特開 2024-31458 蒸着装置及び蒸着方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024031458

(43)【公開日】2024-03-07

(54)【発明の名称】蒸着装置及び蒸着方法

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/50 20060101AFI20240229BHJP

   C23C 14/04 20060101ALI20240229BHJP

【ＦＩ】

C23C14/50

C23C14/04 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022135017

(22)【出願日】2022-08-26

(71)【出願人】

【識別番号】500171707

【氏名又は名称】株式会社ブイ・テクノロジー

(74)【代理人】

【識別番号】100170070

【弁理士】

【氏名又は名称】坂田 ゆかり

(72)【発明者】

【氏名】若林 雅

【テーマコード（参考）】

4K029

【Ｆターム（参考）】

4K029CA01

4K029HA01

4K029JA01

(57)【要約】      （修正有）

【課題】マスクフレームの平面度の影響を受けずにマスクと基板とを密着させることができる装置及び方法を提供する。
【解決手段】当接面３０ａを有する板状の被蒸着対象物保持部３０と、当接面に隣接するマスク組立体４０と、マスク組立体を挟んで被蒸着対象物の反対側に、マスク組立体に隣接して設けられた押圧部５０と、押圧部を挟んでマスク組立体の反対側に設けられた蒸着源を備える。マスク組立体は、枠状のマスクフレームと、第１中空部を覆う被蒸着対象物保持部に沿うマスクとを有し、押圧部は、本体部と、第１当接部とを有し、本体部は、被蒸着対象物保持部の延設方向と直交する第１方向から見て被蒸着対象物より小さい中空部である第２中空部と、マスクに沿って延設された対向面を有する。本体部は、マスクと被蒸着対象物との間に隙間がある第１形態と、第１当接部がマスクを押し上げてマスクを被蒸着対象物に押圧する第２形態との間で移動可能である。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

板状の被蒸着対象物が当接する当接面を有する板状の被蒸着対象物保持部と、
前記当接面に隣接して設けられたマスク組立体と、
前記マスク組立体を挟んで前記被蒸着対象物の反対側に、前記マスク組立体に隣接して設けられた押圧部と、
前記押圧部を挟んで前記マスク組立体の反対側に設けられた蒸着源と、
を備え、
前記マスク組立体は、枠状のマスクフレームと、前記マスクフレームの中空部である第１中空部を覆うように前記被蒸着対象物保持部に沿って設けられたマスクと、を有し、
前記押圧部は、本体部と、前記本体部に設けられている第１当接部と、を有し、
前記本体部は、前記被蒸着対象物保持部の延設方向と直交する第１方向から見て前記被蒸着対象物より小さい中空部である第２中空部と、前記マスクに沿って延設された対向面を有し、
前記第１当接部は、前記第１方向に沿って見たときに前記被蒸着対象物と重なるように前記対向面に設けられており、
前記本体部は、前記マスクと前記被蒸着対象物との間に隙間がある第１形態と、前記第１当接部が前記マスクを押し上げて前記マスクを前記被蒸着対象物に押圧する第２形態との間で前記第１方向に移動可能である
ことを特徴とする蒸着装置。

【請求項2】

前記第１当接部は、前記対向面から突出するように、前記対向面に形成された溝に設けられた弾性部材である
ことを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。

【請求項3】

前記第１当接部は、前記対向面に設けられたリブ状の凸部であり、
前記本体部は、前記第２中空部が設けられた板状部と、前記板状部に設けられており、前記第１方向に延設されたシャフトと、前記第１方向に移動可能な昇降軸と、前記シャフトと前記昇降軸との間に設けられた第１弾性部材とを有する
ことを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。

【請求項4】

前記本体部は、前記板状部と前記シャフトとの間に設けられた球面軸受を有する
ことを特徴とする請求項３に記載の蒸着装置。

【請求項5】

前記当接面は、前記被蒸着対象物に向けて凸となる曲面を有する、又は、前記被蒸着対象物に向けて凸となる突起を有する
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の蒸着装置。

【請求項6】

前記押圧部は、前記第２中空部を横切るように前記本体部に設けられた棒状のブリッジと、前記ブリッジに設けられた押圧部材と、を有し、
前記ブリッジは、前記対向面よりも前記マスクから離れた位置に、前記マスクと略平行に設けられており、
前記押圧部材は、前記マスクに当接する第２当接部を有し、
前記第２当接部は、前記対向面よりも前記マスク側に位置する
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の蒸着装置。

【請求項7】

前記押圧部材は、前記第２当接部を前記第１方向に移動させる第２弾性部材を有する
ことを特徴とする請求項６に記載の蒸着装置。

【請求項8】

板状の被蒸着対象物を、板状の被蒸着対象物保持部の当接面に当接させる保持ステップと、
前記当接面に隣接して設けられ、枠状のマスクフレーム及びマスクを有するマスク組立体を、前記マスク組立体を挟んで前記被蒸着対象物の反対側に、前記マスク組立体に隣接して設けられた押圧部により押圧して前記被蒸着対象物に前記マスクを密着させる押圧ステップと、
前記押圧部を挟んで前記マスク組立体の反対側に設けられた蒸着源から気化した蒸着材を前記被蒸着対象物に向けて噴射する蒸着ステップと、
を含み、
前記マスクは、前記マスクフレームの中空部である第１中空部を覆うように前記被蒸着対象物保持部に沿って設けられており、
前記押圧部は、前記被蒸着対象物保持部の延設方向と直交する第１方向から見て前記被蒸着対象物より小さい中空部である第２中空部と、前記マスクに沿って延設された対向面を有する本体部と、前記本体部に設けられている第１当接部と、を有し、
前記第１当接部は、前記第１方向に沿って見たときに前記被蒸着対象物と重なるように前記対向面に設けられており、
前記押圧ステップでは、前記マスクと前記被蒸着対象物との間に隙間がある状態から、前記本体部を前記第１方向に移動させて前記第１当接部により前記マスクを押し上げて、前記被蒸着対象物に前記マスクを密着させる
ことを特徴とする蒸着方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、蒸着装置及び蒸着方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、所定の蒸着パターンを有するマスクを介して蒸着材料を基板に蒸着して有機ＥＬデバイスを製造する有機ＥＬデバイス製造方法において、所定間隔で形成された所定の蒸着パターンの所定間隔の部分を押し付けて蒸着を行う有機ＥＬデバイス製造装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１３－２４７０４０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

