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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024002098
(43)【公開日】2024-01-11
(54)【発明の名称】ロードポート、および、開閉方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20231228BHJP
H01L 21/673 20060101ALI20231228BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
H01L21/68 T
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022101087
(22)【出願日】2022-06-23
(71)【出願人】
【識別番号】000002059
【氏名又は名称】シンフォニアテクノロジー株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100137486
【弁理士】
【氏名又は名称】大西 雅直
(72)【発明者】
【氏名】三浦 辰弥
(72)【発明者】
【氏名】小木曽 真平
(72)【発明者】
【氏名】石原 裕揮
(72)【発明者】
【氏名】小川 建
(72)【発明者】
【氏名】鈴木 淳志
(72)【発明者】
【氏名】松本 祐貴
【テーマコード（参考）】
5F131
【Ｆターム（参考）】
5F131AA02
5F131CA70
5F131DD43
5F131DD59
5F131DD86
5F131GA14
5F131GA33
5F131GA53
5F131GA83
5F131GA92
5F131HA09
5F131HA12
5F131HA13
5F131JA04
5F131JA24
(57)【要約】
【課題】変形の原因となる無理な力がドア部にかかることを回避できる技術の提供。
【解決手段】搬送部８に接続されるロードポート１であって、搬送部８の壁部の一部を構成する板状のベース部１０と、格納容器９が載置される載置部２０と、載置部２０をベース部１０に対して近接離間する方向に移動させる載置部駆動機構３０と、ベース部１０に設けられた開口部１３を開閉可能なドア部４０と、ドア部４０を開放位置と閉鎖位置との間で移動させるドア部駆動機構５０と、ドア部４０を開口部１３に向けて押し付けて、ドア部４０に保持されている蓋９２を容器本体９１に取り付ける際に、載置部２０に突き当たって、ベース部１０から離れる方向への載置部２０の移動を規制する移動規制部６０と、を備える。
【選択図】図１３
【解決手段】搬送部８に接続されるロードポート１であって、搬送部８の壁部の一部を構成する板状のベース部１０と、格納容器９が載置される載置部２０と、載置部２０をベース部１０に対して近接離間する方向に移動させる載置部駆動機構３０と、ベース部１０に設けられた開口部１３を開閉可能なドア部４０と、ドア部４０を開放位置と閉鎖位置との間で移動させるドア部駆動機構５０と、ドア部４０を開口部１３に向けて押し付けて、ドア部４０に保持されている蓋９２を容器本体９１に取り付ける際に、載置部２０に突き当たって、ベース部１０から離れる方向への載置部２０の移動を規制する移動規制部６０と、を備える。
【選択図】図１３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
搬送部に接続されるロードポートであって、
前記搬送部の壁部の一部を構成する板状のベース部と、
格納容器が載置される載置部と、
前記載置部を前記ベース部に対して近接離間する方向に移動させる載置部駆動機構と、
前記ベース部における前記載置部に載置された前記格納容器の蓋と対向する位置に設けられた開口部を開閉可能であるとともに、前記開口部を塞いでいる状態において前記開口部と対向配置されている蓋を保持可能な、ドア部と、
前記ドア部を、前記ドア部が前記開口部を開放する開放位置と、前記ドア部が前記開口部を塞ぐ閉鎖位置との間で移動させる、ドア部駆動機構と、
前記ドア部を前記開口部に向けて押し付けて、前記ドア部に保持されている前記蓋を容器本体に取り付ける際に、前記載置部に突き当たって、前記ベース部から離れる方向への前記載置部の移動を規制する移動規制部と、
を備えることを特徴とする、ロードポート。
前記搬送部の壁部の一部を構成する板状のベース部と、
格納容器が載置される載置部と、
前記載置部を前記ベース部に対して近接離間する方向に移動させる載置部駆動機構と、
前記ベース部における前記載置部に載置された前記格納容器の蓋と対向する位置に設けられた開口部を開閉可能であるとともに、前記開口部を塞いでいる状態において前記開口部と対向配置されている蓋を保持可能な、ドア部と、
前記ドア部を、前記ドア部が前記開口部を開放する開放位置と、前記ドア部が前記開口部を塞ぐ閉鎖位置との間で移動させる、ドア部駆動機構と、
前記ドア部を前記開口部に向けて押し付けて、前記ドア部に保持されている前記蓋を容器本体に取り付ける際に、前記載置部に突き当たって、前記ベース部から離れる方向への前記載置部の移動を規制する移動規制部と、
を備えることを特徴とする、ロードポート。
【請求項2】
請求項１に記載のロードポートであって、
前記移動規制部が、平面視にて、前記載置部の移動方向と直交する方向について前記載置部の中央の位置において、前記載置部に突き当たる、
ことを特徴とする、ロードポート。
前記移動規制部が、平面視にて、前記載置部の移動方向と直交する方向について前記載置部の中央の位置において、前記載置部に突き当たる、
ことを特徴とする、ロードポート。
【請求項3】
請求項１または２に記載のロードポートであって、
前記移動規制部が、前記載置部に突き当たって前記載置部の移動を規制する規制状態と、前記載置部の移動を規制しない解除状態との間で切り替えられる、
ことを特徴とする、ロードポート。
前記移動規制部が、前記載置部に突き当たって前記載置部の移動を規制する規制状態と、前記載置部の移動を規制しない解除状態との間で切り替えられる、
ことを特徴とする、ロードポート。
【請求項4】
請求項３に記載のロードポートであって、
前記移動規制部が、
前記載置部の移動方向と交差する方向に沿って延在する回動軸の周りで回動自在に設けられた回動部と、
前記回動部を回動させることによって、前記規制状態と前記解除状態とを切り替える、切り替え部と、
を備えることを特徴とする、ロードポート。
前記移動規制部が、
前記載置部の移動方向と交差する方向に沿って延在する回動軸の周りで回動自在に設けられた回動部と、
前記回動部を回動させることによって、前記規制状態と前記解除状態とを切り替える、切り替え部と、
を備えることを特徴とする、ロードポート。
【請求項5】
請求項１または２に記載のロードポートであって、
前記ドア部を前記開口部に向けて押し付けて、前記ドア部に保持されている前記蓋を前記容器本体に取り付ける際に、前記載置部駆動機構が前記載置部を前記ベース部に向けて押し付ける力が、前記ドア部駆動機構が前記ドア部を前記開口部に向けて押し付ける力よりも、小さい、
ことを特徴とする、ロードポート。
前記ドア部を前記開口部に向けて押し付けて、前記ドア部に保持されている前記蓋を前記容器本体に取り付ける際に、前記載置部駆動機構が前記載置部を前記ベース部に向けて押し付ける力が、前記ドア部駆動機構が前記ドア部を前記開口部に向けて押し付ける力よりも、小さい、
ことを特徴とする、ロードポート。
【請求項6】
基板を格納する格納容器の開閉方法であって、
前記格納容器が載置された載置部をベース部に近づく方向に移動させて、前記ベース部における前記載置部に載置された前記格納容器の蓋と対向する位置に設けられた開口部と前記蓋とを近づける、載置部移動工程と、
前記開口部を塞いでいるドア部に、前記開口部と対向配置されている前記蓋を保持させる蓋保持工程と、
前記ドア部を、これが保持する前記蓋とともに、前記ドア部が前記開口部を塞ぐ閉鎖位置から、前記ドア部が前記開口部を開放する開放位置に移動させる開放工程と、
前記ドア部を、これが保持する前記蓋とともに、前記開放位置から前記閉鎖位置に移動させる閉鎖工程と、
前記閉鎖工程において、前記ドア部を前記開口部に向けて押し付けて、前記ドア部に保持されている前記蓋を容器本体に取り付ける際に、移動規制部が前記載置部に突き当たって、前記ベース部から離れる方向への前記載置部の移動を規制する、移動規制工程と、
を備えることを特徴とする、開閉方法。
前記格納容器が載置された載置部をベース部に近づく方向に移動させて、前記ベース部における前記載置部に載置された前記格納容器の蓋と対向する位置に設けられた開口部と前記蓋とを近づける、載置部移動工程と、
前記開口部を塞いでいるドア部に、前記開口部と対向配置されている前記蓋を保持させる蓋保持工程と、
前記ドア部を、これが保持する前記蓋とともに、前記ドア部が前記開口部を塞ぐ閉鎖位置から、前記ドア部が前記開口部を開放する開放位置に移動させる開放工程と、
前記ドア部を、これが保持する前記蓋とともに、前記開放位置から前記閉鎖位置に移動させる閉鎖工程と、
前記閉鎖工程において、前記ドア部を前記開口部に向けて押し付けて、前記ドア部に保持されている前記蓋を容器本体に取り付ける際に、移動規制部が前記載置部に突き当たって、前記ベース部から離れる方向への前記載置部の移動を規制する、移動規制工程と、
を備えることを特徴とする、開閉方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、基板を搬送する搬送部に接続され、該搬送部と基板を格納する格納容器との間で基板の出し入れを行うためのロードポート、および、基板を格納する格納容器の開閉方法に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体の製造工程等では、高度の清浄環境（クリーン環境）が必要とされる。近年、半導体の製造工場等において清浄環境を形成するにあたって、ダウンフロー方式に代わって、ミニエンバイロメント方式が採用されることが多くなってきている。ミニエンバイロメント方式は、被処理物である基板の周囲だけに局所的な清浄環境を形成する方式であり、工場全体を清浄環境とするダウンフロー方式に比べて、低コストで高度の清浄環境を形成することができる。
【0003】
ミニエンバイロメント方式においては、基板は、外部の雰囲気よりも高い清浄度に保たれた格納容器に格納されて、搬送・保管等されるところ、この格納容器と基板に対して各種の処理を行う処理装置との間で基板の受け渡しを行うために、ＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）と呼ばれるモジュールが利用される。ＥＦＥＭは、搬送チャンバーおよびその内部に設置された搬送ロボットなどを含んで構成される搬送部と、これと接続されたロードポートと、を備える。ロードポートは、基板を格納する格納容器と搬送部との間での基板の出し入れを行うためのインターフェースであり、格納容器に格納された基板は、ロードポートを介することにより、外部の雰囲気に晒されることなく、格納容器と搬送部（ひいては、処理装置）との間で授受される（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１６－１７８１３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
【0006】
ロードポート９００は、これと接続される搬送部８００の壁部の一部を構成する板状のベース部９０１を備える。ベース部９０１の一方側には載置部９０２が設けられ、その上面に、基板（一例として例えば、ウエハ９０）を格納した格納容器９が載置される。載置部９０２には、図示しないロック爪などが設けられており、格納容器９が載置部９０２に対して位置ずれを起こさないように固定される。また、載置部９０２には、これをベース部９０１に対して近接離間する方向に移動させる駆動機構（載置部駆動機構）９０３が接続される。一方、ベース部９０１の面内には開口部９０１ａが形成されており、これを塞ぐようにドア部９０４が設けられる。ドア部９０４には、これを閉鎖位置（ドア部９０４が開口部９０１ａを閉鎖する位置）と開放位置（ドア部９０４が開口部９０１ａを開放する位置）との間で移動させる駆動機構（ドア部駆動機構）９０５が接続される。
【0007】
