特開 2024-29964 光モジュール

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024029964

(43)【公開日】2024-03-07

(54)【発明の名称】光モジュール

(51)【国際特許分類】

   H01S 5/022 20210101AFI20240229BHJP

   H01L 31/02 20060101ALI20240229BHJP

   H01L 23/02 20060101ALI20240229BHJP

【ＦＩ】

H01S5/022

H01L31/02 B

H01L23/02 F

H01L23/02 J

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022132464

(22)【出願日】2022-08-23

(71)【出願人】

【識別番号】000002130

【氏名又は名称】住友電気工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100136722

【弁理士】

【氏名又は名称】▲高▼木 邦夫

(74)【代理人】

【識別番号】100174399

【弁理士】

【氏名又は名称】寺澤 正太郎

(74)【代理人】

【識別番号】100182006

【弁理士】

【氏名又は名称】湯本 譲司

(72)【発明者】

【氏名】黒川 宗高

(72)【発明者】

【氏名】原 弘

(72)【発明者】

【氏名】古川 将人

【テーマコード（参考）】

5F149

5F173

5F849

【Ｆターム（参考）】

5F149AB02

5F149AB07

5F149BA26

5F149JA05

5F149JA11

5F149JA12

5F149JA13

5F149XB02

5F173MB03

5F173MC13

5F173ME03

5F173ME11

5F173ME22

5F173MF03

5F173MF27

5F173MF28

5F173MF39

5F849AB02

5F849AB07

5F849BA26

5F849JA05

5F849JA11

5F849JA12

5F849JA13

5F849XB02

(57)【要約】

【課題】パッケージの変形を抑制することができる光モジュールを提供する。
【解決手段】一実施形態に係る光モジュールは、側壁で囲まれた開口部を有するパッケージと、パッケージに載せられて開口部を封止するリッドと、を備える。リッドは、板状を呈し、開口部が形成されたパッケージの側壁の上面に溶接によって固定される溶接部と、溶接部から離隔した位置に形成されており溶接に伴って変形する易変形部と、平坦な中央部と、を有する。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

側壁で囲まれた開口部を有するパッケージと、
前記パッケージに載せられて前記開口部を封止するリッドと、
を備え、
前記リッドは、板状を呈し、前記開口部が形成された前記パッケージの前記側壁の上面に溶接によって固定される溶接部と、前記溶接部から離隔した位置に形成されており前記溶接に伴って変形する易変形部と、平坦な中央部と、を有する、
光モジュール。

【請求項2】

前記易変形部は、前記溶接部に対して前記リッドの板厚方向に凸状又は凹状を成す段差部である、
請求項１に記載の光モジュール。

【請求項3】

前記易変形部の前記リッドの厚さは、前記溶接部の厚さよりも薄い、
請求項１又は請求項２に記載の光モジュール。

【請求項4】

前記リッドは、端辺として、一対の短辺及び一対の長辺を有する長方形状を呈し、
前記リッドの長手方向における前記短辺から前記易変形部までの距離は、前記リッドの短手方向における前記長辺から前記易変形部までの距離よりも長い、
請求項１又は請求項２に記載の光モジュール。

【請求項5】

前記リッドは、端辺を有し、
前記パッケージは、前記リッドの下方に位置する空洞を有し、
前記リッドの前記空洞に対向する部分における前記端辺から前記易変形部までの距離は、前記リッドの前記空洞に対向しない部分における前記端辺から前記易変形部までの距離よりも長い、
請求項１又は請求項２に記載の光モジュール。

【請求項6】

前記パッケージの前記側壁の上面に凸状の枠が設けられている、請求項１又は請求項２に記載の光モジュール。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、光モジュールに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、導波路型光モジュールが記載されている。導波路型光モジュールは、パッケージと蓋とを備える。パッケージは、発光素子、レンズ、導波路基板、及び単一モード光ファイバを収容する。蓋は、溶接等の手段によりパッケージを気密封止する。パッケージの側面の上部には切り欠きが設けられている。前述した導波路型光モジュールでは、パッケージに蓋が取り付けられるときの温度変化によってパッケージの側面に生じる曲げ応力を切り欠きに集中させる。これにより、発光素子等の光学部品への影響の防止を図っている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平７－８４１５８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

前述した導波路型光モジュールでは、切り欠きに応力が集中するとクラックが発生する懸念がある。また、前述したようにパッケージに蓋が溶接によって固定される場合、溶接時の発熱によって蓋が収縮し、その収縮に伴う変形がパッケージに生じる可能性がある。パッケージの内部において光学系が完結している場合、パッケージの変形によって光モジュールの部品の位置がずれることがあり、光の結合効率が変動する可能性がある。