有機ＥＬデバイスの製造に、マスクを用いて薄膜の蒸着パターンを形成する真空蒸着法が一般的に用いられている。蒸着において、マスクの密着性は成膜パターンの品質にとって重要であり、マスクと基板とが密着していないと、隙間から蒸着分子が回り込み、蒸着パターンの輪郭がぼやけてしまうという問題がある。特に、高精細マスク（ＦＭＭ）を用いて超小型デバイスの蒸着を行う場合には、パターンが小さく、またパターン間の間隔が狭いため、これまで以上に基板とマスクとの密着性が重要である。

【0005】

特許文献１に記載の発明は、マスクフレームが基板に接触するため、マスクフレームの平面度が大きく影響する。つまり、たとえマスク押付機構を用いてマスクを基板に密着させようとしても、マスクフレームの凹凸によりマスクフレームと基板との隙間があいてしまうため、この隙間によりマスクと基板とを密着させることができない。

【0006】

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、マスクフレームの平面度の影響を受けずにマスクと基板とを密着させることができる蒸着装置及び蒸着方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するために、本発明に係る蒸着装置は、例えば、板状の被蒸着対象物が当接する当接面を有する板状の被蒸着対象物保持部と、前記当接面に隣接して設けられたマスク組立体と、前記マスク組立体を挟んで前記被蒸着対象物の反対側に、前記マスク組立体に隣接して設けられた押圧部と、前記押圧部を挟んで前記マスク組立体の反対側に設けられた蒸着源と、を備え、前記マスク組立体は、枠状のマスクフレームと、前記マスクフレームの中空部である第１中空部を覆うように前記被蒸着対象物保持部に沿って設けられたマスクと、を有し、前記押圧部は、本体部と、前記本体部に設けられている第１当接部と、を有し、前記本体部は、前記被蒸着対象物保持部の延設方向と直交する第１方向から見て前記被蒸着対象物より小さい中空部である第２中空部と、前記マスクに沿って延設された対向面を有し、前記第１当接部は、前記第１方向に沿って見たときに前記被蒸着対象物と重なるように前記対向面に設けられており、前記本体部は、前記マスクと前記被蒸着対象物との間に隙間がある第１形態と、前記第１当接部が前記マスクを押し上げて前記マスクを前記被蒸着対象物に押圧する第２形態との間で前記第１方向に移動可能であることを特徴とする。

【0008】

本発明に係る蒸着装置によれば、マスクと被蒸着対象物との間に隙間がある第１形態と、第１当接部がマスクを押し上げてマスクを被蒸着対象物に押圧する第２形態との間で本体部が第１方向に移動可能である。これにより、マスクフレームの平面度の影響を受けずにマスクと基板とを密着させることができる。

【0009】

なお、前記第１中空部を、前記被蒸着対象物保持部の延設方向と直交する第１方向から見て前記被蒸着対象物保持部より大きくし、マスクフレームが被蒸着対象物に当接しないようにしてもよい。

【0010】

前記第１当接部は、前記対向面から突出するように、前記対向面に形成された溝に設けられた弾性部材であってもよい。これにより、マスクが被蒸着対象物に押圧するときに第１当接部が弾性変形することで、被蒸着対象物や被蒸着対象物保持部の変形や破損を防止することができる。

【0011】

前記第１当接部は、前記対向面に設けられたリブ状の凸部であり、前記本体部は、前記第２中空部が設けられた板状部と、前記板状部に設けられており、前記第１方向に延設されたシャフトと、前記第１方向に移動可能な昇降軸と、前記シャフトと前記昇降軸との間に設けられた第１弾性部材とを有してもよい。これにより、マスクが被蒸着対象物に押圧するときに第１弾性部材が弾性変形することで、被蒸着対象物や被蒸着対象物保持部の変形や破損を防止することができる。

【0012】

前記本体部は、前記板状部と前記シャフトとの間に設けられた球面軸受を有してもよい。これにより、本体部の傾斜を球面軸受で吸収して、押圧部や被蒸着対象物の破損を防止することができる。

【0013】

前記当接面は、前記被蒸着対象物に向けて凸となる曲面を有する、又は、前記被蒸着対象物に向けて凸となる突起を有してもよい。これにより、被蒸着対象物の周縁近傍が高く中央近傍が低くなるように被蒸着対象物を撓ませことができる。

【0014】

前記押圧部は、前記第２中空部を横切るように前記本体部に設けられた棒状のブリッジと、前記ブリッジに設けられた押圧部材と、を有し、前記ブリッジは、前記対向面よりも前記マスクから離れた位置に、前記マスクと略平行に設けられており、前記押圧部材は、前記マスクに当接する第２当接部を有し、前記第２当接部は、前記対向面よりも前記マスク側に位置してもよい。これにより、被蒸着対象物やマスクの周縁部以外の位置において第２当接部がマスクを被蒸着対象物に押圧することができる。したがって、第１当接部による押圧のみでマスクが被蒸着対象物の面に沿って密着しなかったとしても、マスクを被蒸着対象物に密着させることができる。

【0015】

前記押圧部材は、前記第２当接部を前記第１方向に移動させる第２弾性部材を有してもよい。これにより、マスクや被蒸着対象物の高さ方向の位置にばらつきがある場合にも第２当接部がマスクを被蒸着対象物に押圧することができる。

【0016】

また、本発明に係る蒸着方法は、例えば、板状の被蒸着対象物を、板状の被蒸着対象物保持部の当接面に当接させる保持ステップと、前記当接面に隣接して設けられ、枠状のマスクフレーム及びマスクを有するマスク組立体を、前記マスク組立体を挟んで前記被蒸着対象物の反対側に、前記マスク組立体に隣接して設けられた押圧部により押圧して前記被蒸着対象物に前記マスクを密着させる押圧ステップと、前記押圧部を挟んで前記マスク組立体の反対側に設けられた蒸着源から気化した蒸着材を前記被蒸着対象物に向けて噴射する蒸着ステップと、を含み、前記マスクは、前記マスクフレームの中空部である第１中空部を覆うように前記被蒸着対象物保持部に沿って設けられており、前記押圧部は、前記被蒸着対象物保持部の延設方向と直交する第１方向から見て前記被蒸着対象物より小さい中空部である第２中空部と、前記マスクに沿って延設された対向面を有する本体部と、前記本体部に設けられている第１当接部と、を有し、前記第１当接部は、前記第１方向に沿って見たときに前記被蒸着対象物と重なるように前記対向面に設けられており、前記押圧ステップでは、前記マスクと前記被蒸着対象物との間に隙間がある状態から、前記本体部を前記第１方向に移動させて前記第１当接部により前記マスクを押し上げて、前記被蒸着対象物に前記マスクを密着させることを特徴とする。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、マスクフレームの平面度の影響を受けずにマスクと基板とを密着させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】蒸着装置１の概略を示す図である。

