(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024020429
(43)【公開日】2024-02-14
(54)【発明の名称】湿度測定装置
(51)【国際特許分類】
G01N 19/10 20060101AFI20240206BHJP
G01N 27/22 20060101ALI20240206BHJP
G01N 1/00 20060101ALI20240206BHJP
【ＦＩ】
G01N19/10 Z
G01N27/22 A
G01N1/00 101R
【審査請求】未請求
【請求項の数】4
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023194850
(22)【出願日】2023-11-16
(62)【分割の表示】P 2022073321の分割
【原出願日】2022-04-27
(31)【優先権主張番号】P 2021103308
(32)【優先日】2021-06-22
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(71)【出願人】
【識別番号】000102511
【氏名又は名称】ＳＭＣ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110003683
【氏名又は名称】弁理士法人桐朋
(72)【発明者】
【氏名】倉田 敏徳
(57)【要約】 （修正有）
【課題】より良好な湿度測定装置を提供する。
【解決手段】湿度測定装置は、温度を測定する感温素子、及び、湿度を測定する感湿素子を有する温度・湿度測定部２６と、温度・湿度測定部が収容される収容部１１２を有する筐体１０２と、表示器を有し、筐体に固定された表示部１４と、気体が流通する管の途中に接続され、管と管との間において気体を流通可能にする継手配管１２２と、を備え、継手配管はオリフィス１３０を有し、継手配管にはフィルタ１２８が取り付けられ、筐体１０２は、継手配管と収容部とを繋いで、継手配管と収容部との間において気体を流通可能にする第１配管１１８及び第２配管１２０を有する。
【選択図】図２２
【解決手段】湿度測定装置は、温度を測定する感温素子、及び、湿度を測定する感湿素子を有する温度・湿度測定部２６と、温度・湿度測定部が収容される収容部１１２を有する筐体１０２と、表示器を有し、筐体に固定された表示部１４と、気体が流通する管の途中に接続され、管と管との間において気体を流通可能にする継手配管１２２と、を備え、継手配管はオリフィス１３０を有し、継手配管にはフィルタ１２８が取り付けられ、筐体１０２は、継手配管と収容部とを繋いで、継手配管と収容部との間において気体を流通可能にする第１配管１１８及び第２配管１２０を有する。
【選択図】図２２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
気体の湿度を測定する湿度測定装置であって、
温度を測定する感温素子、及び、湿度を測定する感湿素子を有する測定部と、
前記測定部が収容される収容部を有する筐体と、
表示器を有し、前記筐体に固定された表示部と、
前記気体が流通する管の途中に接続され、前記管と前記管との間において前記気体を流通可能にする継手配管と、
を備え、
前記継手配管はオリフィスを有し、
前記継手配管にはフィルタが取り付けられ、
前記筐体は、前記継手配管と前記収容部とを繋いで、前記継手配管と前記収容部との間において前記気体を流通可能にする第１配管及び第２配管を有する、湿度測定装置。
温度を測定する感温素子、及び、湿度を測定する感湿素子を有する測定部と、
前記測定部が収容される収容部を有する筐体と、
表示器を有し、前記筐体に固定された表示部と、
前記気体が流通する管の途中に接続され、前記管と前記管との間において前記気体を流通可能にする継手配管と、
を備え、
前記継手配管はオリフィスを有し、
前記継手配管にはフィルタが取り付けられ、
前記筐体は、前記継手配管と前記収容部とを繋いで、前記継手配管と前記収容部との間において前記気体を流通可能にする第１配管及び第２配管を有する、湿度測定装置。
【請求項2】
請求項１に記載の湿度測定装置において、
前記第１配管の断面積と、前記第２配管の断面積とが異なる、湿度測定装置。
前記第１配管の断面積と、前記第２配管の断面積とが異なる、湿度測定装置。
【請求項3】
請求項１又は２に記載の湿度測定装置において、
前記気体の流量を測定するフローセンサを有し、
前記フローセンサは、前記収容部に収容される、湿度測定装置。
前記気体の流量を測定するフローセンサを有し、
前記フローセンサは、前記収容部に収容される、湿度測定装置。
【請求項4】
請求項１又は２に記載の湿度測定装置において、
前記表示部は、前記表示器を制御して、前記感温素子が測定した前記気体の温度と前記感湿素子が測定した前記気体の湿度とに基づいて算出された前記気体の露点温度、及び、前記感湿素子が測定した前記気体の湿度の少なくとも一方を、前記表示器に表示させる表示制御部を有する、湿度測定装置。
前記表示部は、前記表示器を制御して、前記感温素子が測定した前記気体の温度と前記感湿素子が測定した前記気体の湿度とに基づいて算出された前記気体の露点温度、及び、前記感湿素子が測定した前記気体の湿度の少なくとも一方を、前記表示器に表示させる表示制御部を有する、湿度測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、気体の湿度を測定する湿度測定装置に関する。
【背景技術】
【0002】
下記特許文献１には、湿度測定装置が開示されている。湿度測定装置は、主空気通路を流れる吸入空気の湿度を計測する。主空気通路の主空気通路壁には、挿入孔が設けられる。湿度測定装置は、挿入孔に挿入される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特許第６３８６５８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
近時では、より良好な湿度測定装置が待望される。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の態様は、気体の湿度を測定する湿度測定装置であって、当該湿度測定装置は、温度を測定する感温素子、及び、湿度を測定する感湿素子を有する測定部と、前記測定部が収容される収容部を有する筐体と、表示器を有し、前記筐体に固定された表示部と、前記気体が流通する管の途中に接続され、前記管と前記管との間において前記気体を流通可能にする継手配管と、を備え、前記継手配管はオリフィスを有し、前記継手配管にはフィルタが取り付けられ、前記筐体は、前記継手配管と前記収容部とを繋いで、前記継手配管と前記収容部との間において前記気体を流通可能にする第１配管及び第２配管を有する。
【発明の効果】
【0006】
本発明により、より良好な湿度測定装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0007】
【発明を実施するための形態】
【0008】
〔第１実施形態〕
図１は、湿度測定装置１０を示す。湿度測定装置１０は、筐体１２と表示部１４とを有する。図１は、筐体１２を断面図で示す。図１は、表示部１４を模式図で示す。湿度測定装置１０は、気体の相対湿度と、気体の温度とを測定する。以下では、相対湿度を湿度と記載する。
図１は、湿度測定装置１０を示す。湿度測定装置１０は、筐体１２と表示部１４とを有する。図１は、筐体１２を断面図で示す。図１は、表示部１４を模式図で示す。湿度測定装置１０は、気体の相対湿度と、気体の温度とを測定する。以下では、相対湿度を湿度と記載する。
【0009】
筐体１２は、本体部１６と接続部１８とを有する。本体部１６は、本体部１６の内部に収容部２０を有する。この収容部２０は、本体部１６内に形成された空間である。本体部１６は、本体部１６の内部に供給配管２２を有する。本体部１６は、本体部１６の内部に排気配管２４を有する。供給配管２２は収容部２０に接続される。排気配管２４は収容部２０に接続される。図１が示すように、収容部２０における排気配管２４の開口部は、収容部２０における供給配管２２の開口部に対して、供給配管２２の開口部の径方向にオフセットした位置に配置される。供給配管２２から収容部２０に気体が供給される。収容部２０に供給された気体は、排気配管２４から大気中に排出される。
【0010】
湿度測定装置１０は、電子基板２５を有する。電子基板２５は、本体部１６と表示部１４との間に配置される。電子基板２５には、温度・湿度測定部２６が取り付けられる。温度・湿度測定部２６は、収容部２０に収容される。温度・湿度測定部２６は、感温素子と感湿素子とが１つの集積回路上に搭載された電子部品である。感温素子は、収容部２０内の気体の温度を測定する。感湿素子は、収容部２０内の気体の湿度を測定する。温度・湿度測定部２６は、本発明の測定部に相当する。温度・湿度測定部２６は、測定した気体の温度及び湿度を表示部１４に出力する。
【0011】
接続部１８は、本体部１６に取り付けられる。接続部１８は、接続部１８の内部に接続配管２８を有する。接続配管２８と本体部１６の供給配管２２との間で、気体が流通できる。
【0012】
