特開 2024-2792 真空ポンプシステム、及び、制御方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024002792

(43)【公開日】2024-01-11

(54)【発明の名称】真空ポンプシステム、及び、制御方法

(51)【国際特許分類】

   F04D 19/04 20060101AFI20231228BHJP

   F04D 27/00 20060101ALI20231228BHJP

【ＦＩ】

F04D19/04 H

F04D27/00 E

F04D27/00 G

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022102207

(22)【出願日】2022-06-24

(71)【出願人】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100121382

【弁理士】

【氏名又は名称】山下 託嗣

(74)【代理人】

【識別番号】100221372

【弁理士】

【氏名又は名称】岡崎 信治

(72)【発明者】

【氏名】田中 晋悟

【テーマコード（参考）】

3H021

3H131

【Ｆターム（参考）】

3H021AA02

3H021AA08

3H021BA21

3H021CA08

3H021EA05

3H021EA20

3H131AA02

3H131BA09

3H131BA15

3H131BA16

3H131CA02

3H131CA13

3H131CA35

(57)【要約】

【課題】アラームを発報する異常の発生回数を定める所定の閾値を適切に設定する。
【解決手段】真空ポンプシステム１００は、記憶部６１と、ポンプ制御部６２と、設定部１０２と、を備える。記憶部６１は、アラームを出力する異常の発生回数を定める第１閾値ＴＨ１を記憶する。ポンプ制御部６２は、真空ポンプ１で発生した異常の発生回数を計数し、異常の発生回数が第１閾値ＴＨ１以上であるか否かを判断し、異常の発生回数が第１閾値以上である場合、アラームを出力する。設定部１０２は、真空ポンプ１の動作状態に基づいて、第１閾値ＴＨ１を設定または変更する。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ロータをモータにより回転駆動してガスを排気する真空ポンプを含む真空ポンプシステムであって、
アラームを出力する異常の発生回数を定める第１閾値を記憶する記憶部と、
前記真空ポンプで発生した異常の発生回数を計数し、前記異常の発生回数が前記第１閾値以上であるか否かを判断し、前記異常の発生回数が前記第１閾値以上である場合、アラームを出力する制御部と、
前記真空ポンプの動作状態に基づいて、前記第１閾値を設定または変更する設定部と、
を備える、真空ポンプシステム。

【請求項2】

前記設定部は、前記異常の発生の履歴に基づいて、前記第１閾値を設定または変更する、 請求項１に記載の真空ポンプシステム。

【請求項3】

前記設定部は、
前記真空ポンプの運転時間が第１時間に達したときの前記異常の発生回数に基づいて、前記真空ポンプの運転時間が前記第１時間よりも長い第２時間に達したときの前記異常の発生回数を予測発生回数として予測し、
前記予測発生回数に基づいて前記第１閾値を設定または変更する、
請求項１に記載の真空ポンプシステム。

【請求項4】

前記予測発生回数が前記記憶部に記憶されている第１閾値よりも小さい場合、前記設定部は、前記予測発生回数を新たな第１閾値として設定する、請求項３に記載の真空ポンプシステム。

【請求項5】

前記予測発生回数が前記記憶部に記憶されている第１閾値以上である場合、前記設定部は、前記記憶部に記憶されている第１閾値を維持すると決定する、請求項３に記載の真空ポンプシステム。

【請求項6】

前記真空ポンプは、前記真空ポンプの動作状態を測定する測定部を有し、
前記設定部は、
前記測定部により検知された測定値の大きさが第２閾値以上であるか否かに基づいて、前記真空ポンプに破損が生じるリスクがあるか否かを判断し、
前記予測発生回数と、前記真空ポンプに破損が生じるリスクがあるか否かと、に基づいて前記第１閾値を設定または変更する、
請求項３に記載の真空ポンプシステム。

【請求項7】

前記設定部は、
前記測定値の大きさが第２閾値よりも小さく前記真空ポンプに破損が生じるリスクがなく、前記予測発生回数が前記記憶部に記憶されている第１閾値よりも大きいと判断した場合、前記予測発生回数を新たな第１閾値として設定する、請求項６に記載の真空ポンプシステム。

【請求項8】

前記設定部は、
前記測定値の大きさが第２閾値以上であり前記真空ポンプに破損が生じるリスクがあり、前記予測発生回数が前記記憶部に記憶されている第１閾値より小さいと判断した場合、前記予測発生回数を新たな第１閾値として設定する、請求項６に記載の真空ポンプシステム。

【請求項9】

前記異常は、真空ポンプの振動に関する異常、前記真空ポンプの負荷に関する異常から選択される少なくとも１つである、請求項１に記載の真空ポンプシステム。

【請求項10】

ロータをモータにより回転駆動してガスを排気する真空ポンプを制御する制御方法であって、
前記真空ポンプで発生した異常の発生回数を計数するステップと、
前記真空ポンプの動作状態に基づいて、アラームを出力する異常の発生回数を定める第１閾値を設定または変更するステップと、
前記異常の発生回数が前記第１閾値以上である場合、アラームを出力するステップと、
を備える、制御方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空ポンプシステム、及び、真空ポンプの制御方法に関する。

【背景技術】

【0002】

真空ポンプには、ロータをモータにより回転駆動してガスを排気するものがある。特許文献１に記載の真空ポンプでは、ロータシャフトの軸変位を検出し、検出した回数を積算し、積算回数が所定回数を超えた場合、あるいは積算回数が所定時間内で所定回数を超えた場合に警報を発することが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００４－１５０３４０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載の真空ポンプなどの従来の真空ポンプでは、上記の所定回数（閾値）は、異常発生の積算回数がどの回数になると真空ポンプが破損するリスクが高まるかとの経験等に基づいて決められた固定値である。

【0005】

しかしながら、異常の発生回数がどの回数で警報を発報する必要があるかとの実績がほとんどない真空ポンプの場合には、警報を発報するための閾値を経験等に基づいて設定することは難しい。また、閾値を固定値とした場合には、例えば、異常の発生回数が想定より少ない真空ポンプにおいて、真空ポンプの運転時間が真空ポンプのメンテナンスが必要な時期となっても警報が発報されないことがある。すなわち、閾値を固定値とした場合には、適切な時期に警報を発報できないことがある。

【0006】

本発明は、上記従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、異常の発生回数が所定の閾値を超えたか否かを判断する真空ポンプにおいて、当該所定の閾値を真空ポンプの特性に応じて適切に設定することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一態様に係る真空ポンプシステムは、ロータをモータにより回転駆動してガスを排気する真空ポンプを含むシステムである。真空ポンプシステムは、記憶部と、制御部と、設定部と、を備える。記憶部は、アラームを出力する異常の発生回数を定める第１閾値を記憶する。制御部は、真空ポンプで発生した異常の発生回数を計数し、異常の発生回数が第１閾値以上であるか否かを判断し、異常の発生回数が第１閾値以上である場合、アラームを出力する。設定部は、真空ポンプの動作状態に基づいて、第１閾値を設定または変更する。

【発明の効果】

【0008】

異常の発生回数が第１閾値以上のときにアラームを出力する上記の真空ポンプシステムでは、設定部が、真空ポンプの実際の動作状態に基づいて第１閾値を設定または変更している。従って、真空ポンプの実際の運転状態を参照することにより個々の真空ポンプに適した第１閾値に設定することができるので、適切な時期にアラームを出力できる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】真空ポンプシステムの構成を示す図である。

