特開 2024-28143 キャパシタ部品

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024028143

(43)【公開日】2024-03-01

(54)【発明の名称】キャパシタ部品

(51)【国際特許分類】

   H01G 4/35 20060101AFI20240222BHJP

   H01G 4/33 20060101ALI20240222BHJP

   H01G 4/30 20060101ALI20240222BHJP

【ＦＩ】

H01G4/35 321

H01G4/33 102

H01G4/30 544

H01G4/30 541

【審査請求】未請求

【請求項の数】39

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023116741

(22)【出願日】2023-07-18

(31)【優先権主張番号】10-2022-0102849

(32)【優先日】2022-08-17

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(71)【出願人】

【識別番号】594023722

【氏名又は名称】サムソン エレクトロ－メカニックス カンパニーリミテッド．

(74)【代理人】

【識別番号】110000877

【氏名又は名称】弁理士法人ＲＹＵＫＡ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】キム、ハン

(72)【発明者】

【氏名】リー、サン ジョン

(72)【発明者】

【氏名】パク、ミン チェオル

(72)【発明者】

【氏名】ジャン、ス ボン

【テーマコード（参考）】

5E001

5E082

【Ｆターム（参考）】

5E001AB02

5E001AC09

5E001AF06

5E001AG01

5E082AB08

5E082EE05

5E082EE23

5E082EE37

5E082EE39

5E082FG03

5E082FG27

5E082FG42

5E082GG10

5E082GG11

5E082GG28

5E082HH47

5E082JJ02

5E082JJ12

5E082JJ23

(57)【要約】      （修正有）

【課題】ワイヤ状の単位素子を用いて小型化及び高容量化に有利なキャパシタ部品を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態によるキャパシタ部品は、第１中心電極１１１、第１中心電極を第１方向に垂直な方向に囲む第１中心誘電体１１２、第１中心誘電体を第１方向に垂直な方向に囲む第１外側電極１１３及び第１外側電極を第１方向に垂直な方向に囲む第１外側誘電体１１４を含む第１単位素子１１０と、第２中心電極１２１、第２中心電極を第１方向に垂直な方向に囲む第２中心誘電体１２２、第２中心誘電体を第１方向に垂直な方向に囲む第２外側電極１２３及び第２外側電極を第１方向に垂直な方向に囲む第２外側誘電体を含む第２単位素子１２０と、第１方向に垂直な方向に並んで配置された第１単位素子及び第２単位素子を含む容量形成部を含む。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１中心電極、前記第１中心電極を第１方向に垂直な方向に囲む第１中心誘電体、前記第１中心誘電体を前記第１方向に垂直な方向に囲む第１外側電極、及び前記第１外側電極を前記第１方向に垂直な方向に囲む第１外側誘電体を含む第１単位素子と、
第２中心電極、前記第２中心電極を前記第１方向に垂直な方向に囲む第２中心誘電体、前記第２中心誘電体を前記第１方向に垂直な方向に囲む第２外側電極、及び前記第２外側電極を前記第１方向に垂直な方向に囲む第２外側誘電体を含む第２単位素子と、
前記第１方向に垂直な方向に並んで配置された前記第１単位素子及び前記第２単位素子を含む容量形成部を含み、前記第１方向に向かい合う第１面及び第２面を含む本体と、
前記第１面上に配置され、前記第１中心電極及び前記第２外側電極と連結される第１外部電極と、
前記第２面上に配置され、前記第２中心電極及び前記第１外側電極と連結される第２外部電極と、を含む、キャパシタ部品。

【請求項2】

前記第１中心電極及び前記第２外側電極は、前記第１面から突出し、
前記第２中心電極及び前記第１外側電極は、前記第２面から突出する、請求項１に記載のキャパシタ部品。

【請求項3】

前記第１外部電極と前記第１面との間には、前記第２中心電極及び前記第１外側電極を覆う第１絶縁膜が配置され、
前記第２外部電極と前記第２面との間には、前記第１中心電極及び前記第２外側電極を覆う第２絶縁膜が配置される、請求項２に記載のキャパシタ部品。

【請求項4】

前記第１方向に垂直な断面において、
前記第１単位素子は、円形、楕円形、不定形及び多角形のうち一つであり、
前記第２単位素子は、円形、楕円形、不定形及び多角形のうち一つである、請求項１から３のいずれか一項に記載のキャパシタ部品。

【請求項5】

前記第１方向に垂直な断面において、
前記第１単位素子は多角形であり、
前記第２単位素子は多角形である、請求項１から３のいずれか一項に記載のキャパシタ部品。

【請求項6】

前記第１方向に垂直な断面において、
前記第１単位素子の一辺は、前記第２単位素子の一辺と向かい合って接するように配置される、請求項５に記載のキャパシタ部品。

【請求項7】

互いに向かい合って接する前記第１単位素子の一辺と前記第２単位素子の一辺は実質的に同じ長さである、請求項６に記載のキャパシタ部品。

【請求項8】

互いに隣接した前記第１単位素子及び前記第２単位素子を単位容量部とするとき、
前記第１方向に垂直な断面において、前記単位容量部は四角形である、請求項５に記載のキャパシタ部品。

【請求項9】

前記容量形成部は、前記第１単位素子及び前記第２単位素子をそれぞれ複数個含み、
前記複数個の第１単位素子及び第２単位素子は、前記第１方向に垂直な第２方向に交互に配置される、請求項１から３のいずれか一項に記載のキャパシタ部品。

【請求項10】

前記第１中心電極及び前記第２外側電極は、前記第１面と連結され、前記第２面とは離隔して配置され、
前記第２中心電極及び前記第１外側電極は、前記第２面と連結され、前記第１面とは離隔して配置される、請求項１から３のいずれか一項に記載のキャパシタ部品。

【請求項11】

前記第２中心電極及び前記第１外側電極が前記第１面と離隔した空間には、第１絶縁膜が配置され、
前記第１中心電極及び前記第２外側電極が前記第２面と離隔した空間には、第２絶縁膜が配置される、請求項１０に記載のキャパシタ部品。

【請求項12】

前記第１外部電極と前記第１面との間には、第１連結電極が配置され、
前記第２外部電極と前記第２面との間には、第２連結電極が配置される、請求項１１に記載のキャパシタ部品。

【請求項13】

前記第１連結電極及び前記第２連結電極は、めっき層またはスパッタリング層である、請求項１２に記載のキャパシタ部品。

【請求項14】

前記第１連結電極及び前記第２連結電極は、実質的に金属からなる、請求項１２に記載のキャパシタ部品。

【請求項15】

前記本体は、前記容量形成部を前記第１方向に垂直な方向に囲むモールディング部をさらに含む、請求項１から３のいずれか一項に記載のキャパシタ部品。

【請求項16】

前記本体は、前記容量形成部を囲むモールディング部をさらに含み、
前記第１外部電極及び前記第２外部電極は、前記モールディング部上に配置され、
前記第１中心電極及び前記第２外側電極は、前記モールディング部から突出して前記第１外部電極と連結され、
前記第２中心電極及び前記第２外側電極は、前記モールディング部から突出して前記第２外部電極と連結される、請求項１から３のいずれか一項に記載のキャパシタ部品。

【請求項17】

前記第１中心電極及び前記第２外側電極に含まれた金属は、前記第２中心電極及び前記第１外側電極に含まれた金属とは異なる金属である、請求項１から３のいずれか一項に記載のキャパシタ部品。

【請求項18】

前記第１中心電極、前記第２中心電極、前記第１外側電極及び前記第２外側電極は、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、鉛（Ｐｂ）、コバルト（Ｃｏ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、スズ（Ｓｎ）、銀（Ａｇ）及び金（Ａｕ）のうち一つ以上を含み、
前記第１中心電極及び前記第２外側電極に含まれた金属は、前記第２中心電極及び前記第１外側電極に含まれた金属とは異なる金属である、請求項１から３のいずれか一項に記載のキャパシタ部品。

【請求項19】

前記第１中心誘電体及び前記第２中心誘電体は、前記第１外側誘電体及び前記第２外側誘電体とは異なる誘電体物質を含む、請求項１から３のいずれか一項に記載のキャパシタ部品。