このような構成を備えるロードポート９００の動作の一例は次のとおりである。まず、ウエハ９０を格納した格納容器９が、ＡＭＨＳ、ＰＧＶ、などの外部搬送ロボットによって載置部９０２に載置されると、載置部９０２が、ベース部９０１に近づく方向に移動されて、載置部９０２に載置された格納容器９とベース部９０１とが例えば当接される。この状態において、格納容器９の蓋９２が開口部９０１ａを塞ぐドア部９０４と十分に近づいており、続いて、ドア部９０４が蓋９２と連結される。そして、ドア部９０４が、蓋９２とともに、閉鎖位置から開放位置に移動される。これによって、格納容器９の容器本体９１の内部が、開口部９０１ａを介して、搬送部８００の内部と連通した状態となる。その後、容器本体９１に格納されているウエハ９０（例えば未処理のウエハ９０）が、搬送部８００の搬送ロボットによって取り出されて、処理装置などへと搬入されていく。また、搬送ロボットは、ウエハ９０（例えば処理装置で処理された処理済みのウエハ）を、容器本体９１に格納していく。所定枚数のウエハ９０が容器本体９１に格納されると、ドア部９０４が、蓋９２とともに、開放位置から閉鎖位置に移動される。その際に、ドア部９０４が、開口部９０１ａに向けて（すなわち、載置部９０２に載置されている容器本体９１に向けて）押し付けられることによって、ドア部９０４に保持されている蓋９２が容器本体９１に取り付けられる。蓋９２が容器本体９１に取り付けられると、ドア部９０４と蓋９２との連結が解除される。その後、載置部９０２が、ベース部９０１から離れる方向に移動され、外部搬送ロボットが、載置部９０２に載置されている格納容器９を運び去る。
【0008】
一般的な格納容器９では、蓋９２の内向き面に、容器本体９１に収容されているウエハ９０が位置ずれを起こさないように保持するウエハ押さえとしてのリテーナが設けられており、蓋９２が容器本体９１に取り付けられる際に、リテーナが弾性変形して、ウエハ９０を押さえ付けるようになっている。したがって、蓋９２を容器本体９１に取り付けるにあたっては、少なくともリテーナの反力を上回る大きな力で、蓋９２を容器本体９１に押し付けなければならない。つまり、蓋９２を保持しているドア部９０４を、少なくともリテーナの反力を上回る大きな力（ドア閉力）で、載置部９０２に載置されている容器本体９１に向けて押し付けなければならない。
【0009】
特に、近年、格納容器９内へのパーティクルの混入を抑制するために、リテーナの反力が大きくされる傾向がある。また、工場間搬送で使用されることが多い格納容器９の一種であるＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）は、工場内での基板（例えばウエハ９０）の格納容器９として用いられるＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）などに比べてリテーナの反力が大きいところ、このＦＯＳＢをロードポート９００で開閉する需要も拡大している。これらの状況に対応するために、ドア閉力は増大される傾向がある。
【0010】
一方、ドア部９０４を押し付けて蓋９２を容器本体９１に取り付ける際には、容器本体９１が押されることによってこれが固定的に載置されている載置部９０２が動いてしまわないように（逃げないように）、載置部９０２を、例えば載置部駆動機構９０３が備える駆動源としてのエアシリンダによって、ベース部９０１に向けて押し付けておく必要がある。つまり、載置部９０２を、ドア閉力に負けない力でベース部９０１に向けて押し付けておく必要がある。
【0011】
ところが、載置部９０２をベース部９０１に向けて押し付ける力（ドック力）が大きくなると、ドア部９０４が、載置部９０２に載置されている格納容器９によって大きな力で押し返されることとなり、ドア部９０４に変形が生じるおそれがある。例えば、ドア部９０４が片持状態で支持される構造の場合、格納容器９によって押されたドア部９０４が、支持端側から非支持端側に向けて開口部９０１ａから離れる方向に撓む可能性がある。ドア部９０４にこのような変形（撓み）が生じると、例えばドア部９０４に保持されている蓋９２が容器本体９１に取り付けられずに外れてしまうおそれもある。
【0012】
ドア閉力の増大が求められる近年の状況においては、ドック力も増大せざるを得ず、ドア部９０４の変形が生じる可能性がますます高まってしまう。
【0013】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、変形の原因となる無理な力がドア部にかかることを回避できる技術の提供を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0014】
本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。
【0015】
すなわち、本発明は、搬送部に接続されるロードポートであって、前記搬送部の壁部の一部を構成する板状のベース部と、格納容器が載置される載置部と、前記載置部を前記ベース部に対して近接離間する方向に移動させる載置部駆動機構と、前記ベース部における前記載置部に載置された前記格納容器の蓋と対向する位置に設けられた開口部を開閉可能であるとともに、前記開口部を塞いでいる状態において前記開口部と対向配置されている蓋を保持可能な、ドア部と、前記ドア部を、前記ドア部が前記開口部を開放する開放位置と、前記ドア部が前記開口部を塞ぐ閉鎖位置との間で移動させる、ドア部駆動機構と、前記ドア部を前記開口部に向けて押し付けて、前記ドア部に保持されている前記蓋を容器本体に取り付ける際に、前記載置部に突き当たって、前記ベース部から離れる方向への前記載置部の移動を規制する移動規制部と、を備えることを特徴とする。
【0016】
この構成によると、例えば、ドア部に保持されている蓋を容器本体に取り付ける際に、ドア部を開口部に向けて押し付ける力（ドア閉力）に対して、載置部をベース部に向けて押し付ける力（ドック力）が小さいために、載置部がベース部から離れる方向に動こうとしても、移動規制部が載置部に突き当たることで載置部の移動が規制されるので、載置部に載置されている容器本体に蓋を取り付けることができる。つまり、ドック力をドア閉力とつり合うような大きな力としなくとも、蓋を容器本体に取り付けることができる。したがって、ドック力を小さくすることが可能となり、変形の原因となる無理な力がドア部にかかることを回避できる。
【0017】
好ましくは、前記ロードポートであって、前記移動規制部が、平面視にて、前記載置部の移動方向と直交する方向について前記載置部の中央の位置において、前記載置部に突き当たる、ことを特徴とする。
【0018】
この構成によると、ベース部から離れる方向への載置部の移動を安定して規制することができる。
【0019】
好ましくは、前記ロードポートであって、前記移動規制部が、前記載置部に突き当たって前記載置部の移動を規制する規制状態と、前記載置部の移動を規制しない解除状態との間で切り替えられる、ことを特徴とする。
【0020】
この構成によると、載置部の移動の規制およびその解除を、簡易かつ確実に行うことができる。
【0021】
好ましくは、前記ロードポートであって、前記移動規制部が、前記載置部の移動方向と交差する方向に沿って延在する回動軸の周りで回動自在に設けられた回動部と、前記回動部を回動させることによって、前記規制状態と前記解除状態とを切り替える、切り替え部と、を備えることを特徴とする。
【0022】
この構成によると、載置部の移動の規制およびその解除を、簡易な構成で実現することができる。
【0023】
好ましくは、前記ロードポートであって、前記ドア部を前記開口部に向けて押し付けて、前記ドア部に保持されている前記蓋を前記容器本体に取り付ける際に、前記載置部駆動機構が前記載置部を前記ベース部に向けて押し付ける力が、前記ドア部駆動機構が前記ドア部を前記開口部に向けて押し付ける力よりも、小さい、ことを特徴とする。
【0024】
この構成によると、変形の原因となる無理な力がドア部にかかることを十分に回避できる。
【0025】
また、別の態様において、本発明は、基板を格納する格納容器の開閉方法であって、前記格納容器が載置された載置部をベース部に近づく方向に移動させて、前記ベース部における前記載置部に載置された前記格納容器の蓋と対向する位置に設けられた開口部と前記蓋とを近づける、載置部移動工程と、前記開口部を塞いでいるドア部に、前記開口部と対向配置されている前記蓋を保持させる蓋保持工程と、前記ドア部を、これが保持する前記蓋とともに、前記ドア部が前記開口部を塞ぐ閉鎖位置から、前記ドア部が前記開口部を開放する開放位置に移動させる開放工程と、前記ドア部を、これが保持する前記蓋とともに、前記開放位置から前記閉鎖位置に移動させる閉鎖工程と、前記閉鎖工程において、前記ドア部を前記開口部に向けて押し付けて、前記ドア部に保持されている前記蓋を容器本体に取り付ける際に、移動規制部が前記載置部に突き当たって、前記ベース部から離れる方向への前記載置部の移動を規制する、移動規制工程と、を備えることを特徴とする。
【0026】
この構成によると、ドア部に保持されている蓋を容器本体に取り付ける際に、移動規制部が載置部に突き当たることで載置部の移動が規制される。したがって、ドック力を小さくすることが可能となり、変形の原因となる無理な力がドア部にかかることを回避できる。
【発明の効果】
【0027】
本発明によると、変形の原因となる無理な力がドア部にかかることを回避できる。
【図面の簡単な説明】
【0028】
【図1】実施形態に係るロードポートを備えるＥＦＦＭの斜視図。
【図2】ＥＦＦＭの概略構成を示す側面図。
【図3】ロードポートを前方の斜め上から見た図。
【図4】ロードポートを前方から見た図。
【図5】ロードポートを後方から見た図。
【図6】ロードポートを側方から見た図。
【図7】移動規制部の動作概要を説明するための図。
【図8】移動規制部の構成を示す側面図。
【図9】ロードポートの動作の流れを示す図。
【図10】動作状態におけるロードポートを側方から見た図。
【図11】動作状態におけるロードポートを側方から見た図。
【図12】動作状態におけるロードポートを側方から見た図。
【図13】動作状態におけるロードポートを側方から見た図。
【図14】動作状態におけるロードポートを側方から見た図。
【図15】ウインドウユニットの構成を示す斜視図。
【図16】ウインドウユニットに設けられるシール部材を説明するための側面図。
【図17】ロックユニットを説明するための模式図。
【図18】従来例に係るＥＦＥＭを説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【0029】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照しつつ説明する。
【0030】
＜１．ＥＦＦＭの概略構成＞
実施形態に係るロードポートの構成の説明に先立って、ロードポートを備えるＥＦＦＭ（Equipment Front End Module）の概略構成を、図１、図２を参照しながら説明する。図１は、ＥＦＦＭ１００の斜視図である。図２は、ＥＦＦＭ１００の概略構成を示す側面図である。
実施形態に係るロードポートの構成の説明に先立って、ロードポートを備えるＥＦＦＭ（Equipment Front End Module）の概略構成を、図１、図２を参照しながら説明する。図１は、ＥＦＦＭ１００の斜視図である。図２は、ＥＦＦＭ１００の概略構成を示す側面図である。
【0031】
ＥＦＦＭ１００は、半導体の製造工程などにおいて用いられる。ＥＦＦＭ１００は、ロードポート１と搬送部８とを併せたモジュールであり、例えば、一列に配列された複数（図の例では３個）のロードポート１が、搬送部８の一方の端部に接続された構成を備える。ＥＦＥＭ１００は、搬送部８におけるロードポート１が設けられている側の端部と逆の端部において、基板（ここでは例えばウエハ９０）に対する各種の処理を行う処理装置Ｍなどに接続され、処理装置Ｍと格納容器９との間でのウエハ９０の受け渡しを行う。以下においては、搬送部８に対してロードポート１が設けられる側を「前方」とし、処理装置Ｍが設けられる側を「後方」とする。また、前後方向と直交する水平方向（すなわち、複数のロードポート１の配列方向）を「左右方向」とする。
【0032】
格納容器９としては、例えば、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）が用いられる。格納容器９は、具体的には例えば、図２（および図６）に示されるように、一つの側面が開口した容器本体９１と、容器本体９１の開口を塞ぐ蓋９２と、を備える。容器本体９１には、外方に突出する顎部９１１が開口を取り囲んで設けられており、顎部９１１の内側に蓋９２が取り付けられる。蓋９２が取り付けられた状態において、蓋９２の周囲に顎部９１１が当接して、容器本体９１の内部が密閉される。一方、容器本体９１の内部には、ここに収容される基板（ここでは例えばウエハ９０）の周縁を支持する棚あるいは溝（図示省略）が多段に設けられており、複数のウエハ９０を水平姿勢で多段に収容できるように構成されている。また、蓋９２の内向き面には、容器本体９１に収容されているウエハ９０が位置ずれを起こさないように保持するウエハ押さえとしてのリテーナ９２１が設けられており、蓋９２が容器本体９１に押し付けられたときに、リテーナ９２１が弾性変形して、ウエハ９０を押さえ付けるようになっている。また、蓋９２には、これを容器本体９１に固定するためのラッチ（図示省略）が設けられている。
【0033】
