特開 2024-23001 ピックアップ装置およびピックアップ装置の制御方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024023001

(43)【公開日】2024-02-21

(54)【発明の名称】ピックアップ装置およびピックアップ装置の制御方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/67 20060101AFI20240214BHJP

   H01L 21/52 20060101ALI20240214BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 E

H01L21/52 F

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022126512

(22)【出願日】2022-08-08

(71)【出願人】

【識別番号】000004237

【氏名又は名称】日本電気株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100109313

【弁理士】

【氏名又は名称】机 昌彦

(74)【代理人】

【識別番号】100149618

【弁理士】

【氏名又は名称】北嶋 啓至

(72)【発明者】

【氏名】塙 康弘

【テーマコード（参考）】

5F047

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F047FA04

5F047FA08

5F131AA04

5F131BA53

5F131BA54

5F131CA09

5F131DA03

5F131DA14

5F131DA33

5F131DA42

5F131DB22

5F131DB62

5F131EA07

5F131EB01

5F131EC33

5F131EC73

5F131EC74

5F131EC75

(57)【要約】

【課題】より構造が簡単で、ダイシングテープからの剥離の際に、チップ部品に加わる曲げモーメントが低減されるピックアップ装置等を提供する。
【解決手段】ピックアップ装置は、ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置であって、前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための先端部を、前記ダイシングテープ側の一端部に備えた突き上げピンと、前記チップ部品の主面の法線に対して第１の角度だけ傾けた状態で、前記突き上げピンの長手方向にスライド可能となるように前記突き上げピンを支持するガイドと、前記先端部と前記ダイシングテープの接触部が前記チップ部品の端部から前記チップ部品の中央部に移動するように前記突き上げピンを前記チップ部品の方向に突き上げる突き上げ板と、を有する。
【選択図】 図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置であって、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための先端部を、前記ダイシングテープ側の一端部に備えた突き上げピンと、
前記チップ部品の主面の法線に対して第１の角度だけ傾けた状態で、前記突き上げピンの長手方向にスライド可能となるように前記突き上げピンを支持するガイドと、
前記先端部と前記ダイシングテープの接触部が前記チップ部品の端部から前記チップ部品の中央部に移動するように前記突き上げピンを前記チップ部品の方向に突き上げる突き上げ板と、
を有することを特徴とするピックアップ装置。

【請求項2】

前記突き上げピンを前記突き上げ板に向かって付勢する付勢手段を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載のピックアップ装置。

【請求項3】

前記突き上げピンを複数備え、
それぞれの前記突き上げピンは、
前記突き上げ板を前記チップ部品の方向に突き上げた際に、それぞれの前記先端部が、前記チップ部品の中央に向かうように設けられている、
ことを特徴とする請求項１または２に記載のピックアップ装置。

【請求項4】

前記ガイドの前記第１の角度が調整可能である、
ことを特徴とする請求項１または２に記載のピックアップ装置。

【請求項5】

前記第１の角度が１０°～８０°の範囲内である
ことを特徴とする請求項１または２に記載のピックアップ装置。

【請求項6】

前記チップ部品の上面と対向する位置に設けられ、前記チップ部品を吸着するコレットと、
前記コレットを少なくとも前記法線の方向に移動させるコレット駆動手段と、
を有することを特徴とする請求項１または２に記載のピックアップ装置。

【請求項7】

前記ガイドの前記第１の角度が調整可能である、
ことを特徴とする請求項３に記載のピックアップ装置。

【請求項8】

前記第１の角度が１０°～８０°の範囲内である
ことを特徴とする請求項３に記載のピックアップ装置。

【請求項9】

前記チップ部品の上面と対向する位置に設けられ、前記チップ部品を吸着するコレットと、
前記コレットを少なくとも前記法線の方向に移動させるコレット駆動手段と、
を有することを特徴とする請求項３に記載のピックアップ装置。

【請求項10】

ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置の制御方法であって、
前記ピックアップ装置は、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための先端部を、前記ダイシングテープ側の一端部に備えた突き上げピンと、
前記チップ部品の主面の法線に対して第１の角度だけ傾けた状態で、前記突き上げピンの長手方向にスライド可能となるように前記突き上げピンを支持するガイドと、
を備え、
前記先端部と前記ダイシングテープの接触部が前記チップ部品の端部から前記チップ部品の中央部に移動するように前記突き上げピンを前記チップ部品の方向に突き上げる、
ことを特徴とするピックアップ装置の制御方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ピックアップ装置等に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体等のチップ部品の製造では、一般的に、１枚のウェハに複数のチップ部品が形成される。そして、ダイシング等の分割手法を用いて、ウェハが個々のチップ部品に分割される。一般的なダイシングでは、ダイシングテープが用いられる。ダイシングテープは片面に粘着性を有するフィルムである。ダイシングテープは、ダイシングシート、ウェハシート、粘着シートなどとも呼ばれる。

