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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024022149
(43)【公開日】2024-02-16
(54)【発明の名称】積層装置および積層体の製造方法
(51)【国際特許分類】
B25J 13/08 20060101AFI20240208BHJP
H05K 3/46 20060101ALI20240208BHJP
【ＦＩ】
B25J13/08 A
H05K3/46 Y
【審査請求】有
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022125515
(22)【出願日】2022-08-05
(71)【出願人】
【識別番号】000226242
【氏名又は名称】日機装株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100141173
【弁理士】
【氏名又は名称】西村 啓一
(72)【発明者】
【氏名】宮澤 勇樹
(72)【発明者】
【氏名】森本 崇
【テーマコード（参考）】
3C707
5E316
【Ｆターム（参考）】
3C707AS05
3C707AS08
3C707BS10
3C707KS03
3C707KS04
3C707KS05
3C707KT02
3C707KT06
3C707LT06
3C707LT12
3C707NS09
3C707NS10
5E316AA02
5E316CC16
5E316EE21
5E316GG28
5E316HH31
(57)【要約】
【課題】搬送経路が自由にレイアウト可能な積層装置および積層体の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る積層装置１は、シート状の被積層体Ｓが載置される載置台４と、複数の被積層体が積層される積層台６と、被積層体を保持し、載置台における載置位置Ｐ１から積層台の上方の待機位置Ｐ２まで搬送する多関節ロボット５と、多関節ロボットに保持されている被積層体の特徴部の画像を撮像する撮像装置８１～８４と、画像に基づいて、積層台に積層された被積層体により構成される中間積層体ＩＬに対する、多関節ロボットに保持されている被積層体の位置を調整する位置調整部３１１と、中間積層体と、多関節ロボットに保持されている被積層体と、の相対距離を調整することにより、被積層体を中間積層体に積層させる距離調整機構７と、を有してなる。
【選択図】図１
【解決手段】本発明に係る積層装置１は、シート状の被積層体Ｓが載置される載置台４と、複数の被積層体が積層される積層台６と、被積層体を保持し、載置台における載置位置Ｐ１から積層台の上方の待機位置Ｐ２まで搬送する多関節ロボット５と、多関節ロボットに保持されている被積層体の特徴部の画像を撮像する撮像装置８１～８４と、画像に基づいて、積層台に積層された被積層体により構成される中間積層体ＩＬに対する、多関節ロボットに保持されている被積層体の位置を調整する位置調整部３１１と、中間積層体と、多関節ロボットに保持されている被積層体と、の相対距離を調整することにより、被積層体を中間積層体に積層させる距離調整機構７と、を有してなる。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
シート状の被積層体が載置される載置台と、
複数の前記被積層体が積層される積層台と、
前記被積層体を保持し、前記載置台における載置位置から前記積層台の上方の待機位置まで搬送する多関節ロボットと、
前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の特徴部の画像を撮像する撮像装置と、
前記画像に基づいて、前記積層台に積層された前記被積層体により構成される中間積層体に対する、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の位置を調整する位置調整部と、
前記中間積層体と、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体と、の相対距離を調整することにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させる距離調整機構と、
を有してなる、
積層装置。
複数の前記被積層体が積層される積層台と、
前記被積層体を保持し、前記載置台における載置位置から前記積層台の上方の待機位置まで搬送する多関節ロボットと、
前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の特徴部の画像を撮像する撮像装置と、
前記画像に基づいて、前記積層台に積層された前記被積層体により構成される中間積層体に対する、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の位置を調整する位置調整部と、
前記中間積層体と、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体と、の相対距離を調整することにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させる距離調整機構と、
を有してなる、
積層装置。
【請求項2】
前記距離調整機構として機能し、前記積層台を昇降させる昇降装置、
を有してなり、
前記昇降装置は、前記待機位置において前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体に向けて、前記積層台を上昇させることにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させる、
請求項１に記載の積層装置。
を有してなり、
前記昇降装置は、前記待機位置において前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体に向けて、前記積層台を上昇させることにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させる、
請求項１に記載の積層装置。
【請求項3】
前記多関節ロボットは、
前記距離調整機構として機能し、
前記中間積層体に向けて、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体を下降させることにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させる、
請求項１に記載の積層装置。
前記距離調整機構として機能し、
前記中間積層体に向けて、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体を下降させることにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させる、
請求項１に記載の積層装置。
【請求項4】
前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体に向けて光を照射する光源と、
前記光源を、前記待機位置の下方の照射位置と、前記距離調整機構による前記相対距離の調整を阻害しない退避位置と、の間で移動させる移動装置と、
を有してなり、
前記撮像装置は、前記待機位置の上方に配置され、
前記移動装置は、
前記撮像装置が前記特徴部の撮像を開始するとき、前記光源を前記退避位置から前記照射位置に移動させて、
前記撮像装置が前記特徴部の撮像を終了したとき、前記光源を前記照射位置から前記退避位置に移動させる、
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の積層装置。
前記光源を、前記待機位置の下方の照射位置と、前記距離調整機構による前記相対距離の調整を阻害しない退避位置と、の間で移動させる移動装置と、
を有してなり、
前記撮像装置は、前記待機位置の上方に配置され、
前記移動装置は、
前記撮像装置が前記特徴部の撮像を開始するとき、前記光源を前記退避位置から前記照射位置に移動させて、
前記撮像装置が前記特徴部の撮像を終了したとき、前記光源を前記照射位置から前記退避位置に移動させる、
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の積層装置。
【請求項5】
前記多関節ロボットは、前記被積層体を保持する保持部材を備え、
前記保持部材は、前記被積層体が前記待機位置に搬送されたとき、前記保持部材に保持される前記被積層体の一部が前記撮像装置により上方から撮像可能に構成される窓部を備える、
請求項４に記載の積層装置。
前記保持部材は、前記被積層体が前記待機位置に搬送されたとき、前記保持部材に保持される前記被積層体の一部が前記撮像装置により上方から撮像可能に構成される窓部を備える、
請求項４に記載の積層装置。
【請求項6】
前記位置調整部は、前記中間積層体に対する前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の前記位置のずれ量が、所定の閾値を満たすまで、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の前記位置の調整を繰り返す、
請求項１または２に記載の積層装置。
請求項１または２に記載の積層装置。
【請求項7】
前記中間積層体に前記被積層体が積層される前に、前記中間積層体の上面または前記被積層体の下面に、前記積層を補助するための補助処理を実行する補助処理装置、
を有してなり、
前記多関節ロボットは、前記被積層体を保持する保持面を有する保持部材を備え、
前記補助処理装置は、前記保持部材に取り付けられて、前記中間積層体の前記上面に前記補助処理を実行し、
前記多関節ロボットは、
前記距離調整機構が前記相対距離を調整するとき、前記保持面を前記上面側に向けて、
前記補助処理装置が前記補助処理を実行するとき、前記補助処理装置が前記上面側に向けられるように、前記保持部材の向きを変える、
請求項１に記載の積層装置。
を有してなり、
前記多関節ロボットは、前記被積層体を保持する保持面を有する保持部材を備え、
前記補助処理装置は、前記保持部材に取り付けられて、前記中間積層体の前記上面に前記補助処理を実行し、
前記多関節ロボットは、
前記距離調整機構が前記相対距離を調整するとき、前記保持面を前記上面側に向けて、
前記補助処理装置が前記補助処理を実行するとき、前記補助処理装置が前記上面側に向けられるように、前記保持部材の向きを変える、
請求項１に記載の積層装置。
【請求項8】
シート状の被積層体が載置される載置台と、
複数の前記被積層体が積層される積層台と、