【0005】

本開示は、パッケージの変形を抑制することができる光モジュールを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示に係る光モジュールは、開口部を有するパッケージと、パッケージに載せられて開口部を封止するリッドと、を備える。リッドは、開口部が形成されたパッケージの上面に溶接によって固定される溶接部と、溶接部から離隔した位置に形成されており溶接に伴って変形する易変形部と、を有する。

【発明の効果】

【0007】

本開示によれば、パッケージの変形を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、第１実施形態に係る光モジュールの部分断面図である。

【図2】図２は、図１の光モジュールからリッドが外された状態を示す部分断面図である。

【図3】図３は、図１の光モジュールのパッケージ及びリッドを模式的に示す断面図である。

【図4】図４は、図３のリッドの端辺から易変形部までの長さの比と光の結合損失との関係を示すグラフである。

【図5】図５は、図１のリッドを示す断面図である。

【図6】図６は、図５のリッドの易変形部を拡大した断面図である。

【図7】図７は、図６とは異なる変形例に係る易変形部を拡大した断面図である。

【図8】図８は、変形例に係る光モジュールのパッケージ及びリッドを示す斜視図である。

【図9】図９は、図８とは別の変形例に係る光モジュールの部分断面図である。

【図10】図１０は、図８及び図９とは別の変形例に係る光モジュールの部分断面図である。

【図11】図１１は、図１０の光モジュールからリッドが外された状態を示す部分断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

［本開示の実施形態の説明］
最初に、本開示に係る光モジュールの実施形態の内容を列記して説明する。実施形態に係る光モジュールは、（１）側壁で囲まれた開口部を有するパッケージと、パッケージに載せられて開口部を封止するリッドと、を備える。リッドは、板状を呈し、開口部が形成されたパッケージの側壁の上面に溶接によって固定される溶接部と、溶接部から離隔した位置に形成されており溶接に伴って変形する易変形部と、平坦な中央部と、を有する。

【0010】

この光モジュールでは、パッケージの開口部がリッドによって封止される。リッドは、開口部が形成されたパッケージの上面に溶接によって固定される溶接部と、溶接に伴って変形する易変形部とを有する。易変形部は、溶接部から離隔した位置に形成されている。従って、パッケージとの溶接部から離隔した易変形部が溶接に伴って変形することにより、パッケージの変形を抑制できる。すなわち、易変形部が変形することによって溶接に伴うパッケージへの応力を低減させることができるので、パッケージの変形が抑制される。よって、パッケージの内部において光学系が完結している場合であっても、パッケージの変形によって光学部品の位置がずれることを抑制できるので、光の結合効率を安定させることができる。

【0011】

（２）上記（１）において、リッドは、板状を呈してもよく、易変形部は、溶接部に対してリッドの板厚方向に凸状又は凹状を成す段差部であってもよい。この場合、易変形部を段差部として形成できるので、易変形部を簡易に形成できる。

【0012】

（３）上記（１）又は（２）において、リッドは、板状を呈してもよく、易変形部のリッドの厚さは、溶接部の厚さよりも薄くてもよい。この場合、易変形部をより変形させやすくすることができるので、パッケージの変形をより確実に抑制できる。

【0013】

（４）上記（１）から（３）のいずれかにおいて、リッドは、端辺として、一対の短辺及び一対の長辺を有する長方形状を呈してもよく、リッドの長手方向における短辺から易変形部までの距離は、リッドの短手方向における長辺から易変形部までの距離よりも長くてもよい。リッドの端辺から易変形部までの長さが長い場合には、リッドの端辺から易変形部までの長さが短い場合と比較して、易変形部をより変形させやすくすることができる。よって、リッドの長手方向における短辺から易変形部までの距離が、リッドの短手方向における長辺から易変形部までの距離よりも長い場合、リッドの長手方向に沿って並ぶ易変形部をより変形させやすくしてパッケージの長手方向における変形をより確実に抑制できる。従って、パッケージの短手方向と比較してパッケージの長手方向における変形をより確実に抑制できるので、光の結合効率を一層安定させることができる。

【0014】

（５）上記（１）から（４）のいずれかにおいて、リッドは、端辺を有してもよく、パッケージは、リッドの下方に位置する空洞を有してもよい。リッドの空洞に対向する部分における端辺から易変形部までの距離は、リッドの空洞に対向しない部分における端辺から易変形部までの距離よりも長くてもよい。この場合、リッドの空洞に対向する部分における易変形部を、リッドの空洞に対向しない部分における易変形部と比較して変形させやすくすることができる。