ロードポート１は、ウエハ９０を格納する格納容器９の内部を、外部の雰囲気に晒すことなく、搬送部８の内部と連通させるための装置である。ロードポート１は、具体的には、格納容器９の蓋９２を容器本体９１から取り外して、容器本体９１の内部を、搬送部８の内部空間である搬送空間Ｖと連通させる。容器本体９１の内部が搬送空間Ｖと連通した状態となると、搬送空間Ｖに配置されている搬送ロボット８２が、容器本体９１に格納されているウエハ９０（例えば未処理のウエハ９０）を、容器本体９１から取り出して、処理装置Ｍに搬入する。また、搬送ロボット８２は、例えば、処理装置Ｍにて所定の処理を施されたウエハ９０を、処理装置Ｍから搬出して、容器本体９１に格納する。所定枚数のウエハ９０が容器本体９１に格納されると、ロードポート１は、蓋９２を容器本体９１に取り付けて、格納容器９を再び密閉する。ロードポート１の具体的な構成については、後に説明する。
【0034】
搬送部８は、格納容器９に格納されるウエハ９０の搬送を行うための装置であり、搬送チャンバー８１と、その内部に配置された搬送ロボット８２と、を備える。搬送チャンバー８１の前側の壁部８１１には、１個以上（図の例では３個）の開口８１２が形成されており、各開口８１２を塞ぐように、ロードポート１が気密に取り付けられる。また、搬送チャンバー８１の後側の壁部には、処理装置Ｍ（例えば、処理装置Ｍのロードロック室）が例えばゲートバルブを介して気密に接続される。これによって、搬送チャンバー８１の内部空間（搬送空間）Ｖが、略密閉された空間となる。
【0035】
搬送空間Ｖは、外部（すなわち、処理装置Ｍが設置されるクリーンルーム）よりも高い清浄度に維持される。具体的には例えば、搬送チャンバー８１には、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ：Fan Filter Unit）８３が設置され、ファンフィルタユニット８３によって清浄化されたガスが下方に送出されることで、搬送空間Ｖに清浄なガスのダウンフローが形成される。好ましくは、搬送空間Ｖには、ケミカルフィルタ８４、循環ダクト８５、などがさらに設置され、搬送空間Ｖの下部に到達したガス流が、ケミカルフィルタ８４を通過してここで汚染物質などを除去された上で、循環ダクト８５を通じてファンフィルタユニット８３に戻されて、再び下方に送出される（すなわち、気流の循環が形成される）。
【0036】
また、搬送チャンバー８１には、ガス供給口およびガス排出口（いずれも図示省略）が設けられており、ガス供給口を通じて所定のガス（例えば、窒素ガス、乾燥空気、乾燥窒素ガス、など）をパージできるとともに、ガス排出口を通じて搬送空間Ｖのガスを排出できるように構成されている。ガス供給口を通じたガスの供給量およびガス排出口を通じたガスの排出量などを制御することで、搬送空間Ｖの圧力、ガス濃度、などを任意の値に調整することができる。ここでは、ガスの供給量および排出量などが適宜に制御されることで、搬送空間Ｖが、外部（すなわち、処理装置Ｍが設置されるクリーンルーム）に対して、僅かに高い圧力（微陽圧）に維持される。これにより、搬送チャンバー８１の内外を連通させる僅かな隙間が存在する場合であっても、該隙間を通じて外部から搬送空間Ｖに気体が流入することがないように担保される。
【0037】
＜２．ロードポートの構成＞
ロードポート１の構成について、図１、図２に加え、図３～図６を参照しながら具体的に説明する。図３は、ロードポート１を前方の斜め上から見た図である。図４は、ロードポート１を前方から見た図である。図５は、ロードポート１を後方から見た図である。図６は、ロードポート１を側方から見た図である。
ロードポート１の構成について、図１、図２に加え、図３～図６を参照しながら具体的に説明する。図３は、ロードポート１を前方の斜め上から見た図である。図４は、ロードポート１を前方から見た図である。図５は、ロードポート１を後方から見た図である。図６は、ロードポート１を側方から見た図である。
【0038】
ロードポート１は、ベース部１０、載置部２０、載置部駆動機構３０、ドア部４０、ドア部駆動機構５０、および、移動規制部６０を備える。また、ロードポート１は、これら各部１０～６０を制御する制御部７０を備える。
【0039】
（ベース部１０）
ベース部１０は、搬送部８の前側の壁部の一部を構成する板状の部材である（図１）。具体的には、ベース部１０は、搬送チャンバー８１の前側の壁部８１１に形成された開口８１２（図２）よりも一回り大きな平板状の部材（パネル部材）であり、起立姿勢とされて、開口８１２を塞ぐように壁部８１１に取り付けられて、壁部８１１とともに搬送部８の前側の壁部を構成する。ベース部１０の後面には例えばガスケット１０１が配設されており、ベース部１０は、ガスケット１０１を介して壁部８１１に対して気密に取り付けられる。
ベース部１０は、搬送部８の前側の壁部の一部を構成する板状の部材である（図１）。具体的には、ベース部１０は、搬送チャンバー８１の前側の壁部８１１に形成された開口８１２（図２）よりも一回り大きな平板状の部材（パネル部材）であり、起立姿勢とされて、開口８１２を塞ぐように壁部８１１に取り付けられて、壁部８１１とともに搬送部８の前側の壁部を構成する。ベース部１０の後面には例えばガスケット１０１が配設されており、ベース部１０は、ガスケット１０１を介して壁部８１１に対して気密に取り付けられる。
【0040】
ベース部１０の前面には、略水平姿勢で前方に突出するベース基台１１が設けられる。また、ベース基台１１の下方にはカバー１２（図２）が設けられる（説明の便宜上、図３～図６ではカバー１２が取り外された状態が示されている）。また、ベース部１０の面内には、ウエハ９０を通過させるための開口部１３が設けられるとともに、開口部１３を取り囲むように、窓枠状のウインドウユニット１４が取り付けられる。別の言い方をすると、ウインドウユニット１４の枠によって、開口部１３の周縁が規定される。開口部１３は、ベース基台１１上に設けられる載置部２０に載置された格納容器９の蓋９２と対向する位置に、形成される。開口部１３の大きさ（すなわち、ウインドウユニット１４の枠内の大きさ）は、格納容器９の蓋９２よりも僅かに大きいサイズとされており、蓋９２が開口部１３を通過できるように構成される。また、ベース部１０の面内には、開口部１３よりも下の位置に、後述する支持フレーム５１を挿通させるためのスリット１５が上下に延在して設けられる。さらに、ベース部１０の前面には、キャスターなどを含んで構成される脚部１６が前方に突出して設けられており、この脚部１６が床面に当接してベース部１０を支持する。
【0041】
（載置部２０）
載置部２０は、平板状の部材であり、水平姿勢とされて、ベース部１０の前方に突出して設けられたベース基台１１上に、配設される。載置部２０には、格納容器９が載置される。すなわち、載置部２０の上面は、格納容器９が載置される載置面２０１を形成する。格納容器９は、蓋９２がベース部１０と対向するような向きで、載置面２０１に載置される。
載置部２０は、平板状の部材であり、水平姿勢とされて、ベース部１０の前方に突出して設けられたベース基台１１上に、配設される。載置部２０には、格納容器９が載置される。すなわち、載置部２０の上面は、格納容器９が載置される載置面２０１を形成する。格納容器９は、蓋９２がベース部１０と対向するような向きで、載置面２０１に載置される。
【0042】
載置面２０１には、格納容器９の底面に設けられた凹部と係合して格納容器９を所定の位置に案内して位置決めする位置決めピン（ガイドピン）２１が設けられる。また、載置面２０１には、格納容器９の底面に設けられた被固定部（例えば、フロントリテイニングフィーチャ）に引っ掛かることで格納容器９を該所定の位置に固定するロック部２２が設けられる。
【0043】
また、載置面２０１には、１以上のガスノズル２３が設けられる。各ガスノズル２３は、格納容器９の底面に設けられたガス供給弁を通じて格納容器９の内部に所定のガス（例えば、窒素ガス、不活性ガス、ドライエア、など）を供給するためガス供給ノズルとして用いられてもよいし、格納容器９の底面に設けられたガス排出弁などを通じて格納容器９の内部のガスを排出するガス排出ノズルとして用いられてもよい。例えば、載置面２０１の四隅にガスノズル２３が設けられる場合、前方側の一対のガスノズル２３をガス供給ノズルとして用いるとともに、後方側の一対のガスノズル２３をガス排出ノズルとして用いてもよい。各ガスノズル２３は、不使用の際は載置面２０１よりも下方に配置されており、使用の際に上方に移動されて格納容器９のガス供給弁あるいはガス排出弁と連結される。ガス供給ノズルとしてのガスノズル２３からガス供給弁を通じて格納容器９内に所定のガス（例えば、窒素ガス、乾燥空気、乾燥窒素ガス、など）をパージするとともに、ガス排出ノズルとしてのガスノズル２３からガス排出弁を通じて格納容器９内のガスを排出することで、格納容器９の内部を所定のガスに置換することができる。また、ガスの供給量およびガスの排出量を制御することで、格納容器９の内部の圧力などを任意の値に調整することができる。好ましくは、ガスの供給量および排出量が適宜に制御されることで、格納容器９の内部が、外部（例えば、処理装置Ｍが設置されるクリーンルーム、および、搬送部８の搬送空間Ｖ）に対して、僅かに高い圧力とされる。これにより、格納容器９の蓋９２が開かれた際に、容器本体９１の内部に気体が流入しにくくなる。
【0044】
（載置部駆動機構３０）
載置部駆動機構３０は、載置部２０を、水平姿勢のままで、ベース部１０に対して近接離間する方向（前後方向）に移動させることによって、載置部２０を、離間位置Ｂ１（図６において実線で示される位置）とドック位置Ｂ２（図６において一点鎖線で示される位置）との間で移動させる。ここで、「離間位置Ｂ１」は、載置部２０がベース部１０から所定距離だけ離間するような位置であり、ＡＭＨＳ、ＰＧＶ、などの外部ロボットが載置部２０に対して格納容器９の授受を行うための位置である。一方、「ドック位置Ｂ２」は、離間位置Ｂ１よりもベース部１０に近い位置であり、具体的には例えば、載置部２０に載置された格納容器９の顎部９１１が、ベース部１０（具体的にはウインドウユニット１４）と当接するような位置である。
載置部駆動機構３０は、載置部２０を、水平姿勢のままで、ベース部１０に対して近接離間する方向（前後方向）に移動させることによって、載置部２０を、離間位置Ｂ１（図６において実線で示される位置）とドック位置Ｂ２（図６において一点鎖線で示される位置）との間で移動させる。ここで、「離間位置Ｂ１」は、載置部２０がベース部１０から所定距離だけ離間するような位置であり、ＡＭＨＳ、ＰＧＶ、などの外部ロボットが載置部２０に対して格納容器９の授受を行うための位置である。一方、「ドック位置Ｂ２」は、離間位置Ｂ１よりもベース部１０に近い位置であり、具体的には例えば、載置部２０に載置された格納容器９の顎部９１１が、ベース部１０（具体的にはウインドウユニット１４）と当接するような位置である。
【0045】
載置部駆動機構３０は、具体的には例えば、水平面内において前後に延在するような姿勢で設けられたロッド（シリンダロッド）３１と、ロッド３１をその延在方向に沿って進退させる駆動部としてのシリンダ（エアシリンダ）３２と、ロッド３１と載置部２０とを接続する接続部３３と、を含んで構成される。エアシリンダ３２は、例えばソレノイド弁（ソレノイドバルブ）の開閉によって空気圧を制御して、空気圧でロッド３１を進退させる。ロッド３１およびエアシリンダ３２はベース基台１１内に配設される。一方、接続部３３は、ベース基台１１の上面に設けられた前後に延在するスリット１１１を挿通して設けられており、ベース基台１１の下方に突出した下端においてロッド３１と接続されるとともに、ベース基台１１の上方に突出した上端において載置部２０の下面に接続される。このような構成において、エアシリンダ３２の駆動を受けて、ロッド３１が前後に進退すると、接続部３３を介してロッド３１と接続された載置部２０が、ベース基台１１に設けられたリニアガイド（図示省略）に案内されて、水平面内において前後に移動する。
【0046】
（ドア部４０）
ドア部４０は、ベース部１０に形成された開口部１３を開閉するための部材であり、ベース部１０の後面側（すなわち、ベース部１０を挟んで載置部２０と逆の側）に設けられる。ドア部４０は、開口部１３よりも一回り大きな平板状の部材により構成されており、後述する閉鎖位置Ｄ１（図６において実線で示される位置）に配置されることによって、開口部１３の全体を塞ぐ。このとき、ドア部４０の前面の外周部分が、ベース部１０（具体的にはウインドウユニット１４）の後面と当接（あるいは、シール部材などを介して密接）することで、搬送空間Ｖが密閉される。一方、ドア部４０が、後述する開放位置Ｄ２（図６において一点鎖線で示される位置）に配置されると、開口部１３の全体が開放される。
ドア部４０は、ベース部１０に形成された開口部１３を開閉するための部材であり、ベース部１０の後面側（すなわち、ベース部１０を挟んで載置部２０と逆の側）に設けられる。ドア部４０は、開口部１３よりも一回り大きな平板状の部材により構成されており、後述する閉鎖位置Ｄ１（図６において実線で示される位置）に配置されることによって、開口部１３の全体を塞ぐ。このとき、ドア部４０の前面の外周部分が、ベース部１０（具体的にはウインドウユニット１４）の後面と当接（あるいは、シール部材などを介して密接）することで、搬送空間Ｖが密閉される。一方、ドア部４０が、後述する開放位置Ｄ２（図６において一点鎖線で示される位置）に配置されると、開口部１３の全体が開放される。