【図2】真空ポンプの構成を示す図である。

【図3】ポンプ制御装置の構成を示す図である。

【図4】設定装置の構成を示す図である。

【図5】アラーム発報動作を示すフローチャートである。

【図6】第１閾値の設定動作例１を示すフローチャートである。

【図7】第１閾値の設定動作例２を示すフローチャートである。

【図8】第１設定動作を示すフローチャートである。

【図9】第２設定動作を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0010】

＜真空ポンプシステム＞
図１を用いて、真空ポンプシステム１００を説明する。図１は、真空ポンプシステム１００の構成を示す図である。真空ポンプシステム１００は、例えば、プロセスチャンバー（図示せず）内で各種プロセスを実行することで、半導体素子等を製造する半導体工場に設けられる。真空ポンプシステム１００は、複数の真空ポンプ１と、設定装置１０と、を備える。

【0011】

複数の真空ポンプ１は、プロセスチャンバーなどの排気対象の真空排気を行う。なお、真空ポンプシステム１００において、１つの排気対象が１台の真空ポンプ１で真空排気されてもよいし、１つの排気対象が複数の真空ポンプ１のうちのいくつかの真空ポンプ１で真空排気されてもよい。真空ポンプ１は、当該真空ポンプで異常が発生した場合に、その発生回数が第１閾値を超えたときにアラームを出力する。アラームの出力とは、アラームの発報、アラームを記憶装置に記憶、及び／又は、真空ポンプの運転を停止する等の処理の総称である。以下において、アラームの出力として、アラームを発報する場合を例に説明する。アラームが発報された場合、ユーザは、例えば、アラームを発報した真空ポンプをメンテナンスのためにオーバーホールし、必要に応じて当該真空ポンプの部品を交換できる。

【0012】

設定装置１０は、ネットワークＮを介して、複数の真空ポンプ１に接続され、複数の真空ポンプ１の各種設定を行う。設定装置１０は、真空ポンプ１に記憶されている各種情報を参照し、参照した各種情報に基づいて設定動作を実行できる。

【0013】

設定装置１０は、ＣＰＵ、記憶装置（ＲＡＭ、ＲＯＭ、ＨＤＤ、ＳＳＤなど）、通信インタフェースなどの各種インタフェースにて構成されたコンピュータシステムである。設定装置１０は、例えば、パーソナルコンピュータ、タブレット端末、携帯端末である。その他、設定装置１０は、例えば、クラウドサーバなどのサーバであってもよい。ネットワークＮは、例えば、無線ＬＡＮ、有線ＬＡＮ、ＷＡＮなどのネットワーク回線、真空ポンプ１に備わる独自の通信線などである。

【0014】

ここで、真空ポンプ１で発生する「異常」とは、真空ポンプ１に設けられたセンサの測定値が、通常の値からはずれていることを意味する。

【0015】

＜真空ポンプ＞
図２を用いて、真空ポンプシステム１００に備わる真空ポンプ１を説明する。図２は、真空ポンプ１の構成を示す図である。真空ポンプ１は、ハウジング２と、ベース３と、ロータ４と、ステータ５と、ポンプ制御装置６と、を含む。

【0016】

ハウジング２は、第１端部１１と、第２端部１２と、第１内部空間ＳＰ１とを含む。第１端部１１には吸気口１３が設けられている。第１端部１１は、排気対象（図示せず）に取り付けられる。第１内部空間ＳＰ１は、吸気口１３に連通している。第２端部１２は、ロータ４の軸線Ａ１の延長方向において、第１端部１１の反対に位置している。第２端部１２は、ベース３に接続される。ベース３は、ベース端部１４を含む。ベース端部１４は、ハウジング２の第２端部１２に接続される。

【0017】

ロータ４は、シャフト２１に接続されている。シャフト２１は、軸線Ａ１の延長方向に延びている。シャフト２１は、ベース３に回転可能に収納されている。ロータ４は、複数段のロータ翼２２と、ロータ円筒部２３と、を含む。複数段のロータ翼２２は、それぞれシャフト２１に接続されている。複数のロータ翼２２は、軸線Ａ１の延長方向に互いに間隔をおいて配置されている。図示を省略するが、複数段のロータ翼２２は、それぞれシャフト２１を中心として放射状に延びている。なお、図面においては、複数段のロータ翼２２の１つのみに符号が付されており、他のロータ翼２２の符号は省略されている。ロータ円筒部２３は、複数段のロータ翼２２の下方に配置されている。ロータ円筒部２３は、軸線Ａ１の延長方向に延びている。

【0018】

ステータ５は、複数段のステータ翼３１と、ステータ円筒部３２と、を含む。複数段のステータ翼３１は、ハウジング２の内面に接続されている。複数段のステータ翼３１は、軸線Ａ１の延長方向において、互いに間隔をおいて配置されている。複数段のステータ翼３１は、それぞれ複数段のロータ翼２２の間に配置されている。図示を省略するが、複数段のステータ翼３１は、それぞれシャフト２１を中心として放射状に延びている。なお、図面においては、複数段のステータ翼３１の２つのみに符号が付されており、他のステータ翼３１の符号は省略されている。ステータ円筒部３２は、ベース３に熱的に接触した状態で固定されている。ステータ円筒部３２は、ロータ円筒部２３の径方向において、わずかな隙間を空けてロータ円筒部２３と向かい合って配置されている。ステータ円筒部３２の内周面には、らせん状溝が設けられている。

【0019】

図２に示すように、ロータ円筒部２３とステータ円筒部３２の排気下流側の端部のさらに下流側には、第２内部空間ＳＰ２が形成されている。第２内部空間ＳＰ２には、取付対象から排気されたガスが排気される。第２内部空間ＳＰ２は、排気口１６に連通している。排気口１６は、ベース３に設けられる。排気口１６には、他の真空ポンプ（図示せず）が接続される。

【0020】

ポンプ制御装置６は、ベース３の下部に設けられた筐体３３の内部に収納され、真空ポンプ１を制御する。また、ポンプ制御装置６は、後述する変位センサ４４Ａ～４４Ｃにて測定されたシャフト２１の浮上位置、電流値測定装置にて測定されたモータ４２に供給される電流値、回転数センサ４３にて測定されたロータ４の回転数が正常値の範囲にない場合に、真空ポンプ１にて異常が発生したことを通知するアラーム又はウォーニングを発報する。ポンプ制御装置６は、ＣＰＵ、ＲＯＭなどの記憶装置、各種インタフェース等を備えるコンピュータシステムである。

【0021】

真空ポンプ１は、複数の軸受４１Ａ～４１Ｅと、モータ４２と、回転数センサ４３を含む。複数の軸受４１Ａ～４１Ｅは、ベース３のシャフト２１を収納した位置に取り付けられている。複数の軸受４１Ａ～４１Ｅは、ロータ４を回転可能に支持する。軸受４１Ａ、４１Ｅは、例えば、ボールベアリングである。一方、他の軸受４１Ｂ～４１Ｄは、磁気軸受である。磁気軸受である軸受４１Ｂ～４１Ｄは、それぞれ、軸受電磁石と変位センサ４４Ａ～４４Ｃ（図３）とを備えおり、変位センサ４４Ａ～４４Ｃによりシャフト２１の浮上位置等が検出される。

【0022】

モータ４２は、ロータ４を回転駆動する。モータ４２は、モータロータ４２Ａとモータステータ４２Ｂとを含む。モータロータ４２Ａは、シャフト２１に取り付けられている。モータステータ４２Ｂは、ベース３に取り付けられている。モータステータ４２Ｂは、モータロータ４２Ａと向かい合って配置されている。モータ４２には、モータ４２に供給される電流値を測定するモータ電流測定装置４５（図３）が接続されている。回転数センサ４３は、シャフト２１（すなわち、ロータ４）の回転数を測定する。

【0023】

ベース３の外壁には、ベース３の温度を制御するためのヒータ５１および不図示の冷却水配管が設けられている。ベース３の温度は温度センサ５２によって検出される。温度センサ５２によって検出された温度に基づいて、ヒータ５１によるベース３の加熱と冷却水配管を流れる冷却水による冷却とのバランスにより、ベース３の温度が制御される。また、ヒータ５１には、ヒータ５１に供給される電流を測定するヒータ電流測定装置５３（図３）が接続されている。

