特開 2024-21798 伸縮装置およびこれを備える試験装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024021798

(43)【公開日】2024-02-16

(54)【発明の名称】伸縮装置およびこれを備える試験装置

(51)【国際特許分類】

   H02K 7/14 20060101AFI20240208BHJP

   B06B 1/12 20060101ALI20240208BHJP

   G09B 9/04 20060101ALI20240208BHJP

【ＦＩ】

H02K7/14 Z

B06B1/12 Z

G09B9/04 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022124888

(22)【出願日】2022-08-04

(71)【出願人】

【識別番号】000143949

【氏名又は名称】株式会社鷺宮製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110001243

【氏名又は名称】弁理士法人谷・阿部特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】伊 栄生

(72)【発明者】

【氏名】内田 智規

(72)【発明者】

【氏名】保阪 友宏

【テーマコード（参考）】

5D107

5H607

【Ｆターム（参考）】

5D107AA13

5D107BB09

5H607EE28

5H607EE52

(57)【要約】

【課題】自在継手間の離隔間隔を効果的に伸長および縮小する伸縮装置を搭載するコンパクトに設置可能な試験装置を提供すること。
【解決手段】ベース１０１および支持台１０３に連結する十字軸ジョイント１１、１３間のアクチュエータ１０がナット４１を回転させてボールねじ軸１７を正逆スライドさせて伸縮することで加振を行う加振装置であって、そのベース側とアクチュエータ側との間でＸ軸２１とＹ軸２３を中心に揺動する矩形プレート２０を備え、その矩形プレートの内側にボールねじ軸の一端部の移動を拘束することなく収容する空間２５が開口している。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１被連結部材および第２被連結部材の間に介在するように設置され、該第１被連結部材および該第２被連結部材の離隔方向に伸縮して当該離隔間隔を調整する伸縮装置であって、
前記第１被連結部材に連結される第１自在継手と、
前記第２被連結部材に連結される第２自在継手と、
前記第１自在継手に連結されて前記第１被連結部材に対する姿勢を自在に変化可能に支持する装置基部と、
前記第１被連結部材および前記第２被連結部材の離隔方向に延長されて該長手方向にスライド自在に前記装置基部に保持されつつ、該第２被連結部材に対する姿勢を自在に変化可能に当該装置基部の反対側端部を前記第２自在継手に連結されるスライド部材と、
前記スライド部材を長手方向にスライドさせる駆動力を駆動源から受け取って当該スライド部材を長手方向にスライドさせるスライド機構と、
を備えており、
前記第１自在継手および前記第２自在継手の一方あるいは双方は、
前記スライド部材のスライド方向に対する直交方向の回転軸を２組有して当該回転軸部を中心に揺動する揺動部材と、
前記揺動部材の第１回転軸部を回転自在に支持して前記第１被連結部材または前記第２被連結部材に固定される第１軸支持部材と、
前記揺動部材の第２回転軸部を回転自在に支持して前記装置基部に固定または前記スライド部材の該装置基部の反対側端部に固定される第２軸支持部材と、
を有し、
前記揺動部材は、スライドおよび揺動する前記スライド部材の移動を拘束しないように該スライド部材の端部を収容する空間が当該スライド部材の延長方向に開口するように形成されていることを特徴とする伸縮装置。

【請求項2】

前記スライド部材は、断面円形の外周面側に螺旋溝を形成されている螺旋溝構造シャフトに形成されており、
前記スライド機構は、前記螺旋溝構造シャフトの螺旋溝形状を利用して、前記駆動源から受け取る回転駆動力を直線駆動力に変換して当該螺旋溝構造シャフトを軸方向にスライドさせるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の伸縮装置。

【請求項3】

前記スライド機構は、前記螺旋溝構造シャフトの螺旋溝形状内に転動自在に収納されているボール群と、前記螺旋溝構造シャフトの外周面に対面する内周面側に前記螺旋溝形状内の前記ボール群を転動自在に収納する螺旋溝形状を形成されて該ボール群の当該収納状態を維持するボールケースと、前記ボールケースを前記螺旋溝構造シャフトの軸方向に位置決めして該螺旋溝構造シャフトの外周周りに回転自在に保持しつつ、前記駆動源から回転駆動力を受け取って当該ボールケースを回転させる駆動力変換機構と、を備えることを特徴とする請求項２に記載の伸縮装置。