【0015】

（６）上記（１）から（５）のいずれかにおいて、パッケージの側壁の上面に凸状の枠が設けられていてもよい。

【0016】

［本開示の実施形態の詳細］
本開示の実施形態に係る光モジュールの具体例を以下で図面を参照しながら説明する。なお、本発明は、以下の例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲に示され、特許請求の範囲と均等の範囲における全ての変更が含まれることが意図される。図面の説明において同一又は相当する要素には同一の符号を付し、重複する説明を適宜省略する。また、図面は、理解の容易化のため、一部を簡略化又は誇張して描いている場合があり、寸法比率等は図面に記載したものに限定されない。

【0017】

図１は、一例としての光モジュール１を示す部分断面図である。図２は、光モジュール１の内部構造を示す部分断面図である。図１及び図２に示されるように、光モジュール１は、直方体状のパッケージ２と、パッケージ２に形成された送信側窓３及び受信側窓４とを有する。送信側窓３及び受信側窓４のそれぞれは矩形状を呈する。パッケージ２は、例えば、セラミック製である。パッケージ２は、第１方向Ｄ１に沿って延びる第１側壁２ｂと、第１方向Ｄ１に交差する第２方向Ｄ２に沿って延びる一対の第２側壁２ｃと、光モジュール１の各部品が搭載される底壁２ｄとを有する。第１方向Ｄ１は光モジュール１の長手方向であり、第２方向Ｄ２は光モジュール１の幅方向である。

【0018】

第１側壁２ｂは、第１方向Ｄ１及び第３方向Ｄ３の双方に延在している。第３方向Ｄ３は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の双方に交差する方向であり、光モジュール１の高さ方向に相当する。一対の第２側壁２ｃは第１方向Ｄ１に沿って並んでおり、各第２側壁２ｃは第２方向Ｄ２及び第３方向Ｄ３の双方に延在している。底壁２ｄは、第１側壁２ｂ及び第２側壁２ｃの第３方向Ｄ３の一端において第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の双方に延在している。一対の第１側壁２ｂ、及び一対の第２側壁２ｃは、第３方向Ｄ３から見たときに枠状を呈するパッケージ２の開口部２ｇを形成する。すなわち、パッケージ２は、側壁（一対の第１側壁２ｂ、及び一対の第２側壁２ｃ）で囲まれた開口部２ｇを有する。

【0019】

送信側窓３及び受信側窓４は、一対の第２側壁２ｃのうちの一方を第１方向Ｄ１に貫通している。送信側窓３及び受信側窓４は、第２方向Ｄ２に沿って並んでいる。受信側窓４は、光モジュール１の外部から光モジュール１の内部に入力光Ｌ１を入力する部位である。送信側窓３は、光モジュール１の内部から光モジュール１の外部に出力光Ｌ２を出力する部位である。

【0020】

光モジュール１は、底壁２ｄに搭載された第１の温調デバイス１１と、第１の温調デバイス１１に搭載された波長可変光源用ベース１２と、波長可変光源用ベース１２に搭載された波長可変光源素子１３及びレンズ１４とを有する。例えば、波長可変光源用ベース１２は、窒化アルミニウム及びアルミナのいずれかによって構成されている。波長可変光源素子１３は、例えば、インジウムリン（ＩｎＰ）によって構成されている。レンズ１４は、ガラス又はケイ素（Ｓｉ）によって構成されている。波長可変光源素子１３はレンズ１４に光Ｌ３を出力し、レンズ１４は光Ｌ３を送信側窓３とは反対側に出力する。

【0021】

光モジュール１は、第１の温調デバイス１１と第２の温調デバイス３１の共通の下基板８８に搭載された中間基板２１と、中間基板２１に搭載されたビームスプリッタ２２とを有する。中間基板２１は、例えば、窒化アルミニウム及びアルミナのいずれかによって構成されている。ビームスプリッタ２２は、例えば、ガラス及び誘電体多層膜を含む。ビームスプリッタ２２は、レンズ１４から第１方向Ｄ１に出射した光Ｌ３を受ける。ビームスプリッタ２２は、光Ｌ３の一部を第１方向Ｄ１に透過すると共に、光Ｌ３の残部を第２方向Ｄ２に反射する。

【0022】

光モジュール１は、底壁２ｄに搭載された第２の温調デバイス３１と、第２の温調デバイス３１に搭載された変調素子用ベース３２と、変調素子用ベース３２に搭載された変調素子用キャリア３３、偏波合波フィルタ３４、ミラー３５及びレンズ３６と、変調素子用キャリア３３に搭載された変調素子３７とを有する。変調素子用ベース３２及び変調素子用キャリア３３のそれぞれは、例えば、窒化アルミニウム及びアルミナのいずれかによって構成されている。

