特開 2024-23056 熱交換器の品質確認方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024023056

(43)【公開日】2024-02-21

(54)【発明の名称】熱交換器の品質確認方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 3/12 20060101AFI20240214BHJP

   G01M 3/26 20060101ALN20240214BHJP

【ＦＩ】

G01N3/12

G01M3/26 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022126609

(22)【出願日】2022-08-08

(71)【出願人】

【識別番号】000001199

【氏名又は名称】株式会社神戸製鋼所

(74)【代理人】

【識別番号】100115381

【弁理士】

【氏名又は名称】小谷 昌崇

(74)【代理人】

【識別番号】100137143

【弁理士】

【氏名又は名称】玉串 幸久

(72)【発明者】

【氏名】金澤 宏昭

(72)【発明者】

【氏名】田中 謙太郎

(72)【発明者】

【氏名】高藤 英樹

(72)【発明者】

【氏名】池内 禎

【テーマコード（参考）】

2G061

2G067

【Ｆターム（参考）】

2G061AA05

2G061AB01

2G061BA15

2G061BA20

2G061CA01

2G061CB20

2G061CC20

2G061DA05

2G061DA09

2G061EA04

2G061EA05

2G067AA34

2G067BB03

2G067BB04

2G067BB25

2G067BB36

2G067CC02

2G067DD02

(57)【要約】

【課題】大量の熱風を使用する必要がない熱交換器の品質確認方法を提供する。
【解決手段】熱交換器の品質確認方法は、第１流路と前記第１流路に隣接する第２流路とを有する熱交換器の第１流路及び第２流路に液体を加圧状態で封入する液圧試験を行う工程ＳＴ１１と、第１流路内及び第２流路内から液体を排出する工程ＳＴ１２と、第１流路内及び第２流路内を真空ポンプによって減圧して、第１流路内及び第２流路内に残留する液体の蒸発を促進させる工程ＳＴ１３と、を含む。液体の蒸発を促進させる工程ＳＴ１３では、加熱された気体を第１流路及び第２流路に送り込む。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

熱交換器の品質確認方法であって、
第１流路と前記第１流路に隣接する第２流路とを有する熱交換器の前記第１流路及び前記第２流路に液体を加圧状態で封入する液圧試験を行う工程と、
前記第１流路内及び前記第２流路内から前記液体を排出する工程と、
前記第１流路内及び前記第２流路内を真空ポンプによって減圧して、前記第１流路内及び前記第２流路内に残留する液体の蒸発を促進させる工程と、を含む熱交換器の品質確認方法。

【請求項2】

前記液体の蒸発を促進させる工程には、前記第１流路内を減圧する第１工程と、前記第１工程の実施前、前記第１工程と同時又は前記第１工程の実施後に前記第２流路内を減圧する第２工程と、が含まれ、
前記第１工程において、加熱された気体を前記第２流路に送り込み、
前記第２工程において、加熱された気体を前記第１流路に送り込む請求項１に記載の熱交換器の品質確認方法。

【請求項3】

前記第１工程は、前記第１流路内の圧力が所定の圧力以下に減圧されたことが確認されたことを条件として終了し、
前記第２工程は、前記第２流路内の圧力が所定の圧力以下に減圧されたことが確認されたことを条件として終了する請求項２に記載の熱交換器の品質確認方法。

【請求項4】

前記液体の蒸発を促進させる工程において、前記熱交換器を加温する請求項１に記載の熱交換器の品質確認方法。

【請求項5】

前記第１流路内及び前記第２流路内に前記液体が残留していないことを確認する工程をさらに含む請求項１～４の何れか１項に記載の熱交換器の品質確認方法。

【請求項6】

前記熱交換器は、積層式の熱交換器である請求項１～４の何れか１項に記載の熱交換器の品質確認方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、熱交換器の品質確認方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、下記特許文献１に開示されているように、熱交換器を組み立てた後に、熱交換器の耐圧試験を行うことが知られている。特許文献１では、熱交換器の組み立てが終了した後の耐圧試験として、熱交換器内にたとえば４５ｋｇ／ｃｍ^２の圧力の水溶液（炭酸アンモニウムと炭酸水素アンモニウムの水溶液）を封入して熱交換器内を加圧することを行っている。耐圧試験を行うことにより、熱交換器の品質を確認することができる。そして、耐圧試験後には、２３０℃の熱風を１４ｍ^３／ｍｉｎの風量で熱交換器に送風して、熱交換器内を乾燥させる処理も行っている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開昭６１－１１８６４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に開示された方法では、熱風乾燥を行うのに、２３０℃の熱風が用いられ、乾燥終了まで４～５時間を要する。このため、品質確認を終えるのに、大量の熱風が必要となるため、品質確認を行うためのコストが嵩む。

