特開 2024-21206 顕微ラマン装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024021206

(43)【公開日】2024-02-16

(54)【発明の名称】顕微ラマン装置

(51)【国際特許分類】

   G01J 3/44 20060101AFI20240208BHJP

   G01N 21/65 20060101ALI20240208BHJP

【ＦＩ】

G01J3/44

G01N21/65

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022123890

(22)【出願日】2022-08-03

(71)【出願人】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110001195

【氏名又は名称】弁理士法人深見特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】田尾 知世

【テーマコード（参考）】

2G020

2G043

【Ｆターム（参考）】

2G020CA04

2G020CB23

2G020CC02

2G020CC26

2G020CC47

2G020CD04

2G043AA03

2G043EA03

2G043FA02

2G043HA09

2G043JA03

2G043JA04

2G043KA09

(57)【要約】

【課題】レーザ光源の切り換えに伴う光学素子の切り換えによる光学素子の光軸ずれ顕微ラマン装置を提供する。
【解決手段】顕微ラマン装置は、第１レーザ光を発生させる第１レーザ光源と、第１レーザ光と波長が異なる第２レーザ光を発生させる第２レーザ光源と、第１光学素子と、第２光学素子と、第３光学素子と、第４光学素子と、分光器とを備える。第１レーザ光は、第１光学素子で反射され、かつ第３光学素子を通過してサンプルに照射されることにより、サンプルから第１ラマン散乱光を発生させる。第２レーザ光は、第２光学素子、第４光学素子及び第３光学素子で順次反射されてサンプルに照射されることにより、サンプルから第２ラマン散乱光を発生させる。第１ラマン散乱光は、第３光学素子及び第１光学素子を通過することにより分光器に入射される。第２ラマン散乱光は、第３光学素子及び第４光学素子で順次反射され、かつ第２光学素子を通過することにより分光器に入射される。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１レーザ光を発生させる第１レーザ光源と、
前記第１レーザ光と波長が異なる第２レーザ光を発生させる第２レーザ光源と、
第１光学素子と、
第２光学素子と、
第３光学素子と、
第４光学素子と、
分光器とを備え、
前記第１レーザ光は、前記第１光学素子で反射され、かつ前記第３光学素子を通過してサンプルに照射されることにより、前記サンプルから第１ラマン散乱光を発生させ、
前記第２レーザ光は、前記第２光学素子、前記第４光学素子及び前記第３光学素子で順次反射されて前記サンプルに照射されることにより、前記サンプルから第２ラマン散乱光を発生させ、
前記第１ラマン散乱光は、前記第３光学素子及び前記第１光学素子を通過することにより前記分光器に入射され、
前記第２ラマン散乱光は、前記第３光学素子及び前記第４光学素子で順次反射され、かつ前記第２光学素子を通過することにより、前記分光器に入射される、顕微ラマン装置。

【請求項2】

シャッタをさらに備え、
前記シャッタは、前記第１ラマン散乱光及び前記第２ラマン散乱光のいずれかを選択的に通過させる、請求項１に記載の顕微ラマン装置。

【請求項3】

前記シャッタは、前記第１光学素子を通過した前記第１ラマン散乱光及び前記第２光学素子を通過した前記第２ラマン散乱光のいずれかを選択的に通過させる、請求項２に記載の顕微ラマン装置。

【請求項4】

前記分光器は、前記第１ラマン散乱光を入射させる第１チャネルと、前記第２ラマン散乱光を入射させる第２チャネルとを有し、かつ前記第１チャネル及び前記第２チャネルの開閉により前記第１ラマン散乱光及び前記第２ラマン散乱光のいずれかを選択的に入射させる、請求項１に記載の顕微ラマン装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、顕微ラマン装置に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、特開平１０－９００６４号公報（特許文献１）には、顕微ラマン装置が記載されている。特許文献１に記載の顕微ラマン装置は、励起用レーザと、分光器と、検出器とを有している。特許文献１に記載の顕微ラマン装置では、励起用レーザからのレーザ光がサンプルに照射されることにより、サンプルからラマン散乱光が発生する。このラマン散乱光は分光器において分散され、分散されたラマン散乱光の強度分布が検出器において検出される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平１０－９００６４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