接続配管２８は、オリフィス３０を有する。接続配管２８には、フィルタ３２が取り付けられる。フィルタ３２は、金属製である。オリフィス３０は、接続配管２８において、フィルタ３２が取り付けられる位置よりも本体部１６に近い位置に配置される。すなわち、オリフィス３０は、フィルタ３２が取り付けられる位置よりも収容部２０に近い位置に配置される。オリフィス３０は、オリフィス３０の孔の最小径部分の断面積が排気配管２４の断面積よりも小さい。そのため、収容部２０に気体を供給する経路（以下、供給経路）の流路抵抗よりも、収容部２０から気体を排出する経路（以下、排出経路）の流路抵抗が小さい。これにより、収容部２０内の気体の圧力は大気圧となる。収容部２０に収容される温度・湿度測定部２６は、気体の大気圧下の温度を測定する。収容部２０に収容される温度・湿度測定部２６は、気体の大気圧下の湿度を測定する。
【0013】
図２は、筐体１２の斜視図である。接続部１８は、接続ピン３４により本体部１６に固定される。ユーザは、接続ピン３４を抜くことが可能である。接続ピン３４が本体部１６及び接続部１８から抜かれた状態で、ユーザは本体部１６から接続部１８を取り外すことが可能である。フィルタ３２が接続部１８に取り付けられた状態で、接続部１８は本体部１６から取り外される。これにより、ユーザは湿度測定装置１０のフィルタ３２の交換を容易に行える。
【0014】
図３は、湿度測定装置１０の設置例を示す。湿度測定装置１０は配管３６に設置される。配管３６の内部には、圧縮気体が流通する。圧縮気体とは、気体の圧力が大気圧よりも大きな気体である。以下、圧縮気体であっても単に気体と記載することがある。
【0015】
気体の温度、湿度及び露点温度は、気体の圧力によって変化する。気体の圧力が大気圧よりも大きい圧縮気体の温度、湿度及び露点温度について、気体の圧力下の温度、気体の圧力下の湿度、及び、気体の圧力下露点温度と記載することがある。気体の圧力が大気圧である気体の温度、湿度及び露点温度について、気体の大気圧下の温度、気体の大気圧下の湿度、及び、気体の大気圧下露点温度と記載することがある。
【0016】
湿度測定装置１０は、配管３６の内部を流通する気体の湿度及び温度を測定する。配管３６に設けられた不図示の挿入孔に、湿度測定装置１０の接続部１８が挿入される。これにより、配管３６の内部を流通する気体の一部が、接続部１８の接続配管２８と、本体部１６の供給配管２２とを通過して、収容部２０に供給される。配管３６の内部を流通する気体は、次に述べる除湿器３８により除湿された気体である。
【0017】
図４は、湿度測定装置１０の設置例を示す。湿度測定装置１０は、除湿器３８に設置されてもよい。除湿器３８は、除湿器３８内を通過する気体中の水分を除去する。湿度測定装置１０は、除湿器３８から排出される圧縮気体の湿度及び温度を測定する。
【0018】
【0019】
表示部１４は、露点温度算出部４０と、設定値記憶部４２と、第１出力部４４と、第２出力部４８と、表示制御部５２と、表示器５４とを有する。
【0020】
露点温度算出部４０は、温度・湿度測定部２６が測定した気体の温度と、温度・湿度測定部２６が測定した気体の湿度とに基づいて、気体の大気圧下露点温度を算出する。露点温度算出部４０は、算出した露点温度を第１出力部４４、第２出力部４８、及び、表示制御部５２に出力する。
【0021】
以下、「温度・湿度測定部２６が測定した気体の温度」を「測定温度」と記載することがある。「温度・湿度測定部２６が測定した気体の湿度」を「測定湿度」と記載することがある。「露点温度算出部４０が算出した気体の露点温度」を「算出露点温度」と記載することがある。
【0022】
設定値記憶部４２は、設定温度と、設定湿度と、設定露点温度とを記憶する。設定温度と、設定湿度と、設定露点温度とは、後述する第１出力部４４に入力される。設定温度と、設定湿度と、設定露点温度とは、湿度測定装置１０のユーザにより設定された値であってもよい。設定温度と、設定湿度と、設定露点温度とは、湿度測定装置１０の出荷時に、湿度測定装置１０の製造者により設定された値であってもよい。
【0023】
第１出力部４４は、設定温度と測定温度とを比較する。第１出力部４４は、その比較結果（以下、温度比較結果と記載することがある）を外部機器４６に出力する。温度比較結果とは、設定温度と測定温度との差を数値で示す情報であってもよい。温度比較結果とは、設定温度に対する測定温度の高低を示す情報であってもよい。
【0024】
第１出力部４４は、設定湿度と測定湿度とを比較する。第１出力部４４は、その比較結果（以下、湿度比較結果と記載することがある）を外部機器４６に出力する。湿度比較結果とは、設定湿度と測定湿度との差を数値で示す情報であってもよい。湿度比較結果とは、設定湿度に対する測定湿度の高低を示す情報であってもよい。
【0025】
第１出力部４４は、設定露点温度と算出露点温度とを比較する。第１出力部４４は、その比較結果（以下、露点温度比較結果と記載することがある）を外部機器４６に出力する。露点温度比較結果とは、設定露点温度と算出露点温度との差を数値で示す情報であってもよい。露点温度比較結果とは、設定露点温度に対する算出露点温度の高低を示す情報であってもよい。
【0026】
第２出力部４８は、測定温度を外部機器５０に出力する。第２出力部４８は、測定湿度を外部機器５０に出力する。第２出力部４８は、算出露点温度を外部機器５０に出力する。外部機器５０は、外部機器４６と同一の機器であってもよい。外部機器５０は、外部機器４６とは別の機器であってもよい。
【0027】
表示制御部５２は、表示器５４を制御して、測定温度に関する情報を表示器５４に表示させる。表示制御部５２は、表示器５４を制御して、測定湿度に関する情報を表示器５４に表示させる。表示制御部５２は、表示器５４を制御して、算出露点温度に関する情報を表示器５４に表示させる。表示制御部５２は、表示器５４を制御して、測定温度に関する情報、測定湿度に関する情報、及び、算出露点温度に関する情報とのうち少なくとも１つの情報を表示器５４に表示させてもよい。なお、測定温度、算出露点温度、設定温度、及び、設定露点温度の単位は、いずれも「°Ｃ」である。
【0028】
図６は、表示器５４の表示例を示す。表示器５４は、湿度表示領域５６を有する。湿度表示領域５６は、測定湿度を数字で表示する。表示器５４は、露点温度表示領域５８を有する。露点温度表示領域５８は、算出露点温度を数字で表示する。表示器５４は、温度表示領域６０を有する。温度表示領域６０は、測定温度を数字で表示する。
【0029】
図７Ａ及び図７Ｂは、表示器５４の表示例を示す。図７Ａ及び図７Ｂの表示器５４の表示例は、図６の表示器５４の表示例とは別の表示例である。表示器５４は、湿度表示領域６２を有する。湿度表示領域６２は、測定湿度を数字で表示する。表示器５４は、露点温度表示領域６４を有する。図７Ａ及び図７Ｂの露点温度表示領域６４の中央部付近に示される２本のスラッシュ「／／」は算出露点温度が０°Ｃである位置を示す。算出露点温度がマイナスである場合には、図７Ａが示すように、スラッシュ「／／」の右側にのみバー（ｇセグメント）「－」が表示される。算出露点温度がプラスである場合には、図７Ｂが示すように、スラッシュ「／／」の左側までバー（ｇセグメント）「－」が延びて表示される。露点温度表示領域６４において、バー（ｇセグメント）「－」が左側に延びるほど、表示器５４は算出露点温度が高いことを示す。
【0030】
図８Ａ及び図８Ｂは、表示器５４の表示例を示す。図８Ａ及び図８Ｂの表示器５４の表示例は、図６、図７Ａ及び図７Ｂの表示器５４の表示例とは別の表示例を示す。表示器５４は、湿度表示領域６６を有する。湿度表示領域６６は、測定湿度を数字で表示する。表示器５４は、温度表示領域６８を有する。温度表示領域６８は、測定温度を数字で表示する。表示器５４は、算出露点温度を、湿度表示領域６６の数字の色で示す。算出露点温度がマイナスである場合には、表示器５４は、湿度表示領域６６の数字の色を青色で表示する。算出露点温度がプラスである場合には、表示器５４は、湿度表示領域６６の数字の色を赤色で表示する。上記の湿度表示領域６６の数字の色は一例であり、算出露点温度の情報が、別の色で示されていてもよい。
【0031】
表示部１４のうち表示器５４を除く各構成は、不図示のマイクロコントローラにより実現される。マイクロコントローラに搭載された不図示の演算処理装置が、マイクロコントローラに搭載された不図示のメモリに記憶されたプログラムを実行することにより、露点温度算出部４０と、第１出力部４４と、第２出力部４８と、表示制御部５２との機能を実現する。また、設定値記憶部４２は、メモリの一部に各設定値を格納する格納領域が確保されることにより実現される。
【0032】
なお、表示部１４のうち表示器５４を除く各構成は、不図示のＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）、ＡＳＩＣ（application specific integrated circuit）等の集積回路により構成されていてもよい。
【0033】
［供給配管と収容部との接続、及び、排気配管と収容部との接続について］
本実施形態では、図１が示すように、収容部２０における排気配管２４の開口部は、収容部２０における供給配管２２の開口部に対してオフセットした位置に配置される。これにより、供給配管２２から収容部２０に流入した気体は、収容部２０内で拡散された後に、排気配管２４から排出される。
