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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024030172
(43)【公開日】2024-03-07
(54)【発明の名称】弾性波装置
(51)【国際特許分類】
H03H 9/25 20060101AFI20240229BHJP
H03H 9/64 20060101ALI20240229BHJP
【ＦＩ】
H03H9/25 A
H03H9/64 Z
H03H9/25 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】13
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022132779
(22)【出願日】2022-08-23
(71)【出願人】
【識別番号】000006231
【氏名又は名称】株式会社村田製作所
(74)【代理人】
【識別番号】110001232
【氏名又は名称】弁理士法人大阪フロント特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】前田 健太
【テーマコード（参考）】
5J097
【Ｆターム（参考）】
5J097AA24
5J097BB15
5J097CC05
5J097GG03
5J097JJ06
5J097JJ09
5J097KK09
5J097KK10
(57)【要約】
【課題】 信頼性に優れた弾性波装置を提供する。
【解決手段】弾性波装置は、第１圧電性基板および第１圧電性基板に配置された複数の第１共振子を備えた第１弾性波フィルタ５１と、第２圧電性基板および第２圧電性基板に配置された複数の第２共振子を備えた第２弾性波フィルタ５１とを備え、複数の第１共振子と複数の第２共振子とが間隙を隔てて対向するように配置されている。複数の第１共振子および複数の第２共振子は、それぞれ、信号印加時に発熱領域が最も高い温度となる発熱共振子を含み、平面視において、これらの発熱共振子の発熱領域は互いに重なっていない。
【選択図】図１
【解決手段】弾性波装置は、第１圧電性基板および第１圧電性基板に配置された複数の第１共振子を備えた第１弾性波フィルタ５１と、第２圧電性基板および第２圧電性基板に配置された複数の第２共振子を備えた第２弾性波フィルタ５１とを備え、複数の第１共振子と複数の第２共振子とが間隙を隔てて対向するように配置されている。複数の第１共振子および複数の第２共振子は、それぞれ、信号印加時に発熱領域が最も高い温度となる発熱共振子を含み、平面視において、これらの発熱共振子の発熱領域は互いに重なっていない。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１圧電性基板と、前記第１圧電性基板に配置された複数の第１共振子とを有する第１弾性波フィルタと、
第２圧電性基板と、前記第２圧電性基板に配置された複数の第２共振子とを有する第２弾性波フィルタと、
を備え、前記複数の第１共振子と前記複数の第２共振子とが対向するように、前記第１圧電性基板と前記第２圧電性基板とが所定の距離を隔てて配置された弾性波装置であって、
前記複数の第１共振子は、使用時に、前記第１弾性波フィルタ内において最も高い温度となる第１発熱共振子を含み、
前記複数の第２共振子は、使用時に、前記第２弾性波フィルタ内において最も高い温度となる第２発熱共振子を含み、
平面視において、前記第１発熱共振子の発熱領域と前記第２発熱共振子の発熱領域とは互いに重なっていない、弾性波装置。
第２圧電性基板と、前記第２圧電性基板に配置された複数の第２共振子とを有する第２弾性波フィルタと、
を備え、前記複数の第１共振子と前記複数の第２共振子とが対向するように、前記第１圧電性基板と前記第２圧電性基板とが所定の距離を隔てて配置された弾性波装置であって、
前記複数の第１共振子は、使用時に、前記第１弾性波フィルタ内において最も高い温度となる第１発熱共振子を含み、
前記複数の第２共振子は、使用時に、前記第２弾性波フィルタ内において最も高い温度となる第２発熱共振子を含み、
平面視において、前記第１発熱共振子の発熱領域と前記第２発熱共振子の発熱領域とは互いに重なっていない、弾性波装置。
【請求項2】
前記第１発熱共振子の発熱領域は、前記複数の第１共振子の発熱領域のなかで、最も小く、
前記第２発熱共振子の発熱領域は、前記複数の第２共振子の発熱領域のなかで、最も小さい、請求項１に記載の弾性波装置。
前記第２発熱共振子の発熱領域は、前記複数の第２共振子の発熱領域のなかで、最も小さい、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項3】
前記第１発熱共振子の発熱領域は、前記複数の第１共振子の直列に分割されていない共振子の発熱領域のなかで、最も小さく、
前記第２発熱共振子の発熱領域は、前記複数の第２共振子の直列に分割されていない共振子の発熱領域のなかで、最も小さい、請求項２に記載の弾性波装置。
前記第２発熱共振子の発熱領域は、前記複数の第２共振子の直列に分割されていない共振子の発熱領域のなかで、最も小さい、請求項２に記載の弾性波装置。
【請求項4】
前記第１弾性波フィルタは、前記第１弾性波フィルタに信号が入力される第１入力端子を有し、
前記第１発熱共振子は、前記複数の第１共振子のなかで、前記第１入力端子から最初に前記信号が入力され、
前記第２弾性波フィルタは、前記第２弾性波フィルタに信号が入力される第２入力端子を有し、
前記第２発熱共振子は、前記複数の第２共振子のなかで、前記第２入力端子から最初に前記信号が入力される、請求項１に記載の弾性波装置。
前記第１発熱共振子は、前記複数の第１共振子のなかで、前記第１入力端子から最初に前記信号が入力され、
前記第２弾性波フィルタは、前記第２弾性波フィルタに信号が入力される第２入力端子を有し、
前記第２発熱共振子は、前記複数の第２共振子のなかで、前記第２入力端子から最初に前記信号が入力される、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項5】
前記第１入力端子と前記第２入力端子とは電気的に接続されている、請求項４に記載の弾性波装置。
【請求項6】
前記第１入力端子と前記第２入力端子とは電気的に接続されていない、請求項４に記載の弾性波装置。
【請求項7】
前記複数の第１共振子は、ラダー回路を構成しており、前記第１発熱共振子は、前記ラダー回路の直列腕共振子であり、
前記複数の第２共振子は、ラダー回路を構成しており、前記第２発熱共振子は、前記ラダー回路の直列腕共振子である、請求項１に記載の弾性波装置。
