特開 2024-21053 ダイの剥離方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024021053

(43)【公開日】2024-02-15

(54)【発明の名称】ダイの剥離方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/67 20060101AFI20240207BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 E

【審査請求】有

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023113224

(22)【出願日】2023-07-10

(31)【優先権主張番号】111129039

(32)【優先日】2022-08-02

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(71)【出願人】

【識別番号】515086986

【氏名又は名称】梭特科技股▲分▼有限公司

(74)【代理人】

【識別番号】110002066

【氏名又は名称】弁理士法人筒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】盧▲彦▼豪

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA04

5F131BA51

5F131CA17

5F131CA46

5F131CA70

5F131DA03

5F131DA22

5F131EC74

(57)【要約】      （修正有）

【課題】キャリアフィルム状に貼りついたダイを、フィルム下から突き上げてフィルムから剥離する際に、キャリアフィルムが破れないようにするダイの剥離方法を提供する。
【解決手段】方法は、ダイをキャリアフィルムに分布する工程と、キャリアフィルムを広げる工程と、ターゲットダイと隣接ダイの画像をキャプチャーする工程と、ターゲットダイと隣接ダイとの隙間が吸着装置に対して適正かどうかを判定する工程と、隙間の位置が適正な場合、第１吸着装置がターゲットエリアに、第２の吸着装置が隣接エリアに当接するまで台座を上昇させる工程と、第１の吸着装置により、ターゲットエリアを吸着保持し、第２の吸着装置により隣接エリアを吸着保持し、第２の吸着装置を下降させることでターゲットエリアと隣接エリアとの間に段差を形成し、該段差により、ターゲットダイをターゲットエリアから剥離する工程と、を含む。
【選択図】図１Ｂ

【特許請求の範囲】

【請求項1】

表面にはんだボール且つ銅柱がない複数のダイをキャリアフィルムに分布する工程と；
前記複数のダイ間の隙間の幅が大きくなるようにキャリアフィルムを広げる工程と；
前記キャリアフィルムのターゲットエリアの上面に位置する少なくとも１つのターゲットダイと、前記キャリアフィルムの隣接エリアの上面に位置する少なくとも１つの隣接ダイの画像をキャプチャーする工程と；
前記画像を受信し、前記画像に基づき、前記少なくとも１つのターゲットダイと前記少なくとも１つの隣接ダイとの間の隙間が、台座における第１の吸着装置と第２の吸着装置との間の隙間に対して位置が合っているか否かを判定する工程と；
前記少なくとも１つのターゲットダイと前記少なくとも１つの隣接ダイとの間の隙間が、前記台座における第１の吸着装置と第２の吸着装置との間の隙間に対して位置が合っていると判定する場合、前記第1吸着装置が前記ターゲットエリアの底面に当接し、且つ前記第２の吸着装置が前記隣接エリアの底面に当接するまで、前記台座を上昇させる工程と；
前記第１の吸着装置により、負圧によって前記ターゲットエリアを吸着して動かないように保持し、前記第２の吸着装置により、負圧によって前記隣接エリアを吸着し、前記第２の吸着装置を駆動装置によって駆動して下降させ、前記隣接エリアを前記第２の吸着装置の負圧によって吸着して且つ下降させ、前記ターゲットエリアと前記隣接エリアとの間に段差を形成し、前記段差により、前記少なくとも１つのターゲットダイを前記ターゲットエリアの上面から剥離する工程と、を含む、
ダイの剥離方法。

【請求項2】

前記複数のダイを前記キャリアフィルムに分布する工程において、支持装置により前記キャリアフィルムを支持し、環状体により前記キャリアフィルムの底面に当接する工程をさらに含む；
前記キャリアフィルムを広げる工程において、前記キャリアフィルムを広げるように前記環状体を上昇させる工程をさらに含む、
請求項１に記載のダイの剥離方法。

【請求項3】

前記画像をキャプチャーする工程において、画像キャプチャーユニットにより前記少なくとも１つのターゲットダイと前記少なくとも１つの隣接ダイとの画像をキャプチャーする工程をさらに含み；
前記画像に基づいて隙間の位置が合っているか否かを判定する工程において、処理ユニットにより前記画像を受信し、前記画像に基づいて前記少なくとも１つのターゲットダイと前記少なくとも１つの隣接ダイとの間の前記隙間が前記台座における前記第１の吸着装置と前記第２の吸着装置との間の前記隙間に対して位置が合っているか否かを判定する工程をさらに含む、
請求項１に記載のダイの剥離方法。