本実施形態では、図１が示すように、収容部２０における排気配管２４の開口部は、収容部２０における供給配管２２の開口部に対してオフセットした位置に配置される。これにより、供給配管２２から収容部２０に流入した気体は、収容部２０内で拡散された後に、排気配管２４から排出される。
【0034】
本発明者等は、収容部２０の内部の気体の湿度の分布について、コンピュータを用いてシミュレーションを行った。図９Ａ及び図９Ｂは、シミュレーション結果を示す。図９Ａは、比較例１におけるシミュレーション結果を示す。比較例１では、供給配管２２から収容部２０に気体が流入する方向と、収容部２０から排気配管２４に気体が流出する方向とが、互いに一直線上に位置する。図９Ｂは、比較例２におけるシミュレーション結果を示す。比較例２では、収容部２０における排気配管２４の開口部は、収容部２０における供給配管２２の開口部に対して、供給配管２２の開口部の径方向にオフセットした位置に配置される。これにより、比較例２では、供給配管２２から収容部２０に気体が流入する方向と、収容部２０から排気配管２４に気体が流出する方向とが、互いに異なる直線上に位置する。
【0035】
比較例１及び比較例２のシミュレーションでは、オリフィス３０の孔の径が０．２ｍｍに設定された。比較例１及び比較例２のシミュレーションでは、収容部２０に流入する気体の湿度が５０％に設定された。比較例１及び比較例２のシミュレーションでは、収容部２０に流入する気体の流量が１Ｌ／ｍｉｎに設定された。
【0036】
比較例１では、供給配管２２から収容部２０に流入した気体は、収容部２０内で拡散されることなく、排気配管２４に排出される。そのため、比較例１におけるシミュレーションでは、図９Ａが示すように、収容部２０における気体の湿度の分布が一様でない。一方、比較例２では、供給配管２２から収容部２０に流入した気体は、収容部２０の側面に衝突し、収容部２０内で拡散された後に、排気配管２４から排出される。そのため、比較例２におけるシミュレーションでは、図９Ｂが示すように、収容部２０における気体の湿度の分布は略一様となる。
【0037】
これらのシミュレーション結果により、比較例１に比べて比較例２の方が、収容部２０に流入した気体がより広範囲に拡散されることが示された。
【0038】
本発明者等は、温度・湿度測定部２６の気体の湿度の測定精度について実験を行った。図１０Ａ及び図１０Ｂは、本発明者等が実験を行った実験環境を示す。図１０Ａは、比較例３における実験環境を示す。比較例３では、供給配管２２から収容部２０に気体が流入する方向と、収容部２０から排気配管２４に気体が流出する方向とが、互いに一直線上に位置する。図１０Ｂは、比較例４における実験環境を示す。比較例４では、収容部２０における排気配管２４の開口部は、収容部２０における供給配管２２の開口部に対して、供給配管２２の開口部の径方向にオフセットした位置に配置される。これにより、比較例４では、供給配管２２から収容部２０に気体が流入する方向と、収容部２０から排気配管２４に気体が流出する方向とが、互いに異なる直線上に位置する。これらの実験では、常湿状態（湿度２５．０％）である収容部２０内に、乾燥気体（湿度８．０％）を流入させた。
【0039】
図１０Ａが示す比較例３における実験環境では、温度・湿度測定部２６が測定した湿度は１０．３％であった。収容部２０に流入させた気体の湿度（８．０％）に対する温度・湿度測定部２６が測定した湿度（１０．３％）の誤差は＋２．３％であった。図１０Ｂが示す比較例４における実験環境では、温度・湿度測定部２６において測定された湿度は８．３％であった。収容部２０に流入させた気体の湿度（８．０％）に対する温度・湿度測定部２６が測定した湿度（８．３％）の誤差は＋０．３％であった。
【0040】
これらの実験結果により、温度・湿度測定部２６による気体の湿度の測定精度は、比較例３に比べて比較例４の方が向上することが示された。
【0041】
［オリフィスについて］
本実施形態の湿度測定装置１０では、接続配管２８がオリフィス３０を有するため、収容部２０の気体の供給経路の流路抵抗よりも、収容部２０の気体の排出経路の流路抵抗は小さい。これにより、収容部２０内の気体の圧力は大気圧となる。オリフィス３０に代えて、接続配管２８が減圧弁を有する構造が考えられる。減圧弁は、接続配管２８を通過する気体の一部を大気中に放出することで、収容部２０に供給される気体の圧力を大気圧に調整可能である。減圧弁の構造に比べて、オリフィス３０の構造は簡素である。本実施形態の湿度測定装置１０では、接続配管２８が減圧弁ではなくオリフィス３０を有するため、湿度測定装置１０の構造を簡素にできる。
本実施形態の湿度測定装置１０では、接続配管２８がオリフィス３０を有するため、収容部２０の気体の供給経路の流路抵抗よりも、収容部２０の気体の排出経路の流路抵抗は小さい。これにより、収容部２０内の気体の圧力は大気圧となる。オリフィス３０に代えて、接続配管２８が減圧弁を有する構造が考えられる。減圧弁は、接続配管２８を通過する気体の一部を大気中に放出することで、収容部２０に供給される気体の圧力を大気圧に調整可能である。減圧弁の構造に比べて、オリフィス３０の構造は簡素である。本実施形態の湿度測定装置１０では、接続配管２８が減圧弁ではなくオリフィス３０を有するため、湿度測定装置１０の構造を簡素にできる。
【0042】
接続配管２８に取り付けられたフィルタ３２は、フィルタ３２を通過する気体に対して抵抗となる。そのため、フィルタ３２により供給経路の流路抵抗を増大させることが考えられる。通常、フィルタ３２を通過する気体中の異物をフィルタ３２が除去しつつ、フィルタ３２を通過する気体に対して抵抗ができるだけ小さくなるように、フィルタ３２は設計される。オリフィス３０による流路抵抗と同等の流路抵抗をフィルタ３２に発生させるためには、オリフィス３０の孔の軸方向の長さに比べて、かなり長いフィルタ３２が接続配管２８に取り付けられる必要がある。本実施形態の湿度測定装置１０では、オリフィス３０が供給経路の流路抵抗を増大させるため、湿度測定装置１０を小型にできる。
【0043】
フィルタ３２が供給経路の流路抵抗を増大させる場合に比べて、オリフィス３０が供給経路の流路抵抗を増大させる場合には、収容部２０に流入する気体の流速が高くなる。収容部２０に流入する気体の流速が高くなるほど、気体が収容部２０の側面に衝突したときに、より広範囲に拡散される。収容部２０に流入する気体の流速が高くなるほど、気体が収容部２０に流入した後に収容部２０の側面と衝突するまでの時間が短くなり、気体がより速く拡散される。
【0044】
そのため、フィルタ３２が供給経路の流路抵抗を増大させる場合に比べて、オリフィス３０が供給経路の流路抵抗を増大させる場合には、収容部２０に流入した気体は収容部２０内でより広範囲に、且つ、より速く拡散される。その結果、フィルタ３２が供給経路の流路抵抗を増大させる場合に比べて、オリフィス３０が供給経路の流路抵抗を増大させる場合には、測定対象の気体の温度、湿度等の変化に対する、温度・湿度測定部２６の測定対象の気体の測定結果の応答速度が向上する。
【0045】
本発明者等は、収容部２０に流入する気体の流速について、コンピュータを用いてシミュレーションを行った。図１１Ａ及び図１１Ｂは、シミュレーション結果を示す。図１１Ａは、フィルタ３２が供給経路の流路抵抗を増大させる場合のシミュレーション結果である。図１１Ｂは、オリフィス３０が供給経路の流路抵抗を増大させる場合のシミュレーション結果である。
【0046】
これらのシミュレーションでは、供給配管２２の内径が３ｍｍに設定された。これらのシミュレーションでは、フィルタ３２が設けられる部分の配管の内径が１ｍｍに設定され、フィルタ３２の外径も１ｍｍに設定された。これらのシミュレーションでは、フィルタ３２の長さが４ｍｍに設定された。これらのシミュレーションでは、オリフィス３０の孔の内径が０．２ｍｍに設定された。これらのシミュレーションでは、オリフィス３０の孔の軸方向の長さが０．２ｍｍに設定された。これらのシミュレーションでは、収容部２０に流入する気体の湿度が５０％に設定された。これらのシミュレーションでは、収容部２０に流入する気体の流量が１Ｌ／ｍｉｎに設定された。
【0047】
フィルタ３２が供給経路の流路抵抗を増大させる場合、図１１Ａが示すように、フィルタ３２を通過中の気体の流速は高いものの、フィルタ３２を通過後の気体の流速は低下する。このように、フィルタ３２を通過中の気体の流速は高いにも関わらず、フィルタ３２を通過後の気体の流速が低下する理由は、以下の通りである。
【0048】
気体がフィルタ３２に流入する入口部分では、供給配管２２（内径３ｍｍ）からフィルタ３２（外径１ｍｍ）に気体が流入するため、気体の流速は高くなる。フィルタ３２の内部では、気体の流速が高いほど、気体に対するフィルタ３２の流路抵抗が増加する。そのため、気体は、フィルタ３２を通過中に、フィルタ３２の内部の流路抵抗が高いところから流路抵抗が低いところへ拡散する(広がる)。これにより、気体がフィルタ３２から流出する出口部分では、前述の入口部分の気体の流速に関わらず、気体の流速は略一定となる。気体に対するフィルタ３２の流路抵抗により、フィルタ３２を通過前の気体の圧力に比べて、フィルタ３２を通過後の気体の圧力は低下する。しかし、気体はフィルタ３２を通過中にフィルタ３２の内部で拡散する（広がる）ため、気体の流速はフィルタ３２の外形形状に依存した速さに抑制される。前述の出口部分では、フィルタ３２（外径１ｍｍ）から供給配管２２（内径３ｍｍ）に気体が流入するため、気体の流速は更に低下する。
