特開 2024-26611 測距装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024026611

(43)【公開日】2024-02-28

(54)【発明の名称】測距装置

(51)【国際特許分類】

   G01S 7/484 20060101AFI20240220BHJP

   G01S 7/481 20060101ALI20240220BHJP

【ＦＩ】

G01S7/484

G01S7/481 A

【審査請求】有

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023223229

(22)【出願日】2023-12-28

(62)【分割の表示】P 2022129896の分割

【原出願日】2017-11-24

(71)【出願人】

【識別番号】000005016

【氏名又は名称】パイオニア株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001025

【氏名又は名称】弁理士法人レクスト国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】奧山 健久

(72)【発明者】

【氏名】柳澤 琢麿

(57)【要約】

【課題】
方向によって測距が必要とされる距離範囲が異なる場合でも、空間解像度の不均一性が大きくなく、良好な測距を行うことが可能な測距装置を提供する。
【解決手段】
反射面を有する反射部材を揺動させることにより走査を行う光走査部を有する測距装置である。光走査部は仮想の走査面を走査する。この仮想の走査面は、方向によって測距が必要とされる距離範囲が異なる。測距装置は、この仮想の走査面において空間解像度の不均一性が大きくなく、良好な測距を行う。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

パルス光を出射する光源部と、
前記パルス光の照射方向を連続的に変化させる光走査部と、
対象物に当たり反射した前記パルス光を受光する受光部と、
前記パルス光を出射した時刻と受光した時刻に基づいて前記対象物までの距離を測定する測距部と、
前記光走査部からの前記パルス光の照射を制御する制御手段と、を備え、
前記パルス光の照射方向ごとの出射間隔が記憶されたタイミングテーブルを有し、
前記制御手段は、前記タイミングテーブルに基づき前記パルス光の照射を制御することを特徴とする測距装置。

【請求項2】

前記制御手段は、前記タイミングテーブルに基づき、照射方向ごとに前記パルス光の出射間隔を制御することを特徴とする請求項１に記載の測距装置。

【請求項3】

前記制御手段は、所定の仮想面により規定される測距可能範囲を有し、
前記タイミングテーブルは、前記測距可能範囲の距離に応じた前記パルス光の出射間隔が記憶されていることを特徴とする請求項２に記載の測距装置。

【請求項4】

前記制御手段は、前記所定の仮想面までの距離に応じて前記光走査部からの前記パルス光の出射間隔を制御することを特徴とする請求項３に記載の測距装置。

【請求項5】

前記光走査部は、前記測距可能範囲との距離に基づいて当該出射される前記パルス光の出力を変化させることを特徴とする請求項３～４のいずれかに記載の測距装置。

【請求項6】

前記光走査部は、前記測距可能範囲までの距離が遠いほど前記パルス光の出力を大きくすることを特徴とする請求項５に記載の測距装置。

【請求項7】

前記光走査部は、前記パルス光を照射する際に前記パルス光の射線における前記測距可能範囲までの距離に基づいて、当該出射される前記パルス光のスポット径を変化させることを特徴とする請求項３～６のいずれかに記載の測距装置。

【請求項8】

前記光走査部は、前記測距可能範囲までの距離が遠いほど前記パルス光のスポット径を小さくすることを特徴とする請求項７に記載の測距装置。

【請求項9】

移動体に搭載され、前記移動体の正面方向に照射する場合の出射間隔は、側方に照射する場合の出射間隔より短いことを特徴とする請求項１～８のいずれかに記載の測距装置。

【請求項10】

前記光走査部は、２つの軸周りに揺動可能な反射部材を含み、
前記制御手段は、前記反射部材の揺動する速度を調整することにより、前記光走査部からの前記パルス光の照射を制御することを特徴とする請求項１～９のいずれかに記載の測距装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、測距装置に関する。

【背景技術】

【0002】

測距装置は、例えば、レーザ光を対象領域内で走査して対象物までの距離を計測する、すなわち測距する。このような測距装置の一例としては、レーザ光を出射する光源部と、光源部から出射されたレーザ光を対象領域内でリサージュ走査する光走査部と、レーザ光が物体によって反射された反射光を受光する受光部と、レーザ光の出射タイミングと反射光の受光タイミングとに基づいて、物体までの距離を計測する測距部と、を備える光測距装置が特許文献１に開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１１－０５３１３７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、車両等の移動体に測距装置を搭載した場合、例えば、移動体の前方側については数百メートル程度の遠くの測距情報を、また移動体の側方側については数十メートル程度の近くの測距情報を得たいという要望があった。

【0005】

本発明は上記した点に鑑みてなされたものであり、方向によって測距が必要とされる距離範囲が異なる場合でも、空間解像度の不均一性が大きくなく、良好な測距を行うことが可能な測距装置を提供すること課題の１つとする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本願請求項１に記載の測距装置は、パルス光を出射する光源部と、前記パルス光の照射方向を連続的に変化させることで、所定の領域を走査する光走査部と、所定の測距可能範囲を有し、対象物で反射した前記パルス光によって、前記測距可能範囲内に存在する前記対象物までの距離を測定する測距部と、前記光走査部が前記パルス光を照射する方向における前記測距可能範囲の距離の大きさに応じて、前記光走査部からの前記パルス光の照射を制御する制御手段と、を有することを特徴とする。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】本発明の実施例である測距装置の構成を示すブロック図である。

