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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024018057
(43)【公開日】2024-02-08
(54)【発明の名称】アクチュエータ
(51)【国際特許分類】
F16H 25/20 20060101AFI20240201BHJP
F16H 25/22 20060101ALI20240201BHJP
【ＦＩ】
F16H25/20 F
F16H25/22
【審査請求】未請求
【請求項の数】19
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022121117
(22)【出願日】2022-07-29
(71)【出願人】
【識別番号】391008515
【氏名又は名称】株式会社アイエイアイ
(74)【代理人】
【識別番号】100095407
【弁理士】
【氏名又は名称】木村 満
(74)【代理人】
【識別番号】100132883
【弁理士】
【氏名又は名称】森川 泰司
(74)【代理人】
【識別番号】100147924
【弁理士】
【氏名又は名称】美恵 英樹
(74)【代理人】
【識別番号】100165489
【弁理士】
【氏名又は名称】榊原 靖
(72)【発明者】
【氏名】鈴木 幹人
【テーマコード（参考）】
3J062
【Ｆターム（参考）】
3J062AA22
3J062AB22
3J062AC07
3J062BA31
3J062CD02
3J062CD22
3J062CD36
3J062CG83
(57)【要約】
【課題】可搬性能を向上させるために移動体を大型にしても、可搬性能の低下を最小限に抑えながら、移動体の移動範囲を長尺化させることができるアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータ１は、ボールネジと、移動体４０と、第１中間サポートユニット５０とを備える。第１中間サポートユニット５０は、第１の一方側中間サポート部材５１と、第１の他方側中間サポート部材５２と、第１連結部材５３とを有する。第１の一方側中間サポート部材５１は、ボールネジ軸の外周に摺動されるスライドブッシュ（第１摺動部材）を支持するスライドブッシュ支持部（第１摺動部材支持部）を有する第１本体部５１－１を有する。第１本体部５１－１には、第１本体部５１－１の軽量化を図るための第１孔５１－１ｂが形成されている。
【選択図】図８
【解決手段】アクチュエータ１は、ボールネジと、移動体４０と、第１中間サポートユニット５０とを備える。第１中間サポートユニット５０は、第１の一方側中間サポート部材５１と、第１の他方側中間サポート部材５２と、第１連結部材５３とを有する。第１の一方側中間サポート部材５１は、ボールネジ軸の外周に摺動されるスライドブッシュ（第１摺動部材）を支持するスライドブッシュ支持部（第１摺動部材支持部）を有する第１本体部５１－１を有する。第１本体部５１－１には、第１本体部５１－１の軽量化を図るための第１孔５１－１ｂが形成されている。
【選択図】図８
【特許請求の範囲】
【請求項1】
モータの回転軸の回転運動と共に回転運動を行うボールネジ軸と、前記ボールネジ軸の回転運動に伴って直線運動を行うボールネジナットと、を有するボールネジと、
前記ボールネジナットに接続され、前記ボールネジナットの前記直線運動と共に移動する移動体と、
前記移動体に対してその移動方向における一方側に配置されている第１の一方側中間サポート部材と、前記移動方向に対して他方側に配置されている第１の他方側中間サポート部材と、前記第１の一方側中間サポート部材と前記第１の他方側中間サポート部材とを連結する第１連結部材と、を有し、前記移動体が、前記第１の一方側中間サポート部材及び前記第１の他方側中間サポート部材のいずれかに当接して、前記移動体と共に移動する第１中間サポートユニットと、を備え、
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記ボールネジ軸の外周を摺動する第１摺動部材を支持する第１摺動部材支持部を有する第１本体部を有し、
前記第１本体部には、前記第１本体部の軽量化を図るための第１孔が形成されている、アクチュエータ。
前記ボールネジナットに接続され、前記ボールネジナットの前記直線運動と共に移動する移動体と、
前記移動体に対してその移動方向における一方側に配置されている第１の一方側中間サポート部材と、前記移動方向に対して他方側に配置されている第１の他方側中間サポート部材と、前記第１の一方側中間サポート部材と前記第１の他方側中間サポート部材とを連結する第１連結部材と、を有し、前記移動体が、前記第１の一方側中間サポート部材及び前記第１の他方側中間サポート部材のいずれかに当接して、前記移動体と共に移動する第１中間サポートユニットと、を備え、
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記ボールネジ軸の外周を摺動する第１摺動部材を支持する第１摺動部材支持部を有する第１本体部を有し、
前記第１本体部には、前記第１本体部の軽量化を図るための第１孔が形成されている、アクチュエータ。
【請求項2】
前記第１の他方側中間サポート部材は、前記ボールネジ軸の外周に摺動する第２摺動部材を支持する第２摺動部材支持部を有する第２本体部を有し、
前記第２本体部には、前記第２本体部の軽量化を図るための第２孔が形成されている、請求項１に記載のアクチュエータ。
前記第２本体部には、前記第２本体部の軽量化を図るための第２孔が形成されている、請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項3】
前記移動体及び前記第１中間サポートユニットは、ベースに移動可能に支持され、
前記第１本体部には、前記ベースに対する移動を円滑化させる第１移動支持部材が設置される第１移動支持部材設置部が形成され、
前記第１孔は、前記第１摺動部材支持部と前記第１移動支持部材設置部との間に設けられている、請求項１に記載のアクチュエータ。
前記第１本体部には、前記ベースに対する移動を円滑化させる第１移動支持部材が設置される第１移動支持部材設置部が形成され、
前記第１孔は、前記第１摺動部材支持部と前記第１移動支持部材設置部との間に設けられている、請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項4】
前記第１本体部には、前記第１連結部材が設置される第１連結部材設置部が形成され、
前記第１連結部材設置部は、前記第１移動支持部材設置部に設けられている、請求項３に記載のアクチュエータ。
前記第１連結部材設置部は、前記第１移動支持部材設置部に設けられている、請求項３に記載のアクチュエータ。
【請求項5】
前記第１本体部には、前記移動体との当接の衝撃を緩和する第１衝撃緩和部材が設置される第１衝撃緩和部材設置部が形成されている、請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項6】
前記第１本体部には、
前記移動体及び前記第１中間サポートユニットが移動可能に支持されるベースに対する移動を円滑化させる第１移動支持部材が設置される第１移動支持部材設置部と、
前記第１連結部材が設置される第１連結部材設置部と、
が形成され、
前記第１連結部材設置部は、前記第１移動支持部材設置部の形成位置よりも前記第１衝撃緩和部材設置部の形成位置の近くに形成されている、請求項５に記載のアクチュエータ。
前記移動体及び前記第１中間サポートユニットが移動可能に支持されるベースに対する移動を円滑化させる第１移動支持部材が設置される第１移動支持部材設置部と、
前記第１連結部材が設置される第１連結部材設置部と、
が形成され、
前記第１連結部材設置部は、前記第１移動支持部材設置部の形成位置よりも前記第１衝撃緩和部材設置部の形成位置の近くに形成されている、請求項５に記載のアクチュエータ。
【請求項7】
前記移動体及び前記第１中間サポートユニットは、ベースに移動可能に支持され、
前記第２本体部には、
前記ベースに対する移動を円滑化させる第２移動支持部材が設置される第２移動支持部材設置部と、
前記第１連結部材が設置される第２連結部材設置部と、
前記移動体との当接の衝撃を緩和する第２衝撃緩和部材が設置される第２衝撃緩和部材設置部と、が形成されている、請求項２に記載のアクチュエータ。
前記第２本体部には、
前記ベースに対する移動を円滑化させる第２移動支持部材が設置される第２移動支持部材設置部と、
前記第１連結部材が設置される第２連結部材設置部と、
前記移動体との当接の衝撃を緩和する第２衝撃緩和部材が設置される第２衝撃緩和部材設置部と、が形成されている、請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項8】
前記第１孔は、前記移動体の前記移動方向と平行な方向に開口する、請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項9】
前記第１孔は、前記移動体の前記移動方向と交差する方向に開口する、請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項10】
前記第１孔は、前記第１本体部を貫通して形成されている、請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項11】
前記第１の一方側中間サポート部材に対して前記一方側に配置されている第２の一方側中間サポート部材と、前記第１の他方側中間サポート部材に対して前記他方側に配置されている第２の他方側中間サポート部材と、前記第２の一方側中間サポート部材と前記第２の他方側中間サポート部材とを連結する第２連結部材と、を有し、前記第１の一方側中間サポート部材が前記第２の一方側中間サポート部材に当接して、又は、前記第１の他方側中間サポート部材が前記第２の他方側中間サポート部材に当接して、前記第１中間サポートユニットと共に移動する第２中間サポートユニットと、
前記第２の一方側中間サポート部材は、前記ボールネジ軸の外周に摺動される第３摺動部材を支持する第３摺動部材支持部を有する第３本体部を有し、
前記第３本体部には、前記第３本体部の軽量化を図るための第３孔が形成されている、請求項１から１０のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
前記第２の一方側中間サポート部材は、前記ボールネジ軸の外周に摺動される第３摺動部材を支持する第３摺動部材支持部を有する第３本体部を有し、
前記第３本体部には、前記第３本体部の軽量化を図るための第３孔が形成されている、請求項１から１０のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項12】
前記第２の他方側中間サポート部材は、前記ボールネジ軸の外周に摺動される第４摺動部材を支持する第４摺動部材支持部を有する第４本体部を有し、
前記第４本体部には、前記第４本体部の軽量化を図るための第４孔が形成されている、請求項１１に記載のアクチュエータ。
前記第４本体部には、前記第４本体部の軽量化を図るための第４孔が形成されている、請求項１１に記載のアクチュエータ。