顕微ラマン装置には、レーザ光源から発生したレーザ光を反射させるが、当該レーザ光がサンプルに照射されることにより発生したラマン散乱光を通過させる光学素子が用いられることがある。このような顕微ラマン装置が複数のレーザ光源を有している場合、使用するレーザ光源を切り換える際に、上記の光学素子の切り換えも必要となる。この切り換えの際に、上記の光学素子の光軸がずれてしまうことがある。

【0005】

本開示の顕微ラマン装置は、レーザ光源の切り換えに伴う光学素子の切り換えによる光学素子の光軸のずれを防止することができる顕微ラマン装置を提供するものである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の顕微ラマン装置は、第１レーザ光を発生させる第１レーザ光源と、第１レーザ光と波長が異なる第２レーザ光を発生させる第２レーザ光源と、第１光学素子と、第２光学素子と、第３光学素子と、第４光学素子と、分光器とを備える。第１レーザ光は、第１光学素子で反射され、かつ第３光学素子を通過してサンプルに照射されることにより、サンプルから第１ラマン散乱光を発生させる。第２レーザ光は、第２光学素子、第４光学素子及び第３光学素子で順次反射されてサンプルに照射されることにより、サンプルから第２ラマン散乱光を発生させる。第１ラマン散乱光は、第３光学素子及び第１光学素子を通過することにより分光器に入射される。第２ラマン散乱光は、第３光学素子及び第４光学素子で順次反射され、かつ第２光学素子を通過することにより、分光器に入射される。

【発明の効果】

【0007】

本開示の顕微ラマン装置によると、レーザ光源の切り換えに伴う光学素子の切り換えによる光学素子の光軸のずれを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】顕微ラマン装置１００の概略図である。

【図2】顕微ラマン装置２００の概略図である。

【図3】変形例に係る顕微ラマン装置１００の概略図である。

【図4】顕微ラマン装置３００の概略図である。

【図5】顕微ラマン装置４００の概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

本開示の実施形態の詳細を、図面を参照しながら説明する。以下の図面では、同一又は相当する部分に同一の参照符号を付し、重複する説明は繰り返さないものとする。

【0010】

（第１実施形態）
第１実施形態に係る顕微ラマン装置を説明する。以下においては、第１実施形態に係る顕微ラマン装置を、顕微ラマン装置１００とする。

【0011】

＜顕微ラマン装置１００の構成＞
以下に、顕微ラマン装置１００の構成を説明する。

【0012】

図１は、顕微ラマン装置１００の概略図である。図１に示されるように、顕微ラマン装置１００は、第１レーザ光源１１、第２レーザ光源１２及び第３レーザ光源１３と、２色性ビームスプリッタ２１、２色性ビームスプリッタ２２及び２色性ビームスプリッタ２３と、２色性ビームスプリッタ３１及び２色性ビームスプリッタ３２と、ミラー３３と、ミラー４０と、対物レンズ５０と、分光器６０とを有している。第１レーザ光源１１、第２レーザ光源１２、第３レーザ光源１３、２色性ビームスプリッタ２１、２色性ビームスプリッタ２２、２色性ビームスプリッタ２３、２色性ビームスプリッタ３１、２色性ビームスプリッタ３２、ミラー３３、ミラー４０、対物レンズ５０及び分光器６０は、筐体７０内に配置されている。

【0013】

第１レーザ光源１１は、第１レーザ光Ｌ１を発生させる。第１レーザ光Ｌ１の波長を、波長λ１とする。第２レーザ光源１２は、第２レーザ光Ｌ２を発生させる。第２レーザ光Ｌ２の波長を、波長λ２とする。波長λ２は、波長λ１と異なっている。波長λ２は、例えば、波長λ１よりも短い。第３レーザ光源１３は、第３レーザ光Ｌ３を発生させる。第３レーザ光Ｌ３の波長を、波長λ３とする。波長λ３は、波長λ１と異なっており、波長λ２とも異なっている。波長λ３は、例えば、波長λ２よりも短い。

【0014】

第１レーザ光Ｌ１は、２色性ビームスプリッタ２１で反射される。２色性ビームスプリッタ２１で反射された第１レーザ光Ｌ１は、２色性ビームスプリッタ３１を通過する。２色性ビームスプリッタ３１を通過した第１レーザ光Ｌ１は、ミラー４０で反射される。ミラー４０で反射された第１レーザ光Ｌ１は、対物レンズ５０を通り、サンプルＳに照射される。