【図2】図１のＭＥＭＳミラー装置の構成を示す平面図である。

【図3】図２のＭＥＭＳミラー装置のＡ－Ａ線に沿った断面図である。

【図4】図１の測距装置が測距する走査対象領域を示した概念図である。

【図5】図１の測距装置の投光系の動作原理を説明する説明図である。

【図6】図１の測距装置の受光系の動作原理を説明する説明図である。

【図7】図２のＭＥＭＳミラー装置によって描かれるリサージュ軌跡について説明する説明図であり、図中（ａ）は、図４のＭＥＭＳミラー装置によって射出される光ビームの仮想面上に描かれる軌跡を示している。（ｂ）及び（ｃ）は、ＭＥＭＳミラー装置に印加される駆動信号の波形を示す図である。

【図8】図５の仮想の走査面において照射されるパルス光を説明する説明図である。

【図9】図５の仮想の走査面に照射されるパルス光と当該パルス光のスポット径との関係を示した概念図である。

【図10】図５の仮想面において描かれる走査軌跡を説明する説明図であり、図中（ａ）は、光ビームの仮想面上に描かれる軌跡を示している。図中（ｂ）は、ＭＥＭＳミラー装置の揺動角の経時変化を模式的に示した図である。

【発明を実施するための形態】

【実施例0008】

図１は、本実施例にかかる測距装置１００を示している。

【0009】

光源部１０は、例えばパルス光を出射可能なレーザ素子である。

【0010】

光走査部２０のＭＥＭＳミラー装置３０は、光反射面（図示せず）を有している。光源部１０から出射されたパルス光を当該光反射面にて反射して、走査対象領域（図示せず）を規定する仮想の走査面（図示せず）に向けて走査光を出射する。走査対象領域に存在する物体によって反射された走査光は、測距装置１００に向けて反射光として戻ってくる。

【0011】

受光部４０は、反射光を受光して、電気信号である受信信号を生成可能な光検出器である。受光部４０としては、例えば、アバランシェフォトダイオード（ＡＰＤ）等を採用することができる。

【0012】

角度検知部５０は、光反射面の角度変化を逐次検出する角度検出器である。角度検知部５０としては、例えば、ＭＥＭＳミラー装置３０に設けられたホール素子を採用することができる。

【0013】

制御手段としての制御部６０は、光源部１０から出射するパルス光の制御及びＭＥＭＳミラー装置３０の光反射面の角度の制御を行う。

【0014】

光源制御部６１は、光源部１０の発光制御を行う。具体的には、光源部１０がパルス発光をするように発光タイミングを規定したタイミングテーブル（図示せず）を参照して、その発光を制御する。

【0015】

ミラー制御部６２は、ＭＥＭＳミラー装置３０の光反射面の角度の傾を制御する。具体的には、ミラー制御部６２は、光源部１０によって出射されて光反射面によって反射されたパルス光によって、走査対象領域の走査がなされるようにＭＥＭＳミラー装置３０を制御する。

【0016】

パワー調整部６３は、光源部１０から出射されるパルス光の強度を調整する。具体的には、パワー調整部６３は、光源部１０に供給する電圧と電流を調整する。パワー調整部６３は、例えば、可変抵抗器を採用することができる。パワー調整部６３は、ＭＥＭＳミラー装置３０の光反射面の揺動角度に応じて光源部１０に供給する電圧と電流を調整する。具体的にはパワー調整部６３は、光反射面の角度に応じた出力が記憶された出力テーブル（図示せず）を備え、この出力テーブルを参照してパルス光の強度を調整する。

【0017】

スポット径調整部６４は、光源部１０とＭＥＭＳミラー装置３０との光路上に配置され、光源部１０から出射されたパルス光のスポット径を調整する。具体的には、スポット径調整部６４は、レンズ（図示せず）とアクチュエータ（図示せず）を備える。スポット径調整部６４は、アクチュエータを稼働することによりレンズの絞り径を調整する。具体的にはスポット径調整部６４は、光反射面の角度に応じたスポット径を記憶したスポット径テーブル（図示せず）を備え、このスポット径テーブルを参照してパルス光のスポット径を調整する。

【0018】

従って、スポット径調整部６４に入射されたパルス光は、アクチュエータが動作することによりレンズ径が調整され、走査対象領域上のスポット径が調整される。尚、スポット径を調整する機構は、レンズとアクチュエータと以外の機構でもよく、例えば、液晶レンズを用いることもできる。液晶レンズを用いてパルス光のスポット径を調整する場合には、液晶レンズにかける電圧を適宜調整して行うとよい。

【0019】

測距部としての距離測定部７０は、受光部４０によって生成された受光信号に基づいて、例えば、タイムオブフライト法によって、測距装置１００と走査対象領域内にある物体との距離を算出する。

