特開 2024-25523 微細構造形成装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024025523

(43)【公開日】2024-02-26

(54)【発明の名称】微細構造形成装置

(51)【国際特許分類】

   B29C 59/04 20060101AFI20240216BHJP

【ＦＩ】

B29C59/04 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022129032

(22)【出願日】2022-08-12

(71)【出願人】

【識別番号】000002141

【氏名又は名称】住友ベークライト株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100091292

【弁理士】

【氏名又は名称】増田 達哉

(74)【代理人】

【識別番号】100173428

【弁理士】

【氏名又は名称】藤谷 泰之

(74)【代理人】

【識別番号】100091627

【弁理士】

【氏名又は名称】朝比 一夫

(72)【発明者】

【氏名】林 博之

(72)【発明者】

【氏名】齊藤 毅

(72)【発明者】

【氏名】古川 剛

【テーマコード（参考）】

4F209

【Ｆターム（参考）】

4F209AF01

4F209AG01

4F209AG05

4F209PA04

4F209PB02

4F209PN03

4F209PN04

4F209PN06

4F209PQ02

4F209PW43

(57)【要約】

【課題】基材フィルムの長手方向に沿って、優れたパターニング精度で微細構造を連続的に形成することができる微細構造形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明の微細構造形成装置１００は、基材フィルム１０に微細構造を形成する微細構造形成部５０と、微細構造形成部５０に基材フィルム１０を供給しつつ、微細構造が形成された基材フィルム１０を微細構造形成部５０から受け取るフィルム搬送部２０とを備え、微細構造形成部５０は、第１回転ローラ６０と第２回転ローラ７０とを有し、第１回転ローラ６０と第２回転ローラ７０との対向位置７４における、基材フィルム１０の第１回転ローラ６０と第２回転ローラ７０とによる挟持により、基材フィルム１０の表面に微細構造が形成され、その後、対向位置７４の搬送方向の前方に位置する第２回転ローラ７０の前方領域７３において、冷却手段９０により基材フィルム１０が冷却されるよう構成されている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基材フィルムの長手方向に沿って、微細構造を連続的に形成するのに用いられる微細構造形成装置であって、
前記基材フィルムの一方の面に、前記基材フィルムの長手方向に沿って、前記微細構造を連続的に形成する微細構造形成部と、
前記微細構造形成部に前記基材フィルムを搬送方向に沿って連続的に供給しつつ、前記微細構造形成部において、前記微細構造が形成された前記基材フィルムを前記搬送方向に沿って連続的に受取るフィルム搬送部とを備え、
前記フィルム搬送部は、前記搬送方向の前記微細構造形成部よりも上流側に位置し、前記基材フィルムが巻回された第１巻出ローラと、前記搬送方向の前記微細構造形成部よりも下流側に位置し、前記微細構造が形成された前記基材フィルムを巻き取る第１巻取ローラとを備え、前記第１巻出ローラから巻き出された前記基材フィルムが前記微細構造形成部に連続的に供給され、前記微細構造形成部で前記微細構造が形成された前記基材フィルムを前記第１巻取ローラにより巻き取るように構成されており、
前記微細構造形成部は、前記搬送方向において前記第１巻出ローラと前記第１巻取ローラとの間に位置し、前記基材フィルムの他方の面側の長手方向における途中が接触して、掛け回されつつ回転する第１回転ローラと、該第１回転ローラの下流側で前記第１回転ローラに対向配置され、前記基材フィルムの前記一方の面の長手方向における途中が接触して、掛け回されつつ回転する第２回転ローラと、前記第２回転ローラの外周面に設けられ、前記微細構造の形状に対応した凸部を有する金型と、前記第２回転ローラの前記第１回転ローラと対向する対向位置および該対向位置よりも前記第２回転ローラの回転方向に対して後方の後方位置を含む後方領域を加熱する第２加熱手段と、前記対向位置よりも前方の前方位置を含む前方領域を冷却する冷却手段とを備え、前記第１回転ローラと前記第２回転ローラとが前記対向配置された位置において、前記第１回転ローラと前記第２回転ローラとの離間距離が、前記基材フィルムが前記第１回転ローラと前記第２回転ローラとで挟持される大きさに設定され、前記第１回転ローラと前記第２回転ローラとによる前記基材フィルムの挟持により、前記第１回転ローラに設けられた前記金型が前記基材フィルムの前記一方の面に押し当てられ、これにより、前記基材フィルムの前記一方の面に、前記微細構造が形成されるよう構成されていることを特徴とする微細構造形成装置。

【請求項2】

前記第２回転ローラは、中空をなす中空部を備え、
前記第２加熱手段は、前記中空部内に配置され、前記後方領域に対応して設けられた加熱ユニットからなる請求項１に記載の微細構造形成装置。

【請求項3】

前記冷却手段は、前記第２回転ローラの外側に配置され、前記前方領域に対して冷風を吹き付ける冷風供給部を有している請求項１または２に記載の微細構造形成装置。

【請求項4】

前記微細構造形成部は、さらに、前記第１回転ローラを加熱する第１加熱手段を備えている請求項３に記載の微細構造形成装置。

【請求項5】

前記微細構造形成部は、さらに、前記第１回転ローラと前記第２回転ローラとが対向する前記対向位置における、前記第２回転ローラとの前記離間距離を調整する移動手段を前記第１回転ローラに備えている請求項１に記載の微細構造形成装置。

【請求項6】

前記フィルム搬送部は、さらに、前記搬送方向の前記微細構造形成部よりも上流側に位置し、クッションフィルムが巻回された第２巻出ローラと、前記搬送方向の前記微細構造形成部よりも上流側に位置し、前記クッションフィルムを巻き取る第２巻取ローラとを備え、
前記第２巻出ローラから巻き出された前記クッションフィルムが前記第１回転ローラに連続的に供給されるのに先立って、前記クッションフィルムが前記基材フィルムの前記他方の面に重ねわされ、その後、前記クッションフィルムと前記基材フィルムとが重ねわされた第１積層体が前記第１回転ローラと前記第２回転ローラとで挟持された後に、前記第１積層体から剥離された前記クッションフィルムが前記第２巻取ローラにより連続的に巻き取られるよう構成されている請求項１に記載の微細構造形成装置。

【請求項7】

前記フィルム搬送部は、さらに、前記搬送方向の前記微細構造形成部よりも下流側に位置し、保護フィルムが巻回された第３巻出ローラを備え、
前記微細構造形成部で前記微細構造が形成された前記基材フィルムが前記第１巻取ローラにより巻き取られるのに先立って、前記保護フィルムが前記基材フィルムの前記一方の面に重ねわされ、その後、前記保護フィルムと前記基材フィルムとが重ねわされた第２積層体が前記第１巻取ローラにより連続的に巻き取られるよう構成されている請求項１に記載の微細構造形成装置。

【請求項8】

前記基材フィルムは、熱可塑性樹脂を主材料として構成される請求項１に記載の微細構造形成装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、微細構造形成装置に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、表面が平坦面で構成される樹脂フィルムの表面に、その長手方向に沿って、微細構造が連続的に形成された微細構造形成フィルムが提案されている。

