特開 2024-31281 基板作業装置、基板のバックアップ方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024031281

(43)【公開日】2024-03-07

(54)【発明の名称】基板作業装置、基板のバックアップ方法

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20240229BHJP

【ＦＩ】

H05K13/04 P

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022134736

(22)【出願日】2022-08-26

(71)【出願人】

【識別番号】000010076

【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001036

【氏名又は名称】弁理士法人暁合同特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】玉木 英一

【テーマコード（参考）】

5E353

【Ｆターム（参考）】

5E353CC21

5E353EE02

5E353GG31

5E353KK03

5E353KK11

5E353LL03

5E353MM04

5E353MM08

5E353PP02

5E353QQ30

(57)【要約】      （修正有）

【課題】バックアップピンによるバックアップ動作前に、基板とバックアップピンの相対的なズレを抑える。
【解決手段】基板作業装置であって、基板ＰＫを搬送する搬送装置２０と、前記基板ＰＫを、バックアップピンを用いて下方からバックアップするバックアップ装置と、前記基板ＰＫを、前記第１方向に直交する第２方向から挟むクランプ装置と、前記基板ＰＫに対して、所定の作業を行うヘッド部と、制御装置と、を備える。前記クランプ装置は、前記第２方向に開閉する一対のプレート４１Ａ、４１Ｂを有し、前記制御装置は、前記基板ＰＫが前記作業位置Ｋまで搬送された後、一対の前記プレート４１Ａ、４１Ｂにより前記第２方向の両側から前記基板ＰＫを挟むことで前記基板ＰＫの姿勢を矯正し、前記プレート４１Ａ、４１Ｂによる姿勢矯正後、前記バックアップピンを上昇させ、前記基板ＰＫを下方からバックアップする。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板作業装置であって、
基板を第１方向に送り、所定の作業位置まで搬送する搬送装置と、
前記搬送装置により前記作業位置に搬送された前記基板を、バックアップピンを用いて下方からバックアップするバックアップ装置と、
前記搬送装置により前記作業位置に搬送された前記基板を、前記第１方向に直交する第２方向から挟むクランプ装置と、
前記バックアップピンによりバックアップされた前記基板に対して、所定の作業を行うヘッド部と、
制御装置と、を備え、
前記クランプ装置は、前記第２方向に開閉する一対のプレートを有し、
前記制御装置は、
前記搬送装置により前記基板が前記作業位置まで搬送された後、一対の前記プレートにより前記第２方向の両側から前記基板を挟むことで前記基板の姿勢を矯正し、
前記プレートによる姿勢矯正後、前記バックアップピンを上昇させ、前記基板を下方からバックアップする、基板作業装置。

【請求項2】

請求項１に記載の基板作業装置であって、
前記基板を撮影する撮影装置を備え、
前記制御装置は、前記基板の姿勢矯正後、前記基板を前記第２方向の両側から挟む一対の前記プレートを開くと共に、前記撮影装置により前記基板を撮影し、
前記撮影装置により撮影した前記基板の画像から前記基板に存在する特徴点を認識し、
前記特徴点の認識結果より前記基板の停止位置の前記第１方向のズレ量を検出し、
前記第１方向のズレ量の検出後、前記搬送装置を駆動して前記基板の前記第１方向の位置を調整することにより、前記基板の停止位置の前記第１方向の位置のズレ量を補正する、基板作業装置。

【請求項3】

請求項２に記載の基板作業装置であって、
前記制御装置は、前記撮影装置により撮影した前記基板の画像から前記基板の対角に存在する２つの特徴点を認識し、
２つの前記特徴点の認識結果から前記基板の姿勢矯正後の回転方向のズレ量を検出し、
回転方向のズレ量が許容値を超えている場合、異常を報知する、基板作業装置。

【請求項4】

請求項１に記載の基板作業装置であって、
前記クランプ装置は、モータ駆動式であり、
前記制御装置は、前記基板の姿勢矯正のため一対の前記プレートを閉じる際に、モータの回転量制御により、一対の前記プレートの間隔を前記基板の前記第２方向の幅より広く調整する、基板作業装置。