前記複数の第２共振子は、ラダー回路を構成しており、前記第２発熱共振子は、前記ラダー回路の直列腕共振子である、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項8】
前記複数の第１共振子は、ラダー回路を構成しており、前記第１発熱共振子は、前記ラダー回路の並列腕共振子であり、
前記複数の第２共振子は、ラダー回路を構成しており、前記第２発熱共振子は、前記ラダー回路の並列腕共振子である、請求項１に記載の弾性波装置。
前記複数の第２共振子は、ラダー回路を構成しており、前記第２発熱共振子は、前記ラダー回路の並列腕共振子である、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項9】
前記第２圧電性基板は、前記第１主面と反対側に位置する第２主面と、前記第２主面に位置する複数の外部端子を有し、
前記複数の端子は第１外部端子および第２外部端子を含み、
前記第１発熱共振子は、前記複数の端子のうち、前記第１外部端子に最も近接しており、
前記第２発熱共振子は、前記複数の端子のうち、前記第２外部端子に最も近接している、
請求項１から８のいずれか１項に記載の弾性波装置。
前記複数の端子は第１外部端子および第２外部端子を含み、
前記第１発熱共振子は、前記複数の端子のうち、前記第１外部端子に最も近接しており、
前記第２発熱共振子は、前記複数の端子のうち、前記第２外部端子に最も近接している、
請求項１から８のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項10】
前記第１弾性波フィルタは、受信用フィルタおよび送信用フィルタからなる群から選ばれる一方であり、前記第２弾性波フィルタは、前記受信用フィルタおよび送信用フィルタからなる群から選ばれる他方である、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項11】
第１圧電性基板と、前記第１圧電性基板に配置された複数の第１共振子とを有する第１弾性波フィルタと、
第２圧電性基板と、前記第２圧電性基板に配置された複数の第２共振子とを有する第２弾性波フィルタと、
を備え、前記複数の第１共振子と前記複数の第２共振子とが対向するように、前記第１圧電性基板と前記第２圧電性基板とが所定の距離を隔てて配置された弾性波装置であって、
前記複数の第１共振子はそれぞれ発熱領域を有し、
前記複数の第２共振子はそれぞれ発熱領域を有し、
前記複数の第１共振子のうちの最も面積が小さい発熱領域と前記第２共振子のうちの最も面積が小さい発熱領域とは、平面視において重なっていない、弾性波装置。
第２圧電性基板と、前記第２圧電性基板に配置された複数の第２共振子とを有する第２弾性波フィルタと、
を備え、前記複数の第１共振子と前記複数の第２共振子とが対向するように、前記第１圧電性基板と前記第２圧電性基板とが所定の距離を隔てて配置された弾性波装置であって、
前記複数の第１共振子はそれぞれ発熱領域を有し、
前記複数の第２共振子はそれぞれ発熱領域を有し、
前記複数の第１共振子のうちの最も面積が小さい発熱領域と前記第２共振子のうちの最も面積が小さい発熱領域とは、平面視において重なっていない、弾性波装置。
【請求項12】
前記複数の第１共振子のうちの最も面積が小さい発熱領域および前記第２共振子のうちの最も面積が小さい発熱領域は、直列分割された共振子の発熱領域ではない、請求項１１に記載の弾性波装置。
【請求項13】
第１圧電性基板と、前記第１圧電性基板に配置された複数の第１共振子とを有する第１弾性波フィルタと、
第２圧電性基板と、前記第２圧電性基板に配置された複数の第２共振子とを有する第２弾性波フィルタと、
を備え、前記複数の第１共振子と前記複数の第２共振子とが対向するように、前記第１圧電性基板と前記第２圧電性基板とが所定の距離を隔てて配置された弾性波装置であって、
前記第１弾性波フィルタは、前記第１弾性波フィルタに信号が入力される第１入力端子を有し、
前記第２弾性波フィルタは、前記第２弾性波フィルタに信号が入力される第２入力端子を有し、
前記複数の第１共振子のなかで、前記第１入力端子から最初に前記信号が入力される第１共振子の発熱領域と、前記複数の第２共振子のなかで、前記第２入力端子から最初に前記信号が入力される第２共振子の発熱領域とは、平面視において重なっていない、弾性波装置。
第２圧電性基板と、前記第２圧電性基板に配置された複数の第２共振子とを有する第２弾性波フィルタと、
を備え、前記複数の第１共振子と前記複数の第２共振子とが対向するように、前記第１圧電性基板と前記第２圧電性基板とが所定の距離を隔てて配置された弾性波装置であって、
前記第１弾性波フィルタは、前記第１弾性波フィルタに信号が入力される第１入力端子を有し、
前記第２弾性波フィルタは、前記第２弾性波フィルタに信号が入力される第２入力端子を有し、
前記複数の第１共振子のなかで、前記第１入力端子から最初に前記信号が入力される第１共振子の発熱領域と、前記複数の第２共振子のなかで、前記第２入力端子から最初に前記信号が入力される第２共振子の発熱領域とは、平面視において重なっていない、弾性波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、弾性波装置に関する。
【背景技術】
【0002】
通信技術の進歩に伴い、より高速で大容量のデータ通信を行うことが可能な携帯通信網の重要性が高まっている。また、携帯通信網で使用される携帯端末には、より高周波数で、多くのバンドに対応できることが求められている。弾性波フィルタは、このような携帯端末に好適な特性を備えており、弾性波フィルタの重要性も高まってきている。
【0003】
例えば特許文献１は、弾性波フィルタなどの弾性波装置の一形態として、２つの圧電性基板にそれぞれＩＤＴ電極を配置して弾性波フィルタを構成し、ＩＤＴ電極同士が対向するように２つの圧電性基板を保持するパッケージ技術を提案している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１７－１８８８０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本開示は、信頼性に優れた弾性波装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示の一実施形態による弾性波装置は、第１圧電性基板と、前記第１圧電性基板に配置された複数の第１共振子とを有する第１弾性波フィルタと、第２圧電性基板と、前記第２圧電性基板に配置された複数の第２共振子とを有する第２弾性波フィルタと、を備え、前記複数の第１共振子と前記複数の第２共振子とが対向するように、前記第１圧電性基板と前記第２圧電性基板とが所定の距離を隔てて配置された弾性波装置であって、前記複数の第１共振子は、使用時に、前記第１弾性波フィルタ内において最も高い温度となる第１発熱共振子を含み、前記複数の第２共振子は、使用時に、前記第２弾性波フィルタ内において最も高い温度となる第２発熱共振子を含み、平面視において、前記第１発熱共振子の発熱領域と前記第２発熱共振子の発熱領域とは互いに重なっていない。
