特開 2024-21395 残圧排気エア回路及び残圧排気弁

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024021395

(43)【公開日】2024-02-16

(54)【発明の名称】残圧排気エア回路及び残圧排気弁

(51)【国際特許分類】

   F15B 20/00 20060101AFI20240208BHJP

   F16K 37/00 20060101ALI20240208BHJP

【ＦＩ】

F15B20/00 E

F16K37/00 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022124192

(22)【出願日】2022-08-03

(71)【出願人】

【識別番号】000102511

【氏名又は名称】ＳＭＣ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100119404

【弁理士】

【氏名又は名称】林 直生樹

(74)【代理人】

【識別番号】100177769

【弁理士】

【氏名又は名称】石川 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100188743

【弁理士】

【氏名又は名称】加藤 誠

(72)【発明者】

【氏名】野口 和宏

【テーマコード（参考）】

3H065

3H082

【Ｆターム（参考）】

3H065AA04

3H065BA02

3H065BA07

3H065CA01

3H082AA20

3H082AA22

3H082CC03

3H082DA11

3H082DA18

3H082DA24

3H082DA40

3H082DA41

3H082DA48

3H082DE05

(57)【要約】

【課題】流路を切り換える２つの電磁弁の誤作動を１つの圧力センサによって検出すると同時に、エア機器の残圧を電磁弁を通じて迅速且つ確実に排気することができるようにする。
【解決手段】残圧排気エア回路１は、エア源２からのエアをエアシリンダ１００に供給する主流路９と、エアシリンダ１００のエアを排気する排気流路１０と、電磁弁１２，１３の誤作動を検出する第１センサ８と、該第１センサ８に前記エア源２からのエアを供給する検出流路１１と、主流路９、排気流路１０及び検出流路１１の連通状態を切り換える２つの電磁弁１２，１３とを有し、２つの電磁弁１２，１３は、オフ時の第１位置１２ａ，１３ａとオン時の第２位置１２ｂ，１３ｂとを有する２位置弁からなっていて、同期的にオン・オフ制御され、２つの電磁弁１２，１３が同期して動作しない場合、エア源２からのエアを第１センサ８に供給して２つの電磁弁１２，１３の誤作動を検出すると同時に、エアシリンダ１００のエアを電磁弁１２，１３を通じて排気する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

エア源からのエアをエアシリンダに供給する主流路と、前記エアシリンダのエアを排気する排気流路と、前記エア源からのエアを第１センサに供給する検出流路と、前記主流路、排気流路及び検出流路の連通状態を切り換える２つの電磁弁と、前記２つの電磁弁の誤作動をエアの作用により検出する前記第１センサとを有し、
前記２つの電磁弁は、オフ時の第１位置とオン時の第２位置とを有する２位置弁であって、同期的にオン・オフ制御され、
前記２つの電磁弁が共に前記第１位置にあるときは、前記主流路が遮断されて前記エアシリンダへのエアの供給が停止されると共に、前記エアシリンダ及び検出流路が前記排気流路に接続されることにより該エアシリンダ及び検出流路が排気状態にされ、
前記２つの電磁弁が共に前記第２位置にあるときは、前記主流路が導通状態になってエア源からのエアが該主流路を通じて前記エアシリンダに供給されると共に、前記排気流路及び前記検出流路が遮断されることにより前記排気流路によるエアシリンダのエアの排気及び前記検出流路による前記第１センサへのエアの供給が停止され、
前記２つの電磁弁の一方が第１位置にあって他方が第２位置にあるときは、前記主流路が遮断されて前記エアシリンダへのエアの供給が停止されると共に、前記排気流路が前記エアシリンダに接続されることにより該排気流路を通じて前記エアシリンダのエアの排気が行われ、且つ、前記検出流路がエア源に接続されて該エア源からのエアが前記第１センサに供給されることにより該第１センサで前記２つの電磁弁の誤作動が検出される、
ように構成されていることを特徴とする残圧排気エア回路。

【請求項2】

前記主流路にソフトスタートバルブが接続され、
前記ソフトスタートバルブは、エアで操作される切換弁と、エアの流量を制限する絞り弁とを並列に接続することにり構成されていて、前記２つの電磁弁が共にオンになって前記主流路を通じてエア源と前記エアシリンダとが接続されたとき、前記絞り弁を通じて前記エアシリンダに制限流量のエアを供給することにより該エアシリンダをソフトスタートさせ、前記主流路のエアの一部が前記切換弁にフィードバックされると該切換弁が切り換わり、前記エア源からのエアを自由流れ状態で前記エアシリンダに供給するように構成されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の残圧排気エア回路。

【請求項3】

前記２つの電磁弁の一方は、前記主流路の前記入力ポート寄りの位置に接続された第１電磁弁であり、他方は、前記主流路の前記出力ポート寄りの位置に接続された第２電磁弁であり、
前記排気流路は、前記第１電磁弁の故障時に、前記第２電磁弁を通じて前記エアシリンダのエアを排気し、前記第２電磁弁の故障時に、該第２電磁弁を経由して前記第１電磁弁を通じて前記エアシリンダのエアを排気する、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の残圧排気エア回路。

【請求項4】

前記主流路に、前記エアシリンダに供給されるエアの圧力を検出する第２センサとエアの圧力を表示するエアゲージとが接続されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の残圧排気エア回路。

【請求項5】

ハウジングに、エア源に接続される入力ポートと、エアシリンダに接続される出力ポートと、外部に開放する排気ポートとを設けると共に、前記入力ポートと出力ポートとを結ぶ主流路と、前記出力ポートと排気ポートとを結ぶ排気流路と、前記入力ポートと第１センサとを結ぶ検出流路と、前記主流路、排気流路及び検出流路の連通状態を切り換える２つの電磁弁と、前記検出流路を通じて供給されるエアの作用により前記２つの電磁弁の誤作動を検出する前記第１センサと、前記エアシリンダをソフトスタートさせるためのソフトスタートバルブとを設けることにより構成され、
前記２つの電磁弁は、オフ時の第１位置とオン時の第２位置とを有する２位置弁であって、同期的にオン・オフ制御され、
前記２つの電磁弁が共に前記第１位置にあるときは、前記主流路が遮断されて前記エアシリンダへのエアの供給が停止されると共に、前記エアシリンダ及び検出流路が前記排気流路に接続されることにより該エアシリンダ及び検出流路が排気状態にされ、
前記２つの電磁弁が共に前記第２位置にあるときは、前記主流路が導通状態になってエア源からのエアが該主流路を通じて前記エアシリンダに供給されると共に、前記排気流路及び前記検出流路が遮断されることにより前記排気流路によるエアシリンダのエアの排気及び前記検出流路による前記第１センサへのエアの供給が停止され、
前記２つの電磁弁の一方が第１位置にあって他方が第２位置にあるときは、前記主流路が遮断されて前記エアシリンダへのエアの供給が停止されると共に、前記排気流路が前記エアシリンダに接続されることにより該排気流路を通じて前記エアシリンダのエアの排気が行われ、且つ、前記検出流路がエア源に接続されて該エア源からのエアが前記第１センサに供給されることにより該第１センサで前記２つの電磁弁の誤作動が検出される、
ように構成されていることを特徴とする残圧排気弁。

