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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024017923
(43)【公開日】2024-02-08
(54)【発明の名称】液体フィルター用基材
(51)【国際特許分類】
B01D 71/26 20060101AFI20240201BHJP
B01D 69/00 20060101ALI20240201BHJP
B01D 69/02 20060101ALI20240201BHJP
【ＦＩ】
B01D71/26
B01D69/00
B01D69/02
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022120889
(22)【出願日】2022-07-28
(71)【出願人】
【識別番号】000003001
【氏名又は名称】帝人株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001519
【氏名又は名称】弁理士法人太陽国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】長尾 優
【テーマコード（参考）】
4D006
【Ｆターム（参考）】
4D006GA07
4D006MA03
4D006MA22
4D006MA24
4D006MA31
4D006MB02
4D006MB20
4D006MC22X
4D006MC23
4D006MC88
4D006NA35
4D006NA36
4D006NA39
4D006NA54
4D006NA62
4D006PA01
4D006PC01
(57)【要約】
【課題】小孔径でもろ過時間のバラツキが抑えられる液体フィルター用基材を提供すること。
【解決手段】液体フィルター用基材は、ポリオレフィン微多孔膜を含み、前記ポリオレフィン微多孔膜の孔径の平均値が、１ｎｍ～５０ｎｍであり、前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量の平均値が、０．００３Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ～０．１８０Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉであり、前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量の変動係数が、０．１００以下であるものである。
【選択図】なし
【解決手段】液体フィルター用基材は、ポリオレフィン微多孔膜を含み、前記ポリオレフィン微多孔膜の孔径の平均値が、１ｎｍ～５０ｎｍであり、前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量の平均値が、０．００３Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ～０．１８０Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉであり、前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量の変動係数が、０．１００以下であるものである。
【選択図】なし
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ポリオレフィン微多孔膜を含む液体フィルター用基材であって、
前記ポリオレフィン微多孔膜の孔径の平均値が、１ｎｍ～５０ｎｍであり、
前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量の平均値が、０．００３Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ～０．１８０Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉであり、
前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量の変動係数が、０．１００以下である液体フィルター用基材。
前記ポリオレフィン微多孔膜の孔径の平均値が、１ｎｍ～５０ｎｍであり、
前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量の平均値が、０．００３Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ～０．１８０Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉであり、
前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量の変動係数が、０．１００以下である液体フィルター用基材。
【請求項2】
前記ポリオレフィン微多孔膜の孔径の変動係数が、０．１００以下である請求項１に記載の液体フィルター用基材。
【請求項3】
前記ポリオレフィン微多孔膜の膜厚の変動係数が、０．１００以下である請求項１に記載の液体フィルター用基材。
【請求項4】
前記ポリオレフィン微多孔膜の空孔率の変動係数が、０．１００以下である請求項１に記載の液体フィルター用基材。
【請求項5】
前記ポリオレフィン微多孔膜の膜厚の平均値が、３μｍ～２０μｍである請求項１に記載の液体フィルター用基材。
【請求項6】
前記ポリオレフィン微多孔膜の空孔率の平均値が、３５％～６０％である請求項１に記載の液体フィルター用基材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、液体フィルター用基材に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、ますます電子機器の小型化及び高性能化が進んでいる。特に、パーソナルコンピューター及びスマートフォンを代表とするデジタル機器及び携帯端末は、飛躍的な進化を遂げている。その進化を牽引し、サポートするさまざまな技術の中でも、半導体産業の技術革新が大きな役割を果たしているのは周知の事実である。近年の半導体産業において、配線パターン寸法は１０ｎｍを下回る領域での開発競争となっており、各社が最先端の製造ラインの構築を急いでいる。
【0003】
リソグラフィ工程は、半導体部品製造にてパターンを形成する工程である。近年のパターン微細化と共に、リソグラフィ工程で使用する薬液そのものの性状のみならず、ウェハー上へ塗布するまでの薬液の取扱いも、非常に高度な技術が要求されるようになってきている。
【0004】
高度に調製された薬液は、ウェハー上へ塗布する直前に緻密な液体フィルターで濾過され、パターン形成や歩留りに大きな影響を与える微小異物及び薬液由来のゲル状異物が除去される。パターンサイズが１０ｎｍを下回る最先端の配線パターンの形成においては、配線パターン寸法が１０ｎｍ～数ｎｍと微細化するに従い、薬液中の５ｎｍ以下の微細な異物を捕集するため、より微細な孔径と良好な透過性を両立する液体フィルターが必要である。そのため、各社フィルターメーカーは先端半導体用の液体フィルターの開発を精力的に進めているところである。
緻密な液体フィルターに適用可能な液体フィルター用基材として、小孔径のポリオレフィン微多孔膜を含む液体フィルター用基材が知られている（例えば、特許文献１～７参照）。
緻密な液体フィルターに適用可能な液体フィルター用基材として、小孔径のポリオレフィン微多孔膜を含む液体フィルター用基材が知られている（例えば、特許文献１～７参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開２０１４－２１８５６３号公報
【特許文献2】特開２０１４－２１７８００号公報
【特許文献3】特許第５６８４９５１号公報
【特許文献4】特許第５６８４９５２号公報
【特許文献5】特許第５６８４９５３号公報
【特許文献6】特開２０１８－１６７１９８号公報
【特許文献7】特許第６８０５３７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
孔径が５０ｎｍ以下の微細孔径を有する液体フィルター用基材では、液体フィルター用基材の幅方向における、ろ過時間のバラツキの課題が生じやすい。液体フィルターのろ過時間が均一でない場合、例えば、フィルターの中央部では低圧、フィルターの端部では高圧と、フィルターの幅方向にかかる圧力が不均一となりやすく、フィルター全体で液体を均一に濾過できない。その結果、フィルター性能やろ過寿命が低下してしまったり、半導体の製造歩留まりが低下したりする懸念がある。
本開示は、上記従来の課題に鑑みてなされたものであり、小孔径でもろ過時間のバラツキが抑えられる液体フィルター用基材を提供することを目的とする。
本開示は、上記従来の課題に鑑みてなされたものであり、小孔径でもろ過時間のバラツキが抑えられる液体フィルター用基材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
前記課題を達成するための具体的手段は以下の通りである。
＜１＞ ポリオレフィン微多孔膜を含む液体フィルター用基材であって、
前記ポリオレフィン微多孔膜の孔径の平均値が、１ｎｍ～５０ｎｍであり、
前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量の平均値が、０．００３Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ～０．１８０Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉであり、
前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量の変動係数が、０．１００以下である液体フィルター用基材。
＜２＞ 前記ポリオレフィン微多孔膜の孔径の変動係数が、０．１００以下である＜１＞に記載の液体フィルター用基材。
＜３＞ 前記ポリオレフィン微多孔膜の膜厚の変動係数が、０．１００以下である＜１＞又は＜２＞に記載の液体フィルター用基材。
＜４＞ 前記ポリオレフィン微多孔膜の空孔率の変動係数が、０．１００以下である＜１＞～＜３＞のいずれか１項に記載の液体フィルター用基材。
＜５＞ 前記ポリオレフィン微多孔膜の膜厚の平均値が、３μｍ～２０μｍである＜１＞～＜４＞のいずれか１項に記載の液体フィルター用基材。
＜６＞ 前記ポリオレフィン微多孔膜の空孔率の平均値が、３５％～６０％である＜１＞～＜５＞のいずれか１項に記載の液体フィルター用基材。
＜１＞ ポリオレフィン微多孔膜を含む液体フィルター用基材であって、
前記ポリオレフィン微多孔膜の孔径の平均値が、１ｎｍ～５０ｎｍであり、
前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量の平均値が、０．００３Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ～０．１８０Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉであり、
前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量の変動係数が、０．１００以下である液体フィルター用基材。
＜２＞ 前記ポリオレフィン微多孔膜の孔径の変動係数が、０．１００以下である＜１＞に記載の液体フィルター用基材。
＜３＞ 前記ポリオレフィン微多孔膜の膜厚の変動係数が、０．１００以下である＜１＞又は＜２＞に記載の液体フィルター用基材。
＜４＞ 前記ポリオレフィン微多孔膜の空孔率の変動係数が、０．１００以下である＜１＞～＜３＞のいずれか１項に記載の液体フィルター用基材。
＜５＞ 前記ポリオレフィン微多孔膜の膜厚の平均値が、３μｍ～２０μｍである＜１＞～＜４＞のいずれか１項に記載の液体フィルター用基材。
＜６＞ 前記ポリオレフィン微多孔膜の空孔率の平均値が、３５％～６０％である＜１＞～＜５＞のいずれか１項に記載の液体フィルター用基材。
【発明の効果】
【0008】
本開示によれば、小孔径でもろ過時間のバラツキが抑えられる液体フィルター用基材を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本開示の実施形態について詳細に説明する。但し、本開示は以下の実施形態に限定されるものではない。以下の実施形態において、その構成要素（要素ステップ等も含む）は、特に明示した場合を除き、必須ではない。数値及びその範囲についても同様であり、本開示を制限するものではない。
【0010】
本開示において「工程」との語には、他の工程から独立した工程に加え、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の目的が達成されれば、当該工程も含まれる。
本開示において「～」を用いて示された数値範囲には、「～」の前後に記載される数値がそれぞれ最小値及び最大値として含まれる。
本開示中に段階的に記載されている数値範囲において、一つの数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本開示中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
本開示において、各成分には、該当する物質が複数種含まれていてもよい。組成物中に各成分に該当する物質が複数種存在する場合、各成分の含有率又は含有量は、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数種の物質の合計の含有率又は含有量を意味する。
本開示において「層」又は「膜」との語には、当該層又は膜が存在する領域を観察したときに、当該領域の全体に形成されている場合に加え、当該領域の一部にのみ形成されている場合も含まれる。
本開示において「～」を用いて示された数値範囲には、「～」の前後に記載される数値がそれぞれ最小値及び最大値として含まれる。
本開示中に段階的に記載されている数値範囲において、一つの数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本開示中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
本開示において、各成分には、該当する物質が複数種含まれていてもよい。組成物中に各成分に該当する物質が複数種存在する場合、各成分の含有率又は含有量は、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数種の物質の合計の含有率又は含有量を意味する。
本開示において「層」又は「膜」との語には、当該層又は膜が存在する領域を観察したときに、当該領域の全体に形成されている場合に加え、当該領域の一部にのみ形成されている場合も含まれる。
【0011】
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜に関し、「長手方向」とは、長尺状に製造されるポリオレフィン微多孔膜の長尺方向を意味し、「幅方向」とは、ポリオレフィン微多孔膜の長手方向に直交する方向を意味する。以下、「幅方向」を「ＴＤ」とも称し、「長手方向」を「ＭＤ」とも称する。
また、液体フィルター用基材における「幅方向」は、ポリオレフィン微多孔膜における長手方向に直交する方向と同方向を意味する。
また、液体フィルター用基材における「幅方向」は、ポリオレフィン微多孔膜における長手方向に直交する方向と同方向を意味する。
【0012】
［液体フィルター用基材］
本開示の液体フィルター用基材は、ポリオレフィン微多孔膜を含む液体フィルター用基材であって、前記ポリオレフィン微多孔膜の孔径の平均値が、１ｎｍ～５０ｎｍであり、前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量の平均値が、０．００３Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ～０．１８０Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉであり、前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量の変動係数が、０．１００以下であるものである。
本開示の液体フィルター用基材によれば、小孔径でもろ過時間のバラツキが抑えられる。その理由は明確ではないが、以下のように推察される。
本開示の液体フィルター用基材では、ポリオレフィン微多孔膜の水流量の平均値が０．００３Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ～０．１８０Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉとされるため、液体フィルターとしての透水性能を十分に得られやすくなるばかりでなく、フィルターを介した送液の安定性が長期に渡って得られやすくなる。また、本開示の液体フィルター用基材では、ポリオレフィン微多孔膜の孔径の平均値が１ｎｍ～５０ｎｍとされるため、十分な液体透過性を得ることできると共に、例えば、約１０ｎｍ以下の微小粒子を非常に高度に捕集することができる。以上のことから、本開示の液体フィルター用基材は、先端半導体用の液体フィルターとして有効に機能しうると推察される。
一方、ポリオレフィン微多孔膜の孔径の平均値が５０ｎｍ以下と小孔径になると、液体フィルター用基材の幅方向におけるろ過時間のバラツキが生じやすくなる傾向にある。しかしながら、本開示ではポリオレフィン微多孔膜の水流量の変動係数が０．１００以下とされるため、フィルターの幅方向にかかる圧力が不均一となりにくく、ろ過時間のバラツキが抑えられると推察される。
以上のことから、本開示の液体フィルター用基材によれば、フィルター全体で液体を均一に濾過しやすくなる結果、フィルター性能の劣化やろ過寿命の低下が抑制されやすくなる傾向にある。
本開示の液体フィルター用基材は、ポリオレフィン微多孔膜を含む液体フィルター用基材であって、前記ポリオレフィン微多孔膜の孔径の平均値が、１ｎｍ～５０ｎｍであり、前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量の平均値が、０．００３Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ～０．１８０Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉであり、前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量の変動係数が、０．１００以下であるものである。
本開示の液体フィルター用基材によれば、小孔径でもろ過時間のバラツキが抑えられる。その理由は明確ではないが、以下のように推察される。
本開示の液体フィルター用基材では、ポリオレフィン微多孔膜の水流量の平均値が０．００３Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ～０．１８０Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉとされるため、液体フィルターとしての透水性能を十分に得られやすくなるばかりでなく、フィルターを介した送液の安定性が長期に渡って得られやすくなる。また、本開示の液体フィルター用基材では、ポリオレフィン微多孔膜の孔径の平均値が１ｎｍ～５０ｎｍとされるため、十分な液体透過性を得ることできると共に、例えば、約１０ｎｍ以下の微小粒子を非常に高度に捕集することができる。以上のことから、本開示の液体フィルター用基材は、先端半導体用の液体フィルターとして有効に機能しうると推察される。
一方、ポリオレフィン微多孔膜の孔径の平均値が５０ｎｍ以下と小孔径になると、液体フィルター用基材の幅方向におけるろ過時間のバラツキが生じやすくなる傾向にある。しかしながら、本開示ではポリオレフィン微多孔膜の水流量の変動係数が０．１００以下とされるため、フィルターの幅方向にかかる圧力が不均一となりにくく、ろ過時間のバラツキが抑えられると推察される。
以上のことから、本開示の液体フィルター用基材によれば、フィルター全体で液体を均一に濾過しやすくなる結果、フィルター性能の劣化やろ過寿命の低下が抑制されやすくなる傾向にある。
【0013】
（ポリオレフィン微多孔膜）
本開示の液体フィルター用基材は、ポリオレフィン微多孔膜を含む。本開示の液体フィルター用基材は、ポリオレフィン微多孔膜のみからなる基材であってもよいし、ポリオレフィン微多孔膜と他の層（例えば、塗布層又は多孔質基材）とが積層された基材であってもよい。また、ポリオレフィン微多孔膜は、複数のポリオレフィン多孔質層が積層された構造を有する積層膜であってもよい。
ポリオレフィン微多孔膜は、ポリオレフィンを含んで構成された微多孔膜である。ここで、微多孔膜とは、内部に多数の微細孔を有し、これら微細孔が連結された構造となっており、一方の面から他方の面へと気体又は液体が通過可能となった膜を意味する。
なお、ポリオレフィン微多孔膜において、ポリオレフィンはポリオレフィン微多孔膜１００質量部に対して９０質量部以上含まれていることが好ましく、残部として本開示の効果に影響を与えない範囲で有機フィラー、無機フィラー、界面活性剤等の添加剤が含まれてもよい。
本開示の液体フィルター用基材は、ポリオレフィン微多孔膜を含む。本開示の液体フィルター用基材は、ポリオレフィン微多孔膜のみからなる基材であってもよいし、ポリオレフィン微多孔膜と他の層（例えば、塗布層又は多孔質基材）とが積層された基材であってもよい。また、ポリオレフィン微多孔膜は、複数のポリオレフィン多孔質層が積層された構造を有する積層膜であってもよい。
ポリオレフィン微多孔膜は、ポリオレフィンを含んで構成された微多孔膜である。ここで、微多孔膜とは、内部に多数の微細孔を有し、これら微細孔が連結された構造となっており、一方の面から他方の面へと気体又は液体が通過可能となった膜を意味する。
なお、ポリオレフィン微多孔膜において、ポリオレフィンはポリオレフィン微多孔膜１００質量部に対して９０質量部以上含まれていることが好ましく、残部として本開示の効果に影響を与えない範囲で有機フィラー、無機フィラー、界面活性剤等の添加剤が含まれてもよい。
【0014】
（孔径）
