特開 2024-18553 真空ポンプシステム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024018553

(43)【公開日】2024-02-08

(54)【発明の名称】真空ポンプシステム

(51)【国際特許分類】

   F04B 37/16 20060101AFI20240201BHJP

   F04D 19/04 20060101ALI20240201BHJP

【ＦＩ】

F04B37/16 B

F04D19/04 H

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022121962

(22)【出願日】2022-07-29

(71)【出願人】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100121382

【弁理士】

【氏名又は名称】山下 託嗣

(74)【代理人】

【識別番号】100221372

【弁理士】

【氏名又は名称】岡崎 信治

(72)【発明者】

【氏名】中村 雅哉

(72)【発明者】

【氏名】小崎 純一郎

【テーマコード（参考）】

3H076

3H131

【Ｆターム（参考）】

3H076AA16

3H076BB33

3H076BB34

3H076CC41

3H076CC92

3H131AA02

3H131BA11

3H131CA36

3H131CA38

(57)【要約】

【課題】装置コンピュータ及びバルブの制御装置と、真空ポンプの制御装置とを通信可能とする。
【解決手段】真空ポンプシステム１００は、真空ポンプ１と、バルブ２と、装置コンピュータ３と、を備える。真空ポンプ１は、排気対象装置を真空引きし、ポンプ制御装置１１を有する。バルブ２は、弁の開度を制御することで排気対象装置ＣＨの内部の圧力を制御し、バルブ制御装置２１を有する。装置コンピュータ３は、バルブ２に接続される。バルブ制御装置２１は、第１プロトコル又は第２プロトコルのいずれかを用いて、装置コンピュータ３と通信可能である。ポンプ制御装置１１は、第２プロトコルと互換性を有する第３プロトコルを用いて通信可能である。バルブ制御装置２１は、通信に用いるプロトコルを第２プロトコルとし、第２プロトコルを用いて装置コンピュータ３及びポンプ制御装置１１と通信を行う。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

排気対象装置を真空引きする真空ポンプと、
前記排気対象装置と前記真空ポンプの間に配置され、弁の開度を制御することで前記排気対象装置の内部の圧力を制御するバルブと、
前記バルブに接続された装置コンピュータと、
を備える真空ポンプシステムであって、
前記バルブは、第１プロトコル又は前記第１プロトコルとは異なる第２プロトコルのいずれかを用いて前記装置コンピュータと通信可能なバルブ制御装置を有し、
前記真空ポンプは、前記バルブ制御装置に接続され、前記第２プロトコルと互換性を有する第３プロトコルを用いて他の装置と通信可能なポンプ制御装置を有し、
前記バルブ制御装置と前記ポンプ制御装置との間で通信を行う場合、前記バルブ制御装置は、通信に用いるプロトコルを前記第２プロトコルとし、前記第２プロトコルを用いて前記装置コンピュータ及び前記ポンプ制御装置と通信を行う、
真空ポンプシステム。

【請求項2】

前記ポンプ制御装置は、前記真空ポンプに関するデータを記憶し、
前記バルブ制御装置は、前記第２プロトコルを用いて前記ポンプ制御装置から前記真空ポンプに関するデータを受信する、
請求項１に記載の真空ポンプシステム。

【請求項3】

前記バルブ制御装置は、
前記ポンプ制御装置から受信した前記真空ポンプに関するデータを、前記第２プロトコルを用いて前記装置コンピュータに送信する、
請求項２に記載の真空ポンプシステム。

【請求項4】

前記真空ポンプに関するデータは、前記真空ポンプのロータの回転速度と、前記ロータを回転するモータに供給された電流値と、を含む、請求項２に記載の真空ポンプシステム。

【請求項5】

前記バルブ制御装置は、バルブに関するデータを記憶し、
前記バルブ制御装置は、
前記ポンプ制御装置から受信した前記真空ポンプに関するデータと、前記バルブに関するデータとを、前記第２プロトコルを用いて前記装置コンピュータに送信する、
請求項２に記載の真空ポンプシステム。

【請求項6】

前記装置コンピュータは、前記第２プロトコルを用いて通信を行った後に、前記第１プロトコルを用いて通信可能となる、請求項１に記載の真空ポンプシステム。

【請求項7】

前記バルブに関するデータは、前記排気対象装置の内部の圧力と、前記排気対象装置の内部の目標圧力と、前記弁の開度と、前記真空ポンプにより前記排気対象装置の内部を真空引きするときの推定流量と、を含む、請求項５に記載の真空ポンプシステム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空ポンプシステムに関する。

