特開 2024-26046 プローブアレイ及びプローブ構造

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024026046

(43)【公開日】2024-02-28

(54)【発明の名称】プローブアレイ及びプローブ構造

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/073 20060101AFI20240220BHJP

   H01L 21/66 20060101ALI20240220BHJP

【ＦＩ】

G01R1/073 D

H01L21/66 B

【審査請求】有

【請求項の数】15

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023128292

(22)【出願日】2023-08-07

(31)【優先権主張番号】111130670

(32)【優先日】2022-08-15

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(71)【出願人】

【識別番号】521312662

【氏名又は名称】スター テクノロジーズ インコーポレイテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100120891

【弁理士】

【氏名又は名称】林 一好

(74)【代理人】

【識別番号】100165157

【弁理士】

【氏名又は名称】芝 哲央

(74)【代理人】

【識別番号】100205659

【弁理士】

【氏名又は名称】齋藤 拓也

(74)【代理人】

【識別番号】100126000

【弁理士】

【氏名又は名称】岩池 満

(74)【代理人】

【識別番号】100185269

【弁理士】

【氏名又は名称】小菅 一弘

(72)【発明者】

【氏名】ロウ チュン レオン

【テーマコード（参考）】

2G011

4M106

【Ｆターム（参考）】

2G011AA15

2G011AB07

2G011AC14

2G011AC21

2G011AF07

4M106BA01

4M106DD03

4M106DH02

(57)【要約】      （修正有）

【課題】プローブアレイにおけるプローブ構造が被試験体と接触している間に、接触力の均衡を保ち、プローブアレイにおけるプローブ構造間の距離を調整するのが容易であり、試験中に温度を制御することが容易である、プローブアレイ及びプローブ構造を提供する。
【解決手段】プローブアレイ４は、第１プローブ構造４１Ａ及び第２プローブ構造４１Ｂを含む。第１プローブ構造は、第１端部４１３Ａ及び第２端部４１５Ａを有する第１本体４１１Ａを含む。第２プローブ構造は、第１端部４１３Ｂ及び第２端部４１５Ｂを有する第２本体４１１Ｂを含む。第１本体の第１端部と第２本体の第１端部とは、第１断面における断面積が同じである。第１本体の第２端部と第２本体の第２端部とは、第２断面における断面積が同じである。第１本体と第２本体とは、形状が異なる。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１端部及び第２端部を有する第１本体を含む第１プローブ構造と、
第１端部及び第２端部を有する第２本体を含む第２プローブ構造と、を含み、
前記第１本体の前記第１端部と前記第２本体の前記第１端部とは、第１断面における断面積が同じであり、前記第１本体の前記第２端部と前記第２本体の前記第２端部とは、第２断面における断面積が同じであり、前記第１本体と前記第２本体とは、形状が異なる、プローブアレイ。

【請求項2】

前記第１本体の第１端部と前記第２本体の第１端部とは、同じ側に位置する、請求項１に記載のプローブアレイ。

【請求項3】

前記第１断面と前記第２断面とは、平行である、請求項１に記載のプローブアレイ。

【請求項4】

前記第１本体の前記第１端部と前記第２本体の前記第１端部とは、形状が同じである、請求項１に記載のプローブアレイ。

【請求項5】

前記第１本体の前記第２端部と前記第２本体の前記第２端部とは、形状が同じである、請求項４に記載のプローブアレイ。

【請求項6】

前記第１本体の前記第２端部と前記第２本体の前記第２端部とは、形状が同じである、請求項１に記載のプローブアレイ。

【請求項7】

少なくとも１つの第１くり抜き部、少なくとも１つの第１凹部、又は少なくとも１つの第１くり抜き部と少なくとも１つの第１凹部の組み合わせは、前記第１本体に形成され、前記第１プローブ構造の前記第１端部から前記第１プローブ構造の前記第２端部まで延びる、請求項１に記載のプローブアレイ。

【請求項8】

少なくとも１つの第２くり抜き部、少なくとも１つの第２凹部、又は少なくとも１つの第２くり抜き部と少なくとも１つの第２凹部の組み合わせは、前記第２本体に形成され、前記第２プローブ構造の前記第１端部から前記第２プローブ構造の前記第２端部まで延びる、請求項７に記載のプローブアレイ。