【請求項13】
前記移動体及び前記第２中間サポートユニットは、ベースに移動可能に支持され、
前記第３本体部は、前記ベースに対する移動を円滑化させる第３移動支持部材が設置される第３移動支持部材設置部を有し、
前記第３孔は、前記第３摺動部材支持部と前記第３移動支持部材設置部との間に設けられている、請求項１１に記載のアクチュエータ。
前記第３本体部は、前記ベースに対する移動を円滑化させる第３移動支持部材が設置される第３移動支持部材設置部を有し、
前記第３孔は、前記第３摺動部材支持部と前記第３移動支持部材設置部との間に設けられている、請求項１１に記載のアクチュエータ。
【請求項14】
前記第３本体部には、前記第２連結部材が設置される第３連結部材設置部が形成され、
前記第３連結部材設置部は、前記第３移動支持部材設置部に設けられている、請求項１３に記載のアクチュエータ。
前記第３連結部材設置部は、前記第３移動支持部材設置部に設けられている、請求項１３に記載のアクチュエータ。
【請求項15】
前記第３本体部には、前記移動体との当接の衝撃を緩和する第３衝撃緩和部材が設置される第３衝撃緩和部材設置部が形成されている、請求項１１に記載のアクチュエータ。
【請求項16】
前記第３本体部には、
前記移動体及び前記第１中間サポートユニットが移動可能に支持されるベースに対する移動を円滑化させる第３移動支持部材が設置される第３移動支持部材設置部と、
前記第２連結部材が設置される第３連結部材設置部と、
が形成され、
前記第３連結部材設置部は、前記第３移動支持部材設置部の形成位置よりも前記第３衝撃緩和部材設置部の形成位置の近くに形成されている、請求項１５に記載のアクチュエータ。
前記移動体及び前記第１中間サポートユニットが移動可能に支持されるベースに対する移動を円滑化させる第３移動支持部材が設置される第３移動支持部材設置部と、
前記第２連結部材が設置される第３連結部材設置部と、
が形成され、
前記第３連結部材設置部は、前記第３移動支持部材設置部の形成位置よりも前記第３衝撃緩和部材設置部の形成位置の近くに形成されている、請求項１５に記載のアクチュエータ。
【請求項17】
前記第３孔は、前記移動体の前記移動方向と平行な方向に開口する、請求項１１に記載のアクチュエータ。
【請求項18】
前記第３孔は、前記移動体の前記移動方向と交差する方向に開口する、請求項１１に記載のアクチュエータ。
【請求項19】
前記第３孔は、前記第３本体部を貫通して形成されている、請求項１１に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、アクチュエータに関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、ボールネジの回転に伴って、ナット（移動体）が直線運動する工作機械が開示されている。ボールネジ軸には、ナットの移動をサポートする中間サポート部材としての支承部が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開平７－３０８８０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１に開示のものにおいて、ナットによって可搬される対象物の可搬重量を大きくすると、移動体を大型化する必要があり、移動体を軸方向に移動可能に支持するベースも大きくなる。そして、大型化したベースに、移動体を円滑に移動させるための中間サポート部材を設置しようとすると、中間サポート部材そのものも大型化し、その重量も重くなる。そのため、大型化した移動体を移動させるモータの負荷に加えて、大型化した中間サポート部材を有する中間サポートユニットを移動させる際のモータの負荷も大きくなる。
【0005】
本発明は、上述の事情の下になされたもので、可搬性能を向上させるために移動体を大型にしても、可搬性能の低下を最小限に抑えながら、移動体の移動範囲を長尺化させることができるアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上述の目的を達成するために、本発明に係るアクチュエータは、
モータの回転軸の回転運動と共に回転運動を行うボールネジ軸と、前記ボールネジ軸の回転運動に伴って直線運動を行うボールネジナットと、を有するボールネジと、
前記ボールネジナットに接続され、前記ボールネジナットの前記直線運動と共に移動する移動体と、
前記移動体に対してその移動方向における一方側に配置されている第１の一方側中間サポート部材と、前記移動方向に対して他方側に配置されている第１の他方側中間サポート部材と、前記第１の一方側中間サポート部材と前記第１の他方側中間サポート部材とを連結する第１連結部材と、を有し、前記移動体が、前記第１の一方側中間サポート部材及び前記第１の他方側中間サポート部材のいずれかに当接して、前記移動体と共に移動する第１中間サポートユニットと、を備え、
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記ボールネジ軸の外周を摺動する第１摺動部材を支持する第１摺動部材支持部を有する第１本体部を有し、
前記第１本体部には、前記第１本体部の軽量化を図るための第１孔が形成されている。
モータの回転軸の回転運動と共に回転運動を行うボールネジ軸と、前記ボールネジ軸の回転運動に伴って直線運動を行うボールネジナットと、を有するボールネジと、
前記ボールネジナットに接続され、前記ボールネジナットの前記直線運動と共に移動する移動体と、
前記移動体に対してその移動方向における一方側に配置されている第１の一方側中間サポート部材と、前記移動方向に対して他方側に配置されている第１の他方側中間サポート部材と、前記第１の一方側中間サポート部材と前記第１の他方側中間サポート部材とを連結する第１連結部材と、を有し、前記移動体が、前記第１の一方側中間サポート部材及び前記第１の他方側中間サポート部材のいずれかに当接して、前記移動体と共に移動する第１中間サポートユニットと、を備え、
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記ボールネジ軸の外周を摺動する第１摺動部材を支持する第１摺動部材支持部を有する第１本体部を有し、
前記第１本体部には、前記第１本体部の軽量化を図るための第１孔が形成されている。
【0007】
前記第１の他方側中間サポート部材は、前記ボールネジ軸の外周に摺動する第２摺動部材を支持する第２摺動部材支持部を有する第２本体部を有し、
前記第２本体部には、前記第２本体部の軽量化を図るための第２孔が形成されていてもよい。
前記第２本体部には、前記第２本体部の軽量化を図るための第２孔が形成されていてもよい。
【0008】
前記移動体及び前記第１中間サポートユニットは、ベースに移動可能に支持され、
前記第１本体部には、前記ベースに対する移動を円滑化させる第１移動支持部材が設置される第１移動支持部材設置部が形成され、
前記第１孔は、前記第１摺動部材支持部と前記第１移動支持部材設置部との間に設けられていてもよい。
前記第１本体部には、前記ベースに対する移動を円滑化させる第１移動支持部材が設置される第１移動支持部材設置部が形成され、
前記第１孔は、前記第１摺動部材支持部と前記第１移動支持部材設置部との間に設けられていてもよい。
【0009】
前記第１本体部には、前記第１連結部材が設置される第１連結部材設置部が形成され、
前記第１連結部材設置部は、前記第１移動支持部材設置部に設けられていてもよい。
前記第１連結部材設置部は、前記第１移動支持部材設置部に設けられていてもよい。
【0010】
前記第１本体部には、前記移動体との当接の衝撃を緩和する第１衝撃緩和部材が設置される第１衝撃緩和部材設置部が形成されていてもよい。
【0011】
前記第１本体部には、
前記移動体及び前記第１中間サポートユニットが移動可能に支持されるベースに対する移動を円滑化させる第１移動支持部材が設置される第１移動支持部材設置部と、
前記第１連結部材が設置される第１連結部材設置部と、
が形成され、
前記第１連結部材設置部は、前記第１移動支持部材設置部の形成位置よりも前記第１衝撃緩和部材設置部の形成位置の近くに形成されていてもよい。
前記移動体及び前記第１中間サポートユニットが移動可能に支持されるベースに対する移動を円滑化させる第１移動支持部材が設置される第１移動支持部材設置部と、
前記第１連結部材が設置される第１連結部材設置部と、
が形成され、
前記第１連結部材設置部は、前記第１移動支持部材設置部の形成位置よりも前記第１衝撃緩和部材設置部の形成位置の近くに形成されていてもよい。
【0012】
前記移動体及び前記第１中間サポートユニットは、ベースに移動可能に支持され、
前記第２本体部には、
前記ベースに対する移動を円滑化させる第２移動支持部材が設置される第２移動支持部材設置部と、
前記第１連結部材が設置される第２連結部材設置部と、
前記移動体との当接の衝撃を緩和する第２衝撃緩和部材が設置される第２衝撃緩和部材設置部と、が形成されていてもよい。
前記第２本体部には、
前記ベースに対する移動を円滑化させる第２移動支持部材が設置される第２移動支持部材設置部と、
前記第１連結部材が設置される第２連結部材設置部と、
前記移動体との当接の衝撃を緩和する第２衝撃緩和部材が設置される第２衝撃緩和部材設置部と、が形成されていてもよい。
【0013】
前記第１孔は、前記移動体の前記移動方向と平行な方向に開口してもよい。
【0014】
前記第１孔は、前記移動体の前記移動方向と交差する方向に開口してもよい。
【0015】
前記第１孔は、前記第１本体部を貫通して形成されていてもよい。
【0016】
前記第１の一方側中間サポート部材に対して前記一方側に配置されている第２の一方側中間サポート部材と、前記第１の他方側中間サポート部材に対して前記他方側に配置されている第２の他方側中間サポート部材と、前記第２の一方側中間サポート部材と前記第２の他方側中間サポート部材とを連結する第２連結部材と、を有し、前記第１の一方側中間サポート部材が前記第２の一方側中間サポート部材に当接して、又は、前記第１の他方側中間サポート部材が前記第２の他方側中間サポート部材に当接して、前記第１中間サポートユニットと共に移動する第２中間サポートユニットと、
前記第２の一方側中間サポート部材は、前記ボールネジ軸の外周に摺動される第３摺動部材を支持する第３摺動部材支持部を有する第３本体部を有し、
前記第３本体部には、前記第３本体部の軽量化を図るための第３孔が形成されていてもよい。
前記第２の一方側中間サポート部材は、前記ボールネジ軸の外周に摺動される第３摺動部材を支持する第３摺動部材支持部を有する第３本体部を有し、
前記第３本体部には、前記第３本体部の軽量化を図るための第３孔が形成されていてもよい。
【0017】
前記第２の他方側中間サポート部材は、前記ボールネジ軸の外周に摺動される第４摺動部材を支持する第４摺動部材支持部を有する第４本体部を有し、
前記第４本体部には、前記第４本体部の軽量化を図るための第４孔が形成されていてもよい。
前記第４本体部には、前記第４本体部の軽量化を図るための第４孔が形成されていてもよい。
【0018】
前記移動体及び前記第２中間サポートユニットは、ベースに移動可能に支持され、