前記被積層体を保持し、搬送する多関節ロボットと、
前記被積層体の特徴部の画像を撮像する撮像装置と、
前記画像に基づいて、前記積層台に積層された前記被積層体により構成される中間積層体に対する前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の位置を調整する位置調整部と、
前記中間積層体と、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体と、の相対距離を調整する距離調整機構と、
を有してなる積層装置により実行される積層体の製造方法であって、
前記多関節ロボットが、前記載置台に載置された前記被積層体を保持するステップと、
前記多関節ロボットが、前記被積層体を前記積層台の上方に搬送するステップと、
前記撮像装置が、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の前記画像を撮像するステップと、
前記位置調整部が、前記中間積層体に対する、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の前記位置を調整するステップと、
前記距離調整機構が、前記中間積層体と、前記多関節ロボットに保持された前記被積層体と、の前記相対距離を調整することにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させるステップと、
を含む、
積層体の製造方法。
複数の前記被積層体が積層される積層台と、
前記被積層体を保持し、搬送する多関節ロボットと、
前記被積層体の特徴部の画像を撮像する撮像装置と、
前記画像に基づいて、前記積層台に積層された前記被積層体により構成される中間積層体に対する前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の位置を調整する位置調整部と、
前記中間積層体と、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体と、の相対距離を調整する距離調整機構と、
を有してなる積層装置により実行される積層体の製造方法であって、
前記多関節ロボットが、前記載置台に載置された前記被積層体を保持するステップと、
前記多関節ロボットが、前記被積層体を前記積層台の上方に搬送するステップと、
前記撮像装置が、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の前記画像を撮像するステップと、
前記位置調整部が、前記中間積層体に対する、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の前記位置を調整するステップと、
前記距離調整機構が、前記中間積層体と、前記多関節ロボットに保持された前記被積層体と、の前記相対距離を調整することにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させるステップと、
を含む、
積層体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、積層装置および積層体の製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
多層構造を有する積層セラミック電子部品（例えば、積層セラミックコンデンサ（ＭＬＣＣ：Multilayer Ceramic Capacitors）、チップインダクタ、低温同時焼成セラミック（ＬＴＣＣ：Low Temperature Co-fired Ceramics）など）の製造工程では、フィルム状の基材上にセラミックグリーンシートが形成される。次いで、セラミックグリーンシート上に内部電極が適宜印刷される。次いで、セラミックグリーンシートが基材から剥離され、複数のセラミックグリーンシート同士が積層されてセラミックグリーンシートの積層体が形成される。次いで、積層体が加熱・圧着され、所定のサイズに切断されることにより積層体がチップ化される。次いで、チップ化された積層体が焼成され、焼成体の表面に外部電極が形成され、積層セラミック電子部品が完成する（例えば、特許文献１参照）。
【0003】
このように、所定の大きさの複数のセラミックグリーンシートが積層された積層体から多数の積層セラミック電子部品が製造されている。近年、積層セラミック電子部品の小型化が進み、１つの積層体から製造される積層セラミック電子部品の数は、増大している。その結果、内部電極は微細化され、高精度なセラミックグリーンシートの積層が必要となっている。
【0004】
セラミックグリーンシートは、薄く（例えば、数μｍ～数１０μｍ）、柔い。そのため、セラミックグリーンシートは、例えば、セラミックグリーンシートの全面を吸着保持する吸着保持装置により、セラミックグリーンシートの載置台（供給台）から積層台に搬送される（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開２０２１－１２２０６８号公報
【特許文献2】特開２００５－１２５７９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
特許文献２に開示された積層装置では、吸着保持装置の移動には、吸着保持装置を載置台から積層台の間で直動させる搬送軸（例えば、リニアレールなど）が用いられる。そのため、積層装置では、搬送軸に沿った搬送経路のレイアウトが必要となり、積層装置の設置に必要なスペース（フットプリント）は大きくなり易い。また、積層装置の導入コストも高くなる。
【0007】
本発明は、搬送経路が自由にレイアウト可能な積層装置および積層体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の一実施態様における積層装置は、シート状の被積層体が載置される載置台と、複数の前記被積層体が積層される積層台と、前記被積層体を保持し、前記載置台における載置位置から前記積層台の上方の待機位置まで搬送する多関節ロボットと、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の特徴部の画像を撮像する撮像装置と、前記画像に基づいて、前記積層台に積層された前記被積層体により構成される中間積層体に対する、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の位置を調整する位置調整部と、前記中間積層体と、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体と、の相対距離を調整することにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させる距離調整機構と、を有してなる、積層装置である。
【0009】
本発明の一実施形態における積層体の製造方法は、シート状の被積層体が載置される載置台と、複数の前記被積層体が積層される積層台と、前記被積層体を保持し、搬送する多関節ロボットと、前記被積層体の特徴部の画像を撮像する撮像装置と、前記画像に基づいて、前記積層台に積層された前記被積層体により構成される中間積層体に対する前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の位置を調整する位置調整部と、前記中間積層体と、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体と、の相対距離を調整する距離調整機構と、を有してなる積層装置により実行される積層体の製造方法であって、前記多関節ロボットが、前記載置台に載置された前記被積層体を保持するステップと、前記多関節ロボットが、前記被積層体を前記積層台の上方に搬送するステップと、前記撮像装置が、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の前記画像を撮像するステップと、前記位置調整部が、前記中間積層体に対する、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の位置を調整するステップと、前記距離調整機構が、前記中間積層体と、前記多関節ロボットに保持された前記被積層体と、の相対距離を調整することにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させるステップと、を含む、積層体の製造方法である。
【発明の効果】
【0010】
本発明によれば、搬送経路が自由にレイアウト可能である。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】本発明に係る積層装置の実施の形態を示す模式図である。
【図12】本発明の第１変形例に係る積層装置を示す模式部分拡大断面図である。
【図13】本発明の第２変形例に係る積層装置を示す模式部分拡大断面図である。
【図14】本発明の第３変形例に係る測定装置を示す模式部分拡大断面図である。
【図15】本発明の第４変形例に係る測定装置を示す模式部分拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、図面を参照しながら、本発明に係る積層装置および積層体の製造方法（以下「本製法」という。）の実施の形態について説明する。各図において、同一の部材および要素については同一の符号が付され、重複する説明は省略される。また、各要素の寸法比率は、説明の便宜上、誇張されている場合が有り、各図面に図示されている比率に限定されない。
【0013】
●積層装置●
先ず、本発明に係る積層装置の実施の形態について説明する。
先ず、本発明に係る積層装置の実施の形態について説明する。
【0014】
【0015】
積層装置１は、セラミックグリーンシートＳ（以下「シートＳ」という。）を積層して、シートＳの積層体Ｌを製造する。積層装置１は、例えば、多層構造を有する積層セラミック電子部品の製造工程において、積層体Ｌを製造するために用いられている。積層装置１は、筐体２、制御装置３、載置台４、搬送装置５、積層台６、昇降装置７、撮像ユニット８、照明ユニット９、および帯電ユニット１０を有してなる
【0016】
「積層セラミック電子部品」は、例えば、積層セラミックコンデンサ（ＭＬＣＣ：Multilayer Ceramic Capacitors）、チップインダクタ、低温同時焼成セラミック（ＬＴＣＣ：Low Temperature Co-fired Ceramics）などのセラミックの多層構造を有する電子部品である。
【0017】
「シートＳ」は、積層セラミック電子部品の各層（誘電体層）となるシート状の部材である。シートＳは、本発明における被積層体の一例である。本実施の形態では、シートＳには、積層セラミック電子部品の内部電極（不図示）が印刷されている。