【0024】

真空ポンプ１では、複数段のロータ翼２２と複数段のステータ翼３１とは、ターボ分子ポンプ部を構成する。また、ロータ円筒部２３とステータ円筒部３２とは、ネジ溝ポンプ部を構成する。真空ポンプ１では、モータ４２によってロータ４が回転することで、吸気口１３から第１内部空間ＳＰ１へガスが流入する。第１内部空間ＳＰ１のガスは、ターボ分子ポンプ部とネジ溝ポンプ部を通過して、第２内部空間ＳＰ２に排気される。第２内部空間ＳＰ２のガスは、排気口１６から排気される。この結果、吸気口１３に取り付けられた取付対象の内部が、高真空状態となる。

【0025】

＜ポンプ制御装置の構成＞
図３を用いて、ポンプ制御装置６の構成を説明する。図３は、ポンプ制御装置６の構成を示す図である。ポンプ制御装置６は、記憶部６１と、ポンプ制御部６２と、を有する。記憶部６１は、ポンプ制御装置６を構成する記憶装置に設けられた記憶領域の一部又は全部である。記憶部６１は、真空ポンプ１に関する各種パラメータ、真空ポンプ１を制御するためのプログラム等を記憶する。詳細には、記憶部６１は、異常発生履歴ＨＩＳと、異常発報条件ＣＯＮと、異常発生カウンタＣＮＴと、運転時間カウンタＴＩＭと、第１閾値ＴＨ１と、センサ測定値ＭＥＡと、を記憶している。

【0026】

異常発生履歴ＨＩＳは、真空ポンプ１で発生した異常の発生履歴を記憶する。異常発生履歴ＨＩＳは、発生した異常の種類と、当該異常が発生した時刻と、を関連付けて記憶する。

【0027】

異常発報条件ＣＯＮは、真空ポンプ１にて発生した異常を発報する条件を定める。詳細には、異常発報条件ＣＯＮは、以下の異常を発報することを定める。

【0028】

異常発報条件ＣＯＮは、回転数センサ４３にて測定されたロータ４の回転数が所定の回転数以下となったときに、ロータ４の回転数の異常を発報することを定める。この回転数の異常は、真空ポンプ１の負荷に関する異常であり、真空ポンプ１が過負荷状態であることを示している。「過負荷状態」とは、ロータ４を決められた回転数まで回転するために必要なモータ４２のトルクが通常よりも過大となっている状態を意味する。真空ポンプ１が過負荷状態であることは、例えば、真空ポンプ１の内部に生成物が多く堆積している状態であることを示している。この状態が長期間継続すると、堆積した生成物が真空ポンプ１のロータ翼２２に接触してロータ翼２２を破損する故障が発生する可能性がある。

【0029】

異常発報条件ＣＯＮは、変位センサ４４Ａ～４４Ｃにて測定されたシャフト２１の位置が所定の変動幅以上で変動しているとき、又は、シャフト２１の位置が軸線Ａ１から所定の範囲でずれているときに、シャフト２１（ロータ４）の位置の異常を発報することを定める。シャフト２１の位置の異常は、真空ポンプ１の振動に関する異常であり、真空ポンプ１が振動している状態であることを意味する。真空ポンプ１に振動が生じている場合、例えば、真空ポンプ１のロータ翼２２が他の部品（例えば、ステータ翼３１）などに接触する可能性がある。この結果、真空ポンプ１に振動が生じていると、ロータ翼２２（及びステータ翼３１）が破損する可能性がある。

【0030】

異常発報条件ＣＯＮは、モータ電流測定装置４５にて測定されたモータ４２の電流値が所定の値以上となったときに、モータ４２の電流の異常を発報することを定める。このモータ４２の電流の異常は、モータ４２が過大なトルクを発生した状態で動作していることを示している。すなわち、モータ４２の電流の異常は、真空ポンプ１の負荷に関する異常であり、真空ポンプ１が過負荷状態であることを示している。

【0031】

異常発報条件ＣＯＮは、温度センサ５２にて測定されたベース３の温度が所定の温度以下であり、及び／又は、ヒータ電流測定装置５３にて測定されたヒータ５１の電流値が所定の値以下であるときに、真空ポンプ１の温度に関する異常を発報する。真空ポンプ１の温度に関する異常は、真空ポンプ１の温度調節が適切にできていない状態を示している。真空ポンプ１の温度調節が適切にできていないと、真空ポンプ１の内部に生成物が堆積し、この生成物がロータ翼２２に接触してロータ翼２２が破損する可能性がある。温度に関する異常は、例えば、ヒータ５１の断線、ヒータ５１の接続忘れ、温度センサ５２の故障などに起因することが多い。

【0032】

異常発生カウンタＣＮＴは、異常の発生回数を表す情報である。詳細には、異常発生カウンタＣＮＴは、真空ポンプ１の負荷に関する異常（すなわち、ロータ４の回転数に関する異常、モータ４２の電流に関する異常）、真空ポンプ１の振動に関する異常、真空ポンプ１の温度に関する異常のそれぞれの発生回数を表す。運転時間カウンタＴＩＭは、真空ポンプ１が最初に運転を開始してからの経過時間を記録する。

【0033】

第１閾値ＴＨ１は、真空ポンプ１においてアラームを発報する特定の異常の発生回数を定める。すなわち、特定の異常の発生回数が第１閾値ＴＨ１を超えたときに、アラームが発報される。上記の特定の異常は、例えば、真空ポンプ１の振動に関する異常、モータ４２の電流に関する異常、真空ポンプ１の温度に関する異常、及び／又は、ロータ４の回転数に関する異常等である。

【0034】

センサ測定値ＭＥＡは、真空ポンプ１に設けられたセンサの測定値を記録する。詳細には、センサ測定値ＭＥＡは、回転数センサ４３にて測定されたロータ４の回転数、変位センサ４４Ａ～４４Ｃにて測定されたシャフト２１の位置、モータ電流測定装置４５にて測定されたモータ４２の電流値、温度センサ５２にて測定されたベース３の温度、及び／又は、ヒータ電流測定装置５３にて測定されたヒータ５１の電流値である。

【0035】

ポンプ制御部６２は、ポンプ制御装置６を構成するＣＰＵと各種インタフェースにより構成されるハードウェア部分であり、真空ポンプ１の制御を実行する。ポンプ制御部６２は、真空ポンプ１の制御に関する機能を、記憶部６１に記憶されたプログラムを実行することにより実現する。また、一部の機能は、ポンプ制御部６２に含まれるハードウェアにより実現されてもよい。

【0036】

＜設定装置＞
以下、図４を用いて、設定装置１０の構成を説明する。図４は設定装置１０の構成を示す図である。設定装置１０は、記憶部１０１と、設定部１０２と、を有する。記憶部１０１は、設定装置１０を構成する記憶装置に設けられた記憶領域の一部又は全部である。記憶部１０１は、設定部１０２を動作させるためのプログラム等を記憶する。記憶部１０１は、第２閾値ＴＨ２を記憶する。

【0037】

第２閾値ＴＨ２は、真空ポンプ１に破損のリスクがあると判断するためのセンサによる測定値を定める。すなわち、いずれかのセンサによる測定値が第２閾値ＴＨ２以上となった場合に、真空ポンプ１に破損が生じるリスクがあると判断する。第２閾値ＴＨ２は、例えば、変位センサ４４Ａ～４４Ｃにて測定されたシャフト２１の位置の変動値（すなわち、ロータ４の振動の大きさ）に対して定められる。つまり、変位センサ４４Ａ～４４Ｃにて測定されたロータ４の振動の大きさが第２閾値ＴＨ２以上となったときに、真空ポンプ１に破損が生じるリスクがあると判断される。その他、第２閾値ＴＨ２は、他のセンサの測定値に対して定められてもよい。