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜は、孔径の平均値が１ｎｍ～５０ｎｍである。孔径の平均値が１ｎｍ～５０ｎｍであることは、小孔径であることを示す。ポリオレフィン微多孔膜の孔径の平均値が１ｎｍ以上であれば、液体フィルターとしての十分な液体透過性を得ることできる。このような観点から、孔径の平均値は１０ｎｍ以上が好ましく、１１ｎｍ以上がより好ましく、さらには１３ｎｍ以上が好ましい。一方、ポリオレフィン微多孔膜の孔径の平均値が５０ｎｍ以下であると、例えば１０ｎｍ程度の微小な粒子を非常に高度に捕集することができる。このような観点から、孔径の平均値は４０ｎｍ以下が好ましく、３０ｎｍ以下がより好ましく、さらには２５ｎｍ以下が好ましく、特に２０ｎｍ以下が好ましい。
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜は、孔径の平均値が１ｎｍ～５０ｎｍである。孔径の平均値が１ｎｍ～５０ｎｍであることは、小孔径であることを示す。ポリオレフィン微多孔膜の孔径の平均値が１ｎｍ以上であれば、液体フィルターとしての十分な液体透過性を得ることできる。このような観点から、孔径の平均値は１０ｎｍ以上が好ましく、１１ｎｍ以上がより好ましく、さらには１３ｎｍ以上が好ましい。一方、ポリオレフィン微多孔膜の孔径の平均値が５０ｎｍ以下であると、例えば１０ｎｍ程度の微小な粒子を非常に高度に捕集することができる。このような観点から、孔径の平均値は４０ｎｍ以下が好ましく、３０ｎｍ以下がより好ましく、さらには２５ｎｍ以下が好ましく、特に２０ｎｍ以下が好ましい。
【0015】
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜は、ろ過時間のバラツキをより抑制する観点から、孔径の変動係数が０．１００以下であることが好ましく、０．０９５以下であることがより好ましく、０．０９３以下であることがさらに好ましく、０．０８５以下であることが特に好ましい。孔径の変動係数は、０．００１５以上であってもよく、好ましくは０．０２０以上であってもよい。孔径の変動係数は、０．００１５～０．１００であることが好ましい。
【0016】
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜の孔径の値並びにその平均値及び変動係数は、実施例の欄に記載された方法により求められた値をいう。
【0017】
（水流量）
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜は、水流量の平均値が、０．００３Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ～０．１８０Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉである。ポリオレフィン微多孔膜の水流量の平均値が０．００３Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ以上であれば、液体フィルターとしての透水性能を十分に得られやすくなるばかりでなく、フィルターを介した送液の安定性（例えば、一定の送液量を維持するための動力負荷の安定性や一定の送液圧力（一定の動力負荷）下での送液量の安定性）が長期に渡って得られやすくなるため好ましい。このような観点から、ポリオレフィン微多孔膜の水流量の平均値は０．００４Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ以上が好ましく、０．００５Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ以上がより好ましい。一方、ポリオレフィン微多孔膜の水流量の平均値が０．１８０Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ以下である場合、例えば、約１０ｎｍ以下の微小粒子を高度に捕集しやすくなるため、好ましい。このような観点から、ポリオレフィン微多孔膜の水流量の平均値は０．１５０Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ以下が好ましく、０．１００Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ以下がより好ましい。
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜は、水流量の平均値が、０．００３Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ～０．１８０Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉである。ポリオレフィン微多孔膜の水流量の平均値が０．００３Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ以上であれば、液体フィルターとしての透水性能を十分に得られやすくなるばかりでなく、フィルターを介した送液の安定性（例えば、一定の送液量を維持するための動力負荷の安定性や一定の送液圧力（一定の動力負荷）下での送液量の安定性）が長期に渡って得られやすくなるため好ましい。このような観点から、ポリオレフィン微多孔膜の水流量の平均値は０．００４Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ以上が好ましく、０．００５Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ以上がより好ましい。一方、ポリオレフィン微多孔膜の水流量の平均値が０．１８０Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ以下である場合、例えば、約１０ｎｍ以下の微小粒子を高度に捕集しやすくなるため、好ましい。このような観点から、ポリオレフィン微多孔膜の水流量の平均値は０．１５０Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ以下が好ましく、０．１００Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ以下がより好ましい。
【0018】
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜は、ろ過時間のバラツキをより抑制する観点から、水流量の変動係数が０．１００以下であることが好ましく、０．０９５以下であることがより好ましく、０．０９０以下であることがさらに好ましく、０．０８０以下であることが特に好ましい。水流量の変動係数は、０．０１０以上であってもよく、好ましくは０．０１５以上であってもよい。水流量の変動係数は、０．０１０～０．１００であることが好ましい。
【0019】
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜の水流量の値並びにその平均値及び変動係数は、実施例の欄に記載された方法により求められた値をいう。
【0020】
（膜厚）
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜の膜厚の平均値は、３μｍ～２０μｍであることが好ましい。ポリオレフィン微多孔膜の膜厚の平均値が３μｍ以上である場合、十分な力学強度が得られやすく、ポリオレフィン微多孔膜の加工時等におけるハンドリング性、及びフィルターカートリッジの長期使用における耐久性が得られやすくなるため好ましい。このような観点から、ポリオレフィン微多孔膜の膜厚の平均値は４μｍ以上がより好ましく、５μｍ以上がさらに好ましく、６μｍ以上が特に好ましい。一方、膜厚の平均値が２０μｍ以下である場合、ポリオレフィン微多孔膜単膜で幅方向の厚さ変動が少なくなるばかりでなく、十分な液体透過性を得ることができ、所定の大きさのフィルターカートリッジにおいて、より多くのろ過面積を得られやすくなり、ポリオレフィン微多孔膜の加工時のフィルターの流量設計及び構造設計がし易くなるため好ましい。このような観点から、ポリオレフィン微多孔膜の膜厚の平均値は１８μｍ以下がより好ましく、１６μｍ以下がさらに好ましく、１４μｍ以下が特に好ましい。
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜の膜厚の平均値は、３μｍ～２０μｍであることが好ましい。ポリオレフィン微多孔膜の膜厚の平均値が３μｍ以上である場合、十分な力学強度が得られやすく、ポリオレフィン微多孔膜の加工時等におけるハンドリング性、及びフィルターカートリッジの長期使用における耐久性が得られやすくなるため好ましい。このような観点から、ポリオレフィン微多孔膜の膜厚の平均値は４μｍ以上がより好ましく、５μｍ以上がさらに好ましく、６μｍ以上が特に好ましい。一方、膜厚の平均値が２０μｍ以下である場合、ポリオレフィン微多孔膜単膜で幅方向の厚さ変動が少なくなるばかりでなく、十分な液体透過性を得ることができ、所定の大きさのフィルターカートリッジにおいて、より多くのろ過面積を得られやすくなり、ポリオレフィン微多孔膜の加工時のフィルターの流量設計及び構造設計がし易くなるため好ましい。このような観点から、ポリオレフィン微多孔膜の膜厚の平均値は１８μｍ以下がより好ましく、１６μｍ以下がさらに好ましく、１４μｍ以下が特に好ましい。
【0021】
例えば、同じ大きさのハウジングにフィルターカートリッジを収めることを想定した場合、濾材（フィルター用基材を含む構成材全体）の厚さが薄いほど、濾材面積を大きくすることができるため、液体フィルターとして好ましい高流量及び低ろ過圧力の設計が可能になる。すなわち、液体フィルターとして、同じ流量を維持したい場合にはろ過圧力が低くなり、同じろ過圧力を維持したい場合には流量が高くなるように設計することが可能になる。特に、ろ過圧力が低くなることによって、一旦捕集された異物が、濾材内部でろ過圧力に継続して曝されることにより、時間の経過とともに濾材内部からろ過液とともに押し出されて漏れ出す確率が著しく低下するといった効果が期待できる。また、ろ過圧力が低くなることによって、ろ過する液体中に溶存するガスが、ろ過前後での圧力差（ろ過後の圧力低下）によって微小な気泡となって現れる確率が著しく低下するといった効果が期待できる。さらに、薬液等のろ過対象物のろ過歩留まりが向上するといった効果、及び、薬液等のろ過対象物の品質を長時間に渡って高度に維持する効果が期待できる。
【0022】
その一方で、濾材の厚さが薄いほど、濾材の強度及び耐久性能が低下するが、例えば、フィルター設計において、粗目の高強度支持体と複合化する（例えば、重ね合せて折込む等の加工を行う）ことで補強しながら、耐久性と流量の設計を調整することも可能になる。
【0023】
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜は、ろ過時間のバラツキをより抑制する観点から、膜厚の変動係数が０．１００以下であることが好ましく、０．０９５以下であることがより好ましく、０．０９０以下であることがさらに好ましく、０．０６５以下であることが特に好ましい。膜厚の変動係数は、０．００１５以上であってもよく、好ましくは０．０２０以上であってもよい。膜厚の変動係数は、０．００１５～０．１００であることが好ましい。
【0024】
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜の膜厚の値並びにその平均値及び変動係数は、実施例の欄に記載された方法により求められた値をいう。
【0025】
（空孔率）
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜の空孔率の平均値は、３５％～６０％であることが好ましい。ポリオレフィン微多孔膜の空孔率の平均値が３５％以上である場合、透液性能が良好なものとなり、このような観点から３６％以上がより好ましく、３８％以上がさらに好ましく、４０％以上が特に好ましい。一方、空孔率の平均値が６０％以下である場合、ポリオレフィン微多孔膜の力学強度が良好なものとなりハンドリング性も向上する点で好ましい。このような観点からポリオレフィン微多孔膜の空孔率の平均値は、５８％以下がより好ましく、５５％以下が更に好ましい。
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜の空孔率の平均値は、３５％～６０％であることが好ましい。ポリオレフィン微多孔膜の空孔率の平均値が３５％以上である場合、透液性能が良好なものとなり、このような観点から３６％以上がより好ましく、３８％以上がさらに好ましく、４０％以上が特に好ましい。一方、空孔率の平均値が６０％以下である場合、ポリオレフィン微多孔膜の力学強度が良好なものとなりハンドリング性も向上する点で好ましい。このような観点からポリオレフィン微多孔膜の空孔率の平均値は、５８％以下がより好ましく、５５％以下が更に好ましい。
【0026】
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜は、ろ過時間のバラツキをより抑制する観点から、空孔率の変動係数が０．１００以下であることが好ましく、０．０９５以下であることがより好ましく、０．０９０以下であることがさらに好ましく、０．０７５以下であることが特に好ましい。空孔率の変動係数は、０．０２０以上であってもよく、好ましくは０．０２５以上であってもよい。空孔率の変動係数は、０．０２０～０．１００であることが好ましい。
【0027】
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜の空孔率の値並びにその平均値及び変動係数は、実施例の欄に記載された方法により求められた値をいう。
【0028】
（カルシウム含有量）
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜におけるカルシウムの含有量が２０００ｐｐｂ以下であることが好ましい。カルシウム含有量が２０００ｐｐｂ以下であると、フィルターカートリッジを製造する際の洗浄時間を著しく短縮できるだけでなく、洗浄時に使用する水等の溶媒も大きく削減することができる。このような観点からポリオレフィン微多孔膜のカルシウム含有量は１５００ｐｐｂ以下がより好ましく、１３００ｐｐｂ以下であることがさらに好ましく、１０００ｐｐｂ以下であることが特に好ましく、８００ｐｐｂ以下であることが極めて好ましい。一方、カルシウム含有量はできるだけ少ない方がフィルターカートリッジの製造効率という観点では好ましい。しかし、現実的には製造原料に微量のカルシウムが含まれていたり、ポリオレフィン微多孔膜の製造工程において微量のカルシウムが混入する場合があるため、カルシウム含有量を少なくすることは難しい。ポリオレフィン微多孔膜のカルシウム含有量は０ｐｐｂ以上であってもよく、１ｐｐｂ以上であってもよく、１０ｐｐｂ以上であってもよく、５０ｐｐｂであってもよい。カルシウム含有量が２０００ｐｐｂ以下であれば、フィルターカートリッジの製造効率を大幅に向上させることができる。
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜におけるカルシウムの含有量が２０００ｐｐｂ以下であることが好ましい。カルシウム含有量が２０００ｐｐｂ以下であると、フィルターカートリッジを製造する際の洗浄時間を著しく短縮できるだけでなく、洗浄時に使用する水等の溶媒も大きく削減することができる。このような観点からポリオレフィン微多孔膜のカルシウム含有量は１５００ｐｐｂ以下がより好ましく、１３００ｐｐｂ以下であることがさらに好ましく、１０００ｐｐｂ以下であることが特に好ましく、８００ｐｐｂ以下であることが極めて好ましい。一方、カルシウム含有量はできるだけ少ない方がフィルターカートリッジの製造効率という観点では好ましい。しかし、現実的には製造原料に微量のカルシウムが含まれていたり、ポリオレフィン微多孔膜の製造工程において微量のカルシウムが混入する場合があるため、カルシウム含有量を少なくすることは難しい。ポリオレフィン微多孔膜のカルシウム含有量は０ｐｐｂ以上であってもよく、１ｐｐｂ以上であってもよく、１０ｐｐｂ以上であってもよく、５０ｐｐｂであってもよい。カルシウム含有量が２０００ｐｐｂ以下であれば、フィルターカートリッジの製造効率を大幅に向上させることができる。
【0029】
また、本開示では、孔径の平均値が１ｎｍ～５０ｎｍという微小な空孔を有するポリオレフィン微多孔膜を適用する。このような微小な空孔を有するポリオレフィン微多孔膜では比表面積が格段に大きくなり、溶出する金属イオン等も増加する傾向にある。しかしながら、カルシウム含有量が２０００ｐｐｂ以下であれば、このような微小な空孔を有するポリオレフィン微多孔膜であっても、フィルターカートリッジの製造効率を大幅に向上させることができる。また、ポリオレフィン微多孔膜のカルシウム含有量が１ｐｐｂ以上であれば、ポリオレフィンに微量に残留する恐れがある重合触媒由来の塩化物イオンを十分に中和でき、ポリオレフィン微多孔膜の製造設備におけるステンレス等の配管を腐食する恐れがなくなる。このような観点から、ポリオレフィン微多孔膜のカルシウム含有量は１０ｐｐｂ以上が好ましく、５０ｐｐｂ以上がより好ましい。
【0030】
なお、本開示において、ポリオレフィン微多孔膜のカルシウム含有量を２０００ｐｐｂ以下に調整する方法としては特に制限されないが、例えば、ポリオレフィン微多孔膜を構成するポリオレフィン原料としてカルシウムの含有量が０ｐｐｂ以上１０００ｐｐｂ以下のものを使用すること、ポリオレフィン微多孔膜の製造後に酸等で長時間洗浄すること等が挙げられる。ポリオレフィン微多孔膜の内部までカルシウム含有量を十分に低減できる観点から、カルシウム含有量の低いポリオレフィン原料を用いることが好ましい。
【0031】
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜におけるカルシウムの含有量は、実施例の欄に記載された方法により求められた値をいう。
【0032】
また、ポリオレフィン微多孔膜の多孔質構造の制御方法は特に制限されるものではない。例えば、ポリオレフィン樹脂の組成、原料中のポリオレフィン樹脂濃度、原料中に複数の溶剤を混合して使用する場合はその混合比率、押出シート状物内部の溶剤を絞り出すための加熱温度、押し圧力、加熱時間、延伸倍率、延伸後の熱処理（熱固定）温度、抽出溶媒への浸漬時間、アニール処理の温度及び時間等によって制御し得る。
【0033】
（ポリオレフィン）
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜を構成するポリオレフィンとしては、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブチレン、ポリメチルペンテン等の単独重合体若しくは共重合体、又はこれらの２種以上の混合物を用いることができる。この中でも、ポリエチレンが好ましい。ポリエチレンとしては、高密度ポリエチレン、高密度ポリエチレンと超高分子量ポリエチレンとの混合物等が好適である。また、ポリエチレンとそれ以外の成分とを組み合わせて用いてもよい。ポリエチレン以外の成分としては、例えばポリプロピレン、ポリブチレン、ポリメチルペンテン、ポリプロピレンとポリエチレンとの共重合体などが挙げられる。また、ポリオレフィンとして、性質の相互に異なるポリオレフィン同士を組み合わせて用いてもよい。具体的に、重合度又は分岐度が互いに異なる、相溶性に乏しいポリオレフィン同士を組み合わせて用いてもよく、換言すれば結晶性、延伸性又は分子配向性が互いに異なるポリオレフィン同士を組み合わせて用いてもよい。
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜を構成するポリオレフィンとしては、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブチレン、ポリメチルペンテン等の単独重合体若しくは共重合体、又はこれらの２種以上の混合物を用いることができる。この中でも、ポリエチレンが好ましい。ポリエチレンとしては、高密度ポリエチレン、高密度ポリエチレンと超高分子量ポリエチレンとの混合物等が好適である。また、ポリエチレンとそれ以外の成分とを組み合わせて用いてもよい。ポリエチレン以外の成分としては、例えばポリプロピレン、ポリブチレン、ポリメチルペンテン、ポリプロピレンとポリエチレンとの共重合体などが挙げられる。また、ポリオレフィンとして、性質の相互に異なるポリオレフィン同士を組み合わせて用いてもよい。具体的に、重合度又は分岐度が互いに異なる、相溶性に乏しいポリオレフィン同士を組み合わせて用いてもよく、換言すれば結晶性、延伸性又は分子配向性が互いに異なるポリオレフィン同士を組み合わせて用いてもよい。
【0034】
特に、本開示に用いるポリオレフィンとしては、重量平均分子量が３００万～６００万である高分子量ポリエチレンと、重量平均分子量が２０万～８０万である低分子量ポリエチレンと、を混合させたポリエチレン組成物を用いることが好ましい。これは、２種以上のポリエチレンを適量配合することによって、延伸時のフィブリル化に伴うネットワーク網状構造を形成させ、空孔発生率を増加させる効果がある。
特に、高分子量ポリエチレンと低分子量ポリエチレンとの配合比は、質量比で１５：８５～８５：１５であることが好ましく、１９：８１～８１：１９であることがより好ましい。
低分子量ポリエチレンとしては、密度が０．９２ｇ／ｃｍ３～０．９８ｇ／ｃｍ３である高密度ポリエチレンが好ましい。
特に、高分子量ポリエチレンと低分子量ポリエチレンとの配合比は、質量比で１５：８５～８５：１５であることが好ましく、１９：８１～８１：１９であることがより好ましい。
低分子量ポリエチレンとしては、密度が０．９２ｇ／ｃｍ３～０．９８ｇ／ｃｍ３である高密度ポリエチレンが好ましい。
【0035】
なお、重量平均分子量は、ポリオレフィン微多孔膜の試料をｏ－ジクロロベンゼン中に加熱溶解し、ＧＰＣ（Ｗａｔｅｒｓ社製 Ａｌｌｉａｎｃｅ ＧＰＣ ２０００型、カラム；ＧＭＨ６－ＨＴ及びＧＭＨ６－ＨＴＬ）により、カラム温度１３５℃、流速１．０ｍＬ／分の条件にて測定することで得られる。分子量の校正には単分散ポリスチレン（東ソー社製）を用いることができる。
【0036】
本開示において、ポリオレフィン微多孔膜を構成するポリオレフィンは、カルシウムの含有量が０ｐｐｂ以上１０００ｐｐｂ以下であることが好ましく、５０ｐｐｂ以上５００ｐｐｂ以下がより好ましく、１００ｐｐｂ以上３００ｐｐｂ以下が更に好ましい。
