特開 2024-27803 アクチュエータ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024027803

(43)【公開日】2024-03-01

(54)【発明の名称】アクチュエータ

(51)【国際特許分類】

   F16H 25/24 20060101AFI20240222BHJP

   F16H 25/20 20060101ALI20240222BHJP

   F16H 25/22 20060101ALI20240222BHJP

【ＦＩ】

F16H25/24 G

F16H25/20 E

F16H25/22 K

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022130923

(22)【出願日】2022-08-19

(71)【出願人】

【識別番号】000004204

【氏名又は名称】日本精工株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】塚越 賢治

(72)【発明者】

【氏名】白濱 康平

(72)【発明者】

【氏名】杉田 澄雄

【テーマコード（参考）】

3J062

【Ｆターム（参考）】

3J062AB22

3J062AC07

3J062BA25

3J062CD02

3J062CD23

3J062CD57

3J062CG83

(57)【要約】

【課題】ナット回転式において、ボールネジ軸の振れ回りを調整すること。
【解決手段】ハウジング２Ａと、ハウジング２Ａに対して中心軸ＣＬの周りに回転可能に設けられるロータ２Ｂａと、ロータ２Ｂａに固定されるボールナット２Ｃと、中心軸ＣＬが延びるＸ方向（軸方向）に延びてボールナット２Ｃに挿通係合されてボールナット２Ｃの回転に伴いＸ方向に移動可能に設けられるボールネジ軸２Ｄと、ボールナット２Ｃとロータ２Ｂａとの相対位置について中心軸ＣＬの傾きを調整する傾き調整機構６０と、ボールナット２Ｃとハウジング２Ａとの相対位置について中心軸ＣＬの平行位置を調整する偏心調整機構と、を含む。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ハウジングと、
前記ハウジングに対して中心軸の周りに回転可能に設けられるロータと、
前記ロータに固定されるボールナットと、
軸方向に延びて前記ボールナットに挿通係合されて前記ボールナットの回転に伴い前記軸方向に移動可能に設けられるボールネジ軸と、
前記ボールネジ軸の前記中心軸の傾きを調整する傾き調整機構と、
前記ボールネジ軸の前記中心軸の平行位置を調整する偏心調整機構と、
を含む、アクチュエータ。

【請求項2】

前記傾き調整機構は、前記ボールナットと前記ロータとの相対位置について前記中心軸の傾きを調整する、請求項１に記載のアクチュエータ。

【請求項3】

前記傾き調整機構は、
前記ボールナットと前記ロータとの前記軸方向の間に形成された隙間と、
前記ボールナットと前記ロータとを前記隙間を介在して前記軸方向で締め付け固定する固定部材と、
を含む、請求項２に記載のアクチュエータ。

【請求項4】

前記傾き調整機構は、
前記ボールナットと前記ロータとの前記軸方向の間に形成された隙間と、
前記隙間に介在されるスペーサと、
前記ボールナットと前記ロータとを前記スペーサを介在して前記軸方向で締め付け固定する固定部材と、
を含む、請求項２に記載のアクチュエータ。

【請求項5】

前記ハウジングに対して前記ロータを回転可能に支持する軸受を含み、
前記傾き調整機構は、前記軸受と前記ハウジングとの相対位置において前記中心軸の傾きを調整する、請求項１に記載のアクチュエータ。

【請求項6】

前記偏心調整機構は、前記ボールナットと前記ハウジングとの相対位置について前記中心軸の平行位置を調整する、請求項１に記載のアクチュエータ。

【請求項7】

前記偏心調整機構は、
前記ボールナットと前記ハウジングとの間に挿入されて径方向に拡大可能に形成された挿入部材と、
前記挿入部材に前記軸方向から挿入されて前記挿入部材を拡大させる楔部材と、
を含む、請求項６に記載のアクチュエータ。

【請求項8】

前記偏心調整機構は、
前記ハウジングに径方向で締め込まれ、前記ボールナットに当接可能に設けられた押付部材を含む、請求項６に記載のアクチュエータ。

【請求項9】

前記ハウジングに対して前記ロータを回転可能に支持する軸受を含み、
前記偏心調整機構は、前記軸受と前記ハウジングとの相対位置において前記中心軸の平行位置を調整する、請求項１に記載のアクチュエータ。

【請求項10】

前記傾き調整機構と前記偏心調整機構とは、前記ボールナットの周方向で重複しない位置に設けられている、請求項１に記載のアクチュエータ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、アクチュエータに関するものである。

【背景技術】

【0002】

例えば、特許文献１には、モータによって回転運動するボールネジ軸と、ボールネジ軸の回転によって直線運動するボールネジナットと、ボールネジナットが固定されるスライド部と、直線運動方向に沿う溝部と、溝部を転動してスライド部を移動可能に支持する転動体と、スライド部に固定される作業軸と、を有するアクチュエータが示されている。このアクチュエータでは、ボールネジ軸の先端の振れを抑えるため、ボールネジ軸の先端に設けられてスライド部に固定されるロッドの孔の内周面に接触する弾性部材を有する。

【0003】

また、例えば、特許文献２には、ネジ軸と、ネジ軸に第一転動体を介して捩じ込まれるナット部材と、ナット部材と共に移動可能な可動体と、可動体をネジ軸が延びる軸方向に移動可能に支持する案内手段と、ネジ軸の周方向に第二転動体を配置する溝を有してナット部材と可動体とを軸方向において連結する連結手段と、を有するボールネジ式のアクチュエータが示されている。このアクチュエータでは、可動体に伝わる回転時の振れを抑えるため、連結手段の溝が、軸方向から視て非円形、もしくは、軸方向から視てねじ軸の軸心と中心が一致しない円形に形成されている。

【0004】

また、例えば、特許文献３には、パラレルリンクを直列につないだロボットが示されている。

【0005】

また、例えば、特許文献４には、穴加工工具の振れ調整を行う技術が示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０２０－０４１７０６号公報