【0038】

設定部１０２は、設定装置１０を構成するＣＰＵと各種インタフェースにより構成されるハードウェア部分であり、真空ポンプ１の設定に関する機能を実現する。設定部１０２は、真空ポンプ１の設定に関する機能を、記憶部１０１に記憶されたプログラムを実行することにより実現する。また、一部の機能は、設定部１０２に含まれるハードウェアにより実現されてもよい。

【0039】

設定部１０２は、ポンプ制御装置６の記憶部６１に記憶されている異常発生履歴ＨＩＳ、異常発生カウンタＣＮＴのカウンタ値、運転時間カウンタＴＩＭ、センサ測定値ＭＥＡなどを参照できる。また、設定部１０２は、参照したこれら情報を設定装置１０の出力装置（例えば、ディスプレイ、プリンタなど）に出力できる。

【0040】

このように、上記の機能を有する設定装置１０が、真空ポンプ１のポンプ制御装置６とは別個に設けられることで、複数の真空ポンプ１の管理がしやすくなるとともに、複数の真空ポンプ１の運転実績を集約しやすくなる。この結果、複数の真空ポンプ１のそれぞれに対して効率よく第１閾値ＴＨ１を設定または変更できるとともに、より多くの運転実績に基づいてより適切な第１閾値ＴＨ１を設定または変更できる。

【0041】

＜アラーム発報動作＞
以下、図５を用いて、真空ポンプ１のアラームの発報動作を説明する。図５は、アラーム発報動作を示すフローチャートである。このアラーム発報動作は、真空ポンプシステム１００に含まれる各真空ポンプ１のポンプ制御装置６で実行される。

【0042】

真空ポンプ１が起動されると、ポンプ制御部６２が、回転数センサ４３にて測定されたロータ４の回転数、変位センサ４４Ａ～４４Ｃにて測定されたシャフト２１の位置、モータ電流測定装置４５にて測定されたモータ４２の電流値、温度センサ５２にて測定されたベース３の温度、及び、ヒータ電流測定装置５３にて測定されたヒータ５１の電流値、を取得する（ステップＳ１）。

【0043】

次に、ポンプ制御部６２が、ステップＳ１で取得したロータ４の回転数、シャフト２１の位置、モータ４２の電流値、ベース３の温度、及びヒータ５１の電流値と、異常発報条件ＣＯＮに示された異常発報の条件となる各測定値と、を比較する（ステップＳ２）。

【0044】

この比較の結果、上記の全てのセンサの測定値が、異常発報条件ＣＯＮに示された異常発報の条件となる測定値と一致せず、かつ、異常発報の条件となる測定値の範囲内にも含まれない場合（ステップＳ２で「Ｎｏ」）、アラーム発報動作は、ステップＳ１に戻る。すなわち、ポンプ制御部６２は、真空ポンプ１の運転を継続する。

【0045】

一方、上記のいずれかのセンサの測定値が、異常発報条件ＣＯＮに示された異常発報の条件となる測定値と一致するか、又は、異常発報の条件となる測定値の範囲内に含まれている場合（ステップＳ２で「Ｙｅｓ」）、ポンプ制御部６２は、異常発報の条件と合致する測定値を示している項目（ロータ４の回転数、シャフト２１の振動、モータ４２の電流値、ベース３の温度、ヒータ５１の電流値）に関する異常を発報する（ステップＳ３）。すなわち、異常の発報は、上記のいずれかのセンサの測定値が異常発報の条件と一致したときになされる。

【0046】

異常を発報した場合、ポンプ制御部６２は、発報した異常を、異常発生履歴ＨＩＳに記憶する。詳細には、ポンプ制御部６２は、発報した異常の種類と、当該異常を発報した時刻と、を関連付けて異常発生履歴ＨＩＳに記憶する。

【0047】

また、異常を発報した場合には、ポンプ制御部６２は、例えば、ポンプ制御装置６から音を発する、警報灯を点灯させる、ポンプ制御装置６のディスプレイに異常を発報した旨を表示する、などの方法により異常の発報を通知してもよい。あるいは、発報が行われずに異常の発生が記憶されるのみであってもよい。

【0048】

その後、ポンプ制御部６２は、異常の発生回数を計数する（ステップＳ４）。詳細には、ポンプ制御部６２は、異常発生カウンタＣＮＴのうち、ステップＳ３で発報した種類の異常の発生カウンタの値を１増加させる。

【0049】

異常の発生回数を計数した後、ポンプ制御部６２は、ステップＳ３で発報した異常の発生回数が、当該異常に関するアラームを発報する第１閾値ＴＨ１以上となったか否かを判断する（ステップＳ５）。ステップＳ３で発報した異常の発生回数が第１閾値ＴＨ１よりも小さい場合（ステップＳ５で「Ｎｏ」）、アラーム発報動作は、ステップＳ１に戻る。すなわち、ポンプ制御部６２は、真空ポンプ１の運転を継続する。

【0050】

一方、ステップＳ３で発報した異常の発生回数が第１閾値ＴＨ１以上である場合（ステップＳ５で「Ｙｅｓ」）、ポンプ制御部６２は、ステップＳ３で発報した異常に関連するアラームを発報する（ステップＳ６）。すなわち、アラームの発報は、異常（センサの測定値が異常発報の条件に一致したとき）の発生回数（発報回数）が第１閾値ＴＨ１となったときになされる。ポンプ制御部６２は、例えば、ポンプ制御装置６から音を発する、警報灯を点灯させる、ポンプ制御装置６のディスプレイにアラームを発報した旨を表示する、などの方法によりアラームを発報できる。

【0051】

アラームを発報する場合、ポンプ制御部６２は、どの種類の異常に関するアラームを発報したかにより、ポンプ制御装置６から発する音、点灯させる警報灯の色を変更してもよい。また、ディスプレイにどの種類の異常に関するアラームを発報したかを表示してもよい。

【0052】

アラームを発報後、ポンプ制御部６２は、アラームを発報したタイミング、又は、アラームを発報してから所定の時間が経過したタイミングで真空ポンプ１を停止させてもよい。または、ポンプ制御部６２は、アラームの発報後にユーザの操作により、真空ポンプ１を停止させてもよい。これにより、アラームの発報後に、真空ポンプ１に発生している異常に対して、部品の交換、修理、クリーニングなどの対応をすることができる。アラームの発報に対して何らかの対応を行った後に、異常発生カウンタＣＮＴのカウンタ値をリセット（例えば、０とする）してもよい。

【0053】

上記のステップＳ１～Ｓ６を実行することにより、真空ポンプ１においては、真空ポンプ１に設けられたセンサの測定値に異常がある場合には異常を発報し、異常の発生回数が多くなり第１閾値ＴＨ１を超えた場合には、アラームを発報して、ユーザに対して異常が多く発生していることを通知できる。

【0054】

＜第１閾値の設定動作＞
以下、真空ポンプシステム１００における、第１閾値ＴＨ１の設定または変更の動作を説明する。第１閾値ＴＨ１の設定または変更の動作は、主に、真空ポンプシステム１００に含まれる設定装置１０で実行される。

【0055】

例えば、新製品などの運転実績が少ない真空ポンプ１においては、異常の発生回数がどの回数でアラームを発報する必要があるかとの実績がほとんどないため、経験等に基づいて、当該真空ポンプ１のための第１閾値ＴＨ１を決定することは難しい。また、第１閾値ＴＨ１を、他の真空ポンプの実績等に基づいて決定した固定値とした場合には、適切な時期にアラームを発報できないことがある。例えば、異常の発生回数が想定より少ない真空ポンプ１において、真空ポンプ１の運転時間が真空ポンプ１のメンテナンス（オーバーホール）が必要な時間となってもアラームが発報されないことがある。すなわち、メンテナンス時期を過ぎても、メンテナンスされることなく真空ポンプ１が運転されてしまうことがある。