【請求項20】

前記第１単位素子の前記第１方向の大きさは、前記第１方向に垂直な断面において、前記第１単位素子の最大の大きさより１０倍以上大きく、
前記第２単位素子の前記第１方向の大きさは、前記第１方向に垂直な断面において、前記第２単位素子の最大の大きさより１０倍以上大きい、請求項１から３のいずれか一項に記載のキャパシタ部品。

【請求項21】

前記第１単位素子を前記第１方向に垂直な方向に切断した断面において、前記第１中心電極、前記第１中心誘電体、前記第１外側電極及び前記第１外側誘電体の外辺がなす形状は実質的に同一であり、
前記第２単位素子を前記第１方向に垂直な方向に切断した断面において、前記第２中心電極、前記第２中心誘電体、前記第２外側電極及び前記第２外側誘電体の外辺がなす形状は実質的に同一である、請求項１から３のいずれか一項に記載のキャパシタ部品。

【請求項22】

前記容量形成部は、前記第１単位素子及び前記第２単位素子をそれぞれ複数個含み、
前記複数個の第１単位素子及び第２単位素子は、前記第１方向に垂直な第２方向に交互に配置され、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向に交互に配置される、請求項１から３のいずれか一項に記載のキャパシタ部品。

【請求項23】

前記第１方向に垂直な断面において、
前記第１単位素子は多角形であり、
前記第２単位素子は多角形である、請求項２２に記載のキャパシタ部品。

【請求項24】

前記第１方向に垂直な断面において、
前記第１単位素子の一辺は、前記第２単位素子の一辺と向かい合って接するように配置され、前記第１単位素子の全ての辺は、他の第１単位素子の一辺とは向かい合って接しないように配置される、請求項２３に記載のキャパシタ部品。

【請求項25】

前記第１方向に垂直な断面において、
前記容量形成部の外辺を構成する辺を除いた前記第１単位素子の一辺は、前記第２単位素子の一辺と向かい合って接するように配置され、
前記容量形成部の外辺を構成する辺を除いた前記第２単位素子の一辺は、前記第１単位素子の一辺と向かい合って接するように配置される、請求項２３に記載のキャパシタ部品。

【請求項26】

互いに向かい合って接する前記第１単位素子の一辺と前記第２単位素子の一辺とは実質的に同じ長さである、請求項２５に記載のキャパシタ部品。

【請求項27】

前記第１方向に垂直な断面において、
前記第１単位素子及び前記第２単位素子は三角形である、請求項２３に記載のキャパシタ部品。

【請求項28】

互いに隣接した前記第１単位素子及び前記第２単位素子を単位容量部とするとき、
前記第１方向に垂直な断面において、前記単位容量部は四角形である、請求項２３に記載のキャパシタ部品。

【請求項29】

前記第１方向に垂直な断面において、
前記第１単位素子及び前記第２単位素子は四角形である、請求項２３に記載のキャパシタ部品。

【請求項30】

第１中心電極、前記第１中心電極を第１方向に垂直な方向に囲む第１中心誘電体、前記第１中心誘電体を前記第１方向に垂直な方向に囲む第１外側電極、及び前記第１外側電極を前記第１方向に垂直な方向に囲む第１外側誘電体を含む第１単位素子と、
第２中心電極、前記第２中心電極を前記第１方向に垂直な方向に囲む第２中心誘電体、前記第２中心誘電体を前記第１方向に垂直な方向に囲む第２外側電極、及び前記第２外側電極を前記第１方向に垂直な方向に囲む第２外側誘電体を含む第２単位素子と、
前記第１方向に垂直な方向に並んで配置された前記第１単位素子及び前記第２単位素子を含む容量形成部を含み、前記第１方向に向かい合う第１面及び第２面を含む本体と、
前記第１面上に配置され、前記第１中心電極及び前記第２外側電極と連結される第１外部電極と、
前記第２面上に配置され、前記第２中心電極及び前記第１外側電極と連結される第２外部電極と、を含み、
前記第１外側誘電体及び前記第２外側誘電体は、少なくとも一部が接するように配置されて一つの外側誘電体を構成する、キャパシタ部品。

【請求項31】

前記第１中心電極及び前記第２外側電極は、前記第１面から突出し、
前記第２中心電極及び前記第１外側電極は、前記第２面から突出する、請求項３０に記載のキャパシタ部品。

【請求項32】

前記第１外部電極と前記第１面との間には、前記第２中心電極及び前記第１外側電極を覆う第１絶縁膜が配置され、
前記第２外部電極と前記第２面との間には、前記第１中心電極及び前記第２外側電極を覆う第２絶縁膜が配置される、請求項３０に記載のキャパシタ部品。

【請求項33】

前記第１方向に垂直な断面において、
前記第１単位素子は多角形であり、
前記第２単位素子は多角形である、請求項３０に記載のキャパシタ部品。

【請求項34】

互いに隣接した前記第１単位素子及び前記第２単位素子を単位容量部とするとき、
前記第１方向に垂直な断面において、前記単位容量部は四角形である、請求項３３に記載のキャパシタ部品。

【請求項35】

前記第１中心電極及び前記第２外側電極は前記第１面と連結され、前記第２面とは離隔して配置され、
前記第２中心電極及び前記第１外側電極は前記第２面と連結され、前記第１面とは離隔して配置される、請求項３０から３４のいずれか一項に記載のキャパシタ部品。

【請求項36】

前記第２中心電極及び前記第１外側電極が前記第１面と離隔した空間には、第１絶縁膜が配置され、
前記第１中心電極及び前記第２外側電極が前記第２面と離隔した空間には、第２絶縁膜が配置される、請求項３５に記載のキャパシタ部品。

【請求項37】

前記本体は、前記容量形成部を前記第１方向に垂直な方向に囲むモールディング部をさらに含む、請求項３０から３４のいずれか一項に記載のキャパシタ部品。

【請求項38】

前記第１中心電極及び前記第２外側電極に含まれた金属は、前記第２中心電極及び前記第１外側電極に含まれた金属とは異なる金属である、請求項３０から３４のいずれか一項に記載のキャパシタ部品。

【請求項39】

前記容量形成部は、前記第１単位素子及び前記第２単位素子をそれぞれ複数個含み、
前記複数個の第１単位素子及び第２単位素子は、前記第１方向に垂直な第２方向に交互に配置され、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向に交互に配置される、請求項３０から３４のいずれか一項に記載のキャパシタ部品。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、キャパシタ部品に関するものである。

【背景技術】

【0002】

技術の発展に伴い、小さい体積に高い容量を有するチップ型の電子部品に対する需要が高まっている。よって最近、ＩＴ製品の小型化及び高機能化に応じて、ＩＴ製品に入るキャパシタも小型化及び高容量化が求められている。

【0003】

このような流れに合わせて積層型キャパシタ（ＭＬＣＣ、Ｍｕｌｔｉｌａｙｅｒｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃ Ｃａｐａｃｉｔｏｒ）は、誘電率の高い誘電体を開発するとともに、誘電体と内部電極の薄層化を深化させる方向に発展している。

【0004】

しかし、積層型キャパシタは、薄層化に伴うＢＤＶ（Ｂｒｅａｋｄｏｗｎ ｖｏｌｔａｇｅ：破壊電圧）の低下及び面積層方式が有する構造的な容量限界により、現在の単位体積当たりの容量の限界点に近接した状況である。

【0005】

かかる問題点を解消するために様々な形態のキャパシタが開発されており、一例として、ワイヤ状の単位素子を用いたキャパシタが開発されている。ワイヤ状の単位素子は、金属ワイヤ上に誘電体及び金属が交互にコーティングされた形態を有し、このような単位素子を複数個含むことで、キャパシタの単位体積当たりの容量を向上させようとする研究が進行中である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】韓国登録特許公報第１０－１７３８０６０号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

