特開 2024-23053 搬送システム、搬送システムの制御方法、制御プログラム、および記録媒体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024023053

(43)【公開日】2024-02-21

(54)【発明の名称】搬送システム、搬送システムの制御方法、制御プログラム、および記録媒体

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/04 20060101AFI20240214BHJP

   B61B 13/06 20060101ALI20240214BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20240214BHJP

【ＦＩ】

B65G1/04 555

B61B13/06 H

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022126605

(22)【出願日】2022-08-08

(71)【出願人】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110000338

【氏名又は名称】弁理士法人 ＨＡＲＡＫＥＮＺＯ ＷＯＲＬＤ ＰＡＴＥＮＴ ＆ ＴＲＡＤＥＭＡＲＫ

(72)【発明者】

【氏名】藤原 遥介

(72)【発明者】

【氏名】戸羽 浩嘉

(72)【発明者】

【氏名】田村 健二

【テーマコード（参考）】

3F022

5F131

【Ｆターム（参考）】

3F022AA08

3F022FF01

3F022LL12

3F022MM11

3F022NN31

3F022NN44

5F131AA02

5F131AA03

5F131CA32

5F131CA35

5F131DA05

5F131DA07

5F131DA23

5F131DA24

5F131DA43

5F131DC05

5F131DC06

5F131DD02

5F131DD12

5F131DD13

5F131DD33

5F131DD35

5F131DD52

5F131DD56

5F131DD73

5F131DD74

(57)【要約】

【課題】搬送対象物の搬送を効率よく行う。
【解決手段】搬送システム（１）は、複数の搬送対象物を搬送可能な台車（３０）と、搬送前の搬送対象物Ｆを台車（３０）に割り当てる割当処理を行う台車コントローラ（２０）とを備え、台車コントローラ（２０）は、台車（３０）が移動可能な領域を複数のエリアに分割したとき、台車（３０）が同時に搬送する複数の搬送対象物Ｆそれぞれの搬送先の前記エリアが同一となるとなるように割当処理を行う。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の搬送対象物を搬送可能な台車と、
搬送前の搬送対象物を前記台車に割り当てる割当処理を行う制御装置と、を備え、
前記制御装置は、
前記台車が移動可能な領域を複数のエリアに分割したとき、前記台車が同時に搬送する前記複数の搬送対象物それぞれの搬送先の前記エリアが同一となるとなるように前記割当処理を行う、搬送システム。

【請求項2】

前記台車は、軌道に沿って走行するものであり、
前記軌道は、前記エリア間を周回する第１周回軌道と、該第１周回軌道から分岐し、前記エリア内を周回する第２周回軌道と含む、請求項１に記載の搬送システム。

【請求項3】

前記エリアには、同一または近似の処理を行う処理装置が複数含まれるとともに、前記搬送対象物が前記処理装置で処理されるときに載置される装置ポートが前記処理装置毎に１または複数備えられている、請求項２に記載の搬送システム。

【請求項4】

前記制御装置は、前記台車が、該台車が搬送している前記搬送対象物の搬送先となる前記エリアから所定距離の範囲に入ったとき、当該搬送対象物の載置先となる前記装置ポートを引き当てる、請求項３に記載の搬送システム。

【請求項5】

前記制御装置は、前記台車が前記搬送対象物を搬送中に、追加の前記搬送対象物である追加搬送対象物を搬送させる場合、前記搬送対象物の搬送経路上で取得可能な搬送対象物を前記追加搬送対象物とする、請求項１に記載の搬送システム。

【請求項6】

前記搬送対象物の搬送先となる前記エリアに当該搬送対象物を載置可能な前記装置ポートがない場合、前記制御装置は、当該搬送対象物を搬送中の前記台車を前記第２周回軌道上で周回させる、請求項３記載の搬送システム。

【請求項7】

複数の搬送対象物を搬送可能な台車を複数含む搬送システムの制御方法であって、
搬送前の前記搬送対象物の搬送元および搬送先を含む搬送情報を取得する取得ステップと、
前記台車が移動可能な領域を複数のエリアに分割したとき、前記台車が同時に搬送する前記複数の搬送対象物それぞれの搬送先の前記エリアが同一となるとなるように、前記搬送情報を用いて、搬送前の前記搬送対象物の前記台車への割当を行う割当ステップと、を含む搬送システムの制御方法。