【背景技術】

【0002】

真空ポンプには、固定翼と回転翼で構成されるタービン翼ポンプ部と、タービン翼ポンプ部よりも排気下流側に設けられたドラッグポンプ部と、を備えるものがある。この真空ポンプを含む真空ポンプシステムは、例えば、ドライエッチング、又は、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：化学気相成長）などのプロセスを実行するプロセスチャンバなどの排気対象装置を真空引きする手段として用いられる。また、この真空ポンプシステムにおいては、真空ポンプと排気対象装置との間にバルブが設けられる（例えば、特許文献１を参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１６－２１７８９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記の真空ポンプシステムは、バルブに接続された装置コンピュータをさらに備える場合がある。この装置コンピュータは、バルブの制御装置と所定のプロトコルを用いて通信可能であり、真空ポンプシステムの状態及び／又は排気対象装置にて行われているプロセス等の監視のために、バルブの制御装置にて得られた各種情報を取得可能となっている。

【0005】

その一方、真空ポンプシステム及び／又はプロセス等のより詳細な情報を取得するために、バルブの情報に加えて、真空ポンプの制御装置にて取得された情報が必要な場合がある。しかしながら、真空ポンプの制御装置は、上記の装置コンピュータとバルブの制御装置との通信に用いられているものとは異なるプロトコルで他の装置（例えば、他の真空ポンプ）と通信をしている。そのため、真空ポンプの制御装置は、装置コンピュータとバルブの制御装置に物理的に接続されていても、装置コンピュータとバルブの制御装置とは通信ができない。また、真空ポンプは、複数台使用を想定してあらかじめプロトコルを規定しており、これを変更することができない場合が多い。

【0006】

本発明の目的は、真空ポンプシステムにおいて、装置コンピュータ及びバルブの制御装置と、プロトコルの変更ができない真空ポンプの制御装置とを通信可能とすることにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一態様に係る真空ポンプシステムは、真空ポンプと、バルブと、装置コンピュータと、を備える。真空ポンプは、排気対象装置を真空引きする。バルブは、排気対象装置と真空ポンプの間に配置され、弁の開度を制御することで排気対象装置の内部の圧力を制御する。装置コンピュータは、バルブに接続される。この真空ポンプシステムにおいて、バルブは、バルブ制御装置を有する。バルブ制御装置は、第１プロトコル又は第１プロトコルとは異なる第２プロトコルのいずれかを用いて、装置コンピュータと通信可能となっている。真空ポンプは、ポンプ制御装置を有する。ポンプ制御装置は、バルブ制御装置に接続され、第２プロトコルと互換性を有する第３プロトコルを用いて他の装置と通信可能となっている。上記の真空ポンプシステムにおいて、バルブ制御装置とポンプ制御装置との間で通信を行う場合、バルブ制御装置は、通信に用いるプロトコルを第２プロトコルとし、第２プロトコルを用いて装置コンピュータ及びポンプ制御装置と通信を行う。

【発明の効果】

【0008】

上述した本発明の一態様に係る真空ポンプシステムでは、バルブ制御装置とポンプ制御装置との間で通信を行う場合に、バルブ制御装置が通信で用いるプロトコルを第２プロトコルとしている。これにより、装置コンピュータ、バルブ制御装置、及び、ポンプ制御装置が、共通の第２プロトコルにより互いに通信可能となる。この結果、装置コンピュータ、バルブ制御装置、プロトコルの変更ができないポンプ制御装置との間で、互いにデータの送受信が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】実施形態に係る真空ポンプシステムの構成を示す図である。

【図2】装置コンピュータの構成を示す図である。

【図3】ポンプ制御装置の構成を示す図である。

【図4】バルブ制御装置の構成を示す図である。

【図5】バルブ制御装置とポンプ制御装置との間で通信をする場合の動作を示す処理シーケンス図である。

【図6】通常状態への復帰動作を示す処理シーケンス図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

＜真空ポンプシステムの構成＞
以下、図面を参照して一実施形態に係る真空ポンプシステムの構成を説明する。図１は、実施形態に係る真空ポンプシステム１００の構成を示す図である。真空ポンプシステム１００は、排気対象装置ＣＨの内部のガスを排気するシステムである。排気対象装置ＣＨは、例えば、半導体製造装置のプロセスチャンバ、各種成膜装置、エッチング装置などである。