前記第３本体部は、前記ベースに対する移動を円滑化させる第３移動支持部材が設置される第３移動支持部材設置部を有し、
前記第３孔は、前記第３摺動部材支持部と前記第３移動支持部材設置部との間に設けられていてもよい。
前記第３本体部は、前記ベースに対する移動を円滑化させる第３移動支持部材が設置される第３移動支持部材設置部を有し、
前記第３孔は、前記第３摺動部材支持部と前記第３移動支持部材設置部との間に設けられていてもよい。
【0019】
前記第３本体部には、前記第２連結部材が設置される第３連結部材設置部が形成され、
前記第３連結部材設置部は、前記第３移動支持部材設置部に設けられていてもよい。
前記第３連結部材設置部は、前記第３移動支持部材設置部に設けられていてもよい。
【0020】
前記第３本体部には、前記移動体との当接の衝撃を緩和する第３衝撃緩和部材が設置される第３衝撃緩和部材設置部が形成されていてもよい。
【0021】
前記第３本体部には、
前記移動体及び前記第１中間サポートユニットが移動可能に支持されるベースに対する移動を円滑化させる第３移動支持部材が設置される第３移動支持部材設置部と、
前記第２連結部材が設置される第３連結部材設置部と、
が形成され、
前記第３連結部材設置部は、前記第３移動支持部材設置部の形成位置よりも前記第３衝撃緩和部材設置部の形成位置の近くに形成されていてもよい。
前記移動体及び前記第１中間サポートユニットが移動可能に支持されるベースに対する移動を円滑化させる第３移動支持部材が設置される第３移動支持部材設置部と、
前記第２連結部材が設置される第３連結部材設置部と、
が形成され、
前記第３連結部材設置部は、前記第３移動支持部材設置部の形成位置よりも前記第３衝撃緩和部材設置部の形成位置の近くに形成されていてもよい。
【0022】
前記第３孔は、前記移動体の前記移動方向と平行な方向に開口してもよい。
【0023】
前記第３孔は、前記移動体の前記移動方向と交差する方向に開口してもよい。
【0024】
前記第３孔は、前記第３本体部を貫通して形成されていてもよい。
【発明の効果】
【0025】
本発明に係るアクチュエータは、可搬性能を向上させるために移動体を大型にしても、可搬性能の低下を最小限に抑えながら、移動体の移動範囲を長尺化させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0026】
【図1】本発明の実施の形態１に係るアクチュエータの斜視図（その１）である。
【図2】実施の形態１に係るアクチュエータの斜視図（その２）である。
【図3】実施の形態１に係るアクチュエータの正面図である。
【図5】実施の形態１に係るアクチュエータの分解斜視図である。
【図7】実施の形態１に係るアクチュエータを簡略して示した平面図である。
【図8】アクチュエータハウジング、移動体、第１中間サポートユニット、及び第２中間サポートユニットの分解斜視図である。
【図9】移動体及び第１中間サポートユニットの分解斜視図（その１）である。
【図10】第１の一方側中間サポート部材の斜視図（その１）である。
【図11】第１の一方側中間サポート部材の正面図である。
【図12】第１の一方側中間サポート部材の斜視図（その２）である。
【図13】（Ａ）は、第１の一方側中間サポート部材の第１本体部のローラ及びアジャストプレートを説明するための図（その１）である。（Ｂ）は、第１の一方側中間サポート部材の第１本体部のローラ及びアジャストプレートを説明するための図（その２）である。
【図14】移動体及び第１中間サポートユニットの分解斜視図（その２）である。
【図15】第１の他方側中間サポート部材の斜視図である。
【図16】第１の他方側中間サポート部材の正面図である。
【図17】移動体、第１中間サポートユニット、及び第２中間サポートユニットの分解斜視図（その１）である。
【図18】第２の一方側中間サポート部材の斜視図である。
【図19】第２の一方側中間サポート部材の正面図である。
【図20】移動体、第１中間サポートユニット、及び第２中間サポートユニットの分解斜視図（その２）である。
【図21】第２の他方側中間サポート部材の斜視図である。
【図22】第２の他方側中間サポート部材の正面図である。
【図23】第１干渉防止部材及び第２干渉防止部材の正面図である。
【図24】（Ａ）は、実施の形態２に係る第１の一方側中間サポート部材の正面図である。（Ｂ）は、実施の形態２に係る第１の他方側中間サポート部材の正面図である。
【図25】実施の形態２において、移動体に対する連結部材の位置を説明するための断面図である。
【図26】（Ａ）は、実施の形態３に係る第１の一方側中間サポート部材の正面図である。（Ｂ）は、実施の形態３に係る第１の他方側中間サポート部材の正面図である。
【図27】実施の形態３において、移動体に対する連結部材の位置を説明するための断面図である。
【図28】実施の形態４に係る第１の一方側中間サポート部材の斜視図である。
【図29】実施の形態４に係る第２の一方側中間サポート部材の斜視図である。
【図30】実施の形態５に係る第１の一方側中間サポート部材の斜視図である。
【図31】実施の形態６に係るアクチュエータハウジング、移動体、第１中間サポートユニット、及び第２中間サポートユニットの分解斜視図である。
【図32】実施の形態７に係る第１本体部の分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0027】
実施の形態１．
以下、本発明の実施の形態１に係るアクチュエータ１について説明する。なお、図中のＹ軸方向は、図１及び図２に示すように、スライドテーブルＴが進退する移動方向Ｄ１に平行な方向であり、Ｘ軸方向及びＺ軸方向は、移動方向Ｄ１に直交する方向である。また、図中のＸＹ平面は、アクチュエータ１が設置される面に平行な水平面である。
以下、本発明の実施の形態１に係るアクチュエータ１について説明する。なお、図中のＹ軸方向は、図１及び図２に示すように、スライドテーブルＴが進退する移動方向Ｄ１に平行な方向であり、Ｘ軸方向及びＺ軸方向は、移動方向Ｄ１に直交する方向である。また、図中のＸＹ平面は、アクチュエータ１が設置される面に平行な水平面である。
【0028】
アクチュエータ１は、スライドテーブルＴが移動するスライダタイプのアクチュエータであり、スライドテーブルＴの移動距離（Ｙ軸方向の長さ）が比較的長いアクチュエータである。アクチュエータ１は、図３及び図４に示すように、スライドテーブルＴに加え、モータ１０と、ボールネジ２０と、アクチュエータハウジング３０と、移動体４０と、第１中間サポートユニット５０と、第２中間サポートユニット６０とを備える。
【0029】
モータ１０は、出力軸１０ａ（回転軸）と、モータ本体１１と、モータカバー１２と、制御基板１３とを有する。モータ１０は、アクチュエータハウジング３０から着脱可能な一つのユニットとして構成されている。
【0030】
モータ本体１１は、例えば、サーボモータであり、ロータ、ステータ、エンコーダ１４等を有している。モータ本体１１には、電源から図示しないアクチェータケーブルを経由して電力が供給される。アクチェータケーブルは、モータ本体１１に外部からの電力供給や制御信号の入出力等を行う。モータ本体１１に電力が供給されることによって、モータ本体１１のロータが回転する。このロータの回転運動は、出力軸１０ａに出力される。これにより、出力軸１０ａは回転する。出力軸１０ａには、カップリング１０ｂが取り付けられている。なお、本実施の形態１では、モータ本体１１は、サーボモータであるが、これに限られず、ステッピングモータであってもよい。また、本実施の形態１においては、モータ本体１１のロータの回転運動は、出力軸１０ａに出力されるが、これに限られない。モータ本体１１のロータの回転運動は、減速器によって所定の減速比で減速されてから、出力軸１０ａに出力されてもよい。
【0031】
モータカバー１２は、図２に示すように、モータ本体１１等を覆う略直方体形状のケースである。モータカバー１２は、出力軸１０ａが突出した状態で、モータ本体１１等を収容する。モータカバー１２は、例えば、アルミニウム等の金属を押し出し加工することにより形成されている。モータカバー１２をアルミニウム等の金属を押し出し加工することにより、Ｙ軸方向の長さを調節して形成しやすくなるため、他のアクチュエータと共用することが容易になる。また、エンドカバー１２ｃは、樹脂成形により形成されている。
【0032】
制御基板１３は、図４に示すように、モータカバー１２に収納されている。制御基板１３は、例えば、配線基板であり、図示しないティーチングペンダント等によって設定されたモータ１０の出力軸１０ａの回転を制御するための電子部品等が実装されている。また、制御基板１３は、図示しないティーチングペンダントによって設定されたモータ１０の出力軸１０ａの回転を制御するためのデータを記憶する記憶部を有する。また、本実施の形態１においては、制御基板１３がモータカバー１２に収納されているが、これに限られない。制御基板１３をモータ１０とは別体の制御装置に配置し、制御装置とモータとをケーブルで接続する形態でもよい。
【0033】
ボールネジ２０は、ボールネジ軸２１と、ボールネジナット２２と、カップリング２３とを有する。
【0034】
ボールネジ軸２１は、ボールネジナット２２との螺合に基づいて、回転するボールネジナット２２を直線運動させる。ボールネジ軸２１は、外周面が螺旋状のボールねじ面として構成されたボールネジ軸本体と、ボールネジ軸本体の先端部（－Ｙ側の端部）及び後端部（＋Ｙ側の端部）に形成され、ボールネジ軸本体の径よりも小径となるように形成された小径部２１ａ、２１ｂとから構成される。
【0035】
ボールネジナット２２は、ボールネジ軸２１のボールネジ軸本体の外周に配置されている。ボールネジナット２２は、ボールネジ軸２１に複数のボールネジ用転動体を介して嵌め込まれる。このボールネジ用転動体が転動することにより、ボールネジ軸２１の回転運動が、ボールネジナット２２の直線運動に円滑に変換される。また、ボールネジナット２２は、移動体４０に対して＋Ｙ側から取り付けられて、ボルト等により固定されている。
【0036】
カップリング２３は、小径部２１ｂに取り付けられている。このカップリング２３は、モータ１０の出力軸１０ａに取り付けられているカップリング１０ｂに接続され、回転するカップリング１０ｂと共に回転する。このカップリング２３が、カップリング１０ｂと共に回転するように接続されることにより、小径部２１ｂに出力軸１０ａの回転運動が伝達され、この結果、ボールネジ軸２１は、出力軸１０ａと共に回転する。
【0037】
アクチュエータハウジング３０は、図５に示すように、ボールネジ２０と移動体４０の一部とを収容すると共に、モータカバー１２が固定されている。アクチュエータハウジング３０は、ベース３１と、メインカバー３２と、フロントブラケット３３と、リアブラケット３４とを有する。
【0038】