【請求項8】

請求項７に記載の制御方法をコンピュータに実行させる制御プログラム。

【請求項9】

請求項８に記載の制御プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、軌道に沿って走行する台車を用いて搬送対象物を搬送する搬送システム等に関する。

【背景技術】

【0002】

天井に設けられた軌道に沿って台車を走行させて搬送対象物を搬送する搬送システムが知られている。例えば、特許文献１には、軌道を介して天井に取り付けられ、複数の積載手段を有する台車が記載されている。特許文献１に記載された台車は、複数の積載手段それぞれで個別に搬送対象物の積込みおよび積下ろしを行うことができる懸垂型となっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００５－２２５３９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述した特許文献１に記載の技術は、複数の積載手段を個別に用いて搬送対象物を搬送するものである。複数の搬送対象物を積載可能な台車においては、積載している搬送対象物の搬送元、搬送先によって、搬送の効率が左右される。しかし、特許文献１では、搬送対象物の搬送元、搬送先に関しては言及されていない。よって、搬送の効率化という点において改善の余地がある。

【0005】

本発明の一態様は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数の搬送対象物を積載可能な台車を含む搬送システムにおける搬送対象物の搬送を効率よく行う搬送システム等を実現することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る搬送システムは、複数の搬送対象物を搬送可能な台車と、搬送前の搬送対象物を前記台車に割り当てる割当処理を行う制御装置と、を備え、前記制御装置は、前記台車が移動可能な領域を複数のエリアに分割したとき、前記台車が同時に搬送する前記複数の搬送対象物それぞれの搬送先の前記エリアが同一となるとなるように前記割当処理を行う。

【0007】

また、前記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る搬送システムの制御方法は、複数の搬送対象物を搬送可能な台車を複数含む搬送システムの制御方法であって、搬送前の前記搬送対象物の搬送元および搬送先を含む搬送情報を取得する取得ステップと、前記台車が移動可能な領域を複数のエリアに分割したとき、前記台車が同時に搬送する前記複数の搬送対象物それぞれの搬送先の前記エリアが同一となるとなるように、前記搬送情報を用いて、搬送前の前記搬送対象物の前記台車への割当を行う割当ステップと、を含む。

【発明の効果】

【0008】

本発明の一態様によれば、搬送中の搬送対象物の搬送先が同一のエリアとなるように台車を割り当てることができ、搬送を効率よく行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の実施形態に係る搬送システムにおける台車の軌道のレイアウトを示す図である。

【図2】上記台車の構造例を示す図である。

【図3】搬送システムの概要を示す機能ブロック図である。

【図4】記憶部に格納される台車データの例を示す図である。

【図5】搬送システムにおける処理の流れを示すフローチャートである。

【図6】搬送台車決定処理の詳細な流れを示すフローチャートである。

【図7】台車の自車位置の送信処理の流れを示すフローチャートである。

【図8】搬送対象物の搬送例を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

〔全体概要〕
以下、本発明の一実施形態について、詳細に説明する。まず、図１を参照して、搬送システム１の全体概要について説明する。図１は、搬送システム１における台車３０の軌道４０のレイアウト示す図である。

【0011】

搬送システム１は、例えば、半導体の処理工場等において、同一の処理または同一に近い近似の処理を行う複数の処理装置５０が配置された搬送エリア（本実施形態ではベイと呼ぶ）間で、搬送対象物Ｆを、軌道４０に沿って走行可能な台車３０を用いて搬送するものである。搬送エリアは、台車３０が移動可能な領域が複数に分割されたものということもできる。

【0012】

図１に示す例では、上記搬送エリアとして、第１ベイ１０１から第６ベイ１０６までの６つのベイが示されている。また、軌道４０は、天井に沿って配置されている。そして、軌道４０は、ベイ間において搬送対象物Ｆの搬送を行うように配置されているベイ間周回軌道４１（第１周回軌道）と、ベイ内において搬送対象物Ｆの搬送を行うように配置されているベイ内周回軌道４２（第２周回軌道）とを含む。