【0011】

真空ポンプシステム１００は、真空ポンプ１と、バルブ２と、装置コンピュータ３と、を備える。真空ポンプ１は、バルブ２を介して、排気対象装置ＣＨの内部に接続される。真空ポンプ１は、排気対象装置ＣＨの内部を真空引きする。真空ポンプ１は、ロータとステータとを有し、ロータが回転することで排気対象装置ＣＨを真空引きするポンプ（例えば、ターボ分子ポンプ）である。真空ポンプ１は、ポンプ制御装置１１を有する。ポンプ制御装置１１は、真空ポンプ１の制御、及び、真空ポンプ１に関する各種データ（ポンプ関連データＤ１と呼ぶ）を収集し記憶する。

【0012】

バルブ２は、弁の開閉により真空ポンプ１の吸気側と排気対象装置ＣＨの内部とを連通させるか遮断するかを切り替える装置である。また、バルブ２は、弁の開度を制御して真空ポンプ１による排気対象装置ＣＨの内部の吸引流量を制御することで、排気対象装置ＣＨの内部の圧力を制御する。バルブ２は、バルブ制御装置２１を有する。バルブ制御装置２１は、バルブ２の制御、及び、バルブ２に関する各種データ（バルブ関連データＤ２と呼ぶ）を収集し記憶する。

【0013】

バルブ制御装置２１は、真空計４に接続されている。真空計４は、排気対象装置ＣＨの内部の圧力を測定する。バルブ制御装置２１は、真空計４にて測定された排気対象装置ＣＨの圧力を、バルブ関連データＤ２として収集できる。

【0014】

装置コンピュータ３は、バルブ制御装置２１に接続され、真空ポンプシステム１００に対する各種設定を行う。具体的には、装置コンピュータ３は、排気対象装置ＣＨの内部の設定圧力を設定し、バルブ制御装置２１に送信する。真空ポンプシステム１００の運転中に、バルブ制御装置２１は、装置コンピュータ３から受信した設定圧力になるよう、バルブ２の弁の開度を制御する。

【0015】

＜装置コンピュータの構成＞
図２を用いて、装置コンピュータ３の構成を説明する。図２は、装置コンピュータ３の構成を示す図である。装置コンピュータ３は、ＣＰＵ、ＲＯＭなどの記憶装置、各種インタフェース、ディスプレイ等を備えるコンピュータシステムである。装置コンピュータ３は、記憶部３１と、制御部３２と、を有する。

【0016】

記憶部３１は、装置コンピュータ３を構成する記憶装置に設けられた記憶領域の一部又は全部である。記憶部３１は、真空ポンプシステム１００に関する各種データ、各種プログラム等を記憶する。具体的には、記憶部３１は、第１通信用プログラムＰ１と、第２通信用プログラムＰ２と、ポンプ関連データＤ１と、バルブ関連データＤ２と、を記憶する。

【0017】

第１通信用プログラムＰ１は、第１プロトコルを用いて外部の装置等と通信を行うためのプログラムである。第２通信用プログラムＰ２は、第２プロトコルを用いて外部の装置等と通信を行うためのプログラムである。第２プロトコルは、第１プロトコルとは異なる通信用プロトコルであり、第１プロトコルとは互換性がない。ここで、「互換性がない」とは、第１プロトコルと第２プロトコルの基本構成（例えば、通信仕様等）が異なっていることを意味する。すなわち、第１プロトコルを用いる装置は、第２プロトコルを用いる装置とは通信できないことを意味する。

【0018】

制御部３２は、装置コンピュータ３を構成するＣＰＵと各種インタフェース等により構成されるハードウェア部分であり、真空ポンプシステム１００における各種情報処理を実行する。

【0019】

制御部３２は、バルブ制御装置２１と接続されている。制御部３２は、第１通信用プログラムＰ１を実行することで、第１プロトコルを用いてバルブ制御装置２１と通信可能である。また、制御部３２は、第２通信用プログラムＰ２を実行することで、第２プロトコルを用いてバルブ制御装置２１と通信可能である。すなわち、制御部３２は、第１プロトコル又は第２プロトコルのいずれかを用いて、バルブ制御装置２１と通信可能である。