【図2】蒸着装置１の要部の概略を示す斜視図である。

【図3】図２の断面Ｉで蒸着装置１の要部を切断した時の概略を示す図であり、（Ａ）はマスク４３とワークＷが当接していない状態を示し、（Ｂ）はマスク４３とワークＷが当接している状態を示す。

【図4】（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ図３（Ａ）、（Ｂ）の部分拡大図である。

【図5】（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれワーク保持部３０Ａ、３０Ｂを模式的に示す図である。

【図6】蒸着装置２の概略を示す要部斜視図である。

【図7】図６の断面ＩＩで蒸着装置２の要部を切断した時の概略を示す図である。

【図8】図７の部分拡大図である。

【図9】蒸着装置３の概略を示す要部斜視図である。

【図10】図９の断面ＩＩＩで蒸着装置３の要部を切断した時の概略を示す図であり、一部を拡大している。

【図11】蒸着装置４の概略を示す要部斜視図である。

【図12】蒸着装置４の概略を示す断面図であり、（Ａ）は図１１の面ＩＶにおける断面図であり、（Ｂ）は図１１の面Ｖにおける断面図である。

【図13】図１２（Ｂ）の部分拡大図である。

【図14】押圧部材５５Ａの概略を示す図である。

【図15】押圧部５０Ｄを有する蒸着装置４Ａの概略を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。本発明の蒸着装置は、有機ＥＬ装置の製造に用いられる装置であり、ウェハ、ガラス基板等の板状の被蒸着対象物（以下、ワークという）に、高精細なパターンを有する高精細マスク（ＦＭＭ）を用いて発光層等の有機化合物層を蒸着する。蒸着は、ワークの成膜面を下向きにして行われる。

【0020】

＜第１の実施の形態＞
図１は、第１の実施の形態に係る蒸着装置１の概略を示す図である。以下、蒸着装置１の奥行き方向をＹ方向とし、水平面においてＹ方向と直交する方向をＸ方向とする。また、Ｘ方向及びＹ方向と直交する方向をＺ方向（鉛直方向）とする。

【0021】

蒸着装置１は、主として、真空容器１０と、蒸着源２０と、ワーク保持部３０と、マスク組立体４０と、押圧部５０とを備える。蒸着源２０、ワーク保持部３０、マスク組立体４０及び押圧部５０は、真空容器１０の内部に設けられる。

【0022】

真空容器１０は、減圧状態を維持可能な容器である。真空容器１０には、真空容器１０内の気体を排出するポンプ、真空容器１０内に任意の気体を供給するガス供給部等が設けられていてもよい。

【0023】

蒸着源２０は、例えば、真空容器１０内の底部または底部近傍に設けられている。蒸着源２０は、固体状の蒸着材を収容する収容部２１と、蒸着材を加熱する加熱部（図示省略）と、加熱により気化した蒸着材を噴射する１又は複数のノズル２２を有する。ノズル２２は、上側（＋Ｚ側）に設けられており、気化した蒸着材を上向き（＋Ｚ向き）に噴射する。

【0024】

ワーク保持部３０は、ノズル２２の上側に、水平方向に沿ってワークＷを保持する。ワーク保持部３０は、ワークＷを着脱可能に保持する。ワークＷは、ワーク保持部３０の下側（－Ｚ側）に設けられる。図示していないが、ワーク保持部３０の上側には、高精密マスク（ＦＭＭ、以下マスク４３という、図３等参照）を磁力で吸引するマグネットプレートが設けられている。マグネットプレートは公知であるため、説明を省略する。

【0025】

マスク組立体４０は、マスク４３を有し、ワークＷと蒸着源２０との間、すなわちワークＷの下側に、ワーク保持部３０に隣接して設けられている。押圧部５０は、マスク組立体４０と蒸着源２０との間、すなわちマスク組立体４０の－Ｚ側に、マスク組立体４０に隣接して設けられている。言い換えれば、押圧部５０は、マスク組立体４０を挟んでワークＷの反対側に設けられている。

【0026】

また、蒸着源２０は、押圧部５０を挟んでマスク組立体４０の反対側に、すなわち押圧部５０の－Ｚ側に、ワーク保持部３０、ワークＷ、マスク組立体４０及び押圧部５０と離間して設けられている。

【0027】

図２は、蒸着装置１の要部（ワーク保持部３０、マスク組立体４０及び押圧部５０）の概略を示す斜視図である。図２では、ワーク保持部３０の下側に設けられたワークＷは視認されない。また、蒸着装置１で蒸着を行う対象のワークＷはウェハ（円板状）であり、ワーク保持部３０、マスク組立体４０及び押圧部５０は平面視において（＋Ｚ方向から見て）円形状である。

【0028】

図３は、図２の断面Ｉで蒸着装置１の要部を切断した時の概略を示す図であり、（Ａ）はマスク４３とワークＷが当接していない状態を示し、（Ｂ）はマスク４３とワークＷが当接している状態を示す。図４（Ａ）、（Ｂ）は、図３（Ａ）、（Ｂ）の部分拡大図である。

【0029】

ワーク保持部３０は、－Ｚ側の面が当接面３０ａである。当接面３０ａには、ワークＷが当接する。

【0030】

マスク組立体４０は、主として、マスクフレーム４１と、マスク４３とを有する。マスクフレーム４１は、常温付近で熱膨張率が小さい低膨張合金、例えば鉄に３６％程度のニッケルを加えたインバーを用いることができる。

