特開 2024-27945 イオンビーム照射装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024027945

(43)【公開日】2024-03-01

(54)【発明の名称】イオンビーム照射装置

(51)【国際特許分類】

   H01J 37/317 20060101AFI20240222BHJP

【ＦＩ】

H01J37/317 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022131162

(22)【出願日】2022-08-19

(71)【出願人】

【識別番号】302054866

【氏名又は名称】日新イオン機器株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100121441

【弁理士】

【氏名又は名称】西村 竜平

(74)【代理人】

【識別番号】100154704

【弁理士】

【氏名又は名称】齊藤 真大

(74)【代理人】

【識別番号】100206151

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 惇志

(74)【代理人】

【識別番号】100218187

【弁理士】

【氏名又は名称】前田 治子

(72)【発明者】

【氏名】西村 一平

【テーマコード（参考）】

5C101

【Ｆターム（参考）】

5C101AA25

5C101BB03

5C101BB05

5C101DD03

5C101DD16

5C101DD22

5C101DD28

5C101DD40

(57)【要約】

【課題】イオン源に給電部材を接続する作業やイオン源から給電部材を取り外す作業を効率良く行えるようにする。
【解決手段】イオン源１０と、イオン源１０に電力を供給する複数の給電部材５０と、複数の給電部材５０を一括して保持する保持部材６０とを備え、保持部材６０が、イオン源１０に給電部材５０が接続される接続位置Ｐと、接続位置Ｐから退避して給電部材５０とイオン源１０とを非接続にする退避位置Ｑとの間を移動可能に設けられている。
【選択図】図７

【特許請求の範囲】

【請求項1】

イオン源と、
前記イオン源に電力を供給する複数の給電部材と、
前記複数の給電部材を一括して保持する保持部材とを備え、
前記保持部材が、前記イオン源に前記給電部材が接続される接続位置と、前記接続位置から退避して前記給電部材と前記イオン源とを非接続にする退避位置との間を移動可能に設けられている、イオンビーム照射装置。

【請求項2】

前記保持部材が、前記接続位置と前記退避位置との間を予め定められた軌道に沿って移動する、請求項１記載のイオンビーム照射装置。

【請求項3】

前記保持部材を水平な円軌道に沿って回転可能に支持する軸部材を備える、請求項２記載のイオンビーム照射装置。

【請求項4】

前記イオン源を装置本体に取り付ける又は前記イオン源を前記装置本体から取り外すためのイオン源搬送機構をさらに備え、
前記退避位置が、前記イオン源搬送機構により搬送される前記イオン源の搬送経路を避けた位置に設定されている、請求項１記載のイオンビーム照射装置。

【請求項5】

前記保持部材が、前記軸部材に支持される基端部とは反対側の先端部に設けられた被押圧部を有し、
前記軸部材から前記給電部材の給電用端子部までの距離よりも、前記軸部材から前記被押圧部までの距離の方が長い、請求項３記載のイオンビーム照射装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、イオンビーム照射装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

イオンビーム照射装置の組み立て時やイオン源のメンテナンス後において、装置本体に取り付けられたイオン源には、特許文献１に示すようなフィラメントに電力を供給するべく、電気ケーブル等の給電部材が接続される必要がある。従来は、イオン源が装置本体に取り付けられた後、作業者が複数の給電部材を１本ずつイオン源に手作業で接続していた。

【0003】

近時では、処理対象となる基板が大型化するに伴い、イオン源も大型化している。従って、イオン源に使用されるフィラメントの数が多くなっていることから、接続しなければならない給電部材の数も従来よりも多くなっている。

【0004】

従って、これまでと同様、作業者が給電部材を手作業で１本ずつ接続するのでは、作業効率が悪く、接続ミスが発生する可能性が高くなる。

【0005】

また、イオン源が装置本体に取り付けられる作業では、イオン源は台車で装置本体の傍に運び込まれ、その後、昇降ユニットにより持ち上げられて装置本体に取り付ける。したがって、装置本体の近傍には、これらの作業スペースが確保されている必要がある。