【0056】

これを解決するために、設定装置１０は、真空ポンプの動作状態に基づいて第１閾値ＴＨ１を設定または変更する必要があるか否かを判断し、必要があると判断した場合、第１閾値ＴＨ１を設定または変更する。真空ポンプの動作状態とは、真空ポンプに設けられた任意のセンサや測定装置の測定値を意味し、一例としては、回転数センサ４３にて測定されたロータ４の回転数、変位センサ４４Ａ～４４Ｃにて測定されたシャフト２１の位置、モータ電流測定装置４５にて測定されたモータ４２の電流値、温度センサ５２にて測定されたベース３の温度、及び／又は、ヒータ電流測定装置５３にて測定されたヒータ５１の電流値である。具体的には、設定装置１０は、真空ポンプの異常の発生履歴に基づいて第１閾値ＴＨ１を設定または変更する必要があるか否かを判断し、必要があると判断した場合、第１閾値ＴＨ１を設定または変更する。さらに、具体的には、設定装置１０は、アラームを発報する適切な時期の前における真空ポンプ１の実際の異常の発生回数から、アラームを発報する適切な時期における異常の発生回数の予測値（予測発生回数と呼ぶ）を算出し、算出された予測発生回数に基づいて第１閾値ＴＨ１を設定または変更する。

【0057】

アラームを発報する時期は、真空ポンプ１の運転時間を基準に決定できる。詳細には、例えば、アラームを発報する時期を、真空ポンプ１の運転時間が第２時間かそれに近い時間に達した時期とできる。第２時間は、例えば、４００００時間と設定できるが、これに限られず、真空ポンプ１に応じて任意の時間を適宜設定できる。

【0058】

一方、第１閾値ＴＨ１の設定または変更の動作は、例えば、真空ポンプ１の運転時間が上記の第２時間よりも短い第１時間に達したときに実行される。つまり、予測発生回数は、真空ポンプ１の運転時間が第１時間に達したときの異常の発生回数に基づいて算出される。第１時間は、例えば、第２時間の半分の時間とできる。

【0059】

以下、いくつかの第１閾値ＴＨ１の設定または変更の動作例を説明するが、これらは例示に過ぎず、以下に説明する動作例に基づいて、様々な種類の異常に対し、以下に説明する条件とは異なる条件を用いて、適宜、第１閾値ＴＨ１を設定または変更できる。

【0060】

＜第１閾値の設定または変更の動作例１＞
図６を用いて、第１閾値ＴＨ１の設定動作の一例を説明する。図６は、第１閾値の設定または変更の動作例１を示すフローチャートである。以下に説明する設定または変更の動作例１は、例えば、真空ポンプ１の負荷に関する異常（ロータ４の回転数に関する異常）についてアラームを発報するための第１閾値ＴＨ１を設定するときに用いることができる。なお、他の異常に関するアラームについても同様の処理を実行可能である。また、設定または変更の動作例１は、真空ポンプシステム１００に含まれる１台の真空ポンプ１に対して実行される。

【0061】

設定装置１０の設定部１０２は、最初に、ポンプ制御装置６の記憶部６１に記憶されている運転時間カウンタＴＩＭを参照し、第１閾値ＴＨ１の設定対象である真空ポンプ１の現在の運転時間が第１時間に達しているか否か（すなわち、現在が第１閾値ＴＨ１の設定動作を実行するタイミングであるか否か）を確認する。真空ポンプ１の運転時間が第１時間に達していない場合、設定部１０２は、設定動作を実行することなく、他の動作を実行するなどして待機する。一方、真空ポンプ１の運転時間が第１時間に達している場合、設定部１０２は、第１閾値ＴＨ１の設定または変更の動作を開始する。

【0062】

設定または変更の動作を開始すると、設定部１０２は、まず、運転時間が第１時間に達したときの異常（例えば、真空ポンプ１の負荷に関する異常）の発生回数を算出する（ステップＳ１１）。詳細には、設定部１０２は、ポンプ制御装置６の記憶部６１に記憶されている異常発生履歴ＨＩＳを参照して、第１閾値ＴＨ１を設定または変更する対象の異常について、真空ポンプ１の運転開始から現在までの当該異常の発生回数を計数する。

【0063】

運転時間が第１時間までの異常の発生回数を算出後、設定部１０２は、第１時間までの異常の発生回数に基づいて、運転時間が第２時間に達したときの（すなわち、アラームを発報する時期における）異常の発生回数を、予測発生回数として予測する（ステップＳ１２）。詳細には、例えば、設定部１０２は、（第１時間までの異常の発生回数）×（第２時間／第１時間）との式から予測発生回数を算出できる。より詳細には、例えば、第１時間を第２時間の半分の時間とした場合には、第１時間までの異常の発生回数を２倍した回数を予測発生回数として算出できる。

【0064】

次に、設定部１０２は、ステップＳ１２で算出した予測発生回数に基づいて、第１閾値ＴＨ１を設定または変更する。詳細には、以下のようにして第１閾値ＴＨ１を設定または変更する。設定部１０２は、まず、予測発生回数と、ポンプ制御装置６の記憶部６１に記憶されている現在の第１閾値ＴＨ１と、を比較して、予測発生回数が現在の第１閾値ＴＨ１よりも小さいか否かを判断する（ステップＳ１３）。すなわち、設定部１０２は、第１閾値ＴＨ１を変更する必要があるか否かを判断する。

【0065】

予測発生回数が現在の第１閾値ＴＨ１よりも小さい場合（ステップＳ１３で「Ｙｅｓ」）、設定部１０２は、新たに設定する第１閾値ＴＨ１を、記憶部６１に記憶されている現在の第１閾値ＴＨ１よりも減少させる。詳細には、設定部１０２は、予測発生回数を新たな第１閾値ＴＨ１として設定する（ステップＳ１４）。より詳細には、設定部１０２は、予測発生回数を新たな第１閾値ＴＨ１としてポンプ制御装置６に送信する。予測発生回数を受信したポンプ制御装置６のポンプ制御部６２は、受信した予測発生回数を、新たな第１閾値ＴＨ１として記憶部６１に記憶する。

【0066】

一方、予測発生回数が現在の第１閾値ＴＨ１以上である場合（ステップＳ１３で「Ｎｏ」）、設定部１０２は、現在の第１閾値ＴＨ１を維持すると決定する（ステップＳ１５）。すなわち、記憶部６１に記憶されている第１閾値ＴＨ１を更新しない。

【0067】

運転時間が第２時間に達したときの異常の発生回数の予測値（予測発生回数）が現在の第１閾値ＴＨ１よりも小さいことは、異常の発生頻度が想定よりも低く、アラームを発報すると決定した時期になっても異常の発生回数が現在の第１閾値ＴＨ１に達しない可能性があることを意味する。従って、上記のように、異常の発生回数の予測値（予測発生回数）が現在の第１閾値ＴＨ１よりも小さい場合に、予測発生回数（すなわち、現在の第１閾値ＴＨ１よりも小さい回数）を新たな第１閾値ＴＨ１とすることで、アラームを発報すると決定した適切な時期（すなわち、運転時間が第２時間に達した時期）又はそれに近い時期に、異常の発生回数が第１閾値ＴＨ１となる。この結果、適切な時期にアラームを発報して、メンテナンス等の対応をとるようユーザを促すことができる。

【0068】

一方、予測発生回数が現在の第１閾値ＴＨ１以上であることは、異常の発生頻度が想定よりも高く、アラームを発報すると決定した時期よりも前に異常の発生回数が現在の第１閾値ＴＨ１に達し、アラームを発報すると決定した時期よりも前にアラームが発報される可能性があることを意味する。従って、異常の発生回数の予測値（予測発生回数）が現在の第１閾値ＴＨ１以上である場合に現在の第１閾値ＴＨ１を更新しないことで、アラームを発報すると決定した時期よりも前にアラームを発報して、より早い段階でメンテナンス等の対応をとるようユーザを促すことができる。