【請求項6】

前記ハウジングに、前記出力ポートから前記エアシリンダに供給されるエアの圧力を検出する第２センサとエアの圧力を表示するエアゲージとが設けられていることを特徴とする請求項５に記載の残圧排気弁。

【請求項7】

前記ハウジングは、前後方向に細長い直方体状をしていて、該ハウジングの内部に、該ハウジングの前後方向に並行して延びる第１軸線及び第２軸線に沿って３つの弁孔が形成され、前記第１軸線に沿って形成された第１弁孔の内部に、前記第１電磁弁の第１スプールが摺動自在に収容され、前記第２軸線に沿って形成された第２弁孔及び第３弁孔のうち、ハウジングの後方側に位置する第２弁孔の内部に、前記第２電磁弁の第２スプールが摺動自在に収容され、ハウジングの前方側に位置する第３弁孔の内部に、前記ソフトスタートバルブの第３スプールが摺動自在に収容されていることを特徴とする請求項５又は６に記載の残圧排気弁。

【請求項8】

前記ハウジングは、中央の本体ブロックと、該本体ブロックの後端部に取り付けられた後部カバーと、前端部に取り付けられた前部プレート及び前部カバーとを有し、
前記本体ブロックに、前記入力ポート及び出力ポートと、前記第１スプール、第２スプール及び第３スプールが設けられると共に、前記エアゲージが設けられ、
前記後部カバーに前記排気ポートが設けられ、
前記前部プレートに、前記第１電磁弁の第１パイロット弁と、前記第２電磁弁の第２パイロット弁とが取り付けられると共に、前記第１センサと第２センサとが取り付けられ、
前記前部カバーは、前記第１パイロット弁、第２パイロット弁、第１センサ及び第２センサを覆うと共に、該前部カバーに、給電用及び信号用の電気配線を接続するためのコネクタが設けられている、
ことを特徴とする請求項６を引用する請求項７に記載の残圧排気弁。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、エアシリンダ等のエア機器を制御するエア回路の電磁弁が誤作動して前記エア機器が停止した場合等に、該電磁弁の誤作動を検出すると同時に前記エア機器の残圧を排気することができる残圧排気エア回路及び残圧排気弁に関するものである。

【背景技術】

【0002】

エアシリンダ等のエア機器を制御するエア回路の電磁弁が誤作動して前記エア機器が停止した場合に、前記電磁弁の誤作動を検出して前記エア機器の残圧を排気するようにしたエア回路は、図１４に示すように公知である。この公知のエア回路は、エア源７０とエア機器７１とを結ぶエアライン７２中に、リミットスイッチ７６付きの２つの３ポート電磁弁７３，７４を接続することにより構成され、前記エア機器の動作中に一方の電磁弁７３又は７４が故障して正常に作動しなくなった場合に、その故障をリミットスイッチ７６により検出して他方の電磁弁７４又は７３をオフにすることにより、エア機器中の残圧を排気して安全性を確保するようにしたものである。

【0003】

しかしながら、前記公知のエア回路は、２つの電磁弁７３，７４の故障をそれぞれに取り付けたリミットスイッチ７６で機械的に検出し、その検出信号を比較することにより、シーケンサ等の制御装置７５で他方の電磁弁をオフにするなどの制御を行うものであるため、リミットスイッチ付きの電磁弁を使用する必要があると同時に、前記シーケンサ及びその制御プログラムも必要であり、設備コストがかかる上に、安全機能とシーケンサプログラムとに精通した技術者を確保しなければならないという問題があった。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明の技術的課題は、リミットスイッチ付きの電磁弁を使用することなく、２つの電磁弁の誤作動を１つの圧力センサによって検出することができると共に、エア機器の残圧を電磁弁を通じて迅速且つ確実に排気することができる残圧排気エア回路及び残圧排気弁を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0005】

前記課題を解決するため、本発明によれば、エア源からのエアをエアシリンダに供給する主流路と、前記エアシリンダのエアを排気する排気流路と、前記エア源からのエアを第１センサに供給する検出流路と、前記主流路、排気流路及び検出流路の連通状態を切り換える２つの電磁弁と、前記２つの電磁弁の誤作動をエアの作用により検出する前記第１センサとを有する残圧排気エア回路が提供される。
前記残圧排気エア回路において、前記２つの電磁弁は、オフ時の第１位置とオン時の第２位置とを有する２位置弁であって、同期的にオン・オフ制御され、前記２つの電磁弁が共に前記第１位置にあるときは、前記主流路が遮断されて前記エアシリンダへのエアの供給が停止されると共に、前記エアシリンダ及び検出流路が前記排気流路に接続されることにより該エアシリンダ及び検出流路が排気状態にされ、前記２つの電磁弁が共に前記第２位置にあるときは、前記主流路が導通状態になってエア源からのエアが該主流路を通じて前記エアシリンダに供給されると共に、前記排気流路及び前記検出流路が遮断されることにより前記排気流路によるエアシリンダのエアの排気及び前記検出流路による前記第１センサへのエアの供給が停止され、前記２つの電磁弁の一方が第１位置にあって他方が第２位置にあるときは、前記主流路が遮断されて前記エアシリンダへのエアの供給が停止されると共に、前記排気流路が前記エアシリンダに接続されることにより該排気流路を通じて前記エアシリンダのエアの排気が行われ、且つ、前記検出流路がエア源に接続されて該エア源からのエアが前記第１センサに供給されることにより該第１センサで前記２つの電磁弁の誤作動が検出されるように構成されている。

