特開 2024-25919 プラズマ発生装置、およびプラズマ発生方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024025919

(43)【公開日】2024-02-28

(54)【発明の名称】プラズマ発生装置、およびプラズマ発生方法

(51)【国際特許分類】

   H05H 1/34 20060101AFI20240220BHJP

【ＦＩ】

H05H1/34

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022129297

(22)【出願日】2022-08-15

(71)【出願人】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000992

【氏名又は名称】弁理士法人ネクスト

(74)【代理人】

【識別番号】100162237

【弁理士】

【氏名又は名称】深津 泰隆

(74)【代理人】

【識別番号】100191433

【弁理士】

【氏名又は名称】片岡 友希

(72)【発明者】

【氏名】岩田 卓也

(72)【発明者】

【氏名】池戸 俊之

【テーマコード（参考）】

2G084

【Ｆターム（参考）】

2G084BB23

2G084BB30

2G084BB37

2G084CC23

2G084CC32

2G084DD01

2G084DD12

2G084DD25

2G084DD67

2G084FF02

2G084GG02

2G084GG07

(57)【要約】

【課題】電極のランニングコストの低減を課題とする。
【解決手段】放電により処理ガスをプラズマ化させる電極と、電極の先端を延び出させた状態で電極を保持するホルダと、電極の先端のホルダからの延出量を調整可能かつ、電極を交換可能にホルダに固定する固定具と、を備えるプラズマ発生装置。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

放電により処理ガスをプラズマ化させる電極と、
前記電極の先端を延び出させた状態で前記電極を保持するホルダと、
前記電極の先端の前記ホルダからの延出量を調整可能かつ、前記電極を交換可能に前記ホルダに固定する固定具と、
を備えるプラズマ発生装置。

【請求項2】

前記電極は、棒形状であり、
前記ホルダは、棒形状の前記電極を内部において保持する筒形状である請求項１に記載のプラズマ発生装置。

【請求項3】

前記固定具は、前記ホルダの前記電極が延び出す側において前記電極を固定する請求項２に記載のプラズマ発生装置。

【請求項4】

前記プラズマ発生装置は、
前記電極をその内部に備え、先端に形成された噴出口からプラズマガスを噴出する筐体を備え、
前記ホルダから延び出す前記電極の先端と、前記筐体の先端との間で放電することで処理ガスをプラズマ化させる請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のプラズマ発生装置。

【請求項5】

前記ホルダは、
前記電極の先端が延び出す前記ホルダの端部と反対側の端部において前記筐体の内部で固定される請求項４に記載のプラズマ発生装置。

【請求項6】

前記固定具は、
前記ホルダの表面から外部に露出することなく前記ホルダの内部において前記電極を固定する請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のプラズマ発生装置。

【請求項7】

放電により処理ガスをプラズマ化させる電極と、前記電極の先端を延び出させた状態で前記電極を保持するホルダとを備えるプラズマ発生装置において、
前記電極の先端の前記ホルダからの延出量を調整する調整工程と、
前記ホルダから延び出した前記電極の先端に生じる放電により処理ガスをプラズマ化させるプラズマ化工程と、
を含むプラズマ発生方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、電極での放電により処理ガスをプラズマ化させるプラズマ発生装置などに関するものである。

【背景技術】

【0002】

下記特許文献には、電極での放電により処理ガスをプラズマ化させる技術が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】実開昭５６－０７５４９９号公報

【特許文献2】特開平０５－０１３１９５号公報

【特許文献3】特開平１０－１６６１５５号公報

【特許文献4】実開昭６２－１０５７６６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本明細書は、電極のランニングコストの低減を課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記課題を解決するために、本明細書は、放電により処理ガスをプラズマ化させる電極と、前記電極の先端を延び出させた状態で前記電極を保持するホルダと、前記電極の先端の前記ホルダからの延出量を調整可能かつ、前記電極を交換可能に前記ホルダに固定する固定具と、を備えるプラズマ発生装置などを開示する。

【発明の効果】

【0006】

本開示によれば、電極の先端のホルダからの延出量を調整することで、電極のランニングコストの低減を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】プラズマ装置を示す図である。