【特許文献2】特開２０１７－０５３４３１号公報

【特許文献3】独国実用新案第２１２０１３０００２５０号公報

【特許文献4】特開２０１５－２１３９６８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

特許文献１，２に示されるアクチュエータは、ネジ軸が回転することでネジ軸に沿ってナットが移動し、このナットの移動に伴って移動する作動軸や可動体を移動させる。

【0008】

この特許文献１，２に示されるアクチュエータとは別の構成として、ナット側を回転させ、ネジ軸を移動させるアクチュエータが考えられる。ナット回転式のアクチュエータは、ナットの回転をネジ軸の軸方向推力に変換することで、高い精度での位置決めが可能であり、比較的小型のアクチュエータを実現できるが、ネジ軸の振れ回りを抑えることが望まれている。

【0009】

また、特許文献３に示されるようなロボットの場合、駆動するアクチュエータから離れた位置の作業点での高い精度が要求される。そのとき、１軸アクチュエータがまっすぐ走ることが精度を高くするために非常に重要になり、１軸アクチュエータの振れ回りを抑制する必要がある。

【0010】

また、特許文献４に示されている振れ調整機構は、ネジを差し込んで振れ調整を行うものであるが、使用中にもネジを押し付けて調整を行う。このため、アクチュエータにおいて、運転動作中でのネジを押し付けての調整では、ネジ軸に負荷が加わり好ましくない。

【0011】

本開示は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、ナット回転式において、ボールネジ軸の振れ回りを調整することのできるアクチュエータを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0012】

上記の目的を達成するため、本開示の一態様のアクチュエータは、ハウジングと、前記ハウジングに対して中心軸の周りに回転可能に設けられるロータと、前記ロータに固定されるボールナットと、軸方向に延びて前記ボールナットに挿通係合されて前記ボールナットの回転に伴い前記軸方向に移動可能に設けられるボールネジ軸と、前記ボールネジ軸の前記中心軸の傾きを調整する傾き調整機構と、前記ボールネジ軸の前記中心軸の平行位置を調整する偏心調整機構と、を含む。

【0013】

上記アクチュエータの望ましい態様として、前記傾き調整機構は、前記ボールナットと前記ロータとの相対位置について前記中心軸の傾きを調整する。

【0014】

上記アクチュエータの望ましい態様として、前記傾き調整機構は、前記ボールナットと前記ロータとの前記軸方向の間に形成された隙間と、前記ボールナットと前記ロータとを前記隙間を介在して前記軸方向で締め付け固定する固定部材と、を含む。

【0015】

上記アクチュエータの望ましい態様として、前記傾き調整機構は、前記ボールナットと前記ロータとの前記軸方向の間に形成された隙間と、前記隙間に介在されるスペーサと、前記ボールナットと前記ロータとを前記スペーサを介在して前記軸方向で締め付け固定する固定部材と、を含む。

【0016】

上記アクチュエータの望ましい態様として、前記ハウジングに対して前記ロータを回転可能に支持する軸受を含み、前記傾き調整機構は、前記軸受と前記ハウジングとの相対位置において前記中心軸の傾きを調整する。

【0017】

上記アクチュエータの望ましい態様として、前記偏心調整機構は、前記ボールナットと前記ハウジングとの相対位置について前記中心軸の平行位置を調整する。

【0018】

上記アクチュエータの望ましい態様として、前記偏心調整機構は、前記ボールナットと前記ハウジングとの間に挿入されて径方向に拡大可能に形成された挿入部材と、前記挿入部材に前記軸方向から挿入されて前記挿入部材を拡大させる楔部材と、を含む。

【0019】

上記アクチュエータの望ましい態様として、前記偏心調整機構は、前記ハウジングに径方向で締め込まれ、前記ボールナットに当接可能に設けられた押付部材を含む。

【0020】

上記アクチュエータの望ましい態様として、前記ハウジングに対して前記ロータを回転可能に支持する軸受を含み、前記偏心調整機構は、前記軸受と前記ハウジングとの相対位置において前記中心軸の平行位置を調整する。

【0021】

上記アクチュエータの望ましい態様として、前記傾き調整機構と前記偏心調整機構とは、前記ボールナットの周方向で重複しない位置に設けられている。

【発明の効果】

【0022】

本開示によれば、ナット回転式において、ボールネジ軸の振れ回りを調整することができる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】図１は、実施形態のアクチュエータの構成例を表す斜視図である。

【図2】図２は、実施形態のアクチュエータの傾き調整機構の第一構成例を表す断面図である。

【図3】図３は、実施形態のアクチュエータの傾き調整機構の第一構成例を表す正面図である。

【図4】図４は、実施形態のアクチュエータの傾き調整機構の第二構成例を表す断面図である。

【図5】図５は、実施形態のアクチュエータの傾き調整機構の第二構成例を表す正面図である。

【図6】図６は、実施形態のアクチュエータの偏心調整機構の第一構成例を表す断面図である。

【図7】図７は、実施形態のアクチュエータの偏心調整機構の第一構成例を表す斜視図である。

【図8】図８は、実施形態のアクチュエータの偏心調整機構の第一構成例を表す断面斜視図である。

【図9】図９は、実施形態のアクチュエータの偏心調整機構の第一構成例を表す斜視図である。

【図10】図１０は、実施形態のアクチュエータの偏心調整機構の第一構成例を表す断面斜視図である。

【図11】図１１は、実施形態のアクチュエータの偏心調整機構の第一構成例を表す正面図である。

【図12】図１２は、実施形態のアクチュエータの偏心調整機構の第一構成例の他の構成を表す正面図である。

【図13】図１３は、実施形態のアクチュエータの偏心調整機構の第二構成例を表す断面図である。

【図14】図１４は、実施形態のアクチュエータの偏心調整機構の第二構成例を表す正面図である。

【図15】図１５は、実施形態のアクチュエータの傾き調整機構および偏心調整機構の第三構成例を表す正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

以下、発明を実施するための形態につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、下記の形態により本発明が限定されるものではない。また、下記形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、下記形態で開示した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。