【0003】

ダイシングを行う際に、まずウェハの裏面がダイシングテープに貼付される。次にダイシングによってウェハが個々のチップ部品に分割される。ダイシングが終わると、次に、ダイシングテープを引き延ばす加工であるエキスパンドが施され、チップ部品とチップ部品の間に隙間が形成される。次に、紫外線照射等によって、ダイシングテープの粘着性が低下される。次にコレットと呼ばれる吸着手段を備えたピックアップ装置によって、チップ部品の表面が吸着され、チップ部品がピックアップされる。この際、一般的な方法では、突き上げピンによって、ダイシングテープの裏面が突き上げられる。この突き上げによって、チップ部品のダイシングテープからの剥離が促進される。

【0004】

上記のピックアップ装置では、チップ部品の中央を１本の突き上げピンで突き上げるのが最も簡単な構成である。この構成で突き上げを行うと、チップ部品の端部から剥離が始まる。この際、突き上げピンの先端部が突き当たっている場所を支点とし、チップ部品の端部を作用点とし、作用点にダイシングテープの粘着力（剥離力）が作用する曲げモーメントが発生する。チップ部品のサイズが大きくなると、支点から、作用点であるチップ部品の端部までの距離が長くなる。これに伴って、チップ部品に加わる曲げモーメントが大きくなる。この曲げモーメントによりチップ部品に加わる応力がチップ部品の破壊応力を超えると、チップ部品に破損が生じる。このため、チップ部品のサイズが大きくなると、チップ部品が破損するリスクが増大する。

【0005】

そこで、チップ部品に加わる曲げモーメントを低減する方法が特許文献１で提案されている。例えば、特許文献１には、チップ部品（チップ）の外周部から剥離を行うピックアップ方法および装置の発明が記載されている。特許文献１のピックアップ装置は、径の異なる複数の筒体（第１吸引筒体、第２吸引筒体、第１突き上げ筒体、第２突き上げ筒体）と複数の突き上げピンを備えている。

【0006】

ピックアップにおいては、まず、最も外側の筒体（第１吸引筒体）の吸引孔を介してダイシングテープ（貼付シート、ダイシングシート）を吸引することにより、ダイシングテープが第１吸引筒体の上端部に吸着される（引用文献１の図３（ａ））。

【0007】

次に、第１吸引筒体の内側に配置されている第１突き上げ筒体、第２吸引筒体、第２突き上げ筒体および突き上げピンを同じ高さまで上昇させて、ダイシングテープを介してチップ部品を上方に突き上げる（引用文献１の図３（ｂ））。これにより、チップ部品が貼り付けられているダイシングテープのうち、第１突き上げ筒体の外周側でチップ部品の下面の外周縁からチップ部品の内側に向かってわずかに剥離される。この動作では、第１突き上げ筒体の突き当り部分が支点となり、第１吸引筒体の上のチップ部品端部が剥離ポイント（作用点）になる。

【0008】

次に、第１吸着筒体と第１突き上げ筒体の高さを維持したまま、第１突き上げ筒体の内側に位置する第２突き上げ筒体と第２吸引筒体と突き上げピンを同じ高さだけ上昇させ、ダイシングテープを介してチップ部品をさらに上方に突き上げる（引用文献１の図３（ｃ））。これにより、第２突き上げ筒体の外周側で、先の貼付面外周縁からチップ部品の内側に向って、さらにダイシングテープが剥離される。この動作では、第２突き上げ筒体の突き当り部分が支点となり、第１突き上げ筒体の上のチップ部品端部が剥離ポイント（作用点）になる。

【0009】

次に、第１吸着筒体と第１突き上げ筒体と第２突き上げ筒体の高さを維持したまま、第２突き上げ筒体よりも内側に位置する第２吸着筒体と突き上げピンを同じ高さだけさらに上昇させ、チップ部品をさらに突き上げる（引用文献１の図３（ｄ））。これにより、第２吸着筒体の外周側で、先の貼付面外周縁からチップ１の内側に向って、さらにダイシングテープが剥離される。この動作では、第２突き上げ筒体の突き当り部分が支点となり、第１突き上げ筒体の上のチップ部品端部が剥離ポイント（作用点）になる。

【0010】

次に、第１吸着筒体、第１突き上げ筒体、第２突き上げ筒体および第２吸着筒体の高さが維持される。そして、この状態のまま、突き上げピンがさらに上昇される。これにより、チップ部品がさらに突き上げられる。その結果、突き上げピンの先端上にチップ部品が支持される（引用文献１の図３（ｅ））。この時、第２吸着筒体の吸引溝からの吸引により第２吸着筒体に接するダイシングテープが第２吸着筒体に吸着されて固定される。こうして、突き上げピンにより、ダイシングテープからチップ部品がより効果的に剥離される。この動作では、突き上げピンの突き当り部分が支点となり、第２突き上げ筒体の上のチップ部品端部が剥離ポイント（作用点）になる。