カルシウムの含有量を１０００ｐｐｂ以下に調整する方法としては、重合後のポリオレフィンへ添加する金属石鹸（ステアリン酸カルシウム等）の量を調整する方法が挙げられる。また、市販のポリオレフィン原料を酸洗浄して調整する方法も挙げられる。
本開示において、ポリオレフィンのカルシウムの含有量は、実施例の欄に記載された方法により求められた値をいう。
カルシウムの含有量を１０００ｐｐｂ以下に調整する方法としては、重合後のポリオレフィンへ添加する金属石鹸（ステアリン酸カルシウム等）の量を調整する方法が挙げられる。また、市販のポリオレフィン原料を酸洗浄して調整する方法も挙げられる。
本開示において、ポリオレフィンのカルシウムの含有量は、実施例の欄に記載された方法により求められた値をいう。
【0037】
＜液体フィルター＞
上述した本開示の液体フィルター用基材は、薬液との親和性付与加工が適宜行われた上で、カートリッジ形体に加工され、液体フィルターとして用いることができる。液体フィルターは、有機物及び無機物の少なくとも一方からなる粒子を含む、又は、当該粒子を含んでいる可能性がある被処理液から、当該粒子を除去するための器具である。粒子は被処理液中において固体状又はゲル状で存在する。本開示の液体フィルターは、粒径が数ｎｍ程度の非常に微細な粒子を除去する場合に好適である。また、液体フィルターは半導体の製造工程のみならず、例えばディスプレイ製造、研磨等の他の製造工程においても用いることができる。
上述した本開示の液体フィルター用基材は、薬液との親和性付与加工が適宜行われた上で、カートリッジ形体に加工され、液体フィルターとして用いることができる。液体フィルターは、有機物及び無機物の少なくとも一方からなる粒子を含む、又は、当該粒子を含んでいる可能性がある被処理液から、当該粒子を除去するための器具である。粒子は被処理液中において固体状又はゲル状で存在する。本開示の液体フィルターは、粒径が数ｎｍ程度の非常に微細な粒子を除去する場合に好適である。また、液体フィルターは半導体の製造工程のみならず、例えばディスプレイ製造、研磨等の他の製造工程においても用いることができる。
【0038】
液体フィルター用基材としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン等の多孔質基材がよく知られている。上述した本開示のポリオレフィン微多孔膜を含む基材を液体フィルター用基材として用いた場合、ポリテトラフルオロエチレン多孔質基材と比べると、薬液との親和性がよい。そのため、例えば、フィルターの薬液との親和性付与加工が容易になること、フィルターハウジング内にフィルターカートリッジを装填して薬液のろ過を開始する際のフィルター内への薬液充填の際に、フィルターカートリッジ内に空気溜りが出来にくく、薬液のろ過歩留まりが良くなる等の効果が発現する。さらに、ポリエチレンの構造そのものにハロゲン元素が含まれないため、使用済みのフィルターカートリッジの取扱いが容易であり、環境負荷を低減できる等の効果がある。
【0039】
＜ポリオレフィン微多孔膜の製造方法及び孔構造の制御方法＞
本開示の液体フィルター用基材に含まれるポリオレフィン微多孔膜は、下記に示す方法で好ましく製造することができる。即ち、
（Ｉ）ポリオレフィン組成物と溶剤とを含む溶液を調製する工程、
（ＩＩ）調製した溶液を溶融混練し、得られた溶融混練物をダイより押出し、冷却固化してゲル状成形物を得る工程、
（ＩＩＩ）ゲル状成形物から予め一部の溶剤を絞り出す工程、
（ＩＶ）一部の溶剤が絞り出されたゲル状成形物を少なくとも一方向に延伸する工程、
（Ｖ）延伸した中間成形物の内部から溶剤を抽出洗浄する工程、
を順次実施することにより、好ましく製造することができる。
本開示の液体フィルター用基材に含まれるポリオレフィン微多孔膜は、下記に示す方法で好ましく製造することができる。即ち、
（Ｉ）ポリオレフィン組成物と溶剤とを含む溶液を調製する工程、
（ＩＩ）調製した溶液を溶融混練し、得られた溶融混練物をダイより押出し、冷却固化してゲル状成形物を得る工程、
（ＩＩＩ）ゲル状成形物から予め一部の溶剤を絞り出す工程、
（ＩＶ）一部の溶剤が絞り出されたゲル状成形物を少なくとも一方向に延伸する工程、
（Ｖ）延伸した中間成形物の内部から溶剤を抽出洗浄する工程、
を順次実施することにより、好ましく製造することができる。
【0040】
工程（Ｉ）ではポリオレフィン組成物と溶剤とを含む溶液を調製する。溶剤は、少なくとも大気圧における沸点が２１０℃未満の揮発性の溶剤であることが好ましい。溶液は好ましくは熱可逆的ゾル・ゲル溶液である。工程（Ｉ）では、具体的に、ポリオレフィン組成物を溶剤に加熱溶解させることによりゾル化させ、熱可逆的ゾル・ゲル溶液を調製する。大気圧における沸点が２１０℃未満の揮発性の溶剤としては、ポリオレフィンを膨潤できるもの又は溶解できるものであれば特に制限はなく、例えば、テトラリン、エチレングリコール、デカリン、トルエン、キシレン、ジエチルトリアミン、エチレンジアミン、ジメチルスルホキシド、ヘキサン等の液体溶剤が好ましく挙げられる。これらは、単独で用いても２種以上を組み合わせて用いてもよい。中でも、デカリン又はキシレンが好ましい。また、本溶液の調製においては、上記の大気圧における沸点が２１０℃未満の揮発性の溶剤以外に、流動パラフィン、パラフィン油、鉱油、ひまし油などの、沸点が２１０℃以上の不揮発性の溶剤を含ませることもできる。
【0041】
工程（Ｉ）の溶液においては、ポリオレフィン微多孔膜の液体透過性能と濾材としての除去性能とを制御する観点から、ポリオレフィン組成物の濃度は１５質量％～４０質量％であることが好ましく、２０質量％～３０質量％であることがより好ましい。ポリオレフィン組成物の濃度が１５質量％以上であると、力学強度が低くなり過ぎない傾向にあるためハンドリング性が良好に保たれ、更には、ポリオレフィン微多孔膜の製膜において割れの発生頻度が抑えられる傾向にある。また、ポリオレフィン組成物の濃度が４０質量％以下であると、空孔が形成され易くなる傾向がある。
【0042】
工程（ＩＩ）は、工程（Ｉ）で調製された溶液を溶融混練し、得られた溶融混練物をダイより押出し、冷却固化してゲル状成形物を得る。好ましくはポリオレフィン組成物の融点ないし融点より６５℃高い温度の温度範囲においてダイより押出して押出物を得て、次いで前記押出物を冷却してゲル状成形物を得る。成形物はシート状に賦形されることが好ましい。
押出物の冷却方法は特に限定されず、水又は有機溶媒へのクエンチによる方法でもよいし、冷却された金属ロールへのキャスティングによる方法でもよい。一般的には、水、又はゾル・ゲル溶液時に使用した揮発性溶媒へのクエンチによる方法が使用される。冷却温度は、１０℃～４０℃が好ましい。なお、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながらゲル状シートを作製することが好ましい。
押出物の冷却方法は特に限定されず、水又は有機溶媒へのクエンチによる方法でもよいし、冷却された金属ロールへのキャスティングによる方法でもよい。一般的には、水、又はゾル・ゲル溶液時に使用した揮発性溶媒へのクエンチによる方法が使用される。冷却温度は、１０℃～４０℃が好ましい。なお、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながらゲル状シートを作製することが好ましい。
【0043】
工程（ＩＩＩ）はゲル状成形物を少なくとも一方向に延伸する前にゲル状成形物内の溶媒の一部を予め絞り出す工程である。工程（ＩＩＩ）の工程では、例えば、上下２つのベルト又はローラーの間隙を通過させる等の方法によりゲル状成形物の面に圧力をかけることによって、好適に実施することが可能である。絞り出す溶媒の量は、ポリオレフィン微多孔膜に要求される液体透過性能及び濾過対象物の除去性能により、調整する必要がある。具体的には上下のベルト又はローラー間の押し圧力、絞り出し工程の温度、及び押し回数により絞り出す溶媒の量を適正な範囲に調整することができる。なお、ゲル状成形物が受ける圧力を、ローラー等を用いて、０．０１ＭＰａ～０．５ＭＰａの範囲に設定することが好ましい。０．０５ＭＰａ～０．２ＭＰａの範囲がさらに好ましい。絞り出し温度は４０℃～１００℃であることが好ましい。また、押し回数は、設備の許容スペースによるため、特に制限なく設定することは可能である。なお、必要に応じて、溶媒の絞り出し前に一段又は複数段の予備加熱を行い、一部の揮発性溶媒をシート内から除去してもよい。その場合、予備加熱温度は５０℃～１００℃が好ましい。また、この予備加熱を行う際、時間は１段につき５分間～９分間であることが好ましい。この場合、除去する揮発性溶媒の量は、加熱装置における搬送距離及び搬送速度で調節する。
【0044】
工程（ＩＶ）は、ゲル状成形物を少なくとも一方向に延伸する工程である。工程（ＩＶ）での延伸は、二軸延伸が好ましく、縦延伸及び横延伸を別々に実施する逐次二軸延伸、縦延伸及び横延伸を同時に実施する同時二軸延伸、いずれの方法も好適に用いることが可能である。また、縦方向に複数回延伸した後に横方向に延伸する方法、縦方向に延伸し横方向に複数回延伸する方法、逐次二軸延伸した後にさらに、縦方向及び／又は横方向に１回もしくは複数回延伸する方法も好ましい。
【0045】
延伸倍率（縦延伸倍率と横延伸倍率の積）は、ポリオレフィン微多孔膜の液体透過性能と濾過対象物の除去性能を制御する観点から、好ましくは４０倍～１０５倍であり、より好ましくは５０倍～１００倍である。延伸倍率が４０倍以上であれば、ポリオレフィン微多孔膜の厚み斑の発生を抑制しやすくなる傾向にある。延伸倍率が１０５倍以下であれば、ポリオレフィン微多孔膜の製膜において割れの発生頻度が低くなる傾向にある。延伸は、溶媒を好適な状態に残存させた状態で行うことが好ましい。延伸温度は８０℃～１２５℃が好ましい。特に１００℃～１２０℃が好ましい。
【0046】
また（ＩＶ）の延伸工程に次いで熱固定処理を行ってもよい。
熱固定温度は、ポリオレフィン微多孔膜の液体透過性能と濾過対象物の除去性能を制御する観点から、１００℃～１４３℃であることが好ましい。１０５℃～１３８℃がさらに好ましい。熱固定温度が１００℃以上であれば、ポリオレフィン微多孔膜の液体透過性能がより向上する傾向にある。熱固定温度が１４３℃以下であれば、ポリオレフィン微多孔膜の濾過対象物の除去性能がより向上する傾向にある。
熱固定温度は、ポリオレフィン微多孔膜の液体透過性能と濾過対象物の除去性能を制御する観点から、１００℃～１４３℃であることが好ましい。１０５℃～１３８℃がさらに好ましい。熱固定温度が１００℃以上であれば、ポリオレフィン微多孔膜の液体透過性能がより向上する傾向にある。熱固定温度が１４３℃以下であれば、ポリオレフィン微多孔膜の濾過対象物の除去性能がより向上する傾向にある。
【0047】
工程（Ｖ）は延伸した中間成形物の内部から溶媒を抽出するために、延伸した中間成形物を洗浄する工程である。ここで、工程（Ｖ）は、延伸した中間成形物（延伸フィルム）の内部から溶媒を抽出するために、塩化メチレン等のハロゲン化炭化水素、ヘキサン等の炭化水素の溶媒で洗浄することが好ましい。溶媒を溜めた槽内に中間成形物を浸漬して洗浄する場合は、２０秒～１５０秒の時間を掛けることが、溶出分が少ないポリオレフィン微多孔膜を得るために好ましく、より好ましくは２５秒～１５０秒であり、特に好ましくは３０秒～１２０秒である。さらに、より洗浄の効果を高めるためには、槽を数段に分け、ポリオレフィン微多孔膜の搬送工程の下流側から、洗浄溶媒を注ぎ入れ、搬送工程の上流側に向けて洗浄溶媒を流し、下流槽における洗浄溶媒の純度を上流槽のものよりも高くすることが好ましい。溶媒を溜めた槽を数段に分ける場合、２槽であってもよく３槽以上であってもよい。各槽における洗浄溶媒の純度の勾配をより緩やかにする観点から、溶媒を溜めた槽は３槽以上が好ましい。
また、ポリオレフィン微多孔膜への要求性能によっては、アニール処理（加熱処理）により熱セットを行っても良い。なお、アニール処理は、工程での搬送性等の観点から５０℃～１５０℃で実施することが好ましく、６０℃～１４０℃がさらに好ましい。経時でのポリオレフィン微多孔膜の収縮を抑制する観点からは、アニール処理は、１００℃～１３０℃が好ましい。
アニール処理を行う場合、ポリオレフィン微多孔膜の幅方向の収縮を抑制することが好ましい。幅方向の収縮を抑制することで、ポリオレフィン微多孔膜についての水流量等の変動係数が小さくなる傾向にある。例えば、ポリオレフィン微多孔膜の幅方向の両端部をクリップ等で固定した状態でアニール処理を行うことで、ポリオレフィン微多孔膜が幅方向に収縮するのが抑制される傾向にある。
また、ポリオレフィン微多孔膜の孔径、膜厚、空孔率及び水流量は、ポリオレフィンの配合、ポリオレフィン溶液中のポリオレフィン組成物の濃度、ベーステープの作成方法、ポリオレフィン溶液中の溶剤の除去方法、ベーステープの延伸条件及び熱処理条件等を適宜調整することで、所定の範囲とすることができる。
また、ポリオレフィン微多孔膜への要求性能によっては、アニール処理（加熱処理）により熱セットを行っても良い。なお、アニール処理は、工程での搬送性等の観点から５０℃～１５０℃で実施することが好ましく、６０℃～１４０℃がさらに好ましい。経時でのポリオレフィン微多孔膜の収縮を抑制する観点からは、アニール処理は、１００℃～１３０℃が好ましい。
アニール処理を行う場合、ポリオレフィン微多孔膜の幅方向の収縮を抑制することが好ましい。幅方向の収縮を抑制することで、ポリオレフィン微多孔膜についての水流量等の変動係数が小さくなる傾向にある。例えば、ポリオレフィン微多孔膜の幅方向の両端部をクリップ等で固定した状態でアニール処理を行うことで、ポリオレフィン微多孔膜が幅方向に収縮するのが抑制される傾向にある。
また、ポリオレフィン微多孔膜の孔径、膜厚、空孔率及び水流量は、ポリオレフィンの配合、ポリオレフィン溶液中のポリオレフィン組成物の濃度、ベーステープの作成方法、ポリオレフィン溶液中の溶剤の除去方法、ベーステープの延伸条件及び熱処理条件等を適宜調整することで、所定の範囲とすることができる。
【実施例0048】
以下、本開示の実施例、比較例及び各種測定方法について説明するが、本開示はこれらの実施例に何ら限定されるものではない。
【0049】
［測定方法］
（膜厚）
ポリエチレン微多孔膜の膜厚は、接触式の膜厚計（株式会社ミツトヨ製）にて測定した。ここで接触端子は底面が直径０．５ｃｍの円柱状のものを用いた。測定圧は０．１Ｎとした。
－平均値－
ポリオレフィン微多孔膜の幅方向（ＴＤ方向）に沿って、製品幅の中心とその中心から各端面に向かって２６ｍｍ間隔になるように５点ずつ計１１点の膜厚を上述のようにして測定し、各測定箇所における膜厚の算術平均として算出された値を、膜厚の平均値とした。
－変動係数－
ポリエチレン微多孔膜の幅方向（ＴＤ方向）に沿って、製品幅の中心とその中心から各端面に向かって２６ｍｍ間隔になるように５点ずつ計１１点の膜厚を上述のようにして測定し、各測定箇所における膜厚の値に基づいて標準偏差σＴＤ１を求めた。次いで、σＴＤ１を計１１点の膜厚の平均値で除算して変動係数ＣＶＴＤ１を求めた。同様の操作を、ポリエチレン微多孔膜の長手方向に沿って５０ｍｍ毎にさらに９回繰り返し、合計１０回分の変動係数ＣＶＴＤ１～ＣＶＴＤ１０を算出した。得られた変動係数ＣＶＴＤ１～ＣＶＴＤ１０の算術平均を、膜厚の変動係数とした。
（膜厚）
ポリエチレン微多孔膜の膜厚は、接触式の膜厚計（株式会社ミツトヨ製）にて測定した。ここで接触端子は底面が直径０．５ｃｍの円柱状のものを用いた。測定圧は０．１Ｎとした。
－平均値－
ポリオレフィン微多孔膜の幅方向（ＴＤ方向）に沿って、製品幅の中心とその中心から各端面に向かって２６ｍｍ間隔になるように５点ずつ計１１点の膜厚を上述のようにして測定し、各測定箇所における膜厚の算術平均として算出された値を、膜厚の平均値とした。
－変動係数－
ポリエチレン微多孔膜の幅方向（ＴＤ方向）に沿って、製品幅の中心とその中心から各端面に向かって２６ｍｍ間隔になるように５点ずつ計１１点の膜厚を上述のようにして測定し、各測定箇所における膜厚の値に基づいて標準偏差σＴＤ１を求めた。次いで、σＴＤ１を計１１点の膜厚の平均値で除算して変動係数ＣＶＴＤ１を求めた。同様の操作を、ポリエチレン微多孔膜の長手方向に沿って５０ｍｍ毎にさらに９回繰り返し、合計１０回分の変動係数ＣＶＴＤ１～ＣＶＴＤ１０を算出した。得られた変動係数ＣＶＴＤ１～ＣＶＴＤ１０の算術平均を、膜厚の変動係数とした。
【0050】
（空孔率）
ポリオレフィン微多孔膜の空孔率（ε）は、下記式により算出した。
ε（％）＝｛１－Ｗｓ／（ｄｓ・ｔ）｝×１００
Ｗｓ：ポリオレフィン微多孔膜の目付け（ｇ／ｍ２）
ｄｓ：ポリオレフィンの真密度（ｇ／ｃｍ３）
ｔ：ポリオレフィン微多孔膜の膜厚（μｍ）
なお、ポリオレフィン微多孔膜の目付けは、サンプルを２ｃｍ×２ｃｍに切り出し、その質量を測定し、質量を面積で割ることで求めた。
－平均値－
ポリエチレン微多孔膜の幅方向（ＴＤ方向）に沿って、製品幅の中心とその中心から各端面に向かって２０ｍｍ間隔になるように３点ずつ計７点において２ｃｍ×２ｃｍのサンプルを切り出し、このサンプルについて上述のようにして空孔率を測定した。各測定サンプルについての算術平均として算出された値を、空孔率の平均値とした。
－変動係数－
ポリエチレン微多孔膜の幅方向（ＴＤ方向）に沿って、製品幅の中心とその中心から各端面に向かって２０ｍｍ間隔になるように３点ずつ計７点の空孔率を上述のようにして測定し、各測定箇所における空孔率の値に基づいて標準偏差σＴＤ１を求めた。次いで、σＴＤ１を計７点の空孔率の平均値で除算して変動係数ＣＶＴＤ１を求めた。同様の操作を、ポリエチレン微多孔膜の長手方向に沿って５０ｍｍ毎にさらに９回繰り返し、合計１０回分の変動係数ＣＶＴＤ１～ＣＶＴＤ１０を算出した。得られた変動係数ＣＶＴＤ１～ＣＶＴＤ１０の算術平均を、空孔率の変動係数とした。
ポリオレフィン微多孔膜の空孔率（ε）は、下記式により算出した。
ε（％）＝｛１－Ｗｓ／（ｄｓ・ｔ）｝×１００
Ｗｓ：ポリオレフィン微多孔膜の目付け（ｇ／ｍ２）
ｄｓ：ポリオレフィンの真密度（ｇ／ｃｍ３）
ｔ：ポリオレフィン微多孔膜の膜厚（μｍ）
なお、ポリオレフィン微多孔膜の目付けは、サンプルを２ｃｍ×２ｃｍに切り出し、その質量を測定し、質量を面積で割ることで求めた。
－平均値－
ポリエチレン微多孔膜の幅方向（ＴＤ方向）に沿って、製品幅の中心とその中心から各端面に向かって２０ｍｍ間隔になるように３点ずつ計７点において２ｃｍ×２ｃｍのサンプルを切り出し、このサンプルについて上述のようにして空孔率を測定した。各測定サンプルについての算術平均として算出された値を、空孔率の平均値とした。
－変動係数－
ポリエチレン微多孔膜の幅方向（ＴＤ方向）に沿って、製品幅の中心とその中心から各端面に向かって２０ｍｍ間隔になるように３点ずつ計７点の空孔率を上述のようにして測定し、各測定箇所における空孔率の値に基づいて標準偏差σＴＤ１を求めた。次いで、σＴＤ１を計７点の空孔率の平均値で除算して変動係数ＣＶＴＤ１を求めた。同様の操作を、ポリエチレン微多孔膜の長手方向に沿って５０ｍｍ毎にさらに９回繰り返し、合計１０回分の変動係数ＣＶＴＤ１～ＣＶＴＤ１０を算出した。得られた変動係数ＣＶＴＤ１～ＣＶＴＤ１０の算術平均を、空孔率の変動係数とした。
【0051】
（孔径）
下記方法により測定された平均流量孔径を、ポリエチレン微多孔膜の孔径とした。
気・液相置換によるポリエチレン微多孔膜の平均流量孔径は、ＰＭＩ社製のパームポロメータ多孔質材料自動細孔径分布測定システム〔Ｃａｐｉｌｌａｒｙ Ｆｌｏｗ Ｐｏｒｏｍｅｔｅｒ〕を用い、細孔径分布測定試験法〔ハーフドライ法（ＡＳＴＭ Ｅ１２９４－８９）〕を適用することにより測定した。なお、使用した試液はフッ素系不活性液体（商品名：フロリナート）であり（界面張力値：１６．０ｄｙｎｅ／ｃｍ）、測定温度は２５℃であり、測定圧力は０ｐｓｉ～５００ｐｓｉの範囲で以下の条件で測定を実施した。
・バブルポイントパラメータ: BUBLFLOW = 50、F/PT = 100、MINBPPRES = 0、ZEROTIME = 1 PULSEDELAY = 2
・ウェットパラメータ: V2INCR = 15、PREGINC = 0.9、MINEQTIME = 30、PRESSLEW = 30、FLOWSLEW = 30、EQITER = 50、AVEITER = 10、MAXPDIF = 1、MAXFDIF = 30
・ドライパラメータ: V2INCR = 40、PREGINC = 2.4、MINEQTIME = 30、PRESSLEW = 30、FLOWSLEW = 30、EQITER = 40、AVEITER = 10、MAXPDIF = 1、MAXFDIF = 30
－平均値－
ポリエチレン微多孔膜の幅方向（ＴＤ方向）に沿って、製品幅の中心とその中心から各端面に向かって５０ｍｍ間隔になるように２点ずつ計５点の孔径を上述のようにして測定し、各測定箇所における孔径の算術平均として算出された値を、孔径の平均値とした。
－変動係数－
ポリエチレン微多孔膜の幅方向（ＴＤ方向）に沿って、製品幅の中心とその中心から各端面に向かって５０ｍｍ間隔になるように２点ずつ計５点の孔径を上述のようにして測定し、各測定箇所における孔径の値に基づいて標準偏差σＴＤ１を求めた。次いで、σＴＤ１を計５点の孔径の平均値で除算して変動係数ＣＶＴＤ１を求めた。同様の操作を、ポリエチレン微多孔膜の長手方向に沿って５０ｍｍ毎にさらに９回繰り返し、合計１０回分の変動係数ＣＶＴＤ１～ＣＶＴＤ１０を算出した。得られた変動係数ＣＶＴＤ１～ＣＶＴＤ１０の算術平均を、孔径の変動係数とした。
下記方法により測定された平均流量孔径を、ポリエチレン微多孔膜の孔径とした。
気・液相置換によるポリエチレン微多孔膜の平均流量孔径は、ＰＭＩ社製のパームポロメータ多孔質材料自動細孔径分布測定システム〔Ｃａｐｉｌｌａｒｙ Ｆｌｏｗ Ｐｏｒｏｍｅｔｅｒ〕を用い、細孔径分布測定試験法〔ハーフドライ法（ＡＳＴＭ Ｅ１２９４－８９）〕を適用することにより測定した。なお、使用した試液はフッ素系不活性液体（商品名：フロリナート）であり（界面張力値：１６．０ｄｙｎｅ／ｃｍ）、測定温度は２５℃であり、測定圧力は０ｐｓｉ～５００ｐｓｉの範囲で以下の条件で測定を実施した。
・バブルポイントパラメータ: BUBLFLOW = 50、F/PT = 100、MINBPPRES = 0、ZEROTIME = 1 PULSEDELAY = 2
・ウェットパラメータ: V2INCR = 15、PREGINC = 0.9、MINEQTIME = 30、PRESSLEW = 30、FLOWSLEW = 30、EQITER = 50、AVEITER = 10、MAXPDIF = 1、MAXFDIF = 30