【図2】プラズマヘッドを示す斜視図である。

【図3】図２のプラズマヘッドの断面図である。

【図4】プラズマヘッドの拡大断面図である。

【図5】プラズマヘッドの拡大断面図である。

【図6】従来のプラズマヘッドを示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。

【0009】

図１に示すように、プラズマ装置１０は、プラズマヘッド１１、ロボット１３、制御ボックス１５を備えている。プラズマヘッド１１は、ロボット１３に取り付けられている。ロボット１３は、例えば、シリアルリンク型ロボット（多関節型ロボットと呼ぶこともできる）であり、プラズマヘッド１１は、ブラケット１２を介してロボット１３の先端に取り付けられている。そして、プラズマヘッド１１は、ロボット１３の先端に取り付けられた状態でプラズマガスを照射可能となっている。プラズマヘッド１１は、ロボット１３の駆動に応じて３次元的に移動可能となっている。

【0010】

制御ボックス１５は、コンピュータを主体として構成され、プラズマ装置１０を統括的に制御する。制御ボックス１５は、プラズマヘッド１１に電力を供給する電源部１５Ａ及びプラズマヘッド１１へガスを供給するガス供給部１５Ｂを有している。電源部１５Ａは、電源ケーブル（図示省略）を介してプラズマヘッド１１と接続されている。電源部１５Ａは、制御ボックス１５の制御に基づいて、プラズマヘッド１１の電極３０（図３乃至図５参照）に印加する電圧を変更する。

【0011】

また、ガス供給部１５Ｂは、ガスチューブ１９を介してプラズマヘッド１１と接続されている。ガス供給部１５Ｂは、制御ボックス１５の制御に基づいて、後述する反応ガスをプラズマヘッド１１へ供給する。制御ボックス１５は、ガス供給部１５Ｂを制御し、ガス供給部１５Ｂからプラズマヘッド１１へ供給するガスの量などを制御する。これにより、ロボット１３は、制御ボックス１５の制御に基づいて動作し、テーブル１７の上に載置された被処理物Ｗに対してプラズマヘッド１１からプラズマガスを照射する。

【0012】

また、制御ボックス１５は、タッチパネルや各種スイッチを有する操作部１５Ｃを備えている。制御ボックス１５は、各種の設定画面や動作状態（例えば、ガス供給状態など）等を操作部１５Ｃのタッチパネルに表示する。また、制御ボックス１５は、操作部１５Ｃに対する操作入力により各種の情報を受け付ける。

【0013】

図２及び図３に示すように、プラズマヘッド１１は、筐体２０、内部ケーブル２２，ケーブルホルダ２４，ホルダ装着具２６、電極ホルダ２８、電極３０等を備えている。筐体２０は、金属製の素材により形成されており、概して円筒形状である。ただし、筐体２０は、下方に向うほど先細る形状であり、筐体２０の下端部は円錐形状である。このため、筐体２０の下端部はプラズマヘッド１１のノズル３２として機能する。

【0014】

図４及び図５に示すように、内部ケーブル２２は、筐体２０の内部において筐体２０の軸線方向に延びるように配設されており、ケーブルホルダ２４により筐体２０の内部に固定されている。ケーブルホルダ２４は概して円筒形であり、筐体２０の内部に固定的に嵌合されている。そして、内部ケーブル２２が、ケーブルホルダ２４の内部の上端部に固定的に嵌合されている。これにより、内部ケーブル２２がケーブルホルダ２４により筐体２０の内部に固定されている。なお、ケーブルホルダ２４の下端部では、ケーブルホルダ２４の内周面と内部ケーブル２２の外周面との間に隙間３６が形成されている。

【0015】

また、ホルダ装着具２６は円環形状であり、内部ケーブル２２の下方において筐体２０の内部に固定的に嵌合されている。円環形状のホルダ装着具２６の内周面には、ネジ溝が形成されており、ホルダ装着具２６の内周面がネジ穴として機能している。また、ホルダ装着具２６の外縁部には、上下方向に貫通する複数の貫通穴３８が形成されている。