【0025】

実施形態のアクチュエータは、例えば、医療機器や産業機器など精密な位置決め精度が求められるロボットに適用される。

【0026】

図１および図２に示すように、アクチュエータ１は、ナット回転式として構成され、アクチュエータ本体２と、ガイド部３と、を含む。

【0027】

アクチュエータ本体２は、ハウジング２Ａと、駆動源であるモータ２Ｂと、ボールナット２Ｃと、ボールネジ軸２Ｄと、エンコーダ２Ｅと、を含む。

【0028】

ハウジング２Ａは、矩形状で箱型に形成される。ハウジング２Ａは、一方向に長く形成され、当該方向をＺ方向とする。また、ハウジング２Ａは、Ｚ方向に対して直交（交差）する二つの方向をそれぞれＸ方向とＹ方向とし、これらＸ方向およびＹ方向において略正方形に形成される。なお、ハウジング２Ａは、箱型に限らず、モータ２Ｂ、ボールナット２Ｃ、およびエンコーダ２Ｅを支持する構成であればよい。

【0029】

モータ２Ｂは、図２に示すように、ハウジング２Ａの内部に収容される。モータ２Ｂは、ロータ（回転子）２Ｂａと、ステータ（固定子）２Ｂｂと、を有する。ロータ２Ｂａは、ハウジング２Ａに対して軸受２Ｆを介して取り付けられ、Ｚ方向に延びる中心軸ＣＬの周りに回転可能に設けられている。中心軸ＣＬが延びるＺ方向を軸方向ともいう。ロータ２Ｂａは、中心軸ＣＬ上でＺ方向に貫通する円形の貫通孔からなる中空部２Ｂａａが形成されている。ロータ２Ｂａは、その外周面に永久磁石２Ｂａｂが固定されている。永久磁石２Ｂａｂは、中心軸ＣＬの周りの周方向に間隔をおいて複数配置される。ステータ２Ｂｂは、ロータ２Ｂａの周りを囲むように中心軸ＣＬを中心とした筒状に形成されている。ステータ２Ｂｂは、中心軸ＣＬの周りの周方向に間隔をおいて複数設けられた芯部に、電磁コイルが絶縁材を介して巻き付けられている。従って、モータ２Ｂは、ステータ２Ｂｂの電磁コイルへの通電によってロータ２Ｂａが中心軸ＣＬの周りに回転駆動される。

【0030】

ロータ２Ｂａをハウジング２Ａに取り付ける軸受２Ｆは、Ｚ方向の一方側（ボールナット２Ｃが配置される側）と、Ｚ方向の他方側（エンコーダ２Ｅが配置される側）とに設けられる。そのうち、Ｚ方向の一方側の軸受２Ｆは、ハウジング２Ａに対するＺ方向への移動を、ハウジング２Ａの内周面に形成された段部２Ａａと突起２Ａｂとの間に挟まれて規制される。Ｚ方向の一方側の軸受２Ｆは、ロータ２Ｂａに対するＺ方向の移動を、ロータ２Ｂａの外周面に突出した突起２Ｂａｃと、ロータ２Ｂａの外周面に設けられる固定リング４との間に挟まれて規制される。固定リング４は、円環状に形成された内周面に雌ネジが形成され、ロータ２Ｂａの外周面に形成された雌ネジ部に螺合してＺ方向に締め付けられる。これにより、ロータ２Ｂａとハウジング２Ａとは、軸受２Ｆを介してＺ方向への相対移動を規制される。

【0031】

ボールナット２Ｃは、図２に示すように、モータ２Ｂのロータ２Ｂａと一体に接続される。ボールナット２Ｃは、Ｚ方向の一方側において、ロータ２Ｂａの中空部２Ｂａａに遊嵌される円柱形状の本体部２Ｃａと、ロータ２ＢａのＺ方向の一方の端に当接する円環形状のフランジ部２Ｃｂと、を一体に有する。即ち、ボールナット２Ｃの本体部２Ｃａは、ロータ２Ｂａの中空部２Ｂａａに対し、相互間に動くことのできる隙間がある遊びをもった状態で嵌る。ボールナット２Ｃは、固定リング４に締結される固定ネジ５を介してフランジ部２Ｃｂがロータ２Ｂａに接続される。従って、ボールナット２Ｃは、モータ２Ｂの駆動によって中心軸ＣＬの周りに回転駆動される。ボールナット２Ｃは、Ｚ方向に沿って中心軸ＣＬの周りに螺旋状の溝２Ｃｃが形成され、当該溝２Ｃｃにボールが配置されており、回転駆動によってボールが溝を転動して循環するように設けられる。

【0032】

ボールネジ軸２Ｄは、図２に示すように、ハウジング２Ａの内部に収容され、一部がハウジング２Ａの外部に延びて設けられる。ボールネジ軸２Ｄは、ハウジング２Ａの内部において、ボールナット２Ｃに挿通係合し、モータ２Ｂのロータ２Ｂａの中空部２Ｂａａに一部が挿通して設けられる。ボールネジ軸２Ｄは、その外周面に中心軸ＣＬの周りに沿う螺旋状の溝２Ｄａが形成され、当該溝２Ｄａにボールナット２Ｃのボールが転動可能に係合する。従って、ボールネジ軸２Ｄは、ボールナット２Ｃの回転駆動によって中心軸ＣＬに沿ってＺ方向に移動可能に設けられる。

【0033】

エンコーダ２Ｅは、ハウジング２Ａの外部に設けられる。エンコーダ２Ｅは、ハウジング２Ａの内部から外部に延びるロータ２Ｂａに接続される。エンコーダ２Ｅは、モータ２Ｂの駆動によって中心軸ＣＬの周りに回転するロータ２Ｂａの回転数を検出し出力する。即ち、エンコーダ２Ｅは、ロータ２Ｂａおよびボールナット２Ｃの回転数を検出し出力する。

【0034】

ガイド部３は、図１に示すように、アクチュエータ本体２に取り付けられ、連結部材３Ａと、ガイドレール３Ｂと、第一リニアガイド３Ｃと、第二リニアガイド３Ｄと、を含む。

【0035】

連結部材３Ａは、連結部３Ａａと、支持部３Ａｂと、を有する。連結部３Ａａは、ボールネジ軸２Ｄにおいてボールナット２Ｃ（ハウジング２Ａ）から突出した端部に連結される。連結部３Ａａは、ボールネジ軸２Ｄの端部からＸ方向の一方に延びて形成される。支持部３Ａｂは、連結部３Ａａに対して一体に接続され、連結部３ＡａのＸ方向に延びた端部から折れ曲がるようにＺ方向に延びてハウジング２Ａの外部に沿って配置される。従って、連結部材３Ａは、ボールネジ軸２Ｄと共に中心軸ＣＬに沿ってＺ方向に移動可能に設けられる。連結部材３Ａは、ガイドレール３Ｂ、第一リニアガイド３Ｃ、第二リニアガイド３Ｄを介してハウジング２Ａに支持される。

