特開 2024-24421 チャンバ及びリークテスタ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024024421

(43)【公開日】2024-02-22

(54)【発明の名称】チャンバ及びリークテスタ

(51)【国際特許分類】

   G01M 3/32 20060101AFI20240215BHJP

【ＦＩ】

G01M3/32 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022127229

(22)【出願日】2022-08-09

(71)【出願人】

【識別番号】594123387

【氏名又は名称】ヤマハファインテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100159499

【弁理士】

【氏名又は名称】池田 義典

(74)【代理人】

【識別番号】100120329

【弁理士】

【氏名又は名称】天野 一規

(72)【発明者】

【氏名】石井 徹

(72)【発明者】

【氏名】山本 稔

(72)【発明者】

【氏名】本間 大介

(72)【発明者】

【氏名】藤田 幸正

【テーマコード（参考）】

2G067

【Ｆターム（参考）】

2G067AA44

2G067BB02

2G067BB03

2G067BB12

2G067BB26

2G067CC13

2G067DD18

(57)【要約】

【課題】本開示は、異なるサイズのワークに対してリークテストの検査条件の管理を容易に行うことが可能なチャンバを提供することを目的とする。
【解決手段】本開示の一態様に係るチャンバ１０は、リークテスタ用チャンバであって、ワーク１００を収容する主チャンバ２０と、主チャンバ２０と連通する副チャンバ３０と、副チャンバ３０の容積を変更する容積変更機構４０とを備え、容積変更機構４０は、異なるサイズのワーク１００に対して、主チャンバ２０と副チャンバ３０とにおけるワーク１００の外側の空間の合計容積が一定になるように、副チャンバ３０の容積を変更する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

リークテスタ用チャンバであって、
ワークを収容する主チャンバと、
前記主チャンバと連通する副チャンバと、
前記副チャンバの容積を変更する容積変更機構と
を備え、
前記容積変更機構は、異なるサイズの前記ワークに対して、前記主チャンバと前記副チャンバとにおけるワークの外側の空間の合計容積が一定になるように、前記副チャンバの容積を変更する、チャンバ。

【請求項2】

前記副チャンバは、リークディテクタに連通する開口を有する請求項１に記載のチャンバ。

【請求項3】

前記容積変更機構は、前記ワークのサイズデータを基に前記副チャンバの容積を制御する請求項１又は請求項２に記載のチャンバ。

【請求項4】

前記容積変更機構は、前記副チャンバ内を進退するピストンを有する請求項１又は請求項２に記載のチャンバ。

【請求項5】

前記容積変更機構は、前記ピストンの位置を制御する数値制御アクチュエータを有する請求項４に記載のチャンバ。

【請求項6】

前記副チャンバは筒状部分を有しており、
前記ピストンは、前記筒状部分の内周面に対して気密に配置され、かつ前記筒状部分の軸方向に進退する請求項４に記載のチャンバ。

【請求項7】

前記副チャンバは、前記主チャンバと連通する１又は複数の室を有しており、
前記容積変更機構は、前記室への流体の浸入を遮断可能なバルブを有する請求項１又は請求項２に記載のチャンバ。

【請求項8】

前記ワークを前記主チャンバ内に位置決めする位置決め機構をさらに備える請求項１又は請求項２に記載のチャンバ。

【請求項9】

請求項１に記載のチャンバを備えるリークテスタ。

【請求項10】

請求項２に記載のチャンバと、
前記副チャンバに連通するリークディテクタと
を備えるリークテスタ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、チャンバ及びリークテスタに関する。

【背景技術】

【0002】

ワークをチャンバ内に収容したうえで、このワークのガス漏れの有無を検査するリークテスタが知られている。このチャンバとして、異なるサイズのワークを収容可能なものが提案されている（特許文献１参照）。特許文献１には、チャンバの大きさを最大サイズのワークが入る寸法にすることが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００７－１３９４５６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明者らは、異なるサイズのワークをチャンバ内に収容すると、ワークを収容している空間のワーク外の容積が変わることで、単位時間あたりのガスの漏れ量が変化し、検査条件を管理し難いことを知得した。