【0018】
「積層体Ｌ」は、複数のシートＳが積層されることにより形成される、シートＳの集合体である。積層体Ｌは、本発明に係る積層体の一例である。積層体Ｌの構成は、公知のセラミックグリーンシートの積層体の構成と共通する。そのため、積層体Ｌの構成の詳細は、省略される。
【0019】
筐体２は、制御装置３、載置台４、搬送装置５、積層台６、昇降装置７、撮像ユニット８、照明ユニット９、および帯電ユニット１０を収容・支持している。筐体２は、収容室２１および機械室２２を備える。収容室２１は、筐体２の下部に配置され、制御装置３を収容・支持している。機械室２２は、収容室２１の上方に隣接して配置され、載置台４、搬送装置５、積層台６、昇降装置７、撮像ユニット８、照明ユニット９、および帯電ユニット１０を収容・支持している。収容室２１および機械室２２の形状は、例えば、箱状である。
【0020】
制御装置３は、積層装置１全体の動作を制御している。制御装置３は、例えば、１以上のＰＬＣ（Programmable Logic Controller）により構成されている。制御装置３は、制御部３１および記憶部３２を備える。
【0021】
制御部３１は、搬送装置５、昇降装置７、撮像ユニット８、照明ユニット９、および帯電ユニット１０の動作を制御する。制御部３１は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）３１ａなどのプロセッサ、ＣＰＵ３１ａの作業領域として機能するＲＡＭ（Random Access Memory）３１ｂなどの揮発性メモリ、および、制御プログラムなどの各種情報を記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）３１ｃなどの不揮発性メモリ、により構成されている。制御部３１は、位置調整部３１１、搬送制御部３１２、昇降制御部３１３、撮像制御部３１４、照明制御部３１５、および帯電制御部３１６を備える。
【0022】
位置調整部３１１は、撮像ユニット８が撮像した画像に基づいて、積層台６上の中間積層体ＩＬに対する、搬送装置５に保持されているシートＳの位置を調整する。位置調整部３１１の具体的な動作は、後述される。
【0023】
「中間積層体ＩＬ」は、積層台６に積層予定のシートＳのうち、積層台６に積層された一部のシートＳにより構成される積層体である。すなわち、中間積層体ＩＬは、積層体Ｌの積層途中の状態（例えば、１００層の積層であれば、１層～９９層のシートＳが積層された状態）である。説明の便宜上、中間積層体ＩＬには、最下層のシートＳのみが積層台６に載置されている状態も含まれる。
【0024】
搬送制御部３１２は、搬送装置５の動作を制御する。搬送制御部３１２の具体的な動作は、後述される。
【0025】
昇降制御部３１３は、昇降装置７の動作を制御する。昇降制御部３１３の具体的な動作は、後述される。
【0026】
撮像制御部３１４は、撮像ユニット８の動作を制御する。撮像制御部３１４の具体的な動作は、後述される。
【0027】
照明制御部３１５は、照明ユニット９の動作を制御する。照明制御部３１５の具体的な動作は、後述される。
【0028】
帯電制御部３１６は、帯電ユニット１０の動作を制御する。帯電制御部３１６の具体的な動作は、後述される。
【0029】
記憶部３２は、積層装置１の動作に必要な情報（例えば、後述される第１画像、第２画像、閾値など）を記憶する。記憶部３２は、例えば、フラッシュメモリなどの不揮発性メモリである。
【0030】
なお、本発明において、制御装置３は、ＰＬＣに限定されない。すなわち、例えば、制御装置３は、パーソナルコンピュータ、マイクロコントローラ、または、これらおよびＰＬＣの組合せにより構成されていてもよい。
【0031】
また、本発明において、制御装置３は、搬送装置５、昇降装置７、撮像ユニット８、照明ユニット９、および帯電ユニット１０それぞれの動作を個別に制御する複数の制御機器により構成されていてもよい。
【0032】
載置台４は、積層装置１において取り扱われる（積層される）シートＳが載置されるステージである。載置台４は、例えば、金属製である。載置台４は、本発明における載置位置Ｐ１である平面状の上面４ａを備える。載置台４は、機械室２２の床面２２ａに取り付けられている。
【0033】
搬送装置５は、載置台４に載置されているシートＳを保持し、載置位置Ｐ１から待機位置Ｐ２まで搬送する。搬送装置５は、例えば、公知の６軸の垂直多関節ロボットである。搬送装置５は、基台部５１、アーム部５２、保持部材５３、および真空発生器５４を備える。
【0034】
「載置位置Ｐ１」は、載置台４の上面４ａのうち、シートＳが載置されている位置である。
【0035】
「待機位置Ｐ２」は、積層台６が上昇したとき、搬送装置５に保持されているシートＳと、積層台６の上面６ａ、または、積層台６の上面６ａに積層されているシートＳ（中間積層体ＩＬ）と、が当接する位置である。すなわち、待機位置Ｐ２は、積層台６の上方に位置している。待機位置Ｐ２において、搬送装置５に保持されているシートＳは、積層台６の上面６ａに対向する。
【0036】
基台部５１は、機械室２２の床面２２ａに取り付けられ、アーム部５２を支えている。
【0037】
アーム部５２は、基台部５１との接続部位である基端から先端まで、複数の関節部（本実施の形態では、６つ）で連結され、基台部５１に対して所望の姿勢を取るために、所定の可動範囲内において自由に変位（動作）可能に構成されている。可動範囲には、載置台４および積層台６が含まれている。
【0038】
保持部材５３は、シートＳを保持する、いわゆるエンドエフェクタである。保持部材５３の形状は、例えば、直方体状である。保持部材５３は、例えば、シートＳを歪みなく保持可能、かつ、後述される負荷に耐える剛性を有する金属製である。保持部材５３は、アーム部５２の先端に取り付けられている。保持部材５３は、上面５３ａ、下面５３ｂ、および４つの窓部５３ｃ，５３ｄ，５３ｅ，５３ｆ（図４参照。以下同じ。）を備える。
【0039】
なお、本発明において、保持部材５３は、必要な剛性を有していれば、合成樹脂製でもよい。
【0040】
また、本発明において、保持部材５３の形状は、シートＳを歪みなく保持可能な形状であればよく、直方体状に限定されない。
【0041】
保持部材５３の下面５３ｂは、シートＳを吸着保持する保持面である。保持部材５３の下面５３ｂには複数の吸着孔（不図示。以下同じ。）が配置され、各吸着孔は配管（不図示）を介して真空発生器５４に接続されている。
【0042】
窓部５３ｃ～５３ｆは、保持部材５３の上面５３ａと下面５３ｂとを上下方向に貫通する貫通孔である。窓部５３ｃ～５３ｆの形状は、例えば、円柱状である。窓部５３ｃ～５３ｆは、上下方向視において、シートＳの特徴部と重複する位置（保持部材５３の４隅近傍）に配置されている。
【0043】
なお、本発明において、窓部５３ｃ～５３ｆの形状は、撮像ユニット８が窓部５３ｃ～５３ｆを介して特徴部を撮像可能な形状であればよく、円柱状に限定されない。すなわち、例えば、窓部５３ｃ～５３ｆの形状は、矩形状や長孔状でもよい。
【0044】
「特徴部」は、シートＳ同士を積層するための位置決めの標識として機能する部位であり、例えば、シートＳの形状を特徴づける部位（凹凸、輪郭など）、シートＳに付される標識、などである。本実施の形態では、特徴部は、シートＳの４隅に形成されている円形（「○」状）の孔である。
【0045】
なお、本発明において、特徴部は、孔に限定されない。すなわち、例えば、特徴部は、シートＳの角部（輪郭）でもよい。また、例えば、特徴部は、シートＳに付されているアライメントマークでもよい。さらに、特徴部の形状は、円形に限定されない。すなわち、例えば、特徴部の形状は、「＋」状や「Ｌ字」状でもよい。
【0046】
真空発生器５４は、保持部材５３がシートＳを吸着するための減圧雰囲気（真空）を発生させる。真空発生器５４は、例えば、コンプレッサおよびエジェクタを備える公知の真空発生（減圧）機構である。コンプレッサが生成した圧縮空気がエジェクタに供給されることにより、エジェクタは吸着孔内を真空引きし減圧する。このときに吸着孔内に生じる負圧により、保持部材５３はシートＳを吸着保持できる。一方、コンプレッサからの圧縮空気の供給が停止されると、エジェクタは吸着孔内を真空破壊し、吸着孔内は大気開放され、保持部材５３によるシートＳの吸着が解除される。
【0047】
なお、本発明において、真空発生器５４の構成は、本実施の形態に限定されない。すなわち、例えば、真空発生器５４は、真空ポンプでもよい。
【0048】
図３は、積層台６および昇降装置７の模式断面図である。
同図は、説明の便宜上、照明ユニット９および帯電ユニット１０も示している。また、同図は、移動後の積層台６、中間積層体ＩＬ、照明ユニット９および帯電ユニット１０を破線で示し、移動後の保持部材５３およびシートＳを二点鎖線で示している。
同図は、説明の便宜上、照明ユニット９および帯電ユニット１０も示している。また、同図は、移動後の積層台６、中間積層体ＩＬ、照明ユニット９および帯電ユニット１０を破線で示し、移動後の保持部材５３およびシートＳを二点鎖線で示している。
【0049】
積層台６は、複数のシートＳが積層されるステージである。積層台６は、例えば、金属製で、平面状の上面６ａを備える。積層台６は、昇降装置７に支持され、昇降装置７により所定の移動範囲内において、上下方向に昇降可能である。
【0050】
昇降装置７は、積層台６を下降位置Ｐ３と積層位置Ｐ４との間で昇降させることにより、積層台６の上面６ａに積層されているシートＳの中間積層体ＩＬと、搬送装置５に保持されているシートＳと、の間の相対距離を調整する。昇降装置７は、本発明における距離調整機構の一例である。昇降装置７は、例えば、４つのスライドガイド７１，７２（２つのスライドガイドは不図示。以下同じ。）、４つのリニアブッシュ７３，７４（２つのリニアブッシュは不図示。以下同じ。）、および駆動部７５を備える公知の直動機構である。
【0051】
「下降位置Ｐ３」は、搬送装置５および照明ユニット９の動作を阻害しない位置であって、後述される第１画像が撮像される位置である。
【0052】
「積層位置Ｐ４」は、下降位置Ｐ３よりも上方であって、後述されるシートＳの積層が実行される位置である。
【0053】
スライドガイド７１，７２は、リニアブッシュ７３，７４の上下方向の移動をガイドする。スライドガイド７１，７２の形状は、円柱状である。スライドガイド７１，７２は、例えば、金属製である。スライドガイド７１，７２は、機械室２２の床面２２ａに直立するように取り付けられている。
【0054】