【0020】

なお、ポンプ制御装置１１とバルブ制御装置２１とが通信しない場合などの通常時において、制御部３２は、第１プロトコルを用いてバルブ制御装置２１と通信可能となっている。これにより、制御部３２は、通常時においては、装置コンピュータ３と接続された他の装置（例えば、他のコンピュータなど）と通信可能となる。

【0021】

バルブ制御装置２１と通信可能であることにより、制御部３２は、バルブ制御装置２１からバルブ関連データＤ２を収集して、記憶部３１に記憶できる。また、バルブ制御装置２１に記憶されているポンプ関連データＤ１を収集して記憶できる。このようにして、装置コンピュータ３は、真空ポンプシステム１００にて取得される各種データをロギングできる。

【0022】

＜ポンプ制御装置の構成＞
図３を用いて、ポンプ制御装置１１の構成を説明する。図３は、ポンプ制御装置１１の構成を示す図である。ポンプ制御装置１１は、ＣＰＵ、ＲＯＭなどの記憶装置、各種インタフェース等を備えるコンピュータシステムである。ポンプ制御装置１１は、記憶部１１１と、制御部１１２と、を有する。

【0023】

記憶部１１１は、ポンプ制御装置１１を構成する記憶装置に設けられた記憶領域の一部又は全部である。記憶部１１１は、真空ポンプ１に関する各種データ、真空ポンプ１の制御に関する各種プログラム等を記憶する。具体的には、記憶部３１は、第３通信用プログラムＰ３と、ポンプ関連データＤ１と、を記憶する。

【0024】

第３通信用プログラムＰ３は、第３プロトコルを用いて外部の装置等と通信を行うためのプログラムである。第３プロトコルは、上記の第１プロトコルとは互換性を有さないが、第２プロトコルとは互換性を有する。ここで、「互換性がある」とは、第２プロトコルと第３プロトコルの基本構成（例えば、通信仕様、パケットの基本構造、通信を実現するための必要最低限のパラメータ等）は共通しているが、通信で用いられるパラメータ等が一部異なることを意味する。これにより、第２プロトコルを用いる装置は、第３プロトコルを用いる装置と通信可能となる。

【0025】

装置コンピュータ３とは異なり、ポンプ制御装置１１は、第３通信用プログラムＰ３のみを有する。これは、ポンプ制御装置１１が他のポンプ制御装置などとの通信を前提に設計されており、ポンプ制御装置１１の通信プロトコルが、第３プロトコルに固定されていることを意味している。つまり、ポンプ制御装置１１の通信プロトコルは、変更できない。

【0026】

ポンプ関連データＤ１は、真空ポンプ１の状態等を表すデータである。ポンプ関連データＤ１は、例えば、真空ポンプ１のロータの回転速度、ロータを回転するモータに供給される電流値、真空ポンプ１の温度、ロータの位置変動値、などを含む。その他、ポンプ関連データＤ１は、真空ポンプ１で発生したアラームに関する情報を含んでいてもよい。このようなポンプ関連データＤ１により、例えば、真空ポンプ１の内部における生成物付着状況等を監視できる。

【0027】

制御部１１２は、ポンプ制御装置１１を構成するＣＰＵと各種インタフェース等により構成されるハードウェア部分であり、真空ポンプ１に関する各種情報処理を実行する。具体的には、制御部１１２は、真空ポンプ１の制御を実行する。また、制御部１１２は、真空ポンプ１に設けられた各種センサの測定値を、上記のポンプ関連データＤ１として取得し、記憶部１１１に記憶する。

【0028】

制御部１１２は、第３通信用プログラムＰ３を実行することで、第３プロトコルを用いて他の装置と通信可能となっている。例えば、制御部１１２は、他の真空ポンプのポンプ制御装置、複数の真空ポンプを管理するサーバ等と通信可能となっている。

【0029】

上記のように、第２プロトコルを用いる装置は、第３プロトコルを用いる装置と通信可能となる。従って、制御部１１２は、第３通信用プログラムＰ３を実行することで、第２プロトコルを用いるバルブ制御装置２１と通信可能である。これにより、制御部１１２は、記憶部１１１に記憶されたポンプ関連データＤ１を、バルブ制御装置２１に送信できる。

【0030】

＜バルブ制御装置の構成＞
図４を用いて、バルブ制御装置２１の構成を説明する。図４は、バルブ制御装置２１の構成を示す図である。バルブ制御装置２１は、ＣＰＵ、ＲＯＭなどの記憶装置、各種インタフェース等を備えるコンピュータシステムである。バルブ制御装置２１は、記憶部２１１と、制御部２１２と、を有する。

