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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024031454
(43)【公開日】2024-03-07
(54)【発明の名称】圧電素子
(51)【国際特許分類】
   H10N 30/063 20230101AFI20240229BHJP
   H10N 30/50 20230101ALI20240229BHJP
   H10N 30/20 20230101ALI20240229BHJP
   H10N 30/87 20230101ALI20240229BHJP
   H10N 30/067 20230101ALI20240229BHJP
   H02N 2/02 20060101ALI20240229BHJP
   H02N 2/10 20060101ALI20240229BHJP
   H04R 17/00 20060101ALI20240229BHJP
【FI】
H01L41/293
H01L41/083
H01L41/09
H01L41/047
H01L41/297
H02N2/02
H02N2/10
H04R17/00
【審査請求】未請求
【請求項の数】9
【出願形態】OL
(21)【出願番号】P 2022135008
(22)【出願日】2022-08-26
(71)【出願人】
【識別番号】000003067
【氏名又は名称】TDK株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100088155
【弁理士】
【氏名又は名称】長谷川 芳樹
(74)【代理人】
【識別番号】100113435
【弁理士】
【氏名又は名称】黒木 義樹
(74)【代理人】
【識別番号】100124062
【弁理士】
【氏名又は名称】三上 敬史
(72)【発明者】
【氏名】小野 習仁
(72)【発明者】
【氏名】佐々木 誠志
(72)【発明者】
【氏名】佐藤 靖行
(72)【発明者】
【氏名】小口 恵治
【テーマコード(参考)】
5D004
5H681
【Fターム(参考)】
5D004AA01
5D004CC03
5D004DD01
5H681AA06
5H681DD23
5H681DD37
5H681DD39
(57)【要約】
【課題】駆動特性を向上し得る圧電素子を提供する。
【解決手段】電極層10aは、圧電素体1内で物理的かつ電気的に互いに離間している電極11a1,11b1と、互いに連結されている電極12a1,12b1とを含む。電極層10a,10cの間で電極層10a,10cと隣り合う電極層10bは、圧電素体1内で物理的かつ電気的に互いに離間している電極11a2,11b2と、互いに連結されている電極12a2,12b2とを含む。電極層10b,10dの間で電極層10b,10dと隣り合う電極層10cは、圧電素体1内で物理的かつ電気的に互いに離間している電極11a3,11b3と、互いに連結されている電極12a3,12b3とを含む。電極層10dは、圧電素体1内で物理的かつ電気的に互いに離間している電極11a4,11b4と、互いに連結されている電極12a4,12b4とを含む。
【選択図】図2

【特許請求の範囲】
【請求項1】
圧電素体と、
前記圧電素体内に配置されている、第一電極層、第二電極層、第三電極層、及び第四電極層と、を備え、
前記第一電極層、前記第二電極層、前記第三電極層、及び前記第四電極層のそれぞれは、前記圧電素体内で物理的かつ電気的に互いに離間している一対の第一電極と、前記圧電素体内で物理的かつ電気的に互いに連結されている一対の第二電極と、を含み、
前記第一電極層に含まれる前記第一電極及び前記第二電極は、前記圧電素体の一部を介して、前記第二電極層に含まれる前記第二電極及び前記第一電極とそれぞれ対向し、
前記第二電極層に含まれる前記第一電極及び前記第二電極は、前記圧電素体の一部を介して、前記第三電極層に含まれる前記第一電極及び前記第二電極とそれぞれ対向し、
前記第三電極層に含まれる前記第一電極及び前記第二電極は、前記圧電素体の一部を介して、前記第四電極層に含まれる前記第二電極及び前記第一電極とそれぞれ対向する、圧電素子。
【請求項2】
前記圧電素体は、第一方向で互いに対向する第一主面及び第二主面と、第二方向で互いに対向する第一側面及び第二側面と、第三方向で互いに対向する第一端面及び第二端面と、を含み、
前記第一電極層、前記第二電極層、前記第三電極層、及び前記第四電極層のそれぞれは、前記第一側面に露出している複数の第一接続導体と、前記第二側面に露出している複数の第二接続導体と、を含み、
前記複数の第一接続導体のそれぞれは、前記第三方向において、互いに異なる位置で前記第一側面に露出し、
前記複数の第二接続導体のそれぞれは、前記第三方向において、互いに異なる位置で前記第二側面に露出し、
前記第一電極層、前記第二電極層、前記第三電極層、及び前記第四電極層のそれぞれにおいて、前記一対の第一電極の一方と前記一対の第二電極の一方とのそれぞれは、前記第一側面と隣り合うと共に、前記複数の第一接続導体のうち対応する第一接続導体と物理的かつ電気的に連結され、
前記第一電極層、前記第二電極層、前記第三電極層、及び前記第四電極層のそれぞれにおいて、前記一対の第一電極の他方と前記一対の第二電極の他方とのそれぞれは、前記第二側面と隣り合うと共に、前記複数の第二接続導体のうち対応する第二接続導体と物理的かつ電気的に連結されている、請求項1に記載の圧電素子。
【請求項3】
前記第一電極層及び前記第三電極層における、前記一対の第二電極の前記一方に連結されている前記第一接続導体と、前記一対の第二電極の前記他方に連結されている前記第二接続導体との第一最短距離は、前記第二電極層及び前記第四電極層における、前記一対の第二電極の前記一方に連結されている前記第二接続導体と、前記一対の第二電極の前記他方に連結されている前記第一接続導体との第二最短距離と異なる、請求項2に記載の圧電素子。
【請求項4】
前記第一最短距離は、前記第二最短距離より小さい、請求項3に記載の圧電素子。
【請求項5】
前記第一側面に配置されている第一外部電極、第二外部電極、第三外部電極、及び第四外部電極と、
前記第二側面に配置されている第五外部電極、第六外部電極、第七外部電極、及び第八外部電極と、を更に備え、
前記第一外部電極は、前記第二電極層に含まれる、前記一対の第一電極の前記一方に連結されている前記第一接続導体と、前記第四電極層に含まれる、前記一対の第二電極の前記一方に連結されている前記第一接続導体と、に接続され、
前記第二外部電極は、前記第一電極層に含まれる、前記一対の第二電極の前記一方に連結されている前記第一接続導体と、前記第三電極層に含まれる、前記一対の第一電極の前記一方に連結されている前記第一接続導体と、に接続され、
前記第三外部電極は、前記第一電極層に含まれる、前記一対の第一電極の前記一方に連結されている前記第一接続導体と、前記第三電極層に含まれる、前記一対の第二電極の前記一方に連結されている前記第一接続導体と、に接続され、
前記第四外部電極は、前記第二電極層に含まれる、前記一対の第二電極の前記一方に連結されている前記第一接続導体と、前記第四電極層に含まれる、前記一対の第一電極の前記一方に連結されている前記第一接続導体と、に接続され、
前記第五外部電極は、前記第二電極層に含まれる、前記一対の第二電極の前記他方に連結されている前記第二接続導体と、前記第四電極層に含まれる、前記一対の第一電極の前記他方に連結されている前記第二接続導体と、に接続され、
前記第六外部電極は、前記第一電極層に含まれる、前記一対の第一電極の前記他方に連結されている前記第二接続導体と、前記第三電極層に含まれる、前記一対の第二電極の前記他方に連結されている前記第二接続導体と、に接続され、
前記第七外部電極は、前記第一電極層に含まれる、前記一対の第二電極の前記他方に連結されている前記第二接続導体と、前記第三電極層に含まれる、前記一対の第一電極の前記他方に連結されている前記第二接続導体と、に接続され、
前記第八外部電極は、前記第二電極層に含まれる、前記一対の第一電極の前記他方に連結されている前記第二接続導体と、前記第四電極層に含まれる、前記一対の第二電極の前記他方に連結されている前記第二接続導体と、に接続されている、請求項2~4のいずれか一項に記載の圧電素子。
【請求項6】
前記第一外部電極、前記第二外部電極、前記第三外部電極、及び前記第四外部電極は、前記第三方向のうち、前記第一端面から前記第二端面に向かう方向において、前記第一外部電極、前記第二外部電極、前記第三外部電極、及び前記第四外部電極の順に位置し、
前記第五外部電極、前記第六外部電極、前記第七外部電極、及び前記第八外部電極は、前記第一端面から前記第二端面に向かう前記方向において、前記第五外部電極、前記第六外部電極、前記第七外部電極、及び前記第八外部電極の順に位置する、請求項5に記載の圧電素子。
【請求項7】
前記第二電極層及び前記第二電極層では、前記一対の第二電極の前記一方と、前記一対の第一電極の前記他方とが、前記第一端面と隣り合うと共に、前記一対の第一電極の前記一方と、前記一対の第二電極の前記他方とが、前記第二端面と隣り合い、
前記第一電極層及び前記第四電極層では、前記一対の第一電極の前記他方と、前記一対の第二電極の前記一方とが、前記第一端面と隣り合うと共に、前記一対の第二電極の前記他方と、前記一対の第一電極の前記一方とが、前記第二端面と隣り合う、請求項5に記載の圧電素子。
【請求項8】
前記第一電極は、前記第三方向で互いに対向する一対の第一端縁を含み、
前記第二電極は、前記第三方向で互いに対向する一対の第二端縁を含み、
前記第一接続導体は、前記第三方向で互いに対向する一対の第三端縁を含み、
前記第二接続導体は、前記第三方向で互いに対向する一対の第四端縁を含み、
互いに連結される前記第一電極と前記第一接続導体とでは、前記一対の第一端縁の前記第三方向での位置と、前記一対の第三端縁の前記第三方向での位置とが異なり、
互いに連結される前記第二電極と前記第一接続導体とでは、前記一対の第二端縁の前記第三方向での位置と、前記一対の第三端縁の前記第三方向での位置とが異なり、
互いに連結される前記第一電極と前記第二接続導体とでは、前記一対の第一端縁の前記第三方向での位置と、前記一対の第四端縁の前記第三方向での位置とが異なり、
互いに連結される前記第二電極と前記第二接続導体とでは、前記一対の第二端縁の前記第三方向での位置と、前記一対の第四端縁の前記第三方向での位置とが異なる、請求項5に記載の圧電素子。
【請求項9】
それぞれが前記第一電極層、前記第二電極層、前記第三電極層、及び前記第四電極層を含む複数の電極層群を有し、
前記複数の電極層群のうち一方に含まれる前記第四電極層と、前記複数の電極層群のうち他方に含まれる前記第一電極層とは、互いに隣り合う、請求項1に記載の圧電素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、圧電素子に関する。
【背景技術】
【0002】
知られている圧電素子は、圧電素体と、圧電素体内に配置されている複数の電極層とを備えている(たとえば、特許文献1参照)。複数の電極層は、たとえば、互いに隣り合う一対の電極層を含む。一対の電極層のうち一方は、複数の電極を含み、一対の電極層のうち他方は、上記複数の電極と対向する一の電極を含んでいる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特許第4069161号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
圧電素子は、複数の電極層において、一対の電極層に電圧を印加することによって、駆動される。圧電素子では、駆動特性の向上が望まれている。
本発明の一つの態様は、駆動特性を向上し得る圧電素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の一つの態様に係る圧電素子は、圧電素体と、圧電素体内に配置されている、第一電極層、第二電極層、第三電極層、及び第四電極層と、を備えている。第一電極層、第二電極層、第三電極層、及び第四電極層のそれぞれは、圧電素体内で物理的かつ電気的に互いに離間している一対の第一電極と、圧電素体内で物理的かつ電気的に互いに連結されている一対の第二電極と、を含んでいる。第一電極層に含まれる第一電極及び第二電極は、圧電素体の一部を介して、第二電極層に含まれる第二電極及び第一電極とそれぞれ対向している。第二電極層に含まれる第一電極及び第二電極は、圧電素体の一部を介して、第三電極層に含まれる第一電極及び第二電極とそれぞれ対向している。第三電極層に含まれる第一電極及び第二電極は、圧電素体の一部を介して、第四電極層に含まれる第二電極及び第一電極とそれぞれ対向する。
【0006】
上記一つの態様では、第一電極層、第二電極層、第三電極層、及び第四電極層のそれぞれは、一対の第一電極と一対の第二電極と、を含んでいる。したがって、一対の電極層のうち一方が複数の電極を含むと共に、一対の電極層のうち他方が複数の電極と対向する一の電極を含む構成に比べて、上記一つの態様では、各電極層に印加する電位の大きさの自由度が増大する。この結果、上記一つの態様は、圧電素子の駆動特性を向上し得る。
【0007】
上記一つの態様では、圧電素体は、第一方向で互いに対向する第一主面及び第二主面と、第二方向で互いに対向する第一側面及び第二側面と、第三方向で互いに対向する第一端面及び第二端面と、を含んでいてもよい。第一電極層、第二電極層、第三電極層、及び第四電極層のそれぞれは、第一側面に露出している複数の第一接続導体と、第二側面に露出している複数の第二接続導体と、を含んでいてもよい。複数の第一接続導体のそれぞれは、第三方向において、互いに異なる位置で第一側面に露出してもよい。複数の第二接続導体のそれぞれは、第三方向において、互いに異なる位置で第二側面に露出してもよい。第一電極層、第二電極層、第三電極層、及び第四電極層のそれぞれにおいて、一対の第一電極の一方と一対の第二電極の一方とのそれぞれは、第一側面と隣り合うと共に、複数の第一接続導体のうち対応する第一接続導体と物理的かつ電気的に連結されてもよい。第一電極層、第二電極層、第三電極層、及び第四電極層のそれぞれにおいて、一対の第一電極の他方と一対の第二電極の他方とのそれぞれは、第二側面と隣り合うと共に、複数の第二接続導体のうち対応する第二接続導体と物理的かつ電気的に連結されていてもよい。
第一電極層、第二電極層、第三電極層、及び第四電極層のそれぞれが、上述した複数の第一接続導体及び複数の第二接続導体を含む構成では、各電極層に印加する電位の大きさの自由度が一層増大する。この結果、本構成は、圧電素子の駆動特性を確実に向上し得る。