【0069】

＜第１閾値の設定または変更の動作例２＞
図７を用いて、第１閾値ＴＨ１の設定または変更の動作の他の例を説明する。図７は、第１閾値ＴＨ１の設定または変更の動作例２を示すフローチャートである。以下に説明する設定または変更の動作例２は、例えば、真空ポンプ１の振動に関する異常についてアラームを発報するための第１閾値ＴＨ１を設定するときに用いることができる。なお、他の異常に関するアラームについても同様の処理を実行可能である。また、設定動作例２は、真空ポンプシステム１００に含まれる複数台の真空ポンプ１に対して実行される。

【0070】

設定又は変更の動作例２では、設定部１０２は、まず、第１閾値ＴＨ１の設定対象である複数の真空ポンプ１のうち、破損が生じるリスクがある真空ポンプ１が存在しているか否かを判断する（ステップＳ２１）。ここで、「破損が生じるリスクがある真空ポンプ」とは、他の真空ポンプ１と比べて破損する可能性が高い真空ポンプ１をいう。具体的には、センサの測定値が、他の真空ポンプ１における測定値よりも大きい真空ポンプ１をいう。

【0071】

詳細には、設定部１０２は、複数台の真空ポンプ１のそれぞれから、変位センサ４４Ａ～４４Ｃにて測定されたシャフト２１の位置の変動値を取得し、この変動値が第２閾値ＴＨ２以上である真空ポンプ１については破損が生じるリスクがあると判断する。シャフト２１の位置の変動値が大きいことは、シャフト２１が大きく振動していることを意味する。シャフト２１が大きく振動している場合には、例えば、ロータ４等に堆積した生成物が他の部品に当たりやすくなるので、真空ポンプ１に破損が生じるリスクが高くなる。また、シャフト２１の振動が大きい場合には、真空ポンプ１全体の振動も大きくなるので、破損が生じるリスクは高くなる。

【0072】

シャフト２１の位置の変動値が第２閾値ＴＨ２以上である真空ポンプ１が存在する場合、すなわち、破損が生じるリスクを有する真空ポンプ１が存在する場合（ステップＳ２１で「Ｙｅｓ」）、第１閾値ＴＨ１の設定動作は、ステップＳ２２に進む。ステップＳ２２においては、シャフト２１の位置の変動値が他の真空ポンプ１よりも大きく破損のリスクがある一方で、平均予測発生回数が現在の第１閾値ＴＨ１よりも小さく、異常の発生回数が平均値よりも小さい真空ポンプ１については、他の真空ポンプ１よりも小さな第１閾値ＴＨ１を設定する。この第１閾値ＴＨ１の設定動作を、「第１設定動作」と呼ぶ。第１設定動作の具体的な処理フローは、後ほど詳しく説明する。

【0073】

一方、シャフト２１の位置の変動値が第２閾値ＴＨ２以上である真空ポンプ１が存在しない場合（ステップＳ２１で「Ｎｏ」）、すなわち、破損が生じるリスクを有する真空ポンプ１が存在しない場合、第１閾値ＴＨ１の設定動作は、ステップＳ２３に進む。ステップＳ２３においては、平均予測発生回数が現在の第１閾値ＴＨ１以上であり、異常の発生回数が平均値以上である真空ポンプ１について、他の真空ポンプ１よりも大きな第１閾値ＴＨ１を設定する。この第１閾値ＴＨ１の設定動作を、「第２設定動作」と呼ぶ。第２設定動作の具体的な処理フローは、後ほど詳しく説明する。

【0074】

上記のように、複数の真空ポンプ１から得られた運転実績に基づいて第１閾値ＴＨ１を設定することで、より適切な第１閾値ＴＨ１を設定できる。なぜなら、複数の真空ポンプ１から運転実績を得られることは、１台の真空ポンプ１から得られる運転実績と比較すると、より多くの情報を含んだ運転実績を得られることを意味する。真空ポンプ１につきより多くの情報を含んだ運転実績を得られれば、真空ポンプ１の特性（例えば、異常の発生傾向など）を反映した適切な第１閾値ＴＨ１を設定できるからである。

【0075】

また、破損が生じるリスクを有する真空ポンプ１が存在するか否かにより第１閾値ＴＨ１の設定方法を変更することにより、より適切な時期にアラームを発報できるような第１閾値ＴＨ１を設定できる。

【0076】

＜第１設定動作＞
以下、図８を用いて、破損が生じるリスクがある真空ポンプ１が存在する場合の第１閾値ＴＨ１の設定動作（第１設定動作）を説明する。図８は、第１設定動作を示すフローチャートである。

【0077】

設定部１０２は、運転時間が第１時間に達したときの異常の発生回数の平均値を算出する（ステップＳ３１）。詳細には、設定部１０２は、複数の真空ポンプ１のそれぞれについて、ポンプ制御装置６の記憶部６１に記憶されている異常発生履歴ＨＩＳを参照し、第１閾値ＴＨ１を設定する対象の異常について、当該真空ポンプ１の運転開始から現在までの異常の発生回数を計数する。その後、設定部１０２は、複数の真空ポンプ１に対して計数された複数の異常の発生回数を合計し、合計した複数の異常の発生回数を真空ポンプ１の台数で除算することで、異常の発生回数の平均値を算出する。

【0078】

異常の発生回数の平均値を算出後、設定部１０２は、ステップＳ３１で計数された異常の発生回数の平均値に基づいて、運転時間が第２時間に達したときの異常の発生回数の平均値を、平均予測発生回数として予測する（ステップＳ３２）。詳細には、設定部１０２は、（第１時間までの異常の発生回数の平均値）×（第２時間／第１時間）との式から、平均予測発生回数を算出できる。

【0079】

次に、設定部１０２は、複数の真空ポンプ１のそれぞれについて、平均予測発生回数と、各真空ポンプ１のポンプ制御装置６の記憶部６１に記憶されている現在の第１閾値ＴＨ１と、を比較して、平均予測発生回数が現在の第１閾値ＴＨ１よりも小さいか否かを判断する（ステップＳ３３）。

【0080】

平均予測発生回数が第１閾値ＴＨ１以上である真空ポンプ１の場合（ステップＳ３３で「Ｎｏ」）、設定部１０２は、当該真空ポンプ１の現在の第１閾値ＴＨ１を維持すると決定する（ステップＳ３４）。すなわち、記憶部６１に記憶されている第１閾値ＴＨ１を更新しない。

【0081】

一方、平均予測発生回数が第１閾値ＴＨ１よりも小さい真空ポンプ１の場合（ステップＳ３３で「Ｙｅｓ」）、設定部１０２は、当該真空ポンプ１については、平均予測発生回数を新たな第１閾値ＴＨ１として設定する（ステップＳ３５）。

【0082】

その後、設定部１０２は、平均予測発生回数が記憶部６１に記憶されている第１閾値ＴＨ１よりも小さい真空ポンプ１のうち、シャフト２１の位置の変動値が第２閾値ＴＨ２以上であり（すなわち、破損が生じるリスクがあり）、かつ、異常の発生回数がステップＳ３１で算出した異常の発生回数の平均値よりも小さい真空ポンプ１が存在するか否かを判断する（ステップＳ３６）。

【0083】

破損が生じるリスクがあり、かつ、異常の発生回数が平均値よりも小さい真空ポンプ１が存在する場合（ステップＳ３６で「Ｙｅｓ」）、設定部１０２は、当該真空ポンプ１については、当該真空ポンプ１の異常の発生回数に基づいて算出された予測発生回数を、新たな第１閾値ＴＨ１として設定する（ステップＳ３７）。