【0003】

かかる構成をなす微細構造形成フィルムは、例えば、樹脂フィルムを、加熱ロールとニップロールとで挟持することにより、樹脂フィルムを加熱しつつ、この加熱ロールとニップロールとの挟持の際に、金型が有する凸部の形状を樹脂フィルムの表面に転写させる。これにより、樹脂フィルムの長手方向に沿った微細構造を、溶融状態をなしている樹脂フィルムの表面に形成する。その後、微細構造が形成された、溶融状態をなしている樹脂フィルムを、冷却ロールに接触させて冷却させることにより製造される（例えば、特許文献１参照）。

【0004】

このような微細構造形成フィルムの製造方法では、前述の通り、樹脂フィルムの加熱と樹脂フィルムの表面への微細構造の形成とが同一のロール（加熱ロール）で実施され、微細構造が形成された樹脂フィルムの冷却が異なるロール（冷却ロール）で実施される。したがって、微細構造が形成された樹脂フィルムを、加熱ロールから冷却ロールにまで移送する必要が生じることに起因して、優れたパターニング精度で、樹脂フィルムに微細構造を形成することができないと言う問題があった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１２－２１０７６０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明の目的は、基材フィルムの長手方向に沿って、優れたパターニング精度で微細構造を連続的に形成することができる微細構造形成装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

このような目的は、下記（１）～（８）に記載の本発明により達成される。
（１） 基材フィルムの長手方向に沿って、微細構造を連続的に形成するのに用いられる微細構造形成装置であって、
前記基材フィルムの一方の面に、前記基材フィルムの長手方向に沿って、前記微細構造を連続的に形成する微細構造形成部と、
前記微細構造形成部に前記基材フィルムを搬送方向に沿って連続的に供給しつつ、前記微細構造形成部において、前記微細構造が形成された前記基材フィルムを前記搬送方向に沿って連続的に受取るフィルム搬送部とを備え、
前記フィルム搬送部は、前記搬送方向の前記微細構造形成部よりも上流側に位置し、前記基材フィルムが巻回された第１巻出ローラと、前記搬送方向の前記微細構造形成部よりも下流側に位置し、前記微細構造が形成された前記基材フィルムを巻き取る第１巻取ローラとを備え、前記第１巻出ローラから巻き出された前記基材フィルムが前記微細構造形成部に連続的に供給され、前記微細構造形成部で前記微細構造が形成された前記基材フィルムを前記第１巻取ローラにより巻き取るように構成されており、
前記微細構造形成部は、前記搬送方向において前記第１巻出ローラと前記第１巻取ローラとの間に位置し、前記基材フィルムの他方の面側の長手方向における途中が接触して、掛け回されつつ回転する第１回転ローラと、該第１回転ローラの下流側で前記第１回転ローラに対向配置され、前記基材フィルムの前記一方の面の長手方向における途中が接触して、掛け回されつつ回転する第２回転ローラと、前記第２回転ローラの外周面に設けられ、前記微細構造の形状に対応した凸部を有する金型と、前記第２回転ローラの前記第１回転ローラと対向する対向位置および該対向位置よりも前記第２回転ローラの回転方向に対して後方の後方位置を含む後方領域を加熱する第２加熱手段と、前記対向位置よりも前方の前方位置を含む前方領域を冷却する冷却手段とを備え、前記第１回転ローラと前記第２回転ローラとが前記対向配置された位置において、前記第１回転ローラと前記第２回転ローラとの離間距離が、前記基材フィルムが前記第１回転ローラと前記第２回転ローラとで挟持される大きさに設定され、前記第１回転ローラと前記第２回転ローラとによる前記基材フィルムの挟持により、前記第１回転ローラに設けられた前記金型が前記基材フィルムの前記一方の面に押し当てられ、これにより、前記基材フィルムの前記一方の面に、前記微細構造が形成されるよう構成されていることを特徴とする微細構造形成装置。

【0008】

（２） 前記第２回転ローラは、中空をなす中空部を備え、
前記第２加熱手段は、前記中空部内に配置され、前記後方領域に対応して設けられた加熱ユニットからなる上記（１）に記載の微細構造形成装置。

【0009】

（３） 前記冷却手段は、前記第２回転ローラの外側に配置され、前記前方領域に対して冷風を吹き付ける冷風供給部を有している上記（１）または（２）に記載の微細構造形成装置。

【0010】

（４） 前記微細構造形成部は、さらに、前記第１回転ローラを加熱する第１加熱手段を備えている上記（１）ないし（３）のいずれかに記載の微細構造形成装置。

【0011】

（５） 前記微細構造形成部は、さらに、前記第１回転ローラと前記第２回転ローラとが対向する前記対向位置における、前記第２回転ローラとの前記離間距離を調整する移動手段を前記第１回転ローラに備えている上記（１）ないし（４）のいずれかに記載の微細構造形成装置。

【0012】

（６） 前記フィルム搬送部は、さらに、前記搬送方向の前記微細構造形成部よりも上流側に位置し、クッションフィルムが巻回された第２巻出ローラと、前記搬送方向の前記微細構造形成部よりも上流側に位置し、前記クッションフィルムを巻き取る第２巻取ローラとを備え、
前記第２巻出ローラから巻き出された前記クッションフィルムが前記第１回転ローラに連続的に供給されるのに先立って、前記クッションフィルムが前記基材フィルムの前記他方の面に重ねわされ、その後、前記クッションフィルムと前記基材フィルムとが重ねわされた第１積層体が前記第１回転ローラと前記第２回転ローラとで挟持された後に、前記第１積層体から剥離された前記クッションフィルムが前記第２巻取ローラにより連続的に巻き取られるよう構成されている上記（１）ないし（５）のいずれかに記載の微細構造形成装置。

【0013】

（７） 前記フィルム搬送部は、さらに、前記搬送方向の前記微細構造形成部よりも下流側に位置し、保護フィルムが巻回された第３巻出ローラを備え、
前記微細構造形成部で前記微細構造が形成された前記基材フィルムが前記第１巻取ローラにより巻き取られるのに先立って、前記保護フィルムが前記基材フィルムの前記一方の面に重ねわされ、その後、前記保護フィルムと前記基材フィルムとが重ねわされた第２積層体が前記第１巻取ローラにより連続的に巻き取られるよう構成されている上記（１）ないし（６）のいずれかに記載の微細構造形成装置。

【0014】

（８） 前記基材フィルムは、熱可塑性樹脂を主材料として構成される上記（１）ないし（７）のいずれかに記載の微細構造形成装置。

【発明の効果】

【0015】

本発明によれば、基材フィルムの長手方向に沿って、優れたパターニング精度で微細構造を連続的に形成することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明の微細構造形成装置の第１実施形態の側面図である。

【図2】図１に示す微細構造形成装置が備える第２回転ローラを示す図（（ａ）：側面断面図、（ｂ）：正面断面図）である。

【図3】本発明の微細構造形成装置の第２実施形態の側面図である。

【図4】本発明の微細構造形成装置の第３実施形態の側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、本発明の微細構造形成装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。

【0018】

＜微細構造形成装置＞
本発明の微細構造形成装置１００は、基材フィルム１０の長手方向に沿って、微細構造を連続的に形成して、この微細構造が形成された微細構造形成フィルム１３を得るのに用いられるものである。以下、この微細構造形成装置１００の各実施形態について詳述する。

【0019】

＜＜第１実施形態＞＞
図１は、本発明の微細構造形成装置の第１実施形態の側面図、図２は、図１に示す微細構造形成装置が備える第２回転ローラを示す図（（ａ）：側面断面図、（ｂ）：正面断面図）である。なお、以下では、説明の都合上、図１、図２中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言い、図１、図２（ａ）中の左側を「左」、右側を「右」、図２（ｂ）中の紙面手前側を「左」、紙面奥側を「右」と言う。また、図１、図２（ａ）中において、左側から右側に沿って搬送方向と言い、左側を上流、右側を下流と言う。