【0011】

以上の各工程において、支点から作用点までの距離が、チップ部品の中心を１本の突き上げピンの突上げる構成と比較して、短くなる。このため、チップ部品の中心を１本の突き上げピンの突上げる構成に比べて、チップ部品に作用する曲げモーメントが大幅に低減される。そして、特許文献１に記載の技術では、剥離の進行に応じて、順次、内側の筒体や突き上げピンが突き上げられる。こうして、ダイシングテープがチップの外周縁から順次剥離され、ダイシングテープとチップ部品との間の貼付面積が徐々に減少される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0012】

【特許文献1】特開２００６－００５０３０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0013】

特許文献１のピックアップ装置では、複数の筒体や突き上げピンを独立して動かすために、複数のアクチュエータが複数の筒体や突き上げピンごとに設けられていた。このため構造が複雑になるという問題があった。

【0014】

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、より構造が簡単で、ダイシングテープからの剥離の際に、チップ部品に加わる曲げモーメントが低減されるピックアップ装置等を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0015】

上記の課題を解決するため、本発明のピックアップ装置は、ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置であって、前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための先端部を、前記ダイシングテープ側の一端部に備えた突き上げピンと、前記チップ部品の主面の法線に対して第１の角度だけ傾けた状態で、前記突き上げピンの長手方向にスライド可能となるように前記突き上げピンを支持するガイドと、前記先端部及び前記ダイシングテープの接触部が前記チップ部品の端部から前記チップ部品の中央部に移動するように前記突き上げピンを前記チップ部品の方向に突き上げる突き上げ板と、を有する。

【0016】

また、本発明のピックアップ装置の制御方法は、ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置の制御方法であって、前記ピックアップ装置は、前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための先端部を、前記ダイシングテープ側の一端部に備えた突き上げピンと、前記チップ部品の主面の法線に対して第１の角度だけ傾けた状態で、前記突き上げピンの長手方向にスライド可能となるように前記突き上げピンを支持するガイドと、を備え、前記先端部と前記ダイシングテープの接触部が前記チップ部品の端部から前記チップ部品の中央部に移動するように前記突き上げピンを前記チップ部品の方向に突き上げる。

【発明の効果】

【0017】

本発明の効果は、より構造が簡単で、ダイシングテープからの剥離の際に、チップ部品に加わる曲げモーメントが低減されるピックアップ装置等を提供できることである。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】第１の実施形態のピックアップ装置を示す側面図である。

【図2】第１の実施形態のピックアップ装置の具体例を示す側面図である。

【図3】第１の実施形態のピックアップ装置における力の関係を示す側面図である。

【図4】第１の実施形態のピックアップ装置の第１の動作状態を示す側面図である。

【図5】第１の実施形態のピックアップ装置の第２の動作状態を示す側面図である。

【図6】第１の実施形態のピックアップ装置の第３の動作状態を示す側面図である。

【図7】第１の実施形態のピックアップ装置の第４の動作状態を示す側面図である。

【図8】第１の実施形態のピックアップ装置の変形例を示す側面図である。

【図9】第２の実施形態のピックアップ装置を示す側面図である。

【図10】第２の実施形態のピックアップ装置の一部を示す上面図である。

【図11】第２の実施形態のピックアップ装置の第１の動作状態を示す側面図である。

【図12】第２の実施形態のピックアップ装置の第２の動作状態を示す側面図である。

【図13】第２の実施形態のピックアップ装置の第３の動作状態を示す側面図である。

【図14】第２の実施形態のピックアップ装置の第４の動作状態を示す側面図である。

【図15】第２の実施形態のピックアップ装置の変形例１を示す上面図である。

【図16】第２の実施形態のピックアップ装置の変形例２を示す上面図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を詳細に説明する。但し、以下に述べる実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい限定がされているが、発明の範囲を以下に限定するものではない。なお各図面の同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する場合がある。

【0020】

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態のピックアップ装置を示す側面図である。ピックアップ装置１００は、ダイシングテープ２００の上に貼り付けられているチップ部品３００をピックアップするための装置である。ピックアップ装置１００は、突き上げピン１０と、ガイド２０と、突き上げ板３０とを有する。

