特開 2024-24397 基板搬送装置、及び周辺装置取付面接続方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024024397

(43)【公開日】2024-02-22

(54)【発明の名称】基板搬送装置、及び周辺装置取付面接続方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240215BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022127196

(22)【出願日】2022-08-09

(71)【出願人】

【識別番号】000002059

【氏名又は名称】シンフォニアテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100130498

【弁理士】

【氏名又は名称】佐野 禎哉

(72)【発明者】

【氏名】小倉 源五郎

(72)【発明者】

【氏名】河合 俊宏

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131CA47

5F131DA22

5F131DA23

5F131GA03

5F131GA14

5F131GA15

5F131HA28

5F131HA29

(57)【要約】

【課題】ロードポート取付面を筐体フレームに対して溶接作業を要することなく、比較的簡単な処理で接続することができ、高い垂直度を保った状態でロードポート取付面を筐体フレームに接続可能な基板搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送ロボット１の配置スペースを内部空間に有する搬送室２と、搬送室２のうち少なくとも対向する２面２Ａ，２Ｂにそれぞれ取り付けたロードポート３とを備えた基板搬送装置Ｘであり、搬送室２が、床面２Ｙ（搬送ロボット取付面）に搬送ロボット１を設置した筐体フレーム２３と、筐体フレーム２３とは別体に形成され且つロードポート３が取り付けられるロードポート取付面２４とを備えたものであり、筐体フレーム２３に対するロードポート取付面２４の接続角度を調整可能な角度調整部材２７を用いてロードポート取付面２４を筐体フレーム２３に接続する構成にした。
【選択図】図８

【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送ロボットの配置スペースを内部空間に有する搬送室と、
前記搬送室のうち少なくとも対向する２面にそれぞれ取り付けた周辺装置とを備えた基板搬送装置であり、
前記搬送室が、
前記内部空間の床面に前記搬送ロボットを設置した筐体フレームと、
前記筐体フレームとは別体に形成され且つ前記周辺装置が取り付けられる周辺装置取付面とを備えたものであり、
前記筐体フレームに対する前記周辺装置取付面の接続角度を調整可能な角度調整部材を用いて前記周辺装置取付面を前記筐体フレームに接続していることを特徴とする基板搬送装置。

【請求項2】

前記角度調整部材が、前記筐体フレームから前記周辺装置取付面に亘って挿入したアジャストスクリューであり、当該アジャストスクリューの前記周辺装置取付面側への飛び出し量を調整することによって前記筐体フレームに対する前記周辺装置取付面の接続角度を調整可能に構成している請求項１に記載の基板搬送装置。

【請求項3】

床面に搬送ロボットを設置可能な内部空間を有する筐体フレームに対して周辺装置取付面を接続する周辺装置取付面接続方法であり、
前記筐体フレームに対して前記周辺装置取付面を宛がった状態で、前記筐体フレームから前記周辺装置取付面に亘って設けた角度調整部材による接続角度調整処理を経ることによって、前記筐体フレームに対する前記周辺装置取付面の接続角度を調整することを特徴とする周辺装置取付面接続方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送室の両面にロードポート等の周辺装置を取り付けた基板搬送装置、及び搬送室の筐体フレームに周辺装置取付面を接続する方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

高清浄な内部空間にウェーハ等の搬送対象物が収納された格納容器であるＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）、ＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）、オープンカセット等の格納容器に収納されたウェーハ（基板の一例）をソーティング（並び替え）するソータ装置が従来より利用されている。ソータ装置は、ウェーハプロセス装置とドッキングして１つの装置として完成するＥＦＥＭとは異なり、ソータ装置単体で１つの装置として完成する装置である（例えば特許文献１参照）。

【0003】

このようなソータ装置を導入する現場（エンドユーザ工場）において、レイアウトや必要処理能力（搬送枚数）による装置の最小フットプリントを達成するという必要性から、搬送ロボットを内部に有する搬送室の両面にロードポートが取り付けられたものがある。