【請求項4】

前記螺旋溝構造シャフトの隣接位置に前記動力源として回転軸を回転させるモータが配置されており、
前記駆動力変換機構は、前記ボールケースおよび前記モータの回転軸のそれぞれに同軸回転するように設置されている一対のプーリにベルトを巻き掛けて該モータの回転駆動力を当該ボールケースに伝達する駆動力変換機構を備えることを特徴とする請求項３に記載の伸縮装置。

【請求項5】

上記請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の伸縮装置を少なくとも３組以上設置される試験装置であって、
前記第１被連結部材の基板部材および前記第２被連結部材の天板部材を備え、
前記基板部材および前記天板部材との間の離隔間隔を前記伸縮装置毎に変更して当該基板部材に対する当該天板部材の姿勢を変化させることを特徴とする試験装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、コンパクトな構造で必要な伸縮を実現する伸縮装置およびこれを備える試験装置に関する。

【背景技術】

【0002】

両端側に具備する自在継手間の離隔間隔を駆動源の駆動力により調整する伸縮装置を複数組利用する試験装置として、例えば、特許文献１に記載のドライビングシミュレータが知られている。

【0003】

このドライビングシミュレータでは、６組の伸縮装置を利用することにより基台（ベース）に対して車両コックピットを支持するトップ側支持台をＸＹＺ方向やピッチ方向、ロール方向およびヨー方向にチルト運動させるなど６自由度の動きを実現するようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１５－３３６７１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、このような伸縮装置にあっては、支持台側を基台側に対して有効に動作させるには伸縮距離を確保した上で、省スペースと作業性をよくするニーズに対応するために、その支持台側および基台側の面積を小さくし全高を低くする必要がある。

【0006】

そこで、本発明は、自在継手間の離隔間隔を効果的に伸長および縮小する伸縮装置と共に、コンパクトに設置可能な試験装置を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決する伸縮装置の発明の一態様は、第１被連結部材および第２被連結部材の間に介在するように設置され、該第１被連結部材および該第２被連結部材の離隔方向に伸縮して当該離隔間隔を調整する伸縮装置であって、前記第１被連結部材に連結される第１自在継手と、前記第２被連結部材に連結される第２自在継手と、前記第１自在継手に連結されて前記第１被連結部材に対する姿勢を自在に変化可能に支持する装置基部と、前記第１被連結部材および前記第２被連結部材の離隔方向に延長されて該長手方向にスライド自在に前記装置基部に保持されつつ、該第２被連結部材に対する姿勢を自在に変化可能に当該装置基部の反対側端部を前記第２自在継手に連結されるスライド部材と、前記スライド部材を長手方向にスライドさせる駆動力を駆動源から受け取って当該スライド部材を長手方向にスライドさせるスライド機構と、を備えており、前記第１自在継手および前記第２自在継手の一方あるいは双方は、前記スライド部材のスライド方向に対する直交方向の回転軸を２組有して当該回転軸部を中心に揺動する揺動部材と、前記揺動部材の第１回転軸部を回転自在に支持して前記第１被連結部材または前記第２被連結部材に固定される第１軸支持部材と、前記揺動部材の第２回転軸部を回転自在に支持して前記装置基部に固定または前記スライド部材の該装置基部の反対側端部に固定される第２軸支持部材と、を有し、前記揺動部材は、スライドおよび揺動する前記スライド部材の移動を拘束しないように該スライド部材の端部を収容する空間が当該スライド部材の延長方向に開口するように形成されていることを特徴とするものである。

【0008】

上記課題を解決する試験装置の発明の一態様は、上記の伸縮装置を少なくとも３組以上設置される試験装置であって、前記第１被連結部材の基板部材および前記第２被連結部材の天板部材を備え、前記基板部材および前記天板部材との間の離隔間隔を前記伸縮装置毎に変更して当該基板部材に対する当該天板部材の姿勢を変化させることを特徴とするものである。

【発明の効果】

【0009】

このように本発明の一態様によれば、自在継手の揺動部材の開口空間内に端部側が収容されるまでスライド部材をスライドさせることができ、従来にはスライド部材の長さに自在継手の大きさが加算されていたのをその開口空間内へのスライド移動分だけ自在継手間の離隔間隔を縮小することができるとともに、そのスライド部材の端部を揺動部材の開口空間内から離脱させてスライドさせることで従来と同様の自在継手間の離隔間隔を確保することができる。