【0006】

そのため、作業者は、イオン源を装置本体に取り付ける前に、給電部材を上述した作業スペースから退避させておく。その後、作業者は、イオン源を装置本体に取り付けた後に、その退避させてある給電部材をイオン源まで引き回し、給電部材をイオン源に接続する作業を行う。このように、作業者が給電部材を１本ずつ引き回すようでは、やはり作業効率が悪い。

【0007】

こうした種々の問題は、イオン源の取り付け時のみならず、装置本体からイオン源が取り外される際に、イオン源から給電部材が取り外される作業においても共通して生じるものである。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【特許文献1】特開２０１９－０６７４８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

そこで本発明は、イオン源に給電部材を接続する作業やイオン源から給電部材を取り外す作業を効率良く行えるようにすることをその主たる課題とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

すなわち本発明に係るイオンビーム照射装置は、イオン源と、前記イオン源に電力を供給する複数の給電部材と、前記複数の給電部材を一括して保持する保持部材とを備え、前記保持部材が、前記イオン源に前記給電部材が接続される接続位置と、前記接続位置から退避して前記給電部材と前記イオン源とを非接続にする退避位置との間を移動可能に設けられていることを特徴とするものである。
なお、本明細書において、「イオン源に給電部材が接続される接続位置」とは、保持部材を接続位置に移動させるのと同時にイオン源に給電部材が接続される位置のみならず、保持部材を接続位置に移動させた後に別の作業を介してイオン源に給電部材が接続される位置も含む概念である。

【0011】

このように構成されたイオンビーム照射装置によれば、複数の給電部材を一括して保持する保持部材が接続位置と退避位置との間を移動可能に設けられているので、従来のように、作業者が給電部材を１本ずつ引き回す作業を行う場合に比べて、作業効率の向上を図れ、イオン源の周囲における作業時間を短くすることもできる。

【0012】

ところで、保持部材が接続位置と退避位置との間を自由な経路で移動できてしまうと、給電部材が周辺の構造物に接触して傷つくなどの恐れがある。
そこで、前記保持部材が、前記接続位置と前記退避位置との間を予め定められた軌道に沿って移動することが好ましい。
このような構成であれば、給電部材が構造物に接触しないような軌道を定めておくことで、給電部材が傷ついてしまうことを防ぐことができる。

【0013】

また、本発明に係るイオンビーム照射装置は、前記保持部材を水平な円軌道に沿って回転可能に支持する軸部材を備えることが好ましい。
このように保持部材が水平な円軌道に沿って回転し得る構成であれば、作業者が保持部材を持ち上げずに済むうえ、給電部材及び保持部材の荷重が軸部材に支持されているので、作業者が手作業でも保持部材を容易に移動させることができる。

【0014】

また、本発明に係るイオンビーム照射装置は、前記イオン源を装置本体に取り付ける又は前記イオン源を前記装置本体から取り外すためのイオン源搬送機構をさらに備え、前記退避位置が、前記イオン源搬送機構により搬送される前記イオン源の搬送経路を避けた位置に設定されていることが好ましい。
このような構成であれば、退避位置にある保持部材がイオン源の搬送の妨げにならず、イオン源の搬送作業における作業性を確保することができる。

【0015】

前記保持部材が、前記軸部材に支持される基端部とは反対側の先端部に設けられた被押圧部を有し、前記軸部材から前記給電部材の給電用端子部までの距離よりも、前記軸部材から前記被押圧部までの距離の方が長いことが好ましい。
このような構成であれば、作業者が被押圧部を押すことで、給電用端子部の近傍を押すよりも、保持部材を回転させるモーメントが大きくなるので、保持部材をより容易く移動させることができる。

【発明の効果】

【0016】

このように構成した本発明によれば、イオン源に給電部材を接続する作業やイオン源から給電部材を取り外す作業における作業効率が向上する。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本実施形態に係るイオンビーム照射装置の全体構成を示す模式図。