【0084】

一方、破損が生じるリスクがあり、かつ、異常の発生回数がステップＳ３１で算出した異常の発生回数の平均値よりも小さい真空ポンプ１が存在しない場合（ステップＳ３６で「Ｎｏ」）、設定部１０２は、上記のステップＳ３１～Ｓ３５を実行することにより設定した第１閾値ＴＨ１を維持すると決定する。

【0085】

上記のように、破損が生じるリスクを有し、異常の発生回数が平均値よりも小さい真空ポンプ１については、当該真空ポンプ１の異常の発生回数に基づいて算出された予測発生回数（すなわち、現在の第１閾値ＴＨ１よりも小さく、平均予測発生回数よりも小さい予測発生回数）を新たな第１閾値ＴＨ１とすることで、適切な時期にアラームを発報できる。

【0086】

例えば、仮に、異常の発生回数が平均値よりも小さい真空ポンプ１について、上記の平均予測発生回数を新たな第１閾値ＴＨ１と設定した場合、破損が生じるリスクがあるにもかかわらず、アラーム発報に適切な時期になっても異常の発生回数が第１閾値ＴＨ１とならず、アラームが発報されないことがある。この結果、適切な時期にメンテナンス等の対応がなされることなく、真空ポンプ１の運転が継続される可能性がある。

【0087】

その一方、異常の発生回数が平均値よりも小さい真空ポンプ１については、平均予測発生回数よりも小さい閾値を新たな第１閾値ＴＨ１とすることで、アラーム発報に適切な時期に異常の発生回数が第１閾値ＴＨ１となる。この結果、当該真空ポンプ１について、適切な時期にアラームが発報され、適切な時期にメンテナンス等の対応をとることができる。

【0088】

＜第２設定動作＞
以下、図９を用いて、真空ポンプ１に破損が生じるリスクがない場合の第１閾値ＴＨ１の設定又は変更動作（第２設定動作）を説明する。図９は、第２設定動作を示すフローチャートである。設定部１０２は、まず、運転時間が第１時間に達したときの異常の発生回数の平均値を算出し（ステップＳ４１）、算出された異常の発生回数の平均値に基づいて、運転時間が第２時間に達したときの異常の発生回数の平均値を、平均予測発生回数として予測する（ステップＳ４２）。ステップＳ４１～Ｓ４２の動作は、上記にて説明したステップＳ３１～Ｓ３２と同様であるので、ステップＳ４１～Ｓ４２の処理内容の詳細な説明は省略する。

【0089】

平均予測発生回数を予測後、設定部１０２は、平均予測発生回数と、各真空ポンプ１のポンプ制御装置６の記憶部６１に記憶されている現在の第１閾値ＴＨ１と、を比較して、平均予測発生回数が現在の第１閾値ＴＨ１より大きいか否かを判断する（ステップＳ４３）。

【0090】

平均予測発生回数が第１閾値ＴＨ１以下である真空ポンプ１の場合（ステップＳ４３で「Ｎｏ」）、設定部１０２は、当該真空ポンプ１の現在の第１閾値ＴＨ１を維持すると決定する（ステップＳ４４）。すなわち、記憶部６１に記憶されている第１閾値ＴＨ１を更新しない。

【0091】

一方、平均予測発生回数が第１閾値ＴＨ１よりも大きい真空ポンプ１の場合（ステップＳ４３で「Ｙｅｓ」）、設定部１０２は、当該真空ポンプ１については、平均予測発生回数を新たな第１閾値ＴＨ１として設定する（ステップＳ４５）。

【0092】

上記のステップＳ４５を実行後、設定部１０２は、平均予測発生回数が記憶部６１に記憶されている第１閾値ＴＨ１よりも大きい真空ポンプ１のうち、異常の発生回数が平均値よりも大きい真空ポンプ１が存在するか否かを判断する（ステップＳ４６）。

【0093】

異常の発生回数が平均値よりも大きい真空ポンプ１が存在する場合（ステップＳ４６で「Ｙｅｓ」）、設定部１０２は、当該真空ポンプ１については、当該真空ポンプ１の異常の発生回数に基づいて算出された予測発生回数（すなわち、現在の第１閾値ＴＨ１以上であり、平均予測発生回数よりも大きい予測発生回数）を、新たな第１閾値ＴＨ１として設定する（ステップＳ４７）。

【0094】

一方、異常の発生回数が平均値よりも大きい真空ポンプ１が存在しない場合（ステップＳ４６で「Ｎｏ」）、設定部１０２は、上記のステップＳ４１～Ｓ４５を実行することにより設定した第１閾値ＴＨ１を維持すると決定する。

【0095】

上記のように、破損が生じるリスクがなく、異常の発生回数が平均値よりも大きい真空ポンプ１については、当該真空ポンプ１の異常の発生回数に基づいて算出された予測発生回数を新たな第１閾値ＴＨ１とすることで、適切な時期にアラームを発報できる。これは、当該真空ポンプ１の異常の発生回数に基づいて算出された予測発生回数が、平均予測発生回数よりも大きくなることに起因する。

【0096】

例えば、仮に、異常の発生回数が平均値よりも大きい真空ポンプ１について、上記の平均予測発生回数を新たな第１閾値ＴＨ１と設定した場合、破損が生じるリスクがないにもかかわらず、アラーム発報に適切な時期が到来する前に異常の発生回数が第１閾値ＴＨ１となる。この結果、アラーム発報に適切な時期よりも前にアラームが発報されることがある。すなわち、当該真空ポンプ１につきメンテナンス等の対応が不要であるにもかかわらず、アラームが発報されてしまう可能性がある。

【0097】

その一方、異常の発生回数が平均値よりも大きい真空ポンプ１については、当該真空ポンプ１の異常の発生回数に基づいて算出された予測発生回数（平均予測発生回数よりも大きい）を新たな第１閾値ＴＨ１とすることで、アラーム発報に適切な時期に異常の発生回数が第１閾値ＴＨ１となる。この結果、当該真空ポンプ１について、適切な時期にアラームが発報され、適切な時期にメンテナンス等の対応をとることができる。

【0098】

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【0099】

上記の設定動作例では、予め決められた第１閾値ＴＨ１が存在し、当該第１閾値ＴＨ１を設定動作により必要に応じて変更することで、第１閾値ＴＨ１の設定を行っていた。これに限られず、設定部１０２は、異常の発生傾向、真空ポンプ１に設けられたセンサによる測定値の増減の傾向等を学習し、この学習結果に基づいて、第１閾値ＴＨ１の設定を実行してもよい。

【0100】

例えば、設定部１０２は、異常の発生傾向、センサの値の増減の傾向等から、運転時間が第２時間となったときの異常の発生回数を予測発生回数として予測し、この予測発生回数を第１閾値ＴＨ１として設定できる。

【0101】

上記の設定動作例では、真空ポンプ１の運転時間が第２時間となる前に１回だけ第１閾値ＴＨ１の設定動作が実行されていた。すなわち、第１時間を１種類の時間（例えば、第２時間の半分の時間）としていた。しかし、これに限られず、真空ポンプ１の運転時間が第２時間となる前に第１閾値ＴＨ１の設定動作を複数回実行してもよい。すなわち、第１時間を複数種類の時間としてもよい。例えば、第１閾値ＴＨ１の設定動作を実行後に、異常の発生傾向（例えば、発生頻度など）が変化した場合に、第１閾値ＴＨ１の設定動作を再度実行できる。

【0102】

上記の設定動作例１を複数の真空ポンプ１に対して実行することもできる。また、上記の設定動作例２を１台の真空ポンプ１に対して実行することもできる。

【0103】

上記の設定動作例１は、例えば、真空ポンプ１の負荷に関する異常以外の異常（真空ポンプ１の振動に関する異常、真空ポンプ１の温度に関する異常など）に対しても実行できる。また、設定動作例２は、例えば、真空ポンプ１の振動に関する異常以外の異常（真空ポンプ１の負荷に関する異常、真空ポンプ１の温度に関する異常など）に対しても実行できる。