【0047】
ドア部４０には、蓋保持機構４１が設けられる。蓋保持機構４１は、ドア部４０が開口部１３を塞いでいる状態において、開口部１３と対向配置されている蓋９２とドア部４０とを連結して一体化させることによって、ドア部４０に蓋９２を保持させる。また、蓋保持機構４１は、容器本体９１と蓋９２との間のラッチがけ、および、その解除を行う。
【0048】
（ドア部駆動機構５０）
ドア部駆動機構５０は、ドア部４０を、閉鎖位置Ｄ１と開放位置Ｄ２との間で移動させる。ここで、「閉鎖位置Ｄ１」は、ドア部４０が開口部１３を全体的に塞ぐ位置である。一方、「開放位置Ｄ２」は、ドア部４０が開口部１３を全体的に開放する位置であり、具体的には、ドア部４０が開口部１３の下方に退避して、開口部１３と完全に重ならないような位置である。
ドア部駆動機構５０は、ドア部４０を、閉鎖位置Ｄ１と開放位置Ｄ２との間で移動させる。ここで、「閉鎖位置Ｄ１」は、ドア部４０が開口部１３を全体的に塞ぐ位置である。一方、「開放位置Ｄ２」は、ドア部４０が開口部１３を全体的に開放する位置であり、具体的には、ドア部４０が開口部１３の下方に退避して、開口部１３と完全に重ならないような位置である。
【0049】
ドア部駆動機構５０は、具体的には例えば、ドア部４０を支持する支持フレーム５１と、支持フレーム５１を支持する昇降ブロック５２と、を備える。支持フレーム５１は、一方の端部においてドア部４０（例えば、ドア部４０の後面の下側部分）と連結され、該端部から下方に延在し、途中で前方に折れ曲がって、略水平に延在しつつ、ベース部１０に設けられたスリット１５を通過し、他方の端部が、ベース部１０の前方において昇降ブロック５２に接続される。支持フレーム５１と昇降ブロック５２の間には、支持フレーム５１を前後に移動自在に支持するスライド支持部５１１が設けられており、支持フレーム５１は昇降ブロック５２に対して前後に移動自在に支持される。また、昇降ブロック５２とベース部１０の間には、昇降ブロック５２を昇降動自在に支持するスライドレール５２１が設けられており、昇降ブロック５２はベース部１０に対して昇降自在に支持される。
【0050】
ドア部駆動機構５０には、駆動源（例えば、駆動源としてのステッピングモータ）、駆動源から与えられる動力を昇降ブロック５２の昇降動作に変換する直動機構、該動力を支持フレーム５１の前後移動動作に変換する直動機構、これら２つの直動機構をリンクさせるリンク機構、などがさらに含まれている（いずれも図示省略）。各直動機構は、例えば送りネジなどを含んで構成することができる。例えば、閉鎖位置Ｄ１にあるドア部４０を開放位置Ｄ２まで移動させるにあたっては、駆動源からの動力が、支持フレーム５１側の直動機構に伝達された後、リンク機構を通じて昇降ブロック４２側の直動機構に伝達される。これにより、閉鎖位置Ｄ１にあるドア部４０が、後方に移動されてまずは動作変換位置Ｄｔ（図６において二点鎖線で示される位置）に配置され、そこから下方に移動されて開放位置Ｄ２に配置される。一方、開放位置Ｄ２にあるドア部４０を閉鎖位置Ｄ１まで移動させるにあたっては、駆動源からの動力が、昇降ブロック４２側の直動機構に伝達された後、リンク機構を通じて支持フレーム５１側の直動機構に伝達される。これにより、開放位置Ｄ２にあるドア部４０が、上方に移動されてまずは動作変換位置Ｄｔに配置され、そこから前方に移動されて閉鎖位置Ｄ１に配置される。
【0051】
なお、ベース部１０の前面には、筐体５０１がベース部１０に対して気密に接続されて設けられており、ドア部駆動機構５０が備える要素のうち、ベース部１０の前面側に配置されるものは、この筐体５０１に収容される。これによって、スリット１５を通じて筐体５０１に流入したガスが筐体５０１の外部に流出することが防止される。また、ドア部駆動機構５０が備える要素のうち、摺動箇所が存在するスライド支持部５１１やスライドレール５２１が、ベース部１０の前面側（すなわち、搬送空間Ｖの外側）に設けられて筐体５０１内に収容されるとともに、筐体５０１と搬送空間Ｖとの連通部分が細いスリット１５により形成されることによって、摺動箇所で発生したパーティクルなどが搬送空間Ｖへ進入することが抑制される。
【0052】
（移動規制部６０）
移動規制部６０は、格納容器９の蓋９２を容器本体９１に取り付ける際、具体的には、ドア部４０を開口部１３に向けて押し付けて、ドア部４０に保持されている蓋９２を容器本体９１に取り付ける際に、載置部２０に突き当たって、ベース部１０から離れる方向（前方）への載置部２０の移動を規制する。この実施形態では、ベース基台１１の左右方向の略中心の位置に１個の移動規制部６０が設けられ（図３）、この移動規制部６０が、平面視にて、載置部２０の移動方向（前後方向）と直交する方向（左右方向）について、載置部２０の中央の位置において、載置部２０に突き当たって、その移動を規制する。移動規制部６０の具体的な構成については、後に説明する。
移動規制部６０は、格納容器９の蓋９２を容器本体９１に取り付ける際、具体的には、ドア部４０を開口部１３に向けて押し付けて、ドア部４０に保持されている蓋９２を容器本体９１に取り付ける際に、載置部２０に突き当たって、ベース部１０から離れる方向（前方）への載置部２０の移動を規制する。この実施形態では、ベース基台１１の左右方向の略中心の位置に１個の移動規制部６０が設けられ（図３）、この移動規制部６０が、平面視にて、載置部２０の移動方向（前後方向）と直交する方向（左右方向）について、載置部２０の中央の位置において、載置部２０に突き当たって、その移動を規制する。移動規制部６０の具体的な構成については、後に説明する。
【0053】
（制御部７０）
制御部７０は、ロードポート１が備える各部１０～６０の動作を制御するとともに、各種の演算処理を行う要素であり、例えば、電気回路を有する一般的なコンピュータ、あるいは、マイクロコンピュータ、などによって構成される。制御部７０は、具体的には例えば、データ処理を担う中央演算装置としてのＣＰＵ（Central Processor Unit）といったプロセッサ、基本プログラムなどが格納されるＲＯＭ（Read Only Memory）、ＣＰＵが所定の処理（データ処理）を行う際の作業領域として用いられるＲＡＭ（Random Access Memory）、フラッシュメモリ、ハードディスク装置、などの不揮発性記憶装置によって構成される記憶装置、これらを相互に接続するバスライン、などを含んで構成される。制御部７０は、例えば、記憶装置に格納されたプログラムをＣＰＵが実行することによって、該プログラムによって規定された処理を実行する。もっとも、制御部７０が実行する処理の一部または全部が、専用の論理回路などのハードウェア（例えば、専用プロセッサ）によって実行されてもよい。
制御部７０は、ロードポート１が備える各部１０～６０の動作を制御するとともに、各種の演算処理を行う要素であり、例えば、電気回路を有する一般的なコンピュータ、あるいは、マイクロコンピュータ、などによって構成される。制御部７０は、具体的には例えば、データ処理を担う中央演算装置としてのＣＰＵ（Central Processor Unit）といったプロセッサ、基本プログラムなどが格納されるＲＯＭ（Read Only Memory）、ＣＰＵが所定の処理（データ処理）を行う際の作業領域として用いられるＲＡＭ（Random Access Memory）、フラッシュメモリ、ハードディスク装置、などの不揮発性記憶装置によって構成される記憶装置、これらを相互に接続するバスライン、などを含んで構成される。制御部７０は、例えば、記憶装置に格納されたプログラムをＣＰＵが実行することによって、該プログラムによって規定された処理を実行する。もっとも、制御部７０が実行する処理の一部または全部が、専用の論理回路などのハードウェア（例えば、専用プロセッサ）によって実行されてもよい。
【0054】
ロードポート１には、適宜の位置に各種のセンサ（例えば、載置部２０に格納容器９が載置されたことを検知するセンサ、載置部２０がドック位置Ｂ２に配置されたことを検知するセンサ、ドア部４０が閉鎖位置Ｄ１に配置されたことを検知するセンサ、など）が設けられる。制御部７０は、ロードポート１に設けられた各センサと電気的に接続され、各センサから取得した検知情報に基づいて、各部１０～６０（例えば、載置部２０に設けられたロック部２２およびガスノズル２３、載置部駆動機構３０、ドア部４０に設けられた蓋保持機構４１、ドア部駆動機構５０、移動規制部６０が備えるソレノイド６３３ｂ（後述する）、など）の動作を制御する。
【0055】
【0056】
移動規制部６０は、載置部２０に突き当たってベース部１０から離れる方向（前方）への載置部２０の移動を規制する規制状態Ｋ１と、載置部２０の移動を規制しない解除状態Ｋ２との間で切り替えることができるように構成される。
【0057】
例えば、格納容器９が載置された載置部２０が、離間位置Ｂ１（アンドック位置）からドック位置Ｂ２に移動される際、移動規制部６０は解除状態Ｋ２とされており、載置部２０の移動を規制しない（図７（ａ））。
【0058】
一方、載置部２０がドック位置Ｂ２に配置された状態において、移動規制部６０は、解除状態Ｋ２から規制状態Ｋ１に切り替わっている（図７（ｂ））。後述するように、載置部２０がドック位置Ｂ２に配置された状態において、ドア部４０が格納容器９の蓋９２を保持し、蓋９２を保持したドア部４０が閉鎖位置Ｄ１から開放位置Ｄ２に移動されることによって、格納容器９が開かれる。
【0059】
その後、後述するように、蓋９２を保持したドア部４０が開放位置Ｄ２から閉鎖位置Ｄ１に移動されて、蓋９２が容器本体９１に取り付けられることで、格納容器９が閉鎖される。蓋９２を容器本体９１に取り付けるにあたっては、蓋９２を保持するドア部４０が、開口部１３に向けて（すなわち、載置部２０に載置されている容器本体９１に向けて）所定のドア閉力Ｆ１で押し付けられる。このとき、規制状態Ｋ１とされている移動規制部６０が、載置部２０に突き当たって、ベース部１０から離れる方向への載置部２０の移動を規制する（図７（ｃ））。すなわち、移動規制部６０が、格納容器９を介してドア閉力Ｆ１で押される載置部２０が後退することがないように、載置部２０の荷重（ドア閉力Ｆ１と、載置部２０をベース部１０に向けて押し付けるドック力Ｆ２との差に相当する荷重）を受け止める、アンチバック機構として機能する。
【0060】
その後、移動規制部６０が、規制状態Ｋ１から解除状態Ｋ２に切り替えられた上で、載置部２０が、ドック位置Ｂ２から離間位置Ｂ１に移動される。
【0061】
【0062】
移動規制部６０は、基体部６１と、回動部６２と、切り替え部６３と、を備える。
【0063】
基体部６１は、回動部６２を回動自在に支持する部材であり、ベース基台１１の所定位置（例えば、ベース基台１１に設けられた凹部内）にビスなどを用いて固定される平板状の底板６１１と、その左右の各端縁から立ち上がる支持片６１２と、を備える。一対の支持片６１２，６１２の間に、回動部６２の回動軸６２１が回動自在に架け渡されることによって、回動部６２が基体部６１に対して回動自在に支持される。
【0064】
回動部６２は、前後方向に延在する長尺な部材であり、前後の略中心に、左右に貫通する回動軸６２１が設けられる。上記のとおり、この回動軸６２１が、基体部６１の一対の支持片６１２，６１２の間に回動自在に架け渡されることによって、回動部６２が基体部６１に対して回動軸６２１の周りで回動自在に支持される。ただし、回動部６２は、回動軸６２１が、左右方向（すなわち、載置部２０の移動方向である前後方向と交差（ここでは、直交）する方向である左右方向）に沿って延在するような姿勢で、配設される。
【0065】
回動部６２における回動軸６２１よりも前側の部分には、基体部６１の側に突出する当接部６２２が設けられる。また、回動部６２における回動軸６２１よりも後側の部分には、左右に対向する一対のローラ支持片６２３，６２３が、基体部６１とは逆側に突出して設けられる。一対のローラ支持片６２３，６２３の間には、ローラ６２４が回動自在に支持される。すなわち、ローラ６２４は、その回動軸６２４１が、一対のローラ支持片６２３，６２３の間に回動自在に架け渡されることによって、回動部６２に対して回動自在に支持される。ただし、ローラ６２４は、回動軸６２４１が、左右方向に沿って（すなわち、回動部６２の回動軸６２１の延在方向と平行に）延在するような姿勢で、配設される。
【0066】
切り替え部６３は、回動部６２を回動軸６２１の周りで回動させることによって、規制状態Ｋ１（図８において実線で示される姿勢）と、解除状態Ｋ２（図８において一点鎖線で示される姿勢）とを切り替える。切り替え部６３は、具体的には例えば、弾性部材６３１と、ストッパ６３２と、押圧部６３３と、を含んで構成される。
【0067】
弾性部材６３１は、回動軸６２１よりも後側の位置において、回動部６２と基体部６１の間に設けられる。弾性部材６３１は、例えばバネにより構成されており、縮短状態とされて、上端が回動部６２に、下端が基体部６１（具体的には底板６１１）に、それぞれ接続される。したがって、弾性部材６３１は、回動部６２における回動軸６２１よりも後側の位置を、基体部６１から離れる方向に付勢する。いま、回動軸６２１の周りでこれよりも後側の位置が基体部６１から離れるような回動方向を「第１回動方向Ｒ１」とすると、弾性部材６３１は、回動部６２を、第１回動方向Ｒ１に付勢することになる。