【請求項5】

基板のバックアップ方法であって、
第１方向に送られる前記基板が作業位置まで搬送された後、一対のプレートにより第２方向の両側から前記基板を挟むことで、前記基板の姿勢を矯正し、
前記プレートによる姿勢矯正後、バックアップピンを上昇させ、前記基板を下方からバックアップする、基板のバックアップ方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書で開示される技術は、基板とバックアップピンの相対的なズレを抑える技術に関する。

【背景技術】

【0002】

表面実装機や印刷機等の基板作業装置は、部品の搭載作業や印刷作業を行う際に、基板が撓まないように、基板をバックアップピンで支えている。この種の技術を開示する文献として特許文献１がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許３９３４４４１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

バックアップピンは、部品の搭載位置を避けて配置する必要がある。搬送装置による搬送中に基板が傾く場合があるから、現状は、作業位置に搬入された基板の姿勢が傾いていても、バックアップピンが部品の搭載位置に重ならないように、バックアップピンの使用本数を減らし、バックアップピンの間隔を広くしている。

【0005】

本明細書で開示される技術は、バックアップピンによるバックアップ動作前に、基板の姿勢を矯正し傾きを抑えることで、部品の搭載位置に対するバックアップピンの距離を詰めることを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

（１）基板作業装置は、基板を第１方向に送り、所定の作業位置まで搬送する搬送装置と、前記搬送装置により前記作業位置に搬送された前記基板を、バックアップピンを用いて下方からバックアップするバックアップ装置と、前記搬送装置により前記作業位置に搬送された前記基板を、前記第１方向に直交する第２方向から挟むクランプ装置と、前記バックアップピンによりバックアップされた前記基板に対して、所定の作業を行うヘッド部と、制御装置と、を備える。

【0007】

前記クランプ装置は、前記第２方向に開閉する一対のプレートを有する。前記制御装置は、前記搬送装置により前記基板が前記作業位置まで搬送された後、一対の前記プレートにより前記第２方向の両側から前記基板を挟むことで前記基板の姿勢を矯正し、前記プレートによる姿勢矯正後、前記バックアップピンを上昇させ、前記基板を下方からバックアップする。

【0008】

この構成は、バックアップピンによる基板のバックアップ動作前に、基板の姿勢（傾き）を矯正することで、基板とバックアップピンの相対的なズレを抑えた状態で、基板をバックアップすることができる。

【0009】

この構成は、バックアップピンによる基板のバックアップ動作前に、基板の姿勢を矯正しない場合と比較して、部品の搭載位置に対するバックアップピンの距離を詰めることが出来る。そのため、バックアップピンの使用本数を増やし、ピンの間隔を狭くすることが可能となり、基板をバックアップピンにより安定的に支持することが出来る。

【0010】

基板作業装置は、以下の構成でもよい。
（２）前記基板を撮影する撮影装置を備えてもよい。前記制御装置は、前記基板の姿勢矯正後、前記基板を前記第２方向の両側から挟む一対の前記プレートを開くと共に、前記撮影装置により前記基板を撮影し、前記撮影装置により撮影した前記基板の画像から前記基板に存在する特徴点を認識し、前記特徴点の認識結果より前記基板の停止位置の前記第１方向のズレ量を検出し、前記第１方向のズレ量の検出後、前記搬送装置を駆動して前記基板の前記第１方向の位置を調整することにより、前記基板の停止位置の前記第１方向の位置のズレ量を補正してもよい。

【0011】

この構成は、基板の姿勢（傾き）に加え、基板の停止位置の第１方向の位置のズレを補正できる。そのため、基板とバックアップピンの相対的なズレを抑えることができ、部品の搭載位置に対するバックアップピンの距離をより一層詰めることが出来る。