・ドライパラメータ: V2INCR = 40、PREGINC = 2.4、MINEQTIME = 30、PRESSLEW = 30、FLOWSLEW = 30、EQITER = 40、AVEITER = 10、MAXPDIF = 1、MAXFDIF = 30
－平均値－
ポリエチレン微多孔膜の幅方向（ＴＤ方向）に沿って、製品幅の中心とその中心から各端面に向かって５０ｍｍ間隔になるように２点ずつ計５点の孔径を上述のようにして測定し、各測定箇所における孔径の算術平均として算出された値を、孔径の平均値とした。
－変動係数－
ポリエチレン微多孔膜の幅方向（ＴＤ方向）に沿って、製品幅の中心とその中心から各端面に向かって５０ｍｍ間隔になるように２点ずつ計５点の孔径を上述のようにして測定し、各測定箇所における孔径の値に基づいて標準偏差σＴＤ１を求めた。次いで、σＴＤ１を計５点の孔径の平均値で除算して変動係数ＣＶＴＤ１を求めた。同様の操作を、ポリエチレン微多孔膜の長手方向に沿って５０ｍｍ毎にさらに９回繰り返し、合計１０回分の変動係数ＣＶＴＤ１～ＣＶＴＤ１０を算出した。得られた変動係数ＣＶＴＤ１～ＣＶＴＤ１０の算術平均を、孔径の変動係数とした。
【0052】
（水流量）
ポリオレフィン微多孔膜をエタノールに浸漬し、室温（２４℃）下で乾燥した。このポリオレフィン微多孔膜を４０ｍｍ四方に切出し、直径３７ｍｍのステンレス製の透液セル（透液面積Ｓ：１０．７５ｃｍ２）にセットした。透液セル上の該ポリオレフィン微多孔膜を少量（０．５ｍｌ）のエタノールで湿潤させた後、９０ｋＰａの差圧で予め計量した純水Ｖ（１００ｍｌ）を透過させて、純水全量が透過するのに要した時間Ｔｌ（ｍｉｎ）を計測した。その純水の液量と純水の透過に要した時間から、１ｐｓｉ差圧下における単位時間（ｍｉｎ）・単位面積（ｆｔ２）当たりの透水量Ｖｓ（Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ）を以下の式より計算した。測定は室温２４℃の温度雰囲気下で行った。
Ｖｓ＝（Ｖ／１０００）／Ｔｌ／（Ｓ／９２９．０３）／（９０／６．８９５）
－平均値－
ポリオレフィン微多孔膜の幅方向（ＴＤ方向）に沿って、製品幅の中心とその中心から各端面に向かって１５ｍｍ間隔になるように２点ずつ計５点において４０ｍｍ四方のサンプルを切り出し、このサンプルについて上述のようにして水流量を測定した。各測定サンプルについての算術平均として算出された値を、水流量の平均値とした。
－変動係数－
ポリオレフィン微多孔膜の幅方向（ＴＤ方向）に沿って、製品幅の中心とその中心から各端面に向かって１５ｍｍ間隔になるように２点ずつ計５点の水流量を上述のようにして測定し、各測定箇所における水流量の値に基づいて標準偏差σＶｓ１を求めた。次いで、σＶｓ１を計５点の水流量の平均値で除算して変動係数ＣＶＶｓ１を求めた。同様の操作を、ポリエチレン微多孔膜の長手方向に沿って５０ｍｍ毎にさらに９回繰り返し、合計１０回分の変動係数ＣＶＶｓ１～ＣＶＶｓ１０を算出した。得られた変動係数ＣＶＶｓ１～ＣＶＶｓ１０の算術平均を、水流量の変動係数とした。
ポリオレフィン微多孔膜をエタノールに浸漬し、室温（２４℃）下で乾燥した。このポリオレフィン微多孔膜を４０ｍｍ四方に切出し、直径３７ｍｍのステンレス製の透液セル（透液面積Ｓ：１０．７５ｃｍ２）にセットした。透液セル上の該ポリオレフィン微多孔膜を少量（０．５ｍｌ）のエタノールで湿潤させた後、９０ｋＰａの差圧で予め計量した純水Ｖ（１００ｍｌ）を透過させて、純水全量が透過するのに要した時間Ｔｌ（ｍｉｎ）を計測した。その純水の液量と純水の透過に要した時間から、１ｐｓｉ差圧下における単位時間（ｍｉｎ）・単位面積（ｆｔ２）当たりの透水量Ｖｓ（Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ２／ｐｓｉ）を以下の式より計算した。測定は室温２４℃の温度雰囲気下で行った。
Ｖｓ＝（Ｖ／１０００）／Ｔｌ／（Ｓ／９２９．０３）／（９０／６．８９５）
－平均値－
ポリオレフィン微多孔膜の幅方向（ＴＤ方向）に沿って、製品幅の中心とその中心から各端面に向かって１５ｍｍ間隔になるように２点ずつ計５点において４０ｍｍ四方のサンプルを切り出し、このサンプルについて上述のようにして水流量を測定した。各測定サンプルについての算術平均として算出された値を、水流量の平均値とした。
－変動係数－
ポリオレフィン微多孔膜の幅方向（ＴＤ方向）に沿って、製品幅の中心とその中心から各端面に向かって１５ｍｍ間隔になるように２点ずつ計５点の水流量を上述のようにして測定し、各測定箇所における水流量の値に基づいて標準偏差σＶｓ１を求めた。次いで、σＶｓ１を計５点の水流量の平均値で除算して変動係数ＣＶＶｓ１を求めた。同様の操作を、ポリエチレン微多孔膜の長手方向に沿って５０ｍｍ毎にさらに９回繰り返し、合計１０回分の変動係数ＣＶＶｓ１～ＣＶＶｓ１０を算出した。得られた変動係数ＣＶＶｓ１～ＣＶＶｓ１０の算術平均を、水流量の変動係数とした。
【0053】
（ろ過時間のバラツキ）
ろ過流体である試験液として、フナコシ社製の平均粒子径５ｎｍの金属コロイド（金コロイド）を粒子濃度４０ｐｐｂ含む水溶液を調整して使用した。
濾過寿命を評価するために、ポリエチレン微多孔膜のＴＤ方向に沿って、製品幅の中心部と両端面の３箇所より５ｃｍ四方にポリエチレン微多孔膜を切出した。切出したポリエチレン微多孔膜を、直径３７ｍｍのステンレス製の透液セル（透液面積Ｓ：１０．７５ｃｍ２）にセットした。透液セル上のポリエチレン微多孔膜を少量（０．５ｍｌ）のエタノールで湿潤させた後、差圧０．１ＭＰａで前記試験液２００ｍｌを通液濾過させて、試験液全量が通過するのに要した時間ＴＦを計測した。一番短いろ過時間の値をＴＦを１としたときに、ろ過時間が一番長い値の比が１．２以下である場合をＡとし、１．３を超える場合をＢと評価した。
ろ過流体である試験液として、フナコシ社製の平均粒子径５ｎｍの金属コロイド（金コロイド）を粒子濃度４０ｐｐｂ含む水溶液を調整して使用した。
濾過寿命を評価するために、ポリエチレン微多孔膜のＴＤ方向に沿って、製品幅の中心部と両端面の３箇所より５ｃｍ四方にポリエチレン微多孔膜を切出した。切出したポリエチレン微多孔膜を、直径３７ｍｍのステンレス製の透液セル（透液面積Ｓ：１０．７５ｃｍ２）にセットした。透液セル上のポリエチレン微多孔膜を少量（０．５ｍｌ）のエタノールで湿潤させた後、差圧０．１ＭＰａで前記試験液２００ｍｌを通液濾過させて、試験液全量が通過するのに要した時間ＴＦを計測した。一番短いろ過時間の値をＴＦを１としたときに、ろ過時間が一番長い値の比が１．２以下である場合をＡとし、１．３を超える場合をＢと評価した。
【0054】
（捕集性能）
ろ過時間の測定前における上述の試験液の金属コロイド濃度（Ｍ１）と、ろ過時間の測定で使用したポリエチレン微多孔膜を通過したろ液の金属コロイド濃度（Ｍ２）とから、下記式により粒子の捕集率を求めた。ポリエチレン微多孔膜のＴＤ方向に沿って、製品幅の中心部と両端面の３箇所で測定した捕集率の算術平均値を算出し、ポリエチレン微多孔膜の捕集率とした。溶液の金属濃度は、ＩＣＰ－ＯＥＳ法（高周波誘導結合プラズマ発光分光分析法、装置名：Ａｇｉｌｅｎｔ－ＩＣＰ－ＯＥＳ－５１００、アジレント・テクノロジー株式会社）を用い、標準試薬を希釈し、０ｐｐｂ～１００ｐｐｂの濃度範囲に５点以上をとった検量線をもって金属濃度を決定した。捕集性能は以下の基準で評価した。
捕集率（％）＝（（Ｍ１－Ｍ２）／（Ｍ１））×１００
－評価基準－
・Ａ：捕集率が８０％以上である場合
・Ｂ：捕集率が６０％以上８０％未満の場合
・Ｃ：捕集率が３０％以上６０％未満の場合
ろ過時間の測定前における上述の試験液の金属コロイド濃度（Ｍ１）と、ろ過時間の測定で使用したポリエチレン微多孔膜を通過したろ液の金属コロイド濃度（Ｍ２）とから、下記式により粒子の捕集率を求めた。ポリエチレン微多孔膜のＴＤ方向に沿って、製品幅の中心部と両端面の３箇所で測定した捕集率の算術平均値を算出し、ポリエチレン微多孔膜の捕集率とした。溶液の金属濃度は、ＩＣＰ－ＯＥＳ法（高周波誘導結合プラズマ発光分光分析法、装置名：Ａｇｉｌｅｎｔ－ＩＣＰ－ＯＥＳ－５１００、アジレント・テクノロジー株式会社）を用い、標準試薬を希釈し、０ｐｐｂ～１００ｐｐｂの濃度範囲に５点以上をとった検量線をもって金属濃度を決定した。捕集性能は以下の基準で評価した。
捕集率（％）＝（（Ｍ１－Ｍ２）／（Ｍ１））×１００
－評価基準－
・Ａ：捕集率が８０％以上である場合
・Ｂ：捕集率が６０％以上８０％未満の場合
・Ｃ：捕集率が３０％以上６０％未満の場合
【0055】
（カルシウム（Ｃａ）含有量）
測定試料０．１ｇをフッ素樹脂製容器に正確に秤量し、超高純度硝酸を添加してマイクロウェーブ分解し、ＩＣＰ（高周波誘導結合プラズマ）質量分析法（ＩＣＰ－ＭＳ法 装置名：Ａｇｌｉｅｎｔ７５００ｃｓ、アジレント・テクノロジー株式会社）によりカルシウム含有量をｐｐｂの桁で定量した。
測定試料０．１ｇをフッ素樹脂製容器に正確に秤量し、超高純度硝酸を添加してマイクロウェーブ分解し、ＩＣＰ（高周波誘導結合プラズマ）質量分析法（ＩＣＰ－ＭＳ法 装置名：Ａｇｌｉｅｎｔ７５００ｃｓ、アジレント・テクノロジー株式会社）によりカルシウム含有量をｐｐｂの桁で定量した。
【0056】
（多孔膜からのカルシウム（Ｃａ）溶出量）
表面のゴミを取り除いたポリオレフィン微多孔膜の試料４０００ｃｍ２をフッ素樹脂製容器に入れ、イソプロピルアルコールを６０質量％含む１０質量％塩酸抽出液を２００ｇ注いだ。この容器中に試料を２４時間浸漬させた後、液体中のＣａ濃度をＩＣＰ－ＯＥＳ法（高周波誘導結合プラズマ発光分光分析法、装置名：Ａｇｉｌｅｎｔ－ＩＣＰ－ＯＥＳ－５１００、アジレント・テクノロジー株式会社）にて０．１ｐｐｂの桁まで定量した。ポリエチレン微多孔膜からのＣａ溶出量を、抽出液質量、ポリエチレン微多孔膜の表面積、および抽出液中のＣａ濃度の値から算出し、μｇ／ｍ２の単位にて求めた。
表面のゴミを取り除いたポリオレフィン微多孔膜の試料４０００ｃｍ２をフッ素樹脂製容器に入れ、イソプロピルアルコールを６０質量％含む１０質量％塩酸抽出液を２００ｇ注いだ。この容器中に試料を２４時間浸漬させた後、液体中のＣａ濃度をＩＣＰ－ＯＥＳ法（高周波誘導結合プラズマ発光分光分析法、装置名：Ａｇｉｌｅｎｔ－ＩＣＰ－ＯＥＳ－５１００、アジレント・テクノロジー株式会社）にて０．１ｐｐｂの桁まで定量した。ポリエチレン微多孔膜からのＣａ溶出量を、抽出液質量、ポリエチレン微多孔膜の表面積、および抽出液中のＣａ濃度の値から算出し、μｇ／ｍ２の単位にて求めた。
【0057】
（ポリエチレン微多孔膜の製造方法）
以下に、各実施例及び比較例における、ポリエチレン微多孔膜の製造方法の詳細について言及する。
実施例と比較例との製法上の主な相違点は、実施例では塩化メチレン浴を３槽とする一方比較例では２槽である点、及び、加熱処理を実施する際に実施例ではＴＤ方向に対して幅を一定に固定して行う一方比較例では幅の固定を行わない点である。
以下に、各実施例及び比較例における、ポリエチレン微多孔膜の製造方法の詳細について言及する。
実施例と比較例との製法上の主な相違点は、実施例では塩化メチレン浴を３槽とする一方比較例では２槽である点、及び、加熱処理を実施する際に実施例ではＴＤ方向に対して幅を一定に固定して行う一方比較例では幅の固定を行わない点である。
【0058】
＜実施例１＞
重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量１４０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン２２質量部と、重量平均分子量が５０万でＣａ含有量２３０ｐｐｂである高密度ポリエチレン５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２７質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７２質量部とデカリン（デカヒドロナフタレン）１質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１９０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ゲル状シート（ベーステープ）を作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率５倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１１２℃にて倍率１５倍で延伸し（横延伸）、その後温度１１５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に、熱処理済みのベーステープを３槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第３槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽＜第３層（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、ＴＤ方向に対して幅を一定に固定しながら１１０℃で１分間ＴＤ方向への加熱処理を実施し、６０℃で２０秒間冷却することで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
得られた液体フィルター用基材の物性を表１に示す。なお、以下の実施例及び比較例の物性についても同様に、表１又は表２に示す。
重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量１４０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン２２質量部と、重量平均分子量が５０万でＣａ含有量２３０ｐｐｂである高密度ポリエチレン５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２７質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７２質量部とデカリン（デカヒドロナフタレン）１質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１９０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ゲル状シート（ベーステープ）を作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率５倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１１２℃にて倍率１５倍で延伸し（横延伸）、その後温度１１５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に、熱処理済みのベーステープを３槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第３槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽＜第３層（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、ＴＤ方向に対して幅を一定に固定しながら１１０℃で１分間ＴＤ方向への加熱処理を実施し、６０℃で２０秒間冷却することで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
得られた液体フィルター用基材の物性を表１に示す。なお、以下の実施例及び比較例の物性についても同様に、表１又は表２に示す。
【0059】
＜実施例２＞
縦延伸倍率を６倍にした以外は実施例１と同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
縦延伸倍率を６倍にした以外は実施例１と同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0060】
＜実施例３＞
縦延伸倍率を６．５倍、横延伸倍率を１３．８倍にした以外は実施例１と同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
縦延伸倍率を６．５倍、横延伸倍率を１３．８倍にした以外は実施例１と同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0061】
＜実施例４＞
重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量１１０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン２１質量部と、重量平均分子量が５０万でＣａ含有量２３０ｐｐｂである高密度ポリエチレン５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２６質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７３質量部とデカリン１質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１９０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率５倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１１５℃にて倍率１５倍で延伸し（横延伸）、その後温度１２５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを３槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第３槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽＜第３層（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、ＴＤ方向に対して幅を一定に固定しながら１２０℃で１分間ＴＤ方向への加熱処理を実施し、６０℃で２０秒間冷却することで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量１１０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン２１質量部と、重量平均分子量が５０万でＣａ含有量２３０ｐｐｂである高密度ポリエチレン５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２６質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７３質量部とデカリン１質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１９０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率５倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１１５℃にて倍率１５倍で延伸し（横延伸）、その後温度１２５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを３槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第３槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽＜第３層（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、ＴＤ方向に対して幅を一定に固定しながら１２０℃で１分間ＴＤ方向への加熱処理を実施し、６０℃で２０秒間冷却することで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0062】
＜実施例５＞
重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量１４０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン１８質量部と、重量平均分子量が５０万でＣａ含有量２３０ｐｐｂである高密度ポリエチレン５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２３質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７６質量部とデカリン１質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１９０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率４倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１１５℃にて倍率１５倍で延伸し（横延伸）、その後温度１２５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを３槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第３槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽＜第３層（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、ＴＤ方向に対して幅を一定に固定しながら１２０℃で１分間ＴＤ方向への加熱処理を実施し、６０℃で２０秒間冷却することで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量１４０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン１８質量部と、重量平均分子量が５０万でＣａ含有量２３０ｐｐｂである高密度ポリエチレン５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２３質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７６質量部とデカリン１質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１９０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率４倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１１５℃にて倍率１５倍で延伸し（横延伸）、その後温度１２５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを３槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第３槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽＜第３層（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、ＴＤ方向に対して幅を一定に固定しながら１２０℃で１分間ＴＤ方向への加熱処理を実施し、６０℃で２０秒間冷却することで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0063】