【0008】
上記一つの態様では、第一電極層及び第三電極層における、一対の第二電極の一方に連結されている第一接続導体と、一対の第二電極の他方に連結されている第二接続導体との第一最短距離は、第二電極層及び第四電極層における、一対の第二電極の一方に連結されている第二接続導体と、一対の第二電極の他方に連結されている第一接続導体との第二最短距離と異なってもよい。
第一最短距離と第二最短距離とが互いに異なっている構成では、各電極層に印加する電位の大きさの自由度がより一層増大する。この結果、本構成は、圧電素子の駆動特性をより確実に向上し得る。
【0009】
上記一つの態様では、第一最短距離は、第二最短距離より小さくてもよい。
第一最短距離が第二最短距離より小さい構成では、各電極層に印加する電位の大きさの自由度が更により一層増大する。この結果、本構成は、圧電素子の駆動特性を更により確実に向上し得る。
【0010】
上記一つの態様は、第一側面に配置されている第一外部電極、第二外部電極、第三外部電極、及び第四外部電極と、第二側面に配置されている第五外部電極、第六外部電極、第七外部電極、及び第八外部電極と、を備えていてもよい。第一外部電極は、第二電極層に含まれる、一対の第一電極の一方に連結されている第一接続導体と、第四電極層に含まれる、一対の第二電極の一方に連結されている第一接続導体と、に接続されてもよい。第二外部電極は、第一電極層に含まれる、一対の第二電極の一方に連結されている第一接続導体と、第三電極層に含まれる、一対の第一電極の一方に連結されている第一接続導体と、に接続されていてもよい。第三外部電極は、第一電極層に含まれる、一対の第一電極の一方に連結されている第一接続導体と、第三電極層に含まれる、一対の第二電極の一方に連結されている第一接続導体と、に接続されていてもよい。第四外部電極は、第二電極層に含まれる、一対の第二電極の一方に連結されている第一接続導体と、第四電極層に含まれる、一対の第一電極の一方に連結されている第一接続導体と、に接続されていてもよい。第五外部電極は、第二電極層に含まれる、一対の第二電極の他方に連結されている第二接続導体と、第四電極層に含まれる、一対の第一電極の他方に連結されている第二接続導体と、に接続されていてもよい。第六外部電極は、第一電極層に含まれる、一対の第一電極の他方に連結されている第二接続導体と、第三電極層に含まれる、一対の第二電極の他方に連結されている第二接続導体と、に接続されていてもよい。第七外部電極は、第一電極層に含まれる、一対の第二電極の他方に連結されている第二接続導体と、第三電極層に含まれる、一対の第一電極の他方に連結されている第二接続導体と、に接続されていてもよい。第八外部電極は、第二電極層に含まれる、一対の第一電極の他方に連結されている第二接続導体と、第四電極層に含まれる、一対の第二電極の他方に連結されている第二接続導体と、に接続されていてもよい。
第一~第八外部電極を備え、かつ、第一~第四外部電極のそれぞれが対応する第一接続導体に接続されると共に第五~第八外部電極のそれぞれが対応する第二接続導体に接続される構成は、第一~第八外部電極を介して、各電極層に含まれる接続導体に電圧を印加し得る。
【0011】
上記一つの態様では、第一外部電極、第二外部電極、第三外部電極、及び第四外部電極は、第三方向のうち、第一端面から第二端面に向かう方向において、第一外部電極、第二外部電極、第三外部電極、及び第四外部電極の順に位置してもよい。第五外部電極、第六外部電極、第七外部電極、及び第八外部電極は、第一端面から第二端面に向かう方向において、第五外部電極、第六外部電極、第七外部電極、及び第八外部電極の順に位置してもよい。
第一~第八外部電極が上述した順に位置する構成は、当該第一~第八外部電極を介して各電極層に印加する電位の大きさを制御しやすい。
【0012】
上記一つの態様では、第二電極層及び第三電極層では、一対の第二電極の一方と、一対の第一電極の他方とが、第一端面と隣り合うと共に、一対の第一電極の一方と、一対の第二電極の他方とが、第二端面と隣り合ってもよい。第一電極層及び第四電極層では、一対の第一電極の他方と、一対の第二電極の一方とが、第一端面と隣り合うと共に、一対の第二電極の他方と、一対の第一電極の一方とが、第二端面と隣り合ってもよい。
第二電極層及び第三電極層にて、一方の第二電極と他方の第一電極とが第一端面と隣り合うと共に一方の第一電極と他方の第二電極とが第二端面と隣り合い、第一電極層及び第四電極層にて、他方の第一電極と一方の第二電極とが第一端面と隣り合うと共に他方の第二電極と一方の第一電極とが第二端面と隣り合う構成は、圧電素子の駆動特性を一層確実に向上し得る。
【0013】
上記一つの態様では、第一電極は、第三方向で互いに対向する一対の第一端縁を含んでいてもよい。第二電極は、第三方向で互いに対向する一対の第二端縁を含んでいてもよい。第一接続導体は、第三方向で互いに対向する一対の第三端縁を含んでいてもよい。第二接続導体は、第三方向で互いに対向する一対の第四端縁を含んでいてもよい。互いに連結される第一電極と第一接続導体とでは、一対の第一端縁の第三方向での位置と、一対の第三端縁の第三方向での位置とが異なってもよい。互いに連結される第二電極と第一接続導体とでは、一対の第二端縁の第三方向での位置と、一対の第三端縁の第三方向での位置とが異なってもよい。互いに連結される第一電極と第二接続導体とでは、一対の第一端縁の第三方向での位置と、一対の第四端縁の第三方向での位置とが異なってもよい。互いに連結される第二電極と第二接続導体とでは、一対の第二端縁の第三方向での位置と、一対の第四端縁の第三方向での位置とが異なってもよい。
互いに連結される第一電極と第一接続導体とで、一対の第一端縁の位置が一対の第三端縁の位置と第三方向で異なり、互いに連結される第二電極と第一接続導体とで、一対の第二端縁の位置が一対の第三端縁の位置と第三方向で異なり、互いに連結される第一電極と第二接続導体とで、一対の第一端縁の位置が一対の第四端縁の位置と第三方向で異なり、互いに連結される第二電極と第二接続導体とで、一対の第二端縁の位置が一対の第四端縁の位置と第三方向で異なる構成は、圧電素子の駆動特性をより一層確実に向上し得る。
【0014】
上記一つの態様は、それぞれが第一電極層、第二電極層、第三電極層、及び第四電極層を含む複数の電極層群を有してもよい。複数の電極層群のうち一方に含まれる第四電極層と、複数の電極層群のうち他方に含まれる第一電極層とは、互いに隣り合っていてもよい。
複数の電極層群のうち一方に含まれる第四電極層と、複数の電極層群のうち他方に含まれる第一電極層とが、互いに隣り合う構成は、圧電素子の駆動特性を更により一層確実に向上し得る。
【発明の効果】
【0015】
本発明の一つの態様は、駆動特性を向上し得る圧電素子を提供する。
【図面の簡単な説明】
【0016】
図1図1は、一実施形態に係る圧電素子を示す斜視図である。
図2図2は、本実施形態に係る圧電素子の断面構成を示す図である。
図3図3は、本実施形態に係る圧電素子の断面構成を示す図である。
図4図4は、電極層を示す図である。
図5図5は、電極層を示す図である。
図6図6は、電極層を示す図である。
図7図7は、電極層を示す図である。
図8図8は、配線部材を示す図である。
図9図9は、配線部材を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0017】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【0018】
図1図9を参照して、本実施形態に係る圧電素子を説明する。図1は、本実施形態に係る圧電素子を示す斜視図である。図2及び図3は、本実施形態に係る圧電素子の断面構成を示す図である。図4図7は、電極層を示す図である。図8及び図9は、配線部材を示す図である。図2図7では、各部を明確に示すため、ハッチングが省略されている。
【0019】
図1図3に示されるように、圧電素子PD1は、圧電素体1と、複数の電極層10と、複数の外部電極20と、を備えている。複数の電極層10は、圧電素体1内に配置されている。複数の外部電極20は、圧電素体1の外表面上に配置されている。各電極層10は、対応する外部電極20と電気的に接続されている。圧電素子PD1は、たとえば、圧電アクチュエータとして用いられる。圧電素子PD1は、たとえば、交流電圧の印加によって振動する。
【0020】
本実施形態では、圧電素体1は、直方体形状を呈している。圧電素体1は、第一方向D1で互いに対向する主面1a及び主面1bと、第二方向D2で互いに対向する側面1c及び側面1dと、第三方向D3で互いに対向する端面1e及び端面1fと、を含んでいる。第二方向D2は、第一方向D1に交差する。第三方向D3は、第一方向D1及び第二方向D2に交差する。本実施形態では、第一方向D1、第二方向D2、及び第三方向D3は、互いに直交している。主面1a,1b、側面1c,1d、及び端面1e,1fは、たとえば、矩形状を呈している。本明細書での「直方体形状」は、角部及び稜線部が面取りされている直方体の形状、及び、角部及び稜線部が丸められている直方体の形状を含む。本明細書での「矩形状」は、たとえば、各角が面取りされている形状、及び、各角が丸められている形状を含む。たとえば、主面1aが、第一主面を構成する場合、主面1bは、第二主面を構成する。たとえば、側面1cが、第一側面を構成する場合、側面1dは、第二側面を構成する。たとえば、端面1eが、第一端面を構成する場合、端面1fは、第二端面を構成する。
【0021】
主面1a,1bは、圧電素体1の第一方向D1での両端を規定している。側面1c,1dは、主面1a,1bと隣り合うと共に、圧電素体1の第二方向D2での両端を規定している。端面1e,1fは、主面1a,1b及び側面1c,1dと隣り合うと共に、圧電素体1の第三方向D3での両端を規定している。
【0022】
主面1a,1bは、側面1cと側面1dとを連結するように、第二方向D2に延在している。主面1a,1bは、端面1eと端面1fとを連結するように、第三方向D3に延在している。側面1c,1dは、主面1aと主面1bとを連結するように、第一方向D1に延在している。側面1c,1dは、端面1eと端面1fとを連結するように、第三方向D3に延在している。端面1e,1fは、主面1aと主面1bとを連結するように、第一方向D1に延在している。端面1e,1fは、側面1cと側面1dとを連結するように、第二方向D2に延在している。主面1a,1bと、側面1c,1dと、端面1e,1fとは、間接的に隣り合っていてもよい。この構成では、主面1a,1bと、側面1c,1dと、端面1e,1fとの間には、稜線部が位置する。
【0023】
圧電素体1の第一方向D1での長さは、たとえば、8mmである。圧電素体1の第二方向D2での長さは、たとえば、2mmである。圧電素体1の第三方向D3での長さは、たとえば、2mmである。圧電素体1では、たとえば、第三方向D3が長辺方向である。
【0024】
本実施形態では、圧電素体1は、たとえば、複数の圧電体層を含んでいる。圧電素体1は、たとえば、複数の圧電体層が積層されて形成されている。各圧電体層は、圧電素体1の一部を構成している。複数の圧電体層が積層される方向は、たとえば、第一方向D1である。各圧電体層は、圧電セラミック材料からなる。圧電セラミック材料としては、PZT[Pb(Zr、Ti)O]、PT(PbTiO)、PLZT[(Pb、La)(Zr、Ti)O]、又はチタン酸バリウム(BaTiO)を含んでいる。上述した圧電セラミック材料を含むセラミックグリーンシートの焼結体から構成される。複数の圧電体層は、実際には互いの境界が視認できない程度に一体化されている。
【0025】
本実施形態では、圧電素子PD1は、複数の電極層群EG1,EG2,EG3を有している。電極層群EG1と電極層群EG2とは、電極層10a、電極層10b、電極層10c、及び電極層10dをそれぞれ含んでいる。電極層群EG3は、電極層10aを含んでいる。圧電素子PD1は、それぞれ複数の電極層10a、電極層10b、電極層10c、及び電極層10dを有している。すなわち、圧電素子PD1は、複数の電極層10を有している。
電極層10a~10dそれぞれの第一方向D1での厚さは、たとえば、0.5~5μmである。
【0026】
電極層群EG1では、電極層10bは、電極層10aと電極層10cとの間に位置すると共に、電極層10a及び電極層10cと隣り合っている。電極層10cは、電極層10bと電極層10dとの間に位置すると共に、電極層10c及び電極層10dと隣り合っている。電極層10a及び電極層10bと、電極層10b及び電極層10cと、電極層10c及び電極層10dとは、それぞれ、互いに圧電体層を挟んでいる。電極層群EG1では、四つの電極層10a,10b,10c,10dが、電極層10a、電極層10b、電極層10c、電極層10dの順で、第一方向D1に並んでいる。
【0027】
電極層群EG2では、電極層10bは、電極層10aと電極層10cとの間に位置すると共に、電極層10a及び電極層10cと隣り合っている。電極層10cは、電極層10bと電極層10dとの間に位置すると共に、電極層10c及び電極層10dと隣り合っている。電極層10a及び電極層10bと、電極層10b及び電極層10cと、電極層10c及び電極層10dとは、それぞれ、互いに圧電体層を挟んでいる。電極層群EG2では、四つの電極層10a,10b,10c,10dが、電極層10a、電極層10b、電極層10c、電極層10dの順で、第一方向D1に並んでいる。
【0028】
電極層群EG1の電極層10dと、電極層群EG2の電極層10aとは、互いに隣り合っている。電極層群EG1の電極層10dと、電極層群EG2の電極層10aとは、互いに圧電体層を挟んでいる。電極層群EG2の電極層10dと、電極層群EG3の電極層10aとは、互いに隣り合っている。電極層群EG2の電極層10dと、電極層群EG3の電極層10aとは、互いに圧電体層を挟んでいる。本実施形態では、電極層10aが第一電極層を構成する場合、電極層10bが第二電極層を構成し、電極層10cが第三電極層を構成し、電極層10dが第四電極層を構成する。
【0029】