【0020】

微細構造形成装置１００は、基材フィルム１０の表面（一方の面）に、基材フィルム１０の長手方向に沿って、微細構造を連続的に形成する微細構造形成部５０と、この微細構造形成部５０に基材フィルム１０を搬送方向に沿って連続的に供給しつつ、微細構造形成部５０において微細構造が形成された基材フィルム１０すなわち微細構造形成フィルム１３を、搬送方向に沿って連続的に受取るフィルム搬送部２０と、を備えている。

【0021】

フィルム搬送部２０は、上記の通り、微細構造形成部５０に基材フィルム１０を搬送方向に沿って連続的に供給しつつ、微細構造形成部５０において、微細構造が形成された基材フィルム１０（微細構造形成フィルム１３）を搬送方向に沿って連続的に受取るものである。

【0022】

このフィルム搬送部２０は、図１に示すように、基材フィルム１０が巻回された第１巻出ローラ２１と、クッションフィルム１１が巻回された第２巻出ローラ２２と、保護フィルム１２が巻回された第３巻出ローラ２３と、微細構造が形成された基材フィルム１０（微細構造形成フィルム１３）と保護フィルム１２とが重ね合わされた第２積層体１６を巻き取る（巻回する）第１巻取ローラ２５と、クッションフィルム１１を巻き取る第２巻取ローラ２６と、第１巻出ローラ２１と第１巻取ローラ２５との間に配置されたテンショナ（テンションローラ）３１～３７と、第２巻出ローラ２２と第２巻取ローラ２６との間に配置されたテンショナ４１～４５と、第３巻出ローラ２３と第１巻取ローラ２５との間に配置されたテンショナ４６、４７とを有している。

【0023】

なお、各ローラは、それぞれ、例えば、ステンレス鋼等のような金属材料で構成されている。また、これらのローラは、回動軸（中心軸）同士が同じ方向を向いており、互いに離間して配置されている。さらに、各ローラは、例えば微細構造形成装置１００全体を支持するフレーム（図示せず）に回動可能に支持されている。

【0024】

第１巻出ローラ２１は、外形形状が円柱状をなし、基材フィルム１０の搬送方向の上流側（左側）に位置して、表面（一方の面）と裏面（他方の面）とが平坦面で構成された基材フィルム１０がロール状に巻回されており、この基材フィルム１０を搬送方向の下流側に送出すローラである。

【0025】

また、第２巻出ローラ２２は、外形形状が円柱状をなし、基材フィルム１０の搬送方向の上流側で、第１巻出ローラ２１よりも上側に位置して、クッションフィルム１１がロール状に巻回されており、このクッションフィルム１１を搬送方向の下流側に送出すローラである。

【0026】

テンショナ３１～３３、４１～４３は、それぞれ、外形形状が円柱状をなしている。また、これらのうち、テンショナ３１、３２は、基材フィルム１０の長手方向の途中が接触して、掛け回されつつ回転するローラである。これにより、基材フィルム１０に張力を掛けつつ、搬送方向を変更して搬送することができる。また、テンショナ４１～４３は、クッションフィルム１１の長手方向の途中が接触して、掛け回されつつ回転するローラである。これにより、クッションフィルム１１に張力を掛けつつ、搬送方向を変更して搬送することができる。さらに、テンショナ３３は、基材フィルム１０の長手方向の途中と、クッションフィルム１１の長手方向の途中との双方が、クッションフィルム１１をテンショナ３３側として積層するように、接触して掛け回されつつ回転するローラである。これにより、基材フィルム１０とクッションフィルム１１とが重ね合わされることで形成された第１積層体１５とした状態で、基材フィルム１０に張力を掛けつつ、搬送方向を変更して搬送して、この第１積層体１５（基材フィルム１０）を、後述する微細構造形成部５０に供給することができる。

【0027】

この第１積層体１５では、基材フィルム１０は、その裏面がクッションフィルム１１により被覆されており、これにより、微細構造形成部５０に供給された際に、基材フィルム１０の表面が微細構造形成部５０において露出するようになっている。また、第１積層体１５は、微細構造形成部５０が備える第１回転ローラ６０に、クッションフィルム１１が接触するようにして、微細構造形成部５０に供給されるようになっている。

【0028】

また、第２巻取ローラ２６は、外形形状が円柱状をなし、第２巻出ローラ２２と微細構造形成部５０との間、すなわち微細構造形成部５０の上流側で、第２巻出ローラ２２よりも上側に位置して、微細構造形成部５０から送り出された第１積層体１５からクッションフィルム１１を選択的に剥離させた後に、このクッションフィルム１１を巻き取るローラである。この第２巻取ローラ２６にモータ（図示せず）が接続されており、このモータの作動により、クッションフィルム１１が搬送される。また、モータに印加する電圧の大きさを変更することにより、クッションフィルム１１の搬送速度を変更することができる。

【0029】

テンショナ４４、４５は、それぞれ、外形形状が円柱状をなしており、第１積層体１５から剥離されたクッションフィルム１１の長手方向の途中が接触して、掛け回されつつ回転するローラである。これにより、クッションフィルム１１に張力を掛けつつ、搬送方向を変更して搬送することができる。

【0030】

さらに、第３巻出ローラ２３は、外形形状が円柱状をなし、微細構造形成部５０の搬送方向の下流側における、微細構造形成部５０と第１巻取ローラ２５との間で、第１巻取ローラ２５よりも下側に位置して、保護フィルム１２がロール状に巻回されており、この保護フィルム１２を搬送方向に送出すローラである。

【0031】

また、第１巻取ローラ２５は、外形形状が円柱状をなし、基材フィルム１０の搬送方向の最下流側（右側）に位置して、微細構造形成部５０から送り出された、微細構造が形成された基材フィルム１０（微細構造形成フィルム１３）を、このものに保護フィルム１２が重ね合わされた第２積層体１６として巻き取るローラである。この第１巻取ローラ２５にモータ（図示せず）が接続されており、このモータの作動により、第２積層体１６すなわち微細構造形成フィルム１３が搬送される。また、モータに印加する電圧の大きさを変更することにより、微細構造形成フィルム１３の搬送速度を変更することができる。

【0032】

テンショナ３４～３６、４６～４７は、それぞれ、外形形状が円柱状をなしている。また、これらのうち、テンショナ４６、４７は、保護フィルム１２の長手方向の途中が接触して、掛け回されつつ回転するローラである。これにより、保護フィルム１２に張力を掛けつつ、搬送方向を変更して搬送することができる。さらに、テンショナ３４は、微細構造形成部５０から送り出された微細構造形成フィルム１３の長手方向の途中と、保護フィルム１２の長手方向の途中との双方が、保護フィルム１２をテンショナ３４側として積層するように、接触して掛け回されつつ回転するローラである。これにより、微細構造形成フィルム１３と保護フィルム１２とが重ね合わされることで形成された第２積層体１６を形成した状態で、微細構造形成フィルム１３に張力を掛けつつ、搬送方向を変更して搬送することができる。すなわち、第１巻取ローラ２５に微細構造形成フィルム１３が巻き取られるのに先立って、この微細構造形成フィルム１３は、保護フィルム１２が重ね合わされた第２積層体１６とされる。