リニアブッシュ７３，７４は、スライドガイド７１，７２に沿って上下方向に摺動することにより、積層台６を精密に昇降させる。リニアブッシュ７３，７４は、例えば、積層台６の４隅に取り付けられている。リニアブッシュ７３，７４には、対応するスライドガイド７１，７２が挿通されている。リニアブッシュ７３，７４が対応するスライドガイド７１，７２に沿って摺動することにより、積層台６は上下方向に精密に昇降可能である。
【0055】
駆動部７５は、例えば、モータおよびボールねじを備え、積層台６を昇降させる駆動力を生成し、積層台６を昇降可能に構成されている。
【0056】
なお、本発明において、駆動部７５の構成は、本実施の形態に限定されない。
【0057】
図４は、撮像ユニット８および照明ユニット９の位置関係を示す模式斜視図である。
【0058】
撮像ユニット８は、保持部材５３に保持されているシートＳ（図３参照）の特徴部を撮像する。撮像ユニット８は、４つの撮像装置８１，８２，８３，８４を備える。撮像装置８１～８４は、例えば、デジタルカメラである。撮像装置８１～８４は、積層台６の上方に配置され、機械室２２の天井２２ｂ（図３参照）に取り付けられている。撮像装置８１～８４は、保持部材５３が後述される待機位置Ｐ２（図３参照）に位置しているとき、対応する窓部５３ｃ～５３ｆの上方に配置され、対応する窓部５３ｃ～５３ｆ内の特徴部を撮像する。
【0059】
照明ユニット９は、保持部材５３に保持されているシートＳ（図３参照）の特徴部に向けて光を照射する。照明ユニット９は、４つの光源９１，９２，９３，９４、および移動装置９５（図２参照。以下同じ。）を備える。
【0060】
光源９１～９４は、対応する特徴部に向けて光を照射する。光源９１～９４は、例えば、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）である。
【0061】
移動装置９５は、例えば、モータおよびスライド機構を備え、光源９１～９４を、退避位置Ｐ５と照射位置Ｐ６との間で移動可能に構成されている。
【0062】
「退避位置Ｐ５」は、昇降装置７による積層台６の昇降を阻害しない位置である。本実施の形態では、退避位置Ｐ５は、昇降装置７（図３参照）の側方に位置している。
【0063】
「照射位置Ｐ６」は、光源９１～９４が対応する特徴部を照射可能な位置である。本実施の形態では、照射位置Ｐ６は、待機位置Ｐ２（図３参照）に位置しているシートＳと、下降している積層台６と、の間に位置している。
【0064】
【0065】
帯電バー１０１は、高電圧を印加されることにより、シートＳの中間積層体ＩＬの上面ＩＬａに放電（荷電粒子を照射）し、同上面ＩＬａに帯電処理を実行する。帯電バー１０１の形状は、例えば、シートＳの幅方向（図３の紙面奥手前方向）に細長い棒状である。同幅方向において、帯電バー１０１の長さは、シートＳの長さよりも僅かに長い。帯電バー１０１は本発明における補助処理装置の一例であり、帯電処理は本発明における補助処理の一例である。
【0066】
移動装置１０２は、例えば、モータおよびスライド機構を備え、帯電バー１０１を、第１退避位置Ｐ７と第２退避位置Ｐ８との間で移動可能に構成されている。
【0067】
「第１退避位置Ｐ７」は、搬送装置５によるシートＳの搬送を阻害しない位置である。本実施の形態では、第１退避位置Ｐ７は、上下方向において、待機位置Ｐ２よりも上方であり、かつ、上方視において、昇降装置７の側方に位置している。
【0068】
「第２退避位置Ｐ８」は、搬送装置５によるシートＳの搬送を阻害しない位置であり、上方視において、シートＳに対して第１退避位置Ｐ７とは反対側の位置である。本実施の形態では、第２退避位置Ｐ８は、帯電バー１０１がシートＳの中間積層体ＩＬの上方を横切った後、第１退避位置Ｐ７に向けて折り返す位置である。
【0069】
●積層装置の動作
次に、積層装置１の動作（すなわち、本製法）が、積層台６に載置されているシートＳの中間積層体ＩＬに、シートＳが積層される場合を例に、以下に説明される。以下の説明において、図１～図４は、適宜参照される。また、以下の図５～図７，図９～図１１において、説明の便宜上、制御装置３の構成の一部が、二点鎖線で図示されている。
次に、積層装置１の動作（すなわち、本製法）が、積層台６に載置されているシートＳの中間積層体ＩＬに、シートＳが積層される場合を例に、以下に説明される。以下の説明において、図１～図４は、適宜参照される。また、以下の図５～図７，図９～図１１において、説明の便宜上、制御装置３の構成の一部が、二点鎖線で図示されている。
【0070】
図５は、積層装置１の動作の例を説明する模式部分拡大断面図である。
【0071】
先ず、撮像制御部３１４は、撮像ユニット８に、中間積層体ＩＬの最上部に積層されているシートＳの特徴部を撮像させる。このとき、積層台６は下降位置Ｐ３に位置し、各撮像装置８１～８４は対応する特徴部を撮像する。撮像された画像（以下「第１画像」という。）は、例えば、記憶部３２に記憶されている。第１画像は、静止画である。
【0072】
【0073】
次いで、搬送制御部３１２は、搬送装置５に、載置台４の載置位置Ｐ１に載置されているシートＳを取り出させる。このとき、保持部材５３は、下面５３ｂにシートＳを吸着することにより、シートＳを保持している（保持ステップ）。上方視において、窓部５３ｃ～５３ｆの中には、シートＳの特徴部が配置されている。
【0074】
【0075】
次いで、搬送制御部３１２は、搬送装置５に、保持部材５３に保持されているシートＳを待機位置Ｐ２に搬送させる（搬送ステップ）。このとき、窓部５３ｃ～５３ｆの上方には、対応する撮像装置８１～８４が配置されている。そのため、撮像装置８１～８４は、対応する窓部５３ｃ～５３ｆを介して、保持部材５３に保持されているシートＳの特徴部を撮像可能である。
【0076】
次いで、照明制御部３１５は、移動装置９５に、光源９１～９４を退避位置Ｐ５から照射位置Ｐ６に移動させる。次いで、撮像制御部３１４は、撮像ユニット８に、特徴部を撮像させる。このとき、撮像ユニット８は、窓部５３ｃ～５３ｆを介して、保持部材５３に保持されているシートＳの特徴部の撮像を開始する。光源９１～９４は対応する特徴部に向けて下方から光を照射し、撮像装置８１～８４は対応する特徴部を撮像する（撮像ステップ）。すなわち、撮像装置８１～８４が対応する特徴部の撮像を開始するとき、移動装置９５は光源９１～９４を退避位置Ｐ５から照射位置Ｐ６に移動させ、光源９１～９４は対応する特徴部に光を照射する。撮像された画像（以下「第２画像」という。）は、例えば、記憶部３２に記憶されている。第２画像は、静止画でもよく、あるいは、動画でもよい。
【0077】
次いで、位置調整部３１１は、第１画像および第２画像に基づいて、積層台６上の中間積層体ＩＬに対する、保持部材５３に保持されているシートＳの位置を調整する（位置調整ステップ）。具体的には、位置調整部３１１は、第２画像の特徴部が第１画像の特徴部に重複するようにアーム部５２の動作を制御して、保持部材５３の姿勢を変更させる。このとき、撮像ユニット８および位置調整部３１１は、第１画像および第２画像の特徴部同士のずれ量が所定の閾値（例えば、数μｍ）以内に収まるまで、第２画像の撮像と位置の調整とを繰り返させている。換言すれば、位置調整部３１１は、中間積層体ＩＬに対する搬送装置５に保持されているシートＳの位置のずれ量が所定の閾値を満たすまで、搬送装置５に保持されているシートＳの位置の調整を繰り返している。
【0078】
ここで、保持部材５３は、アーム部５２の先端に取り付けられている。そのため、保持部材５３の姿勢および位置は、アーム部５２の各関節（軸）の動きの組み合わせにより変更される。すなわち、位置のずれ量の調整は、各関節（軸）の動きの組み合わせにより実行される。つまり、例えば、保持部材５３の姿勢を維持した状態で保持部材５３を真下へ平行移動させるとき、ある軸の動きによる姿勢の変化および前後左右方向への位置の変化を打ち消すように他の軸の動きが調整される。したがって、１回の位置の調整（保持部材５３の姿勢の変更）では、シートＳを待機位置Ｐ２に保ちつつ精度良くずれ量を調整できない場合が有る。そのため、ずれ量の調整は、１回で終了せず、ずれ量が所定の閾値を満たすまで複数回繰り返され得る。
【0079】
ずれ量が所定の範囲内に収まったとき、位置調整部３１１はアーム部５２および保持部材５３の姿勢を固定し、撮像制御部３１４は撮像ユニット８に特徴部の撮像を停止させ、照明制御部３１５は光源９１～９４に光の照射を停止させ、光源９１～９４を退避位置Ｐ５に移動させる。すなわち、撮像装置８１～８４が対応する特徴部の撮像を停止したとき、光源９１～９４は光の照射を停止し、移動装置９５は光源９１～９４を照射位置Ｐ６から退避位置Ｐ５に移動させる。
【0080】
【0081】
次いで、昇降制御部３１３は、昇降装置７に、待機位置Ｐ２において保持部材５３に保持されているシートＳに向けて積層台６を上昇させる。このとき、昇降装置７は、積層台６上の中間積層体ＩＬがシートＳに当接し、所定の圧力で押圧されるまで、積層台６を上昇させる。所定の圧力は、例えば、アーム部５２が有する力覚センサ（不図示）により検知される。換言すれば、昇降装置７は、アーム部５２が有するセンサの検知結果に基づいて、積層台６を積層位置Ｐ４まで上昇させ、シートＳを積層させる（積層ステップ）。
【0082】
次いで、搬送制御部３１２は、保持部材５３によるシートＳの吸着を解除させる。
【0083】
ここで、前述のとおり、位置の調整後のアーム部５２および保持部材５３の姿勢は、固定されている。また、リニアブッシュ７３，７４が対応するスライドガイド７１，７２に沿って摺動することにより、積層台６は上下方向に精密に昇降可能である。したがって、位置の調整後のシートＳに向けて積層台６（中間積層体ＩＬ）を精密に上昇させることにより、シートＳは、中間積層体ＩＬに精度よく積層される。
【0084】
また、中間積層体ＩＬの上面ＩＬａには、既に後述される帯電処理が実行されている。そのため、中間積層体ＩＬとシートＳとは、静電吸着される。その結果、シートＳは、中間積層体ＩＬに隙間なく密着する。このように、帯電処理は、シートＳと中間積層体ＩＬとの積層を補助する補助処理として機能している。
【0085】
【0086】
次いで、搬送制御部３１２は、搬送装置５に、保持部材５３を積層台６の上方から退避させる。
【0087】
次いで、帯電制御部３１６は、移動装置１０２に、帯電バー１０１を第１退避位置Ｐ７から第２退避位置Ｐ８まで移動させた後、第２退避位置Ｐ８から第１退避位置Ｐ７まで移動させる。このとき、帯電バー１０１は、中間積層体ＩＬの上面ＩＬａ（新たに積層されたシートＳの上面）を帯電させる。
【0088】