【請求項9】

少なくとも１つの第２くり抜き部、少なくとも１つの第２凹部、又は少なくとも１つの第２くり抜き部と少なくとも１つの第２凹部の組み合わせは、前記第２本体に形成され、前記第２プローブ構造の前記第１端部から前記第２プローブ構造の前記第２端部まで延びる、請求項１に記載のプローブアレイ。

【請求項10】

前記第１本体の前記第１端部を受け入れる第１孔と、
前記第２本体の前記第１端部を受け入れる第２孔とを有するガイドプレートを更に含む、請求項１に記載のプローブアレイ。

【請求項11】

前記第１孔と前記第２孔とは、サイズ及び形状が同じである、請求項１０に記載のプローブアレイ。

【請求項12】

第１端部及び第２端部を有する本体を含み、少なくとも１つのくり抜き部、少なくとも１つの凹部、又は少なくとも１つのくり抜き部と少なくとも１つの凹部の組み合わせは、前記本体に形成され、前記第１端部から前記第２端部まで延び、
前記第１端部の第１断面における断面積と、前記第２端部の第２断面における断面積とは、同じであり、前記第１断面と前記第２断面とは、平行である、プローブ構造。

【請求項13】

前記第１端部と前記第２端部とは、形状が同じである、請求項１２に記載のプローブ構造。

【請求項14】

前記少なくとも１つの凹部は、曲線形又は台形を有する、請求項１２に記載のプローブ構造。

【請求項15】

前記本体は、前記第１端部から前記第２端部まで厚さが同じである、請求項１２に記載のプローブ構造。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、プローブアレイ及びプローブ構造に関し、より具体的には、異なる信号種類を検出可能なプローブ構造を備えたプローブアレイに関する。

【背景技術】

【0002】

従来技術では、様々な集積回路（ＩＣ）チップは、製造プロセス中に特定の試験目的を達成するために、電気的試験を受ける必要があるため、大電流試験用の厚膜プローブ構造（ｔｈｉｃｋ ｐｒｏｂｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ）、及び高周波試験用の薄型プローブ構造（ｔｈｉｎ ｐｒｏｂｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ）などを含む異なるプローブ構造が開発されている。しかしながら、既存のプローブ構造で複数の検査目的を同時に達成できるものはほとんどない。

【0003】

異なる試験目的を達成するために異なる寸法のプローブ構造を同一のプローブアレイに配置すると、プローブアレイにプローブ構造を支持するように構成されたガイドプレートの開口部は、等しい寸法を有することが不可能になる。これは、（１）プローブアレイにおけるプローブ構造が被試験体と接触している間に、接触力の均衡を保つのが困難であるため、試験が不安定になり、（２）プローブアレイにおけるプローブ構造間の距離を調整するのが困難であり、（３）プローブアレイにおけるプローブ構造が被試験体と接触している間、試験中に温度を制御することが困難である、という問題を生じる。

【0004】

上記従来技術の記載は、背景技術を明らかにするためのものに過ぎず、本開示の主題を開示すると認識することを意図するものではない。上記従来技術の記載は、本開示の従来技術を構成することを意図するか、又は本開示の一部をなすことを意図する。

【発明の概要】

【0005】

本開示の一実施形態は、第１プローブ構造及び第２プローブ構造を含むプローブアレイを提供する。前記第１プローブ構造は、第１本体を含む。前記第１本体は、第１端部及び第２端部を有する。前記第２プローブ構造は、第２本体を含む。前記第２本体は、第１端部及び第２端部を有する。前記第１本体の第１端部と前記第２本体の第１端部とは、第１断面における断面積が同じである。前記第１本体の第２端部と前記第２本体の第２端部とは、第２断面における断面積が同じである。前記第１本体と前記第２本体とは、形状が異なる。