【0031】

記憶部２１１は、バルブ制御装置２１を構成する記憶装置に設けられた記憶領域の一部又は全部である。記憶部２１１は、バルブ２に関する各種データ、バルブ２の制御に関する各種プログラム等を記憶する。具体的には、記憶部２１１は、第１通信用プログラムＰ１と、第２通信用プログラムＰ２と、ポンプ関連データＤ１と、バルブ関連データＤ２と、を記憶する。

【0032】

なお、記憶部２１１に記憶される第１通信用プログラムＰ１、第２通信用プログラムＰ２と、装置コンピュータ３の記憶部３１に記憶される第１通信用プログラムＰ１、第２通信用プログラムＰ２と、は同じ参照符号を用いているが、これは、これらプログラムが同機能を有していることを意味しているにすぎない。記憶部２１１に記憶される第１通信用プログラムＰ１、第２通信用プログラムＰ２と、装置コンピュータ３の記憶部３１に記憶される第１通信用プログラムＰ１、第２通信用プログラムＰ２と、は、ハードウェア構成、オペレーティングシステム等が装置コンピュータ３とバルブ制御装置２１とで異なっている場合には、異なるプログラムとなる。

【0033】

バルブ関連データＤ２は、例えば、排気対象装置ＣＨの内部の圧力、排気対象装置ＣＨの内部の目標圧力、バルブ２の弁の開度、真空ポンプ１により排気対象装置の内部を真空引きするときの推定流量、などを含む。これら情報は、排気対象装置ＣＨの内部で実行されるプロセスに関連した情報である。よって、このようなバルブ関連データＤ２により、例えば、排気対象装置ＣＨの内部で実行されるプロセスの状況等を監視できる。

【0034】

制御部２１２は、バルブ制御装置２１を構成するＣＰＵと各種インタフェース等により構成されるハードウェア部分であり、バルブ２に関する各種情報処理を実行する。具体的には、制御部２１２は、バルブ２の制御を実行する。例えば、制御部２１２は、排気対象装置ＣＨの内部の圧力を設定圧力にするよう、バルブ２の弁の開度を制御する。また、制御部２１２は、バルブ２に設けられた各種センサの測定値、真空計４にて測定された圧力などを、バルブ関連データＤ２として取得し、記憶部１１１に記憶する。

【0035】

制御部２１２は、装置コンピュータ３と接続され、第１通信用プログラムＰ１を実行することで、第１プロトコルを用いて装置コンピュータ３と通信可能となっている。また、制御部２１２は、ポンプ制御装置１１と接続され、第２通信用プログラムＰ２を実行することで、ポンプ制御装置１１と通信可能となっている。また、第２通信用プログラムＰ２を実行している場合、制御部２１２は、装置コンピュータ３と通信可能である。

【0036】

すなわち、制御部２１２は、第１プロトコルを用いて通信する場合には装置コンピュータ３とのみ通信可能となっており、第２プロトコルを用いて通信する場合には装置コンピュータ３とポンプ制御装置１１の両方と通信可能となる。

【0037】

これにより、制御部２１２は、第２プロトコルを用いて、ポンプ制御装置１１の記憶部１１１に記憶されているポンプ関連データＤ１を受信し、バルブ制御装置２１の記憶部２１１に記憶できる。また、制御部２１２は、ポンプ制御装置１１から受信したポンプ関連データＤ１と、記憶部２１１に記憶されたバルブ関連データＤ２と、をロギングデータとして装置コンピュータ３に送信できる。

【0038】

＜真空ポンプシステムの動作＞
＜バルブ制御装置とポンプ制御装置とが通信する場合の動作＞
以下、上記の構成を有する真空ポンプシステム１００の動作を説明する。まず、図５を用いて、バルブ制御装置２１とポンプ制御装置１１との間で通信をする場合の動作を説明する。図５は、バルブ制御装置２１とポンプ制御装置１１との間で通信をする場合の動作を示す処理シーケンス図である。図５の処理シーケンス図に示す動作は、例えば、バルブ制御装置２１が、バルブ関連データＤ２を取得したときに、当該バルブ関連データＤ２を取得したタイミングにおけるポンプ関連データＤ１をポンプ制御装置１１から取得する場合に実行される。すなわち、バルブ関連データＤ２の取得タイミングと、ポンプ関連データＤ１の取得タイミングが実質的に同じである。これにより、ポンプ関連データＤ１とバルブ関連データＤ２とが互いに対応したデータとなるので、より正確なデータをロギングできる。