【0005】

本開示は、このような事情に基づいてなされたものであり、異なるサイズのワークに対する検査条件の管理を容易に行うことが可能なチャンバを提供することを目的とする。

【0006】

なお、特許文献１には、チャンバ内からの余分な排気量を低減することで真空ポンプの容量を低減できるように、ワークの大きさにあわせてチャンバ内の空間の容積を小さくすることが記載されている。しかしながら、特許文献１には、本開示の課題は記載されていない。また、特許文献１に記載されている構成によると、チャンバ内の余分な空間を小さくすることはできても、異なるサイズのワークに対して、ワークを収容している空間のワーク外の容積を一定に制御することは容易ではない。

【課題を解決するための手段】

【0007】

（１）本開示の一態様に係るチャンバは、リークテスタ用チャンバであって、ワークを収容する主チャンバと、前記主チャンバと連通する副チャンバと、前記副チャンバの容積を変更する容積変更機構とを備え、前記容積変更機構は、異なるサイズの前記ワークに対して、前記主チャンバと前記副チャンバとにおけるワークの外側の空間の合計容積が一定になるように、前記副チャンバの容積を変更する。

【0008】

（２）前記（１）において、前記副チャンバは、リークディテクタに連通する開口を有するとよい。

【0009】

（３）前記（１）又は（２）において、前記容積変更機構は、前記ワークのサイズデータを基に前記副チャンバの容積を制御するとよい。

【0010】

（４）前記（１）から（３）のいずれかにおいて、前記容積変更機構は、前記副チャンバ内を進退するピストンを有するとよい。

【0011】

（５）前記（４）において、前記容積変更機構は、前記ピストンの位置を制御する数値制御アクチュエータを有するとよい。

【0012】

（６）前記（４）又は（５）において、前記副チャンバは筒状部分を有しており、前記ピストンは、前記筒状部分の内周面に対して気密に配置され、かつ前記筒状部分の軸方向に進退するとよい。

【0013】

（７）前記（１）から（３）のいずれかにおいて、前記副チャンバは、前記主チャンバと連通する１又は複数の室を有しており、前記容積変更機構は、前記室への流体の浸入を遮断可能なバルブを有するとよい。

【0014】

（８）前記（１）から（７）のいずれかにおいて、前記ワークを前記主チャンバ内に位置決めする位置決め機構をさらに備えるとよい。

【0015】

（９）本開示の別の一態様に係るリークテスタは、前記（１）から（８）のいずれかのチャンバを備える。

【0016】

（１０）本開示のさらに別の一態様に係るリークテスタは、前記（２）のチャンバと、前記副チャンバに連通するリークディテクタとを備える。

【発明の効果】

【0017】

本開示の一態様に係るチャンバは、容積変更用の副チャンバを備えているので、前記容積変更機構によって、前記主チャンバと前記副チャンバとのワークの外側の空間の合計容積を一定に制御することが容易である。従って、当該チャンバを用いることで、異なるサイズのワークに対するリークテストの検査条件の管理を容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】図１は、本開示の一実施形態に係るチャンバを示す模式的正面図である。

【図2】図２は、図１のチャンバの模式的平面図である。

【図3】図３は、図２のチャンバのＩＩＩ－ＩＩＩ線断面図である。

【図4】図４は、図２のチャンバのＩＶ－ＩＶ線断面図である。

【図5】図５は、図１のチャンバを備えるリークテスタを示す模式図である。

【図6】図６は、図１のチャンバとは異なる形態に係るチャンバを示す模式的斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、適宜図面を参照しつつ、本開示の実施の形態を詳説する。なお、各図は模式的なものであって、実際の寸法や比率等とは一致しないことがある。