【0013】

より詳細には、ベイ間周回軌道４１は、第１ベイ１０１、第２ベイ１０２、および第３ベイ１０３間において搬送対象物Ｆを搬送可能とするベイ間周回軌道４１Ａ、第１ベイ１０１、第２ベイ１０２、第３ベイ１０３、第４ベイ１０４、第５ベイ１０５、および第６ベイ１０６間において搬送対象物Ｆを搬送可能とするベイ間周回軌道４１Ｂ、および、第４ベイ１０４、第５ベイ１０５、および第６ベイ１０６間において搬送対象物Ｆを搬送可能とするベイ間周回軌道４１Ｃを含む。

【0014】

また、ベイ内周回軌道４２は、第１ベイ１０１内において搬送対象物Ｆを搬送可能とするベイ内周回軌道４２Ａ、第２ベイ１０２内において搬送対象物Ｆを搬送可能とするベイ内周回軌道４２Ｂ、第３ベイ１０３内において搬送対象物Ｆを搬送可能とするベイ内周回軌道４２Ｃ、第４ベイ１０４内において搬送対象物Ｆを搬送可能とするベイ内周回軌道４２Ｄ、第５ベイ１０５内において搬送対象物Ｆを搬送可能とするベイ内周回軌道４２Ｅ、および第６ベイ１０６内において搬送対象物Ｆを搬送可能とするベイ内周回軌道４２Ｆを含む。

【0015】

また、ベイ内周回軌道４２Ａ、ベイ内周回軌道４２Ｂ、およびベイ内周回軌道４２Ｃは、ベイ間周回軌道４１Ａおよびベイ間周回軌道４１Ｂと接続している。ベイ内周回軌道４２Ｄ、ベイ内周回軌道４２Ｅ、およびベイ内周回軌道４２Ｆは、ベイ間周回軌道４１Ｂおよびベイ間周回軌道４１Ｃと接続している。これにより、台車３０は、ベイ間周回軌道４１とベイ内周回軌道４２とを行き来することができる。換言すれば、台車３０は、ベイ間およびベイ内を効率的に移動することができる。

【0016】

台車３０は、軌道４０に沿って走行することにより、搬送対象物Ｆを搬送元から搬送先に搬送することができる。つまり、台車３０は、軌道４０に含まれるベイ間周回軌道４１に沿って走行することにより、ベイ間の移動を行うことができ、かつ、ベイ内周回軌道４２に沿って走行することにより、ベイ内の移動を行うことができる。

【0017】

第１ベイ１０１から第６ベイ１０６までの各ベイには、それぞれ同一または近似の処理を行う複数の処理装置５０が含まれる。また、処理装置５０にはそれぞれ装置ポート５１が１または複数設けられており、処理装置５０で処理される搬送対象物Ｆが当該処理装置５０の装置ポート５１に載置される。

【0018】

これにより、同一または近似の処理を行う搬送対象物Ｆは、同じベイに搬送すればよいことになり、同一または近似の処理を行う処理装置５０が複数のベイに跨っている場合と比較して、搬送の効率を高めることができる。

【0019】

また、搬送システム１には、搬送対象物Ｆを保管する天井保管棚６０が含まれる。図１に示す例では、ベイ間周回軌道４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃに沿って天井保管棚６０が設けられている。

【0020】

台車３０は、軌道４０に沿って一方向に走行して、搬送対象物Ｆを搬送するものである。図２を参照して、台車３０の詳細について説明する。図２は、台車３０の構造を示す図である。図２の２０１および２０２は、それぞれ台車３０の一例を示す。
図２の２０１に示す例は、台車３０が２つの移載部３１を備える例を示す。２０１に示す例では、台車３０は、移載部３１を２つ備え、移載部３１には、昇降部３１１および把持部３１２が備えられている。昇降部３１１は、把持部３１２を鉛直方向に昇降させるものである。把持部３１２は、搬送対象物Ｆを把持するものである。