【0005】

そこで、本発明は、前記従来技術を鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、大量の熱風を使用する必要がない熱交換器の品質確認方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記の目的を達成するため、本発明に係る熱交換器の品質確認方法は、熱交換器の品質確認方法であって、第１流路と前記第１流路に隣接する第２流路とを有する熱交換器の前記第１流路及び前記第２流路に液体を加圧状態で封入する液圧試験を行う工程と、前記第１流路内及び前記第２流路内から前記液体を排出する工程と、前記第１流路内及び前記第２流路内を真空ポンプによって減圧して、前記第１流路内及び前記第２流路内に残留する液体の蒸発を促進させる工程と、を含む。

【0007】

本発明の品質確認方法では、液体を加圧状態で第１流路及び第２流路内に封入する液圧試験を行うため、熱交換器の変形および破損の有無や液体の漏洩発生の有無で熱交換器の健全性を確認することができる。また、液圧試験で用いられた液体を熱交換器から排出した後、第１流路内及び第２流路内を減圧して、流路内に残留する液体の蒸発を促進させる。このため、液体が熱交換器内に残留することによる弊害が生じないようにすることができる。しかも、流路内を減圧することによって残留液体の蒸発を促進させるため、大気圧下で熱交換器内に熱風を吹き込んで熱交換器の内部を乾燥させる場合に比べて、熱交換器内を乾燥させるのに必要なエネルギーを減らすことができる。したがって、熱交換器の品質確認を行うためのコストが嵩むことを抑制できる。

【0008】

前記液体の蒸発を促進させる工程には、前記第１流路内を減圧する第１工程と、前記第１工程の実施前、前記第１工程と同時又は前記第１工程の実施後に前記第２流路内を減圧する第２工程と、が含まれていてもよい。この場合、前記第１工程において、加熱された気体を前記第２流路に送り込み、前記第２工程において、加熱された気体を前記第１流路に送り込んでもよい。

【0009】

この態様では、第１流路の減圧と第２流路の減圧とが別々に行なわれる。第１流路内が減圧される第１工程では、第２流路内が加熱されるため、第２流路内の加熱に伴って第１流路も昇温する。つまり、第２流路内が加熱されると第２流路の熱が第１流路に伝熱するため、第１流路内は、減圧されるだけでなく昇温もする。したがって、第１流路内の減圧度合いを抑えながら、残留液体の蒸発促進を行うことができる。つまり、第１流路内の真空度をそれほど高度にしなくても（つまり、圧力をそれほど低くしなくても）、第１流路内の液体を蒸発させることができる。したがって、蒸発促進工程に必要なポンプ動力を低減できる。また、第２工程においても、同様にして、第２流路内に残留する液体の蒸発を促進できる。すなわち、第１流路内及び第２流路内を減圧しながら加熱することによって液体を蒸発させるため、流路内を減圧することなく液体を加熱して蒸発させる方法に比べ、流路内に送り込む気体の温度を低く抑えることができる。

【0010】

前記第１工程は、前記第１流路内の圧力が所定の圧力以下に減圧されたことが確認されたことを条件として終了し、前記第２工程は、前記第２流路内の圧力が所定の圧力以下に減圧されたことが確認されたことを条件として終了してもよい。

【0011】

この態様では、所定の圧力として、例えば、流路内の液体がほぼ残留していない状態に到達できる圧力が設定される。第１流路内の圧力及び第２流路内の圧力が、この設定された圧力に到達することによって第１工程及び第２工程を終了するため、熱交換器の流路内に液体がほぼ残留していない状態を得ることができる。

【0012】

前記液体の蒸発を促進させる工程において、前記熱交換器を加温してもよい。

【0013】

この態様では、第１流路内及び第２流路内を真空ポンプによって減圧する際の減圧度合いを抑えることができる。つまり、熱交換器自体が加温されることにより、第１流路及び第２流路内の真空度をそれほど高度にしなくても（つまり、圧力をそれほど低くしなくても）、液体を蒸発させることができる。したがって、蒸発促進工程に必要なポンプ動力を低減できる。なお、熱交換器を加温するための加熱源が必要になるが、この加熱源は流路内に残留する液体を直接的に加熱して蒸発させるために用いられるのではなく、減圧された流路を加熱するために用いられる。したがって、液体を直接加熱して蒸発させる方法に比べ、熱交換器の温度を低く抑えることができるため、コストが嵩むことを抑制できる。