【0021】

突き上げピン１０は、ダイシングテープ２００の下面を介してチップ部品３００を押圧するための先端部１０ａを備える。

【0022】

ガイド２０は、突き上げピン１０を支持する。この際、チップ部品３００の主面の法線ｎに対して第１の角度θだけ傾けた状態で、突き上げピン１０が支持される。また、突き上げピン１０の長手方向に突き上げピン１０がスライド可能となるように、突き上げピン１０がガイド２０に支持される。ガイド２０は、例えば、貫通孔を有するブロックである。この貫通孔の貫通方向（貫通穴の中心線の方向）が第１の角度θに固定される。突き上げピン１０は、貫通孔に挿通される。突き上げ板３０が、突き上げピン１０の後端１０ｂを押すことによって、突き上げピン１０が上昇する。この際、ガイド２０の向きが固定されているので、突き上げピン１０の長手方向が第１の角度θに保たれる。ガイド２０は、例えば、ガイドホルダー２１（図１で不図示。図２を参照。）にネジや、ボルトとナットなどで、動かないように固定される。また、例えば、滑り止めとして、ネジやボルトとガイドホルダー２１の間にワッシャーが用いられても良い。例えば、ガイド２０がガイドホルダー２１にねじ止めされる構成では、ガイド２０をガイドホルダー２１に取り付ける際に、第１の角度θの大きさを調整することができる。また、例えば、貫通孔にボールブッシュ等のリニア軸受けを取り付けると、突き上げピン１０が滑らかにスライドされる。

【0023】

ガイドホルダー２１は、吸着ブロック４０にネジや、ボルトとナットなどで固定される。ピックアップ対象のチップ部品３００の隣のチップ部品３００の下のダイシングテープ２００を、吸着ブロック４０が吸着する。なお、図１では、吸着ブロック４０が、吸着を行う機構の図示は、省略されている。一般的な技術によって、吸着を行う機構が形成される。

【0024】

突き上げ板３０は、突き上げピン１０を、チップ部品３００の方向に突き上げる。この際、常に、突き上げピン１０は、チップ部品３００の主面の法線ｎに対して第１の角度θだけ傾いている。このため、突き上げにともなって、先端部１０ａとダイシングテープ２００との接触部が、チップ部品３００の端部から中央部に移動する。

【0025】

以上の構成では、最初に、突き上げピン１０によって、チップ部品３００の端部下面が突き上げられる。これにより、チップ部品３００の端部がダイシングテープ２００から剥離する。続いて、突き上げピン１０が上昇すると、先端部１０ａがチップ部品３００の端部から中央に向かって移動する。これにより、チップ部品３００の端部から中央に向かって、連続的に剥離が進行する。このような動作によって、剥離の際に、チップ部品３００を折り曲げる曲げモーメントが低減される。

【0026】

図２は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の使用例を示す側面図である。ピックアップ装置１００は、突き上げピン１０と、ガイド２０と、突き上げ板３０と、ガイドホルダー２１と、吸着ブロック４０とを有する。

【0027】

突き上げピン１０は、ダイシングテープ２００の下面を介してチップ部品３００を押圧するための先端部１０ａを備える。

【0028】

上述の通り、ガイド２０は、ガイドホルダー２１に取り付けられている。ガイドホルダー２１は、吸着ブロック４０に固定されている。また、常に、法線に対して第１の角度θだけ傾けた状態で、突き上げピン１０がガイド２０に支持される。突き上げピン１０の長手方向にスライド可能となるように、突き上げピン１０がガイド２０に支持される。

【0029】

なお、ガイドホルダー２１に対するガイド２０の取り付け方を調整することによって、第１の角度θは調整可能である。ガイド２０をガイドホルダー２１に取り付ける際に、例えば、１０°～８０°の範囲内で、第１の角度θが調整される。その理由は以下の通りである。第１の角度θが小さ過ぎると、先端部１０ａがチップ部品３００の中央に向かって移動する速度が小さくなるため効率が悪い。また、第１の角度θが大きすぎると、チップ部品３００をダイシングテープ２００から剥離させる力が小さくなるため効率が悪い。これらの理由を考慮して、例えば、３０°～６０°の範囲に第１の角度θが設定されても良い。第１の角度θの大きさは、チップ部品３００の大きさや、突き上げピン１０の長さや大きさや、ダイシングテープ２００のと突き上げピン１０の先端部１０ａとの摩擦力などを考慮しながら、調整される。

【0030】

突き上げ板３０は、突き上げピン１０を、チップ部品３００の方向に突き上げる。この際、突き上げピン１０は、チップ部品３００の主面の法線ｎに対して第１の角度θだけ傾いている。このため、突き上げにともなって、先端部１０ａとダイシングテープ２００との接触部が、チップ部品３００の端部から中央部に移動する。なお、突き上げ板３０は、たとえば、電動モータなどによって、法線ｎと平行な方向に上下に移動可能に、設けられている。

【0031】

吸着ブロック４０は、ダイシングテープ２００の裏面を吸着する。吸着ブロック４０において、ピックアップの対象となるチップ部品３００に対応する部分は、開口部となっている。つまり、ピックアップを行う領域では、ダイシングテープ２００が吸着されない。