【0021】

搬送対象物Ｆを搬送、移載する場合、台車３０は、まず、搬送対象物Ｆの位置で停止する。そして、昇降部３１１によって把持部３１２を降下させ、把持部３１２で搬送対象物Ｆを把持する。その後、把持部３１２で搬送対象物Ｆを把持した状態で、昇降部３１１により把持部３１２を上昇させる。この状態で、台車３０は、搬送対象物Ｆを搬送する。搬送先に到着すれば、昇降部３１１で把持部３１２を降下させ、搬送対象物Ｆを載置して、把持部３１２を上昇させる。これにより、台車３０は、搬送対象物Ｆを搬送元から搬送先に移載することができる。なお、図２の２０１では、移載部３１を２つ備えているので、それぞれの移載部３１で搬送対象物Ｆを搬送、移載することができる。

【0022】

図２の２０２は、台車３０の別の例である台車３０’を示す。台車３０’は、１つの移載部３１と１つの棚３２とを備える。移載部３１は、水平方向に移動可能であり、把持部３１２で把持した搬送対象物Ｆを台車３０’内で水平方向に移動させて、棚３２に載置することができる。これにより、移載部３１を１つしか備えていない場合であっても、２個の搬送対象物Ｆを搬送、移載することが可能となる。なお、ここでは、台車３０が搬送する搬送対象物Ｆは２個の場合を例に挙げて説明したが、これに限られるものではない。台車３０が搬送する搬送対象物Ｆは３個以上であってもよい。

【0023】

また、搬送システム１には、搬送コントローラ（制御装置）１０および台車コントローラ（制御装置）２０が含まれる。搬送コントローラ１０は、搬送システム１における搬送処理全体の制御処理を実行するものである。また、搬送コントローラ１０は、台車コントローラ２０からの問合せに従い、搬送対象物Ｆを載置する装置ポート５１を指定する処理を行う。台車コントローラ２０は、搬送コントローラ１０の指示に従い、台車３０の制御を行うものである。搬送コントローラ１０および台車コントローラ２０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等からなる電子制御ユニットである。

【0024】

図３を参照して、台車コントローラ２０の詳細について説明する。図３は、搬送システム１の概要を示す機能ブロック図である。図３に示すように、台車コントローラ２０は、搬送情報取得部２１、搬送台車決定部２２、走行制御部２３、装置ポート指定部２４、および記憶部２５を含む。

【0025】

搬送情報取得部２１は、搬送コントローラ１０から新たな搬送対象物Ｆの搬送に関する指示を取得する。搬送に関する指示とは、例えば、搬送元および搬送先に関する情報である。新たな搬送対象物Ｆとは、まだ搬送されておらず、搬送を行う台車３０も割り当てられてない搬送対象物Ｆである。

【0026】

搬送台車決定部２２は、搬送情報取得部２１が取得した搬送に関する指示の基づき、搬送対象物Ｆを搬送する台車３０である搬送台車を決定する。具体的には、搬送台車決定部２２は、搬送情報取得部２１が搬送情報を取得すると、空車、すなわち、搬送対象物Ｆを全く搬送していない台車３０か、あるいは、当該搬送対象物Ｆと搬送先となるベイが同じで、搬送元が既に搬送中の搬送対象物Ｆの搬送経路上にある台車３０のうち、搬送元に最も近い台車３０を搬送台車として決定する。なお、搬送台車決定部２２による処理の流れについては後述する。

【0027】

これにより、追加の搬送対象物Ｆは、既に搬送している搬送対象物Ｆの搬送経路上で取得できるものとなるので、既に搬送している搬送対象物Ｆの搬送効率を下げることなく、追加の搬送対象物Ｆの搬送を行うことができる。

【0028】

また、換言すれば、搬送台車決定部２２は、搬送前の搬送対象物Ｆを台車３０に割り当てる処理を行うということできる。また、台車コントローラ２０が搬送前の搬送対象物Ｆを台車３０に割り当てる処理を行うということもできる。

【0029】

走行制御部２３は、台車３０の走行制御および移載部３１の制御を行う。より詳細には、走行制御部２３は、台車３０に対し、搬送元、搬送先への走行制御、搬送元での搬送対象物Ｆのピックアップ制御、搬送先での搬送対象物Ｆの載置制御等を行う。

【0030】

装置ポート指定部２４は、台車３０により搬送中の搬送対象物Ｆを載置する装置ポート５１を指定する処理を行う。より詳細には、装置ポート指定部２４は、台車３０が搬送先のベイに近づくと、搬送コントローラ１０に装置ポート５１の問い合わせを行う。そして、搬送コントローラ１０から指定された装置ポート５１に搬送対象物Ｆを載置するよう、走行制御部２３を介して、台車３０に指示する。台車３０が搬送先のベイに近づいたか否かは、台車３０が搬送先のベイから所定距離の範囲に入ったか否かで判断することができる。