【0023】

偏波合波フィルタ３４は、ガラス及び誘電体多層膜によって構成されている。偏波合波フィルタ３４は、変調素子３７からレンズ３６を介して出力した光Ｌ４を受ける。偏波合波フィルタ３４は、光Ｌ４を第１方向Ｄ１に透過して送信側窓３に出力する。ミラー３５は、変調素子３７からレンズ３６を介して第１方向Ｄ１に出力された光Ｌ５を偏波合波フィルタ３４に向けて第２方向Ｄ２に反射する。偏波合波フィルタ３４は、光Ｌ５を第１方向Ｄ１に反射して、光Ｌ４及び光Ｌ５が合波された光である出力光Ｌ２を送信側窓３に出力する。

【0024】

レンズ３６は、例えば、ガラス及びケイ素（Ｓｉ）のいずれかによって構成されている。レンズ３６は、第１レンズ部３６ｂと、第２レンズ部３６ｃと、第３レンズ部３６ｄとを有する。第１レンズ部３６ｂ、第２レンズ部３６ｃ及び第３レンズ部３６ｄは、この順で第２方向Ｄ２に沿って並んでいる。第１レンズ部３６ｂには変調素子３７から第１方向Ｄ１に出射した光Ｌ５が入力する。第１レンズ部３６ｂは光Ｌ５をミラー３５に向けて透過する。第３レンズ部３６ｄには変調素子３７から第１方向Ｄ１に出射した光Ｌ４が入力する。第２レンズ部３６ｃには、ビームスプリッタ２２を透過した光Ｌ３が入力する。第２レンズ部３６ｃは光Ｌ３を変調素子３７に入力する。

【0025】

変調素子３７は、例えば、リン化インジウム（ＩｎＰ）及びケイ素（Ｓｉ）のいずれかによって構成されている。一例として、変調素子３７は、リン化インジウム（ＩｎＰ）、二酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）及びベンゾシクロブテン（ＢＣＢ）を含む。変調素子３７は、例えば、複数の光導波路を有する多モード干渉器である。変調素子３７は、入力された光Ｌ３を分岐して位相変調を加え、分岐した光の一部を合波して光Ｌ４として出射すると共に、分波した光の残部を合波して光Ｌ５として出射する。

【0026】

パッケージ２の底壁２ｄは、第１の温調デバイス１１、第２の温調デバイス３１が搭載される肉薄部２ｈと、肉薄部２ｈよりも第３方向Ｄ３への厚みが大きい肉厚部２ｊとを含む。光モジュール１は、肉厚部２ｊに搭載された第１のミラー４１、偏波分離フィルタ４２、第２のミラー４３、レンズ４４及び受信素子用キャリア４５を有する。更に、光モジュール１は、受信素子用キャリア４５に搭載された受信素子４６を有する。

【0027】

第１のミラー４１は、ビームスプリッタ２２が第２方向Ｄ２に反射した光Ｌ３を第１方向Ｄ１に反射する。偏波分離フィルタ４２は、例えば、ガラス及び誘電体多層膜を有する。偏波分離フィルタ４２は、受信側窓４から第１方向Ｄ１に出射する入力光Ｌ１を受ける。偏波分離フィルタ４２は、入力光Ｌ１の一部を第１方向Ｄ１に透過すると共に、入力光Ｌ１の残部を第２方向Ｄ２に反射する。第２のミラー４３は、偏波分離フィルタ４２から第２方向Ｄ２に反射した入力光Ｌ１を受け、当該入力光Ｌ１を第１方向Ｄ１に反射する。

【0028】

レンズ４４は、第１レンズ部４４ｂ、第２レンズ部４４ｃ及び第３レンズ部４４ｄを有する。第１レンズ部４４ｂ、第２レンズ部４４ｃ及び第３レンズ部４４ｄは、この順で第２方向Ｄ２に沿って並んでいる。受信素子用キャリア４５は、窒化アルミニウム及びアルミナのいずれかによって構成されている。受信素子４６は、インジウムリン（ＩｎＰ）及びケイ素（Ｓｉ）のいずれかによって構成されている。第１レンズ部４４ｂには偏波分離フィルタ４２を透過した入力光Ｌ１が入力し、第１レンズ部４４ｂは入力光Ｌ１を受信素子４６に入力する。第２レンズ部４４ｃには第１のミラー４１において反射された光Ｌ３が入力する。第３レンズ部４４ｄには、第２のミラー４３において反射した入力光Ｌ１が入力する。

【0029】

光モジュール１は、パッケージ２を封止するリッド５を備える。リッド５は、例えば、金属製である。一例として、リッド５はコバールによって構成されている。また、リッド５は、鉄とニッケルの合金（インバー）によって構成されていてもよい。リッド５は長方形状を呈する。リッド５は、例えば、平板状を呈する。リッド５は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の双方に延在する上面５ｂと、上面５ｂとは反対側を向く下面５ｃと、第１方向Ｄ１及び第３方向Ｄ３に延在する第１側面５ｄと、第２方向Ｄ２及び第３方向Ｄ３に延在する第２側面５ｆとを有する。

