特開 2024-29591 シート貼付装置およびシート貼付方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024029591

(43)【公開日】2024-03-06

(54)【発明の名称】シート貼付装置およびシート貼付方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20240228BHJP

   B65C 9/26 20060101ALI20240228BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

B65C9/26

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022131930

(22)【出願日】2022-08-22

(71)【出願人】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120592

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 崇裕

(74)【代理人】

【識別番号】100184712

【弁理士】

【氏名又は名称】扇原 梢伸

(74)【代理人】

【識別番号】100192223

【弁理士】

【氏名又は名称】加久田 典子

(72)【発明者】

【氏名】上道 厚史

【テーマコード（参考）】

3E095

5F131

【Ｆターム（参考）】

3E095AA06

3E095BA03

3E095CA01

3E095DA03

3E095DA24

3E095DA42

3E095DA43

3E095DA48

3E095DA54

3E095FA25

5F131AA02

5F131AA12

5F131AA13

5F131AA15

5F131AA21

5F131AA22

5F131AA23

5F131BA53

5F131CA12

5F131DA33

5F131DA42

5F131DA67

5F131DB52

5F131DC23

5F131EA07

5F131EB01

5F131EB11

5F131EB22

5F131EB24

5F131EB31

5F131EB42

5F131EB46

5F131EB81

5F131EC32

5F131EC33

5F131EC34

5F131EC35

5F131EC52

5F131EC53

5F131EC55

5F131EC62

5F131EC63

5F131EC64

5F131EC66

5F131EC68

5F131EC69

5F131EC72

5F131EC77

5F131FA35

(57)【要約】

【課題】切欠部周辺から不純物が入り込み難くすることができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。
【解決手段】被着体ＷＫの一方のＷＫ１の外縁部と他方の面ＷＫ２の外縁部と外周面ＷＫ３とに接着シートＡＳを貼付する貼付手段２０を備えたシート貼付装置ＥＡにおいて、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３には、一方の面ＷＫ１から他方の面ＷＫ２へ抜ける切欠ＶＮが形成されており、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの接着面ＡＳＳを切欠ＶＮの形成部で相互に接着させる相互接着手段３０をさらに備えている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被着体の一方の面の外縁部と他方の面の外縁部と外周面とに接着シートを貼付する貼付手段を備えたシート貼付装置において、
前記被着体の前記外周面には、前記一方の面から前記他方の面へ抜ける切欠が形成されており、
前記被着体に貼付された前記接着シートの接着面を前記切欠の形成部で相互に接着させる相互接着手段をさらに備えていることを特徴とするシート貼付装置。

【請求項2】

前記接着シートは、所定のエネルギーによって変形可能に設けられ、
前記貼付手段および前記相互接着手段のうち少なくとも一方は、前記接着シートに前記所定のエネルギーを付与するエネルギー付与手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。

【請求項3】

前記接着シートは、所定の供給方向に沿って供給され、
前記貼付手段は、前記接着シートの供給方向先端縁を前記切欠の形成部に位置させて当該接着シートを前記被着体に貼付することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。

【請求項4】

前記接着シートは、所定の供給方向に沿って供給され、
前記貼付手段は、前記接着シートの供給方向後端縁を前記切欠の形成部に位置させて当該接着シートを前記被着体に貼付することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。

【請求項5】

被着体の一方の面の外縁部と他方の面の外縁部と外周面とに接着シートを貼付する貼付工程を実施するシート貼付方法において、
前記被着体の前記外周面には、前記一方の面から前記他方の面へ抜ける切欠が形成されており、
前記被着体に貼付された前記接着シートの接着面を前記切欠の形成部で相互に接着させる相互接着工程をさらに行うことを特徴とするシート貼付方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

【背景技術】

【0002】

接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２２－３０８７７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたテープ貼り付けシステム（シート貼付装置）では、ウェハＷ（被着体）の外周側面（外周面）に貼付された保護テープ（接着シート）は、被着体のノッチ（切欠部）周辺における被着体への接着面積が少なくなるため、当該被着体に各種の処理が施される次工程等において、当該切欠部周辺からめっき液やエッチング剤等の不純物が入り込み易くなり、接着シートで保護した被着体の保護領域が不純物で汚染されるという不都合を発生する。