【0006】

本発明においては、前記主流路にソフトスタートバルブが接続され、該ソフトスタートバルブは、エアで操作される切換弁と、エアの流量を制限する絞り弁とを並列に接続することにり構成されていて、前記２つの電磁弁が共にオンになって前記主流路を通じてエア源と前記エアシリンダとが接続されたとき、前記絞り弁を通じて前記エアシリンダに制限流量のエアを供給することにより該エアシリンダをソフトスタートさせ、前記主流路のエアの一部が前記切換弁にフィードバックされると該切換弁が切り換わり、前記エア源からのエアを自由流れ状態で前記エアシリンダに供給するように構成されていても良い。

【0007】

また、本発明において、前記２つの電磁弁の一方は、前記主流路の前記入力ポート寄りの位置に接続された第１電磁弁であり、他方は、前記主流路の前記出力ポート寄りの位置に接続された第２電磁弁であり、前記排気流路は、前記第１電磁弁の故障時に、前記第２電磁弁を通じて前記エアシリンダのエアを排気し、前記第２電磁弁の故障時には、該第２電磁弁を経由して前記第１電磁弁を通じて前記エアシリンダのエアを排気するように構成されていることが好ましい。

【0008】

また、本発明においては、前記主流路に、前記エアシリンダに供給されるエアの圧力を検出する第２センサとエアの圧力を表示するエアゲージとが接続されていても良い。

【0009】

また、本発明によれば、ハウジングに、エア源に接続される入力ポートと、エアシリンダに接続される出力ポートと、外部に開放する排気ポートとを設けると共に、前記入力ポートと出力ポートとを結ぶ主流路と、前記出力ポートと排気ポートとを結ぶ排気流路と、前記入力ポートと第１センサとを結ぶ検出流路と、前記主流路、排気流路及び検出流路の連通状態を切り換える２つの電磁弁と、前記検出流路を通じて供給されるエアの作用により前記２つの電磁弁の誤作動を検出する前記第１センサと、前記エアシリンダをソフトスタートさせるためのソフトスタートバルブとを設けることにより構成された残圧排気弁が提供される。
前記残圧排気弁において、前記２つの電磁弁は、オフ時の第１位置とオン時の第２位置とを有する２位置弁であって、同期的にオン・オフ制御され、前記２つの電磁弁が共に前記第１位置にあるときは、前記主流路が遮断されて前記エアシリンダへのエアの供給が停止されると共に、前記エアシリンダ及び検出流路が前記排気流路に接続されることにより該エアシリンダ及び検出流路が排気状態にされ、前記２つの電磁弁が共に前記第２位置にあるときは、前記主流路が導通状態になってエア源からのエアが該主流路を通じて前記エアシリンダに供給されると共に、前記排気流路及び前記検出流路が遮断されることにより前記排気流路によるエアシリンダのエアの排気及び前記検出流路による前記第１センサへのエアの供給が停止され、前記２つの電磁弁の一方が第１位置にあって他方が第２位置にあるときは、前記主流路が遮断されて前記エアシリンダへのエアの供給が停止されると共に、前記排気流路が前記エアシリンダに接続されることにより該排気流路を通じて前記エアシリンダのエアの排気が行われ、且つ、前記検出流路がエア源に接続されて該エア源からのエアが前記第１センサに供給されることにより該第１センサで前記２つの電磁弁の誤作動が検出されるように構成されている。

【0010】

本発明においては、前記ハウジングに、前記出力ポートから前記エアシリンダに供給されるエアの圧力を検出する第２センサとエアの圧力を表示するエアゲージとが設けられていても良い。

【0011】

また、本発明において、前記ハウジングは、前記ハウジングは、前後方向に細長い直方体状をしていて、該ハウジングの内部に、該ハウジングの前後方向に並行して延びる第１軸線及び第２軸線に沿って３つの弁孔が形成され、前記第１軸線に沿って形成された第１弁孔の内部に、前記第１電磁弁の第１スプールが摺動自在に収容され、前記第２軸線に沿って形成された第２弁孔及び第３弁孔のうち、ハウジングの後方側に位置する第２弁孔の内部に、前記第２電磁弁の第２スプールが摺動自在に収容され、ハウジングの前方側に位置する第３弁孔の内部に、前記ソフトスタートバルブの第３スプールが摺動自在に収容されていることが好ましい。

【0012】

また、本発明において、前記ハウジングは、中央の本体ブロックと、該本体ブロックの後端部に取り付けられた後部カバーと、前端部に取り付けられた前部プレート及び前部カバーとを有し、前記本体ブロックに、前記入力ポート及び出力ポートと、前記第１スプール、第２スプール及び第３スプールが設けられると共に、前記エアゲージが設けられ、前記後部カバーに前記排気ポートが設けられ、前記前部プレートに、前記第１電磁弁の第１パイロット弁と、前記第２電磁弁の第２パイロット弁とが取り付けられると共に、前記第１センサ及び第２センサが取り付けられ、前記前部カバーは、前記第１パイロット弁、第２パイロット弁、第１センサ及び第２センサを覆うと共に、該前部カバーに、給電用及び信号用の電気配線を接続するためのコネクタが設けられている、ことが好ましい。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、残圧排気エア回路及び残圧排気弁を、リミットスイッチ付きの電磁弁やシーケンサ等を使用することなく、１つの圧力センサによって電磁弁の誤作動を検出することができるように構成したので、その構成が非常に簡易で設備コストも低く、シーケンサプログラムに精通した技術者を確保する必要もない。また、電磁弁が誤作動した場合には、エア機器の残圧を直ちに排気することができるので、安全性にも勝れる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明に係る残圧排気エア回路の回路図であって、電磁弁がオフの時の動作状態を示す図である。