【0012】

（３）前記制御装置は、前記撮影装置により撮影した前記基板の画像から前記基板の対角に存在する２つの特徴点を認識し、２つの前記特徴点の認識結果から前記基板の姿勢矯正後の回転方向のズレ量を検出し、回転方向のズレ量が許容値を超えている場合、異常を報知してもよい。

【0013】

この構成は、クランプ装置や基板固定の異常を、作業者に早期に知らせることが出来る。そのため、作業者がラインを止めるなど必要な措置を講じることで、不良基板の発生を抑制できる。

【0014】

（４）前記クランプ装置は、モータ駆動式でもよい。前記制御装置は、前記基板の姿勢矯正のため一対の前記プレートを閉じる際に、モータの回転量制御により、一対の前記プレートの間隔を前記基板の前記第２方向の幅より広く調整してもよい。

【0015】

この構成は、基板の姿勢矯正後、一対のプレートを開かず、閉じた状態でも、基板の第１方向の位置補正を行うことが可能となる。そのため、基板の搬入後、基板を固定するまで時間を短くすることが可能となる。

【発明の効果】

【0016】

本明細書で開示される技術によれば、バックアップピンによるバックアップ動作前に、基板の姿勢を矯正し傾きを抑えることで、部品の搭載位置に対するバックアップピンの距離を詰めることが出来る。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】基板作業装置のブロック図である。

【図2】搬送装置、バックアップ装置及びクランプ装置の平面図である。

【図3】搬送装置、バックアップ装置及びクランプ装置の側面図である。

【図4】部品の搭載位置とバックアップピンの関係を示す図である。

【図5】搬送中の基板の傾きを示す図である。

【図6】基板の姿勢矯正動作と位置補正動作の説明図である。

【図7】基板の姿勢矯正動作と位置補正動作の説明図である。

【図8】基板の搬入から作業実行までの一連の流れを示すフローチャートである。

【図9】バックアップ動作と基板のクランプ動作の説明図である。

【図10】印刷機の斜視図である。

【図11】基板の搬入から作業実行までの一連の流れを示すフローチャートである。

【図12】基板の回転方向のズレ量の算出方法の説明図である。

【図13】基板とクランプ装置の平面図である。

【図14】表面実装機の正面図（ヘッド部回りを示す）である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

＜実施形態１＞
１．基板作業装置１０の構成
図１は、基板作業装置１０のブロック図である。基板作業装置１０は、矩形の基板ＰＫに対して所定の作業を行う装置であり、例えば、基板ＰＫに印刷作業を行う印刷機や、部品の搭載作業を行う表面実装機等が含まれる。基板作業装置１は、搬送装置２０、バックアップ装置３０、クランプ装置４０、ヘッド部５０、撮影装置７０及び制御装置１００を備えている。

【0019】

搬送装置２０は、作業対象となる基板ＰＫをＸ方向（図２の左右方向）に送り、所定の作業位置Ｋまで搬送する装置である。尚、以下の説明において、Ｘ方向に直交する方向を、Ｙ方向（図２の上下方向）とする。Ｘ方向は本発明の「第１方向」に相当し、Ｙ方向は「第２方向」に相当する。

【0020】

搬送装置２０は、例えば、コンベアであり、図２に示すように、２本のコンベアベルト２２Ａ、２２Ｂを有している。２本のコンベアベルト２２Ａ、２２Ｂは、図３に示すように、２つのコンベア支持フレーム２１Ａ、２１Ｂに対して支持されており、２本のコンベアベルト２２Ａ、２２ＢがＸ方向に同期回転することで、コンベアベルト２２上の基板ＰＫをＸ方向に送り、所定の作業位置Ｋに搬入することが出来る。

【0021】

作業位置Ｋは、ヘッド部５０による所定の作業（基板に対する搭載作業や印刷作業）が実施される位置である。

【0022】

バックアップ装置３０は、図２に示すように、作業位置Ｋに配置されている。バックアップ装置３０は、図３に示すように、バップアッププレート３１と、バックアッププレート３１を上下方向に昇降させる昇降装置３５と、を備える。

