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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024179856
(43)【公開日】2024-12-26
(54)【発明の名称】アクチュエータ
(51)【国際特許分類】
B06B 1/04 20060101AFI20241219BHJP
【ＦＩ】
B06B1/04 S
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023099106
(22)【出願日】2023-06-16
(71)【出願人】
【識別番号】000002233
【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100142619
【弁理士】
【氏名又は名称】河合 徹
(74)【代理人】
【識別番号】100153316
【弁理士】
【氏名又は名称】河口 伸子
(74)【代理人】
【識別番号】100196140
【弁理士】
【氏名又は名称】岩垂 裕司
(72)【発明者】
【氏名】羽多野 慎司
【テーマコード（参考）】
5D107
【Ｆターム（参考）】
5D107AA16
5D107BB08
5D107CC09
5D107FF10
(57)【要約】
【課題】支持体に対して可動体を振動させるアクチュエータの筐体を構成する部品が振動することに起因する異音を抑制する。
【解決手段】アクチュエータ１は、第１ケース部材１０、コイルホルダ３０、および第２ケース部材２０を第１方向Ｚに積層した支持体２と、可動体３と、可動体３を支持体２に対して第１方向Ｚに対して交差する第２方向Ｘに駆動する磁気駆動回路４を備える。コイルホルダ３０は、第３方向Ｙの両側の端部からＺ２方向へ突出する一対の突出部３９を備える。各突出部３９は、第２ケース部材２０の第３方向Ｙの側面である第２ケース側面２０Ｙに外側から重なるとともに接着剤により第２ケース側面２０Ｙに固定される。
【選択図】図１
【解決手段】アクチュエータ１は、第１ケース部材１０、コイルホルダ３０、および第２ケース部材２０を第１方向Ｚに積層した支持体２と、可動体３と、可動体３を支持体２に対して第１方向Ｚに対して交差する第２方向Ｘに駆動する磁気駆動回路４を備える。コイルホルダ３０は、第３方向Ｙの両側の端部からＺ２方向へ突出する一対の突出部３９を備える。各突出部３９は、第２ケース部材２０の第３方向Ｙの側面である第２ケース側面２０Ｙに外側から重なるとともに接着剤により第２ケース側面２０Ｙに固定される。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
支持体および可動体と、前記可動体と前記支持体とに接続される接続体と、前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路と、を有し、
前記磁気駆動回路は、前記支持体に設けられたコイルと、前記可動体に設けられて前記コイルに第１方向で対向する磁石と、を備え、前記可動体を前記第１方向に対して交差する第２方向に駆動し、
前記支持体は、コイル配置穴が設けられたコイルホルダと、
前記コイルホルダに前記第１方向の一方側から重なる第１ケース部材と、
前記コイルホルダに前記第１方向の他方側から重なる第２ケース部材と、を備え、
前記第１方向に対して交差し且つ前記第２方向に対して交差する方向を第３方向とする場合に、
前記コイルホルダは、前記第３方向の両側の端部の少なくとも一方から前記第１方向の一方側または他方側へ突出する突出部を備え、
前記突出部は、前記第１ケース部材または前記第２ケース部材の前記第３方向の側面に外側から重なるとともに接着剤により前記側面に固定されることを特徴とするアクチュエータ。
前記磁気駆動回路は、前記支持体に設けられたコイルと、前記可動体に設けられて前記コイルに第１方向で対向する磁石と、を備え、前記可動体を前記第１方向に対して交差する第２方向に駆動し、
前記支持体は、コイル配置穴が設けられたコイルホルダと、
前記コイルホルダに前記第１方向の一方側から重なる第１ケース部材と、
前記コイルホルダに前記第１方向の他方側から重なる第２ケース部材と、を備え、
前記第１方向に対して交差し且つ前記第２方向に対して交差する方向を第３方向とする場合に、
前記コイルホルダは、前記第３方向の両側の端部の少なくとも一方から前記第１方向の一方側または他方側へ突出する突出部を備え、
前記突出部は、前記第１ケース部材または前記第２ケース部材の前記第３方向の側面に外側から重なるとともに接着剤により前記側面に固定されることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項2】
前記突出部は、前記側面に設けられた嵌合溝に嵌合し、接着剤により前記嵌合溝の内面に固定され、
前記嵌合溝は、前記側面における前記第１方向の一方側の端部から前記第１方向の他方側の端部まで延びていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
前記嵌合溝は、前記側面における前記第１方向の一方側の端部から前記第１方向の他方側の端部まで延びていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項3】
前記突出部は、前記第１方向の他方側へ突出して、前記第２ケース部材の前記第３方向の側面である第２ケース側面に外側から重なり、
前記支持体は、前記コイルホルダに前記第１方向の一方側から重なるとともに前記コイル配置穴に配置されるコイルを支持するプレートを備え、
前記プレートは、前記第３方向の両側の端部の少なくとも一方から前記第１方向の一方側へ突出する折り曲げ部を備え、
前記折り曲げ部は、前記第１ケース部材の前記第３方向の側面である第１ケース側面に外側から重なるとともに接着剤により前記第１ケース側面に固定されることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
前記支持体は、前記コイルホルダに前記第１方向の一方側から重なるとともに前記コイル配置穴に配置されるコイルを支持するプレートを備え、
前記プレートは、前記第３方向の両側の端部の少なくとも一方から前記第１方向の一方側へ突出する折り曲げ部を備え、
前記折り曲げ部は、前記第１ケース部材の前記第３方向の側面である第１ケース側面に外側から重なるとともに接着剤により前記第１ケース側面に固定されることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項4】
前記折り曲げ部は、前記第１ケース側面に設けられた凹部に嵌合し、接着剤により前記凹部の内面に固定され、
前記プレートは、前記コイルホルダに前記第１方向の他方側から重なる平板状のプレート本体を備え、前記プレート本体と前記折り曲げ部とが繋がる角部を切り欠いた切欠き部が設けられ、
前記第１ケース部材は、前記凹部の内面から突出して前記切欠き部に嵌まる爪部を備えることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ。
前記プレートは、前記コイルホルダに前記第１方向の他方側から重なる平板状のプレート本体を備え、前記プレート本体と前記折り曲げ部とが繋がる角部を切り欠いた切欠き部が設けられ、
前記第１ケース部材は、前記凹部の内面から突出して前記切欠き部に嵌まる爪部を備えることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ。
【請求項5】
前記第１ケース側面には、前記爪部の先端から前記凹部の内面まで延びる接着剤注入溝が設けられていることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ。
【請求項6】
前記コイルホルダには、前記コイル配置穴が設けられたコイル保持部と、前記コイル保持部の前記第２方向の両側を貫通する一対の開口部が設けられ、
前記プレートは、前記第２方向の両側の端部から前記第１方向の他方側へ突出する一対の固定部を備え、
前記一対の固定部のそれぞれに設けられた係止穴に前記コイル保持部の前記第２方向の両側の端面に設けられたプレート係止突起を嵌め込むことにより、前記プレートが前記コ
イルホルダに固定されることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ。