【0020】

具体的には、距離測定部７０は、光源部１０によって出射された１のパルス光の出射時刻と、当該１のパルス光が走査対象領域内の物体によって反射されて反射光として受光部４０に検出された受光時刻を取得する。そして、当該出射時刻と当該受光時刻の時刻差に基づいて、当該１のパルス光が光源部１０から出射されて受光部４０、に受光されるまでの光経路の長さを算出し、当該長さに基づいて測距装置１００と物体との距離を算出する。

【0021】

図２は、ＭＥＭＳミラー装置３０の平面図である。保持部３１は、本実施例においては矩形の平板形状に形成されている。尚、保持部３１は、矩形の平板形状に限られず、例えば、円板形状であってもよい。

【0022】

固定部３２は、本実施例においては矩形の枠形状に形成されている。尚、固定部３２の形状は矩形の枠形状に限られず、環状の枠形状に形成されていてもよい。固定部３２は、保持部３１上に保持されている。

【0023】

可動部３３は、反射部材としての内側可動部３４と、内側可動部３４を囲む枠形状の外側可動部３５と、を含んでいる。内側可動部３４は、本実施例においては、矩形の平板形状に形成されている。尚、内側可動部３４の形状は矩形の平板形状に限られず、例えば、円板形状に形成されていてもよい。内側可動部３４の中央には光ビームを反射する光反射面ＭＲが形成されている。

【0024】

第１の軸ＡＸは、光反射面ＭＲに対して非垂直方向であり、本実施例においては、光反射面ＭＲに平行である。

【0025】

２つの第１のトーションバーＴＢ１は、光反射面ＭＲの面中心Ｃを通る第１の軸ＡＸの方向に沿って伸長した板状体に形成されている。２つの第１のトーションバーＴＢ１は、一端が内側可動部３４の側面に固定され、他端が外側可動部３５の側面に固定されている。すなわち、内側可動部３４の第１の軸ＡＸ周りの力が掛かると、第１のトーションバーＴＢ１がねじれる。この結果、内側可動部３４は、第１の軸ＡＸを中心に揺動する。従って、外側可動部３５は第１保持部材として、第１の軸ＡＸの周りに揺動可能に内側可動部３４を保持する。また、第１の軸ＡＸは内側可動部３４の揺動軸となる。

【0026】

外側可動部３５は、本実施例においては、矩形の枠形状に形成されている。尚、外側可動部３５の形状は矩形の枠形状に限られず、例えば、環状の枠形状に形成されていてもよい。第２の軸ＡＹは、第１の軸ＡＸと直交して交差する。第２の軸ＡＹは、光反射面ＭＲに対して非垂直方向であり、本実施例においては、光反射面ＭＲに平行である。

【0027】

２つの第２のトーションバーＴＢ２は、第２の軸ＡＹの方向に沿って伸長した板状体に形成されている。２つの第２のトーションバーＴＢ２は、一端が外側可動部３５の側面に固定され、他端が固定部３２の側面に固定されている。すなわち、外側可動部３５の第２の軸ＡＹ周りの力が掛かると、第２のトーションバーＴＢ２がねじれる。この結果、外側可動部３５は、第２の軸ＡＹを中心に揺動する。従って、固定部３２は第２保持部材として、第２の軸ＡＹの周りに揺動可能に外側可動部３５を保持する。また、第２の軸ＡＹは外側可動部３５の揺動軸となる。

【0028】

２つの第２のトーションバーＴＢ２は、一端が外側可動部３５の側面に固定され、他端が固定部３２の側面に固定されている。すなわち、外側可動部３５の第２の軸ＡＹ周りの力が掛かると、第２のトーションバーＴＢ２がねじれる。この結果、外側可動部３５は、第２の軸ＡＹを中心に揺動する。従って、固定部３２は、外側可動部３５が揺動軸である第２の軸ＡＹの周りに揺動可能に外側可動部３５を保持する。従って、固定部３２は第２保持部材として、外側可動部３５が揺動軸である第２の軸ＡＹの周りに揺動可能に外側可動部３５を保持する。尚、固定部３２、第１のトーションバーＴＢ１、外側可動部３５、第２のトーションバーＴＢ２及び内側可動部３４は、半導体基板で一体的に形成されている。

【0029】

外側可動部３５の周縁領域にはそれぞれ第１駆動コイルＣＬ１が設けられている。内側可動部３４の周縁領域には第２駆動コイルＣＬ２が設けられている。第１駆動コイルＣＬ１と第２駆動コイルＣＬ２とは、それぞれ対向するように設けられている。第１駆動コイルＣＬ１の端部は、固定部３２に形成された一対の第１電極端子Ｔ１に接続されている。第２駆動コイルＣＬ２の端部は、固定部３２に形成された第２電極端子Ｔ２に接続されている。

【0030】

第１駆動コイルＣＬ１に磁界を作用させる互いに極性が異なる一対の第１永久磁石ＭＧ１及び第２駆動コイルＣＬ２に磁界を作用させる互いに極性が異なる一対の第２永久磁石ＭＧ２が内側可動部３４及び外側可動部３５を挟んでそれぞれ対向して保持部３１上に配置されている。