【0014】

前記品質確認方法は、前記第１流路内及び前記第２流路内に前記液体が残留していないことを確認する工程をさらに含んでもよい。この態様では、第１流路内及び第２流路内に液体が残留していないことを、熱交換器の使用者に保証することができる。

【0015】

前記熱交換器は、積層式の熱交換器であってもよい。

【発明の効果】

【0016】

以上説明したように、本発明によれば、大量の熱風を使用することなく熱交換器の品質確認を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】品質確認方法の確認対象となる積層式の熱交換器の斜視図である。

【図2】前記熱交換器の流路構造を説明するための図である。

【図3】前記品質確認方法の各ステップを説明するための図である。

【図4】前記品質確認方法における第１工程を行うときの熱交換器を示す図である。

【図5】前記品質確認方法における第２工程を行うときの熱交換器を示す図である。

【図6】その他の実施形態に係る品質確認方法における第１工程を行うときの熱交換器を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しながら詳細に説明する。

【0019】

本実施形態に係る品質確認方法は、図１及び図２に示す積層式の熱交換器を対象にした熱交換器１０の品質確認方法である。当該方法は、熱交換器１０を製造した後であって、熱交換器１０を客先に出荷する前に行われる。当該方法について具体的に説明する前にまず、熱交換器１０の構成について説明する。なお、品質確認の対象となる熱交換器１０は、積層式の熱交換器であれば図１及び図２に示す熱交換器１０に限られるものではなく、例えば、多数の積層されたプレートを有し、各プレート間の間隙が流路として構成されたプレート熱交換器であってもよい。また、熱交換器１０は、表面に多数の溝が形成された多数のプレートが重ね合わされた構成であって、プレート同士が接合されることによって隣接プレート間に流路が形成されるマイクロチャネル熱交換器であってもよい。熱交換器１０は、アルミニウム材で構成されてもよく、あるいは、ステンレス、チタン等によって構成されてもよい。

【0020】

図１及び図２に示す熱交換器１０は、第１流体と第２流体との間で熱交換を行うように構成されたプレートフィン熱交換器である。熱交換器１０には、第１流体用のヘッダ１１，１２と、第２流体用のヘッダ１３，１４とが取り付けられている。第１流体用のヘッダ１１，１２には、第１流体が熱交換器１０に流入される前に通過する第１分配ヘッダ１１と、熱交換器１０から流出した第１流体が通過する第１集合ヘッダ１２と、が含まれている。また、第２流体用のヘッダ１３，１４には、第２流体が熱交換器１０に流入される前に通過する第２分配ヘッダ１３と、熱交換器１０から流出した第２流体が通過する第２集合ヘッダ１４と、が含まれている。

【0021】

熱交換器１０は、それぞれ平板からなる多数の仕切りプレート２１と、隣り合う仕切りプレート２１間にそれぞれ配置された波形のフィンプレート２２と、を備えている。多数の仕切りプレート２１は一方向（仕切りプレート２１の厚さ方向。以下、積層方向とも称する。）に互いに間隔をおいて並んでおり、フィンプレート２２は各仕切りプレート２１間に配置されている。

【0022】

各フィンプレート２２はその両側に位置する一対の仕切りプレート２１に接合されている。これにより、仕切りプレート２１間に多数の流路２３が形成されている。また、この仕切りプレート２１の反対側にもフィンプレート２２が接続されているため、仕切りプレート２１の両側には、それぞれ多数の流路２３が形成されている。仕切りプレート２１の一方側に位置する流路２３は、第１流体を流通させる多数の第１流路２５として機能し、当該仕切りプレート２１のもう一方側に位置する流路２３は、第２流体を流通させる多数の第２流路２６として機能する。すなわち、第１流路２５と第２流路２６とは、仕切りプレート２１を挟んで互いに隣接している。