【0004】

搬送室のうちロードポートを取り付ける面（ロードポート取付面）に関しては、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）規格で定められた寸法公差に準拠して製作する必要があるだけでなく、ＳＥＭＩ規格上の垂直度（水平線または地平面に対して直角の方向（重力方向）であるというＳＥＭＩ規格であり、以下の説明のおける「ＳＥＭＩ規格上の垂直度」も同義である）を保って筐体フレームに接続されている必要がある。

【0005】

従来では、溶接構造によってロードポート取付面が筐体フレームに一体的に接続されていた。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特許第６５５５０９１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかし、従来のように、溶接技術によってロードポート取付面を筐体フレームに接続する構成であれば、ＳＥＭＩ規格上の垂直度や各種寸法公差を維持するため、専用の治具を使用して溶接時の熱歪みを矯正しながら製作する必要があり、熟練の溶接技術を要するという問題がある。

【0008】

このような問題は、搬送室の１つの面のみをロードポート取付面に設定し、そのロードポート取付面にロードポート等の周辺装置を取り付ける装置であっても生じるが、ソータ装置のように搬送室の２つの面をロードポート取付面に設定し、各ロードポート取付面にロードポート等の周辺装置を取り付ける装置であれば、搬送室の両方のロードポート取付面の垂直度や各種寸法を適正に両立させることは現実的には極めて困難であり、より一層高度な溶接技術が必要とされるため、コストの増加にも直結するものであった。

【0009】

本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、主たる目的は、搬送室の壁面のうちロードポート等の周辺装置を取り付ける面である周辺装置取付面を筐体フレームに対して溶接作業を要することなく、作業者の熟練度も限定されない比較的簡単な処理で接続することができ、且つＳＥＭＩ規格上の垂直度を保った状態で周辺装置取付面を筐体フレームに接続可能な基板搬送装置、及び筐体フレームに対する周辺装置取付面の接続方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

すなわち、本発明は、搬送ロボットの配置スペースを内部空間に有する搬送室と、搬送室のうち少なくとも対向する２面にそれぞれ取り付けた周辺装置とを備えた基板搬送装置であり、搬送室として、内部空間の床面に搬送ロボットを設置した筐体フレームと、周辺装置が取り付けられる周辺装置取付面とを備え、それぞれ別々に形成したこれら筐体フレーム及び周辺装置取付面を相互に接続したものを適用し、筐体フレームに対する周辺装置取付面の接続角度を調整可能な角度調整部材を用いて周辺装置取付面を筐体フレームに接続していることを特徴としている。

【0011】

ここで、本発明における周辺装置としては、ロードポートやアライナ、バッファステーション、ロードロック室等を挙げることができる。搬送室のうち少なくとも対向する２面に取り付ける周辺装置は同種のものであってもよいし、異なる種類のものであってもよい。また、周辺装置取付面１面あたりに取り付ける周辺装置の台数も適宜選択・変更することができる。

【0012】

このような本発明に係る基板搬送装置であれば、筐体フレームと周辺装置取付面を別々で製作し、角度調整部材を用いて周辺装置取付面を筐体フレームに接続する構成であるため、従来のような溶接処理によって筐体フレームとロードポート取付面とを締結する構成と比較して、筐体フレームと周辺装置取付面の接続に関して高度な溶接技術が不要であり、筐体フレームの床面、すなわちＳＥＭＩ規格上の垂直度を高い精度で保った姿勢で周辺装置取付面を筐体フレームに接続することができる。さらに、本発明において、筐体フレーム単体を溶接処理によって製作する場合であっても、筐体フレームに対する周辺装置取付面の接続箇所については溶接箇所を削減することができ、溶接の工数が削減できる。したがって、溶接加工工数の削減によるコストダウンを図ることが期待できる。加えて、従来であれば必要であった溶接時の熱歪み対策の治具が不要になり、この点においても治具の製作等の初期投資削減によるコストダウンを図ることができる。