【0039】

また、以下に説明する動作前において、装置コンピュータ３とバルブ制御装置２１とが第１プロトコルを用いて通信可能となっているとする。なお、以下に説明する動作前において、装置コンピュータ３とバルブ制御装置２１とが第２プロトコルを用いて通信可能となっている場合には、図５に示す動作のうち、後述するステップＳ１１～Ｓ１４は不要となる。

【0040】

バルブ制御装置２１においてバルブ関連データＤ２を取得するとともに、同じタイミングのポンプ関連データＤ１をポンプ制御装置１１から取得する場合に、バルブ制御装置２１の制御部２１２は、装置コンピュータ３の制御部３２に対してクライアント動作要求を送信する（ステップＳ１１）。クライアント動作要求は、この要求を受信した装置に対して、サーバ－クライアントシステムにおけるクライアントとして動作するよう指令するものである。例えば、この要求を受信した装置は、サーバとして動作する装置からデータ等を能動的に取得しなくなる。

【0041】

クライアント動作要求を受信した制御部３２は、バルブ制御装置２１の制御部２１２に対してサーバ動作要求を送信する（ステップＳ１２）。サーバ動作要求は、この要求を受信した装置に対して、サーバ－クライアントシステムにおけるサーバとして動作するよう指令するものである。例えば、この要求を受信した装置は、他の装置からデータ等を能動的に取得する。

【0042】

クライアント動作要求を受信後にサーバ動作要求を送信した装置コンピュータ３の制御部３２は、通信に用いるプロトコルを、第１プロトコルから第２プロトコルに変更する（ステップＳ１３）。具体的には、装置コンピュータ３の記憶部３１に記憶された第２通信用プログラムＰ２を実行することで、制御部３２は、第２プロトコルを用いて他の装置（バルブ制御装置２１）と通信可能となる。

【0043】

クライアント動作要求を送信後にサーバ動作要求を受信したバルブ制御装置２１の制御部２１２は、通信に用いるプロトコルを、第１プロトコルから第２プロトコルに変更する（ステップＳ１４）。具体的には、バルブ制御装置２１の記憶部２１１に記憶された第２通信用プログラムＰ２を実行することで、制御部３２は、第２プロトコルを用いて他の装置と通信可能となる。

【0044】

上記のステップＳ１１～Ｓ１４を実行することで、バルブ制御装置２１をサーバとし、装置コンピュータ３及びポンプ制御装置１１をクライアントとしたクライアント－サーバシステムが形成され、このクライアント－サーバシステムにおいて、第２プロトコルを用いて通信が可能となる。

【0045】

上記のステップＳ１１～Ｓ１４を実行後、バルブ制御装置２１の制御部２１２は、バルブ関連データＤ２を取得し、記憶部２１１に記憶する。バルブ関連データＤ２の取得時に、制御部２１２は、ポンプ制御装置１１に対して、ポンプ関連データＤ１の送信要求を送信する（ステップＳ１５）。

【0046】

上記の送信要求を受信したポンプ制御装置１１の制御部１１２は、送信要求を受信したときに取得したポンプ関連データＤ１を、バルブ制御装置２１の制御部２１２に送信する（ステップＳ１６）。制御部２１２は、受信したポンプ関連データＤ１を、当該ポンプ関連データＤ１と同じタイミングで取得されたバルブ関連データＤ２に関連付けて、記憶部２１１に記憶する。

【0047】

その後、装置コンピュータ３の制御部３２は、第２プロトコルを用いて、バルブ制御装置２１に対して、ポンプ関連データＤ１とバルブ関連データＤ２のデータ送信要求を送信する（ステップＳ１７）。

【0048】

上記のデータ送信要求を受信したバルブ制御装置２１の制御部２１２は、第２プロトコルを用いて、記憶部２１１に記憶されたポンプ関連データＤ１と、当該ポンプ関連データＤ１に関連付けられたバルブ関連データＤ２と、を装置コンピュータ３に送信する（ステップＳ１８）。ポンプ関連データＤ１とバルブ関連データＤ２とを受信した制御部３２は、これらデータを、記憶部３１に記憶する。