【0016】

また、電極ホルダ２８は、金属製の素材により形成されており、概して円筒形状である。ただし、電極ホルダ２８は下方に向うほど先細る形状であり、電極ホルダ２８の上端面の中央には、凸部４０が形成されている。そして、その凸部４０の外周面にネジ山が形成されている。このため、電極ホルダ２８の凸部４０がホルダ装着具２６のネジ穴として機能する内周面に挿入されて捩じ込まれることで、電極ホルダ２８がホルダ装着具２６に着脱可能に装着される。

【0017】

また、電極ホルダ２８の内周面は段付き形状である。電極ホルダ２８の内周面の上方の部分は小径の第１内周面５０であり、その第１内周面５０から連続する電極ホルダ２８の内周面の下方の部分は第１内周面５０より大径の第２内周面５２である。その第１内周面５０には圧着端子５６の下端部が挿入されている。圧着端子５６の下端部の外径は電極ホルダ２８の第１内周面５０の内径より僅かに小さい。このため、圧着端子５６はホーローボルト５８により電極ホルダ２８の第１内周面５０において固定されている。詳しくは、電極ホルダ２８の上端部側には径方向に延びる横穴６０が形成されており、その横穴６０は第１内周面５０に連通している。そして、その横穴６０にホーローボルト５８が捩じ込まれることで、圧着端子５６が電極ホルダ２８の第１内周面５０において固定される。なお、横穴６０の深さ寸法は、ホーローボルト５８の長さ寸法より長い。このため、ホーローボルト５８は横穴６０に捩じ込まれた状態において横穴６０に埋没しており、電極ホルダ２８の表面から外部に露出していない。また、圧着端子５６は、電極ホルダ２８の第１内周面５０の上端から上方に向って延び出している。そして、電極ホルダ２８の第１内周面５０から上方に向って延び出す圧着端子５６と、内部ケーブル２２とが導体６２により接続されている。

【0018】

また、電極３０は丸棒形状であり、電極３０の外径は電極ホルダ２８の第２内周面５２の内径より僅かに小さい。そして、電極ホルダ２８の第２内周面５２に電極３０が挿入されており、電極３０はホーローボルト６６により電極ホルダ２８の第２内周面５２において固定されている。詳しくは、電極ホルダ２８の下端部側には径方向に延びる横穴６８が形成されており、その横穴６８は第２内周面５２に連通している。そして、その横穴６８にホーローボルト６６が捩じ込まれることで、電極３０が電極ホルダ２８の第２内周面５２において固定される。なお、横穴６８の深さ寸法は、ホーローボルト６６の長さ寸法より長い。このため、ホーローボルト６６は横穴６８に捩じ込まれた状態において横穴６８に埋没しており、電極ホルダ２８の表面から外部に露出ていない。また、電極３０は、電極ホルダ２８の下端から電極３０の下端、つまり先端を所定量（例えば、３～５ｍｍ）延び出させた状態で第２内周面５２において固定される。

【0019】

また、ケーブルホルダ２４の内周面と内部ケーブル２２の外周面との隙間３６にガスチューブ１９（図１参照）を介してガス供給部１５Ｂが接続されており、ガス供給部１５Ｂから供給される反応ガスがケーブルホルダ２４の内周面と内部ケーブル２２の外周面との隙間３６に流入する。そして、反応ガスは下方に向って流れて、ホルダ装着具２６の複数の貫通穴３８を介して電極ホルダ２８の周囲に流入する。さらに、反応ガスは下方に向って流れて、電極ホルダ２８の下端から延び出す電極３０の周囲にも流入して、筐体２０のノズル３２まで至る。つまり、反応ガスは、筐体２０の内部においてケーブルホルダ２４の内周面と内部ケーブル２２の外周面との隙間３６からホルダ装着具２６の複数の貫通穴３８を介して、電極ホルダ２８及び電極ホルダ２８の下端から延び出す電極３０の周囲に流入し、筐体２０のノズル３２まで至る。

【0020】

反応ガス（種ガス）としては、酸素（Ｏ２）を採用できる。ガス供給部１５Ｂは、例えば、ガスチューブ１９（図１参照）を介して、酸素と窒素（Ｎ２）との混合気体（例えば、乾燥空気（Ａｉｒ））を、ケーブルホルダ２４の内周面と内部ケーブル２２の外周面との隙間３６に流入させる。以下、この混合気体を、便宜的に反応ガスと呼び、酸素を種ガスと呼ぶ場合がある。