【0049】
一方、オリフィス３０が供給経路の流路抵抗を増大させる場合、図１１Ｂが示すように、オリフィス３０を通過後の気体の流速は高い状態を保つ。このように、オリフィス３０を通過後の気体の流速が保たれる理由は、以下の通りである。
【0050】
気体がオリフィス３０に流入する入口部分では、供給配管２２（内径３ｍｍ）からオリフィス３０の孔（内径０．２ｍｍ）に気体が流入するため、気体の流速は高くなる。気体に対するオリフィス３０の流路抵抗により、オリフィス３０を通過前の気体の圧力に比べて、オリフィス３０を通過後の気体の圧力は低下する。オリフィス３０の孔の軸方向の長さは０．２ｍｍであり、オリフィス３０の孔を通過中に気体の流速は大きく増加する。一方、気体がオリフィス３０から流出する出口部分では、オリフィス３０の孔（内径０．２ｍｍ）から供給配管２２（内径３ｍｍ）に気体が流入するため、気体の流速は低下する。しかし、気体がオリフィス３０を通過中に、気体の流速が十分に増加するため、供給配管２２内でも気体の流速は高い状態を維持できる。
【0051】
これらのシミュレーション結果により、フィルタ３２が供給経路の流路抵抗を増大させる場合に比べて、オリフィス３０が供給経路の流路抵抗を増大させる場合には、収容部２０に流入する気体の流速が高いことが示された。
【0052】
本発明者等は、収容部２０内の気体の湿度の分布について、コンピュータを用いてシミュレーションを行った。図１２Ａ及び図１２Ｂは、シミュレーション結果を示す。図１２Ａは、フィルタ３２が供給経路の流路抵抗を増大させる場合のシミュレーション結果を示す。図１２Ｂは、オリフィス３０が供給経路の流路抵抗を増大させる場合のシミュレーション結果を示す。
【0053】
これらのシミュレーションでは、フィルタ３２の外径が１ｍｍに設定された。これらのシミュレーションでは、フィルタ３２の長さが４ｍｍに設定された。これらのシミュレーションでは、オリフィス３０の孔の径が０．２ｍｍに設定された。これらのシミュレーションでは、オリフィス３０の孔の長さが０．２ｍｍに設定された。これらのシミュレーションでは、収容部２０に流入する気体の湿度が５０％に設定された。これらのシミュレーションでは、収容部２０に流入する気体の流量が１Ｌ／ｍｉｎに設定された。
【0054】
フィルタ３２が供給経路の流路抵抗を増大させる場合には、図１２Ａが示すように、収容部２０における気体の湿度の分布が一様でない。一方、オリフィス３０が供給経路の流路抵抗を増大させる場合には、図１２Ｂが示すように、収容部２０における気体の湿度の分布は略一様となる。
【0055】
図１１Ａ及び図１１Ｂのシミュレーション結果が示すように、フィルタ３２が供給経路の流路抵抗を増大させる場合に比べて、オリフィス３０が供給経路の流路抵抗を増大させる場合には、収容部２０に流入する気体の流速が高い。収容部２０に流入する気体の流速が高いほど、気体が収容部２０の側面に衝突したときに、気体はより広範囲に拡散される。
【0056】
図１２Ａ及び図１２Ｂが示すシミュレーション結果により、フィルタ３２が供給経路の流路抵抗を増大させる場合に比べて、オリフィス３０が供給経路の流路抵抗を増大させる場合には、収容部２０に流入した気体が収容部２０内でより拡散することが示された。
【0057】
本発明者等は、測定対象の気体の湿度の変化に対する、温度・湿度測定部２６の測定湿度の応答速度について実験を行った。実験では、本発明者等は、温度・湿度測定部２６により、オリフィス３０を通過後の気体の湿度と、フィルタ３２を通過後の気体の湿度とを測定した。実験では、オリフィス３０の孔の径が０．２５ｍｍに設定された。実験では、フィルタ３２の外径が１．０ｍｍに設定された。
【0058】
１つ目の実験（以下、実験１）では、実験開始前に収容部２０に湿度５％の気体を充填した。実験開始後５秒間、収容部２０に湿度５％の気体の供給をした。実験開始後５秒後に、収容部２０に湿度４５％の気体の供給を開始した。２つ目の実験（以下、実験２）では、実験開始前に収容部２０に湿度４５％の気体を充填した。実験開始後５秒間、収容部２０に湿度４５％の気体の供給をした。実験開始後５秒後に、収容部２０に湿度５％の気体の供給を開始した。
【0059】
図１３Ａ及び図１３Ｂは実験結果を示す。図１３Ａは、収容部２０に供給される気体の湿度が５％から４５％に高くなるように変化させる実験１の実験結果を示す。図１３Ｂは、収容部２０に供給される気体の湿度が４５％から５％に低くなるように変化させる実験２の実験結果を示す。実験１では、オリフィス３０を通過後の気体の測定湿度は、フィルタ３２を通過後の気体の測定湿度よりも速く上昇する。実験２では、オリフィス３０を通過後の気体の測定湿度は、フィルタ３２を通過後の気体の測定湿度よりも速く低下する。
【0060】
これらの実験結果より、フィルタ３２が供給経路の流路抵抗を増大させる場合に比べて、オリフィス３０が供給経路の流路抵抗を増大させる場合には、測定対象の気体の湿度の変化に対する、温度・湿度測定部２６の測定対象の気体の測定湿度の応答速度が向上することが示された。
【0061】
［作用効果］
本実施形態の湿度測定装置１０は、筐体１２に表示部１４が固定される。表示部１４は、表示器５４を有する。表示器５４は、気体の湿度と、気体の温度と、気体の露点温度とを表示する。これにより、ユーザは、湿度測定装置１０が設置された場所において、気体の湿度と、気体の温度と、気体の露点温度とを確認できる。
本実施形態の湿度測定装置１０は、筐体１２に表示部１４が固定される。表示部１４は、表示器５４を有する。表示器５４は、気体の湿度と、気体の温度と、気体の露点温度とを表示する。これにより、ユーザは、湿度測定装置１０が設置された場所において、気体の湿度と、気体の温度と、気体の露点温度とを確認できる。
【0062】
本実施形態の湿度測定装置１０では、設定湿度と、温度・湿度測定部２６が測定した気体の湿度（測定湿度）との比較結果を、第１出力部４４が外部機器４６に出力する。これにより、本実施形態の湿度測定装置１０は、設定湿度と測定湿度との比較結果を、外部機器４６に出力できる。
【0063】
本実施形態の湿度測定装置１０では、設定露点温度と、露点温度算出部４０が算出した気体の露点温度（算出露点温度）との比較結果を、第１出力部４４が外部機器４６に出力する。これにより、本実施形態の湿度測定装置１０は、設定露点温度と算出露点温度との比較結果を、外部機器４６に出力できる。
【0064】
本実施形態の湿度測定装置１０では、温度・湿度測定部２６が測定した気体の湿度（測定湿度）を、第２出力部４８が外部機器５０に出力する。これにより、本実施形態の湿度測定装置１０は、測定湿度を外部機器５０に出力できる。
【0065】
本実施形態の湿度測定装置１０では、露点温度算出部４０が算出した気体の露点温度（算出露点温度）を、第２出力部４８が外部機器５０に出力する。これにより、本実施形態の湿度測定装置１０は、算出露点温度を外部機器５０に出力できる。
【0066】
本実施形態の湿度測定装置１０では、供給配管２２から収容部２０に気体が流入する方向と、収容部２０から排気配管２４に気体が流出する方向とが、互いに異なる直線上に位置する。これにより、本実施形態の温度・湿度測定部２６は、気体の湿度の測定精度を向上できる。
【0067】
本実施形態の湿度測定装置１０では、接続配管２８がオリフィス３０を有する。オリフィス３０の孔の断面積は、排気配管２４の断面積よりも小さい。これにより、気体の排出経路の流路抵抗に比べて、気体の供給経路の流路抵抗が大きくなる。そのため、収容部２０内の気体の圧力を大気圧とすることが可能となる。露点温度算出部４０は、温度・湿度測定部２６により測定された気体の温度と気体の湿度とに基づいて、気体の大気圧下露点温度を算出できる。
【0068】
本実施形態の湿度測定装置１０は、接続配管２８にフィルタ３２が取り付けられる。さらに、オリフィス３０は、フィルタ３２よりも収容部２０側に配置される。これにより、接続配管２８のオリフィス３０の孔に異物が詰まることが抑制される。
【0069】
本実施形態の湿度測定装置１０は、フィルタ３２が金属製である。これにより、フィルタ３２による気体からの吸湿が抑制可能である。そのため、本実施形態の湿度測定装置１０は、気体の湿度の測定精度を向上できる。
【0070】
本実施形態の湿度測定装置１０は、接続部１８にフィルタ３２が取り付けられた状態で、ユーザは接続部１８を本体部１６から取り外すことが可能である。ユーザは、湿度測定装置１０のフィルタ３２の交換を容易に行うことができる。
【0071】
【0072】
第１実施形態の湿度測定装置１０では、接続部１８の内部に形成された接続配管２８がオリフィス３０を有する（図１）。これに対し、本実施形態の湿度測定装置１０では、接続部１８の内部に形成された接続配管２８はオリフィスを有しない（図１４）。本実施形態の湿度測定装置１０では、筐体１２の本体部１６の内部に形成された排気配管２４がオリフィス７０を有する。オリフィス７０は、オリフィス７０の孔の最小径部分の断面積が供給配管２２の断面積よりも小さい。オリフィス７０は、オリフィス７０の孔の最小径部分の断面積が接続配管２８の断面積よりも小さい。本実施形態の湿度測定装置１０のその他の構成は、第１実施形態の湿度測定装置１０の構成と同じである。
【0073】