【発明の効果】
【0007】
本開示の一実施形態によれば、信頼性に優れた弾性波装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
特許文献１に開示される弾性波装置のように、２つの弾性波フィルタをパッケージに収める場合、弾性表面波が励起する空間を確保するため、ＩＤＴ電極が対向するように２つの圧電性基板が保持される。しかし、本願発明者がこのような弾性波装置の構造を詳細に検討したところ、２つの弾性波フィルタが同時に使用される場合、弾性波フィルタに生じる発熱の影響が顕著になることが分かった。具体的には、対向するＩＤＴ電極が互いに熱の影響を及ぼし合うことによって、ＩＤＴ電極を構成する金属のマイグレーションが発生したり、ＩＤＴ電極の劣化などが生じやすくなること、あるいは、耐電力性が十分ではなくなることが分かった。
【0010】
本願発明者はこのような課題に鑑み、信頼性あるいは耐電力性を向上させることができる、弾性波装置を想到した。
【0011】
以下本開示の実施形態を図面に基づいて説明する。本開示は、以下の実施形態に限定されず、本開示の構成を充足する範囲内で、適宜設計変更を行うことが可能である。また、以下の説明において、同一部分または同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する場合がある。また、実施形態および変形例に記載された各構成は、本開示の要旨を逸脱しない範囲において適宜組み合わされてもよいし、変更されてもよい。説明を分かりやすくするために、以下で参照する図面においては、構成が簡略化または模式化して示されていたり、一部の構成部材が省略されていたりする場合がある。特に、ＩＤＴ電極の電極指の数は、分かりやすさのため、少なく示されている場合がある。また、各図に示された構成部材間の寸法比は、必ずしも実際の寸法比を示すものではない。
【0012】
［第１実施形態］
本実施形態の弾性波装置を詳細に説明する。図１は、本実施形態の弾性波装置１０１の断面構造の一例を示す模式図である。本実施形態の弾性波装置１０１は、例えば、７００ＭＨｚから２５００ＭＨｚ帯で使用される弾性波装置であり、特に表面波弾性を利用したフィルタなどに用いられる。弾性波装置１０１は、第１弾性波フィルタ５１と第２弾性波フィルタ５２とを含む。図２は第１弾性波フィルタの平面構造を図１における上方側から見た模式的平面図であり、図３は、第２弾性波フィルタの平面構造を図１における上方側から見た模式的平面図である。図４は、弾性波装置１０１の平面構造を図１における上方側から見た模式的平面図であり、図５は、弾性波装置１０１の等価回路図である。
本実施形態の弾性波装置を詳細に説明する。図１は、本実施形態の弾性波装置１０１の断面構造の一例を示す模式図である。本実施形態の弾性波装置１０１は、例えば、７００ＭＨｚから２５００ＭＨｚ帯で使用される弾性波装置であり、特に表面波弾性を利用したフィルタなどに用いられる。弾性波装置１０１は、第１弾性波フィルタ５１と第２弾性波フィルタ５２とを含む。図２は第１弾性波フィルタの平面構造を図１における上方側から見た模式的平面図であり、図３は、第２弾性波フィルタの平面構造を図１における上方側から見た模式的平面図である。図４は、弾性波装置１０１の平面構造を図１における上方側から見た模式的平面図であり、図５は、弾性波装置１０１の等価回路図である。
【0013】
なお、図１は、図２および図３のＡ－Ａ線の位置における断面を示している。また、図３において示される構造は上方側ではなく、下方側に配置されているが、分かりやすさのため、上方側から透視して実線で示している。図４において、重なりの分かりやすさのため、図２に示されている構成要素の一部をグレーで示している。また、図４では、共振子と内部端子以外の構成要素は示していない。
【0014】
第１弾性波フィルタ５１は、第１圧電性基板１０と複数の第１共振子１１とを含む。第１圧電性基板１０は、第１主面１０ａおよび第１主面１０ａと反対側に位置する第２主面１０ｂとを有しており、圧電特性を備えている。第１圧電性基板１０は、例えば、ＬｉＴａＯ３、ＬｉＮｂＯ３などの圧電性単結晶によって構成されている。第１圧電性基板１０は圧電性セラミックスによって構成されていてもよい。また、第１圧電性基板１０は、支持基板上に圧電性薄膜が配置された積層構造体などであってもよい。本実施形態では、例えば、第１圧電性基板１０は、回転ＹカットのＬｉＴａＯ３基板であり、回転角が１１６°以上１３６°以下の範囲内であることが好ましい。
【0015】
複数の第１共振子１１は第１圧電性基板１０の第１主面１０ａに位置している。複数の第１共振子１１はそれぞれＩＤＴ電極を含んでいる。本実施形態では、図５に示すように、複数の第１共振子１１はラダー回路を構成している。具体的には、複数の第１共振子１１は、互いに直列に接続された直列腕共振子Ｓ１１、Ｓ１２、Ｓ１３、Ｓ１４と、直列腕共振子に対して並列に接続された並列腕共振子Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ１３とを含む。図２に示すように、各第１共振子１１は、第１主面１０ａに位置する配線１２によって電気的に接続されている。なお、配線１２は接続関係のみを模式的に示しており、実際の導電体のパターンを示すものではない。また、図２などの平面図において、各第１共振子１１は矩形で模式的に示されている。以下の図で説明する第２弾性波フィルタ５２についても、第２共振子および配線は模式的に示されている。
【0016】
複数の第１共振子１１は、第１弾性波フィルタ５１の通過帯域を構成している。具体的には、各第１共振子１１は、その反共振周波数が通過帯域に存在している並列腕共振子、または、その共振周波数が通過帯域内に存在している直列腕共振子である。第１弾性波フィルタ５１の通過帯域は、挿入損失のピーク値（最も小さな値）を基準とした場合、挿入損失の値がピーク値から３ｄＢ以内となる範囲で規定される。
【0017】
各第１共振子１１は、少なくとも１つのＩＤＴ電極を含む。図６は、複数の第１共振子１１のうちの１つの構造を模式的に示す平面図である。図６に示す第１共振子１１は、第１圧電性基板１０に位置するＩＤＴ電極４０を含んでいる。ＩＤＴ電極４０は、一対の櫛歯電極４１および４２を含む。櫛歯電極４１は、ｙ軸方向に伸びる複数の電極指４１ａと、複数の電極指４１ａの一端に接続されたバスバー４１ｂとを含む。櫛歯電極４２は、ｙ軸方向に伸びる複数の電極指４２ａと、複数の電極指４２ａの一端に接続されたバスバー４２ｂとを含む。