【請求項4】

前記少なくとも１つのターゲットダイを剥離する工程の後に、
前記第１の吸着装置が前記負圧によって前記ターゲットエリアを吸着することを停止し、前記第２の吸着装置が前記負圧によって前記隣接エリアを吸着することを停止し、前記ターゲットエリアを前記第１の吸着装置から離脱させ、前記隣接エリアを前記第２の吸着装置から離脱させる工程と；
ダイ固定装置により前記少なくとも１つのターゲットダイを吸着し、前記少なくとも１つのターゲットダイを表面にはんだボール且つ銅柱がない基板に載置する工程と、をさらに含む、
請求項１に記載のダイの剥離方法。

【請求項5】

前記画像をキャプチャーする工程において、単一のターゲットダイと単一の隣接ダイとの画像をキャプチャーする工程をさらに含み；
前記画像に基づいて隙間の位置が合っているか否かを判定する工程において、前記画像に基づいて単一のターゲットダイと単一の隣接ダイとの間の前記隙間が前記台座における前記第１の吸着装置と前記第２の吸着装置との間の前記隙間に対して位置が合っているか否かを判定する工程をさらに含み；
前記少なくとも１つのターゲットダイを剥離する工程において、単一のターゲットダイを前記ターゲットエリアの上面から剥離する工程をさらに含む、
請求項１に記載のダイの剥離方法。

【請求項6】

前記複数のダイを前記キャリアフィルムに分布する工程において、前記複数のダイを複数列のダイの組み合わせに配列し、各列のダイの組み合わせには、複数のダイを含む工程をさらに含み；
前記画像をキャプチャーする工程において、前記複数列のダイの組み合わせのうちの１列における複数のターゲットダイ及び前記複数列のダイの組み合わせのうちの他列における複数の隣接ダイの画像をキャプチャーする工程をさらに含み；
前記画像に基づいて隙間の位置が合っているか否かを判定する工程において、前記画像に基づいて、前記複数列のダイの組み合わせのうちの１列における複数のターゲットダイと複数列のダイの組み合わせのうちの他列における複数の隣接ダイとの前記隙間が、前記台座における前記第１の吸着装置と前記第２の吸着装置との間の前記隙間に対して位置が合っているか否かを判定する工程をさらに含み；
前記少なくとも１つのターゲットダイを剥離する工程において、前記複数列のダイの組み合わせのうちの１列における複数のターゲットダイを前記ターゲットエリアの上面から剥離する工程をさらに含む、
請求項１に記載のダイの剥離方法。

【請求項7】

前記台座を上昇させる工程と、前記少なくとも１つのターゲットダイを剥離する工程において、少なくとも１つのダイ固定装置により前記少なくとも１つのターゲットダイを吸着する工程をさらに含み；
前記少なくとも１つのターゲットダイを剥離する工程の後に、
少なくとも１つのダイ固定装置により前記少なくとも１つのターゲットダイを吸着し、前記第１の吸着装置が前記負圧によって前記ターゲットエリアを吸着することを停止し、前記第２の吸着装置が前記負圧によって前記隣接エリアを吸着することを停止し、前記ターゲットエリアと前記隣接エリアの高さを揃えるまで前記第２の吸着装置を前記駆動装置により駆動して上昇させる工程と；
前記少なくとも１つのダイ固定装置により前記少なくとも１つのターゲットダイを吸着し、且つ前記台座を横方向に移動させ、若しくは前記キャリアフィルムを横方向に移動させることにより、前記第１の吸着装置と前記第２の吸着装置との間の前記隙間を少なくとも１つの前記ターゲットダイの底面位置に対応させる工程と；
前記少なくとも１つのダイ固定装置により前記少なくとも１つのターゲットダイを吸着し、前記第１の吸着装置の負圧によって前記ターゲットエリアを吸着して動かないように保持し、前記第２の吸着装置の負圧によって前記隣接エリアを吸着し、前記第２の吸着装置を前記駆動装置によって駆動して下降させ、前記第２の吸着装置の負圧によって前記隣接エリアを吸着して下降させ、前記ターゲットエリアと前記隣接エリアとの間に段差を形成し、前記段差により、少なくとも１つのターゲットダイがターゲットエリアの上面から剥離される範囲を拡大する工程と；
前記少なくとも１つのターゲットダイをターゲットエリアの上面から完全に離脱するまで、上述の工程を繰り返し実行する工程と、をさらに含む、
請求項１に記載のダイの剥離方法。

