特開 2024-179215 シート貼付装置およびシート貼付方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024179215

(43)【公開日】2024-12-26

(54)【発明の名称】シート貼付装置およびシート貼付方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20241219BHJP

   B65C 1/04 20060101ALI20241219BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

B65C1/04

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023097881

(22)【出願日】2023-06-14

(71)【出願人】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120592

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 崇裕

(74)【代理人】

【識別番号】100184712

【弁理士】

【氏名又は名称】扇原 梢伸

(74)【代理人】

【識別番号】100192223

【弁理士】

【氏名又は名称】加久田 典子

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【テーマコード（参考）】

3E095

5F131

【Ｆターム（参考）】

3E095AA16

3E095BA03

3E095CA01

3E095DA03

3E095DA22

3E095DA44

3E095DA47

3E095FA12

5F131AA02

5F131CA09

5F131CA12

5F131EC34

5F131EC64

5F131EC68

5F131EC69

5F131EC76

(57)【要約】

【課題】保護面の保護不良が発生することを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。
【解決手段】接着シートＡＳの所定の部分ＡＳＦ、ＡＳＲ同士が重なった重複部ＡＳＰが形成されるようにして当該接着シートＡＳを被着体ＷＫの保護面ＷＫ３に貼付するシート貼付手段２０を備えたシート貼付装置ＥＡにおいて、重複部ＡＳＰから保護面ＷＫ３までの間に位置する接着シートＡＳのアプローチ部ＡＳＡと、当該アプローチ部ＡＳＡに接続する接着シートＡＳの端縁ＡＳＴと、保護面ＷＫ３とで囲まれる重複部隣接領域ＤＡに侵入防止剤ＨＭを配置する配置手段３０をさらに備えている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

接着シートの所定の部分同士が重なった重複部が形成されるようにして当該接着シートを被着体の保護面に貼付するシート貼付手段を備えたシート貼付装置において、
前記重複部から前記保護面までの間に位置する前記接着シートのアプローチ部と、当該アプローチ部に接続する前記接着シートの端縁と、前記保護面とで囲まれる重複部隣接領域に侵入防止剤を配置する配置手段をさらに備えていることを特徴とするシート貼付装置。

【請求項2】

前記シート貼付手段は、前記保護面から前記接着シートの一部がはみ出したはみ出し領域が形成されるように、当該接着シートを前記保護面に貼付する第１貼付手段と、前記はみ出し領域を前記被着体の別の面方向に折り曲げて貼付する第２貼付手段とを備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。

【請求項3】

接着シートの所定の部分同士が重なった重複部が形成されるようにして当該接着シートを被着体の保護面に貼付するシート貼付工程を実施するシート貼付方法において、
前記重複部から前記保護面までの間に位置する前記接着シートのアプローチ部と、当該アプローチ部に接続する前記接着シートの端縁と、前記保護面とで囲まれる重複部隣接領域に侵入防止剤を配置する配置工程をさらに実施することを特徴とするシート貼付方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

【背景技術】

【0002】

接着シートの所定の部分同士が重なった重複部が形成されるようにして当該接着シートを被着体の保護面に貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２２－３０８７７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたテープ貼り付けシステム（シート貼付装置）によって周縁部（保護面）に保護テープ２７（接着シート）が貼付されたウエハＷ（被着体）は、接着シートの所定の部分同士が重なった重複部から保護面までの間に位置する接着シートのアプローチ部と、当該アプローチ部に接続する接着シートの端縁と、被着体の保護面とで囲まれる重複部隣接領域に空洞部が形成され易い。従って、このような空洞部が形成された被着体を液体中に浸したり、気体中に晒したりして所定の処理を施すと、当該空洞部から液体や気体等の異物が侵入し、保護面に異物が付着したり接触したりする保護面の保護不良を発生する。

【0005】

本発明の目的は、保護面の保護不良が発生することを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、重複部隣接領域に侵入防止剤を配置するので、保護面の保護不良が発生することを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】（Ａ）～（Ｇ）は、本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。（Ｈ）～（Ｊ）は、本発明のシート貼付装置の変形例に係る説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＤＲ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。なお、図１（Ｃ）は、図１（Ａ）のＡＡ矢視図。図１（Ｄ）の実線は、図１（Ａ）のＢＢ矢視図。図１（Ｄ）の二点鎖線は、図１（Ａ）のＤＲ矢視図。