図2は、電極層10a~10dのそれぞれに含まれる複数の電極のうち、側面1d寄りに配置されて二つの電極の断面構成を示す図である。図3は、電極層10a~10dのそれぞれに含まれる複数の電極のうち、側面1c寄りの二つの電極の断面構成を示す図である。図4は、電極層10a及び電極層10bの構成を示す図である。図5は、電極層10b及び電極層10cの構成を示している。図6は、電極層10c及び電極層10dの構成を示している。図7は、電極層10d及び電極層10aの構成を示している。図4図7は、第一方向D1のうち、主面1aから主面1bに向かう方向から見た、各電極層10a~10dの構成を示している。図4図7では、説明のため、第一方向D1から見て、各電極層10a~10dを意図的に互いにずらして図示している。実際には、第一方向D1から見て、各電極層10a~10dの外縁は、互いに重なり合う部分を有している。
【0030】
図2図7に示されるように、電極層10a~10dのそれぞれは、圧電素体1内で物理的かつ電気的に互いに離間している一対の電極11a1,11b1,11a2,11b2,11a3,11b3,11a4,11b4を含んでいる。電極層10a~10dのそれぞれは、圧電素体1内で物理的かつ電気的に互いに連結されている一対の電極12a1,12b1,12a2,12b2,12a3,12b3,12a4,12b4を含んでいる。すなわち、電極層10aは、一対の電極11a1,11b1と、一対の電極12a1,12b1とを含んでいる。電極層10bは、一対の電極11a2,11b2と、一対の電極12a2,12b2とを含んでいる。電極層10cは、一対の電極11a3,11b3と、一対の電極12a3,12b3とを含んでいる。電極層10dは、一対の電極11a4,11b4と、一対の電極12a4,12b4とを含んでいる。たとえば、電極11a1,11b1,11a2,11b2,11a3,11b3,11a4,11b4が、第一電極を構成する場合、電極12a1,12b1,12a2,12b2,12a3,12b3,12a4,12b4は、第二電極を構成する。
【0031】
本実施形態では、第一方向D1から見て、圧電素体1は、矩形状を呈している。
図4及び図7に示されるように、第一方向D1から見て、電極層10a,10dの一対の電極11a1,11b1,11a4,11b4は、たとえば、圧電素体1の矩形状における一の対角に位置するように配置されている。一の対角は、第一方向D1から見て、側面1dと端面1eとが成す角部と、側面1cと端面1fとが成す角部とからなる。本実施形態では、電極11a1,11a4は、側面1dと端面1eとが成す角部に配置され、電極11b1,11b4は、側面1cと端面1fとが成す角部に配置される。
【0032】
電極層10a,10dの一対の電極12a1,12b1,12a4,12b4は、たとえば、圧電素体1の矩形状における他の対角に位置するように配置されている。他の対角は、第一方向D1から見て、側面1cと端面1eとが成す角部と、側面1dと端面1fとが成す角部とからなる。本実施形態では、電極12a1,12a4は、側面1cと端面1eとが成す角部に配置され、電極12b1,12b4は、側面1dと端面1fとが成す角部に配置される。
【0033】
電極層10aにおいて、一対の電極11a1,11b1の一方の電極11b1と、一対の電極12a1,12b1の一方の電極12a1とは、側面1cと隣り合っている。一対の電極11a1,11b1の他方の電極11a1と、一対の電極12a1,12b1の他方の電極12b1とは、側面1dと隣り合っている。電極12a1,12b1は、たとえば、接続部12p1によって、物理的かつ電気的に互いに連結されている。接続部12p1は、たとえば、上記他の対角の対角方向に延在している。電極層10aでは、たとえば、電極11a1が、一対の電極11a1,11b1の他方を構成する場合、電極11b1は、一対の電極11a1,11b1の一方を構成する。たとえば、電極12a1が、一対の電極12a1,12b1の一方を構成する場合、電極12b1は、一対の電極12a1,12b1の他方を構成する。
【0034】
電極層10dにおいて、一対の電極11a4,11b4の一方の電極11b4と、一対の電極12a4,12b4の一方の電極12a4とは、側面1cと隣り合っている。一対の電極11a4,11b4の他方の電極11a4と、一対の電極12a4,12b4の他方の電極12b4とは、側面1dと隣り合っている。電極12a4,12b4は、たとえば、接続部12p4によって、物理的かつ電気的に互いに連結されている。接続部12p4は、たとえば、上記他の対角の対角方向に延在している。電極層10dでは、たとえば、電極11a4が、一対の電極11a4,11b4の他方を構成する場合、電極11b4は、一対の電極11a4,11b4の一方を構成する。たとえば、電極12a4が、一対の電極12a4,12b4の一方を構成する場合、電極12b4は、一対の電極12a4,12b4の他方を構成する。
【0035】
図5及び図6に示されるように、電極層10b,10cの一対の電極11a2,11b2,11a3,11b3は、たとえば、上記他の対角に位置するように配置されている。本実施形態では、電極11a2,11a3は、側面1cと端面1eとが成す角部に配置され、電極11b2,11b3は、側面1dと端面1fとが成す角部に配置される。電極層10b,10cの一対の電極12a2,12b2,12a3,12b3は、たとえば、上記一の対角に位置するように配置されている。本実施形態では、電極12a2,12a3は、側面1dと端面1eとが成す角部に配置され、電極12b2,12b3は、側面1cと端面1fとが成す角部に配置される。
【0036】
電極層10bにおいて、一対の電極11a2,11b2の一方の電極11a2と、一対の電極12a2,12b2の一方の電極12b2とは、側面1cと隣り合っている。一対の電極11a2,11b2の他方の電極11b2と、一対の電極12a2,12b2の他方の電極12a2とは、側面1dと隣り合っている。電極12a2,12b2は、たとえば、接続部12p2によって、物理的かつ電気的に互いに連結されている。接続部12p2は、たとえば、上記一の対角の対角方向に延在している。電極層10bでは、たとえば、電極11a2が、一対の電極11a2,11b2の一方を構成する場合、電極11b2は、一対の電極11a2,11b2の他方を構成する。たとえば、電極12a2が、一対の電極12a2,12b2の他方を構成する場合、電極12b2は、一対の電極12a2,12b2の一方を構成する。
【0037】
電極層10cにおいて、一対の電極11a3,11b3の一方の電極11a3と、一対の電極12a3,12b3の一方の電極12b3とは、側面1cと隣り合っている。一対の電極11a3,11b3の他方の電極11b3と、一対の電極12a3,12b3の他方の電極12a3とは、側面1dと隣り合っている。電極12a3,12b3は、たとえば、接続部12p3によって、物理的かつ電気的に互いに連結されている。接続部12p3は、たとえば、上記一の対角の対角方向に延在している。電極層10cでは、たとえば、電極11a3が、一対の電極11a3,11b3の一方を構成する場合、電極11b3は、一対の電極11a3,11b3の他方を構成する。たとえば、電極12a3が、一対の電極12a3,12b3の他方を構成する場合、電極12b3は、一対の電極12a3,12b3の一方を構成する。
【0038】
図2図7に示されるように、電極層10a~10dのそれぞれは、圧電素体1内で物理的かつ電気的に互いに離間している一対の電極11a1,11b1,11a2,11b2,11a3,11b3,11a4,11b4を含んでいる。電極層10a~10dのそれぞれは、圧電素体1内で物理的かつ電気的に互いに連結されている一対の電極12a1,12b1,12a2,12b2,12a3,12b3,12a4,12b4を含んでいる。すなわち、電極層10aは、一対の電極11a1,11b1と、一対の電極12a1,12b1とを含んでいる。電極層10bは、一対の電極11a2,11b2と、一対の電極12a2,12b2とを含んでいる。電極層10cは、一対の電極11a3,11b3と、一対の電極12a3,12b3とを含んでいる。電極層10dは、一対の電極11a4,11b4と、一対の電極12a4,12b4とを含んでいる。たとえば、電極11a1,11b1,11a2,11b2,11a3,11b3,11a4,11b4が、第一電極を構成する場合、電極12a1,12b1,12a2,12b2,12a3,12b3,12a4,12b4は、第二電極を構成する。
【0039】
図2図3、及び図4に示されるように、電極層10aに含まれる電極11a1,11b1及び電極12a1,12b1は、圧電素体1の一部を介して、電極層10bに含まれる電極12a2,12b2及び電極11a2,11b2とそれぞれ対向している。すなわち、電極層10aに含まれる電極11a1は、圧電体層を介して、電極層10bに含まれる電極12a2と対向している。電極層10aに含まれる電極11b1は、圧電体層を介して、電極層10bに含まれる電極12b2と対向している。電極層10aに含まれる電極12a1は、圧電体層を介して、電極層10bに含まれる電極11a2と対向している。電極層10aに含まれる電極12b1は、圧電体層を介して、電極層10bに含まれる電極11b2と対向している。複数の圧電体層のうち、電極層10aの電極11a1,11b1と、電極層10bの電極12a2,12b2とに挟まれた圧電体層、及び、電極層10aの電極12a1,12b1と、電極層10bの電極11a2,11b2とに挟まれた圧電体層が、電圧の印加によって、活性領域を構成する。
【0040】
図2図3、及び図5に示されるように、電極層10bに含まれる電極11a2,11b2及び電極12a2,12b2は、圧電素体1の一部を介して、電極層10cに含まれる電極11a3,11b3及び電極12a3,12b3とそれぞれ対向している。すなわち、電極層10bに含まれる電極11a2は、圧電体層を介して、電極層10cに含まれる電極11a3と対向している。電極層10bに含まれる電極11b2は、圧電体層を介して、電極層10cに含まれる電極11b3と対向している。電極層10bに含まれる電極12a2は、圧電体層を介して、電極層10cに含まれる電極12a3と対向している。電極層10bに含まれる電極12b2は、圧電体層を介して、電極層10cに含まれる電極12b3と対向している。複数の圧電体層のうち、電極層10bの電極11a2,11b2と、電極層10cの電極11a3,11b3とに挟まれた圧電体層、及び、電極層10bの電極12a2,12b2と、電極層10cの電極12a3,12b3とに挟まれた圧電体層が、電圧の印加によって、活性領域を構成する。
【0041】
図2図3、及び図6に示されるように、電極層10cに含まれる電極11a3,11b3及び電極12a3,12b3は、圧電素体1の一部を介して、電極層10dに含まれる電極12a4,12b4及び電極11a4,11b4とそれぞれ対向している。すなわち、電極層10cに含まれる電極11a3は、圧電体層を介して、電極層10dに含まれる電極12a4と対向している。電極層10cに含まれる電極11b3は、圧電体層を介して、電極層10dに含まれる電極12b4と対向している。電極層10cに含まれる電極12a3は、圧電体層を介して、電極層10dに含まれる電極11a4と対向している。電極層10cに含まれる電極12b3は、圧電体層を介して、電極層10dに含まれる電極11b4と対向している。複数の圧電体層のうち、電極層10cの電極11a3,11b3と、電極層10dの電極12a4,12b4とに挟まれた圧電体層、及び、電極層10cの電極12a3,12b3と、電極層10dの電極11a4,11b4とに挟まれた圧電体層が、電圧の印加によって、活性領域を構成する。
【0042】
図2図3、及び図7に示されるように、電極層10dに含まれる電極11a4,114b及び電極12a4,12b4は、圧電素体1の一部を介して、電極層10aに含まれる電極11a1,11b1及び電極12a1,12b1とそれぞれ対向している。すなわち、電極層10dに含まれる電極11a4は、圧電体層を介して、電極層10aに含まれる電極11a1と対向している。電極層10dに含まれる電極11b4は、圧電素体1の一部を介して、電極層10aに含まれる電極11b1と対向している。電極層10dに含まれる電極12a4は、圧電体層を介して、電極層10aに含まれる電極12a1と対向している。電極層10dに含まれる電極12b4は、圧電体層を介して、電極層10aに含まれる電極12b1と対向している。複数の圧電体層のうち、電極層10dの電極11a4,114bと、電極層10aの電極11a1,11b1とに挟まれた圧電体層、及び、電極層10dの電極12a4,12b4と、電極層10aの電極12a1,12b1とに挟まれた圧電体層が、電圧の印加によって、活性領域を構成する。
【0043】
図2及び図3に示されるように、電極層10aに含まれる電極11a1,11b1及び電極12a1,12b1は、圧電素体1の一部を介して、電極層10bに含まれる電極12a2,12b2及び電極11a2,11b2とそれぞれ対向している。電極層10bに含まれる電極11a2,11b2及び電極12a2,12b2は、圧電素体1の一部を介して、電極層10cに含まれる電極11a3,11b3及び電極12a3,12b3とそれぞれ対向している。電極層10cに含まれる電極11a3,11b3及び電極12a3,12b3は、圧電素体1の一部を介して、電極層10dに含まれる電極12a4,12b4及び電極11a4,11b4とそれぞれ対向している。電極層10dに含まれる電極11a4,11b4及び電極12a4,12b4は、圧電素体1の一部を介して、電極層10aに含まれる電極11a1,11b1及び電極12a1,12b1とそれぞれ対向している。
【0044】
図4に示されるように、電極層10aでは、一対の電極11a1,11b1の他方の電極11a1と、一対の12a1,12b1の一方の電極12a1とが、端面1eと隣り合っている。一対の電極12a1,12b1の他方の電極12b1と、一対の電極11a1,11b1の一方の電極11b1とが、端面1fと隣り合っている。
【0045】
電極11a1は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁11c1,11d1を含んでいる。端縁11c1は、たとえば、端縁11d1よりも端面1eに近い。電極11b1は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁11e1,11f1を含んでいる。端縁11e1は、たとえば、端縁11f1よりも端面1fに近い。電極12a1は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁12c1,12d1を含んでいる。端縁12c1は、たとえば、端縁12d1よりも端面1eに近い。電極12b1は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁12e1,12f1を含んでいる。端縁12e1は、たとえば、端縁12f1よりも端面1fに近い。たとえば、端縁11c1,11d1が、一対の第一端縁を構成する場合、端縁12c1,12d1は、一対の第二端縁を構成する。たとえば、端縁11e1,11f1が、一対の第一端縁を構成する場合、端縁12e1,12f1は、一対の第二端縁を構成する。