【0013】

また、本発明に係る基板搬送装置であれば、筐体フレームに対する周辺装置取付面の接続角度を調整可能に構成することで筐体フレーム単体に求められる出来上がりの寸法公差を大きくすることができる。したがって、筐体フレーム単体を製作する際に要求される溶接技術のハードルが下がり、このこともまた製作コストの低減化に貢献する。

【0014】

このように、本発明に係る基板搬送装置であれば、筐体フレームに周辺装置取付面を接続する処理に関して高度な溶接技術が不要であり、筐体製作時の難易度を下げることでコストダウンを図ることもできる。さらには、従来の問題であった筐体フレーム製作時の難易度を下げることができるだけでなく、溶接箇所削減による製作完了後の外観品質向上（見栄えの良さ）も期待できるとともに、治具等の専用の事前準備物が不要となる。

【0015】

特に、本発明において、角度調整部材が、筐体フレームから周辺装置取付面に亘って挿入したアジャストスクリューであり、アジャストスクリューの筐体フレームから周辺装置取付面側への飛び出し量を調整することによって筐体フレームに対する周辺装置取付面の接続角度を調整可能に構成すれば、アジャストスクリューに所定の操作力を付与して周辺装置取付面側への飛び出し量を調整するという比較的楽な作業で筐体フレームに対する周辺装置取付面の接続角度を調整することができ、筐体フレームに周辺装置取付面を接続する作業性が向上する。

【0016】

また、本発明は、床面に搬送ロボットを設置可能な内部空間を有する筐体フレームに対して周辺装置取付面を接続する周辺装置取付面接続方法であって、筐体フレームに対して周辺装置取付面を宛がった状態で、筐体フレームから周辺装置取付面に亘って設けた角度調整部材による接続角度調整処理を経ることによって、筐体フレームに対する周辺装置取付面の接続角度を調整することを特徴としている。

【0017】

このような周辺装置取付面接続方法であれば、上述の基板搬送装置に関して言及した作用効果と同様の作用効果を奏し、周辺装置取付面を筐体フレームに対して溶接作業を要することなく比較的簡単な処理で接続することができ、ＳＥＭＩ規格上の垂直度を保った状態で辺装置取付面を筐体フレームに接続することができる。

【発明の効果】

【0018】

本発明によれば、搬送室の筐体フレーム及び周辺装置取付面を別々に形成（製作）し、筐体フレームに周辺装置取付面を仮接続した状態（仮組付状態）で角度調整部材による角度調整（傾き調整）作業を行うことで、ＳＥＭＩ規格上の垂直度を出した状態で接続（最終組付）することができ、搬送室の壁面のうちロードポート等の周辺装置を取り付ける面である周辺装置取付面を筐体フレームに対して溶接作業を要することなく、作業者も限定されない比較的簡単な処理で接続することが接続可能な基板搬送装置、及び筐体フレームに対する周辺装置取付面の接続方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本発明の一実施形態に係る基板搬送装置の全体斜視図。

【図2】同実施形態に係る基板搬送装置の平面図。

【図3】同実施形態に係る基板搬送装置の側面図。

【図4】同実施形態における搬送室の斜視図。

【図5】同実施形態における搬送室の分解斜視図。

【図6】図４のａ方向矢視図。

【図7】図６のＡ－Ａ線断面図。

【図8】図７のＢ領域拡大図。

【図9】同実施形態における筐体フレームの斜視図。

【図10】同実施形態における周辺装置取付面接続方法の説明図。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。

【0021】

本実施形態に係る基板搬送装置Ｘは、図１及び図２に示すように、搬送ロボット１が配置される搬送空間２Ｓを内部に有する搬送室２と、搬送室２のうち対向する２面にそれぞれ取り付けた周辺装置３（搬送先周辺装置）とを備えたものである。本実施形態における周辺装置３は、ロードポート３であり、本実施形態では搬送室２の前面２Ａ及び背面２Ｂにそれぞれロードポート３を取り付けている。