【0010】

本発明のシート貼付方法を実施するシート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳを供給する供給工程を実施する供給手段１０と、接着シートＡＳの所定の部分同士としての供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとが重なった重複部ＡＳＰ（図１（Ｆ）参照）が形成されるようにして当該接着シートＡＳを被着体ＷＫの保護面としての外周面ＷＫ３に貼付するシート貼付工程を実施するシート貼付手段２０と、重複部ＡＳＰから外周面ＷＫ３までの間に位置する接着シートＡＳのアプローチ部ＡＳＡ（図１（Ｆ）参照）と、当該アプローチ部ＡＳＡに接続する接着シートＡＳの端縁としての供給方向先端縁ＡＳＴと、外周面ＷＫ３とで囲まれる重複部隣接領域ＤＡに侵入防止剤としてのホットメルト剤ＨＭ（図１（Ｅ）参照）を配置する配置工程を実施する配置手段３０とを備え、被着体ＷＫを搬送する被着体搬送工程を実施する被着体搬送手段４０の近傍に配置されている。
本実施形態の被着体ＷＫは、図１（Ａ）に示すように、平面視形状（上方から見下ろした形状）が被着体中心ＷＫＣを中心とする円形形状のものが採用されている。

【0011】

供給手段１０は、当該供給手段１０を構成する各部材を直接的または間接的に支持する支持部材１１と、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１２と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１３と、剥離縁１４Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板１４と、駆動機器としての回動モータ１５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１６とを備えている。
なお、本実施形態の接着シートＡＳは、変形エネルギーとしての熱によって変形可能なものが採用されている。

【0012】

シート貼付手段２０は、外周面ＷＫ３から接着シートＡＳの一部がはみ出したはみ出し領域ＡＳＨ（図１（Ｂ）参照）が形成されるように、当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付する第１貼付工程を実施する第１貼付手段２１と、はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの別の面としての一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２の両方向に折り曲げて貼付する第２貼付工程を実施する第２貼付手段２２とを備えている。
第１貼付手段２１は、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての第１押圧ローラ２１Ａを備え、接着シートＡＳを被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付するようになっている。
第２貼付手段２２は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱機器で加熱した変形エネルギーとしての熱である熱風ＨＡを接着シートＡＳに吹き付け、はみ出し領域ＡＳＨを折り曲げる変形エネルギー付与工程を実施する変形エネルギー付与手段としての熱風送風機２２Ａと、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての第２押圧ローラ２２Ｂ、第３押圧ローラ２２Ｃとを備えている。
なお、第１押圧ローラ２１Ａは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、供給手段１０から供給された接着シートＡＳを当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に押圧可能な位置に配置されている。
また、熱風送風機２２Ａは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付されている接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨに、熱風ＨＡを吹き付け可能な位置に配置されている。
さらに、第２、第３押圧ローラ２２Ｂ、２２Ｃは、図１（Ｄ）に示すように、それぞれ上下一対とされ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨを、それぞれ一方の面ＷＫ１方向および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げ可能な位置に配設されている。本実施形態では、第２、第３押圧ローラ２２Ｂ、２２Ｃは、ＸＹ平面に対し、それぞれ４５度（１３５度）、１８０度（０度）の角度で基準位置ＲＰ方向に傾斜した回転軸を中心に回転するようになっている。

【0013】

配置手段３０は、ホットメルト剤ＨＭをコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱手段で加熱溶融して貯蔵する貯蔵手段としてのタンク３１と、加熱溶融されたホットメルト剤ＨＭを誘導手段としての配管３２Ａ内に供給する供給手段としての加圧ポンプ３２と、配管３２Ａ内のホットメルト剤ＨＭを吐出手段としてのノズル３３Ａから吐出させる吐出制御手段としての電磁弁３３とを備えている。
ホットメルト剤ＨＭは、本発明のシート貼付装置ＥＡが設置されている雰囲気温度において固体状態で存在し、当該雰囲気の温度からの加熱によって溶融状態となる性質を有し、溶融状態から温度が低下すると固体化が始まり、雰囲気温度となった時点では再度固体状態になっている性質を有している。このようなホットメルト剤ＨＭとしては、例えば、ＥＶＡ（エチレン酢酸ビニル）、オレフィン、ゴム、ポリアミド（ナイロン）、ポリウレタン、ポリエステル等をベースとして構成された冷却硬化型の材料を例示することができる。