【0104】

上記にて説明した設定装置１０の機能は、各真空ポンプ１のポンプ制御装置６において実現されていてもよい。この場合、設定装置１０は無くてもよい。

【0105】

上記の実施形態に係る真空ポンプ１において、ターボ分子ポンプ部は省略されてもよい。すなわち、真空ポンプ１は、ネジ溝ポンプであってもよい。

【0106】

上述した複数の例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

【0107】

（第１態様）真空ポンプシステムは、ロータをモータにより回転駆動してガスを排気する真空ポンプを含むシステムである。真空ポンプシステムは、記憶部と、制御部と、設定部と、を備える。記憶部は、アラームを出力する異常の発生回数を定める第１閾値を記憶する。制御部は、真空ポンプで発生した異常の発生回数を計数し、異常の発生回数が第１閾値以上であるか否かを判断し、異常の発生回数が第１閾値以上である場合、アラームを出力する。設定部は、真空ポンプの動作状態に基づいて、第１閾値を設定または変更する。

【0108】

第１態様に係る真空ポンプでは、異常の発生回数が第１閾値以上のときにアラームが出力される。第１態様に係る真空ポンプでは、真空ポンプの実際の運転状態を参照することにより個々の真空ポンプに適した第１閾値に設定することができるので、適切な時期にアラームを出力できる。

【0109】

（第２態様）第１態様に係る真空ポンプシステムにおいて、設定部は、異常の発生の履歴に基づいて、第１閾値を設定または変更してもよい。この場合、真空ポンプの実際の異常の発生の履歴を参照することにより個々の真空ポンプに適した第１閾値に設定することができるので、適切な時期にアラームを出力できる。

【0110】

（第３態様）第１態様又は第２態様に係る真空ポンプシステムにおいて、設定部は、真空ポンプの運転時間が第１時間に達したときの異常の発生回数に基づいて、真空ポンプの運転時間が第１時間よりも長い第２時間に達したときの異常の発生回数を予測発生回数として予測してもよい。また、設定部は、上記の予測発生回数に基づいて、第１閾値を設定又は変更してもよい。この場合に、設定部が、真空ポンプの運転時間が第１時間となったときの異常の発生回数に基づいて、第１時間より後の第２時間における異常の発生回数の予測値（すなわち、予測発生回数）を予測し、この予測値に基づいて第１閾値を設定している。予測発生回数は、真空ポンプにおいて発生している異常の実際の発生回数に基づいて予測されたものである。このため、予測発生回数は、運転時間が第２時間となったときの異常の実際の発生回数に近いものとして予測される。従って、予測発生回数に基づいて第１閾値を設定することで、適切な時期にアラームを出力できる。

【0111】

（第４態様）第３態様に係る真空ポンプシステムにおいて、予測発生回数が記憶部に記憶されている第１閾値よりも小さい場合、設定部は、予測発生回数を新たな第１閾値とし設定してもよい。第４態様に係る真空ポンプシステムでは、真空ポンプにおいて異常の発生頻度が想定よりも低い場合であっても、適切な時期にアラームを出力できる。

【0112】

（第５態様）第３態様に係る真空ポンプシステムにおいて、予測発生回数が記憶部に記憶されている第１閾値以上である場合、設定部は、記憶部に記憶されている第１閾値を維持すると決定してもよい。第５態様に係る真空ポンプシステムでは、異常の発生頻度が高い真空ポンプ１については、より早い段階でアラームを発報し、より早い段階でメンテナンス等の対応をとるようユーザを促すことができる。

【0113】

（第６態様）第３態様に係る真空ポンプシステムにおいて、真空ポンプは、真空ポンプの動作状態を測定する測定部を有してもよい。この場合、設定部は、測定部により検知された測定値の大きさが第２閾値以上であるか否かに基づいて、真空ポンプに破損が生じるリスクがあるか否かを判断し、予測発生回数と、真空ポンプに破損が生じるリスクがあるか否かと、に基づいて第１閾値を設定してもよい。第６態様に係る真空ポンプシステムでは、より適切な時期にアラームを出力できるような第１閾値を設定できる

【0114】

（第７態様）第６態様に係る真空ポンプシステムにおいて、設定部は、測定値の大きさが第２閾値よりも小さく真空ポンプに破損が生じるリスクがなく、予測発生回数が記憶部に記憶されている第１閾値よりも大きいと判断した場合、予測発生回数を新たな第１閾値として設定してもよい。第７態様に係る真空ポンプシステムでは、破損が生じるリスクはないが異常の発生頻度が高い真空ポンプについて、適切な時期にアラームを出力できる。

【0115】

（第８態様）第６態様又は第７態様に係る真空ポンプシステムにおいて、設定部は、測定値の大きさが第２閾値以上であり真空ポンプに破損が生じるリスクがあり、予測発生回数が記憶部に記憶されている第１閾値より小さいと判断した場合、予測発生回数を新たな第１閾値として設定してもよい。第８態様に係る真空ポンプシステムでは、破損が生じるリスクはあるが異常の発生頻度が低い真空ポンプについて、適切な時期にアラームを出力できる。

【0116】

（第９態様）第１態様～第８態様のいずれかに係る真空ポンプシステムにおいて、異常は、真空ポンプの振動に関する異常、真空ポンプの負荷に関する異常から選択される少なくとも１つであってもよい。第９態様に係る真空ポンプシステムでは、真空ポンプの破損に繋がりやすい異常について、適切な第１閾値を設定できる。

【0117】

（第１０態様）第１０態様に係る制御方法は、ロータをモータにより回転駆動してガスを排気する真空ポンプを制御する制御方法である。制御方法は、真空ポンプで発生した異常の発生回数を計数するステップと、真空ポンプの動作状態に基づいてアラームを出力する異常の発生回数を定める第１閾値を設定するステップと、異常の発生回数が第１閾値以上である場合、アラームを出力するステップと、を備える。

【0118】

第１０態様に係る制御方法では、真空ポンプの実際の運転状態を参照することにより個々の真空ポンプに適した第１閾値に設定することができるので、適切な時期にアラームを出力できる。

【0119】

上記では、種々の実施形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。また、各実施形態および変形例は、それぞれ単独で適用しても良いし、組み合わせて用いても良い。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。

【符号の説明】

【0120】

１００ ：真空ポンプシステム
１ ：真空ポンプ
２ ：ハウジング
３ ：ベース
４ ：ロータ
５ ：ステータ
６ ：ポンプ制御装置
６１ ：記憶部
ＣＮＴ ：異常発生カウンタ
ＣＯＮ ：異常発報条件
ＨＩＳ ：異常発生履歴
ＴＩＭ ：運転時間カウンタ
ＭＥＡ ：センサ測定値
６２ ：ポンプ制御部
１１ ：第１端部
１２ ：第２端部
１３ ：吸気口
１４ ：ベース端部
１６ ：排気口
２１ ：シャフト
２２ ：ロータ翼
２３ ：ロータ円筒部
３１ ：ステータ翼
３２ ：ステータ円筒部
３３ ：筐体
４１Ａ～４１Ｅ ：軸受
４２ ：モータ
４２Ａ ：モータロータ
４２Ｂ ：モータステータ
４３ ：回転数センサ
４４Ａ～４４Ｃ ：変位センサ
４５ ：モータ電流測定装置
５１ ：ヒータ
５２ ：温度センサ
５３ ：ヒータ電流測定装置
ＳＰ１ ：第１内部空間
ＳＰ２ ：第２内部空間
Ａ１ ：軸線
Ｎ ：ネットワーク
１０ ：設定装置
１０１ ：記憶部
１０２ ：設定部
ＴＨ１ ：第１閾値
ＴＨ２ ：第２閾値

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】