【0018】
一対の櫛歯電極４１および４２は、互いの電極指４１ａおよび４２ａが電極指の伸びる方向と垂直な方向であるｘ軸方向において互いに重なるように、第１圧電性基板１０上に配置されている。櫛歯電極４１および４２に信号が供給されると、第１圧電性基板１０に弾性波が励起され、ｘ軸方向に弾性波が伝搬する。弾性波が励起される際、電磁気的エネルギが力学的エネルギに変換される。この時、誘電体損失や振動損失等の要因によって熱が発生する。
【0019】
この弾性波が励起され、発熱する領域を発熱領域Ｒｈと呼ぶ。発熱領域Ｒｈは、櫛歯電極４１の電極指４１ａおよび櫛歯電極４２の電極指４２ａがｘ軸方向に重なる領域である。発熱領域Ｒｈのｙ軸方向における外縁は、電極指４１ａの先端をつなぐ直線Ｌａおよび電極指４２ａの先端をつなぐ直線Ｌｂで規定される。また、発熱領域Ｒｈのｘ軸方向における外縁は、ＩＤＴ電極４０のうちx軸方向において最も外側に位置する一対の電極指の外側に位置する外縁ＬｃおよびＬｄで規定される。発熱領域Ｒｈは、図６では矩形形状を有している。また、図２～図４など平面図において、発熱領域Ｒｈは、一点鎖線で示している。
【0020】
ＩＤＴ電極４０には、アポダイズが施されていてもよい。この場合、電極指４１ａと電極指４２ａとが重なる領域の幅はｘ軸方向において変化するため、発熱領域Ｒｈのｙ軸方向の外縁ＬａおよびＬｂは、折れ線または曲線となる。
【0021】
各第１共振子１１において、弾性波の伝搬方向に１以上のＩＤＴ電極が配置されていてもよい。また、各第１共振子１１は、ＩＤＴ電極４０を挟む反射器４３をさらに備えていてもよい。ＩＤＴ電極４０および反射器４３は、１層または複数層の金属層によって構成されている。金属層は、Ａｌ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｗ、Ｍｏ、Ｔａ、ＮｉおよびＣｒからなる群から選ばれる１種、また、これらの群からなる少なくとも１種を含む合金によって構成される。
【0022】
上記説明から明らかなように、発熱領域Ｒｈには、反射器４３は含まれない。また、ＩＤＴ電極４０のうち、バスバー４１ｂおよび４２ｂ、バスバー４１ｂから電極指４１ａの先端までの間隙、および、バスバー４２ｂから電極指４２ａの先端までの間隙は発熱領域Ｒｈには含まれない。
【0023】
図２に示すように、第１弾性波フィルタ５１は、第１主面１０ａに配置された内部端子１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄ、１２Ｅ、１２Ｆと第２主面１０ｂに配置された外部端子１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ、１３Ｄ、１３Ｅ、１３Ｆとを更に備えている。内部端子１２Ａと外部端子１３Ａとは第１圧電性基板１０内に設けられたビア導体１４によって電気的に接続されている。同様に、内部端子１２Ｂ～１２Ｆと外部端子１３Ｂ～１３Ｂとがビア導体１４によってそれぞれ電気的に接続されている。本実施形態では外部端子１３Ｄはアンテナに接続される端子であり、外部端子１３Ｃは、送信回路に接続される端子である。また、外部端子１３Ｆは受信回路に接続される端子である。
【0024】
本実施形態では、例えば、第１弾性波フィルタ５１は送信用フィルタであり、直列腕共振子Ｓ１１の一端が内部端子１２Ｄに電気的に接続されている。また、直列腕共振子Ｓ１４の一端が内部端子１２Ｃに電気的に接続されている。以下において詳細に説明するように、第１弾性波フィルタ５１の複数の第１共振子１１において、直列腕共振子Ｓ１４の発熱領域Ｒｈは、最も小さい面積を有している。
【0025】
第２弾性波フィルタ５２は、第２圧電性基板２０と複数の第２共振子２１とを含む。第２圧電性基板２０も第１圧電性基板１０と同様の材料によって構成されている。第２圧電性基板２０を構成する材料と第１圧電性基板１０を構成する材料は同じであってもよいし、異なっていてもよい。
【0026】
複数の第２共振子２１は第２圧電性基板２０の第１主面２０ａに位置している。複数の第２共振子２１もそれぞれＩＤＴ電極を含んでいる。第１弾性波フィルタ５１と同様、複数の第２共振子２１はラダー回路を構成している。具体的には、複数の第２共振子２１は、互いに直列に接続された直列腕共振子Ｓ２１、Ｓ２２、Ｓ２３、Ｓ２４と、直列腕共振子に対して並列に接続された並列腕共振子Ｐ２１、Ｐ２２、Ｐ２３とを含む。図３に示すように、各第２共振子２１は、第１主面２０ａに位置する配線２２によって電気的に接続されている。複数の第２共振子２１も第１共振子１１と同様の構造を有し、同様の材料によって構成されている。また、各第２共振子２１は発熱領域Ｒｈを有している。
【0027】
第２弾性波フィルタ５２は、第１主面２０ａに配置された内部端子２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄ、２２Ｅ、２２Ｆを含む。
【0028】
本実施形態では、例えば、第２弾性波フィルタ５２は受信用フィルタであり、直列腕共振子Ｓ２１の一端が内部端子２２Ｄに電気的に接続されている。また、直列腕共振子Ｓ２４の一端が内部端子２２Ｆに電気的に接続されている。第２弾性波フィルタ５２の複数の第２共振子２１において、直列腕共振子Ｓ２１の発熱領域Ｒｈは、最も小さい面積を有している。
【0029】
図１に示すように、第１弾性波フィルタ５１と第２弾性波フィルタ５２とは、複数の第１共振子１１と複数の第２共振子２１とが互いに間隙ｄを介して対向するように配置されている。つまり、第１圧電性基板１０の第１主面１０ａと第２圧電性基板２０の第１主面１０ａとが対向している。間隙ｄは、例えば、１０μｍ以上５０μｍ程度である。
【0030】
対向して配置された第１圧電性基板１０と第２圧電性基板２０との間には、支持部材３１が配置されている。支持部材３１は、第１圧電性基板１０と第２圧電性基板２０の外縁に沿って、複数の第１共振子１１、複数の第２共振子２１、内部端子１２Ａ～１２Ｆおよび内部端子１２Ａ～１２Ｆを囲むように伸びており、複数の第１共振子１１と複数の第２共振子２１とを封止している。第１圧電性基板１０と、第２圧電性基板２０と、支持部材３１に囲まれた空間には、空気や、窒素などの不活性気体が位置している。
【0031】
また、内部端子１２Ａ～１２Ｆと内部端子１２Ａ～１２Ｆとの間には、導体３２がそれぞれ配置され、内部端子１２Ａ～１２Ｆと内部端子１２Ａ～１２Ｆとをそれぞれ電気的に接続されている。
【0032】