【0006】

いくつかの実施形態において、前記第１本体の第１端部と前記第２本体の第１端部とは、同じ側に位置する。

【0007】

いくつかの実施形態において、前記第１断面と前記第２断面とは、平行である。

【0008】

いくつかの実施形態において、前記第１本体の第１端部と前記第２本体の第１端部とは、形状が同じである。

【0009】

いくつかの実施形態において、前記第１本体の第２端部と前記第２本体の第２端部とは、形状が同じである。

【0010】

いくつかの実施形態において、少なくとも１つの第１くり抜き部（ｈｏｌｌｏｗｅｄ－ｏｕｔ ｐｏｒｔｉｏｎ）、少なくとも１つの第１凹部、又は少なくとも１つの第１くり抜き部と少なくとも１つの第１凹部の組み合わせは、前記第１本体に形成され、前記第１プローブ構造の第１端部から前記第１プローブ構造の第２端部まで延びる。

【0011】

いくつかの実施形態において、少なくとも１つの第２くり抜き部、少なくとも１つの第２凹部、又は少なくとも１つの第２くり抜き部と少なくとも１つの第２凹部の組み合わせは、前記第２本体に形成され、前記第２プローブ構造の第１端部から前記第２プローブ構造の第２端部まで延びる。

【0012】

いくつかの実施形態において、前記プローブアレイは、ガイドプレートを更に含む。前記ガイドプレートは、第１孔及び第２孔を有する。前記第１孔は、前記第１プローブ構造の第１端部を受け入れる。前記第２孔は、前記第２プローブ構造の第１端部を受け入れる。

【0013】

いくつかの実施形態において、前記第１孔と前記第２孔とは、サイズ及び形状が同じである。

【0014】

本開示の別の実施形態は、本体を含むプローブ構造を提供する。前記本体は、第１端部及び第２端部を有する。少なくとも１つのくり抜き部、少なくとも１つの凹部、又は少なくとも１つのくり抜き部と少なくとも１つの凹部の組み合わせは、前記本体に形成され、前記第１端部から前記第２端部まで延びる。前記第１端部の第１断面における断面積と、前記第２端部の第２断面における断面積とは、同じである。前記第１断面と前記第２断面とは、平行である。

【0015】

いくつかの実施形態において、前記第１端部と前記第２端部とは、形状が同じである。

【0016】

いくつかの実施形態において、少なくとも１つの凹部、又は少なくとも１つのくり抜き部と少なくとも１つの凹部の組み合わせは、前記本体に形成され、前記少なくとも１つの凹部は、曲線形又は台形を有する。

【0017】

いくつかの実施形態において、前記本体は、前記第１端部から前記第２端部まで厚さが同じである。

【0018】

上記説明は、以下の詳細な説明を理解できるようにするために、本開示の技術的特徴及び利点を広範に概説している。以下、本開示の特許請求の範囲を規定する他の利点及び技術的特徴について説明する。当業者であれば、以下に開示される概念及び特定の実施形態に従って、他の構造又はプロセスを変更又は設計することにより、本開示の目的と同じ目的を容易に達成することができることを理解すべきである。また、当業者であれば、前述と同等の構成（ｅｑｕｉｖａｌｅｎｔ ｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｏｎ）は、本開示の添付の特許請求の範囲の精神及び範囲から逸脱できないことを理解する。

【図面の簡単な説明】

【0019】

当業者であれば、本開示の実施形態、特許請求の範囲及び図面を参照することにより、本開示を理解することができる。図面において、同様の構成要素については、同様の符号が付与される。

【0020】

【図1A】本開示のいくつかの実施形態に係るプローブ構造の正面図である。

【図1B】本開示のいくつかの実施形態に係るプローブ構造の正面図である。

【図1C】本開示のいくつかの実施形態に係るプローブ構造の正面図である。

【図2A】本開示のいくつかの実施形態に係るプローブ構造の正面図である。

【図2B】本開示のいくつかの実施形態に係るプローブ構造の正面図である。

【図2C】本開示のいくつかの実施形態に係るプローブ構造の正面図である。

【図3A】本開示のいくつかの実施形態に係るプローブ構造の正面図である。

【図3B】本開示のいくつかの実施形態に係るプローブ構造の側面図である。

【図3C】本開示のいくつかの実施形態に係るプローブ構造の側面図である。

【図4】本開示のいくつかの実施形態に係るプローブアレイの概略図である。

【図5】本開示のいくつかの実施形態に係るプローブアレイの概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