【0005】

本発明の目的は、切欠部周辺から不純物が入り込み難くすることができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、被着体に貼付された接着シートの接着面を切欠の位置で相互に接着させるので、切欠部周辺から不純物が入り込み難くすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。

【図2】（Ａ）～（Ｄ）は、シート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。（Ｅ）～（Ｈ）は、シート貼付装置の変形例の説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＤＲ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、図１（Ｃ）は、図１（Ａ）のＡＡ矢視図、図１（Ｄ）は、図１（Ａ）のＢＢ矢視図。

【0010】

本発明のシート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳを所定の供給方向ＳＤに沿って供給する供給工程を実施する供給手段１０と、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１の外縁部と他方の面ＷＫ２の外縁部と外周面ＷＫ３とに接着シートＡＳを貼付する貼付工程を実施する貼付手段２０と、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの接着面ＡＳＳを切欠としてのＶノッチＶＮの形成部で相互に接着させる相互接着工程を実施する相互接着手段３０とを備え、被着体ＷＫとシート貼付装置ＥＡとを相対移動させる移動工程を実施する移動手段４０と、被着体ＷＫに設けられたＶノッチＶＮを検知する切欠検知手段５０との近傍に配置されている。
なお、本実施形態の接着シートは、所定のエネルギーとしての熱によって変形するものが採用されている。
また、本実施形態の被着体ＷＫは、被着体中心ＷＫＣを中心とする円形形状のものが採用され、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３には、一方の面ＷＫ１から他方の面ＷＫ２へ抜けるＶノッチＶＮが形成されている。

【0011】

供給手段１０は、当該供給手段１０を構成する各部材を直接的または間接的に支持する支持部材１１と、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１２と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１３と、剥離縁１４Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板１４と、駆動機器としての回動モータ１５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１６と、被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与する張力付与手段１７とを備えている。
張力付与手段１７は、トルク制御が可能な駆動機器としての回動モータ１７Ａと、その図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１７Ｂとで原反ＲＳを挟み込む駆動ローラ１７Ｃとを備えている。

【0012】

貼付手段２０は、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての第１押圧ローラ２１と、接着シートＡＳに所定のエネルギーである熱としての熱風ＨＡを付与するエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段であって、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱機器で加熱した熱風ＨＡを吹き付ける熱風送風機２２と、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての第２押圧ローラ２３、第３押圧ローラ２４とを備え、接着シートＡＳの供給方向先端縁ＡＳＡをＶノッチＶＮの形成部に位置させて当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付するようになっている（図２（Ａ）、（Ｂ）参照）。
なお、本実施形態の第１押圧ローラ２１は、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、供給手段１０から供給された接着シートＡＳを当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に押圧可能な位置に配置されている。
また、熱風送風機２２は、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨに熱風ＨＡを吹き付け可能な位置に配置されている（図１（Ｃ）参照）。
さらに、第２、第３押圧ローラ２３、２４は、図１（Ｄ）、（Ｅ）に示すように、それぞれ上下一対とされ、図１（Ａ）に示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨを、それぞれ一方の面ＷＫ１方向および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げ可能な位置に配設されている。本実施形態では、第２、第３押圧ローラ２３、２４は、Ｚ軸に対してそれぞれ４５度、９０度基準位置ＲＰ方向に傾斜した回転軸を中心に回転するようになっている。

【0013】

相互接着手段３０は、加圧ポンプやタービン等の送気手段３１と、送気手段３１から送られてきた大気や単体ガス等の気体ＡＲ（図２（Ｄ）参照）を吹き付けるノズル３２を備えている。
ノズル３２は、それぞれ上下一対とされ、図１（Ａ）に示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、当該被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに上下から気体ＡＲを吹き付け可能な位置に配設されている。