【0033】

また、テンショナ３５、３６は、微細構造形成フィルム１３と保護フィルム１２とが重ね合わされた第２積層体１６の長手方向の途中が接触して、掛け回されつつ回転するローラである。これにより、第２積層体１６とした状態で微細構造形成フィルム１３に張力を掛けつつ、搬送方向を変更して搬送して、この第２積層体１６（微細構造形成フィルム１３）を、第１巻取ローラ２５で連続的に巻き取ることができる。

【0034】

この第２積層体１６では、微細構造形成フィルム１３は、その表面すなわち微細構造が形成されている面が保護フィルム１２により被覆されており、これにより、第１巻取ローラ２５で巻き取られる際に、微細構造が形成された表面を保護フィルム１２で保護することができる。

【0035】

なお、巻出ローラ２１～２３のうちの少なくとも１つには、モータが接続されていてもよい。これにより、モータの作動時において印加する電圧の大きさを変更することで、各フィルム１０～１２の搬送速度を変更して、各フィルム１０～１２に掛かる張力の大きさを調整することができる。

【0036】

また、テンショナ３２、３５、４２、４４、４７のうちの少なくとも１つには、モータが接続されていてもよい。これにより、モータの作動時において印加する電圧の大きさを変更することで、各フィルム１０～１２および第２積層体１６に掛かる張力の大きさを調整することができる。

【0037】

さらに、テンショナ３１、３２、３５、３６、４１～４７のうちの少なくとも１つは、巻出ローラ２１～２３および巻取ローラ２５、２６が配置される位置によっては、その配置が省略されていてもよい。

【0038】

微細構造形成部５０は、搬送方向において、第１巻出ローラ２１と第１巻取ローラ２５との間に位置して、フィルム搬送部２０から基材フィルム１０を第１積層体１５とされた状態で上流側から受け取った後に、基材フィルム１０の表面に、基材フィルム１０の長手方向に沿って、微細構造を連続的に形成し、その後、この微細構造が形成された基材フィルム１０（微細構造形成フィルム１３）を、フィルム搬送部２０の下流側に送り出すものである。

【0039】

この微細構造形成部５０は、図１、図２に示すように、第１積層体１５（基材フィルム１０）の裏面側の長手方向における途中が接触して、掛け回されつつ回転する第１回転ローラ６０と、第１回転ローラ６０の下流側で第１回転ローラ６０に対向配置され、第１積層体１５（基材フィルム１０）の表面の長手方向における途中が接触して、掛け回されつつ回転する第２回転ローラ７０と、第２回転ローラ７０の外周面に設けられ、微細構造の形状に対応した凸部を有する金型８９と、第２回転ローラ７０の第１回転ローラ６０と対向する対向位置７４およびこの対向位置７４よりも第２回転ローラ７０の回転方向に対して後方の後方位置を含む後方領域７２を加熱する第２加熱手段８０と、対向位置７４よりも前方の前方位置を含む前方領域７３を冷却する冷却手段９０と、対向位置７４における第１回転ローラ６０の第２回転ローラ７０に対する離間距離を調整するエアーシリンダ６５と、第２回転ローラ７０の下流側で第２回転ローラ７０に対向配置され、微細構造が形成された基材フィルム１０（微細構造形成フィルム１３）の裏面の長手方向における途中が接触して、掛け回されつつ回転する離型角調整ローラ９５とを有している。

【0040】

なお、微細構造形成部５０が備える各ローラは、それぞれ、例えば、ステンレス鋼等のような金属材料で構成されている。また、これらのローラは、回動軸（中心軸）同士が同じ方向を向いており、互いに離間して配置されている。さらに、各ローラは、例えば微細構造形成装置１００全体を支持するフレーム（図示せず）に回動可能に支持されている。

【0041】

第１回転ローラ６０は、第１巻出ローラ２１と第１巻取ローラ２５との間、より詳しくは、テンショナ３３とテンショナ４４との間において、搬送方向における第２回転ローラ７０の上流側に配置されて、第１積層体１５とされた基材フィルム１０の裏面側の長手方向における途中が接触して、掛け回されつつ回転するローラである。

【0042】

そして、第１回転ローラ６０は、その内部に第１回転ローラ６０を加熱する第１加熱手段（図示せず）を備えており、この第１加熱手段の作動により、第１回転ローラ６０に、基材フィルム１０を加熱する加熱ローラとしての機能を発揮させることができる。これにより、第１回転ローラ６０による加熱により、溶融状態とされた基材フィルム１０を、第１回転ローラ６０よりも下流側に位置する第２回転ローラ７０に供給することができる。また、第１回転ローラ６０と第２回転ローラ７０とは、回転の位相角度にずれが生じないよう、電気的、機械的に完全に同調がとれる構造となっている。なお、電気的に同調をとる構造とする場合、回転ローラ６０、７０の少なくとも１つには、モータが接続されていることが好ましい。

【0043】

この第１回転ローラ６０は、外形形状が円柱状をなしている。これにより、第１回転ローラ６０に掛け回された基材フィルム１０を、その裏面側から均一に加熱することができる。

【0044】

エアーシリンダ６５は、第１回転ローラ６０に対して、第２回転ローラ７０と反対側（下側）に位置して、第１回転ローラ６０を回動可能に支持するとともに、その作動により、第２回転ローラ７０と第１回転ローラ６０とが対向する対向位置７４における、第１回転ローラ６０の第２回転ローラ７０に対する離間距離を調整し得るように、第１回転ローラ６０を移動させる移動手段を構成している。これにより、エアーシリンダ６５を作動させることで、第２回転ローラ７０に対して第１回転ローラ６０を移動させることが可能となる。そのため、第１回転ローラ６０と第２回転ローラ７０との離間距離を所望の大きさに設定することができる。

【0045】

したがって、この離間距離を、第１回転ローラ６０と第２回転ローラ７０とで、これら回転ローラ６０、７０同士の間に位置する第１積層体１５を挟持し得る程度の大きさに設定することで、回転ローラ６０、７０同士で第１積層体１５を圧縮し得る。そのため、第２回転ローラ７０の外周面に設けられた金型８９が有する凸部の形状を、基材フィルム１０の表面に転写させることができる。すなわち、第１積層体１５を圧縮することで、金型８９が有する凸部の形状に、基材フィルム１０の表面を追従させる圧縮ローラ（ニップロール）としての機能を第１回転ローラ６０に発揮させることができる。

【0046】

第２回転ローラ７０は、第１巻出ローラ２１と第１巻取ローラ２５との間、より詳しくは、テンショナ３３とテンショナ３４との間において、搬送方向における第１回転ローラ６０の下流側で第１回転ローラ６０に対向配置されて、第１回転ローラ６０から供給（搬送）された第１積層体１５（基材フィルム１０）の表面の長手方向における途中が接触して、掛け回されつつ回転するローラである。

【0047】

そして、第２回転ローラ７０には、その内部に第２回転ローラ７０を加熱する第２加熱手段８０が設けられている。

【0048】

この第２加熱手段８０は、第２回転ローラ７０の中空部７１において、第２回転ローラ７０の第１回転ローラ６０と対向する対向位置７４およびこの対向位置７４よりも第２回転ローラ７０の回転方向に対して後方の後方位置を含む後方領域７２に対応して設けられ、この後方領域７２に位置する第２回転ローラ７０の外周部を選択的に加熱するように構成されている。これにより、この第２加熱手段８０の作動により、後方領域７２において基材フィルム１０を加熱する加熱ローラとしての機能を、第２回転ローラ７０に発揮させることができる。したがって、第２回転ローラ７０による後方領域７２における加熱により、第１回転ローラ６０から供給された、溶融状態とされた基材フィルム１０を、より確実に溶融状態が維持されたものとし得る。