本開示の以下の説明には、本明細書に組み込まれてその一部を構成する図面が添付されて、本開示の実施形態を説明するが、本開示は、当該実施形態に限定されない。また、以下の実施形態を適切に組み合わせて別の実施形態を作成することができる。

【0022】

「一実施形態」、「実施形態」、「例示的な実施形態」、「他の実施形態」、「別の実施形態」などの用語は、本開示に記載されている実施形態が特定の特徴、構造又は特性を含み得るが、各実施形態が特定の特徴、構造又は特性を必ずしも含む必要はないことを示す。更に、用語「一実施形態において」は、繰り返して使用される場合、同一の実施形態を指す可能性があるが、必ずしも同一の実施形態を指すとは限らない。

【0023】

本開示を完全に理解するために、以下の説明は、詳細なステップ及び構造を提供する。明らかに、当業者に知られている具体的な詳細は、本開示の実施に限定されない。また、本開示を不必要に限定しないために、知られている構造及びステップについて詳細に説明しない。以下、本開示の好ましい実施形態について詳細に説明する。しかしながら、詳細な説明に加えて、本開示はまた、他の実施形態において広く実施することができる。本開示の範囲は、詳細な説明の内容に限定されず、添付の特許請求の範囲によって規定される。

【0024】

以下の開示は、提供される主題の異なる特徴を実施するための多くの異なる実施形態又は実施例を提供することを理解されたい。以下、本開示を簡略化するために、構成要素及び配置の特定の実施例を説明する。当然のことながら、これらは、単なる実施例であり、限定を意図するものではない。例えば、要素（ｅｌｅｍｅｎｔ）のサイズは、開示の範囲又は数値に限定されず、装置のプロセス条件及び／又は所望の特性によって決められる。また、以下の説明において第２特徴の上方に、又は第２特徴の上に第１特徴を形成することは、第１特徴と第２特徴とが直接接触して形成される実施形態を含んでもよく、第１特徴と第２特徴とが直接接触し得ないように追加の特徴が第１特徴と第２特徴との間に形成され得る実施形態を含んでもよい。簡単かつ明確にするために、様々な特徴の寸法を任意に増減させることができる。図面において、簡略化のために、一部の層又は特徴を省略してもよい。

【0025】

更に、「下」、「下方」、「下部」、「上方」、「上部」などの空間的に相対的な用語は、図面で示されるような、１つの要素又は特徴の別の要素（複数の要素）又は特徴（複数の特徴）に対する関係を記述するための説明を容易にするために本明細書で使用されてもよい。空間的に相対的な用語は、図面に示された方向に加えて、使用中又は動作中の装置の種々の方向を包含するように意図される。装置は、他の方法で配向されて（９０度又は他の方向に回転して）もよく、本明細書で使用される空間的に相対的な記述語も同様にそれに応じて解釈されてもよい。

【0026】

本開示の一実施形態におけるプローブアレイは、第１プローブ構造及び第２プローブ構造を含む。第１プローブ構造の第１端部と第２プローブ構造の第１端部とは、第１断面における断面積が同じである。第１プローブ構造の第２端部と第２プローブ構造の第２端部とは、第２断面における断面積が同じである。第１プローブ構造の本体と、第２プローブ構造の本体とは、形状が異なり、例えば、（１）少なくとも１つのくり抜き部、（２）少なくとも１つの凹部、又は（３）少なくとも１つのくり抜き部と少なくとも１つの凹部の組み合わせの点で異なる。

【0027】

したがって、本開示の異なるプローブ構造は、端部が同じであるため、異なるプローブ構造を同一のプローブアレイに配置して、（例えば、大きい断面積を有するプローブ構造を用いた）大電流試験及び（例えば、小さい断面積を有するプローブ構造を用いた）高周波試験を同時に実行することにより、異なる試験要求を満たすことができる。更に、プローブ構造は、外形寸法が同じであるため、プローブアレイにおけるプローブ構造が被試験体と接触している間に、接触力を均等に分散させ、プローブの取付又は変更を容易にし、プローブ構造間の間隔（例えば、所定の、小さくて等しい間隔）の調整を容易にし、かつ試験過程における温度の制御を容易にする。