【0068】
ストッパ６３２は、基体部６１（具体的には底板６１１）に立設された棒状の部材であり、回動部６２の当接部６２２と対向するような位置に設けられる。ストッパ６３２は、回動部６２の第１回動方向Ｒ１への回動を規制する。
【0069】
押圧部６３３は、回動軸６２１よりも前側の位置において、回動部６２と基体部６１の間に設けられる。押圧部６３３は、具体的には例えば、基体部６１（具体的には底板６１１）の法線方向に延在するような姿勢で設けられたロッド（シリンダロッド）６３３ａと、ロッド６３３ａをその延在方向に沿って進退させる駆動部としてのソレノイド（直動型ソレノイド）６３３ｂと、を含んで構成される。ソレノイド６３３ｂは、制御部７０と電気的に接続されており、制御部７０からの指示に応じてロッド６３３ａを駆動する。ソレノイド６３３ｂの駆動を受けて、ロッド６３３ａが上昇（基体部６１から離れる方向に移動）すると、ロッド６３３ａの先端が当接部６２２に当接してこれを押し上げる。すなわち、押圧部６３３は、回動部６２における回動軸６２１よりも前側の位置を、基体部６１から離れる方向に押圧する。これによって、回動部６２は、第１回動方向Ｒ１と逆の回動方向（以下「第２回動方向Ｒ２」という）に回動する。
【0070】
例えば、ストッパ６３２と当接部６２２とが離間している状態（図８において一点鎖線で示される状態）から、弾性部材６３１に付勢されることによって回動部６２が第１回動方向Ｒ１に回動した場合、回動が進んでストッパ６３２が当接部６２２に当接することで、回動部６２の回動が停止される（図８において実線で示される状態）。回動部６２が、当接部６２２においてストッパ６３２と当接するような回動姿勢にあるとき、ローラ６２４が、載置部２０の少なくとも一部と重なる高さに配置される。別の言い方をすると、ローラ６２４の上端が、載置部２０の前端面２４の下端よりも上方に配置される。回動部６２がこのような回動姿勢にあるとき、載置部２０が前方に移動しようとしても、その前端面２４に回動部６２のローラ６２４が突き当たると、それ以上は移動することができない。つまり、回動部６２がこのような回動姿勢にあるとき、移動規制部６０は、載置部２０の前端面２４に突き当たって載置部２０の移動を規制する規制状態Ｋ１となる。
【0071】
一方、移動規制部６０が規制状態Ｋ１となっている状態（図８において実線で示される状態）において、回動部６２の当接部６２２がロッド６３３ａによって押し上げられて、回動部６２が第２回動方向Ｒ２に回動すると、回動が進むにつれてローラ６２４が下降し、回動角度がある角度を超えると、ローラ６２４は、載置部２０と重ならない高さに配置される（図８において一点鎖線で示される状態）。別の言い方をすると、ローラ６２４の上端が、載置部２０の前端面２４の下端と同じ高さかそれよりも下方に配置される。回動部６２がこのような回動姿勢にあるとき、載置部２０は、回動部６２に妨げられることなく前後に移動することができる。つまり、回動部６２がこのような回動姿勢にあるとき、移動規制部６０は、載置部２０の移動を規制しない解除状態Ｋ２となる。
【0072】
このように、移動規制部６０は、弾性部材６３１に付勢されて回動部６２が第１回動方向Ｒ１に回動することによって、解除状態Ｋ２から規制状態Ｋ１へと切り替わり、押圧部６３３に押圧されて回動部６２が第２回動方向Ｒ２に回動することによって、規制状態Ｋ１から解除状態Ｋ２へと切り替わる。
【0073】
＜５．ロードポートの動作＞
ロードポート１の動作について、図９、および、図１０～図１４を参照しながら具体的に説明する。図９は、ロードポート１の動作の流れを示す図である。図１０～図１４には、各動作状態におけるロードポート１の側面図と、該ロードポート１における移動規制部６０を拡大して示す側面図と、が示されている。以下に説明する一連の処理は、制御部７０が、ロードポート１が備える各部１０～６０（具体的には、載置部２０に設けられたロック部２２およびガスノズル２３、載置部駆動機構３０、ドア部４０に設けられた蓋保持機構４１、ドア部駆動機構５０、移動規制部６０が備えるソレノイド６３３ｂ、など）を制御することによって行われる。
ロードポート１の動作について、図９、および、図１０～図１４を参照しながら具体的に説明する。図９は、ロードポート１の動作の流れを示す図である。図１０～図１４には、各動作状態におけるロードポート１の側面図と、該ロードポート１における移動規制部６０を拡大して示す側面図と、が示されている。以下に説明する一連の処理は、制御部７０が、ロードポート１が備える各部１０～６０（具体的には、載置部２０に設けられたロック部２２およびガスノズル２３、載置部駆動機構３０、ドア部４０に設けられた蓋保持機構４１、ドア部駆動機構５０、移動規制部６０が備えるソレノイド６３３ｂ、など）を制御することによって行われる。
【0074】
ステップＳ１：格納容器搬入工程
まず、載置部２０が離間位置Ｂ１に配置されるとともに、ドア部４０が閉鎖位置Ｄ１に配置されている状態において、格納容器９（例えば、未処理のウエハ９０を格納した格納容器９）が、ＡＭＨＳ、ＰＧＶ、などの外部ロボットによって搬送されてきて、載置部２０上に載置される（図１０（ａ））。載置部２０に載置された格納容器９は、載置部２０上に設けられた位置決めピン２１によって案内されて所定の位置に位置決めされる。また、格納容器９の底面に設けられた被固定部に、載置部２０上に設けられたロック部２２が引っ掛かることで、格納容器９が、該所定の位置において、載置部２０に対して固定される。その後、必要に応じて、ガスノズル２３からガス供給弁を通じて格納容器９内に所定のガスがパージされるとともに、別のガスノズル２３からガス排出弁を通じて格納容器９内のガスが排出されて、格納容器９の内部が所定のガスに置換されるとともに、格納容器９の内部の圧力が所定の値に調整される。
まず、載置部２０が離間位置Ｂ１に配置されるとともに、ドア部４０が閉鎖位置Ｄ１に配置されている状態において、格納容器９（例えば、未処理のウエハ９０を格納した格納容器９）が、ＡＭＨＳ、ＰＧＶ、などの外部ロボットによって搬送されてきて、載置部２０上に載置される（図１０（ａ））。載置部２０に載置された格納容器９は、載置部２０上に設けられた位置決めピン２１によって案内されて所定の位置に位置決めされる。また、格納容器９の底面に設けられた被固定部に、載置部２０上に設けられたロック部２２が引っ掛かることで、格納容器９が、該所定の位置において、載置部２０に対して固定される。その後、必要に応じて、ガスノズル２３からガス供給弁を通じて格納容器９内に所定のガスがパージされるとともに、別のガスノズル２３からガス排出弁を通じて格納容器９内のガスが排出されて、格納容器９の内部が所定のガスに置換されるとともに、格納容器９の内部の圧力が所定の値に調整される。
【0075】
載置部２０が離間位置Ｂ１に配置されている状態において、移動規制部６０は、平面視にて載置部２０と重なる位置にあり、回動部６２が弾性部材６３１によって第１回動方向Ｒ１に付勢されることで、ローラ６２４が載置部２０の下面に突き当たった状態となっている（図１０（ｂ））。すなわち、移動規制部６０は、ローラ６２４の上端が載置部２０の下端面と同じ高さにあって、載置部２０の移動を妨げない解除状態Ｋ２となっている。
【0076】
ステップＳ２：載置部移動工程
格納容器９が載置部２０に載置されると、載置部駆動機構３０が、載置部２０を離間位置Ｂ１からドック位置Ｂ２に移動させる（図１１（ａ））。すなわち、載置部駆動機構３０が、載置部２０をベース部１０に近づく方向（後方）に移動させて、ベース部１０に設けられた開口部１３（ひいては、これを塞いでいるドア部４０）と蓋９２とを近づける。載置部２０がドック位置Ｂ２に配置された状態において、載置部２０に載置されている格納容器９の顎部９１１が、ベース部１０（具体的にはウインドウユニット１４）と当接する（ドッキング）。
格納容器９が載置部２０に載置されると、載置部駆動機構３０が、載置部２０を離間位置Ｂ１からドック位置Ｂ２に移動させる（図１１（ａ））。すなわち、載置部駆動機構３０が、載置部２０をベース部１０に近づく方向（後方）に移動させて、ベース部１０に設けられた開口部１３（ひいては、これを塞いでいるドア部４０）と蓋９２とを近づける。載置部２０がドック位置Ｂ２に配置された状態において、載置部２０に載置されている格納容器９の顎部９１１が、ベース部１０（具体的にはウインドウユニット１４）と当接する（ドッキング）。
【0077】
ここで、ステップＳ２の動作が行われる際の移動規制部６０の状態について説明する。載置部駆動機構３０が、離間位置Ｂ１に配置されている載置部２０を後方に移動開始させてからしばらくの間は、載置部２０の前端面２４は、依然として移動規制部６０のローラ６２４よりも前方にある（図１１（ｂ）において一点鎖線で示される状態）。このような状態において、移動規制部６０は、解除状態Ｋ２となっており、載置部２０が後方に移動すると、ローラ６２４が載置部２０の下面に突き当たりながら転動して、載置部２０に対して相対的に前方に移動する。したがって、載置部２０の移動が移動規制部６０によって妨げられることがない。
【0078】
載置部２０の後方への移動が進んで、載置部２０の前端面２４がローラ６２４の位置に到達すると（図１１（ｂ）において二点鎖線で示される状態）、それ以後はローラ６２４を上から押さえていた載置部２０の下面がなくなるため、回動部６２は弾性部材６３１の付勢力によって第１回動方向Ｒ１に回動する。この回動は、ストッパ６３２が当接部６２２に当接することで停止される。これによって、回動部６２は、ローラ６２４の上端が、載置部２０の前端面２４の下端よりも上方に配置された姿勢となる（図１１（ｂ）において実線で示される状態）。すなわち、移動規制部６０は、載置部２０の移動を規制することができる規制状態Ｋ１となる。つまり、載置部２０の前端面２４がローラ６２４の位置に到達すると、弾性部材６３１に付勢されることによって回動部６２が第１回動方向Ｒ１に回動して、移動規制部６０は、解除状態Ｋ２から規制状態Ｋ１に切り替わる。
【0079】
その後、載置部２０は、さらに僅かな距離だけ後方に移動されて、ドック位置Ｂ２に配置される（図１１（ｂ）において実線で示される状態）。移動規制部６０が規制状態Ｋ１に切り替わった後、載置部２０がさらに僅かな距離だけ後方に移動してドック位置Ｂ２に配置されるので、ドック位置Ｂ２に配置された載置部２０の前端面２４とローラ６２４との間には、僅かな隙間Ｇが設けられることになる。つまり、移動規制部６０は、ドック位置Ｂ２に配置されている載置部２０よりも前方の位置（より具体的には、ローラ６２４が、ドック位置Ｂ２に配置されている載置部２０の前端面２４との間に僅かな隙間Ｇを設けつつ、前端面２４よりも前方に配置されるような位置）に、設けられる。
【0080】
ステップＳ３：蓋保持工程
載置部２０がドック位置Ｂ２に配置されると、続いて、蓋保持機構４１が、ドア部４０に蓋９２を保持させる。すなわち、載置部２０がドック位置Ｂ２に配置されて、載置部２０に載置された格納容器９の顎部９１１がウインドウユニット１４と当接している状態において、該格納容器９の蓋９２が、開口部１３を塞いでいる（すなわち、閉鎖位置Ｄ１に配置されている）ドア部４０と、当接あるいは十分に近接（少なくとも、蓋保持機構４１が、ドア部４０に蓋９２を保持させることができる程度に近接）した状態となるところ、このような状態において、蓋保持機構４１が、蓋９２とドア部４０とを連結して一体化させることによって、ドア部４０に蓋９２を保持させる。また、蓋保持機構４１は、格納容器９の容器本体９１と蓋９２との間のラッチを解除する。
載置部２０がドック位置Ｂ２に配置されると、続いて、蓋保持機構４１が、ドア部４０に蓋９２を保持させる。すなわち、載置部２０がドック位置Ｂ２に配置されて、載置部２０に載置された格納容器９の顎部９１１がウインドウユニット１４と当接している状態において、該格納容器９の蓋９２が、開口部１３を塞いでいる（すなわち、閉鎖位置Ｄ１に配置されている）ドア部４０と、当接あるいは十分に近接（少なくとも、蓋保持機構４１が、ドア部４０に蓋９２を保持させることができる程度に近接）した状態となるところ、このような状態において、蓋保持機構４１が、蓋９２とドア部４０とを連結して一体化させることによって、ドア部４０に蓋９２を保持させる。また、蓋保持機構４１は、格納容器９の容器本体９１と蓋９２との間のラッチを解除する。
【0081】
ステップＳ４：開放工程
続いて、ドア部駆動機構５０が、ドア部４０を、これが保持している蓋９２とともに、閉鎖位置Ｄ１から開放位置Ｄ２に移動させる（図１２（ａ））。具体的には、ドア部駆動機構５０は、閉鎖位置Ｄ１にあるドア部４０を後方に移動させて動作変換位置Ｄｔに配置し、そこから下降させて開放位置Ｄ２まで移動させる。これによって、開口部１３が開放され、容器本体９１の内部が、開口部１３を介して、搬送空間Ｖと連通する。このような状態が形成されると、搬送空間Ｖに配置されている搬送ロボット８２が、容器本体９１に格納されているウエハ９０を取り出して、処理装置Ｍに搬入する。また、搬送ロボット８２は、処理装置Ｍで所定の処理を施されたウエハ９０を、処理装置Ｍから搬出して、容器本体９１に格納する。