【0022】

ロードポート３は、例えば半導体の製造工程において用いられ、図１乃至図３に示すように、クリーンルーム内において、搬送室２のうち対向する２つの壁面（本実施形態では相互に対向する「第１の面」、「第２の面」をそれぞれ前面２Ａ、背面２Ｂとする）の一部を構成し、搬送室２とＦＯＵＰ等の搬送容器４（図３に想像線（二点鎖線）で模式的に示す）との間で基板等の搬送対象物の出し入れを行うためのものである。ロードポート３は、搬送容器４と搬送室２のインターフェース部分として機能するものであり、図１等に示すように、搬送室２の内部空間２Ｓを開放するための開口部３１が形成された板状をなすベースフレーム３２や、ベースフレーム３２に対して前方に突出させた略水平姿勢で設けた載置テーブル３３等を備え、ベースフレーム３２の開口部３１をロードポートドア（図示省略）によって開閉し、搬送容器４の容器ドアを開閉可能な周知のものである。搬送容器４の内部空間と搬送室２の搬送空間２Ｓが連通した状態において、搬送容器４の内部空間（搬送先空間）に対して搬送ロボット１がアクセスして搬送対象物（基板）を受け渡しすることができる。

【0023】

本実施形態に係る基板搬送装置Ｘは、図１及び２等に示すように、搬送室２の前面２Ａ（前壁面）及び背面２Ｂ（後壁面）にそれぞれ複数（図示例では４台）のロードポート３を並べて配置し、各ロードポート３上の搬送容器４内のウェーハを交換したり、並び替えや入れ替えを行なうソータ装置Ｘである。ソータ装置Ｘの作動は、ロードポート３のコントローラや、ソータ装置Ｘ全体のコントローラによって制御される。

【0024】

搬送室２は、図４及び図５に示すように、縦フレーム部材２１（柱に相当するフレーム要素）及び横フレーム部材２２（梁、桁、大引、根太等に相当するフレーム要素）を一体的に組み付けた略直方体状の筐体フレーム２３と、筐体フレーム２３のうちロードポート３が取り付けられる面に装着したロードポート取付面２４（本発明の「周辺装置取付面」に相当）とを備え、筐体フレーム２３の床面２Ｙ（搬送ロボット取付面）に搬送ロボット１を設置可能に構成したものである。ここで、図４は本発明における搬送室２の全体斜視図であり、図５は筐体フレーム２３及びロードポート取付面２４を相互に分離した状態を図４に対応して示す図である。

【0025】

本実施形態では、図６及び図７（図６は図４のａ方向矢視図であり、図７は図６のＡ―Ａ線断面図である）に示すように、平面視が略長方形状の筐体フレーム２３を適用し、以降の説明では、筐体フレーム２３の長手方向Ｗ及び高さ方Ｈ向に直交する方向を前後方向Ｄとする。筐体フレーム２３の前面２Ａ及び背面２Ｂにそれぞれ縦フレーム部材２１が所定ピッチで設けられ、これら縦フレーム部材２１を利用してロードポート取付面２４を筐体フレーム２３の前面２Ａ及び背面２Ｂに取り付けている。具体的には、図８（同図は図７のＢ領域拡大図である）に示すように、各縦フレーム部材２１の上端部近傍及び下端部近傍にそれぞれ厚み方向に貫通する貫通孔２１ａを形成し、ネジ孔２５ａを有する裏当てブロック２５を縦フレーム部材２１の内向き面２１ｂに接触させた状態で配置し、ネジ孔２５ａが貫通孔２１ａに連通する位置で裏当てブロック２５を固定している。なお、内向き面２１ｂは搬送空間２Ｓに臨む面であり、内向き面２１ｂの反対側の面であって搬送空間２Ｓに臨まない面は外向き面２１ｃである。本実施形態における筐体フレーム２３は、図９に示すように、床面２Ｙ（搬送ロボット取付面）から所定高さ位置までを搬送空間２Ｓに設定し、搬送空間２Ｓよりも上方の空間にはダウンフロー発生装置やファンフィルター等を実装する空間に設定している。縦フレーム部材２１（柱）及びロードポート取付面２４は、搬送空間２Ｓを外部空間から区切る位置（搬送空間２Ｓと外部空間との境界部分）に配置されるものである。