【0010】

したがって、伸縮装置の自在継手間の離隔間隔を効果的に縮小しつつ伸長させることができ、その伸縮装置を利用して試験装置をコンパクトに設置することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】図１は、本発明の一実施形態に係る伸縮装置を搭載する試験装置の一例である加振装置の外観を示す斜視図である。

【図2】図２は、その加振装置を示す正面図である。

【図3】図３は、その伸縮装置を示す駆動源との並列方向と平行な一部縦断面図である。

【図4】図４は、その伸縮装置を示す図であり、（ａ）は図３と直交する方向と平行な一部縦断面図、（ｂ）は（ａ）における伸縮装置の自在継手のＩＶｂ－ＩＶｂ断面図である。

【図5】図５は、その伸縮装置の自在継手の揺動部材を示す斜視図である。

【図6】図６は、その伸縮装置の非揺動時の自在継手を示す図であり、（ａ）は一方向と平行な一部縦断面図、（ｂ）は（ａ）と直交する方向と平行な一部縦断面図である。

【図7】図７は、その伸縮装置の揺動時の自在継手を示す図であり、（ａ）は一方向と平行な一部縦断面図、（ｂ）は（ａ）と直交する方向と平行な一部縦断面図である。

【図8】図８は、その加振装置による作用効果を説明する図であり、（ａ）はその平面モデル図、（ｂ）はその正面モデル図である。

【図9】図９は、その加振装置と比較する従来の加振装置を示す図であり、（ａ）はその平面モデル図、（ｂ）はその正面モデル図である。

【図10】図１０は、その加振装置による作用効果を示すために、動作時の状態を複数並置する従来の加振装置との比較正面モデル図である。

【図11】図１１は、その従来の加振装置を示す一部縦断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、図面を参照して、本発明の実施形態について詳細に説明する。図１～図１１は本発明の一実施形態に係る伸縮装置を搭載する試験装置の一例である加振装置を説明する図である。

【0013】

図１および図２において、加振装置（試験装置）１００は、ドライビングシミュレータの一部分を構成するヘキサポッドとして機能するように構成されており、試験室などに設置されるベース（基板部材、基台、第１被連結部材）１０１およびその上方にドライビングシミュレータのコックピットなどを固定する支持台（天板部材、第２被連結部材）１０３の間に６組のアクチュエータ（伸縮装置）１０が介在して個々に支持するように配置されて構成されている。加振装置１００は、６組のアクチュエータ１０がドライビングシミュレータのホストコンピュータ（不図示）からの制御信号に従ってそれぞれ伸縮動作して設置箇所間の離隔間隔を調整することによってベース１０１に対して支持台１０３をＸＹＺ方向やピッチ方向、ロール方向およびヨー方向にチルト運動させるなど６自由度の動きを実現するようになっている。ここで、本実施形態では、６組のアクチュエータ１０を備える加振装置１００を一例に説明するが、これに限るものではなく、例えば、３組以上のアクチュエータ１０を備えることで、ベースに対して支持台を変位可能に支持することができることは言うまでもない。

【0014】

この加振装置１００は、ベース１０１および支持台１０３の概略中心を共通にして対面する三角形１０１Ｔ、１０３Ｔの頂角付近１０１Ｔａ、１０３Ｔａ（図８を参照）の支持ブロック１０１Ｂ、１０３Ｂに２組のアクチュエータ１０の両端部１０ｅを連結して支持する構造に作製されている。この加振装置１００は、ベース１０１の三角形１０１Ｔに対して支持台１０３の三角形１０３Ｔを６０°回転（図８を参照）させた位置関係になるように作製されており、そのうちの１つの頂角付近１０１Ｔａ、１０３Ｔａから正逆回転方向に隣接する頂角付近１０１Ｔａ、１０３Ｔａとの間に介在するように２組毎のアクチュエータ１０の両端部１０ｅを支持ブロック１０１Ｂ、１０３Ｂに設置して、６組のアクチュエータ１０のそれぞれをベース１０１および支持台１０３の間に配置している。これによって、この加振装置１００は、ベース１０１に対して支持する支持台１０３を６組のアクチュエータ１０の両端部１０ｅの間の離隔間隔をそれぞれ調整することで所望の姿勢かつ安定した状態に変更したり加振するなどしつつ支持することができるようになっている。