ベース３１は、底部分３１ａと一対の側壁部分３１Ｒ、３１Ｌと有することで、アクチュエータ１の内部の各構成部品を保護する。ベース３１は、剛性を有する複数のリニアガイド用転動体を介して、移動体４０を＋Ｙ方向及び－Ｙ方向の双方向にスライド移動可能に支持する。ベース３１は、例えば、アルミニウム等の金属を押出成形することによって形成されている。ベース３１の一対の側壁部分の互いに対向する内面には、Ｙ軸方向に延びる一対の線状の凹部が形成されている。この凹部のそれぞれには、転動体用ガイドレール３１ｂが嵌め込まれている。転動体用ガイドレール３１ｂは、例えば、ベース３１の素材であるアルミニウムよりも硬い金属から形成されている。転動体用ガイドレール３１ｂには、Ｙ軸方向に延びる一対の線状の溝３１ｃが形成されている。この転動体用ガイドレール３１ｂの溝３１ｃをリニアガイド用転動体が転動することにより、移動体４０は、移動方向Ｄ１に円滑に往復運動をする。
【0039】
ベース３１の側壁部分３１Ｒ、３１Ｌには、図５及び図６に示すように、Ｚ軸方向に貫通する複数の孔３１ｄが形成されている。この孔３１ｄは、従来のアクチュエータにおいて、ベース３１の底部分３１ａに形成されていた孔の形成位置を変更したものである。孔３１ｄを、側壁部分３１Ｒ、３１Ｌに形成することにより、メインカバー３２を取り外さなくても、孔３１ｄにボルト、ねじなどの留め具を挿入することが可能になり、アクチュエータ１の固定対象に取り付ける作業の効率性を向上させている。
【0040】
メインカバー３２は、図５に示すように、アクチュエータハウジング３０の天井壁部分を構成し、アクチュエータ１の回転機構部分を覆うスクリューカバーである。メインカバー３２は、ねじやボルト等の留め具により、ベース３１との間に所定の隙間３６（図１、図２参照）を有しつつ、フロントブラケット３３及びリアブラケット３４に固定されている。メインカバー３２は、ベース３１と共に、アクチュエータ１の内部の各構成部品を保護する。
【0041】
フロントブラケット３３は、ベース３１の先端側（－Ｙ側）に固定されることで、アクチュエータハウジング３０の－Ｙ側の先端部分を構成する。フロントブラケット３３は、例えば、アルミダイガストである本体部と、本体部に被せられると共に樹脂成形により形成されている加飾カバーと、本体部の内部に形成されているベアリング収容空間に配置されるベアリングとを有する。当該ベアリングは、例えば、ボールベアリングである。このベアリングによって、フロントブラケット３３は、ボールネジ軸２１の小径部２１ａを回転可能に支持する。また、フロントブラケット３３には、弾性の素材より形成される衝撃緩和部材３７が設けられている。
【0042】
リアブラケット３４は、ベース３１の基端側（＋Ｙ側）に固定されている。リアブラケット３４は、例えば、アルミダイガストである本体部と、本体部に被せられると共に樹脂成形により形成されている連結部分カバー３５と、ベアリング３４ａとを有する。本体部の内部には、図４に示すように、ボールネジ軸２１を挿入するための貫通孔３４ｂがＹ軸方向に貫通して形成されている。貫通孔３４ｂの孔内には、ベアリング３４ａが配置されている。ベアリング３４ａは、例えば、ボールベアリングである。このベアリング３４ａによって、リアブラケット３４は、ボールネジ軸２１の小径部２１ｂを回転可能に支持する。また、リアブラケット３４には、図５に示すように、弾性の素材より形成される衝撃緩和部材３８が設けられている。この衝撃緩和部材３８は、後述する衝撃緩和部材９１～９４と同じ形状、サイズに形成されていると共に、同じ弾性素材より形成されている。
【0043】
連結部分カバー３５は、リアブラケット３４とモータ１０との連結部分を覆うことで、当該連結部分を保護する。
【0044】
移動体４０は、図４に示すように、ボールネジナット２２と共に、＋Ｙ方向及び－Ｙ方向の双方向にスライド移動する部材である。移動体４０には、Ｙ軸方向に貫通する貫通孔４０ａが形成されている。この貫通孔４０ａには、ボールネジ軸２１が挿通されると共に、ボールネジナット２２が＋Ｙ側から挿入されて固定されている。移動体４０は、一対のテーブル取付け部４１を有する。
【0045】
テーブル取付け部４１は、図１及び図２に示すように、アクチュエータハウジング３０のベース３１とメインカバー３２との間の一対の隙間３６それぞれから外部に突出して形成されている。このテーブル取付け部４１は、例えば、移動体４０と共に移動するスライドテーブルＴを取り付け可能な部品である。具体的には、テーブル取付け部４１には、ネジ穴が形成されている。このネジ穴に、ねじやボルト等の留め具が捻じ込まれることで、テーブル取付け部４１は、スライドテーブルＴが取り付けることが可能に構成されている。なお、テーブル取付け部４１に取り付けられる対象は、スライドテーブルＴに限られない。テーブル取付け部４１に取り付けられる対象は、アクチュエータ１の用途に応じて、スライドテーブルＴ以外のものに変更されてもよい。
【0046】
第１中間サポートユニット５０は、図６に示すように、ボールネジ軸２１の支点となっており、支点間の距離を短くすることで、ボールネジ軸２１の回転速度の高速化を図るために設けられている。特に、本発明の実施の形態１に係るアクチュエータ１のように、ボールネジ軸２１のＹ軸方向の長さが長い場合には必要性の高い部材である。第１中間サポートユニット５０は、第１の一方側中間サポート部材５１と、第１の他方側中間サポート部材５２と、連結部材５３（第１連結部材）と、連結部材５４とを有する。なお、図７に示すように、第１の一方側中間サポート部材５１と第１の他方側中間サポート部材５２との支点間距離Ｌ３は、ボールネジ軸２１のボールネジ軸本体の支点間距離Ｌ１のおよそ１／３であることが望ましい（Ｌ３≒１／３×Ｌ１）。ただし、これに限られず、アクチュエータ１の用途や設置環境に応じて、支点間距離Ｌ３を適宜変更してもよい。
【0047】
第１の一方側中間サポート部材５１は、図８に示すように、移動体４０に対して移動方向Ｄ１における先端側（－Ｙ側）に配置されている。第１の一方側中間サポート部材５１は、図９に示すように、第１本体部５１－１と、スライドブッシュサポート５１－３を有するスライドブッシュ５１－２（第１摺動部材）と、ローラ５１－４ａ（第１移動支持部材）と、ローラ５１－４ｂ、５１－４ｃと、アジャストプレート５１－５を有する。
【0048】
第１本体部５１－１は、例えば、金属からなる。しかしながら、これに限られない。第１本体部５１－１は、剛性の高い素材であれば、金属以外のものからなっていてもよい。例えば、第１本体部５１－１は、鉄よりも軽量なアルミニウムからなることが好ましい。第１本体部５１－１は押出成形によって形成される。この第１本体部５１－１には、スライドブッシュ支持部５１－１ａ（第１摺動部材支持部）と、第１孔５１－１ｂと、ローラ設置部５１－１ｃ（第１移動支持部材設置部）と、連結部材設置部５１－１ｄ（第１連結部材設置部）と、衝撃緩和部材設置部５１－１ｅ（第１衝撃緩和部材設置部）とが形成されている。
【0049】
スライドブッシュ支持部５１－１ａ（第１摺動部材支持部）は、スライドブッシュ５１－２が嵌め込まれることで、スライドブッシュ５１－２を支持する部分である。本実施の形態１においては、スライドブッシュ支持部５１－１ａは、スライドブッシュ５１－２の外形に対応する曲面に形成されている。
【0050】
第１孔５１－１ｂは、図１０に示すように、第１本体部５１－１の軽量化を図るために形成されている。第１孔５１－１ｂは、本実施の形態１においては、移動方向Ｄ１と平行な方向である＋Ｙ方向及び－Ｙ方向の双方向に開口する。また、第１孔５１－１ｂは、＋Ｙ方向及び－Ｙ方向の双方向に開口することで、第１本体部５１－１をＹ軸方向に貫通して形成されている。第１孔５１－１ｂは、第１本体部５１－１を押出成形する際に形成される。また、本実施の形態１においては、第１孔５１－１ｂは、図９に示すように、スライドブッシュ支持部５１－１ａの＋Ｘ側及び－Ｘ側の両側に設けられていることで、２つ形成されている。
【0051】
ローラ設置部５１－１ｃ（第１移動支持部材設置部）は、図１１に示すように、第１本体部５１－１の＋Ｘ側の端部及び－Ｘ側の端部の両端部に設けられている。＋Ｘ側のローラ設置部５１－１ｃには、ベース３１に対する第１の一方側中間サポート部材５１の移動を円滑化させるローラ５１－４ｂ、５１－４ｃが設置される。－Ｘ側のローラ設置部５１－１ｃには、ベース３１に対する第１の一方側中間サポート部材５１の移動を円滑化させるローラ５１－４ａがアジャストプレート５１－５を介して設置される。
【0052】
連結部材設置部５１－１ｄ（第１連結部材設置部）は、第１本体部５１－１の上部（＋Ｚ側の部分）に設けられている。詳しくは、連結部材設置部５１－１ｄは、第１本体部５１－１の衝撃緩和部材設置部５１－１ｅの周辺に２つ設けられている。この連結部材設置部５１－１ｄは、図１０に示すように、連結部材５３、５４が設置される部分である。本実施の形態１においては、連結部材設置部５１－１ｄは、第１本体部５１－１に貫通して形成されている貫通孔である。
【0053】
衝撃緩和部材設置部５１－１ｅ（第１衝撃緩和部材設置部）は、図９に示すように、移動体４０との当接の衝撃を緩和する衝撃緩和部材９１が設置される部分である。衝撃緩和部材設置部５１－１ｅは、一対の連結部材設置部５１－１ｄの間に設けられていると共に、溝状に形成されている。
【0054】
スライドブッシュ５１－２は、スライドブッシュ支持部５１－１ａに配置される。スライドブッシュ５１－２は、－Ｙ側の端部にフランジが形成されている円筒部材である。スライドブッシュ５１－２は、潤滑性のある素材より形成され、ボールネジ軸２１の外周上を摺動するすべり軸受として機能する。スライドブッシュ５１－２は、スライドブッシュサポート５１－３を有する。
【0055】
スライドブッシュサポート５１－３は、第１本体部５１－１にスライドブッシュ５１－２を固定するための部材である。スライドブッシュサポート５１－３は、－Ｙ側の端部にフランジが形成されている円筒部材である。スライドブッシュサポート５１－３は、金属より形成されている。スライドブッシュサポート５１－３には、Ｙ軸方向に貫通する孔が形成されている。この孔には、スライドブッシュ５１－２が嵌め込まれている。スライドブッシュサポート５１－３は、ボルト、ねじなどの留め具により、スライドブッシュ５１－２と共に、第１本体部５１－１に固定される。
【0056】
ローラ５１－４ａは、図１１に示すように、アジャストプレート５１－５を介して、Ｚ軸を中心軸として回転可能に第１本体部５１－１の－Ｘ側のローラ設置部５１－１ｃに取り付けられている。ローラ５１－４ｂ、５１－４ｃは、Ｚ軸を中心軸として回転可能に第１本体部５１－１の＋Ｘ側のローラ設置部５１－１ｃに直接取り付けられている。ローラ５１－４ａ、５１－４ｂ、５１－４ｃは、ベース３１の溝３１ｃを転動する。これにより、第１の一方側中間サポート部材５１は、移動体４０と共に移動可能にベース３１に支持される。
【0057】
アジャストプレート５１－５は、図１２に示すように、ローラ５１－４ａを、溝３１ｃに嵌る第１位置から溝３１ｃから外れる第２位置に変更するための部材である。アジャストプレート５１－５は、直方形の板形状に形成されている。アジャストプレート５１－５の中央付近には、ローラ５１－４ａがＺ軸方向に回転可能に取り付けられている。アジャストプレート５１－５の両端部には、２つのネジ孔が形成されている。この２つのネジ孔に、ボルト、ねじなどの２本の留め具が捻じ込まれることにより、アジャストプレート５１－５は、ローラ５１－４ａと共に、第１本体部５１－１の－Ｘ側のローラ設置部５１－１ｃに取り付けられる。図１２及び図１３に示すように、ローラ５１－４ａを第１位置から第２位置に変更する場合には、ユーザは、２本の留め具のうち、一方の留め具を取り外してから、他方の留め具を回転軸として、Ｚ軸を中心軸として回動させることにより、ローラ５１－４ａを第２位置に移動させる。