本発明の様々な目的の一つは、ワイヤ状の単位素子を用いて小型化及び高容量化に有利なキャパシタ部品を提供することである。

【0008】

但し、本発明の目的は上述した内容に限定されず、本発明の具体的な実施形態を説明する過程でより容易に理解することができる。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の一実施形態によるキャパシタ部品は、第１中心電極、上記第１中心電極を第１方向に垂直な方向に囲む第１中心誘電体、上記第１中心誘電体を上記第１方向に垂直な方向に囲む第１外側電極、及び上記第１外側電極を上記第１方向に垂直な方向に囲む第１外側誘電体を含む第１単位素子と、第２中心電極、上記第２中心電極を上記第１方向に垂直な方向に囲む第２中心誘電体、上記第２中心誘電体を上記第１方向に垂直な方向に囲む第２外側電極、及び上記第２外側電極を上記第１方向に垂直な方向に囲む第２外側誘電体を含む第２単位素子と、上記第１方向に垂直な方向に並んで配置された第１及び第２単位素子を含む容量形成部を含み、上記第１方向に向かい合う第１及び第２面を含む本体と、上記本体の第１面上に配置され、上記第１中心電極及び第２外側電極と連結される第１外部電極と、上記本体の第２面上に配置され、上記第２中心電極及び第１外側電極と連結される第２外部電極と、を含むことができる。

【0010】

本発明の一実施形態によるキャパシタ部品は、第１中心電極、上記第１中心電極を第１方向に垂直な方向に囲む第１中心誘電体、上記第１中心誘電体を上記第１方向に垂直な方向に囲む第１外側電極、及び上記第１外側電極を上記第１方向に垂直な方向に囲む第１外側誘電体を含む第１単位素子と、第２中心電極、上記第２中心電極を上記第１方向に垂直な方向に囲む第２中心誘電体、上記第２中心誘電体を上記第１方向に垂直な方向に囲む第２外側電極、及び上記第２外側電極を上記第１方向に垂直な方向に囲む第２外側誘電体を含む第２単位素子と、上記第１方向に垂直な方向に並んで配置された第１及び第２単位素子を含む容量形成部を含み、上記第１方向に向かい合う第１及び第２面を含む本体と、上記本体の第１面上に配置され、上記第１中心電極及び第２外側電極と連結される第１外部電極と、上記本体の第２面上に配置され、上記第２中心電極及び第１外側電極と連結される第２外部電極と、を含み、上記第１外側誘電体と第２外側誘電体は、少なくとも一部が接するように配置されて一つの外側誘電体を構成することができる。

【発明の効果】

【0011】

本発明の様々な効果の一つとして、一つの単位素子の内部でキャパシタンスを発生させるだけでなく、隣接した単位素子間にもキャパシタンスを発生させることができる構造を確保することによって、小型化及び高容量化に有利なキャパシタ部品を提供することができる。

【0012】

但し、本発明の多様でありながら有意義な利点及び効果は、上述した内容に限定されず、本発明の具体的な実施形態を説明する過程でより容易に理解されることができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明の一実施例によるキャパシタ部品を概略的に示した斜視図である。

【図2】キャパシタ部品の本体を概略的に示した斜視図である。

【図3】本体の第１面に露出した第１及び第２単位素子の拡大斜視図である。

【図4】本体の第２面に露出した第１及び第２単位素子の拡大斜視図である。

【図5】図１のＩ－Ｉ'線に沿った断面図である。

【図6】図１のＩＩ－ＩＩ'線に沿った断面図である。

【図7】（ａ）は、第１単位素子の一部を分解して示した図面であり、（ｂ）は、第２単位素子の一部を分解して示した図面である。

【図8】一変形例であり、第１及び第２単位素子がそれぞれ複数個である実施例に関する図２に対応する図面である。

【図9】一変形例であり、第１及び第２単位素子がそれぞれ複数個である実施例に関する図６に対応する図面である。

【図10】一変形例であり、第１及び第２単位素子の断面が三角形である実施例に関する図６に対応する図面である。

【図11】一変形例であり、第１及び第２単位素子の断面が円形である実施例に関する図６に対応する図面である。

【図12】一変形例であり、第１及び第２単位素子が負極形態を有する実施例に関する図５に対応する図面である。

【図13】一変形例であり、第１及び第２連結電極をさらに含む実施例に関する図５に対応する図面である。

【図14】発明例の容量形成部の断面図を示した図面である。

【図15】比較例１の容量形成部の断面図を示した図面である。

【図16】発明例及び比較例１の単位素子の面積に応じた容量を示したグラフである。

【図17】比較例２の容量形成部の断面図を示した図面である。

【図18】発明例及び比較例２の単位素子の面積に応じた容量を示したグラフである。

【図19】第１単位素子の斜視図である。

【図20】第２単位素子の斜視図である。

【図21】第１及び第２単位素子を配置して形成された容量形成部の斜視図である。

【図22】容量形成部にモールディング部を形成した後の斜視図である。

【図23】第１エッチング工程後の本体に対する斜視図である。

【図24】第２エッチング工程後の本体に対する斜視図である。

【図25】絶縁膜を形成した後の本体に対する斜視図である。

【図26】一変形例であり、第１外側誘電体と第２外側誘電体が一つの外側誘電体を構成する実施例に関する図６に対応する図面である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、具体的な実施形態及び添付された図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。しかし、本発明の実施形態は、いくつかの他の形態に変形することができ、本発明の範囲が以下説明する実施形態に限定されるものではない。また、本発明の実施形態は、当該技術分野で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために拡大縮小表示（又は強調表示や簡略化表示）がされることがあり、図面上の同一の符号で示される要素は同一の要素である。

【0015】

尚、図面において本発明を明確に説明するために説明と関係ない部分は省略し、図示した各構成の大きさ及び厚さは、説明の便宜のために任意で示したものであるため、本発明は必ずしも図示により限定されない。また、同一の思想の範囲内の機能が同一である構成要素は、同一の参照符号を用いて説明することができる。さらに、明細書全体において、ある部分がある構成要素を「含む」というのは、特に反対される記載がない限り、他の構成要素を除外するのではなく、他の構成要素をさらに含むことができることを意味する。

【0016】

図面において、第１方向は長さ（Ｌ）方向、第２方向は厚さ（Ｔ）方向、第３方向は幅（Ｗ）方向と定義することができる。

【0017】

図１は、本発明の一実施例によるキャパシタ部品を概略的に示した斜視図であり、図２は、キャパシタ部品の本体を概略的に示した斜視図であり、図３は、本体の第１面に露出した第１及び第２単位素子の拡大斜視図であり、図４は、本体の第２面に露出した第１及び第２単位素子の拡大斜視図であり、図５は、図１のＩ－Ｉ'線に沿った断面図であり、図６は、図１のＩＩ－ＩＩ'線に沿った断面図であり、図７の（ａ）は、第１単位素子の一部を分解して示した図面であり、（ｂ）は、第２単位素子の一部を分解して示した図面である。

【0018】

図１～図７を参照すると、本発明の一実施形態によるキャパシタ部品１０００は、第１中心電極１１１、上記第１中心電極を第１方向に垂直な方向に囲む第１中心誘電体１１２、上記第１中心誘電体を上記第１方向に垂直な方向に囲む第１外側電極１１３、及び上記第１外側電極を上記第１方向に垂直な方向に囲む第１外側誘電体１１４を含む第１単位素子１１０と、第２中心電極１２１、上記第２中心電極を上記第１方向に垂直な方向に囲む第２中心誘電体１２２、上記第２中心誘電体を上記第１方向に垂直な方向に囲む第２外側電極１２３、及び上記第２外側電極を上記第１方向に垂直な方向に囲む第２外側誘電体１２４を含む第２単位素子１２０と、上記第１方向に垂直な方向に並んで配置された第１及び第２単位素子１１０、１２０を含む容量形成部Ａｃを含み、上記第１方向に向かい合う第１及び第２面１、２を含む本体１００と、上記第１面上に配置され、上記第１中心電極１１１及び第２外側電極１２３と連結される第１外部電極２００と、上記第２面上に配置され、上記第２中心電極１２１及び第１外側電極１１３と連結される第２外部電極３００と、を含むことができる。

【0019】

積層型キャパシタ（ＭＬＣＣ、Ｍｕｌｔｉｌａｙｅｒｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃ Ｃａｐａｃｉｔｏｒ）は、誘電率の高い誘電体を開発するとともに、誘電体と内部電極の薄層化を深化させる方向に発展している。しかし、積層型キャパシタは、薄層化に伴うＢＤＶ（Ｂｒｅａｋｄｏｗｎ ｖｏｌｔａｇｅ：破壊電圧）の低下及び面積層方式が有する構造的な容量限界により、現在の単位体積当たりの容量の限界点に近接した状況である。

