとし、当該外縁部ＷＫＥに被覆材ＣＭを装着してもよい。

【0025】

加熱手段２０は、加熱機器として、ヒートパイプの加熱側、ガスヒータ、石油ヒータ、電気ヒータ、ＩＨヒータ、マイクロウェーブヒータ等、どのようなものが採用されてもよいし、タンク１１、加圧ポンプ１２、配管１２Ａ、電磁弁１３およびノズル１３Ａのうち少なくとも１つを加熱してもよいし、タンク１１、加圧ポンプ１２、配管１２Ａ、電磁弁１３およびノズル１３Ａのうち少なくとも１つの内部に配置されて被覆材ＣＭを加熱して、当該被覆材ＣＭを固体状態から液体状態にしてもよいし、大気や人工のガス等の気体を加熱機器で加熱して加熱媒体としての熱気を生成し、当該熱気によって固体状態の被覆材ＣＭを液体状態にしてもよいし、天然水や人工の溶液等の液体を加熱機器で加熱して加熱媒体としての熱水を生成し、当該熱水によって固体状態の被覆材ＣＭを液体状態にしてもよいし、金属や樹脂等の固形物を加熱機器で加熱して加熱媒体としての加熱固形物を生成し、当該加熱固形物によって固体状態の被覆材ＣＭを液体状態にしてもよいし、加熱媒体としての熱気や熱水をタンク１１、加圧ポンプ１２、配管１２Ａ、電磁弁１３、ノズル１３Ａまたは被覆材ＣＭに吹き付けるポンプやシリンダ等の加熱媒体吹付手段を採用してもよいし、本発明の外縁部被覆装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明の外縁部被覆装置ＥＡに加熱手段２０が備わっていない場合、例えば、他の装置によって被覆材ＣＭを加熱して液体状態にしたり、図１（Ｆ）、（Ｇ）、（Ｈ）を用いて示したように、当該外縁部被覆装置ＥＡが設置されている雰囲気において液体状態で存在する被覆材ＣＭを採用したりすればよい。

【0026】

固体化手段３０は、冷却手段として、ペルチェ素子、ヒートパイプの冷却側、エバポレータ等、どのようなものが採用されてもよいし、吹付手段として、タービン、送風機、扇風機、ふいご等、どのようなものが採用されてもよいし、大気や人工のガス等の気体を冷却手段で冷却して冷却媒体としての冷気を生成し、当該冷気を吹付手段で被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭに吹き付けてもよいし、天然水や人工の溶液等の液体を冷却手段で冷却して冷却媒体としての冷水を生成し、当該冷水をポンプやシリンジ等の吹付手段で被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭに吹き付けてもよいし、金属や樹脂等の固形物を冷却手段で冷却して冷却媒体としての冷却固形物を生成し、当該冷却固形物を被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭに押し当ててもよいし、冷却手段を採用することなく、外縁ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭに吹付手段で大気を吹き付けて冷却してもよいし、吹付手段を採用することなく、外縁ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭに冷却手段で生成した冷気や冷水で、被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭを冷却してもよいし、冷却手段および吹付手段を採用することなく、自然冷却によって外縁ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭを冷却してもよいし、上記の実施形態で例示した回動モータ４２を冷却手段として採用し、被着体ＷＫを高速で回転させたり、長時間回転させたりして外縁ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭを冷却してもよい。

【0027】

固体化手段３０は、除湿手段として、ヒートパイプの加熱側、ガスヒータ、石油ヒータ、電気ヒータ、ＩＨヒータ、マイクロウェーブヒータ等、どのようなものが採用されてもよいし、除湿手段として、冷却方式、圧縮方式、吸着方式、吸収方式等、どのような方式のものが採用されてもよいし、大気や人工のガス等の気体を除湿手段で除湿して除湿媒体としての乾燥空気ＤＡを生成し、当該乾燥空気ＤＡを吹付手段で被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭに吹き付けてもよいし、除湿手段を採用することなく、外縁ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭに吹付手段で大気を吹き付けて除湿してもよいし、吹付手段を採用することなく、外縁ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭに除湿手段で生成した乾燥空気ＤＡで、被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭを乾燥させてもよいし、除湿手段および吹付手段を採用することなく、自然乾燥によって外縁ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭを乾燥させてもよいし、上記の実施形態で例示した回動モータ４２を除湿手段として採用し、被着体ＷＫを高速で回転させたり、長時間回転させたりして外縁ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭを乾燥させてもよい。