【0031】

マスクフレーム４１は、中空部４１ａ（本発明の第１中空部に相当）が設けられた板状（すなわち、枠状）である。本実施の形態では円板状のワークＷを用いるため、マスクフレーム４１は環状である。中空部４１ａは、Ｚ方向（本発明の第１方向に相当）から見て、ワークＷ及びワーク保持部３０より大きい。

【0032】

マスクフレーム４１は、真空容器１０に設けられたマスクステージ４２に着脱可能に取り付けられる。マスクステージ４２は、環状であり、中空部４２ａを有する。中空部４２ａの大きさは中空部４１ａの大きさ以上であればよく、本実施の形態は中空部４１ａ、４２ａの大きさは同じである。ただし、マスクフレーム４１を真空容器１０の内部に設ける態様は、マスクステージ４２を用いる態様に限られない。中空部４１ａを覆わないようにマスクフレーム４１を真空容器１０の内部に設ければよく、例えば、複数本の棒状部材を介してマスクフレーム４１を真空容器１０の内部に設けてもよい。

【0033】

マスクフレーム４１はマスクステージ４２の＋Ｚ側に設けられており、マスク４３はマスクフレーム４１＋Ｚ側（ワークＷ側）の上面４１ｂに設けられている。すなわち、マスク４３は、中空部４１ａを覆うように、ワーク保持部３０及びワークＷに沿って設けられている。また、マスク４３は、ワークＷに隣接して設けられている。

【0034】

押圧部５０は、主として、マスクプッシャ５１（本発明の本体部に相当）と、マスクプッシャ５１に設けられた当接部５２と、マスクプッシャ５１をＺ方向に移動させる昇降部５３とを有する。昇降部５３は、マスクステージ４２に設けられた孔４２ｂに挿入されている。

【0035】

昇降部５３は、棒状であり、マスクプッシャ５１に設けられている。マスクプッシャ５１は、昇降部５３によりＺ方向に移動可能である。例えば、昇降部５３には図示しない駆動部が設けられており、駆動部により昇降部５３がＺ方向に移動されると、マスクプッシャ５１がＺ方向に移動される。このように、マスクプッシャ５１は、マスク４３とワークＷとの間に隙間がある形態（図３（Ａ）、図４（Ａ）参照、本発明の第１形態に相当）と、当接部５２がマスクを押し上げてマスク４３をワークＷに押圧する形態（図３（Ｂ）、図４（Ｂ）参照、本発明の第２形態に相当）との間でＺ方向に移動可能に構成されている。

【0036】

本実施の形態では円板状のワークＷを用いるため、マスクプッシャ５１は＋Ｚ方向から見て（Ｚ方向に沿って見たときに）円形状である。マスクプッシャ５１は、中空部５１ａ（本発明の第２中空部に相当）を有する。中空部５１ａは、＋Ｚ方向から見たときに（Ｚ方向に沿って見たときに）ワークＷより小さい円形状である。また、マスクプッシャ５１は、中空部５１ａに隣接して、ワークＷと対向する対向面５１ｂを有する。対向面５１ｂは、マスク４３に沿って延設されている。

【0037】

対向面５１ｂには当接部５２（本発明の第１当接部に相当）が設けられている。当接部５２は、弾性部材、例えばＯリングである。本実施の形態では、円板状のワークＷを用いるため、当接部５２は環状である。当接部５２に用いる材料としては、一般的にＯリングに用いられる材料、例えば、ニトリルゴム、水素化ニトリルゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム、アクリルゴム、パーフルオロエラストマーの弾性を有する材料を用いることができる。

【0038】

当接部５２は、対向面５１ｂから突出するように、対向面５１ｂに形成された溝５１ｃに設けられている。また、当接部５２は、中空部５１ａに隣接して、Ｚ方向に沿って見たときに中空部５１ａに重ならないように、かつ、ワークＷ及びワーク保持部３０と重なるように設けられている。

【0039】

図３（Ａ）、図４（Ａ）に示すようにマスクプッシャ５１が－Ｚ側の端にある場合には、当接部５２がマスク４３に当接していない。このときのワークＷとマスク４３との隙間は１μｍ～０．１ｍｍ程度と非常に小さい。なお、ワークＷは水平方向に沿って延設されているため、撓みにくいシリコン製のワークＷであったとしても重力により撓み、ワークＷの周縁近傍が高く中央近傍が低くなる。ただし、マスク４３は、マスクフレーム４１に貼付されるときに一定の張力が与えられており、一般的にワークＷよりも撓みにくい。

【0040】

それに対し、マスクプッシャ５１を＋Ｚ方向に移動させると、当接部５２がマスク４３に当接し、マスク４３がワークＷに当接するまでマスク４３を押し上げて、図３（Ｂ）、図４（Ｂ）に示す状態になる。

【0041】

マスク４３はマスクフレーム４１に貼付されるときに一定の張力が与えられており、またワークＷが撓んでいるため、マスク４３が押し上げられてワークＷに当接することでマスク４３がワークＷの面に倣い、マスク４３がワークＷの面に沿って密着する。

【0042】

Ｚ方向に沿って見たときに、中空部５１ａがワークＷより小さく、当接部５２がワークＷと重なるように設けられているため、当接部５２がマスク４３を介してワークＷに当接する。また、Ｚ方向に沿って見たときに中空部４１ａがワークＷより大きいため、マスクフレーム４１がワークＷやワーク保持部３０に当接しない。したがって、当接部５２を介して、マスクプッシャ５１がマスク４３をワークＷに押圧することができる。

【0043】

また、当接部５２は弾性部材であるため、マスクプッシャ５１を＋Ｚ方向に移動させ過ぎたとしても、当接部５２が弾性変形し、ワークＷやワーク保持部３０の変形や破損が防止される。

【0044】

ワークＷとマスク４３との隙間は１μｍ～０．１ｍｍ程度と小さいが、当接部５２がマスク４３を押し上げるときにマスク４３の一部が傾斜する。したがって、この傾斜が大きくなり過ぎないように中空部４１ａの大きさを設定することが望ましい。

【0045】

このように構成された蒸着装置１を用いてワークＷに蒸着処理を行う処理の流れについて説明する。まず、ワークＷの成膜面を下向き（－Ｚ向き）にした状態で、ワークＷを当接面３０ａに当接させる（保持ステップ）。このとき、マスク４３とワークＷとの間には隙間がある。