【図2】同実施形態のイオン源の構成を示す模式図。

【図3】同実施形態のイオン源の周辺構造を示す模式図。

【図4】同実施形態の給電部材及び保持部材の構成を示す模式図。

【図5】同実施形態の保持部材の内部構成を示す模式図。

【図6】同実施形態の保持部材の動作を示す模式図。

【図7】同実施形態の保持部材の接続位置及び退避位置を示す模式図。

【図8】その他の実施形態における保持部材の構成を示す模式図。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下に本発明に係るイオンビーム照射装置の一実施形態について図面を参照しながら説明する。

【0019】

本実施形態のイオンビーム照射装置１００は、図１に示すように、基板Ａの表面にイオンビームＩＢを照射して、イオンを基板Ａ内に注入し、その基板Ａの特性を所望のものにするために用いられるイオン注入装置である。基板Ａは、例えばフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用のものであり、具体的にはガラス基板や合成樹脂基板である。なお、イオンビーム照射装置１００としては、イオン注入装置に限定されず、例えばイオンビームエッチング装置等であっても良い。

【0020】

このイオンビーム照射装置１００は、イオン源１０から引き出されたイオンビームＩＢを、質量分析器２０により質量分析したのちに、基板ホルダ３０に保持されている基板Ａに対して照射し、所望のイオン種を基板Ａに対して注入するものである。

【0021】

イオン源１０は、図２に示すように、プラズマ生成容器１１と、プラズマ生成容器１１からイオンビームＩＢを引き出す複数の電極からなる引出し電極系１２と、プラズマ生成容器１１の内部にカスプ磁場を形成する複数の磁石１３と、プラズマ生成容器１１の内部に電子を放出する複数のフィラメント１４とを具備したものである。

【0022】

このイオン源１０は、イオンビーム照射時には、図３に示すように装置本体Ｘに取り付けられて使用されるとともに、メンテナンス時などには、図示は省略してあるが装置本体Ｘから取り外されるものである。

【0023】

そのため、本実施形態のイオンビーム照射装置１００は、図３に示すように、イオン源１０を装置本体Ｘに取り付ける又はイオン源１０を装置本体Ｘから取り外すためのイオン源搬送機構４０を備えている。

【0024】

イオン源１０の取り付け作業及び取り外し作業について簡単に説明すると、イオン源１０の取付時には、作業者は、まず倒伏姿勢にあるイオン源１０を台車Ｚに載せて装置本体Ｘの傍まで運ぶ。

【0025】

次いで、作業者は、イオン源搬送機構４０を駆動させることによって、台車Ｚ上のイオン源１０を起立させつつ、装置本体Ｘにおける所定の取付位置まで搬送し、起立姿勢にあるイオン源１０を装置本体Ｘに締結する。

【0026】

一方、イオン源１０の取り外し時には、作業者は、再びイオン源搬送機構４０を駆動させ、起立姿勢にあるイオン源１０をイオン源搬送機構４０により吊り下げられるようにしながら、装置本体Ｘから外す。

【0027】

次いで、作業者は、装置本体Ｘから取り外したイオン源１０をイオン源搬送機構４０により台車Ｚの上方に搬送し、そのイオン源１０を倒伏させながら台車Ｚに載せて装置本体Ｘから離れた場所に運ぶ。

【0028】

このような作業をするべく、イオン源搬送機構４０は、イオン源１０を吊り下げるとともに、そのイオン源１０を昇降移動及び水平移動させるものである。

【0029】

より具体的に説明すると、イオン源搬送機構４０は、図３に示すように、イオン源１０を昇降移動させるための第１移動部材４１と、イオン源１０を水平移動させるための第２移動部材４２と、これらの第１移動部材４１及び第２移動部材４２を支持する複数の支柱４３と、第１移動部材４１及び第２移動部材４２を移動させる図示しない駆動源とを有している。

【0030】

本実施形態では、装置本体Ｘの近傍に上方から視て四辺形の各頂点に位置するように４本の支柱４３が配置されており、これらの支柱４３に囲まれた領域Ｓに上述した台車Ｚが出入りできるようにしてある。

【0031】

第１移動部材４１は、イオン源１０を直接又は間接的に支持するとともに、支柱４３に沿って昇降移動するものである。

【0032】

この第１移動部材４１は、例えばイオン源１０を装置本体Ｘに対して進退させる方向（以下、進退方向ともいう）に沿って延びる長尺状をなすものであり、ここではイオン源１０の幅方向に離間して設けられた一対の第１移動部材４１それぞれが２本の支柱４３に支持されている。