【0036】

ガイドレール３Ｂは、支持部３Ａｂに固定される。ガイドレール３Ｂは、支持部３Ａｂ共にＺ方向に延びて形成される。ガイドレール３Ｂは、Ｚ方向に平行して２本設けられ、支持部３Ａｂを間にしてＹ方向で相反する方向に向けて設けられる。従って、ガイドレール３Ｂは、連結部材３Ａを介してボールネジ軸２Ｄと共に中心軸ＣＬに沿ってＺ方向に移動可能に設けられる。

【0037】

第一リニアガイド３Ｃは、固定部材３Ｅを介してハウジング２Ａに固定される。固定部材３Ｅは、ハウジング２ＡのＸ方向の一方側に固定され、Ｘ方向に立ち上がる２つの固定片３ＥａがＹ方向で対向して配置される。従って、固定部材３Ｅは、Ｚ方向から視てＬ字形状の部材と板部材とによってＸ方向の一方側に開放するように全体としてコ字形状に形成される。また、固定部材３Ｅは、図には明示しないが、開放部が塞がれるカバーが設けられる。第一リニアガイド３Ｃは、この固定部材３Ｅの各固定片３Ｅａの対向面においてＹ方向で対向して２つ設けられる。各第一リニアガイド３Ｃは、図４に示すように、Ｘ方向から視た際に、ボールネジ軸２Ｄ（中心軸ＣＬ）を基にＹ方向で対称の位置にある。各第一リニアガイド３Ｃは、各ガイドレール３Ｂにそれぞれ係合し、ガイドレール３ＢをＺ方向に移動可能に支持する。従って、第一リニアガイド３Ｃは、ガイドレール３ＢのＺ方向への移動を案内する。即ち、第一リニアガイド３Ｃは、ガイドレール３Ｂおよび連結部材３Ａを介してボールネジ軸２ＤのＺ方向への移動を案内する。

【0038】

第二リニアガイド３Ｄは、固定部材３Ｅを介してハウジング２Ａに固定される。第二リニアガイド３Ｄは、第一リニアガイド３Ｃと同様に構成される。

【0039】

第一リニアガイド３Ｃおよび第二リニアガイド３Ｄは、Ｚ方向で並んで固定部材３Ｅに固定される。第一リニアガイド３Ｃは、Ｚ方向において、ボールネジ軸２Ｄがボールナット２Ｃ（ハウジング２Ａ）から突出移動する側に配置され、第二リニアガイド３Ｄは、Ｚ方向において、ボールネジ軸２Ｄがボールナット２Ｃに引込移動する側に配置されている。言い換えると、第一リニアガイド３Ｃは、ハウジング２ＡのＺ方向の一方側に配置され、第二リニアガイド３Ｄは、ハウジング２ＡのＺ方向の他方側に配置されている。

【0040】

アクチュエータ１は、上述した構成例について傾き調整機構および偏心調整機構を含む。傾き調整機構および偏心調整機構は、アクチュエータ１においてボールネジ軸２Ｄの振れ回りを抑えるように調整するためのものである。傾き調整機構は、ボールナット２Ｃとロータ２Ｂａとの相対位置について中心軸ＣＬの傾きを調整する。偏心調整機構は、ボールナット２Ｃとハウジング２Ａとの相対位置について中心軸ＣＬの平行位置を調整する。ボールナット２Ｃとロータ２Ｂａとの相対位置での中心軸ＣＬの傾きや、ボールナット２Ｃとハウジング２Ａとの相対位置での中心軸ＣＬの平行位置は、個々のアクチュエータ１において予め計測により求められたもので、当該計測に基づいて傾き調整機構および偏心調整機構によって調整される。以下、傾き調整機構および偏心調整機構の詳細について説明する。

【0041】

図２は、実施形態のアクチュエータの傾き調整機構の第一構成例を表す断面図である。図３は、実施形態のアクチュエータの傾き調整機構の第一構成例を表す正面図である。

【0042】

第一構成例の傾き調整機構６０は、ボールナット２Ｃとロータ２ＢａとのＺ方向（軸方向）の間に形成された隙間６と、ボールナット２Ｃとロータ２Ｂａとを隙間を介在してＺ方向で締め付け固定する固定ネジ（固定部材）５と、を含む。

【0043】

隙間６は、軸受２Ｆを介してロータ２Ｂａをハウジング２Ａに位置決めする固定リング４と、ボールナット２Ｃのフランジ部２Ｃｂとの間に設けられる。隙間６は、ロータ２ＢａがＺ方向の一方側に長く形成されてボールナット２Ｃのフランジ部２Ｃｂが固定リング４から離れることによって設けられる。

【0044】

隙間６を構成する一方であるボールナット２Ｃのフランジ部２Ｃｂには、切欠部２Ｃｄが形成されている。切欠部２Ｃｄは、フランジ部２ＣｂをＺ方向で貫通して形成され、かつ円環形状のフランジ部２Ｃｂに対して中心軸ＣＬから離れる径方向の外側に向けて開口するようにＵ字形状に形成される。切欠部２Ｃｄは、中心軸ＣＬを中心とした周方向に複数（実施形態では４個）が等間隔で配置される。

【0045】

固定ネジ５は、上述したように、ボールナット２Ｃをロータ２Ｂａに固定するため、固定リング４に締結されるものである。固定ネジ５は、固定リング４に螺合する雄ネジ部５ａと雄ネジ部５ａの基部に設けられる頭部５ｂとを含む。固定ネジ５は、固定リング４に螺合する雄ネジ部５ａがフランジ部２Ｃｂの切欠部２ＣｄにＺ方向で貫通し、頭部５ｂがフランジ部２Ｃｂに当接する。従って、固定ネジ５は、切欠部２Ｃｄに対応して中心軸ＣＬを中心とした周方向に複数（実施形態では４個）が等間隔で配置される。固定ネジ５は、例えば、六角レンチなどの工具で締め付けられる。