前記プレートは、前記第２方向の両側の端部から前記第１方向の他方側へ突出する一対の固定部を備え、
前記一対の固定部のそれぞれに設けられた係止穴に前記コイル保持部の前記第２方向の両側の端面に設けられたプレート係止突起を嵌め込むことにより、前記プレートが前記コ
イルホルダに固定されることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ。
【請求項7】
前記コイルホルダは、前記第３方向の両側の端部から前記第１方向の他方側へ突出する一対の前記突出部を備え、
前記一対の前記突出部は、前記第２ケースの前記第３方向の両側の側面である一対の前記第２ケース側面に外側から重なるとともに接着剤によって前記第２ケース側面に固定され、
前記プレートは、前記第３方向の両側の端部から前記第１方向の一方側へ突出する一対の前記折り曲げ部を備え、
前記一対の前記折り曲げ部は、前記第１ケースの前記第３方向の両側の側面である一対の前記第１ケース側面に外側から重なるとともに接着剤によって前記第１ケース側面に固定されることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ。
前記一対の前記突出部は、前記第２ケースの前記第３方向の両側の側面である一対の前記第２ケース側面に外側から重なるとともに接着剤によって前記第２ケース側面に固定され、
前記プレートは、前記第３方向の両側の端部から前記第１方向の一方側へ突出する一対の前記折り曲げ部を備え、
前記一対の前記折り曲げ部は、前記第１ケースの前記第３方向の両側の側面である一対の前記第１ケース側面に外側から重なるとともに接着剤によって前記第１ケース側面に固定されることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、可動体を振動させるアクチュエータに関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、支持体および可動体と、可動体を支持体に接続する接続体と、可動体を支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路を有するアクチュエータが記載される。特許文献１のアクチュエータは、支持体が直方体形状をしており、支持体の内部に可動体および磁気駆動回路が収容される。可動体は、支持体の長手方向に振動する。
【0003】
特許文献１の支持体は、磁気駆動回路のコイルを保持するホルダと、ホルダに下側から重なる第１ケース部材と、ホルダに上側から重なる第２ケース部材を備える。ホルダ、第１ケース部材、および第２ケース部材を重ねた状態で、対角方向の２箇所の角部をネジで締結することにより、支持体が組み立てられている。ホルダ、第１ケース部材、および第２ケース部材は、重なり合う部分に形成された凹凸を嵌合させることによって互いに位置決めされた状態で連結されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０２０－０９２４９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１のアクチュエータでは、直方体状の支持体に対して可動体がその長手方向に振動する際、支持体の側面を構成する部分（第１ケース部材および第２ケース部材の長手方向の壁部）が振動方向と直交する方向に振動する共振モードの状態になることがある。このとき、振動する箇所（長手方向の壁部）が変形して部品同士が接触し、異音が発生するという問題がある。
【0006】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、アクチュエータの筐体を構成する部品が振動することに起因する異音を抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、支持体および可動体と、前記可動体と前記支持体とに接続される接続体と、前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路と、を有し、前記磁気駆動回路は、前記支持体に設けられたコイルと、前記可動体に設けられて前記コイルに第１方向で対向する磁石と、を備え、前記可動体を前記第１方向に対して交差する第２方向に駆動し、前記支持体は、コイル配置穴が設けられたコイルホルダと、前記コイルホルダに前記第１方向の一方側から重なる第１ケース部材と、前記コイルホルダに前記第１方向の他方側から重なる第２ケース部材と、を備え、前記第１方向に対して交差し且つ前記第２方向に対して交差する方向を第３方向とする場合に、前記コイルホルダは、前記第３方向の両側の端部の少なくとも一方から前記第１方向の一方側または他方側へ突出する突出部を備え、前記突出部は、前記第１ケース部材または前記第２ケース部材の前記第３方向の側面に外側から重なるとともに接着剤により前記側面に固定されることを特徴とする。
【0008】
本発明によれば、アクチュエータの筐体を構成する部品（第１ケース部材、コイルホルダ、第２ケース部材）において、振動方向と直交する方向（第３方向）の側面に部品同士
が重なる部分（コイルホルダの突出部が第１ケース部材または第２ケース部材の側面に重なる箇所）を設けて、接着剤により部品同士が重なる箇所を固定する。これにより、アクチュエータの筐体の側面部分が共振により振動方向と直交する方向に大きく振動する周波数で可動体を振動させる共振モードでアクチュエータを駆動する場合においても、振動する箇所の変形を抑制することができ、部品同士の衝突による異音の発生を抑制することができる。
が重なる部分（コイルホルダの突出部が第１ケース部材または第２ケース部材の側面に重なる箇所）を設けて、接着剤により部品同士が重なる箇所を固定する。これにより、アクチュエータの筐体の側面部分が共振により振動方向と直交する方向に大きく振動する周波数で可動体を振動させる共振モードでアクチュエータを駆動する場合においても、振動する箇所の変形を抑制することができ、部品同士の衝突による異音の発生を抑制することができる。
【0009】
本発明において、前記突出部は、前記側面に設けられた嵌合溝に嵌合し、接着剤により前記嵌合溝の内面に固定され、前記嵌合溝は、前記側面における前記第１方向の一方側の端部から前記第１方向の他方側の端部まで延びていることが好ましい。このようにすると、突出部を嵌合溝に収容できるので、アクチュエータの第３方向の幅が大型化することを回避できる。また、突出部を側面に固定するための接着剤を嵌合溝の端部から注入できるため、組立前に接着剤を塗布する必要がない。さらに、突出部と嵌合溝とを嵌合させることにより、部品同士の位置精度を高めることができる。
【0010】
本発明において、前記突出部は、前記第１方向の他方側へ突出して、前記第２ケース部材の前記第３方向の側面である第２ケース側面に外側から重なり、前記支持体は、前記コイルホルダに前記第１方向の一方側から重なるとともに前記コイル配置穴に配置されるコイルを支持するプレートを備え、前記プレートは、前記第３方向の両側の端部の少なくとも一方から前記第１方向の一方側へ突出する折り曲げ部を備え、前記折り曲げ部は、前記第１ケース部材の前記第３方向の側面である第１ケース側面に外側から重なるとともに接着剤により前記第１ケース側面に固定されることが好ましい。このようにすると、アクチュエータの筐体において振動方向と直交する方向の側面に、上記のコイルホルダの突出部を利用した重なり部分に加えて、プレートの折り曲げ部を利用した重なり部分が形成され、第１ケース部材の側面がコイルホルダに固定され、第２ケース部材の側面がプレートに固定される。これにより、アクチュエータ１の第３方向の側面において、第１方向に積層された３つの部品（コイルホルダ、第１ケース部材、第２ケース部材）が、プレートを介して、全て一体に固定される。従って、アクチュエータの側面において振動する箇所の変形を抑制することができ、部品同士の衝突による異音の発生を抑制することができる。
【0011】
本発明において、前記折り曲げ部は、前記第１ケース側面に設けられた凹部に嵌合し、接着剤により前記凹部の内面に固定され、前記プレートは、前記コイルホルダに前記第１方向の他方側から重なる平板状のプレート本体を備え、前記プレート本体と前記折り曲げ部とが繋がる角部を切り欠いた切欠き部が設けられ、前記第１ケース部材は、前記凹部の内面から突出して前記切欠き部に嵌まる爪部を備えることが好ましい。このようにすると、切欠き部に爪部を係止することによって折り曲げ部を凹部に嵌め込んだ状態にプレートを固定することができる。従って、第１ケース部材に対するプレートの位置決めを精度良く、且つ、容易に行うことができ、組立容易性を高めることができる。