【0014】

移動手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１と、そのスライダ４１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ４２と、その出力軸４２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面４３Ａを有する支持テーブル４３とを備えている。
なお、本実施形態の支持テーブル４３は、回動モータ４２によってテーブル中心４３Ｃを中心に回転する構成となっている。

【0015】

切欠検知手段５０は、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された検知機器５１を備えている。検知機器５１は、ＶノッチＶＮを検知した位置を回動モータ４２から出力されるパルス信号に紐づけ、当該ＶノッチＶＮの位置を検知したり記憶したりするようになっている。

【0016】

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１（Ａ）に示すように、先頭の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが、剥離板１４の剥離縁１４Ａによって折り返された剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、回動モータ１５Ａ、１７Ａの駆動を停止する。

【0017】

次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体中心ＷＫＣがテーブル中心４３Ｃと重なるように、被着体ＷＫを支持面４３Ａ上に載置すると、移動手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、当該支持面４３Ａでの吸着保持を開始する。この際、被着体ＷＫは、外周面ＷＫ３が検知機器５１の検知領域に位置する。その後、移動手段４０および切欠検知手段５０が回動モータ４２および検知機器５１を駆動し、上方から見下ろした上面視で被着体ＷＫを反時計回転方向ＲＤに回転させ、検知機器５１にＶノッチＶＮの位置を記憶させる。次に、移動手段４０が検知機器５１の記憶を基にして、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、ＶノッチＶＮの形成位置の中央部から接着シートＡＳの貼付が開始されるように、被着体ＷＫの位置決めをして回動モータ４２の駆動を停止する。

【0018】

そして、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４３を左方へ移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、テーブル中心４３Ｃ（被着体中心ＷＫＣ）が基準位置ＲＰと一致すると、リニアモータ４１の駆動を停止する。次いで、供給手段１０および移動手段４０が回動モータモータ１５Ａ、１７Ａ、４２を駆動し、上方から見下ろした上面視で被着体ＷＫを反時計回転方向ＲＤに回転させつつ接着シートＡＳを供給するとともに、貼付手段２０が熱風送風機２２を駆動し、被着体ＷＫに向けて熱風ＨＡを吹き付ける。これにより、接着シートＡＳが剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから剥離され、当該離シートＲＬから剥離された接着シートＡＳは、図１（Ａ）中二点鎖線および図１（Ｂ）に示すように、はみ出し領域ＡＳＨが形成された状態で、第１押圧ローラ２１によって被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に押圧されて貼付される。その後、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳが熱風送風機２２の熱風送風領域を通過すると、当該接着シートＡＳに熱風ＨＡが吹き付けられ、はみ出し領域ＡＳＨが熱風ＨＡによって変形し、図１（Ｃ）に示すように、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１方向および他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がっていく。その後も回動モータモータ１５Ａ、１７Ａ、４２の駆動および熱風送風機２２の駆動が続行されると、接着シートＡＳは、図１（Ｄ）、（Ｅ）、図２（Ａ）に示すように、第２、第３押圧ローラ２３、２４によってはみ出し領域ＡＳＨが段階的に折り曲げられ、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付されていく。

【0019】

次に、先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが、剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａの駆動を停止し、接着シートＡＳの供給を停止する。そして、先頭の接着シートＡＳの供給方向後端部ＡＳＲのはみ出し領域ＡＳＨが、熱風送風機２２の熱風送風領域を通過すると、貼付手段２０が熱風送風機２２の駆動を停止し、同供給方向後端部ＡＳＲのはみ出し領域ＡＳＨが、第３押圧ローラ２４によって被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付されると、図２（Ｂ）に示すように、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１の外縁部と他方の面ＷＫ２の外縁部と外周面ＷＫ３とに接着シートＡＳが貼付された一体物ＵＰが形成される。次いで、移動手段４０が検知機器５１の記憶を基にして、図２（Ｂ）中二点鎖線および、図２（Ｃ）に示すように、ＶノッチＶＮがノズル３２の気体吹き付け位置に到達すると、移動手段４０が回動モータ４２の駆動を停止する。