【0046】

第一構成例の傾き調整機構６０は、固定ネジ５の固定リング４への締め付け量に伴ってボールナット２Ｃのフランジ部２Ｃｂが隙間６を介してＺ方向の固定リング４側に押圧される。この押圧によって、ボールナット２Ｃとロータ２Ｂａとは、遊嵌された相互の隙間が調整代となって相対位置での中心軸ＣＬの傾きが変化する。固定ネジ５は、中心軸ＣＬを中心とした周方向に複数配置されるため、予め計測により求められた傾きに基づいて各所固定ネジ５の締め付け量を調整することで、ボールナット２Ｃとロータ２Ｂａとの相対位置での中心軸ＣＬの傾きを０または限りなく０に近づけることができる。

【0047】

図４は、実施形態のアクチュエータの傾き調整機構の第二構成例を表す断面図である。図５は、実施形態のアクチュエータの傾き調整機構の第二構成例を表す正面図である。

【0048】

第二構成例の傾き調整機構７０は、ボールナット２Ｃとロータ２ＢａとのＺ方向（軸方向）の間に形成された上述の隙間６と、隙間６に介在されるスペーサ７と、ボールナット２Ｃとロータ２Ｂａとをスペーサ７を介在してＺ方向で締め付け固定する上述した固定ネジ（固定部材）５と、を含む。

【0049】

スペーサ７は、ロータ２Ｂａが挿通される挿通孔７ａを有して円環形状に形成される。スペーサ７は、切欠部７ｂが形成されている。切欠部７ｂは、スペーサ７をＺ方向で貫通して形成され、かつ中心軸ＣＬから離れる径方向の外側に向けて開口するように形成される。切欠部７ｂは、中心軸ＣＬを中心とした周方向に複数（実施形態では９０度間隔で４個）が等間隔で配置される。この切欠部７ｂは、ボールナット２Ｃのフランジ部２Ｃｂの切欠部２ＣｄとＺ方向で一致するように設けられる。スペーサ７は、予め計測により求められた傾きに基づいてＺ方向の厚みが設定される。なお、スペーサ７は、切欠部７ｂとは別に切欠部７ｃが形成される。切欠部７ｃは、スペーサ７をＺ方向で貫通して形成され、かつ中心軸ＣＬから離れる径方向の外側に向けて開口するように形成される。切欠部７ｃは、中心軸ＣＬを中心とした周方向に複数（実施形態では４個）が等間隔で配置される。この切欠部７ｃは、後述する第一構成例の偏心調整機構８０の係合部２ＣｅとＺ方向で一致するように設けられる。つまり、第二構成例の傾き調整機構７０は、第一構成例の偏心調整機構８０と共に設けることができる。

【0050】

スペーサ７は、固定ネジ５によって固定される。即ち、第二構成例の傾き調整機構７０は、固定ネジ５の固定リング４への締め付けに伴ってボールナット２Ｃのフランジ部２Ｃｂがスペーサ７の厚さ分固定リング４側に押し付けられる。この押し付けによって、ボールナット２Ｃとロータ２Ｂａとは、遊嵌された相互の隙間が調整代となって相対位置での中心軸ＣＬの傾きが変化する。スペーサ７は、予め計測により求められた傾きに基づいて厚さが設定されているため、固定ネジ５を締め付けることで、ボールナット２Ｃとロータ２Ｂａとの相対位置での中心軸ＣＬの傾きを０または限りなく０に近づけることができる。

【0051】

図６は、実施形態のアクチュエータの偏心調整機構の第一構成例を表す断面図である。図７は、実施形態のアクチュエータの偏心調整機構の第一構成例を表す斜視図である。図８は、実施形態のアクチュエータの偏心調整機構の第一構成例を表す断面斜視図である。図９は、実施形態のアクチュエータの偏心調整機構の第一構成例を表す斜視図である。図１０は、実施形態のアクチュエータの偏心調整機構の第一構成例を表す断面斜視図である。図１１は、実施形態のアクチュエータの偏心調整機構の第一構成例を表す正面図である。図１２は、実施形態のアクチュエータの偏心調整機構の第一構成例の他の構成を表す正面図である。

【0052】

第一構成例の偏心調整機構８０は、ボールナット２Ｃとハウジング２Ａとの間に挿入されて中心軸ＣＬと直交する径方向に拡大可能に形成された挿入部材８Ａと、挿入部材８ＡにＺ方向（軸方向）から挿入されて挿入部材８Ａを拡大させる楔部材８Ｂと、を含む。

【0053】

挿入部材８Ａは、図６から図８に示すように、一端から他端に延びる柱形状において、他端側に開口する有り底の雌ネジ穴８Ａａが形成されている。挿入部材８Ａは、雌ネジ穴８Ａａの開口から一端に向かってスリット８Ａｂが形成される。スリット８Ａｂは、挿入部材８Ａの柱形状における径方向で対向して設けられ、これにより挿入部材８Ａは、径方向で対向する舌片８Ａｃが形成される。舌片８Ａｃは、径方向に撓んで変形することが可能である。また、挿入部材８Ａは、各舌片８Ａｃの両側であって各スリット８Ａｂが設けられた外周面に平面部８Ａｄが形成される。なお、実施形態の挿入部材８Ａは、その挿入の先端となる他端の形状が先細りになるテーパで形成されているが、フラットな端面として形成されていてもよい。

【0054】

楔部材８Ｂは、図６、図９および図１０に示すように、雌ネジ穴８Ａａに締め込まれるように外周面に雄ネジ部８Ｂａを有する。また、楔部材８Ｂは、例えば、六角レンチなどの工具で締め込まれる。なお、実施形態の楔部材８Ｂは、その挿入の先端の形状が先細りになるテーパで形成されているが、フラットな端面として形成されていてもよい。また、挿入部材８Ａと楔部材８Ｂの先端形状は、双方が同様でなくてもよく、一方がテーパまたはフラットで、他方がフラットまたはテーパに形成されていてもよい。