【0012】
本発明において、前記第１ケース側面には、前記爪部の先端から前記凹部の内面まで延びる接着剤注入溝が設けられていることが好ましい。このようにすると、折り曲げ部を第１ケース側面に固定するための接着剤を爪部の先端から接着剤注入溝に垂らすことができるため、組立前に接着剤を塗布する必要がない。従って、組立容易性を高めることができる。
【0013】
本発明において、前記コイルホルダには、前記コイル配置穴が設けられたコイル保持部と、前記コイル保持部の前記第２方向の両側を貫通する一対の開口部が設けられ、前記プレートは、前記第２方向の両側の端部から前記第１方向の他方側へ突出する一対の固定部を備え、前記一対の固定部のそれぞれに設けられた係止穴に前記コイル保持部の前記第２方向の両側の端面に設けられたプレート係止突起を嵌め込むことにより、前記プレートが
前記コイルホルダに固定されることが好ましい。このようにすると、コイルホルダとプレートを精度良く位置決めすることができる。また、プレートをコイルホルダに対して容易に固定することができる。
前記コイルホルダに固定されることが好ましい。このようにすると、コイルホルダとプレートを精度良く位置決めすることができる。また、プレートをコイルホルダに対して容易に固定することができる。
【0014】
本発明において、前記コイルホルダは、前記第３方向の両側の端部から前記第１方向の他方側へ突出する一対の前記突出部を備え、前記一対の前記突出部は、前記第２ケースの前記第３方向の両側の側面である一対の前記第２ケース側面に外側から重なるとともに接着剤によって前記第２ケース側面に固定され、前記プレートは、前記第３方向の両側の端部から前記第１方向の一方側へ突出する一対の前記折り曲げ部を備え、前記一対の前記折り曲げ部は、前記第１ケースの前記第３方向の両側の側面である一対の前記第１ケース側面に外側から重なるとともに接着剤によって前記第１ケース側面に固定されることが好ましい。このようにすると、アクチュエータの筐体の第３方向の両側の側面において、第１方向に積層した３つの部品（コイルホルダ、第１ケース部材、第２ケース部材）に重なりを設けて、コイルホルダに固定されるプレートを介して、全て一体に固定することができる。従って、アクチュエータの第３方向の両側の側面において、振動する箇所の変形を抑制することができ、部品同士の衝突による異音の発生を抑制できる。
【発明の効果】
【0015】
本発明によれば、アクチュエータの筐体の側面部分が共振により振動方向と直交する方向に大きく振動する周波数で可動体を振動させる共振モードでアクチュエータを駆動する場合においても、振動する箇所の変形を抑制することができ、部品同士の衝突による異音の発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】本発明に係るアクチュエータの外観斜視図である。
【図4】Ｚ２方向から見た支持体の分解斜視図である。
【図5】Ｚ１方向から見た支持体の分解斜視図である。
【図6】第１圧入ピンおよび第１位置決めピンの位置で切断したアクチュエータのＸＹ断面図である。
【図7】Ｚ２方向から見たアクチュエータの平面図である。
【図8】アクチュエータの組立工程（第１工程）の説明図である。
【図9】アクチュエータの組立工程（第２工程）の説明図である。
【図10】アクチュエータの組立工程（第３工程）の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0017】
以下に、図面を参照して、本発明に係るアクチュエータ１の実施形態を説明する。なお、以下の説明において、互いに交差する３つの方向を各々、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙとして説明する。また、第２方向Ｘの一方側にＸ１を付し、第２方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第３方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第３方向Ｙの他方側にＹ２を付し、第１方向Ｚの一方側にＺ１を付し、第１方向Ｚの他方側にＺ２を付して説明する。本形態では、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙは、互いに直交する方向である。
【0018】
（全体構成）
図１は、本発明に係るアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１のアクチュエータ１の分解斜視図である。図３は、図１のアクチュエータ１のＹＺ断面図である。図４は、Ｚ２方向から見た支持体２の分解斜視図である。図５は、Ｚ１方向から見た支持体２の分解斜視図である。
図１は、本発明に係るアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１のアクチュエータ１の分解斜視図である。図３は、図１のアクチュエータ１のＹＺ断面図である。図４は、Ｚ２方向から見た支持体２の分解斜視図である。図５は、Ｚ１方向から見た支持体２の分解斜視図である。
【0019】
図１に示すように、アクチュエータ１は、全体として第２方向Ｘの寸法が第３方向Ｙの寸法および第１方向Ｚの寸法より大きい直方体形状である。図２、図３に示すように、アクチュエータ１は、支持体２と、可動体３と、磁気駆動回路４と、配線基板５とを備える。磁気駆動回路４は、第１方向Ｚに対向するコイル６および磁石７を備える。磁気駆動回路４は、可動体３を支持体２に対して第２方向Ｘに振動させる。コイル６は、支持体２のＸ２方向の側面に固定される配線基板５に接続される。
【0020】
アクチュエータ１は、支持体２と可動体３とに接続される接続体９を備える。可動体３は、接続体９を介して支持体２に支持される。後述するように、アクチュエータ１は、接続体９としてゲル状部材（粘弾性体）を用いる。
【0021】
アクチュエータ１は、可動体３が第２方向Ｘに振動することにより、アクチュエータ１や、アクチュエータ１を取り付けた機器等を利用する利用者に情報を報知する。アクチュエータ１は、可動体３の第２方向Ｘの振動によって利用者に触覚を与える触覚デバイスとして使用することができる。アクチュエータ１は、例えば、ゲーム機の操作部材、操作パネル、自動車のハンドルやいす等に組み込んで利用することができる。
【0022】
（支持体）
図１に示すように、支持体２は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に順に重ねられた第１ケース部材１０、コイルホルダ３０、および第２ケース部材２０を備える。図３に示すように、第１ケース部材１０と第２ケース部材２０との間に可動体３および磁気駆動回路４が配置される。本形態では、第１ケース部材１０、コイルホルダ３０、および第２ケース部材２０は各々、樹脂製である。
図１に示すように、支持体２は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に順に重ねられた第１ケース部材１０、コイルホルダ３０、および第２ケース部材２０を備える。図３に示すように、第１ケース部材１０と第２ケース部材２０との間に可動体３および磁気駆動回路４が配置される。本形態では、第１ケース部材１０、コイルホルダ３０、および第２ケース部材２０は各々、樹脂製である。
【0023】
図３、図４に示すように、第１ケース部材１０は、第２方向Ｘで並ぶ２つの凹部１３が形成された第１端板部１１と、第１端板部１１の外周縁からＺ２方向に延びる第１側板部１２を備える。図３、図５に示すように、第２ケース部材２０は、第２方向Ｘで並ぶ２つの凹部２３が形成された第２端板部２１と、第２端板部２１の外周縁からＺ１方向に延びる第２側板部２２を備える。
【0024】
図２、図４に示すように、第１ケース部材１０からは、第２ケース部材２０に向かって２本のフック１４がＺ２方向に延びている。各フック１４の先端には係止爪１４０が設けられている。後述するように、支持体２を組み立てる際には、コイルホルダ３０を貫通させたフック１４の係止爪１４０を第２ケース部材２０に係止することにより、第１ケース部材１０、コイルホルダ３０、および第２ケース部材２０を結合する。