【0015】

第２レーザ光Ｌ２は、２色性ビームスプリッタ２２で反射される。２色性ビームスプリッタ２２で反射された第２レーザ光Ｌ２は、２色性ビームスプリッタ３２で反射される。２色性ビームスプリッタ３２で反射された第２レーザ光Ｌ２は、２色性ビームスプリッタ３１で反射される。２色性ビームスプリッタ３１で反射された第２レーザ光Ｌ２は、ミラー４０で反射される。ミラー４０で反射された第２レーザ光Ｌ２は、対物レンズ５０を通り、サンプルＳに照射される。

【0016】

第３レーザ光Ｌ３は、２色性ビームスプリッタ２３で反射される。２色性ビームスプリッタ２３で反射された第３レーザ光Ｌ３は、ミラー３３で反射される。ミラー３３で反射された第３レーザ光Ｌ３は、２色性ビームスプリッタ３２を通過する。２色性ビームスプリッタ３２を通過した第３レーザ光Ｌ３は、２色性ビームスプリッタ３１で反射される。

【0017】

２色性ビームスプリッタ３１で反射された第３レーザ光Ｌ３は、ミラー４０で反射される。ミラー４０で反射された第３レーザ光Ｌ３は、対物レンズ５０を通り、サンプルＳに照射される。２色性ビームスプリッタ３１とサンプルＳとの間の光路は、第１レーザ光Ｌ１、第２レーザ光Ｌ２及び第３レーザ光Ｌ３で共通している。

【0018】

サンプルＳに第１レーザ光Ｌ１が照射されることにより、第１ラマン散乱光Ｌ４が発生する。第１ラマン散乱光Ｌ４の波長を、波長λ４とする。波長λ４は、波長λ１よりも長い。第１ラマン散乱光Ｌ４は、対物レンズ５０を通り、ミラー４０で反射される。ミラー４０で反射された第１ラマン散乱光Ｌ４は、２色性ビームスプリッタ３１を通過する。２色性ビームスプリッタ３１は、波長λ１の光及び波長λ４の光を透過させる一方で、波長λ２の光、波長λ３の光、波長λ５の光及び波長λ６の光を反射させる。２色性ビームスプリッタ３１を通過した第１ラマン散乱光Ｌ４は、２色性ビームスプリッタ２１を通過する。

【0019】

サンプルＳに第２レーザ光Ｌ２が照射されることにより、第２ラマン散乱光Ｌ５が発生する。第２ラマン散乱光Ｌ５の波長を、波長λ５とする。波長λ５は、波長λ２よりも長い。第２ラマン散乱光Ｌ５は、対物レンズ５０を通り、ミラー４０で反射される。ミラー４０で反射された第２ラマン散乱光Ｌ５は、２色性ビームスプリッタ３１で反射される。２色性ビームスプリッタ３１で反射された第２ラマン散乱光Ｌ５は、２色性ビームスプリッタ３２で反射される。２色性ビームスプリッタ３２で反射された第２ラマン散乱光Ｌ５は、２色性ビームスプリッタ２２を通過する。

【0020】

サンプルＳに第３レーザ光Ｌ３が照射されることにより、第３ラマン散乱光Ｌ６が発生する。第３ラマン散乱光Ｌ６の波長を、波長λ６とする。波長λ６は、波長λ３よりも長い。第３ラマン散乱光Ｌ６は、対物レンズ５０を通り、ミラー４０で反射される。ミラー４０で反射された第３ラマン散乱光Ｌ６は、２色性ビームスプリッタ３１で反射される。すなわち、サンプルＳと２色性ビームスプリッタ３１との間の光路は、第１ラマン散乱光Ｌ４、第２ラマン散乱光Ｌ５及び第３ラマン散乱光Ｌ６で共通している。