【請求項8】

前記第１の吸着装置に少なくとも１つの第１チャンネルが設けられ、前記第２の吸着装置に少なくとも１つの第２チャンネルが設けられ、前記少なくとも１つの第１チャンネルと前記少なくとも１つの第２チャンネルが真空装置に接続され；
前記真空装置によって前記少なくとも１つの第１チャンネルと前記少なくとも１つの第２チャンネルに対して同期的に抽気すると、前記少なくとも１つの第１チャンネルと前記少なくとも１つの第２チャンネルのガスが外へ排出されて真空状態を生成し、それと同時に前記負圧が提供されるので、前記第１の吸着装置は前記負圧によって前記ターゲットエリアを吸着し、前記第２の吸着装置は前記負圧によって前記隣接エリアを吸着する、
請求項１、４又は７に記載のダイの剥離方法。

【請求項9】

前記第１の吸着装置に少なくとも１つの第１チャンネルが設けられ、前記第２の吸着装置に少なくとも１つの第２チャンネルが設けられ、前記少なくとも１つの第１チャンネルと前記少なくとも１つの第２チャンネルが真空装置に接続され；
前記真空装置によって前記少なくとも１つの第１チャンネルと前記少なくとも１つの第２チャンネルに対して同期的に抽気することを停止すると、前記少なくとも１つの第１チャンネルと前記少なくとも１つの第２チャンネルが真空状態から解除され、前記真空装置が前記負圧を提供しないので、前記第１の吸着装置が前記負圧によって前記ターゲットエリアを吸着することを停止し、前記第２の吸着装置が前記負圧によって前記隣接エリアを吸着することを停止する、
請求項４又は７に記載のダイの剥離方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明はダイの剥離方法に関する。

【背景技術】

【0002】

集積回路は、バッチ生産により、複数の工程を経て半導体ウェーハ上に作製され、ウェーハはさらに複数のダイに切断される。言い換えれば、ダイは半導体材料で作られ、パッケージされていない小さな集積回路の本体である。切断された複数のダイは、キャリアフィルムにおける複数のターゲットエリアに整然と貼り付けられる。そして、細長い頂出棒を用いてキャリアフィルムを突き破り、ターゲットダイを押圧して移動させ、ターゲットダイがキャリアフィルムのターゲットエリアから剥離される。最後に、ピックアップ装置はターゲットダイをキャリアフィルムから基板上に移転させ、後続の加工工程を行う。

【0003】

しかしながら、キャリアフィルムは破壊されてしまい、繰り返し使用することはできない。

【0004】

また、頂出棒はダイを負傷させやすく、ダイの破損のリスクを高めてしまい、ダイの生産歩留りを低下させる虞がある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明の主な目的はキャリアフィルムとダイの破損を回避できるダイの剥離方法を提供することである。

【0006】

前記した目的を達成するために、本発明は、表面にはんだボール且つ銅柱がない複数のダイをキャリアフィルムに分布する工程と；前記複数のダイ間の隙間の幅が大きくなるようにキャリアフィルムを広げる工程と；前記キャリアフィルムのターゲットエリアの上面に位置する少なくとも１つのターゲットダイと、前記キャリアフィルムの隣接エリアの上面に位置する少なくとも１つの隣接ダイの画像をキャプチャーする工程と；前記画像を受信し、前記画像に基づき、前記少なくとも１つのターゲットダイと前記少なくとも１つの隣接ダイとの間の隙間が、台座における第１の吸着装置と第２の吸着装置との間の隙間に対して位置が合っているか否かを判定する工程と；前記少なくとも１つのターゲットダイと前記少なくとも１つの隣接ダイとの間の隙間が、前記台座における第１の吸着装置と第２の吸着装置との間の隙間に対して位置が合っていると判定する場合、前記第１吸着装置が前記ターゲットエリアの底面に当接し、且つ前記第２の吸着装置が前記隣接エリアの底面に当接するまで、前記台座を上昇させる工程と；前記第１の吸着装置により、負圧によって前記ターゲットエリアを吸着して動かないように保持し、前記第２の吸着装置により、負圧によって前記隣接エリアを吸着し、前記第２の吸着装置を駆動装置によって駆動して下降させ、前記隣接エリアを前記第２の吸着装置の負圧によって吸着して且つ下降させ、前記ターゲットエリアと前記隣接エリアとの間に段差を形成し、前記段差により、前記少なくとも１つのターゲットダイを前記ターゲットエリアの上面から剥離する工程と、を含むダイの剥離方法を提供する。

【0007】

また、前記複数のダイを前記キャリアフィルムに分布する工程において、支持装置により前記キャリアフィルムを支持し、環状体により前記キャリアフィルムの底面に当接する工程をさらに含む；前記キャリアフィルムを広げる工程において、前記キャリアフィルムを広げるように前記環状体を上昇させる工程をさらに含む。