【0055】

ボールナット２Ｃのフランジ部２Ｃｂには、図６および図１１に示すように、挿入部材８Ａが係合される係合部２Ｃｅが形成されている。係合部２Ｃｅは、フランジ部２ＣｂをＺ方向で貫通して形成され、かつ円環形状のフランジ部２Ｃｂに対して中心軸ＣＬから離れる径方向の外側に向けて開口するように形成される。係合部２Ｃｅは、中心軸ＣＬを中心とした周方向に複数（実施形態では４個）が等間隔で配置される。実施形態では、係合部２Ｃｅは、上述した切欠部２Ｃｄを配置していない位置に設けられている。即ち、係合部２Ｃｅは、傾き調整機構６０，７０にかかる切欠部２Ｃｄとは、相互が干渉しないように、ボールナット２Ｃの周方向で重複しない位置に設けられている。また、係合部２Ｃｅは、挿入部材８Ａの平面部８Ａｄが当接する当接面２Ｃｅａが形成されている。挿入部材８Ａは、当接面２Ｃｅａに平面部８Ａｄが当接するように係合部２Ｃｅに対してＺ方向に差し込まれることで係合部２Ｃｅに係合する。

【0056】

第一構成例の偏心調整機構８０は、係合部２Ｃｅに係合された挿入部材８Ａが、ボールナット２Ｃとハウジング２Ａとの間に挿入される。挿入部材８Ａは、係合部２Ｃｅへの係合状態において、各舌片８Ａｃがボールナット２Ｃとハウジング２Ａとに当接することとなる。そして、この挿入部材８Ａに楔部材８Ｂが締め込まれる。楔部材８Ｂが締め込まれた挿入部材８Ａは、各舌片８Ａｃが径方向外側に広がるように変形する。このため、挿入部材８Ａは、各舌片８Ａｃがボールナット２Ｃとハウジング２Ａとを径方向外側に押圧する。この押圧によって、ボールナット２Ｃとロータ２Ｂａとは、遊嵌された相互の隙間が調整代となって相対位置での中心軸ＣＬの平行位置が変化する。これにより、ボールナット２Ｃは、ハウジング２Ａとの相対位置での中心軸ＣＬの平行位置が変化する。実施形態のアクチュエータ１は、ハウジング２Ａにガイド部３が設けられ、このガイド部３のガイドレール３Ｂとハウジング２Ａとの関係により基準の中心軸が設定され、この基準の中心軸に対してボールナット２Ｃの中心軸ＣＬの平行位置がずれることでボールネジ軸２Ｄの振れ回りを生じさせる。従って、第一構成例の偏心調整機構８０は、予め計測により求められた中心軸ＣＬに対するボールナット２Ｃの平行位置のずれに基づき、係合部２Ｃｅを選択し、この係合部２Ｃｅに挿入部材８Ａを挿入し楔部材８Ｂを締め込むことで、ボールナット２Ｃの中心軸ＣＬの平行位置を調整し、基準の中心軸に一致または限りなく一致に近づけることができる。

【0057】

なお、第一構成例の偏心調整機構８０は、図１２に示すように、挿入部材８Ａが平面部８Ａｄを１箇所に有し、係合部２Ｃｅが当接面２Ｃｅａを１箇所に有して形成された構成としてもよい。

【0058】

図１３は、実施形態のアクチュエータの偏心調整機構の第二構成例を表す断面図である。図１４は、実施形態のアクチュエータの偏心調整機構の第二構成例を表す正面図である。

【0059】

第二構成例の偏心調整機構９０は、ハウジング２Ａに径方向で締め込まれ、ボールナット２Ｃに当接可能に設けられた押付部材９を含む。

【0060】

押付部材９は、外周面に雄ネジ部９ａを有するネジ部材として構成される。押付部材９は、ハウジング２Ａにおいて中心軸ＣＬと直交する径方向に沿って貫通して形成された雌ネジ孔２Ａｃに径方向で螺合し締め付けられる。従って、押付部材９は、ハウジング２Ａに径方向で締め込まれることでハウジング２Ａの内部に先端が突出する。押付部材９は、例えば、六角レンチなどの工具で締め込まれる。ハウジング２Ａの雌ネジ孔２Ａｃは、ボールナット２Ｃのフランジ部２Ｃｂの周縁２Ｃｆに向けて形成されている。

【0061】

第二構成例の偏心調整機構９０は、ハウジング２Ａに径方向で締め込また押付部材９の先端がハウジング２Ａの内部でボールナット２Ｃのフランジ部２Ｃｂの周縁２Ｃｆに当接する。なお、押付部材９がフランジ部２Ｃｂに当接する位置は、傾き調整機構６０，７０にかかる切欠部２Ｃｄとは、相互が干渉しないように、ボールナット２Ｃの周方向で重複しない位置とする。ボールナット２Ｃのフランジ部２Ｃｂの周縁２Ｃｆに当接した押付部材９は、ボールナット２Ｃを径方向に押圧する。この押圧によって、ボールナット２Ｃとロータ２Ｂａとは、遊嵌された相互の隙間が調整代となって相対位置での中心軸ＣＬの平行位置が変化する。これにより、ボールナット２Ｃは、ハウジング２Ａとの相対位置での中心軸ＣＬの平行位置が変化する。実施形態のアクチュエータ１は、ハウジング２Ａにガイド部３が設けられ、このガイド部３のガイドレール３Ｂとハウジング２Ａとの関係により基準の中心軸が設定され、この基準の中心軸に対してボールナット２Ｃの中心軸ＣＬの平行位置がずれることでボールネジ軸２Ｄの振れ回りを生じさせる。従って、第一構成例の偏心調整機構は、予め計測により求められた中心軸ＣＬに対するボールナット２Ｃの平行位置のずれに基づいたボールナット２Ｃのフランジ部２Ｃｂの周縁２Ｃｆの位置に合わせて押付部材９を締め込むことで、ボールナット２Ｃの中心軸ＣＬの平行位置を調整し、基準の中心軸に一致または限りなく一致に近づけることができる。