【0046】

次に、マスクプッシャ５１を＋Ｚ方向に移動させて当接部５２によりマスク４３を押し上げて、ワークＷにマスク４３を密着させる（押圧ステップ）。その後、蒸着源２０のノズル２２から気化した蒸着材を上向き、すなわちワークＷに向けて噴射する（蒸着ステップ）。

【0047】

本実施の形態によれば、マスクフレーム４１がワークＷやワーク保持部３０に当接せず、当接部５２によりマスク４３をワークＷに当接させるため、マスク４３とワークＷとを確実に当接させることができる。

【0048】

マスクフレーム４１は金属製であり、表面を研磨して平らにしているが、表面に微小な凹凸が生じたり、全体にうねりが生じたりして、マスクフレーム４１の幾何的な精度である平面度に影響を与える。マスクフレーム４１がワークＷに接触する場合には、平面度が示す仮想平面と理想的な平面との差異により、マスクフレーム４１の近傍においてマスクフレーム４１とワークＷとの間に隙間ができる。この凹凸は１μｍ～２０μｍ程度であるが、超小型デバイスの蒸着を行う場合には１μｍの隙間であっても品質に大きく影響する回り込みが発生してしまう。

【0049】

それに対し、本実施の形態では、中空部４１ａがワークＷ及びワーク保持部３０より大きく、マスクフレーム４１がワークＷやワーク保持部３０に当接しないため、マスクフレーム４１の表面の凹凸の影響を受けることはない。つまり、マスク４３とワークＷとの間に隙間ができることなく、マスク４３とワークＷとを確実に当接させることができる。

【0050】

なお、本実施の形態では、ワークＷが重力により撓み、ワークＷの周縁近傍が高くなり中央近傍が低くなっていたが、ワーク保持部の形状を工夫してワークＷを撓ませてもよい。図５（Ａ）、（Ｂ）は、変形例にかかるワーク保持部３０Ａ、３０Ｂを模式的に示す図である。

【0051】

図５（Ａ）に示すように、ワーク保持部３０Ａは、ワークＷが当接する当接面３０ｂがワークＷに向けて凸となる曲面となっている。これにより、ワークＷが当接面３０ｂに沿って変形し、中央部が膨らんだいわゆる中高形状になる。その結果、ワークＷの周縁近傍が高い位置（＋Ｚ側）に、中央近傍が低い位置（－Ｚ側）に配置される。なお、当接面３０ｂの一部（例えば、中央近傍）がワークＷに向けて凸となる曲面であってもよい。つまり、当接面３０ｂがワークＷに向けて凸となる曲面を有すればよい。

【0052】

図５（Ｂ）示すように、ワーク保持部３０Ｂは、ワークＷが当接する当接面３０ｃが、ワークＷに向けて凸となる突起３０ｄを有する。これにより、ワークＷの突起３０ｄと当接する部分近傍が膨らんだいわゆる中高形状になる。その結果、ワークＷの周縁近傍が高い位置（＋Ｚ側）に、中央近傍が低い位置（－Ｚ側）に配置される。

【0053】

また、本実施の形態では、Ｚ方向から見て中空部４１ａがワークＷ及びワーク保持部３０より大きいが、中空部４１ａの大きさはこれに限られず、中空部４１ａがワークＷより大きくワーク保持部３０の大きさ以下であってもよいし、中空部４１ａがワークＷの大きさ以下であってもよい。中空部４１ａがワークＷの大きさ以下であっても、マスクプッシャ５１の形状（例えば、対向面５１ｂの高さや位置）によっては当接部５２がマスクを押し上げてマスク４３をワークＷに当接させることができる。ただし、中空部４１ａがワークＷの大きさ以下である場合には、マスクフレーム４１をワークＷに当接させずにマスク４３のみをワークＷに当接させようとすると、ワークＷの有効面積（有効にに使うことができる面積）が狭くなるうえ、当接部５２がマスク４３を押し上げることによるマスク４３の傾斜が大きくなり過ぎるおそれがあるため、中空部４１ａをワークＷより大きくすることが望ましい。

【0054】

＜第２の実施の形態＞
本発明の第１の実施の形態は、弾性変形可能な当接部５２がマスク４３に当接してマスク４３を押し上げるとともに、当接部５２が弾性変形することでワークＷやワーク保持部３０の変形や破損を防止したが、ワークＷやワーク保持部３０が変形しないようにマスク４３を押し上げる方法はこれに限られない。

【0055】

本発明の第２の実施の形態は、マスクプッシャをＺ方向に移動させる昇降部が弾性部材を有し、この弾性部材によりワークＷやワーク保持部３０が変形しないようにする形態である。以下、第２の実施の形態に係る蒸着装置２について説明する。なお、第１の実施の形態と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。

【0056】

図６は、蒸着装置２の概略を示す要部斜視図である。蒸着装置２は、主として、真空容器１０（図６では図示省略）と、蒸着源２０（図６では図示省略）と、ワーク保持部３０と、マスク組立体４０Ａと、押圧部５０Ａとを備える。蒸着源２０、ワーク保持部３０、マスク組立体４０Ａ及び押圧部５０Ａは、真空容器１０の内部に設けられている。なお、図６では、ワーク保持部３０の下側に設けられたワークＷは視認されない。

【0057】

図７は、図６の断面ＩＩで蒸着装置２の要部を切断した時の概略を示す図である。図８は、図７の部分拡大図である。図７、８は、マスク４３とワークＷが当接している状態を示す。

【0058】

マスク組立体４０Ａは、主として、マスクフレーム４１と、マスクステージ４２Ａと、マスク４３とを有する。なお、マスクステージ４２Ａは、穴４２ｃを有する点でマスクステージ４２と異なり、その他はマスクステージ４２と同様である。

【0059】

押圧部５０Ａは、主として、マスクプッシャ５１Ａと、マスクプッシャ５１Ａに設けられた当接部５２Ａと、マスクプッシャ５１ＡをＺ方向に移動させる昇降部５３Ａとを有する。マスクプッシャ５１Ａは、マスク４３とワークＷとの間に隙間がある形態と、当接部５２Ａがマスク４３を押し上げてマスク４３をワークＷに押圧する形態の間でＺ方向に移動可能に構成されている。