【0021】

また、電極ホルダ２８の下端から延び出す電極３０には、制御ボックス１５の電源部１５Ａから電圧が印加される。詳しくは、制御ボックス１５の電源部１５Ａから電源ケーブルを介してプラズマヘッド１１の内部ケーブル２２に電力が供給され、導体６２及び圧着端子５６に電力が供給される。そして、圧着端子５６に供給された電力が電極ホルダ２８を介して電極３０に流れる。このように、電極３０に電力が供給されることで、電極３０に電圧が印される。この際、電極３０への電圧の印加によって、図５に示すように、電極３０の先端から疑似アークＡが発生する。疑似アークＡは、反応ガスの流れに沿って発生するため、電極３０の先端から下方に向って発生し、ノズル３２の先端に至る。このため、電極３０の先端とノズル３２の先端との間で疑似アークＡが発生する。そして、電極３０の先端とノズル３２の先端との間で発生した疑似アークＡを反応ガスが通過する際に、反応ガスは、プラズマ化される。従って、電極３０の先端とノズル３２の先端との間で疑似アークＡの放電が発生し、反応ガスをプラズマ化し、プラズマガスを発生させる。

【0022】

このような構造により、プラズマヘッド１１では、電極３０の先端とノズル３２の先端との間で発生する放電によりプラズマガスが発生し、ノズル３２の先端に形成された開口３２Ａから噴出される。そして、プラズマガスがノズル３２の開口３２Ａから噴出されることで、被処理物Ｗに対してプラズマ処理が施される。このように電極３０の先端とノズル３２の先端との間での放電によりプラズマガスを発生させるプラズマヘッド１１では、電極３０の先端が摩耗する。このため、プラズマヘッド１１では、ホーローボルト６６により電極３０の先端の電極ホルダ２８からの延出量を調整することが可能であり、電極３０を交換することも可能である。

【0023】

詳しくは、プラズマヘッド１１によりプラズマ処理が実行される前に、電極３０の先端が電極ホルダ２８の下端から所定量（例えば、３～５ｍｍ）延び出すように、電極３０の先端の電極ホルダ２８からの延出量が調整される。つまり、ホーローボルト６６の横穴６８への捩じ込みが緩められて、電極３０の先端の電極ホルダ２８からの延出量が所定量（例えば、３～５ｍｍ）となるように調整される。そして、ホーローボルト６６が横穴６８に捩じ込まれて電極３０が電極ホルダ２８の内部で固定された後に、プラズマヘッド１１に反応ガスが供給され、電極３０に電圧が印加されることで、プラズマヘッド１１によるプラズマ処理が実行される。このようにプラズマ処理が実行されることで、電極３０の先端が徐々に摩耗して、電極３０の先端の電極ホルダ２８からの延出量が少なくなる。

【0024】

このように、電極３０の先端の電極ホルダ２８からの延出量が所定量より少なくなった場合に、電極３０の先端の電極ホルダ２８からの延出量が調整される。つまり、ホーローボルト６６の横穴６８への捩じ込みが緩められて、電極３０の先端の電極ホルダ２８からの延出量が所定量となるように、電極３０が下降される。そして、電極３０の先端の電極ホルダ２８からの延出量が所定量となった後に、ホーローボルト６６が横穴６８に捩じ込まれて電極３０が電極ホルダ２８の内部で固定される。これにより、電極３０の先端の延出量が所定量より少なくなった場合において、再度、電極３０の先端の延出量を所定量にすることができる。

【0025】

また、電極３０の先端の延出量の調整が繰り返し実行されると、電極３０が短くなり、ホーローボルト６６により電極３０を固定することができなくなる。つまり、例えば、電極３０の長さ寸法が、電極ホルダ２８の下端面と横穴６８の形成位置との間の長さ寸法と同程度となると、電極３０の先端を電極ホルダ２８の下端から延出させた状態で、電極３０をホーローボルト６６により固定することができなくなる。このように、ホーローボルト６６により電極３０を固定することができなくなった場合には、電極３０が交換される。つまり、ホーローボルト６６の横穴６８への捩じ込みが緩められて、使用済みの電極３０が電極ホルダ２８の第２内周面５２から抜き出される。そして、新たな電極３０が電極ホルダ２８の第２内周面５２に挿入されて、ホーローボルト６６により新たな電極３０が電極ホルダ２８の内部で固定される。