【0028】

固体化手段３０は、発光手段として、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等のエネルギー線を付与するもの等、どのようなものが採用されてもよいし、集光手段として、凹面鏡、平面鏡、凸面鏡、プリズム等、どのようなものが採用されてもよいし、集光手段を採用することなく、外縁ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭに発光手段で発光したエネルギー線を直接付与する構成としてもよいし、外縁部ＷＫＥに装着された被覆材ＣＭに一括でエネルギー線を付与する構成としてもよい。

【0029】

移動手段４０は、支持面４３Ａでの吸着保持ができない支持テーブル４３が採用されてもよいし、リニアモータ４１、回動モータ４２および支持テーブル４３に代えてまたは併用して、例えば、多関節ロボット等の駆動機器や他の装置等によって、装着手段１０、加熱手段２０、固体化手段３０等に対して被着体ＷＫを相対移動させてもよいし、本発明の外縁部被覆装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0030】

外縁部被覆装置ＥＡは、複数重ねられた被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥを１または複数の被覆材ＣＭで被覆し、それら被着体ＷＫを一体化してもよいし、被着体ＷＫの一方の面側および他方の面側の少なくとも一方に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の付属部材を重ね合わせ、それらの外縁部を１または複数の被覆材ＣＭで被覆し、それらを一体化してもよい。
次工程は、めっき工程、エッチング工程、浸漬工程、切断工程、研削工程、研磨工程、塗装工程、積層工程、シート接着工程、表面処理工程、穴あけ工程、曲げ工程、検査工程、検証工程、照射工程等、どのような工程でもよい。

【0031】

被覆材ＣＭは、被着体ＷＫの外縁部ＷＫＥに装着される前の状態が液体状態であり、外縁部ＷＫＥに装着された後に固体状態になるものであればどのようなものでもよい。
被覆材ＣＭとしての冷却硬化型の材料は、例えば、半田やアルミニウム等の金属、糠蝋や蜜蝋等の蝋の他、樹脂、接着剤等どのような材料が採用されてもよい。
被覆材ＣＭとしての乾燥硬化型の材料は、接着剤、糊、ワニス、漆、粘土等どのような材料が採用されてもよい。
被覆材ＣＭとしてのエネルギー線硬化型の材料は、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等のエネルギー線によって硬化する樹脂、接着剤、塗料、粘土、ゴム等どのような材料が採用されてもよい。
被覆材ＣＭは、硬化剤や大気中の成分等の硬化開始剤によって、液体状から固体状態となる例えば、シリコン樹脂や接着剤等の合成樹脂が採用されてもよい。

【0032】

本発明における接着シート、被着体ＷＫおよび付属部材の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シート、被着体ＷＫおよび付属部材は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、被着体ＷＫおよび付属部材は、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。

【0033】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた所謂多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等が単体で採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等が直接的又は間接的に組み合わされたものが採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等の出力部に対するトルク制御や速度制御等が可能なものや不能なものが採用されてもよい。

【0034】

前記実施形態において、何らかの物体（以下「物体Ａ」という）および当該物体Ａに対して移動する物体（以下「物体Ｂ」という）すなわち、相対移動する物体Ａおよび物体Ｂは、移動することのない物体Ａに対して物体Ｂが移動してもよいし、移動することのない物体Ｂに対して物体Ａが移動してもよいし、物体Ａおよび物体Ｂの両方が移動してもよいく、移動によって達成される結果が同じであれば、物体Ａおよび物体Ｂの何れが移動してもよいし、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよい。

【符号の説明】

【0035】

ＥＡ…外縁部被覆装置
１０…装着手段
２０…加熱手段
３０…固体化手段
ＣＭ…被覆材
ＵＶ…紫外線（エネルギー線）
ＷＫ…被着体
ＷＫＥ…外縁部

【図1】