【0020】

その後、相互接着手段３０が送気手段３１を駆動し、図２（Ｄ）に示すように、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに各ノズル３２から気体ＡＲを吹き付け、ＶノッチＶＮの形成部で接着シートＡＳの接着面ＡＳＳを相互に接着させる。次に、接着シートＡＳの接着面ＡＳＳの相互接着が完了すると、相互接着手段３０が送気手段３１の駆動を停止した後、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４３を初期位置に復帰させ、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面４３Ａでの吸着保持を解除する。そして、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを支持面４３Ａ上から取り去り、当該一体物ＵＰを次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0021】

以上のような実施形態によれば、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの接着面ＡＳＳをＶノッチＶＮの形成部で相互に接着させるので、ＶノッチＶＮ周辺から不純物が入り込み難くすることができる。

【0022】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、貼付手段は、被着体の一方の面の外縁部と他方の面の外縁部と外周面とに接着シートを貼付可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0023】

供給手段１０は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳから当該帯状の接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出して供給してもよいし、被着体ＷＫに貼付した接着シートＡＳを所定の長さに切断する切断手段を備えていてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていない場合、他の装置や使用者が接着シートＡＳを供給すればよい。

【0024】

貼付手段２０は、図２（Ｅ）に示すように、接着シートの供給方向先端縁ＡＳＡおよび供給方向端縁ＡＳＢをＶノッチＶＮの形成部に位置させて当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、接着シートの供給方向先端縁ＡＳＡをＶノッチＶＮの形成部に位置させることなく、供給方向後端縁ＡＳＢをＶノッチＶＮの形成部に位置させて当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし（不図示）、図２（Ｆ）、（Ｇ）に示すように、接着シートの供給方向先端縁ＡＳＡおよび供給方向後端縁ＡＳＢをＶノッチＶＮの形成部に位置させることなく、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、ＶノッチＶＮの形成部以外の位置で、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとが重なり合うようにして当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付したり、接着シートＡＳの供給方向先端縁ＡＳＡと、供給方向後端縁ＡＳＢとが接触するように突き合わせ、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付したり、接着シートＡＳの供給方向先端縁ＡＳＡと、供給方向後端縁ＡＳＢとの間に隙間ができるように突き合わせ、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付したりしてもよいし、ＶノッチＶＮ全体を覆うようにして接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付したり、ＶノッチＶＮの一部が表出するようにして接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付したりしてもよいし、第２、第３押圧ローラ２３、２４が、Ｚ軸に対してそれぞれ６０度、８９度といった角度で基準位置ＲＰ方向に傾斜した回転軸を中心に回転するようになっていてもよいし、はみ出し領域が形成されるように接着シートＡＳを一方の面ＷＫ１に貼付した後、当該はみ出し領域を外周面ＷＫ３方向に折り曲げて当該はみ出し領域を外周面ＷＫ３に貼付し、さらに、当該はみ出し領域を他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて当該はみ出し領域を他方の面ＷＫ２に貼付してもよいし、前記実施形態では、第１、第２、第３押圧ローラ２１、２３、２４の３体の押圧部材を採用し、接着シートＡＳを３段階で被着体ＷＫに貼付したが、４体以上の押圧部材を採用し、接着シートＡＳを４段階以上で被着体ＷＫに貼付したり、２体以下の押圧部材を採用し、接着シートＡＳを２段階以下で被着体ＷＫに貼付したりしてもよいし、押圧部材として第１、第２、第３押圧ローラ２１、２３、２４に代えてまたは併用して、ガイド板、回行ベルトまたはエアの吹付け等を採用し、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、接着シートＡＳを所定の長さに切断する切断手段を備えていてもよいし、例えば、第１押圧ローラ２１の代わりに、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持部材を採用し、この保持部材で保持した接着シートＡＳを一方の面ＷＫ１に貼付する構成としてもよいし、押圧部材およびエネルギー付与手段のうち少なくとも一方のみで、一方の面ＷＫ１の外縁部と他方の面ＷＫ２の外縁部と外周面ＷＫ３とに接着シートＡＳを貼付してもよい。
貼付手段２０に採用されるエネルギー付与手段は、所定のエネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートを変形させることができるものであればどのようなエネルギーを付与するものであってもよいし、前記実施形態で示した位置以外の位置に設けられていてもよく、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨに所定のエネルギーを付与可能な位置であれば、どこに設けられていてもよいし、第２、第３押圧ローラ２３、２４や他の押圧部材等を介さずに、はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付してもよいし、はみ出し領域ＡＳＨに一括で所定のエネルギーを付与することで、当該はみ出し領域ＡＳＨを一括で一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0025】