【0026】

このように、プラズマヘッド１１では、ホーローボルト６６により電極３０の先端の延出量が調整され、電極３０も交換されることで、従来のプラズマヘッドと比較して、消耗部品としての電極のランニングコストの低減が図られている。詳しくは、図６に示すように、従来のプラズマヘッド７０は、概して円柱形状の電極７２を備えている。電極７２には、下方に向うほど先細る形状である。また、プラズマヘッド７０の筐体７６の内部には、円環形状の電極装着具７８が固定的に嵌合されている。円環形状の電極装着具７８の内周面には、ネジ溝が形成されており、電極装着具７８の内周面がネジ穴として機能している。また、電極７２の上端部の外周面にネジ山が形成されている。そして、電極７２の上端部が電極装着具７８のネジ穴として機能する内周面に挿入されて捩じ込まれることで、電極７２が電極装着具７８に着脱可能に装着される。

【0027】

また、電極７２の上端部には有底穴８０が形成されており、その有底穴８０に圧着端子８２が挿入されている。圧着端子８２には、プラズマヘッド１１と同様に、内部ケーブル（図示省略）等を介して電流が供給される。これにより、プラズマヘッド７０においても、電極７２に電圧が印加されて、電極７２の先端と筐体７６のノズル８８の先端との間で疑似アークの放電が発生し、プラズマガスが発生する。このため、プラズマヘッド７０の使用に伴って、電極７２の先端が摩耗し、電極７２が短くなる。そして、電極７２の長さ寸法が予め設定された長さ寸法より短くなった場合に、使用済みの電極７２が電極装着具７８から取り外されて、その電極装着具７８に新たな電極７２が取り付けられる。これにより、新たな電極７２での放電を適切に行うことが可能となり、プラズマガスの発生が担保される。

【0028】

このように、従来のプラズマヘッド７０では、電極７２が短くなった場合に、電極７２の交換が行われる。一方、プラズマヘッド１１では、電極３０が短くなった場合に、電極３０を交換することなく、ホーローボルト６６により電極３０の先端の電極ホルダ２８からの延出量が調整される。そして、ホーローボルト６６により電極３０を固定することができなくなるほど電極３０が短くなった場合に、電極３０が交換される。このように、プラズマヘッド１１では、電極３０が相当短くなるまで、電極３０を交換することなく使用することができる。このため、プラズマヘッド１１では、消耗部品としての電極のランニングコストの低減を図ることができる。

【0029】

また、図４と図６とを比較して判るように、プラズマヘッド１１の電極３０の体積は、従来のプラズマヘッド７０の電極７２の体積より小さい。このため、プラズマヘッド１１によれば、電極のコストを抑制することができる。また、プラズマヘッド１１の電極は、丸棒形状であるため、電極の加工費を抑制し、電極のコストを更に抑制することができる。そして、電極のコストを抑制することができるため、電極の材質を例えば高価であるが、長寿命のものに変更することも可能となる。

【0030】

さらに言えば、プラズマヘッド７０では、図５に示すように、電極ホルダ２８の下端部側に横穴６８が形成されており、その横穴６８に電極３０の延出量を調整するホーローボルト６６が捩じ込まれている。つまり、横穴６８に電極３０の延出量を調整するホーローボルト６６が電極ホルダ２８の下端部側において電極３０を固定している。具体的には、電極ホルダ２８の下端とホーローボルト６６の配設位置との上下方向の長さが、摩耗していない状態の電極３０、つまり、新品の電極３０の長さ寸法の１／４～１／３程度の長さ寸法とされている。このため、電極３０が、新品の電極３０の長さ寸法の１／４～１／３程度の長さ寸法となるまで、その電極３０を使用することが可能となる。これにより、電極３０を長期間使用することが可能となり、消耗部品としての電極のランニングコストの低減を図ることが可能となる。

【0031】

因みに、プラズマヘッド１１は、プラズマ発生装置の一例である。筐体２０は、筐体の一例である。電極ホルダ２８は、ホルダの一例である。電極３０は、電極の一例である。ノズル３２の開口３２Ａは、噴出口の一例である。ホーローボルト６６は、固定具の一例である。