【0060】

昇降部５３Ａは、棒状であり、マスクプッシャ５１Ａに設けられている。昇降部５３Ａは、主として、ガイドシャフト５３１と、昇降軸５３２と、弾性部材５３３と、直動ベアリング５３４と、球面軸受５３５とを有する。

【0061】

ガイドシャフト５３１は、棒状であり、球面軸受５３５を介してマスクプッシャ５１Ａに設けられている。球面軸受５３５は、固定部材５３７によりマスクプッシャ５１Ａに設けられた孔５１ｄ及び穴５１ｅの内部に設けられている。球面軸受５３５は、球状部５３５ａとハウジング５３５ｂとを有し、球状部５３５ａ（内輪）とハウジング５３５ｂ（外輪）とが球面接触をする滑り軸受であり、ラジアル荷重とアシキアル荷重に対応可能である。

【0062】

また、ガイドシャフト５３１は、マスクステージ４２Ａに設けられた直動ベアリング５３４に設けられており、Ｚ方向に移動可能である。直動ベアリング５３４は、マスクステージ４２Ａに設けられた孔４２ｂ及び穴４２ｃに挿入されている。

【0063】

さらに、ガイドシャフト５３１は、弾性部材５３３を介して昇降軸５３２に設けられている。例えば、ガイドシャフト５３１の端部が昇降軸５３２の穴５３２ａの内部に設けられている。弾性部材５３３は、例えばコイルばねであり、一端がフランジ部５３１ａに設けられており、他端が穴５３２ａに設けられている。

【0064】

昇降軸５３２には図示しない駆動部が設けられており、駆動部により昇降軸５３２がＺ方向に移動されると、ガイドシャフト５３１、すなわちマスクプッシャ５１ＡがＺ方向に移動される。また、弾性部材５３３により、ガイドシャフト５３１、すなわちマスクプッシャ５１Ａが昇降軸５３２に対してＺ方向に移動可能である。

【0065】

マスクプッシャ５１Ａの対向面５１ｂには、当接部５２Ａが設けられている。当接部５２Ａは、対向面５１ｂから突出するように、対向面５１ｂに形成された溝５１ｃに設けられている。また、当接部５２Ａは、Ｚ方向に沿って見たときに、中空部５１ａに重ならないように、かつ、ワークＷと重なるように設けられている。

【0066】

当接部５２Ａは、金属又は樹脂で形成されており、表面に帯電防止加工（例えば、フッ素コーティング）が施されている。ただし、帯電防止加工は必須ではない。また、当接部５２Ａに用いられる材料は、例えば、一般的にＯリングに用いられる材料（例えば、ニトリルゴム、水素化ニトリルゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム、アクリルゴム、パーフルオロエラストマー）、金属材料（例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４等））、樹脂に任意の添加剤を加えて特性を強化したエンジニアリングプラスチック（例えば、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン））である。

【0067】

マスクプッシャ５１Ａを＋Ｚ方向に移動させて、当接部５２Ａをマスク４３に当接させて、マスク４３がワークＷに当接するまでマスク４３を押し上げる。昇降部５３Ａが弾性部材５３３を有し、マスクプッシャ５１Ａを＋Ｚ方向に移動させすぎたとしても、弾性部材５３３が弾性変形するため、ワークＷやワーク保持部３０の変形や破損が防止される。

【0068】

また、昇降部５３Ａが球面軸受５３５を有するため、マスクプッシャ５１Ａを＋Ｚ方向に移動させるときにマスクプッシャ５１Ａが傾斜したとしても、球面軸受５３５により傾斜が吸収される。したがって、押圧部５０ＡやワークＷが破損し難い。

【0069】

本実施の形態によれば、マスクフレーム４１がワークＷやワーク保持部３０に当接せず、当接部５２Ａによりマスク４３をワークＷに当接させるため、マスク４３とワークＷとを確実に当接させることができる。

【0070】

＜第３の実施の形態＞
本発明の第１の実施の形態は、ワークＷが円板状のウェハであったが、ワークＷはこれに限られない。

【0071】

本発明の第３の実施の形態は、ワークにガラス基板を用いる形態である。以下、第３の実施の形態に係る蒸着装置３について説明する。なお、第１、２の実施の形態と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。

【0072】

図９は、蒸着装置３の概略を示す要部斜視図である。蒸着装置３は、主として、真空容器１０（図９では図示省略）と、蒸着源２０（図９では図示省略）と、ワーク保持部３０Ｃと、マスク組立体４０Ｂと、押圧部５０Ｂとを備える。蒸着源２０、ワーク保持部３０Ｃ、マスク組立体４０Ｂ及び押圧部５０Ｂは、真空容器１０の内部に設けられている。

【0073】

ワーク保持部３０Ｃは、平面視において矩形形状であり、水平方向に沿ってワークＷ１（図１０参照）を着脱可能に保持する。ワークＷ１は、平面視において矩形形状のガラス基板であり、ワーク保持部３０Ｃの下側に設けられている。ワーク保持部３０Ｃは、静電チャックを有してもよい。なお、図９では、ワーク保持部３０の下側に設けられたワークＷ１は視認されない。

【0074】

マスク組立体４０Ｂは、中空部が設けられた板状（すなわち、枠状）のであり、主として、マスクフレーム４１Ａと、マスクステージ４２Ｂと、マスク４３Ａと、棒状部材４４とを有する。本実施の形態では、矩形形状のワークＷを用いるため、マスクフレーム４１Ａ及びマスクステージ４２Ｂは平面視において矩形形状の枠状である。また、マスク４３Ａは、平面視において矩形形状である。

【0075】

マスクフレーム４１Ａはマスクステージ４２Ｂの＋Ｚ側に設けられており、マスク４３Ａはマスクフレーム４１Ａの＋Ｚ側に設けられている。マスクフレーム４１Ａは、４つの棒状部４１ｃ、４１ｄ、４１ｇ、４１ｈを有する。棒状部４１ｃ、４１ｄが平行であり、棒状部４１ｇ、４１ｈが平行であり、棒状部４１ｃ、４１ｄと棒状部４１ｇ、４１ｈとが直交し、Ｚ方向に沿って見たときに棒状部４１ｃ、４１ｄ、４１ｇ、４１ｈにより矩形形状が形成される。マスク４３Ａは、棒状部４１ｃ、４１ｄに設けられている。