接続配管２８がオリフィスを有さず、排気配管２４がオリフィス７０を有するため、収容部２０内の気体の圧力は、配管３６内の圧縮気体の圧力、又は、除湿器３８が排出する圧縮気体の圧力と略同じとなる。温度・湿度測定部２６は、気体の圧力下の温度を測定する。温度・湿度測定部２６は、気体の圧力下の湿度を測定する。表示部１４の露点温度算出部４０は、温度・湿度測定部２６が測定した気体の圧力下の温度と、温度・湿度測定部２６が測定した気体の圧力下の湿度とに基づいて、気体の圧力下露点温度を算出する。
【0074】
［作用効果］
本実施形態の湿度測定装置１０では、排気配管２４がオリフィス７０を有する。オリフィス７０の孔の断面積は、供給配管２２の断面積よりも小さい。オリフィス７０は、オリフィス７０の孔の断面積は、接続配管２８の断面積よりも小さい。接続配管２８がオリフィスを有さず、排気配管２４がオリフィス７０を有するため、収容部２０内の気体の圧力は、配管３６内の圧縮気体の圧力、又は、除湿器３８が排出する圧縮気体の圧力と略同じとなる。温度・湿度測定部２６は、気体の圧力下の温度を測定可能である。温度・湿度測定部２６は、気体の圧力下の湿度を測定可能である。露点温度算出部４０は、温度・湿度測定部２６が測定した気体の圧力下の温度と、温度・湿度測定部２６が測定した気体の圧力下の湿度とに基づいて、気体の圧力下露点温度を算出できる。
本実施形態の湿度測定装置１０では、排気配管２４がオリフィス７０を有する。オリフィス７０の孔の断面積は、供給配管２２の断面積よりも小さい。オリフィス７０は、オリフィス７０の孔の断面積は、接続配管２８の断面積よりも小さい。接続配管２８がオリフィスを有さず、排気配管２４がオリフィス７０を有するため、収容部２０内の気体の圧力は、配管３６内の圧縮気体の圧力、又は、除湿器３８が排出する圧縮気体の圧力と略同じとなる。温度・湿度測定部２６は、気体の圧力下の温度を測定可能である。温度・湿度測定部２６は、気体の圧力下の湿度を測定可能である。露点温度算出部４０は、温度・湿度測定部２６が測定した気体の圧力下の温度と、温度・湿度測定部２６が測定した気体の圧力下の湿度とに基づいて、気体の圧力下露点温度を算出できる。
【0075】
【0076】
本実施形態の湿度測定装置１０の表示部１４は、露点温度算出部４０と、第１出力部４４と、表示制御部５２と、表示器５４と、通信部７２とを有する。露点温度算出部４０と、表示制御部５２と、表示器５４とは、第１実施形態の湿度測定装置１０の表示部１４の露点温度算出部４０と、表示制御部５２と、表示器５４と同じである。
【0077】
通信部７２は、外部機器４６と通信を行う。通信部７２は、設定温度と、設定湿度と、設定露点温度とを外部機器４６から受信する。通信部７２は、通信部７２が受信した設定温度と、設定湿度と、設定露点温度とを第１出力部４４に出力する。設定温度と、設定湿度と、設定露点温度とは、外部機器４６のユーザにより設定された値であってもよい。設定温度と、設定湿度と、設定露点温度とは、湿度測定装置１０の出荷時に、外部機器４６の製造者により設定された値であってもよい。
【0078】
第１出力部４４は、設定温度と測定温度との比較結果を、通信部７２に出力する。第１出力部４４は、設定湿度と測定湿度との比較結果を、通信部７２に出力する。第１出力部４４は、設定露点温度と算出露点温度との比較結果を、通信部７２に出力する。
【0079】
通信部７２は、設定温度と測定温度との比較結果を、外部機器４６に送信する。通信部７２は、設定湿度と測定湿度との比較結果を、外部機器４６に送信する。通信部７２は、設定露点温度と算出露点温度との比較結果を、外部機器４６に送信する。
【0080】
［作用効果］
本実施形態の湿度測定装置１０では、表示部１４が通信部７２を有する。通信部７２は、外部機器４６と通信を行う。通信部７２は、外部機器４６側で設定された各設定値を受信可能である。これにより、本実施形態の湿度測定装置１０では、第１出力部４４が、外部機器４６において設定された各設定値と、測定温度、測定湿度及び算出露点温度のそれぞれとを比較できる。本実施形態の湿度測定装置１０では、通信部７２は、第１出力部４４が比較した比較結果を、外部機器４６に送信できる。
本実施形態の湿度測定装置１０では、表示部１４が通信部７２を有する。通信部７２は、外部機器４６と通信を行う。通信部７２は、外部機器４６側で設定された各設定値を受信可能である。これにより、本実施形態の湿度測定装置１０では、第１出力部４４が、外部機器４６において設定された各設定値と、測定温度、測定湿度及び算出露点温度のそれぞれとを比較できる。本実施形態の湿度測定装置１０では、通信部７２は、第１出力部４４が比較した比較結果を、外部機器４６に送信できる。
【0081】
【0082】
筐体７４は、筐体７４の内部に収容部７８を有する。筐体７４は、筐体７４の内部に供給配管８０を有する。筐体７４は、筐体７４の内部に排気配管８２を有する。供給配管８０は収容部７８に接続される。排気配管８２は収容部７８に接続される。湿度測定装置１０の測定対象の気体が、供給配管８０から収容部７８に供給される。収容部７８に供給された気体は、排気配管８２から大気中に排出される。収容部７８における排気配管８２の開口部は、収容部７８における供給配管８０の開口部に対して、供給配管８０の開口部の径方向にオフセットした位置に配置される。
【0083】
湿度測定装置１０は、電子基板８４を有する。電子基板８４は、筐体７４と表示部１４との間に配置される。電子基板８４には、温度・湿度測定部２６が取り付けられる。温度・湿度測定部２６は、収容部７８に収容される。
【0084】
供給配管８０は、オリフィス８６を有する。供給配管８０は、フィルタ８８が取り付けられる。フィルタ８８は、金属製である。オリフィス８６は、フィルタ８８が取り付けられる位置よりも収容部７８に近い位置に配置される。オリフィス８６は、オリフィス８６の孔の最小径部分の断面積が排気配管８２の断面積よりも小さい。そのため、収容部７８に気体を供給する経路（以下、供給経路）の流路抵抗よりも、収容部７８から気体を排出する経路（以下、排出経路）の流路抵抗が小さい。これにより、収容部７８内の気体の圧力は大気圧となる。温度・湿度測定部２６は、収容部７８内の気体の温度を測定する。温度・湿度測定部２６は、収容部７８内の気体の湿度を測定する。温度・湿度測定部２６は、測定した気体の温度及び湿度を表示部１４に出力する。
【0085】
筐体７４は、筐体７４の内部に分岐配管９０を有する。分岐配管９０は、供給配管８０と接続される。供給配管８０における分岐配管９０の接続位置は、供給配管８０のオリフィス８６とフィルタ８８との間である。電子基板８４には、圧力測定部７６が取り付けられる。分岐配管９０は、オリフィス８６を通過する前の気体を圧力測定部７６に供給する。圧力測定部７６は、供給された気体の圧力を測定する。湿度測定装置１０が配管３６に設置される場合には、圧力測定部７６に供給される気体の圧力は、配管３６を流通する圧縮気体の圧力と略同じとなる。湿度測定装置１０が除湿器３８に設置される場合には、圧力測定部７６に供給される気体の圧力は、除湿器３８から排出される圧縮気体の圧力と略同じとなる。これにより、圧力測定部７６は、測定箇所の気体の圧力を測定できる。
【0086】
【0087】
本実施形態の湿度測定装置１０の表示部１４は、露点温度算出部４０と、表示制御部５２と、表示器５４とを有する。本実施形態の湿度測定装置１０の表示部１４の表示制御部５２と表示器５４とは、第１実施形態の湿度測定装置１０の表示部１４の表示制御部５２と表示器５４と同じである。
【0088】
露点温度算出部４０には、温度・湿度測定部２６が測定した気体の大気圧下の温度が入力される。露点温度算出部４０には、温度・湿度測定部２６が測定した気体の大気圧下の湿度が入力される。露点温度算出部４０には、圧力測定部７６が測定した気体の圧力が入力される。湿度測定装置１０が配管３６に設置される場合には、圧力測定部７６は、配管３６内を流通する圧縮気体の圧力を測定する。湿度測定装置１０が除湿器３８に設置される場合には、圧力測定部７６は、除湿器３８から排出される圧縮気体の圧力を測定する。露点温度算出部４０は、温度・湿度測定部２６が測定した気体の大気圧下の温度と、温度・湿度測定部２６が測定した気体の大気圧下の湿度とに基づいて、気体の大気圧下露点温度を算出する。露点温度算出部４０は、露点温度算出部４０が算出した気体の大気圧下露点温度を、圧力測定部７６が測定した気体の圧力に応じて補正して、気体の圧力下露点温度を算出する。
【0089】
［作用効果］
気体の絶対湿度（気体に含まれる水分量）が同じであっても、気体の圧力が高いほど露点温度は高くなる。そのため、温度・湿度測定部２６に接触する気体の圧力が高いほど、温度・湿度測定部２６に水滴が付着し易くなる。温度・湿度測定部２６に水滴が付着した場合、温度・湿度測定部２６の測定湿度が異常値となるおそれがある。
気体の絶対湿度（気体に含まれる水分量）が同じであっても、気体の圧力が高いほど露点温度は高くなる。そのため、温度・湿度測定部２６に接触する気体の圧力が高いほど、温度・湿度測定部２６に水滴が付着し易くなる。温度・湿度測定部２６に水滴が付着した場合、温度・湿度測定部２６の測定湿度が異常値となるおそれがある。
【0090】