【0023】

作業位置Ｋに搬入され停止した基板ＰＫを、バックアッププレート３１上に配置したバックアップピン３２により下方から支えることで、印刷作業や部品の搭載作業を行う際に、基板ＰＫの撓みを抑えることが出来る。

【0024】

クランプ装置４０は、第１プレート４１Ａ、第２プレート４１Ｂ及び駆動装置４５を有している。図２に示すように、第１プレート４１Ａ及び第２プレート４１Ｂは、Ｘ方向に長い形状であり、作業位置Ｋに配置されたバックアップ装置３０のＹ方向両側に位置している。

【0025】

第１プレート４１Ａ、第２プレート４１Ｂは、いずれも、コンベア支持フレーム２１Ａ、２１Ｂに支持されている。この実施形態では、第１プレート４１Ａはコンベア支持フレーム２１Ａに固定された位置不変の固定プレートである。一方、第２プレート４１Ｂはコンベア支持フレーム２１Ｂに対して、Ｙ方向への移動が可能な状態で取り付けられた移動プレートである。

【0026】

図３に示すように、第２プレート４１Ｂをクランプ解除位置Ｐ１からクランプ位置Ｐ２に移動してプレート４１Ａ、４１Ｂを閉じることで（間隔を狭くすることで）、一対のプレート４１Ａ、４１ＢによりＹ方向両側から基板ＰＫを挟むことが出来る。

【0027】

また、第２プレート４１Ｂをクランプ位置Ｐ２からクランプ解除位置Ｐ１に移動して、プレート４１Ａ、４１Ｂを開くことで（間隔を広くすることで）、一対のプレート４１Ａ、４１Ｂによる基板ＰＫの拘束を解くことが出来る。

【0028】

駆動装置４５は、第２プレート４１ＢをＹ方向に往復移動する装置である。駆動装置４５は、エアシリンダやモータを用いることが出来る。この実施形態では、エアシリンダを使用する。

【0029】

制御装置１００は、図１に示すように、ＣＰＵ１０１及び記憶部１０３を有している。制御装置１００には、搬送装置２０、バックアップ装置３０、クランプ装置４０、ヘッド部５０及び撮影装置７０がそれぞれ電気的に接続されている。

【0030】

制御装置１００は、基板ＰＫの搬送プロブラムや作業プロブラム（部品実装プログラムや印刷プログラム）など所定の動作プログラムに従って、各装置２０、３０、４０、５０７０を制御する。

【0031】

記憶部１０３は、ＲＯＭ（Read Only Memory）やＲＡＭ（Random Access Memory）等から構成されている。記憶部１０３には、上記した動作プログラムや動作プログラムの実行に必要な各種データが記憶されている。また、撮影装置７０は、作業対象となる基板ＰＫを撮影するカメラである。

【0032】

２．バックアップ動作前における基板の姿勢矯正
図４の（Ａ）～（Ｃ）は、基板ＰＫ上の部品の搭載位置Ｗとバックアップピン３２との位置関係を示す図である。図４の（Ａ）に示すように、バックアップピン３２は、部品の搭載位置Ｗに重ならないように部品の搭載位置Ｗを避けて、バップアッププレート３１上に配置する必要がある。

【0033】

搬送装置２０による搬送中、図５に示すように基板ＰＫが傾く場合がある。基板ＰＫの傾きを考慮しない場合、図４の（Ｂ）に示すように、部品の搭載位置Ｗにバックアップピン３２が重なる可能性がある。そのため、作業位置Ｋに搬入された基板ＰＫが傾いていても、部品の搭載位置Ｗにバックアップピン３２が重ならないように、従来は、図４の（Ｃ）に示すように、バックアップピン３２の使用本数を減らし、ピン３２の間隔を広くて、部品の搭載位置Ｗまでの距離を必要以上に確保している。