【0023】

多数の第１流路２５（第１流路群）は、仕切りプレート２１の幅方向（図１の斜め方向及び図２の左右方向）に並ぶように配置されており、各第１流路２５は、仕切りプレート２１の長手方向（図１の上下方向及び図２の奥行き方向）に延びている。また、多数の第２流路２６（第２流路群）も、仕切りプレート２１の幅方向（図１の斜め方向及び図２の左右方向）に並ぶように配置されており、各第２流路２６は、仕切りプレート２１の長手方向（図１の上下方向及び図２の奥行き方向）に延びている。そして、多数の第１流路２５（第１流路群）を有する第１層２９と、多数の第２流路２６（第２流路群）を有する第２層３０とは、積層方向（図１の斜め方向及び図２の上下方向）に交互に配置されて積層されている。したがって、多数の第１流路２５及び第２流路２６が積層方向にも並んでいる。

【0024】

第１流路２５はそれぞれ、第１分配ヘッダ１１の内側空間及び第１集合ヘッダ１２の内側空間に連通している。したがって、第１分配ヘッダ１１内に導入された第１流体は、各第１流路２５に流入し、各第１流路２５を流れた第１流体は、第１集合ヘッダ１２内に合流される。また、第２流路２６はそれぞれ、第２分配ヘッダ１３の内側空間及び第２集合ヘッダ１４の内側空間に連通している。したがって、第２分配ヘッダ１３内に導入された第２流体は、各第２流路２６に流入し、各第２流路２６を流れた第２流体は、第２集合ヘッダ１４内に合流される。

【0025】

各第１層２９及び各第２層３０には、仕切りプレート２１の幅方向両側に、サイドバー３３が設けられている。サイドバー３３は、一対の仕切りプレート２１間においてフィンプレート２２の幅方向両端を塞ぐものである。サイドバー３３が設けられることにより、第１流路２５内及び第２流路２６内の圧力がフィンプレート２２に作用したときでも、当該圧力に耐えることができる。

【0026】

熱交換器１０の積層方向の両端には、それぞれ外側プレート３４が設けられている。外側プレート３４は、仕切りプレート２１よりも厚みのある平板材によって構成されており、外側プレート３４が設けられることにより、第１流路２５内及び第２流路２６内の圧力が仕切りプレート２１に作用したときでも、当該圧力に耐えることができる。

【0027】

なお、図１の熱交換器１０は、第１流路２５と第２流路２６のみが設けられた熱交換器１０であるがこれに限られるものでない。例えば、熱交換器１０は、第１流路２５及び第２流路２６に加えて第３流路（図示省略）が設けられ、第１流体と第２流体と第３流体との間で熱交換を行う構成であってもよい。この場合、例えば、第１流体を流通させる多数の第１流路２５に、第２流体を流通させる多数の第２流路２６が隣接し、この多数の第２流路２６に、第３流体を流通させる多数の第３流路が隣接する構成であってもよい。

【0028】

次に、図３を参照しつつ、熱交換器１０が組み上がった後に行う、熱交換器１０の品質確認方法について説明する。この熱交換器１０の品質確認方法では、まず液圧試験を行う（液圧試験工程ＳＴ１１）。液圧試験は、第１流路２５及び第２流路２６を液体で満たし、流路２５，２６内を加圧された状態に保持する試験である。このため、第１流路２５に連通する第１分配ヘッダ１１及び第１集合ヘッダ１２の一方の開口を図略の栓部材で閉じ、他方に図略の配管を接続する。この配管を通して液体（例えば水）を第１流路２５内に導入する。このとき、熱交換器１０の要求仕様で定められた圧力よりも高い圧力で第１流路２５内が満たされるように、液体を第１流路２５内に封入する。この圧力は、少なくとも大気圧よりも高い圧力である。

【0029】

そして、予め定められた時間だけ、この状態で放置する。このとき、第２流路２６は、大気開放されていてもよいが、第２流路２６を封鎖しておいてもよい。予め定められた時間が経過すると、栓部材を外して、第１流路２５内の液体を排出する（排出工程ＳＴ１２）。

【0030】

続いて、第２流路２６についても、第１流路２５に対する液圧試験と同じように液体で満たす液圧試験を行う（液圧試験工程ＳＴ１１）。そして、予め定められた時間が経過すると、第２流路２６内の液体を排出する（排出工程ＳＴ１２）。なお、液圧試験は、第１流路２５及び第２流路２６の何れを先に行ってもよい。

