特開 2024-24420 チャンバ、蓋及びリークテスタ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024024420

(43)【公開日】2024-02-22

(54)【発明の名称】チャンバ、蓋及びリークテスタ

(51)【国際特許分類】

   G01M 3/32 20060101AFI20240215BHJP

【ＦＩ】

G01M3/32 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】14

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022127228

(22)【出願日】2022-08-09

(71)【出願人】

【識別番号】594123387

【氏名又は名称】ヤマハファインテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100159499

【弁理士】

【氏名又は名称】池田 義典

(74)【代理人】

【識別番号】100120329

【弁理士】

【氏名又は名称】天野 一規

(72)【発明者】

【氏名】石井 徹

(72)【発明者】

【氏名】山本 稔

(72)【発明者】

【氏名】本間 大介

(72)【発明者】

【氏名】藤田 幸正

【テーマコード（参考）】

2G067

【Ｆターム（参考）】

2G067AA44

2G067BB02

2G067BB03

2G067BB12

2G067BB26

2G067CC13

2G067DD18

(57)【要約】

【課題】本発明は、異なるサイズのワークを位置決めすることが可能なチャンバを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の一態様に係るチャンバ１０は、開口１００ａを有するワーク１００を内部に収容するリークテスタ用チャンバであって、ワーク１００の収容空間Ｓを形成する凹部１１ａを有する第１部材１１と、凹部１１ａの開放端部を閉塞可能な第２部材２１と、収容空間Ｓ内において開口１００ａが所定の位置となるようにワーク１００を位置決めする位置決め機構３１とを備え、位置決め機構３１が、ワーク１００を第１部材１１及び第２部材２１と離間した状態で保持する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

開口を有するワークを内部に収容するリークテスタ用チャンバであって、
前記ワークの収容空間を形成する凹部を有する第１部材と、
前記凹部の開放端部を閉塞可能な第２部材と、
前記収容空間内において前記開口が所定の位置となるように前記ワークを位置決めする位置決め機構と
を備え、
前記位置決め機構が、前記ワークを前記第１部材及び前記第２部材と離間した状態で保持するチャンバ。

【請求項2】

前記位置決め機構が、それぞれ前記第２部材に配置されるスペーサ板及び押圧体を有しており、
前記スペーサ板が、前記ワークと前記凹部の内面との間に介在し、
前記押圧体が、前記ワークを挟んで前記スペーサ板と対向するように配置されており、
前記押圧体が、前記ワークを前記スペーサ板側に押圧可能に設けられている請求項１に記載のチャンバ。

【請求項3】

前記押圧体が前記ワークを介して前記スペーサ板を押圧することで、前記スペーサ板と前記凹部の内面とが密着する請求項２に記載のチャンバ。

【請求項4】

前記位置決め機構が、前記スペーサ板と前記第２部材とを接続する接続部を有しており、
前記スペーサ板が、前記接続部によって片持ち梁状に保持される請求項２又は請求項３に記載のチャンバ。

【請求項5】

前記接続部が、前記スペーサ板を揺動可能な揺動機構と、前記スペーサ板と前記ワークとの間隔を保持可能な固定機構とを有する請求項４に記載のチャンバ。

【請求項6】

前記第２部材は、前記ワークを前記スペーサ板と前記押圧体との間に配置した状態で前記凹部の開放端部を閉塞可能に構成されている請求項２又は請求項３に記載のチャンバ。

【請求項7】

前記接続部は、前記第２部材が前記凹部の開放端部を閉塞する前には、前記スペーサ板及び前記押圧体を前記ワークと接触しないように保持し、かつ前記第２部材が前記凹部の開放端部を閉塞した際には、前記スペーサ板及び前記押圧体を前記ワークと接触するように保持する請求項４に記載のチャンバ。

【請求項8】

前記固定機構が、前記スペーサ板を前記第２部材から離れる方向に押す弾性体を有する請求項５に記載のチャンバ。

【請求項9】

前記位置決め機構が、
前記収容空間内に突出し、この突出方向において前記ワークを所定の位置に支持する第１移動体と、
前記第１移動体と対向するように前記収容空間内に突出し、前記ワークを前記第１移動体側に押圧する第２移動体と
を有する請求項１又は請求項２に記載のチャンバ。

【請求項10】

前記第１移動体及び前記第２移動体がそれぞれ前記第１部材を貫通している請求項９に記載のチャンバ。

【請求項11】

前記第１移動体が、数値制御アクチュエータによって伸縮するロッドを有する請求項９に記載のチャンバ。

【請求項12】

さらにノズルを備えており、
前記位置決め機構は、前記ノズルが前記開口に装着可能となる位置に前記ワークを位置決めする請求項１又は請求項２に記載のチャンバ。

【請求項13】

開口を有するワークを収容するリークテスタ用チャンバに用いられる蓋であって、
前記チャンバ内への前記ワークの出入口を閉塞可能な蓋本体と、
前記蓋本体と間隔を空けて前記蓋本体の内面側に配置されるスペーサ板と、
前記蓋本体の内面に配置されており、前記スペーサ板との間に前記ワークを挟み込み可能な押圧体と
を備える蓋。