【0033】

第２移動部材４２は、イオン源１０を直接又は間接的に支持するとともに、そのイオン源１０を少なくとも進退方向に沿って移動するものである。なお、第２移動部材４２としては、イオン源１０の幅方向に沿っても移動するものであっても良い。

【0034】

この第２移動部材４２は、例えばイオン源１０の幅方向に沿って延びる長尺状をなすものであり、ここでは上述した一対の第１移動部材４１の間に架け渡されるとともに、これらの第１移動部材４１に支持されている。

【0035】

かかる構成により、イオン源搬送機構４０により搬送されるイオン源１０の搬送経路の少なくとも一部は、４本の支柱４３で囲まれた領域Ｓ内に設定されていることになる。

【0036】

さらに、本実施形態のイオンビーム照射装置１００は、図３に示すように、装置本体Ｘに取り付けられたイオン源１０を格納するとともに、放射線を遮断する部屋となるキャビネットＣを備えている。なお、図３においては、説明の便宜上、キャビネットＣを構成する１枚の壁面Ｃ１のみを記載してあり、その他の壁面の記載は省略してある。

【0037】

このキャビネットＣは、上述したイオン源搬送機構４０を構成する第１移動部材４１、第２移動部材４２、及び複数本の支柱４３をも格納している。

【0038】

かかる構成において、本実施形態のイオンビーム照射装置１００は、イオン源１０に電力を供給するための構造及びその周辺構造に特徴があるので、以下に詳述する。

【0039】

本実施形態のイオンビーム照射装置１００は、図３及び図４に示すように、複数の給電部材５０と、これらの給電部材５０を保持する保持部材６０とをさらに備えている。

【0040】

給電部材５０は、図４に示すように、イオン源１０を構成する例えば上述した引出し電極系１２やフィラメント１４に電力を供給するためのものであり、一端部に電源からの電力を受ける受電用端子部Ｔ１が設けられるとともに、他端部にその電力をイオン源１０に供給する給電用端子部Ｔ２が設けられている。

【0041】

より具体的に説明すると、図５に示すように、給電部材５０は、配線部材５１と、配線部材５１の両端に電気的に接続された中間端子部５２と、配線部材５１の両端でそれぞれ中間端子部５２と電気的に接続された受電端子部Ｔ１および給電用端子部Ｔ２とにより構成されている。

【0042】

本実施形態における配線部材５１は電線であり、中間端子部５２は配線部材５１の両端部に圧着された丸端子である。受電端子部Ｔ１および給電用端子部Ｔ２はともに板状の導線性部材であり、一端部がオス端子として機能する。また、受電端子部Ｔ１および給電用端子部Ｔ２の他端部には、丸端子である中間端子部５２とボルトである締結具５３による共締めを可能とするための貫通孔が形成されている。

【0043】

保持部材６０の両端部にはナットが埋設された端子台（不図示）が配置されている。当該端子台において、受電端子部Ｔ１の貫通孔と中間端子部５２の孔部が、ナットの位置で重ね合わされた後、ボルトによって締結されることで受電端子部Ｔ１と中間端子部５２が電気的に接続される。なお、当該端子台は、例えば、螺子溝を外部に露出するようにして埋設されたボルトが配置された構成であってもよい。この場合、当該ボルトを介して受電端子部Ｔ１と中間端子部５２を共締めするためのナットが締結部５３となる。

【0044】

なお、図５においては、給電部材５０の受電用端子部Ｔ１側が図示されており、説明の便宜上、電線部材５１、中間端子部５２、及び締結具５２は、それぞれの一部のみが示されている。また、給電端子部Ｔ２と中間端子部５２とが電気的に接続される構成については、上述の受電端子部Ｔ１と中間端子部５２とが電気的に接続される構成と同様である。