【0026】

ロードポート取付面２４は、筐体フレーム２３のうち搬送空間２Ｓの前面２Ａの略全体または背面２Ｂの略全体に相当するサイズを有する大型のものである。本実施形態では、図５に示すように、搬送室２の搬送室２の前面２Ａ（前壁面）または背面２Ｂ（後壁面）となる平滑な面を有し、縦フレーム部材２１同士の離間寸法に応じた開口寸法に設定した開口部２４１を所定の間隔で形成したロードポート取付面本体２４２と、ロードポート取付面本体２４２の上端、下端、両側縁からそれぞれ筐体フレーム２３側（搬送空間２Ｓ側）に向かって所定寸法延出する突出片を有する補強部２４３とを一体に有するものである。図８に示すように、ロードポート取付面本体２４２の上端部近傍及び下端部近傍にはそれぞれ厚み方向に貫通する貫通孔２４ａを形成し、この貫通孔２４ａに連通するネジ孔２６ａを有する裏当てブロック２６をロードポート取付面本体２４２の内向き面２１ｂに接触させた状態で配置し、ネジ孔２６ａが貫通孔２４ａに連通する位置で裏当てブロック２６を固定している。ロードポート取付面２４の補強部２４３を筐体フレーム２３の前面２Ａまたは背面２Ｂに当接または近接させることで、筐体フレーム２３の前面２Ａとロードポート取付面本体２４２との間、及び筐体フレーム２３の背面２Ｂとロードポート取付面本体２４２との間の所定の空間が形成され、本実施形態ではこの空間を利用して裏当てブロック２６を配置している。

【0027】

そして、図８に示すように、筐体フレーム２３にロードポート取付面２４を接続し終えた状態では、筐体フレーム２３側からロードポート取付面２４側に向かって、裏当てブロック２５のネジ孔２５ａ、筐体フレーム２３（縦フレーム部材２１）の貫通孔２１ａ、裏当てブロック２６のネジ孔２６ａ、ロードポート取付面２４の貫通孔２４ａの順に共通のアジャストスクリュー２７が連続して挿入しており、アジャストスクリュー２７の基端部側（筐体フレーム２３側）にナット２８が螺合していることと、アジャストスクリュー２７の先端部側（ロードポート取付面２４側）にナット２９が螺合していることによってアジャストスクリュー２７の進退移動が規制されたロック状態にある。特に、ロードポート取付面本体２４２をナット２９と裏当てブロック２６との間で挟み込む構成にすることで大型のロードポート取付面２４の良好な支持状態を維持することができる。なお、本実施形態では、筐体フレーム２３（縦フレーム部材２１）の貫通孔２１ａ及びロードポート取付面２４の貫通孔２４ａの各開口径をアジャストスクリュー２７の先端部の直径よりも所定寸法大きい値に設定している。