【0020】

［第一実施形態］
＜チャンバ＞
図１のチャンバ１０は、リークテスタ用チャンバである。当該チャンバ１０は、ワーク１００を収容する主チャンバ２０と、主チャンバ２０と連通する副チャンバ３０と、副チャンバ３０の容積を変更する容積変更機構４０とを備える。また、当該チャンバ１０は、主チャンバ２０に配置されるノズル５０を備える。

【0021】

ワーク１００は、開口１００ａを有する。ワーク１００は、例えば中空体である。ワーク１００は、開口１００ａにノズル５０が装着された状態で主チャンバ２０内に保持される。当該チャンバ１０は、ノズル５０を介してワーク１００内に封入されたトレーサガス等の流体のワーク１００からの漏れの有無を検査可能に設けられている。

【0022】

容積変更機構４０は、異なるサイズのワーク１００に対して、主チャンバ２０と副チャンバ３０とにおけるワーク１００の外側の空間の合計容積が一定になるように、副チャンバ３０の容積を変更する。より詳しく説明すると、容積変更機構４０は、主チャンバ２０と副チャンバ３０とにおける流体が通過可能なワークの外側の空隙の容積が、ワーク１００のサイズにかかわらず一定になるように、副チャンバ３０の容積を変更する。

【0023】

当該チャンバ１０は、容積変更用の副チャンバ３０を備えているので、容積変更機構４０によって、主チャンバ２０と副チャンバ３０とにおけるワーク１００の外側の空間の合計容積を一定に制御することが容易である。そのため、当該チャンバ１０によると、ワーク１００から漏れ出た流体がリークディテクタに到達する単位時間あたりの基準量を一定に制御することができる。すなわち、当該チャンバ１０によると、異なるサイズのワーク１００に対する検査条件の統一化を容易に図ることができる。その結果、ワーク１００のサイズ毎に漏れ量の閾値を設定することを要しない。さらに、当該チャンバ１０によると、チャンバ１０内を真空引きするサイクル時間を均一化することができる。従って、当該チャンバ１０を用いることで、異なるサイズのワーク１００に対するリークテストの検査条件の管理を容易に行うことができる。

【0024】

以下、当該チャンバ１０を構成する各部材について詳説する。

【0025】

（主チャンバ）
主チャンバ２０は、ワーク１００を収容可能な収容空間Ｓ１を内部に有する。主チャンバ２０は、例えば着脱可能な２つの部材を有している。これらの部材の一方又は両方は、これらの部材が互いに密着した状態で、収容空間Ｓ１を形成する凹部を有する。すなわち、収容空間Ｓ１は、２つの部材が密着することでこれらの部材の内部に形成される内部空間である。収容空間Ｓ１は、例えば主チャンバ２０内に収容されることが想定されている最大サイズのワーク１００を配置可能なサイズに形成されている。収容空間Ｓ１は、例えば直方体状である。

【0026】

主チャンバ２０は、収容空間Ｓ１内に異なるサイズのワーク１００を収容可能である。収容空間Ｓ１におけるワークの外側の空間の容積は、ワーク１００のサイズに基づいて変化するように構成されている。すなわち、収容空間Ｓ１の大きさは一定であり、ワーク１００の体積が大きくなると前記ワークの外側の空間の容積は小さくなり、逆にワーク１００の体積が小さくなると前記ワークの外側の空間の容積は大きくなるように設けられている。

【0027】

主チャンバ２０は、ノズル５０が挿入される挿通孔２１を有する。ノズル５０は、挿通孔２１に挿入された状態で、収容空間Ｓ１内を進退可能に設けられている。ワーク１００は、平面視（ノズル５０の突出方向視）で開口１００ａとノズル５０とが一致するように主チャンバ２０内に位置決めされる。

【0028】

図２及び図３に示すように、主チャンバ２０は、副チャンバ３０の内部空間（後述の容積調整用空間Ｓ２）に連通する第１連通路２２を有する。第１連通路２２は、リークテスト中における前記流体の流路として構成される。