【0062】

なお、上述した第一構成例の傾き調整機構６０は、第一構成例の偏心調整機構８０または第二構成例の偏心調整機構９０と組み合わせることができる。また、上述した第二構成例の傾き調整機構７０は、第一構成例の偏心調整機構８０または第二構成例の偏心調整機構９０と組み合わせることができる。このため、実施形態のアクチュエータ１は、傾き・偏心の両方を調整できる。ここで、傾き調整機構７０と、偏心調整機構８０，９０との組み合わせにおいては、偏心調整機構８０，９０の挿入部材８Ａおよび楔部材８Ｂ、押付部材９に偏心を調整したら、固定ネジ５でしっかりと固定することで偏心調整の状態が維持される。その際の傾き調整はスペーサ７で行っている。また、挿入部材８Ａおよび楔部材８Ｂ、押付部材９は、偏心および傾きの調整が済んで固定ネジ５によって固定した後に取り外される。

【0063】

図１５は、実施形態のアクチュエータの傾き調整機構および偏心調整機構の第三構成例を表す正面図である。

【0064】

第三構成例の傾き調整機構１００および第三構成例の偏心調整機構１１０は、ハウジング２Ａに径方向で締め込まれ、軸受２Ｆに当接可能に設けられた押付部材１０を含む。

【0065】

押付部材１０は、外周面に雄ネジ部１０ａを有するネジ部材として構成される。押付部材１０は、ハウジング２Ａにおいて中心軸ＣＬと直交する径方向に沿って貫通して形成された雌ネジ孔２Ａｄに径方向で螺合し締め付けられる。従って、押付部材１０は、ハウジング２Ａに径方向で締め込まれることでハウジング２Ａの内部に先端が突出する。押付部材１０は、例えば、六角レンチなどの工具で締め込まれる。ハウジング２Ａの雌ネジ孔２Ａｄは、軸受２Ｆに対してその外面に向けて形成されている。実施形態のアクチュエータ１では、軸受２Ｆは、上述したように、Ｚ方向の一方側（ボールナット２Ｃが配置される側）と、Ｚ方向の他方側（エンコーダ２Ｅが配置される側）とに設けられる。ハウジング２Ａの雌ネジ孔２Ａｄは、Ｚ方向の一方側の軸受２Ｆと、Ｚ方向の他方側の軸受２Ｆと、の位置に設けられる。また、ハウジング２Ａの雌ネジ孔２Ａｄは、中心軸ＣＬを中心とした周方向に複数（例えば４個）が等間隔で配置される。

【0066】

第三構成例の傾き調整機構１００は、ハウジング２Ａに径方向で締め込また押付部材１０の先端がハウジング２Ａの内部で軸受２Ｆに当接する。軸受２Ｆに当接した押付部材１０は、軸受２Ｆを径方向に押圧する。この押圧によって、軸受２Ｆは、Ｚ方向の一方側である場合、ボールナット２Ｃ側が径方向に押し付けられ、Ｚ方向の他方側である場合、エンコーダ２Ｅ側が径方向に押し付けられることで、軸受２Ｆで支持されたロータ２Ｂａの中心軸ＣＬの傾きが変化する。第三構成例の傾き調整機構１００は、予め計測により求められた中心軸ＣＬに対するボールネジ軸２Ｄの傾きに基づいて押付部材１０を締め込むことで、ボールネジ軸２Ｄの中心軸ＣＬの傾きを０または限りなく０に近づけることができる。例えば、ボールナット２Ｃ側の２列の軸受２Ｆは、固定ネジ５の締め付けで内輪に荷重がかかってがっちり固定される。この固定の際に径方向にずれて固定されることがあり、エンコーダ２Ｅ側の軸受２Ｆの支持点との軸がずれるので、結果、傾きにも影響する。従って、この傾きを予め測定してずれ量を確認してから、再度固定ネジ５を緩めて締め込み直すこと中心軸ＣＬの傾きを調整できる。

【0067】

また、第三構成例の偏心調整機構１１０は、ハウジング２Ａに径方向で締め込また押付部材１０の先端がハウジング２Ａの内部で軸受２Ｆに当接する。軸受２Ｆに当接した押付部材１０は、軸受２Ｆを径方向に押圧する。この押圧によって、軸受２Ｆは、Ｚ方向の一方側である場合、ボールナット２Ｃ側が径方向に押し付けられ、Ｚ方向の他方側である場合、エンコーダ２Ｅ側が径方向に押し付けられることで、各軸受２Ｆで支持されたロータ２Ｂａの中心軸ＣＬの平行位置が変化する。第三構成例の偏心調整機構１１０は、予め計測により求められた中心軸ＣＬに対するボールネジ軸２Ｄの平行位置のずれに基づいて押付部材１０を締め込むことで、ボールネジ軸２Ｄの中心軸ＣＬの平行位置を基準の中心軸に一致または限りなく一致に近づけることができる。例えば、ボールナット２Ｃ側の２列の軸受２Ｆは、固定ネジ５の締め付けで内輪に荷重がかかってがっちり固定される。この固定の際に径方向にずれて固定されることがあり、結果、ボールネジ軸２Ｄの中心軸ＣＬの平行位置にも影響する。従って、この平行位置のずれを予め測定してずれ量を確認してから、再度固定ネジ５を緩めて締め込み直すこと中心軸ＣＬの平行位置を調整できる。

【0068】

なお、上述した第三構成例の傾き調整機構１００および第三構成例の偏心調整機構１１０は、後述した傾き調整機構６０，７０や偏心調整機構８０，９０と組み合わせることができる。即ち、傾き調整機構６０，７０によってボールナット２Ｃとロータ２Ｂａとの相対位置について中心軸ＣＬの傾きを調整すると共に、傾き調整機構１００によって軸受２Ｆとハウジング２Ａとの相対位置において中心軸ＣＬの傾きを調整できる。また、偏心調整機構８０，９０によってボールナット２Ｃとハウジング２Ａとの相対位置について中心軸ＣＬの平行位置を調整すると共に、偏心調整機構１１０によって軸受２Ｆとハウジング２Ａとの相対位置において中心軸ＣＬの平行位置を調整できる。