【0049】

この第２回転ローラ７０は、その内側に中空をなす中空部７１を備え、外形形状が円柱状をなしている。このように全体形状が円柱状をなすことにより、第２回転ローラ７０に掛け回された基材フィルム１０を、その表面側から均一に加熱することができる。

【0050】

また、第２加熱手段８０は、中空部７１内に配置され、後方領域７２に対応して設けられた加熱ユニットからなり、後方領域７２の形状に対応して設けられた、電熱線および電磁誘導加熱コイルや、液体もしくは気体を収納した伝熱バック等で構成される加熱ブロックを有することで、後方領域７２を選択的に加熱することができる。

【0051】

かかる構成をなす第２回転ローラ７０には、その外周面に、第２回転ローラ７０の回転方向に沿って連続的に形成された凸部を有する金型８９が設けられている。この金型８９において、凸部は、基材フィルム１０に形成すべき微細構造の形状に対して、基材フィルム１０の厚さ方向において対称をなす形状を有している。したがって、金型８９は、基材フィルム１０に微細構造を形成するための凸部を備えるエンドレスベルトとして第２回転ローラ７０に設けられる。また、前述の通り、第１回転ローラ６０と第２回転ローラ７０とが対向する対向位置７４において、これら同士の離間距離は、第１回転ローラ６０と第２回転ローラ７０とで、第１積層体１５を挟持して圧縮し得る程度の大きさに設定されている。したがって、第１回転ローラ６０および第２回転ローラ７０の回転により、第１積層体１５において溶融状態とされた基材フィルム１０を、対向位置７４に送り出す（供給）することで、金型８９が有する凸部の形状を、基材フィルム１０の表面に、かかる形状に対応した凹部として、転写させることができる。すなわち、対向位置７４において、基材フィルム１０の表面に、金型８９が有する凸部の形状に対応した凹部で構成された微細構造を形成することができる。

【0052】

なお、金型８９が有する凸部は、上記の通り、微細構造の形状に対して基材フィルム１０の厚さ方向において対称をなし、形成すべき微細構造の形状に対応して任意の形状を有するものであり、具体的には、第２回転ローラ７０の外周方向に沿って、直線状、蛇行状あるいは島状をなすもの等のいずれであってもよい。また、直線状、蛇行状あるいは島状をなす凸部は、第２回転ローラ７０の外周方向に沿って１つ設けられたものであってもよいし、かかる構成をなす１つの凸部が、第２回転ローラ７０の幅方向に沿って複数並んで設けられたものであってもよい。さらに、このような凸部は、第２回転ローラ７０の外周方向に沿った任意の位置で、その厚さがほぼ一致するものであってもよいし、異なるものであってもよい。

【0053】

また、この金型８９は、第２回転ローラ７０の外周に固定されているもの、または、例えば、金型８９を肉薄スリーブ、第２回転ローラ７０をジャケットロールで構成し、ジャケットロールに対するエアーの供給・非供給により、金型８９を第２回転ローラ７０からの着脱を選択可能なものとした場合のように、着脱自在に設けられているもののいずれであってもよい。

【0054】

さらに、第２回転ローラ７０の外側には、第２回転ローラ７０を冷却する冷却手段９０が設けられている。この冷却手段９０は、対向位置７４よりも前方の前方位置を含む前方領域７３に対応して設けられ、この前方領域７３に位置する第２回転ローラ７０の外周部を選択的に冷却するように構成されている。これにより、第１回転ローラ６０と第２回転ローラ７０とが対向する対向位置７４において、金型８９が備える凸部の形状が転写された基材フィルム１０、すなわち、溶融状態とされた基材フィルム１０の表面に微細構造が形成された基材フィルム１０（微細構造形成フィルム１３）を冷却することができる。

【0055】

この冷却手段９０は、第２回転ローラ７０の外側に配置され、前方領域７３に対応して設けられた冷風供給部９１を有している。この冷風供給部９１は、微細構造形成装置１００全体を支持する前記フレームに支持、固定されている。そして、冷風供給部９１は、冷風供給部９１内において空気を冷却することで生成された冷風が、図示しない複数の冷風供給孔を介して、前方領域７３に第２回転ローラ７０により搬送された、微細構造形成フィルム１３に対して吹き付けられる。これにより、溶融状態とされた基材フィルム１０（微細構造形成フィルム１３）を、その表面に微細構造が形成された状態で冷却して、基材フィルム１０を固化させることができる。

【0056】

離型角調整ローラ９５は、第２回転ローラ７０とテンショナ３４との間、すなわち、搬送方向における第２回転ローラ７０の下流側で第２回転ローラ７０に対向配置されて、第２回転ローラ７０に掛け回された状態で冷却手段９０により冷却された微細構造形成フィルム１３の長手方向における途中が接触して、掛け回されつつ回転するローラである。

【0057】

そして、離型角調整ローラ９５は、第２回転ローラ７０とテンショナ３４との間において、図示しない移動手段の作動により、搬送方向に沿って移動可能となっている。これにより、微細構造形成フィルム１３の途中が第２回転ローラ７０に接触する接触角度（離型角度）を所望の角度に設定することができる。そのため、微細構造形成フィルム１３の第２回転ローラ７０からの剥離、すなわち、微細構造形成フィルム１３の金型８９からの剥離を円滑に行うことができる。

【0058】

以上のような微細構造形成装置１００を用いて、基材フィルム１０の長手方向に沿って、微細構造が連続的に形成された基材フィルム１０（微細構造形成フィルム１３）を得ることができる。

【0059】

以下、微細構造形成装置１００を用いて、微細構造形成フィルム１３を連続的に得る方法、すなわち、基材フィルム１０に対する微細構造の形成方法について、順次説明する。

【0060】

（微細構造形成装置を用いた基材フィルムに対する微細構造の形成方法）
この微細構造形成装置１００を用いた基材フィルム１０に対する微細構造の形成方法は、本実施形態では、基材フィルム１０とクッションフィルム１１とが重ね合わされた第１積層体１５を得た後、この第１積層体１５を微細構造形成部５０に供給する第１工程と、微細構造形成部５０において、第１積層体１５が備える基材フィルム１０の表面に微細構造を形成して微細構造形成フィルム１３を得た後に、第１積層体１５からクッションフィルム１１を剥離させることで、クッションフィルム１１が剥離された状態の微細構造形成フィルム１３を得る第２工程と、微細構造形成フィルム１３に保護フィルム１２が重ね合わされた第２積層体１６を得た後、この第２積層体１６を第１巻取ローラ２５で巻き取る第３工程とを有する。

【0061】

以下、微細構造形成装置１００を用いた基材フィルム１０に対する微細構造の形成方法の各工程について、順次、説明する。

【0062】

（第１工程）
まず、基材フィルム１０とクッションフィルム１１とから、これら同士が重ね合わされた第１積層体１５を得た後、この第１積層体１５を微細構造形成部５０に供給する。