【請求項14】

請求項１に記載されているチャンバを備えるリークテスタ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、チャンバ、蓋及びリークテスタに関する。

【背景技術】

【0002】

開口を有するワークのガス漏れの有無等を検査するためにリークテスタが用いられている。このリークテスタとしては、開口が所定の位置となるようにワークをチャンバ内に位置決めしたうえで、ワークの開口にノズルを装着し、このノズルを介してワーク内の空間にトレーサガスを供給するものが公知である（特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１３－１３４０９８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１には、第１、第２のチャンバ構成体を互いに接合することで、ワークを収容するための収容空間が形成されるチャンバが記載されている。特許文献１には、前記収容空間をワークに対応した形状とするとともに、この収容空間を形成する第１チャンバ構成体の内面によってワークを部分的に支持することで、ワークをチャンバ内に位置決めすることが記載されている。

【0005】

特許文献１に記載されているチャンバは、ワークのサイズに対応して設計される。そのため、特許文献１に記載された構成によると、ワークのサイズが異なると、その都度別のチャンバを用意することを要する。このように、特許文献１に記載されているチャンバは汎用性に欠ける。

【0006】

本発明は、このような事情に基づいてなされたものであり、本発明の目的は、異なるサイズのワークを位置決めすることが可能なチャンバを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

（１）本発明の一態様に係るチャンバは、開口を有するワークを内部に収容するリークテスタ用チャンバであって、前記ワークの収容空間を形成する凹部を有する第１部材と、前記凹部の開放端部を閉塞可能な第２部材と、前記収容空間内において前記開口が所定の位置となるように前記ワークを位置決めする位置決め機構とを備え、前記位置決め機構が、前記ワークを前記第１部材及び前記第２部材と離間した状態で保持する。

【0008】

（２）前記（１）において、前記位置決め機構が、それぞれ前記第２部材に配置されるスペーサ板及び押圧体を有しており、前記スペーサ板が、前記ワークと前記凹部の内面との間に介在し、前記押圧体が、前記ワークを挟んで前記スペーサ板と対向するように配置されており、前記押圧体が、前記ワークを前記スペーサ板側に押圧可能に設けられているとよい。

【0009】

（３）前記（２）において、前記押圧体が前記ワークを介して前記スペーサ板を押圧することで、前記スペーサ板と前記凹部の内面とが密着するとよい。

【0010】

（４）前記（２）又は（３）において、前記位置決め機構が、前記スペーサ板と前記第２部材とを接続する接続部を有しており、前記スペーサ板が、前記接続部によって片持ち梁状に保持されるとよい。

【0011】

（５）前記（４）において、前記接続部が、前記スペーサ板を揺動可能な揺動機構と、前記スペーサ板と前記ワークとの間隔を保持可能な固定機構とを有するとよい。

【0012】

（６）前記（２）から（５）のいずれかにおいて、前記第２部材は、前記ワークを前記スペーサ板と前記押圧体との間に配置した状態で前記凹部の開放端部を閉塞可能に構成されているとよい。

【0013】

（７）前記（４）又は（５）、或いは前記（４）又は（５）を引用する前記（６）において、前記接続部は、前記第２部材が前記凹部の開放端部を閉塞する前には、前記スペーサ板及び前記押圧体を前記ワークと接触しないように保持し、かつ前記第２部材が前記凹部の開放端部を閉塞した際には、前記スペーサ板及び前記押圧体を前記ワークと接触するように保持するとよい。

【0014】

（８）前記（５）において、前記固定機構が、前記スペーサ板を前記第２部材から離れる方向に押す弾性体を有するとよい。

【0015】

（９）前記（１）から（８）のいずれかにおいて、前記位置決め機構が、前記収容空間内に突出し、この突出方向において前記ワークを所定の位置に支持する第１移動体と、前記第１移動体と対向するように前記収容空間内に突出し、前記ワークを前記第１移動体側に押圧する第２移動体とを有するとよい。

【0016】

（１０）前記（９）において、前記第１移動体及び前記第２移動体がそれぞれ前記第１部材を貫通しているとよい。

【0017】

（１１）前記（９）又は（１０）において、前記第１移動体が、数値制御アクチュエータによって伸縮するロッドを有するとよい。

【0018】

（１２）前記（１）から（１１）のいずれかにおいて、当該チャンバは、さらにノズルを備えており、前記位置決め機構は、前記ノズルが前記開口に装着可能となる位置に前記ワークを位置決めするとよい。

【0019】

（１３）本発明の別の一態様に係る蓋は、開口を有するワークを収容するリークテスタ用チャンバに用いられる蓋であって、前記チャンバ内への前記ワークの出入口を閉塞可能な蓋本体と、前記蓋本体と間隔を空けて前記蓋本体の内面側に配置されるスペーサ板と、前記蓋本体の内面に配置されており、前記スペーサ板との間に前記ワークを挟み込み可能な押圧体とを備える。