【0032】

ここで、ピックアップの際にチップ部品３００に作用する力について説明する。図３は、第１の実施形態のピックアップ装置１００における力の関係を示す側面図である。チップ部品３００の一端部の点Ｑから距離Ｌ１の位置の点Ｐで、突き上げピン１０がダイシングテープ２００の裏面に当接している。ここで、点Ｐからチップ部品３００の他端部の点Ｒまでの距離がＬ２とされている。後述する理由によって、Ｌ１＜＜Ｌ２である。つまり、Ｌ１は小さく、０に近い値とすることも可能である。

【0033】

図３に示すように、突き上げピン１０の突き上げによって点Ｐには、力Ｆ１が作用する。Ｆ１は、常に、法線ｎに対して第１の角度θだけ傾いている。剥離が始まるチップ部品３００の一端には剥離力Ｆ２が作用する。剥離力Ｆ２は、ダイシングテープ２００がチップ部品３００を引っ張る力である。つまりダイシングテープ２００の粘着力である。

【0034】

点Ｐから点Ｑの間のチップ部品３００には、点Ｐを支点とし、点Ｑを作用点とする曲げモーメントＭ１が作用する。Ｍ１は次式で表される。

Ｍ１＝Ｆ２×Ｌ１ （式１）

【0035】

既述の通り、Ｌ１＜＜Ｌ２である。比較の対象となる一般的な装置では、突き上げピン１０がチップ部品３００の中央を突き上げる際は、Ｌ１＝Ｌ２＝（Ｌ１＋Ｌ２）／２である。本実施形態のＬ１と比較すると、次式の関係となる。このため、曲げモーメントＭ１は比較例と比べて大幅に小さくなる。

Ｌ１＜＜（Ｌ１＋Ｌ２）／２ （式２）

【0036】

一方、力Ｆ１は点Ｐから点Ｒの間のチップ部品３００についても作用する。ここで、ダイシングテープ２００は柔軟である。このため、ダイシングテープ２００は、点Ｒを中心とするチップ部品３００の回転を妨げない。その結果、力Ｆ１は、点Ｒを中心とする回転のモーメントＭ２として作用する。Ｍ２は次式で表される。

Ｍ２＝（Ｆ１・ｃｏｓθ－Ｆ２）×Ｌ２ （式３）

【0037】

既述の通り、ダイシングテープ２００は、点Ｒを中心とするチップ部品３００の回転を妨げない。このため、チップ部品３００の点Ｐから点Ｒの間の領域には、曲げモーメントは作用しないと考えられる。

【0038】

以上に説明したように、本実施形態のピックアップ装置１００では、チップ部品３００の中央を突き上げる方式に比べて、ピックアップの際にチップ部品３００に作用する曲げモーメントが低減される。

【0039】

次に、ピックアップ装置１００の動作について説明する。図４は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の第１の動作状態を示す側面図である。突き上げピン１０の先端部１０ａがダイシングテープ２００の裏面に当接している。また、その場所は、チップ部品３００の一端部である。

【0040】

図５は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の第２の動作状態を示す側面図である。突き上げ板３０が突き上げピン１０を押し上げている。そして、先端部１０ａによって、チップ部品３００の一端部が、第２の位置まで突き上げられている。これにより、チップ部品３００の一端部で、チップ部品３００がダイシングテープ２００から剥離される。この際、常に、突き上げピン１０が法線ｎに対して第１の角度θだけ傾いているため、先端部１０ａが、チップ部品３００の中央に向かって移動する。

【0041】

図６は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の第３の動作状態を示す側面図である。突き上げ板３０が突き上げピン１０を押し上げている。そして、先端部１０ａによって、チップ部品３００の一端部が第３の位置まで突き上げられている。これにより、チップ部品３００のダイシングテープ２００からの剥離が進行する。この際、常に、突き上げピン１０が法線ｎに対して第１の角度θだけ傾いているため、先端部１０ａが、チップ部品３００の中央に向かってさらに移動する。

【0042】

図７は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の第４の動作状態を示す側面図である。突き上げ板３０が突き上げピン１０を押し上げている。そして、先端部１０ａによって、チップ部品３００の一端部が第４の位置まで突き上げられている。これにより、チップ部品３００のダイシングテープ２００からの剥離がさらに進行する。この際、常に、突き上げピン１０が法線ｎに対して第１の角度θだけ傾いているため、先端部１０ａが、チップ部品３００の中央に向かってさらに移動する。以上のような動作によって、チップ部品３００のピックアップが容易な状態が形成される。

【0043】

以上に説明したピックアップ装置１００では、特許文献１のピックアップ装置と同様に、ダイシングテープ２００からの剥離において、チップ部品３００に加わる曲げモーメントが低減される。そして、突き上げ板３０のみで突き上げピン１０を上下動させているので、複数のアクチュエータを使用していた特許文献１のピックアップ装置１００より簡単な構成で、同様な動作が実現される。