＜実施例６＞
重量平均分子量が４２０万でＣａ含有量３１ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン３質量部と、重量平均分子量が４０万でＣａ含有量３４ｐｐｍである高密度ポリエチレン１４質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が１７質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン５１質量部とデカリン３２質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１９０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率４．５倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１１５℃にて倍率８倍で延伸し（横延伸）、その後温度１２５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを３槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第３槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽＜第３層（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、ＴＤ方向に対して幅を一定に固定しながら１２０℃で１分間ＴＤ方向への加熱処理を実施し、６０℃で２０秒間冷却することで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が４２０万でＣａ含有量３１ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン３質量部と、重量平均分子量が４０万でＣａ含有量３４ｐｐｍである高密度ポリエチレン１４質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が１７質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン５１質量部とデカリン３２質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１９０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率４．５倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１１５℃にて倍率８倍で延伸し（横延伸）、その後温度１２５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを３槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第３槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽＜第３層（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、ＴＤ方向に対して幅を一定に固定しながら１２０℃で１分間ＴＤ方向への加熱処理を実施し、６０℃で２０秒間冷却することで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0064】
＜実施例７＞
重量平均分子量が４２０万でＣａ含有量３１ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン１２質量部と、重量平均分子量が４０万でＣａ含有量３４ｐｐｍである高密度ポリエチレン５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が１７質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン５１質量部とデカリン３２質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１９０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率４倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１１５℃にて倍率９倍で延伸し（横延伸）、その後温度１２５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを３槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第３槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽＜第３層（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、ＴＤ方向に対して幅を一定に固定しながら１２０℃で１分間ＴＤ方向への加熱処理を実施し、６０℃で２０秒間冷却することで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が４２０万でＣａ含有量３１ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン１２質量部と、重量平均分子量が４０万でＣａ含有量３４ｐｐｍである高密度ポリエチレン５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が１７質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン５１質量部とデカリン３２質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１９０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率４倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１１５℃にて倍率９倍で延伸し（横延伸）、その後温度１２５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを３槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第３槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽＜第３層（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、ＴＤ方向に対して幅を一定に固定しながら１２０℃で１分間ＴＤ方向への加熱処理を実施し、６０℃で２０秒間冷却することで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0065】
＜実施例８＞
重量平均分子量が４２０万でＣａ含有量３１ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン６質量部と、重量平均分子量が４０万でＣａ含有量３４ｐｐｍである高密度ポリエチレン２４質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が３０質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン６８質量部とデカリン２質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１９０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度９５℃にて倍率４倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１１０℃にて倍率１１倍で延伸し（横延伸）、その後温度１２０℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを３槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第３槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽＜第３層（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、ＴＤ方向に対して幅を一定に固定しながら１２０℃で１分間ＴＤ方向への加熱処理を実施し、６０℃で２０秒間冷却することで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が４２０万でＣａ含有量３１ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン６質量部と、重量平均分子量が４０万でＣａ含有量３４ｐｐｍである高密度ポリエチレン２４質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が３０質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン６８質量部とデカリン２質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１９０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度９５℃にて倍率４倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１１０℃にて倍率１１倍で延伸し（横延伸）、その後温度１２０℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを３槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第３槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽＜第３層（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、ＴＤ方向に対して幅を一定に固定しながら１２０℃で１分間ＴＤ方向への加熱処理を実施し、６０℃で２０秒間冷却することで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0066】
＜実施例９＞
重量平均分子量が４２０万でＣａ含有量３１ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン１５質量部と、重量平均分子量が４０万でＣａ含有量３４ｐｐｍである高密度ポリエチレン１５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が３０質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン６８質量部とデカリン２質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１９０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率４倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１１５℃にて倍率１０倍で延伸し（横延伸）、その後温度１２５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを３槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第３槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽＜第３層（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、ＴＤ方向に対して幅を一定に固定しながら１２０℃で１分間ＴＤ方向への加熱処理を実施し、６０℃で２０秒間冷却することで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が４２０万でＣａ含有量３１ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン１５質量部と、重量平均分子量が４０万でＣａ含有量３４ｐｐｍである高密度ポリエチレン１５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が３０質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン６８質量部とデカリン２質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１９０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率４倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１１５℃にて倍率１０倍で延伸し（横延伸）、その後温度１２５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを３槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第３槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽＜第３層（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、ＴＤ方向に対して幅を一定に固定しながら１２０℃で１分間ＴＤ方向への加熱処理を実施し、６０℃で２０秒間冷却することで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0067】
＜実施例１０＞
重量平均分子量が４２０万でＣａ含有量３１ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン１７質量部と、重量平均分子量が４０万でＣａ含有量３４ｐｐｍである高密度ポリエチレン４質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２１質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７８質量部とデカリン１質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１９０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率４倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１１５℃にて倍率８倍で延伸し（横延伸）、その後温度１２５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを３槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第３槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽＜第３層（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、ＴＤ方向に対して幅を一定に固定しながら１２０℃で１分間ＴＤ方向への加熱処理を実施し、６０℃で２０秒間冷却することで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が４２０万でＣａ含有量３１ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン１７質量部と、重量平均分子量が４０万でＣａ含有量３４ｐｐｍである高密度ポリエチレン４質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２１質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７８質量部とデカリン１質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１９０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率４倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１１５℃にて倍率８倍で延伸し（横延伸）、その後温度１２５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを３槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第３槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽＜第３層（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、ＴＤ方向に対して幅を一定に固定しながら１２０℃で１分間ＴＤ方向への加熱処理を実施し、６０℃で２０秒間冷却することで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0068】
＜比較例１＞
重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量１４０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン２２質量部と、重量平均分子量が５０万でＣａ含有量２３０ｐｐｂである高密度ポリエチレン５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２７質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７２質量部とデカリン１質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１９０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率８倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１１２℃にて倍率１０倍で延伸し（横延伸）、その後温度１１５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に、熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１１０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量１４０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン２２質量部と、重量平均分子量が５０万でＣａ含有量２３０ｐｐｂである高密度ポリエチレン５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２７質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７２質量部とデカリン１質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１９０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率８倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１１２℃にて倍率１０倍で延伸し（横延伸）、その後温度１１５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に、熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１１０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0069】
＜比較例２＞
縦延伸倍率を９倍にした以外は比較例１と同様にポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を作製した。
縦延伸倍率を９倍にした以外は比較例１と同様にポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を作製した。
【0070】
＜比較例３＞
縦延伸倍率を１０倍、横延伸倍率を８倍にした以外は比較例１と同様にポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を作製した。
縦延伸倍率を１０倍、横延伸倍率を８倍にした以外は比較例１と同様にポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を作製した。
【0071】
＜比較例４＞