【図2】前記残圧排気エア回路の異なる動作状態を示す回路図である。

【図3】前記残圧排気エア回路の更に異なる動作状態を示す回路図である。

【図4】前記残圧排気エア回路の更に異なる動作状態を示す回路図である。

【図5】前記残圧排気エア回路の更に異なる動作状態を示す回路図である。

【図6】本発明に係る残圧排気弁の斜視図である。

【図7】図６の残圧排気弁を２つの電磁弁と切換弁との位置で切断して示す縦断面図であって、２つの電磁弁及び切換弁が何れもオフ時の第１位置にある状態を示す図である。

【図8】図７のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿った断面図である。

【図9】図７のＩＸ－ＩＸ線に沿った断面図である。

【図10】図７の状態から２つの電磁弁がオンになって第２位置に切り換わった時の状態を示す断面図である。

【図11】図１０の状態から切換弁がオンになって第２位置に切り換わった時の状態を示す断面図である。

【図12】図１１の状態から第２電磁弁がオフになって第１位置に復帰した時の状態を示す断面図である。

【図13】図１１の状態から第１電磁弁がオフになって第１位置に復帰した時の状態を示す断面図である。

【図14】公知のエア制御回路図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

図１－図５には、本発明に係る誤作動検出機能を有する残圧排気エア回路の回路図が示されている。この残圧排気エア回路１は、圧縮空気を供給するエア源２に入力配管３により接続される入力ポート４と、エア機器の一種であるエアシリンダ１００に出力配管７により接続される出力ポート５と、外部に開放する排気ポート６と、電磁弁１２，１３の誤作動をエアの作用により検出する第１センサ８と、前記エア源２からのエアを前記エアシリンダ１００に供給する際に前記入力ポート４と出力ポート５とを結ぶ主流路９と、前記エアシリンダ１００のエアを排気する際に前記出力ポート５と排気ポート６とを結ぶ排気流路１０と、前記電磁弁１２，１３が誤作動した時に前記入力ポート４と第１センサ８とを結ぶ検出流路１１と、前記主流路９、排気流路１０及び検出流路１１の連通状態を切り換える２つの前記電磁弁１２，１３とを設けることにより構成されている。

【0016】

前記エアシリンダ１００は、ピストン１０１及びロッド１０２が、圧力室１０３に供給されるエアと復帰ばね１０４とによって往復駆動される単動形のエアシリンダである。

【0017】

前記２つの電磁弁１２、１３は、電磁操作式のパイロット弁１２Ｐ、１３Ｐを有し、該パイロット弁１２Ｐ、１３Ｐのオン、オフ操作により給排されるパイロットエアと、復帰ばね１４とにより、オフ時（非通電時）の第１位置１２ａ、１３ａ（図１参照）とオン時（通電時）の第２位置１２ｂ、１３ｂ（図２参照）とに切り換えられる内部パイロット式の２位置５ポート形スプール弁であり、不図示の制御装置により互いに同期してオン・オフ制御される。

【0018】

前記２つの電磁弁１２、１３のうち、前記主流路９の入力ポート４寄りの位置に接続された第１電磁弁１２は、入力口Ｐ１、出力口Ａ１、排気口Ｒ１、検出口ＳＰ１、及び検出排気口ＳＲを有し、図１に示すように、該第１電磁弁１２が前記第１位置１２ａにある時には、入力口Ｐ１と検出口ＳＰ１とが連通すると共に、排気口Ｒ１と出力口Ａ１とが連通し、図２に示すように、該第１電磁弁１２が前記第２位置１２ｂに切り換わると、入力口Ｐ１と出力口Ａ１とが連通すると共に、検出排気口ＳＲと検出口ＳＰ１とが連通する。

【0019】

また、前記主流路９の出力ポート５寄りの位置に配置された第２電磁弁１３は、入力口Ｐ２、出力口Ａ２、排気口Ｒ２、検出口ＳＰ２、及び検出出力口ＳＡを有し、図１に示すように、該第２電磁弁１３が前記第１位置１３ａにある時は、入力口Ｐ２と検出出力口ＳＡとが連通すると共に、排気口Ｒ２と出力口Ａ２とが連通し、図２に示すように、該第２電磁弁１３が前記第２位置１３ｂに切り換わると、入力口Ｐ２と出力口Ａ２とが連通すると共に、検出口ＳＰ２と検出出力口ＳＡとが連通する。

【0020】

前記第１電磁弁１２の入力口Ｐ１は、主流路９の一部を構成する入力流路１７を通じて前記入力ポート４に接続され、該第１電磁弁１２の出力口Ａ１は、第１連通路１８を通じて前記第２電磁弁１３の入力口Ｐ２に接続され、前記第１電磁弁１２の検出口ＳＰ１は、第２連通路１９を通じて前記第２電磁弁１３の検出口ＳＰ２に接続され、前記第１電磁弁１２の排気口Ｒ１は、排気連通路１０ａを通じて前記排気流路１０に接続されている。

【0021】

また、前記第２電磁弁１３の出力口Ａ２は、出力流路２０を通じて前記出力ポート５に接続され、該第２電磁弁１３の検出出力口ＳＡは、前記検出流路１１を通じて前記第１センサ８に接続され、該第２電磁弁１３の排気口Ｒ２は、前記排気流路１０を通じて前記排気ポート６に接続されている。

【0022】

なお、前記出力流路２０は、前記エア源２からのエアが前記エアシリンダ１００に供給されるときは前記主流路９の一部を構成し、前記エアシリンダ１００のエアが排気されるときは前記排気流路１０の一部を構成する。同様に、前記第１連通路１８は、前記エア源２からのエアが前記エアシリンダ１００に供給されるときは前記主流路９の一部を構成し、前記電磁弁１２，１３の誤作動時には前記検出流路１１の一部を構成する。

【0023】

前記主流路９には、前記エアシリンダ１００をソフトスタートさせるためのソフトスタートバルブ２１が接続されている。

【0024】

前記ソフトスタートバルブ２１は、切換弁２２と、エアの流量を制限する絞り弁２３とを並列に接続することにより構成されていて、前記入力流路１７の前記第１電磁弁１２と入力ポート４との間に接続されている。

【0025】

前記切換弁２２は、ノーマルクローズ型の２ポートスプール弁であって、入力口ＳＳＰ及び出力口ＳＳＡを有し、通常は、図１に示すように第１位置２２ａ（オフ位置）にあって、前記入力口ＳＳＰと出力口ＳＳＡとが遮断されることにより入力流路１７を遮断（閉鎖）しているが、前記出力流路２０からエアシリンダ１００に供給されるエアの一部が該出力流路２０に接続されたフィードバック流路２４を通じてフィードバックされると図３に示す第２位置２２ｂ（オン位置）に切り換わり、前記入力口ＳＳＰと出力口ＳＳＡとが導通することにより前記入力流路１７を開放（導通）する。