【0025】
図４、図５に示すように、コイルホルダ３０は、ＸＹ面に平行な板状の部材である。コイルホルダ３０には、第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２が第２方向Ｘに並んで設けられている。第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２は、コイルホルダ３０の第２方向Ｘの中央に設けられたコイル保持部３３を第１方向Ｚに貫通する。コイルホルダ３０には、第１コイル配置穴３１のＸ１方向に矩形の開口部３０１が形成され、第２コイル配置穴３２のＸ２方向に矩形の開口部３０２が形成される。開口部３０１、３０２は、コイル保持部３３の第２方向Ｘの両側を第１方向Ｚに貫通する。コイル保持部３３のＸ１方向およびＸ２方向の端面からは、それぞれ、２箇所のプレート係止突起３０３が突出する。
【0026】
図４、図５に示すように、支持体２は、コイルホルダ３０およびコイル６にＺ１方向から重ねられた金属製のプレート４０を備える。後述するように、支持体２は、コイルホルダ３０、プレート４０、およびコイル６を組み立てたコイル組８を備える（図２、図８参照）。プレート４０は、コイル保持部３３に重なる平板状のプレート本体４１と、プレー
ト本体４１のＸ１方向およびＸ２方向の端縁からＺ２方向に屈曲した一対の固定部４２を備える。一対の固定部４２には、それぞれ、プレート係止突起３０３が嵌まる２箇所の係止穴４２０が設けられている。
ト本体４１のＸ１方向およびＸ２方向の端縁からＺ２方向に屈曲した一対の固定部４２を備える。一対の固定部４２には、それぞれ、プレート係止突起３０３が嵌まる２箇所の係止穴４２０が設けられている。
【0027】
（磁気駆動回路４）
磁気駆動回路４は、コイル６として、第１コイル６１および第２コイル６２を備える。図２に示すように、第１コイル６１は、第１コイル配置穴３１に配置される。第２コイル６２は、第２コイル配置穴３２に配置される。図４、図５に示すように、コイル６は、第３方向Ｙに延在する２本の有効辺６０１を備える長円形状の空芯コイルである。コイル６の中央には、第３方向Ｙに延びる中央穴６０２が設けられている。
磁気駆動回路４は、コイル６として、第１コイル６１および第２コイル６２を備える。図２に示すように、第１コイル６１は、第１コイル配置穴３１に配置される。第２コイル６２は、第２コイル配置穴３２に配置される。図４、図５に示すように、コイル６は、第３方向Ｙに延在する２本の有効辺６０１を備える長円形状の空芯コイルである。コイル６の中央には、第３方向Ｙに延びる中央穴６０２が設けられている。
【0028】
磁石７は、コイル６の有効辺６０１と第１方向Ｚで対向する（図３参照）。図２、図３に示すように、磁石７は、第１コイル６１および第２コイル６２の有効辺６０１にＺ１方向から対向する２個の第１磁石７１、７２と、第１コイル６１および第２コイル６２の有効辺６０１にＺ２方向から対向する２個の第２磁石７３、７４を備える。第１磁石７１、７２および第２磁石７３、７４は、第３方向Ｙで分極着磁される。本形態では、第１コイル６１と第２コイル６２は、同一のコイルである。また、第１磁石７１、７２、および第２磁石７３、７４は、全て同一の磁石である。
【0029】
なお、本形態では、コイル６に対して第１方向Ｚの両側に磁石７を配置しているが、磁気駆動回路４は、コイル６に対してＺ方向にのみ、もしくはコイル６に対してＺ２方向にのみ磁石７を配置した構成を採用してもよい。また、本形態では、コイル６と磁石７を第１方向Ｚで対向させた磁気駆動回路を２組備えているが、本発明は、磁気駆動回路を１組、あるいは３組以上備えたアクチュエータに適用できる。
【0030】
（可動体）
可動体３は、磁石７を保持するヨーク８０を備える。図２、図３に示すように、ヨーク８０は、コイル保持部３３に対してＺ１方向から対向する第１板部８１と、コイル保持部３３に対してＺ２方向から対向する第２板部８２と、コイル保持部３３の第２方向Ｘの両側において第１方向Ｚに延びて第１板部８１と第２板部８２とを接続する一対の連結板部８３、８４を備える。第１板部８１のＺ２方向の表面には、第１磁石７１、７２が第２方向Ｘに並んで固定される。第２板部８２のＺ１方向の表面には、第２磁石７３、７４が第２方向Ｘに並んで固定される。第１磁石７１、７２および第２磁石７３、７４は、接着等の方法でヨーク８０に固定される。
可動体３は、磁石７を保持するヨーク８０を備える。図２、図３に示すように、ヨーク８０は、コイル保持部３３に対してＺ１方向から対向する第１板部８１と、コイル保持部３３に対してＺ２方向から対向する第２板部８２と、コイル保持部３３の第２方向Ｘの両側において第１方向Ｚに延びて第１板部８１と第２板部８２とを接続する一対の連結板部８３、８４を備える。第１板部８１のＺ２方向の表面には、第１磁石７１、７２が第２方向Ｘに並んで固定される。第２板部８２のＺ１方向の表面には、第２磁石７３、７４が第２方向Ｘに並んで固定される。第１磁石７１、７２および第２磁石７３、７４は、接着等の方法でヨーク８０に固定される。
【0031】
本形態では、ヨーク８０は、第１板部８１および第１板部８１の第３方向Ｙの両端からＺ２方向に屈曲した一対の連結板部８３、８４を備える第１ヨーク８５と、第２板部８２からなる第２ヨーク８６の２部品を接合して製造される。図３に示すように、連結板部８３は、第１コイル６１に対してＸ１方向でコイルホルダ３０の開口部３０１を通ってＺ２方向に延びる。連結板部８４は、第２コイル６２に対してＺ２方向でコイルホルダ３０の開口部３０２を通ってＺ２方向に延びる。一対の連結板部８３、８４のＺ２方向の端部は、溶接により第２板部８２の第３方向Ｙの両端部に連結される。
【0032】
（接続体）
図３に示すように、接続体９は、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所に配置される。可動体３は、接続体９によって第２方向Ｘに移動可能に支持される。本形態では、接続体９は、第１ヨーク８５と第１ケース部材１０とが第１方向Ｚで対向する個所に配置される第１接続体９１、および、第２ヨーク８６と第２ケース部材２０とが第１方向Ｚで対向する個所に配置される第２接続体９２を備える。
図３に示すように、接続体９は、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所に配置される。可動体３は、接続体９によって第２方向Ｘに移動可能に支持される。本形態では、接続体９は、第１ヨーク８５と第１ケース部材１０とが第１方向Ｚで対向する個所に配置される第１接続体９１、および、第２ヨーク８６と第２ケース部材２０とが第１方向Ｚで対向する個所に配置される第２接続体９２を備える。
【0033】
第１接続体９１は、第１ヨーク８５の第１板部８１と第１ケース部材１０の凹部１３の底面との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置される。本形態では、２個の第１接続体９１が第２方向Ｘで並列して配置される。また、第２接続体９２は、第２ヨーク８６の第２板部８２と第２ケース部材２０の凹部２３の底面との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置される。本形態では、２個の第２接続体９２が第２方向Ｘで並列して配置される。
【0034】
接続体９は、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備える。本形態では、接続体９は粘弾性体である。例えば、接続体９（粘弾性体）は、針入度が１０度から１１０度であるシリコーン系ゲルである。針入度とは、ＪＩＳ－Ｋ－２２０７やＪＩＳ－Ｋ－２２２０で規定されており、この値が小さい程、硬いことを意味する。また、粘弾性を備えた接続体９として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム）、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。
【0035】