【0020】

（１４）本発明のさらに別の一態様に係るリークテスタは、前記（１）から（１２）のいずれかのチャンバを備える。

【発明の効果】

【0021】

本発明の一態様に係るチャンバは、前記位置決め機構が、前記ワークを前記第１部材及び前記第２部材と離間した状態で位置決めできるので、前記収容空間を前記ワークのサイズに対応させることを要しない。従って、当該チャンバは、異なるサイズのワークを前記収容空間内に位置決めすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】図１は、本発明の一実施形態に係るチャンバを示す模式的斜視図である。

【図2】図２は、図１のチャンバにおける第２部材を除いた状態を示す模式的斜視図である。

【図3】図３は、図１のチャンバにおける第２部材及びこの第２部材に配置されている位置決め機構を示す模式的平面図である。

【図4】図４は、図３の第２部材及び位置決め機構のＩＶ－ＩＶ線断面図である。

【図5】図５は、図３の第２部材及び位置決め機構のＶ－Ｖ線断面図である。

【図6】図６は、図３の第２部材及び位置決め機構のＶＩ－ＶＩ線断面図である。

【図7】図７は、図１のチャンバにおける第２部材を第１部材に密着させる手順を示す模式的断面図である。

【図8】図８は、図１のチャンバにおける第２部材を第１部材に密着させる図７の次の手順を示す模式的断面図である。

【図9】図９は、図１のチャンバにおける第２部材を第１部材に密着させた状態を示す模式的断面図である。

【図10】図１０は、図１のチャンバにおけるワークの位置決め後の状態を示す模式的平面図である。

【図11】図１１は、図１のチャンバにおけるスペーサ板の変形例を示す図８に対応する断面図である。

【図12】図１２は、図１のチャンバを備えるリークテスタを示す模式図である。

【図13】図１３は、図１のチャンバとは異なる実施形態に係るチャンバを示す模式的斜視図である。

【図14】図１４は、図１及び図１３のチャンバとは異なる実施形態に係るチャンバを示す模式的断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を詳説する。なお、各図は模式的なものであって、実際の寸法や比率等とは一致しないことがある。

【0024】

［第一実施形態］
＜チャンバ＞
図１のチャンバ１０は、リークテスタ用のチャンバである。当該チャンバ１０は、開口１００ａを有するワーク１００を内部に収容する。ワーク１００は、例えば中空体である。ワーク１００の形状としては、特に限定されるものではないが、例えば互いに平行な２つの面（第１面１０１及び第２面１０２）を有し、第１面１０１及び第２面１０２を接続する面（第３面１０３）に開口１００ａが設けられた形状とすることができる。当該チャンバ１０は、ワーク１００内に封入されたトレーサガス等の流体のワーク１００からの漏れの有無を検査可能に設けられている。

【0025】

当該チャンバ１０は、ワーク１００の収容空間Ｓを形成する凹部１１ａを有する第１部材１１と、凹部１１ａの開放端部を閉塞可能な第２部材２１と、収容空間Ｓ内において開口１００ａが所定の位置となるようにワーク１００を位置決めする位置決め機構３１とを備える。収容空間Ｓは、第２部材２１によって凹部１１ａの開放端部が閉塞されることで、密閉空間として構成される。

【0026】

また、当該チャンバ１０は、ノズル４１を備える。ノズル４１は、第１部材１１を貫通して収容空間Ｓ内に突出している。ノズル４１は、凹部１１ａの深さ方向と垂直な方向に突出している。換言すると、ノズル４１は、第１部材１１における凹部１１ａが開口している外面（具体的には後述する周壁部１２の開放側の端面）と平行な方向に突出している。ノズル４１は、軸方向に進退可能に構成されている。ノズル４１は、収容空間Ｓ内で開口１００ａに装着されて、ワーク１００内に流体を封入する。

【0027】

位置決め機構３１は、ワーク１００を第１部材１１及び第２部材２１と離間した状態で保持する。位置決め機構３１は、凹部１１ａの深さ方向にワーク１００を位置決めする第１位置決め機構３１ａと、凹部１１ａの深さ方向以外の方向にワーク１００を位置決めする第２位置決め機構３１ｂとを有する。

【0028】

位置決め機構３１は、ノズル４１が開口１００ａに装着可能となる位置にワーク１００を位置決めする。つまり、当該チャンバ１０は、ノズル４１の配置は一定に保ちつつ、このノズル４１の位置に合致するように位置決め機構３１によって収容空間Ｓ内にワーク１００を位置決めする。このように構成されていることで、異なるサイズのワーク１００を収容空間Ｓ内の所望の位置に容易に位置決めすることができる。その結果、異なるサイズのワーク１００に対するリークテストを容易に行うことができる。

【0029】

当該チャンバ１０は、位置決め機構３１が、ワーク１００を第１部材１１及び第２部材２１と離間した状態で位置決めできるので、収容空間Ｓをワーク１００のサイズに対応させることを要しない。従って、当該チャンバ１０は、異なるサイズのワーク１００を収容空間Ｓ内に位置決めすることができる。

【0030】

以下、当該チャンバ１０を構成する各部材について詳説する。

【0031】

（第１部材）
図２に示すように、第１部材１１は、筒状の周壁部１２と、周壁部１２の一方の端部開口を閉塞する底壁部１３とを有する。周壁部１２は、例えば四角筒状である。凹部１１ａは、周壁部１２の内面と底壁部１３の内面とによって画定される。凹部１１ａは、例えば直方体状である。