【0021】

２色性ビームスプリッタ３１で反射された第３ラマン散乱光Ｌ６は、２色性ビームスプリッタ３２を通過する。２色性ビームスプリッタ３２は、波長λ３の光及び波長λ６の光を透過させる一方で、波長λ２の光及び波長λ５の光を反射させる。２色性ビームスプリッタ３２を通過した第３ラマン散乱光Ｌ６は、ミラー３３で反射される。ミラー３３で反射された第３ラマン散乱光Ｌ６は、２色性ビームスプリッタ２３を通過する。２色性ビームスプリッタ３１以降の第１ラマン散乱光Ｌ４、第２ラマン散乱光Ｌ５及び第３ラマン散乱光Ｌ６の光路は、互いに分離されている。

【0022】

分光器６０は、第１チャネル６０ａと、第２チャネル６０ｂと、第３チャネル６０ｃとを有している。２色性ビームスプリッタ２１を通過した第１ラマン散乱光Ｌ４は、第１チャネル６０ａから分光器６０に入射される。２色性ビームスプリッタ２２を通過した第２ラマン散乱光Ｌ５は、第２チャネル６０ｂから分光器６０に入射される。２色性ビームスプリッタ２３を通過した第３ラマン散乱光Ｌ６は、第３チャネル６０ｃから分光器６０に入射される。

【0023】

分光器６０は、グレーティング６１と、グレーティング６２と、グレーティング６３とを有している。なお、グレーティング６１、グレーティング６２及びグレーティング６３の図示は、省略されている。グレーティング６１、グレーティング６２及びグレーティング６３は、分光器６０の内部に配置されている。分光器６０は、検出器６４をさらに有している。なお、検出器６４の図示は、省略されている。検出器６４は、分光器６０の内部に配置されている。

【0024】

第１チャネル６０ａから入射された第１ラマン散乱光Ｌ４は、グレーティング６１で分散された上で、検出器６４により強度分布が検出される。第２チャネル６０ｂから入射された第２ラマン散乱光Ｌ５は、グレーティング６２で分散された上で、検出器６４により強度分布が検出される。第３チャネル６０ｃから入射された第３ラマン散乱光Ｌ６は、グレーティング６３で分散された上で、検出器６４により強度分布が検出される。

【0025】

＜顕微ラマン装置１００の効果＞
以下に、顕微ラマン装置１００の効果を、比較例に係る顕微ラマン装置（「顕微ラマン装置２００」とする）と対比しながら説明する。

【0026】

図２は、顕微ラマン装置２００の概略図である。図２に示されるように、顕微ラマン装置２００は、第１レーザ光源１１、第２レーザ光源１２及び第３レーザ光源１３と、切り換えロングパスフィルタ２４と、切り換えミラー３４と、ミラー４０と、対物レンズ５０と、分光器６０と、筐体７０とを有している。

【0027】

切り換えロングパスフィルタ２４は、ロングパスフィルタ２４ａと、ロングパスフィルタ２４ｂと、ロングパスフィルタ２４ｃとを有している。切り換えロングパスフィルタ２４は、ロングパスフィルタ２４ａ、ロングパスフィルタ２４ｂ及びロングパスフィルタ２４ｃのいずれかに切り換えて使用される。切り換えミラー３４は、ミラー３４ａと、ミラー３４ｂと、ミラー３４ｃとを有している。切り換えミラー３４は、ミラー３４ａ、ミラー３４ｂ及びミラー３４ｃの各々の使用又は不使用を切り換え可能である。

【0028】

第１レーザ光源１１が用いられる際には、切り換えロングパスフィルタ２４はロングパスフィルタ２４ａを使用し、切り換えミラー３４はミラー３４ａを不使用とする。これにより、第１レーザ光Ｌ１が、ロングパスフィルタ２４ａ及びミラー４０で反射されるとともに、対物レンズ５０を通ってサンプルＳに照射される。第１ラマン散乱光Ｌ４は、ミラー４０で反射されるとともに、ロングパスフィルタ２４ａを通過してチャネル６０ｄから分光器６０に入射される。

【0029】

第２レーザ光源１２が用いられる際には、切り換えロングパスフィルタ２４はロングパスフィルタ２４ｂを使用し、切り換えミラー３４はミラー３４ａ及びミラー３４ｂを使用する。これにより、第２レーザ光Ｌ２が、ミラー３４ｂ、ミラー３４ａ、ロングパスフィルタ２４ｂ及びミラー４０で反射されるとともに、対物レンズ５０を通ってサンプルＳに照射される。第２ラマン散乱光Ｌ５は、ミラー４０で反射されるとともに、ロングパスフィルタ２４ｂを通過してチャネル６０ｄから分光器６０に入射される。