【0028】

図１Ａは、本開示のいくつかの実施形態に係るプローブ構造１１の正面図を示している。プローブ構造１１は、本体１１１を含む。本体１１１は、第１端部１１１Ａ及び第２端部１１１Ｂを有する。少なくとも１つのくり抜き部１１１０は、本体１１１に形成され、第１端部１１１Ａから第２端部１１１Ｂまで延びる。

【0029】

いくつかの実施形態において、第１端部１１１Ａは、第１断面ＣＳ１１における断面積を有し、第２端部１１１Ｂは、第２断面ＣＳ１２における断面積を有する。第１端部１１１Ａの第１断面ＣＳ１１における断面積と、第２端部１１１Ｂの第２断面ＣＳ１２における断面積とは、同じである。第１断面ＣＳ１１と第２断面ＣＳ１２とは、平行である。

【0030】

図１Ｂは、本開示のいくつかの実施形態に係るプローブ構造１２の正面図を示している。プローブ構造１２は、本体１２１を含む。本体１２１は、第１端部１２１Ａ及び第２端部１２１Ｂを有する。少なくとも１つの凹部１２１２は、本体１２１に形成され、第１端部１２１Ａから第２端部１２１Ｂまで延びる。

【0031】

いくつかの実施形態において、第１端部１２１Ａは、第１断面ＣＳ１３における断面積を有し、第２端部１２１Ｂは、第２断面ＣＳ１４における断面積を有する。第１端部１２１Ａの第１断面ＣＳ１３における断面積と、第２端部１２１Ｂの第２断面ＣＳ１４における断面積とは、同じである。第１断面ＣＳ１３と第２断面ＣＳ１４とは、平行である。

【0032】

図１Ｃは、本開示のいくつかの実施形態に係るプローブ構造１３の正面図を示している。プローブ構造１３は、本体１３１を含む。本体１３１は、第１端部１３１Ａ及び第２端部１３１Ｂを有する。少なくとも１つのくり抜き部１３１０と少なくとも１つの凹部１３１２は、本体１３１に形成され、第１端部１３１Ａから第２端部１３１Ｂまで延びる。

【0033】

いくつかの実施形態において、第１端部１３１Ａは、第１断面ＣＳ１５における断面積を有し、第２端部１３１Ｂは、第２断面ＣＳ１６における断面積を有する。第１端部１３１Ａの第１断面ＣＳ１５における断面積と、第２端部１３１Ｂの第２断面ＣＳ１６における断面積とは、同じである。第１断面ＣＳ１５と第２断面ＣＳ１６とは、平行である。

【0034】

図２Ａは、本開示のいくつかの実施形態に係るプローブ構造２１の正面図を示している。プローブ構造２１は、本体２１１を含む。本体２１１は、第１端部２１１Ａ及び第２端部２１１Ｂを有する。複数のくり抜き部２１１０は、本体２１１に形成され、それぞれ第１端部２１１Ａから第２端部２１１Ｂまで延びる。いくつかの実施形態において、複数のくり抜き部２１１０は、形状（例えば、細長い形状）が同じである。

【0035】

いくつかの実施形態において、第１端部２１１Ａは、第１断面ＣＳ２１における断面積を有し、第２端部２１１Ｂは、第２断面ＣＳ２２における断面積を有する。第１端部２１１Ａの第１断面ＣＳ２１における断面積と、第２端部２１１Ｂの第２断面ＣＳ２２における断面積とは、同じである。第１断面ＣＳ２１と第２断面ＣＳ２２とは、平行である。いくつかの実施形態において、第１端部２１１Ａと第２端部２１１Ｂとは、形状が同じである。