【0015】

そして、アクチュエータ１０は、図３および図４に示すように、ベース１０１の支持ブロック１０１Ｂには十字軸ジョイント（第１自在継手）１１を設置して装置基部１５がそのベース１０１に対する姿勢を自在に変化可能に支持されており、支持台１０３の支持ブロック１０３Ｂには十字軸ジョイント（第２自在継手）１３を設置して装置基部１５に長手方向にスライド自在に保持されているボールねじ軸（スライド部材）１７の上端部１７ｅがその支持台１０３に対する姿勢を自在に変化可能に支持されている。言い換えると、アクチュエータ１０は、支持台１０３のベース１０１に対する姿勢を自在に変化可能に支持している。

【0016】

ベース１０１側の十字軸ジョイント１１は、図５に示すように、矩形プレート２０の一方の両平行側面２０ａの中央から一対のＸ軸２１が突出するとともに、その矩形プレート２０の他方の両平行側面２０ｂの中央から一対のＹ軸２３が突出する形状に作製されており、一対のＸ軸２１は、ベース１０１上面に図中Ｘ軸方向に離隔して立設されている一対の軸受け（第２軸支持部材）２７内のベアリング２７ｂに回転自在に軸支されているとともに、一対のＹ軸２３は、装置基部１５下面に図中Ｙ軸方向に離隔して立設されている一対の軸受け（第１軸支持部材）２９内のベアリング２９ｂに回転自在に軸支されている。

【0017】

これにより、加振装置１００は、ベース１０１および装置基部１５のそれぞれの軸受け２７、２９が十字軸ジョイント１１（矩形プレート２０）のＸ軸２１およびＹ軸２３を回転自在に保持することによって、ベース１０１に対して矩形プレート２０が揺動部材として機能してアクチュエータ１０の装置基部１５の姿勢を自在に変化可能に支持することができる。

【0018】

支持台１０３側の十字軸ジョイント１３は、十字軸ジョイント１１と同様に、十字部材３０の一対のＸ軸３１が支持台１０３下面のＸ軸方向に離隔して立設されている一対の軸受け３７内のベアリング３７ｂに回転自在に軸支されているとともに、その十字部材３０の一対のＹ軸３３がボールねじ軸１７の上端部１７ｅのＹ軸方向に離隔して立設されている一対の軸受け３９内のベアリング３９ｂに回転自在に軸支されている。

【0019】

これにより、加振装置１００は、支持台１０３およびボールねじ軸１７のそれぞれの軸受け３７、３９が十字軸ジョイント１３（十字部材３０）のＸ軸３１およびＹ軸３３を回転自在に保持することによって、支持台１０３に対して十字部材３０が揺動してアクチュエータ１０のボールねじ軸１７の姿勢を自在に変化可能に支持することができ、言い換えると、アクチュエータ１０のボールねじ軸１７に対して支持台１０３の姿勢を自在に変化可能に支持することができる。

【0020】

ここで、本実施形態の加振装置１００では、アクチュエータ１０のベース１０１側の十字軸ジョイント１１のみに矩形プレート２０を配置する場合を一例として説明するが、これに限るものではなく、支持台１０３側の十字軸ジョイント１３に代えて配置してもよく、あるいは、これらの双方に配置するようにしてもよいことは言うまでもない。

【0021】

装置基部１５は、ボールねじ軸１７と共に、ロータリーボールねじ４０（例えば、ＴＨＫ株式会社製）を構成するナット（ボールケース）４１を相対回転自在に一端部側で保持する筐体部材１５ａを備えており、この筐体部材１５ａの反対側の他端部にベース１０１側の十字軸ジョイント１１のＹ軸２３を回転自在に保持する軸受け２９がベース１０１側に突出する形態で形成されている。

【0022】

ロータリーボールねじ４０は、ベース１０１側の装置基部１５の筐体部材１５ａに回転自在にナット４１が保持されており、支持台１０３側では十字部材３０のＹ軸３３を回転自在に保持する軸受け３７が上端部１７ｅの支持台１０３側に突出形態で形成されていて、ボールねじ軸１７がそのナット４１内にスライド自在に保持されて構成されている。