【0032】

（第２部材）
第２部材２１は、前述のように凹部１１ａの開放端部を閉塞可能に構成されている。すなわち、第２部材２１は、チャンバ１０内へのワーク１００の出入口を閉塞可能な蓋本体である。第２部材２１は、板状である。第２部材２１は、内面の周縁部分で周壁部１２の開放側の端面と密着可能に構成されている。第２部材２１の内面は、凹部１１ａの内面とともに、ワーク１００の収容空間Ｓを画定する。なお、第２部材の「内面」とは、凹部の開放端部を閉塞した状態で収容空間Ｓに面する側の面を意味する。

【0033】

第１部材１１と第２部材２１との密着部分には、気密を保つための封止部材が配置されていてもよい。例えば、第１部材１１の周壁部１２の開放側の端面と、第２部材２１の内面の周縁部分との一方又は両方には、予め前記封止部材が取り付けられていてもよい。前記封止部材としては、例えばＯリングが挙げられる。

【0034】

（第１位置決め機構）
図３から図５に示すように、第１位置決め機構３１ａは、それぞれ第２部材２１に配置されるスペーサ板３２及び押圧体３３を有する。また、第１位置決め機構３１ａは、スペーサ板３２と第２部材２１とを接続する接続部３５を有する。本実施形態において、スペーサ板３２と押圧体３３とは、水平方向に対向している。

【0035】

第１位置決め機構３１ａは、ワーク１００をスペーサ板３２と押圧体３３との間に配置した状態で、ワーク１００とともに収容空間Ｓに収容される。つまり、第２部材２１は、ワーク１００をスペーサ板３２と押圧体３３との間に配置した状態で凹部１１ａの開放端部を閉塞可能に構成されている。このように構成されていることで、当該チャンバ１０は、収容空間Ｓ内へのワーク１００の出し入れが容易であるとともに、収容空間Ｓ内にワーク１００を容易かつ確実に位置決めすることができる。

【0036】

〔スペーサ板〕
図７から図１０に示すように、スペーサ板３２は、ワーク１００と凹部１１ａの内面、より詳しくはワーク１００の第１面１０１と凹部１１ａの底面、との間に介在する。スペーサ板３２の板厚は、ワーク１００の開口１００ａとノズル４１との位置が、凹部１１ａの深さ方向において一致するように調整されている。スペーサ板３２には、ワーク１００から漏出した流体が通過可能な流路が形成されていてもよい。この流路としては、特に限定されるものではなく、例えばワーク１００と対向する面に形成される溝であってもよい。また、スペーサ板３２に多孔質等からなる通気部を設けることで前記流路としてもよい。

【0037】

スペーサ板３２は、例えば板厚方向視で矩形状である。スペーサ板３２は、凹部１１ａの底面と対向する側に配置される本体３２ａと、ワーク１００と対向するように本体３２ａに積層される補助部３２ｂとを有する。補助部３２ｂは、流体の封入によってワーク１００が膨張した際等にワーク１００の変形を吸収しつつ、ワーク１００の位置を保持する。

【0038】

〔押圧体〕
押圧体３３は、ワーク１００を挟んでスペーサ板３２と対向するように配置される。つまり、押圧体３３は、ワーク１００の第２面１０２と第２部材２１の内面との間に介在している。押圧体３３は、例えば板状である。押圧体３３は、ワーク１００をスペーサ板３２側に押圧可能に設けられている。押圧体３３は、コイルばね等のばね部材３４によって第２部材２１側から支持されている。ばね部材３４は、ワーク１００が収容空間Ｓ内に収容された状態で、ワーク１００の第２面１０２と押圧体３３とを接触させつつ、ワーク１００を介してスペーサ板３２を凹部１１ａの底面側に押す。押圧体３３には、ワーク１００から漏出した流体が通過可能な流路が形成されていてもよい。この流路としては、特に限定されるものではなく、例えばスペーサ板３２と同様の溝、通気部等が挙げられる。

【0039】

第１位置決め機構３１ａは、ワーク１００と凹部１１ａの底面との間に介在するスペーサ板３２と、ワーク１００を挟んでスペーサ板３２と対向する押圧体３３とを有しており、押圧体３３がワーク１００をスペーサ板３２側に押圧可能であるので、ワーク１００を第１部材１１及び第２部材２１と離間した状態で容易に保持することができる。

【0040】

押圧体３３は、ワーク１００を介してスペーサ板３２を押圧することで、スペーサ板３２を凹部１１ａの底面に密着させる。つまり、当該チャンバ１０によると、スペーサ板３２の板厚分の間隔を空けてワーク１００が凹部１１ａの底面に対向する。そのため、当該チャンバ１０は、スペーサ板３２の板厚に基づいて、凹部１１ａの底面とワーク１００との間隔を制御することができる。従って、例えば図１１に示すように、ワーク１００における開口１００ａの配置に対応してスペーサ板３２の板厚を調整することで、異なる形状や異なるサイズのワーク１００であってもチャンバ１０内に容易かつ安定的に収容することができる。なお、スペーサ板３２の板厚の調整方法は、特に限定されるものではなく、例えば本体３２ａ及び補助部３２ｂのいずれか一方又は両方の厚さを変化させることで行うことができる。