【0036】

図２Ｂは、本開示のいくつかの実施形態に係るプローブ構造２２の正面図を示している。プローブ構造２２は、本体２２１を含む。本体２２１は、第１端部２２１Ａ及び第２端部２２１Ｂを有する。第１凹部２２１２Ａ及び第２凹部２２１２Ｂは、本体２２１に形成され、第１端部１２１Ａから第２端部１２１Ｂまで延びる。いくつかの実施形態において、正面図に示す第１凹部２２１２Ａ及び第２凹部２２１２Ｂは、それぞれ曲線のように見え、２本の曲線は、本体２２１に対称的に規定される。

【0037】

いくつかの実施形態において、第１端部２２１Ａは、第１断面ＣＳ２３における断面積を有し、第２端部２２１Ｂは、第２断面ＣＳ２４における断面積を有する。第１端部２２１Ａの第１断面ＣＳ２３における断面積と、第２端部２２１Ｂの第２断面ＣＳ２４における断面積とは、同じである。第１断面ＣＳ２３と第２断面ＣＳ２４とは、平行である。いくつかの実施形態において、第１端部２２１Ａと第２端部２２１Ｂとは、形状が同じである。

【0038】

図２Ｃは、本開示のいくつかの実施形態に係るプローブ構造２３の正面図を示している。プローブ構造２３は、本体２３１を含む。本体２３１は、第１端部２３１Ａ及び第２端部２３１Ｂを有する。複数のくり抜き部２３１０、第１凹部２３１２Ａ及び第２凹部２３１２Ｂは、本体２３１に形成され、それぞれ第１端部２３１Ａから第２端部２３１Ｂまで延びる。いくつかの実施形態において、正面図に示す第１凹部２３１２Ａ及び第２凹部２３１２Ｂは、それぞれ台形のように見え、２つの台形は、本体２３１に対称的に規定される。

【0039】

いくつかの実施形態において、第１端部２３１Ａは、第１断面ＣＳ２５における断面積を有し、第２端部２３１Ｂは、第２断面ＣＳ２６における断面積を有する。第１端部２３１Ａの第１断面ＣＳ２５における断面積と、第２端部２３１Ｂの第２断面ＣＳ２６における断面積とは、同じである。第１断面ＣＳ２５と第２断面ＣＳ２６とは、平行である。いくつかの実施形態において、第１端部２３１Ａと第２端部２３１Ｂとは、形状が同じである。

【0040】

前述の凹んだ形態及びくり抜いた形態は、本開示の凹部を限定するものではない。本開示の効果と同じ効果の達成に寄与する全ての凹んだ形状及びくり抜いた形状は、本開示の範囲に属するとみなされる。

【0041】

図３Ａは、本開示のいくつかの実施形態に係るプローブ構造３１の正面図を示している。プローブ構造３１は、本体３１１を含む。本体３１１は、第１端部３１１Ａ及び第２端部３１１Ｂを有する。図３Ａに示す正面図から見ると、第１端部３１１Ａと第２端部３１１Ｂとは、幅Ｗ３１が同じであり、本体３１１は、複数のくり抜き部３１１０が本体３１１を貫通するように形成された第１面３１１Ｓ１を有する。本体３１１は、少なくとも、第１面３１１Ｓ１に隣接する外側面３１１Ｓ２、３１１Ｓ３を有する。本体３１１は、外側面３１１Ｓ２、３１１Ｓ３において、それぞれ第１凹部３１１２Ａ及び第２凹部３１１２Ｂを有する。これらの実施形態において、くり抜き部３１１０、第１凹部３１１２Ａ及び第２凹部３１１２Ｂは、それぞれ第１端部３１１Ａから第２端部３１１Ｂまで延びる。

【0042】

いくつかの実施形態において、第１端部３１１Ａは、第１断面ＣＳ３１における断面積を有し、第２端部３１１Ｂは、第２断面ＣＳ３２における断面積を有する。第１端部３１１Ａの第１断面ＣＳ３１における断面積と、第２端部３１１Ｂの第２断面ＣＳ３２における断面積とは、同じである。第１断面ＣＳ３１と第２断面ＣＳ３２とは、平行である。いくつかの実施形態において、第１端部３１１Ａと第２端部３１１Ｂとは、形状が同じである。