【0076】

棒状部材４４は、マスクステージ４２Ｂに設けられており、マスクフレーム４１Ａ及びマスクステージ４２Ｂを水平方向に保持する。棒状部材４４は、マスクステージ４２Ｂの四隅近傍にそれぞれ設けられている。

【0077】

押圧部５０Ｂは、主として、マスクプッシャ５１Ｂと、マスクプッシャ５１Ｂに設けられた当接部５２Ｂ（後に詳述）と、昇降部５３Ａとを有する。本実施の形態では、矩形形状のワークＷを用いるため、マスクプッシャ５１ＢはＺ方向に沿って見たときに矩形形状である。

【0078】

昇降部５３Ａは、マスクステージ４２Ｂに設けられた孔（図示省略）に挿入されている。昇降部５３Ａは、マスクプッシャ５１Ｂ及びマスクステージ４２Ｂの四隅近傍にそれぞれ設けられている。マスクプッシャ５１Ｂは、昇降部５３Ａによりマスク４３とワークＷとの間に隙間がある形態と、マスク４３ＡをワークＷに押圧する形態との間でＺ方向に移動可能である。

【0079】

図１０は、図９の断面ＩＩＩで蒸着装置３の要部を切断した時の概略を示す図であり、一部を拡大している。図１０は、マスク４３ＡとワークＷ１が当接している状態を示す。

【0080】

マスクフレーム４１Ａ及びマスクステージ４２Ｂは、それぞれ、Ｚ方向に沿って見たときに矩形形状の中空部４１ｅ、４２ｄ（本発明の第１中空部に相当）を有する。中空部４１ｅ、４２ｄは、Ｚ方向に沿って見たときに、ワークＷ１及びワーク保持部３０Ｃより大きい。マスク４３Ａは、中空部４１ｅを覆うように、マスクフレーム４１Ａの＋Ｚ側の上面４１ｆに設けられている。

【0081】

マスクプッシャ５１Ｂは、４つの棒状部５１ｉ、５１ｊ、５１ｋ、５１ｌ（図１２参照）を有する。棒状部５１ｉ、５１ｊが平行であり、棒状部５１ｋ、５１ｌが平行であり、棒状部５１ｉ、５１ｊと棒状部５１ｋ、５１ｌとが直交し、Ｚ方向に沿って見たときに棒状部５１ｉ、５１ｊ、５１ｋ、５１ｌにより矩形形状が形成される。マスクプッシャ５１Ｂは、棒状部５１ｉ、５１ｊ、５１ｋ、５１ｌにより囲まれた空間である中空部５１ｆ（本発明の第２中空部に相当）を有する。中空部５１ｆは、Ｚ方向に沿って見たときにワークＷより小さい矩形形状である。また、マスクプッシャ５１Ｂは、マスク４３Ａに沿って延設され、かつ、ワークＷと対向する対向面５１ｇを有する。対向面５１ｇは、中空部５１ｆに隣接して設けられている。

【0082】

対向面５１ｇには当接部５２Ｂが設けられている。当接部５２Ｂは、弾性部材である。当接部５２Ｂは、対向面５１ｇから突出するように、対向面５１ｇに形成された溝５１ｈに設けられている。また、当接部５２Ｂは、中空部５１ｆに隣接して、Ｚ方向に沿って見たときに中空部５１ｆに重ならないように、かつ、ワークＷ１と重なるように直線状に設けられている。

【0083】

当接部５２Ｂは、棒状部５１ｉ、５１ｊに設けられている。棒状部５１ｉ、５１ｊは、棒状部４１ｃ、４１ｄに隣接する。

【0084】

マスクプッシャ５１Ｂが－Ｚ側の端にある場合には、当接部５２Ｂがマスク４３に当接していない。このときのワークＷ１とマスク４３Ａとの隙間は０．１ｍｍ程度と非常に小さい。なお、ワークＷ１は水平方向に沿って延設されているため、重力により撓み、ワークＷ１の周縁近傍が高くなり中央近傍が低くなる。ただし、マスク４３Ａは、マスクフレーム４１Ａに貼付されるときに一定の張力が与えられており撓まない。

【0085】

それに対し、マスクプッシャ５１Ｂを＋Ｚ方向に移動させると、当接部５２Ｂがマスク４３Ａに当接し、マスク４３ＡがワークＷ１に当接するまでマスク４３Ａを押し上げる。ワークＷ１が撓んでいるため、マスク４３Ａが押し上げられてワークＷ１に当接することでマスク４３ＡがワークＷ１の面に倣い、マスク４３ＡがワークＷ１の面に沿って密着する。

【0086】

また、当接部５２Ｂは弾性部材であるため、マスクプッシャ５１Ｂを＋Ｚ方向に移動させ過ぎたとしても、当接部５２Ｂが弾性変形し、ワークＷ１やワーク保持部３０Ｃの変形や破損が防止される。

【0087】

本実施の形態によれば、Ｚ方向に沿って見たときに、中空部５１ｆがワークＷ１より小さく、中空部４１ｅがワークＷ１及びワーク保持部３０Ｃより大きいため、マスクフレーム４１ＡがワークＷ１やワーク保持部３０Ｃに当接せず、当接部５２ＢがワークＷ１と重なる。したがって、当接部５２Ｂを介して、マスクプッシャ５１Ｂがマスク４３ＡをワークＷ１に押圧することができる。

【0088】

なお、本実施の形態では、マスク４３Ａが棒状部４１ｃ、４１ｄに設けられており、当接部５２Ｂは、棒状部４１ｃ、４１ｄに隣接する棒状部５１ｉ、５１ｊに設けられているが、マスク及び当接部が設けられる形態はこれに限られない。例えば、マスク４３Ａはマスクフレーム４１Ａの４つの全ての棒状部（棒状部４１ｃ、４１ｄを含む）に設けられていてもよく、当接部５２Ｂがマスクプッシャ５１Ｂの４つの全ての棒状部（棒状部５１ｉ、５１ｊを含む）に設けられていてもよい。

【0089】

＜第４の実施の形態＞
本発明の第１の実施の形態は、当接部５２Ｂによりマスク４３ＡをワークＷ１に押圧したが、当接部５２Ｂ以外の部材がマスク４３Ａを押し上げてもよい。