【0069】

実施形態のアクチュエータ１は、上述したように、ハウジング２Ａと、ハウジング２Ａに対して中心軸ＣＬの周りに回転可能に設けられるロータ２Ｂａと、ロータ２Ｂａに固定されるボールナット２Ｃと、中心軸ＣＬが延びるＸ方向（軸方向）に延びてボールナット２Ｃに挿通係合されてボールナット２Ｃの回転に伴いＸ方向に移動可能に設けられるボールネジ軸２Ｄと、ボールネジ軸２Ｄの中心軸ＣＬの傾きを調整する傾き調整機構６０，７０，１００と、ボールネジ軸２Ｄの中心軸ＣＬの平行位置を調整する偏心調整機構８０，９０，１１０と、を含む。

【0070】

このアクチュエータ１によれば、傾き調整機構６０，７０および偏心調整機構８０，９０を有することで、ボールナット２Ｃとロータ２Ｂａとの相対位置について中心軸ＣＬの傾きや、ボールナット２Ｃとハウジング２Ａとの相対位置について中心軸ＣＬの平行位置を適宜調整できる。この結果、実施形態のアクチュエータ１は、ナット回転式において、ボールネジ軸の振れ回りを調整することができる。

【0071】

また、実施形態のアクチュエータ１では、傾き調整機構６０，７０は、ボールナット２Ｃとロータ２Ｂａとの相対位置について中心軸ＣＬの傾きを調整する。従って、このアクチュエータ１によれば、傾き調整機構６０，７０を有することで、ボールナット２Ｃとロータ２Ｂａとの相対位置について中心軸ＣＬの傾きを適宜調整できる。

【0072】

また、実施形態のアクチュエータ１では、傾き調整機構（第一構成例の傾き調整機構）６０は、ボールナット２Ｃとロータ２ＢａとのＺ方向の間に形成された隙間６と、ボールナット２Ｃとロータ２Ｂａとを隙間６を介在してＺ方向で締め付け固定する固定ネジ（固定部材）５と、を含む。従って、このアクチュエータ１によれば、ボールナット２Ｃとロータ２Ｂａとの相対位置について中心軸ＣＬの傾きを適宜調整できる。

【0073】

また、実施形態のアクチュエータ１では、傾き調整機構（第二構成例の傾き調整機構）７０は、ボールナット２Ｃとロータ２ＢａとのＺ方向の間に形成された隙間６と、隙間６に介在されるスペーサ７と、ボールナット２Ｃとロータ２Ｂａとをスペーサ７を介在してＺ方向で締め付け固定する固定ネジ（固定部材）５と、を含む。従って、このアクチュエータ１によれば、ボールナット２Ｃとロータ２Ｂａとの相対位置について中心軸ＣＬの傾きを適宜調整できる。

【0074】

また、実施形態のアクチュエータ１では、偏心調整機構８０，９０は、ボールナット２Ｃとハウジング２Ａとの相対位置について中心軸ＣＬの平行位置を調整する。従って、このアクチュエータ１によれば、偏心調整機構８０，９０を有することで、ボールナット２Ｃとハウジング２Ａとの相対位置について中心軸ＣＬの平行位置を調整できる。

【0075】

また、実施形態のアクチュエータ１では、ハウジング２Ａに対してロータ２Ｂａを回転可能に支持する軸受２Ｆを含み、傾き調整機構１００は、軸受２Ｆとハウジング２Ａとの相対位置において中心軸ＣＬの傾きを調整する。従って、このアクチュエータ１によれば、傾き調整機構１００を有することで、軸受２Ｆとハウジング２Ａとの相対位置において中心軸ＣＬの傾きを調整できる。

【0076】

また、実施形態のアクチュエータ１では、偏心調整機構（第一構成例の偏心調整機構）８０は、ボールナット２Ｃとハウジング２Ａとの間に挿入されて径方向に拡大可能に形成された挿入部材８Ａと、挿入部材８ＡにＺ方向から挿入されて挿入部材８Ａを拡大させる楔部材８Ｂと、を含む。従って、このアクチュエータ１によれば、ボールナット２Ｃとハウジング２Ａとの相対位置について中心軸ＣＬの平行位置を適宜調整できる。

【0077】

また、実施形態のアクチュエータ１では、偏心調整機構（第二構成例の偏心調整機構）９０は、ハウジング２Ａに径方向で締め込まれ、ボールナット２Ｃに当接可能に設けられた押付部材９を含む。従って、このアクチュエータ１によれば、ボールナット２Ｃとハウジング２Ａとの相対位置について中心軸ＣＬの平行位置を適宜調整できる。

【0078】

また、実施形態のアクチュエータ１では、ハウジング２Ａに対してロータ２Ｂａを回転可能に支持する軸受２Ｆを含み、偏心調整機構１１０は、軸受２Ｆとハウジング２Ａとの相対位置において中心軸ＣＬの平行位置を調整する。従って、このアクチュエータ１によれば、偏心調整機構１１０を有することで、軸受２Ｆとハウジング２Ａとの相対位置において中心軸ＣＬの平行位置を調整できる。

【0079】

また、実施形態のアクチュエータ１では、傾き調整機構６０，７０と偏心調整機構８０．９０とは、ボールナット２Ｃの周方向で重複しない位置に設けられている。従って、このアクチュエータ１によれば、傾き調整機構６０，７０と偏心調整機構８０．９０との相互の構成の干渉を防止できる。

【符号の説明】

【0080】

１ アクチュエータ
２Ａ ハウジング
２Ｃ ボールナット
２Ｂａ ロータ
２Ｄ ボールネジ軸
５ 固定ネジ（固定部材）
６ 隙間
７ スペーサ
８Ａ 挿入部材
８Ｂ 楔部材
９ 押付部材
６０ 傾き調整機構（第一構成例の傾き調整機構）
７０ 傾き調整機構（第二構成例の傾き調整機構）
８０ 偏心調整機構（第一構成例の偏心調整機構）
９０ 偏心調整機構（第二構成例の偏心調整機構）
１００ 傾き調整機構（第三構成例の傾き調整機構）
１１０ 偏心調整機構（第三構成例の偏心調整機構）
ＣＬ 中心軸

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】