【0031】

したがって、例えば、第１駆動コイルＣＬ１に供給される電流と、第１永久磁石ＭＧ１による磁界と、によって、外側可動部３５及び内側可動部３４に対してローレンツ力が作用する。この結果、内側可動部３４及び外側可動部３５は、第２のトーションバーＴＢ２の軸周りに揺動する。

【0032】

また、第２駆動コイルＣＬ２に供給される電流と、第２永久磁石ＭＧ１による磁界と、によって、内側可動部３４に対してローレンツ力が作用する。この結果、内側可動部３４は、第１のトーションバーＴＢ１の軸周りに揺動する。したがって、可動部３３は、第１の軸ＡＸ及び第２の軸ＡＹの周りに揺動する。ここで、第１駆動コイルＣＬ１及び第２駆動コイルＣＬ２に供給される電流の周波数のそれぞれは、ＭＥＭＳミラー装置３０の共振周波数と同一又はその近傍の周波数に設定されている。

【0033】

図３は、図２のＭＥＭＳミラー装置３０の第１の軸ＡＸに沿った断面図である。図３において、保持部３１は、本実施例においては矩形の平板形状に形成されている。尚、保持部３１は、矩形の平板形状に限られず、例えば、円板形状であってもよい。保持部３１は、その上面ＴＳから突出して形成された突出部３６を含んでいる。

【0034】

突出部３６は、保持部３１の上面ＴＳの中央部を囲うように固定部３２の周縁領域に沿って環状に形成されている。従って、保持部３１の上面ＴＳと、突出部３６の互いに対向する内側面３６ｓとによって開口部が形成されている。

【0035】

突出部３６の上面は、平坦に形成され、この上面に固定部３２が固定されている。突出部３６の高さは、少なくとも、ＭＥＭＳミラー装置３０の内側可動部３４及び外側可動部３５が揺動時に上面ＴＳに干渉しないように形成するとよい。したがって、保持部３１は第３保持部材として、固定部３２を保持する。尚、ＭＥＭＳミラー装置３０Ｂは、ＭＥＭＳミラー装置３０と同一の構造を有するので説明を省略する。

【0036】

以上で説明した測距装置が自動車等の移動体に搭載された場合を説明する。尚、移動体は、自動車の他に、自転車、バイク、飛行機、船舶、移動する人等、自動車以外の移動体であっても良い。

【0037】

図４は、自動車ＡＭに搭載された測距装置の光走査部２０が走査する走査対象領域Ｒ１を示した図である。図４に示すように、自動車ＡＭのフロント領域に、測距中心Ｃが設けられている。また、自動車ＡＭの前後方向に延びる線であって、測距中心Ｃを通る中心線ＣＸが規定されている。

【0038】

光走査部２０は、自動車ＡＭのフロント領域、例えば、自動車ＡＭのヘッドライトの近傍に設けられている。光走査部２０が走査する走査対象領域Ｒ１は、上面視が測距中心Ｃを中心とする楕円扇形状である。光走査部２０は、走査対象領域Ｒ１に存在する対象物ＯＢの測距を行う。

【0039】

走査対象領域Ｒ１には、被走査面（仮想平面）である仮想面ＶＳが測距装置１００と対向させて設けられている。本実施例では、仮想面ＶＳの画角中央は、走査対象領域Ｒ１の画角中央と走査方向と重なるように設けられている。

【0040】

ここで、中心線ＣＸと走査対象領域Ｒ１の外縁との交点をＰ１とする。走査対象領域Ｒ１の外縁うち、最も測距中心Ｃに近い位置をＰ２ａ，Ｐ２ｂとする。本実施例において、測距中心Ｃから交点Ｐ１までの距離は、例えば、２００ｍである。測距中心Ｃから交点Ｐ２ａ又は交点Ｐ２ｂまでの距離は、例えば、４０ｍである。尚、測距中心Ｃから交点Ｐ１までの距離は任意に定めることができる。また、測距中心Ｃから交点Ｐ２ａ又はＰ２ｂまでの距離は任意に定めることができる。

【0041】

図５は、測距装置１００の光走査部２０の投光系の動作を示している。図５において、光源部１０とＭＥＭＳミラー装置３０との間には、ビームスプリッタＢＳが設けられている。ビームスプリッタＢＳは、光源部１０側から入射した光ビームをＭＥＭＳミラー装置３０側に通す光学素子である。したがって、光源部１０から出射された光ビームがビームスプリッタＢＳを介してＭＥＭＳミラー装置３０に入射される。ＭＥＭＳミラー装置３０は入射した光ビームを走査対象領域Ｒ１を規定する仮想の走査面ＳＳに向けて反射させる。尚、走査面ＳＳは実在するものではない。仮想の走査面ＳＳの位置は測距装置１００の測距可能範囲として設定される走査対象領域Ｒ１の最外周部に位置する。当該測距可能範囲は、光源部１０から出射したパルス光の反射光が、受光部４０に受光されるまでの待ち時間の最大値によって設定される。すなわち、待ち時間を過ぎて受光部４０に受光された反射光は、測距可能範囲よりも遠くの対象物によって反射されたパルス光であり、そのような対象物は測距の対象外として扱われる。