【0030】

リッド５は、パッケージ２の開口部２ｇを気密封止する。例えば、パッケージ２では、開口部２ｇに金属製の枠２ｑが接合され、枠２ｑを介してリッド５がパッケージ２に接合される。枠２ｑは、パッケージ２の側壁の上面に設けられている凸状の枠である。例えば、リッド５のパッケージ２への接合はシーム溶接によって行われる。シーム溶接では、リッド５とパッケージ２における金属製の枠２ｑとの間に電圧が印加されて電流が流れ、リッド５及び枠２ｑの接触界面が接触抵抗によるジュール熱によって加熱される。この加熱による熱は、リッド５及び枠２ｑに施されたＮｉメッキ又はＮｉ／Ａｕメッキを溶融させ、Ａｕロウ材が形成されてパッケージ２にリッド５が接合される。

【0031】

上記の加熱では、リッド５の全体の温度上昇が生じ、その後、リッド５の熱収縮によってリッド５に残留応力が発生することがある。リッド５に残留応力が発生するとリッド５の熱収縮に伴ってパッケージ２が変形して歪み、パッケージ２に反りが生じることがある。パッケージ２の変形（歪み）の影響によってパッケージ２の内部に配置された光学部品において光の結合効率の低下が生じうる。また、本実施形態では、パッケージ２が気密封止された後には光モジュール１の内部光学系の調整ができないという問題が生じうる。上記の光の結合効率の低下が生じると、例えば、出力光Ｌ２の出力パワーが低下する可能性がある。

【0032】

図３は、パッケージ２及びリッド５を模式的に示す断面図である。図１及び図３に示されるように、リッド５は、開口部２ｇが形成されたパッケージ２の側壁の上面２ｋに溶接によって固定される溶接部５ｇと、溶接部５ｇから離隔した位置に形成される易変形部５ｈと、平坦な中央部５ｚとを有する。易変形部５ｈは、リッド５の易変形部５ｈ以外の部分よりも加熱に伴って変形しやすい部分である。リッド５の易変形部５ｈが易変形部５ｈ以外の部位より変形しやすいことによって、溶接に伴って敢えて易変形部５ｈを変形させると共に、パッケージ２の変形を抑制することができる。

【0033】

第３方向Ｄ３から見た場合において、溶接部５ｇは枠状を呈し、易変形部５ｈは溶接部５ｇの内側に設けられる。易変形部５ｈは、例えば、第３方向Ｄ３から見た場合における溶接部５ｇの内側において矩形状を呈する。例えば、リッド５は、底壁２ｄ側に位置する下面部５ｊと、下面部５ｊから底壁２ｄとは反対側（図３では上側）に設けられる上面部５ｋとを有する。

【0034】

易変形部５ｈは、例えば、下面部５ｊ及び上面部５ｋの間に位置する段差部である。易変形部５ｈは、溶接部５ｇに対して第３方向Ｄ３に窪む凹状の段差部である。なお、易変形部５ｈは溶接部５ｇに対して第３方向Ｄ３に突出する凸状の段差部であってもよい。易変形部５ｈは、例えば、リッド５の中央に向かうに従って斜め下方に延在している。リッド５では、加熱された後に溶接部５ｇがリッド５の中央側に引っ張られる。このとき、易変形部５ｈの上側がリッド５の中央側に移動するように変形するので、パッケージ２の中央側への変形を抑制できる。すなわち、パッケージ２の中央側への第１側壁２ｂ及び第２側壁２ｃの応力が低減されるのでパッケージ２の変形を抑制することができる。

【0035】

リッド５は、第３方向Ｄ３に交差する方向（第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２）を向く端辺５ｐを有する。端辺５ｐは、第２方向Ｄ２に沿って延びると共に第１方向Ｄ１に並ぶ一対の短辺５ｑと、第１方向Ｄ１に沿って延びると共に第２方向Ｄ２に並ぶ一対の長辺５ｒとを含む。第１方向Ｄ１における短辺５ｑから易変形部５ｈまでの距離Ｋ１は、第２方向Ｄ２における長辺５ｒから易変形部５ｈまでの距離Ｋ２よりも長い。