【0034】

基板ＰＫを安定的に保持するには、バックアップピン３２の間隔を狭くすることが望ましく、そのためには、バックアップピン３２によるバックアップ動作前の状態において、基板ＰＫの傾きを抑え、基板ＰＫとバックアップピン３２の相対的なズレを抑制する必要がある。

【0035】

上記課題に鑑み基板作業装置１０は、バックアップピン３２による基板ＰＫのバックアップ動作前に、以下の（Ａ）、（Ｂ）を行う。

【0036】

（Ａ）基板の姿勢矯正
（Ｂ）基板の第１方向の位置補正

【0037】

図６～図８を参照して具体的に説明すると、作業対象となる基板ＰＫは、図６（１）に示すように、搬送装置２０により、作業位置Ｋに搬入され停止する（図８のＳ１０）。尚、作業位置Ｋに対する基板ＰＸの停止は、コンベアベルト２２を駆動するコンベアモータ（図略）の回転量で制御してもよいし、物理的なストッパを設けてもよい。

【0038】

基板ＰＫが作業位置Ｋに停止すると、図６（２）に示すように、制御装置１００は、駆動装置４５を制御し、第２プレート４１Ｂをクランプ解除位置Ｐ１からクランプ位置Ｐ２に移動する（図８のＳ２０）。

【0039】

これにより、作業位置Ｋに停止する基板ＰＫは、一対のプレート４１Ａ、４１ＢによりＹ方向両側から挟み込まれる。作業位置Ｋに停止する基板ＰＫは、Ｙ方向両側から挟み込まれることで、Ｘ方向に沿った状態となり、姿勢（傾き）が矯正される（図８のＳ３０）。

【0040】

姿勢矯正後、図６（３）に示すように、制御装置１００は、駆動装置４５を制御し、第２プレート４１Ｂをクランプ位置Ｐ２からクランプ解除位置Ｐ１に戻す。第２プレート４１Ｂがクランプ解除位置Ｐ１に戻ることで、クランプ装置４０による拘束が解かれ、作業位置Ｋに停止する基板ＰＫは、搬送装置２０の駆動に伴い、Ｘ方向への移動が可能となる（図８のＳ４０）。

【0041】

その後、制御装置１００は、作業位置Ｋに停止する基板ＰＫの上方に撮影装置７０を移動し、基板ＰＫ上に存在するマーク等の特徴点Ｍを撮影装置７０により撮影する（図８のＳ５０）。

【0042】

基板撮影後、制御装置１００は、作業位置Ｋに停止する基板ＰＫの画像から、基板ＰＫ上に存在する特徴点Ｍの位置を認識する。そして、特徴点Ｍの位置の認識結果から、基板ＰＫの理想的な停止位置に対する姿勢矯正後の停止位置のＸ方向のズレ量を検出する。例えば、認識した特徴点Ｍの位置を理想的な特徴点Ｍの位置と比較して、特徴点ＭのＸ方向のズレ量を求めることで、停止位置のＸ方向のズレ量を検出することが出来る。

【0043】

制御装置１００は、基板ＰＫについて、停止位置のＸ方向のズレ量を検出すると、図６（４）に示すように、搬送装置２０を駆動し、基板ＰＫのＸ方向の位置を調整することにより、基板ＰＫの停止位置のＸ方向のズレ量を補正する（図８のＳ６０）。

【0044】

その後、制御装置１００は、図９（１）に示すように、昇降装置３５を制御してバックアッププレート３１を上昇させる（図８のＳ７０）。

【0045】

バックアッププレート３１の上昇により、基板ＰＫとバックアップピン３２の上下方向の距離は短くなって行き、やがて、基板ＰＫの下面にバックアップピン３２が当接する。

【0046】

その後も、バックアッププレート３１は上昇を続け、基板ＰＫはバックアップピン３２により持ち上げられる。

【0047】

そして、図９（２）に示すように、持ち上げられた基板ＰＫの上面がフラップ３７に突き当たると、バックアッププレート３１はその位置で上昇を停止する。以上により、基板ＰＫはバックアップピン３２によりバックアップされた状態となる。