図１および図４に示すように、平面視において、第１弾性波フィルタ５１の直列腕共振子Ｓ１４は第２弾性波フィルタの直列腕共振子Ｓ２４と重なっている。第２弾性波フィルタ５２の直列腕共振子Ｓ２１は第１弾性波フィルタ５１の直列腕共振子Ｓ１１と重なっている。しかし、第１弾性波フィルタ５１の直列腕共振子Ｓ１４の発熱領域Ｒｈと、第２弾性波フィルタの直列腕共振子Ｓ２１の発熱領域Ｒｈとは重なっていない。なお、本実施形態では、直列腕共振子Ｓ１４および直列腕共振子Ｓ２１は、発熱領域Ｒｈ以外の領域においても、互いに重なっていない。互いの発熱領域Ｒｈをより遠ざけるという観点では、このように、直列腕共振子Ｓ１４の全体と、直列腕共振子Ｓ２１の全体とが平面視において互いに重ならないように配置してもよい。
【0033】
弾性波装置１０１は、例えば、周波数分割複信（Frequency Division Duplex、ＦＤＤと略される。）方式の通信に用いられるデュプレクサである。上述したように第１弾性波フィルタ５１は送信用フィルタであり、第２弾性波フィルタ５２は受信用フィルタである。
【0034】
通信時には、第１弾性波フィルタ５１および第２弾性波フィルタ５２が同時に使用され、第１弾性波フィルタ５１および第２弾性波フィルタ５２に同時に信号が印加される。ここで、「同時」とは、例えば、通信方式上、受信と送信とを同時に行い得ることを意味し、常に送信と受信とが同時に行われている場合に限られない。例えば、ＦＤＤ方式で二者が通信を行っている場合、双方が同時に発話をし、かつ、相手の音声を聞き取る時間がある。また、一方が発話をし、他方が発話をせずに相手の音声を聞き取っている時間もあり得る。また、キャリアアグリゲーションなどによって、帯域の異なる複数のバンドを用いて通信を行う通信方式における、複数のバンドの使用状態を「同時」という。
【0035】
第１弾性波フィルタ５１および第２弾性波フィルタ５２に信号が印加されると、第１共振子１１および第２共振子２１の発熱領域Ｒｈにおいて、熱が発生する。第１弾性波フィルタ５１において、信号は、外部端子１３Ｃから内部端子１２Ｃを介して直列腕共振子Ｓ１４、Ｓ１３、Ｓ１２、Ｓ１１に順に入力され、内部端子１２Ｄを介して外部端子１３Ｄに接続されるアンテナから電磁波として放射される。この時、直列腕共振子Ｓ１４、Ｓ１３、Ｓ１２、Ｓ１１には、同程度の電流が流れるので、発熱領域Ｒｈの面積が最も小さい直列腕共振子Ｓ１４において、発熱領域Ｒｈにおける単位面積あたりの発熱量が最も多くなる。その結果、図２においてハッチングで示す直列腕共振子Ｓ１４（本実施形態における第１発熱共振子、）の発熱領域Ｒｈが最も高い温度になる。
【0036】
同様に、第２弾性波フィルタ５２において、信号は、アンテナに接続される外部端子１３Ｄから内部端子２２Ｄを介して直列腕共振子Ｓ２１、Ｓ２２、Ｓ２３、Ｓ２４に順に入力され、内部端子２２Ｆを介して外部端子１３Ｆに接続される受信回路に入力される。この時、直列腕共振子Ｓ２１、Ｓ２２、Ｓ２３、Ｓ２４には、同程度の電流が流れるので、発熱領域Ｒｈの面積が最も小さい直列腕共振子Ｓ２１において、発熱領域Ｒｈにおける単位面積あたりの発熱量が最も多くなる。その結果、図３においてハッチングで示す直列腕共振子Ｓ２１（本実施形態における第２発熱共振子、）の発熱領域Ｒｈが最も高い温度になる。
【0037】
しかし、信号印加時にそれぞれ最も高温になる直列腕共振子Ｓ１４の発熱領域Ｒｈと直列腕共振子Ｓ２１の発熱領域Ｒｈとは、平面視において重なっていない。つまり、直列腕共振子Ｓ１４の発熱領域Ｒｈの一部または全部と直列腕共振子Ｓ２１の発熱領域Ｒｈの一部または全部とが、間隙ｄで近接することがない。このため、狭い領域で発熱源が近接して熱がこもり、直列腕共振子Ｓ１４および直列腕共振子Ｓ２１がより高温となることが抑制される。
【0038】
したがって、弾性波装置１０１によれば、第１弾性波フィルタ５１および第２弾性波フィルタ５２に同時に信号が印加される場合でも、それぞれの共振子による発熱が蓄積され、共振子のＩＤＴ電極を構成する金属のマイグレーションが発生したり、ＩＤＴ電極の熱による劣化などを信頼性特性が低下するのを抑制することができる。また、熱によるＩＤＴ電極の劣化が抑制できるため、弾性波装置１０１に、信頼性の低下を抑制しながら、大電力の信号を印加することができ、耐電力性を向上させることができる。
【0039】
なお、信号の印加時に第１弾性波フィルタ５１および第２弾性波フィルタ５２のどの共振子の発熱領域が最も高い温度となるかについては、例えば、信号を印加した状態で、第１弾性波フィルタおよび第２弾性波フィルタ５２のサーモグラフィーを取得し、得られた画像から各共振子の温度を推定することができる。あるいは、第１弾性波フィルタ５１および第２弾性波フィルタ５２の設計データから、シミュレーションによって発熱量を計算できる場合には、シミュレーションによって求めた値を用いてもよい。
【0040】
［第２実施形態］
本実施形態の弾性波装置を詳細に説明する。図７は、本実施形態の弾性波装置１０２の第１弾性波フィルタの平面構造を、上面側から見た模式的平面図であり、図８は、第２弾性波フィルタの平面構造を図１における上面側から見た模式的平面図である。図９は、弾性波装置１０２の平面構造を図１における上面側から見た模式的平面図であり、図１０は、弾性波装置１０２の等価回路図である。
本実施形態の弾性波装置を詳細に説明する。図７は、本実施形態の弾性波装置１０２の第１弾性波フィルタの平面構造を、上面側から見た模式的平面図であり、図８は、第２弾性波フィルタの平面構造を図１における上面側から見た模式的平面図である。図９は、弾性波装置１０２の平面構造を図１における上面側から見た模式的平面図であり、図１０は、弾性波装置１０２の等価回路図である。
【0041】
本実施形態の弾性波装置１０２は、第１弾性波フィルタ５１および第２弾性波フィルタ５２が、直列に分割された共振子を含んでいる点で、第１実施形態と異なる。直列に分割された共振子とは、複数の共振子が、間に他の共振子を有する信号経路への分岐点を含まずに直列に接続された共振子である。
【0042】
第１弾性波フィルタ５１の複数の第１共振子１１において、直列腕共振子Ｓ１２、Ｓ１３では、それぞれ、２つのＩＤＴ電極が直列に接続されている。また、並列腕共振子Ｐ１２では、３つのＩＤＴ電極が直列に接続されている。直列腕共振子Ｓ１２、Ｓ１３は、他の共振子を有する信号経路への分岐点を含んでいない。並列腕共振子Ｐ１２も、他の共振子を有する信号経路への分岐点を含んでいない。
【0043】
また、第２弾性波フィルタ５２において、直列腕共振子Ｓ２１、Ｓ２２、Ｓ２４では、それぞれ、３つのＩＤＴ電極が直列に接続され、直列腕共振子Ｓ２３では、２つのＩＤＴ電極が直列に接続されている。直列腕共振子Ｓ２１、Ｓ２２、Ｓ２４は、他の共振子を有する信号経路への分岐点を含んでいない。また、並列腕共振子Ｐ２２では、３つのＩＤＴ電極が直列に接続され、並列腕共振子Ｐ２３では、４つのＩＤＴ電極が直列に接続されている。並列腕共振子Ｐ２２およびＰ２３も、他の共振子を有する信号経路への分岐点を含んでいない。