【0036】

次に、本実施形態に係る光モジュール１から得られる作用効果についてより詳細に説明する。光モジュール１では、パッケージ２の開口部２ｇがリッド５によって封止される。リッド５は、開口部２ｇが形成されたパッケージ２の上面２ｋに溶接によって固定される溶接部５ｇと、溶接に伴って変形する易変形部５ｈとを有する。易変形部５ｈは、溶接部５ｇから離隔した位置に形成されている。従って、パッケージ２との溶接部５ｇから離隔した易変形部５ｈが溶接に伴って変形することにより、パッケージ２の変形を抑制できる。すなわち、易変形部５ｈが変形することによって溶接に伴うパッケージ２への応力を低減させることができるので、パッケージ２の変形が抑制される。よって、パッケージ２の内部において光学系が完結している本実施形態の場合であっても、パッケージ２の変形によって光学部品の位置がずれることを抑制できるので、光の結合効率を安定させることができる。

【0037】

実施形態において、リッド５は、板状を呈してもよく、易変形部５ｈは、溶接部５ｇに対してリッド５の板厚方向（第３方向Ｄ３）に凸状又は凹状を成す段差部であってもよい。この場合、易変形部５ｈを段差部として形成できるので、易変形部５ｈを簡易に形成できる。

【0038】

実施形態において、リッド５は、端辺５ｐとして、一対の短辺５ｑ及び一対の長辺５ｒを有する長方形状を呈してもよく、リッド５の長手方向（第１方向Ｄ１）における短辺５ｑから易変形部５ｈまでの距離Ｋ１は、リッド５の短手方向（第２方向Ｄ２）における長辺５ｒから易変形部５ｈまでの距離Ｋ２よりも長くてもよい。リッド５の端辺５ｐから易変形部５ｈまでの長さが長い場合には、リッド５の端辺５ｐから易変形部５ｈまでの長さが短い場合と比較して、易変形部５ｈをより変形させやすくすることができる。よって、リッド５の長手方向における短辺５ｑから易変形部５ｈまでの距離Ｋ１が、リッド５の短手方向における長辺５ｒから易変形部５ｈまでの距離Ｋ２よりも長い場合、リッド５の長手方向に沿って並ぶ易変形部５ｈをより変形させやすくしてパッケージ２の長手方向（第１方向Ｄ１）における変形をより確実に抑制できる。従って、パッケージ２の短手方向（第２方向Ｄ２）と比較してパッケージ２の長手方向における変形をより確実に抑制できるので、光の結合効率を一層安定させることができる。

【0039】

例えば、距離Ｋ１は、リッド５の長辺５ｒの長さの０．０５倍以上である。距離Ｋ２は、リッド５の短辺５ｑの長さの０．１５倍以下である。図４は、リッド５の長辺５ｒの長さに対する距離Ｋ１の比率と光の結合損失との関係を示すグラフである。図４の比較例は、易変形部５ｈが形成されていないリッドを有する光モジュールを示している。図４に示されるように、易変形部５ｈを有する場合には、易変形部５ｈを有しない比較例よりも光の結合損失を低減できる。距離Ｋ１がリッド５の長辺５ｒの長さの０．０５倍以上である場合、光の結合損失を０．２ｄＢ以下にすることができる。距離Ｋ２がリッド５の短辺５ｑの長さの０．０６倍である場合には、距離Ｋ２がリッド５の短辺５ｑの長さの０．１５倍である場合と比較して光の結合効率を更に低減できる。

【0040】

次に、易変形部５ｈの詳細の例について図５及び図６を参照しながら説明する。図５は、第１方向Ｄ１及び第３方向Ｄ３に延在する平面によってリッド５を切断したときにおけるリッド５の断面図である。図６は、図５のリッド５の易変形部５ｈを拡大した断面図である。図５及び図６に示されるように、例えば、易変形部５ｈは、リッド５の易変形部５ｈ以外の部位よりも肉薄とされた肉薄部であってもよい。

【0041】

例えば、リッド５の易変形部５ｈ以外の部分（溶接部５ｇ）における厚さＴ１は０．１５ｍｍ以下であり、易変形部５ｈの最小厚さＴ２は０．１ｍｍ以下である。一例として、易変形部５ｈの深さＨ（下面部５ｊに対する上面部５ｋの高さ）は０．１ｍｍ以上である。易変形部５ｈは、例えば、上面部５ｋの上面５ｓから下面部５ｊの上面５ｔまでリッド５が窪むように湾曲する第１の湾曲面５ｖと、上面部５ｋの下面５ｗから下面部５ｊの下面５ｘまでリッド５が窪むように湾曲する第２の湾曲面５ｙとを有する。第１の湾曲面５ｖ及び第２の湾曲面５ｙを有する易変形部５ｈは、リッド５の易変形部５ｈ以外の部位と比較してより変形しやすいので、易変形部５ｈを変形させることでパッケージ２をより変形させにくくすることができる。