【0029】

（副チャンバ）
副チャンバ３０は、主チャンバ２０と壁面同士が接するように連結されている。副チャンバ３０は、ワーク１００が収容される収容空間Ｓ１と連通しており、かつ収容空間Ｓ１とは独立している容積調整用空間Ｓ２を有する。容積調整用空間Ｓ２は、容積変更機構４０によって容積が変化するように設けられている。容積調整用空間Ｓ２における容積の変化量の最大値は、収容空間Ｓ１に異なるサイズのワーク１００が収容された際に、収容空間Ｓ１におけるワーク１００の外側の容積の変化量を吸収できる範囲内で設定できる。より詳しくは、容積調整用空間Ｓ２の最大容積は、主チャンバ２０内に収容されることが想定されている最大サイズのワーク１００の体積と最小サイズのワーク１００の体積との差以上とすることができる。

【0030】

図２及び図３に示すように、副チャンバ３０は、主チャンバ２０の収容空間Ｓ１に連通する第２連通路３１を有する。第１連通路２２と第２連通路３１とは直接接続されている。第２連通路３１は、リークテスト中における前記流体の流路として構成される。すなわち、主チャンバ２０の収容空間Ｓ１と副チャンバ３０の容積調整用空間Ｓ２とは、第１連通路２２及び第２連通路３１を含む流路によって連通している。前記流路は、ワーク１００のリークテスト中に収容空間Ｓ１と容積調整用空間Ｓ２との連通を維持するように設けられている。

【0031】

容積調整用空間Ｓ２は、主チャンバ２０と副チャンバ３０とにおけるワーク１００の外側の空間の合計容積（収容空間Ｓ１、容積調整用空間Ｓ２及び前記流路を含む容積）がワーク１００のサイズにかかわらず一定になるように、当該チャンバ１０の全体容積を調整するサブ空間として設けられている。

【0032】

副チャンバ３０は、リークディテクタに連通する開口３２を有する。つまり、副チャンバ３０の容積調整用空間Ｓ２は、ワーク１００から漏れ出た流体がリークディテクタに至る流路の一部を構成している。このように構成されていることで、異なるサイズのワーク１００に対し、検査条件を統一しやすい。なお、容積調整用空間Ｓ２は、第２連通路３１及び開口３２以外からは前記流体の流出が防止される密閉空間として構成されている。

【0033】

副チャンバ３０は、筒状部分を有している。副チャンバ３０は、その一部に筒状部分を有していてもよく、副チャンバ３０全体が筒状部分として構成されていてもよい。図１のチャンバ１０は、その全体が筒状部分３０ａとして構成されている。

【0034】

図２及び図４に示すように、筒状部分３０ａの内部空間は、容積変更機構４０の一部を構成している後述のピストン４３によって封止されている。このように構成されることで、筒状部分３０ａは、容積調整用空間Ｓ２の容積を調整するための容積調整部として設けられている。図１のチャンバ１０は、副チャンバ３０全体が筒状部分３０ａとして構成されており、この筒状部分３０ａの両側の端部がそれぞれピストン４３によって封止されている。

【0035】

（容積変更機構）
容積変更機構４０は、異なるサイズのワーク１００に対して、ワーク１００の体積の増減と、容積調整用空間Ｓ２の容積の増減とが対応するように、副チャンバ３０の容積を制御する。容積変更機構４０は、ワーク１００のサイズデータを基に副チャンバ３０の容積を制御する。より詳しくは、容積変更機構４０は、ワーク１００のサイズデータに基づいて、このワーク１００が収容空間Ｓ１内に収容された場合の副チャンバ３０の狙い容積を算出する演算部４１と、演算部４１による算出結果を基に、副チャンバ３０の容積を制御する制御部４２とを有する。演算部４１に対するワーク１００のサイズデータの入力手順は、特に限定されるものではない。例えばワーク１００のサイズデータは、オペレータによって入力されてもよく、ワーク１００に添付された二次元バーコード等の読取コードの読み取りによって入力されてもよい。演算部４１は、例えばＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）を含んで構成される。当該チャンバ１０は、ワーク１００のサイズデータを基に副チャンバ３０の容積が制御されるように構成されていることで、種々のサイズのワーク１００に対して、主チャンバ２０と副チャンバ３０とにおけるワーク１００の外側の空間の合計容積が一定になるように副チャンバ３０の容積を容易に調整することができる。