【0020】

かかる問題点を解消するために様々な形態のキャパシタが開発されており、一例として、ワイヤ状の単位素子を用いたキャパシタが開発されている。ワイヤ状の単位素子は、金属ワイヤ上に誘電体及び金属が交互にコーティングされた形態を有し、このような単位素子を複数個含むことで、キャパシタの単位体積当たりの容量を向上させる構造である。

【0021】

しかし、単に単位素子を複数個含ませる場合、単位素子の内部でキャパシタンスが発生し、単位素子間にはキャパシタンスが発生しないため、容量向上に限界点が存在する。

【0022】

一方、本発明の一実施例によると、第１単位素子１１０の外側電極１１３と第２単位素子１２０の外側電極１２３が異なる極性を有することができる構造を有するにつれて、第１単位素子１１０及び第２単位素子１２０の各内部でキャパシタンスを発生させるだけでなく、第１及び第２単位素子１１０、１２０間にもキャパシタンスを発生させることができ、単位体積当たりの容量を最大化することができる。

【0023】

以下、本発明の一実施例によるキャパシタ部品１０００に含まれる各構成についてより詳細に説明する。

【0024】

本体１００は、第１方向に垂直な方向に並んで配置された第１及び第２単位素子１１０、１２０を含む容量形成部Ａｃを含む。本体１００の具体的な形状に特に制限はないが、図示のように本体１００は六面体状やこれと類似した形状からなることができる。

【0025】

本体１００は、第１方向に互いに向かい合う第１及び第２面１、２、上記第１及び第２面１、２と連結され、第２方向に互いに向かい合う第３及び第４面３、４、第１～第４面１、２、３、４と連結され、第３方向に互いに向かい合う第５面及び第６面５、６を含むことができる。

【0026】

一実施例において、本体１００は、容量形成部Ａｃを第１方向に垂直な方向に囲むモールディング部１３０を含むことができる。モールディング部１３０は、容量形成部Ａｃの側面を覆うことができる。モールディング部１３０は、外部の衝撃や異物などから本体１１０の内部を保護する役割を果たすことができる。但し、後述するように外側誘電体１１４、１２４が外部の衝撃や異物などから本体１１０の内部を保護する役割を果たすこともできるため、モールディング部１３０は配置されないことができる。

【0027】

モールディング部１３０は、例えば、ポリスチレン系、酢酸ビニル系、ポリエステル系、ポリエチレン系、ポリプロピレン系、ポリアミド系、ゴム系、アクリル系などの熱可塑性樹脂、フェノール系、エポキシ系、ウレタン系、メラミン系、アルキド系などの熱硬化性樹脂、感光性樹脂、パリレン、ＳｉＯｘまたはＳｉＮｘを含むことができる。

【0028】

モールディング部１３０は、例えば、液状の絶縁樹脂を塗布するか、絶縁フィルムを積層するか、気相蒸着などで形成されることができる。絶縁フィルムの場合、感光性絶縁樹脂を含むドライフィルム（ＤＦ）、感光性絶縁樹脂を含まないＡＢＦ（Ａｊｉｎｏｍｏｔｏ Ｂｕｉｌｄ－ｕｐ Ｆｉｌｍ）またはポリイミドフィルムなどを用いることができる。

【0029】

一実施例において、上記本体は上記容量形成部を囲むモールディング部をさらに含み、上記第１及び第２外部電極は上記モールディング部上に配置され、上記第１中心電極及び第２外側電極は上記モールディング部から突出して上記第１外部電極と連結され、上記第２中心電極及び第１外側電極は上記モールディング部から突出して上記第２外部電極と連結されることができる。すなわち、突出した中心電極及び外側電極を除いた本体の外表面がモールディング部で構成されることができる。これにより、外部の衝撃や異物などから本体１１０の内部をさらに保護することができ、別途の絶縁膜を配置しなくても電気的短絡を防止することができる。

【0030】

第１単位素子１１０は、第１中心電極１１１、上記第１中心電極を第１方向に垂直な方向に囲む第１中心誘電体１１２、上記第１中心誘電体を上記第１方向に垂直な方向に囲む第１外側電極１１３、及び上記第１外側電極を上記第１方向に垂直な方向に囲む第１外側誘電体１１４を含むことができる。第２単位素子１２０は、第２中心電極１２１、上記第２中心電極を上記第１方向に垂直な方向に囲む第２中心誘電体１２２、上記第２中心誘電体を上記第１方向に垂直な方向に囲む第２外側電極１２３、及び上記第２外側電極を上記第１方向に垂直な方向に囲む第２外側誘電体１２４を含むことができる。

【0031】

第１中心電極１１１及び第２外側電極１２３は、本体１００の第１面で第１外部電極２００と連結されることができ、第２中心電極１２１及び第１外側電極１１３は、第２面で第２外部電極３００と連結されることができる。これにより、第１中心電極１１１と第１外側電極１１３が異なる極性を有することができるため、第１単位素子１１０の内部でキャパシタンスが形成されることができ、第２中心電極１２１と第２外側電極１２３が異なる極性を有することができるため、第２単位素子１２０の内部でキャパシタンスが形成されることができる。また、第１外側電極１１３が第２外側電極１２３と異なる極性を有することができるため、第１単位素子１１０と第２単位素子１２０との間にもキャパシタンスを発生させることができ、単位体積当たりの容量を最大化することができる。

【0032】

中心電極１１１、１２１は、第１方向に延びる柱状を有することができる。中心電極１１１、１２１の第１方向に垂直な断面の形状は、特に限定する必要はなく、円形、楕円形、不定形、及び多角形のいずれか一つであることができる。これにより、中心電極１１１、１２１は、円柱、楕円柱、三角柱、四角柱、五角柱、六角柱などの形態であることができる。また、第１中心電極１１１と第２中心電極１２１の第１方向に垂直な断面の形状が同一である必要はなく、互いに異なる形状を有することができる。また、容量形成部Ａｃに含まれる第１単位素子１１０が複数個である場合、複数の第１中心電極１１１の第１方向に垂直な断面の形状が互いに同一である必要はなく、互いに異なる形状を有することができる。また、容量形成部Ａｃに含まれる第２単位素子１２０が複数個である場合、複数の第２中心電極１２１の第１方向に垂直な断面の形状が互いに同一である必要はなく、互いに異なる形状を有することができる。

【0033】

中心電極１１１、１２１を形成する材料は特に限定する必要はなく、例えば、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、鉛（Ｐｂ）、コバルト（Ｃｏ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、銀（Ａｇ）、スズ（Ｓｎ）及び金（Ａｕ）のうち一つ以上で形成することができる。また、第１中心電極１１１と第２中心電極１２１が互いに同じ材料で形成される必要はなく、互いに異なる材料で形成されることができる。また、容量形成部Ａｃに含まれる第１単位素子１１０が複数個である場合、複数の第１中心電極１１１が互いに同じ材料で形成される必要はなく、互いに異なる材料で形成されることができる。また、容量形成部Ａｃに含まれる第２単位素子１２０が複数個である場合、複数の第２中心電極１２１が互いに同じ材料で形成される必要はなく、互いに異なる材料で形成されることができる。

【0034】

中心電極１１１、１２１を形成する方法も特に限定する必要はなく、例えば引き抜き加工（Ｗｉｒｅ Ｄｒａｗｉｎｇ）によって製造されることができる。引き抜き加工（Ｗｉｒｅ Ｄｒａｗｉｎｇ）とは、端部が狭いダイス（ｄｉｅｓ）に金属線（ｗｉｒｅ）を挟み、この端部を引っ張ってダイスの孔から引き抜くことで、金属線の直径を減少させて調節する加工法を意味する。

【0035】

中心電極１１１、１２１の大きさは特に限定する必要はない。例えば、中心電極１１１、１２１の第１方向の大きさの場合、キャパシタ部品の大きさなどを考慮して決定することができ、中心電極１１１、１２１の第２方向への最大大きさ及び第３方向への最大大きさはそれぞれ１０μｍ以下であることができ、キャパシタ部品１０００の小型化及び高容量化を考慮してそれぞれ２μｍ以下、より好ましくはそれぞれ０．５μｍ以下であることができる。