【0026】

前記絞り弁２３は、流路断面積を調整可能な可変絞り弁であり、前記切換弁２２を迂回する入力分岐路１７ａに接続されている。

【0027】

次に、前記残圧排気エア回路の動作について説明する。

【0028】

図１には、前記第１電磁弁１２及び第２電磁弁１３が共にオフで第１位置１２ａ及び１３ａを占めることにより、前記主流路９を遮断している状態が示されている。

【0029】

このとき、前記エアシリンダ１００の圧力室１０３に前記エア源２からのエアは供給されず、該圧力室１０３内のエアは、前記出力流路２０が第２電磁弁１３を通じて排気流路１０に接続されることにより、該排気流路１０を通じて排気ポート６から排気される。このため、前記エアシリンダ１００は、前記ピストン１０１及びロッド１０２が復帰ばね１０４に押されて初期位置まで後退した状態にある。

【0030】

また、前記検出流路１１は、前記第２電磁弁１３、第１連通路１８、第１電磁弁１２、排気分流路１０ａ及び排気流路１０を通じて排気ポート６に接続されるため、該検出流路１１内のエアも排気され、前記第１センサ８にエアは供給されない。

【0031】

更に、前記ソフトスタートバルブ２１の切換弁２２は、第１位置２２ａにあって前記入力流路１７を遮断している。前記絞り弁２３を通じて前記切換弁２２を迂回するエアは、前記主流路９が前記第１電磁弁１２及び第２電磁弁１３によって遮断されているため、前記エアシリンダ１００の圧力室１０３に供給されない。

【0032】

この状態から、図２に示すように、前記第１電磁弁１２及び第２電磁弁１３を同時にオンになって第２位置１２ｂ，１３ｂに切り換わると、前記入力流路１７と第１連通路１８及び出力流路２０が導通するため、エア源２からのエアが、前記絞り弁２３により流量制限された状態で徐々にエアシリンダ１００の圧力室１０３に供給され、該圧力室１０３内のエア圧力の上昇と共に、ピストン１０１が作業位置に向けてゆっくり前進を開始する。

【0033】

このとき、前記出力流路２０内のエアの一部は、前記フィードバック流路２４を通じて前記ソフトスタートバルブ２１の切換弁２２にフィードバックされ、前記ピストン１０１のソフトスタート開始後に、図３に示すように、該切換弁２２を第２位置２２ｂに切り換える。これにより、前記エア源２からのエアは、前記切換弁２２を通じて流量制限されない自由流れ状態でエアシリンダ１００の圧力室１０３に供給されるため、前記ピストン１０１は、速度を速めて作業位置まで前進する。

【0034】

このとき、前記排気流路１０は、第１電磁弁１２及び第２電磁弁１３によって出力ポート５から遮断されるため、前記エアシリンダ１００の圧力室１０３の排気は行われず、また、前記検出流路１１も、前記第１電磁弁１２及び第２電磁弁１３によって入力ポート４から遮断されるため、前記第１センサ８にエアは供給されない。

【0035】

なお、図１に示すように、前記出力流路２０に第２センサ２５を接続し、この第２センサ２５で、前記出力ポート５からエアシリンダ１００に出力されるエアの圧力を測定することもできる。また、前記出力流路２０に圧力ゲージ２６を接続し、この圧力ゲージ２６にエア圧力を表示させるように構成することもできる。

【0036】

続いて、図３の状態から、前記２つのパイロット弁１２Ｐ、１３Ｐを同時にオフにした場合、前記２つの電磁弁１２、１３が正常に動作すればそれぞれが第１位置１２ａ、１３ａに切り換わるため、図１に示す動作状態に復帰するが、どちらか一方の電磁弁１２又は１３が故障して前記第１位置１２ａ又は１３ａに切り換わらない場合には、以下に説明するように、それが前記第１センサ８により誤作動として検出されると同時に、安全確保のため、前記エアシリンダ１００の圧力室１０３内のエアが排気される。

【0037】

先ず、図４に示すように、第１電磁弁１２が故障して第２位置１２ｂに残り、第２電磁弁１３が正常に動作して第１位置１３ａに復帰した場合には、前記第１センサ８に通じる検出流路１１が、第２電磁弁１３、第１連通路１８及び第１電磁弁１２を通じて入力流路１７に接続されることにより、エア源２からのエアが該検出流路１１を通じて第１センサ８に供給されるため、該第１センサ８が制御装置に検出信号を出力し、その検出信号により、前記２つの電磁弁１２，１３が同期して作動していないことが誤作動として検出される。

【0038】

それと同時に、前記出力流路２０が、前記第２電磁弁１３を介して排気流路１０に接続されるため、前記エアシリンダ１００の圧力室１０３内のエアは、前記排気流路１０から排気ポート６を通じて外部に排気され、前記エアシリンダ１００のピストン１０１は復帰ばね１０４の力で初期位置に復帰する。

【0039】

また、図５に示すように、第１電磁弁１２が正常に動作して第１位置１２ａに復帰し、第２電磁弁１３が故障して第２位置１３ｂに残った場合には、前記検出流路１１が、第２電磁弁１３、第２連通路１９及び第１電磁弁１２を通じて入力流路１７に接続されることにより、エア源２からのエアが該検出流路１１を通じて第１センサ８に供給されされるため、該第１センサ８が制御装置に検出信号を出力し、その検出信号により、前記２つの電磁弁１２，１３が同期して作動していないことが誤作動として検出される。

【0040】

それと同時に、前記出力流路２０が、前記第２電磁弁１３、第１連通路１８、第１電磁弁１２、及び排気分流路１０ａを通じて排気流路１０に接続されるため、前記エアシリンダ１００の圧力室１０３のエアは、前記出力流路２０から、前記第２電磁弁１３、第１連通路１８、第１電磁弁１２、排気分流路１０ａ及び排気流路１０を通じて前記排気ポート６から外部に排気され、前記エアシリンダ１００のピストン１０１は初期位置に復帰する。

【0041】

このように、２つの電磁弁１２，１３のどちらか一方が故障した場合には、前記第１センサ８によりその故障を確実に検出することができると同時に、安全性確保のため、前記エアシリンダ１００の圧力室１０３内のエアを直ちに排気することができる。ただし、どちらの電磁弁１２，１３が故障したのかということは検出することができない。