【0042】

図６の例のように、易変形部５ｈのリッド５の厚さは、溶接部５ｇの厚さＴ１よりも薄くてもよい。この場合、易変形部５ｈをより変形させやすくすることができるので、パッケージ２の変形をより確実に抑制できる。図７は、図６とは異なる変形例に係るリッド５５の易変形部５５ｈを示す断面図である。図７に示されるように、リッド５５は、互いに厚さが異なる上面部５５ｋ及び下面部５５ｊを有してもよい。この場合、リッド５５の溶接部５ｇを含む上面部５５ｋが当該溶接部を含まない下面部５５ｊよりも厚くなる。このリッド５５からもリッド５と同様の作用効果が得られる。

【0043】

図８は、変形例に係る光モジュール１Ａを示す斜視図である。光モジュール１Ａの一部の構成は、前述した光モジュール１の一部の構成と同一である。よって、以下では、光モジュール１の説明と重複する説明を同一の符号を付して適宜省略する。図８に示されるように、光モジュール１Ａはパッケージ２Ａを備え、パッケージ２Ａは、第３方向Ｄ３に窪む空洞２ｐを有する。例えば、空洞２ｐは、パッケージ２の底壁２ｄから第３方向Ｄ３に窪む部位である。空洞２ｐは、第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２及び第３方向Ｄ３に延在する矩形状の空間である。

【0044】

光モジュール１Ａは、リッド５とは異なるリッド６５を有する。リッド６５では、易変形部５ｈの位置がリッド５の場合とは異なっている。リッド６５では、第１方向Ｄ１における一方の短辺５ｑ１から易変形部５ｈまでの距離Ｋ３は、第１方向Ｄ１における他方の短辺５ｑ２から易変形部５ｈまでの距離Ｋ４よりも長い。リッド６５では、一方の短辺５ｑ１から易変形部５ｈまでの部分６５ｂがパッケージ２の空洞２ｐと第３方向Ｄ３に沿って対向する。このように、パッケージ２の体積が少ない（空洞２ｐが形成された）部分の直上に当該部分６５ｂが設けられる。

【0045】

以上のように、光モジュール１Ａでは、パッケージ２Ａは、リッド６５の下方に位置する空洞２ｐを有する。リッド６５の空洞２ｐに対向する部分６５ｂにおける端辺５ｐ（一方の短辺５ｑ１）から易変形部５ｈまでの距離Ｋ３は、リッド６５の空洞２ｐに対向しない部分における端辺５ｐ（他方の短辺５ｑ２）から易変形部５ｈまでの距離Ｋ４よりも長い。この場合、リッド６５の空洞２ｐに対向する部分６５ｂにおける易変形部５ｈを、リッド６５の空洞２ｐに対向しない部分における易変形部５ｈと比較して変形させやすくすることができる。従って、パッケージ２Ａの空洞２ｐの周辺部分をより変形させにくくすることができる。

【0046】

以上の第１方向Ｄ１における易変形部５ｈの位置が非対称とされたリッド６５は、図９に示されるように、前述した実施形態に係るパッケージ２に適用することも可能である。図１０は、更なる変形例に係る光モジュール１Ｂを示す部分断面図である。図１１は、光モジュール１Ｂの内部構造を示す部分断面図である。例えば、光モジュール１Ｂは、前述したリッド５を備える。

【0047】

光モジュール１Ｂはパッケージ２Ｂを有し、パッケージ２Ｂには送信側窓３のみが形成されている。すなわち、光モジュール１Ｂは光信号の送信のみを行う光送信モジュールである。光モジュール１Ｂは、パッケージ２Ｂの底壁２ｄに搭載された第１の温調デバイス６１と、第１の温調デバイス６１に搭載された波長可変光源用ベース６２と、波長可変光源用ベース６２に搭載された波長可変用キャリア６３及びレンズ６４と、波長可変用キャリア６３に搭載された波長可変光源素子６６とを備える。波長可変光源素子６６から出力された光Ｌ１１はレンズ６４を透過する。レンズ６４を透過する光Ｌ１１は、レンズ６４から送信側窓３とは反対側に出力する。

【0048】

光モジュール１Ｂは、第１の温調デバイス６１と第２の温調デバイス８１の共通の下基板８９に搭載された中間基板７１と、中間基板７１に搭載されたビームスプリッタ７２とを有する。ビームスプリッタ７２はレンズ６４からの光Ｌ１１を第１方向Ｄ１に透過する。光モジュール１Ｂは、底壁２ｄに搭載された第２の温調デバイス８１と、第２の温調デバイス８１に搭載された変調素子用ベース８２とを有する。光モジュール１Ｂは、更に、変調素子用ベース８２に搭載された変調素子用キャリア８３、偏波合波フィルタ８４、ミラー８５及びレンズ８６と、変調素子用キャリア８３に搭載された変調素子８７とを有する。