相互接着手段３０は、例えば、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側（他方の面ＷＫ２側）のみにノズル３２が配置され、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２側（一方の面ＷＫ１側）に受け板や受けローラ等の受け部材が配置されていてもよいし、駆動機器としてのチャックシリンダを用い、当該チャックシリンダの出力部で被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳを把持し、当該接着シートＡＳの接着面ＡＳＳをＶノッチＶＮの形成部で相互に接着させる構成としてもよいし、接着シートＡＳに所定のエネルギーである熱としての熱風を付与するエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段として熱風送風機２２と同等のものを、送気手段３１に代えて採用し、例えば、ノズル３２から噴き出される気体ＡＲを熱風にすることで、ＶノッチＶＮの形成部での接着面ＡＳＳの相互接着を容易に行えるようにしてもよいし、図２（Ｈ）に示すように、駆動機器としての直動モータ３３と、その出力軸３３Ａに支持された押圧部材３４とで構成され、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの接着面ＡＳＳをＶノッチＶＮの形成部で相互に接着させる構成でもよい。この場合、押圧部材３４の内部または外部に、接着シートＡＳに所定のエネルギーとしての熱を付与するエネルギー付与手段が備わっていてもよい。この場合、例えば、押圧部材３４の内部にエネルギー付与手段を配置してもよい。相互接着手段３０に採用されるエネルギー付与手段も、所定のエネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートを変形させることができるものであればどのようなエネルギーを付与するものであってもよいし、前記実施形態で示した位置以外の位置に設けられていてもよく、ＶノッチＶＮの形成部での接着面ＡＳＳの相互接着を行う際に、当該相互接着部分に所定のエネルギーを付与可能な位置であれば、どこに設けられていてもよい。

【0026】

移送手段４０は、保持面４３Ａでの吸着保持ができない支持テーブル４３が採用されてもよいし、リニアモータ４１、回動モータ４２および支持テーブル４３に代えてまたは併用して、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等によって、被着体ＷＫを移動させてもよいし、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付する際、当該被着体ＷＫを支持テーブル４３とで挟み込む押え手段を備えていてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0027】

切欠検知手段５０は、例えば、テーブル中心４３Ｃ（被着体中心ＷＫＣ）が基準位置ＲＰと一致した状態で、ＶノッチＶＮを検知できる位置やその他の位置に設けられていてもよいし、被着体ＷＫを一括で撮像したり一括でセンシングしたりしてＶノッチＶＮを検知してもよいし、ＶノッチＶＮを検知した情報を、シート貼付装置ＥＡを構成する各手段や移動手段４０または他の装置等の他の手段に出力し、当該他の手段でＶノッチＶＮの位置を記憶するようにしてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明のシート貼付装置ＥＡに切欠検知手段５０が備わっていない場合、例えば、被着体ＷＫに設けられた切欠が所定の位置となるようにして、当該被着体ＷＫを支持面４３Ａ上に載置すればよい。