【0046】
図5に示されるように、電極層10bでは、一対の電極12a2,12b2の一方の電極12a2と、一対の電極11a2,11b2の他方の電極11a2とが、端面1eと隣り合っている。一対の電極11a2,11b2の一方の電極11b2と、一対の電極12a2,12b2の他方の電極12b2とが、端面1fと隣り合っている。
【0047】
電極11a2は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁11c2,11d2を含んでいる。端縁11c2は、たとえば、端縁11d2よりも端面1eに近い。電極11b2は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁11e2,11f2を含んでいる。端縁11e2は、たとえば、端縁11f2よりも端面1fに近い。電極12a2は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁12c2,12d2を含んでいる。端縁12c2は、たとえば、端縁12d2よりも端面1eに近い。電極12b2は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁12e2,12f2を含んでいる。端縁12e2は、たとえば、端縁12f2よりも端面1fに近い。たとえば、端縁11c2,11d2が、一対の第一端縁を構成する場合、端縁12c2,12d2は、一対の第二端縁を構成する。たとえば、端縁11e2,11f2が、一対の第一端縁を構成する場合、端縁12e2,12f2は、一対の第二端縁を構成する。
【0048】
図6に示されるように、電極層10cでは、一対の電極12a3,12b3の一方の電極12a3と、一対の電極11a3,11b3の他方の電極11a3とが、端面1eと隣り合っている。一対の電極11a3,11b3の一方の電極11b3と、一対の電極12a3,12b3の他方の電極12b3とが、端面1fと隣り合っている。
【0049】
電極11a3は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁11c3,11d3を含んでいる。端縁11c3は、たとえば、端縁11d3よりも端面1eに近い。電極11b3は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁11e3,11f3を含んでいる。端縁11e3は、たとえば、端縁11f3よりも端面1fに近い。電極12a3は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁12c3,12d3を含んでいる。端縁12c3は、たとえば、端縁12d3よりも端面1eに近い。電極12b3は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁12e3,12f3を含んでいる。端縁12e3は、たとえば、端縁12f3よりも端面1fに近い。たとえば、端縁11c3,11d3が、一対の第一端縁を構成する場合、端縁12c3,12d3は、一対の第二端縁を構成する。たとえば、端縁11e3,11f3が、一対の第一端縁を構成する場合、端縁12e3,12f3は、一対の第二端縁を構成する。
【0050】
図7に示されるように、電極層10dでは、一対の電極11a4,11b4の他方の電極11a4と、一対の12a4,12b4の一方の電極12a4とが、端面1eと隣り合っている。一対の電極12a4,12b4の他方の電極12b4と、一対の電極11a4,11b4の一方の電極11b4とが、端面1fと隣り合っている。
【0051】
電極11a4は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁11c4,11d4を含んでいる。端縁11c4は、たとえば、端縁11d4よりも端面1eに近い。電極11b4は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁11e4,11f4を含んでいる。端縁11e4は、たとえば、端縁11f4よりも端面1fに近い。電極12a4は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁12c4,12d4を含んでいる。端縁12c4は、たとえば、端縁12d4よりも端面1eに近い。電極12b4は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁12e4,12f4を含んでいる。端縁12e4は、たとえば、端縁12f4よりも端面1fに近い。たとえば、端縁11c4,11d4が、一対の第一端縁を構成する場合、端縁12c4,12d4は、一対の第二端縁を構成する。たとえば、端縁11e4,11f4が、一対の第一端縁を構成する場合、端縁12e4,12f4は、一対の第二端縁を構成する。
【0052】
図4図7に示されるように、電極層10a、電極層10b、電極層10c、及び電極層10dのそれぞれは、側面1cに露出している複数の接続導体16a1,16b1,16a2,16b2,16a3,16b3,16a4,16b4と、側面1dに露出している複数の接続導体17a1,17b1,17a2,17b2,17a3,17b3,17a4,17b4とを含んでいる。すなわち、電極層10aは、側面1cに露出している複数の接続導体16a1,16b1と、側面1dに露出している複数の接続導体17a1,17b1とを含んでいる。電極層10bは、側面1cに露出している複数の接続導体16a2,16b2と、側面1dに露出している複数の接続導体17a2,17b2とを含んでいる。電極層10cは、側面1cに露出している複数の接続導体16a3,16b3と、側面1dに露出している複数の接続導体17a3,17b3とを含んでいる。電極層10dは、側面1cに露出している複数の接続導体16a4,16b4と、側面1dに露出している複数の接続導体17a4,17b4とを含んでいる。たとえば、接続導体16a1,16b1,16a2,16b2,16a3,16b3,16a4,16b4が、第一接続導体を構成する場合、接続導体17a1,17b1,17a2,17b2,17a3,17b3,17a4,17b4は、第二接続導体を構成する。
【0053】
複数の接続導体16a1,16b1,16a2,16b2,16a3,16b3,16a4,16b4のそれぞれは、第三方向D3において、たとえば、互いに異なる位置で側面1cに露出している。複数の接続導体17a1,17b1,17a2,17b2,17a3,17b3,17a4,17b4のそれぞれは、第三方向D3において、互いに異なる位置で側面1dに露出している。
【0054】
図4に示されるように、電極層10aでは、接続導体16a1は、電極12a1に配置される。接続導体16a1と電極12a1とは、物理的かつ電気的に連結される。接続導体16b1は、電極11b1に配置される。接続導体16b1と電極11b1とは、物理的かつ電気的に連結される。接続導体17a1は、電極11a1に配置される。接続導体17a1と電極11a1とは、物理的かつ電気的に連結される。接続導体17b1は、電極12b1に配置される。接続導体17b1と電極12b1とは、物理的かつ電気的に連結される。
【0055】
接続導体16a1は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁16c1,16d1を含んでいる。端縁16c1は、たとえば、端縁16d1よりも端面1eに近い。接続導体16b1は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁16e1,16f1を含んでいる。端縁16e1は、たとえば、端縁16f1よりも端面1fに近い。接続導体17a1は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁17c1,17d1を含んでいる。端縁17c1は、たとえば、端縁17d1よりも端面1eに近い。接続導体17b1は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁17e1,17f1を含んでいる。端縁17e1は、たとえば、端縁17f1よりも端面1fに近い。たとえば、端縁16c1,16d1が、一対の第三端縁を構成する場合、端縁17c1,17d1は、一対の第四端縁を構成する。たとえば、端縁16e1,16f1が、一対の第三端縁を構成する場合、端縁17e1,17f1は、一対の第四端縁を構成する。
【0056】
互いに連結される電極11b1と接続導体16b1とでは、一対の端縁11e1,11f1の第三方向D3での位置と、一対の端縁16e1,16f1の第三方向D3での位置とが異なっている。すなわち、端縁11e1の第三方向D3での位置と、端縁16e1の第三方向D3での位置とが異なっている。端縁11f1の第三方向D3での位置と、端縁16f1の第三方向D3での位置が異なっている。したがって、端縁16e1は、端縁11e1から離間しており、端縁16f1は、端縁11f1から離間している。
【0057】
本実施形態では、第三方向D3での端縁11e1と端縁11f1との距離に対する、第三方向D3での端縁11f1と端縁16f1との距離の割合は、たとえば、0~0.5倍である。第三方向D3での端縁11e1と端縁11f1との距離に対する、第三方向D3での端縁16e1と端縁16f1との距離の割合は、たとえば、0.05~0.5倍である。
【0058】
互いに連結される電極12a1と接続導体16a1とでは、一対の端縁12c1,12d1の第三方向D3での位置と、一対の端縁16c1,16d1の第三方向D3での位置とが異なっている。すなわち、端縁12c1の第三方向D3での位置と、端縁16c1の第三方向D3での位置とが異なっている。端縁12d1の第三方向D3での位置と、端縁16d1の第三方向D3での位置とが異なっている。したがって、端縁16c1は、端縁12c1から離間しており、端縁16d1は、端縁12d1から離間している。
【0059】
本実施形態では、第三方向D3での端縁12c1と端縁12d1との距離に対する、第三方向D3での端縁12d1と端縁16d1との距離の割合は、たとえば、0~0.5倍である。第三方向D3での端縁12c1と端縁12d1との距離に対する、第三方向D3での端縁16c1と端縁16d1との距離の割合は、たとえば、0.05~0.5倍である。
【0060】
互いに連結される電極11a1と接続導体17a1とでは、一対の端縁11c1,11d1の第三方向D3での位置と、一対の端縁17c1,17d1の第三方向D3での位置とが異なっている。すなわち、端縁11c1の第三方向D3での位置と、端縁17c1の第三方向D3での位置とが異なっている。端縁11d1の第三方向D3での位置と、端縁17d1の第三方向D3での位置とが異なっている。したがって、端縁17c1は、端縁11c1から離間しており、端縁17d1は、端縁11d1から離間している。
【0061】
本実施形態では、第三方向D3での端縁11c1と端縁11d1との距離に対する、第三方向D3での端縁11d1と端縁17d1との距離の割合は、たとえば、0~0.5倍である。第三方向D3での端縁11c1と端縁11d1との距離に対する、第三方向D3での端縁17c1と端縁17d1との距離の割合は、たとえば、0.05~0.5倍である。
【0062】
互いに連結される電極12b1と接続導体17b1とでは、一対の端縁12e1,12f1の第三方向D3での位置と、一対の端縁17e1,17f1の第三方向D3での位置とが異なっている。すなわち、端縁12e1の第三方向D3での位置と、端縁17e1の第三方向D3での位置とが異なっている。端縁12f1の第三方向D3での位置と、端縁17f1の第三方向D3での位置とが異なっている。したがって、端縁17e1は、端縁12e1から離間しており、端縁17f1は、端縁12f1から離間している。
【0063】
本実施形態では、第三方向D3での端縁12e1と端縁12f1との距離に対する、第三方向D3での端縁12f1と端縁17f1との距離の割合は、たとえば、0~0.5倍である。第三方向D3での端縁12e1と端縁12f1との距離に対する、第三方向D3での端縁17e1と端縁17f1との距離の割合は、たとえば、0.05~0.5倍である。
【0064】
図5に示されるように、電極層10bでは、接続導体16a2は、電極11a2に配置される。接続導体16a2と電極11a2とは、物理的かつ電気的に連結される。接続導体16b2は、電極12b2に配置される。接続導体16b2と電極12b2とは、物理的かつ電気的に連結される。接続導体17a2は、電極12a2に配置される。接続導体17a2と電極12a2とは、物理的かつ電気的に連結される。接続導体17b2は、電極11b2に配置される。接続導体17b2と電極11b2とは、物理的かつ電気的に連結される。
【0065】
接続導体16a2は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁16c2,16d2を含んでいる。端縁16c2は、たとえば、端縁16d2よりも端面1eに近い。接続導体16b2は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁16e2,16f2を含んでいる。端縁16e2は、たとえば、端縁16f2よりも端面1fに近い。接続導体17a2は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁17c2,17d2を含んでいる。端縁17c2は、たとえば、端縁17d2よりも端面1eに近い。接続導体17b2は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁17e2,17f2を含んでいる。端縁17e2は、たとえば、端縁17f2よりも端面1fに近い。たとえば、端縁16c2,16d2が、一対の第三端縁を構成する場合、端縁17c2,17d2は、一対の第四端縁を構成する。たとえば、端縁16e2,16f2が、一対の第三端縁を構成する場合、端縁17e2,17f2は、一対の第四端縁を構成する。
【0066】