【0036】

容積変更機構４０は、副チャンバ３０内を進退するピストン４３を有する。容積変更機構４０は、ピストン４３を有することで、このピストン４３の突出量を調整することで、当該チャンバ１０全体の容積を容易に制御することができる。より詳しくは、ワーク１００のサイズが大きい場合にはピストン４３の突出量を小さくし、ワーク１００のサイズが小さい場合にはピストン４３の突出量を大きくすることで、主チャンバ２０と副チャンバ３０とにおけるワーク１００の外側の空間の合計容積が一定になるように当該チャンバ１０全体の容積を容易に制御することができる。なお、副チャンバ３０に配置されるピストン４３の個数は、筒状部分３０ａの個数や配置等に基づいて設定され得る。副チャンバ３０に複数のピストン４３が配置されている場合、「ピストンの突出量」とは、ピストン全体の合計突出量を意味する。

【0037】

ピストン４３は、その先端部に筒状部分３０ａの内周面に対して気密に配置される封止部４３ａを有する。封止部４３ａは、例えば板状である。ピストン４３は、封止部４３ａが筒状部分３０ａの内周面に対して気密に配置された状態で、筒状部分３０ａの軸方向に進退する。このように構成されていることで、容積調整用空間Ｓ２の容積を容易かつ確実に調整することができる。

【0038】

容積変更機構４０は、ピストン４３の位置を制御する数値制御アクチュエータ４２ａを有する。数値制御アクチュエータ４２ａは、前述の制御部４２に含まれている。このように、数値制御アクチュエータ４２ａによってピストン４３の位置を制御することで、当該チャンバ１０全体の容積を容易かつ確実に制御することができる。

【0039】

［第二実施形態］
＜リークテスタ＞
図５のリークテスタ６０は、当該チャンバ１０を備える。当該リークテスタ６０における当該チャンバ１０以外の具体的な構成は特に限定されるものではない。当該リークテスタ６０は、例えば当該チャンバ１０と、当該チャンバ１０に形成される収容空間Ｓ１及び容積調整用空間Ｓ２を減圧する第１真空ポンプ６１と、収容空間Ｓ１内に収容されたワーク１００の内部空間をノズル５０を介して減圧する第２真空ポンプ６２と、第２真空ポンプ６２による真空引き後にワーク１００の内部空間にノズル５０を介してトレーサガスを封入するトレーサガス供給部６３と、ワーク１００から漏れ出たトレーサガスを検出するリークディテクタ６４と、ワーク１００のリークテスト後にノズル５０を介してトレーサガスを回収するトレーサガス回収部６５と、ワーク１００のリークテスト後にノズル５０を介してワーク１００内を大気に戻す大気開放部６６とを備える構成とすることができる。

【0040】

当該リークテスタ６０において、第１真空ポンプ６１は、主チャンバ２０と副チャンバ３０とのいずれに連通していてもよく、レイアウトその他の条件に基づいて選択可能である。また、図示していないが、チャンバ内大気戻し部、チャンバ内窒素ガスパージ部等を設ける場合、これらの部材は主チャンバ２０と副チャンバ３０とのいずれに配置してもよい。

【0041】

当該リークテスタ６０において、リークディテクタ６４は、副チャンバ３０に連通していてもよい。より詳しくは、リークディテクタ６４は、副チャンバ３０に設けられている前述の開口３２に連通していてもよい。一方で、リークディテクタ６４は、主チャンバ２０に連通するように設けることも可能である。リークディテクタ６４の連通先は、レイアウトその他の条件に基づいて選択可能である。