重量平均分子量が４２０万でＣａ含有量３１ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン３質量部と、重量平均分子量が４０万でＣａ含有量３４ｐｐｍである高密度ポリエチレン１４質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が１７質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン５１質量部とデカリン３２質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１９０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率６倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１１５℃にて倍率６倍で延伸し（横延伸）、その後温度１２５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１２０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が４２０万でＣａ含有量３１ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン３質量部と、重量平均分子量が４０万でＣａ含有量３４ｐｐｍである高密度ポリエチレン１４質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が１７質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン５１質量部とデカリン３２質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１９０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率６倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１１５℃にて倍率６倍で延伸し（横延伸）、その後温度１２５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１２０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0072】
＜比較例５＞
重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン５質量部と、重量平均分子量が５６万でＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン２３質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２８質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン６９質量部とデカリン３質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１６０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２５℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを５５℃で１０分、さらに、９５℃で１０分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、８５℃に加熱したローラー上を２０ｋｇｆ／ｍ（１．９６ＭＰａ）の押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率５．８倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１００℃にて倍率１４倍で延伸し（横延伸）、その後温度１１８℃で熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４５℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１１０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることでポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン５質量部と、重量平均分子量が５６万でＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン２３質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２８質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン６９質量部とデカリン３質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１６０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２５℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを５５℃で１０分、さらに、９５℃で１０分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、８５℃に加熱したローラー上を２０ｋｇｆ／ｍ（１．９６ＭＰａ）の押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率５．８倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１００℃にて倍率１４倍で延伸し（横延伸）、その後温度１１８℃で熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４５℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１１０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることでポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0073】
＜比較例６＞
比較例５において、ベーステープを４０℃に加熱したローラー上で４０ｋｇｆ／ｍ（３．９２ＭＰａ）の押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した後、長手方向に温度９０℃にて倍率５．８倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度９０℃にて倍率１４倍で延伸し（横延伸）、その後温度１２４℃で熱処理（熱固定）を行った以外は同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
比較例５において、ベーステープを４０℃に加熱したローラー上で４０ｋｇｆ／ｍ（３．９２ＭＰａ）の押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した後、長手方向に温度９０℃にて倍率５．８倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度９０℃にて倍率１４倍で延伸し（横延伸）、その後温度１２４℃で熱処理（熱固定）を行った以外は同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0074】
＜比較例７＞
比較例５において、ベーステープを９５℃に加熱したローラー上で５ｋｇｆ／ｍ（０．４９ＭＰａ）の押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した後、長手方向に温度９５℃にて倍率６．５倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度９５℃にて倍率１３倍で延伸し（横延伸）、その後温度１１４℃で熱処理（熱固定）を行った以外は同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
比較例５において、ベーステープを９５℃に加熱したローラー上で５ｋｇｆ／ｍ（０．４９ＭＰａ）の押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した後、長手方向に温度９５℃にて倍率６．５倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度９５℃にて倍率１３倍で延伸し（横延伸）、その後温度１１４℃で熱処理（熱固定）を行った以外は同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0075】
＜比較例８＞
比較例５において、重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン４質量部と、重量平均分子量が５６万のＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン３１質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いて、ポリエチレン樹脂総量の濃度が３５質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン５５質量部とデカリン１０質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製し、流動パラフィンの一部を除去したベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率５倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１００℃にて倍率９倍で延伸し（横延伸）、その後温度１１４℃で熱処理（熱固定）を行った以外は同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
比較例５において、重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン４質量部と、重量平均分子量が５６万のＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン３１質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いて、ポリエチレン樹脂総量の濃度が３５質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン５５質量部とデカリン１０質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製し、流動パラフィンの一部を除去したベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率５倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１００℃にて倍率９倍で延伸し（横延伸）、その後温度１１４℃で熱処理（熱固定）を行った以外は同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0076】
＜比較例９＞
比較例５において、重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン８質量部と、重量平均分子量が５６万のＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン２４質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いて、ポリエチレン樹脂総量の濃度が３２質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン５３質量部とデカリン１５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製し、流動パラフィンの一部を除去したベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率４倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１００℃にて倍率１５倍で延伸した（横延伸）以外は同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
比較例５において、重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン８質量部と、重量平均分子量が５６万のＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン２４質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いて、ポリエチレン樹脂総量の濃度が３２質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン５３質量部とデカリン１５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製し、流動パラフィンの一部を除去したベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率４倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１００℃にて倍率１５倍で延伸した（横延伸）以外は同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0077】
＜比較例１０＞
重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン１４質量部と、重量平均分子量が５６万でＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン６質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２０質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン５５質量部とデカリン２５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１６０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２５℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを５５℃で１０分、さらに、９５℃で１０分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、８５℃に加熱したローラー上を２０ｋｇｆ／ｍ（１．９６ＭＰａ）の押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率５倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１００℃にて倍率１４倍で延伸し（横延伸）、その後温度１２８℃で熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４５℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１１０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることでポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン１４質量部と、重量平均分子量が５６万でＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン６質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２０質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン５５質量部とデカリン２５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１６０℃にてダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２５℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを５５℃で１０分、さらに、９５℃で１０分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、８５℃に加熱したローラー上を２０ｋｇｆ／ｍ（１．９６ＭＰａ）の押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率５倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１００℃にて倍率１４倍で延伸し（横延伸）、その後温度１２８℃で熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４５℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１１０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることでポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0078】
＜比較例１１＞
比較例１０において、重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン１２質量部と、重量平均分子量が５６万でＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン８質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた以外は同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
比較例１０において、重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン１２質量部と、重量平均分子量が５６万でＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン８質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた以外は同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0079】
＜比較例１２＞
比較例１０において、二軸延伸した後の熱処理（熱固定）温度を１３４℃とした以外は同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
比較例１０において、二軸延伸した後の熱処理（熱固定）温度を１３４℃とした以外は同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0080】
＜比較例１３＞
比較例１０において、重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン２０質量部と、重量平均分子量が５６万でＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いて、ポリエチレン樹脂総量の濃度が２５質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン５０質量部とデカリン２５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。このポリエチレン溶液を比較例１０と同様に押出し、得られたベーステープを加熱乾燥した後に、引き続き９５℃に加熱したローラー上を１０ｋｇｆ／ｍ（０．９８ＭＰａ）の押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープから流動パラフィンの一部を除去した以外は同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
比較例１０において、重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン２０質量部と、重量平均分子量が５６万でＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いて、ポリエチレン樹脂総量の濃度が２５質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン５０質量部とデカリン２５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。このポリエチレン溶液を比較例１０と同様に押出し、得られたベーステープを加熱乾燥した後に、引き続き９５℃に加熱したローラー上を１０ｋｇｆ／ｍ（０．９８ＭＰａ）の押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープから流動パラフィンの一部を除去した以外は同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0081】
＜比較例１４＞