【0043】

図３Ｂは、本開示のいくつかの実施形態に係るプローブ構造３１の側面図を示している。図３Ｂの側面図は、第１凹部３１１２Ａの位置に対応する外側面３１１Ｓ２から始まり、本体３１１は第１端部３１１Ａから第２端部３１１Ｂまで厚さＴ３１が同じであることを示している。したがって、本体３１１の外側面Ｓ３１１Ｓ２は、第１端部３１１Ａから第２端部３１１Ｂまで幅が同じである。これらの実施形態において、本体３１１の幅Ｗ３１は、本体３１１の厚さＴ３１よりも大きい。

【0044】

図３Ｃは、本開示のいくつかの実施形態に係るプローブ構造３１の別の側面図を示している。図３Ｃの側面図は、第１凹部３１１２Ａの位置に対応する外側面３１１Ｓ２から始まり、本体３１１は第１端部３１１Ａから第２端部３１１Ｂまで厚さＴ３２が同じであることを示している。したがって、本体３１１の外側面Ｓ３１１Ｓ２は、第１端部３１１Ａから第２端部３１１Ｂまで幅が同じである。これらの実施形態において、本体３１１の幅Ｗ３１は、本体３１１の厚さＴ３１に等しい。

【0045】

図４は、本開示のいくつかの実施形態に係るプローブアレイ４の概略図を示している。プローブアレイ４は、複数のプローブ構造４１及びガイドプレート４３を有する。ガイドプレート４３は、プローブ構造４１の一端部を受け入れる孔４３０を複数有する。いくつかの実施形態において、各プローブ構造４１は、少なくとも１つのプローブ構造４１Ａ及び少なくとも１つのプローブ構造４１Ｂを含む。各プローブ構造４１Ａは、第１本体４１１Ａを含む。各第１本体４１１Ａは、第１端部４１３Ａ及び第２端部４１５Ａを有する。各プローブ構造４１Ｂは、第１本体４１１Ｂを含む。各第１本体４１１Ｂは、第１端部４１３Ｂ及び第２端部４１５Ｂを有する。第１本体４１１Ａの第１端部４１３Ａと第１本体４１１Ｂの第１端部４１３Ｂとは、プローブアレイ４の同じ側に位置する。

【0046】

いくつかの実施形態において、第１本体４１１Ａの第１端部４１３Ａと第２本体４１１Ｂの第１端部４１３Ｂとは、第１断面ＣＳ４１における断面積が同じである。これに対して、第１本体４１１Ａの第２端部４１５Ａと第２本体４１１Ｂの第２端部４１５Ｂとは、第２断面ＣＳ４２における断面積が同じである。第１断面ＣＳ４１と第２断面ＣＳ４２とは、平行である。

【0047】

いくつかの実施形態において、プローブ構造４１Ａの第１本体４１１Ａと、プローブ構造４１Ｂの第２本体４１１Ｂとは、形状が異なる（例えば、第１本体４１１Ａは、ある形状を有し、第２本体４１１Ｂは、別の形状を有する）。いくつかの実施形態において、プローブ構造４１は、前述の実施形態のプローブ構造１１、１２、１３、２１、２２、２３、３１、又はそれらの任意の組み合わせを含むが、これらに限定されない。

【0048】

図５は、本開示のいくつかの実施形態に係るプローブアレイ５の概略図を示している。プローブアレイ５は、複数のプローブ構造５１及びガイドプレート５３を有する。ガイドプレート５３は、プローブ構造５１の一端部を受け入れる孔５３０を複数有する。いくつかの実施形態において、各プローブ構造５１は、少なくとも１つのプローブ構造５１Ａ及び少なくとも１つのプローブ構造５１Ｂを含む。各プローブ構造５１Ａは、第１本体５１１Ａを含む。各第１本体５１１Ａは、第１端部５１３Ａ及び第２端部５１５Ａを有する。各プローブ構造５１Ｂは、第１本体５１１Ｂを含む。各第１本体５１１Ｂは、第１端部５１３Ｂ及び第２端部５１５Ｂを有する。第１本体５１１Ａの第１端部５１３Ａと第１本体５１１Ｂの第１端部５１３Ｂとは、プローブアレイ５の同じ側に位置する。