【0008】

また、前記画像をキャプチャーする工程において、画像キャプチャーユニットにより前記少なくとも１つのターゲットダイと前記少なくとも１つの隣接ダイとの画像をキャプチャーする工程をさらに含み；前記画像に基づいて隙間の位置が合っているか否かを判定する工程において、処理ユニットにより前記画像を受信し、前記画像に基づいて前記少なくとも１つのターゲットダイと前記少なくとも１つの隣接ダイとの間の隙間が、前記台座における前記第１の吸着装置と前記第２の吸着装置との間の前記隙間に対して位置が合っているか否かを判定する工程をさらに含む。

【0009】

また、前記少なくとも１つのターゲットダイを剥離する工程の後に、前記第１の吸着装置が前記負圧によってターゲットエリアを吸着することを停止し、前記第２の吸着装置が前記負圧によって隣接エリアを吸着することを停止し、前記ターゲットエリアを前記第１の吸着装置から離脱させ、前記隣接エリアを前記第２の吸着装置から離脱させる工程と；ダイ固定装置により前記少なくとも１つのターゲットダイを吸着し、前記少なくとも１つのターゲットダイを表面にはんだボール且つ銅柱がない基板に載置する工程と、をさらに含む。

【0010】

また、画像をキャプチャーする工程において、単一のターゲットダイと単一の隣接ダイとの画像をキャプチャーする工程をさらに含み；前記画像に基づいて隙間の位置が合っているか否かを判定する工程において、前記画像に基づいて単一のターゲットダイと単一の隣接ダイとの間の隙間が、前記台座における前記第１の吸着装置と前記第２の吸着装置との間の前記隙間に対して位置が合っているか否かを判定する工程をさらに含み；前記少なくとも１つのターゲットダイを剥離する工程において、単一のターゲットダイをターゲットエリアの上面から剥離する工程をさらに含む。

【0011】

また、前記複数のダイを前記キャリアフィルムに分布する工程において、前記複数のダイを複数列のダイの組み合わせに配列し、各列のダイの組み合わせには、複数のダイを含む工程をさらに含み；前記画像をキャプチャーする工程において、前記複数列のダイの組み合わせのうちの１列における複数のターゲットダイ及び前記複数列のダイの組み合わせのうちの他列における複数の隣接ダイの画像をキャプチャーする工程をさらに含み；前記画像に基づいて隙間の位置が合っているか否かを判定する工程において、前記画像に基づいて、前記複数列のダイの組み合わせのうちの１列における複数のターゲットダイと複数列のダイの組み合わせのうちの他列における複数の隣接ダイとの前記隙間が、前記台座における前記第１の吸着装置と前記第２の吸着装置との間の前記隙間に対して位置が合っているか否かを判定する工程をさらに含み；前記少なくとも１つのターゲットダイを剥離する工程において、前記複数列のダイの組み合わせのうちの１列における複数のターゲットダイをターゲットエリアの上面から剥離する工程をさらに含む。

【0012】

また、前記台座を上昇させる工程と、前記少なくとも１つのターゲットダイを剥離する工程において、少なくとも１つのダイ固定装置により前記少なくとも１つのターゲットダイを吸着する工程をさらに含み；前記少なくとも１つのターゲットダイを剥離する工程の後に、少なくとも１つのダイ固定装置により前記少なくとも１つのターゲットダイを吸着し、前記第１の吸着装置が前記負圧によってターゲットエリアを吸着することを停止し、前記第２の吸着装置が前記負圧によって隣接エリアを吸着することを停止し、前記ターゲットエリアと前記隣接エリアの高さを揃えるまで前記第２の吸着装置を前記駆動装置により駆動して上昇させる工程と；前記少なくとも１つのダイ固定装置により前記少なくとも１つのターゲットダイを吸着し、且つ前記台座を横方向に移動させ、若しくは前記キャリアフィルムを横方向に移動させることにより、前記第１の吸着装置と前記第２の吸着装置との間の前記隙間を少なくとも前記１つのターゲットダイの底面位置に対応させる工程と；前記少なくとも１つのダイ固定装置により前記少なくとも１つのターゲットダイを吸着し、前記第１の吸着装置の負圧によって前記ターゲットエリアを吸着して動かないように保持し、前記第２の吸着装置の負圧によって前記隣接エリアを吸着し、前記第２の吸着装置を前記駆動装置により駆動して下降させ、前記第２の吸着装置の負圧によって前記隣接エリアを吸着して下降させ、前記ターゲットエリアと前記隣接エリアとの間に段差を形成し、前記段差により、少なくとも１つのターゲットダイ前記ターゲットエリアから剥離される範囲を拡大する工程と；前記少なくとも１つのターゲットダイを前記ターゲットエリアの上面から完全に離脱するまで、上述の工程を繰り返し実行する工程と、をさらに含む。