【0036】

中心電極１１１、１２１の第２方向への最大大きさ及び第３方向への最大大きさは、キャパシタ部品１０００の第１方向の中央部でとった第２方向及び第３方向の断面に対する光学顕微鏡イメージまたは走査電子顕微鏡（ＳＥＭ；Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）イメージに基づいて測定したものであることができる。第１中心電極１１１及び／または第２中心電極１２１が複数個である場合、複数個の最大大きさを測定した後、これを算術平均した値を平均最大大きさとすることができる。

【0037】

中心誘電体１１２、１２２は、中心電極１１１、１２１を第１方向に垂直な方向に囲む形態で配置されることができる。より具体的には、中心誘電体１１２、１２２は、中心電極１１１、１２１の側面を覆う形態で、中心電極１１１、１２１と外側電極１１３、１２３との間に配置されることができる。すなわち、中心誘電体１１２、１２２は、中心電極１１１、１２１と外側電極１１３、１２３との電気的短絡（ｓｈｏｒｔ－ｃｉｒｃｕｉｔ）を防止するための分離膜の役割を果たすことができる。

【0038】

図７の（ａ）を参照すると、第１中心誘電体１１２は、第１中心電極１１１を第１方向に垂直な方向に囲む形態で配置されることができ、図７の（ｂ）を参照すると、第２中心誘電体１２２は、第２中心電極１２１を第１方向に垂直な方向に囲む形態で配置されることができる。

【0039】

中心誘電体１１２、１２２は、上記第１方向と垂直な断面が多角リング（ｒｉｎｇ）状であることができる。例えば、中心電極１１１、１２１の上記第１方向と垂直な断面が四角形の場合、中心誘電体１１２、１２２の上記第１方向と垂直な断面は四角リング状であることができる。

【0040】

中心誘電体１１２、１２２を構成する材料は特に限定する必要はない。例えば、中心誘電体１１２、１２２は、タンタル（Ｔａ）、チタン（Ｔｉ）、ランタナム（Ｌａ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、バリウム（Ｂａ）、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａｌ）及びハフニウム（Ｈｆ）から選択された少なくとも一つの酸化物を含むことができる。

【0041】

中心誘電体１１２、１２２は、例えば、原子層蒸着（ＡＬＤ；Ａｔｏｍｉｃ Ｌａｙｅｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、化学気相蒸着（ＣＶＤ；Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）などの気相蒸着などで形成されることができるが、本発明はこれに制限されるものではない。

【0042】

外側電極１１３、１２３は、中心誘電体１１２、１２２を第１方向に垂直な方向に囲む形態で配置されることができる。より具体的には、外側電極１１３、１２３は、中心誘電体１１２、１２２の側面を覆う形態で配置されることができる。図７の（ａ）を参照すると、第１外側電極１１３は、第１中心誘電体１１２を第１方向に垂直な方向に囲む形態で配置されることができ、図７の（ｂ）を参照すると、第２外側電極１２３は第２中心誘電体１２２を第１方向に垂直な方向に囲む形態で配置されることができる。

【0043】

中心電極１１１、１２１と外側電極１１３、１２３との間に中心誘電体１１２、１２２が配置されることで、複数の中心電極１１１、１２１と外側電極１１３、１２３には、互いに異なる極性の電荷が印加されて、中心誘電体１１２、１２２に容量（ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ）を形成するようになる。

【0044】

外側電極１１３、１２３は、上記第１方向と垂直な断面が多角リング（ｒｉｎｇ）状であることができる。例えば、中心電極１１１、１２１の上記第１方向と垂直な断面が四角形の場合、外側電極１１３、１２３の上記第１方向と垂直な断面は、四角リング状であることができる。

【0045】

外側電極１１３、１２３を形成する材料も特に限定する必要はなく、例えば、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、鉛（Ｐｂ）、コバルト（Ｃｏ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、銀（Ａｇ）、スズ（Ｓｎ）及び金（Ａｕ）のうち一つ以上で形成することができる。また、外側電極１１３、１２３は、中心電極１１１、１２１と同じ材料で形成される必要はなく、互いに異なる材料で形成されることができる。

【0046】

外側電極１１３、１２３は、気相蒸着などの薄膜工程、またはめっき工程などで形成されることができ、例えば、原子層蒸着（ＡＬＤ）で形成されることができるが、本発明はこれに制限されるものではない。

【0047】

外側誘電体１１４、１２４は、外側電極１１３、１２３を第１方向に垂直な方向に囲む形態で配置されることができる。より具体的には、外側誘電体１１４、１２４は、外側電極１１３、１２３の側面を覆う形態で配置されることができる。図７の（ａ）を参照すると、第１外側誘電体１１４は、第１外側電極１１３を第１方向に垂直な方向に囲む形態で配置されることができ、図７の（ｂ）を参照すると、第２外側誘電体１２４は、第２外側電極１２３を第１方向に垂直な方向に囲む形態で配置されることができる。外側誘電体１１４、１２４は、第１外側電極１１３と第２外側電極１２３との電気的短絡（ｓｈｏｒｔ－ｃｉｒｃｕｉｔ）を防止するための分離膜の役割を果たすことができる。また、第１外側電極１１３と第２外側電極１２３との間に外側誘電体１１４、１２４が配置され、第１外側電極１１３と第２外側電極１２３に互いに異なる極性の電荷が印加されることで、外側誘電体１１４、１２４に容量（ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ）が形成されることができる。また、外側誘電体１１４、１２４は、本体１１０が別途のモールディング部１３０を含まない場合、本体１１０の外面を構成して、外部の衝撃や異物などから本体１１０の内部を保護する役割を果たすこともできる。

【0048】

一方、第１及び第２単位素子１１０、１２０が全て外側誘電体を有する必要はなく、第１及び第２単位素子１１０、１２０のいずれか一つが外側誘電体を有する場合、残りの一つは外側誘電体を有さないことができる。第１及び第２単位素子１１０、１２０のいずれか一つのみが外側誘電体を有しても、第１外側電極１１３と第２外側電極１２３との電気的短絡（ｓｈｏｒｔ－ｃｉｒｃｕｉｔ）を防止することができるためである。

【0049】

外側誘電体１１４、１２４は、上記第１方向と垂直な断面が多角リング（ｒｉｎｇ）状であることができる。例えば、中心電極１１１、１２１の上記第１方向と垂直な断面が四角形の場合、外側誘電体１１４、１２４の上記第１方向と垂直な断面は四角リング状であることができる。

【0050】

外側誘電体１１４、１２４を構成する材料は特に限定する必要はない。例えば、外側誘電体１１４、１２４は、タンタル（Ｔａ）、チタン（Ｔｉ）、ランタナム（Ｌａ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、バリウム（Ｂａ）、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａｌ）及びハフニウム（Ｈｆ）から選択された少なくとも一つの酸化物を含むことができる。また、外側誘電体１１４、１２４は、中心誘電体１１２、１２２と同じ材料で形成される必要はなく、互いに異なる材料で形成されることができる。すなわち、一実施例において、第１及び第２中心誘電体１１２、１２２は、第１及び第２外側誘電体１１４、１２４とは異なる誘電体物質を含むことができる。

【0051】

外側誘電体１１４、１２４は、例えば、原子層蒸着（ＡＬＤ；Ａｔｏｍｉｃ Ｌａｙｅｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、化学気相蒸着（ＣＶＤ；Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）などの気相蒸着などで形成されることができるが、本発明はこれに制限されるものではない。

【0052】

一実施例において、第１外側誘電体１１４'及び第２外側誘電体１２４'は、少なくとも一部が接するように配置されて一つの外側誘電体ＯＤを構成することができる。

【0053】

図２６を参照すると、第１単位素子１１０'の第１外側誘電体１１４'と第２単位素子１２０'の第２外側誘電体１２４'が接する領域において第１外側誘電体１１４'と第２外側誘電体１２４'の境界ＩＦは、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ：Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）を利用せずには確認しにくいほど一体化し、第１外側誘電体１１４'及び第２外側誘電体１２４'は、一つの外側誘電体ＯＤを構成することができる。