【0045】

また、給電部材５０の構成は本実施形態の構成に限らない。例えば、配線部材５１と中間端子部５２の代わりに、両端部に締結孔が形成されたバスバーが使用されてもよい。この場合、例えば、当該バスバーの締結孔と受電端子部Ｔ１および給電用端子部Ｔ２の孔部を介して、締結具５３により配線部材５１と受電端子部Ｔ１および給電用端子部Ｔ２とが共締めされる。

【0046】

受電用端子部Ｔ１は、図６及び図７に示すように、電源に設けられた又は電源に接続されている電源側端子部Ｔ３に接続されるものである。この実施形態の電源側端子部Ｔ３は、キャビネットＣの外側に設けられている。より具体的には、キャビネットＣの壁面Ｃ１には、キャビネットＣ内と外部とを連通する窓Ｗが設けられており、この窓Ｗに臨むようにキャビネットＣの外部に電源側端子部Ｔ３が設けられている。

【0047】

給電用端子部Ｔ２は、図７に示すように、プラズマ生成容器１１に設けられたイオン源側端子部Ｔ４に接続されるものである。この実施形態のイオン源側端子部Ｔ４は、プラズマ生成容器１１の装置本体Ｘとは反対を向く背面に設けられている。より具体的には、イオン源１０を構成する引き出し電極系１２や複数本のフィラメント１４それぞれに対応する複数のイオン源側端子部Ｔ４が、プラズマ生成容器１１の背面における例えば中央部の下方などに纏められて設けられている。このように、イオン源側端子部Ｔ４がプラズマ生成容器１１の背面における中央部よりも下方に設けられていることで、作業者がより低い位置で作業をすることができ、作業性を担保することができる。

【0048】

保持部材６０は、図４に示すように、複数の給電部材５０を一括して保持するものであり、ここでは、複数の給電部材５０を収容可能な筒状をなす。ただし、保持部材６０の形状はこれに限らず、例えば板状や箱状のものなど、適宜変更して構わない。

【0049】

この実施形態では、複数の保持部材６０を設けてあり、第１の保持部材６０に一部（例えば半数）の給電部材５０を保持させるとともに、第２の保持部材６０に残りの給電部材５０を保持させている。ただし、保持部材６０は１つのみ設けても良いし、３つ以上設けても良い。

【0050】

然して、この保持部材６０は、イオン源１０に給電部材５０が接続される接続位置Ｐと、接続位置Ｐから退避して給電部材５０とイオン源１０とを非接続にする退避位置Ｑとの間を移動可能に設けられている。なお、この実施形態では、複数の保持部材６０が、一体的に移動するように連結されているが、複数の保持部材６０が独立して移動するようにしても良い。

【0051】

接続位置Ｐは、給電部材５０をイオン源１０に対して電気的に接続可能な位置である。本実施形態では、受電用端子部Ｔ１及び給電用端子部Ｔ２として板状のオス端子を用いており、電源側端子部Ｔ３及びイオン源側端子部Ｔ４としてオス端子を挟み込むクリップ状のメス端子を用いている。そして、作業者が、保持部材６０を接続位置Ｐに移動させることで、複数の給電部材５０の受電用端子部Ｔ１それぞれが、対応する電源側端子部Ｔ３に一挙に挿し込まれるとともに、複数の給電部材５０の給電用端子部Ｔ２それぞれが、対応するイオン源側端子部Ｔ４に一挙に挿し込まれる。

【0052】

かかる構成において、オス端子たる受電用端子部Ｔ１及び給電用端子部Ｔ２は、メス端子たる電源側端子部Ｔ３及びイオン源側端子部Ｔ４に挿し込まれる。したがって、受電用端子部Ｔ１及び給電用端子部Ｔ２は、イオン源１０のメンテナンス作業に伴って挿抜が繰り返されることで、例えば表面のメッキが剥がれるなど、消耗するものであり、適時交換が必要となる。

【0053】

そこで、本実施形態では、図５及び図６に示すように、上述した保持部材６０の受電用端子部Ｔ１側の基端部と、給電用端子部Ｔ２側の先端部とに、保持部材６０の本体部に対して着脱可能な着脱カバー６１を設けてある。