【0049】

＜通常状態への復帰動作＞
上記のとおり、ポンプ制御装置１１とバルブ制御装置２１とが通信しないなどの通常時においては、装置コンピュータ３とバルブ制御装置２１は、第１プロトコルを用いて互いに通信する。以下、図６を用いて、バルブ制御装置２１と装置コンピュータ３との間で第１プロトコルを用いて互いに通信をする通常状態への復帰動作を説明する。図６は、通常状態への復帰動作を示す処理シーケンス図である。図６の処理シーケンス図に示す動作は、例えば、バルブ制御装置２１がポンプ制御装置１１からポンプ関連データＤ１を取得し、装置コンピュータ３が、バルブ制御装置２１に記憶された、ポンプ関連データＤ１とバルブ関連データＤ２とを取得した後に実行される。すなわち、装置コンピュータ３とバルブ制御装置２１とが第２プロトコルを用いて互いに通信していた後に実行される。

【0050】

復帰動作が開始されると、バルブ制御装置２１の制御部２１２は、装置コンピュータ３の制御部３２に対してサーバ動作要求を送信する（ステップＳ２１）。

【0051】

サーバ動作要求を受信した制御部３２は、バルブ制御装置２１の制御部２１２に対してクライアント動作要求を送信する（ステップＳ２２）。

【0052】

サーバ動作要求を受信後にクライアント動作要求を送信した装置コンピュータ３の制御部３２は、通信に用いるプロトコルを、第２プロトコルから第１プロトコルに変更する（ステップＳ２３）。具体的には、装置コンピュータ３の記憶部３１に記憶された第１通信用プログラムＰ１を実行することで、制御部３２は、第１プロトコルを用いて他の装置（バルブ制御装置２１）と通信可能となる。

【0053】

サーバ動作要求を送信後にクライアント動作要求を受信したバルブ制御装置２１の制御部２１２は、通信に用いるプロトコルを、第２プロトコルから第１プロトコルに変更する（ステップＳ２４）。具体的には、バルブ制御装置２１の記憶部２１１に記憶された第１通信用プログラムＰ１を実行することで、制御部３２は、第１プロトコルを用いて他の装置と通信可能となる。

【0054】

上記のステップＳ２１～Ｓ２４を実行することで、装置コンピュータ３をサーバとし、バルブ制御装置２１をクライアントとしたクライアント－サーバシステムが形成され、このクライアント－サーバシステムにおいて、第１プロトコルを用いて通信が可能となる。また、第１プロトコルを用いて通信可能となることで、装置コンピュータ３は、装置コンピュータ３と接続された他の装置（例えば、他のコンピュータなど）と通信可能となる。例えば、装置コンピュータ３は、ポンプ制御装置１１及びバルブ制御装置２１から取得され、記憶部３１に記憶されたポンプ関連データＤ１とバルブ関連データＤ２とを、第１プロトコルを用いて、他の装置に送信できる。

【0055】

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【0056】

真空ポンプシステム１００は、他の真空ポンプシステムと接続されていてもよい。この場合、真空ポンプシステム１００のバルブ２は、他の真空ポンプシステムのバルブと接続されて、１つのネットワークを構成する。また、真空ポンプシステム１００の真空ポンプ１は、他の真空ポンプシステムの真空ポンプと接続されて、複数のバルブにて構成されるネットワークとは独立した他のネットワークを構成する。

【0057】

真空ポンプ１は、他の真空ポンプ以外の、第３プロトコルを用いて通信可能な他の装置と接続されていてもよい。

【0058】

上記の装置コンピュータ３と、ポンプ制御装置１１と、バルブ制御装置２１の動作は、一般的なクライアント－サーバシステムにも適用できる。例えば、装置コンピュータ３を、１つのクライアント－サーバシステムのサーバとし、バルブ制御装置２１を、当該クライアント－サーバシステムのクライアントとし、ポンプ制御装置１１を、別のクライアント－サーバシステムのクライアントとすることもできる。