接続体９は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、接続体９は、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。これに対して、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。また、接続体９は、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。
【0036】
可動体３が第２方向Ｘに振動した際、接続体９は、せん断方向に変形する。従って、接続体９では、可動体３が第２方向Ｘに振動した際、せん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもった振動を実現することができる。
【0037】
（支持体を構成する部品の結合方法）
図１に示すように、支持体２は、第１ケース部材１０、コイルホルダ３０、および第２ケース部材２０によって直方体形状の筐体を構成しており、アクチュエータ１の外装ケースとして機能する。第１ケース部材１０、コイルホルダ３０、および第２ケース部材２０は、いずれも第１方向Ｚから見た場合に４箇所の角部を備える矩形状であり、４箇所の角部を積層した箇所を結合することによって一体に組み立てられている。４箇所の角部のうちで、第２方向Ｘにおいて反対側且つ第３方向Ｙにおいて反対側に位置する２箇所の対角位置２ａ、２ｂは、第１ケース部材１０に設けたフック１４により、スナップフィット構造によって結合される。他の２箇所の対角位置２ｃ、２ｄは、ピンを穴に圧入もしくは嵌合した箇所を接着剤で固定することにより結合される。
図１に示すように、支持体２は、第１ケース部材１０、コイルホルダ３０、および第２ケース部材２０によって直方体形状の筐体を構成しており、アクチュエータ１の外装ケースとして機能する。第１ケース部材１０、コイルホルダ３０、および第２ケース部材２０は、いずれも第１方向Ｚから見た場合に４箇所の角部を備える矩形状であり、４箇所の角部を積層した箇所を結合することによって一体に組み立てられている。４箇所の角部のうちで、第２方向Ｘにおいて反対側且つ第３方向Ｙにおいて反対側に位置する２箇所の対角位置２ａ、２ｂは、第１ケース部材１０に設けたフック１４により、スナップフィット構造によって結合される。他の２箇所の対角位置２ｃ、２ｄは、ピンを穴に圧入もしくは嵌合した箇所を接着剤で固定することにより結合される。
【0038】
図４、図５に示すように、コイルホルダ３０の対角位置２ａ、２ｂには、第１ケース部材１０のフック１４を通すための貫通孔３４が設けられている。また、コイルホルダ３０の対角位置２ｃには、Ｚ１方向に突出する第１圧入ピン３５と、Ｚ２方向に突出する第２圧入ピン３７が設けられており、対角位置２ｄには、Ｚ１方向に突出する第１位置決めピン３６と、Ｚ２方向に突出する第２位置決めピン３８が設けられている。
【0039】
図４に示すように、第１ケース部材１０には、第１側板部１２における４箇所の角部に、それぞれ、内側へ張り出す張り出し部１２０が設けられている。フック１４は、第１ケース部材１０の対角位置２ａ、２ｂにおいて張り出し部１２０の先端面から突出する。コ
イルホルダ３０の第１圧入ピン３５が圧入される第１圧入穴１５は、対角位置２ｃの張り出し部１２０の先端面に開口する。コイルホルダ３０の第１位置決めピン３６が嵌合する第１位置決め穴１６は、対角位置２ｄの張り出し部１２０の先端面に開口する。
イルホルダ３０の第１圧入ピン３５が圧入される第１圧入穴１５は、対角位置２ｃの張り出し部１２０の先端面に開口する。コイルホルダ３０の第１位置決めピン３６が嵌合する第１位置決め穴１６は、対角位置２ｄの張り出し部１２０の先端面に開口する。
【0040】
図５に示すように、第２ケース部材２０には、第２側板部２２における４箇所の角部に、それぞれ、内側へ張り出す張り出し部２２０が設けられている。第１ケース部材１０のフック１４が係止されるフック用係止孔２４は、対角位置２ａ、２ｂの張り出し部２２０を貫通する。コイルホルダ３０の第２圧入ピン３７が圧入される第２圧入穴２７は、対角位置２ｃの張り出し部２２０の先端面に開口する。コイルホルダ３０の第２位置決めピン３８が篏合する第２位置決め穴２８は、対角位置２ｄの張り出し部２２０の先端面に開口する。
【0041】
図１、図４に示すように、フック用係止孔２４は、第２ケース部材２０の対角位置２ａ、２ｂに形成されたＺ１方向に凹むフック収容凹部２５の底面に開口する。フック１４の係止爪１４０は、フック収容凹部２５の内側に収容され、フック用係止孔２４の縁に係止される。
【0042】
図１、図４、図７に示すように、第２圧入穴２７および第２位置決め穴２８は、第２ケース部材２０の対角位置２ｃ、２ｄに形成されたＺ１方向に凹むピン収容凹部２６の底面に開口する。第２圧入穴２７に圧入された第２圧入ピン３７の先端部、および、第２位置決め穴２８に嵌合した第２位置決めピン３８の先端部は、ピン収容凹部２６に収容される。
【0043】
図６は、第１圧入ピン３５および第１位置決めピン３６の位置で切断したアクチュエータ１のＸＹ断面図である。図６の領域Ａの部分拡大図に示すように、第１圧入ピン３５は、第１圧入穴１５の内周面において等角度間隔で配置される３か所の凸部１５０によって、第１圧入穴１５の中心に位置決めされる。一方、領域Ｂの部分拡大図に示すように、第１位置決め穴１６の内周面には、対角位置２ｃ、２ｄを結ぶ対角線Ｐを挟んで対向する２か所に凸部１６０が設けられており、第１位置決め穴１６は、対角線Ｐに沿う対角方向に長い断面形状をしている。従って、第１位置決めピン３６は、対角方向に移動可能な状態で、第１位置決め穴１６に嵌合する。
【0044】
図７は、Ｚ２方向から見たアクチュエータ１の平面図である。図７の領域Ｃの部分拡大図に示すように、第２圧入ピン３７は、第２圧入穴２７の内周面において等角度間隔で配置される３か所の凸部２７０によって、第２圧入穴２７の中心に位置決めされる。一方、領域Ｄの部分拡大図に示すように、第２位置決め穴２８の内周面には、対角線Ｐを挟んで対向する２か所に凸部２８０が設けられており、第２位置決め穴２８は、第１位置決め穴１６と同様に、対角線Ｐに沿う対角方向に長い断面形状をしている。従って、第２位置決めピン３８は、対角方向に移動可能な状態で、第２位置決め穴２８に嵌合する。
【0045】
（アクチュエータの組立方法）
図８、図９、図１０は、アクチュエータ１の組立工程の説明図である。図８は第１工程の説明図である。図９は第２工程の説明図である。図１０は第３工程の説明図である。まず、第１工程では、図８の上部に示すように、コイルホルダ３０、第１コイル６１、第２コイル６２、およびプレート４０からコイル組８を組み立てる。例えば、コイル保持部３３にプレート本体４１をＺ１方向から積層し、コイル保持部３３のＸ１方向およびＸ２方向の端面から突出するプレート係止突起３０３をプレート４０の固定部４２に設けられた係止穴４２０に嵌め込む。これにより、プレート４０がコイルホルダ３０に固定される。続いて、接着剤を入れた第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２にコイル６を配置してコイルホルダ３０およびプレート４０に固定する。
図８、図９、図１０は、アクチュエータ１の組立工程の説明図である。図８は第１工程の説明図である。図９は第２工程の説明図である。図１０は第３工程の説明図である。まず、第１工程では、図８の上部に示すように、コイルホルダ３０、第１コイル６１、第２コイル６２、およびプレート４０からコイル組８を組み立てる。例えば、コイル保持部３３にプレート本体４１をＺ１方向から積層し、コイル保持部３３のＸ１方向およびＸ２方向の端面から突出するプレート係止突起３０３をプレート４０の固定部４２に設けられた係止穴４２０に嵌め込む。これにより、プレート４０がコイルホルダ３０に固定される。続いて、接着剤を入れた第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２にコイル６を配置してコイルホルダ３０およびプレート４０に固定する。
【0046】
また、第１工程では、図８の下部に示すように、第１ケース部材１０、第１接続体９１、第１ヨーク８５、および第１磁石７１、７２を組み立てる。例えば、第１ケース部材１０に設けられた２箇所の凹部１３にそれぞれ第１接続体９１を配置する（図２参照）。そして、第１板部８１に第１磁石７１、７２を固定した第１ヨーク８５を第１側板部１２の内側に落とし込んで第１接続体９１の上端面に載せる。これにより、第１接続体９１によって第１ケース部材１０と第１ヨーク８５の第１板部８１とが接続される。