本実施形態の湿度測定装置１０は、湿度測定装置１０が気体の湿度等を測定する測定位置における気体の圧力を測定する圧力測定部７６を有する。露点温度算出部４０は、温度・湿度測定部２６が測定した気体の大気圧下の温度と、温度・湿度測定部２６が測定した気体の大気圧下の湿度とに基づいて算出した気体の大気圧下露点温度を算出する。露点温度算出部４０は、露点温度算出部４０が算出した気体の大気圧下露点温度を、圧力測定部７６が測定した気体の圧力に応じて補正して、気体の圧力下露点温度を算出する。これにより、温度・湿度測定部２６は高圧の気体と接触しないため、温度・湿度測定部２６への水滴の付着が抑制される。
【0091】
【0092】
本実施形態の湿度測定装置１０の表示部１４は、露点温度算出部４０と、表示制御部５２と、表示器５４とを有する。本実施形態の湿度測定装置１０の表示部１４の表示制御部５２と表示器５４とは、第１実施形態の湿度測定装置１０の表示部１４の表示制御部５２と表示器５４と同じである。
【0093】
露点温度算出部４０には、温度・湿度測定部２６が測定した気体の大気圧下の温度が入力される。露点温度算出部４０には、温度・湿度測定部２６が測定した気体の大気圧下の湿度が入力される。露点温度算出部４０には、圧力測定部９２が測定した気体の圧力が入力される。
【0094】
圧力測定部９２は、湿度測定装置１０の外部に設けられる。湿度測定装置１０が配管３６に設置される場合には、圧力測定部９２は、配管３６内を流通する圧縮気体の圧力を測定する。湿度測定装置１０が除湿器３８に設置される場合には、圧力測定部９２は、除湿器３８から排出される圧縮気体の圧力を測定する。
【0095】
露点温度算出部４０は、温度・湿度測定部２６が測定した気体の大気圧下の温度と、温度・湿度測定部２６が測定した気体の大気圧下の湿度とに基づいて、気体の大気圧下露点温度を算出する。露点温度算出部４０は、露点温度算出部４０が算出した気体の大気圧下露点温度を、圧力測定部９２が測定した気体の圧力に応じて補正して、気体の圧力下露点温度を算出する。
【0096】
［作用効果］
本実施形態の湿度測定装置１０では、露点温度算出部４０は、温度・湿度測定部２６が測定した気体の大気圧下の温度と、温度・湿度測定部２６が測定した気体の大気圧下の湿度とに基づいて算出した気体の大気圧下露点温度を算出する。露点温度算出部４０は、露点温度算出部４０が算出した気体の大気圧下露点温度を、湿度測定装置１０の外部に設けられた圧力測定部９２が測定した気体の圧力に応じて補正して、気体の圧力下露点温度を算出する。これにより、温度・湿度測定部２６は高圧の気体と接触しないため、温度・湿度測定部２６への水滴の付着が抑制される。
本実施形態の湿度測定装置１０では、露点温度算出部４０は、温度・湿度測定部２６が測定した気体の大気圧下の温度と、温度・湿度測定部２６が測定した気体の大気圧下の湿度とに基づいて算出した気体の大気圧下露点温度を算出する。露点温度算出部４０は、露点温度算出部４０が算出した気体の大気圧下露点温度を、湿度測定装置１０の外部に設けられた圧力測定部９２が測定した気体の圧力に応じて補正して、気体の圧力下露点温度を算出する。これにより、温度・湿度測定部２６は高圧の気体と接触しないため、温度・湿度測定部２６への水滴の付着が抑制される。
【0097】
【0098】
本実施形態の湿度測定装置１０の表示部１４は、露点温度算出部４０と、表示制御部５２と、表示器５４と、圧力入力部９４とを有する。本実施形態の湿度測定装置１０の表示部１４の表示制御部５２と表示器５４とは、第１実施形態の湿度測定装置１０の表示部１４の表示制御部５２と表示器５４と同じである。
【0099】
圧力入力部９４は、露点温度算出部４０に気体の圧力を出力する。圧力入力部９４が露点温度算出部４０に出力する気体の圧力は、ユーザにより設定された値であってもよい。圧力入力部９４が露点温度算出部４０に出力する気体の圧力は、湿度測定装置１０の出荷時に、湿度測定装置１０の製造者により設定された値であってもよい。配管３６を流通する圧縮気体の圧力が略一定である場合には、事前に設定された圧力が露点温度算出部４０に入力されてもよい。同様に、除湿器３８が排出する圧縮気体の圧力が略一定である場合には、事前に設定された圧力が露点温度算出部４０に入力されてもよい。
【0100】
露点温度算出部４０には、温度・湿度測定部２６が測定した気体の大気圧下の温度が入力される。露点温度算出部４０には、温度・湿度測定部２６が測定した気体の大気圧下の湿度が入力される。露点温度算出部４０には、圧力入力部９４から気体の圧力が入力される。
【0101】
露点温度算出部４０は、温度・湿度測定部２６が測定した気体の大気圧下の温度と、温度・湿度測定部２６が測定した気体の大気圧下の湿度とに基づいて、気体の大気圧下露点温度を算出する。露点温度算出部４０は、露点温度算出部４０が算出した気体の大気圧下露点温度を、圧力入力部９４から入力された気体の圧力に応じて補正して、気体の圧力下露点温度を算出する。
【0102】
［作用効果］
本実施形態の湿度測定装置１０では、露点温度算出部４０は、温度・湿度測定部２６が測定した気体の大気圧下の温度と、温度・湿度測定部２６が測定した気体の大気圧下の湿度とに基づいて算出した気体の大気圧下露点温度を算出する。露点温度算出部４０は、露点温度算出部４０が算出した気体の大気圧下露点温度を、圧力入力部９４から入力された気体の圧力に応じて補正して、気体の圧力下露点温度を算出する。これにより、温度・湿度測定部２６は高圧の気体と接触しないため、温度・湿度測定部２６への水滴の付着が抑制される。
本実施形態の湿度測定装置１０では、露点温度算出部４０は、温度・湿度測定部２６が測定した気体の大気圧下の温度と、温度・湿度測定部２６が測定した気体の大気圧下の湿度とに基づいて算出した気体の大気圧下露点温度を算出する。露点温度算出部４０は、露点温度算出部４０が算出した気体の大気圧下露点温度を、圧力入力部９４から入力された気体の圧力に応じて補正して、気体の圧力下露点温度を算出する。これにより、温度・湿度測定部２６は高圧の気体と接触しないため、温度・湿度測定部２６への水滴の付着が抑制される。
【0103】
【0104】
本実施形態の湿度測定装置１０の表示部１４は、表示制御部５２と、表示器５４と、交換判定部９６と、補正部１００とを有する。本実施形態の湿度測定装置１０の表示部１４の表示制御部５２と表示器５４とは、第１実施形態の湿度測定装置１０の表示部１４の表示制御部５２と表示器５４と同じである。
【0105】
交換判定部９６には、除湿器３８が交換された場合に、交換情報入力部９８から除湿器３８が交換されたことを示す情報が入力される。交換情報入力部９８は、湿度測定装置１０の外部に設けられる。交換情報入力部９８は、除湿器３８が有してもよい。交換情報入力部９８から除湿器３８が交換されたことを示す情報が交換判定部９６に入力された場合には、交換判定部９６は除湿器３８が交換されたと判定する。交換情報入力部９８から除湿器３８が交換されたことを示す情報が交換判定部９６に入力されていない場合には、交換判定部９６は除湿器３８が交換されていないと判定する。
【0106】
補正部１００には、温度・湿度測定部２６が測定した気体の湿度が入力される。補正部１００には、交換判定部９６が判定した判定結果が入力される。補正部１００は、入力された判定結果に応じて、温度・湿度測定部２６が測定した湿度を補正する。
【0107】
図２１は、交換判定部９６及び補正部１００において実行される補正処理の流れを示すフローチャートである。補正処理は、所定周期で繰り返し実行される。
【0108】
ステップＳ１において、交換判定部９６は、前回の周期においてステップＳ１の処理が実行されてから今回の周期においてステップＳ１の処理が実行されるまでの間に、除湿器３８が交換されたか否かを判定する。交換判定部９６は、交換情報入力部９８から除湿器３８が交換されたことを示す情報が入力されたときに、除湿器３８が交換されたと判定する。交換判定部９６が除湿器３８が交換されたと判定した場合（ステップＳ１：ＹＥＳ）には、補正処理はステップＳ２へ移行する。交換判定部９６が除湿器３８が交換されていないと判定した場合（ステップＳ１：ＮＯ）には、補正処理はステップＳ６へ移行する。
【0109】
ステップＳ２において、補正部１００は、温度・湿度測定部２６が測定した気体の湿度（測定湿度）が、第１閾値Ｔｈ１以上であるか否かを判定する。測定湿度が第１閾値Ｔｈ１以上である場合（ステップＳ２：ＹＥＳ）には、補正処理はステップＳ７へ移行する。測定湿度が第１閾値Ｔｈ１未満である場合（ステップＳ２：ＮＯ）には、補正処理はステップＳ３へ移行する。
【0110】
ステップＳ３において、補正部１００は、測定湿度が、第２閾値Ｔｈ２以上であるか否かを判定する。測定湿度が第２閾値Ｔｈ２以上である場合（ステップＳ３：ＹＥＳ）には、補正処理はステップＳ４へ移行する。測定湿度が第２閾値Ｔｈ２未満である場合（ステップＳ３：ＮＯ）には、補正処理はステップＳ６へ移行する。第２閾値Ｔｈ２は、第１閾値Ｔｈ１よりも小さい値である。
【0111】
ステップＳ４において、補正部１００は、測定湿度を補正して新たな測定湿度を求める。その後、補正処理はステップＳ５へ移行する。以下では、補正部１００において求められた新たな測定湿度を、補正湿度と記載することがある。
【0112】
ステップＳ５において、交換判定部９６は、交換情報入力部９８から入力された除湿器３８が交換されたことを示す情報（除湿器交換情報）をクリアする。その後、補正処理はステップＳ６へ移行する。
【0113】
ステップＳ６において、補正部１００は、測定湿度を表示制御部５２に出力する。その後、補正処理は終了する。