【0054】

そして、この着脱カバー６１を取り外すことにより、保持部材６０の内部にアクセスすることができ、上述した中間端子部５２と受電用端子部Ｔ１及び給電用端子部Ｔ２との締結を解くことで、使用済みの受電用端子部Ｔ１及び給電用端子部Ｔ２を新たなものに交換することができる。
なお、本実施形態における着脱カバー６１は、中間端子部５２と受電用端子部Ｔ１及び給電用端子部Ｔ２が締結された位置の上方を開放し得る構成であるが、これに加えて、側方も開放し得る構成としてもよい。

【0055】

退避位置Ｑは、給電部材５０の受電用端子部Ｔ１と電源側端子部Ｔ３とが非接続となり、且つ、給電部材５０の給電用端子部Ｔ２とイオン源側端子部Ｔ４とが非接続となる位置である。この退避位置Ｑは、イオン源搬送機構４０により搬送されるイオン源１０の搬送経路を避けた位置に設定されており、より具体的には、上述した４本の支柱４３で囲まれた領域Ｓの外部に設けられている。つまり、退避位置Ｑにある保持部材６０は、イオン源搬送機構４０により搬送されるイオン源１０とは干渉しない位置に配置されており、ここでは上述したキャビネットＣに格納されている。

【0056】

本実施形態の保持部材６０は、図７に示すように、上述した接続位置Ｐと退避位置Ｑとの間を予め定められた軌道Ｌに沿って移動するものであり、ここでの軌道Ｌは部分円弧状である。

【0057】

より具体的に説明すると、イオンビーム照射装置１００は、図７に示すように、保持部材６０を水平な円軌道Ｌに沿って回転可能に支持する軸部材７０をさらに備えている。

【0058】

軸部材７０は、保持部材６０とともに給電部材５０を回転可能に支持するものであり、本実施形態では、この軸部材７０を回転軸として保持部材６０を手動で（手で押し引きすることで）回転できるようにしてある。

【0059】

この軸部材７０は、図６及び図７に示すように、上述したキャビネットＣの外部に設けられて、上述した受電用端子部Ｔ１の近傍において保持部材６０を軸支している。

【0060】

かかる構成において、保持部材６０の回転可能な角度範囲、言い換えれば、軸部材７０を中心とした接続位置Ｐから退避位置Ｑまでの拡がり角度は、例えば９０度或いは９０度よりもやや大きい角度（例えば、９２度）に設定されている。

【0061】

このように構成されたイオンビーム照射装置１００によれば、複数の給電部材５０を一括して保持する保持部材６０が、接続位置Ｐと退避位置Ｑとの間を移動可能に設けられているので、従来のように給電部材５０が１本ずつ引き回される場合に比べて、作業効率の向上を図れ、イオン源１０の周囲における作業時間を短くすることもできる。その結果、イオン源１０の装置本体Ｘに対する着脱作業にかかる作業時間が従来と比較して短縮される。

【0062】

また、保持部材６０が接続位置Ｐと退避位置Ｑとの間を予め定められた軌道Ｌに沿って移動可能であるので、給電部材５０が構造物に接触しないような軌道Ｌを取ることで、給電部材５０が傷ついてしまうことを防ぐことができる。

【0063】

さらに、軸部材７０が保持部材６０を水平な円軌道に沿って回転可能に支持しているので、保持部材６０を持ち上げずに済むうえ、給電部材５０及び保持部材６０の荷重を軸部材７０に支持させているので、手作業でも容易に保持部材６０を移動させることができる。

【0064】

そのうえ、退避位置Ｑが、イオン源搬送機構４０により搬送されるイオン源１０の搬送経路を避けた位置に設定されているので、退避位置Ｑにある保持部材６０がイオン源１０の搬送の妨げにならず、イオン源１０の搬送作業における作業性を確保することができる。

【0065】

なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。

【0066】

例えば、保持部材６０としては、図８に示すように、軸部材７０に支持される基端部とは反対側の先端部に設けられた被押圧部８０を有するものであっても良い。
かかる構成において、軸部材７０から給電用端子部Ｔ２までの距離Ｈ１よりも、軸部材７０から被押圧部８０までの距離Ｈ２の方が長いことが好ましい。
このような構成であれば、被押圧部８０を押すことで、給電用端子部Ｔ２の近傍を押すよりも、保持部材６０を回転させるモーメントが大きくなる。これにより、保持部材６０を移動させる際に作業者が保持部材６０にかける力を低減させることができ、ひいてはイオン源１０に対して給電部材５０を挿抜する際の力を低減させることができる。