【0014】

被着体搬送手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１と、そのスライダ４１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ４２と、その出力軸４２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面４３Ａを有する支持テーブル４３とを備えている。
なお、本実施形態の支持テーブル４３は、回動モータ４２によってテーブル中心４３Ｃを中心に回転する構成となっている。

【0015】

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットするとともに、固体状態のホットメルト剤ＨＭをタンク３１内に投入した後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段１０が回動モータ１５Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して、図１（Ａ）に示すように、剥離板１４の剥離縁１４Ａによって折り返された剥離シートＲＬの折返し部で、先頭の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが当該剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、回動モータ１５Ａの駆動を停止する。また、配置手段３０が図示しない加熱手段および加圧ポンプ３２を駆動し、タンク３１内のホットメルト剤ＨＭを加熱溶融し、加熱溶融したホットメルト剤ＨＭを配管３２Ａ内へ送り、当該配管３２Ａ内でホットメルト剤ＨＭの加圧を開始する。

【0016】

次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体中心ＷＫＣがテーブル中心４３Ｃと重なるように、一方の面ＷＫ１を支持面４３Ａ側にして被着体ＷＫを当該支持面４３Ａ上に載置すると、被着体搬送手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面４３Ａでの吸着保持を開始する。その後、被着体搬送手段４０がリニアモータ４１を駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、テーブル中心４３Ｃ（被着体中心ＷＫＣ）が基準位置ＲＰと一致するように支持テーブル４３を移動させた後、リニアモータ４１の駆動を停止する。

【0017】

次に、供給手段１０および被着体搬送手段４０が回動モータ１５Ａ、４２を駆動し、被着体ＷＫを矢印ＲＤ方向に回転させつつ接着シートＡＳを供給する。これにより、接着シートＡＳは、第１押圧ローラ２１Ａの押圧領域である第１押圧領域を通過することで、図１（Ａ）中二点鎖線および図１（Ｂ）に示すように、第１押圧ローラ２１Ａによって押圧され、外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成された状態で当該外周面ＷＫ３に貼付されていく。そして、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳの供給方向先端縁ＡＳＴが熱風送風機２２Ａの熱風吹付領域手前に到達すると、シート貼付手段２０が熱風送風機２２Ａを駆動し、被着体ＷＫに向けて熱風ＨＡを吹き付ける。次いで、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳが熱風吹付領域を通過すると、熱風ＨＡによって当該接着シートＡＳが変形し、図１（Ｃ）に示すように、はみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１方向および他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がっていく。その後も回動モータ１５Ａ、４２の駆動が続行され、接着シートＡＳが第２、第３押圧ローラ２２Ｂ、２２Ｃの押圧領域である第２押圧領域、第３押圧領域を通過すると、図１（Ｄ）に示すように、はみ出し領域ＡＳＨが段階的に折り曲げられ、折り曲げられたはみ出し領域ＡＳＨが被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付されていく。

【0018】

その後、図１（Ｅ）に示すように、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳの供給方向先端縁ＡＳＴが所定の位置に到達すると、配置手段３０が電磁弁３３を駆動し、加熱溶融したホットメルト剤ＨＭをノズル３３Ａから吐出させ、所定の位置に所定量のホットメルト剤ＨＭを塗布する。なお、配置手段３０がホットメルト剤ＨＭを塗布する所定の位置は、接着シートＡＳが被着体ＷＫに貼付された際、アプローチ部ＡＳＡとなる予定の位置における当該接着シートＡＳの接着面側となっている。次に、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが再び第１押圧領域を通過すると、当該接着シートＡＳの供給方向後端部ＡＳＲが第１押圧ローラ２１Ａによって押圧され、図１（Ｆ）に示すように、重複部ＡＳＰが形成される。このように重複部ＡＳＰが形成されると、アプローチ部ＡＳＡと供給方向先端縁ＡＳＴと外周面ＷＫ３とで囲まれた領域に重複部隣接領域ＤＡが形成されるが、接着シートＡＳの所定の位置にホットメルト剤ＨＭが塗布されているので、当該重複部隣接領域ＤＡに空洞が形成されることはない。

【0019】

そして、先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが、剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、供給手段１０が回動モータ１５Ａの駆動を停止し、接着シートＡＳの供給を停止する。次いで、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向後端縁ＡＳＢが第１押圧領域を通過した後、熱風吹付領域を通過すると、シート貼付手段２０が熱風送風機２２Ａの駆動を停止する。その後、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向後端縁ＡＳＢが第２、第３押圧領域を通過すると、図１（Ｇ）に示すように、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に接着シートＡＳが貼付された一体物ＵＰが形成される。