【0058】
第１の他方側中間サポート部材５２は、図８に示すように、移動体４０に対して移動方向Ｄ１における基端側（＋Ｙ側）に配置されている。第１の他方側中間サポート部材５２は、第１の一方側中間サポート部材５１と同等の形状、構造を有し、図１４に示すように、第２本体部５２－１と、スライドブッシュサポート５２－３を有するスライドブッシュ５２－２（第２摺動部材）と、ローラ５２－４ａ（第２移動支持部材）と、ローラ５２－４ｂ、５２－４ｃと、アジャストプレート５２－５を有する。
【0059】
第２本体部５２－１は、例えば、金属からなる。しかしながら、これに限られない。第２本体部５２－１は、剛性の高い素材であれば、金属以外のものからなっていてもよい。例えば、第２本体部５２－１は、第１本体部５１－１と同様に、鉄よりも軽量なアルミニウムからなることが好ましい。第２本体部５２－１は押出成形によって形成される。この第２本体部５２－１には、スライドブッシュ支持部５２－１ａ（第２摺動部材支持部）と、第２孔５２－１ｂと、ローラ設置部５２－１ｃ（第２移動支持部材設置部）と、連結部材設置部５２－１ｄ（第２連結部材設置部）と、衝撃緩和部材設置部５２－１ｅ（第２衝撃緩和部材設置部）とが形成されている。
【0060】
スライドブッシュ支持部５２－１ａ（第２摺動部材支持部）は、スライドブッシュ５２－２が嵌め込まれることで、スライドブッシュ５２－２を支持する部分である。本実施の形態１においては、スライドブッシュ支持部５２－１ａは、スライドブッシュ５２－２の外形に対応する曲面に形成されている。
【0061】
第２孔５２－１ｂは、図１５に示すように、第２本体部５２－１の軽量化を図るために形成されている。第２孔５２－１ｂは、本実施の形態１においては、移動方向Ｄ１と平行な方向である＋Ｙ方向及び－Ｙ方向の双方向に開口する。また、第２孔５２－１ｂは、＋Ｙ方向及び－Ｙ方向の双方向に開口することで、第２本体部５２－１をＹ軸方向に貫通して形成されている。第２孔５２－１ｂは、第２本体部５２－１を押出成形する際に形成される。また、本実施の形態１においては、第２孔５２－１ｂは、図１４に示すように、スライドブッシュ支持部５２－１ａの＋Ｘ側及び－Ｘ側の両側に設けられていることで、２つ形成されている。
【0062】
ローラ設置部５２－１ｃ（第２移動支持部材設置部）は、図１６に示すように、第２本体部５２－１の＋Ｘ側の端部及び－Ｘ側の端部の両端部に設けられている。＋Ｘ側のローラ設置部５２－１ｃには、ベース３１に対する第１の他方側中間サポート部材５２の移動を円滑化させるローラ５２－４ｂ、５２－４ｃが設置される。－Ｘ側のローラ設置部５２－１ｃには、ベース３１に対する第１の他方側中間サポート部材５２の移動を円滑化させるローラ５２－４ａがアジャストプレート５２－５を介して設置される。
【0063】
連結部材設置部５２－１ｄ（第２連結部材設置部）は、第２本体部５２－１の上部（＋Ｚ側の部分）に設けられている。詳しくは、連結部材設置部５２－１ｄは、第２本体部５２－１の衝撃緩和部材設置部５２－１ｅの周辺に２つ設けられている。この連結部材設置部５２－１ｄは、図１５に示すように、連結部材５３、５４が設置される部分である。本実施の形態１においては、連結部材設置部５２－１ｄは、第２本体部５２－１に貫通して形成されている貫通孔である。
【0064】
衝撃緩和部材設置部５２－１ｅ（第２衝撃緩和部材設置部）は、図１４に示すように、移動体４０との当接の衝撃を緩和する衝撃緩和部材９２が設置される部分である。衝撃緩和部材設置部５２－１ｅは、一対の連結部材設置部５２－１ｄの間に設けられていると共に、溝状に形成されている。
【0065】
スライドブッシュ５２－２は、スライドブッシュ支持部５２－１ａに配置される。スライドブッシュ５２－２は、スライドブッシュサポート５２－３を有する。
【0066】
スライドブッシュサポート５２－３は、ボルト、ねじなどの留め具により、スライドブッシュ５２－２と共に、第２本体部５２－１に固定される。
【0067】
ローラ５２－４ａは、アジャストプレート５２－５を介して、Ｚ軸を中心軸として回転可能に第２本体部５２－１の－Ｘ側のローラ設置部５１－１ｃに取り付けられている。
【0068】
ローラ５２－４ｂ、５２－４ｃは、Ｚ軸を中心軸として回転可能に第２本体部５２－１の＋Ｘ側のローラ設置部５２－１ｃに直接取り付けられている。
【0069】
アジャストプレート５２－５は、図１６に示すように、ローラ５２－４ａを、溝３１ｃに嵌る位置から溝３１ｃから外れる位置に変更するための部材である。
【0070】
連結部材５３（第１連結部材）及び連結部材５４は、第１の一方側中間サポート部材５１と第１の他方側中間サポート部材５２とを連結する。これにより、移動体４０が、第１の一方側中間サポート部材５１及び第１の他方側中間サポート部材５２のいずれかに当接した場合、第１の一方側中間サポート部材５１及び第１の他方側中間サポート部材５２は一体的に移動する。連結部材５３及び連結部材５４は、例えば、金属製のパイプから構成されている。また、連結部材５３と連結部材５４とは、Ｘ軸方向に並列に設けられていると共に、Ｙ軸方向に互いに平行に設けられている。
【0071】
また、連結部材５３、５４は、図１０に示すように、第１本体部５１－１の連結部材設置部５１－１ｄに挿入されて、止めねじ等によって、第１本体部５１－１に固定されている。同様に、連結部材５３、５４は、図１５に示すように、第２本体部５２－１の連結部材設置部５１－１ｄに挿入されて、止めねじ等によって、第２本体部５２－１に固定されている。これにより、例えば、連結部材５３、５４を固定するためのクランプ等の部品を不要としている。
【0072】
第２中間サポートユニット６０は、図６に示すように、第１中間サポートユニット５０と共に、ボールネジ軸２１の支点となっており、支点間の距離を短くすることで、ボールネジ軸２１の回転速度の高速化を図るために設けられている。特に、ボールネジ軸２１のＹ軸方向の長さが長い場合には必須の部材である。第２中間サポートユニット６０は、第２の一方側中間サポート部材６１と、第２の他方側中間サポート部材６２と、連結部材６３（第２連結部材）と、連結部材６４とを有する。なお、図７に示すように、第２の一方側中間サポート部材６１と第２の他方側中間サポート部材６２との支点間距離Ｌ２は、ボールネジ軸２１のボールネジ軸本体の支点間距離Ｌ１のおよそ２／３、且つ、支点間距離Ｌ３のおよそ２倍であることが望ましい（Ｌ２≒２／３×Ｌ１≒２×Ｌ３）。ただし、これに限られず、アクチュエータ１の用途や設置環境に応じて、支点間距離Ｌ２を適宜変更してもよい。
【0073】
第２の一方側中間サポート部材６１は、図８に示すように、移動体４０に対して移動方向Ｄ１における先端側（－Ｙ側）に配置されている。第２の一方側中間サポート部材６１は、図９及び図１０に示すように、第１の一方側中間サポート部材５１と同一又は同等の構成を有し、具体的には、第２の一方側中間サポート部材６１は、図１７に示すように、第３本体部６１－１と、スライドブッシュサポート６１－３を有するスライドブッシュ６１－２（第３摺動部材）と、ローラ６１－４ａ（第３移動支持部材）と、ローラ６１－４ｂ、６１－４ｃと、アジャストプレート６１－５を有する。
【0074】
第３本体部６１－１は、例えば、金属からなる。しかしながら、これに限られない。第３本体部６１－１は、剛性の高い素材であれば、金属以外のものからなっていてもよい。例えば、第３本体部６１－１は、第１本体部５１－１と同様に、鉄よりも軽量なアルミニウムからなることが好ましい。第３本体部６１－１は押出成形によって形成される。この第３本体部６１－１には、スライドブッシュ支持部６１－１ａ（第３摺動部材支持部）と、第３孔６１－１ｂと、ローラ設置部６１－１ｃ（第３移動支持部材設置部）と、連結部材設置部６１－１ｄ（第３連結部材設置部）と、衝撃緩和部材設置部６１－１ｅ（第３衝撃緩和部材設置部）とが形成されている。
【0075】
スライドブッシュ支持部６１－１ａ（第３摺動部材支持部）は、スライドブッシュ６１－２が嵌め込まれることで、スライドブッシュ６１－２を支持する部分である。本実施の形態１においては、スライドブッシュ支持部６１－１ａは、スライドブッシュ６１－２の外形に対応する曲面に形成されている。
【0076】
第３孔６１－１ｂは、図１８に示すように、第３本体部６１－１の軽量化を図るために形成されている。第３孔６１－１ｂは、本実施の形態１においては、移動方向Ｄ１と平行な方向である＋Ｙ方向及び－Ｙ方向の双方向に開口する。また、第３孔６１－１ｂは、＋Ｙ方向及び－Ｙ方向の双方向に開口することで、第３本体部６１－１をＹ軸方向に貫通して形成されている。第３孔６１－１ｂは、第３本体部６１－１を押出成形する際に形成される。また、本実施の形態１においては、第３孔６１－１ｂは、図１７に示すように、スライドブッシュ支持部６１－１ａの＋Ｘ側及び－Ｘ側の両側に設けられていることで、２つ形成されている。
【0077】
ローラ設置部６１－１ｃ（第３移動支持部材設置部）は、図１９に示すように、第３本体部６１－１の＋Ｘ側の端部及び－Ｘ側の端部の両端部に設けられている。＋Ｘ側のローラ設置部６１－１ｃには、ベース３１に対する第２の一方側中間サポート部材６１の移動を円滑化させるローラ６１－４ｂ、６１－４ｃが設置される。－Ｘ側のローラ設置部６１－１ｃには、ベース３１に対する第２の一方側中間サポート部材６１の移動を円滑化させるローラ６１－４ａがアジャストプレート６１－５を介して設置される。
【0078】
連結部材設置部６１－１ｄ（第３連結部材設置部）は、第３本体部６１－１の上部（＋Ｚ側の部分）に設けられている。詳しくは、連結部材設置部６１－１ｄは、第３本体部６１－１の衝撃緩和部材設置部６１－１ｅの周辺に２つ設けられている。この連結部材設置部６１－１ｄは、図１８に示すように、連結部材６３、６４が設置される部分である。本実施の形態１においては、連結部材設置部６１－１ｄは、第３本体部６１－１に貫通して形成されている貫通孔である。
【0079】
衝撃緩和部材設置部６１－１ｅ（第３衝撃緩和部材設置部）は、図１７に示すように、第１の一方側中間サポート部材５１との当接の衝撃を緩和する衝撃緩和部材９３が設置される部分である。衝撃緩和部材設置部６１－１ｅは、一対の連結部材設置部６１－１ｄの間に設けられていると共に、溝状に形成されている。
【0080】
スライドブッシュ６１－２は、スライドブッシュ支持部６１－１ａに配置される。スライドブッシュ６１－２は、スライドブッシュサポート６１－３を有する。
【0081】
スライドブッシュサポート６１－３は、ボルト、ねじなどの留め具により、スライドブッシュ６１－２と共に、第３本体部６１－１に固定される。
【0082】
ローラ６１－４ａは、アジャストプレート６１－５を介して、Ｚ軸を中心軸として回転可能に第３本体部６１－１の－Ｘ側のローラ設置部６１－１ｃに取り付けられている。
【0083】
ローラ６１－４ｂ、６１－４ｃは、Ｚ軸を中心軸として回転可能に第３本体部６１－１の＋Ｘ側のローラ設置部６１－１ｃに直接取り付けられている。