重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン３質量部と、重量平均分子量が５６万でＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン１２質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が１５質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン６０質量部とデカリン２５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１６０℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２５℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを５５℃で１０分、さらに、９５℃で１０分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、８５℃に加熱したローラー上を２０ｋｇｆ／ｍ（１．９６ＭＰａ）の押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率６倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１００℃にて倍率１２倍で延伸し（横延伸）、その後温度１３６℃で熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４５℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１１０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることでポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン３質量部と、重量平均分子量が５６万でＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン１２質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が１５質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン６０質量部とデカリン２５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１６０℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２５℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを５５℃で１０分、さらに、９５℃で１０分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、８５℃に加熱したローラー上を２０ｋｇｆ／ｍ（１．９６ＭＰａ）の押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１００℃にて倍率６倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１００℃にて倍率１２倍で延伸し（横延伸）、その後温度１３６℃で熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４５℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１１０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることでポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0082】
＜比較例１５＞
比較例１４において、重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン２質量部と、重量平均分子量が５６万でＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン１８質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いて、ポリエチレン樹脂総量の濃度が２０質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン５５質量部とデカリン２５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した以外は同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
比較例１４において、重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン２質量部と、重量平均分子量が５６万でＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン１８質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いて、ポリエチレン樹脂総量の濃度が２０質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン５５質量部とデカリン２５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した以外は同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0083】
＜比較例１６＞
比較例１４において、二軸延伸した後の熱処理（熱固定）温度を１４２℃とした以外は同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
比較例１４において、二軸延伸した後の熱処理（熱固定）温度を１４２℃とした以外は同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0084】
＜比較例１７＞
比較例１４において、重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン６．５質量部と、重量平均分子量が５６万でＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン１８．５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いて、ポリエチレン樹脂総量の濃度が２５質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン５０質量部とデカリン２５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。このポリエチレン溶液を用い、比較例１４と同様に押出し、得られたベーステープを加熱乾燥した後に、引き続き９５℃に加熱したローラー上を１０ｋｇｆ／ｍ（０．９８ＭＰａ）の押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した以外は同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
比較例１４において、重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン６．５質量部と、重量平均分子量が５６万でＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン１８．５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いて、ポリエチレン樹脂総量の濃度が２５質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン５０質量部とデカリン２５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。このポリエチレン溶液を用い、比較例１４と同様に押出し、得られたベーステープを加熱乾燥した後に、引き続き９５℃に加熱したローラー上を１０ｋｇｆ／ｍ（０．９８ＭＰａ）の押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した以外は同様にしてポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0085】
＜比較例１８＞
重量平均分子量が５１０万でＣａ含有量１４０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン１８．４質量部と、重量平均分子量が６５万でＣａ含有量２７０ｐｐｂである高密度ポリエチレン４．６質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２３質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７４．５質量部とデカリン２．５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１５５℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１１５℃にて倍率５．８倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１０５℃にて倍率１３倍で延伸し（横延伸）、その後１３０℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１２０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が５１０万でＣａ含有量１４０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン１８．４質量部と、重量平均分子量が６５万でＣａ含有量２７０ｐｐｂである高密度ポリエチレン４．６質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２３質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７４．５質量部とデカリン２．５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１５５℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１１５℃にて倍率５．８倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１０５℃にて倍率１３倍で延伸し（横延伸）、その後１３０℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１２０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0086】
＜比較例１９＞
重量平均分子量が５１０万でＣａ含有量１４０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン１８．４質量部と、重量平均分子量が６５万でＣａ含有量２７０ｐｐｂである高密度ポリエチレン４．６質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２３質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７５．９質量部とデカリン１．１質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１５８℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で１８℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度９５℃にて倍率５．８倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１０５℃にて倍率１３倍で延伸し（横延伸）、その後１４０℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１２０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が５１０万でＣａ含有量１４０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン１８．４質量部と、重量平均分子量が６５万でＣａ含有量２７０ｐｐｂである高密度ポリエチレン４．６質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２３質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７５．９質量部とデカリン１．１質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１５８℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で１８℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度９５℃にて倍率５．８倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１０５℃にて倍率１３倍で延伸し（横延伸）、その後１４０℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１２０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0087】
＜比較例２０＞
重量平均分子量が５１０万でＣａ含有量１４０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン１２．５質量部と、重量平均分子量が６５万でＣａ含有量２７０ｐｐｂである高密度ポリエチレン１２．５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２５質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７２．５質量部とデカリン２．５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１５６℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で１８℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、１１０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１１５℃にて倍率５．８倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１０５℃にて倍率１３倍で延伸し（横延伸）、その後１１５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１２０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が５１０万でＣａ含有量１４０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン１２．５質量部と、重量平均分子量が６５万でＣａ含有量２７０ｐｐｂである高密度ポリエチレン１２．５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２５質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７２．５質量部とデカリン２．５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１５６℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で１８℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、１１０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１１５℃にて倍率５．８倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１０５℃にて倍率１３倍で延伸し（横延伸）、その後１１５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１２０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0088】
＜比較例２１＞
重量平均分子量が５１０万でＣａ含有量１４０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン６質量部と、重量平均分子量が６５万でＣａ含有量２７０ｐｐｂである高密度ポリエチレン２４質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が３０質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン６７．５質量部とデカリン２．５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１６４℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で１６℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、３０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１１５℃にて倍率５．８倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１０５℃にて倍率１３倍で延伸し（横延伸）、その後１４０℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１２５℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が５１０万でＣａ含有量１４０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン６質量部と、重量平均分子量が６５万でＣａ含有量２７０ｐｐｂである高密度ポリエチレン２４質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が３０質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン６７．５質量部とデカリン２．５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１６４℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で１６℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、３０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１１５℃にて倍率５．８倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１０５℃にて倍率１３倍で延伸し（横延伸）、その後１４０℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１２５℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0089】
＜比較例２２＞
重量平均分子量が５１０万でＣａ含有量１４０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン４．６質量部と、重量平均分子量が６５万でＣａ含有量２７０ｐｐｂである高密度ポリエチレン１８．４質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２３質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７４．５質量部とデカリン２．５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１６４℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で１６℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、３０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１１５℃にて倍率５．８倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１０５℃にて倍率１３倍で延伸し（横延伸）、その後１２８℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１２０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が５１０万でＣａ含有量１４０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン４．６質量部と、重量平均分子量が６５万でＣａ含有量２７０ｐｐｂである高密度ポリエチレン１８．４質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２３質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７４．５質量部とデカリン２．５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１６４℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で１６℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、３０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１１５℃にて倍率５．８倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１０５℃にて倍率１３倍で延伸し（横延伸）、その後１２８℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１２０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0090】
＜比較例２３＞