【0013】

また、前記第１の吸着装置に少なくとも１つの第１チャンネルが設けられ、前記第２の吸着装置に少なくとも１つの第２チャンネルが設けられ、前記少なくとも１つの第１チャンネルと前記少なくとも１つの第２チャンネルが真空装置に接続され；前記真空装置によって前記少なくとも１つの第１チャンネルと前記少なくとも１つの第２チャンネルに対して同期的に抽気すると、前記少なくとも１つの第１チャンネルと前記少なくとも１つの第２チャンネルのガスが外へ排出されて真空状態を生成し、それと同時に負圧が提供されるので、前記第１の吸着装置は前記負圧によって前記ターゲットエリアを吸着し、前記第２の吸着装置は前記負圧によって前記隣接エリアを吸着する。

【0014】

また、前記第１の吸着装置に少なくとも１つの第１チャンネルが設けられ、前記第２の吸着装置に少なくとも１つの第２チャンネルが設けられ、前記少なくとも１つの第１チャンネルと前記少なくとも１つの第２チャンネルが前記負圧を提供して真空装置に接続され；前記真空装置によって前記少なくとも１つの第１チャンネルと前記少なくとも１つの第２チャンネルに対して同期的に抽気することを停止すると、前記少なくとも１つの第１チャンネルと前記少なくとも１つの第２チャンネルが真空状態から解除され、前記真空装置が前記負圧を提供しないので、前記第１の吸着装置が前記負圧によって前記ターゲットエリアを吸着することを停止し、第２の吸着装置が前記負圧によって前記隣接エリアを吸着することを停止する。

【発明の効果】

【0015】

本発明の効果として、本発明に係る方法により、キャリアフィルムを破壊することなくターゲットダイにも接触しない状態で、ターゲットダイをキャリアフィルムから剥離させ、キャリアフィルムとターゲットダイの破損を回避することが可能となる。これにより、キャリアフィルムを繰り返して使用できるとともに、ダイの生産歩留りも向上できる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1A】本発明に係る方法の第１実施例のフローチャートである。

【図1B】本発明に係る方法の第１実施例のフローチャートである。

【図2】本発明に係る方法の第１実施例の工程Ｓ１００の模式図である。

【図3】本発明に係る方法の第１実施例の工程Ｓ１１０とＳ１２０の模式図である。

【図4】本発明に係る方法の第１実施例の工程Ｓ１３０の模式図である。

【図5】本発明に係る方法の第１実施例の工程Ｓ１４０の模式図である。

【図6】本発明に係る方法の第１実施例の工程Ｓ１５０の模式図である。

【図7】本発明に係る方法の第１実施例の工程Ｓ１６０の模式図である。

【図8】本発明に係る方法の第１実施例の第１実施態様の上面図である。

【図9】本発明に係る方法の第１実施例の第１実施態様の上面図である。

【図10】本発明の第１の吸着装置と、第２の吸着装置及び真空装置との接続関係の模式図である。

【図11A】本発明に係る方法の第２実施例のフローチャートである。

【図11B】本発明に係る方法の第２実施例のフローチャートである。

【図12】本発明に係る方法の第２実施例の工程Ｓ２４０の模式図である。

【図13】本発明に係る方法の第２実施例の工程Ｓ２５０の模式図である。

【図14】本発明に係る方法の第２実施例の工程Ｓ２６０の模式図である。

【図15A】本発明に係る方法の第２実施例の工程Ｓ２７０の第１実施態様の模式図である。

【図15B】本発明に係る方法の第１実施例の工程Ｓ２７０の第２実施態様の模式図である。

【図16】本発明に係る方法の第２実施例の工程Ｓ２８０の模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、本発明の実施形態を図面と符号に基づいてより詳しく説明し、当業者が本明細書を研読した後に実施できるようにする。

【0018】

図１Ａと図１Ｂは本発明に係る方法の第１実施例のフローチャートであり、図２は本発明に係る方法の第１実施例の工程Ｓ１００の模式図であり、図３は本発明に係る方法の第１実施例の工程Ｓ１１０とＳ１２０の模式図であり、図４は本発明に係る方法の第１実施例の工程Ｓ１３０の模式図であり、図５は本発明に係る方法の第１実施例の工程Ｓ１４０の模式図であり、図６は本発明に係る方法の第１実施例の工程Ｓ１５０の模式図であり、図７は本発明に係る方法の第１実施例の工程Ｓ１６０の模式図である。本発明は、ダイの剥離方法を提供し、後述した工程を含む。

【0019】

工程Ｓ１００では、図１Ａと図２に示すように、支持装置１０はキャリアフィルム２０を支持し、環状体３０はキャリアフィルム２０に当接し、表面にはんだボール且つ銅柱がない複数のダイ４０をキャリアフィルム２０の複数のターゲットエリアの上面に分布する。