【0048】

基板ＰＫのバックアップ動作後、制御装置１００は、駆動装置４５を制御し、図９（３）に示すように、第２プレート４１Ｂをクランプ解除位置Ｐ１からクランプ位置Ｐ２に移動させる（図８のＳ８０）。

【0049】

これにより、バックアップピン３２によりバックアップされた基板ＰＫは、一対のプレート４１Ａ、４１ＢによりＹ方向両側から挟みこまれる。

【0050】

以上により、基板ＰＫは、一対のプレート４１Ａ、４１Ｂにより、Ｙ方向の移動を規制された状態となり、固定される。

【0051】

その後、制御装置１００は、ヘッド部５０を制御して、作業位置Ｋに固定された基板ＰＫに対して所定の作業を行う。図９の（４）では、ヘッド部５０の一例として、基板ＰＫに対する印刷作業を実行するスキージヘッド５０Ａを例示している。

【0052】

尚、実施形態１の図３、図７、図９において、裏面に部品を搭載した裏面搭載済み基板を例に挙げているが、この技術は、裏面に部品を搭載していない基板にも適用することが出来る。

【0053】

図１０は印刷機１０Ａの斜視図であり、印刷機１０Ａを構成する構成部品のうち、ヘッド部、マスク、バックアップ装置等については省略し、搬送装置２０、クランプ装置４０、撮影装置７０のみ示している。

【0054】

この例では、スキージヘッドを駆動する駆動系とは別に、撮像装置７０を駆動する駆動系を有しており、スキージヘッドの動作に拘束されることなく、任意のタイミングで基板ＰＫの撮影を行うことが出来る構成となっている。

【0055】

４．効果
以上説明したように、バックアップピン３２によるバックアップ動作に先立って、基板ＰＫの姿勢矯正及びＸ方向の停止位置補正を行うことで、基板ＰＫとバックアップピン３２の相対的なズレを抑制した状態で、基板ＰＫのバックアップ動作を行うことが出来る。

【0056】

本構成では、図４の（Ｃ）に示すように、バックアップピン３２から部品の搭載位置Ｗまでの距離を必要以上に確保する必要がなくなり、部品の搭載位置Ｗに対するバックアップピン３２の距離を詰めることが出来る。従って、バックアップピン３２の使用本数を増やし、ピンの間隔を狭くすることが可能となり、基板ＰＫをバックアップピン３２により安定的に支持した状態で、基板ＰＫに対する印刷作業や部品の搭載作業を実施することが出来る。尚、基板の停止位置補正は任意の処理であり、省略することもできる。

【0057】

＜実施形態２＞
図１１は、基板の搬入から作業実行までの流れを示すフローチャートであり、実施形態１にて開示した図８のフローチャートに対して、Ｓ５５とＳ１００の２つのステップが追加されている点が相違している。

【0058】

Ｓ５５にて、制御装置１００は、撮影装置７０により撮影した基板ＰＫの画像から、基板ＰＫの姿勢矯正後の回転方向のズレ量を認識する。具体的には、図１２に示すように、基板ＰＫの画像から、基板ＰＫの対角に存在する２つの特徴点Ｍ１、Ｍ２を認識する。

【0059】

そして、２つの特徴点Ｍ１、Ｍ２を通る直線Ｖを算出し、更に、基準直線Ｖ０に対する直線Ｖの角度誤差Δθを回転方向のズレ量として算出する。基準直線Ｖ０は、回転方向のズレ量がゼロであるときの２点Ｍ１、Ｍ２を通る直線である。

【0060】

回転方向のズレ量（角度誤差Δθ）が許容値を超えている場合（Ｓ５５：ＮＯ）、制御装置１００は、異常を外部に報知する（Ｓ１００）。報知の態様は、例えば、基板作業装置１０に設置されている警告ランプの点灯や、ブザーを鳴らすことが考えられる。