【0042】

具体的には、ＭＥＭＳミラー装置３０は、可動部３３を揺動して走査する態様で光ビームを走査対象領域Ｒ１内に向けて反射させる。この結果、ＭＥＭＳミラー装置３０によって反射された光ビームは、走査対象領域Ｒ１内であり光ビームの反射方向にある仮想面ＶＳにおいてリサージュ軌跡を描くように、照射方向を変化させながら照射される。

【0043】

尚、仮想面ＶＳは実在するものではなく、走査対象領域Ｒ１を走査する際の光ビームの照射方向の変化を、光ビームの軌跡で説明するために、本明細書中に用いられるものである。このリサージュ軌跡は、ＭＥＭＳミラー装置３０の搖動による光ビームの照射方向の連続的な変化の方向によってあらわされるものである。また、仮想面ＶＳにおいて描かれる軌跡は、リサージュ曲線に沿った軌跡に限られず、例えば、平行な水平方向の走査軌跡群で構成されたラスタであってもよい。本実施例においては、この軌跡をリサージュ軌跡として説明する。

【0044】

図６は、測距装置１００の光走査部２０の受光系の動作を示している。図６において、走査対象領域Ｒ１内に対象物ＯＢが存在すると、対象物ＯＢから反射された光ビームがＭＥＭＳミラー装置３０に入射され、ビームスプリッタＢＳを介して受光部４０に入射される。

【0045】

受光部４０は、入射された反射光に基づいて生成された電気信号を距離測定部７０に供給する。距離測定部７０は、光ビームを出射した時刻と光ビームを受光した時刻に基づいて、対象物ＯＢまでの距離を計測する。

【0046】

図７（ａ）は、第１駆動コイルＣＬ１と第２駆動コイルＣＬ２とに供給される電流の位相差を変化させたときの仮想面ＶＳにおいて描かれるリサージュ走査軌跡を示している。図７（ａ）においては、水平方向走査と垂直方向走査とを、下記のようにした場合のリサージュ走査軌跡を示している。

【0047】

具体的には図中のＡＸ１及びＡＹ１は、第１の軸ＡＸ及び第２の軸ＡＹにそれぞれ対応している。すなわち、ＭＥＭＳミラー装置３０の第１の軸ＡＸの周りの揺動は、仮想面ＶＳにおけるＡＹ１方向の走査位置の変化に対応する。また、ＭＥＭＳミラー装置３０の第２の軸ＡＹの周りの揺動は、仮想面ＶＳにおけるＡＸ１方向の走査位置の変化に対応する。

【0048】

水平方向走査： ＤＸ（θｘ）＝Ａｘ ｓｉｎ（θｘ＋Ｂｘ）
垂直方向走査： ＤＹ（θｙ）＝Ａｙ ｓｉｎ（θｙ＋Ｂｙ）
図７（ａ）に示されるリサージュ軌跡は、図中において軸ＡＸ１の端部の近傍の領域は軌跡が密に描かれている。このように軌跡の密度が密である領域を密領域とする。また、軸ＡＸ１の中央の近傍の領域は軌跡が疎に描かれている。このように軌跡の密度が疎である領域を疎領域とする。従って、図７（ａ）に示されるリサージュ軌跡は、密領域と疎領域を有しており、密領域から疎領域に向かうにつれて軌跡の密度は漸次疎になっている。なお、軌跡の密度は測距装置１００からの距離によっても変化する。測距装置から遠くになるにつれて、隣り合って照射されるパルス光同士の距離は離れていく。従って、同じ照射方向に照射されたパルス光であっても、測距装置１００からの距離が近い対象物上の照射点の密度より、測距装置１００からの距離が遠い対象物上の照射点の密度の方が疎になる。

【0049】

図８は、走査面ＳＳの一部を上から見た場合の走査面ＳＳに照射されるパルス光の一部を示している。

【0050】

図８において、走査面ＳＳ上に照射されるパルス光の照射点ＰＥ１～ＰＥ４が示されている。照射点ＰＥ１～ＰＥ４は、それぞれ一定の間隔ΔＬを有して配置されている。

【0051】

ここで、走査対象領域Ｒ１の外縁であって照射点ＰＥ２と照射点ＰＥ３との中間点を点ＰＭとする。パルス光の出射点ＰＯから点ＰＭまでの距離を距離Ｒとする。交点Ｐ１ｂとパルス光の出射点ＰＯを結ぶ線を基準線ＬＢとする。照射点ＰＥ１と出射点ＰＯとを結ぶ射線Ｌ１と基準線ＬＢとがなす角度をθ１とする。照射点ＰＥ２と出射点ＰＯを結んだ射線Ｌ２と基準線ＬＢとがなす角度をθ２とする。