【0041】

〔接続部〕
接続部３５は、スペーサ板３２を片持ち梁状に保持している。接続部３５は、スペーサ板３２の外縁に沿ってスペーサ板３２を直線状に保持しており、より詳しくはスペーサ板３２の下縁に沿ってスペーサ板３２を直線状に保持している。このように、スペーサ板３２が、接続部３５によって片持ち梁状に保持されていることで、スペーサ板３２と押圧体３３との間にワーク１００を配置しやすい。また、この構成によると、スペーサ板３２を凹部１１ａの底面に容易に密着させやすい。

【0042】

接続部３５は、ワーク１００をスペーサ板３２と押圧体３３との間に配置する際におけるワーク１００の経路の外側に設けられていることが好ましい。当該チャンバ１０は、ワーク１００がスペーサ板３２と押圧体３３との間に配置された際に、ワーク１００を下方から支持する載置台４２を有している。載置台４２は、例えば第２部材２１に接続されている。接続部３５は、この載置台４２へのワーク１００の配置が妨げられない位置（本実施形態では載置台４２よりも下側）でスペーサ板３２と第２部材２１とを接続している。このように構成されていることで、ワーク１００の配置及び取り出しを短時間で容易にかつ確実に行うことができる。

【0043】

図４から図６に示すように、接続部３５は、スペーサ板３２を揺動可能な揺動機構３６と、スペーサ板３２とワーク１００との間隔を保持可能な固定機構３７とを有する。より詳しくは、接続部３５は、スペーサ板３２の両側で接続されるように互いに間隔を空けて配置される一対の揺動機構３６を有しており、各揺動機構３６と対をなすように固定機構３５がスペーサ板３２の両側に配置されている。当該チャンバ１０は、接続部３５が揺動機構３６及び固定機構３７を有することで、スペーサ板３２を揺動可能な状態と所定の位置で固定された状態とに制御できる。その結果、例えばワーク１００をスペーサ板３２と押圧体３３との間に配置する際にスペーサ板３２を固定しておくことで、スペーサ板３２とワーク１００とが意図せず接触することを抑制できる。また、ワーク１００がチャンバ１０内に収容された状態でスペーサ板３２を揺動可能にしておくことで、スペーサ板３２を凹部１１ａの底面に容易に密着させることができる。

【0044】

揺動機構３６は、例えば棒状である。揺動機構３６は、長手方向の両端でスペーサ板３２と第２部材２１とに接続されている。揺動機構３６は、スペーサ板３２の揺動中心となる回転軸Ｘを有する。一対の揺動機構３６に設けられている回転軸Ｘ同士は同軸上に位置している。

【0045】

また、揺動機構３６は、スペーサ板３２と第２部材２１との間隔を変化させることが可能な伸縮部３６ａを有する。伸縮部３６ａには、圧縮ばね等のばね部材が配置されている。伸縮部３６ａは、通常は伸長された状態で保持されている。伸縮部３６ａは、スペーサ板３２が凹部１１ａの底面に支持された状態で、第２部材２１がスペーサ板３２側に押された際に、押圧体３３をワーク１００に押圧することができるように縮小可能に構成されている。

【0046】

固定機構３７は、スペーサ板３２を第２部材２１と平行に固定可能に構成されている。固定機構３７は、例えば棒状であり、先端部（スペーサ板３２と近接する側の端部）にスペーサ板３２の揺動を停止するための押圧部３７ａを有する。また、固定機構３７は、スペーサ板３２を第２部材２１から離れる方向に押す弾性体３７ｂを有する。さらに、固定機構３７は、押圧部３７ａとスペーサ板３２との間隔やスペーサ板３２に対する押圧力等を制御するためのエアシリンダ等の駆動源を有していてもよい。固定機構３７は、スペーサ板３２を固定する固定位置と、スペーサ板３２の揺動を可能とする揺動可能位置とに移動又は伸縮可能に構成されている。

【0047】

図６に示すように、押圧部３７ａは、回転軸Ｘを挟んで反対側に位置する部分（回転軸Ｘよりも上側に位置する部分と回転軸Ｘよりも下側に位置する部分）を同じ力で押圧することでスペーサ板３２の揺動を停止可能に構成されている。図６において、押圧部３７ａは板状である。但し、押圧部３７ａの具体的な形状は特に限定されるものではない。また、押圧部３７ａは、１つの部材からなる必要はなく、例えば回転軸Ｘを挟んで反対側に位置する部分を２以上の部材によって押圧するように設けられていてもよい。

【0048】

弾性体３７ｂは、例えば圧縮ばね等のばね部材である。固定機構３７は、弾性体３７ｂを有することで、押圧部３７ａをスペーサ板３２に接触させつつ、弾性体３７ｂの弾性力を利用してスペーサ板３２を揺動可能に保持することができる。その結果、スペーサ板３２が意図せず傾くことを抑制しつつ、スペーサ板３２を凹部１１ａの底面に容易かつ確実に密着させることができる。なお、固定機構３７は弾性体３７ｂを有するので、押圧部３７ａをさらに押し込むことでスペーサ板３２を容易に固定することができる。