【0031】

次に、第１流路２５内及び第２流路２６内に残留している液体を蒸発させるための蒸発促進工程ＳＴ１３を行う。蒸発促進工程ＳＴ１３は、流路２５，２６内の減圧及び加熱により、流路２５，２６内に残留する液体の蒸発を促す工程である。蒸発促進工程ＳＴ１３には、第１流路２５内を減圧する一方で第２流路２６内の減圧は行わない第１工程ＳＴ１３ａと、第２流路２６内を減圧する一方で第１流路２５内の減圧は行わない第２工程ＳＴ１３ｂとが、含まれている。なお、ここでは、第２工程ＳＴ１３ｂを第１工程ＳＴ１３ａの後で行うようしているが、第２工程ＳＴ１３ｂを第１工程ＳＴ１３ａの前に行ってもよい。

【0032】

第１工程ＳＴ１３ａでは、図４に示すように、第１流路２５を減圧できるように、第１分配ヘッダ１１及び第１集合ヘッダ１２の一方に真空ポンプ３７及び真空計３８が設けられた吸引配管４０を接続し、他方に真空計４１を接続する。また、第２分配ヘッダ１３及び第２集合ヘッダ１４の一方に、加熱された気体（熱風）を送り込むための加熱用配管４３を接続し、他方は開放された状態にしておく。

【0033】

そして、第１工程ＳＴ１３ａにおいて、真空ポンプ３７を作動させて第１流路２５内を減圧するとともに、加熱用配管４３を通して第２流路２６に加熱された気体を送り込む。また、第１工程ＳＴ１３ａでは、熱交換器１０自体の加温も行う。すなわち、熱交換器１０を断熱材からなるカバー４５で覆い、このカバー４５の内側空間に加熱された気体（熱風）を送り込む。送り込む気体（熱風）は、１００℃以上の温度でもよく、あるいは、１００℃以下の温度でもよい。

【0034】

第１工程ＳＴ１３ａにおいては、真空計３８、４１によって第１流路２５内の真空度を確認し、真空度が予め定められた値に到達するまで、真空ポンプ３７を作動させる。すなわち、第１流路２５内の圧力が所定の圧力以下に減圧されたことが確認されたことを条件として、第１工程ＳＴ１３ａを終了する。第１流路２５内に液体が残留していて、この液体が蒸発し続ける限り、第１流路２５内の圧力は所定の圧力以下に下がらない。したがって、第１流路２５内の圧力が所定の圧力以下に低下するまで、真空ポンプ３７の作動を継続することにより、第１流路２５内に液体が残留した状態を解消することができる。このとき、第２流路２６内が加熱されるとともに、熱交換器１０自体も加温されているため、第１流路２５内も昇温している。したがって、第１流路２５内が減圧されるだけでなく、加温されることにより、第１流路２５内の液体の蒸発が促進される。なお、第１流路２５内が減圧されているため、第１流路２５から流出する気体の温度は、使用液体の大気圧下での沸点以下であってもよい。例えば、液体が水の場合には、第１流路２５から流出する気体の温度は１００℃以下であってもよい。

【0035】

第１工程ＳＴ１３ａが終了すると、第２工程ＳＴ１３ｂに移る。第２工程ＳＴ１３ｂでは、図５に示すように、吸引配管４０を、第１分配ヘッダ１１及び第１集合ヘッダ１２の一方から、第２分配ヘッダ１３及び第２集合ヘッダ１４の一方に接続し直し、また、第１分配ヘッダ１１及び第１集合ヘッダ１２の他方に接続されていた真空計４１を取り外して、この真空計４１を第２分配ヘッダ１３及び第２集合ヘッダ１４の他方に取り付ける。また第２分配ヘッダ１３及び第２集合ヘッダ１４の一方に取り付けられていた加熱用配管４３を取り外すとともに、加熱用配管４３を第１分配ヘッダ１１及び第１集合ヘッダ１２の一方に接続する。カバー４５は、熱交換器１０を覆った状態のままにしておく。

【0036】

そして、第２工程ＳＴ１３ｂにおいて、真空ポンプ３７を作動させて第２流路２６内を減圧するとともに、加熱用配管４３を通して第１流路２５に加熱された気体を送り込む。また、第２工程ＳＴ１３ｂにおいても、熱交換器１０自体の加温も行う。これにより、第２流路２６内が減圧されるだけでなく加温されることにより、第２流路２６内の液体の蒸発が促進される。