重量平均分子量が５１０万でＣａ含有量１４０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン４．６質量部と、重量平均分子量が６５万でＣａ含有量２７０ｐｐｂである高密度ポリエチレン１８．４質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２３質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７４．５質量部とデカリン２．５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１６４℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で１６℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、３０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１１５℃にて倍率７倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１０５℃にて倍率１１倍で延伸し（横延伸）、その後１２５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１２０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が５１０万でＣａ含有量１４０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン４．６質量部と、重量平均分子量が６５万でＣａ含有量２７０ｐｐｂである高密度ポリエチレン１８．４質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２３質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７４．５質量部とデカリン２．５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１６４℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で１６℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、３０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１１５℃にて倍率７倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１０５℃にて倍率１１倍で延伸し（横延伸）、その後１２５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１２０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0091】
＜比較例２４＞
重量平均分子量が５１０万でＣａ含有量１４０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン１０．０質量部と、重量平均分子量が６５万でＣａ含有量２７０ｐｐｂである高密度ポリエチレン１０．０質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２０質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７７．３質量部とデカリン２．７質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１５６℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を１６℃の水浴中で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、３０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１１５℃にて倍率７倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１０５℃にて倍率１３倍で延伸し（横延伸）、その後１３５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１２０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が５１０万でＣａ含有量１４０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン１０．０質量部と、重量平均分子量が６５万でＣａ含有量２７０ｐｐｂである高密度ポリエチレン１０．０質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２０質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７７．３質量部とデカリン２．７質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１５６℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を１６℃の水浴中で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、３０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１１５℃にて倍率７倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１０５℃にて倍率１３倍で延伸し（横延伸）、その後１３５℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１２０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0092】
＜比較例２５＞
重量平均分子量が５１０万でＣａ含有量１４０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン２４質量部と、重量平均分子量が６５万でＣａ含有量２７０ｐｐｂである高密度ポリエチレン６質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が３０質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン６７．７質量部とデカリン２．３質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１５８℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で１６℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、３０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１１５℃にて倍率７倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１０５℃にて倍率９倍で延伸し（横延伸）、その後１３０℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１０５℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が５１０万でＣａ含有量１４０ｐｐｂである超高分子量ポリエチレン２４質量部と、重量平均分子量が６５万でＣａ含有量２７０ｐｐｂである高密度ポリエチレン６質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が３０質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン６７．７質量部とデカリン２．３質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１５８℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で１６℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、３０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１１５℃にて倍率７倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１０５℃にて倍率９倍で延伸し（横延伸）、その後１３０℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１０５℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0093】
＜比較例２６＞
重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン１５質量部と、重量平均分子量が５６万でＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン１５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が３０質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン６７．５質量部とデカリン２．５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１５５℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度９０℃にて倍率５．９倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１０５℃にて倍率１３倍で延伸し（横延伸）、その後１３０℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１２０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン１５質量部と、重量平均分子量が５６万でＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン１５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が３０質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン６７．５質量部とデカリン２．５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１５５℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で２０℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度９０℃にて倍率５．９倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１０５℃にて倍率１３倍で延伸し（横延伸）、その後１３０℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１２０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0094】
＜比較例２７＞
重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン１８質量部と、重量平均分子量が５６万でＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２３質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７５．９質量部とデカリン１．１質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１５８℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で１８℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度９０℃にて倍率７．０倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１０５℃にて倍率１３倍で延伸し（横延伸）、その後１３０℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１００℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン１８質量部と、重量平均分子量が５６万でＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２３質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７５．９質量部とデカリン１．１質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１５８℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で１８℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、９０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度９０℃にて倍率７．０倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１０５℃にて倍率１３倍で延伸し（横延伸）、その後１３０℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１００℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0095】
＜比較例２８＞
重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン１８質量部と、重量平均分子量が５６万でＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２３質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７５．９質量部とデカリン１．１質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１５６℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で１８℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、１１０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１０５℃にて倍率６．５倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１１５℃にて倍率１３倍で延伸し（横延伸）、その後１３０℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１００℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン１８質量部と、重量平均分子量が５６万でＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が２３質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン７５．９質量部とデカリン１．１質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１５６℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で１８℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、１１０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度１０５℃にて倍率６．５倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１１５℃にて倍率１３倍で延伸し（横延伸）、その後１３０℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１００℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0096】
＜比較例２９＞
重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン１５質量部と、重量平均分子量が５６万でＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン１５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が３０質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン６７．５質量部とデカリン２．５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１６４℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で１６℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、３０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度９０℃にて倍率５．９倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１０５℃にて倍率１３倍で延伸し（横延伸）、その後１２０℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１２０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
重量平均分子量が４６０万でＣａ含有量３０ｐｐｍである超高分子量ポリエチレン１５質量部と、重量平均分子量が５６万でＣａ含有量３６ｐｐｍである高密度ポリエチレン１５質量部とを混合したポリエチレン組成物を用いた。ポリエチレン樹脂総量の濃度が３０質量％となるように予め準備しておいた流動パラフィン６７．５質量部とデカリン２．５質量部の混合溶剤とポリエチレン組成物を混ぜ、ポリエチレン溶液を調製した。
このポリエチレン溶液を温度１６４℃でダイよりシート状に押出し、ついで前記押出物を水浴中で１６℃で冷却するとともに、水浴の表層に水流を設け、水浴中でゲル化したシートの中から放出されて水面に浮遊する混合溶剤がシートに再び付着しないようにしながら、ベーステープを作製した。該ベーステープを６０℃で７分、さらに、９５℃で７分乾燥してデカリンをベーステープ内から除去した後、引き続き、３０℃に加熱したローラー上を０．０５ＭＰａの押圧を掛けながら搬送させて、ベーステープ内から流動パラフィンの一部を除去した。その後、該ベーステープを長手方向に温度９０℃にて倍率５．９倍で延伸し（縦延伸）、引き続いて幅方向に温度１０５℃にて倍率１３倍で延伸し（横延伸）、その後１２０℃にて熱処理（熱固定）を行った。
次に熱処理済みのベーステープを２槽に分かれた塩化メチレン浴にそれぞれ３０秒間ずつ連続して浸漬させながら、流動パラフィンを抽出した。なお、浸漬を開始する側を第１槽とし、浸漬を終了する側を第２槽とした場合の洗浄溶媒の純度は（低）第１層＜第２槽（高）である。その後、４０℃で塩化メチレンを乾燥除去し、１２０℃に加熱したローラー上を搬送させながら加熱処理をすることで、ポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材を得た。
【0097】
【表1】
【0098】
【表2】
【0099】
表１及び表２に記載の評価結果から、以下のことがわかる。
水流量の変動係数が０．１００以下である実施例１～１０のポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材は、水流量の変動係数が０．１００を超える比較例１～２９のポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材に比較して、ろ過時間のバラツキに優れることがわかる。
原料用に用いられたポリエチレンに含まれるＣａ含有量が１ｐｐｍ未満の実施例１～５のポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材は、Ｃａ含有量が１ｐｐｍ以上の実施例６～１０のポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材に比較して、Ｃａ溶出量が抑制されることがわかる。
孔径の平均値が２０ｎｍ以下の実施例１～５及び８～１０のポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材は、孔径の平均値が２０ｎｍを超える実施例６～７のポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材に比較して、捕集性能に優れることがわかる。
水流量の変動係数が０．１００以下である実施例１～１０のポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材は、水流量の変動係数が０．１００を超える比較例１～２９のポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材に比較して、ろ過時間のバラツキに優れることがわかる。
原料用に用いられたポリエチレンに含まれるＣａ含有量が１ｐｐｍ未満の実施例１～５のポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材は、Ｃａ含有量が１ｐｐｍ以上の実施例６～１０のポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材に比較して、Ｃａ溶出量が抑制されることがわかる。
孔径の平均値が２０ｎｍ以下の実施例１～５及び８～１０のポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材は、孔径の平均値が２０ｎｍを超える実施例６～７のポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材に比較して、捕集性能に優れることがわかる。