【0020】

工程Ｓ１１０では、図１Ａと図３に示すように、環状体３０を上昇させ、キャリアフィルム２０を広げることにより、前記複数のダイ４０間の隙間４１の幅を大きくする。

【0021】

工程Ｓ１２０では、図１Ａ及び図３に示すように、図４を参照して、画像キャプチャーユニット５０により、少なくとも１つのターゲットダイ４２と少なくとも１つの隣接ダイ４３の画像５１をキャプチャーする。少なくとも１つのターゲットダイ４２はキャリアフィルム２０のターゲットエリア２１の上面に位置され、少なくとも１つの隣接ダイ４３はキャリアフィルム２０の隣接エリア２２の上面に位置される。

【0022】

工程Ｓ１３０では、図１Ａ及び図４に示すように、図３を参照して、処理ユニット６０により、画像５１を受信し、画像５１に基づいて少なくとも１つのターゲットダイ４２と少なくとも１つの隣接ダイ４３との間の隙間４１が台座７０の第１の吸着装置７１と第２の吸着装置７２との間の隙間７３に対して位置が合っているか否かを判定する。処理ユニット６０により、画像５１に基づいて隙間４１が隙間７３に対して位置が合っていると判定する場合、次の工程に進み、処理ユニット６０は、画像５１に基づいて隙間４１が隙間７３に対して位置が合っていないと判定する場合、そのまま終了する。

【0023】

工程Ｓ１４０では、図１Ｂ及び図５に示すように、図４を参照して、処理ユニット６０により、画像５１に基づいて少なくとも１つのターゲットダイ４２と少なくとも１つの隣接ダイ４３との間の隙間４１が台座７０の第１の吸着装置７１と第２の吸着装置７２との間の隙間７３に対して位置が合っていると判定する場合、第１吸着装置７１がターゲットエリア２１の底面に当接し、第２の吸着装置７２が隣接エリア２２の底面に当接するまで、台座７０を上昇させる。

【0024】

工程Ｓ１５０では、図１Ｂ及び図６に示すように、第１の吸着装置７１により、負圧７４を発生させ、ターゲットエリア２１を吸着して動かないように保持し、第２の吸着装置７２により、負圧７４によって隣接エリア２２を吸着し、第２の吸着装置７２を駆動装置７５によって駆動して下降させ、隣接エリア２２を第２の吸着装置７２の負圧７４によって吸着して且つ下降させ、それにより、ターゲットエリア２１と隣接エリア２２との間に段差２３を形成し、段差２３により、少なくとも１つのターゲットダイ４２をターゲットエリア２１の上面から剥離する。

【0025】

工程Ｓ１６０では、図１Ｂ及び図７に示すように、第１の吸着装置７１が負圧７４によってターゲットエリア２１を吸着することを停止し、第２の吸着装置７２が負圧７４によって隣接エリア２２を吸着することを停止し、ターゲットエリア２１を第１の吸着装置７１から離脱させ、隣接エリア２２を第２の吸着装置７２から離脱させ；ダイ固定装置８０により少なくとも１つのターゲットダイ４２を吸着し、少なくとも１つのターゲットダイ４２を表面にはんだボール且つ銅柱がない基板９０に載置する。

【0026】

以下、本発明に係る方法の第１実施例の二つの態様を図面に参照して説明する。

【0027】

図８は本発明に係る方法の第１実施例の第１実施態様の上面図である。図８に示すように、第１実施態様については、前記少なくとも１つのターゲットダイ４２が単一のターゲットダイ４２であり、前記少なくとも１つの隣接ダイ４３が単一の隣接ダイ４３である。より明確には、工程Ｓ１２０では、画像キャプチャーユニット５０により単一のターゲットダイ４２と単一の隣接ダイ４３との画像５１をキャプチャーし；工程Ｓ１３０では、処理ユニット６０によって、画像５１を受信し、画像５１に基づいて単一のターゲットダイ４２と単一の隣接ダイ４３との間の隙間４１が台座７０における第１の吸着装置７１と第２の吸着装置７２との間の隙間７３に対して位置が合っているか否かを判定し；工程Ｓ１５０では、単一のターゲットダイ４２をターゲットエリア２１の上面から剥離する。

【0028】

図９は本発明に係る方法の第１実施例の第２実施態様の上面図である。図９に示すように、第２実施態様については、前記少なくとも１つのターゲットダイ４２は複数列のダイの組み合わせ４４のうちの１列における複数のターゲットダイ４２であり、前記少なくとも１つの隣接ダイ４３は複数列のダイの組み合わせ４４のうちの他列における複数の隣接ダイ４３である。