【0031】

これにより、搬送対象物Ｆが装置ポート５１から遠い位置にあるにもかかわらず、当該搬送対象物Ｆに装置ポート５１が割り当てられ、装置ポート５１が空いているのにもかかわらず、近くにある搬送対象物Ｆを割り当てられないという不都合を回避することができる。

【0032】

記憶部２５には、台車データ２５１が格納されている。図４に台車データ２５１の例を示す。図４の台車データ２５１は、図２の２０１に示す台車３０の場合のデータ例を示す。また、図４の台車データ２５１’は、図２の２０２に示す台車３０’の場合のデータ例を示す。

【0033】

また、記憶部２５には、第１ベイ１０１～第６ベイ１０６間、および各ベイ内を周回する軌道４０のレイアウトを含むマップ情報、各ベイに配置されている処理装置５０の情報等が格納されていてもよい。

【0034】

台車データ２５１は、台車ＩＤ、移載部Ａの状態、移載部Ｂの状態、搬送先、および現在位置を示す。台車ＩＤは、台車３０それぞれを特定するための識別情報である。移載部Ａの状態、および移載部Ｂの状態とは、それぞれの移載部で搬送対象物Ｆを搬送しているか否かを示す。ここでは、搬送対象物Ｆを特定する識別情報（例えば、ＦＯＵＰａａａａ等）が記載されている箇所は、当該搬送対象物Ｆを搬送中であることを示し、搬送対象物Ｆを特定する識別情報が記載されておらず空欄となっている箇所は搬送対象物Ｆを搬送中でないこと、すなわち空いていることを示す。搬送先は、搬送中の搬送対象物Ｆの搬送先となるベイを示す。現在位置は、当該台車３０の現在位置を示す。現在位置は、軌道４０を所定区間ごとに分け、台車３０がどの区間にいるかということを示すものであってもよいし、台車３０の移動範囲をＸＹ平面とし、台車３０の位置をＸＹ座標で示すものであってもよい。台車３０の現在位置は、所定の間隔で、それぞれの台車３０から台車コントローラ２０に送信される。

【0035】

図４の台車データ２５１に示す例の１行目は、台車ＩＤ「ＸＸＸ０００１」の台車３０は、２つの移載部３１の両方で搬送対象物Ｆを搬送中であり、搬送先は「第１ベイ１０１」であり、現在位置は「ａａａａａａａ」であることを示している。以下、同様に、台車データ２５１の２行目は、台車ＩＤ「ＸＸＸ０００２」の台車３０は、２つの移載部３１のうち一方の移載部Ａで搬送対象物Ｆを搬送中で、他方の移載部Ｂは空いており、搬送先は「第２ベイ１０２」であり、現在位置は「ａａａａａａｂ」であることを示している。以下、同様である。

【0036】

また、台車データ２５１’では、台車ＩＤ、移載部の状態、棚の状態、搬送先、および現在位置を示す。棚の状態とは、棚３２に搬送対象物Ｆが載置されているか否かを示す。ここでは、搬送対象物Ｆを特定する識別情報（例えば、ＦＯＵＰｈｈｈｈ等）が記載されている箇所は、当該搬送対象物Ｆが載置されていることを示し、搬送対象物Ｆを特定する識別情報が記載されておらず空欄となっている箇所は搬送対象物Ｆが載置されていないこと、すなわち空いていることを示す。

【0037】

例えば、台車データ２５１’の１行目は、台車ＩＤ「ＸＸＸ０００１」の台車３０は、移載部３１および棚３２の両方で搬送対象物Ｆを搬送中であり、搬送先は「第１ベイ１０１」であり、現在位置は「ａａａａａａａ」であることを示している。以下、同様に、台車データ２５１’の２行目は、台車ＩＤ「ＸＸＸ０００２」の台車３０は、移載部３１は空いており、棚３２には搬送対象物Ｆが載置されており、搬送先は「第２ベイ１０２」であり、現在位置は「ａａａａａａｂ」であることを示している。以下、同様である。