【0061】

一方、回転方向のズレ量（角度誤差Δθ）が許容値未満の場合（Ｓ５５：ＹＥＳ）、実施形態１と同様に、制御装置１００は、搬送装置２０による基板ＰＫのＸ方向の停止位置補正、バックアップ装置３０による基板ＰＫのバックアップ、クランプ装置４０による基板クランプを実行した後、基板ＰＫに対して印刷作業や部品の実装作業を行う（Ｓ６０～Ｓ９０）。

【0062】

この構成では、クランプ装置４０や基板固定の異常の発生を、作業者に早期に知らせることが出来る。そのため、作業者がラインを止めるなど必要な措置を講じることで、不良基板の発生を抑制できる。

【0063】

＜実施形態３＞
実施形態１のクランプ装置４０はシリンダ駆動式であったが、実施形態３のクランプ装置４０はモータ駆動式である。モータ駆動式のクランプ装置４０は、モータの回転量制御により、一対のプレート４１Ａ、４１Ｂの間隔を微調整できるメリットがある。

【0064】

制御装置１００は、姿勢矯正のため一対のプレート４１Ａ、４１Ｂを閉じる際に、モータ４０Ａの回転量制御により、一対のプレート４１Ａ、４１Ｂの間隔Ｄ１を、基板ＰＫのＹ方向の幅Ｄ２よりも、広く調整する（図１３参照）。

【0065】

Ｄ１＞Ｄ２の関係により、プレート４１Ａ、４１Ｂを閉じた状態でも、基板ＰＫとプレート４１Ａ、４１Ｂとの間には隙間があり、基板ＰＫはＸ方向に移動することが出来る。

【0066】

以上のことから、基板ＰＫの姿勢矯正後、一対のプレート４１Ａ、４１Ｂを開かず、閉じた状態のままでも、基板ＰＫのＸ方向の位置補正を行うことが可能となり、実施形態１の図８のＳ４０を省略することが出来る。

【0067】

そのため、実施形態１と比較して、基板ＰＫの搬入後、基板ＰＫを固定するまで時間を短縮することが可能となる。

【0068】

＜他の実施形態＞
本明細書で開示される技術は上記既述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も技術的範囲に含まれる。

【0069】

上記した実施形態１～３では、基板作業装置１０の一例として、図１０を参照して、印刷機１０Ａを例示した。基板作業装置１０は、表面実装機１０Ｂでもよい。図１４は、表面実装機１０Ｂの正面図である。表面実装機１０Ｂのヘッド部５０Ｂは、部品を吸着するノズルシャフト５３を有しており、作業位置Ｋに固定された基板ＰＫに対して、ノズルシャフト５３を用いて、部品の搭載作業を行うことが出来る。また、ヘッド部５０Ｂには、撮影装置７０が搭載されており、ヘッド部５０Ｂを基板上方に移動することで、撮影装置７０による基板ＰＫの撮影が可能となっている。

【0070】

上記した実施形態１～３では、基板ＰＫ上に存在する特徴点Ｍの一例に、マークを示したが、特徴点Ｍはドットなどでもよい。

【0071】

上記した実施形態１～３では、クランプ装置４０の一対のプレート４１Ａ、４１Ｂのうち、第１プレート４１Ａを固定されたプレート、第２プレート４１ＢをＹ方向に移動可能なプレートとした。クランプ装置４０は、一対のプレート４１Ａ、４１Ｂによる開閉動作（Ｙ方向の間隔を狭くしたり、広げる動作）が可能性であればよく、例えば、第１プレート４１Ａ、第２プレート４１Ｂの双方とも、Ｙ方向に移動可能な構成としてもよい。

【符号の説明】

【0072】

１０ 基板作業装置
２０ 搬送装置
３０ バックアップ装置
３２ バックアップピン
４０ クランプ装置
４１Ａ、４１Ｂ プレート
５０ ヘッド部
７０ 撮影装置
１００ 制御装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】