【0084】
アジャストプレート６１－５は、図１９に示すように、ローラ６１－４ａを、溝３１ｃに嵌る位置から溝３１ｃから外れる位置に変更するための部材である。
【0085】
第２の他方側中間サポート部材６２は、図８に示すように、移動体４０に対して移動方向Ｄ１における基端側（＋Ｙ側）に配置されている。第２の他方側中間サポート部材６２は、第２の一方側中間サポート部材６１と同等の形状、構造を有し、図２０に示すように、第４本体部６２－１と、スライドブッシュサポート６２－３を有するスライドブッシュ６２－２（第４摺動部材）と、ローラ６２－４ａと、ローラ６２－４ｂ、６２－４ｃと、アジャストプレート６２－５を有する。
【0086】
第４本体部６２－１は、例えば、金属からなる。しかしながら、これに限られない。第４本体部６２－１は、剛性の高い素材であれば、金属以外のものからなっていてもよい。例えば、第４本体部６２－１は、第１本体部５１－１と同様に、鉄よりも軽量なアルミニウムからなることが好ましい。第４本体部６２－１は押出成形によって形成される。この第４本体部６２－１には、スライドブッシュ支持部６２－１ａ（第４摺動部材支持部材）と、第４孔６２－１ｂと、ローラ設置部６２－１ｃと、連結部材設置部６２－１ｄと、衝撃緩和部材設置部６２－１ｅとが形成されている。
【0087】
スライドブッシュ支持部６２－１ａは、スライドブッシュ６２－２が嵌め込まれることで、スライドブッシュ６２－２を支持する部分である。本実施の形態１においては、スライドブッシュ支持部６２－１ａは、スライドブッシュ６２－２の外形に対応する曲面に形成されている。
【0088】
第４孔６２－１ｂは、図２１に示すように、第４本体部６２－１の軽量化を図るために形成されている。第４孔６２－１ｂは、本実施の形態１においては、移動方向Ｄ１と平行な方向である＋Ｙ方向及び－Ｙ方向の双方向に開口する。また、第４孔６２－１ｂは、＋Ｙ方向及び－Ｙ方向の双方向に開口することで、第４本体部６２－１をＹ軸方向に貫通して形成されている。第４孔６２－１ｂは、第４本体部６２－１を押出成形する際に形成される。また、本実施の形態１においては、第４孔６２－１ｂは、図２０に示すように、スライドブッシュ支持部６２－１ａの＋Ｘ側及び－Ｘ側の両側に設けられていることで、２つ形成されている。
【0089】
ローラ設置部６２－１ｃは、図２２に示すように、第４本体部６２－１の＋Ｘ側の端部及び－Ｘ側の端部の両端部に設けられている。＋Ｘ側のローラ設置部６２－１ｃには、ベース３１に対する第２の他方側中間サポート部材６２の移動を円滑化させるローラ６２－４ｂ、６２－４ｃが設置される。－Ｘ側のローラ設置部６２－１ｃには、ベース３１に対する第２の他方側中間サポート部材６２の移動を円滑化させるローラ６２－４ａがアジャストプレート６２－５を介して設置される。
【0090】
連結部材設置部６２－１ｄは、第４本体部６２－１の上部（＋Ｚ側の部分）に設けられている。詳しくは、連結部材設置部６２－１ｄは、第４本体部６２－１の衝撃緩和部材設置部６２－１ｅの周辺に２つ設けられている。この連結部材設置部６２－１ｄは、図２１に示すように、連結部材６３、６４が設置される部分である。本実施の形態１においては、連結部材設置部６２－１ｄは、第４本体部６２－１に貫通して形成されている貫通孔である。
【0091】
衝撃緩和部材設置部６２－１ｅは、図２０に示すように、移動体４０との当接の衝撃を緩和する衝撃緩和部材９４が設置される部分である。衝撃緩和部材設置部６２－１ｅは、一対の連結部材設置部６２－１ｄの間に設けられていると共に、溝状に形成されている。
【0092】
スライドブッシュ６２－２は、スライドブッシュ支持部６２－１ａに配置される。スライドブッシュ６２－２は、スライドブッシュサポート６２－３を有する。
【0093】
スライドブッシュサポート６２－３は、ボルト、ねじなどの留め具により、スライドブッシュ６２－２と共に、第４本体部６２－１に固定される。
【0094】
ローラ６２－４ａは、アジャストプレート６２－５を介して、Ｚ軸を中心軸として回転可能に第４本体部６２－１の－Ｘ側のローラ設置部６１－１ｃに取り付けられている。
【0095】
ローラ６２－４ｂ、６２－４ｃは、Ｚ軸を中心軸として回転可能に第４本体部６２－１の＋Ｘ側のローラ設置部６２－１ｃに直接取り付けられている。
【0096】
アジャストプレート６２－５は、図２２に示すように、ローラ６２－４ａを、溝３１ｃに嵌る位置から溝３１ｃから外れる位置に変更するための部材である。
【0097】
連結部材６３（第２連結部材）及び連結部材６４は、第２の一方側中間サポート部材６１と第２の他方側中間サポート部材６２とを連結する。これにより、第１の一方側中間サポート部材５１及び第１の他方側中間サポート部材５２が、第２の一方側中間サポート部材６１及び第２の他方側中間サポート部材６２のいずれかに当接した場合、第２の一方側中間サポート部材６１及び第２の他方側中間サポート部材６２は一体的に移動する。連結部材６３及び連結部材６４は、例えば、金属製のパイプから構成されている。また、連結部材６３と連結部材６４とは、連結部材５３と連結部材５４と共に、Ｘ軸方向に並列に設けられていると共に、Ｙ軸方向に互いに平行に設けられている。
【0098】
また、連結部材６３、６４は、図１８に示すように、第３本体部６１－１の連結部材設置部６１－１ｄに挿入されて、止めねじ等によって、第３本体部６１－１に固定されている。同様に、連結部材６３、６４は、図２１に示すように、第４本体部６２－１の連結部材設置部６２－１ｄに挿入されて、止めねじ等によって、第４本体部６２－１に固定されている。これにより、例えば、連結部材６３、６４を固定するためのクランプ等の部品を不要としている。
【0099】
アクチュエータ１は、図３及び図４に示すように、上述したスライドテーブルＴ、モータ１０、ボールネジ２０、アクチュエータハウジング３０、移動体４０、第１中間サポートユニット５０、及び第２中間サポートユニット６０に加えて、更に、図８に示すように、第１干渉防止部材７０と、第２干渉防止部材８０と、衝撃緩和部材９１～９４とを備える。
【0100】
第１干渉防止部材７０は、図２３に示すように、移動体４０に設けられ、連結部材５３と少なくとも移動体４０との干渉を防止するためのものである。第１干渉防止部材７０は、潤滑性のある素材より形成され、ねじ等の留め具により、移動体４０の＋Ｚ側の上面４０ｂ（ＸＹ平面に平行な面）に固定されている。
【0101】
第２干渉防止部材８０は、移動体４０に設けられ、連結部材５４と少なくとも移動体４０との干渉を防止するためのものである。第２干渉防止部材８０は、潤滑性のある素材より形成され、ねじ等の留め具により、移動体４０の＋Ｚ側の上面４０ｂ（ＸＹ平面に平行な面）に固定されている。
【0102】
本実施の形態１において、第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０は、同じものを用いている。
【0103】
衝撃緩和部材９１は、図９に示すように、第１本体部５１－１に２つ設けられている。衝撃緩和部材９１は、例えば、移動体４０が－Ｙ方向に移動して、第１の一方側中間サポート部材５１に当接した場合の衝撃を緩和するために用いられる。衝撃緩和部材９１は、第１の一方側中間サポート部材５１の第１本体部５１－１に形成されている衝撃緩和部材設置部５１－１ｅに嵌め込まれている。更に、＋Ｚ側からプレート９１ａが取り付けられ、ボルト、ねじ等の留め具９１ｂにより、プレート９１ａが第１本体部５１－１に固定されることで、衝撃緩和部材９１は第１の一方側中間サポート部材５１に固定される。衝撃緩和部材９１は、弾性の素材より形成されている。
【0104】
また、移動体４０の上面４０ｂには、衝撃緩和部材９１が当接する部分である被当接部分４２が設けられている。被当接部分４２は、例えば、アルミニウムなどの金属に切削加工を施すことにより形成され、ボルト、ねじなどの留め具により、移動体４０の上面４０ｂに固定されている。なお、被当接部分４２は、弾性の素材を用いてもよい。
【0105】
衝撃緩和部材９２は、図１４に示すように、第２本体部５２－１に２つ設けられている。衝撃緩和部材９２は、例えば、移動体４０が＋Ｙ方向に移動して、第１の他方側中間サポート部材５２に当接した場合の衝撃を緩和するために用いられる。衝撃緩和部材９２は、第１の他方側中間サポート部材５２の第２本体部５２－１に形成されている衝撃緩和部材設置部５２－１ｅに嵌め込まれている。更に、＋Ｚ側からプレート９２ａが取り付けられ、ボルト、ねじ等の留め具９２ｂにより、プレート９２ａが第２本体部５２－１に固定されることで、衝撃緩和部材９２は第１の他方側中間サポート部材５２に固定される。衝撃緩和部材９２は、弾性の素材より形成されている。
【0106】
また、移動体４０の上面４０ｂには、衝撃緩和部材９２が当接する部分である被当接部分４３が設けられている。被当接部分４３は、例えば、アルミニウムなどの金属に切削加工を施すことにより形成され、ボルト、ねじなどの留め具により、移動体４０の上面４０ｂに固定されている。なお、被当接部分４３は、弾性の素材を用いてもよい。
【0107】
衝撃緩和部材９３は、図１７に示すように、第３本体部６１－１に２つ設けられている。衝撃緩和部材９３は、例えば、第１の一方側中間サポート部材５１が－Ｙ方向に移動して、第２の一方側中間サポート部材６１に当接した場合の衝撃を緩和するために用いられる。衝撃緩和部材９３は、第２の一方側中間サポート部材６１の第３本体部６１－１に形成されている衝撃緩和部材設置部６１－１ｅに嵌め込まれている。更に、＋Ｚ側からプレート９３ａが取り付けられ、ボルト、ねじ等の留め具９３ｂにより、プレート９３ａが第３本体部６１－１に固定されることで、衝撃緩和部材９３は第２の一方側中間サポート部材６１に固定される。衝撃緩和部材９３は、弾性の素材より形成されている。
【0108】
衝撃緩和部材９４は、図２０に示すように、第４本体部６２－１に２つ設けられている。衝撃緩和部材９４は、例えば、第１の他方側中間サポート部材５２が＋Ｙ方向に移動して、第２の他方側中間サポート部材６２に当接した場合の衝撃を緩和するために用いられる。衝撃緩和部材９４は、第２の他方側中間サポート部材６２の第４本体部６２－１に形成されている衝撃緩和部材設置部６２－１ｅに嵌め込まれている。更に、＋Ｚ側からプレート９４ａが取り付けられ、ボルト、ねじ等の留め具９４ｂにより、プレート９４ａが第４本体部６２－１に固定されることで、衝撃緩和部材９４は第２の他方側中間サポート部材６２に固定される。衝撃緩和部材９４は、弾性の素材より形成されている。
【0109】
本実施の形態１において、衝撃緩和部材９１～９４は、同じものを用いている。
【0110】
以上、説明したように、本実施の形態１に係るアクチュエータ１において、図８に示すように、第１の一方側中間サポート部材５１の第１本体部５１－１には、第１本体部５１－１の軽量化を図るための第１孔５１－１ｂが形成されている。このため、第１中間サポートユニット５０の軽量化を図ることができる。これにより、図５に示すように、第１中間サポートユニット５０を移動させる際のモータ１０の負荷を軽減させることができる。
【0111】