【0029】

より明確には、工程Ｓ１００では、前記複数のダイ４０を複数列のダイの組み合わせ４４に配列し、各列のダイの組み合わせ４４には、複数のダイ４０を含み；工程Ｓ１２０では、画像キャプチャーユニット５０により複数列のダイの組み合わせ４４のうちの１列の複数のターゲットダイ４２と複数列のダイの組み合わせ４４のうちの他列における複数の隣接ダイ４３の画像５１をキャプチャーし；工程Ｓ１３０では、処理ユニット６０により、画像５１を受信し、画像５１に基づいて複数列のダイの組み合わせ４４のうちにおける１列の複数のターゲットダイ４２と複数列のダイの組み合わせ４４のうちの他列における複数の隣接ダイ４３の隙間４１が台座７０における第１の吸着装置７１と第２の吸着装置７２との間の隙間７３に対して位置が合っているか否かを判定し；工程Ｓ１５０では、複数列のダイの組み合わせ４４のうちの１列における複数のターゲットダイ４２をターゲットエリア２１の上面から剥離する。

【0030】

明らかに、第２実施態様の一回で処理可能なダイ４０の数は第１実施態様の数より多く、効率が高い。

【0031】

図１０は本発明における第１の吸着装置７１と、第２の吸着装置７２及び真空装置１００との接続関係の模式図である。図２と図１０に示すように、好ましくは第１の吸着装置７１に複数の第１チャンネル７１１が設けられ、第２の吸着装置７２に複数の第２チャンネル７２１が設けられ、前記複数の第１チャンネル７１１と前記複数の第２チャンネル７２１が真空装置１００に接続される。

【0032】

工程Ｓ１５０では、図６及び図１０に示すように、真空装置１００によって前記複数の第１チャンネル７１１と前記複数の第２チャンネル７２１に対して同期的に抽気すると、前記複数の第１チャンネル７１１と前記複数の第２チャンネル７２１のガスが外へ排出されて真空状態を生成し、それと同時に負圧が提供されるので、第１の吸着装置７１は前記負圧７４によってターゲットエリア２１を吸着し、第２の吸着装置７２は負圧に７４よって隣接エリア２２を吸着する。

【0033】

工程Ｓ１６０では、図７及び図１０に示すように、真空装置１００により前記複数の第１チャンネル７１１と前記複数の第２チャンネル７２１に対して同期的に抽気することを停止すると、前記複数の第１チャンネル７１１と前記複数の第２チャンネル７２１が真空状態から解除され、真空装置１００が負圧７４を提供しないので、第１の吸着装置７１が負圧７４によってターゲットエリア２１を吸着することを停止し、第２の吸着装置７２が負圧７４によって隣接エリア２２を吸着することを停止する。

【0034】

図１１Ａと図１１Ｂは本発明に係る方法の第２実施例のフローチャートであり、図１２は本発明に係る方法の第２実施例の工程Ｓ２４０の模式図であり、図１３は本発明に係る方法の第２実施例の工程Ｓ２５０の模式図であり、図１４は本発明に係る方法の第２実施例の工程Ｓ２６０の模式図であり、図１５Ａと図１５Ｂはそれぞれ本発明に係る方法の第２実施例の工程Ｓ２７０の第１実施態様と第２実施態様の模式図であり、図１６は本発明に係る方法の第２実施例の工程Ｓ２８０の模式図である。

【0035】

図１１Ａに示すように、第２実施例の工程Ｓ２００～Ｓ２３０は、第１実施例の工程Ｓ１００～Ｓ１３０と全く同じである。図１１Ｂ、図１２及び図１３に示すように、第２実施形態の工程Ｓ２４０～Ｓ２５０と第１実施形態の工程Ｓ１４０～Ｓ１５０との違いは、ダイ固定装置８０により少なくとも１つのターゲットダイ４２を吸着することにある。第２実施例の工程Ｓ２５０の後、後述の工程をさらに含む。

