特開 2024-29587 シート貼付装置およびシート貼付方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024029587

(43)【公開日】2024-03-06

(54)【発明の名称】シート貼付装置およびシート貼付方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20240228BHJP

   B65C 9/26 20060101ALI20240228BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

B65C9/26

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022131926

(22)【出願日】2022-08-22

(71)【出願人】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120592

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 崇裕

(74)【代理人】

【識別番号】100184712

【弁理士】

【氏名又は名称】扇原 梢伸

(74)【代理人】

【識別番号】100192223

【弁理士】

【氏名又は名称】加久田 典子

(72)【発明者】

【氏名】上道 厚史

【テーマコード（参考）】

3E095

5F131

【Ｆターム（参考）】

3E095AA06

3E095BA03

3E095CA01

3E095DA03

3E095DA24

3E095DA42

3E095DA48

3E095DA54

3E095FA06

5F131AA02

5F131BA53

5F131BA60

5F131CA37

5F131DA33

5F131DA42

5F131DA67

5F131EA07

5F131EA22

5F131EA24

5F131EB81

5F131EC32

5F131EC34

5F131EC43

5F131EC52

5F131EC53

5F131EC62

5F131EC63

5F131EC64

5F131EC66

5F131EC67

5F131EC68

5F131EC72

5F131EC77

(57)【要約】

【課題】装置構成が煩雑化することを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。
【解決手段】１または複数の接着シートＡＳにおける一端縁ＡＳＡと他端縁ＡＳＢとが対向するようにして当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付する貼付手段２０を備えたシート貼付装置ＥＡにおいて、貼付手段２０は、一端縁ＡＳＡと他端縁ＡＳＢとの間に所定の端縁間隔ＳＰが形成されるようにして接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付し、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳを押圧して端縁間隔ＳＰを所定の間隔に調整する間隔調整手段をさらに備えている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

１または複数の接着シートにおける一端縁と他端縁とが対向するようにして当該接着シートを被着体に貼付する貼付手段を備えたシート貼付装置において、
前記貼付手段は、前記一端縁と前記他端縁との間に端縁間隔が形成されるようにして前記接着シートを前記被着体に貼付し、
前記被着体に貼付された前記接着シートを押圧して前記端縁間隔を所定の間隔に調整する間隔調整手段をさらに備えていることを特徴とするシート貼付装置。

【請求項2】

前記貼付手段は、前記被着体の一方の面の外縁部、前記被着体の他方の面の外縁部、および、当該一方の面と他方の面との間に位置する外周面のうち少なくとも１箇所に前記接着シートを貼付し、
前記間隔調整手段は、前記一方の面の外縁部に前記接着シートを押圧する第１押圧手段、前記他方の面の外縁部に前記接着シートを押圧する第２押圧手段、および、前記外周面に前記接着シートを押圧する第３押圧手段のうち少なくとも１つを備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。

【請求項3】

前記接着シートは、所定のエネルギーによって変形可能に設けられ、
前記貼付手段および前記間隔調整手段のうち少なくとも一方は、前記接着シートに前記所定のエネルギーを付与するエネルギー付与手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。

【請求項4】

１または複数の接着シートにおける一端縁と他端縁とが対向するようにして当該接着シートを被着体に貼付する貼付工程を実施するシート貼付方法において、
前記貼付工程では、前記一端縁と前記他端縁との間に端縁間隔が形成されるようにして前記接着シートを前記被着体に貼付し、
前記被着体に貼付された前記接着シートを押圧して前記端縁間隔を所定の間隔に調整する間隔調整工程をさらに実施することを特徴とするシート貼付方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

【背景技術】

【0002】

被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２２－３０８７７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたテープ貼り付けシステム１（シート貼付装置）では、ウェハＷ（被着体）に貼付した保護テープ２７（接着シート）の繰出方向先端縁と繰出方向後端縁との端縁間隔を正確な間隔とするためには、テープカッタ５０での切断位置を正確に行わなければならず、精密な機器や精密な制御等が必要となり、装置構成が煩雑化するという不都合を発生する。