なお、本発明において、移動装置１０２は、帯電バー１０１を第１退避位置Ｐ７から第２退避位置Ｐ８に移動させた後、帯電バー１０１を第２退避位置Ｐ８に停止させ、次のシートＳの積層後に、帯電バー１０１を第２退避位置Ｐ８から第１退避位置Ｐ７に移動させた後、帯電バー１０１を第１退避位置Ｐ７に停止させてもよい。この場合、帯電バー１０１は、中間積層体ＩＬの上方を横切るとき、中間積層体ＩＬの上面ＩＬａを帯電させる。
【0089】
【0090】
次いで、昇降制御部３１３は、昇降装置７に、積層台６を下降位置Ｐ３まで下降させる。以降は、必要数のシートＳが積層されて積層体Ｌが完成するまで、上記の動作が繰り返される。
【0091】
このように、積層装置１では、シートＳの搬送に多関節ロボットが用いられている。そのため、積層装置１では、アーム部５２の可動範囲内であれば、載置台４および積層台６は自由にレイアウト可能である。すなわち、積層装置１では、シートＳの搬送経路（載置台４から積層台６までの経路）は、自由にレイアウト可能である。また、搬送軸を用いて載置台（供給台）と積層台との間を搬送する従来の積層装置（以下「従来装置」という。）と比較して、積層装置１の設置に必要なスペース（フットプリント）は、小さくなる。
【0092】
また、積層装置１は、積層台６上の中間積層体ＩＬに対する、搬送装置５に保持されているシートＳの位置の調整を複数回繰り返すことにより、高精度な位置の調整を実現している。
【0093】
さらに、積層装置１は、高精度に位置が調整されたシートＳに向けて、積層台６を精密に上昇させることにより、高精度なシートＳの積層を実現している。その結果、積層装置１は、比較的簡易な構成で、シートＳが高精度に積層された積層体Ｌを製造できる。
【0094】
●変形例●
次に、積層装置１の変形例が、先に説明した実施の形態（以下「第１実施形態」という。）と異なる点を中心に、以下に説明される。以下の変形例において、説明の便宜上、第１実施形態と同じ部材、および、共通する機能を有する部材には、第１実施形態と同じ符号が付されている。また、以下の変形例において、図１～図４は、適宜参照される。
次に、積層装置１の変形例が、先に説明した実施の形態（以下「第１実施形態」という。）と異なる点を中心に、以下に説明される。以下の変形例において、説明の便宜上、第１実施形態と同じ部材、および、共通する機能を有する部材には、第１実施形態と同じ符号が付されている。また、以下の変形例において、図１～図４は、適宜参照される。
【0095】
●第１変形例
図１２は、第１変形例に係る積層装置１Ａを示す模式部分拡大断面図である。
図１２は、第１変形例に係る積層装置１Ａを示す模式部分拡大断面図である。
【0096】
第１変形例に係る積層装置１Ａでは、積層処理の動作が、第１実施形態と異なる。搬送装置５は、保持部材５３に保持されているシートＳを積層台６に向けて下降させることにより、シートＳを中間積層体ＩＬに積層させる。すなわち、搬送装置５が、本発明における距離調整機構として機能している。この構成では、アーム部５２の各関節（軸）の動きの組み合わせにより保持部材５３の姿勢を制御しつつ保持部材５３を下降させるため、積層精度は第１実施形態の積層精度よりも悪化するが、比較的高精度な積層は可能である。一方、第１実施形態における昇降装置７は不要となり、第１実施形態よりも積層装置１Ａは省スペース化され、シートＳの搬送経路は自由にレイアウト可能である。
【0097】
なお、第１変形例において、位置調整部３１１は、保持部材５３の下降中に、位置の調整を繰り返してもよい。
【0098】
●第２変形例
図１３は、第２変形例に係る積層装置１Ｂを示す模式部分拡大断面図である。
図１３は、第２変形例に係る積層装置１Ｂを示す模式部分拡大断面図である。
【0099】
第２変形例に係る積層装置１Ｂでは、帯電バー１０１が保持部材５３の上面５３ａの端部に取り付けられる点、および、帯電処理の動作が第１実施形態と異なる。第２変形例では、搬送装置５は、昇降装置７が積層台６を上昇させるとき、保持部材５３の下面５３ｂを中間積層体ＩＬの上面ＩＬａ側に向け、シートＳの積層後、待機位置Ｐ２からの退避時に帯電バー１０１が下方を向くように保持部材５３の姿勢を変更する。次いで、保持部材５３は中間積層体ＩＬの上方を横切り、帯電バー１０１は中間積層体ＩＬの上面ＩＬａを帯電させる（帯電処理を実行する）。すなわち、搬送装置５は、帯電バー１０１が帯電処理を実行するとき、帯電バー１０１が上面ＩＬａ側に向けられるように、保持部材５３の向きを変える。次いで、保持部材５３の下面５３ｂが下方を向くように保持部材５３の姿勢は変更される。この構成では、第１実施形態における移動装置１０２が不要となり、帯電処理は保持部材５３の退避と同時に実行される。このように、搬送装置５が保持部材５３の姿勢を自由に変更可能な多関節ロボットで構成されているため、積層を補助する補助処理装置が保持部材５３にアタッチメントとして取り付け可能である。
【0100】
【0101】
第３変形例に係る積層装置１Ｃでは、光源９１～９４の位置、および、窓部５３ｃ～５３ｆの構成が、第１実施形態と異なる。光源９１～９４は、待機位置Ｐ２よりも上方であって、撮像装置８１～８４の画角に干渉しない位置に配置されている。光源９１～９４からの光は、対応する窓部５３ｃ～５３ｆに斜め上方から照射される。窓部５３ｃ～５３ｆの内面は光を反射するように構成され（例えば、内面が白色に塗装されている）、光源９１～９４からの光は窓部５３ｃ～５３ｆ内において拡散光となる。この構成では、光が斜めから照射されていても、特徴部には上方の比較的全方位から光が照射され、撮像装置８１～８４は特徴部を明確に撮像できる。
【0102】
●第４変形例
図１５は、第４変形例に係る積層装置１Ｄを示す模式部分拡大断面図である。
図１５は、第４変形例に係る積層装置１Ｄを示す模式部分拡大断面図である。
【0103】
第４変形例に係る積層装置１Ｄでは、積層台６および昇降装置７の構成が、第１実施形態と異なる。積層台６の４隅には、リニアブッシュ７３，７４に代えて、４つの貫通孔６ｂ，６ｃ（２つの貫通孔は不図示）が配置されている。昇降装置７は、ピン支持部７６、および、４つのガイドピン７７，７８（２つのガイドピンは不図示）を備える。ピン支持部７６は、積層台６の周囲に配置され、機械室２２の床面２２ａに直立するように取り付けられている。ガイドピン７７，７８は、先端部７７ａ，７８ａが下方に向けられるように、ピン支持部７６に指示されている。昇降装置７が積層台６を上昇させると、ガイドピン７７，７８は、対応する貫通孔６ｂ，６ｃに挿通され、積層台６はガイドピン７７，７８に沿って上昇する。そのため、積層台６の上昇精度は、貫通孔６ｂ，６ｃとガイドピン７７，７８との隙間の公差により調整可能である。
【0104】
●まとめ
以上説明した実施の形態によれば、積層装置１は、載置台４、積層台６、搬送装置５、撮像装置８１～８４、位置調整部３１１、および昇降装置７を備える。載置台４にはシート状のシートＳが載置され、積層台６には複数のシートＳが積層される。搬送装置５は、公知の垂直多関節ロボットであり、シートＳを保持して、載置位置Ｐ１から待機位置Ｐ２まで搬送する。撮像装置８１～８４は、搬送装置５に保持されているシートＳの特徴部を撮像する。位置調整部３１１は、第１画像および第２画像に基づいて、中間積層体ＩＬに対する、搬送装置５に保持されているシートＳの位置を調整する。昇降装置７は、積層台６を昇降させることにより、中間積層体ＩＬと、搬送装置５に保持されているシートＳと、の相対距離を調整し、シートＳを中間積層体ＩＬに積層させる。この構成によれば、シートＳの搬送に多関節ロボットが用いられるため、多関節ロボット（アーム部５２）の可動範囲内であれば、載置台４および積層台６は自由にレイアウト可能である。すなわち、積層装置１では、シートＳの搬送経路（載置台４から積層台６までの経路）は、自由にレイアウト可能である。
以上説明した実施の形態によれば、積層装置１は、載置台４、積層台６、搬送装置５、撮像装置８１～８４、位置調整部３１１、および昇降装置７を備える。載置台４にはシート状のシートＳが載置され、積層台６には複数のシートＳが積層される。搬送装置５は、公知の垂直多関節ロボットであり、シートＳを保持して、載置位置Ｐ１から待機位置Ｐ２まで搬送する。撮像装置８１～８４は、搬送装置５に保持されているシートＳの特徴部を撮像する。位置調整部３１１は、第１画像および第２画像に基づいて、中間積層体ＩＬに対する、搬送装置５に保持されているシートＳの位置を調整する。昇降装置７は、積層台６を昇降させることにより、中間積層体ＩＬと、搬送装置５に保持されているシートＳと、の相対距離を調整し、シートＳを中間積層体ＩＬに積層させる。この構成によれば、シートＳの搬送に多関節ロボットが用いられるため、多関節ロボット（アーム部５２）の可動範囲内であれば、載置台４および積層台６は自由にレイアウト可能である。すなわち、積層装置１では、シートＳの搬送経路（載置台４から積層台６までの経路）は、自由にレイアウト可能である。
【0105】
また、以上説明した実施の形態によれば、昇降装置７は、待機位置Ｐ２において搬送装置５に保持されているシートＳに向けて、積層台６を上昇させることにより、シートＳを中間積層体ＩＬに積層させる。この構成によれば、積層装置１は、昇降装置７の昇降精度を高めることにより、多関節ロボットによりシートＳを積層させる場合では得ることのできない高精度な積層を実現する。
【0106】
さらに、以上説明した実施の形態によれば、撮像装置８１～８４は、待機位置Ｐ２の上方に配置されている。この構成によれば、積層装置１は、待機位置Ｐ２において、シートＳの位置の調整および積層を実行できる。すなわち、シートＳの搬送経路において、シートＳの位置の調整専用のスペースが不要となる。そのため、積層装置１の省スペース化が可能であり、シートＳの搬送経路は自由にレイアウト可能である。
【0107】
さらにまた、以上説明した実施の形態によれば、積層装置１は、照明ユニット９を備える。照明ユニット９は、搬送装置５に保持されているシートＳに光を照射する光源９１～９４、および、光源９１～９４を、照射位置Ｐ６と退避位置Ｐ５との間で移動させる移動装置９５を備える。移動装置９５は、撮像装置８１～８４が特徴部の撮像を開始するとき光源９１～９４を照射位置Ｐ６に移動させ、撮像装置８１～８４が特徴部の撮像を停止したとき、光源９１～９４を退避位置Ｐ５に移動させる。この構成によれば、光源９１～９４は、積層時における積層台６の移動を妨げることなく、シートＳの下面側から光を照射可能である。そのため、撮像装置８１～８４は、貫通孔である特徴部の輪郭を明確に撮像可能である。その結果、位置調整部３１１による位置の調整精度は、向上する。
【0108】