【0047】
次に、第２工程では、図９に示すように、第１ヨーク８５とコイル組８とを組み立てる。このとき、コイルホルダ３０の開口部３０１、３０２に第１ヨーク８５の連結板部８３、８４を通し、コイルホルダ３０の貫通孔３４にフック１４を通す。そして、第１ケース部材１０第１圧入穴１５および第１位置決め穴１６に接着剤を垂らしてから、コイルホルダ３０の第１圧入ピン３５を第１圧入穴１５に圧入し、第１位置決めピン３６を第１位置決め穴１６に嵌合して、圧入箇所および篏合箇所を接着剤により固定する。
【0048】
続いて、第３工程では、図１０に示すように、第１ヨーク８５と第２ヨーク８６とを接合して可動体３を組み立てる。例えば、第２板部８２からなる第２ヨーク８６に第２磁石７３、７４を固定してから、第２ヨーク８６のＸ１方向の端部を連結板部８３の先端に溶接により接合するとともに、第２ヨーク８６のＸ２方向の端部を連結板部８４の先端に溶接により接合する。
【0049】
ここで、第１ヨーク８５と第２ヨーク８６とを接合する前に、あるいは、第１ヨーク８５と第２ヨーク８６とを接合した後に、コイル組８の各コイル６から引き出したコイル線（図示せず）を、コイルホルダ３０のＺ２方向の表面に設けられた溝に沿って引き回して、コイルホルダ３０のＸ２方向の端部に保持させた配線基板５（図２参照）に接続する。
【0050】
次に、第４工程では、第２ヨーク８６のＺ２方向の面に第２接続体９２を載せてから、第２ケース部材２０をＺ２方向から被せる。このとき、第２ケース部材２０のフック用係止孔２４にフック１４を通す。そして、第２ケース部材２０をＺ１方向に押圧しながら、フック１４の先端の係止爪１４０をフック用係止孔２４の縁に係止する。このとき、第１接続体９１および第２接続体９２を圧縮しながら係止するため、ゲル状部材の弾性力により、第１ケース部材１０と第２ケース部材２０が対角位置２ａ、２ｂにおいてスナップフィット構造により結合される（図１参照）。
【0051】
また、第４工程では、対角位置２ｃにおいて第２圧入ピン３７を第２圧入穴２７に圧入し、対角位置２ｄにおいて第２位置決めピン３８を第２位置決め穴２８に嵌合させる。その後に、２箇所のピン収容凹部２６にＺ２方向から接着剤を垂らす。これにより、第２圧入ピン３７が第２圧入穴２７に接着剤により固定され、第２位置決めピン３８が第２位置決め穴２８に接着剤により固定される。
【0052】
（共振による異音の抑制構造）
本形態では、支持体２の第３方向Ｙの両側の側面において、第１方向Ｚに積層される部品同士が第３方向Ｙに重なる構造を設けて、重なり合う部分を接着剤により接合する。これにより、支持体２の第３方向Ｙの両側の側面を構成する部品が共振によって振動することを抑制し、振動箇所で部品同士が衝突することによる異音の発生を抑制する。
本形態では、支持体２の第３方向Ｙの両側の側面において、第１方向Ｚに積層される部品同士が第３方向Ｙに重なる構造を設けて、重なり合う部分を接着剤により接合する。これにより、支持体２の第３方向Ｙの両側の側面を構成する部品が共振によって振動することを抑制し、振動箇所で部品同士が衝突することによる異音の発生を抑制する。
【0053】
具体的には、コイルホルダ３０の第３方向Ｙの両端にはＺ２方向に突出する突出部３９が設けられ、コイルホルダ３０に固定されたプレート４０の第３方向Ｙの両端には、Ｚ１方向に突出する折り曲げ部４３が設けられている。突出部３９は、第２ケース部材２０の側面に外側から重なるように組み立てられ、第２ケース部材２０の側面に固定される。折
り曲げ部４３は、第１ケース部材１０の側面に外側から重なるように組み立てられ、第１ケース部材１０の側面に固定される。これにより、コイルホルダ３０およびプレート４０を介して、第２ケース部材２０および第１ケース部材１０の側面部分が第３方向Ｙに振動することが抑制される。
り曲げ部４３は、第１ケース部材１０の側面に外側から重なるように組み立てられ、第１ケース部材１０の側面に固定される。これにより、コイルホルダ３０およびプレート４０を介して、第２ケース部材２０および第１ケース部材１０の側面部分が第３方向Ｙに振動することが抑制される。
【0054】
より詳細には、図４、図５に示すように、プレート４０は、プレート本体４１のＹ１方向およびＹ２方向の端縁の中央からＺ１方向に屈曲した一対の折り曲げ部４３を備える。プレート本体４１と折り曲げ部４３とが繋がる角部の中央には、Ｚ１方向に切り欠いた切欠き部４４が設けられている。コイル組８を第１ケース部材１０に積層する工程（第２工程）では、プレート４０の折り曲げ部４３を第１ケース部材１０のＹ１方向およびＹ２方向の側面である第１ケース側面１０Ｙに外側から重ねた状態となるように組み付けて、接着剤により折り曲げ部４３を第１ケース側面１０Ｙに固定する。
【0055】
図４、図５、図６に示すように、第１ケース側面１０Ｙの第２方向Ｘの中央には、それぞれ、折り曲げ部４３が嵌合する凹部１７が設けられている。凹部１７は、第１側板部１２のＺ２方向の端部に設けられている。図９に示すように、プレート４０の折り曲げ部４３を凹部１７に嵌め込む際、凹部１７の内面から突出する爪部１８を切欠き部４４に嵌め込む。これにより、折り曲げ部４３が第１側板部１２に係止される。
【0056】
図４、図５に示すように、爪部１８には、幅方向（第２方向Ｘ）の中央において第１方向Ｚに延びる接着剤注入溝１９が設けられている。図９に示すように、コイル組８を第１ケース部材１０に組み付けた後に、切欠き部４４からＺ２方向に突出した爪部１８の先端に開口する接着剤注入溝１９に接着剤を垂らすことができる。これにより、接着剤によって折り曲げ部４３が凹部１７の内面に固定される。
【0057】
コイルホルダ３０は、第３方向Ｙの両側の端縁からそれぞれＺ２方向に突出する２箇所の突出部３９を備える。Ｙ１方向の端縁に設けられた突出部３９は、折り曲げ部４３のＸ１方向に位置する。Ｙ２方向の端縁に設けられた突出部３９は、折り曲げ部４３のＸ２方向に位置する。
【0058】
図１、図７に示すように、各突出部３９は、第２ケース部材２０の第３方向Ｙの側面である第２ケース側面２０Ｙに設けられた嵌合溝２９に嵌合する。上記の第４工程において、第２ケース部材２０をコイル組８にＺ２方向から被せる際、嵌合溝２９に突出部３９を嵌合させる。これにより、嵌合溝２９の底面に突出部３９が外側から重なる（図１参照）。嵌合溝２９は、第２側板部１２のＺ２方向の端部まで延びている。従って、Ｚ２方向から接着剤を嵌合溝２９に垂らすことができる。これにより、接着剤により突出部３９が第２ケース側面２０Ｙに固定される。
【0059】
図５に示すように、プレート４０は、折り曲げ部４３のＸ１方向およびＸ２方向において、プレート本体４１のＹ１方向およびＹ２方向の端縁からそれぞれＺ１方向に屈曲した４箇所の縁部４５を備える。コイルホルダ３０は、第３方向Ｙの両側の端縁からそれぞれＺ１方向に突出する縁部３０４を４箇所に備える。各縁部３０４の第２方向Ｘの位置はプレート４０の縁部４５と一致する。コイル組８を組み立てると、折り曲げ部４３のＸ１方向およびＸ２方向において、プレート４０の縁部４５の外側にコイルホルダ３０の縁部３０４が重なる（図６参照）。
【0060】
図４、図８に示すように、第１側板部１２のＺ２方向の端部は、折り曲げ部４３が固定される凹部１７のＸ１方向およびＸ２方向の２か所がＺ１方向に凹んだ形状をしており、この部分にコイルホルダ３０の縁部３０４およびプレート４０の縁部４５が嵌合する（図１、図９参照）。
【0061】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のアクチュエータ１は、支持体２および可動体３と、可動体３と支持体２とに接続される接続体９と、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動回路４と、を有する。磁気駆動回路４は、支持体２に設けられたコイル６と、可動体３に設けられてコイル６に第１方向Ｚで対向する磁石７と、を備え、可動体３を第１方向Ｚに対して交差する第２方向Ｘに駆動する。支持体２は、第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２が設けられたコイルホルダ３０と、コイルホルダ３０にＺ１方向から重なる第１ケース部材１０と、コイルホルダ３０にＺ２方向から重なる第２ケース部材２０と、を備える。コイルホルダ３０は、第３方向Ｙの両側の端部からそれぞれＺ２方向へ突出する一対の突出部３９を備える。各突出部３９は、第２ケース部材２０の第３方向Ｙの両側の側面である一対の第２ケース側面２０Ｙに外側から重なるとともに接着剤により第２ケース側面２０Ｙに固定される。