【0005】

本発明の目的は、装置構成が煩雑化することを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、接着シートを押圧して端縁間隔を調整するので、精密な機器や精密な制御等が必要なく、装置構成が煩雑化することを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。

【図2】（Ａ）～（Ｅ）は、シート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。（Ｆ）は、シート貼付装置の変形例の説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、図１（Ａ）に示すＹ軸と平行な矢印ＤＲ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、図１（Ｃ）は、図１（Ａ）のＡＡ矢視図、図１（Ｄ）は、図１（Ａ）のＢＢ矢視図。

【0010】

本発明のシート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳを所定の供給方向ＳＤに供給する供給工程を実施する供給手段１０と、１枚の接着シートＡＳにおける一端縁としての供給方向先端縁ＡＳＡと他端縁としての供給方向後端縁ＡＳＢとが対向するようにして当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付する貼付工程を実施する貼付手段２０と、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳを押圧して端縁間隔ＳＰ（図２（Ｄ）参照）を所定の間隔に調整する間隔調整工程を実施する間隔調整手段３０とを備え、被着体ＷＫとシート貼付装置ＥＡとを相対移動させる移動工程を実施する移動手段４０の近傍に配置されている。
なお、本実施形態の接着シートＡＳは、所定のエネルギーとしての熱によって変形可能なものが採用されている。
また、本実施形態の被着体ＷＫは、被着体中心ＷＫＣを中心とする円形形状のものが採用されている。

【0011】

供給手段１０は、当該供給手段１０を構成する各部材を直接的または間接的に支持する支持部材１１と、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１２と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１３と、剥離縁１４Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板１４と、駆動機器としての回動モータ１５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１６と、被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与する張力付与手段１７とを備えている。
張力付与手段１７は、トルク制御が可能な駆動機器としての回動モータ１７Ａと、その図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１７Ｂとで原反ＲＳを挟み込む駆動ローラ１７Ｃとを備えている。

【0012】

貼付手段２０は、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての第１押圧ローラ２１と、接着シートに所定のエネルギーである熱としての熱風ＨＡを付与するエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段であって、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱機器で加熱した熱風ＨＡを吹き付ける熱風送風機２２と、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての第２押圧ローラ２３、第３押圧ローラ２４とを備え、供給方向先端縁ＡＳＡと供給方向後端縁ＡＳＢとの間に端縁間隔ＳＰが形成されるようにして接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付するようになっている。
なお、本実施形態の貼付手段２０は、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１の外縁部、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２の外縁部、および、当該一方の面ＷＫ１と他方の面ＷＫ２との間に位置する外周面ＷＫ３に接着シートＡＳを貼付するようになっている。
また、第１押圧ローラ２１は、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、供給手段１０から供給された接着シートＡＳを当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に押圧可能な位置に配置されている。
さらに、熱風送風機２２は、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨ（図１（Ｃ）参照）に熱風ＨＡを吹き付け可能な位置に配置されている。
また、第２、第３押圧ローラ２３、２４は、図１（Ｄ）、（Ｅ）に示すように、それぞれ上下一対とされ、図１（Ａ）に示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨを、それぞれ一方の面ＷＫ１方向および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げ可能な位置に配設されている。本実施形態では、第２、第３押圧ローラ２３、２４は、Ｚ軸に対してそれぞれ４５度、９０度基準位置ＲＰ方向に傾斜した回転軸を中心に回転するようになっている。