【0114】
ステップＳ２で測定湿度が第１閾値Ｔｈ１以上であると判定された（ステップＳ２：ＹＥＳ）後のステップＳ７において、補正部１００は、エラー信号を表示制御部５２に出力する。その後、補正処理は終了する。表示制御部５２にエラー信号が入力された場合には、表示制御部５２は、表示器５４を制御して、ユーザに温度・湿度測定部２６の交換を促す表示を表示器５４に表示させる。
【0115】
［作用効果］
温度・湿度測定部２６の感湿素子は、感湿膜を有する。感湿膜は、感湿膜に含まれる水分量に応じて、静電容量が変化する。感湿素子は、感湿膜の静電容量に基づいて気体の湿度を測定する。
温度・湿度測定部２６の感湿素子は、感湿膜を有する。感湿膜は、感湿膜に含まれる水分量に応じて、静電容量が変化する。感湿素子は、感湿膜の静電容量に基づいて気体の湿度を測定する。
【0116】
感湿膜の劣化に伴い、気体の湿度に対応する感湿膜の静電容量が変化する。この原因は、感湿膜内への水分の浸透、感湿膜の汚れ等である。そのため、感湿膜の劣化に伴い、温度・湿度測定部２６の測定湿度の精度が低下する。
【0117】
除湿器３８が交換された直後において、除湿器３８により除湿された後の気体の湿度は、除湿器３８の除湿性能に応じた所定の湿度に調整されていると考えられる。温度・湿度測定部２６の測定湿度が、当該所定の湿度よりも高い場合には、感湿膜が劣化していると考えられる。
【0118】
本実施形態の湿度測定装置１０では、除湿器３８が交換されたと交換判定部９６が判定した場合であって、測定湿度が第２閾値以上第１閾値未満である場合には、補正部１００は、測定湿度を補正して補正湿度を求める。これにより、感湿膜が劣化している場合であっても、湿度測定装置１０は気体の湿度の精度を保つことができる。
【0119】
本実施形態の湿度測定装置１０では、除湿器３８が交換されたと交換判定部９６が判定した場合であって、温度・湿度測定部２６の測定湿度が第１閾値以上である場合には、表示制御部５２は、表示器５４を制御して、ユーザに温度・湿度測定部２６の交換を促す表示を表示器５４に表示させる。これにより、感湿膜の劣化が激しい場合には、湿度測定装置１０は、ユーザに温度・湿度測定部２６の交換を促すことができる。
【0120】
〔第８実施形態〕
図２２及び図２３は、湿度測定装置１０を示す。湿度測定装置１０は、筐体１０２と、表示部１４と、継手部１０６とを有する。図２２及び図２３は、筐体１０２及び継手部１０６を断面図で示す。図２２及び図２３は、表示部１４を模式図で示す。
図２２及び図２３は、湿度測定装置１０を示す。湿度測定装置１０は、筐体１０２と、表示部１４と、継手部１０６とを有する。図２２及び図２３は、筐体１０２及び継手部１０６を断面図で示す。図２２及び図２３は、表示部１４を模式図で示す。
【0121】
筐体１０２は、本体部１０８と接続部１１０とを有する。本体部１０８は、本体部１０８の内部に収容部１１２を有する。この収容部１１２は、本体部１０８内に形成された空間である。
【0122】
湿度測定装置１０は、電子基板２５を有する。電子基板２５は、本体部１０８と表示部１４との間に配置される。電子基板２５には、温度・湿度測定部２６が取り付けられる。温度・湿度測定部２６は、収容部１１２に収容される。温度・湿度測定部２６は、感温素子と感湿素子とが１つの集積回路上に搭載された電子部品である。感温素子は、収容部１１２内の気体の温度を測定する。感湿素子は、収容部１１２内の気体の湿度を測定する。温度・湿度測定部２６は、測定した気体の温度及び湿度を表示部１４に出力する。
【0123】
接続部１１０は、第１接続配管１１８及び第２接続配管１２０を有する。第１接続配管１１８及び第２接続配管１２０は、収容部１１２に接続される。また、第１接続配管１１８及び第２接続配管１２０は、後述する継手部１０６の継手配管１２２に接続される。収容部１１２と継手配管１２２との間において、第１接続配管１１８及び第２接続配管１２０を介して、気体が流通する。第１接続配管１１８の断面積と第２接続配管１２０の断面積とは異なる。図２２に示すように、第２接続配管１２０の最小径部分の断面積は、第１接続配管１１８の最小径部分の断面積よりも小さい。図２３に示すように、第１接続配管１１８の最小径部分の断面積が、第２接続配管１２０の最小径部分の断面積よりも小さくてもよい。
【0124】
継手部１０６は、継手部１０６の内部に継手配管１２２及び管取付部１２４を有する。継手配管１２２は、一方向に延びて形成される。継手配管１２２の両端のそれぞれには、管取付部１２４が接続される。管取付部１２４のぞれぞれは、継手部１０６の外部に開口する。継手部１０６は、気体が流通する管１２６（図２４）の途中に接続される。それぞれの管取付部１２４には、管１２６が接続される。継手配管１２２は、管１２６と管１２６との間を繋ぐ。これにより、管１２６と管１２６との間を、継手配管１２２を介して、気体が流通可能となる。
【0125】
継手配管１２２には、フィルタ１２８が取り付けられる。フィルタ１２８は、継手配管１２２における気体の流れに対して、上流に位置する管取付部１２４と継手配管１２２との接続部分に配置される。継手配管１２２は、オリフィス１３０を有する。オリフィス１３０は、オリフィス１３０の孔の最小径部分の断面積が、継手配管１２２の他の箇所の断面積よりも小さい。オリフィス１３０は、継手配管１２２における気体の流れに対して、フィルタ１２８よりも下流に配置される。以下では、継手配管１２２のうち、オリフィス１３０よりも上流における部分を第１継手室１３２と記載することがある。また、継手配管１２２のうち、オリフィス１３０よりも下流における部分を第２継手室１３４と記載することがある。
【0126】
フィルタ１２８は、継手配管１２２の上流側の端部に取り付けられる。フィルタ１２８により、継手配管１２２に流入する気体に混入した異物を除去することが可能となる。これにより、継手配管１２２内に異物が侵入することを抑制できる。
【0127】
第１継手室１３２において、前述の第１接続配管１１８は継手配管１２２と接続される。換言すると、継手配管１２２における気体の流れに対して、オリフィス１３０よりも上流であって、フィルタ１２８とオリフィス１３０との間において、第１接続配管１１８は継手配管１２２に接続される。第２継手室１３４において、前述の第２接続配管１２０は継手配管１２２と接続される。換言すると、継手配管１２２における気体の流れに対して、オリフィス１３０よりも下流において、第２接続配管１２０は継手配管１２２に接続される。
【0128】
【0129】
オリフィス１３０により、第１継手室１３２の圧力は、第２継手室１３４の圧力よりも高くなる。これにより、第１接続配管１１８から収容部１１２内に、継手配管１２２の気体を流入させることが可能となる。第１接続配管１１８の径の断面積に比べて、第２接続配管１２０の径の断面積は小さい。そのため、収容部１１２の圧力を、第１継手室１３２の圧力と略同じにすることが可能となる。
【0130】
収容部１１２には、フィルタ１２８を通過後の気体が流入する。そのため、収容部１１２内に異物が侵入することを抑制できる。
【0131】
表示部１４の構成は、第１実施形態、第３実施形態、第５実施形態、第６実施形態又は第７実施形態の表示部１４の構成と同様である。
【0132】
［湿度の測定精度について］
本発明者等は、第１継手室１３２、第２継手室１３４及び収容部１１２の湿度について、コンピュータを用いてシミュレーションを行った。図２５、図２６及び図２７は、シミュレーション結果を示す。図２５は、第１接続配管１１８の最小径部分の断面積と、第２接続配管１２０の最小径部分の断面積とが等しい場合におけるシミュレーション結果を示す。図２６は、第２接続配管１２０の最小径部分の断面積が、第１接続配管１１８の最小径部分の断面積よりも小さい場合におけるシミュレーション結果を示す。図２７は、第１接続配管１１８の最小径部分の断面積が、第２接続配管１２０の最小径部分の断面積よりも小さい場合におけるシミュレーション結果を示す。シミュレーションでは、第１継手室１３２に湿度８８％の気体を流入させた。
本発明者等は、第１継手室１３２、第２継手室１３４及び収容部１１２の湿度について、コンピュータを用いてシミュレーションを行った。図２５、図２６及び図２７は、シミュレーション結果を示す。図２５は、第１接続配管１１８の最小径部分の断面積と、第２接続配管１２０の最小径部分の断面積とが等しい場合におけるシミュレーション結果を示す。図２６は、第２接続配管１２０の最小径部分の断面積が、第１接続配管１１８の最小径部分の断面積よりも小さい場合におけるシミュレーション結果を示す。図２７は、第１接続配管１１８の最小径部分の断面積が、第２接続配管１２０の最小径部分の断面積よりも小さい場合におけるシミュレーション結果を示す。シミュレーションでは、第１継手室１３２に湿度８８％の気体を流入させた。
【0133】
第１接続配管１１８の最小径部分の断面積と、第２接続配管１２０の最小径部分の断面積とが等しい場合、図２５に示すように、収容部１１２の湿度は、第１継手室１３２の湿度よりも低い。一方、収容部１１２の湿度は、第２継手室１３４の湿度よりも高い。すなわち、収容部１１２の湿度は、第１継手室１３２の湿度、及び、第２継手室１３４の湿度の両方と異なる。そのため、収容部１１２に設けられた温度・湿度測定部２６は、管１２６の内部を流通する気体の湿度を測定できるものの、その精度は低い。なお、この場合、収容部１１２の圧力は、第１継手室１３２の圧力よりも低い。一方、収容部１１２の圧力は、第２継手室１３４の圧力よりも高い。