【0044】

図８は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の変形例を示す側面図である。この変形例では、突き上げピン１０を突き上げ板３０に向かって付勢する付勢手段１１を、ピックアップ装置１００が備えている。例えば、図７の状態で突き上げが完了されると、次の動作に備えるために、突き上げ板３０が図４の位置に戻る。この構成では、自重によって、突き上げピン１０が元の位置に戻る。元の位置とは、突き上げピン１０の他端部が、突き上げ３０に接触する位置である。

【0045】

一方、本変形例では、付勢手段１１によって、突き上げピン１０が突き上げ板３０に押し付けられる。このため、突き上げピン１０の位置が、確実に初期の位置に戻される。

【0046】

以上、本実施形態のピックアップ装置１００等について説明した。

【0047】

本実施形態のピックアップ装置１００は、ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップする。ピックアップ装置１００は、突き上げピン１０と、ガイド２０と、突き上げ板３０とを有する。突き上げピン１０は、先端部１０ａを、ダイシングテープ側（２００側）の一端部に備える。そして、ダイシングテープ２００の下面を介して、先端部１０ａがチップ部品３００を押圧する。ガイド２０は、突き上げピン１０を支持する。この際、チップ部品３００の主面の法線ｎに対して第１の角度θだけ傾けた状態で、突き上げピン１０が支持される。また、突き上げピン１０の長手方向にスライド可能となるように、突き上げピン１０が、ガイドに支持される。突き上げ板３０は、突き上げピン１０を突き上げる。突き上げの際には、先端部１０ａとダイシングテープ２００の接触部が、チップ部品３００の端部からチップ部品３００の中央部に移動する。

【0048】

以上の構成では、最初に、突き上げピン１０によって、チップ部品３００の端部下面が突き上げられる。これにより、チップ部品３００の端部がダイシングテープ２００から剥離する。続いて、突き上げピン１０が上昇すると、先端部１０ａがチップ部品３００の端部から中央に向かって移動する。これにより、チップ部品３００の端部から中央に向かって、連続的に剥離が進行する。このような動作によって、剥離の際に、チップ部品３００を折り曲げる曲げモーメントが低減される。

【0049】

ここで、特許文献１に記載の発明では、上述の通り、複数の筒体や突き上げピンを独立して動かすために、複数のアクチュエータが複数の筒体や突き上げピンごとに設けられていた。このため構造が複雑になるという問題があった。

【0050】

これに対して、本実施形態のピックアップ装置１００では、突き上げ板３０のみで突き上げピン１０を上下動させているので、複数のアクチュエータを使用していた特許文献１のピックアップ装置１００より簡単な構成で、同様な動作が実現される。

【0051】

したがって、本実施形態のピックアップ装置１００では、より構造が簡単で、ダイシングテープからの剥離の際に、チップ部品に加わる曲げモーメントが低減される。

【0052】

また一態様によれば、ピックアップ装置１００が、付勢手段１１を有する。突き上げ板３０に向かって、付勢手段１１が、突き上げピン１０を付勢する。

【0053】

付勢手段１１によって、突き上げ完了後に、突き上げピン１０が確実に初期位置に戻される。

【0054】

また一態様によれば、ピックアップ装置１００のガイド２０において、第１の角度θが調整可能である。チップ部品３００の寸法やダイシングテープ２００の粘着力に応じて、突き上げの角度の最適化が可能になる。

【0055】

また一態様によれば、ピックアップ装置１００における第１の角度が１０°～８０°の範囲内である。この範囲内では、剥離する力と剥離が進行する速さの組み合わせについて、効率の良い選択が可能である。

【0056】

また、本実施形態のピックアップ装置の制御方法は、ピックアップ装置１００を制御する。ピックアップ装置１００は、ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするための装置である。そして、ピックアップ装置は、突き上げピン１０と、ガイド２０と、突き上げ板３０とを有する。突き上げピン１０は、先端部１０ａを、ダイシングテープ側（２００側）の一端部に備える。そして、ダイシングテープ２００の下面を介して、先端部１０ａがチップ部品３００を押圧する。ガイド２０は、突き上げピン１０を支持する。この際、チップ部品３００の主面の法線ｎに対して第１の角度θだけ傾けた状態で、突き上げピン１０が支持される。また、突き上げピン１０の長手方向にスライド可能となるように、突き上げピン１０が、ガイドに支持される。そして、ピックアップ装置１００の制御方法では、ピックアップ装置１００によって突き上げピン１０が突き上げられる。この突き上げの際には、先端部１０ａとダイシングテープ２００の接触部が、チップ部品３００の端部からチップ部品３００の中央部に移動する。