【0049】

レンズ８６は、第１レンズ部８６ｂ、第２レンズ部８６ｃ及び第３レンズ部８６ｄを有し、第１レンズ部８６ｂ、第２レンズ部８６ｃ及び第３レンズ部８６ｄはこの順で第２方向Ｄ２に沿って並んでいる。第２レンズ部８６ｃはビームスプリッタ７２から出射した光Ｌ１１を透過し、透過した光を変調素子８７に出力する。変調素子８７は、第１の出力光Ｌ１２及び第２の出力光Ｌ１３を出力する。第１の出力光Ｌ１２は、第１レンズ部８６ｂを透過してミラー８５において第２方向Ｄ２に反射する。第２の出力光Ｌ１３は、第３レンズ部８６ｄを透過して偏波合波フィルタ８４に到達する。偏波合波フィルタ８４は、ミラー８５において第２方向Ｄ２に反射した第１の出力光Ｌ１２を第１方向Ｄ１に反射して送信側窓３に出力すると共に、第２の出力光Ｌ１３を透過して送信側窓３に出力する。

【0050】

光モジュール１Ｂは、前述した各光学部品が搭載されたパッケージ２Ｂと、パッケージ２Ｂを封止するリッド５とを備える。従って、光モジュール１Ｂからは光モジュール１と同様の作用効果が得られる。なお、光モジュール１Ｂは、リッド５に代えて、リッド６５を有していてもよい。

【0051】

以上、本開示に係る光モジュールの実施形態及び種々の変形例について説明した。しかしながら、本発明は、前述した実施形態又は変形例に限定されない。すなわち、本発明が特許請求の範囲に記載された要旨を変更しない範囲において種々の変形及び変更が可能であることは、当業者によって容易に認識される。例えば、光モジュールの各部品の形状、大きさ、数、材料及び配置態様は、前述した内容に限られず適宜変更可能である。

【符号の説明】

【0052】

１，１Ａ，１Ｂ…光モジュール
２，２Ａ…パッケージ
２ｂ…第１側壁
２Ｂ…パッケージ
２ｃ…第２側壁
２ｄ…底壁
２ｇ…開口部
２ｈ…肉薄部
２ｊ…肉厚部
２ｋ…上面
２ｐ…空洞
２ｑ…枠
３…送信側窓
４…受信側窓
５…リッド
５ｂ…上面
５ｃ…下面
５ｄ…第１側面
５ｆ…第２側面
５ｇ…溶接部
５ｈ…易変形部
５ｊ…下面部
５ｋ…上面部
５ｐ…端辺
５ｑ，５ｑ１，５ｑ２…短辺
５ｒ…長辺
５ｓ，５ｔ…上面
５ｖ…湾曲面
５ｗ，５ｘ…下面
５ｙ…湾曲面
５ｚ…中央部
１１…温調デバイス
１２…波長可変光源用ベース
１３…波長可変光源素子
１４…レンズ
２１…中間基板
２２…ビームスプリッタ
３１…温調デバイス
３２…変調素子用ベース
３３…変調素子用キャリア
３４…偏波合波フィルタ
３５…ミラー
３６…レンズ
３６ｂ…第１レンズ部
３６ｃ…第２レンズ部
３６ｄ…第３レンズ部
３７…変調素子
４１…ミラー
４２…偏波分離フィルタ
４３…ミラー
４４…レンズ
４４ｂ…第１レンズ部
４４ｃ…第２レンズ部
４４ｄ…第３レンズ部
４５…受信素子用キャリア
４６…受信素子
５５…リッド
５５ｈ…易変形部
５５ｊ…下面部
５５ｋ…上面部
６１…温調デバイス
６２…波長可変光源用ベース
６３…波長可変用キャリア
６４…レンズ
６５…リッド
６５ｂ…部分
６６…波長可変光源素子
７１…中間基板
７２…ビームスプリッタ
８１…温調デバイス
８２…変調素子用ベース
８３…変調素子用キャリア
８４…偏波合波フィルタ
８５…ミラー
８６…レンズ
８６ｂ…第１レンズ部
８６ｃ…第２レンズ部
８６ｄ…第３レンズ部
８７…変調素子
８８…下基板
８９…下基板
Ｄ１…第１方向
Ｄ２…第２方向
Ｄ３…第３方向
Ｋ１，Ｋ２，Ｋ３，Ｋ４…距離
Ｌ１…入力光
Ｌ２…出力光
Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５，Ｌ１１…光
Ｌ１２，Ｌ１３…出力光

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】