【0020】

次いで、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの供給方向後端縁ＡＳＢが所定の位置に到達すると、被着体搬送手段４０が回動モータ４２の駆動を停止した後、リニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４３を初期位置に復帰させる。次に、被着体搬送手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面４３Ａでの吸着保持を解除すると、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを支持面４３Ａ上から取り去り、当該一体物ＵＰをめっき工程やエッチング工程等の次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0021】

以上のような実施形態によれば、重複部隣接領域ＤＡにホットメルト剤ＨＭを配置するので、外周面ＷＫ３の保護不良が発生することを防止することができる。

【0022】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、シート貼付手段は、接着シートの所定の部分同士が重なった重複部が形成されるようにして当該接着シートを被着体の保護面に貼付可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0023】

供給手段１０は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳから当該帯状の接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出して供給してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていない場合、例えば、他の装置や使用者が接着シートＡＳを供給してもよい。

【0024】

シート貼付手段２０は、重複部ＡＳＰを形成する接着シートＡＳの所定の部分同士としては、例えば、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦと供給方向中央部であってもよいし、接着シートＡＳの供給方向中央部と供給方向後端部ＡＳＲであってもよく、どこの部位同士でもよいし、重複部ＡＳＰを形成する接着シートＡＳが、例えば図（Ｈ）に示すような複数の接着シートＡＳである場合、当該重複部ＡＳＰを形成する接着シートＡＳの所定の部分同士としては、例えば、１の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦと、他の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦまたは供給方向中央部または供給方向後端部ＡＳＲであってもよいし、１の接着シートＡＳの供給方向中央部と、他の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦまたは供給方向中央部または供給方向後端部ＡＳＲであってもよいし、１の接着シートＡＳの供給方向後端部ＡＳＲと、他の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦまたは供給方向中央部または供給方向後端部ＡＳＲであってもよく、どこの部位同士でもよい。

【0025】

シート貼付手段２０は、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３から接着シートＡＳの一部が一方の面ＷＫ１方向のみまたは、他方の面ＷＫ２方向のみにはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように、当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付する第１貼付手段２１を採用してもよいし、はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの別の面としての一方の面ＷＫ１方向のみまたは、被着体ＷＫの別の面としての他方の面ＷＫ２方向のみに折り曲げて貼付する第２貼付手段２２を備えていてもよいし、はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの別の面としての外周面ＷＫ３方向のみや、被着体ＷＫの別の面としての外周面ＷＫ３方向および他方の面ＷＫ２方向や、被着体ＷＫの別の面としての外周面ＷＫ３方向および一方の面ＷＫ１方向に折り曲げて貼付する第２貼付手段２２を備えていてもよいし、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付する際、当該被着体ＷＫを支持テーブル４３とで挟み込む押え手段を備えていてもよいし、被着体搬送手段４０による被着体ＷＫとの相対移動ではなく、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等による被着体ＷＫとの相対移動によって、供給される接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、図１（Ｈ）に示すように、はみ出し領域ＡＳＨが形成されないように、接着シートＡＳを被着体ＷＫの保護面に貼付してもよいし、図１（Ｈ）に示すように、１つの被着体ＷＫに複数の接着シートＡＳを貼付してもよいし、図１（Ｈ）に示すように、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３以外の例えば中央部を保護面とし、当該保護面に接着シートＡＳを貼付してもよいし、例えば、第１貼付手段２１および第２貼付手段２２の少なくとも一方によって構成されてもよいし、例えば、第1押圧ローラ２１Ａ、熱風送風機２２Ａ、第２押圧ローラ２２Ｂおよび第３押圧ローラ２２Ｃの少なくとも１つによって構成されてもよい。

【0026】

第１貼付手段２１は、押圧部材として、ガイド板、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材、回行ベルト、大気やガス等の気体の吹き付け、チャックシリンダや多関節ロボット等が採用されてもよいし、被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された被着体ＷＫに対し、第１押圧ローラ２１Ａ等の部材が離間接近してもよい。