【0037】

そして、真空計３８，４１により第２流路２６内の真空度を確認し、第２流路２６内の圧力が所定の圧力以下に減圧されたことが確認されたことを条件として、第２工程ＳＴ１３ｂを終了する。

【0038】

次に、液体が第１流路２５内及び第２流路２６内に残留していないことを確認する（確認工程ＳＴ１４）。具体的に、第１流路２５及び第２流路２６にそれぞれ、露点が分かっていて、要求露点よりも低い露点を有する気体を封入し、予め定められた時間だけ、その状態で放置する。露点が分かっている気体として、窒素ガス、ヘリウムガス、アルゴンガス、乾燥空気等を採用できる。なお、これ以外の気体でもよいが、その場合、熱交換器１０内に封入する前に露点計で露点を測定しておく。

【0039】

予め定められた時間が経過した後、第１流路２５から封入気体を流出させ、流出した気体の露点を露点計で測定する。第２流路２６に封入されていた気体についても、同様に露点を測定する。

【0040】

そして、露点が所定値（要求露点）以下であれば、第１流路２５内及び第２流路２６内に水分が残留していないことになるので、品質確認を終了する。なお、露点が所定値を超えている場合には、再度、蒸発促進工程ＳＴ１３を行う。

【0041】

以上説明したように、本実施形態での品質確認方法では、液体を加圧状態で第１流路２５及び第２流路２６内に封入する液圧試験を行うため、熱交換器１０から液体の漏洩が生じないかを確認することができる。また、液圧試験で用いられた液体を熱交換器１０から排出した後、流路２５，２６内を減圧して、流路２５，２６内に残留する液体の蒸発を促進させる。このため、液体が熱交換器１０内に残留することによる弊害が生じないようにすることができる。しかも、流路２５，２６内を減圧することによって残留液体の蒸発を促進させるため、大気圧下で熱交換器１０内に熱風を吹き込んで熱交換器１０の内部を乾燥させる場合に比べて、熱交換器１０内を乾燥させるのに必要なエネルギーを減らすことができる。したがって、熱交換器１０の品質確認を行うためのコストが嵩むことを抑制できる。

【0042】

また、前記品質確認方法では、第１流路２５の減圧と第２流路２６の減圧とが別々に行なわれる。第１流路２５内が減圧される第１工程ＳＴ１３ａでは、第２流路２６内が加熱されるため、第２流路２６内の加熱に伴って第１流路２５も昇温する。つまり、第２流路２６内が加熱されると第２流路２６の熱が第１流路２５に伝熱するため、第１流路２５内は、減圧されるだけでなく昇温もする。したがって、第１流路２５内の減圧度合いを抑えながら、残留液体の蒸発促進を行うことができる。つまり、第１流路２５内の真空度をそれほど高度にしなくても（つまり、圧力をそれほど低くしなくても）、液体を蒸発させることができる。したがって、蒸発促進工程ＳＴ１３に必要なポンプ動力を低減できる。また、第２工程ＳＴ１３ｂにおいても、同様にして、第２流路２６内に残留する液体の蒸発を促進できる。すなわち、流路２５，２６内を減圧しながら加熱することによって液体を蒸発させるため、流路２５，２６内を減圧することなく液体を加熱して蒸発させる方法に比べ、流路２５，２６内に送り込む気体の温度を低く抑えることができる。このため、熱交換器１０が例えばアルミニウム材で構成される場合でも、材質劣化を防止することができる。

【0043】

しかも、第１工程ＳＴ１３ａ及び第２工程ＳＴ１３ｂを終了する条件として設定された所定の圧力として、例えば、流路２５，２６内の液体がほぼ残留していない状態に到達できる圧力が設定される。流路２５，２６内の圧力が、この設定された圧力に到達することによって第１工程ＳＴ１３ａ及び第２工程ＳＴ１３ｂを終了するため、熱交換器１０の流路２５，２６内に液体がほぼ残留していない状態を得ることができる。

【0044】

さらに、確認工程ＳＴ１４も行うため、第１流路２５内及び第２流路２６内に液体が残留していないことを、熱交換器１０の使用者に保証することができる。

【0045】

なお、本実施形態では、蒸発促進工程ＳＴ１３において、第１流路２５及び第２流路２６に熱風を送り込んで流路２５，２６の加熱も行うようにしたが、第１流路２５及び第２流路２６の加熱を省略してもよい。この場合、第１工程ＳＴ１３ａと第２工程ＳＴ１３ｂに分けること無く、第１流路２５及び第２流路２６の減圧を同時に行ってもよい。