続いて、ドア部駆動機構５０が、ドア部４０を、これが保持している蓋９２とともに、閉鎖位置Ｄ１から開放位置Ｄ２に移動させる（図１２（ａ））。具体的には、ドア部駆動機構５０は、閉鎖位置Ｄ１にあるドア部４０を後方に移動させて動作変換位置Ｄｔに配置し、そこから下降させて開放位置Ｄ２まで移動させる。これによって、開口部１３が開放され、容器本体９１の内部が、開口部１３を介して、搬送空間Ｖと連通する。このような状態が形成されると、搬送空間Ｖに配置されている搬送ロボット８２が、容器本体９１に格納されているウエハ９０を取り出して、処理装置Ｍに搬入する。また、搬送ロボット８２は、処理装置Ｍで所定の処理を施されたウエハ９０を、処理装置Ｍから搬出して、容器本体９１に格納する。
【0082】
ステップＳ５：閉鎖工程
容器本体９１に所定枚数のウエハ９０が格納されるなどすると、ドア部駆動機構５０が、ドア部４０を、これが保持している蓋９２とともに、開放位置Ｄ２から閉鎖位置Ｄ１に移動させる（図１３（ａ））。具体的には、ドア部駆動機構５０は、開放位置Ｄ２にあるドア部４０を上昇させて動作変換位置Ｄｔに配置し、そこから前方に移動させて閉鎖位置Ｄ１まで移動させる。ドア部４０が前方に移動される際に、ドア部４０が開口部１３に向けて押し付けられる。これによって、蓋９２の内向き面に設けられているリテーナ９２１（図６）が弾性変形しつつウエハ９０を押さえ込みながら、ドア部４０に保持されている蓋９２が容器本体９１に取り付けられる。
容器本体９１に所定枚数のウエハ９０が格納されるなどすると、ドア部駆動機構５０が、ドア部４０を、これが保持している蓋９２とともに、開放位置Ｄ２から閉鎖位置Ｄ１に移動させる（図１３（ａ））。具体的には、ドア部駆動機構５０は、開放位置Ｄ２にあるドア部４０を上昇させて動作変換位置Ｄｔに配置し、そこから前方に移動させて閉鎖位置Ｄ１まで移動させる。ドア部４０が前方に移動される際に、ドア部４０が開口部１３に向けて押し付けられる。これによって、蓋９２の内向き面に設けられているリテーナ９２１（図６）が弾性変形しつつウエハ９０を押さえ込みながら、ドア部４０に保持されている蓋９２が容器本体９１に取り付けられる。
【0083】
ここで、容器本体９１に蓋９２を取り付ける際に、ドア部駆動機構５０がドア部４０を開口部１３に向けて（すなわち前方に）押し付ける力（ドア閉力）Ｆ１は、少なくともリテーナ９２１の反力を上回る大きさに設定される。その一方で、容器本体９１に蓋９２を取り付ける際に、載置部駆動機構３０が載置部２０をベース部１０に向けて（すなわち後方に）押し付ける力（ドック力）Ｆ２は、ドア閉力Ｆ１よりも小さいものとされる（Ｆ２＜Ｆ１）。
【0084】
このため、容器本体９１に蓋９２を取り付ける際に、ドア部４０に保持されている蓋９２によって容器本体９１が前方に押されて、容器本体９１が固定されている載置部２０が前方（すなわち、ベース部１０から離れる方向）に動こうとする。しかしながら、ここでは、移動規制部６０（すなわち、規制状態Ｋ１となっている移動規制部６０）が、前方に動こうとした載置部２０に突き当たって、前方への載置部２０の移動を規制する（ステップＳ５１：移動規制工程）。具体的には、載置部２０が隙間Ｇに相当する僅かな距離だけ前方に動くと、回動部６２のローラ６２４が、載置部２０の前端面２４に突き当たる（図１３（ｂ））。すると、載置部２０は、それ以上は前方に移動できず（移動を規制されて）、停止する。すなわち、載置部２０は隙間Ｇに相当する僅かな距離だけ前方に動くものの、それ以上は動かない。したがって、載置部２０に載置されている容器本体９１に蓋９２が難なく取り付けられる。
【0085】
ステップＳ６：蓋保持解除工程
蓋９２が容器本体９１に取り付けられると、蓋保持機構４１が、容器本体９１と蓋９２との間にラッチをかける。また、蓋保持機構４１は、ドア部４０と蓋９２との連結を解除して、ドア部４０と蓋９２を分離（保持状態を解除）する。蓋９２が容器本体９１に取り付けられた後、ドア閉力Ｆ１が消失あるいは低減されると、ドック位置Ｂ２から僅かに前方の位置に押されていた載置部２０が、載置部駆動機構３０のドック力Ｆ２などによって、再びドック位置Ｂ２に戻る。
蓋９２が容器本体９１に取り付けられると、蓋保持機構４１が、容器本体９１と蓋９２との間にラッチをかける。また、蓋保持機構４１は、ドア部４０と蓋９２との連結を解除して、ドア部４０と蓋９２を分離（保持状態を解除）する。蓋９２が容器本体９１に取り付けられた後、ドア閉力Ｆ１が消失あるいは低減されると、ドック位置Ｂ２から僅かに前方の位置に押されていた載置部２０が、載置部駆動機構３０のドック力Ｆ２などによって、再びドック位置Ｂ２に戻る。
【0086】
ステップＳ７：載置部移動工程
続いて、載置部駆動機構３０が、載置部２０をドック位置Ｂ２から離間位置Ｂ１に移動させる（図１４（ａ））。
続いて、載置部駆動機構３０が、載置部２０をドック位置Ｂ２から離間位置Ｂ１に移動させる（図１４（ａ））。
【0087】
ここで、ステップＳ７の動作が行われる際の移動規制部６０の状態について説明する。移動規制部６０は、載置部２０の移動が開始される前に、規制状態Ｋ１から解除状態Ｋ２に切り替えられる。具体的には、例えば、蓋９２が容器本体９１に取り付けられたことなどがセンサ（図示省略）によって検知されると、制御部７０が、押圧部６３３のソレノイド６３３ｂに所定の指示を送出し、該所定の指示に応じて、ソレノイド６３３ｂがロッド６３３ａを上昇（基体部６１から離れる方向に移動）させる。すると、当接部６２２がロッド６３３ａによって押し上げられて、回動部６２が、第２回動方向Ｒ２に回動する。ドック位置Ｂ２に配置された載置部２０の前端面２４とローラ６２４との間には、僅かな隙間Ｇが設けられているため、回動部６２は載置部２０と干渉することなく回動することができる。回動部６２が第２回動方向Ｒ２に回動することで、ローラ６２４の上端が、載置部２０の前端面２４の下端よりも下方に配置される。これによって、移動規制部６０は、載置部２０の移動を規制しない解除状態Ｋ２となる。すなわち、移動規制部６０は、規制状態Ｋ１（図１４（ｂ）において一点鎖線で示される状態）から、解除状態Ｋ２（図１４（ｂ）において実線で示される状態）に切り替わる。
【0088】
その後、載置部駆動機構３０が、ドック位置Ｂ２に配置されている載置部２０を前方に移動開始させる。このとき、移動規制部６０は解除状態Ｋ２となっているので、載置部２０が後方に移動しても、ローラ６２４は載置部２０と干渉しない。したがって、載置部２０の移動が移動規制部６０によって妨げられることがない。
【0089】
載置部２０が前方に移動開始された後の適宜のタイミングで、押圧部６３３が、回動部６２の押圧を解除する。具体的には、制御部７０がソレノイド６３３ｂに所定の指示を送出し、該所定の指示に応じて、ソレノイド６３３ｂがロッド６３３ａを下降（基体部６１に近づく方向に移動）させる。すると、回動部６２は弾性部材６３１の付勢力によって第１回動方向Ｒ１に僅かに回動し、ローラ６２４が載置部２０の下面に突き当たった状態となる（図１０（ｂ）参照）。つまり、押圧部６３３による回動部６２の押圧が解除されても、移動規制部６０は、解除状態Ｋ２に維持される。いうまでもなく、押圧部６３３による回動部６２の押圧が解除された後は、載置部２０が前方に移動すると、ローラ６２４が載置部２０の下面に突き当たりながら転動して、載置部２０に対して相対的に後方に移動する。したがって、載置部２０の移動が移動規制部６０によって妨げられることがない。
【0090】
ステップＳ８：格納容器搬出工程
載置部２０が離間位置Ｂ１に配置されると、載置部２０に設けられたロック部２２の引っ掛かりが解除されて、載置部２０に対する格納容器９の固定が解除される。その後、格納容器９が、外部ロボットによって搬出される。
載置部２０が離間位置Ｂ１に配置されると、載置部２０に設けられたロック部２２の引っ掛かりが解除されて、載置部２０に対する格納容器９の固定が解除される。その後、格納容器９が、外部ロボットによって搬出される。
【0091】
＜６．効果＞
上記の実施形態に係るロードポート１は、搬送部８の壁部の一部を構成する板状のベース部１０と、格納容器９が載置される載置部２０と、載置部２０をベース部１０に対して近接離間する方向に移動させる載置部駆動機構３０と、ベース部１０における載置部２０に載置された格納容器９の蓋９２と対向する位置に設けられた開口部１３を開閉可能であるとともに、開口部１３を塞いでいる状態において開口部１３と対向配置されている蓋９２を保持可能な、ドア部４０と、ドア部４０を、ドア部４０が開口部１３を開放する開放位置Ｄ２と、ドア部４０が開口部１３を塞ぐ閉鎖位置Ｄ１との間で移動させる、ドア部駆動機構５０と、ドア部４０を開口部１３に向けて押し付けて、ドア部４０に保持されている蓋９２を容器本体９１に取り付ける際に、載置部２０に突き当たって、ベース部１０から離れる方向への載置部２０の移動を規制する移動規制部６０と、を備える。
上記の実施形態に係るロードポート１は、搬送部８の壁部の一部を構成する板状のベース部１０と、格納容器９が載置される載置部２０と、載置部２０をベース部１０に対して近接離間する方向に移動させる載置部駆動機構３０と、ベース部１０における載置部２０に載置された格納容器９の蓋９２と対向する位置に設けられた開口部１３を開閉可能であるとともに、開口部１３を塞いでいる状態において開口部１３と対向配置されている蓋９２を保持可能な、ドア部４０と、ドア部４０を、ドア部４０が開口部１３を開放する開放位置Ｄ２と、ドア部４０が開口部１３を塞ぐ閉鎖位置Ｄ１との間で移動させる、ドア部駆動機構５０と、ドア部４０を開口部１３に向けて押し付けて、ドア部４０に保持されている蓋９２を容器本体９１に取り付ける際に、載置部２０に突き当たって、ベース部１０から離れる方向への載置部２０の移動を規制する移動規制部６０と、を備える。
【0092】
この構成によると、例えば、ドア部４０に保持されている蓋９２を容器本体９１に取り付ける際に、ドア部４０を開口部１３に向けて押し付ける力（ドア閉力）Ｆ１に対して、載置部２０をベース部１０に向けて押し付ける力（ドック力）Ｆ２が小さいために、載置部２０がベース部１０から離れる方向に動こうとしても、移動規制部６０が載置部２０に突き当たることで載置部２０の移動が規制されるので、載置部２０に載置されている容器本体９１に蓋９２を取り付けることができる。つまり、ドック力Ｆ２をドア閉力Ｆ１とつり合うような大きな力としなくとも、蓋９２を容器本体９１に取り付けることができる。したがって、ドック力Ｆ２を小さくすることが可能となり、変形の原因となる無理な力がドア部４０にかかることを回避できる。ひいては、ドア部４０に変形が生じることを回避できる。また、ドア部４０に変形が生じたために蓋９２が容器本体９１に取り付けられずに外れてしまう、といった事態も回避できる。
【0093】
仮に、ドック力Ｆ２をドア閉力Ｆ１とつり合わせることで、格納容器９の開閉を実現しようとする場合、ドア部４０に保持された蓋９２を容器本体９１に取り付ける際に、載置部２０に載置される格納容器９とドア部４０とが、前後に多少なりともオーバラップした位置関係となるように、２つの力Ｆ１，Ｆ２が規定される。例えば、ドア閉力Ｆ１は、ドア部４０を中間位置よりも前方に押し込むような大きさに規定され、ドック力Ｆ２は、載置部２０を、ここに載置された格納容器９がドア部４０を該中間位置よりも後方に押し込むような大きさに規定される。このため、格納容器９およびドア部４０の一方あるいは両方に撓みが生じやすい。これに対し、移動規制部６０が設けられる構成の場合、上記のとおり、ドック力Ｆ２をドア閉力Ｆ１よりも小さくすることが可能となるので、格納容器９およびドア部４０にこのような撓みが発生しにくい。また、ドック力Ｆ２をドア閉力Ｆ１とつり合わせるためには、各駆動機構の調整を厳密に行う必要があるが、移動規制部６０が設けられる場合、このような厳密な調整も不要となる。
【0094】
また、ドック力Ｆ２が十分に小さなものとされる場合、ドック位置Ｂ２に配置されている載置部２０に載置された格納容器９とベース部１０との間（具体的には、顎部９１１とウインドウユニット１４との間）の当接力が十分に小さなものとなるので、これらの間に異物などが挟まれても、大きな問題が生じにくい。したがって、挟み込みを防止あるいは検知するためのセンサなどを省略することが可能となる。また、ドック力Ｆ２が十分に小さなものとされて、ドア部４０の変形が生じないことが担保される場合、ドア部４０に変形が生じていることを検知するためのセンサ（あるいは、これを検知するための動作）を省略することが可能となる。また、蓋９２が容器本体９１に取り付けられずに外れてしまっていることを検知するためのセンサ（あるいは、これを検知するための動作）を省略することも可能となる。
【0095】