【0013】

間隔調整手段３０は、一方の面ＷＫ１の外縁部に接着シートＡＳを押圧する第１押圧手段３１と、他方の面ＷＫ２の外縁部に接着シートＡＳを押圧する第２押圧手段３２（図２（Ａ）参照）と、外周面ＷＫ３に接着シートＡＳを押圧する第３押圧手段３３と、接着シートＡＳに所定のエネルギーとしての熱を付与するエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段であって、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱機器３４とを備え、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳを押圧して端縁間隔ＳＰを所定の間隔に調整するようになっている。
第１押圧手段３１は、駆動機器としての直動モータ３１Ａと、直動モータ３１Ａの出力軸３１Ｂに支持され、加熱機器３４が内蔵された押圧部材としての押圧板３１Ｃとを備えている。
第２押圧手段３２は、駆動機器としての直動モータ３２Ａと、直動モータ３２Ａの出力軸３２Ｂに支持され、加熱機器３４が内蔵された押圧部材としての押圧板３２Ｃとを備えている。
第３押圧手段３３は、駆動機器としての直動モータ３３Ａと、直動モータ３３Ａの出力軸３３Ｂに支持され、加熱機器３４が内蔵された押圧部材としての押圧板３３Ｃとを備えている。
なお、本実施形態では、間隔調整手段３０は、供給方向先端縁ＡＳＡと供給方向後端縁ＡＳＢとを接触させ、端縁間隔ＳＰが０ｍｍとなるように調整するようになっている。

【0014】

移動手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１と、そのスライダ４１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ４２と、その出力軸４２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持持が可能な支持面４３Ａを有する支持テーブル４３とを備えている。なお、本実施形態の支持テーブル４３は、回動モータ４２によってテーブル中心４３Ｃを中心に回転する構成となっている。

【0015】

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１（Ａ）に示すように、先頭の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが、剥離板１４の剥離縁１４Ａによって折り返された剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、回動モータ１５Ａ、１７Ａの駆動を停止する。

【0016】

次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体中心ＷＫＣがテーブル中心４３Ｃと重なるように、被着体ＷＫを支持面４３Ａ上に載置すると、移動手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、当該支持面４３Ａでの吸着保持を開始する。その後、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４３を左方へ移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、テーブル中心４３Ｃ（被着体中心ＷＫＣ）が基準位置ＲＰと一致すると、リニアモータ４１の駆動を停止する。次に、供給手段１０および移動手段４０が回動モータ１５Ａ、１７Ａ、４２を駆動するとともに、貼付手段２０が熱風送風機２２を駆動し、上方から見下ろした上面視で被着体ＷＫを反時計回転方向ＲＤに回転させつつ接着シートＡＳを供給するとともに、被着体ＷＫに向けて熱風ＨＡを吹き付ける。これにより、接着シートＡＳが剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから剥離され、当該離シートＲＬから剥離された接着シートＡＳは、図１（Ａ）中二点鎖線および図１（Ｂ）に示すように、はみ出し領域ＡＳＨが形成された状態で、第１押圧ローラ２１によって被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に押圧されて貼付される。そして、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳが熱風送風機２２の熱風送風領域を通過すると、当該接着シートＡＳに熱風ＨＡが吹き付けられ、はみ出し領域ＡＳＨが当該熱風ＨＡによって変形し、図１（Ｃ）に示すように、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１方向および他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がっていく。その後も回動モータ１５Ａ、１７Ａ、５２の駆動および熱風送風機２２の駆動が続行されると、接着シートＡＳは、図１（Ｄ）、（Ｅ）に示すように、第２、第３押圧ローラ２３、２４によってはみ出し領域ＡＳＨが段階的に折り曲げられ、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付される。

【0017】

次いで、先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが、剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａの駆動を停止し、原反ＲＳの繰り出しを停止する。その後、先頭の接着シートＡＳの供給方向後端部ＡＳＲのはみ出し領域ＡＳＨが、熱風送風機２２の熱風送風領域を通過すると、貼付手段２０が熱風送風機２２の駆動を停止し、同供給方向後端部ＡＳＲのはみ出し領域ＡＳＨが、第３押圧ローラ２４によって被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付されると、図２（Ｄ）に示すように、供給方向先端縁ＡＳＡと供給方向後端縁ＡＳＢとが対抗し、それらの間に端縁間隔ＳＰが形成された一体物ＵＰが形成される。なお、本実施形態では、貼付手段２０は、端縁間隔ＳＰが０．２ｍｍとなるように接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付するようになっている。