【0059】

上述した複数の例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

【0060】

（第１態様）第１態様に係る真空ポンプシステムは、真空ポンプと、バルブと、装置コンピュータと、を備える。真空ポンプは、排気対象装置を真空引きする。バルブは、排気対象装置と真空ポンプの間に配置され、弁の開度を制御することで排気対象装置の内部の圧力を制御する。装置コンピュータは、バルブに接続される。この真空ポンプシステムにおいて、バルブは、バルブ制御装置を有する。バルブ制御装置は、第１プロトコル又は第１プロトコルとは異なる第２プロトコルのいずれかを用いて、装置コンピュータと通信可能となっている。真空ポンプは、ポンプ制御装置を有する。ポンプ制御装置は、バルブ制御装置に接続され、第２プロトコルと互換性を有する第３プロトコルを用いて他の装置と通信可能となっている。この真空ポンプシステムにおいて、バルブ制御装置とポンプ制御装置との間で通信を行う場合、バルブ制御装置は、通信に用いるプロトコルを第２プロトコルとし、第２プロトコルを用いて装置コンピュータ及びポンプ制御装置と通信を行う。

【0061】

第１態様に係る真空ポンプシステムでは、バルブ制御装置とポンプ制御装置との間で通信を行う場合に、バルブ制御装置が通信で用いるプロトコルを第２プロトコルとしている。これにより、装置コンピュータ、バルブ制御装置、及び、ポンプ制御装置が、共通の第２プロトコルにより互いに通信可能となる。この結果、装置コンピュータ、バルブ制御装置、プロトコルの変更ができないポンプ制御装置との間で、互いにデータの送受信が可能となる。

【0062】

（第２態様）第１態様の真空ポンプシステムにおいて、ポンプ制御装置は、真空ポンプに関するデータを記憶してもよい。この場合、バルブ制御装置は、第２プロトコルを用いてポンプ制御装置から真空ポンプに関するデータを受信してもよい。第２態様に係る真空ポンプシステムでは、プロトコルの変更ができないポンプ制御装置に記憶された真空ポンプに関するデータを、バルブ制御装置にて取得できる。

【0063】

（第３態様）第２態様の真空ポンプシステムにおいて、バルブ制御装置は、ポンプ制御装置から受信した真空ポンプに関するデータを、第２プロトコルを用いて装置コンピュータに送信してもよい。第３態様に係る真空ポンプシステムでは、バルブ制御装置とは直接通信できない装置コンピュータに、バルブ制御装置に記憶されたバルブに関するデータを送信できる。

【0064】

（第４態様）第２態様又は第３態様の真空ポンプにおいて、真空ポンプに関するデータは、真空ポンプのロータの回転速度と、ロータを回転するモータに供給された電流値と、を含んでもよい。第４態様に係る真空ポンプシステムでは、真空ポンプの運転状態に関する情報を、真空ポンプに関するデータとして取得できる。

【0065】

（第５態様）第２態様～第４態様の真空ポンプシステムにおいて、バルブ制御装置は、バルブに関するデータを記憶してもよい。この場合、バルブ制御装置は、ポンプ制御装置から受信した真空ポンプに関するデータと、バルブに関するデータとを、第２プロトコルを用いて装置コンピュータに送信してもよい。第５態様に係る真空ポンプシステムでは、真空ポンプに関するデータと、これに対応するバルブに関するデータと、をともに装置コンピュータにロギングできる。

【0066】

（第６態様）第１態様～第５態様の真空ポンプシステムにおいて、装置コンピュータは、第２プロトコルを用いて通信を行った後に、第１プロトコルを用いて通信可能となってもよい。第６態様に係る真空ポンプシステムでは、装置コンピュータが、第２プロトコルを用いてバルブ制御装置及びポンプ制御装置のデータを取得後に、第１プロトコルを用いて装置コンピュータに接続された他の装置と通信可能となる。

【0067】

（第７態様）第５態様の真空ポンプシステムにおいて、バルブに関するデータは、排気対象装置の内部の圧力と、排気対象装置の内部の目標圧力と、弁の開度と、真空ポンプにより排気対象装置の内部を真空引きするときの推定流量と、を含んでもよい。第７態様に係る真空ポンプシステムでは、排気対象装置の内部で実行されるプロセスに関連した情報を、バルブに関するデータとして取得できる。

【符号の説明】

【0068】

１００ ：真空ポンプシステム
ＣＨ ：排気対象装置
１ ：真空ポンプ
２ ：バルブ
３ ：装置コンピュータ
３１ ：記憶部
３２ ：制御部
４ ：真空計
１１ ：ポンプ制御装置
１１１ ：記憶部
１１２ ：制御部
２１ ：バルブ制御装置
２１１ ：記憶部
２１２ ：制御部
Ｄ１ ：ポンプ関連データ
Ｄ２ ：バルブ関連データ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】