【0044】
これらの共振子では、共振子が分割されていることによって、熱の集中が抑制されている。このため、弾性波装置１０２において、信号印加時に最も高温になるのは、直列に分割されていない共振子である。第１弾性波フィルタ５１では、直列に分割されていない直列腕共振子Ｓ１１、Ｓ１４および並列腕共振子Ｐ１１、Ｐ１３うち、並列腕共振子Ｐ１３の発熱領域Ｒｈが最も小さい面積を有しているため、複数の共振子のうち、図６においてハッチングで示す並列腕共振子Ｐ１３（本実施形態における第１発熱共振子）の発熱領域Ｒｈが最も高温になる。また、第２弾性波フィルタ５２では、図７においてハッチングで示す並列腕共振子Ｐ２１（本実施形態における第２発熱共振子）が直列に分割されておらず、並列腕共振子Ｐ２１の発熱領域は、最も小さい面積を有している。
【0045】
このため、弾性波装置１０２では、並列腕共振子Ｐ１３の発熱領域Ｒｈと並列腕共振子Ｐ２１の発熱領域Ｒｈとが平面視において、重ならないように配置されている。
【0046】
弾性波装置１０２によれば、第１共振子１１のうち、並列腕共振子Ｐ１３は、直列に分割されていない共振子のなかで、最も小さい発熱領域を有しており、弾性波装置１０２の使用中、第１共振子１１の中では最も高温になり得る。また、第２共振子のうち、並列腕共振子Ｐ２１は、直列に分割されていない共振子のなかで、最も小さい発熱領域を有しており、弾性波装置１０２の使用中、第２共振子２１の中では最も高温になり得る。第１の実施形態と同様、並列腕共振子Ｐ１３の発熱領域Ｒｈと並列腕共振子Ｐ２１の発熱領域Ｒｈが、平面視において、重なっていないことにより、それぞれの共振子による発熱が蓄積されるのが抑制される。よって、弾性波装置１０２は、優れた信頼性および耐電力性を備える。
【0047】
［第３実施形態］
本実施形態の弾性波装置を詳細に説明する。図１１は、本実施形態の弾性波装置１０３の第１弾性波フィルタの平面構造を、上面側から見た模式的平面図であり、図１２は、第２弾性波フィルタの平面構造を図１における上面側から見た模式的平面図である。図１３は、弾性波装置１０２の平面構造を図１における上面側から見た模式的平面図であり、図１４は、弾性波装置１０２の等価回路図である。
本実施形態の弾性波装置を詳細に説明する。図１１は、本実施形態の弾性波装置１０３の第１弾性波フィルタの平面構造を、上面側から見た模式的平面図であり、図１２は、第２弾性波フィルタの平面構造を図１における上面側から見た模式的平面図である。図１３は、弾性波装置１０２の平面構造を図１における上面側から見た模式的平面図であり、図１４は、弾性波装置１０２の等価回路図である。
【0048】
弾性波装置１０３は、例えば、キャリアアグリゲーションを用いた通信方式に用いられる受信用フィルタである。したがって、第１弾性波フィルタ５１および第２弾性波フィルタ５２は受信用フィルタである。
【0049】
本実施形態の弾性波装置１０３は、第１弾性波フィルタ５１の内部端子１２Ｄ（第１入力端子）に接続された直列腕共振子Ｓ１１の発熱領域Ｒｈと、第２弾性波フィルタ５２の内部端子２２Ｄ（第２入力端子）に接続された直列腕共振子Ｓ２１の発熱領域Ｒｈとが、平面視において重なっていない点で、第１実施形態と異なっている。
【0050】
内部端子１２Ｄと内部端子２２Ｄは第１実施形態で説明したようにビア導体１４によって互いに電気的に接続され、さらに外部端子１３Ｄに電気的に接続されている。このため、アンテナによって受信された電波による信号は、外部端子１３Ｄおよび内部端子１２Ｄを介して、第１弾性波フィルタ５１において、直列腕共振子Ｓ１１に最初に入力される。他の共振子を介さずに信号が入力されることによって、他の共振子における誘電体損失や機械損失が生じておらず、信号が減衰していない。このため、第１弾性波フィルタ５１の中では直列腕共振子Ｓ１１の発熱領域Ｒｈ（本実施形態における第１発熱共振子）が最も高い温度になり得る。
【0051】
同様に、アンテナによって受信された電波による信号は、外部端子１３Ｄおよび内部端子２２Ｄを介して、第２弾性波フィルタ５２において、直列腕共振子Ｓ２１に最初に入力される。他の共振子を介さずに信号が入力されることによって、他の共振子における誘電体損失や機械損失が生じておらず、信号が減衰していない。このため、第２弾性波フィルタ５２の中では直列腕共振子Ｓ２１（本実施形態における第２発熱共振子）の発熱領域ｒｈが最も高い温度になり得る。
【0052】
本実施形態の弾性波装置１０３では、第１弾性波フィルタ５１の直列腕共振子Ｓ１１の発熱領域Ｒｈと、第２弾性波フィルタ５２の直列腕共振子Ｓ２１の発熱領域Ｒｈとが、平面視において重なっていないないため、それぞれの共振子による発熱が蓄積されるのが抑制される。よって、弾性波装置１０３は、優れた信頼性および耐電力性を備える。
【0053】
なお、弾性波装置１０３は、キャリアアグリゲーションを用いた通信方式に用いられる送信用フィルタであってもよい。この場合、互いに電気的に接続されていない外部端子１３Ｃおよび外部端子１３Ｆにそれぞれ送信回路が接続され、第１弾性波フィルタ５１において、内部端子１２Ｃ（第１入力端子）から直列腕共振子Ｓ１４に最初に信号が入力され、第２弾性波フィルタ５２において、内部端子２２Ｆ（第２入力端子）から直列腕共振子Ｓ２４に最初に信号が入力される。これらの共振子の発熱領域が信号印加時にもっとも高温になる場合には、直列腕共振子Ｓ１４の発熱領域Ｒｈと直列腕共振子Ｓ２４の発熱領域とが平面視において重ならないように、直列腕共振子Ｓ１４および直列腕共振子Ｓ２４を配置すればよい。
【0054】
また、弾性波装置１０３は、第１実施形態で説明したようなデュプレクサまたはダイプレクサであってもよい。例えば、第１弾性波フィルタ５１が送信用フィルタであり、第２弾性波フィルタ５２が受信用フィルタであってもよい。この場合、直列腕共振子Ｓ１４は、第１弾性波フィルタ５１において、内部端子１２Ｃ（第１入力端子）から最初に信号が入力される共振子である。また直列腕共振子Ｓ２１は、第２弾性波フィルタ５２において、内部端子２２Ｄ（第２入力端子）から最初に信号が入力される共振子である。内部端子１２Ｃと、内部端子２２Ｄとは電気的に接続されていない。直列腕共振子Ｓ１４は、内部端子１２Ｃを介して外部端子１３Ｃに接続され、さらに、外部の送信回路に接続される。一方、直列腕共振子Ｓ２１は、内部端子２２Ｄを介して外部端子１３Ｄに接続され、アンテナに接続される。
【0055】