互いに連結される電極11a2と接続導体16a2とでは、一対の端縁11c2,11d2の第三方向D3での位置と、一対の端縁16c2,16d2の第三方向D3での位置とが異なっている。すなわち、端縁11c2の第三方向D3での位置と、端縁16c2の第三方向D3での位置とが異なっている。端縁11d2の第三方向D3での位置と、端縁16d2の第三方向D3での位置とが異なっている。したがって、端縁16c2は、端縁11c2から離間しており、端縁16d2は、端縁11d2から離間している。
【0067】
本実施形態では、第三方向D3での端縁11c2と端縁11d2との距離に対する、第三方向D3での端縁11c2と端縁16c2との距離の割合は、たとえば、0~0.5倍である。第三方向D3での端縁11c2と端縁11d2との距離に対する、第三方向D3での端縁16c2と端縁16d2との距離の割合は、たとえば、0.05~0.5倍である。
【0068】
互いに連結される電極12b2と接続導体16b2とでは、一対の端縁12e2,12f2の第三方向D3での位置と、一対の端縁16e2,16f2の第三方向D3での位置とが異なっている。すなわち、端縁12e2の第三方向D3での位置と、端縁16e2の第三方向D3での位置とが異なっている。端縁12f2の第三方向D3での位置と、端縁16f2の第三方向D3での位置とが異なっている。したがって、端縁16e2は、端縁12e2から離間しており、端縁16f2は、端縁12f2から離間している。
【0069】
本実施形態では、第三方向D3での端縁12e2と端縁12f2との距離に対する、第三方向D3での端縁12e2と端縁16e2との距離の割合は、たとえば、0~0.5倍である。第三方向D3での端縁12e2と端縁12f2との距離に対する、第三方向D3での端縁16e2と端縁16f2との距離の割合は、たとえば、0.05~0.5倍である。
【0070】
互いに連結される電極11b2と接続導体17b2とでは、一対の端縁11e2,11f2の第三方向D3での位置と、一対の端縁17e2,17f2の第三方向D3での位置とが異なっている。すなわち、端縁11e2の第三方向D3での位置と、端縁17e2の第三方向D3での位置とが異なっている。端縁11f2の第三方向D3での位置と、端縁17f2の第三方向D3での位置とが異なっている。したがって、端縁17e2は、端縁11e2から離間しており、端縁17f2は、端縁11f2から離間している。
【0071】
本実施形態では、第三方向D3での端縁11e2と端縁11f2との距離に対する、第三方向D3での端縁11e2と端縁17e2との距離の割合は、たとえば、0~0.5倍である。第三方向D3での端縁11e2と端縁11f2との距離に対する、第三方向D3での端縁17e2と端縁17f2との距離の割合は、たとえば、0.05~0.5倍である。
【0072】
互いに連結される電極12a2と接続導体17a2とでは、一対の端縁12c2,12d2の第三方向D3での位置と、一対の端縁17c2,17d2の第三方向D3での位置とが異なっている。すなわち、端縁12c2の第三方向D3での位置と、一対の端縁17c2の第三方向D3での位置とが異なっている。端縁12d2の第三方向D3での位置と、一対の端縁17d2の第三方向D3での位置とが異なっている。したがって、端縁17c2は、端縁12c2から離間しており、端縁17d2は、端縁12d2から離間している。
【0073】
本実施形態では、第三方向D3での端縁12c2と端縁12d2との距離に対する、第三方向D3での端縁12c2と端縁17c2との距離の割合は、たとえば、0~0.5倍である。第三方向D3での端縁12c2と端縁12d2との距離に対する、第三方向D3での端縁17c2と端縁17d2との距離の割合は、たとえば、0.05~0.5倍である。
【0074】
図6に示されるように、電極層10cでは、接続導体16a3は、電極11a3に配置される。接続導体16a3と電極11a3とは、物理的かつ電気的に連結される。接続導体16b3は、電極12b3に配置される。接続導体16b3と電極12b3とは、物理的かつ電気的に連結される。接続導体17a3は、電極12a3に配置される。接続導体17a3と電極12a3とは、物理的かつ電気的に連結される。接続導体17b3は、電極11b3に配置される。接続導体17b3と電極11b3とは、物理的かつ電気的に連結される。
【0075】
接続導体16a3は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁16c3,16d3を含んでいる。端縁16c3は、たとえば、端縁16d3よりも端面1eに近い。接続導体16b3は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁16e3,16f3を含んでいる。端縁16e3は、たとえば、端縁16f3よりも端面1fに近い。接続導体17a3は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁17c3,17d3を含んでいる。端縁17c3は、たとえば、端縁17d3よりも端面1eに近い。接続導体17b3は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁17e3,17f3を含んでいる。端縁17e3は、たとえば、端縁17f3よりも端面1fに近い。たとえば、端縁16c3,16d3が、一対の第三端縁を構成する場合、端縁17c3,17d3は、一対の第四端縁を構成する。たとえば、端縁16e3,16f3が、一対の第三端縁を構成する場合、端縁17e3,17f3は、一対の第四端縁を構成する。
【0076】
互いに連結される電極11a3と接続導体16a3とでは、一対の端縁11c3,11d3の第三方向D3での位置と、一対の端縁16c3,16d3の第三方向D3での位置とが異なっている。すなわち、端縁11c3の第三方向D3での位置と、端縁16c3の第三方向D3での位置とが異なっている。端縁11d3の第三方向D3での位置と、端縁16d3の第三方向D3での位置とが異なっている。したがって、端縁16c3は、端縁11c3から離間しており、端縁16d3は、端縁11d3から離間している。
【0077】
本実施形態では、第三方向D3での端縁11c3と端縁11d3との距離に対する、第三方向D3での端縁11d3と端縁16d3との距離の割合は、たとえば、0~0.5倍である。第三方向D3での端縁11c3と端縁11d3との距離に対する、第三方向D3での端縁16c3と端縁16d3との距離の割合は、たとえば、0.05~0.5倍である。
【0078】
互いに連結される電極12b3と接続導体16b3とでは、一対の端縁12e3,12f3の第三方向D3での位置と、一対の端縁16e3,16f3の第三方向D3での位置とが異なっている。すなわち、端縁12e3の第三方向D3での位置と、端縁16e3の第三方向D3での位置とが異なっている。端縁12f3の第三方向D3での位置と、端縁16f3の第三方向D3での位置とが異なっている。したがって、端縁16e3は、端縁12e3から離間しており、端縁16f3は、端縁12f3から離間している。
【0079】
本実施形態では、第三方向D3での端縁12e3と端縁12f3との距離に対する、第三方向D3での端縁12e3と端縁16f3との距離の割合は、たとえば、0~0.5倍である。第三方向D3での端縁12e3と端縁12f3との距離に対する、第三方向D3での端縁16e3と端縁16f3との距離の割合は、たとえば、0.05~0.5倍である。
【0080】
互いに連結される電極11b3と接続導体17b3とでは、一対の端縁11e3,11f3の第三方向D3での位置と、一対の端縁17e3,17f3の第三方向D3での位置とが異なっている。すなわち、端縁11e3の第三方向D3での位置と、端縁17e3の第三方向D3での位置とが異なっている。端縁11f3の第三方向D3での位置と、端縁17f3の第三方向D3での位置とが異なっている。したがって、端縁17e3は、端縁11e3から離間しており、端縁17f3は、端縁11f3から離間している。
【0081】
本実施形態では、第三方向D3での端縁11e3と端縁11f3との距離に対する、第三方向D3での端縁11f3と端縁17f3との距離の割合は、たとえば、0~0.5倍である。第三方向D3での端縁11e3と端縁11f3との距離に対する、第三方向D3での端縁17e3と端縁17f3との距離の割合は、たとえば、0.05~0.5倍である。
【0082】
互いに連結される電極12a3と接続導体17a3とでは、一対の端縁12c3,12d3の第三方向D3での位置と、一対の端縁17c3,17d3の第三方向D3での位置とが異なっている。すなわち、端縁12c3の第三方向D3での位置と、一対の端縁17c3の第三方向D3での位置とが異なっている。端縁12d3の第三方向D3での位置と、一対の端縁17d3の第三方向D3での位置とが異なっている。したがって、端縁17c3は、端縁12c3から離間しており、端縁17d3は、端縁12d3から離間している。
【0083】
本実施形態では、第三方向D3での端縁12c3と端縁12d3との距離に対する、第三方向D3での端縁12d3と端縁17d3との距離の割合は、たとえば、0~0.5倍である。第三方向D3での端縁12c3と端縁12d3との距離に対する、第三方向D3での端縁17c3と端縁17d3との距離の割合は、たとえば、0.05~0.5倍である。
【0084】
図7に示されるように、電極層10dでは、接続導体16a4,16b4は、電極12a4に配置される。接続導体16a4と電極12a4とは、物理的かつ電気的に連結される。接続導体16b4は、電極11b4に配置される。接続導体16b4と電極11b4とは、物理的かつ電気的に連結される。接続導体17a4は、電極11a4に配置される。接続導体17a4と電極11a4とは、物理的かつ電気的に連結される。接続導体17b4は、電極12b4に配置される。接続導体17b4と電極12b4とは、物理的かつ電気的に連結される。
【0085】
接続導体16a4は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁16c4,16d4を含んでいる。端縁16c4は、たとえば、端縁16d4よりも端面1eに近い。接続導体16b4は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁16e4,16f4を含んでいる。端縁16e4は、たとえば、端縁16f4よりも端面1fに近い。接続導体17a4は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁17c4,17d4を含んでいる。端縁17c4は、たとえば、端縁17d4よりも端面1eに近い。接続導体17b4は、第三方向D3で互いに対向する一対の端縁17e4,17f4を含んでいる。端縁17e4は、たとえば、端縁17f4よりも端面1fに近い。たとえば、端縁16c4,16d4が、一対の第三端縁を構成する場合、端縁17c4,17d4は、一対の第四端縁を構成する。たとえば、端縁16e4,16f4が、一対の第三端縁を構成する場合、端縁17e4,17f4は、一対の第四端縁を構成する。
【0086】
互いに連結される電極11b4と接続導体16b4とでは、一対の端縁11e4,11f4の第三方向D3での位置と、一対の端縁16e4,16f4の第三方向D3での位置とが異なっている。すなわち、端縁11e4の第三方向D3での位置と、端縁16e4の第三方向D3での位置とが異なっている。端縁11f4の第三方向D3での位置と、端縁16f4の第三方向D3での位置とが異なっている。したがって、端縁16e4は、端縁11e4から離間しており、端縁16f4は、端縁11fから離間している。
【0087】
本実施形態では、第三方向D3での端縁11e4と端縁11f4との距離に対する、第三方向D3での端縁11e4と端縁16e4との距離の割合は、たとえば、0~0.5倍である。第三方向D3での端縁11e4と端縁11f4との距離に対する、第三方向D3での端縁16e4と端縁16f4との距離の割合は、たとえば、0.05~0.5倍である。
【0088】
互いに連結される電極12a4と接続導体16a4とでは、一対の端縁12c4,12d4の第三方向D3での位置と、一対の端縁16c4,16d4の第三方向D3での位置とが異なっている。すなわち、端縁12c4の第三方向D3での位置と、端縁16c4の第三方向D3での位置とが異なっている。端縁12d4の第三方向D3での位置と、端縁16d4の第三方向D3での位置とが異なっている。したがって、端縁16c4は、端縁12c4から離間しており、端縁16d4は、端縁12d4から離間している。
【0089】
本実施形態では、第三方向D3での端縁12c4と端縁12d4との距離に対する、第三方向D3での端縁12c4と端縁16c4との距離の割合は、たとえば、0~0.5倍である。第三方向D3での端縁12c4と端縁12d4との距離に対する、第三方向D3での端縁16c4と端縁16d4との距離の割合は、たとえば、0.05~0.5倍である。
【0090】
互いに連結される電極11a4と接続導体17a4とでは、一対の端縁11c4,11d4の第三方向D3での位置と、一対の端縁17c4,17d4の第三方向D3での位置とが異なっている。すなわち、端縁11c4の第三方向D3での位置と、端縁17c4の第三方向D3での位置とが異なっている。端縁11d4の第三方向D3での位置と、端縁17d4の第三方向D3での位置とが異なっている。したがって、端縁17c4は、端縁11c4から離間しており、端縁17d4は、端縁11d4から離間している。
【0091】
本実施形態では、第三方向D3での端縁11c4と端縁11d4との距離に対する、第三方向D3での端縁11c4と端縁17c4との距離の割合は、たとえば、0~0.5倍である。第三方向D3での端縁11c4と端縁11d4との距離に対する、第三方向D3での端縁17c4と端縁17d4との距離の割合は、たとえば、0.05~0.5倍である。
【0092】
互いに連結される電極12b4と接続導体17b4とでは、一対の端縁12e4,12f4の第三方向D3での位置と、一対の端縁17e4,17f4の第三方向D3での位置とが異なっている。すなわち、端縁12e4の第三方向D3での位置と、端縁17e4の第三方向D3での位置とが異なっている。端縁12f4の第三方向D3での位置と、端縁17f4の第三方向D3での位置とが異なっている。したがって、端縁17e4は、端縁12e4から離間しており、端縁17f4は、端縁12f4から離間している。
【0093】