【0042】

前記トレーサガスとしては、特に限定されるものではないが、例えば水素、ヘリウム、これらのガスを含む混合ガス等が挙げられる。

【0043】

当該リークテスタ６０は、当該チャンバ１０を備えているので、異なるサイズのワーク１００に対するリークテストの検査条件の管理を容易に行うことができる。

【0044】

また、当該リークテスタ６０は、副チャンバ３０に連通するリークディテクタ６４を備えているので、ワーク１００のサイズにかかわらず、ワーク１００から漏れ出たトレーサガスの流路の容積を一定に制御しやすい。その結果、異なるサイズのワーク１００に対し、検査条件の統一化をより確実に図ることができる。

【0045】

＜リークテスト手順＞
次に、図５のリークテスタ６０を用いたリークテスト方法の一例を説明する。当該リークテスト方法は、ワーク１００のサイズデータを基に副チャンバ３０の容積を制御し（制御工程）、ワーク１００を収容空間Ｓ１内に配置し（配置工程）、ノズル５０をワーク１００の開口１００ａに装着し（装着工程）、チャンバ１０内を真空引きし（第１真空引き工程）、ワーク１００内を真空引きし（第２真空引き工程）、ワーク１００の内部空間にトレーサガスを封入し（封入工程）、リークディテクタ６４でトレーサガスの漏れを検査する（検査工程）。また、当該リークテスト方法は、リークディテクタ６４による検査後に、ワーク１００の内部空間に存在しているトレーサガスを回収し（回収工程）、ワーク１００の内部空間を大気置換し（大気置換工程）、チャンバ１０内を大気に開放し（大気開放工程）、ノズル５０をワーク１００の開口１００ａから離し（ノズル取外し工程）、収容空間Ｓ１からワーク１００を取り出す（取出工程）。

【0046】

（制御工程）
前記制御工程は、前述の容積変更機構４０によって行うことができる。前記制御工程では、ワークのサイズデータを基に、副チャンバ３０の容積を制御する。前記制御工程では、副チャンバ３０内を進退するピストン４３の突出量を制御することで、主チャンバ２０と副チャンバ３０とにおけるワーク１００の外側の空間の合計容積がワーク１００のサイズにかかわらず一定になるように、副チャンバ３０の容積を変更する。前記制御工程では、数値制御アクチュエータ４２ａによってピストン４３の位置を制御することが好ましい。

【0047】

なお、当該リークテスト方法において、前記制御工程は、前記配置工程の後に行うことも可能である。また、前記制御工程は、ワーク１００のサイズを変更する際に行えばよく、同じサイズのワーク１００を連続して検査する際には、省略することが可能である。

【0048】

［第三実施形態］
図６を参照して、図１のチャンバ１０の変形例について説明する。図６のチャンバ７０は、リークテスタ用チャンバである。当該チャンバ７０は、ワーク１００を収容する主チャンバ８０と、主チャンバ８０と連通する副チャンバ３０と、副チャンバ３０の容積を変更する容積変更機構４０と、主チャンバ８０に配置されるノズル５０とを備える。また、当該チャンバ７０は、ワーク１００を主チャンバ８０内に位置決めする位置決め機構９０を備える。位置決め機構９０の一部は、収容空間Ｓ１内に配置されている。

【0049】

容積変更機構４０は、異なるサイズのワーク１００に対して、主チャンバ８０と副チャンバ３０とにおけるワーク１００の外側の空間の合計容積が一定になるように、副チャンバ３０の容積を変更する。なお、当該チャンバ７０は、位置決め機構９０の一部が収容空間Ｓ１内に配置されている。この位置決め機構９０は、収容空間Ｓ１内における体積がワーク１００のサイズに対応して変化し得る。このような場合、「主チャンバと副チャンバとにおけるワークの外側の空間の合計容積が一定になる」とは、ワークを除く主チャンバと副チャンバとの空間容積が一定になることであってもよいが、ワークと主チャンバ内に配置されている位置決め機構とを除く主チャンバと副チャンバとの空間容積が一定になることとすることが好ましい。