【0052】

角度θ１から、角度θ２を引いた角度Δθとした場合、距離（Ｒ）と角度（Δθ）と、各パルス光の間隔（ΔＬ）の関係は、以下の式（１）を満たす。

【0053】

Ｒ×Δθ＝ΔＬ （一定） 式（１）
式（１）に表されるように、各パルス光の間隔ΔＬが一定であることは走査面ＳＳの単位面積あたりに照射されるパルス光の照射点が一定であることを意味する。すなわち、本実施例の測距装置１００は、走査面ＳＳ上の空間解像度の不均一性が抑制されるように走査する。

【0054】

具体的には、ミラー制御部６１は、上述のようなリサージュ軌跡を描くような態様、すなわち第１のトーションバーＴＢ１及び第２のトーションバーＴＢ２の軸周りに内側可動部３４が共振して揺動する態様でＭＥＭＳミラー装置３０を駆動させる。

【0055】

また、光源制御部６１は、光走査部２０がパルス光を照射する方向における測距可能範囲の距離の大きさに応じて光走査部２０からのパルス光の照射を制御する。具体的には、光源制御部６１は、ＭＥＭＳミラー装置３０の内側可動部３４の揺動角度に応じたパルス光の出射タイミングを記憶したタイミングテーブルを有しており、このタイミングテーブルを参照して、光源部１０にパルス光を出射する間隔が変化するようにパルス光を出射させる。

【0056】

パルス光が出射される間隔は、測距中心から遠く離れた走査対象領域Ｒ１の交点Ｐ１の近傍の領域、すなわち疎領域には、パルス光の出射間隔が短くなるように設定し、測距中心から近くに位置するＰ２ａ，Ｐ２ｂの近傍の領域、すなわち密領域には、パルス光の出射間隔が長くなるように設定するとよい。

【0057】

タイミングテーブルには、パルス光の照射方向ごとの測距可能範囲の距離に応じてパルス光の適切な出射間隔が記憶されている。具体的には、タイミングテーブルは、測距装置１００が取り付けられた自動車ＡＭを基準としたパルス光の照射方向毎に光源部１０からのパルス光の出射間隔を記憶する。自動車ＡＭを基準としたパルス光の照射方向を定めるものとしては、例えば、角度検知部５０が検出するＭＥＭＳミラー装置３０の光反射面ＭＲの角度が挙げられる。

【0058】

例えば、図４における自動車ＡＭの正面方向（すなわち、仮想の走査面ＳＳまでの距離が最長である方向）にパルス光を照射する場合、当該方向に対しては、相対的に短い出射間隔（Ｘμ秒）（Ｘは固有の数値）が設定される。また、自動車ＡＭの側方（すなわち、仮想の走査面ＳＳまでの距離が最短である方向）にパルス光を照射する場合、当該方向にはＸよりも長い出射間隔（Ｚμ秒）（ＺはＺ＞Ｘを満たす固有の数値）が設定される。

【0059】

自動車ＡＭの正面方向から側方までの中間方向にパルス光を照射する場合、自動車ＡＭの正面方向から側方に近づくにつれて、仮想の走査面ＳＳまでの距離も徐々に短くなる。従って、自動車ＡＭの正面方向から側方に近づくにつれて徐々に出力がＺμ秒に近づくように出射間隔が設定されている。この場合、出射間隔Ｚよりも短くかつ、出射間隔Ｘよりも長い中間の出射間隔（Ｙμ秒）（Ｙは、Ｘ＞Ｙ＞Ｚ満たす変数）が設定されている。

【0060】

これによって、光源制御部６１は、タイミングテーブルを参照して、出射間隔の制御を行うことで、走査面ＳＳまでの距離に応じた（測距可能範囲までの距離に応じた）、電圧及び電流を光源部１０に供給することができる。

【0061】

このようにパルス光の出射間隔を設定することにより、走査対象領域Ｒ１の単位面積あたりに照射されるパルス光の照射点の不均一性を抑制することができる。

【0062】

図９は、走査面ＳＳに照射されたならば形成されるパルス光の照射痕を示している。図９において、走査面ＳＳに形成されたパルス光のスポット径Ｄの不均一性は抑制されている。ここで、パルス光のスポット径Ｄは、図９に示したパルス光の出射点ＰＯから点ＰＭまでの距離（Ｒ）に比例する。したがって、光走査部２０は、出射点ＰＯから点ＰＭまでの射線の距離（Ｒ）に応じて、すなわち、出射されるパルス光の射線における走査面ＳＳとの距離に応じて当該出射されるパルス光のスポット径Ｄを調整して照射する。

【0063】

具体的には、スポット調整部６４は、パルス光の射線における走査面ＳＳとの距離が大きいほど相対的に小さいスポット径で照射されるようにパルス光のスポット径を調整し、パルス光の射線における走査面ＳＳとの距離が短くなるにつれて徐々にスポット径が大きくなるように調整する。

【0064】

なお、スポット径テーブルには、パルス光の照射方向ごとの測距可能範囲の距離に応じてスポット径が記憶されている。具体的には、スポット径テーブルは、測距装置１００が取り付けられた自動車ＡＭを基準としたパルス光の照射方向毎に光源部１０からのパルス光のスポット径を記憶する。自動車ＡＭを基準としたパルス光の照射方向を定めるものとしては、例えば、角度検知部５０が検出するＭＥＭＳミラー装置３０の光反射面ＭＲの角度が挙げられる。