【0018】

次に、図２（Ａ）に示すように、端縁間隔ＳＰが押圧板３１Ｃ、３２Ｃ、３３Ｃの押圧位置に位置すると、移動手段４０が回動モータ４２の駆動を停止する。そして、間隔調整手段３０が直動モータ３１Ａ、３２Ａ、３３Ａを駆動し、図２（Ｂ）に示すように、押圧板３１Ｃ、３２Ｃ、３３Ｃを移動させて接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲを被着体ＷＫに押圧する。これにより、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとが変形し、図２（Ｃ）、（Ｅ）に示すように、接着シートＡＳの供給方向先端縁ＡＳＡと供給方向後端縁ＡＳＢとが接触し、端縁間隔ＳＰが所定の間隔としての０ｍｍとなる。この際、間隔調整手段３０が加熱機器３４を駆動し、接着シートＡＳに熱を付与すれば、接着シートＡＳが変形し易くなる。

【0019】

次いで、端縁間隔ＳＰが所定の間隔になると、間隔調整手段３０が直動モータ３１Ａ、３２Ａ、３３Ａを駆動し、各押圧板３１Ｃ、３２Ｃ、３３Ｃを初期位置に復帰させる。その後、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４３を初期位置に復帰させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面４３Ａでの吸着保持を解除する。次に、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを支持面４３Ａ上から取り去り、当該一体物ＵＰを次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0020】

以上のような実施形態によれば、接着シートＡＳを押圧して端縁間隔ＳＰを調整するので、精密な機器や精密な制御等が必要なく、装置構成が煩雑化することを防止することができる。

【0021】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、間隔調整手段は、被着体に貼付された接着シートを押圧して端縁間隔を所定の間隔に調整可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0022】

供給手段１０は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳから当該帯状の接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出して供給してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明のシート貼付装置ＥＡに供給手段１０が備わっていない場合、他の装置や使用者が所定の供給方向に沿って接着シートＡＳを供給すればよい。