本実施形態では、第三方向D3での端縁12e4と端縁12f4との距離に対する、第三方向D3での端縁12e4と端縁17e4との距離の割合は、たとえば、0~0.5倍である。第三方向D3での端縁12e4と端縁12f4との距離に対する、第三方向D3での端縁17e4と端縁17f4との距離の割合は、たとえば、0.05~0.5倍である。
【0094】
本実施形態では、電極層10a及び電極層10cにおける、一対の電極12a,12bの一方の電極12aに連結されている接続導体16aと、一対の電極12a,12bの他方の電極12bに連結されている接続導体17bとの第一最短距離は、電極層10b及び電極層10dにおける、一対の電極12a,12bの一方の電極12aに連結されている接続導体17aと、一対の電極12a,12bの他方の電極12bに連結されている接続導体16bとの第二最短距離と異なる。本実施形態では、第一最短距離は、第二最短距離より小さい。第一最短距離は、第二最短距離に比べて、たとえば、0.2~0.6倍である。
【0095】
電極層10は、たとえば、導電性材料からなる。電極層10の導電性材料は、たとえば、Ag、Pd、Au、Ni、Pt、又はCuを含んでいる。導電性材料は、たとえば、Ag-Pd合金、Ag-Cu合金、Ag-Au合金、又は、Ag-Pt合金を含んでいてもよい。電極層10は、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成される。電極層10の厚さは、たとえば、0.5~5μmである。
【0096】
図1に示されるように、外部電極20は、外部電極20a、外部電極20b、外部電極20c、及び外部電極20dを含んでいる。外部電極20a,20b,20c,20dは、側面1cに配置されている。外部電極20a、外部電極20b、外部電極20c、及び外部電極20dは、たとえば、第三方向D3のうち、端面1eから端面1fに向かう方向において、外部電極20a、外部電極20b、外部電極20c、及び外部電極20dの順に位置している。
外部電極20は、外部電極20e、外部電極20f、外部電極20g、及び外部電極20hを含んでいる。外部電極20e,20f,20g,20hは、側面1dに配置されている。外部電極20e、外部電極20f、外部電極20g、及び外部電極20hは、たとえば、第三方向D3のうち、端面1eから端面1fに向かう方向において、外部電極20e、外部電極20f、外部電極20g、及び外部電極20hの順に位置している。
たとえば、外部電極20aが、第一外部電極を構成する場合、外部電極20bは、第二外部電極を構成し、外部電極20cは、第三外部電極を構成し、外部電極20dは、第四外部電極を構成する。たとえば、外部電極20eが、第五外部電極を構成する場合、外部電極20fは、第六外部電極を構成し、外部電極20gは、第七外部電極を構成し、外部電極20hは、第八外部電極を構成する。
【0097】
図5及び図7に示されるように、外部電極20aは、電極層10bに含まれる、一対の電極11a2,11b2の一方の電極11a2に連結されている接続導体16a2と、電極層10dに含まれる、一対の電極12a4,12b4の一方の電極12a4に連結されている接続導体16a4と、に接続されている。外部電極20aは、電極層10bに含まれる、一対の電極11a2,11b2の一方の電極11a2に連結されている接続導体16a2と、電極層10dに含まれる、一対の電極12a4,12b4の一方の電極12a4に連結されている接続導体16a4と、に接続されている。
【0098】
図4及び図6に示されるように、外部電極20bは、電極層10aに含まれる、一対の電極12a1,12b1の一方の電極12a1に連結されている接続導体16a1と、電極層10cに含まれる、一対の電極11a3,11b3の一方の電極11a3に連結されている接続導体16a3と、に接続されている。外部電極20bは、電極層10aに含まれる、一対の電極12a1,12b1の一方の電極12a1に連結されている接続導体16a1と、電極層10cに含まれる、一対の電極11a3,11b3の一方の電極11a3に連結されている接続導体16a3と、に接続されている。外部電極20bは、電極層10aに含まれる、一対の電極12a1,12b1の一方の電極12a1に連結されている接続導体16a1に接続されている。
【0099】
図4及び図6に示されるように、外部電極20cは、電極層10aに含まれる、一対の電極11a1,11b1の一方の電極11b1に連結されている接続導体16b1と、電極層10cに含まれる、一対の電極12a3,12b3の一方の電極12b3に連結されている接続導体16b3と、に接続されている。外部電極20cは、電極層10aに含まれる、一対の電極11a1,11b1の一方の電極11b1に連結されている接続導体16b1と、電極層10cに含まれる、一対の電極12a3,12b3の一方の電極12b3に連結されている接続導体16b3と、に接続されている。外部電極20cは、電極層10aに含まれる、一対の電極11a1,11b1の一方の電極11b1に連結されている接続導体16b1に接続されている。
【0100】
図5及び図7に示されるように、外部電極20dは、電極層10bに含まれる、一対の電極12a2,12b2の一方の電極12b2に連結されている接続導体16b2と、電極層10dに含まれる、一対の電極11a4,11b4の一方の電極11b4に連結されている接続導体16b4と、に接続されている。外部電極20dは、電極層10bに含まれる、一対の電極12a2,12b2の一方の電極12b2に連結されている接続導体16b2と、電極層10dに含まれる、一対の電極11a4,11b4の一方の電極11b4に連結されている接続導体16b4と、に接続されている。
【0101】
図5及び図7に示されるように、外部電極20eは、電極層10bに含まれる、一対の電極12a2,12b2の他方の電極12a2に連結されている接続導体17a2と、電極層10dに含まれる、一対の電極11a4,11b4の他方の電極11a4に連結されている接続導体17a4と、に接続されている。外部電極20eは、電極層10bに含まれる、一対の電極12a2,12b2の他方の電極12a2に連結されている接続導体17a2と、電極層10dに含まれる、一対の電極11a4,11b4の他方の電極11a4に連結されている接続導体17a4と、に接続されている。
【0102】
図4及び図6に示されるように、外部電極20fは、電極層10aに含まれる、一対の電極11a1,11b1の他方の電極11a1に連結されている接続導体17a1と、電極層10cに含まれる、一対の電極12a3,12b3の他方の電極12a3に連結されている接続導体17a3と、に接続されている。外部電極20fは、電極層10aに含まれる、一対の電極11a1,11b1の他方の電極11a1に連結されている接続導体17a1と、電極層10cに含まれる、一対の電極12a3,12b3の他方の電極12a3に連結されている接続導体17a3と、に接続されている。外部電極20fは、電極層10aに含まれる、一対の電極11a1,11b1の他方の電極11a1に連結されている接続導体17a1に接続されている。
【0103】
図4及び図6に示されるように、外部電極20gは、電極層10aに含まれる、一対の電極12a1,12b1の他方の電極12b1に連結されている接続導体17b1と、電極層10cに含まれる、一対の電極11a3,11b3の他方の電極11b3に連結されている接続導体17b3と、に接続されている。外部電極20gは、電極層10aに含まれる、一対の電極12a1,12b1の他方の電極12b1に連結されている接続導体17b1と、電極層10cに含まれる、一対の電極11a3,11b3の他方の電極11b3に連結されている接続導体17b3と、に接続されている。外部電極20gは、電極層10aに含まれる、一対の電極12a1,12b1の他方の電極12b1に連結されている接続導体17b1に接続されている。
【0104】
図5及び図7に示されるように、外部電極20hは、電極層10bに含まれる、一対の電極11a2,11b2の他方の電極11b2に連結されている接続導体17b2と、電極層10dに含まれる、一対の電極12a4,12b4の他方の電極12b4に連結されている接続導体17b4と、に接続されている。外部電極20hは、電極層10bに含まれる、一対の電極11a2,112bの他方の電極11b2に連結されている接続導体17b2と、電極層10dに含まれる、一対の電極12a4,12b4の他方の電極12b4に連結されている接続導体174bと、に接続されている。
【0105】
外部電極20は、たとえば、焼結金属層を含んでおり、焼結金属層は、側面1c,1dに付与された導電性ペーストを焼き付けることにより形成される。外部電極20は、たとえば、導電性ペーストに含まれる金属粉末が焼結することにより形成される。焼結金属層は、貴金属又は貴金属合金の導電性材料を含んでいる。貴金属は、たとえば、Ag、Pd、Au、又はPtを含んでいる。貴金属合金は、たとえば、Ag-Pd合金を含んでいる。外部電極20は、焼結金属層上に配置されるめっき層を含んでいてもよい。めっき層は、たとえば。Niめっき層、Snめっき層、Cuめっき層、Auめっき層、Sn-Ag合金めっき層、Sn-Bi合金めっき層、又はSn-Cu合金めっき層を含んでいる。外部電極20の厚さは、たとえば、0.5~5μmである。
【0106】
圧電素子PD1には、たとえば、配線部材30a,30bが配置される。配線部材30aは、たとえば、側面1cに配置される。配線部材30bは、たとえば。側面1dに配置される。
【0107】
図8は、配線部材30aを示す図である。配線部材30aは、複数の導体31a,31b,31c,31dと、複数の配線32a,32b,32c,32dと、を有している。配線部材30aは、側面1c上を、たとえば、第三方向D3に延在している。
【0108】
複数の導体31a,31b,31c,31dは、複数の外部電極20a,20b,20c,20dのうち対応する外部電極20a,20b,20c,20dと電気的に接続される。導体31aは、外部電極20aと電気的に接続される。導体31bは、外部電極20bと電気的に接続される。導体31cは、外部電極20cと電気的に接続される。導体31dは、外部電極20dと電気的に接続される。複数の導体31a,31b,31c,31dは、たとえば、第三方向D3のうち、端面1eから端面1fに向かう方向において、導体31a,導体31b,導体31c,及び導体31dの順に位置している。
【0109】
複数の配線32a,32b,32c,32dは、複数の導体31a,31b,31c,31dのうち対応する導体31a,31b,31c,31dと電気的に接続される。配線32aは、導体31aと電気的に接続される。配線32bは、導体31bと電気的に接続される。配線32cは、導体31cと電気的に接続される。配線32dは、導体31dと電気的に接続される。配線32bは、配線32aより主面1bに近い。配線32c,32dは、主面1a寄りの領域を延在している。配線32dは、配線32cより主面1aに近い。
【0110】
配線部材30aは、たとえば、第一領域E1aと、第二領域E2aと、第三領域E3aとを有している。第一領域E1aは、たとえば、第一方向D1で、第二領域E2aと第三領域E3aとの間に位置する。第二領域E2aは、主面1b寄りに位置し、第三領域E3aは、主面1a寄りに位置する。
【0111】
第一領域E1aには、たとえば、複数の導体31a,31b,31c,31dが配置される。第二領域E2aには、たとえば、配線32a,32bが配置される。第三領域E3aには、たとえば、配線32c,32dが配置される。第二領域E2aでは、配線32aが、複数の外部電極20b,20c,20dと電気的に接続しないように被覆部材によって覆われている。配線32bが、複数の外部電極20a,20c,20dと電気的に接続しないように被覆部材によって覆われている。第三領域E3aでは、配線32cが、複数の外部電極20a,20b,20dと電気的に接続しないように被覆部材によって覆われている。配線32dが、複数の外部電極20a,20b,20cと電気的に接続しないように被覆部材によって覆われている。第一領域E1aでは、複数の導体31a,31b,31c,31dは、被覆部材によって覆われていなくてもよい。複数の導体31a,31b,31c,31dは、それぞれ、対応する外部電極20a,20b,20c,20dと電気的に接続される。配線32a,32b,32c,32dを覆う被覆部材は、配線32a,32b,32c,32dと、対応する外部電極20a,20b,20c,20dとの間に配置される。
【0112】
配線部材30aは、たとえば、フレキシブルプリント基板(FPC)、又はリードフレームを含んでいる。配線32a,32b,32c,32d及び外部電極20a,20b,20c,20dは、上記基板上に配置される。本実施形態では、配線部材30aと同一形態の別の配線部材が、側面1dに配置される。別の配線部材は、外部電極20e,20f,20g,20hと電気的に接続される。
【0113】
図9は、他の配線部材30bの例を示す図である。配線部材30bは、複数の導体31a,31b,31c,31dと、複数の配線32a,32b,32c,32dと、を有している。複数の導体31a,31b,31c,31dは、複数の外部電極20a,20b,20c,20dのうち対応する外部電極20a,20b,20c,20dと電気的に接続される。導体31aは、外部電極20aと電気的に接続される。導体31bは、外部電極20bと電気的に接続される。導体31cは、外部電極20cと電気的に接続される。導体31dは、外部電極20dと電気的に接続される。
【0114】
複数の配線32a,32b,32c,32dは、複数の導体31a,31b,31c,31dのうち対応する導体31a,31b,31c,31dと電気的に接続される。配線32aは、導体31aと電気的に接続される。配線32bは、導体31bと電気的に接続される。配線32cは、導体31cと電気的に接続される。配線32dは、導体31dと電気的に接続される。
【0115】
配線部材30bは、たとえば、第一部分P1aと、第二部分P2aと、第三部分P3aと、を有している。第一部分P1aでは、複数の導体31a,31b,31c,31dは、たとえば、第三方向D3のうち、端面1eから端面1fに向かう方向において、導体31a,導体31b,導体31c,及び導体31dの順に位置している。第二部分P2aでは、複数の配線32a,32b,32c,32dは、たとえば、第一方向D1及び第三方向D3に交差する方向に延在している。第三部分P3aでは、複数の配線32a,32b,32c,32dは、たとえば、第一方向D1に延在している。
【0116】