【0065】

例えば、図４における自動車ＡＭの正面方向（すなわち、仮想の走査面ＳＳまでの距離が最長である方向）にパルス光を照射する場合、当該方向に対しては小さなスポット径（αｍｍ）（αは固有の数値）が設定される。また、自動車ＡＭの側方（すなわち、走査面ＳＳまでの距離が最短である方向）にパルス光を照射する場合、当該方向に対しては相対的に大きなスポット径（γｍｍ）（γはγ＞αを満たす固有の数値）が設定される。

【0066】

自動車ＡＭの正面方向から側方までの中間方向にパルス光を照射する場合、自動車ＡＭの正面方向から側方に近づくにつれて、仮想の走査面ＳＳまでの距離も徐々に短くなる。従って、自動車ＡＭの正面方向から側方に近づくにつれて徐々にスポット径がγｍｍに近づくように、スポット径が設定される。この場合、スポット径αよりも大きくかつ、スポット径γよりも小さい中間のスポット径（βｍｍ）（βは、γ＞β＞α満たす変数）が設定されている。

【0067】

これによって、スポット径テーブルを参照して、スポット径調整部６４が制御を行うことで、仮想の走査面ＳＳまでの距離に応じた（測距可能範囲までの距離に応じた）、パルス光のスポット径とすることができる。

【0068】

また、パワー調整部６３は、出射されるパルス光の射線における走査面ＳＳとの距離に基づいて当該出射されるパルス光の出力を変化させる。具体的には、パワー調整部６３は、パルス光の射線における走査面ＳＳとの距離が大きいほど、相対的に最も大きい出力で照射されるようにパルス光のパワーを調整し、パルス光の射線における走査面ＳＳとの距離が短くなるにつれて徐々に出力が小さくなるようにパワーを調整する。

【0069】

以上のように、本実施例の測距装置１００は、走査の際に自動車ＡＭからの距離が最も遠い交点Ｐ１の近傍、すなわちリサージュ軌跡の密度が疎である疎領域においては、パルス光の出射間隔が短くなるように走査すると共に、自動車ＡＭからの距離が最も近い交点Ｐ２ａ，Ｐ２ｂの近傍の領域、すなわちリサージュ軌跡の密度が密である密領域パルス光の出射間隔が長くなるように走査する。

【0070】

なお、出力テーブルには、パルス光の照射方向ごとの測距可能範囲の距離に応じてパルス光の出力が記憶されている。具体的には、出力テーブルは、測距装置１００が取り付けられた自動車ＡＭを基準としたパルス光の照射方向毎に光源部１０からのパルス光の出力を記憶する。自動車ＡＭを基準としたパルス光の照射方向を定めるものとしては、例えば、角度検知部５０が検出するＭＥＭＳミラー装置３０の光反射面ＭＲの角度が挙げられる。

【0071】

例えば、図４における自動車ＡＭの正面方向（すなわち、走査面ＳＳまでの距離が最長である方向）にパルス光を照射する場合、当該方向に対しては相対的に大きな出力（δｍＷ）（δは固有の数値）が設定される。また、自動車ＡＭの側方（すなわち、仮想の走査面ＳＳまでの距離が最短である方向）にパルス光を照射する場合、当該方向に対してはδよりも小さな出力（ζｍＷ）（ζはδ＞ζを満たす固有の数値）が設定される。

【0072】

自動車ＡＭの正面方向から側方までの中間方向にパルス光を照射する場合、自動車ＡＭの正面方向から側方に近づくにつれて、仮想の走査面ＳＳまでの距離も徐々に短くなる。従って、自動車ＡＭの正面方向から側方に近づくにつれて徐々に出力がζｍＷに近づくように、出力が設定されている。この場合、当該方向に対しては、出力δよりも小さくかつ、出力ζよりも大きい中間の出力（εｍＷ）（εは、δ＞ε＞ζ満たす変数）が設定されている。

【0073】

これによって、出力テーブルを参照してパワー調整部６３が制御を行うことで、仮想の走査面ＳＳまでの距離に応じた（測距可能範囲までの距離に応じた）、電圧及び電流を光源部１０に供給することができる。

【0074】

従って、本実施例の測距装置１００によれば、自動車ＡＭの前方側と側方側との距離が異なるように、方向によって測距が必要とされる距離範囲が異なる場合でも、走査面ＳＳ上にパルス光が照射される間隔の不均一性を抑制する、すなわち、空間解像度が、不均一性が大きくなく、良好な測距を行うことが可能となる。したがって、測距装置１００は、測距動作において対象物ＯＢの検出効率の向上を図ることができる。

【0075】

また、パワー調整部６３によって出射されるパルス光の射線における走査面ＳＳとの距離に基づいて当該出射されるパルス光の出力を調整することで、信号雑音比（Ｓ/Ｎ比）を高めることが可能となる。したがって、測距装置１００が測定した測距情報の信頼性を高めることが可能となる。より具体的には、遠い位置の走査面ＳＳにはパルス光の相対強度を強くすることで、信号雑音比（Ｓ/Ｎ比）を高めることができる。また、近い位置の走査面ＳＳにはパルス光の相対強度を小さくすることで、パルス光の出射強度や回数が規定されている場合に、当該規定に沿うようにパルス光の出射を制御することが可能となる。