【0023】

このロータリーボールねじ４０は、図示することを省略するが、ボールねじ軸（螺旋溝構造シャフト）１７の外周面およびナット４１の内周面に複数のボール（ボール群）を転動可能に収納する螺旋状のネジ溝（螺旋溝）形状が形成されており、ボールねじ軸１７およびナット４１の一方が他方に対して相対回転することにより螺旋溝が収容するボールを一方向に押し出して、そのボールねじ軸１７およびナット４１の他方が反対方向にスライドするように構成されている。

【0024】

また、アクチュエータ１０は、ベース１０１側の装置基部１５に回転自在に保持されているロータリーボールねじ４０のナット４１（ボールねじ軸１７）と駆動回転軸が平行姿勢になるようにサーボモータ（駆動源）４９が併設されており、この装置基部１５は、そのサーボモータ４９の駆動回転軸に同軸に一体回転するように固定されているプーリ４３と、そのナット４１に同軸に一体回転するように固定されているプーリ４５と、これら一対のプーリ４３、４５に巻き掛けられてサーボモータ４９の駆動回転力をナット４１に伝達するベルト４７と、を備えて駆動力変換機構として機能するようになっている。

【0025】

これにより、アクチュエータ１０は、サーボモータ４９を駆動制御してロータリーボールねじ４０のナット４１を正逆回転させることによってボールねじ軸１７を正逆方向にスライドさせることができ、ベース１０１側の装置基部１５（ナット４１）に対して支持台１０３側に向けてボールねじ軸１７を進退させて全長を伸縮させることができる。

【0026】

このとき、アクチュエータ１０は、全長の伸縮に応じて両端側の十字軸ジョイント１１、１３がベース１０１および装置基部１５（ロータリーボールねじ４０のナット４１）と、支持台１０３およびロータリーボールねじ４０のボールねじ軸１７の上端部１７ｅとを、これらの相対的な姿勢を自在に変化可能に支持して、加振装置１００として機能して６自由度の傾斜や加振の動作を実現することができる。

【0027】

ここで、本実施形態の加振装置１００では、ロータリーボールねじ４０を搭載してボールねじ軸１７を長手方向に回転させることなく軸方向にスライドさせるスライド機構を搭載する場合を一例に説明するが、これに限るものではなく、例えば、ボールねじ軸１７を外周面に雄ネジ（螺旋溝形状）の形成されている雄ネジシャフト（螺旋溝構造シャフト）に代えるとともに、その雄ネジに螺合する雌ネジ（螺旋溝形状）を内周面に形成されている雌ネジナットを回転自在に保持することによって、その雄ネジシャフトを正逆回転させつつ進退方向にスライドさせるスライド機構を採用することもできる。

【0028】

そして、このアクチュエータ１０は、図５に示すように、矩形プレート２０の平行側面２０ａ、２０ｂの内側に概略平行な内周面２０ｉを有するように大きく開口する収容空間２５が形成されており、この矩形プレート２０は、図６に示すように、ロータリーボールねじ４０のナット４１の相対回転に応じて上下方向にスライドするボールねじ軸１７のベース側１０１側端部の移動が拘束されることなく収容空間２５内に進入することを許容する。

【0029】

特に、矩形プレート２０は、図７（ａ）に示すように、一対のＸ軸２１を回転自在に支持する装置基部１５の軸受け２７と一体に、ベース１０１側の軸受け２９に回転自在に支持されているＹ軸２３を中心に正逆回転するので、その一対のＸ軸２１間の収容空間２５の内周面２０ｉ間を広く確保する必要はなく、そのままボールねじ軸１７がその収容空間２５の内周面２０ｉに接触することはない。

【0030】

また、この矩形プレート２０は、図７（ｂ）に示すように、ベース１０１側に設置されている軸受け２９に一対のＹ軸２３が回転自在に支持されて、装置基部１５の軸受け２７と一体に、ボールねじ軸１７のベース側１０１側端部が収容空間２５内で揺動するので、その一対のＹ軸２３間の収容空間２５の内周面２０ｉ間をその揺動分だけ広く確保する必要がある。要するに、矩形プレート２０は、装置基部１５の軸受け２７と一体に揺動するボールねじ軸１７のベース側１０１側端部の移動が拘束されることなく、収容空間２５の内周面２０ｉに接触してしまうことがないように作製されている。すなわち、支持台１０３側の十字軸ジョイント１３は、十字部材３０を利用する所謂、汎用のユニバーサルジョイントに構成されているのに対して、ベース１０１側の十字軸ジョイント１１は、収容空間２５が形成されてＸ軸２１およびＹ軸２３を有する矩形プレート２０を利用する中空十字軸ジョイントに構成されて、ロータリーボールねじ４０のボールねじ軸１７のベース１０１側端部を、そのボールねじ軸１７の延長方向に開口する内側の収容空間２５内に揺動自在に収容することができるように作製されている。