【0050】

当該チャンバ７０は、収容空間Ｓ１内に位置決め機構９０が配置されるため、この位置決め機構９０によって収容空間Ｓ１におけるワークの外側の空間の容積が制限される。当該チャンバ７０は、このような構成においても、容積変更用の副チャンバ３０を備えているので、容積変更機構４０によって、主チャンバ８０と副チャンバ３０とにおけるワーク１００の外側の空間の合計容積を一定に制御しやすい。

【0051】

当該チャンバ７０は、位置決め機構９０によってワーク１００を主チャンバ８０内に位置決め可能に構成されていることを除いて、図１のチャンバ１０と同様の構成とすることができる。そのため、以下では、位置決め機構９０、及び位置決め機構９０に関連して定められる主チャンバ８０の構成についてのみ説明する。

【0052】

（主チャンバ）
主チャンバ８０は、ワーク１００の収容空間Ｓ１を形成する凹部８１ａを有する第１部材８１と、凹部８１ａの開放端部を閉塞可能な第２部材８２とを有する。第２部材８２は、主チャンバ８０内に収容空間Ｓ１を画定する蓋本体である。

【0053】

（位置決め機構）
位置決め機構９０は、収容空間Ｓ１内の所望の位置にワーク１００を位置決めする。位置決め機構９０は、凹部８１ａの深さ方向にワーク１００を位置決めする第１位置決め機構９０ａと、凹部８１ａの深さ方向と垂直な方向にワーク１００を位置決めする第２位置決め機構９０ｂとを有する。

【0054】

第１位置決め機構９０ａは、ワーク１００を両側から挟み込み可能なスペーサ板９１及び押圧体９２を有する。また、第１位置決め機構９０ａは、スペーサ板９１と押圧体９２とを接続する接続部９３を有する。スペーサ板９１は、凹部８１ａの底面と対向する側に配置される本体９１ａと、ワーク１００と対向するように本体９１ａに積層される補助部９１ｂとを有する。押圧体９２は、第２部材８２の内面に配置されている。スペーサ板９１は、ワーク１００を挟んで押圧体９２と対向するように、押圧体９２と間隔を空けて配置されている。第１位置決め機構９０ａは、例えばスペーサ板９１が凹部８１ａの底面に支持された状態で、スペーサ板９１と押圧体９２との間にワーク１００を固定するように設けられている。

【0055】

第２位置決め機構９０ｂは、収容空間Ｓ１内に突出し、この突出方向においてワーク１００を所定の位置に支持する第１移動体９４と、第１移動体９４と対向するように収容空間Ｓ１内に突出し、ワーク１００を第１移動体９４側に押圧する第２移動体９５とを有する。第１移動体９４及び第２移動体９５は、凹部８１ａの深さ方向と垂直な方向に突出している。第１移動体９４及び第２移動体９５は、それぞれ第１部材８１を貫通している。第２位置決め機構９０ｂは、例えば第１移動体９４の突出長さが制御された状態で、第１移動体９４との間にワーク１００を挟み込めるように、第２移動体９５を突出させることで、ワーク１００を両側から挟み込むように設けられている。

【0056】

当該チャンバ７０は、位置決め機構９０を備えているので、収容空間Ｓ１内にワーク１００を容易かつ確実に位置決めしつつ、異なるサイズのワーク１００に対するリークテストの検査条件の管理を容易に行うことができる。

【0057】

［その他の実施形態］
前記実施形態は、本発明の構成を限定するものではない。従って、前記実施形態は、本明細書の記載及び技術常識に基づいて前記実施形態各部の構成要素の省略、置換又は追加が可能であり、それらは全て本発明の範囲に属するものと解釈されるべきである。

【0058】

前記主チャンバ及び前記副チャンバの具体的な構成は、前記実施形態に記載された構成に限定されない。例えば前記副チャンバは、前述の筒状部分を有していなくてもよい。

【0059】

前記副チャンバは、前記主チャンバに連通している限り、具体的な配置は特に限定されるものではない。例えば前記副チャンバは、リークディテクタに連通する開口を有しない構成とすることも可能である。但し、前記副チャンバは、前記主チャンバと前記リークディテクタとの間の流路に配置されていることが好ましい。