【0054】

中心誘電体１１２、１２２、外側電極１１３、１２３及び外側誘電体１１４、１２４の平均厚さは特に限定する必要はない。例えば、中心誘電体１１２、１２２、外側電極１１３、１２３、及び外側誘電体１１４、１２４の平均厚さはそれぞれ０．５μｍ以下であることができ、キャパシタ部品１０００の小型化及び高容量化を考慮してそれぞれ０．１μｍ以下、より好ましくはそれぞれ０．０５μｍ以下であることができる。但し、第１外側電極１１３と第２外側電極１２３との間に第１及び第２外側誘電体１１４、１２４が全て配置されることを考慮して、第１及び第２外側誘電体１１４、１２４の各平均厚さは、中心誘電体１１２、１２２及び／または外側電極１１３、１２３の平均厚さより薄いことができる。例えば、外側誘電体１１４、１２４の平均厚さは、中心誘電体１１２、１２２及び／または外側電極１１３、１２３の平均厚さの半分またはその以下であることができる。

【0055】

中心誘電体１１２、１２２、外側電極１１３、１２３及び外側誘電体１１４、１２４の平均厚さは、キャパシタ部品１０００の第１方向の中央部からとった第２方向及び第３方向の断面に対する光学顕微鏡イメージまたは走査電子顕微鏡イメージに基づいて、上記イメージにおいて示されたいずれか一つの中心誘電体１１２、１２２、外側電極１１３、１２３及び外側誘電体１１４、１２４に対して第１方向と垂直な方向に沿ってそれぞれ複数回測定し、これをそれぞれ算術平均したことを意味することができる。または、上記イメージにおいて示された少なくとも３つ以上の中心誘電体１１２、１２２、外側電極１１３、１２３及び外側誘電体１１４、１２４のそれぞれについて上述した方法で平均厚さを求め、これをそれぞれ算術平均したことを意味することができる。

【0056】

一実施例において、上記第１単位素子１１０の第１方向の大きさは、上記第１方向に垂直な断面において上記第１単位素子１１０の最大大きさよりも１０倍以上大きく、上記第２単位素子１２０の第１方向の大きさは、上記第１方向に垂直な断面において上記第２単位素子１２０の最大大きさよりも１０倍以上大きいことができる。すなわち、第１及び第２単位素子１１０、１２０がワイヤ状を有することができ、これにより複数の第１及び第２単位素子を配置することが容易であることができる。但し、これに制限されるものではなく、必要に応じて、上記第１単位素子１１０の第１方向の大きさは、上記第１方向に垂直な断面において上記第１単位素子１１０の最大大きさよりも小さいこともでき、上記第２単位素子１２０の第１方向の大きさは、上記第１方向に垂直な断面において上記第２単位素子１２０の最大大きさよりも小さいこともできる。

【0057】

一実施例において、上記第１単位素子１１０を上記第１方向に垂直な方向に切断した断面において、上記第１中心電極１１１、第１中心誘電体１１２、第１外側電極１１３及び第１外側誘電体１１４の外辺がなす形状は実質的に同一であることができるが、その大きさが異なる場合があり、上記第２単位素子１２０を上記第１方向に垂直な方向に切断した断面において、上記第２中心電極１２１、第２中心誘電体１２２、第２外側電極１２３、及び第２外側誘電体１２４の外辺がなす形状は実質的に同一であることができるが、その大きさが異なる場合がある。

【0058】

外部電極２００、３００は、本体１００の第１面及び第２面１、２に配置され、第３～第６面３、４、５、６のそれぞれの一部まで延びることができる。外部電極２００、３００は、第１面上に配置され、第１中心電極１１１及び第２外側電極１２３と連結される第１外部電極２００及び第２面上に配置され、上記第２中心電極１２１及び第１外側電極１１３と連結される第２外部電極３００を含むことができる。

【0059】

外部電極２００、３００は、金属などの電気導電性を有するものであれば、如何なる物質を用いても形成されることができ、電気的特性、構造的安定性などを考慮して具体的な物質が決定されることができ、さらに多層構造を有することができる。

【0060】

外部電極２００、３００は、例えば、本体１００の第１及び第２面１、２から順に形成された第１電極層２１０、３１０及び第２電極層２２０、３２０を含むことができる。

【0061】

第１電極層２１０、３１０は、例えば、本体１００の第１及び第２面１、２を導電性金属及びガラスを含む外部電極用導電性ペーストにディッピング（ｄｉｐｐｉｎｇ）した後に焼成することで形成されることができる。または、導電性金属及びガラスを含むシートを転写する方式で形成されることもできる。これによって、外部電極１３１、１３２は、導電性金属及びガラスを含む焼成電極であることができる。

【0062】

または、第１電極層２１０、３１０は、例えば、導電性金属及び樹脂を含む樹脂系電極であることができる。第１電極層２１０、３１０は、導電性金属及び樹脂を含むペーストを塗布及び硬化する方法で形成されることができる。

【0063】

第１電極層２１０、３１０に含まれる導電性金属は、例えば、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、パラジウム（Ｐｄ）、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、鉛（Ｐｂ）及び／またはこれを含む合金を含むことができ、好ましくは銅（Ｃｕ）及び／またはニッケル（Ｎｉ）を含むことができるが、これに限定されるものではない。

【0064】

さらに、第１電極層２１０、３１０は複数の層で形成されることもできる。例えば、第１電極層２１０、３１０は、導電性金属及びガラスを含む焼成電極上に導電性金属及び樹脂を含む樹脂系電極が配置された形態であることができる。

【0065】

第２電極層２２０、３２０は実装特性を向上させることができる。第２電極層２２０、３２０の種類は特に限定されず、ニッケル（Ｎｉ）、スズ（Ｓｎ）、パラジウム（Ｐｄ）及び／またはこれを含む合金などを含むめっき層であることができ、複数の層で形成されることもできる。第２電極層２２０、３２０は、例えば、ニッケル（Ｎｉ）めっき層またはスズ（Ｓｎ）めっき層であることができ、ニッケル（Ｎｉ）めっき層及びスズ（Ｓｎ）めっき層が順次形成された形態であることもできる。また、第２電極層２２０、３２０は、複数のニッケル（Ｎｉ）めっき層及び／または複数のスズ（Ｓｎ）めっき層を含むこともできる。

【0066】

一実施例において、第１中心電極１１１及び第２外側電極１２３は、本体１００の第１面１に突出し、第２中心電極１２１及び第１外側電極１１３は、本体１００の第２面２に突出することができる。

【0067】

第１中心電極１１１及び第２外側電極１２３は、本体１００の第１面１に突出して第１外部電極２００と連結され、第２中心電極１２１及び第１外側電極１１３は、本体１００の第２面２に突出して第２外部電極３００と連結されることで、中心電極１１１、１２１及び外側電極１１３、１２３と外部電極２００、３００間の接触面積が増加し、これにより中心電極１１１、１２１及び外側電極１１３、１２３と外部電極２００、３００との間の連結性が向上することができる。

【0068】

第１及び第２単位素子１１０、１２０の第１方向の一端をエッチング（ｅｔｃｈｉｎｇ）して第１中心誘電体１１２、第１外側電極１１３、第１外側誘電体１１４、第２中心電極１２１、第２中心誘電体１２２、及び第２外側誘電体１２４を選択的に除去することで、第１中心電極１１１及び第２外側電極１２３を突出させることができる。同じ観点から、第１及び第２単位素子１１０、１２０の第１方向の他端をエッチングして第１中心電極１１１、第１中心誘電体１１２、第１外側誘電体１１４、第２中心誘電体１２２、第２外側電極１２３、及び第２外側誘電体１２４を選択的に除去することで、第２中心電極１２１及び第１外側電極１１３を突出させることができる。但し、本発明はこれに限定されるものではない。

【0069】

第１、第２中心電極１１１、１２１、第１、第２中心誘電体１１２、１２２、第１、第２外側電極１１３、１２３、第１及び第２外側誘電体１１４、１２４のそれぞれは、互いに異なるエッチング液によって選択的に除去が可能であることができる。

【0070】

これによって、一実施例において、第１中心電極１１１及び第２外側電極１２３に含まれた金属は、第２中心電極１２１及び第１外側電極１１３に含まれた金属とは異なる金属を含むことが好ましいことができる。

【0071】

例えば、一実施例において、第１、第２中心電極１１１、１２１、第１及び第２外側電極１１３、１２３は、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、鉛（Ｐｂ）、コバルト（Ｃｏ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、銀（Ａｇ）及び金（Ａｕ）のうち一つ以上を含むが、第１中心電極１１１及び第２外側電極１２３に含まれた金属は、第２中心電極１２１及び第１外側電極１１３に含まれた金属とは異なる金属であることができる。