【0063】

（１Ａ－１）まず、基材フィルム１０が予め巻回された第１巻出ローラ２１、クッションフィルム１１が予め巻回された第２巻出ローラ２２、および、保護フィルム１２が予め巻回された第３巻出ローラ２３を用意する。

【0064】

これらのうち、第１巻出ローラ２１に巻回される基材フィルム１０としては、微細構造形成部５０において、加熱により溶融状態として金型８９が有する凸部を転写し得るもの、すなわち、熱可塑性樹脂を主材料として構成されるものが用いられる。

【0065】

また、熱可塑性樹脂としては、特に限定されないが、例えば、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、アクリル系樹脂、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレンのような直鎖オレフィン系樹脂、シクロオレフィン共重合体のようなシクロオレフィン系樹脂、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルスルホン、ポリスルホン等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができるが、中でも、シクロオレフィン共重合体であることが好ましい。これにより、基材フィルム１０（微細構造形成フィルム１３）において、金型８９が有する凸部が優れた精度で転写された微細構造を得ることができるとともに、転写された微細構造を長期に亘って強固に維持し得るものとすることができる。

【0066】

そして、第１巻出ローラ２１から、基材フィルム１０を、その巻出し方向に沿ってテンショナ３１～３３、第１回転ローラ６０、第２回転ローラ７０、離型角調整ローラ９５、テンショナ３４～３７にその途中が接触するように巻出し、その先端を第１巻取ローラ２５に装着する。

【0067】

また、第２巻出ローラ２２から、クッションフィルム１１を、その巻出し方向に沿ってテンショナ４１～４３、３３、第１回転ローラ６０、テンショナ４４、４５にその途中が接触するように巻出し、その先端を第２巻取ローラ２６に装着する。

【0068】

なお、このとき、テンショナ３３、第１回転ローラ６０では、クッションフィルム１１を各ローラ側として、クッションフィルム１１と基材フィルム１０とが重ね合わされた第１積層体１５として、クッションフィルム１１および基材フィルム１０の途中が、テンショナ３３および第１回転ローラ６０に接触する。

【0069】

さらに、第３巻出ローラ２３から、保護フィルム１２を、その巻出し方向に沿ってテンショナ４６～４７、３４～３７にその途中が接触するように巻出し、その先端を第１巻取ローラ２５に装着する。

【0070】

なお、このとき、テンショナ３４～３７では、保護フィルム１２をテンショナ３４、３６側として、保護フィルム１２と基材フィルム１０とが重ね合わされた第２積層体１６として、保護フィルム１２および基材フィルム１０の途中がテンショナ３４～３７に接触する。

【0071】

以上のようにして、各巻出ローラ２１～２３に巻回された各フィルム１０～１２の先端の各巻取ローラ２５、２６に対する装着により、微細構造形成装置１００が備える各モータを作動させる前における準備が完了する。

【0072】

（１Ａ－２）次いで、微細構造形成装置１００が備える各モータの作動により、各巻出ローラ２１～２３に巻回された各フィルム１０～１２を、各巻出ローラ２１～２３から巻取ローラ２５、２６側に、すなわち、各フィルム１０～１２を搬送方向に沿って下流側に送り出す。

【0073】

これにより、各フィルム１０～１２のうち、基材フィルム１０およびクッションフィルム１１は、それぞれ、テンショナ３１、３２およびテンショナ４１～４３に掛け回されて搬送方向に搬送された後に、テンショナ３３において、クッションフィルム１１をテンショナ３３側として重ね合わされることで第１積層体１５とされる。すなわち、微細構造形成部５０に基材フィルム１０が供給されるのに先立って、この基材フィルム１０は、クッションフィルム１１が重ね合わされた第１積層体１５とされる。その後、この第１積層体１５を形成した状態で、テンショナ３３から微細構造形成部５０に供給される。より具体的には、基材フィルム１０とクッションフィルム１１とが重ね合わされた第１積層体１５は、クッションフィルム１１をテンショナ３３側として、テンショナ３３から搬送方向に沿って、微細構造形成部５０が有する第１回転ローラ６０に供給される。

【0074】

このような工程（１Ａ－１）、工程（１Ａ－２）を経ることで、第１積層体１５が微細構造形成部５０に搬送・供給される。

【0075】

（第２工程）
次に、微細構造形成部５０において、第１積層体１５が備える基材フィルム１０の表面に微細構造を形成して微細構造形成フィルム１３を得た後に、第１積層体１５からクッションフィルム１１を剥離させることで、クッションフィルム１１が剥離された状態の微細構造形成フィルム１３を得る。

【0076】

（２Ａ－１）まず、おいて、テンショナ３３側から搬送方向に沿って微細構造形成部５０に供給された、第１積層体１５の状態とされた基材フィルム１０の途中を、クッションフィルム１１を第１回転ローラ６０側として、第１回転ローラ６０に接触させつつ、掛け回す。

【0077】

これにより、第１回転ローラ６０が回転することで、第１積層体１５を、第１回転ローラ６０と第２回転ローラ７０とが対向する対向位置７４にまで供給することができる。

【0078】

このとき、テンショナ３３側から第１回転ローラ６０に供給された第１積層体１５（基材フィルム１０）は、その途中が、対向位置７４と第１回転ローラ６０の中心軸とを通る直線の第１回転ローラ６０の外周面に対する交点から対向位置７４までの第１回転ローラ６０を１８０°回転させるまでの間において当接することとなる。また、第１回転ローラ６０は、その内部に第１加熱手段を備え、第１積層体１５（基材フィルム１０）を加熱する加熱ローラとしての機能を有している。そのため、第１加熱手段を作動させることで、第１回転ローラ６０を１８０°回転させるまでの間において、第１積層体１５を加熱し得ることから、第１積層体１５が備える基材フィルム１０を、確実に溶融状態とすることができる。

【0079】

なお、第１回転ローラ６０と第２回転ローラ７０とが対向する対向位置７４に第１積層体１５が供給される際には、エアーシリンダ６５の作動により、対向位置７４における第１回転ローラ６０と第２回転ローラ７０との離間距離が、第１回転ローラ６０と第２回転ローラ７０とで、これら回転ローラ６０、７０同士の間に位置する第１積層体１５を挟持し得る程度の大きさに予め設定されている。

【0080】

（２Ａ－２）次いで、第１回転ローラ６０の回転により搬送方向に沿って対向位置７４にまで供給された第１積層体１５を、この対向位置７４において、第１回転ローラ６０と第２回転ローラ７０とで挟持する。

【0081】

このとき、第２回転ローラ７０の外周面には、凸部を有する金型８９が設けられている。そして、第１積層体１５は、クッションフィルム１１を第１回転ローラ６０側としていることから、基材フィルム１０の表面を第２回転ローラ７０側として、第１回転ローラ６０の回転により対向位置７４にまで供給される。また、第１積層体１５の第１回転ローラ６０による加熱により、第１積層体１５において、基材フィルム１０は、溶融状態とされて対向位置７４に供給される。

【0082】

したがって、対向位置７４における、第１回転ローラ６０と第２回転ローラ７０とによる第１積層体１５の挟持により、回転ローラ６０、７０同士で第１積層体１５が圧縮される。したがって、金型８９が有する凸部が基材フィルム１０の表面に押し当てられることに起因して、金型８９が有する凸部の形状が、溶融状態とされた基材フィルム１０の表面に転写されることとなる。すなわち、溶融状態とされた基材フィルム１０の表面に、微細構造が形成された微細構造形成フィルム１３が得られることとなる。