【0042】

図６－図１３には、図１のエア回路１を構成する各要素を１つのハウジング３０に組み込んで構成した残圧排気弁９０が示されている。

【0043】

前記ハウジング３０は、図６及び図７に示すように、前後方向に細長い直方体状をしていて、中央の本体ブロック３１と、該本体ブロック３１の後端部に取り付けられた後部プレート３２及び後部カバー３３と、前端部に取り付けられた前部プレート３４ａ，３４ｂ及び前部カバー３５とからなっている。

【0044】

前記本体ブロック３１は、図８から明らかなように、一方の第１側面３１ａに前記入力ポート４が開設され、他方の第２側面３１ｂに前記出力ポート５が開設され、該本体ブロック３１の内部には、図７に示すように、前記第１電磁弁１２の第１スプール３６、前記第２電磁弁１３の第２スプール３７、前記ソフトスタートバルブ２１を構成する切換弁２２の第３スプール３８が設けられると共に、前記絞り弁２３が、図８に示すように、該本体ブロック３１の上面側から進退動操作することによって流量を調節可能なるように設けられ、該本体ブロック３１の上面に前記圧力ゲージ２６が取り付けられている。

【0045】

また、前記後部カバー３３には、前記排気ポート６が形成され、前記前部プレート３４ｂには、図９に示すように、前記第１電磁弁１２の第１パイロット弁１２Ｐ及び第２電磁弁１３の第２パイロット弁１３Ｐと、第１センサ８及び第２センサ２５とが取り付けられ、これら第１パイロット弁１２Ｐ、第２パイロット弁１３Ｐ、第１センサ８及び第２センサ２５が前記前部カバー３５で覆われており、該前部カバー３５には、給電用及び信号用の電気配線を接続するためのコネクタ３９が設けられている。

【0046】

前記本体ブロック３１に前記第１スプール３６、第２スプール３７及び第３スプール３８を組み込むため、該本体ブロック３１の内部には、図７から明らかなように、前記ハウジング３０の長手方向（前後方向）に延びる互いに並行な第１軸線Ｌ１及び第２軸線Ｌ２に沿って３つの弁孔４１，４２，４３が形成され、前記第１軸線Ｌ１に沿って形成された第１弁孔４１の内部に、前記第１スプール３６が摺動自在に収容され、前記第２軸線Ｌ２に沿って形成された第２弁孔４２及び第３弁孔４３のうち、ハウジング３０の後方側に位置する第２弁孔４２の内部に、前記第２スプール３７が摺動自在に収容され、ハウジング３０の前方側に位置する第３弁孔４３の内部に、前記第３スプール３８が摺動自在に収容されている。前記第２弁孔４２と第３弁孔４３とは隔壁４４で仕切られている。

【0047】

また、前記本体ブロック３１の内部には、前記第１弁孔４１及び第２弁孔４２を横切る第１凹溝４５及び第２凹溝４６と、前記第１弁孔４１及び第３弁孔４３を横切る第３凹溝４７とが、それぞれ本体ブロック３１の底面から上面側に向けて延在するように形成され、各凹溝の底部は、前記本体ブロック３１の底面に取り付けられた蓋プレート５０で塞がれている。

【0048】

また、前記第１凹溝４５と第２凹溝４６との間の位置には、前記第２弁孔４２を横切る第４凹溝４８が形成され、前記第３凹溝４７よりも本体ブロック３１の前端側に寄った位置には、前記第３弁孔４３を横切る第５凹溝４９が形成されている。前記弁孔４１，４２，４３及び凹溝４５，４６，４７，４８，４９は、前記主流路９、排気流路１０、検出流路１１の一部を構成する。

【0049】

前記第１スプール３６は、図１２に詳細に示すように、外周にシール部材４０が取り付けられた第１－第６の６つのランド３６ａ，３６ｂ，３６ｃ，３６ｄ，３６ｅ，３６ｆを有し、このうち、該第１スプール３６の両端に設けられた第１ランド３６ａ及び第６ランド３６ｆは、前記第１弁孔４１の両端部を封止するものであり、第２ランド３６ｂは、前記第１弁孔４１が前記第１凹溝４５に連通する部分に形成された第１開口４１ａを開閉し、第３ランド３６ｃは、前記第１弁孔４１が前記第３凹溝４７に連通する部分に形成された第２開口４１ｂを開閉し、第４ランド３６ｄは、前記第１弁孔４１の端部の中継室４１ｄが前記第３凹溝４７に連通する部分に形成された第３開口４１ｃを開閉し、第５ランド３６ｅは、前記中継室４１ｄに開口する検出口ＳＰ１と検出排気口ＳＲとを相互に連通（図１２参照）させたり遮断（図７参照）したりする。

【0050】

前記検出口ＳＰ１は、ハウジング３０に形成された第２連通路１９を通じて第２電磁弁の中継室４２ｄに形成された検出口ＳＰ２に連通している。

【0051】

また、前記第１スプール３６の一端及び他端には、図１０に示すように、第１パイロット圧力室５１と復帰ばね１４とが設けられ、前記第１パイロット圧力室５１は、ハウジング３０の内部に形成された第１パイロット流路５３を通じて前記第１パイロット弁１２Ｐに連通している。

【0052】

そして、前記第１スプール３６は、前記第１パイロット弁１２Ｐが非通電のためオフ状態にあると、前記復帰ばね１４に押されて図７の第１位置を占めることにより、前記第１開口４１ａ及び第３開口４１ｃを開放すると共に前記第２開口４１ｂを閉鎖し、且つ、前記第５ランド３６ｅで前記検出口ＳＰ１と検出排気口ＳＲとを相互に遮断する。

【0053】

また、前記第１パイロット弁１２Ｐが通電によりオンになると、前記第１スプール３６は、図１０に示すように、前記第１パイロット流路５３を通じて前記第１パイロット圧力室５１に供給されるパイロットエアにより第２位置に切り換わり、前記第１開口４１ａ及び第３開口４１ｃを閉鎖すると共に前記第２開口４１ｂを開放する。このとき、前記検出口ＳＰ１は第３凹溝４７から遮断され、該検出口ＳＰ１と前記検出排気口ＳＲとが相互に連通する。