【0049】

（蓋）
第２部材２１と第１位置決め機構３１ａとは、チャンバ１０内に密閉空間を形成するための蓋５０として構成されている。当該蓋５０は、開口１００ａを有するワーク１００を収容するリークテスタ用の蓋である。当該蓋５０は、それ自体本発明の一実施形態である。当該蓋５０は、チャンバ１０内へのワーク１００の出入口を閉塞可能な蓋本体（第２部材２１）と、前記蓋本体と間隔を空けて前記蓋本体の内面側に配置されるスペーサ板３２と、前記蓋本体の内面に配置されており、スペーサ板３２との間にワーク１００を挟み込み可能な押圧体３３とを備える。

【0050】

当該蓋５０は、異なるサイズのワーク１００を収容空間Ｓ内に位置決めすることができる。

【0051】

（第１位置決め機構による位置決め手順）
次に、図７から図９を参照して、第１位置決め機構３１ａによるワーク１００の位置決め手順について説明する。

【0052】

前述のように、第１位置決め機構３１ａは、ワーク１００を凹部１１ａの深さ方向に位置決めする。第１位置決め機構３１ａによってワーク１００を位置決めするにあたっては、まず、図７に示すように、ワーク１００をスペーサ板３２と押圧体３３との間の空間に配置する。より詳しくは、スペーサ板３２と押圧体３３との間隔がワーク１００の第１面１０１及び第２面１０２の間隔よりも大きく保たれた状態で、スペーサ板３２及び押圧体３３とワーク１００とが接触しないようにワーク１００を載置台４２上に配置する。この際、スペーサ板３２は固定機構３７によって第２部材２１と平行に固定されている。これにより、スペーサ板３２の揺動に起因してスペーサ板３２とワーク１００とが接触することが抑制される。

【0053】

次に、図８に示すように、凹部１１ａの開放端部を閉塞するように第２部材２１を移動させる。この際に、固定機構３７は、前述の固定位置から揺動可能位置に移動又は縮小される。固定機構３７は、第２部材２１の移動中にワーク１００を安定的に保持できるように、スペーサ板３２が凹部１１ａの底面に接触する直前に前記固定位置から前記揺動可能位置に移動又は縮小されることが好ましい。なお、当該チャンバ１０は、前述の弾性体３７ｂの弾性力を用いることで、押圧体３７ａをスペーサ板３２に接触させつつ、スペーサ板３２を揺動可能に保持することも可能である。この構成によると、スペーサ板３２の意図しない傾き等を抑制しやすい。

【0054】

続いて、図９に示すように、第２部材２１によって凹部１１ａの開放端部を閉塞する。当該チャンバ１０は、揺動機構３６が伸縮可能で、かつ固定機構３７が移動又は伸縮可能であるので（すなわち、接続部３５が伸縮可能に設けられているので）、第２部材２１によって凹部１１ａの開放端部を閉塞することで、凹部１１ａの深さに対応してスペーサ板３２と押圧体３３との間隔が自動的に調整される。より詳しくは、ワーク１００の第１面１０１がスペーサ板３２に接し、かつワーク１００の第２面１０２が押圧体３３に接するように、スペーサ板３２と押圧体３３との間隔が自動的に調整される。その結果、ばね部材３４の作用によって、ワーク１００は、押圧体３３によってスペーサ板３２側に押圧された状態で保持される。

【0055】

また、この際に、スペーサ板３２は、押圧体３３によってワーク１００を介して凹部１１ａの底面側に押される。スペーサ板３２は、凹部１１ａの底面に追随できるように揺動可能に保持されているため、凹部１１ａの底面に密着する。その結果、収容空間Ｓ内におけるスペーサ板３２の配置が安定し、収容空間Ｓ内におけるワーク１００の位置決めをより確実に行うことができる。

【0056】

このように、接続部３５は、第２部材２１が凹部１１ａの開放端部を閉塞する前には、スペーサ板３２及び押圧体３３をワーク１００と接触しないように保持し、かつ第２部材２１が凹部１１ａの開放端部を閉塞した際には、スペーサ板３２及び押圧体３３をワーク１００と接触するように保持する。その結果、収容空間Ｓ内へのワーク１００の収容及び収容空間Ｓ内におけるワーク１００の位置決めを容易かつ確実に行うことができる。

【0057】

（第２位置決め機構）
図２に示すように、第２位置決め機構３１ｂは、収容空間Ｓ内に突出し、この突出方向においてワーク１００を所定の位置に支持する第１移動体３８と、第１移動体３８と対向するように収容空間Ｓ内に突出し、ワーク１００を第１移動体３８側に押圧する第２移動体３９とを有する。当該チャンバ１０は、第２位置決め機構３１ｂを有することで、収容空間Ｓ内にワーク１００を容易かつ確実に位置決めすることができる。