以上説明したように、本形態のアクチュエータ１は、支持体２および可動体３と、可動体３と支持体２とに接続される接続体９と、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動回路４と、を有する。磁気駆動回路４は、支持体２に設けられたコイル６と、可動体３に設けられてコイル６に第１方向Ｚで対向する磁石７と、を備え、可動体３を第１方向Ｚに対して交差する第２方向Ｘに駆動する。支持体２は、第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２が設けられたコイルホルダ３０と、コイルホルダ３０にＺ１方向から重なる第１ケース部材１０と、コイルホルダ３０にＺ２方向から重なる第２ケース部材２０と、を備える。コイルホルダ３０は、第３方向Ｙの両側の端部からそれぞれＺ２方向へ突出する一対の突出部３９を備える。各突出部３９は、第２ケース部材２０の第３方向Ｙの両側の側面である一対の第２ケース側面２０Ｙに外側から重なるとともに接着剤により第２ケース側面２０Ｙに固定される。
【0062】
本形態によれば、アクチュエータ１の筐体において、振動方向と直交する方向（第３方向Ｙ）の側面に部品同士が重なる部分（コイルホルダ３０の突出部３９が第２ケース部材２０の側面に外側から重なる箇所）を設けて、接着剤により部品同士が重なる箇所を固定する。これにより、アクチュエータ１の筐体の側面部分が振動方向と直交する方向に大きく振動する周波数で可動体３を振動させる共振モードでアクチュエータ１を駆動する場合においても、振動する箇所（筐体の側面部分）の変形を抑制することができ、部品同士の衝突による異音の発生を抑制することができる。すなわち、アクチュエータ１の第３方向Ｙの側面において第２ケース部材２０が共振によって振動する箇所の変形を抑制することができる。従って第２ケース部材２０と他部品との衝突による異音の発生を抑制することができる。
【0063】
本形態では、コイルホルダ３０の突出部３９は、第２ケース側面２０Ｙに設けられた嵌合溝２９に嵌合し、接着剤により嵌合溝２９の内面に固定される。嵌合溝２９は、第２ケース側面２０ＹにおけるＺ１方向の端部からＺ２方向の端部まで延びている。このように、突出部３９を嵌合溝２９に収容することによって、アクチュエータ１の第３方向Ｙの幅が大型化することを回避できる。また、突出部３９を側面に固定するための接着剤を嵌合溝２９のＺ２方向の端部から注入できるため、組立前に接着剤を塗布する必要がない。さらに、突出部３９と嵌合溝２９とを嵌合させることによって、コイルホルダ３０と第２ケース部材２０との位置精度を高めることができる。
【0064】
本形態では、支持体２は、コイルホルダ３０にＺ１方向から重なるとともに第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２に配置されるコイル６を支持するプレート４０を備える。プレート４０は、第３方向Ｙの両側の端部からＺ１方向へ突出する折り曲げ部４３を備える。折り曲げ部４３は、第１ケース部材１０の第３方向Ｙの側面である第１ケース側面１０Ｙに外側から重なるとともに接着剤により第１ケース側面１０Ｙに固定される。このように、本形態では、アクチュエータ１の筐体において振動方向と直交する方向の側面に、コイルホルダ３０の突出部３９を利用した重なり部分に加えて、プレート４０の折り曲げ部４３を利用した重なり部分が設けられている。これにより、アクチュエータ１の第３方向Ｙの側面において第１ケース部材１０および第２ケース部材２０が共振によって振動する箇所の変形を抑制することができる。従って、部品同士の衝突による異音の発生を抑制できる。
【0065】
本形態では、アクチュエータ１の第３方向Ｙの両側の側面において、第１方向Ｚに積層された３つの部品（コイルホルダ３０、第１ケース部材１０、第２ケース部材２０）は、コイルホルダ３０に固定されるプレート４０を介して、全て一体に固定される。従って、アクチュエータ１の第３方向Ｙの両側の側面において、振動する箇所の変形を抑制するこ
とができ、部品同士の衝突による異音の発生を抑制できる。
とができ、部品同士の衝突による異音の発生を抑制できる。
【0066】
本形態のアクチュエータ１の３次元モデルを用いて固有振動数の解析を行った結果、突出部３９と折り曲げ部４３による固定構造がない場合と比較して、第１ケース部材１０および第２ケース部材２０から発せられる騒音レベルが低下することが確認できた。
【0067】
なお、突出部３９は、コイルホルダ３０のＹ１方向の端部、およびＹ２方向の端部のいずれか一方にのみ設けられていてもよい。また、嵌合溝２９は、第２ケース部材２０のＹ１方向の側面、および。Ｙ２方向の側面のいずれか一方にのみ設けられていてもよい。
【0068】
同様に、折り曲げ部４３は、プレート４０のＹ１方向の端部、およびＹ２方向の端部のいずれか一方にのみ設けられていてもよい。また、凹部１７は、第１ケース部材１０のＹ１方向の側面、および。Ｙ２方向の側面のいずれか一方にのみ設けられていてもよい。
【0069】
また、突出部３９は、Ｚ２方向でなくＺ１方向に突出して、第１ケース部材１０のＹ１方向の側面およびＹ２方向の側面である第１ケース側面１０Ｙに外側から重なり、接着剤により第１ケース側面１０Ｙに固定される構造としてもよい。
【0070】
この場合に、折り曲げ部４３は、Ｚ１方向でなくＺ２方向に突出して、第２ケース部材２０のＹ１方向の側面およびＹ２方向の側面である第２ケース側面２０Ｙに外側から重なり、接着剤により第２ケース側面２０Ｙに固定される構造とすることができる。
【0071】
本形態では、折り曲げ部４３は、第１ケース側面１０Ｙに設けられた凹部１７に嵌合し、接着剤により凹部１７の内面に固定される。プレート４０は、コイルホルダ３０にＺ２方向から重なる平板状のプレート本体４１を備え、プレート本体４１と折り曲げ部４３とが繋がる角部を切り欠いた切欠き部４４が設けられている。第１ケース部材１０は、凹部１７の内面から突出して切欠き部４４に嵌まる爪部１８を備える。従って、切欠き部４４に爪部１８を係止することによって、折り曲げ部４３を凹部１７に嵌め込んだ状態にプレート４０を固定することができる。よって、第１ケース部材１０に対するプレート４０の位置決めを精度良く、且つ、容易に行うことができ、組立容易性を高めることができる。
【0072】
本形態では、第１ケース側面１０Ｙに、爪部１８の先端から凹部１７の内面まで延びる接着剤注入溝１９が設けられている。従って、折り曲げ部４３を第１ケース側面１０Ｙに固定するための接着剤を爪部１８の先端から接着剤注入溝１９に注垂らすことができるため、組立前に接着剤を塗布する必要がない。よって、組立容易性を高めることができる。
【0073】
本形態では、コイルホルダ３０には、第１コイル配置穴３１および第２コイル配置穴３２が設けられたコイル保持部３３と、コイル保持部３３の第２方向Ｘの両側を貫通する一対の開口部３０１、３０２が設けられている。プレート４０は、第２方向Ｘの両側の端部からＺ２方向へ突出する一対の固定部４２を備える。一対の固定部４２のそれぞれに設けられた係止穴４２０にコイル保持部３３の第２方向Ｘの両側の端面に設けられたプレート係止突起３０３を嵌め込むことにより、プレート４０がコイルホルダ３０に固定される。従って、コイルホルダ３０とプレート４０を精度良く位置決めでき、容易に組み立てることができる。
【0074】
（他の実施形態）
本発明の実施形態としては、以下の形態を採用することができる。
（１）支持体および可動体と、前記可動体と前記支持体とに接続される接続体と、前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路と、を有し、
前記磁気駆動回路は、前記支持体に設けられたコイルと、前記可動体に設けられて前記
コイルに第１方向で対向する磁石と、を備え、前記可動体を前記第１方向に対して交差する第２方向に駆動し、
前記支持体は、コイル配置穴が設けられたコイルホルダと、