【0046】

また、本実施形態では、蒸発促進工程ＳＴ１３において、加熱された気体を第１流路２５内及び第２流路２６内に送り込むとともに熱交換器１０自体を加熱するようにしたが、蒸発促進工程ＳＴ１３において熱交換器１０自体の加熱を行わないようにしてもよい。

【0047】

また、確認工程ＳＴ１４を省略することが可能である。この場合、第１工程ＳＴ１３ａ及び第２工程ＳＴ１３ｂにおいて、真空度が所定値以下に下がったことにより、液体が残留していないことの確認を行ってもよい。

【0048】

また、確認工程ＳＴ１４に代えて、要求露点よりも低い露点を有する気体を所定時間以上第１流路２５内及び第２流路２６内に流通させ続ける工程を行ってもよい。つまり、露点を積極的に計測することなく、露点が十分に下がった状態を確保するようにしてもよい。

【0049】

（その他の実施形態）
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明は、前記実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更、改良等が可能である。例えば、前記実施形態の品質確認方法では、蒸発促進工程ＳＴ１３において、熱交換器１０自体を加熱するとともに、第１流路２５及び第２流路２６に加熱された気体を送り込むが、これに限られない。すなわち、蒸発促進工程ＳＴ１３において、熱交換器１０自体を加熱する一方で、第１流路２５及び第２流路２６に加熱された気体を送り込まないようにしてもよい。例えば、図６に示すように、蒸発促進工程ＳＴ１３においては、熱交換器１０をカバー４５で覆い、このカバー４５で覆われた内側空間に加熱された気体（熱風）を送り込んで熱交換器１０を加熱する。また、第１流路２５を減圧できるように、第１分配ヘッダ１１及び第１集合ヘッダ１２の一方に真空ポンプ３７及び真空計３８が設けられた吸引配管４０を接続し、他方に真空計４１を接続する。そして、真空ポンプ３７を作動して第１流路２５内を減圧する（第１工程ＳＴ１３ａ）。第１工程ＳＴ１３ａにおいては、真空計３８，４１によって第１流路２５内の真空度を確認し、真空度が予め定められた値に到達すると第１工程ＳＴ１３ａを終了する。

【0050】

次に、第２流路２６を減圧できるように、第２分配ヘッダ１３及び第２集合ヘッダ１４の一方に真空ポンプ３７及び真空計３８が設けられた吸引配管４０を接続し、他方に真空計４１を接続する。そして、真空ポンプ３７を作動して第２流路２６内を減圧する（第２工程ＳＴ１３ｂ）。第２工程ＳＴ１３ｂにおいては、真空計３８，４１によって第１流路２５内の真空度を確認し、真空度が予め定められた値に到達すると第２工程ＳＴ１３ｂを終了する。

【0051】

この方法では、第１流路２５内及び第２流路２６内を真空ポンプ３７によって減圧する際の減圧度合いを抑えることができる。つまり、熱交換器１０自体が加温されることにより、第１流路２５及び第２流路２６内の真空度をそれほど高度にしなくても（つまり、圧力をそれほど低くしなくても）、液体を蒸発させることができる。したがって、蒸発促進工程ＳＴ１３に必要なポンプ動力を低減できる。なお、熱交換器１０を加熱するための加熱源が必要になるが、この加熱源は流路２５，２６内に残留する液体を直接的に加熱して蒸発させるために用いられるのではなく、減圧された流路２５，２６を加熱するために用いられる。したがって、液体を直接加熱して蒸発させる方法に比べ、熱交換器１０の温度を低く抑えることができるため、コストが嵩むことを抑制できる。

【0052】

なお、図６の場合、吸引配管４０を第１流路２５だけでなく第２流路２６にも連通させて、第１流路２５の減圧を行う第１工程ＳＴ１３ａと第２流路２６の減圧を行う第２工程ＳＴ１３ｂとを同時に行ってもよい。

【符号の説明】

【0053】

１０ ：熱交換器
２３ ：流路
２５ ：第１流路
２６ ：第２流路
３７ ：真空ポンプ
ＳＴ１１ ：液圧試験工程
ＳＴ１２ ：排出工程
ＳＴ１３ ：蒸発促進工程
ＳＴ１３ａ ：第１工程
ＳＴ１３ｂ ：第２工程
ＳＴ１４ ：確認工程

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】