【0076】

さらに、スポット径調整部６４によって、出射されるパルス光の射線における走査面ＳＳとの距離に基づいて当該出射されるパルス光のスポット径を調整することにより、対象物の検出効率の向上を図ることが可能となる。すなわち、パルス光のスポット径は距離Ｒに比例するため、走査面ＳＳにおいて照射されるパルス光のスポット径Ｄの不均一性を抑制することが可能となる。

【実施例0077】

図１０（ａ）は、実施例２に係る測距装置１００の仮想面ＶＳに描かれる走査軌跡を示している。実施例２に係る測距装置１００は、実施例１と同様の構成であり、仮想面ＶＳにおいて走査する態様が異なる。

【0078】

制御部６０のミラー制御部６２は、第１のトーションバーＴＢ１又は第２のトーションバーＴＢ２の一方の軸周りに内側可動部３４が共振せずに揺動させられるようにＭＥＭＳミラー装置３０を駆動し、かつ、第１のトーションバーＴＢ１又は第２のトーションバーＴＢ２の一方の軸周りの角度の変位の速度が、この一方の軸周りの揺動角度範囲全体に亘って変化させるようにＭＥＭＳミラー装置３０を駆動する。言い換えれば、ミラー制御部６２は、ＭＥＭＳミラー装置３０の光反射面ＭＲの揺動する速度を制御する。

【0079】

尚、第１のトーションバーＴＢ１又は、第２のトーションバーＴＢ２のいずれか一方の軸周りに内側可動部３４が共振せずに揺動させられるような態様であればよく、例えば、第１のトーションバーＴＢ１及び第２のトーションバーＴＢ２の両方の軸周りに内側可動部３４が共振せずに揺動させられるようにしてもよい。

【0080】

本実施例においては、一例として第１のトーションバーＴＢ１の軸周りについては内側可動部３４が共振しつつ揺動するように駆動させ、第２のトーションバーＴＢ２については内側可動部３４が共振せずに揺動するように駆動させた例について説明する。

【0081】

図１０の（ｂ）は、図１０（ａ）に示したラスタ走査における第２のトーションバーＴＢ２の軸周りの内側可動部３４の揺動角の経時変化を模式的に示している。

【0082】

図１０（ｂ）に示された内側可動部３４の揺動角が変位する速度が漸次変化する。具体的には、マイナス側の最大揺動角－α度から０度に向かうにつれて徐々に遅くなり、０度を超えると減速過程と揺動角の変位する速度が対称となるようにプラス側の最大揺動角＋α度まで徐々に加速する。

【0083】

したがって、図１０（ａ）に示されたラスタ走査の軌跡は、軸ＡＸ１上において、軸ＡＸ１の端部から軸ＡＹ１との交点に向かうにつれて徐々に軌跡間の間隔が狭くなる。したがって、走査軌跡は、仮想面ＶＳにおいて軸ＡＹ１を中心軸として左右対称に描かれている。

【0084】

ラスタ走査の軌跡間の間隔が最も狭い領域、すなわち、仮想面ＶＳの軸ＡＸ１と軸ＡＸ２との交点の近傍は、走査対象領域Ｒ１の外縁において、測距中心Ｃから最も離れた交点Ｐ１の近傍を走査する。

【0085】

また、ラスタ走査の軌跡間の間隔が最も広い領域、すなわち、仮想面ＶＳの軸ＡＸ１の端部の近傍は、走査対象領域Ｒ１の外縁において測距中心Ｃから最も近い交点Ｐ２，ａ，Ｐ２ｂの近傍を走査する。

【0086】

光源制御部６１は、光源部１０から出射されるパルス光の間隔を一定に制御する。この結果、本実施例に係る測距装置１００は、実施例１の図９に示したように、走査面ＳＳ上にパルス光が照射される間隔を一定とする、すなわち、空間解像度が均一となるように走査する。

【0087】

以上のように、本実施例の測距装置１００は、走査の際に自動車ＡＭからの距離が最も遠い交点Ｐ１の近傍に対して、ラスタ走査の軌跡間の間隔を最も狭い領域とし、自動車ＡＭからの距離が最も近い交点Ｐ２ａ，Ｐ２ｂの近傍に対して、ラスタ走査の軌跡間の間隔を最も広い領域とし、パルス光を一定の間隔で出射する。

【0088】

従って、本実施例の測距装置１００によれば、自動車ＡＭの前方側と側方側との距離が異なるように、方向によって測距が必要とされる距離範囲が異なる場合でも、走査面ＳＳ上にパルス光が照射される間隔の不均一性を抑制することができる。すなわち、測距装置１００によれば、空間解像度が不均一性が大きくなく、良好な測距を行うことが可能となる。したがって、測距装置１００は、画像処理において対象物ＯＢを検出効率の向上を図ることができる。