【0030】

第３レーザ光源１３が用いられる際には、切り換えロングパスフィルタ２４はロングパスフィルタ２４ｃを使用し、切り換えミラー３４はミラー３４ａ及びミラー３４ｃを使用してミラー３４ｂは不使用とする。これにより、第２レーザ光Ｌ２が、ミラー３４ｂ、ミラー３４ａ、ロングパスフィルタ２４ｂ及びミラー４０で反射されるとともに、対物レンズ５０を通ってサンプルＳに照射される。第３ラマン散乱光Ｌ６は、ミラー４０で反射されるとともに、ロングパスフィルタ２４ｃを通過してチャネル６０ｄから分光器６０に入射される。

【0031】

チャネル６０ｄから入射された第１ラマン散乱光Ｌ４、第２ラマン散乱光Ｌ５及び第３ラマン散乱光Ｌ６の強度分布のいずれかは、グレーティング６１、グレーティング６２及びグレーティング６３を切り換えて用いることにより、検出器６４により検出される。

【0032】

以上のように、顕微ラマン装置２００では、第１レーザ光源１１、第２レーザ光源１２及び第３レーザ光源１３の切り換えが行われる際に、ロングパスフィルタ２４ａ、ロングパスフィルタ２４ｂ及びロングパスフィルタ２４ｃの切り換え並びにミラー３４ａ、ミラー３４ｂ及びミラー３４ｃの切り換えも行われるため、第１レーザ光源１１、第２レーザ光源１２及び第３レーザ光源１３の切り換えに伴うロングパスフィルタ２４ａ、ロングパスフィルタ２４ｂ及びロングパスフィルタ２４ｃの光軸のずれ並びにミラー３４ａ、ミラー３４ｂ及びミラー３４ｃの光軸のずれが生じるおそれがある。

【0033】

他方で、顕微ラマン装置１００では、第１レーザ光源１１、第２レーザ光源１２及び第３レーザ光源１３の切り換えが行われる際に、２色性ビームスプリッタ２１、２色性ビームスプリッタ２２及び２色性ビームスプリッタ２３の切り換え並びに２色性ビームスプリッタ３１、２色性ビームスプリッタ３２及びミラー３３の切り換えが不要である。そのため、顕微ラマン装置１００によると、２色性ビームスプリッタ２１、２色性ビームスプリッタ２２及び２色性ビームスプリッタ２３の光軸のずれ並びに２色性ビームスプリッタ３１、２色性ビームスプリッタ３２及びミラー３３の光軸のずれを防止することができる。

【0034】

顕微ラマン装置１００では、２色性ビームスプリッタ２１、２色性ビームスプリッタ２２及び２色性ビームスプリッタ２３の切り換え並びに２色性ビームスプリッタ３１、２色性ビームスプリッタ３２及びミラー３３の切り換えが不要であるため、第１レーザ光源１１、第２レーザ光源１２及び第３レーザ光源１３の切り換えが行われる際に筐体７０を開放する必要がなく、第１レーザ光源１１、第２レーザ光源１２及び第３レーザ光源１３の切り換えに伴うレーザ被曝を防止することができる。顕微ラマン装置１００では、第１レーザ光源１１、第２レーザ光源１２及び第３レーザ光源１３の切り換えに伴うグレーティング６１、グレーティング６２及びグレーティング６３の切り換えも不要とすることができる。

【0035】

＜変形例＞
図３は、変形例に係る顕微ラマン装置１００の概略図である。図３に示されるように、顕微ラマン装置１００は、第３レーザ光源１３、２色性ビームスプリッタ２３及びミラー３３を有していなくてもよい。この場合、分光器６０は、第３チャネル６０ｃを有していなくてもよい。すなわち、上記の例では、３つのレーザ光源を用いる際のものであるが、用いられるレーザ光源の数は２つであってもよい。また、用いられるレーザ光源の数は、４つ以上であってもよい。なお、この場合、レーザ光源の数に合わせて、２色性ビームスプリッタ及びミラーの数を増加させればよい。