【0038】

以上のように、本実施形態に係る搬送システム１は、複数の搬送対象物Ｆを搬送可能な台車３０と、搬送前の搬送対象物Ｆを台車３０に割り当てる割当処理を行う台車コントローラ２０を含む。そして、台車コントローラ２０は、台車３０が移動可能な領域を複数のエリア（第１ベイ１０１～第６ベイ１０６）に分割したとき、台車３０が同時に搬送する複数の搬送対象物Ｆそれぞれの搬送先の前記エリアが同一となるとなるように割当処理を行う。

【0039】

これにより、台車３０が同時に搬送する搬送対象物Ｆの搬送先が同じエリアとなるように、台車３０が割り当てられるので、搬送の効率化を図ることができる。

【0040】

〔処理の流れ〕
次に、図５～図７を参照して搬送システム１における処理の流れを説明する。図５は、搬送システム１における処理の流れを示すフローチャートである。

【0041】

図５に示すように、まず、搬送コントローラ１０は、搬送情報を台車コントローラ２０に送信する（Ｓ１０１）。搬送情報とは、搬送に関する情報であり、これから搬送しようとしている搬送対象物Ｆの搬送元、および搬送先の情報である。搬送情報を受け取った台車コントローラ２０は（取得ステップ）、当該搬送対象物Ｆを搬送させる台車３０を決定するための搬送を行う台車の決定処理（搬送台車決定処理）を行う（Ｓ２０１、割当ステップ）。搬送台車決定処理の詳細は後述する。

【0042】

搬送台車決定処理により搬送対象物Ｆを搬送する台車３０を決定すると、台車コントローラ２０は、当該台車３０に対し、当該搬送対象物Ｆのピックアップを指示する（Ｓ２０２）。

【0043】

台車コントローラ２０から搬送対象物Ｆのピックアップ指示を受けた台車３０は、当該搬送対象物Ｆが載置されている装置ポート５１に向かい、搬送対象物Ｆをピックアップする（Ｓ３０１）。ピックアップが完了すると、その旨を台車コントローラ２０に報告する（Ｓ３０２）。

【0044】

その後、台車３０が搬送対象物Ｆの搬送先に進行し、搬送先の近傍に接近すると（Ｓ２０３でＹＥＳ）、台車コントローラ２０の装置ポート指定部２４は、搬送コントローラ１０に対し、搬送対象物Ｆを載置する装置ポート５１の問合せを行う（Ｓ２０４）。

【0045】

装置ポートの問合せを受けた搬送コントローラ１０は、搬送対象物Ｆを載置する対象となる処理装置５０の装置ポート５１が空いているか否かを確認する（Ｓ１０２）。装置ポート５１に空きがあれば、当該装置ポート５１に搬送対象物Ｆを載置するよう台車コントローラ２０に指示する（Ｓ１０３）。当該指示を受けた台車コントローラ２０は、搬送対象物Ｆを指示された装置ポート５１に載置するよう台車３０を制御し（Ｓ２０５）、台車３０は台車コントローラ２０の制御に従って、搬送対象物Ｆを指定された装置ポート５１に載置する（Ｓ３０３）。

【0046】

一方、装置ポート５１に空きがなければ（Ｓ１０２でＮＯ）、搬送コントローラ１０は、ベイ内周回軌道４２を周回するように台車コントローラ２０に指示する（Ｓ１０４）。当該指示を受けた台車コントローラ２０は、ベイ内周回軌道４２内を周回するように台車３０を制御し（Ｓ２０５）、台車３０は台車コントローラ２０の制御に従って、ベイ内周回軌道４２内を周回する（Ｓ３０３）。

【0047】

これにより、装置ポート５１に空きがない場合、ベイ内周回軌道４２を周回するので、台車３０がベイから外に出ることがない。よって、装置ポート５１に空きができたときに、速やかに搬送対象物Ｆを装置ポート５１に載置することができる。また、ベイ内周回軌道４２を周回することにより、他の台車３０の邪魔になりにくいため、全体の搬送効率の低下を抑制できる。