【0023】

貼付手段２０は、端縁間隔ＳＰが０．０５ｍｍや０．１ｍｍ等、０．２ｍｍ以下となるように接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付したり、端縁間隔ＳＰが０．５ｍｍや１．０ｍｍ等、０．２ｍｍ以上となるように接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付したりしてもよいし、１枚の接着シートＡＳにおける一端縁としての接着シートＡＳの供給方向ＳＤに沿う一方の端縁と、他端縁としての接着シートＡＳの供給方向ＳＤに沿う他方の端縁とが対向するようにし、一方の端縁と他方の端縁との間に端縁間隔ＳＰが形成されるようにして当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、複数の接着シートＡＳにおける一端縁としての供給方向先端縁ＡＳＡや、供給方向ＳＤに沿う一方の端縁と、他端縁としての供給方向後端縁ＡＳＢや、供給方向ＳＤに沿う他方の端縁とが対向するようにし、供給方向先端縁ＡＳＡと供給方向後端縁ＡＳＢとの間や、一方の端縁と他方の端縁との間に端縁間隔ＳＰが形成されるようにして当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、例えば、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１の外縁部のみに接着シートＡＳを貼付したり、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２の外縁部のみに接着シートＡＳを貼付したり、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３のみに接着シートＡＳを貼付したり、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１の外縁部および外周面ＷＫ３のみに接着シートＡＳを貼付したり、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２の外縁部および外周面ＷＫ３のみに接着シートＡＳを貼付したり、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１の中央部のみ、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２の中央部のみまたは、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３の中央部のみ等に接着シートＡＳを貼付したりしてもよく、一端縁と他端縁との間に端縁間隔ＳＰが形成されさえすれば、接着シートＡＳを被着体ＷＫの何れの位置に貼付してもよいし、第２、第３押圧ローラ２３、２４が上下一対でなく、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側のみまたは他方の面ＷＫ２側のみに設けられていてもよいし、第２、第３押圧ローラ２３、２４が、Ｚ軸に対してそれぞれ６０度、８９度といった角度で基準位置ＲＰ方向に傾斜した回転軸を中心に回転するようになっていてもよいし、はみ出し領域が形成されるように接着シートＡＳを一方の面ＷＫ１に貼付した後、当該はみ出し領域を折り曲げて外周面ＷＫ３に貼付したり、当該はみ出し領域を折り曲げて外周面ＷＫ３および他方の面ＷＫ２に貼付したりしてもよいし、はみ出し領域が形成されるように接着シートＡＳを他方の面ＷＫ２に貼付した後、当該はみ出し領域を折り曲げて外周面ＷＫ３に貼付したり、当該はみ出し領域を折り曲げて外周面ＷＫ３および一方の面ＷＫ１に貼付したりしてもよいし、前記実施形態では、第１、第２、第３押圧ローラ２１、２３、２４の３体の押圧部材を採用し、接着シートＡＳを３段階で被着体ＷＫに貼付したが、４体以上の押圧部材を採用し、接着シートＡＳを４段階以上で被着体ＷＫに貼付したり、２体以下の押圧部材を採用し、接着シートＡＳを２段階以下で被着体ＷＫに貼付したりしてもよいし、押圧部材として第１、第２、第３押圧ローラ２１、２３、２４に代えてまたは併用して、ガイド板、回行ベルトまたはエアの吹付け等を採用し、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよい。
貼付手段２０を構成するエネルギー付与手段は、所定のエネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートを変形させることができるものであればどのようなエネルギーを付与するものであってもよい。
貼付手段２０は、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付しつつ、対向する一端縁と他端縁との間に端縁間隔ＳＰが形成されるように、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、被着体ＷＫに貼付した接着シートＡＳの一端縁と他端縁との間に所定の端縁間隔ＳＰが形成されるように、当該接着シートＡＳを所定の長さに切断する切断手段を備えていてもよいし、予め対向する一端縁と他端縁との間に端縁間隔ＳＰを形成した後、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよい。この場合、例えば、第１、第２、第３押圧ローラ２１、２３、２４および熱風送風機２２の代わりに、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持部材を採用し、この保持部材で接着シートＡＳを保持する際に端縁間隔ＳＰを形成し、当該保持部材で保持した接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付する構成とすることができる。
貼付手段２０は、接着シートＡＳを所定の長さに切断する切断手段を備えていてもよいし、例えば、第１、第２、第３押圧ローラ２１、２３、２４および熱風送風機２２の代わりに、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持部材を採用し、この保持部材で保持した接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付する構成としてもよいし、押圧部材およびエネルギー付与手段のうち少なくとも一方のみで、一方の面ＷＫ１の外縁部と他方の面ＷＫ２の外縁部と外周面ＷＫ３とに接着シートＡＳを貼付してもよいし、エネルギー付与手段が備わっていなくてもよい。