【0036】

（第２実施形態）
第２実施形態に係る顕微ラマン装置を説明する。以下においては、第２実施形態に係る顕微ラマン装置を、顕微ラマン装置３００とする。ここでは、顕微ラマン装置１００と異なる点を主に説明し、重複する説明は繰り返さないものとする。

【0037】

＜顕微ラマン装置３００の構成＞
以下に、顕微ラマン装置３００の構成を説明する。

【0038】

図４は、顕微ラマン装置３００の概略図である。図４に示されるように、顕微ラマン装置３００は、第１レーザ光源１１と、第２レーザ光源１２及び第３レーザ光源１３と、２色性ビームスプリッタ２１、２色性ビームスプリッタ２２及び２色性ビームスプリッタ２３と、２色性ビームスプリッタ３１、２色性ビームスプリッタ３２及びミラー３３と、ミラー４０と、対物レンズ５０と、分光器６０と、筐体７０とを有している。この点に関して、顕微ラマン装置３００の構成は、顕微ラマン装置１００の構成と共通している。

【0039】

顕微ラマン装置３００は、シャッタ８０をさらに有している。シャッタ８０は、第１ラマン散乱光Ｌ４、第２ラマン散乱光Ｌ５及び第３ラマン散乱光Ｌ６のいずれかを、選択的に通過させる。シャッタ８０は、例えば、２色性ビームスプリッタ３１、２色性ビームスプリッタ３２及びミラー３３と分光器６０との間に配置されている。

【0040】

シャッタ８０は、好ましくは、２色性ビームスプリッタ２１、２色性ビームスプリッタ２２及び２色性ビームスプリッタ２３と分光器６０との間に配置されている。すなわち、シャッタ８０は、好ましくは、２色性ビームスプリッタ２１を通過した第１ラマン散乱光Ｌ４、２色性ビームスプリッタ２２を通過した第２ラマン散乱光Ｌ５及び２色性ビームスプリッタ２３を通過した第３ラマン散乱光Ｌ６のいずれかを選択的に通過させ、分光器６０に入射させる。これらの点に関して、顕微ラマン装置３００の構成は、顕微ラマン装置１００の構成と異なっている。

【0041】

＜顕微ラマン装置３００の効果＞
以下に、顕微ラマン装置３００の効果を説明する。

【0042】

第１レーザ光Ｌ１がサンプルＳに照射されることにより、サンプルＳからは、第１ラマン散乱光Ｌ４に加え、第１アンチストークス光が発生することがある。第１アンチストークス光の波長は、波長λ１よりも短い。そのため、第１アンチストークス光は、ミラー４０、２色性ビームスプリッタ３１及び２色性ビームスプリッタ３２で順次反射され、かつ２色性ビームスプリッタ２２を通過して分光器６０に入射されることがある。また、第１アンチストークス光は、ミラー４０及び２色性ビームスプリッタ３１で順次反射され、２色性ビームスプリッタ３２を通過し、ミラー３３で反射され、かつ２色性ビームスプリッタ２３を通過して分光器６０に入射されることがある。

【0043】

第１アンチストークス光が分光器６０に入射されると、第１ラマン散乱光Ｌ４のみならず第１アンチストークス光も、検出器６４に達する。その結果、第１ラマン散乱光Ｌ４の強度分布を正確に検知することができなくなる。このことは、第２レーザ光Ｌ２がサンプルＳに照射されることにより発生する第２アンチストークス光についても同様である。

【0044】

他方で、顕微ラマン装置３００では、シャッタ８０が、第１ラマン散乱光Ｌ４、第２ラマン散乱光Ｌ５及び第３ラマン散乱光Ｌ６のいずれかを選択的に通過させる。そのため、顕微ラマン装置３００では、第１ラマン散乱光Ｌ４がシャッタ８０を通過する際に、第１アンチストークス光がシャッタ８０により遮られ、第２ラマン散乱光Ｌ５がシャッタ８０を通過する際には第２アンチストークス光がシャッタ８０により遮られることになる。そのため、顕微ラマン装置３００によると、サンプルＳからのラマン散乱光の強度分布をより正確に検知することができる。