【0048】

ステップＳ１０４でベイ内周回軌道４２内を周回するように指示した後、搬送コントローラ１０は、装置ポート５１が空くのを待ち、装置ポート５１に空きが出ると（Ｓ１０５でＹＥＳ）、当該装置ポート５１に搬送対象物Ｆを載置するよう台車コントローラ２０に指示する（Ｓ１０６）。当該指示を受けた台車コントローラ２０は、搬送対象物Ｆを指示された装置ポート５１に載置するよう台車３０を制御し（Ｓ２０６）、台車３０は台車コントローラ２０の制御に従って、搬送対象物Ｆを指定された装置ポート５１に載置する（Ｓ３０４）。すなわち、台車３０は、装置ポート５１に空きがでるまで、ベイ内周回軌道４２内を周回する。

【0049】

そして、搬送コントローラ１０は、搬送対象物Ｆの載置を指示した台車３０で搬送されている搬送対象物Ｆが全て装置ポート５１に載置されたか否かを確認し（Ｓ１０７）、搬送対象物Ｆが残っていれば（Ｓ１０７でＮＯ）、ステップＳ１０２に戻る。一方、全ての搬送対象物Ｆを載置していれば（Ｓ１０７でＹＥＳ）、処理を終了する。

【0050】

なお、台車３０は、搬送先のベイに入っても、台車コントローラ２０から装置ポート５１に関する指示を受け取れない場合、当該ベイのベイ内周回軌道４２を周回する。

【0051】

〔搬送台車決定処理〕
次に、図６を参照して、ステップＳ２０１の搬送台車決定処理の流れについて説明する。図６は、搬送台車決定処理の流れを示すフローチャートである。図６に示すように、搬送台車決定処理では、まず、台車コントローラ２０の搬送台車決定部２２は、軌道４０を走行している台車３０のうち、空車、すなわち搬送対象物Ｆを１つも搬送していない台車３０を抽出する（Ｓ２１１）。次に、搬送台車決定部２２は、搬送対象物Ｆを１個だけ搬送している台車３０、すなわち、さらにもう１個、搬送対象物Ｆを搬送可能な台車３０のうち、次の条件１、および条件２を満たす台車３０（搬送可能台車）を抽出する（Ｓ２１２）。
（条件１）既に搬送中の搬送対象物Ｆの搬送経路上に、新たに搬送する搬送対象物Ｆの搬送元が存在する。
（条件２）既に搬送中の搬送対象物Ｆの搬送先と、新たに搬送する搬送対象物Ｆの搬送先とが同じベイである。

【0052】

そして、搬送台車決定部２２は、ステップＳ２１１で抽出した空車、およびステップＳ２１２で抽出した搬送可能台車のうち、最も搬送元に近い台車３０を、新たな搬送対象物Ｆを搬送する台車３０である搬送台車に決定する（Ｓ２１３）。

【0053】

搬送台車として、空車が選択された場合、新たに搬送される搬送対象物Ｆは、当該台車３０の１個目の搬送対象物Ｆということになる。また、搬送台車として、既に別の搬送対象物Ｆを搬送している台車３０が選択された場合、新たに搬送される搬送対象物Ｆは、当該台車３０の２個目の搬送対象物Ｆ、すなわち追加搬送対象物ということになる。

【0054】

〔台車３０の自車位置の通知処理〕
また、台車３０は、定期的に、自車位置を台車コントローラ２０に通知している。図７に、台車３０による自車位置の通知の処理の流れを示す。図７に示すように、台車３０は、自車位置を台車コントローラ２０に送信する（Ｓ４０１）。そして、所定位置を通過すると（Ｓ４０２でＹＥＳ）、ステップＳ４０１に戻り、再度、自車位置を台車コントローラ２０に送信する。このように、台車３０は、定期的に台車コントローラ２０に自車位置を送信している。なお、所定位置は、軌道４０上に複数個所設けられており、台車３０は、所定位置を通過するごとに、当該所定位置の位置情報を自車位置として送信する。