【0028】

このようなロードポート取付面２４を筐体フレーム２３に一体的に接続する処理は以下の通りである。

【0029】

予め、筐体フレーム２３の縦フレーム部材２１の内向き面２１ｂに固定した裏当てブロック２５のネジ孔２５ａ及び筐体フレーム２３の貫通孔２１ａにアジャストスクリュー２７を挿入し、アジャストスクリュー２７の先端部を筐体フレーム２３の前面２３Ａまたは背面２３Ｂに露出させた形態にしておく。そして、筐体フレーム２３の前方（正面側）または後方（背面側）から前面２Ａまたは背面２Ｂにロードポート取付面２４を宛がう。この際、筐体フレーム２３の前面２３Ａまたは背面２３Ｂにおいて下端部近傍に露出しているアジャストスクリュー２７の先端がロードポート取付面２４に形成した貫通孔２４ａに臨む位置、またはロードポート取付面２４の内向き面２１ｂに固定した裏当てブロック２６のネジ孔２６ａにアジャストスクリュー２７の先端が軽く接触する位置にロードポート取付面２４を移動させることで、筐体フレーム２３に対するロードポート取付面２４の接続位置を仮決めすることができる。この処理（仮接続処理）を実施する際は、図１０（同図は図４のｂ方向から見た図に対応させて示す接続作業説明図である）に示すように、ロードポート取付面２４全体を傾斜させた姿勢で行うことで作業性が向上する。この場合、先ず、ロードポート取付面２４の下端部近傍に形成した貫通孔２４ａの位置を、筐体フレーム２３の前面２Ａまたは背面２Ｂにおいて下端部近傍に露出しているアジャストスクリュー２７の先端位置に合致または略合致させて、次いで、ロードポート取付面２４を傾斜姿勢から起立姿勢に切り替えて、つまりロードポート取付面２４全体を起こして、ロードポート取付面２４の上端部近傍に形成した貫通孔２４ａの位置を、筐体フレーム２３の前面２Ａまたは背面２Ｂにおいて上端部近傍に露出しているアジャストスクリュー２７の先端位置に合致または略合致させる。

【0030】

そして、適宜の工具等を用いてアジャストスクリュー２７をロードポート取付面２４側に移動させる操作力を付与することによって、アジャストスクリュー２７の先端部がロードポート取付面２４の内向き面２１ｂに固定した裏当てブロック２６のネジ孔２６ａに螺合しながらロードポート取付面２４側に移動して、やがてロードポート取付面２４の貫通孔２４ａを通過してロードポート取付面２４から飛び出した位置に到達する。

【0031】

さらに、アジャストスクリュー２７を同一方向へ移動させる操作力を付与し続けると、アジャストスクリュー２７の基端部に予め螺合しておいたナット２８が裏当てブロック２５に当接することによってそれ以上同一方向への移動が規制され、ナット２８が裏当てブロック２５に当接した時点以降、同一操作を続けることでロードポート取付面２４の補強部２４３が筐体フレーム２３の前面２Ａまたは背面２Ｂに接触または近接する位置までロードポート取付面２４を筐体フレーム２３側に移動させることができる。この状態で、アジャストスクリュー２７を進退移動させると、ロードポート取付面２４から露出するアジャストスクリュー２７の飛び出し量が変化し、飛び出し量の変化に応じてロードポート取付面２４（ロードポート取付面本体２４２）の傾きを調整することができる。そして、ロードポート取付面２４（ロードポート取付面本体２４２）の傾きが、ＳＥＭＩ規格上の垂直度となるように調整し終えた後に、アジャストスクリュー２７の先端部にナット２９を螺合して強固に締め付けることによって、裏当てブロック２６とナット２９の間にロードポート取付面２４を挟み込んだ状態になり、アジャストスクリュー２７の不意な進退移動を規制し、且つ調整したロードポート取付面２４の取付角度（接続角度）を維持することができる。