【0054】

また、前記第２スプール３７は、図１２に詳細に示すように、外周にシール部材４０が取り付けられた第７－第１２の６つのランド３７ａ，３６７，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅ，３７ｆを有し、このうち、該第２スプール３７の両端に設けられた第７ランド３７ａ及び第１２ランド３７ｆは、前記第２弁孔４2の両端部を封止するものであり、第８ランド３７ｂは、前記第２弁孔４２の前記第１凹溝４５と第４凹溝４８とを連通する部分に形成された第４開口４２ａを開閉し、第９ランド３７ｃは、前記第２弁孔４２の前記第２凹溝４６と第４凹溝４８とを連通する部分に形成された第５開口４２ｂを開閉し、第１０ランド３７ｄは、前記第２弁孔４２の端部の中継室４２ｄと前記第２凹溝４６とを連通する第６開口４２ｃを開閉し、第１１ランド３７ｅは、前記中継室４２ｄに開口する検出出力口ＳＡと検出口ＳＰ２とを互いに連通させたり遮断したりする。前記検出出力口ＳＡは、ハウジング３０に形成された検出流路１１を通じて第１センサ８に接続されている。

【0055】

また、該第２スプール３７の一端及び他端には、第２パイロット圧力室５４と復帰ばね１４とが設けられ、前記第２パイロット圧力室５４は、ハウジング３０の内部に形成された第２パイロット流路５６（図１０参照）を通じて前記第２パイロット弁１３Ｐに接続されている。

【0056】

そして、前記第２スプール３７は、前記第２パイロット弁１３Ｐが非通電のためオフ状態にあると、前記復帰ばね１４により押されて図７の第１位置を占めることにより、前記第４開口４２ａを開放すると共に前記第５開口４２ｂを閉鎖し、且つ前記第６開口４２ｃを開放して前記中継室４２ｄ（従って検出出力口ＳＡ）を前記第２凹溝４６に連通させる。また、前記検出出力口ＳＡと検出口ＳＰ２とは、前記第１１ランド３７ｅにより相互に遮断される。

【0057】

一方、前記第２パイロット弁１３Ｐが通電によりオンになると、前記第２スプール３７は、図１０に示すように、前記第２パイロット流路５６を通じて前記第２パイロット圧力室５４に供給されるパイロットエアにより第２位置に切り換わり、前記第４開口４２ａ及び第６開口４２ｃを閉鎖すると共に、前記第５開口４２ｂを開放し、前記検出出力口ＳＡと検出口ＳＰ２とは、前記中継室４２ｄ内において相互に連通する。

【0058】

更に、前記第３スプール３８は、図７及び図１３に示すように、第１３ランド３８ａを有し、該第１３ランド３８ａは、前記第３弁孔４３の前記第３凹溝４７と第５凹溝４９とを結ぶ第７開口４３ａをシール部材４０で開閉する。該第３スプール３８の一端及び他端には、該第３スプール３８と一体の大径ピストン部３８ｂと、該第３スプール３８と別体の小径ピストン６４とが設けられると共に、該小径ピストン６４が面する第３パイロット圧力室５７と、前記大径ピストン部３８ｂが面するフィードバック圧力室５８とがそれぞれ形成されている。前記大径ピストン部３８ｂの受圧面積は前記小径ピストン６４の受圧面積より大きい。前記第３パイロット圧力室５７は、パイロット供給路５７ａにより前記入力ポート４に連通し、前記フィードバック圧力室５８は、フィードバック流路２４（図１０参照）を通じて前記出力ポート５に連通している。

【0059】

前記ソフトスタートバルブ２１における切換弁２２の第３スプール３８は、通常は前記第３パイロット圧力室５７に供給されるパイロットエアの作用により図７の第１位置を占めていて、前記第５開口４３ａを閉鎖しているが、前記出力ポート５からエアシリンダ１００に供給されるエアの一部が前記フィードバック流路２４を通じてフィードバック圧力室５８にフィードバックされると、前記大径ピストン部３８ｂの作用で図１１の第２位置に切り換わり、前記第７開口４３ａを開放する。

【0060】

前記主流路９は、図７に矢印点線によって模式的に示すように、前記入力ポート４と出力ポート５とを、前記第５凹溝４９、ソフトスタートバルブ２１の第５開口４３ａ、第３凹溝４７、第１電磁弁１２の第２開口４１ｂ、第１弁孔４１、第２凹溝４６、第２電磁弁１３の第４開口４２ｂ及び第４凹溝４８を介して接続するように形成されている。

【0061】

なお、前記出力ポート５は、実際には、図８に示すように、前記本体ブロック３１の第２側面３１ｂに設けられているが、図１－図５の回路図では第２電磁弁１３側に配置されているため、この回路図を参照した場合に分かり易いように、図７、図１０ー図１３においては、便宜的に第２電磁弁１３の近くに描かれている。

【0062】

図７は、前記ソフトスタートバルブ２１と第１電磁弁１２及び第２電磁弁１３とが全てオフの状態にあって、各スプール３６，３７，３８が第１位置にあるときの状態であり、これは図１の動作状態と同じである。

【0063】

このとき、前記主流路９は、前記ソフトスタートバルブ２１、第１電磁弁１２及び第２電磁弁１３により遮断されているため、前記エア源２からのエアは前記エアシリンダ１００の圧力室１０３に供給されない。絞り弁２３を経由するエアも同様である。一方、排気流路１０は、出力ポート５と排気ポート６とを、第４凹溝４８、第４開口４２ａ、第１凹溝４５を通じて連通しているため、エアシリンダ１００の圧力室１０３内のエアは、該排気流路１０を通じて排気ポート６から排気される。このため、前記エアシリンダ１００は、前記ピストン１０１及びロッド１０２が後退した初期位置にある。

【0064】

また、前記検出流路１１は、第２弁孔４２の中継室４２ｄに開口する前記検出出力口ＳＡが、第２凹溝４６、第１弁孔４１及び第１凹溝４５を通じて前記排気流路１０に連通するため、該検出流路１１内のエアも排気された状態になり、前記第１センサ８にエアは供給されない。

【0065】

図７の状態から、第１パイロット弁１２Ｐ（第１電磁弁１２）及び第２パイロット弁１３Ｐ（第２電磁弁１３）が共にオンになると、図１０に示すように、第１パイロット圧力室５１及び第２パイロット圧力室５４に第１パイロット流路５３及び第２パイロット流路５６を通じてそれぞれパイロットエアが供給されるため、第１スプール３６及び第２スプール３７が共に第２位置に切り換わり、主流路９の第１電磁弁１２及び第２電磁弁１３を経由する部分が導通した状態になる。この状態は図２の動作状態と同じである。