なお、ドック力Ｆ２が比較的小さなものとされる場合には、搬送空間Ｖが外部に対して僅かに高い圧力に維持されることが好ましい。すなわち、ドック力Ｆ２が比較的小さなものとされる場合、載置部２０がドック位置Ｂ２に配置されている状態において、格納容器９とベース部１０との間（具体的には、顎部９１１とウインドウユニット１４との間）の気密性が保たれにくくなるところ、搬送空間Ｖが外部に対して僅かに高い圧力に維持されていれば、格納容器９とベース部１０に隙間が形成されたとしても、該隙間から外気が流入することがない。したがって、搬送空間Ｖの清浄度が低下することが回避される。同様の理由で、容器本体９１の内部が外部に対して僅かに高い圧力に維持されることも好ましい。
【0096】
また、上記の実施形態に係るロードポート１は、移動規制部６０が、平面視にて、載置部２０の移動方向（前後方向）と直交する方向（左右方向）について載置部２０の中央の位置において、載置部２０に突き当たる。この構成によると、載置部２０にこれを左右に回転させるような力が作用しにくいので、ベース部１０から離れる方向への載置部２０の移動を安定して規制することができる。
【0097】
また、上記の実施形態に係るロードポート１は、移動規制部６０が、載置部２０に突き当たって載置部２０の移動を規制する規制状態Ｋ１と、載置部２０の移動を規制しない解除状態Ｋ２との間で切り替えられる。この構成によると、載置部２０の移動の規制およびその解除を、簡易かつ確実に行うことができる。
【0098】
また、上記の実施形態に係るロードポート１は、移動規制部６０が、載置部２０の移動方向と交差する方向に沿って延在する回動軸６２１の周りで回動自在に設けられた回動部６２と、回動部６２を回動させることによって、規制状態Ｋ１と解除状態Ｋ２とを切り替える、切り替え部６３と、を備える。この構成によると、載置部２０の移動の規制およびその解除を、簡易な構成で実現することができる。
【0099】
また、上記の実施形態に係るロードポート１は、切り替え部６３が、回動部６２を第１回動方向Ｒ１に付勢する弾性部材６３１と、制御部７０からの指示に応じて回動部６２を押圧して、回動部６２を第１回動方向Ｒ１と逆の第２回動方向Ｒ２に回動させる押圧部６３３と、を備え、弾性部材６３１に付勢されて回動部６２が第１回動方向Ｒ１に回動することによって、解除状態Ｋ２から規制状態Ｋ１へと切り替わり、押圧部６３３に押圧されて回動部６２が第２回動方向Ｒ２に回動することによって、規制状態Ｋ１から解除状態Ｋ２へと切り替わる。この構成によると、解除状態Ｋ２から規制状態Ｋ１への切り替えは、弾性部材６３１の付勢力を利用してなされるので、制御部７０の処理負担を低減することができる。
【0100】
また、上記の実施形態に係るロードポート１は、回動部６２と、ドック位置Ｂ２に配置されている載置部２０の前端面２４との間に、僅かな隙間Ｇが設けられる。この構成によると、回動部６２が回動して規制状態Ｋ１から解除状態Ｋ２に切り替わる際に、回動部６２が載置部２０と干渉する、といった事態が生じにくい。また、サイズが異なる格納容器９に対応することも可能となる。
【0101】
また、上記の実施形態に係るロードポート１は、ドア部４０を開口部１３に向けて押し付けて、ドア部４０に保持されている蓋９２を容器本体９１に取り付ける際に、載置部駆動機構３０が載置部２０をベース部１０に向けて押し付ける力（ドック力）Ｆ２が、ドア部駆動機構５０がドア部４０を開口部１３に向けて押し付ける力（ドア閉力）Ｆ１よりも、小さい。この構成によると、変形の原因となる無理な力がドア部４０にかかることを十分に回避できる。
【0102】
また、上記の実施形態に係る格納容器９の開閉方法は、ウエハ９０などの基板が格納された格納容器９が載置された載置部２０をベース部１０に近づく方向に移動させて、ベース部１０における載置部２０に載置された格納容器９の蓋９２と対向する位置に設けられた開口部１３と蓋９２とを近づける、載置部移動工程（ステップＳ２）と、開口部１３を塞いでいるドア部４０に、開口部１３と対向配置されている蓋９２を保持させる、蓋保持工程（ステップＳ３）と、ドア部４０を、これが保持する蓋９２とともに、ドア部４０が開口部１３を塞ぐ閉鎖位置Ｄ１から、ドア部４０が開口部１３を開放する開放位置Ｄ２に移動させる開放工程（ステップＳ４）と、ドア部４０を、これが保持する蓋９２とともに、開放位置Ｄ２から閉鎖位置Ｄ１に移動させる閉鎖工程（ステップＳ５）と、閉鎖工程において、ドア部４０を開口部１３に向けて押し付けて、ドア部４０に保持されている蓋９２を容器本体９１に取り付ける際に、移動規制部６０が載置部２０に突き当たって、ベース部１０から離れる方向への載置部２０の移動を規制する移動規制工程（ステップＳ５１）と、を備える。
【0103】
この構成によると、ドア部４０に保持されている蓋９２を容器本体９１に取り付ける際に、移動規制部６０が載置部２０に突き当たることで載置部２０の移動が規制される。したがって、ドック力Ｆ２を小さくすることが可能となり、変形の原因となる無理な力がドア部４０にかかることを回避できる。
【0104】
＜７．他の実施形態＞
＜７－１．シール部材＞
上記の実施形態に係るロードポート１において、ベース部１０には、開口部１３を取り囲むように、窓枠状のウインドウユニット１４が取り付けられるものとし、載置部２０がドック位置Ｂ２に配置された状態において、ウインドウユニット１４と載置部２０に載置された格納容器９とが当接するものとした。ここにおいて、図１５に示されるように、ウインドウユニット１４の前面に、開口部１３の周囲を囲むようにシール部材１４１を配設してもよい。この構成によると、載置部２０がドック位置Ｂ２に配置された状態において、載置部２０に載置された格納容器９（具体的には顎部９１１）とウインドウユニット１４とが、シール部材１４１を介して気密に接続される。同様のシール部材１４１を、ウインドウユニット１４の後面にも配設してもよい。
＜７－１．シール部材＞
上記の実施形態に係るロードポート１において、ベース部１０には、開口部１３を取り囲むように、窓枠状のウインドウユニット１４が取り付けられるものとし、載置部２０がドック位置Ｂ２に配置された状態において、ウインドウユニット１４と載置部２０に載置された格納容器９とが当接するものとした。ここにおいて、図１５に示されるように、ウインドウユニット１４の前面に、開口部１３の周囲を囲むようにシール部材１４１を配設してもよい。この構成によると、載置部２０がドック位置Ｂ２に配置された状態において、載置部２０に載置された格納容器９（具体的には顎部９１１）とウインドウユニット１４とが、シール部材１４１を介して気密に接続される。同様のシール部材１４１を、ウインドウユニット１４の後面にも配設してもよい。
【0105】
なお、ウインドウユニット１４にシール部材１４１が設けられる場合、図１６に示されるように、シール部材１４１として、弾性部材によって形成された中空状のシール部材（中空弾性シール部材）１４１ａが用いられることも好ましい。この場合、ウインドウユニット１４の前面に、開口部１３の周囲を囲むように溝が設けられ、中空弾性シール部材１４１ａは、周方向の一部分が溝に収容されるとともに残りの部分が溝から露出するような格好で、溝に沿って取り付けられる。中空弾性シール部材１４１ａが設けられる場合、ウインドウユニット１４には、中空弾性シール部材１４１ａの中空部に連通する流路１４２が穿設されるとともに、流路１４２に所定の流体（例えば、窒素ガス、乾燥空気、乾燥窒素ガス、など）を供給する流体供給部１４３、および、流路１４２から流体を排出する流体排出部１４４が設けられる。流体供給部１４３は、所定の流体を供給する供給源と接続された配管、該配管に介挿された開閉弁、などを含んで構成することができる。また、流体排出部１４４は、ポンプと接続された配管、該配管に介挿された開閉弁、などを含んで構成することができる。
【0106】
このような構成において、中空弾性シール部材１４１ａの中空部にある流体が、流路１４２を通じて流体排出部１４４から排出されると、中空部の圧力が低下して中空弾性シール部材１４１ａが収縮状態Ｃ１となる（図１６（ａ））。一方、流体供給部１４３から流路１４２を通じて中空弾性シール部材１４１ａの中空部に流体が供給されると、中空部の圧力が高まって中空弾性シール部材１４１ａが膨張状態Ｃ２となる（例えば図１６（ｂ））。このように、中空弾性シール部材１４１ａは、中空部に対する流体の供給および排出を制御することによって、体積（径方向の寸法）を変化させることができる。
【0107】
例えば、中空弾性シール部材１４１ａの中空部に流体が供給され、中空弾性シール部材１４１ａが収縮状態Ｃ１から膨張状態Ｃ２とされることで、ドック位置Ｂ２に配置された載置部２０に載置されている格納容器９の顎部９１１に、中空弾性シール部材１４１ａが弾接する（図１６（ｂ））。これによって、載置部２０に載置された格納容器９とウインドウユニット１４とが、中空弾性シール部材１４１ａを介して気密に接続される。
【0108】
上記の実施形態のように、移動規制部６０が、ドック位置Ｂ２から隙間Ｇに相当する距離だけ前方の位置において、載置部２０の移動を規制する場合、載置部２０に載置されている格納容器９が、隙間Ｇに相当する僅かな距離だけ、ウインドウユニット１４から離れる可能性がある。この点、シール部材１４１として中空弾性シール部材１４１ａが用いられる場合、適宜のタイミングで中空部に流体を追加すれば（あるいは、中空部の圧力を予め十分に高めておけば）、格納容器９がウインドウユニット１４から僅かに離れた場合に、これに追従して中空弾性シール部材１４１ａがさらに膨張して追従膨張状態Ｃ２’となり、格納容器９の顎部９１１に弾接し続ける（図１６（ｃ））。つまり、格納容器９が隙間Ｇに相当する僅かな距離だけウインドウユニット１４から離れても、ウインドウユニット１４と格納容器９とが気密に接続された状態が維持される。
【0109】
通常は、ウインドウユニット１４と格納容器９との間における、シール部材１４１を介した気密性を担保するために、格納容器９がウインドウユニット１４から離れないように、格納容器９をウインドウユニット１４に向けて引き込んで保持するクランプ部材が設けられる。しかしながら、移動規制部６０が設けられる場合、これによって載置部２０が前方に移動しないように規制されるので、格納容器９がウインドウユニット１４からある程度以上（隙間Ｇに相当する僅かな距離を超えて）離間しないように担保される。したがって、このようなクランプ部材を設けなくとも、シール部材１４１を介した気密性を担保することができる。
【0110】
＜７－２．ロックユニット＞
上記の実施形態に係るロードポート１において、載置部２０に設けられるロック部２２として、ロックユニット２２Ｕが設けられてもよい。ロックユニット２２Ｕの構成について、図１７を参照しながら具体的に説明する。図１７は、載置部２０に設けられたロックユニット２２Ｕの動作を説明するための模式図である。
上記の実施形態に係るロードポート１において、載置部２０に設けられるロック部２２として、ロックユニット２２Ｕが設けられてもよい。ロックユニット２２Ｕの構成について、図１７を参照しながら具体的に説明する。図１７は、載置部２０に設けられたロックユニット２２Ｕの動作を説明するための模式図である。
【0111】
格納容器９の底面には、互いに形状が異なる複数種類のリテーニング部が設けられる。一方のリテーニング部（第１リテーニング部）９３は、フロントリテイニングフィーチャとも呼ばれ、格納容器９の底面における相対的に蓋９２に近い側に設けられる。第１リテーニング部９３は、格納容器９の底面に設けられた凹部９３ａと、凹部９３ａにおける、蓋９２から遠い側の端縁から蓋９２に近づく方向に突出して形成された係合突起９３ｂと、を含んで構成される。他方のリテーニング部（第２リテーニング部）９４は、センターリテイニングフィーチャとも呼ばれ、格納容器９の底面の略中央であって、第１リテーニング部９３を挟んで蓋９２と逆側の位置に設けられる。第２リテーニング部９４は、凹部９４ａを含んで構成される。
【0112】
ロックユニット２２Ｕは、第１リテーニング部９３に引っ掛かって、載置部２０の所定位置（位置決めピン２１によって位置決めされる位置）に載置された格納容器９を該所定位置に固定する第１ロック部２２ａと、第２リテーニング部９４に挿入されて、第１ロック部２２ａの第１リテーニング部９３に対する引っ掛かりが解除されることを防止する第２ロック部２２ｂと、を備える。
【0113】
（第１ロック部２２ａ）
第１ロック部２２ａは、いわゆるボトムクランプであり、載置部２０に設けられるクランプ部２２１と、クランプ部２２１を駆動してその姿勢をクランプ姿勢と解除姿勢との間で切り替える駆動部２２２と、を含んで構成される。駆動部２２２は、シリンダなどを含む適宜の駆動機構によって実現される。ここで、「クランプ姿勢」は、クランプ部２２１が、載置部２０の所定位置に載置された格納容器９の第１リテーニング部９３の係合突起９３ｂをクランプするような姿勢であり、より具体的には、クランプ部２２１の先端に設けられたフック状の部分２２１ａが係合突起９３ｂに引っ掛かるような姿勢である（図１７に示される姿勢）。一方、「解除姿勢」は、クランプ部２２１クランプ状態が解除され、クランプ部２２１の全体が、凹部９３ａの外部（格納容器９の底面よりも下側）に配置されるような姿勢である（図示省略）。