また、本実施の形態１に係るアクチュエータ１において、図８に示すように、第１の他方側中間サポート部材５２の第２本体部５２－１には、第２孔５２－１ｂが形成されている。同様に、第２の一方側中間サポート部材６１の第３本体部６１－１には、第３孔６１－１ｂが形成されていると共に、第２の他方側中間サポート部材６２の第４本体部６２－１には、第４孔６２－１ｂが形成されている。これにより、図５に示すように、第２中間サポートユニット６０を移動させる際のモータ１０の負荷を軽減させることができる。
【0112】
また、本実施の形態１に係るアクチュエータ１においては、図８に示すように、第１～第４本体部５１－１、５２－１、６１－１、６２－１に第１～第４孔５１－１ｂ、５２－１ｂ、６１－１ｂ、６２－１ｂが形成されている。これにより、移動体４０と第１中間サポートユニット５０との当接に伴う衝撃を小さくしたり、第１中間サポートユニット５０と第２中間サポートユニット６０との当接に伴う衝撃を小さくしたりすることができる。この結果、アクチュエータ１は、衝撃緩和部材９１～９４の劣化を抑制することができる。
【0113】
また、本実施の形態１に係るアクチュエータ１においては、移動体４０と第１中間サポートユニット５０との当接に伴う衝撃音を小さくしたり、第１中間サポートユニット５０と第２中間サポートユニット６０との当接に伴う衝撃音を小さくしたりすることができる。これにより、アクチュエータ１は、その動作に伴って生じる動作音を小さくすることができる。この結果、アクチュエータ１では、静音化を実現することができる。
【0114】
また、本実施の形態１に係るアクチュエータ１においては、図８に示すように、第１～第４本体部５１－１、５２－１、６１－１、６２－１に第１～第４孔５１－１ｂ、５２－１ｂ、６１－１ｂ、６２－１ｂが形成されている。このため、第１～第４孔５１－１ｂ、５２－１ｂ、６１－１ｂ、６２－１ｂが形成されていない本体部に簡単な加工を施すことで、図５に示すように、第１、第２中間サポートユニット５０、６０を移動させる際のモータ１０の負荷の軽減を実現することができる。また、本実施の形態１に係るアクチュエータ１においては、可搬性能を向上させるために移動体４０を大型にしても、可搬性能の低下を最小限に抑えながら、移動体４０の移動範囲を長尺化することができる。さらには、図５に示すように、モータ１０や各制御部品の発熱を抑制することができ、ひいては、モータ１０や各制御部品の寿命を伸ばすことができる。
【0115】
また、本実施の形態１に係るアクチュエータ１は、２つの第１、第２中間サポートユニット５０、６０に加えて、さらに中間サポートユニットの数を増やすことができる。これにより、本実施の形態１に係るアクチュエータ１においては、さらに長尺化を実現することができる。
【0116】
以上、本発明の実施の形態１について説明したが、本発明は上記実施の形態１によって限定されるものではない。
【0117】
実施の形態２．
例えば、上記実施の形態１に係るアクチュエータ１においては、連結部材設置部５１－１ｄは、図１１に示すように、第１本体部５１－１の衝撃緩和部材設置部５１－１ｅの周辺に設けられている。連結部材設置部５２－１ｄは、図１６に示すように、第２本体部５２－１の衝撃緩和部材設置部５２－１ｅの周辺に設けられている。しかしながら、連結部材設置部５１－１ｄ、５２－１ｄの位置は、これに限られるものではない。
例えば、上記実施の形態１に係るアクチュエータ１においては、連結部材設置部５１－１ｄは、図１１に示すように、第１本体部５１－１の衝撃緩和部材設置部５１－１ｅの周辺に設けられている。連結部材設置部５２－１ｄは、図１６に示すように、第２本体部５２－１の衝撃緩和部材設置部５２－１ｅの周辺に設けられている。しかしながら、連結部材設置部５１－１ｄ、５２－１ｄの位置は、これに限られるものではない。
【0118】
図２４に示す実施の形態２に係るアクチュエータ２のように、連結部材設置部５１－１ｄ（第１連結部材設置部）は、ローラ設置部５１－１ｃ（第１移動支持部材設置部）に設けられていてもよい。具体的には、図２４（Ａ）においては、＋Ｘ側の連結部材設置部５１－１ｄは、＋Ｘ側のローラ設置部５１－１ｃの周辺に設けられていている。－Ｘ側の連結部材設置部５１－１ｄは、－Ｘ側のローラ設置部５１－１ｃの周辺に設けられていている。
【0119】
同様に、図２４（Ｂ）に示すように、連結部材設置部５２－１ｄ（第２連結部材設置部）は、ローラ設置部５２－１ｃ（第２移動支持部材設置部）に設けられていてもよい。具体的には、図２４においては、＋Ｘ側の連結部材設置部５２－１ｄは、＋Ｘ側のローラ設置部５２－１ｃの周辺に設けられていている。－Ｘ側の連結部材設置部５１－１ｄは、－Ｘ側のローラ設置部５２－１ｃの周辺に設けられていている。
【0120】
アクチュエータ２においては、図２５に示すように、連結部材５３は、移動体４０の－Ｘ側の側方に配置されると共に、連結部材５４は、移動体４０の＋Ｘ側の側方に配置される。
【0121】
実施の形態２に係るアクチュエータ２においても、本実施の形態１と同等の効果を有することができる。
【0122】
実施の形態３．
上記実施の形態１に係るアクチュエータ１においては、連結部材設置部６１－１ｄは、図１９に示すように、第３本体部６１－１の衝撃緩和部材設置部６１－１ｅの周辺に設けられている。連結部材設置部６２－１ｄは、図２２に示すように、第４本体部６２－１の衝撃緩和部材設置部６２－１ｅの周辺に設けられている。しかしながら、連結部材設置部６１－１ｄ、６２－１ｄの位置は、これに限られるものではない。
上記実施の形態１に係るアクチュエータ１においては、連結部材設置部６１－１ｄは、図１９に示すように、第３本体部６１－１の衝撃緩和部材設置部６１－１ｅの周辺に設けられている。連結部材設置部６２－１ｄは、図２２に示すように、第４本体部６２－１の衝撃緩和部材設置部６２－１ｅの周辺に設けられている。しかしながら、連結部材設置部６１－１ｄ、６２－１ｄの位置は、これに限られるものではない。
【0123】
図２６に示す実施の形態３に係るアクチュエータ３のように、連結部材設置部６１－１ｄ（第３連結部材設置部）は、ローラ設置部６１－１ｃ（第３移動支持部材設置部）に設けられていてもよい。具体的には、図２６（Ａ）においては、＋Ｘ側の連結部材設置部６１－１ｄは、＋Ｘ側のローラ設置部６１－１ｃの周辺に設けられていている。－Ｘ側の連結部材設置部６１－１ｄは、－Ｘ側のローラ設置部６１－１ｃの周辺に設けられていている。
【0124】
同様に、図２６（Ｂ）においては、連結部材設置部６２－１ｄは、ローラ設置部６２－１ｃに設けられていてもよい。具体的には、＋Ｘ側の連結部材設置部６２－１ｄは、＋Ｘ側のローラ設置部６２－１ｃの周辺に設けられていている。－Ｘ側の連結部材設置部６２－１ｄは、－Ｘ側のローラ設置部６２－１ｃの周辺に設けられていている。
【0125】
アクチュエータ２においては、図２７に示すように、連結部材６３は、移動体４０の－Ｘ側の側方に連結部材５３と共に配置される。連結部材６４は、移動体４０の＋Ｘ側の側方に連結部材６３と共に配置される。
【0126】
実施の形態３に係るアクチュエータ３においても、本実施の形態１と同等の効果を有することができる。
【0127】
実施の形態４．
上記実施の形態１に係るアクチュエータ１において、図１０に示すように、第１の一方側中間サポート部材５１の第１本体部５１－１に形成されている第１孔５１－１ｂは、移動方向Ｄ１と平行な方向に開口する。しかしながら、これに限られない。図２８に示す実施の形態４に係るアクチュエータ４が有する第１本体部５１－１のように、例えば、第１孔５１－１ｂは、移動方向Ｄ１と交差する方向（平行な方向以外の方向）に開口してもよい。なお、図２６は、第１孔５１－１ｂが、移動方向Ｄ１に直交する方向である＋Ｚ方向及び－Ｚ方向に開口する例を示している。
上記実施の形態１に係るアクチュエータ１において、図１０に示すように、第１の一方側中間サポート部材５１の第１本体部５１－１に形成されている第１孔５１－１ｂは、移動方向Ｄ１と平行な方向に開口する。しかしながら、これに限られない。図２８に示す実施の形態４に係るアクチュエータ４が有する第１本体部５１－１のように、例えば、第１孔５１－１ｂは、移動方向Ｄ１と交差する方向（平行な方向以外の方向）に開口してもよい。なお、図２６は、第１孔５１－１ｂが、移動方向Ｄ１に直交する方向である＋Ｚ方向及び－Ｚ方向に開口する例を示している。
【0128】
また、図１５に示す第２孔５２－１ｂについても、移動方向Ｄ１と交差する方向（平行な方向以外の方向）に開口してもよい。例えば、第２孔５２－１ｂは、＋Ｚ方向及び－Ｚ方向に開口してもよい。
【0129】
また、図１８に示すように、第２の一方側中間サポート部材６１の第３本体部６１－１に形成されている第３孔６１－１ｂについても、移動方向Ｄ１と平行な方向に開口する。しかしながら、これに限られない。図２９に示すように、例えば、第３孔６１－１ｂは、移動方向Ｄ１と交差する方向（平行な方向以外の方向）に開口してもよい。なお、図２９は、第３孔６１－１ｂが、移動方向Ｄ１に直交する方向である＋Ｚ方向及び－Ｚ方向に開口する例を示している。
【0130】
また、図２１に示す第４孔６２－１ｂについても、移動方向Ｄ１と交差する方向（平行な方向以外の方向）に開口してもよい。例えば、第２孔５２－１ｂは、＋Ｚ方向及び－Ｚ方向に開口してもよい。
【0131】
実施の形態５．
図２８に示すように、上記実施の形態４に係る第１本体部５１－１においては、連結部材設置部５１－１ｄ（第１連結部材設置部）は、第１本体部５１－１の上部（＋Ｚ側の部分）に設けられている。しかしながら、これに限られない。図３０に示すアクチュエータ５が有する第１本体部５１－１のように、連結部材設置部５１－１ｄ（第１連結部材設置部）は、ローラ設置部５１－１ｃ（第１移動支持部材設置部）に設けられていてもよい。
図２８に示すように、上記実施の形態４に係る第１本体部５１－１においては、連結部材設置部５１－１ｄ（第１連結部材設置部）は、第１本体部５１－１の上部（＋Ｚ側の部分）に設けられている。しかしながら、これに限られない。図３０に示すアクチュエータ５が有する第１本体部５１－１のように、連結部材設置部５１－１ｄ（第１連結部材設置部）は、ローラ設置部５１－１ｃ（第１移動支持部材設置部）に設けられていてもよい。
【0132】
同様に、図１５を参照するとわかるように、第１の他方側中間サポート部材５２の第２本体部５２－１において、第２孔５２－１ｂが上下方向（＋Ｚ方向及び－Ｚ方向）に開口しつつ、連結部材設置部５２－１ｄ（第２連結部材設置部）は、ローラ設置部５２－１ｃ（第２移動支持部材設置部）に設けられていてもよい。
【0133】
図１８を参照するとわかるように、第２の一方側中間サポート部材６１の第３本体部６１－１において、第３孔６１－１ｂが上下方向（＋Ｚ方向及び－Ｚ方向）に開口しつつ、連結部材設置部６１－１ｄ（第３連結部材設置部）は、ローラ設置部６１－１ｃ（第３移動支持部材設置部）に設けられていてもよい。
【0134】
図２１を参照するとわかるように、第２の他方側中間サポート部材６２の第４本体部６２－１において、第４孔６２－１ｂが上下方向（＋Ｚ方向及び－Ｚ方向）に開口しつつ、連結部材設置部６２－１ｄは、ローラ設置部６２－１ｃに設けられていてもよい。
【0135】
その他の変形例