第二部分P2aでは、配線32a,32b,32c,32dが、複数の外部電極20a,20b,20c,20dと電気的に接続しないように被覆部材によって覆われている。すなわち、配線32aが、複数の外部電極20b,20c,20dと電気的に接続しないように被覆部材によって覆われている。配線32bが、複数の外部電極20a,20c,20dと電気的に接続しないように被覆部材によって覆われている。配線32cが、複数の外部電極20a,20b,20dと電気的に接続しないように被覆部材によって覆われている。配線32dが、複数の外部電極20a,20b,20cと電気的に接続しないように被覆部材によって覆われている。配線32a,32b,32c,32dを覆う被覆部材は、配線32a,32b,32c,32dと、対応する外部電極20a,20b,20c,20dとの間に配置される。複数の導体31a,31b,31c,31dは、被覆部材によって覆われていなくてもよい。第三部分P3aでは、配線32a,32b,32c,32dは、被覆部材によって覆われていなくてもよい。
【0117】
配線部材30bは、たとえば、フレキシブルプリント基板(FPC)、又はリードフレームを含んでいる。配線32a,32b,32c,32d及び外部電極20a,20b,20c,20dは、上記基板上に配置される。本実施形態では、配線部材30bと同一形態の別の配線部材が、側面1dに配置される。別の配線部材は、外部電極20e,20f,20g,20hと電気的に接続される。
【0118】
以上説明したように、圧電素子PD1では、電極層10a及び電極層10bへの電圧の印加によって、電極層10aと電極層10bとの間に活性領域を形成させる際に、たとえば、4つの一対の電極11a1,11b1,11a2,11b2,12a1,12b1,12a2,12b2のうち、一対の電極11a1,11b1に印加する電位の大きさは、一対の電極12a1,12b1に印加する電位の大きさと異なってもよい。一対の電極11a2,11b2に印加する電位の大きさは、一対の電極12a2,12b2に印加する電位の大きさと異なってもよい。
電極層10b及び電極層10cへの電圧の印加によって、電極層10bと電極層10cとの間に活性領域を形成させる際に、たとえば、4つの一対の電極11a2,11b2,11a3,11b3,12a2,12b2,12a3,12b3のうち、一対の電極11a3,11b3に印加する電位の大きさは、一対の電極12a3,12b3に印加する電位の大きさと異なってもよい。電極層10c及び電極層10dへの電圧の印加によって、電極層10cと電極層10dとの間に活性領域を形成させる際に、たとえば、4つの一対の電極11a3,11b3,11a4,11b4,12a3,12b3,12a4,12b4のうち、一対の電極11a4,11b4に印加する電位の大きさは、一対の電極12a4,12b4に印加する電位の大きさと異なってもよい。
電極層10aと電極層10bとの間に活性領域を形成させる際に、電極層10bの一対の電極11a2,11b2に印加する電位の大きさと、一対の電極12a2,12b2に印加する電位の大きさとが互いに異なっている場合、電極層10aが複数の電極を含み、電極層10bが一の電極を含んでいる構成に比べて、一対の電極11a2,11b2と一対の電極12a2,12b2に印加する電位の大きさを変更する自由度が増大する。
電極層10bと電極層10cとの間に活性領域を形成させる際に、電極層10cの一対の電極11a3,11b3に印加する電位の大きさと、一対の電極12a3,12b3に印加する電位の大きさとが互いに異なっている場合、電極層10bが複数の電極を含み、電極層10cが一の電極を含んでいる構成に比べて、一対の電極11a3,11b3と一対の電極12a3,12b3に印加する電位の大きさを変更する自由度が増大する。
電極層10cと電極層10dとの間に活性領域を形成させる際に、電極層10dの一対の電極11a4,11b4に印加する電位の大きさと、一対の電極12a4,12b4に印加する電位の大きさとが互いに異なっている場合、電極層10cが複数の電極を含み、電極層10dが一の電極を含んでいる構成に比べて、一対の電極11a4,11b4と一対の電極12a4,12b4に印加する電位の大きさを変更する自由度が増大する。
これらの結果、圧電素子PD1は、圧電素子の駆動特性を向上し得る。
【0119】
圧電素子PD1では、圧電素体1は、第一方向D1で互いに対向する主面1a及び主面1bと、第二方向D2で互いに対向する側面1c及び側面1dと、第三方向D3で互いに対向する端面1e及び端面1fと、を含んでいる。
電極層10aは、側面1cに露出している複数の接続導体16a1,16b1と、側面1dに露出している複数の接続導体17a1,17b1と、を含んでいる。電極層10bは、側面1cに露出している複数の接続導体16a2,16b2と、側面1dに露出している複数の接続導体17a2,17b2と、を含んでいる。電極層10cは、側面1cに露出している複数の接続導体16a3,16b3と、側面1dに露出している複数の接続導体17a3,17b3と、を含んでいる。電極層10dは、側面1cに露出している複数の接続導体16a4,16b4と、側面1dに露出している複数の接続導体17a4,17b4と、を含んでいる。
これらの結果、各電極層10a,10b,10c,10dに印加する電位の大きさの自由度が一層増大する。圧電素子PD1は、圧電素子の駆動特性を確実に向上し得る。
【0120】
圧電素子PD1では、接続導体16a1,16b1と、接続導体17a1,17b1との第一最短距離、及び、電極層10cにおける、接続導体16a3,16b3と、接続導体17a3,17b3との第一最短距離は、電極層10bにおける、接続導体17a2,17b2と、接続導体16a2,16b2との第二最短距離、及び、電極層10dにおける、接続導体17a4,17b4と、接続導体16a4,16b4との第二最短距離と異なっている。
これらの結果、各電極層10a,10b,10c,10dに印加する電位の大きさの自由度がより一層増大する。圧電素子PD1は、圧電素子の駆動特性をより確実に向上し得る。
【0121】
圧電素子PD1では、第一最短距離は、第二最短距離より小さい。
この結果、各電極層10a,10b,10c,10dに印加する電位の大きさの自由度が更により一層増大する。圧電素子PD1は、圧電素子の駆動特性を更により確実に向上し得る。
【0122】
圧電素子PD1は、側面1cに配置されている外部電極20a、外部電極20b、外部電極20c、及び外部電極20dと、側面1dに配置されている外部電極20e、外部電極20f、外部電極20g、及び外部電極20hと、を備えている。
外部電極20aは、電極層10bに含まれる、接続導体16a2,16b2と、電極層10dに含まれる、接続導体16a4,16b4と、に接続されている。外部電極20bは、電極層10aに含まれる、接続導体16a1,16b1と、電極層10cに含まれる、接続導体16a1,16b1と、に接続されている。外部電極20cは、電極層10aに含まれる、接続導体16a1,16b1と、電極層10cに含まれる、接続導体16a3,16b3と、に接続されている。外部電極20dは、電極層10bに含まれる、接続導体16a2,16b2と、電極層10dに含まれる、接続導体16a4,16b4と、に接続されている。
外部電極20eは、電極層10bに含まれる、接続導体17a2,17b2と、電極層10dに含まれる、接続導体17a4,17b4と、に接続されている。外部電極20fは、電極層10aに含まれる、接続導体17a1,17b1と、電極層10cに含まれる、接続導体17a3,17b3と、に接続されている。外部電極20gは、電極層10aに含まれる、接続導体17a1,17b1と、電極層10cに含まれる、接続導体17a3,17b3と、に接続されている。外部電極20hは、電極層10bに含まれる、接続導体17a2,17b2と、電極層10dに含まれる、接続導体17a4,17b4と、に接続されている。
この結果、圧電素子PD1は、各外部電極20a,20b,20c,20d,20e,20f,20g,20hを介して、各電極層10a,10b,10c,10dに含まれる接続導体16a1,16b1,16a2,16b2,16a3,16b3,16a4,16b4,17a1,17b1,17a2,17b2,17a3,17b3,17a4,17b4に電圧を印加し得る。
【0123】
圧電素子PD1では、外部電極20a、外部電極20b、外部電極20c、及び外部電極20dは、第三方向D3のうち、端面1eから端面1fに向かう方向において、外部電極20a、外部電極20b、外部電極20c、及び外部電極20dの順に位置している。外部電極20e、外部電極20f、外部電極20g、及び外部電極20hは、端面1eから端面1fに向かう方向において、外部電極20e、外部電極20f、外部電極20g、及び外部電極20hの順に位置している。
この構成では、各外部電極20a,20b,20c,20d,20e,20f,20g,20hを介して各電極層10a,10b,10c,10dに印加する電位の大きさを制御しやすい。
【0124】
圧電素子PD1では、電極層10b,10cでは、一対の電極12a2,12b2の一方と、一対の電極11a2,11b2の他方とが、端面1eと隣り合うと共に、一対の電極11a2,11b2の一方と、一対の電極12a2,12b2の他方とが、端面1fと隣り合っている。電極層10a,10dでは、一対の電極11a4,11b4の他方と、一対の電極12a4,12b4の一方とが、端面1eと隣り合うと共に、一対の電極12a4,12b4の他方と、一対の電極11a4,11b4の一方とが端面1fと隣り合っている。
この結果、圧電素子PD1は、圧電素子の駆動特性を一層確実に向上し得る。
【0125】
圧電素子PD1では、電極11a1は、一対の端縁11c1,11d1を含んでいる。電極11a2は、一対の端縁11c2,11d2を含んでいる。電極11a3は、一対の端縁11c3,11d3を含んでいる。電極11a4は、一対の端縁11c4,11d4を含んでいる。
電極11b1は、一対の端縁11e1,11f1を含んでいる。電極11b2は、一対の端縁11e2,11f2を含んでいる。電極11b3は、一対の端縁11e3,11f3を含んでいる。電極11b4は、一対の端縁11e4,11f4を含んでいる。
電極12a1は、一対の端縁12c1,12d1を含んでいる。電極12a2は、一対の端縁12c2,12d2を含んでいる。電極12a3は、一対の端縁12c3,12d3を含んでいる。電極12a4は、一対の端縁12c4,12d4を含んでいる。電極12b1は、一対の端縁12e1,12f1を含んでいる。電極12b2は、一対の端縁12e2,12f2を含んでいる。電極12b3は、一対の端縁12e3,12f3を含んでいる。電極12b4は、一対の端縁12e4,12f4を含んでいる。
接続導体16a1は、一対の端縁16c2,16d2を含んでいる。接続導体16a2は、一対の端縁16c2,16d2を含んでいる。接続導体16a3は、一対の端縁16c3,16d3を含んでいる。接続導体16a4は、一対の端縁16c4,16d4を含んでいる。接続導体16b1は、一対の端縁16e1,16f1を含んでいる。接続導体16b2は、一対の端縁16e2,16f2を含んでいる。接続導体16b2は、一対の端縁16e3,16f3を含んでいる。接続導体16b2は、一対の端縁16e4,16f4を含んでいる。
接続導体17a1は、一対の端縁17c2,17d2を含んでいる。接続導体17a2は、一対の端縁17c2,17d2を含んでいる。接続導体17a3は、一対の端縁17c3,17d3を含んでいる。接続導体17a4は、一対の端縁17c4,17d4を含んでいる。接続導体17b1は、一対の端縁17e2,17f2を含んでいる。接続導体17b2は、一対の端縁17e2,17f2を含んでいる。接続導体17b3は、一対の端縁17e3,17f3を含んでいる。接続導体17b4は、一対の端縁17e4,17f4を含んでいる。
互いに連結される電極11a1と接続導体17a1とでは、一対の端縁11c1,11d1の第三方向D3での位置と、一対の端縁17c1,17d1の第三方向D3での位置とが異なっている。電極11b1と接続導体16b1とでは、一対の端縁11e1,11f1の第三方向D3での位置と、一対の端縁16e1,16f1の第三方向D3での位置とが異なっている。電極12a1と接続導体16a1とでは、一対の端縁12c1,12d1の第三方向D3での位置と、一対の端縁16c1,16d1の第三方向D3での位置とが異なっている。電極12b1と接続導体17b1とでは、一対の端縁12e1,12f1の第三方向D3での位置と、一対の端縁17e1,17f1の第三方向D3での位置とが異なっている。
互いに連結される電極11a2と接続導体17a2とでは、一対の端縁11c2,11d2の第三方向D3での位置と、一対の端縁17c2,17d2の第三方向D3での位置とが異なっている。電極11b2と接続導体16b2とでは、一対の端縁11e2,11f2の第三方向D3での位置と、一対の端縁16e2,16f2の第三方向D3での位置とが異なっている。電極12a2と接続導体16a2とでは、一対の端縁12c2,12d2の第三方向D3での位置と、一対の端縁16c2,16d2の第三方向D3での位置とが異なっている。電極12b2と接続導体17b2とでは、一対の端縁12e2,12f2の第三方向D3での位置と、一対の端縁17e2,17f2の第三方向D3での位置とが異なっている。
互いに連結される電極11a3と接続導体17a3とでは、一対の端縁11c3,11d3の第三方向D3での位置と、一対の端縁17c3,17d3の第三方向D3での位置とが異なっている。電極11b3と接続導体16b3とでは、一対の端縁11e3,11f3の第三方向D3での位置と、一対の端縁16e3,16f3の第三方向D3での位置とが異なっている。電極12a3と接続導体16a3とでは、一対の端縁12c3,12d3の第三方向D3での位置と、一対の端縁16c3,16d3の第三方向D3での位置とが異なっている。電極12b3と接続導体17b3とでは、一対の端縁12e3,12f3の第三方向D3での位置と、一対の端縁17e3,17f3の第三方向D3での位置とが異なっている。
互いに連結される電極11a4と接続導体17a4とでは、一対の端縁11c4,11d4の第三方向D3での位置と、一対の端縁17c4,17d4の第三方向D3での位置とが異なっている。電極11b4と接続導体16b4とでは、一対の端縁11e4,11f4の第三方向D3での位置と、一対の端縁16e4,16f4の第三方向D3での位置とが異なっている。電極12a4と接続導体16a4とでは、一対の端縁12c4,12d4の第三方向D3での位置と、一対の端縁16c4,16d4の第三方向D3での位置とが異なっている。電極12b4と接続導体17b4とでは、一対の端縁12e4,12f4の第三方向D3での位置と、一対の端縁17e4,17f4の第三方向D3での位置とが異なっている。