【0032】

以上、上記した本実施形態では、以下の効果を奏する。

【0033】

プラズマヘッド１１が、放電により処理ガスをプラズマ化させる電極３０と、電極３０の先端を延び出させた状態で電極３０を保持する電極ホルダ２８と、電極３０の先端の電極ホルダ２８からの延出量を調整可能かつ、電極３０を交換可能に電極ホルダ２８に固定するホーローボルト６６とを備える。このため、プラズマヘッド１１の使用に伴って電極３０が短くなった場合において電極３０を電極ホルダ２８から延び出させることで、消耗部品としての電極のランニングコストの低減を図ることができる。

【0034】

また、電極３０は棒形状であり、電極ホルダ２８は、棒形状の電極３０を内部において保持する筒形状である。これにより、電極３０の加工費を抑制し、電極３０のコストを抑制することができる。

【0035】

また、ホーローボルト６６は、電極ホルダ２８の電極３０が延び出す側において電極３０を固定する。これにより、電極３０が相当短くなるまで、電極３０を使用することができるため、消耗部品としての電極のランニングコストの低減を更に図ることができる。

【0036】

また、プラズマヘッド１１は、電極３０を内部に有する筐体２０を備える。そして、電極ホルダ２８から延び出す電極３０の先端と、筐体２０の先端との間で放電を発生させて処理ガスをプラズマ化させることで、プラズマヘッド１１は筐体２０の先端に形成された開口３２Ａからプラズマガスを噴出する。これにより、１本の電極により処理ガスをプラズマ化させることができ、プラズマヘッド１１のコストを削減することができる。

【0037】

また、電極ホルダ２８は、電極３０の先端が延び出す電極ホルダ２８の端部と反対側の端部において筐体２０の内部で固定される。これにより、電極ホルダ２８から延び出す電極３０の周囲において気体の流れを担保し、気体の流れを阻害しないことで、電極３０による放電を適切に行うことが可能となる。

【0038】

また、ホーローボルト６６は、電極ホルダ２８の表面から外部に露出することなく電極ホルダ２８の内部において電極３０を固定する。これにより、電極３０の先端が延び出す電極ホルダ２８の周囲において気体の流れを担保し、気体の流れを阻害しないことで、電極３０による放電を適切に行うことが可能となる。

【0039】

プラズマヘッド１１では、電極３０の先端の電極ホルダ２８からの延出量を調整する調整工程と、電極ホルダ２８から延び出した電極３０の先端に生じる放電により処理ガスをプラズマ化させるプラズマ化工程とが実行される。これにより、プラズマヘッド１１の使用に伴って電極３０が短くなった場合において電極３０を電極ホルダ２８から延び出させることで、消耗部品としての電極のランニングコストの低減を図ることができる。

【0040】

尚、本開示は、上記実施形態に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、電極３０を固定する固定具としてホーローボルト６６が採用されているが、電極３０を固定可能なものであれば、種々の構造の固定具を採用することができる。例えば、コレット構造，すり割り構造等の種々の構造の固定具を採用することができる。

【0041】

また、上記実施例では、電極３０の先端と筐体２０の先端との間で放電を発生させて処理ガスをプラズマ化させている。つまり、１本の電極３０により放電を発生させている。一方で、複数本の電極間で放電を発生させてもよい。そして、それら複数本の電極のうちの少なくとも１本が、電極の延出量を調整可能かつ、交換可能に電極ホルダに固定具により固定されてもよい。

【0042】

尚、本開示の内容は、請求項に記載の従属関係に限定されない。例えば、請求項３において「請求項２に記載のプラズマ発生装置」を「請求項１または請求項２に記載のプラズマ発生装置」に変更した技術思想についても、本明細書は開示している。例えば、請求項６において「請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のプラズマ発生装置」を「請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のプラズマ発生装置」に変更した技術思想についても、本明細書は開示している。

【符号の説明】

【0043】

１１：プラズマヘッド（プラズマ発生装置） ２０：筐体 ２８：電極ホルダ（ホルダ） ３０：電極 ３２Ａ：開口（噴出口） ６６：ホーローボルト（固定具）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】