上記実施の形態１では、第１～第４孔５１－１ｂ、５２－１ｂ、６１－１ｂ、６２－１ｂは、図８に示すように、第１～第４本体部５１－１、５２－１、６１－１、６２－１のそれぞれを貫通して形成されている。しかしながら、これに限られない。第１～第４孔５１－１ｂ、５２－１ｂ、６１－１ｂ、６２－１ｂは、第１～第４本体部５１－１、５２－１、６１－１、６２－１のそれぞれを貫通しない非貫通孔として形成されていてもよい。
上記実施の形態１では、第１～第４孔５１－１ｂ、５２－１ｂ、６１－１ｂ、６２－１ｂは、図８に示すように、第１～第４本体部５１－１、５２－１、６１－１、６２－１のそれぞれを貫通して形成されている。しかしながら、これに限られない。第１～第４孔５１－１ｂ、５２－１ｂ、６１－１ｂ、６２－１ｂは、第１～第４本体部５１－１、５２－１、６１－１、６２－１のそれぞれを貫通しない非貫通孔として形成されていてもよい。
【0136】
また、上記実施の形態１では、第１～第４本体部５１－１、５２－１、６１－１、６２－１のいずれにも軽量化のための第１～第４孔５１－１ｂ、５２－１ｂ、６１－１ｂ、６２－１ｂが形成されている。しかしながら、これに限られない。第１～第４本体部５１－１、５２－１、６１－１、６２－１のいずれか１つから３つに孔が形成されていてもよい。例えば、図３１に示すように、第１、第３本体部５１－１、６１－１には、第１、第３孔５１－１ｂ、６１－１ｂが形成され、第２、第４本体部５２－１、６２－１には、軽量化のための孔が形成されていなくてもよい。
【0137】
また、実施の形態１では、図１０に示すように、第１孔５１－１ｂは、移動方向Ｄ１と平行な方向に開口している。実施の形態４では、図２８に示すように、第１孔５１－１ｂは、移動方向Ｄ１と直交する方向に開口している。しかしながら、第１本体部５１－１の軽量化を図ることができれば、第１孔５１－１ｂの開口方向や形状は、これに限定されるものではない。例えば、第１本体部５１－１には、移動方向Ｄ１と平行な方向に開口する孔と、移動方向Ｄ１と直交する方向に開口する孔との両方が形成されていてもよい。第２孔５２－１ｂ、第３孔６１－１ｂ、第４孔６２－１ｂの開口方向や形状についても同様である。
【0138】
また、実施の形態１では、図９に示すように、第１孔５１－１ｂは、第１本体部５１－１において、スライドブッシュ支持部５１－１ａの＋Ｘ側及び－Ｘ側の両側に２つ形成されている。しかしながら、これに限られない。第１孔５１－１ｂは、第１本体部５１－１に１つのみ形成されていてもよいし、３つ以上形成されていてもよい。第２孔５２－１ｂ、第３孔６１－１ｂ、第４孔６２－１ｂについても同様である（図１４、図１７、図２０参照）。
【0139】
また、実施の形態１では、図９に示すように、連結部材設置部５１－１ｄは、第１本体部５１－１において、衝撃緩和部材設置部５１－１ｅの周辺に２つ設けられている。しかしながら、これに限られない。連結部材設置部５１－１ｄは、第１本体部５１－１に１つのみ形成されていてもよいし、３つ以上形成されていてもよい。連結部材設置部５２－１ｄ、６１－１ｄ、６２－１ｄについても同様である（図１５、図１８、図２１参照）。
【0140】
また、実施の形態１では、図９に示すように、第１本体部５１－１の第１孔５１－１ｂは、移動方向Ｄ１と平行な方向である＋Ｙ方向及び－Ｙ方向の双方向に開口する。しかしながら、これに限られない。例えば、図３２に示す実施の形態７のように、第１孔５１－１ｂは、第１本体部５１－１の外部に開口していなくてもよい。この場合、第１孔５１－１ｂの開口を塞ぐ部材５１－１ｆを用いることで、第１孔５１－１ｂは、第１本体部５１－１の外部に開口しない閉鎖空間として形成される。第２孔５２－１ｂ、第３孔６１－１ｂ、第４孔６２－１ｂについても同様である（図１４、図１７、図２０参照）。
【0141】
本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施の形態及び変形が可能とされるものである。上述した実施の形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。
【符号の説明】
【0142】
１，２，３，４，５，６：アクチュエータ
１０：モータ
１０ａ：出力軸（回転軸）
１０ｂ，２３：カップリング
１１：モータ本体
１２：モータカバー
１２ｃ：エンドカバー
１３：制御基板
１４：エンコーダ
２０：ボールネジ
２１：ボールネジ軸
２１ａ，２１ｂ：小径部
２２：ボールネジナット
３０：アクチュエータハウジング
３１：ベース
３１Ｒ，３１Ｌ：側壁部分
３１ａ：底部分
３１ｂ：転動体用ガイドレール
３１ｃ：溝
３１ｄ：孔
３２：メインカバー
３３：フロントブラケット
３４：リアブラケット
３４ａ：ベアリング
３４ｂ：貫通孔
３５：連結部分カバー
３６：隙間
３７，３８：衝撃緩和部材
４０：移動体
４０ａ：貫通孔
４０ｂ：上面
４１：テーブル取付け部
４２，４３：被当接部分
５０：第１中間サポートユニット
５１：第１の一方側中間サポート部材
５１－１：第１本体部
５１－１ａ：スライドブッシュ支持部（第１摺動部材支持部）
５１－１ｂ：第１孔
５１－１ｃ：ローラ設置部（第１移動支持部材設置部）
５１－１ｄ：連結部材設置部（第１連結部材設置部）
５１－１ｅ：衝撃緩和部材設置部（第１衝撃緩和部材設置部）
５１－１ｆ：開口を塞ぐ部材
５１－２：スライドブッシュ（第１摺動部材）
５１－３：スライドブッシュサポート
５１－４ａ：ローラ（第１移動支持部材）
５１－４ｂ，５１－４ｃ：ローラ
５１－５：アジャストプレート
５２：第１の他方側中間サポート部材
５２－１：第２本体部
５２－１ａ：スライドブッシュ支持部（第２摺動部材支持部）
５２－１ｂ：第２孔
５２－１ｃ：ローラ設置部（第２移動支持部材設置部）
５２－１ｄ：連結部材設置部（第２連結部材設置部）
５２－１ｅ：衝撃緩和部材設置部（第２衝撃緩和部材設置部）
５２－２：スライドブッシュ（第２摺動部材）
５２－３：スライドブッシュサポート
５２－４ａ：ローラ（第２移動支持部材）
５２－４ｂ，５２－４ｃ：ローラ
５２－５：アジャストプレート
５３：連結部材（第１連結部材）
５４：連結部材
６０：第２中間サポートユニット
６１：第２の一方側中間サポート部材
６１－１：第３本体部
６１－１ａ：スライドブッシュ支持部（第３摺動部材支持部）
６１－１ｂ：第３孔
６１－１ｃ：ローラ設置部（第３移動支持部材設置部）
６１－１ｄ：連結部材設置部（第３連結部材設置部）
６１－１ｅ：衝撃緩和部材設置部（第３衝撃緩和部材設置部）
６１－２：スライドブッシュ（第３摺動部材）
６１－３：スライドブッシュサポート
６１－４ａ：ローラ（第３移動支持部材）
６１－４ｂ，６１－４ｃ：ローラ
６１－５：アジャストプレート
６２：第２の他方側中間サポート部材
６２－１：第４本体部
６２－１ａ：スライドブッシュ支持部（第４摺動部材支持部材）
６２－１ｂ：第４孔
６２－１ｃ：ローラ設置部
６２－１ｄ：連結部材設置部
６２－１ｅ：衝撃緩和部材設置部
６２－２：スライドブッシュ（第４摺動部材）
６２－３：スライドブッシュサポート
６２－４ａ，６２－４ｂ，６２－４ｃ：ローラ
６２－５：アジャストプレート
６３：連結部材（第２連結部材）
６４：連結部材
７０：第１干渉防止部材
８０：第２干渉防止部材
９１，９２，９３，９４：衝撃緩和部材
９１ａ，９２ａ，９３ａ，９４ａ：プレート
９１ｂ，９２ｂ，９３ｂ，９４ｂ：留め具
Ｔ：スライドテーブル
Ｄ１：移動方向
Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３：支点間距離
Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４：矢印
１０：モータ
１０ａ：出力軸（回転軸）
１０ｂ，２３：カップリング
１１：モータ本体
１２：モータカバー
１２ｃ：エンドカバー
１３：制御基板
１４：エンコーダ
２０：ボールネジ
２１：ボールネジ軸
２１ａ，２１ｂ：小径部
２２：ボールネジナット
３０：アクチュエータハウジング
３１：ベース
３１Ｒ，３１Ｌ：側壁部分
３１ａ：底部分
３１ｂ：転動体用ガイドレール
３１ｃ：溝
３１ｄ：孔
３２：メインカバー
３３：フロントブラケット
３４：リアブラケット
３４ａ：ベアリング
３４ｂ：貫通孔
３５：連結部分カバー
３６：隙間
３７，３８：衝撃緩和部材
４０：移動体
４０ａ：貫通孔
４０ｂ：上面
４１：テーブル取付け部
４２，４３：被当接部分
５０：第１中間サポートユニット
５１：第１の一方側中間サポート部材
５１－１：第１本体部
５１－１ａ：スライドブッシュ支持部（第１摺動部材支持部）
５１－１ｂ：第１孔
５１－１ｃ：ローラ設置部（第１移動支持部材設置部）
５１－１ｄ：連結部材設置部（第１連結部材設置部）
５１－１ｅ：衝撃緩和部材設置部（第１衝撃緩和部材設置部）
５１－１ｆ：開口を塞ぐ部材
５１－２：スライドブッシュ（第１摺動部材）
５１－３：スライドブッシュサポート
５１－４ａ：ローラ（第１移動支持部材）
５１－４ｂ，５１－４ｃ：ローラ
５１－５：アジャストプレート
５２：第１の他方側中間サポート部材
５２－１：第２本体部
５２－１ａ：スライドブッシュ支持部（第２摺動部材支持部）
５２－１ｂ：第２孔
５２－１ｃ：ローラ設置部（第２移動支持部材設置部）
５２－１ｄ：連結部材設置部（第２連結部材設置部）
５２－１ｅ：衝撃緩和部材設置部（第２衝撃緩和部材設置部）
５２－２：スライドブッシュ（第２摺動部材）
５２－３：スライドブッシュサポート
５２－４ａ：ローラ（第２移動支持部材）
５２－４ｂ，５２－４ｃ：ローラ
５２－５：アジャストプレート
５３：連結部材（第１連結部材）
５４：連結部材
６０：第２中間サポートユニット
６１：第２の一方側中間サポート部材
６１－１：第３本体部
６１－１ａ：スライドブッシュ支持部（第３摺動部材支持部）
６１－１ｂ：第３孔
６１－１ｃ：ローラ設置部（第３移動支持部材設置部）
６１－１ｄ：連結部材設置部（第３連結部材設置部）
６１－１ｅ：衝撃緩和部材設置部（第３衝撃緩和部材設置部）
６１－２：スライドブッシュ（第３摺動部材）
６１－３：スライドブッシュサポート
６１－４ａ：ローラ（第３移動支持部材）
６１－４ｂ，６１－４ｃ：ローラ
６１－５：アジャストプレート
６２：第２の他方側中間サポート部材
６２－１：第４本体部
６２－１ａ：スライドブッシュ支持部（第４摺動部材支持部材）
６２－１ｂ：第４孔
６２－１ｃ：ローラ設置部
６２－１ｄ：連結部材設置部
６２－１ｅ：衝撃緩和部材設置部
６２－２：スライドブッシュ（第４摺動部材）
６２－３：スライドブッシュサポート
６２－４ａ，６２－４ｂ，６２－４ｃ：ローラ
６２－５：アジャストプレート
６３：連結部材（第２連結部材）
６４：連結部材
７０：第１干渉防止部材
８０：第２干渉防止部材
９１，９２，９３，９４：衝撃緩和部材
９１ａ，９２ａ，９３ａ，９４ａ：プレート
９１ｂ，９２ｂ，９３ｂ，９４ｂ：留め具
Ｔ：スライドテーブル
Ｄ１：移動方向
Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３：支点間距離
Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４：矢印
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】