【0058】

図１０に示すように、第２位置決め機構３１ｂは、第１位置決め機構３１ａによる位置決め方向（凹部１１ａの深さ方向）と垂直な方向からワーク１００を位置決めすることが好ましい。また、第２位置決め機構３１ｂは、ノズル４１の突出方向と直交する方向からワーク１００を位置決めすることが好ましい。すなわち、第２位置決め機構３１ｂは、載置台４２に配置されたワーク１００を、第１位置決め機構３１ａとあわせて平面視で直交する４方向から位置決めできるように、凹部１１ａの深さ方向と垂直な方向からワーク１００を位置決めすることが好ましい。このように構成されていることで、第１位置決め機構３１ａ及び第２位置決め機構３１ｂによって、ワーク１００の開口１００ａとノズル４１との位置が平面視で一致するように、すなわち、開口１００ａが所定の位置となるようにワーク１００が位置決めされる。また、位置決めされているワーク１００の開口１００ａにノズル４１を装着することで、このワーク１００を互いに直交する３軸方向から支持することができる。その結果、収容空間Ｓ内におけるワーク１００の配置を容易かつ安定的に維持することができる。

【0059】

第１移動体３８及び第２移動体３９は、それぞれ第１部材１１を貫通している。このように構成されていることで、第２部材２１が凹部１１ａの開放端部を閉塞することによって凹部１１ａの深さ方向に位置決めされたワーク１００を、この深さ方向と垂直な方向から容易に位置決めすることができる。

【0060】

第１移動体３８は、収容空間Ｓ内に突出するロッド（第１ロッド３８ａ）を有する。第１ロッド３８ａの先端部には支持部（第１支持部３８ｂ）が配置されている。第１支持部３８ｂは例えば板状である。

【0061】

第１移動体３８は、第１ロッド３８ａの突出長さを制御する制御部（第１制御部３８ｃ）を有する。第１制御部３８ｃは、収容空間Ｓの外側に配置されている。第１制御部３８ｃは、例えば数値制御アクチュエータである。すなわち、第１移動体３８は、数値制御アクチュエータによって伸縮する第１ロッド３８ａを有している。このように構成されていることで、ワーク１００の開口１００ａとノズル４１の位置とが平面視で一致するように、第１制御部３８ｃによって第１ロッド３８ａの突出長さを容易かつ確実に制御することができる。その結果、収容空間Ｓ内におけるワーク１００の位置決めをより容易かつ確実に行うことができる。

【0062】

第２移動体３９は、収容空間Ｓ内に突出するロッド（第２ロッド３９ａ）を有する。第２ロッド３９ａの先端部には支持部（第２支持部３９ｂ）が配置されている。第２支持部３９ｂは例えば板状である。

【0063】

第２移動体３９は、第２支持部３９ｂによってワーク１００を支持できるように、第２ロッド３９ａの突出長さを制御する制御部（第２制御部３９ｃ）を有する。第２制御部３９ｃは、収容空間Ｓの外側に配置されている。第２制御部３９ｃとしては、数値制御アクチュエータ、圧力シリンダ等が挙げられる。このように構成されていることで、第１制御部３８ｃによって第１ロッド３８ａの突出長さが制御された状態で、第１支持部３８ｂと第２支持部３９ｂとの間にワーク１００を挟み込めるように、第２ロッド３９ａの突出長さを容易に制御することができる。その結果、収容空間Ｓ内におけるワーク１００の位置決めをより容易かつ確実に行うことができる。

【0064】

［第二実施形態］
＜リークテスタ＞
図１２のリークテスタ６０は、当該チャンバ１０を備える。当該リークテスタ６０における当該チャンバ１０以外の具体的な構成は特に限定されるものではない。当該リークテスタ６０は、例えば当該チャンバ１０と、当該チャンバ１０内に形成される収容空間を減圧する第１真空ポンプ６１と、前記収容空間内に収容されたワークの内部空間をノズル４１を介して減圧する第２真空ポンプ６２と、第２真空ポンプ６２による真空引き後に前記ワークの内部空間にノズル４１を介してトレーサガスを封入するトレーサガス供給部６３と、前記ワークから漏れ出たトレーサガスを検出するリークディテクタ６４と、前記ワークのリークテスト後にノズル４１を介してトレーサガスを回収するトレーサガス回収部６５と、前記ワークのリークテスト後にノズル４１を介してワーク内を大気に戻す大気開放部６６とを備える構成とすることができる。前記トレーサガスとしては、特に限定されるものではないが、例えば水素、ヘリウム、これらのガスを含む混合ガス等が挙げられる。

【0065】

当該リークテスタ６０は、当該チャンバ１０を備えているので、異なるサイズのワークを前記収容空間内に位置決めすることができる。そのため、当該リークテスタ６０は、異なるサイズのワークのリークテストを容易に行うことができる。

【0066】

［その他の実施形態］
前記実施形態は、本発明の構成を限定するものではない。従って、前記実施形態は、本明細書の記載及び技術常識に基づいて前記実施形態各部の構成要素の省略、置換又は追加が可能であり、それらは全て本発明の範囲に属するものと解釈されるべきである。

【0067】

前記第１部材及び前記第２部材の具体的な形状は、前記実施形態に記載された形状に限定されない。例えば当該チャンバは、前記第１部材に加えて、前記第２部材にも凹部が設けられていてもよい。この場合、前記第１部材に設けられた凹部と前記第２部材に設けられた凹部とによって画定される領域全体が前述の収容空間として形成され得る。