【0027】

第２貼付手段２２は、はみ出し領域ＡＳＨを折り曲げて貼付する別の面が外周面ＷＫ３でもよいし、一方の面ＷＫ１のみでもよいし、他方の面ＷＫ２のみでもよく、どのような面でもよいし、押圧部材として、ガイド板、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材、回行ベルト、大気やガス等の気体の吹き付け、チャックシリンダや多関節ロボット等が採用されてもよいし、被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された被着体ＷＫに対し、熱風送風機２２Ａ、第２押圧ローラ２２Ｂまたは第３押圧ローラ２２Ｃ等の部材が離間接近してもよいし、第２、第３押圧ローラ２２Ｂ、２２Ｃが上下一対でなく、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側のみまたは、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２側のみに設けられていてもよいし、第２、第３押圧ローラ２２Ｂ、２２ＣがＸＹ平面に対し、それぞれ３０度（１５０度）、１７９度（１度）といった角度で基準位置ＲＰ方向に傾斜した回転軸を中心に回転するようになっていてもよいし、前記実施形態では、第２、第３押圧ローラ２２Ｂ、２２Ｃの２組の押圧部材を採用し、はみ出し領域ＡＳＨを２段階で一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付したが、３体または３組以上の押圧部材を採用し、はみ出し領域ＡＳＨを３段階以上で一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付したり、１体または１組の押圧部材を採用し、はみ出し領域ＡＳＨを１段階で一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付したりしてもよいし、はみ出し領域ＡＳＨを一括で一方の面ＷＫ１方向や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付してもよいし、変形エネルギー付与手段を介さずに、押圧部材のみによってはみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付してもよいし、押圧部材を介さずに、変形エネルギー付与手段のみによってはみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付してもよい。

【0028】

変形エネルギー付与手段は、変形エネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波を付与するものや、熱湯や熱風等の加熱媒体を付与するものや、冷水や冷風等の冷却媒体を付与するもの等どのようなものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートＡＳを変形させることができるものであればどのような変形エネルギーを付与するものであってもよいし、前記実施形態で示した位置以外の位置に設けられていてもよく、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨに変形エネルギーを付与可能な位置であれば、どこに設けられていてもよいし、はみ出し領域ＡＳＨに一括で変形エネルギーを付与することで、当該はみ出し領域ＡＳＨを一括で一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げてもよい。

【0029】

シート貼付手段２０は、第１貼付手段２１および第２貼付手段２２の代わりに、駆動機器であって押圧手段としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持部材を備えた押圧部材を採用してもよい。このようなシート貼付手段２０の場合、例えば、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦと当該接着シートＡＳの供給方向後端部ＡＳＲとが重なった重複部ＡＳＰが形成された１枚の接着シートＡＳを保持部材で保持し、アプローチ部ＡＳＡとなる位置に配置手段３０でホットメルト剤ＨＭを塗布した後、この接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、保持部材で保持した１の接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付した後、保持部材で保持した他の接着シートＡＳにおけるアプローチ部ＡＳＡとなる位置に、配置手段３０でホットメルト剤ＨＭを塗布した後、先に被着体ＷＫに貼付した１の接着シートＡＳとで重複部ＡＳＰが形成されるように、他の接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、１の接着シートＡＳと他の接着シートＡＳとで重複部ＡＳＰが形成されるようにして複数の接着シートＡＳを保持部材で保持し、アプローチ部ＡＳＡとなる位置に配置手段３０でホットメルト剤ＨＭを塗布した後、それら接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよい。