【0083】

また、このとき、第２回転ローラ７０は、その中空部７１において、後方領域７２に位置する第２回転ローラ７０の外周部を選択的に加熱する第２加熱手段８０を有している。したがって、第２回転ローラ７０の外周部による後方領域７２における加熱により、この外周部に設けられた金型８９を加熱することができる。そのため、対向位置７４において、第１回転ローラ６０から供給された、溶融状態とされた基材フィルム１０を、より確実に溶融状態が維持されたものとし得る。よって、基材フィルム１０の表面に、優れた精度で微細構造を形成することができる。

【0084】

（２Ａ－３）次いで、対向位置７４において得られた、微細構造が形成された基材フィルム１０（微細構造形成フィルム１３）から、対向位置７４の搬送方向における前方において、クッションフィルム１１を剥離させる。すなわち、第１積層体１５から、クッションフィルム１１を剥離させる。

【0085】

このクッションフィルム１１の第１積層体１５からの剥離は、クッションフィルム１１を、テンショナ４４、４５に掛け回して搬送方向に搬送した後に、第２巻取ローラ２６で連続的に巻き取ることで実施される。

【0086】

このとき、クッションフィルム１１が剥離された基材フィルム１０は、その途中が第２回転ローラ７０、テンショナ３４～３７に掛け回されて、第１巻取ローラ２５に巻き取られることから、微細構造が形成された表面を第２回転ローラ７０側とした状態、すなわち金型８９の凸部が微細構造に対して噛み込んだ状態で、第２回転ローラ７０に接触して、搬送方向に沿って搬送される。

【0087】

（２Ａ－４）次いで、第２回転ローラ７０の回転による搬送方向に沿った第２回転ローラ７０における、微細構造が形成された基材フィルム１０（微細構造形成フィルム１３）の搬送の後に、微細構造形成フィルム１３を第２回転ローラ７０から剥離させる。

【0088】

この微細構造形成フィルム１３の第２回転ローラ７０における搬送の際に、対向位置７４よりも前方の前方位置を含む前方領域７３に対応して冷却手段９０が形成されている。そのため、この冷却手段９０の作動により、前方領域７３に位置する微細構造形成フィルム１３に冷風を吹き付けることで、微細構造形成フィルム１３を、その表面に微細構造が形成された状態で冷却して固化させることができる。

【0089】

また、微細構造形成フィルム１３の第２回転ローラ７０からの剥離の際には、搬送方向における第２回転ローラ７０の下流側で、離型角調整ローラ９５が第２回転ローラ７０に対向配置されている。このとき、離型角調整ローラ９５は、微細構造形成フィルム１３の第２回転ローラ７０からの剥離が円滑に行え得るように、微細構造形成フィルム１３と第２回転ローラ７０とがなす角度（剥離角度）が適切な範囲内となる所定の位置（配置位置）に、第２回転ローラ７０に対応して配置されている。そのため、微細構造形成フィルム１３の第２回転ローラ７０からの剥離、すなわち、微細構造形成フィルム１３の金型８９からの剥離を円滑に行うことができる。

【0090】

ここで、第１回転ローラ６０から第２回転ローラ７０に対向位置７４の近傍において供給された基材フィルム１０（微細構造形成フィルム１３）は、その途中の表面側が、対向位置７４から、対向位置７４と第２回転ローラ７０の中心軸とを通る直線の第２回転ローラ７０の外周面に対する交点の近傍までの第２回転ローラ７０を１８０°回転させるまでの間において当接する。これに対して、前述の通り、テンショナ３３側から第１回転ローラ６０に供給された第１積層体１５（基材フィルム１０）は、その途中の裏面が、対向位置７４と第１回転ローラ６０の中心軸とを通る直線の第１回転ローラ６０の外周面に対する交点から対向位置７４までの第１回転ローラ６０を１８０°回転させるまでの間において当接する。そのため、第１回転ローラ６０から第２回転ローラ７０までの基材フィルム１０の搬送において、基材フィルム１０はＳ字状をなして搬送される。このＳ字状をなす基材フィルム１０の搬送において、対向位置７４に対して溶融状態とされて供給された基材フィルム１０は、この対向位置７４で、第２回転ローラ７０に設けられた金型８９を用いて、その表面に微細構造が形成され、その後、対向位置７４の搬送方向の前方に位置する前方領域７３において、冷却手段９０により吹き付けられた冷風により固化される。このように、本発明では、溶融状態とされた基材フィルム１０への微細構造の形成から、微細構造が形成された基材フィルム１０（微細構造形成フィルム１３）の固化（冷却）までを、１つのローラ（第２回転ローラ７０）において実施している。そのため、基材フィルム１０に対する微細構造の形成を、優れたパターニング精度で実施することができる。

【0091】

このような工程（２Ａ－１）～工程（２Ａ－４）を経ることで、微細構造形成部５０において、クッションフィルム１１が剥離された状態をなす微細構造形成フィルム１３を得ることができる。

【0092】

（第３工程）
次に、微細構造形成フィルム１３に保護フィルム１２が重ね合わされた第２積層体１６を得た後、この第２積層体１６を第１巻取ローラ２５で巻き取る。

【0093】

（３Ａ－１）まず、微細構造形成部５０において得られた、微細構造が形成された基材フィルム１０（微細構造形成フィルム１３）をテンショナ３４に搬送方向に沿って搬送するとともに、第３巻出ローラ２３から送り出した保護フィルム１２を、テンショナ４６、４７に掛け回して搬送方向に搬送した後に、テンショナ３４において、保護フィルム１２をテンショナ３４側として重ね合わされることで第２積層体１６とする。

【0094】

このとき、微細構造形成フィルム１３は、微細構造が形成された表面がテンショナ３４側を臨んでいる。そのため、保護フィルム１２をテンショナ３４側として、テンショナ３４において、微細構造形成フィルム１３と保護フィルム１２とを重ね合わせることで、微細構造形成フィルム１３の表面を保護フィルム１２で被覆することができる。したがって、第２積層体１６において、微細構造形成フィルム１３の表面の微細構造を保護フィルム１２で確実に保護することができる。

【0095】

（３Ａ－２）次いで、微細構造形成フィルム１３を、保護フィルム１２との第２積層体１６とした状態で、テンショナ３５～３７に掛け回して搬送方向に搬送した後に、第１巻取ローラ２５で巻き取る。

【0096】

このような工程（３Ａ－１）、工程（３Ａ－２）を経ることで、微細構造が形成された基材フィルム１０（微細構造形成フィルム１３）を、保護フィルム１２により保護された第２積層体１６として、第１巻取ローラ２５で巻き取られた状態で得ることができる。

【0097】

以上のような、微細構造形成装置１００を用いた、第１工程～第３工程を、第１巻出ローラ２１に巻回された基材フィルム１０の先端から基端まで実施することで、微細構造が形成された基材フィルム１０（微細構造形成フィルム１３）を、その表面の長手方向に沿って、この微細構造が優れたパターニング精度で連続的に形成されたものとして得ることができる。

【0098】

なお、本実施形態では、第１回転ローラ６０は、その内部に第１加熱手段を備えるものとして説明したが、第２回転ローラ７０が備える第２加熱手段８０による第２回転ローラ７０の外周部ひいては金型８９の加熱により、基材フィルム１０を溶融状態として、その表面に金型の凸部の形状を転写し得る場合には、第１回転ローラ６０は、その内部における第１加熱手段の形成が省略されたものであってもよい。