【0024】

間隔調整手段３０は、例えば、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１のみに貼付された接着シートＡＳを押圧して端縁間隔ＳＰを所定の間隔に調整したり、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２のみに貼付された接着シートＡＳを押圧して端縁間隔ＳＰを所定の間隔に調整したり、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３のみに貼付された接着シートＡＳを押圧して端縁間隔ＳＰを所定の間隔に調整したり、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１および外周面ＷＫ３のみに貼付された接着シートＡＳを押圧して端縁間隔ＳＰを所定の間隔に調整したり、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２および外周面ＷＫ３のみに貼付された接着シートＡＳを押圧して端縁間隔ＳＰを所定の間隔に調整したりしてもよく、被着体の何れの面や何れの位置に貼付された接着シートＡＳであっても、接着シートＡＳを押圧して端縁間隔ＳＰを所定の間隔に調整することができるし、例えば、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側のみに配置されていたり、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２側のみに配置されていたり、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３側のみに配置されていたり、その他の位置に配置されていてもよいし、例えば、押圧板３１Ｃと支持テーブル４３とで接着シートＡＳを押圧して端縁間隔ＳＰを所定の間隔に調整してもよいし、押圧板３１Ｃ、３２Ｃ、３３Ｃの材質が、ゴムや樹脂等の弾性変形が可能なもので構成されていたり、金属や硝子等の弾性変形が不能なもので構成されていたりしてもよいし、直動モータ３１Ａ，３２Ａ、３３Ａや押圧板３１Ｃ、３２Ｃ、３３Ｃに代えてまたは併用して、ガイド板、回行ベルトまたはエアの吹付け等で接着シートＡＳを押圧して端縁間隔ＳＰを所定の間隔に調整してもよいし、図２（Ｆ）に示すように、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦのみを押圧し、当該供給方向先端部ＡＳＦのみを変形させて端縁間隔ＳＰを所定の間隔に調整してもよいし、図２（Ｆ）中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳの供給方向後端部ＡＳＲのみを押圧し、当該供給方向後端部ＡＳＲのみを変形させて端縁間隔ＳＰを所定の間隔に調整してもよいし、図２（Ｆ）に示すような接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦのみを押圧する押圧部材と、図２（Ｆ）中二点鎖線で示すような接着シートＡＳの供給方向後端部ＡＳＲのみを押圧する押圧部材とを用い、供給方向先端部ＡＳＦおよび供給方向後端部ＡＳＲを変形させて端縁間隔ＳＰを所定の間隔に調整してもよいし、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳ全体または一部を押圧して端縁間隔ＳＰを所定の間隔に調整してもよいし、第１押圧手段３１のみを備えていたり、第２押圧手段３２のみを備えていたり、第３押圧手段３３のみを備えていたり、第１押圧手段３１と第２押圧手段３２のみを備えていたり、第１押圧手段３２と第３押圧手段３３のみを備えていたり、第２押圧手段３１と第３押圧手段３３のみを備えていたりしてもよいし、一方の面ＷＫ１の外縁部以外の位置、他方の面ＷＫ２の外縁部以外の位置および外周面ＷＫ３の何れの位置に接着シートＡＳを押圧する第１押圧手段と同等の他の押圧手段を備えていてもよいし、端縁間隔ＳＰを０．０３ｍｍ、０．１ｍｍ、１．０ｍｍ、１０ｍｍ等どのような間隔に調整してもよいし、エネルギー付与手段が備わっていなくてもよい。

【0025】

移送手段４０は、保持面４３Ａでの吸着保持ができない支持テーブル４３が採用されてもよいし、リニアモータ４１、回動モータ４２および支持テーブル４３に代えてまたは併用して、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等によって、被着体ＷＫを移動させてもよいし、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付する際、当該被着体ＷＫを支持テーブル４３とで挟み込む押え手段を備えていてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0026】