【0030】

配置手段３０は、貯蔵手段として、カセット容器や漏斗等、どのようなものが採用されてもよいし、タンク１１や漏斗等の上部に開口部を塞ぐ開閉式や着脱式等の蓋が備わっていてもよいし、供給手段として、タービンやシリンジ等、どのようなものが採用されてもよいし、誘導手段として、ホースや凹溝通路等、どのようなものが採用されてもよいし、吐出制御手段として、モータやバタフライバルブ等、どのようなものが採用されてもよいし、吐出手段として、配管やホース等、どのようなものが採用されてもよいし、吐出制御手段を採用することなく、供給手段の駆動によって誘導手段や吐出手段からホットメルト剤ＨＭを吐出させてもよいし、例えば、貯蔵手段、供給手段、誘導手段、吐出制御手段または吐出手段等の構成部材からホットメルト剤ＨＭを滴下させ、当該ホットメルト剤ＨＭを所定の位置に所定量塗布してもよいし、貯蔵手段、供給手段、誘導手段、吐出制御手段または吐出手段等の構成部材に刷毛やブラシ等の毛束状部材を取り付け、ホットメルト剤ＨＭを所定の位置に所定量塗り付けてもよいし、貯蔵手段、供給手段、誘導手段、吐出制御手段または吐出手段等の構成部材にスポンジやローラ等の転写部材を取り付け、ホットメルト剤ＨＭを所定の位置に所定量転写してもよいし、貯蔵手段、供給手段、誘導手段、吐出制御手段または吐出手段等の構成部材にエアブラシを取り付け、ホットメルト剤ＨＭを所定の位置に所定量噴霧してもよいし、貯蔵手段、供給手段、誘導手段、吐出制御手段、吐出手段等、当該配置手段３０の構成部材の形状や数が実施形態で例示したものと異なっていてもよいし、塗布したホットメルト剤ＨＭの厚みを所定の厚みにするスクレーパ、ヘラ、ローラ等の厚み調整手段を採用してもよい。
配置手段３０は、固体状態のホットメルト剤ＨＭを接着シートＡＳの所定の位置に配置するように構成し、熱風送風機２２Ａの熱風ＨＡや他の加熱機器を溶融手段として採用することで、固体状態のホットメルト剤ＨＭを加熱溶融して、重複部隣接領域ＤＡにホットメルト剤ＨＭを配置するようにしてもよいし、例えば、図１（Ｉ）に示すように、ガイドローラ１３を増設し、接着シートＡＳから剥離シートＲＬを一旦剥離した状態を形成して、アプローチ部ＡＳＡとなる予定の位置にホットメルト剤ＨＭを塗布したり貼付したりする構成としてもよいし、図１（Ｊ）に示すように、ホットメルト剤ＨＭを塗布する所定の位置が、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳにおける供給方向先端縁ＡＳＴの供給方向前方部でもよいし、ホットメルト剤ＨＭを塗布する所定の位置が、図１（Ｅ）で示す位置と図１（Ｊ）で示す位置との両方でもよいし、接着シートＡＳの端縁の延出方向（上記の実施形態では上下軸方向）にノズル３３Ａを移動させる構成としてもよいし、重複部隣接領域ＤＡに空洞が形成されても、注射針のような細い管を用いて当該空洞に侵入防止剤を注入してもよいし、重複部隣接領域ＤＡ全体に侵入防止剤を配置してもよいし、重複部隣接領域ＤＡに形成された空洞の入口を塞ぐように重複部隣接領域ＤＡの一部に侵入防止剤を配置してもよいし、例えば、アプローチ部ＡＳＡと供給方向後端縁ＡＳＢと外周面ＷＫ３とで囲まれる重複部隣接領域ＤＡに侵入防止剤を配置してもよいし、図１（Ｈ）に示すように、アプローチ部ＡＳＡと接着シートＡＳの側端縁ＡＳＣと保護面としての被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１とで囲まれる重複部隣接領域ＤＡに侵入防止剤を配置してもよく、接着シートＡＳのアプローチ部ＡＳＡと接着シートＡＳの端縁と保護面とで囲まれる重複部隣接領域ＤＡであれば、どこに形成さる重複部隣接領域ＤＡであっても侵入防止剤を配置することができるし、重複部隣接領域ＤＡのどの位置に侵入防止剤を配置してもよい。

【0031】

被着体搬送手段４０は、支持面４３Ａでの吸着保持ができない支持テーブル４３が採用されてもよいし、リニアモータ４１、回動モータ４２および支持テーブル４３に代えて多関節ロボット等の駆動機器によって、供給手段１０やシート貼付手段２０に対して被着体ＷＫを移動させ、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付するようにしてもよいし、リニアモータ４１、回動モータ４２および支持テーブル４３に代えてまたは併用して、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等によって、被着体ＷＫを搬送してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0032】

シート貼付装置ＥＡは、複数重ねられた被着体ＷＫに１または複数の接着シートＡＳを貼付し、それら被着体ＷＫを一体化してもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側の少なくとも一方に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の付属部材を重ね合わせ、当該被着体ＷＫに１または複数の接着シートＡＳを貼付し、それらを一体化してもよい。