さらにまた、以上説明した実施の形態によれば、搬送装置５は、シートＳを保持する保持部材５３を備える。保持部材５３は、窓部５３ｃ～５３ｆを備える。窓部５３ｃ～５３ｆは、保持部材５３を上下方向に貫通しており、シートＳが待機位置Ｐ２に搬送されたとき、特徴部が撮像装置８１～８４により撮像可能に構成されている。この構成によれば、待機位置Ｐ２の上方に配置されている撮像装置８１～８４は、保持部材５３に遮られることなく、待機位置Ｐ２において保持されているシートＳの特徴部を撮像できる。
【0109】
さらにまた、以上説明した実施の形態によれば、位置調整部３１１は、中間積層体ＩＬに対する、搬送装置５に保持されているシートＳの位置のずれ量が、所定の閾値を満たすまで位置の調整を繰り返す。この構成によれば、位置調整部３１１による位置の調整精度は、向上する。
【0110】
●その他の実施形態●
なお、本発明において、載置台４は、移動可能に構成されていてもよい。すなわち、例えば、載置台４は、昇降可能に構成されていてもよく、あるいは、前工程（フィルムからシートＳを剥離する工程）から搬送可能に構成されていてもよい。
なお、本発明において、載置台４は、移動可能に構成されていてもよい。すなわち、例えば、載置台４は、昇降可能に構成されていてもよく、あるいは、前工程（フィルムからシートＳを剥離する工程）から搬送可能に構成されていてもよい。
【0111】
また、本発明において、載置台４には、１つのシートＳのみが載置されていてもよく、あるいは、複数のシートＳが重ねられて載置されていてもよい。
【0112】
さらに、本発明において、積層装置１は、複数の載置台４を備えていてもよい。この場合、例えば、複数の載置台４は、上下方向において、棚状に並べて配置されていてもよい。
【0113】
さらにまた、本発明において、搬送装置５は、多関節ロボットであればよく、６軸の垂直多関節ロボットに限定されない。すなわち、例えば、搬送装置５は、公知の４軸の水平多関節ロボットでもよい。
【0114】
さらにまた、本発明において、窓部５３ｃ～５３ｆそれぞれには、半透明状の筒体が嵌入されていてもよい。この場合、筒体の上端部は保持部材５３の上面５３ａよりも上方に突出し、光源９１～９４からの光は突出している上端部に照射される。この構成では、光源９１～９４からの光は、上端部の側方から照射され、上端部から筒体内に導光され、筒体の内側の空間に照射される。
【0115】
さらにまた、本発明において、窓部５３ｃ～５３ｆの数は、特徴部の数に対応すればよく、「４」に限定されない。
【0116】
さらにまた、本発明において、窓部５３ｃ～５３ｆの位置は、保持部材５３の４隅近傍に限定されない。すなわち、例えば、窓部５３ｃ～５３ｆは、上下方向視において、保持部材５３の各辺の中央近傍に配置されていてもよい。
【0117】
さらにまた、本発明において、窓部５３ｃ～５３ｆは、貫通孔に限定されない。すなわち、例えば、窓部５３ｃ～５３ｆは、上方視において、保持部材５３の端部から中央部に向けて延出される切欠きにより構成されていてもよい。
【0118】
さらにまた、本発明において、窓部５３ｃ～５３ｆには、透光性材料（例えば、ガラスなど）製の部材が配置（嵌入）されていてもよい。
【0119】
さらにまた、本発明において、積層装置１は、複数の積層台６および昇降装置７を備えていてもよい。
【0120】
さらにまた、本発明において、昇降装置７の構成は、第１実施形態および第４実施例の構成に限定されない。すなわち、例えば、昇降装置７は、上方視において「Ｌ」字状で、積層台６の側方に、積層台６の隣り合う２辺に沿うように配置されている突き当て壁を備え、積層台６を２側方から突き当て壁に突き当てた状態で昇降させるように構成されていてもよい。
【0121】
さらにまた、本発明において、撮像装置８１～８４の数は、特徴部の数に対応すればよく、「４」に限定されない。
【0122】
さらにまた、本発明において、撮像装置８１～８４は、待機位置Ｐ２の下方に進退可能に構成されていてもよい。この場合、撮像装置８１～８４は、保持部材５３に保持されているシートＳの特徴部のみを下方から撮像するように構成されていてもよい。この構成では、位置調整部３１１は、１つ前に積層されたシートＳの特徴部の画像と、新たに撮像された特徴部の画像と、に基づいて位置の調整を実行してもよい。また、撮像装置８１～８４は、保持部材５３に保持されているシートＳの特徴部と、中間積層体ＩＬの最上部に積層されているシートＳの特徴部と、を同時に撮像するように構成されていてもよい。この構成では、位置調整部３１１は、第１実施形態と同様の位置の調整を実行できる。
【0123】
さらにまた、本発明において、光源９１～９４の数は、特徴部の数に対応すればよく、「４」に限定されない。
【0124】
さらにまた、本発明において、撮像装置８１～８４が保持部材５３に保持されているシートＳの特徴部を撮像可能であれば、積層装置１は、照明ユニット９を備えていなくてもよい。
【0125】
さらにまた、本発明において、積層装置１は、帯電ユニット１０を備えていなくてもよい。
【0126】
さらにまた、本発明において、帯電バー１０１の長さは、シートＳの長さよりも短くてもよい。この場合、例えば、搬送装置５は、帯電バー１０１が上面ＩＬａ全体を帯電させるように、幅方向にも往復移動しながら、上面ＩＬａの上方を横断するように構成される。
【0127】
さらにまた、本発明において、帯電バー１０１は、載置位置Ｐ１から待機位置Ｐ２までの搬送経路上に配置され、保持部材５３に保持されているシートＳの下面に帯電処理を実行してもよい。
【0128】
さらにまた、本発明において、積層装置１は、中間積層体ＩＬの上面ＩＬａに接着剤を塗布するディスペンサを備えていてもよい。この場合、ディスペンサは本発明における補助処理装置の一例であり、接着剤の塗布処理は本発明における補助処理の一例である。ディスペンサは、第１実施形態の帯電バー１０１に代えて移動装置１０２に取り付けられていてもよい。また、ディスペンサは、第２変形例の帯電バー１０１に代えて保持部材５３の上面５３ａに取り付けられていてもよい。この場合、ディスペンサは、アーム部５２の動作の制御により、帯電バー１０１とは別に上面ＩＬａの全体に、または、部分的に接着剤を塗布するように移動可能に構成されていてもよい。
【0129】
さらにまた、本発明において、積層装置１は、載置台４から積層台６までの経路に、アライメント用のステージ（アライメント台）を備えていてもよい。この場合、積層装置１は、アライメント台の上方または下方に配置され、保持部材５３に保持されているシートＳの特徴部の画像（第２画像）を撮像する撮像装置を備える。この構成では、撮像装置８１～８４は、第１画像のみを撮像していてもよい。
【0130】
さらにまた、本発明において、補助処理装置は、積層を補助する補助処理が実行可能であればよく、帯電バー１０１やディスペンサに限定されない。
【0131】
さらにまた、本発明において、窓部５３ｃ～５３ｆには、透光性を有するガラスや合成樹脂が嵌め込まれていてもよい。
【0132】
さらにまた、本発明において、１層目のシートＳと積層台６の上面６ａとの間には、公知の積層シートまたは積層フィルムが配置されていてもよい。
【0133】
●本発明の実施態様●
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語と符号とを援用しつつ、以下に記載する。
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語と符号とを援用しつつ、以下に記載する。
【0134】
本発明の第１の実施態様は、シート状の被積層体（例えば、シートＳ）が載置される載置台（例えば、載置台４）と、複数の前記被積層体が積層される積層台（例えば、積層台６）と、前記被積層体を保持し、前記載置台における載置位置（例えば、載置位置Ｐ１）から前記積層台の上方の待機位置（例えば、待機位置Ｐ２）まで搬送する多関節ロボット（例えば、搬送装置５）と、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の特徴部の画像を撮像する撮像装置（例えば、撮像装置８１～８４）と、前記画像に基づいて、前記積層台に積層された前記被積層体により構成される中間積層体（例えば、中間積層体ＩＬ）に対する、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の位置を調整する位置調整部（例えば、位置調整部３１１）と、前記中間積層体と、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体と、の相対距離を調整することにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させる距離調整機構（例えば、昇降装置７）と、を有してなる、積層装置（例えば、積層装置１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ）である。
この構成によれば、セラミックグリーンシートの搬送経路は、自由にレイアウト可能である。
この構成によれば、セラミックグリーンシートの搬送経路は、自由にレイアウト可能である。
【0135】
本発明の第２の実施態様は、第１の実施態様において、前記距離調整機構として機能し、前記積層台を昇降させる昇降装置（例えば、昇降装置７）、を有してなり、前記昇降装置は、前記待機位置において前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体に向けて、前記積層台を上昇させることにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させる、積層装置（例えば、積層装置１，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ）である。
この構成によれば、積層装置は、昇降装置の昇降精度を高めることにより、多関節ロボットによりセラミックグリーンシートを積層させる場合では得ることのできない高精度な積層を実現できる。
この構成によれば、積層装置は、昇降装置の昇降精度を高めることにより、多関節ロボットによりセラミックグリーンシートを積層させる場合では得ることのできない高精度な積層を実現できる。
【0136】
本発明の第３の実施態様は、第１の実施態様において、前記多関節ロボットは、前記距離調整機構として機能し、前記中間積層体に向けて、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体を下降させることにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させる、積層装置（例えば、積層装置１Ａ）である。
この構成によれば、積層装置は省スペース化され、セラミックグリーンシートの搬送経路は自由にレイアウト可能である
この構成によれば、積層装置は省スペース化され、セラミックグリーンシートの搬送経路は自由にレイアウト可能である