【0031】

これにより、アクチュエータ１０は、図８に示すように、十字軸ジョイント１１が連結されて支持台１０３を支持するとともに、ベース１０１に連結される十字軸ジョイント１３がロータリーボールねじ４０のボールねじ軸１７のベース１０１側端部を矩形プレート２０の収容空間２５内まで移動（進入）することを許容することができる。

【0032】

このため、加振装置１００は、図１１に示す従来のアクチュエータ２１０が介在してベース２０１に対する姿勢を変化自在になるように支持台２０３を支持する加振装置２００（図９を参照）よりもコンパクトな構造にすることができ、加振装置１００のベース１０１および支持台１０３も、加振装置２００のベース２０１および支持台２０３よりも小面積にして必要な設置スペースもコンパクトにすることができる。

【0033】

ここで、従来のアクチュエータ２１０は、簡単に説明すると、図１１に示すように、本実施形態の十字軸ジョイント１１と同様の構造に作製されている十字軸ジョイント２１１、２１３が連結されてベース２０１に対して支持台２０３の姿勢を変化自在に支持するようになっている。このアクチュエータ２１０は、ロータリーボールねじ２４０が基部本体２１５に固定されているナット２４１に回転自在に軸支されているボールねじ軸２１７をプーリ２４３、２４５およびベルト２４７を介して伝達されるサーボモータ２４９の回転駆動力で回転させて上下動させることによって、十字軸ジョイント２１１、２１３の離隔間隔を変化させて、ベース２０１に対する支持台２０３の姿勢を変化させるようになっている。

【0034】

したがって、例えば、ドライビングシミュレータの一部を構成するヘキサポッドとして機能する際には、図１０に示すように、試験対象を支持する支持面が静止時（Ｎａ、Ｎｂ）の高さＨｎを中心にして下位（Ｂａ、Ｂｂ）の高さＨｂから高位（Ｔａ、Ｔｂ）の高さＨｔまでの間で振動等させる試験条件の場合、従来の加振装置２００では大面積のベース２０１および支持台２０３の設置面積とともに高さ方向のスペースも確保する必要があるのに対して、本実施形態の加振装置１００ではベース１０１および支持台１０３の設置面積と共に高さ方向のスペースもコンパクトに縮小することができる。

【0035】

このように、本実施形態のアクチュエータ１０を搭載する加振装置１００にあっては、ロータリーボールねじ４０のボールねじ軸１７のベース１０１側端部を十字軸ジョイント１１の矩形プレート２０の収容空間２５内まで移動させることができ、従来のアクチュエータ２００と同等の機能を備える場合でも、コンパクトな構造にしても、設置場所もコンパクトにすることができる。

【0036】

本発明の範囲は、図示され記載された例示的な実施形態に限定されるものではなく、本発明が目的とするものと均等な効果をもたらすすべての実施形態をも含む。さらに、本発明の範囲は、各請求項により特定される発明の特徴の組み合わせに限定されるものではなく、すべての開示されたそれぞれの特定の特徴のあらゆる所望する組み合わせによって特定され得る。

【符号の説明】

【0037】

１０……アクチュエータ（伸縮装置）
１１……十字軸ジョイント（第１自在継手）
１３……十字軸ジョイント（第２自在継手）
１５……装置基部
１５ａ……筐体部材
１７……ボールねじ軸（スライド部材）
２０……矩形プレート（揺動部材）
２０ｉ……内周面
２１……Ｘ軸
２３……Ｙ軸
２５……収容空間
２７、２９……軸受け
３０……十字部材
４１……ナット
４３、４５……プーリ
４７……ベルト
４９……サーボモータ
１００……加振装置
１０１……ベース（基板部材、基台、第１被連結部材）
１０３……支持台（天板部材、第２被連結部材）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】