【0049】

いくつかの実施形態において、第１本体５１１Ａの第１端部５１３Ａと第２本体５１１Ｂの第１端部５１３Ｂとは、第１断面ＣＳ５１における断面積が同じである。これに対して、第１本体５１１Ａの第２端部５１５Ａと第２本体５１１Ｂの第２端部５１５Ｂとは、第２断面ＣＳ５２における断面積が同じである。いくつかの実施形態において、第１本体５１Ａの第１端部５１３Ａの第１断面ＣＳ５１における断面積と、第１本体５１１Ａの第２端部５１５Ａの第２断面ＣＳ５２における断面積とは、同じである。これに対して、第２本体５１１Ｂの第１端部５１３Ｂの第１断面ＣＳ５１における断面積と、第２本体５１１Ｂの第２端部５１５Ｂの第２断面ＣＳ５２における断面積とは、同じである。第１断面ＣＳ５１と第２断面ＣＳ５２とは、平行である。

【0050】

いくつかの実施形態において、第１本体５１１Ａの第１端部５１３Ａ、第１本体５１１Ａの第２端部５１５Ａ、第２本体５１１Ｂの第１端部５１３Ｂ及び第２本体５１１Ｂの第２端部５１５Ｂは、形状が同じである。ガイドプレート５３の複数の孔５３０は、サイズ及び形状が同じである。したがって、複数の孔５３０は、第１本体５１１Ａの第１端部５１３Ａと第２本体５１１Ｂの第１端部５１３Ｂとを同時に受け入れる。

【0051】

いくつかの実施形態において、プローブ構造５１Ａの第１本体５１１Ａと、プローブ構造５１Ｂの第２本体５１１Ｂとは、形状が異なる（例えば、第１本体５１１Ａは、ある形状を有し、第２本体５１１Ｂは、別の形状を有する）。いくつかの実施形態において、プローブ構造５１は、プローブアレイ５及びプローブ構造５１に限定されることない。前述の実施形態のプローブ構造１１、１２、１３、２１、２２、２３、３１、又はそれらの任意の組み合わせを含むが、これらに限定されない。

【0052】

本開示において、異なる試験目的を達成するために異なるサイズ及び形状のプローブ構造を同一のプローブアレイに配置する。更に、本開示において、プローブアレイのプローブ構造の端部は、形状が同じであるのに対して、プローブアレイのプローブ構造のガイドプレートの開口部は、寸法が同じである。したがって、本開示は、少なくとも、（１）プローブアレイにおけるプローブ構造が被試験体と接触している間に、接触力の均衡を容易に保って試験安定性を確保し、（２）プローブアレイにおけるプローブ構造間の間隔を容易に調整し、（３）プローブアレイにおけるプローブ構造が被試験体と接触している間、接触面が一致しているため（ｂｅｃａｕｓｅ ｏｆ ｃｏｎｓｉｓｔｅｎｔ ｃｏｎｔａｃｔ ｓｕｒｆａｃｅｓ）、試験過程における温度を容易に制御する、という利点を達成する。

【0053】

以上、本開示及びその利点について説明したが、当業者であれば、本開示の添付の特許請求の範囲に規定された精神及び範囲から逸脱することなく、本開示に対して様々な変更、代替及び置換を行うことができることを理解すべきである。例えば、前述のプロセスは、異なる方法で実施されてもよく、任意の他のプロセス又はそれらの組み合わせに置き換えられてもよい。

【0054】

本開示の範囲は、本明細書に記載されたプロセス、機械、製造、物質構成、手段、方法及びステップの具体的な実施形態に限定されない。本明細書に記載された本開示により、当業者であれば、前述の実施形態で開示されたものと同じ機能を有するか、又はそれと実質的に同じ効果を達成できる、既存の又は潜在的なプロセス、機械、製造、物質構成、手段、方法及びステップを用いて本開示を実施することができる。したがって、これらのプロセス、機械、製造、物質構成、手段、方法及びステップは、本開示の添付の特許請求の範囲に属する。

【図1A】

【図1B】

【図1C】

【図2A】

【図2B】

【図2C】

【図3A】

【図3B】

【図3C】

【図4】

【図5】