【0067】

また、前記実施形態では、保持部材６０を接続位置Ｐに移動させた場合に、前記実施形態では受電用端子部Ｔ１が電源側端子部Ｔ３に挿し込まれるとともに、給電用端子部Ｔ２がイオン源側端子部Ｔ４に挿し込まれるように構成されている。これらの端子部は必ずしも挿し込まれる必要はなく、イオンビーム照射装置１００は、受電用端子部Ｔ１が電源側端子部Ｔ３に近接配置されるとともに、給電用端子部Ｔ２がイオン源側端子部Ｔ４に近接配置される構成であってもよい。
この場合、例えば、イオンビーム照射装置１００が、受電用端子部Ｔ１と電源側端子部Ｔ３、および、給電用端子部Ｔ２とイオン源側端子部Ｔ４が、それぞれ互いに対向するように位置付けられた後、別個に用意された電線やバスバー等の導電性部材によって電気的に接続される構成であってもよい。この場合であっても、従来のように給電部材５０が１本ずつ引き回される場合に比べて、作業効率の向上が図られる。

【0068】

さらに、保持部材６０を接続位置Ｐに移動させた後、受電用端子部Ｔ１に向かって電源側端子部Ｔ３が移動しても良いし、給電用端子部Ｔ２に向かってイオン源側端子部Ｔ４が移動して、これにより、受電用端子部Ｔ１と電源側端子部Ｔ３とが接続されるとともに、給電用端子部Ｔ２とイオン源側端子部Ｔ４とが接続されるようにしても良い。

【0069】

保持部材６０を移動させる軌道Ｌは、前記実施形態の円軌道の他、例えばギア、カム、アーム部材などを用いて楕円軌道、湾曲した軌道、直線軌道、或いは、これら種々の軌道を組み合わせた軌道としても良い。

【0070】

また、保持部材６０を移動させる軌道Ｌは、前記実施形態では水平方向に沿った軌道であったが、水平方向成分と鉛直方向成分とを含む軌道であっても良いし、鉛直方向に沿った軌道であっても良い。

【0071】

さらに、保持部材６０を移動させる軌道Ｌは、予め定められている必要はなく、保持部材６０を例えば手動で自由な軌道で移動できるようにしても良い。

【0072】

前記実施形態では、複数の保持部材６０が、一体的に移動するように連結されていたが、複数の保持部材６０が、別々に移動するように互いに独立して設けられていても良い。
これならば、複数の給電部材５０を複数回に分けてイオン源１０に接続する或いはイオン源１０から取り外すことができるので、イオン源１０に対して給電部材５０を挿抜する一回一回の作業で必要な挿抜力は、イオン源１０に対して複数の給電部材５０を一挙に挿抜する作業で必要な挿抜力よりも少なくて済む。

【0073】

前記実施形態では、保持部材６０は手動で回転できるように構成されているが、例えばモータなどを用いて自動で回転できるように構成されていても良い。

【0074】

その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。

【符号の説明】

【0075】

１００・・・イオンビーム照射装置
１０ ・・・イオン源
１４ ・・・フィラメント
Ｘ ・・・装置本体
４０ ・・・イオン源搬送機構
Ｚ ・・・台車
４１ ・・・第１移動部材
４２ ・・・第２移動部材
４３ ・・・支柱
Ｓ ・・・領域
Ｃ ・・・キャビネット
Ｃ１ ・・・壁面
Ｗ ・・・窓
５０ ・・・給電部材
Ｔ１ ・・・受電用端子部
Ｔ２ ・・・給電用端子部
６０ ・・・保持部材
Ｔ３ ・・・電源側端子部
Ｔ４ ・・・イオン源側端子部
Ｐ ・・・接続位置
Ｑ ・・・退避位置
Ｌ ・・・軌道
７０ ・・・軸部材
８０ ・・・被押圧部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】