【0033】

接着シートＡＳは、供給方向の長さが被着体ＷＫの周長よりも長くてもよいし、短くてもよいし、被着体ＷＫの周長と同じ長さでもよいし、変形エネルギーによって変形する際、収縮を伴って変形したり、膨張を伴って変形したり、収縮も膨張も伴うことなく変形したりするものでもよいし、当該変形エネルギーによって接着力が増加してもよいし、接着力が低下してもよいし、接着力が増加も低下もしなくてもよい。
接着シートＡＳは、変形エネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の加熱媒体や、冷水や冷風等の冷却媒体等、どのような変形エネルギーによって変形するものでもよいし、変形エネルギーによって変形しないものでもよいし、平面形状が一直線形状、湾曲形状、屈折形状等、どのような形状でもよい。
被着体ＷＫは、例えば、一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の付属部材が取り付けられていてもよい。
保護面は、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１でもよいし、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２でもよいし、被着体ＷＫのその他の面でもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１、他方の面ＷＫ２、外周面ＷＫ３およびその他の面のうち、少なくとも１つの面でもよく、被着体ＷＫのどの面でもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１、他方の面ＷＫ２、外周面ＷＫ３およびその他の面における各面の全体でもよいし、それら各面の一部でもよい。
侵入防止剤は、冷却硬化型の材料として、例えば、半田やアルミニウム等の金属、糠蝋や蜜蝋等の蝋の他、樹脂、接着剤等どのような材料が採用されてもよいし、例えば、接着剤、糊、ペンキ、ワニス、漆、粘土等の乾燥硬化型の材料が採用されてもよいし、例えば、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等のエネルギー線によって硬化するエネルギー線硬化型の樹脂、接着剤、塗料、粘土、ゴム等どのような材料が採用されてもよく、冷却硬化型の材料が採用された場合、シート貼付装置ＥＡは、重複部隣接領域ＤＡに配置された侵入防止剤を硬化させる送風機やチラー等の冷却手段を採用してもよいし、乾燥硬化型の材料が採用された場合、シート貼付装置ＥＡは、重複部隣接領域ＤＡに配置された侵入防止剤を硬化させるヒータや送風機等の乾燥手段を採用してもよいし、ネルギー線硬化型の材料が採用された場合、シート貼付装置ＥＡは、重複部隣接領域ＤＡに配置された侵入防止剤を硬化させる紫外線照射機や赤外線照射機等のエネルギー付与手段を採用してもよい。
次工程は、めっき工程、洗浄工程、エッチング工程、浸漬工程、切断工程、酸化膜形成工程、窒化工程、研削工程、サンドブラスト工程、研磨工程、塗装工程、積層工程、シート接着工程、表面処理工程、穴あけ工程、曲げ工程、検査工程、検証工程、照射工程等、どのような工程でもよい。
保護面に付着したり接触したりする異物は、めっき処理に用いられるめっき液や洗浄に用いられるアルコール等の液体、酸化膜形成に用いられる酸素ガスや窒化処理に用いられるアンモニアガス等の気体、サンドブラストに用いられる投射材や研磨に用いられる研磨剤等の固体等、次工程次第でどのようなものでもよい。

【0034】

本発明における接着シートＡＳ、被着体ＷＫおよび付属部材の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、被着体ＷＫおよび付属部材は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫや付属部材としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0035】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた所謂多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等が単体で採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等が直接的又は間接的に組み合わされたものが採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等の出力部に対するトルク制御や速度制御等が可能なものや不能なものが採用されてもよい。

【0036】

前記実施形態において、何らかの物体（以下「物体Ａ」という）および当該物体Ａに対して移動する物体（以下「物体Ｂ」という）すなわち、相対移動する物体Ａおよび物体Ｂは、移動することのない物体Ａに対して物体Ｂが移動してもよいし、移動することのない物体Ｂに対して物体Ａが移動してもよいし、物体Ａおよび物体Ｂの両方が移動してもよいく、移動によって達成される結果が同じであれば、物体Ａおよび物体Ｂの何れが移動してもよいし、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や硝子等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

【符号の説明】

【0037】

ＥＡ…シート貼付装置
２０…シート貼付手段
２１…第１貼付手段
２２…第２貼付手段
３０…配置手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳＡ…アプローチ部
ＡＳＦ…供給方向先端部（所定の部分）
ＡＳＨ…はみ出し領域
ＡＳＰ…重複部
ＡＳＲ…供給方向後端部（所定の部分）
ＡＳＴ…供給方向先端縁（端縁）
ＤＡ…重複部隣接領域
ＨＭ…ホットメルト剤（侵入防止剤）
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…一方の面（別の面）
ＷＫ２…他方の面（別の面）
ＷＫ３…外周面（保護面）

【図1】