【0072】

但し、本発明がこれに限定されるものではなく、第１及び第２単位素子１１０、１２０を一度にエッチングするのではなく、別途にエッチングを行う方法もあることができ、第１及び第２単位素子１１０、１２０をそれぞれ製作する段階で、所望の電極が突出した形状を有するように製作することもできる。したがって、中心電極１１１、１２１と外側電極１１３、１２３を同じ物質で構成することも可能である。

【0073】

一実施例において、第１外部電極２００と上記第１面との間には、第２中心電極１２１及び第１外側電極１１３を覆う第１絶縁膜４００が配置され、第２外部電極３００と第２面との間には、第１中心電極１１１及び第２外側電極１２３を覆う第２絶縁膜５００が配置されることができる。

【0074】

キャパシタ部品１０００は、絶縁膜４００、５００を含むことで、キャパシタ部品１０００の機械的耐久性を向上させることができるだけでなく、第２中心電極１２１及び第１外側電極１１３と第１外部電極２００との間の電気的絶縁特性を向上させることができ、第１中心電極１１１及び第２外側電極１２３と第２外部電極３００との間の電気的絶縁特性を向上させることができる。

【0075】

絶縁膜４００、５００は、電気絶縁性を有する材料を含むことができ、材料が特に限定されるものではない。例えば、絶縁膜４００、５００は、樹脂及びセラミックの少なくとも一つを含むことができる。樹脂は、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、及び／または感光性樹脂を含むことができるが、本発明はこれに限定されるものではない。セラミックは、例えば、タンタル（Ｔａ）、チタン（Ｔｉ）、ランタナム（Ｌａ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、バリウム（Ｂａ）、ケイ素（Ｓｉ）及びハフニウム（Ｈｆ）から選択された少なくとも一つの酸化物を含むことができるが、本発明はこれに限定されるものではない。

【0076】

絶縁膜４００、５００は、液状の絶縁樹脂を塗布するか、原子層蒸着（ＡＬＤ）及び化学気相蒸着（ＣＶＤ）などの気相蒸着などで形成されることができるが、本発明はこれに制限されるものではない。

【0077】

図８は、一変形例であり、第１及び第２単位素子がそれぞれ複数個である実施例に関する図２に対応する図面であり、図９は、図６に対応する図面である。

【0078】

一実施例において、容量形成部Ａｃは、上記第１及び第２単位素子１１０、１２０をそれぞれ複数個含み、上記複数個の第１及び第２単位素子１１０、１２０は、上記第１方向に垂直な第２方向に交互に配置されることができる。また、図８及び図９に示したように、本体１００－１に含まれた容量形成部Ａｃは、上記第１及び第２単位素子１１０、１２０をそれぞれ複数個含み、上記複数個の第１及び第２単位素子１１０、１２０は、上記第１方向に垂直な第２方向に交互に配置され、上記第１及び第２方向に垂直な第３方向に交互に配置されることができる。これにより、隣接した第１及び第２単位素子１１０、１２０間に配置された外側誘電体１１４、１２４に容量（ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ）を形成することができ、単位体積当たりの容量を最大化することができる。

【0079】

一実施例において、第１方向に垂直な断面において、上記第１単位素子１１０は円形、楕円形、不定形及び多角形のうち一つであり、上記第２単位素子１２０は円形、楕円形、不定形及び多角形のうち一つであることができる。すなわち、第１単位素子１１０は、円柱、楕円柱、三角柱、四角柱、五角柱、六角柱などの形態であることができ、第２単位素子１２０は、円柱、楕円柱、三角柱、四角柱、五角柱、六角柱などの形態であることができ、第１単位素子１１０と第２単位素子１２０が同じ形状を有する必要はない。

【0080】

一実施例において、第１方向に垂直な断面において、上記第１単位素子１１０は多角形であり、上記第２単位素子１２０は多角形であることができる。第１単位素子１１０が多角形であり、第２単位素子１２０が多角形の場合に、第１単位素子１１０と第２単位素子１２０との間の空間を最小化することができ、パッキング密度（ｐａｃｋｉｎｇ ｄｅｎｓｉｔｙ）が向上することができ、これによってキャパシタ部品の単位体積当たりの容量をさらに向上させることができる。

【0081】

このとき、上記第１単位素子１１０の一辺は、上記第２単位素子１２０の一辺と向かい合って接するように配置されることができる。これにより、パッキング密度をより向上させることができる。すなわち、第１単位素子１１０と第２単位素子１２０が互いに面接触するように配置されることができる。ここで、互いに面接触するように配置されるとは、第１単位素子１１０の一面が第２単位素子１２０の一面と接触していることを意味することができる。

【0082】

一実施例において、互いに向かい合って接する第１単位素子１１０の一辺と第２単位素子１２０の一辺は、実質的に同じ長さであることができる。これにより、容量形成部Ａｃ内で第１及び第２単位素子１１０、１２０を除いた空間を実質的にはないものとすることができるため、パッキング密度をさらに向上させることができる。

【0083】

一実施例において、互いに隣接した第１及び第２単位素子を単位容量部ＵＣとするとき、上記第１方向に垂直な断面において上記単位容量部ＵＣは四角形であることができる。これにより、容量形成部Ａｃ内で第１及び第２単位素子１１０、１２０を除いた空間を実質的にはないものとすることができるため、パッキング密度をさらに向上させることができる。

【0084】

一方、容量形成部Ａｃが上記第１及び第２単位素子１１０、１２０をそれぞれ複数個含み、上記複数個の第１及び第２単位素子１１０、１２０は、上記第１方向に垂直な第２方向に交互に配置される場合、上記第１方向に垂直な断面において、上記第１単位素子１１０の一辺は上記第２単位素子１２０の一辺と向かい合って接するように配置され、上記第１単位素子１１０の全ての辺は、他の第１単位素子１１０の一辺とは向かい合って接しないように配置されることができる。

【0085】

これにより、隣接した第１及び第２単位素子１１０、１２０の間に配置された全ての外側誘電体１１４、１２４に容量（ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ）を形成させることができ、単位体積当たりの容量を最大化することができる。

【0086】

このとき、上記第１方向に垂直な断面において、上記容量形成部Ａｃの外辺を構成する辺を除いた第１単位素子１１０の一辺は、第２単位素子１２０の一辺と向かい合って接するように配置され、上記容量形成部Ａｃの外辺を構成する辺を除いた第２単位素子１２０の一辺は、第１単位素子１１０の一辺と向かい合って接するように配置されることができる。

【0087】

これにより、パッキング密度をより向上させることができるだけでなく、隣接した第１及び第２単位素子１１０、１２０の間に配置された全ての外側誘電体１１４、１２４に容量（ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ）を形成させることができ、単位体積当たりの容量を最大化することができる。

【0088】

このとき、互いに向かい合って接する第１単位素子１１０の一辺と第２単位素子１２０の一辺は実質的に同じ長さであることができる。これにより、容量形成部Ａｃ内で第１及び第２単位素子１１０、１２０を除いた空間を実質的にはないものとすることができるため、パッキング密度をさらに向上させることができる。

【0089】

図１０は、一変形例であり、第１及び第２単位素子１１０－２、１２０－２の断面が三角形である実施例に関する図６に対応する図面である。図１０を参照すると、上記第１方向に垂直な断面において、上記第１及び第２単位素子１１０－２、１２０－２は、三角形であることができる。第１及び第２単位素子１１０－２、１２０－２の断面が三角形の場合、本体１００－２の内部に第１及び第２単位素子１１０－２、１２０－２のパッキング密度が向上することができ、これにより、キャパシタ部品の小型化及び高容量化に有利であることができる。第１及び第２単位素子１１０－２、１２０－２の断面は三角形であればよく、例えば、正三角形、直角三角形または二等辺三角形であることができる。

【0090】

このとき、互いに隣接した第１及び第２単位素子を単位容量部ＵＣとするとき、上記第１方向に垂直な断面において上記単位容量部ＵＣは四角形であることができる。これにより、複数の単位容量部ＵＣを配置するとき、容量形成部Ａｃ内にパッキング密度を向上させることが容易であることができる。