【0137】
本発明の第４の実施態様は、第１乃至第３のいずれか１の実施態様において、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体に向けて光を照射する光源（例えば、光源９１～９４）と、前記光源を、前記待機位置の下方の照射位置（例えば、照射位置Ｐ６）と、前記距離調整機構による前記相対距離の調整を阻害しない退避位置（例えば、退避位置Ｐ５）と、の間で移動させる移動装置（例えば、移動装置９５）と、を有してなり、前記撮像装置は、前記待機位置の上方に配置され、前記移動装置は、前記撮像装置が前記特徴部の撮像を開始するとき、前記光源を前記退避位置から前記照射位置に移動させて、前記撮像装置が前記特徴部の撮像を終了したとき、前記光源を前記照射位置から前記退避位置に移動させる、積層装置である。
この構成によれば、撮像装置は、待機位置に搬送されたセラミックグリーンシートの貫通孔である特徴部の輪郭を明確に撮像可能である。その結果、待機位置において、セラミックグリーンシートの位置の調整および積層が実行でき、位置調整部による位置の調整精度は、向上する。
この構成によれば、撮像装置は、待機位置に搬送されたセラミックグリーンシートの貫通孔である特徴部の輪郭を明確に撮像可能である。その結果、待機位置において、セラミックグリーンシートの位置の調整および積層が実行でき、位置調整部による位置の調整精度は、向上する。
【0138】
本発明の第５の実施態様は、第４の実施態様において、前記多関節ロボットは、前記被積層体を保持する保持部材（例えば、保持部材５３）を備え、前記保持部材は、前記被積層体が前記待機位置に搬送されたとき、前記保持部材に保持される前記被積層体の一部が前記撮像装置により上方から撮像可能に構成される窓部（例えば、窓部５３ｃ～５３ｆ）を備える、積層装置である。
この構成によれば、待機位置の上方に配置されている撮像装置は、保持部材に遮られることなく、特徴部を撮像できる。
この構成によれば、待機位置の上方に配置されている撮像装置は、保持部材に遮られることなく、特徴部を撮像できる。
【0139】
本発明の第６の実施態様は、第４の実施態様において、前記位置調整部は、前記中間積層体に対する前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の前記位置のずれ量が、所定の閾値を満たすまで、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の前記位置の調整を繰り返す、積層装置である。
この構成によれば、位置調整部による位置の調整精度は、向上する。
この構成によれば、位置調整部による位置の調整精度は、向上する。
【0140】
本発明の第７の実施態様は、第１の実施態様において、前記中間積層体に前記被積層体が積層される前に、前記中間積層体の上面（例えば、上面ＩＬａ）または前記被積層体の下面に、前記積層を補助するための補助処理を実行する補助処理装置（例えば、帯電バー１０１）、を有してなり、前記多関節ロボットは、前記被積層体を保持する保持面（例えば、下面５３ｂ）を有する保持部材、を備え、前記補助処理装置は、前記保持部材に取り付けられて、前記中間積層体の前記上面に前記補助処理を実行し、前記多関節ロボットは、前記距離調整機構が前記相対距離を調整するとき、前記保持面を前記上面側に向けて、前記補助処理装置が前記補助処理を実行するとき、前記補助処理装置が前記上面側に向けられるように、前記保持部材の向きを変える、積層装置（例えば、積層装置１Ｂ）である。
この構成によれば、帯電バーの移動装置が不要となり、帯電処理は保持部材の退避と同時に実行できる。
この構成によれば、帯電バーの移動装置が不要となり、帯電処理は保持部材の退避と同時に実行できる。
【0141】
本発明の第８の実施態様は、シート状の被積層体（例えば、シートＳ）が載置される載置台（例えば、載置台４）と、複数の前記被積層体が積層される積層台（例えば、積層台６）と、前記被積層体を保持し、搬送する多関節ロボット（例えば、搬送装置５）と、前記被積層体の特徴部の画像を撮像する撮像装置（例えば、撮像装置８１～８４）と、前記画像に基づいて、前記積層台に積層された前記被積層体により構成される中間積層体（例えば、中間積層体ＩＬ）に対する前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の位置を調整する位置調整部（例えば、位置調整部３１１）と、前記中間積層体と、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体と、の相対距離を調整する距離調整機構（例えば、昇降装置７）と、を有してなる積層装置（例えば、積層装置１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ）により実行される積層体（例えば、積層体Ｌ）の製造方法（例えば、本製法）であって、前記多関節ロボットが、前記載置台に載置された前記被積層体を保持するステップ（例えば、保持ステップ）と、前記多関節ロボットが、前記被積層体を前記積層台の上方に搬送するステップ（例えば、搬送ステップ）と、前記撮像装置が、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の前記画像を撮像するステップ（例えば、撮像ステップ）と、前記位置調整部が、前記中間積層体に対する、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の前記位置を調整するステップ（例えば、位置調整ステップ）と、前記距離調整機構が、前記中間積層体と、前記多関節ロボットに保持された前記被積層体と、の前記相対距離を調整することにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させるステップ（例えば、積層ステップ）と、を含む、積層体の製造方法である。
この構成によれば、セラミックグリーンシートの搬送経路は、自由にレイアウト可能である。
この構成によれば、セラミックグリーンシートの搬送経路は、自由にレイアウト可能である。
【符号の説明】
【0142】
１ 積層装置
１Ａ 積層装置（第１変形例）
１Ｂ 積層装置（第２変形例）
１Ｃ 積層装置（第３変形例）
１Ｄ 積層装置（第４変形例）
３１１ 位置調整部
４ 載置台
５ 搬送装置（多関節ロボット、距離調整機構）
５３ 保持部材
５３ｂ 下面（保持面）
５３ｃ 窓部
５３ｄ 窓部
５３ｅ 窓部
５３ｆ 窓部
６ 積層台
７ 昇降装置（距離調整機構）
８１ 撮像装置
８２ 撮像装置
８３ 撮像装置
８４ 撮像装置
９１ 光源
９２ 光源
９３ 光源
９４ 光源
９５ 移動装置
１０１ 帯電バー（補助処理装置）
ＩＬ 中間積層体
ＩＬａ 上面
Ｌ 積層体
Ｐ１ 載置位置
Ｐ２ 待機位置
Ｐ５ 退避位置
Ｐ６ 照射位置
Ｓ セラミックグリーンシート（被積層体）
１Ａ 積層装置（第１変形例）
１Ｂ 積層装置（第２変形例）
１Ｃ 積層装置（第３変形例）
１Ｄ 積層装置（第４変形例）
３１１ 位置調整部
４ 載置台
５ 搬送装置（多関節ロボット、距離調整機構）
５３ 保持部材
５３ｂ 下面（保持面）
５３ｃ 窓部
５３ｄ 窓部
５３ｅ 窓部
５３ｆ 窓部
６ 積層台
７ 昇降装置（距離調整機構）
８１ 撮像装置
８２ 撮像装置
８３ 撮像装置
８４ 撮像装置
９１ 光源
９２ 光源
９３ 光源
９４ 光源
９５ 移動装置
１０１ 帯電バー（補助処理装置）
ＩＬ 中間積層体
ＩＬａ 上面
Ｌ 積層体
Ｐ１ 載置位置
Ｐ２ 待機位置
Ｐ５ 退避位置
Ｐ６ 照射位置
Ｓ セラミックグリーンシート（被積層体）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【手続補正書】
【提出日】2023-08-21
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
シート状の被積層体が載置される載置台と、
複数の前記被積層体が積層される積層台と、
前記被積層体を保持し、前記載置台における載置位置から前記積層台の上方の待機位置まで搬送する多関節ロボットと、
前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の特徴部の画像を撮像する撮像装置と、
前記画像に基づいて、前記積層台に積層された前記被積層体により構成される中間積層体に対する、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の位置を調整する位置調整部と、
前記中間積層体と、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体と、の相対距離を調整することにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させる距離調整機構と、
を有してなり、
前記距離調整機構は、前記積層台を昇降させる昇降装置であり、
前記昇降装置は、前記待機位置において前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体に向けて、前記積層台を上昇させることにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させる、
積層装置。
複数の前記被積層体が積層される積層台と、
前記被積層体を保持し、前記載置台における載置位置から前記積層台の上方の待機位置まで搬送する多関節ロボットと、
前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の特徴部の画像を撮像する撮像装置と、
前記画像に基づいて、前記積層台に積層された前記被積層体により構成される中間積層体に対する、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の位置を調整する位置調整部と、
前記中間積層体と、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体と、の相対距離を調整することにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させる距離調整機構と、
を有してなり、
前記距離調整機構は、前記積層台を昇降させる昇降装置であり、
前記昇降装置は、前記待機位置において前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体に向けて、前記積層台を上昇させることにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させる、