【0068】

前記第２部材は、前記第１部材に設けられた凹部の深さ方向の途中まで挿入されるように構成されていてもよい。この場合、例えば前記第２部材を前記凹部内に挿入していくことで、前記押圧体が前記ワークを介して前記スペーサ板を押圧するように構成することも可能である。

【0069】

前記実施形態では、位置決め機構が第１位置決め機構及び第２位置決め機構を有する構成について説明した。但し、図１３に示すように、当該チャンバ７０は、第１位置決め機構７１のみを有する構成とすることも可能である。また、当該チャンバは、前記第２位置決め機構のみを有する構成とすることも可能であり、前記第１位置決め機構及び前記第２位置決め機構のいずれかに代えて、或いは前記第１位置決め機構及び前記第２位置決め機構とともに、他の位置決め機構を有する構成とすることも可能である。

【0070】

前記実施形態では、前記接続部が前記スペーサ板の下縁に沿って前記スペーサ板を直線状に保持する構成について説明した。但し、前記接続部は、前記スペーサ板の下縁以外の外縁に沿って配置されていてもよい。例えば図１４のチャンバ８０は、接続部８５がスペーサ板８２の上縁に沿って配置されている。当該チャンバ８０は、このような構成によっても、異なるサイズのワークをチャンバ８０内の収容空間内に位置決めすることができる。

【0071】

前記スペーサ板及び前記押圧体の具体的な構成は、前記実施形態に記載された構成に限定されない。例えば前記スペーサ板は、前述の補助部を有していなくてもよい。また、前記押圧体は、板状以外の形状とすることも可能である。さらに、ワークの外面に凹凸等が形成されている場合には、前記スペーサ板及び前記押圧体のワークと接する面は、ワークの外面に対応する凹凸等を有していてもよい。

【0072】

前記収容空間内におけるスペーサ板の配置は、凹部の形状等の当該チャンバ全体の仕様に基づいて設定可能である。前記スペーサ板は、ワークと、凹部の底面以外の内面との間に介在するように設けられてもよい。

【0073】

前記スペーサ板は、前記接続部によって片持ち梁状に保持されない構成とすることも可能である。例えば前記スペーサ板と前記第２部材とが、前記スペーサ板の４隅で接続される構成を採用することも可能である。またこの場合、前記スペーサ板と前記第２部材とを接続する部分をそれぞれ伸縮可能に構成してもよい。但し、装置全体の簡素化や、収容空間内へのワークの出し入れの容易化等の観点から、前記スペーサ板は、前記接続部によって片持ち梁状に保持されることが好ましい。

【0074】

前記接続部は、前記スペーサ板を複数の方向に傾動可能に設けられていてもよい。また、前記揺動機構及び前記固定機構の具体的な構成は前記実施形態に記載された構成に限定されない。例えば前記固定機構は、エアシリンダ等の駆動源のみによって移動又は伸縮されるように設けられていてもよく、前記弾性体のみによって伸縮されるように設けられていてもよい。

【0075】

前記第２位置決め機構における前記第１移動体及び前記第２移動体の突出方向は、チャンバの具体的な構成に応じて設定可能である。例えば当該チャンバが第１位置決め機構を有しない場合であれば、前記第２位置決め機構は、前記ワークを第１部材に設けられた凹部の深さ方向に位置決めするように設けられていてもよい。

【0076】

前述のように、前記第１移動体は、数値制御アクチュエータによってロッドの突出長さを制御することが好ましい。但し、前記ロッドの突出長さを制御するための機構は、ワークの仕様等に応じて変更可能である。

【0077】

当該リークテスタは、ガス以外の流体を用いた装置として構成することも可能である。

【産業上の利用可能性】

【0078】

以上説明したように、本発明の一態様に係るチャンバは、収容空間内にワークを位置決めするのに適している。

【符号の説明】

【0079】

１０、７０、８０ チャンバ
１１ 第１部材
１１ａ 凹部
１２ 周壁部
１３ 底壁部
２１ 第２部材
３１ 位置決め機構
３１ａ、７１ 第１位置決め機構
３１ｂ 第２位置決め機構
３２、８２ スペーサ板
３２ａ 本体
３２ｂ 補助部
３３ 押圧体
３４ ばね部材
３５、８５ 接続部
３６ 揺動機構
３６ａ 伸縮部
３７ 固定機構
３７ａ 押圧部
３７ｂ 弾性体
３８ 第１移動体
３８ａ 第１ロッド
３８ｂ 第１支持部
３８ｃ 第１制御部
３９ 第２移動体
３９ａ 第２ロッド
３９ｂ 第２支持部
３９ｃ 第２制御部
４１ ノズル
４２ 載置台
５０ 蓋
６０ リークテスタ
６１ 第１真空ポンプ
６２ 第２真空ポンプ
６３ トレーサガス供給部
６４ リークディテクタ
６５ トレーサガス回収部
６６ 大気開放部
１００ ワーク
１００ａ 開口
１０１ 第１面
１０２ 第２面
１０３ 第３面
Ｓ 収容空間
Ｘ 回転軸

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】