上述した理由から、直列腕共振子Ｓ１４（第１発熱共振子）の発熱領域Ｒｈと、直列腕共振子Ｓ２１（第２発熱共振子）の発熱領域Ｒｈとは、第１弾性波フィルタ５１および第２弾性波フィルタ５２において、最も高温になり得る。したがって、直列腕共振子Ｓ１４の発熱領域Ｒｈと、直列腕共振子Ｓ２１の発熱領域Ｒｈとが、平面視において重ならないように配置されていることによって、それぞれの共振子による発熱が蓄積されるのが抑制される。よって、弾性波装置１０３は、優れた信頼性および耐電力性を備えることができる。
【0056】
［第４実施形態］
本実施形態の弾性波装置を詳細に説明する。図１５は、本実施形態の弾性波装置１０４の第１弾性波フィルタ５１の平面構造を、上面側から見た模式的平面図であり、図１６は、第２弾性波フィルタ５２の平面構造を、上面側から見た模式的平面図である。図１７は、弾性波装置１０４の平面構造を上面側から見た模式的平面図である。
本実施形態の弾性波装置を詳細に説明する。図１５は、本実施形態の弾性波装置１０４の第１弾性波フィルタ５１の平面構造を、上面側から見た模式的平面図であり、図１６は、第２弾性波フィルタ５２の平面構造を、上面側から見た模式的平面図である。図１７は、弾性波装置１０４の平面構造を上面側から見た模式的平面図である。
【0057】
本実施形態の弾性波装置１０４は、第１弾性波フィルタ５１において、信号印加時に発熱領域Ｒｈが最も高温になる直列腕共振子Ｓ１１と、第２弾性波フィルタ５２において、信号印加時に発熱領域Ｒｈが最も高温になる直列腕共振子Ｓ２１とが、異なる外部端子に近接している点で、第３実施形態と異なっている。
【0058】
直列腕共振子Ｓ１１は、平面視において、外部端子１３Ａ～１３Ｆのなかで外部端子１３Ａに最も近接しており、直列腕共振子Ｓ２１は、平面視において、外部端子１３Ａ～１３Ｆのなかで外部端子１３Ｄに最も近接している。このため、直列腕共振子Ｓ１１で発生した熱は、第１圧電性基板１０およびビア導体１４を介して外部端子１３Ａから弾性波装置１０４が実装される外部の基板等へ放散する。一方、直列腕共振子Ｓ２１で発生した熱は、第１圧電性基板１０およびビア導体１４を介して外部端子１３Ｄから弾性波装置１０４が実装される外部の基板等へ放散する。このように、異なる外部端子に直列腕共振子Ｓ１１および直列腕共振子Ｓ２１で発生する熱を放散させてやることによって、より熱の蓄積を抑制することができる。
【0059】
［他の形態］
本開示の弾性波装置は上記実施形態に限られず、種々の改変が行われてもよい。例えば、上記第１から第４の実施形態は、適宜組み合わせることができる。
本開示の弾性波装置は上記実施形態に限られず、種々の改変が行われてもよい。例えば、上記第１から第４の実施形態は、適宜組み合わせることができる。
【0060】
また、本開示の弾性波装置では、第１弾性波フィルタにおいて信号印加時に最も高温となる共振子と、第２弾性波フィルタにおいて信号印加時に最も高温となる共振子とが、平面視において重なっていないことで、上記実施形態で説明したように信頼性の向上や耐電力性の向上を図ることができる。この条件を満たす限り、本開示の弾性波装置は、上記実施形態に限られない。
【0061】
また、信号印加時における、第１弾性波フィルタで最も高温となる共振子、および、第２弾性波フィルタで最も高温となる共振子は、それぞれ１つずつに限られない。例えば、信号印加時に、第１弾性波フィルタにおいて、最も高温となる共振子と次に高温となる共振子との温度差が小さい場合には、次に高温となる共振子も最も高温となる共振子に含めてもよい。つまり、この場合、最も高温となる共振子は２つである。例えば、最も高温となる共振子および次に高温となる共振子をＴ１およびＴ２とした場合、（Ｔ１－Ｔ２）／Ｔ１≦０．０５程度（温度差が５％程度以下）であれば、次に高温となる共振子も最も高温となる共振子として扱ってよい。この場合、平面視において、第１弾性波フィルタの最も高温となる共振子および次に高温となる共振子が、第２弾性波フィルタの最も高温となる共振子と重ならないように配置してもよい。
【0062】
本開示の弾性波装置は、以下のようにも説明することができる。
【0063】
第１の構成に係る弾性波装置は、第１圧電性基板と、第１圧電性基板に配置された複数の第１共振子とを有する第１弾性波フィルタと、第２圧電性基板と、第２圧電性基板に配置された複数の第２共振子とを有する第２弾性波フィルタと、を備え、複数の第１共振子と複数の第２共振子とが対向するように、第１圧電性基板と第２圧電性基板とが所定の距離を隔てて配置された弾性波装置であって、複数の第１共振子は、使用時に、第１弾性波フィルタ内において最も高い温度となる第１発熱共振子を含み、複数の第２共振子は、使用時に、第２弾性波フィルタ内において最も高い温度となる第２発熱共振子を含み、平面視において、第１発熱共振子と第２発熱共振子とは互いに重なっていない。
【0064】
第１の構成によれば、第１弾性波フィルタで発生する熱と第２弾性波フィルタで発生する熱との発生位置を遠ざけることによって、熱の蓄積を抑制できる。このため、弾性波装置の信頼性を高め、また、耐電力性を高めることができる。
【0065】
第２の構成に係る弾性波装置は、第１の構成において、第１発熱共振子の発熱領域は、複数の第１共振子のなかで、最も小さく、第２発熱共振子は、複数の第２共振子の発熱領域なかで、最も小さてもよい。面積が小さい共振子は、発熱しやすいため、この構成によって、弾性波装置の信頼性を高め、また、耐電力性を高めることができる。
【0066】
第３の構成に係る弾性波装置は、第１の構成において、第１発熱共振子の発熱領域は、複数の第１共振子の直列に分割されていない共振子のなかで、最も小さく、第２発熱共振子の発熱領域は、複数の第２共振子の直列に分割されていない共振子のなかで、最も小さくてもよい。直列に分割されていない共振子は、分割されている共振子に比べて発熱しやすいため、この構成によって、弾性波装置の信頼性を高め、また、耐電力性を高めることができる。
【0067】
第４の構成に係る弾性波装置は、第１の構成において、第１弾性波フィルタは、第１弾性波フィルタに信号が入力される第１入力端子を有し、第１発熱共振子は、複数の第１共振子のなかで、第１入力端子から最初に信号が入力され、第２弾性波フィルタは、第２弾性波フィルタに信号が入力される第２入力端子を有し、第２発熱共振子は、複数の第２共振子のなかで、第２入力端子から最初に信号が入力されてもよい。入力端子の初段に位置する共振子は発熱しやすいため、この構成によって、弾性波装置の信頼性を高め、また、耐電力性を高めることができる。
【0068】
第５の構成に係る弾性波装置は、第４の構成において、第１入力端子と第２入力端子とは電気的に接続されていてもよい。
【0069】
第６の構成に係る弾性波装置は、第４の構成において、第１入力端子と第２入力端子とは電気的に接続されていなくてもよい。
【0070】