【0036】

具体的に、図１０、図１１Ｂ及び図１４に示すように、ダイ固定装置８０により少なくとも１つのターゲットダイ４２を吸着し、真空装置１００により前記複数の第１チャンネル７１１と前記複数の第２チャンネル７２１に対して同期的に抽気することを停止すると、前記複数の第１チャンネル７１１と前記複数の第２チャンネル７２１が真空状態から解除され、真空装置１００が負圧７４を提供しないので、第１の吸着装置７１が負圧７４によってターゲットエリア２１を吸着することを停止し、第２の吸着装置７２が負圧７４によって隣接エリア２２を吸着することを停止し、ターゲットエリア２１と隣接エリア２２の高さを揃えるまで第２の吸着装置７２を駆動装置７５により駆動して上に上昇させる工程Ｓ２６０と、図１１Ｂ、図１５Ａ及び図１５Ｂに示すように、ダイ固定装置８０により少なくとも１つのターゲットダイ４２を吸着し、台座７０を横方向に移動させ（図１５Ａを参照し、第１実施態様である）、若しくははキャリアフィルム２０を横方向に移動させる（図１５Ｂを参照し、第２実施態様である）ことにより、第１の吸着装置７１と第２の吸着装置７２との間の隙間７３を少なくとも１つのターゲットダイ４２の底面位置に対応させる工程Ｓ２７０と、図１０、図１１Ｂ及び図１６に示すように、ダイ固定装置８０により少なくとも１つのターゲットダイ４２を吸着し、真空装置１００は前記複数の第１チャンネル７１１と前記複数の第２チャンネル７２１に対して同期的に抽気すると、前記複数の第１チャンネル７１１と前記複数の第２チャンネル７２１のガスが外へ排出されて真空状態を生成し、それと同時に負圧７４が提供されるので、第１の吸着装置７１は負圧７４によってターゲットエリア２１を吸着し、第２の吸着装置７２は負圧７４によって隣接エリア２２を吸着して、第２の吸着装置７２を駆動装置７５により駆動して下降させ、隣接エリア２２を第２の吸着装置７２の負圧７４によって吸着して下降させ、それによりターゲットエリア２１と隣接エリア２２との間に段差２３を形成し、段差２３により、少なくとも１つのターゲットダイ４２をターゲットエリア２１から剥離される範囲を拡大する工程Ｓ２８０と、少なくとも１つのターゲットダイ４２をターゲットエリア２１の上面から完全に離脱するまで、上述の工程を繰り返し実行する工程と、をさらに含む。

【0037】

図１０Ｂに示すように、第２実施例の工程Ｓ２９０は、第１実施例の工程Ｓ１６０と全く同じである。

【0038】

工程Ｓ２４０から工程Ｓ２８０までの５つの工程において、ダイ固定装置８０により少なくとも１つのターゲットダイ４２を吸着し続けるので、少なくとも１つのターゲットダイ４２に対する位置合わせを維持し続けることができ、台座７０の横方向への移動による影響を受けて変位することがない。したがって、少なくとも１つのターゲットダイ４２がターゲットエリア２１から剥離される範囲を徐々に拡大することができる。

【0039】

少なくとも１つのターゲットダイ４２の底面をターゲットエリア２１の上面から完全に離脱するので、ダイ固定装置８０により少なくとも１つのターゲットダイ４２を基板９０に容易に移設することができる。

【0040】

第２実施例の第１実施態様と第１実施例の第１実施態様との違いとして、工程Ｓ２４０から工程Ｓ２９０までの６つの工程において、単一のダイ固定装置８０により単一のターゲットダイ４２を吸着し続けることにある。第２実施例の第２実施態様と第１実施例の第２実施態様との違いは、工程Ｓ２４０から工程Ｓ２９０までの６つの工程において、複数のダイ固定装置８０を一列に配列し、複数列のダイの組み合わせ４４のうちの１列における複数のターゲットダイ４２をそれぞれ吸着し続けることにある。

【0041】

以上のように、本発明に係る方法により、キャリアフィルム２０を破壊することなくターゲットダイ４２にも接触しない状態で、ターゲットダイ４２をキャリアフィルム２０からは剥離させ、キャリアフィルム２０とターゲットダイ４２の破損を回避することが可能となる。これにより、キャリアフィルム２０を繰り返して使用できるとともに、ダイ４０の生産歩留りも向上できる。

【0042】

上述したものは、本発明を説明するための好ましい実施例にすぎず、これにより本発明に対するいかなる形式上の制限をすることは意図していなく、同じ発明の主旨の下でなされた本発明に関するいかなる修飾又は変更は、いずれも本発明の意図的な保護の範疇に含まれるべきである。

【符号の説明】

【0043】

１０ 支持装置
２０ キャリアフィルム
２１ ターゲットエリア
２２ 隣接エリア
２３ 段差
３０ 環状体
４０ ダイ
４１ 隙間
４２ ターゲットダイ
４３ 隣接ダイ
４４ ダイの組み合わせ
５０ 画像キャプチャーユニット
５１ 画像
６０ 処理ユニット
７０ 台座
７１ 第１の吸着装置
７１１ 第１チャンネル
７２ 第２の吸着装置
７２１ 第２チャンネル
７３ 隙間
７４ 負圧
７５ 駆動装置
８０ ダイ固定装置
９０ 基板
１００ 真空装置
Ｓ１００～Ｓ１６０、Ｓ２００～Ｓ２９０ 工程

【図1A】

【図1B】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11A】

【図11B】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15A】

【図15B】

【図16】