【0057】

本実施形態のピックアップ装置の制御方法においても、上述の本実施形態のピックアップ装置１００と同様の効果を奏することができる。 （第２の実施形態）
第１の実施形態では、突き上げピン１０が１本のピックアップ装置１００について説明した。本実施形態では、突き上げピン１０を複数備えたピックアップ装置について説明する。

【0058】

図９は、第２の実施形態のピックアップ装置１０１を示す側面図である。また、図１０は、第２の実施形態のピックアップ装置の一部を示す上面図である。ピックアップ装置１０１は、突き上げピン１０を２本備えている。図９の左側の突き上げピン１０の先端部１０ａは、法線ｎに対して第１の角度θだけ右に傾いている。図９の右側の突き上げピン１０の先端部１０ａは、法線ｎに対して第１の角度θだけ左に傾いている。また、左側の突き上げピン１０の先端部１０ａと、右側の突き上げピン１０の先端部１０ａの高さが同じになっている。

【0059】

なお、ガイドホルダー２１に対する取り付け方を調整することによって、それぞれの突き上げピン１０の傾きは調整可能である。また、ガイドホルダー２１に対する取り付け方を調整することによって、２つの突き上げピン１０の間隔を調整することも可能である。例えば、ピックアップを行うチップ部品３００のサイズに応じて、２つの突き上げピン１０の間隔が調整される。ガイドホルダー２１に対する取り付け方について、具体的な方法は、第１の実施の形態で説明した内容と同様である。

【0060】

次に、ピックアップ装置１０１の具体的な構成と動作について説明する。図１１は、第２の実施形態のピックアップ装置１０１の第１の動作状態を示す側面図である。図９では省略されていたが、ピックアップ装置１０１は、コレット９０と、コレット駆動手段９１とを備えている。

【0061】

コレット９０は、チップ部品３００の上面と対向する位置に設けられる。そして、コレット９０は、チップ部品３００を吸着する。

【0062】

コレット駆動手段９１は、コレット９０を少なくとも法線ｎの方向に移動させる。コレット駆動手段９１はコレットに負荷する力を調整できるようになっている。また、図示はしていないが、コレット９０の位置は、コレット位置検出手段で検出される。

【0063】

図１１に示す第１の動作状態では、左側の突き上げピン１０の先端部１０ａがダイシングテープ２００の裏面に当接している。その場所は、チップ部品３００の左端部である。同様に、右側の突き上げピン１０の先端部１０ａがダイシングテープ２００の裏面に当接している。その場所は、チップ部品３００の右端部である。そして、コレット９０がチップ部品３００の上面を吸着している。また、コレット９０に下方向の荷重がかからないように、コレット駆動手段９１の荷重が調整されている。

【0064】

図１２は、第２の実施形態のピックアップ装置１０１の第２の動作状態を示す側面図である。突き上げ板３０が突き上げピン１０を押し上げている。２つの先端部１０ａがチップ部品３００の両端部を第２の位置まで突き上げている。これにより、チップ部品３００の両端部で、チップ部品３００がダイシングテープ２００から剥離される。この際、突き上げピン１０が法線ｎに対して第１の角度θだけ傾いているため、２つの先端部１０ａが、それぞれチップ部品３００の中央に向かって移動する。なお、コレット９０に下方向の荷重がかからないように、コレット駆動手段９１の荷重が調整されている。

【0065】

上記の動作から明らかなように、第２の実施形態のピックアップ装置１０１においても、第１の実施形態のピックアップ装置１００と同様に、チップ部品３００に加わる曲げモーメントが低減される。

【0066】

図１３は、第２の実施形態のピックアップ装置１０１の第３の動作状態を示す側面図である。突き上げ板３０が突き上げピン１０を押し上げている。そして、２つの先端部１０ａがチップ部品３００の両端部を第３の位置まで突き上げている。これにより、チップ部品３００のダイシングテープ２００からの剥離が進行する。この際、２つの先端部１０ａが、それぞれ、チップ部品３００の中央に向かってさらに移動する。

【0067】

ここで、コレット９０の位置には、予め定めたピックアップ位置が定められている。コレット９０がピックアップ位置まで上昇すると、突き上げ板３０の上昇が停止する。これにより、先端部１０ａの上昇も停止する。本例では、上記の第３の位置がピックアップ位置となっている。

【0068】

図１４は、第２の実施形態のピックアップ装置１０１の第４の動作状態を示す側面図である。上記のように、第３の位置で、２つ先端部１０ａが停止している。この時点で、チップ部品３００のダイシングテープ２００からの剥離が進行している。このため、チップ部品３００は、ピックアップが容易な状態になっている。そこで、コレット９０がチップ部品３００を吸着した状態で、コレット駆動手段９１がコレット９０を法線方向に上昇させる。これにより、チップ部品３００が、ダイシングテープ２００から取り外され、ピックアップが完了する。