【0032】

このように、アジャストスクリュー２７の先端部側から適宜の工具を用いてアジャストスクリュー２７を進退移動させる処理を行う前の時点で、筐体フレーム２３（縦フレーム部材２１）からのアジャストスクリュー２７の飛び出し量を僅かな所定量に設定しておき、その飛び出しているアジャストスクリュー２７にロードポート取付面２４の貫通孔２４ａが合致するようにロードポート取付面２４の接続位置を仮決めし、アジャストスクリュー２７の先端が貫通孔２４ａに臨む状態でアジャストスクリュー２７をロードポート取付面２４側に移動させて、当該アジャストスクリュー２７がロードポート取付面２４に設けた裏当てブロック２６のネジ２６ａに螺合することで、ロードポート取付面２４を筐体フレーム２３に接続することができる。そして、この接続状態におけるロードポート取付面２４の傾き角度を、アジャストスクリュー２７に対して所定の操作力を付与することによって調整するができる。

【0033】

以上のようなアジャストスクリュー２７（本発明の「角度調整部材」に相当）を利用した角度調整処理をアジャストスクリュー２７の配置箇所ごと（筐体フレーム２３の縦フレーム部材２１に形成した貫通孔２１ａごと）に実施することにより、ロードポート取付面２４に関するＳＥＭＩ規格上の垂直度を高い精度で確保することができる。本実施形態では、１枚のロードポート取付面２４に対して、上端部側に３箇所、下端部側に３箇所、合計６箇所をアジャストスクリュー２７による角度調整位置に設定している。

【0034】

以上の処理を、ロードポート取付面２４の枚数に応じて行うことにより、筐体フレーム２３のうち対向する２つの面（前面２３Ａ、背面２３Ｂ）に設定されるロードポート取付面２４を何れもＳＥＭＩ規格上の垂直度を保った面に設定した搬送室２を提供することができる。そして、搬送室２のロードポート取付面２４にそれぞれロードポート３を取り付けることによって、ロードポート３のベースフレーム３２を水平面（地面）に対して垂直または略垂直となる起立姿勢で配置することができる。

【0035】

このように、本実施形態に係る基板搬送装置Ｘによれば、搬送室２として、床面２Ｙ（搬送ロボット取付面）に搬送ロボット１を設置した筐体フレーム２３と、周辺装置３であるロードポート３が取り付けられる周辺装置取付面（ロードポート取付面２４）とを備え、それぞれ別々に形成したこれら筐体フレーム２３及びロードポート取付面２４を相互に接続したものを適用し、筐体フレーム２３に対するロードポート取付面２４の接続角度を調整可能な角度調整部材（アジャストスクリュー２７）を用いてロードポート取付面２４を筐体フレーム２３に接続しているため、溶接処理によって筐体フレーム２３とロードポート取付面２４とを締結する構成と比較して、筐体フレーム２３とロードポート取付面２４の接続に関して高度な溶接技術が不要であり、ＳＥＭＩ規格上の垂直度を高い精度で保った状態でロードポート取付面２４を筐体フレーム２３に接続することができる。さらに、本実施形態では、筐体フレーム２３単体をフレーム部材２１，２２同士の溶接処理によって製作する場合であっても、筐体フレーム２３に対するロードポート取付面２４の接続箇所については溶接箇所を削減することができ、溶接の工数が削減できる。したがって、溶接加工工数の削減によるコストダウンを図ることが期待できる。加えて、従来であれば必要であった溶接時の熱歪み対策の治具が不要になり、この点においても治具の製作等の初期投資削減によるコストダウンを図ることができる。

【0036】

また、本実施形態に係る基板搬送装置Ｘによれば、筐体フレーム２３に対するロードポート取付面２４の接続角度を調整可能に構成することで筐体フレーム２３単体に求められる出来上がりの寸法公差を大きくすることができる。したがって、筐体フレーム２３単体を製作する際に要求される溶接技術のハードルが下がり、このこともまた製作コストの低減化に貢献する。

【0037】

このように、本実施形態に係る基板搬送装置Ｘであれば、筐体フレーム２３にロードポート取付面２４を接続する処理に関して高度な溶接技術が不要であり、製作時の難易度を下げることでコストダウンを図ることもできる。さらには、従来の問題であった筐体フレーム２３の製作、ひいては搬送室２の製作に要求される難易度を下げることができるだけでなく、溶接箇所削減による製作完了後の外観品質向上（見栄えの良さ）も期待できるとともに、治具等の専用の事前準備物が不要になる。