前記コイルホルダに前記第１方向の一方側から重なる第１ケース部材と、
前記コイルホルダに前記第１方向の他方側から重なる第２ケース部材と、を備え、
前記第１方向に対して交差し且つ前記第２方向に対して交差する方向を第３方向とする場合に、
前記コイルホルダは、前記第３方向の両側の端部の少なくとも一方から前記第１方向の一方側または他方側へ突出する突出部を備え、
前記突出部は、前記第１ケース部材または前記第２ケース部材の前記第３方向の側面に外側から重なるとともに接着剤により前記側面に固定されることを特徴とするアクチュエータ。
本発明の実施形態としては、以下の形態を採用することができる。
（１）支持体および可動体と、前記可動体と前記支持体とに接続される接続体と、前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路と、を有し、
前記磁気駆動回路は、前記支持体に設けられたコイルと、前記可動体に設けられて前記
コイルに第１方向で対向する磁石と、を備え、前記可動体を前記第１方向に対して交差する第２方向に駆動し、
前記支持体は、コイル配置穴が設けられたコイルホルダと、
前記コイルホルダに前記第１方向の一方側から重なる第１ケース部材と、
前記コイルホルダに前記第１方向の他方側から重なる第２ケース部材と、を備え、
前記第１方向に対して交差し且つ前記第２方向に対して交差する方向を第３方向とする場合に、
前記コイルホルダは、前記第３方向の両側の端部の少なくとも一方から前記第１方向の一方側または他方側へ突出する突出部を備え、
前記突出部は、前記第１ケース部材または前記第２ケース部材の前記第３方向の側面に外側から重なるとともに接着剤により前記側面に固定されることを特徴とするアクチュエータ。
【0075】
（２）前記突出部は、前記側面に設けられた嵌合溝に嵌合し、接着剤により前記嵌合溝の内面に固定され、
前記嵌合溝は、前記側面における前記第１方向の一方側の端部から前記第１方向の他方側の端部まで延びていることを特徴とする上記（１）のアクチュエータ。
前記嵌合溝は、前記側面における前記第１方向の一方側の端部から前記第１方向の他方側の端部まで延びていることを特徴とする上記（１）のアクチュエータ。
【0076】
（３）前記突出部は、前記第１方向の他方側へ突出して、前記第２ケース部材の前記第３方向の側面である第２ケース側面に外側から重なり、
前記支持体は、前記コイルホルダに前記第１方向の一方側から重なるとともに前記コイル配置穴に配置されるコイルを支持するプレートを備え、
前記プレートは、前記第３方向の両側の端部の少なくとも一方から前記第１方向の一方側へ突出する折り曲げ部を備え、
前記折り曲げ部は、前記第１ケースの前記第３方向の側面である第１ケース側面に外側から重なるとともに接着剤により前記第１ケース側面に固定されることを特徴とする上記（１）または（２）のアクチュエータ。
前記支持体は、前記コイルホルダに前記第１方向の一方側から重なるとともに前記コイル配置穴に配置されるコイルを支持するプレートを備え、
前記プレートは、前記第３方向の両側の端部の少なくとも一方から前記第１方向の一方側へ突出する折り曲げ部を備え、
前記折り曲げ部は、前記第１ケースの前記第３方向の側面である第１ケース側面に外側から重なるとともに接着剤により前記第１ケース側面に固定されることを特徴とする上記（１）または（２）のアクチュエータ。
【0077】
（４）前記折り曲げ部は、前記第１ケース側面に設けられた凹部に嵌合し、接着剤により前記凹部の内面に固定され、
前記プレートは、前記コイルホルダに前記第１方向の他方側から重なる平板状のプレート本体を備え、前記プレート本体と前記折り曲げ部とが繋がる角部を切り欠いた切欠き部が設けられ、
前記第１ケース部材は、前記凹部の内面から突出して前記切欠き部に嵌まる爪部を備えることを特徴とする上記（３）のアクチュエータ。
前記プレートは、前記コイルホルダに前記第１方向の他方側から重なる平板状のプレート本体を備え、前記プレート本体と前記折り曲げ部とが繋がる角部を切り欠いた切欠き部が設けられ、
前記第１ケース部材は、前記凹部の内面から突出して前記切欠き部に嵌まる爪部を備えることを特徴とする上記（３）のアクチュエータ。
【0078】
（５）前記第１ケース側面には、前記爪部の先端から前記凹部の内面まで延びる接着剤注入溝が設けられていることを特徴とする上記（３）または（４）のアクチュエータ。
【0079】
（６）前記コイルホルダには、前記コイル配置穴が設けられたコイル保持部と、前記コイル保持部の前記第２方向の両側を貫通する一対の開口部が設けられ、
前記プレートは、前記第２方向の両側の端部から前記第１方向の他方側へ突出する一対の固定部を備え、
前記一対の固定部のそれぞれに設けられた係止穴に前記コイル保持部の前記第２方向の両側の端面に設けられたプレート係止突起を嵌め込むことにより、前記プレートが前記コイルホルダに固定されることを特徴とする上記（３）から（５）のいずれかのアクチュエータ。
前記プレートは、前記第２方向の両側の端部から前記第１方向の他方側へ突出する一対の固定部を備え、
前記一対の固定部のそれぞれに設けられた係止穴に前記コイル保持部の前記第２方向の両側の端面に設けられたプレート係止突起を嵌め込むことにより、前記プレートが前記コイルホルダに固定されることを特徴とする上記（３）から（５）のいずれかのアクチュエータ。
【0080】
（７）前記コイルホルダは、前記第３方向の両側の端部から前記第１方向の他方側へ突出する一対の前記突出部を備え、
前記一対の前記突出部は、前記第２ケースの前記第３方向の両側の側面である一対の前記第２ケース側面に外側から重なるとともに接着剤によって前記第２ケース側面に固定され、
前記プレートは、前記第３方向の両側の端部から前記第１方向の一方側へ突出する一対の前記折り曲げ部を備え、
前記一対の前記折り曲げ部は、前記第１ケースの前記第３方向の両側の側面である一対の前記第１ケース側面に外側から重なるとともに接着剤によって前記第１ケース側面に固定されることを特徴とする上記（３）から（６）のいずれかのアクチュエータ。
前記一対の前記突出部は、前記第２ケースの前記第３方向の両側の側面である一対の前記第２ケース側面に外側から重なるとともに接着剤によって前記第２ケース側面に固定され、
前記プレートは、前記第３方向の両側の端部から前記第１方向の一方側へ突出する一対の前記折り曲げ部を備え、
前記一対の前記折り曲げ部は、前記第１ケースの前記第３方向の両側の側面である一対の前記第１ケース側面に外側から重なるとともに接着剤によって前記第１ケース側面に固定されることを特徴とする上記（３）から（６）のいずれかのアクチュエータ。
【符号の説明】
【0081】
１…アクチュエータ、２…支持体、２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ…対角位置、３…可動体、４…磁気駆動回路、５…配線基板、６…コイル、７…磁石、８…コイル組、９…接続体、１０…第１ケース部材、１０Ｙ…第１ケース側面、１１…第１端板部、１２…第１側板部、１３…凹部、１４…フック、１５…第１圧入穴、１６…第１位置決め穴、１７…凹部、１８…爪部、１９…接着剤注入溝、２０…第２ケース部材、２０Ｙ…第２ケース側面、２１…第２端板部、２２…第２側板部、２３…凹部、２４…フック用係止孔、２５…フック収容凹部、２６…ピン収容凹部、２７…第２圧入穴、２８…第２位置決め穴、２９…嵌合溝、３０…コイルホルダ、３１…第１コイル配置穴、３２…第２コイル配置穴、３３…コイル保持部、３４…貫通孔、３５…第１圧入ピン、３６…第１位置決めピン、３７…第２圧入ピン、３８…第２位置決めピン、３９…突出部、４０…プレート、４１…プレート本体、４２…固定部、４３…折り曲げ部、４４…切欠き部、４５…縁部、６１…第１コイル、６２…第２コイル、７１、７２…第１磁石、７３、７４…第２磁石、８０…ヨーク、８１…第１板部、８２…第２板部、８３、８４…連結板部、８５…第１ヨーク、８６…第２ヨーク、９１…第１接続体、９２…第２接続体、１２０…張り出し部、１４０…係止爪、１５０…凸部、１６０…凸部、２２０…張り出し部、２７０…凸部、２８０…凸部、３０１、３０２…開口部、３０３…プレート係止突起、３０４…縁部、４２０…係止穴、６０１…有効辺、６０２…中央穴、Ｐ…対角線、Ｘ…第２方向、Ｙ…第３方向、Ｚ…第１方向
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】