第７の構成に係る弾性波装置は、第１～第６の構成のいずれか１つにおいて、複数の第１共振子は、ラダー回路を構成しており、第１発熱共振子は、ラダー回路の直列腕共振子であり、複数の第２共振子は、ラダー回路を構成しており、第２発熱共振子は、ラダー回路の直列腕共振子であってもよい。
【0071】
第８の構成に係る弾性波装置は、第１～第６の構成のいずれか１つにおいて、複数の第１共振子は、ラダー回路を構成しており、第１発熱共振子は、ラダー回路の並列腕共振子であり、複数の第２共振子は、ラダー回路を構成しており、第２発熱共振子は、ラダー回路の並列腕共振子であってもよい。
【0072】
第９の構成に係る弾性波装置は、第１～第８の構成のいずれか１つにおいて、第２圧電性基板は、第１主面と反対側に位置する第２主面と、第２主面に位置する複数の外部端子を有し、複数の端子は第１外部端子および第２外部端子を含み、第１発熱共振子は、複数の端子のうち、第１外部端子に最も近接しており、第２発熱共振子は、複数の端子のうち、第２外部端子に最も近接していてもよい。第１発熱共振子および第２発熱共振子が異なる外部端子に近接していることによって、それぞれ別の経路で熱を外部に放出されることができ、より熱の蓄積を抑制することができる。
【0073】
第１０の構成に係る弾性波装置は、第１～第９構成のいずれか１つにおいて、第１弾性波フィルタは、受信用フィルタおよび送信用フィルタからなる群から選ばれる一方であり、第２弾性波フィルタは、受信用フィルタおよび送信用フィルタからなる群から選ばれる他方であってもよい。
第１１の構成に係る弾性波装置は、第１圧電性基板と、第１圧電性基板に配置された複数の第１共振子とを有する第１弾性波フィルタと、第２圧電性基板と、第２圧電性基板に配置された複数の第２共振子とを有する第２弾性波フィルタと、を備え、複数の第１共振子と複数の第２共振子とが対向するように、第１圧電性基板と第２圧電性基板とが所定の距離を隔てて配置された弾性波装置であって、複数の第１共振子はそれぞれ発熱領域を有し、複数の第２共振子はそれぞれ発熱領域を有し、複数の第１共振子のうちの最も面積が小さい発熱領域と第２共振子のうちの最も面積が小さい発熱領域とは、平面視において重なっていない。
第１１の構成によれば、第１共振子および第２共振子のうちの最も面積が小さい発熱領域は、それぞれ単位面積あたりの発熱量が多くなり得るため、これら２つの発熱領域が平面視におて重ならないように、第１共振子および第２共振子を配置することによって、熱の蓄積を抑制できる。このため、弾性波装置の信頼性を高め、また、耐電力性を高めることができる。
第１２の構成に係る弾性波装置は、第１１の構成において、複数の第１共振子のうちの最も面積が小さい発熱領域および第２共振子のうちの最も面積が小さい発熱領域は、直列分割された共振子の発熱領域でなくてもよい。
第１３の構成に係る弾性波装置は、第１圧電性基板と、第１圧電性基板に配置された複数の第１共振子とを有する第１弾性波フィルタと、第２圧電性基板と、第２圧電性基板に配置された複数の第２共振子とを有する第２弾性波フィルタと、を備え、複数の第１共振子と複数の第２共振子とが対向するように、第１圧電性基板と第２圧電性基板とが所定の距離を隔てて配置された弾性波装置であって、第１弾性波フィルタは、第１弾性波フィルタに信号が入力される第１入力端子を有し、第２弾性波フィルタは、第２弾性波フィルタに信号が入力される第２入力端子を有し、複数の第１共振子のなかで、第１入力端子から最初に信号が入力される第１共振子の発熱領域と、複数の第２共振子のなかで、第２入力端子から最初に信号が入力される第２共振子の発熱領域とは、平面視において重なっていない。第１弾性波フィルタおよび第２弾性波フィルタにおいて、信号が最初に入力される共振子はより発熱しやすいため、この構成によって、熱の蓄積を抑制し、弾性波装置の信頼性を高め、また、耐電力性を高めることができる。
第１１の構成に係る弾性波装置は、第１圧電性基板と、第１圧電性基板に配置された複数の第１共振子とを有する第１弾性波フィルタと、第２圧電性基板と、第２圧電性基板に配置された複数の第２共振子とを有する第２弾性波フィルタと、を備え、複数の第１共振子と複数の第２共振子とが対向するように、第１圧電性基板と第２圧電性基板とが所定の距離を隔てて配置された弾性波装置であって、複数の第１共振子はそれぞれ発熱領域を有し、複数の第２共振子はそれぞれ発熱領域を有し、複数の第１共振子のうちの最も面積が小さい発熱領域と第２共振子のうちの最も面積が小さい発熱領域とは、平面視において重なっていない。
第１１の構成によれば、第１共振子および第２共振子のうちの最も面積が小さい発熱領域は、それぞれ単位面積あたりの発熱量が多くなり得るため、これら２つの発熱領域が平面視におて重ならないように、第１共振子および第２共振子を配置することによって、熱の蓄積を抑制できる。このため、弾性波装置の信頼性を高め、また、耐電力性を高めることができる。
第１２の構成に係る弾性波装置は、第１１の構成において、複数の第１共振子のうちの最も面積が小さい発熱領域および第２共振子のうちの最も面積が小さい発熱領域は、直列分割された共振子の発熱領域でなくてもよい。
第１３の構成に係る弾性波装置は、第１圧電性基板と、第１圧電性基板に配置された複数の第１共振子とを有する第１弾性波フィルタと、第２圧電性基板と、第２圧電性基板に配置された複数の第２共振子とを有する第２弾性波フィルタと、を備え、複数の第１共振子と複数の第２共振子とが対向するように、第１圧電性基板と第２圧電性基板とが所定の距離を隔てて配置された弾性波装置であって、第１弾性波フィルタは、第１弾性波フィルタに信号が入力される第１入力端子を有し、第２弾性波フィルタは、第２弾性波フィルタに信号が入力される第２入力端子を有し、複数の第１共振子のなかで、第１入力端子から最初に信号が入力される第１共振子の発熱領域と、複数の第２共振子のなかで、第２入力端子から最初に信号が入力される第２共振子の発熱領域とは、平面視において重なっていない。第１弾性波フィルタおよび第２弾性波フィルタにおいて、信号が最初に入力される共振子はより発熱しやすいため、この構成によって、熱の蓄積を抑制し、弾性波装置の信頼性を高め、また、耐電力性を高めることができる。
【符号の説明】
【0074】
１０…第１圧電性基板、１０ａ，２０ａ…第１主面、１０ｂ…第２主面、１１…第１共振子、１２…配線、１２Ａ～１２Ｆ，２２Ａ～２２Ｆ…内部端子、１３Ａ～１３Ｆ…外部端子、１４…ビア導体、２２…配線、３１…支持部材、３２…導体、５１…第１弾性波フィルタ、５２…第２弾性波フィルタ、１０１～１０４…弾性波装置、Ｐ１１～Ｐ１３，Ｐ２１～Ｐ２３…並列腕共振子、Ｓ１１～Ｓ１４，Ｓ２１～Ｓ２４…直列腕共振子、２０…第２圧電性基板、２１…第２共振子
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】