【0091】

例えば、図１０のように、互いに隣接した第１及び第２単位素子１１０－２、１２０－２のうち一つは、上記第１方向と垂直な断面が三角形であり、もう一つは、上記第１方向と垂直な断面が逆三角形であることができる。これにより、上記本体１００－２内に配置された単位素子１１０－２、１２０－２のパッキング密度が高くなり、キャパシタ部品の小型化及び高容量化に有利であることができる。

【0092】

図１１は、一変形例であり、第１及び第２単位素子１１０－３、１２０－３の断面が円形である実施例に関する図６に対応する図面である。第１及び第２単位素子１１０－３、１２０－３の断面が円形の場合、本体１００－３の内部に第１及び第２単位素子１１０－３、１２０－３を除いた空間が増加してパッキング密度が減少することができるが、本発明によると、隣接した第１及び第２単位素子１１０、１２０の間に配置された外側誘電体１１４、１２４にも容量（ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ）を形成させることができるため、パッキング密度の減少による単位体積当たりの容量減少を補うことができる。

【0093】

図１２は、一変形例であり、第１及び第２単位素子が負極形態を有する実施例に関する図５に対応する図面である。一変形例によるキャパシタ部品１０００－４において、上記第１中心電極１１１－４及び第２外側電極１２３－４は上記第１面と連結され、上記第２面とは離隔して配置され、上記第２中心電極１２１－４及び第１外側電極１１３－４は、上記第２面と連結され、上記第１面とは離隔して配置されることができる。

【0094】

第１及び第２単位素子の第１方向に互いに向かい合う一端をエッチング（ｅｔｃｈｉｎｇ）して第２中心電極１２１－４及び第１外側電極１１３－４を選択的に除去し、第１及び第２単位素子の第１方向に互いに向かい合う他端をエッチング（ｅｔｃｈｉｎｇ）して第１中心電極１１１－４及び第２外側電極１２３－４を選択的に除去することで、上記構造を確保することができる。これにより、より簡単な工程を介して上記第１中心電極１１１－４及び第２外側電極１２３－４と第１外部電極２００を連結させ、上記第２中心電極１２１－４及び第１外側電極１１３－４を第２外部電極３００と連結させることができる。

【0095】

このとき、上記第２中心電極１２１－４及び第１外側電極１１３－４が上記第１面と離隔した空間には第１絶縁膜４００－４が配置され、上記第１中心電極１１１－４及び第２外側電極１２３－４が上記第２面と離隔した空間には、第２絶縁膜５００－４が配置されることができる。

【0096】

キャパシタ部品１０００－４は、絶縁膜４００－４、５００－４を含むことで、キャパシタ部品１０００－４の機械的耐久性を向上させることができるだけでなく、第２中心電極１２１－４及び第１外側電極１１３－４と第１外部電極２００との間の電気的絶縁特性を向上させることができ、第１中心電極１１１－４及び第２外側電極１２３－４と第２外部電極３００との間の電気的絶縁特性を向上させることができる。

【0097】

図１３は、一変形例であり、第１及び第２連結電極６００、７００をさらに含む実施例に関する図５に対応する図面である。一変形例によるキャパシタ部品１０００－５において、上記第１外部電極２００と第１面との間には第１連結電極６００が配置され、上記第２外部電極３００と第２面との間には第２連結電極７００が配置されることができる。

【0098】

このとき、上記第１及び第２連結電極６００、７００はめっき層またはスパッタリング層であることができる。一変形例によるキャパシタ部品１０００－５は、第１及び第２面に突出する中心電極１１１－４、１２１－４及び外側電極１１３－４、１２３－４がないため、本体１００－４の第１及び第２面上に均一にめっき層またはスパッタリング層を形成することができ、これにより電気的連結性を向上させることができる。

【0099】

連結電極６００、７００は、例えば、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、金（Ａｕ）、クロム（Ｃｒ）、及びこれらの合金のうち一つ以上を含むことができ、連結電極６００、７００は公知のめっき法及びスパッタリング法によって形成されることができる。

【0100】

また、上記第１及び第２連結電極６００、７００は実質的に金属からなることができる。

【0101】

図１４は、発明例の容量形成部の断面図を示したものであり、図１５は、比較例１の容量形成部の断面図を示したものであり、図１６は、発明例及び比較例１の単位素子の面積による容量を示したグラフである。

【0102】

比較例１の場合、中心電極のみで単位素子１０、２０を形成し、第２及び第３方向に交互に配置し、第１及び第２単位素子１０、２０が互いに異なる極性を有するようにした。

【0103】

図１６を参照すると、発明例及び比較例１の容量形成部の面積が大きくなるにつれて徐々に容量差が増加し、面積に関係なく発明例の容量が比較例１の容量より約３倍程度高いことが確認できる。

【0104】

図１７は、比較例２の容量形成部の断面図を示したものであり、図１８は、発明例及び比較例２の単位素子の面積に応じた容量を示したグラフである。

【0105】

比較例２の場合、発明例の第１単位素子１１０のみで容量形成部を構成した場合であって、図１８を参照すると、発明例及び比較例２の容量形成部の面積が大きくなるにつれて徐々に容量差が増加し、面積に関係なく、発明例の容量が比較例１の容量より約１．４倍程度高いことが確認できる。比較例２の場合、隣接した単位素子の外側電極１１３の極性が互いに同一であって外側誘電体１１４に容量が形成されないことによって容量差が生じることと判断することができる。

【0106】

以下、図１９～図２６を参照して上述した本発明の一実施例によるキャパシタ部品を製造するための方法を説明する。但し、これは一例に過ぎず、これに制限されるものではない。また、上述した内容と重複する説明は省略する。

【0107】

まず、図１９及び図２０に示したように、第１単位素子１１０ａ及び第２単位素子１２０ａを準備することができる。

【0108】

この後、図２１のように、複数の第１及び第２単位素子１１０ａ、１２０ａを第２及び第３方向に交互に配置して容量形成部を構成することができる。

【0109】

この後、図２２のように、第２及び第３方向に交互に配置された複数の第１及び第２単位素子１１０ａ、１２０ａの第１方向に垂直な断面を囲むようにモールディング部１３０ａを形成することができる。

【0110】

この後、図２３のように、第１エッチング工程を行って本体の第１面１から第１中心電極１１１ａ及び第２外側電極１２３ａが突出するようにすることができる。

【0111】

この後、図２４のように、第２エッチング工程を行って第２中心電極１２１及び第１外側電極１１３が本体１００－１の第２面２０から突出するようにして本体１００－１を完成することができる。

【0112】

この後、図２５のように、本体の第１面及び第２面上にそれぞれ第１及び第２絶縁膜４００、５００を配置することができる。第１絶縁膜４００は、第２中心電極１２１及び第１外側電極１１３を覆うように配置することができ、第２絶縁膜５００は第１中心電極１１１及び第２外側電極１２３を覆うように配置することができる。

【0113】

この後、外部電極を形成してキャパシタ部品を製造することができる。

【0114】

本発明は、上述の実施形態及び添付の図面によって限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲によって限定される。したがって、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から外れない範囲内で、当技術分野における通常の知識を有する者によって多様な形態の置換、変形、及び変更が可能であり、これも本発明の範囲に属するといえる。

【0115】

また、「一実施形態」という表現は、互いに同一の実施形態を意味するものではなく、それぞれ互いに異なる固有の特徴を強調して説明するために提供されたものである。しかしながら、上記提示された一実施形態は、他の一実施形態の特徴と組み合わせて実現されることを排除しない。例えば、特定の一実施形態で説明された事項が他の一実施形態で説明されていなくても、他の一実施形態でその事項と反対または矛盾する説明がない限り、他の一実施形態に関連した説明であると理解することができる。

【符号の説明】

【0116】

１０００ キャパシタ部品
１００ 本体
１１０ 第１単位素子
１１１ 第１中心電極
１１２ 第１中心誘電体
１１３ 第１外側電極
１１４ 第１外側誘電体
１２０ 第２単位素子
１２１ 第２中心電極
１２２ 第２中心誘電体
１２３ 第２外側電極
１２４ 第２外側誘電体
１３０ モールディング部
２００、３００ 外部電極
２１０、３１０ 第１電極層
２２０、３２０ 第２電極層
４００、５００ 絶縁膜
６００、７００ 連結電極

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】