シート貼付装置ＥＡは、１つまたは複数の被着体ＷＫに１枚の接着シートＡＳを貼付したり、１つまたは複数の被着体ＷＫに複数の接着シートＡＳを貼付したりしてもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の支持部材を配置したり貼付したりして、接着シートＡＳで当該被着体ＷＫと支持部材とを一体化させてもよいし、貼付手段２０によって接着シートＡＳに付与する所定のエネルギーと、間隔調整手段３０によって接着シートＡＳに付与する所定のエネルギーは、同種のエネルギーでもよいし、異種のエネルギーでもよいし、端縁間隔ＳＰを測定するカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された測定手段を備えていてもよい。このような測定手段を備えている場合、間隔調整手段３０は、当該測定手段の測定結果を基にして、端縁間隔ＳＰが所定の距離となるまで接着シートＡＳを押圧するようにすればよい。なお、シート貼付装置ＥＡが測定手段を備えていない場合、例えば、間隔調整手段３０による押圧力や押圧時間を経験値や実験値等で所定値とすることで、端縁間隔ＳＰを所定の間隔としたり、使用者の目測によって端縁間隔ＳＰを所定の間隔としたりすることができる。
シート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳが弾性変形が可能なものとされた場合、張力付与手段１７によって、駆動ローラ１７Ｃを介して接着シートＡＳから加わるトルクを検知して、当該トルクが常に所定の値となるようにしながら接着シートＡＳを供給することで、内在する弾性復元力によってはみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１方向や他の面ＷＫ２方向に折れ曲がった折れ曲がり姿勢としてもよい。なお、弾性復元力によって折れ曲がり姿勢となったはみ出し領域ＡＳＨは、押圧部材およびエネルギー付与手段のうち少なくとも一方を介して、一方の面ＷＫ１の外縁部や他方の面ＷＫ２の外縁部に貼付されてもよいし、押圧部材およびエネルギー付与手段の両方を介さずに、一方の面ＷＫ１の外縁部や他方の面ＷＫ２の外縁部に貼付されてもよい。
張力付与手段１７は、原反ＲＳや接着シートＡＳを摺動可能に把持し、この把持力を調整して被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与したり、トルク制御ができない回動モータ１７Ａが採用されたりしてもよいし、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件を考慮して接着シートＡＳに付与する所定の張力を使用者が任意に決定することができるし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
なお、上記の実施形態では、張力付与手段１７を供給手段１０の構成物として説明したが、当該張力付与手段１７は、供給手段１０の構成物ではなく独立した構成されてもよく、例えば、剥離板１４と第１押圧ローラ２１との間に位置し、被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与してもよい。
シート貼付装置ＥＡは、端縁間隔ＳＰが形成された位置を検知するカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された端縁間隔位置検知手段を備えていてもよい。この場合、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳを端縁間隔位置検知手段によって一括で撮像したり一括でセンシングしたりして端縁間隔ＳＰの位置を検知し、移動手段４０が端縁間隔位置検知手段の検知結果を基にして回動モータ４２を駆動し、端縁間隔ＳＰを押圧板３１Ｃ、３２Ｃ、３３Ｃの押圧位置に位置させることができる。
次工程は、被着体ＷＫや接着シートＡＳを対象としためっき工程、エッチング工程、浸漬工程、切断工程、研削工程、研磨工程、塗装工程、積層工程、シート接着工程、表面処理工程、穴あけ工程、曲げ工程、検査工程、検証工程、照射工程等、どのような工程でもよい。

【0027】

接着シートＡＳは、所定のエネルギーによって変形しないものでもよいし、所定のエネルギーによって変形するものである場合、収縮を伴って変形したり、膨張を伴って変形したり、収縮も膨張も伴うことなく変形したりするものでもよい。
被着体ＷＫは、一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、環状または非環状の凸部が形成されていてもよいし、一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の支持部材が取り付けられていてもよいし、一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２が外周面ＷＫ３に隣接していてもよいし、隣接していなくてもよい。

【0028】

本発明における接着シートＡＳ、他の接着シート、支持部材および被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、他の接着シート、支持部材および被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳや他の接着シートは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳや他の接着シートが採用された場合は、当該接着シートＡＳや他の接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳや他の接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、支持部材や被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳや他の接着シートは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0029】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた所謂多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等が単体で採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等が直接的又は間接的に組み合わされたものが採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等の出力部に対するトルク制御や速度制御等が可能なものや不能なものが採用されてもよい。

【0030】

前記実施形態において、何らかの物体（以下「物体Ａ」という）および当該物体Ａに対して移動する物体（以下「物体Ｂ」という）すなわち、相対移動する物体Ａおよび物体Ｂは、移動することのない物体Ａに対して物体Ｂが移動してもよいし、移動することのない物体Ｂに対して物体Ａが移動してもよいし、物体Ａおよび物体Ｂの両方が移動してもよいく、移動によって達成される結果が同じであれば、物体Ａおよび物体Ｂの何れが移動してもよいし、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラ、押圧板または押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や硝子等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

【符号の説明】

【0031】

ＥＡ…シート貼付装置
２０…貼付手段
２２…熱風送風機（エネルギー付与手段）
３０…間隔調整手段
３１…第１押圧手段
３２…第２押圧手段
３３…第３押圧手段
３４…加熱機器（エネルギー付与手段）
ＡＳ…接着シート
ＡＳＡ…供給方向先端縁（一端縁）
ＡＳＢ…供給方向後端縁（他端縁）
ＨＡ…熱風（所定のエネルギー）
ＳＰ…端縁間隔
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…一方の面
ＷＫ２…他方の面
ＷＫ３…外周面

【図1】

【図2】