【0066】

このため、エア源２からのエアは、入力分岐路１７ａ及び主流路９を通じて絞り弁２３により流量制限された状態で徐々にエアシリンダ１００の圧力室１０３に供給され、該圧力室１０３内のエア圧力の上昇と共にピストン１０１は作業位置に向けてゆっくり前進を開始する。一方、前記エアシリンダ１００に供給されるエアの一部は、フィードバック流路２４を通じてフィードバック圧力室５８にフィードバックされ、フィードバックされたエアによりソフトスタートバルブ２１の切換弁２２の第３スプール３８が、図１１に示すように第２位置に切り換わる。このときの動作状態は、図３に示す動作状態と同じである。

【0067】

これにより、前記エア源２からのエアは、前記切換弁２２を通じて流量制限されない自由流れ状態でエアシリンダ１００の圧力室１０３に供給されるため、前記ピストン１０１及びロッド１０２は、速度を速めて作業位置まで前進する。

【0068】

続いて、図１１の状態から前記第１パイロット弁１２Ｐ及び第２パイロット弁１３Ｐを同時にオフにすると、第１パイロット圧力室５１及び第２パイロット圧力室５４内のパイロットエアが、前記第１パイロット流路５３及び第２パイロット流路５６を通じて前記第１パイロット弁１２Ｐ及び第２パイロット弁１３Ｐからそれぞれ排気されるため、前記第１スプール３６及び第２スプール３７は、それぞれ復帰ばね１４の力で図７の第１位置に復帰する。これにより、前記エアシリンダ１００の圧力室１０３へのエアの供給が停止されると共に、該圧力室１０３内のエアが、前記排気流路１０を通じて排気ポート６から排気され、前記エアシリンダ１００のピストン１０１及びロッド１０２は、復帰ばね１０４に押されて初期位置に後退する。この時の動作状態は、図１の動作状態と同じである。

【0069】

しかし、第１スプール３６及び第２スプール３７どちらか一方が故障して前記第１位置１２ａ又は１３ａに復帰しない場合には、以下に説明するように、前記第１電磁弁１２及び第２電磁弁１３の動作の不一致が誤作動として第１センサ８により検出され、それと同時に、前記エアシリンダ１００のエアが排気されて該エアシリンダ１００が初期位置に復帰する。

【0070】

先ず、図１２及び図４に示すように、第１電磁弁１２の第１スプール３６が故障して第２位置１２ｂに残り、第２電磁弁１３の第２スプール３７が正常に動作して第１位置１３ａに復帰した場合には、エア源２からのエアは、前記第２電磁弁１３により前記第２凹溝４６の位置で遮断されてエアシリンダ１００に供給されないが、第２弁孔４２の中継室４２ｄに開口する前記検出出力口ＳＡが前記第２凹溝４６に連通するため、エア源２からのエアは、前記第２凹溝４６から前記検出出力口ＳＡ及び検出流路１１を通じて第１センサ８に供給される。これにより、該第１センサ８が制御装置に検出信号を出力するため、その検出信号によって前記２つの電磁弁１２，１３の動作の不一致が誤作動として検出される。

【0071】

それと同時に、前記排気流路１０が、前記出力ポート５と排気ポート６とを、第４凹溝４８、第２電磁弁１３の第３開口４２ａ、及び第１凹溝４５を通じて連通させるため、前記エアシリンダ１００の圧力室１０３内のエアは、前記第１排気流路１０を通じて排気ポート６から外部に排気され、前記エアシリンダ１００のピストン１０１及びロッド１０２は、復帰ばね１０４の力で初期位置に復帰する。

【0072】

また、図１３及び図５に示すように、第２電磁弁１３の第２スプール３７が故障して第２位置１３ｂに残り、第１電磁弁１２の第１スプール３６が正常に動作して第１位置１２ａに復帰した場合には、エア源２からのエアは前記第１電磁弁１３により第３凹溝４７の位置で遮断されてエアシリンダ１００に供給されないが、第１弁孔４１の中継室４１ｄが前記第３凹溝４７に連通するため、該中継室４１ｄに開口する検出口ＳＰ１が前記第３凹溝４７に連通する。このため、エア源２からのエアは、前記第３凹溝４７から前記検出口ＳＰ１、第２連通路１９、第２電磁弁１３の検出口ＳＰ２を通って第２弁孔４２の中継室４２ｄに流入し、この中継室４２ｄに開口する前記検出出力口ＳＡから前記検出流路１１を通って第１センサ８に供給される。このため、該第１センサ８が制御装置に検出信号を出力し、その検出信号によって前記２つの電磁弁１２，１３の動作の不一致が誤作動として検出される。

【0073】

それと同時に、前記排気流路１０が、前記出力ポート５と排気ポート６とを、第４凹溝４８、第２電磁弁１３の第５開口４２ｂ、第２凹溝４６、第１弁孔４１、第１開口４１ａ、及び第１凹溝４５を通じて連通させるため、前記エアシリンダ１００の圧力室１０３内のエアは、前記第１排気流路１０を通じて排気ポート６から外部に排気され、前記エアシリンダ１００のピストン１０１及びロッド１０２は、復帰ばね１０４の力で初期位置に復帰する。

【0074】

以上に説明したように、本発明によれば、前記２つの電磁弁１２，１３の動作が一致しない場合に、それを誤作動として１つの第１センサ８で確実に検出することができると共に、エア機器の残圧を排気することができるので、安全性に勝れる。

【符号の説明】

【0075】

１ 残圧排気エア回路
２ エア源
４ 入力ポート
５ 出力ポート
６ 排気ポート
８ 第１センサ
９ 主流路
１０ 排気流路
１１ 検出流路
１２ 第１電磁弁
１２ａ 第１位置
１２ｂ 第２位置
１３ 第２電磁弁
１３ａ 第１位置
１３ｂ 第２位置
２１ ソフトスタートバルブ
２２ 切換弁
２３ 絞り弁
２５ 第２センサ
２６ 圧力ゲージ
３０ ハウジング
３１ 本体ブロック
３３ 前部カバー
３４ｂ 後部プレート
３５ 後部カバー
３６ 第１スプール
３７ 第２スプール
３８ 第３スプール
３９ コネクタ
４１ 第１弁孔
４２ 第２弁孔
４３ 第３弁孔
９０ 残圧排気弁
１００ エアシリンダ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】