【0028】

シート貼付装置ＥＡは、１つまたは複数の被着体ＷＫに１枚の接着シートＡＳを貼付したり、１つまたは複数の被着体ＷＫに複数の接着シートＡＳを貼付したりしてもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の支持部材を配置したり貼付したりして、接着シートＡＳで当該被着体ＷＫと支持部材とを一体化させてもよいし、貼付手段２０によって接着シートＡＳに付与する所定のエネルギーと、相互接着手段３０によって接着シートＡＳに付与する所定のエネルギーは、同種のエネルギーでもよいし、異種のエネルギーでもよい。
シート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳが弾性変形が可能なものとされた場合、張力付与手段１７によって、駆動ローラ１７Ｃを介して接着シートＡＳから加わるトルクを検知して、当該トルクが常に所定の値となるようにしながら接着シートＡＳを供給することで、内在する弾性復元力によってはみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１方向および他の面ＷＫ２方向に折れ曲がった折れ曲がり姿勢としてもよい。なお、弾性復元力によって折れ曲がり姿勢となったはみ出し領域ＡＳＨは、押圧部材およびエネルギー付与手段のうち少なくとも一方を介して、一方の面ＷＫ１の外縁部および他方の面ＷＫ２の外縁部に貼付されてもよいし、押圧部材およびエネルギー付与手段の両方を介さずに、一方の面ＷＫ１の外縁部および他方の面ＷＫ２の外縁部に貼付されてもよい。
張力付与手段１７は、原反ＲＳや接着シートＡＳを摺動可能に把持し、この把持力を調整して被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与したり、トルク制御ができない回動モータ１７Ａが採用されたりしてもよいし、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件を考慮して接着シートＡＳに付与する所定の張力を使用者が任意に決定することができるし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
なお、上記の実施形態では、張力付与手段１７を供給手段１０の構成物として説明したが、当該張力付与手段１７は、供給手段１０の構成物ではなく独立した構成されてもよく、例えば、剥離板１４と第１押圧ローラ２１との間に位置し、被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与してもよい。
次工程は、被着体ＷＫや接着シートＡＳを対象としためっき工程、エッチング工程、浸漬工程、切断工程、研削工程、研磨工程、塗装工程、積層工程、シート接着工程、表面処理工程、穴あけ工程、曲げ工程、検査工程、検証工程、照射工程等、どのような工程でもよい。

【0029】

接着シートＡＳは、所定のエネルギーによって変形しないものでもよいし、所定のエネルギーによって変形するものである場合、収縮を伴って変形したり、膨張を伴って変形したり、収縮も膨張も伴うことなく変形したりするものでもよい。
被着体ＷＫは、一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、環状または非環状の凸部が形成されていてもよいし、一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の支持部材が取り付けられていてもよいし、一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２が外周面ＷＫ３に隣接していてもよいし、隣接していなくてもよい。
切欠は、ＶノッチＶＮ以外に、例えば、コ字状、Ｕ字状等、どのような形状の切欠でもよい。

【0030】

本発明における接着シートＡＳ、支持部材および被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、支持部材および被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳや他の接着シートは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0031】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた所謂多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等が単体で採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等が直接的又は間接的に組み合わされたものが採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等の出力部に対するトルク制御や速度制御等が可能なものや不能なものが採用されてもよい。

【0032】

前記実施形態において、何らかの物体（以下「物体Ａ」という）および当該物体Ａに対して移動する物体（以下「物体Ｂ」という）すなわち、相対移動する物体Ａおよび物体Ｂは、移動することのない物体Ａに対して物体Ｂが移動してもよいし、移動することのない物体Ｂに対して物体Ａが移動してもよいし、物体Ａおよび物体Ｂの両方が移動してもよいく、移動によって達成される結果が同じであれば、物体Ａおよび物体Ｂの何れが移動してもよいし、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や硝子等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

【符号の説明】

【0033】

ＥＡ…シート貼付装置
２０…貼付手段
２２…熱風送風機（エネルギー付与手段）
３０…相互接着手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳＡ…供給方向先端縁
ＡＳＢ…供給方向先後縁
ＡＳＳ…接着面
ＨＡ…熱風（所定のエネルギー）
ＳＤ…供給方向
ＶＮ…Ｖノッチ（切欠）
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…一方の面
ＷＫ２…他方の面
ＷＫ３…外周面

【図1】

【図2】