【0134】
第２接続配管１２０の最小径部分の断面積が、第１接続配管１１８の最小径部分の断面積よりも小さい場合、図２６に示すように、収容部１１２の湿度は、第１継手室１３２の湿度と略等しい。一方、収容部１１２の湿度は、第２継手室１３４の湿度よりも高い。そのため、収容部１１２に設けられた温度・湿度測定部２６は、オリフィス１３０よりも上流において管１２６の内部を流通する気体の湿度を高精度に計測できる。なお、この場合、収容部１１２の圧力は、第１継手室１３２の圧力と略等しい。一方、収容部１１２の圧力は、第２継手室１３４の圧力よりも高い。
【0135】
第１接続配管１１８の最小径部分の断面積が、第２接続配管１２０の最小径部分の断面積よりも小さい場合、図２７に示すように、収容部１１２の湿度は、第２継手室１３４の湿度と略等しい。一方、収容部１１２の湿度は、第１継手室１３２の湿度よりも低い。そのため、収容部１１２に設けられた温度・湿度測定部２６は、オリフィス１３０よりも下流において管１２６の内部を流通する気体の湿度を高精度に計測できる。なお、この場合、収容部１１２の圧力は、第２継手室１３４の圧力と略等しい。一方、収容部１１２の圧力は、第１継手室１３２の圧力よりも低い。
【0136】
［作用効果］
本実施形態の湿度測定装置１０は、管１２６の途中に接続される継手部１０６を有する。継手部１０６の継手配管１２２と筐体１０２の収容部１１２とは、第１接続配管１１８及び第２接続配管１２０により接続される。第１接続配管１１８は、オリフィス１３０の上流において継手配管１２２に接続される。第２接続配管１２０は、オリフィス１３０の下流において継手配管１２２に接続される。
本実施形態の湿度測定装置１０は、管１２６の途中に接続される継手部１０６を有する。継手部１０６の継手配管１２２と筐体１０２の収容部１１２とは、第１接続配管１１８及び第２接続配管１２０により接続される。第１接続配管１１８は、オリフィス１３０の上流において継手配管１２２に接続される。第２接続配管１２０は、オリフィス１３０の下流において継手配管１２２に接続される。
【0137】
これにより、継手配管１２２を流通する気体が分流して、第１接続配管１１８から収容部１１２に送られる。そのため、温度・湿度測定部２６は、管１２６と同じ圧力下において、収容部１１２の気体の湿度を測定できる。その結果、湿度測定装置１０は、管１２６を流通する気体の湿度を測定できる。また、管１２６を流通する気体に混入した水滴等が、収容部１１２に侵入することを抑制できる。その結果、温度・湿度測定部２６が汚染されることを抑制できる。
【0138】
また、本実施形態の湿度測定装置１０では、管１２６を流通する気体が、継手配管１２２から第１接続配管１１８を通って収容部１１２に流入する。収容部１１２に流入した気体は、第２接続配管１２０を通って継手配管１２２に戻る。そのため、管１２６を流通する気体が外部に排出されない。その結果、気体の減少を抑制できる。
【0139】
本実施形態の湿度測定装置１０は、第１接続配管１１８の断面積と、第２接続配管１２０の断面積とが異なる。第２接続配管１２０の最小径部分の断面積を、第１接続配管１１８の最小径部分の断面積よりも小さくした場合、温度・湿度測定部２６は、オリフィス１３０よりも上流において管１２６の内部を流通する気体の湿度を高精度に計測できる。第１接続配管１１８の最小径部分の断面積を、第２接続配管１２０の最小径部分の断面積よりも小さくした場合、温度・湿度測定部２６は、オリフィス１３０よりも下流において管１２６の内部を流通する気体の湿度を高精度に計測できる。
【0140】
〔第９実施形態〕
図２８は、湿度測定装置１０を示す。湿度測定装置１０は、筐体１０２と、表示部１４と、継手部１０６とを有する。図２８は、筐体１０２及び継手部１０６を断面図で示す。図２８は、表示部１４を模式図で示す。
図２８は、湿度測定装置１０を示す。湿度測定装置１０は、筐体１０２と、表示部１４と、継手部１０６とを有する。図２８は、筐体１０２及び継手部１０６を断面図で示す。図２８は、表示部１４を模式図で示す。
【0141】
電子基板２５には、フローセンサ１３６が取り付けられる。フローセンサ１３６は、筐体１０２の収容部１１２に収容される。フローセンサ１３６は、収容部１１２を流通する気体の流量を検出する。収容部１１２を流れる気体の流量から管１２６を流通する気体の流量を求めることができる。フローセンサ１３６は、センサ、サーミスタ、白金等から構成される。センサは、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）により構成される。本実施形態の湿度測定装置１０のその他の構成については、第８実施形態の湿度測定装置１０と同じである。
【0142】
［作用効果］
本実施形態の湿度測定装置１０では、筐体１０２の収容部１１２に、フローセンサ１３６が収容される。これにより、管１２６を流通する気体の流量を求めることができる。
本実施形態の湿度測定装置１０では、筐体１０２の収容部１１２に、フローセンサ１３６が収容される。これにより、管１２６を流通する気体の流量を求めることができる。
【0143】
〔第１０実施形態〕
図２９は、湿度測定装置１０を示す。湿度測定装置１０は、筐体１０２と、表示部１４と、継手部１０６とを有する。図２９は、筐体１０２及び継手部１０６を断面図で示す。図２９は、表示部１４を模式図で示す。
図２９は、湿度測定装置１０を示す。湿度測定装置１０は、筐体１０２と、表示部１４と、継手部１０６とを有する。図２９は、筐体１０２及び継手部１０６を断面図で示す。図２９は、表示部１４を模式図で示す。
【0144】
継手配管１２２には、フィルタ１２８及びフィルタ１３８が取り付けられる。フィルタ１３８は、オリフィス１３０を挟んで、フィルタ１２８と反対側に配置される。フィルタ１２８は、継手配管１２２と管取付部１２４との接続部分に取り付けられる。フィルタ１３８は、継手配管１２２と管取付部１２４との接続部分に取り付けられる。
【0145】
フィルタ１２８は継手配管１２２の一端部に取り付けられ、フィルタ１３８は継手配管１２２の他端部に取り付けられる。これにより、気体が流通する方向が切り換わる場合であっても、フィルタ１２８又はフィルタ１３８により、継手配管１２２に流入する気体に混入した異物を除去することが可能となる。これにより、継手配管１２２内に異物が侵入することを抑制できる。
【0146】
なお、本発明は、上述した実施形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を取り得る。
【0147】
〔実施形態から得られる技術的思想〕
上記実施形態から把握しうる技術的思想について、以下に記載する。
上記実施形態から把握しうる技術的思想について、以下に記載する。
【0148】
気体の湿度を測定する湿度測定装置（１０）であって、当該湿度測定装置は、温度を測定する感温素子、及び、湿度を測定する感湿素子を有する測定部（２６）と、前記測定部が収容される収容部（１１２）を有する筐体（１０２）と、表示器（５４）を有し、前記筐体に固定された表示部（１４）と、前記気体が流通する管（１２６）の途中に接続され、前記管と前記管との間において前記気体を流通可能にする継手配管（１２２）と、を備え、前記継手配管はオリフィス（１３０）を有し、前記継手配管にはフィルタ（１２８）が取り付けられ、前記筐体は、前記継手配管と前記収容部とを繋いで、前記継手配管と前記収容部との間において前記気体を流通可能にする第１配管（１１８）及び第２配管（１２０）を有する。これにより、湿度測定装置は、管を流通する気体の湿度を測定できる。
【0149】
上記の湿度測定装置において、前記第１配管の断面積と、前記第２配管の断面積とが異なってもよい。これにより、湿度測定装置は、管を流通する気体の湿度を測定できる。
【0150】
上記の湿度測定装置において、前記気体の流量を測定するフローセンサ（１３６）を有し、前記フローセンサは、前記収容部に収容されてもよい。これにより、湿度測定装置は、管を流通する気体の流量を求めることができる。
【0151】
上記の湿度測定装置において、前記表示部は、前記表示器を制御して、前記感温素子が測定した前記気体の温度と前記感湿素子が測定した前記気体の湿度とに基づいて算出された前記気体の露点温度、及び、前記感湿素子が測定した前記気体の湿度の少なくとも一方を、前記表示器に表示させる表示制御部（５２）を有してもよい。これにより、ユーザは、湿度測定装置が設置された場所において、気体の湿度と、気体の露点温度とを確認できる。
【符号の説明】
【0152】
１０…湿度測定装置 １４…表示部
２６…温度・湿度測定部（測定部） ５２…表示制御部
５４…表示器 １０２…筐体
１１２…収容部 １１８…第１接続配管（第１配管）
１２０…第２接続配管（第２配管） １２８…フィルタ
１３０…オリフィス １３６…フローセンサ
２６…温度・湿度測定部（測定部） ５２…表示制御部
５４…表示器 １０２…筐体
１１２…収容部 １１８…第１接続配管（第１配管）
１２０…第２接続配管（第２配管） １２８…フィルタ
１３０…オリフィス １３６…フローセンサ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