【0055】

〔搬送対象物Ｆの搬送例〕
次に、図８を参照して、搬送対象物Ｆの搬送例について説明する。図８は、搬送対象物Ｆの搬送例を説明するための図である。

【0056】

図８は、第４ベイ１０４内の装置ポート５１Ａに載置されている搬送対象物Ｆを第６ベイ１０６内の処理装置５０まで搬送する場合の例を示す。例えば、台車３０Ａが搬送対象物Ｆを１個、搬送中であり、当該搬送対象物Ｆの搬送先が第６ベイ１０６であったとする。この場合、台車３０Ａは、搬送中の搬送対象物Ｆの搬送経路上に装置ポート５１Ａが存在し、かつ、搬送先である第６ベイ１０６も同一なので、台車３０Ａが、装置ポート５１Ａに載置されている搬送対象物Ｆの搬送台車となる。搬送台車となった台車３０Ａは、搬送経路上である装置ポート５１Ａにおいて、搬送対象物Ｆをピックアップする。そして、台車３０Ａはベイ内周回軌道４２Ｄからベイ間周回軌道４１Ｃに移り、ベイ間周回軌道４１Ｃを走行して、第６ベイ１０６内を周回するベイ内周回軌道４２Ｆまで移動する。そして、ベイ内周回軌道４２Ｆに移り、ベイ内周回軌道４２内を走行して、搬送先である第６ベイ１０６内の処理装置５０の装置ポート５１に搬送対象物Ｆを載置する（図８の破線矢印８０１）。

【0057】

このように、搬送システム１によれば、台車３０Ａを用いて、既に搬送中の搬送対象物Ｆの搬送とともに、新たな搬送対象物Ｆの搬送を効率的に行うことができる。なお、ピックアップする搬送対象物Ｆは、処理装置５０の装置ポート５１に載置されているものだけでなく、天井保管棚６０に載置されているものであってもよい。

【0058】

〔ソフトウェアによる実現例〕
搬送コントローラ１０および台車コントローラ２０（以下、「装置」と呼ぶ）の機能は、当該装置としてコンピュータを機能させるためのプログラムであって、当該装置の各制御ブロック（特に搬送情報取得部２１、搬送台車決定部２２、走行制御部２３、装置ポート指定部２４）としてコンピュータを機能させるためのプログラムにより実現することができる。

【0059】

この場合、上記装置は、上記プログラムを実行するためのハードウェアとして、少なくとも１つの制御装置（例えばプロセッサ）と少なくとも１つの記憶装置（例えばメモリ）を有するコンピュータを備えている。この制御装置と記憶装置により上記プログラムを実行することにより、上記各実施形態で説明した各機能が実現される。

【0060】

上記プログラムは、一時的ではなく、コンピュータ読み取り可能な、１または複数の記録媒体に記録されていてもよい。この記録媒体は、上記装置が備えていてもよいし、備えていなくてもよい。後者の場合、上記プログラムは、有線または無線の任意の伝送媒体を介して上記装置に供給されてもよい。

【0061】

また、上記各制御ブロックの機能の一部または全部は、論理回路により実現することも可能である。例えば、上記各制御ブロックとして機能する論理回路が形成された集積回路も本発明の範疇に含まれる。この他にも、例えば量子コンピュータにより上記各制御ブロックの機能を実現することも可能である。

【0062】

また、上記各実施形態で説明した各処理は、ＡＩ（Artificial Intelligence：人工知能）に実行させてもよい。この場合、ＡＩは上記制御装置で動作するものであってもよいし、他の装置（例えばエッジコンピュータまたはクラウドサーバ等）で動作するものであってもよい。

【0063】

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。

【符号の説明】

【0064】

１ 搬送システム
１０ 搬送コントローラ（制御装置）
２０ 台車コントローラ（制御装置）
２１ 搬送情報取得部
２２ 搬送台車決定部
２３ 走行制御部
２４ 装置ポート指定部
２５ 記憶部
２５１ 台車データ
３０ 台車
３１ 移載部
３１１ 昇降部
３１２ 把持部
３２ 棚
４０ 軌道
４１、４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃ エリア間周回軌道（第１周回軌道）
４２、４２Ａ、４２Ｂ、４２Ｃ、４２Ｄ、４２Ｅ、４２Ｆ エリア内周回軌道（第２周回軌道）
５０ 処理装置
５１ 装置ポート
６０ 天井保管棚
１０１ 第１ベイ
１０２ 第２ベイ
１０３ 第３ベイ
１０４ 第４ベイ
１０５ 第５ベイ
１０６ 第６ベイ
Ｆ 搬送対象物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】