【0045】

シャッタ８０が２色性ビームスプリッタ２１を通過した第１ラマン散乱光Ｌ４，２色性ビームスプリッタ２２を通過した第２ラマン散乱光Ｌ５及び２色性ビームスプリッタ２３を通過した第３ラマン散乱光Ｌ６を選択的に通過させる場合、シャッタ８０が分光器６０の近くに配置されることになるため、迷光が分光器６０に入射されることを防止できる。

【0046】

（第３実施形態）
第３実施形態に係る顕微ラマン装置を説明する。以下においては、第３実施形態に係る顕微ラマン装置を、顕微ラマン装置４００とする。ここでは、顕微ラマン装置１００と異なる点を主に説明し、重複する説明は繰り返さないものとする。

【0047】

＜顕微ラマン装置４００の構成＞
以下に、顕微ラマン装置４００の構成を説明する。

【0048】

図５は、顕微ラマン装置４００の概略図である。図５に示されるように、顕微ラマン装置４００は、第１レーザ光源１１と、第２レーザ光源１２及び第３レーザ光源１３と、２色性ビームスプリッタ２１、２色性ビームスプリッタ２２及び２色性ビームスプリッタ２３と、２色性ビームスプリッタ３１、２色性ビームスプリッタ３２及びミラー３３と、ミラー４０と、対物レンズ５０と、分光器６０と、筐体７０とを有している。この点に関して、顕微ラマン装置４００の構成は、顕微ラマン装置１００の構成と共通している。

【0049】

顕微ラマン装置４００では、第１チャネル６０ａ、第２チャネル６０ｂ及び第３チャネル６０ｃの開閉により、第１ラマン散乱光Ｌ４、第２ラマン散乱光Ｌ５及び第３ラマン散乱光Ｌ６のいずれかが、分光器６０に選択的に入射される。この点に関して、顕微ラマン装置４００の構成は、顕微ラマン装置１００の構成と異なっている。

【0050】

＜顕微ラマン装置４００の効果＞
以下に、顕微ラマン装置４００の効果を説明する。

【0051】

顕微ラマン装置４００では、第１チャネル６０ａ、第２チャネル６０ｂ及び第３チャネル６０ｃの開閉により、第１ラマン散乱光Ｌ４、第２ラマン散乱光Ｌ５及び第３ラマン散乱光Ｌ６のいずれかが分光器６０に選択的に入射される。そのため、顕微ラマン装置４００では、第１ラマン散乱光Ｌ４が第１チャネル６０ａを通過する際には第１アンチストークス光が第２チャネル６０ｂ及び第３チャネル６０ｃにより遮られ、第２ラマン散乱光Ｌ５が第２チャネル６０ｂを通過する際には第２アンチストークス光が第３チャネル６０ｃにより遮られることになる。そのため、顕微ラマン装置４００によると、サンプルＳからのラマン散乱光の強度分布をより正確に検知することができる。

【0052】

以上のように本開示の実施形態について説明を行ったが、上述の実施形態を様々に変形することも可能である。また、本発明の範囲は、上記の実施形態に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更を含むことが意図される。

【符号の説明】

【0053】

１００ 顕微ラマン装置、１１ 第１レーザ光源、１２ 第２レーザ光源、１３ 第３レーザ光源、２１，２２，２３ ２色性ビームスプリッタ、２４ 切り換えロングパスフィルタ、２４ａ，２４ｂ，２４ｃ ロングパスフィルタ、３１，３２ ２色性ビームスプリッタ、３３ ミラー、３４ 切り換えミラー、３４ａ，３４ｂ，３４ｃ ミラー、４０ ミラー、５０ 対物レンズ、６０ 分光器、６０ａ 第１チャネル、６０ｂ 第２チャネル、６０ｃ 第３チャネル、６０ｄ チャネル、６１，６２，６３ グレーティング、６４ 検出器、７０ 筐体、８０ シャッタ、Ｓ サンプル、２００，３００，４００ 顕微ラマン装置、Ｌ１ 第１レーザ光、Ｌ２ 第２レーザ光、Ｌ３ 第３レーザ光、Ｌ４ 第１ラマン散乱光、Ｌ５ 第２ラマン散乱光、Ｌ６ 第３ラマン散乱光。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】