【0060】

前記実施形態では、前記主チャンバと前記副チャンバとが壁面同士を接するように連結された構成について説明した。当該チャンバは、このように前記主チャンバと前記副チャンバとが連結されていることで、前記主チャンバに設けられる収容空間と前記副チャンバに設けられる容積調整用空間との間の流路を短くすることができ、検査に必要な空間容積を小さくすることができる。その結果、異なるサイズのワークに対して検査条件の管理を容易に行いつつ、真空引き時間を含めた検査時間の短縮や、検査精度の向上等を図りやすい。前記主チャンバと前記副チャンバとが連結されている場合、前記副チャンバは、前記主チャンバと着脱可能に設けられていてもよく、着脱不能に設けられていてもよい。前記副チャンバが前記主チャンバと着脱不能な構成として、例えば前記副チャンバは、前記主チャンバを構成する部材と一体的に設けられていてもよい。

【0061】

一方で、当該チャンバは、前記主チャンバに設けられている第１連通路と前記副チャンバに設けられている第２連通路とが配管等で接続された構成を採用することも可能である。この場合、前記主チャンバと前記副チャンバとが離れて配置された構成とすることもできる。

【0062】

前記容積変更機構の具体的な構成は、前述の実施形態に記載された構成に限定されない。例えば前記容積変更機構は、前記副チャンバの容積を前述のピストンの突出量によって調整するように設けられていなくてもよい。例えば前記副チャンバが、前記主チャンバと連通する１又は複数の室を有しており、前記容積変更機構が、それぞれの室内への流体の浸入を遮断可能なバルブを有する構成を採用することも可能である。前記副チャンバに複数の室が設けられている場合、これらの室は、例えば１つの筐体内に区画されたものであってもよく、別々に設けられたものであってもよい。複数の室が別々に設けられている場合、複数の室を合わせたものが、前記副チャンバとして構成される。このように構成されることで、各室のバルブを開閉することで、前記副チャンバ全体の容積を段階的に変更することができる。それぞれの室は、例えばタンクによって構成されてもよい。また、複数の室の容積は、同じであってもよいが、前記副チャンバの容積を多段かつ緻密に変更しやすい観点から、異なっていることが好ましい。

【0063】

前述のように、前記ピストンの位置は、数値制御アクチュエータによって制御することが好ましい。但し、前記ピストンの位置を制御するための機構は限定されるものではない。

【0064】

当該チャンバは、前述の位置決め機構を有する場合であっても、この位置決め機構の具体的な構成は特に限定されるものではない。

【0065】

当該リークテスタは、ガス以外の流体を用いた装置として構成することも可能である。

【産業上の利用可能性】

【0066】

以上説明したように、本開示の一態様に係るチャンバは、異なるサイズのワークに対してリークテストの検査条件の管理を行うのに適している。

【符号の説明】

【0067】

１０ チャンバ
２０ 主チャンバ
２１ 挿通孔
２２ 第１連通路
３０ 副チャンバ
３０ａ 筒状部分
３１ 第２連通路
３２ 開口
４０ 容積変更機構
４１ 演算部
４２ 制御部
４２ａ 数値制御アクチュエータ
４３ ピストン
４３ａ 封止部
５０ ノズル
６０ リークテスタ
６１ 第１真空ポンプ
６２ 第２真空ポンプ
６３ トレーサガス供給部
６４ リークディテクタ
６５ トレーサガス回収部
６６ 大気開放部
７０ チャンバ
８０ 主チャンバ
８１ 第１部材
８１ａ 凹部
８２ 第２部材
９０ 位置決め機構
９０ａ 第１位置決め機構
９０ｂ 第２位置決め機構
９１ スペーサ板
９１ａ 本体
９１ｂ 補助部
９２ 押圧体
９３ 接続部
９４ 第１移動体
９５ 第２移動体
１００ ワーク
１００ａ 開口
Ｓ１ 収容空間
Ｓ２ 容積調整用空間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】