積層装置。
【請求項2】
前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体に向けて光を照射する光源と、
前記光源を、前記待機位置の下方の照射位置と、前記距離調整機構による前記相対距離の調整を阻害しない退避位置と、の間で移動させる移動装置と、
を有してなり、
前記撮像装置は、前記待機位置の上方に配置され、
前記移動装置は、
前記撮像装置が前記特徴部の撮像を開始するとき、前記光源を前記退避位置から前記照射位置に移動させて、
前記撮像装置が前記特徴部の撮像を終了したとき、前記光源を前記照射位置から前記退避位置に移動させる、
請求項１に記載の積層装置。
前記光源を、前記待機位置の下方の照射位置と、前記距離調整機構による前記相対距離の調整を阻害しない退避位置と、の間で移動させる移動装置と、
を有してなり、
前記撮像装置は、前記待機位置の上方に配置され、
前記移動装置は、
前記撮像装置が前記特徴部の撮像を開始するとき、前記光源を前記退避位置から前記照射位置に移動させて、
前記撮像装置が前記特徴部の撮像を終了したとき、前記光源を前記照射位置から前記退避位置に移動させる、
請求項１に記載の積層装置。
【請求項3】
前記多関節ロボットは、前記被積層体を保持する保持部材を備え、
前記保持部材は、前記被積層体が前記待機位置に搬送されたとき、前記保持部材に保持される前記被積層体の一部が前記撮像装置により上方から撮像可能に構成される窓部を備える、
請求項２に記載の積層装置。
前記保持部材は、前記被積層体が前記待機位置に搬送されたとき、前記保持部材に保持される前記被積層体の一部が前記撮像装置により上方から撮像可能に構成される窓部を備える、
請求項２に記載の積層装置。
【請求項4】
前記位置調整部は、前記中間積層体に対する前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の前記位置のずれ量が、所定の閾値を満たすまで、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の前記位置の調整を繰り返す、
請求項１に記載の積層装置。
請求項１に記載の積層装置。
【請求項5】
前記中間積層体に前記被積層体が積層される前に、前記中間積層体の上面または前記被積層体の下面に、前記積層を補助するための補助処理を実行する補助処理装置、
を有してなり、
前記多関節ロボットは、前記被積層体を保持する保持面を有する保持部材を備え、
前記補助処理装置は、前記保持部材に取り付けられて、前記中間積層体の前記上面に前記補助処理を実行し、
前記多関節ロボットは、
前記距離調整機構が前記相対距離を調整するとき、前記保持面を前記上面側に向けて、
前記補助処理装置が前記補助処理を実行するとき、前記補助処理装置が前記上面側に向けられるように、前記保持部材の向きを変える、
請求項１に記載の積層装置。
を有してなり、
前記多関節ロボットは、前記被積層体を保持する保持面を有する保持部材を備え、
前記補助処理装置は、前記保持部材に取り付けられて、前記中間積層体の前記上面に前記補助処理を実行し、
前記多関節ロボットは、
前記距離調整機構が前記相対距離を調整するとき、前記保持面を前記上面側に向けて、
前記補助処理装置が前記補助処理を実行するとき、前記補助処理装置が前記上面側に向けられるように、前記保持部材の向きを変える、
請求項１に記載の積層装置。
【請求項6】
シート状の被積層体が載置される載置台と、
複数の前記被積層体が積層される積層台と、
前記被積層体を保持し、前記載置台における載置位置から前記積層台の上方の待機位置まで搬送する多関節ロボットと、
前記被積層体の特徴部の画像を撮像する撮像装置と、
前記画像に基づいて、前記積層台に積層された前記被積層体により構成される中間積層体に対する前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の位置を調整する位置調整部と、
前記中間積層体と、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体と、の相対距離を調整する距離調整機構と、
を有してなる積層装置により実行される積層体の製造方法であって、
前記距離調整機構は、前記積層台を昇降させる昇降装置であり、
前記多関節ロボットが、前記載置台に載置された前記被積層体を保持するステップと、
前記多関節ロボットが、前記被積層体を前記待機位置に搬送するステップと、
前記撮像装置が、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の前記画像を撮像するステップと、
前記位置調整部が、前記中間積層体に対する、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の前記位置を調整するステップと、
前記昇降装置が、前記待機位置において前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体に向けて、前記積層台を上昇させて、前記中間積層体と、前記多関節ロボットに保持された前記被積層体と、の前記相対距離を調整することにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させるステップと、
を含む、
積層体の製造方法。
複数の前記被積層体が積層される積層台と、
前記被積層体を保持し、前記載置台における載置位置から前記積層台の上方の待機位置まで搬送する多関節ロボットと、
前記被積層体の特徴部の画像を撮像する撮像装置と、
前記画像に基づいて、前記積層台に積層された前記被積層体により構成される中間積層体に対する前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の位置を調整する位置調整部と、
前記中間積層体と、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体と、の相対距離を調整する距離調整機構と、
を有してなる積層装置により実行される積層体の製造方法であって、
前記距離調整機構は、前記積層台を昇降させる昇降装置であり、
前記多関節ロボットが、前記載置台に載置された前記被積層体を保持するステップと、
前記多関節ロボットが、前記被積層体を前記待機位置に搬送するステップと、
前記撮像装置が、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の前記画像を撮像するステップと、
前記位置調整部が、前記中間積層体に対する、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の前記位置を調整するステップと、
前記昇降装置が、前記待機位置において前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体に向けて、前記積層台を上昇させて、前記中間積層体と、前記多関節ロボットに保持された前記被積層体と、の前記相対距離を調整することにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させるステップと、
を含む、
積層体の製造方法。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0008】
本発明の一実施態様における積層装置は、シート状の被積層体が載置される載置台と、複数の前記被積層体が積層される積層台と、前記被積層体を保持し、前記載置台における載置位置から前記積層台の上方の待機位置まで搬送する多関節ロボットと、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の特徴部の画像を撮像する撮像装置と、前記画像に基づいて、前記積層台に積層された前記被積層体により構成される中間積層体に対する、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の位置を調整する位置調整部と、前記中間積層体と、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体と、の相対距離を調整することにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させる距離調整機構と、を有してなり、前記距離調整機構は、前記積層台を昇降させる昇降装置であり、前記昇降装置は、前記待機位置において前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体に向けて、前記積層台を上昇させることにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させる、積層装置である。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0009】
本発明の一実施形態における積層体の製造方法は、シート状の被積層体が載置される載置台と、複数の前記被積層体が積層される積層台と、前記被積層体を保持し、前記載置台における載置位置から前記積層台の上方の待機位置まで搬送する多関節ロボットと、前記被積層体の特徴部の画像を撮像する撮像装置と、前記画像に基づいて、前記積層台に積層された前記被積層体により構成される中間積層体に対する前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の位置を調整する位置調整部と、前記中間積層体と、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体と、の相対距離を調整する距離調整機構と、を有してなる積層装置により実行される積層体の製造方法であって、前記距離調整機構は、前記積層台を昇降させる昇降装置であり、前記多関節ロボットが、前記載置台に載置された前記被積層体を保持するステップと、前記多関節ロボットが、前記被積層体を前記待機位置に搬送するステップと、前記撮像装置が、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の前記画像を撮像するステップと、前記位置調整部が、前記中間積層体に対する、前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体の位置を調整するステップと、前記昇降装置が、前記待機位置において前記多関節ロボットに保持されている前記被積層体に向けて、前記積層台を上昇させて、前記中間積層体と、前記多関節ロボットに保持された前記被積層体と、の相対距離を調整することにより、前記被積層体を前記中間積層体に積層させるステップと、を含む、積層体の製造方法である。