【0038】

特に、本実施形態に係る基板搬送装置Ｘによれば、角度調整部材が、筐体フレーム２３からロードポート取付面２４に亘って挿入したアジャストスクリュー２７であり、アジャストスクリュー２７の筐体フレーム２３からロードポート取付面２４側への飛び出し量を調整することによって筐体フレーム２３に対するロードポート取付面２４の接続角度を調整可能に構成しているため、比較的楽な作業で筐体フレーム２３に対するロードポート取付面２４の接続角度を調整することができ、筐体フレーム２３にロードポート取付面２４を接続する作業性が向上する。

【0039】

また、本実施形態では、床面２Ｙ（搬送ロボット取付面）に搬送ロボット１を設置可能な内部空間を有する筐体フレーム２３に対してロードポート取付面２４を接続する方法として、筐体フレーム２３に対してロードポート取付面２４を宛がった状態で、筐体フレーム２３からロードポート取付面２４に亘って設けた角度調整部材（アジャストスクリュー２７）による接続角度調整処理を経ることによって、筐体フレーム２３に対するロードポート取付面２４の接続角度を調整する方法を採用しているため、ロードポート取付面２４を筐体フレーム２３に対して溶接作業を要することなく比較的簡単な処理で接続することができ、ＳＥＭＩ規格上の垂直度を保った状態でロードポート取付面２４を筐体フレーム２３に接続することができる。

【0040】

なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、周辺装置とロードポートを適用した構成を例示したが、周辺装置として、ロードポートに代えて、または併用して、アライナ、ロードロック室等を適用することもできる。搬送室のうち少なくとも対向する２面にそれぞれ取り付ける周辺装置は同種のものであってもよいし、異なる種類のものであってもよい。また、周辺装置取付面１面（１枚）あたりに取り付ける周辺装置の台数も適宜選択・変更することができる。さらには、周辺装置取付面１面（１枚）あたりにおける角度調整部材による角度調整箇所の位置や数も適宜選択・変更することができる。

【0041】

搬送室のうち少なくとも対向する２面が、搬送室の両側面であってもよく、さらに対向する２面に加えて、他の面を含む３面以上の各面にそれぞれ周辺装置を取り付けた基板搬送装置も含まれる。また、搬送室のうち１面のみに周辺装置を取り付けた基板搬送装置において、周辺装置取付面と筐体とを別体に形成し、角度調整部材を利用して相互に接続する構成であっても本発明と同様の作用効果を得ることができる。

【0042】

また、角度調整部材として、アジャストスクリュー以外の螺合進退動作可能な部品または機構を用いたものや、螺合進退動作を伴わない部品や機構を用いたものであってもよい。

【0043】

搬送容器は、ＦＯＵＰに限定されず、ＦＯＵＰ以外の容器、例えばＦＯＳＢやカセット等であってもよい。

【0044】

本発明に係る搬送装置がＥＦＥＭの一部を構成するものであってもよい。さらにはまた、ソータ装置やＥＦＥＭの一部を構成する基板搬送装置以外の基板搬送装置であっても構わない。

【0045】

本発明に係る搬送装置によって搬送可能な搬送対象物としては、ウェーハ、レティクル、液晶搬送対象物やガラス搬送対象物などを含む角型基板、リングフレームウェーハ、カルチャープレート、培養容器、ディッシュ、或いはシャーレ等を挙げることができる。

【0046】

その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。

【符号の説明】

【0047】

１…搬送ロボット
２…搬送室
２３…筐体フレーム
２４…周辺装置取付面（ロードポート取付面）
２７…角度調整部材（アジャストスクリュー）
３…周辺装置（ロードポート）
Ｘ…基板搬送装置（ソータ装置）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】