この結果、圧電素子PD1は、圧電素子の駆動特性をより一層確実に向上し得る。
【0126】
圧電素子PD1は、それぞれが第一電極層、第二電極層、第三電極層、及び第四電極層を含む複数の電極層群を有している。複数の電極層群のうち一方に含まれる第四電極層と、複数の電極層群のうち他方に含まれる第一電極層とは、互いに隣り合っている。
この結果、圧電素子PD1は、圧電素子の駆動特性を更により一層確実に向上し得る。
【0127】
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
【0128】
たとえば、各電極層群EG1,EG2での電極層10a~10dの並び順は、上述した並び順に限られない。
各電極層群EG1,EG2では、電極層10a~10dは、電極層10a、電極層10d、電極層10c、電極層10bの順で第一方向D1に並んでいてもよい。この場合、たとえば、電極層群EG1の電極層10bと、電極層群EG2の電極層10aとが、互いに隣り合う。電極層群EG3は、電極層10aを含んでいてもよい。この変形例では、電極層10aが第一電極層を構成する場合、電極層10dが第二電極層を構成し、電極層10cが第三電極層を構成し、電極層10bが第四電極層を構成する。
各電極層群EG1,EG2では、電極層10a~10dは、電極層10c、電極層10b、電極層10a、電極層10dの順で第一方向D1に並んでいてもよい。この場合、たとえば、電極層群EG1の電極層10dと、電極層群EG2の電極層10cとが、互いに隣り合う。電極層群EG3は、電極層10cを含んでいてもよい。この変形例では、電極層10cが第一電極層を構成する場合、電極層10bが第二電極層を構成し、電極層10aが第三電極層を構成し、電極層10dが第四電極層を構成する。
各電極層群EG1,EG2では、電極層10a~10dは、電極層10c、電極層10d、電極層10a、電極層10bの順で第一方向D1に並んでいてもよい。この場合、たとえば、電極層群EG1の電極層10bと、電極層群EG2の電極層10cとが、互いに隣り合う。電極層群EG3は、電極層10cを含んでいてもよい。この変形例では、電極層10cが第一電極層を構成する場合、電極層10dが第二電極層を構成し、電極層10aが第三電極層を構成し、電極層10bが第四電極層を構成する。
圧電素子PD1が有する電極層群の数は、上述した数に限られない。たとえば、圧電素子PD1が有する電極層群の数は、一つでもよい。この場合、圧電素子PD1は、電極層群EG1又は電極層群EG2のいずれか一方のみを含んでいればよい。すなわち、圧電素子PD1は、少なくとも四つの電極層10a,10b,10c,10dを含んでいればよい。
圧電素子PD1では、電極層10a及び電極層10cにおける、接続導体16aと接続導体17bとの第一最短距離は、電極層10b及び電極層10dにおける、接続導体17aと接続導体16bとの第二最短距離と異なっていなくてもよい。上記第一最短距離が上記第二最短距離と異なっている構成では、上述したように、各電極層10a,10b,10c,10dに印加する電位の大きさの自由度がより一層増大する。この結果、圧電素子PD1は、駆動特性をより確実に向上し得る。
互いに連結される電極11a2と接続導体17a2とでは、一対の端縁11c2,11d2の第三方向D3での位置と、一対の端縁17c2,17d2の第三方向D3での位置とが異なっている。互いに連結される電極11b2と接続導体16b2とでは、一対の端縁11e2,11f2の第三方向D3での位置と、一対の端縁16e2,16f2の第三方向D3での位置とが異なっていなくてもよい。互いに連結される電極12a2と接続導体16a2とでは、一対の端縁12c2,12d2の第三方向D3での位置と、一対の端縁16c2,16d2の第三方向D3での位置とが異なっている。互いに連結される電極12b2と接続導体17b2とでは、一対の端縁12e2,12f2の第三方向D3での位置と、一対の端縁17e2,17f2の第三方向D3での位置とが異なっていなくてもよい。
互いに連結される電極11a3と接続導体17a3とでは、一対の端縁11c3,11d3の第三方向D3での位置と、一対の端縁17c3,17d3の第三方向D3での位置とが異なっている。互いに連結される電極11b3と接続導体16b3とでは、一対の端縁11e3,11f3の第三方向D3での位置と、一対の端縁16e3,16f3の第三方向D3での位置とが異なっていなくてもよい。互いに連結される電極12a3と接続導体16a3とでは、一対の端縁12c3,12d3の第三方向D3での位置と、一対の端縁16c3,16d3の第三方向D3での位置とが異なっている。互いに連結される電極12b3と接続導体17b3とでは、一対の端縁12e3,12f3の第三方向D3での位置と、一対の端縁17e3,17f3の第三方向D3での位置とが異なっていなくてもよい。
互いに連結される電極11a4と接続導体17a4とでは、一対の端縁11c4,11d4の第三方向D3での位置と、一対の端縁17c4,17d4の第三方向D3での位置とが異なっている。互いに連結される電極11b4と接続導体16b4とでは、一対の端縁11e4,11f4の第三方向D3での位置と、一対の端縁16e4,16f4の第三方向D3での位置とが異なっていなくてもよい。互いに連結される電極12a4と接続導体16a4とでは、一対の端縁12c4,12d4の第三方向D3での位置と、一対の端縁16c4,16d4の第三方向D3での位置とが異なっていなくてもよい。互いに連結される電極12b4と接続導体17b4とでは、一対の端縁12e4,12f4の第三方向D3での位置と、一対の端縁17e4,17f4の第三方向D3での位置とが異なっていなくてもよい。
これらの位置が互いに異なっている構成は、上述したように、圧電素子PD1の駆動特性をより一層確実に向上し得る。
【0129】
上述した実施形態の記載から把握されるとおり、本明細書は、以下に示す態様の開示を含んでいる。
(付記1)
圧電素体と、
前記圧電素体内に配置されている、第一電極層、第二電極層、第三電極層、及び第四電極層と、を備え、
前記第二電極層は、前記第一電極層と前記第三電極層との間に位置すると共に前記第一電極層及び前記第三電極層と隣り合い、
前記第三電極層は、前記第二電極層と前記第四電極層との間に位置すると共に前記第二電極層及び前記第四電極層と隣り合い、
前記第一電極層、前記第二電極層、前記第三電極層、及び前記第四電極層のそれぞれは、前記圧電素体内で物理的かつ電気的に互いに離間している一対の第一電極と、前記圧電素体内で物理的かつ電気的に互いに連結されている一対の第二電極と、を含み、
前記第一電極層に含まれる前記第一電極及び前記第二電極は、前記圧電素体の一部を介して、前記第二電極層に含まれる前記第二電極及び前記第一電極とそれぞれ対向し、
前記第二電極層に含まれる前記第一電極及び前記第二電極は、前記圧電素体の一部を介して、前記第三電極層に含まれる前記第一電極及び前記第二電極とそれぞれ対向し、
前記第三電極層に含まれる前記第一電極及び前記第二電極は、前記圧電素体の一部を介して、前記第四電極層に含まれる前記第二電極及び前記第一電極とそれぞれ対向する、圧電素子。
(付記2)
前記圧電素体は、第一方向で互いに対向する第一主面及び第二主面と、第二方向で互いに対向する第一側面及び第二側面と、第三方向で互いに対向する第一端面及び第二端面と、を含み、
前記第一電極層、前記第二電極層、前記第三電極層、及び前記第四電極層のそれぞれは、前記第一側面に露出している複数の第一接続導体と、前記第二側面に露出している複数の第二接続導体と、を含み、
前記複数の第一接続導体のそれぞれは、前記第三方向において、互いに異なる位置で前記第一側面に露出し、
前記複数の第二接続導体のそれぞれは、前記第三方向において、互いに異なる位置で前記第二側面に露出し、
前記第一電極層、前記第二電極層、前記第三電極層、及び前記第四電極層のそれぞれにおいて、前記一対の第一電極の一方と前記一対の第二電極の一方とのそれぞれは、前記第一側面と隣り合うと共に、前記複数の第一接続導体のうち対応する第一接続導体と物理的かつ電気的に連結され、
前記第一電極層、前記第二電極層、前記第三電極層、及び前記第四電極層のそれぞれにおいて、前記一対の第一電極の他方と前記一対の第二電極の他方とのそれぞれは、前記第二側面と隣り合うと共に、前記複数の第二接続導体のうち対応する第二接続導体と物理的かつ電気的に連結されている、付記1に記載の圧電素子。
(付記3)
前記第一電極層及び前記第三電極層における、前記一対の第二電極の前記一方に連結されている前記第一接続導体と、前記一対の第二電極の前記他方に連結されている前記第二接続導体との第一最短距離は、前記第二電極層及び前記第四電極層における、前記一対の第二電極の前記一方に連結されている前記第二接続導体と、前記一対の第二電極の前記他方に連結されている前記第一接続導体との第二最短距離と異なる、付記2に記載の圧電素子。
(付記4)
前記第一最短距離は、前記第二最短距離より小さい、付記3に記載の圧電素子。
(付記5)
前記第一側面に配置されている第一外部電極、第二外部電極、第三外部電極、及び第四外部電極と、
前記第二側面に配置されている第五外部電極、第六外部電極、第七外部電極、及び第八外部電極と、を更に備え、
前記第一外部電極は、前記第二電極層に含まれる、前記一対の第一電極の前記一方に連結されている前記第一接続導体と、前記第四電極層に含まれる、前記一対の第二電極の前記一方に連結されている前記第一接続導体と、に接続され、
前記第二外部電極は、前記第一電極層に含まれる、前記一対の第二電極の前記一方に連結されている前記第一接続導体と、前記第三電極層に含まれる、前記一対の第一電極の前記一方に連結されている前記第一接続導体と、に接続され、
前記第三外部電極は、前記第一電極層に含まれる、前記一対の第一電極の前記一方に連結されている前記第一接続導体と、前記第三電極層に含まれる、前記一対の第二電極の前記一方に連結されている前記第一接続導体と、に接続され、
前記第四外部電極は、前記第二電極層に含まれる、前記一対の第二電極の前記一方に連結されている前記第一接続導体と、前記第四電極層に含まれる、前記一対の第一電極の前記一方に連結されている前記第一接続導体と、に接続され、
前記第五外部電極は、前記第二電極層に含まれる、前記一対の第二電極の前記他方に連結されている前記第二接続導体と、前記第四電極層に含まれる、前記一対の第一電極の前記他方に連結されている前記第二接続導体と、に接続され、
前記第六外部電極は、前記第一電極層に含まれる、前記一対の第一電極の前記他方に連結されている前記第二接続導体と、前記第三電極層に含まれる、前記一対の第二電極の前記他方に連結されている前記第二接続導体と、に接続され、
前記第七外部電極は、前記第一電極層に含まれる、前記一対の第二電極の前記他方に連結されている前記第二接続導体と、前記第三電極層に含まれる、前記一対の第一電極の前記他方に連結されている前記第二接続導体と、に接続され、
前記第八外部電極は、前記第二電極層に含まれる、前記一対の第一電極の前記他方に連結されている前記第二接続導体と、前記第四電極層に含まれる、前記一対の第二電極の前記他方に連結されている前記第二接続導体と、に接続されている、付記2~4のいずれか一つに記載の圧電素子。
(付記6)
前記第一外部電極、前記第二外部電極、前記第三外部電極、及び前記第四外部電極は、前記第三方向のうち、前記第一端面から前記第二端面に向かう方向において、前記第一外部電極、前記第二外部電極、前記第三外部電極、及び前記第四外部電極の順に位置し、
前記第五外部電極、前記第六外部電極、前記第七外部電極、及び前記第八外部電極は、前記第一端面から前記第二端面に向かう前記方向において、前記第五外部電極、前記第六外部電極、前記第七外部電極、及び前記第八外部電極の順に位置する、付記5に記載の圧電素子。
(付記7)
前記第二電極層及び前記第三電極層では、前記一対の第二電極の前記一方と、前記一対の第一電極の前記他方とが、前記第一端面と隣り合うと共に、前記一対の第一電極の前記一方と、前記一対の第二電極の前記他方とが、前記第二端面と隣り合い、
前記第一電極層及び前記第四電極層では、前記一対の第一電極の前記他方と、前記一対の第二電極の前記一方とが、前記第一端面と隣り合うと共に、前記一対の第二電極の前記他方と、前記一対の第一電極の前記一方とが、前記第二端面と隣り合う、付記5又は6に記載の圧電素子。
(付記8)
前記第一電極は、前記第三方向で互いに対向する一対の第一端縁を含み、
前記第二電極は、前記第三方向で互いに対向する一対の第二端縁を含み、
前記第一接続導体は、前記第三方向で互いに対向する一対の第三端縁を含み、
前記第二接続導体は、前記第三方向で互いに対向する一対の第四端縁を含み、
互いに連結される前記第一電極と前記第一接続導体とでは、前記一対の第一端縁の前記第三方向での位置と、前記一対の第三端縁の前記第三方向での位置とが異なり、
互いに連結される前記第二電極と前記第一接続導体とでは、前記一対の第二端縁の前記第三方向での位置と、前記一対の第三端縁の前記第三方向での位置とが異なり、
互いに連結される前記第一電極と前記第二接続導体とでは、前記一対の第一端縁の前記第三方向での位置と、前記一対の第四端縁の前記第三方向での位置とが異なり、
互いに連結される前記第二電極と前記第二接続導体とでは、前記一対の第二端縁の前記第三方向での位置と、前記一対の第四端縁の前記第三方向での位置とが異なる、付記5~7のいずれか一つに記載の圧電素子。
(付記9)
それぞれが前記第一電極層、前記第二電極層、前記第三電極層、及び前記第四電極層を含む複数の電極層群を有し、
前記複数の電極層群のうち一方に含まれる前記第四電極層と、前記複数の電極層群のうち他方に含まれる前記第一電極層とは、互いに隣り合う、付記1~8のいずれか一つに記載の圧電素子。
【符号の説明】
【0130】
1…圧電素体、1a,1b…主面、1c,1d…側面、1e,1f…端面、10a,10b,10c,10d…電極層、11a1~11a4,11b1~11b4,12a1~12a4,12b1~12b4…電極、16a1~16a4,16b1~16b4、17a1~17a4,17b1~17b4…接続導体、20a,20b,20c,20d,20e,20f,20g,20h…外部電極、D1…第一方向、D2…第二方向、D3…第三方向、EG1,EG2…電極層群、PD1…圧電素子。
図1
図2
図3
図4
図5
図6
図7
図8
図9