【0069】

以上に説明したように、ピックアップ装置１０１によれば、特許文献１のピックアップ装置と同様に、ダイシングテープ２００からの剥離において、チップ部品３００に加わる曲げモーメントが低減される。そして、２つの突き上げピン１０がチップ部品３００の両端から突き上げを開始して、両端から剥離が開始される。そして、チップ部品３００の中央に向かって両側から剥離が進行する。このため、チップ部品３００が傾けずに、ピックアップが容易な状態が形成される。これは、特許文献１のピックアップ装置と同様な動作である。しかしながら、特許文献１のピックアップ装置１００より簡単な構成で、同様な動作が実現される。

【0070】

（変形例１）
次に、第２の実施形態のピックアップ装置１０１の変形例について説明する。上記の説明では、突き上げピン１０が２本の例について説明した。しかしながら、突き上げピン１０の数は、３以上の任意の数であっても良い。図１５は、第２の実施形態のピックアップ装置１０１の変形例１を示す上面図である。

【0071】

変形例１は、突き上げピン１０が４本の例である。そして、図１５の左側の２本の突き上げピン１０の先端部１０ａが右に傾いている。また、右側の２本の突き上げピン１０の先端部１０ａが左に傾いている。突き上げ板３０が上昇すると、それぞれの先端部１０ａが図１５の矢印の方向に向かって移動する。つまり、変形例１で、図１５の左右方向において、それぞれの先端部１０ａがチップ部品３００の中央に向かって移動する。

【0072】

上記の構成では、力の作用点が４つになっているため、作用点が２つの場合に比べて、１カ所にかかる力が小さくなる。

【0073】

（変形例２）
図１６は、第２の実施形態のピックアップ装置１０１の変形例２を示す上面図である。

【0074】

変形例１は、突き上げピン１０が４本の例である。そして、図１６左上の突き上げピン１０の先端部１０ａが右下に傾いている。また、左下の突き上げピン１０の先端部１０ａが右上に傾いている。同様に、図１６右上の突き上げピン１０の先端部１０ａが左下に傾いている。また、右下の突き上げピン１０の先端部１０ａが左上に傾いている。

【0075】

突き上げ板３０が上昇すると、それぞれの先端部１０ａが、図１５の矢印の方向、すなわちチップ部品３００の中心に向かって移動する。

【0076】

上記の構成では、力の作用点が４つになっているため、変形例１の場合と同様に、作用点が２つの場合に比べて、１カ所にかかる力が小さくなる。

【0077】

なお、変形例１および２では、突き上げピン１０が４本の例について説明したが、突き上げピン１０の数は、３もしくは５以上であっても良い。

【0078】

以上、本実施形態のピックアップ装置１０１等について説明した。

【0079】

本実施形態のピックアップ装置１０１は、突き上げピン１０を複数備える。そして、それぞれの突き上げピン１０が、突き上げ板３０によってチップ部品の方向に突上げられる。また、突き上げ板３０が突き上げられた際に、それぞれの先端部１０ａが、チップ部品３００の中央に向かうように、突き上げピン１０が設けられている、
上記の構成では、突き上げ力が複数の突き上げピンに分散されているので、突き上げの際に１点に加わる力が低減される。また、チップ部品３００を傾かずに突き上げが実行される。

【0080】

また一態様によれば、ピックアップ装置１０１が、コレット９０と、コレット駆動手段９１とを有する。コレット９０は、チップ部品３００の上面と対向する位置に設けられる。そして、コレット９０がチップ部品を吸着する。また、コレット駆動手段９１が、コレット９０を、少なくとも法線ｎの方向に移動させる。

【0081】

コレット９０がチップ部品３００を吸着し、コレット駆動手段９１がコレット９０を移動させることで、ピックアップ装置１０１がチップ部品３００をダイシングテープ２００からピックアップされる。

【0082】

上述した第１乃至第２の実施形態の処理を、コンピュータに実行させるプログラムおよび該プログラムを格納した記録媒体も本発明の範囲に含む。記録媒体としては、例えば、磁気ディスク、磁気テープ、光ディスク、光磁気ディスク、半導体メモリ、などを用いることができる。

【0083】

以上、上述した実施形態を模範的な例として本発明を説明した。しかしながら、本発明は、上記実施形態には限定されない。即ち、本発明は、本発明のスコープ内において、当業者が理解し得る様々な態様を適用することができる。

【符号の説明】

【0084】

１０ 突き上げピン
１０ａ 先端部
１１ 付勢手段
２０ ガイド
３０ 突き上げ板
９０ コレット
９１ コレット駆動手段
１００、１０１ ピックアップ装置
２００ ダイシングテープ
３００ チップ部品

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】