【0099】

さらに、離型角調整ローラ９５は、その第２回転ローラ７０に対する対向配置を省略しても、第２回転ローラ７０（金型８９）から微細構造形成フィルム１３を円滑に剥離し得る場合には、その配置を省略することができる。

【0100】

また、微細構造形成装置１００は、前述したような第１実施形態の構成のものの他、以下に示すような第２実施形態および第３実施形態の構成のものとしても、微細構造が形成された基材フィルム１０を得ることができる。

【0101】

＜第２実施形態＞
図３は、本発明の微細構造形成装置の第２実施形態の側面図である。なお、以下では、説明の都合上、図３中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言い、左側を「左」、右側を「右」と言う。また、図３中において、左側から右側に沿って搬送方向と言い、左側を上流、右側を下流と言う。

【0102】

以下、図３に示す第２実施形態の微細構造形成装置１００について説明するが、図１に示す第１実施形態の微細構造形成装置１００との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

【0103】

図３に示す微細構造形成装置１００では、フィルム搬送部２０において、第２巻出ローラ２２、第２巻取ローラ２６およびテンショナ４１～４５が省略されていること以外は、図１に示した微細構造形成装置１００と同様である。

【0104】

すなわち、本実施形態では、基材フィルム１０に対してクッションフィルム１１を重ね合わせることで得られる第１積層体１５の形成が省略される。そのため、フィルム搬送部２０が備えるテンショナ３３から、微細構造形成部５０が備える第１回転ローラ６０には、基材フィルム１０とクッションフィルム１１とが重ね合わされた第１積層体１５に代えて、基材フィルム１０が単独で供給される。

【0105】

そのため、微細構造形成部５０では、この基材フィルム１０が単独で、第１回転ローラ６０に掛け回されて搬送方向に搬送されることで対向位置７４まで搬送された後に、この対向位置７４で、第１回転ローラ６０と第２回転ローラ７０とにより挟持され、これにより、基材フィルム１０の表面に微細構造が形成される。

【0106】

以上のような構成をなす微細構造形成装置１００を用いることによっても、第１実施形態における微細構造形成装置１００を用いた場合と同様に、微細構造が形成された基材フィルム１０（微細構造形成フィルム１３）を、その表面の長手方向に沿って、この微細構造が連続的に形成されたものとして得ることができる。

【0107】

ただし、微細構造形成装置１００を、前記第１実施形態で記載した構成をなすものとすることで、基材フィルム１０は、対向位置７４で第１回転ローラ６０と第２回転ローラ７０とにより挟持される際に、クッションフィルム１１が重ね合わされた第１積層体１５を形成しており、この第１積層体１５において、クッションフィルム１１が基材フィルム１０の下側に位置するクッション層としての機能を発揮する。そのため、第１回転ローラ６０と第２回転ローラ７０とによる第１積層体１５の挟持により、金型８９が有する凸部の形状に基材フィルム１０の表面を追従させる際に、この追従をより優れた精度で行うことができる。そのため、基材フィルム１０に対する微細構造の形成を、優れたパターニング精度で実施することができる。

【0108】

＜第３実施形態＞
図４は、本発明の微細構造形成装置の第３実施形態の側面図である。なお、以下では、説明の都合上、図４中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言い、左側を「左」、右側を「右」と言う。また、図４中において、左側から右側に沿って搬送方向と言い、左側を上流、右側を下流と言う。

【0109】

以下、図４に示す第３実施形態の微細構造形成装置１００について説明するが、図１に示す第１実施形態の微細構造形成装置１００との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

【0110】

図４に示す微細構造形成装置１００では、フィルム搬送部２０において、第３巻出ローラ２３およびテンショナ４６、４７が省略されていること以外は、図１に示した微細構造形成装置１００と同様である。

【0111】

すなわち、本実施形態では、基材フィルム１０（微細構造形成フィルム１３）に対して保護フィルム１２を重ね合わせることで得られる第２積層体１６の形成が省略される。そのため、第１巻取ローラ２５には、フィルム搬送部２０が備えるテンショナ３４から、テンショナ３５～３７を介して、基材フィルム１０（微細構造形成フィルム１３）と保護フィルム１２とが重ね合わされた第２積層体１６に代えて、微細構造形成フィルム１３が単独で供給される。

【0112】

そのため、第１巻取ローラ２５には、この微細構造形成フィルム１３が単独で、テンショナ３５～３７に掛け回された後に巻き取られる。よって、本実施形態では、微細構造形成フィルム１３が第１巻取ローラ２５に単独で巻き取られた状態で得られることとなる。

【0113】

以上のような構成をなす微細構造形成装置１００を用いることによっても、第１実施形態における微細構造形成装置１００を用いた場合と同様に、微細構造が形成された基材フィルム１０（微細構造形成フィルム１３）を、その表面の長手方向に沿って、この微細構造が連続的に形成されたものとして得ることができる。

【0114】

ただし、微細構造形成装置１００を、前記第１実施形態で記載した構成をなすものとすることで、基材フィルム１０（微細構造形成フィルム１３）は、第１巻取ローラ２５において、保護フィルム１２が重ね合わされた第２積層体１６を形成している。そして、この第２積層体１６において、微細構造形成フィルム１３の表面に形成された微細構造を保護フィルム１２が被覆している。そのため、第２積層体１６において、保護フィルム１２が前記微細構造を保護する保護層としての機能を発揮する。したがって、微細構造形成フィルム１３を第１巻取ローラ２５に巻回した状態で、保管・移動させる際に、微細構造に傷が付いたり、微細構造が変形したりするのを的確に抑制または防止することができる。

【0115】

以上、本発明の微細構造形成装置について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、微細構造形成装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。

【0116】

また、本発明では、前記第１～第３実施形態で示した任意の２以上の構成を組み合わせるようにしてもよい。

【0117】

なお、前記実施形態では、第１回転ローラ６０を、第２回転ローラ７０に対して移動させる、移動手段として、エアーシリンダ６５を、微細構造形成装置１００が備える場合について説明したが、移動手段としては、これに限定されず、第１回転ローラ６０を、より優れた精度で位置決めする場合には、移動手段はアクチュエータ等で構成されていてもよい。

【符号の説明】

【0118】

１０ 基材フィルム
１１ クッションフィルム
１２ 保護フィルム
１３ 微細構造形成フィルム
１５ 第１積層体
１６ 第２積層体
２０ フィルム搬送部
２１ 第１巻出ローラ
２２ 第２巻出ローラ
２３ 第３巻出ローラ
２５ 第１巻取ローラ
２６ 第２巻取ローラ
３１ テンショナ
３２ テンショナ
３３ テンショナ
３４ テンショナ
３５ テンショナ
３６ テンショナ
３７ テンショナ
４１ テンショナ
４２ テンショナ
４３ テンショナ
４４ テンショナ
４５ テンショナ
４６ テンショナ
４７ テンショナ
５０ 微細構造形成部
６０ 第１回転ローラ
６５ エアーシリンダ
７０ 第２回転ローラ
７１ 中空部
７２ 後方領域
７３ 前方領域
７４ 対向位置
８０ 第２加熱手段
８９ 金型
９０ 冷却手段
９１ 冷風供給部
９５ 離型角調整ローラ
１００ 微細構造形成装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】