第１ロック部２２ａは、いわゆるボトムクランプであり、載置部２０に設けられるクランプ部２２１と、クランプ部２２１を駆動してその姿勢をクランプ姿勢と解除姿勢との間で切り替える駆動部２２２と、を含んで構成される。駆動部２２２は、シリンダなどを含む適宜の駆動機構によって実現される。ここで、「クランプ姿勢」は、クランプ部２２１が、載置部２０の所定位置に載置された格納容器９の第１リテーニング部９３の係合突起９３ｂをクランプするような姿勢であり、より具体的には、クランプ部２２１の先端に設けられたフック状の部分２２１ａが係合突起９３ｂに引っ掛かるような姿勢である（図１７に示される姿勢）。一方、「解除姿勢」は、クランプ部２２１クランプ状態が解除され、クランプ部２２１の全体が、凹部９３ａの外部（格納容器９の底面よりも下側）に配置されるような姿勢である（図示省略）。
【0114】
クランプ部２２１がクランプ姿勢とされると、クランプ部２２１が係合突起９３ｂに引っ掛かり、フック状の部分２２１ａの下面と係合突起９３ｂの上面とが当接するとともに、フック状の部分２２１ａの前端面と係合突起９３ｂの後端面とが当接した状態となる。これによって、載置部２０の所定位置に載置された格納容器９が、該所定位置において載置部２０に対して固定される。
【0115】
（第２ロック部２２ｂ）
第２ロック部２２ｂは、載置部２０に設けられる容器取り外し防止ピン２２３と、ベース基台１１に設けられる押上ブロック２２４と、を含んで構成される。
第２ロック部２２ｂは、載置部２０に設けられる容器取り外し防止ピン２２３と、ベース基台１１に設けられる押上ブロック２２４と、を含んで構成される。
【0116】
容器取り外し防止ピン２２３は、挿入部２２３ａと、その下側に設けられた軸部２２３ｂと、を含んで構成されており、軸部２２３ｂが、載置部２０に設けられた貫通孔に挿入されている。軸部２２３ｂと挿入部２２３ａの連結部分には、径方向に張り出したフランジ部２２３ｃが設けられており、このフランジ部２２３ｃが載置面２０１における該貫通孔の周囲に引っ掛かることで、軸部２２３ｂが脱落しないようになっている。また、軸部２２３ｂの下側部分（載置部２０の内部空間に突出した部分）には、バネ部材２２３ｄが、縮短状態で設けられている。このバネ部材２２３ｄによって下方に付勢されることで、容器取り外し防止ピン２２３は、フランジ部２２３ｃが載置面２０１に当接するような下方位置に配設され、このとき、挿入部２２３ａの上端が、載置部２０に載置されている格納容器９の底面よりも低い位置に配置される（図１７（ａ））。以下において、このような容器取り外し防止ピン２２３の位置を「解除位置Ｑ１」ともいう。
【0117】
また、容器取り外し防止ピン２２３は、後述する押上ブロック２２４で押し上げられることで、フランジ部２２３ｃが載置面２０１から離間するような上方位置に配設され、このとき、挿入部２２３ａの一部あるいは全部が、載置部２０の所定位置に載置されている格納容器９における第２リテーニング部９４の凹部９４ａ内に、挿入される（図１７（ｂ））。以下において、このような容器取り外し防止ピン２２３の位置を「挿入位置Ｑ２」ともいう。なお、容器取り外し防止ピン２２３が解除位置Ｑ１と挿入位置Ｑ２との間でスムースに昇降するように、容器取り外し防止ピン２２３に、その昇降を案内するガイド部２２３ｅが設けられてもよい。具体的には例えば、フランジ部２２３ｃの下方から軸部２２３ｂと平行に延在するガイド部２２３ｅを設け、これが載置部２０に設けられたガイド孔に挿通される構成としてもよい。この構成によると、ガイド部２２３ｅがガイド孔に案内されつつ昇降することで、容器取り外し防止ピン２２３が軸ブレすることなくスムースに昇降する。
【0118】
押上ブロック２２４は、略直方体状の部材であり、前端面が、上方に近づくにつれて後方に傾斜する傾斜面２２４ａとして構成されている。押上ブロック２２４は、ベース基台１１の上面、具体的には例えば、ベース基台１１の上面に設けられたリニアガイド（載置部駆動機構３０によって移動される載置部２０を案内するためのリニアガイド）３０１に、設けられる。
【0119】
押上ブロック２２４は、載置部２０が離間位置Ｂ１に配置されている状態では、容器取り外し防止ピン２２３から離間してこれよりも後方の位置に配置される（図１７（ａ））。このとき、容器取り外し防止ピン２２３は、バネ部材２２３ｄによって下方に付勢されることで、解除位置Ｑ１に配置される。一方、載置部２０が離間位置Ｂ１から後方に移動されると、ベース基台１１に設けられた押上ブロック２２４が、載置部２０に対して相対的に前方に移動して容器取り外し防止ピン２２３に近づき、その下端（具体的には、軸部２２３ｂの下端）と押上ブロック２２４の傾斜面２２４ａとが接触する。載置部２０がさらに後方に移動されると、容器取り外し防止ピン２２３が傾斜面２２４ａに案内されて上方に押し上げられる。そして、載置部２０がドック位置Ｂ２に配置されたとき、容器取り外し防止ピン２２３は押上ブロック２２４の上面と当接した状態となり、このとき、容器取り外し防止ピン２２３は挿入位置Ｑ２に配置される（図１７（ｂ））。
【0120】
このように、載置部２０が離間位置Ｂ１からドック位置Ｂ２に移動されると、ベース基台１１に設けられた押上ブロック２２４が、載置部２０に設けられた容器取り外し防止ピン２２３を押し上げる。これによって、容器取り外し防止ピン２２３の位置が、解除位置Ｑ１から挿入位置Ｑ２へと切り替えられる。逆に、載置部２０がドック位置Ｂ２から離間位置Ｂ１に移動されると、押上ブロック２２４は容器取り外し防止ピン２２３から離間し、容器取り外し防止ピン２２３は、バネ部材２２３ｄによって下方に付勢されることで、挿入位置Ｑ２から解除位置Ｑ１へと切り替わる。
【0121】
このような構成を備えるロックユニット２２Ｕにおいては、上記のとおり、第１ロック部２２ａのクランプ部２２１がクランプ姿勢とされることで、載置部２０の所定位置に載置された格納容器９が、該所定位値において載置部２０に対して固定される。ただし、クランプ部２２１は係合突起９３ｂに対して上側および後側から当接するものであるため、前方向への引っ張りに対しては、クランプ部２２１と係合突起９３ｂの間の摩擦によって固定がなされるのみとなる。したがって、第１ロック部２２ａだけであると、例えば、格納容器９を前方向に引っ張るような力が作業者によって意図的に加えられるなどした場合、格納容器９が載置部２０に対して前方向に移動して、係合突起９３ｂがクランプ部２２１から外れてしまい（すなわち、載置部２０に対する格納容器９の固定が解除されてしまい）、格納容器９が取り外されてしまうおそれがある。しかしながら、ロックユニット２２Ｕにおいては、載置部２０がドック位置Ｂ２に配置されると、第２ロック部２２ｂの容器取り外し防止ピン２２３が第２リテーニング部９４の凹部９４ａに挿入され、これによって、格納容器９は前後方向について載置部２０に対して動かないように固定される。したがって、例えば、作業者が意図的に格納容器９を前方向に引っ張っても、格納容器９を取り外すことができない。すなわち、ロックユニット２２Ｕによると、作業者による格納容器９の意図的な格納容器９の取り外しなどを防止することができる。
【0122】
また、ロックユニット２２Ｕによると、第２ロック部２２ｂの容器取り外し防止ピン２２３を移動させるための固有の駆動機構（アクチュエータ）を設ける必要がないので、製造コストを低減することができる。もっとも、場合によっては、押上ブロック２２４に代えて、容器取り外し防止ピン２２３を移動させるための駆動機構を設けてもよい。この場合、駆動機構は、単純な直動動作を実現するものであれば足り、具体的には例えば、ソレノイド、シリンダ（エアシリンダ）、モータを駆動源として送りネジなどを含んで構成される直動機構、などによって実現することができる。
【0123】
例えば、Ｔ字状のフックで第２リテーニング部９４をクランプして格納容器９を載置部２０に対して固定する機構（いわゆる、センタークランプ機構）は従来から存在するが、この機構は、上昇、回転、下降、といった複合動作によって第２リテーニング部９４をクランプするものであるため、高価である。また、狭い空間で複合動作を行うために駆動機構が小型化されているため、壊れやすいという欠点もある。これに対し、ロックユニット２２Ｕでは、このような複雑な動作を行うための駆動機構を設ける必要がないので、低価格化、小型化、高い耐久性、などを実現することができる。
【0124】
＜８．変形例＞
上記の実施形態において、移動規制部６０の切り替え部６３は、押圧部６３３を駆動する駆動部としてソレノイド（電磁ソレノイド）６３３ｂを備えるものとしたが、押圧部６３３を駆動する駆動部の構成はどのようなものであってもよい。例えば、押圧部６３３を駆動する駆動部は、シリンダ（エア（空気圧）シリンダ）であってもよいし、モータを駆動源として送りネジなどを含んで構成される直動機構であってもよい。
上記の実施形態において、移動規制部６０の切り替え部６３は、押圧部６３３を駆動する駆動部としてソレノイド（電磁ソレノイド）６３３ｂを備えるものとしたが、押圧部６３３を駆動する駆動部の構成はどのようなものであってもよい。例えば、押圧部６３３を駆動する駆動部は、シリンダ（エア（空気圧）シリンダ）であってもよいし、モータを駆動源として送りネジなどを含んで構成される直動機構であってもよい。
【0125】
上記の実施形態において、移動規制部６０は切り替え部６３を備えるものとしたが、その具体的な構成は、上記の実施形態において例示したものに限らない。例えば、押圧部６３３が備えるロッド６３３ａの先端が、回動部６２に対して固定される構成としてもよい。この場合、制御部７０からの指示に応じて、ソレノイド６３３ｂがロッド６３３ａを下降させると、回動部６２が第１回動方向Ｒ１に回動し、解除状態Ｋ２から規制状態Ｋ１へと切り替わり、制御部７０からの指示に応じて、ソレノイド６３３ｂがロッド６３３ａを上昇させると、回動部６２が第２回動方向Ｒ２に回動し、規制状態Ｋ１から解除状態Ｋ２へと切り替わる。いうまでもなく、このような構成によると、弾性部材６３１およびストッパ６３２を省略することができる。
【0126】
上記の実施形態において、移動規制部６０は、回動部６２が回動することによって解除状態Ｋ２と規制状態Ｋ１との間の切り替えがなされるものとしたが、移動規制部６０の構成はこれに限られるものではない。例えば、移動規制部６０は、ブロック状の規制部材が、載置部２０の移動方向と交差する方向（例えば、左右方向、上下方向、など）に移動することによって、解除状態Ｋ２と規制状態Ｋ１との間の切り替えがなされるものであってもよい。この場合、規制部材を移動させる駆動機構は、単純な直動動作を実現するものであれば足り、具体的には例えば、ソレノイド、シリンダ（エアシリンダ）、モータを駆動源として送りネジなどを含んで構成される直動機構、などによって実現することができる。
【0127】
上記の実施形態においては、移動規制部６０は、ドック位置Ｂ２から隙間Ｇに相当する距離だけ前方の位置において、載置部２０の移動を規制するものとしたが、このような隙間Ｇは必須ではない。すなわち、移動規制部６０は、ドック位置Ｂ２に配置されている載置部２０に突き当たって、ベース部１０から離れる方向への載置部２０の移動を規制するものであってもよい。
【0128】
上記の実施形態においては、移動規制部６０（具体的には、ローラ６２４）が、載置部２０の前端面２４に突き当たって、前方への載置部２０の移動を規制するものとしたが、移動規制部６０は必ずしも載置部２０の前端面２４に突き当たるものでなくともよい。例えば、載置部２０の底面あるいは側面に凹部を設けておき、移動規制部６０が該凹部の内壁面に突き当たって、載置部２０の移動を規制するものであってもよい。
【0129】
上記の実施形態において、移動規制部６０は１個だけ設けられるものであったが、移動規制部６０は複数設けられてもよい。例えば、複数の移動規制部６０が、ベース基台１１の前端付近において、ベース基台１１の左右方向に一列に配列されて、設けられてもよい。
【0130】
上記の実施形態において、格納容器９に格納される基板は、必ずしもウエハ９０である必要はなく、例えば、テープフレームに保持されたウエハ（テープフレームウエハ）、矩形基板、などであってもよい。また、格納容器９は、必ずしもＦＯＵＰである必要はなく、例えば、ＦＯＳＢ、カセット、などであってもよい。
【0131】
その他の構成も、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【0132】
１００ ＥＦＥＭ
１ ロードポート
１０ ベース部
２０ 載置部
３０ 載置部駆動機構
４０ ドア部
５０ ドア部駆動機構
６０ 移動規制部
６１ 基体部
６２ 回動部
６３ 切り替え部
６３１ 弾性部材
６３２ ストッパ
６３３ 押圧部
６３３ｂ ソレノイド
１ ロードポート
１０ ベース部
２０ 載置部
３０ 載置部駆動機構
４０ ドア部
５０ ドア部駆動機構
６０ 移動規制部
６１ 基体部
６２ 回動部
６３ 切り替え部
６３１ 弾性部材
６３２ ストッパ
６３３ 押圧部
６３３ｂ ソレノイド
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】