【0090】

本発明の第４の実施の形態は、当接部５２Ｂに加え、当接部５２Ｂ以外の当接部を用いてマスク４３ＡをワークＷ１に押圧する形態である。以下、第４の実施の形態に係る蒸着装置４について説明する。なお、第１～３の実施の形態と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。

【0091】

図１１は、蒸着装置４の概略を示す要部斜視図である。蒸着装置４は、主として、真空容器１０（図１１では図示省略）と、蒸着源２０（図１１では図示省略）と、ワーク保持部３０Ｃ（図１１では図示省略）と、マスク組立体４０Ｂと、押圧部５０Ｃとを備える。蒸着源２０、ワーク保持部３０Ｃ、マスク組立体４０Ｂ及び押圧部５０Ｃは、真空容器１０の内部に設けられている。

【0092】

図１２は、蒸着装置４の概略を示す断面図であり、（Ａ）は図１１の面ＩＶにおける断面図であり、（Ｂ）は図１１の面Ｖにおける断面図である。図１３は、図１２（Ｂ）の部分拡大図である。図１２、１３は、押圧部５０Ｃが＋Ｚ方向に移動し、マスク４３ＡとワークＷ１が当接している状態を示す。

【0093】

押圧部５０Ｃは、主として、マスクプッシャ５１Ｃと、マスクプッシャ５１Ｃに設けられた当接部５２Ｂと、マスクプッシャ５１ＣをＺ方向に移動させる昇降部５３Ａと、マスクプッシャ５１Ｂに設けられたブリッジ５４と、ブリッジ５４に設けられた押圧部材５５とを有する。マスクプッシャ５１Ｃは、ブリッジ５４が設けられている点でマスクプッシャ５１Ａと異なり、その他はマスクプッシャ５１Ｂと同様である。

【0094】

ブリッジ５４は、棒状であり、中空部５１ｆを横切るようにマスクプッシャ５１Ｃに設けられている。また、ブリッジ５４は、対向面５１ｇよりも－Ｚ側（マスク４３Ａから離れた位置）に設けられており、マスク４３Ａに沿って（ここでは、Ｙ方向に沿って）延設されている。

【0095】

なお、ブリッジ５４の位置及び数は、本実施の形態において図示された形態に限られない。また、ブリッジ５４は、マスク４３Ａに沿って延設されていればよく、例えばＸ方向に沿っていてもよい。このように設けられていたとしても、ブリッジ５４が中空部５１ｆを横切るよう設けられていることに変わりはない。

【0096】

押圧部材５５は、ブリッジ５４に設けられており、押圧部５０Ｃが＋Ｚ方向に移動した時にマスク４３Ａに当接する。押圧部材５５は、金属の板状部材を折り曲げて形成されている。

【0097】

図１３に示すように、押圧部材５５は、主として、マスク４３Ａに当接する当接部（本発明の第２当接部に相当）５５ａと、弾性部（本発明の第２弾性部材に相当）５５ｂと、ブリッジ５４に設けられている取付部５５ｃとを有する。当接部５５ａは、対向面５１ｇよりも＋Ｚ側（マスク４３Ａ側）に位置する。当接部５５ａと弾性部５５ｂとの間及び弾性部５５ｂと取付部５５ｃとの間の折り曲げ部５５ｄは鈍角である。

【0098】

当接部５５ａと取付部５５ｃとの間に挟まれた弾性部５５ｂは、弾性変形して板ばねとして機能する。取付部５５ｃがブリッジ５４に固定されているため、弾性部５５ｂが弾性変形することで当接部５５ａがＺ方向に移動する。

【0099】

なお、当接部５５ａの位置及び数は、本実施の形態において図示された形態に限られない。また、当接部５５ａの形状もこれに限られない。

【0100】

マスクプッシャ５１Ｃが－Ｚ側の端にある場合には、当接部５２Ｂ、５５ａがマスク４３に当接していない。マスクプッシャ５１Ｃを＋Ｚ方向に移動させると、当接部５２Ｂ、５５ａがマスク４３に当接してマスク４３Ａを押し上げることで、当接部５２Ｂ、５５ａを介して、マスクプッシャ５１Ｃがマスク４３ＡをワークＷ１に押圧する。

【0101】

当接部５２Ｂは、ワークＷ１やマスク４３Ａの周縁部でマスク４３ＡをワークＷ１に押圧する。また、当接部５５ａは、ワークＷ１やマスク４３Ａの周縁部以外でマスク４３Ａに当接する。

【0102】

ブリッジ５４及び押圧部材５５がＺ方向に沿って見たときに中空部５１ｆと重なるようにマスクプッシャ５１Ｃに設けられており、かつ、当接部５５ａが対向面５１ｇよりも＋Ｚ側に位置するため、マスクプッシャ５１Ｃを＋Ｚ方向に移動させることで、まず当接部５５ａがマスク４３Ａに当接する。さらにマスクプッシャ５１Ｃを＋Ｚ方向に移動させると、当接部５５ａ及びマスク４３ＡがワークＷ１に当接し、その後弾性部５５ｂが弾性変形して当接部５５ａがマスク４３ＡをワークＷ１に押圧する。したがって、ワークＷ１やマスク４３Ａの周縁部以外の位置においても、マスクプッシャ５１Ｃがマスク４３ＡをワークＷ１に押圧する。

【0103】

本実施の形態によれば、マスクフレーム４１ＡがワークＷ１やワーク保持部３０Ｃに当接せず、当接部５２Ｂ及び当接部５５ａによりマスク４３ＡをワークＷ１に当接させるため、マスク４３ＡとワークＷ１とを確実に当接させることができる。

【0104】

例えば、当接部５２Ｂのみでマスク４３ＡをワークＷ１に押圧するときには、ワークＷ１が撓んでいない場合や、ワークＷ１が大型の場合等にワークＷ１やマスク４３Ａの周縁部でマスク４３ＡがワークＷ１に当接しても、マスク４３ＡがワークＷ１の面に倣わず、マスク４３ＡがワークＷ１の面に沿って密着しないことも考えられる。

【0105】

それに対し、本実施の形態のように、ワークＷ１やマスク４３Ａの周縁部以外の位置において当接部５５ａがマスク４３ＡをワークＷ１に押圧することで、当接部５２Ｂによる押圧のみでマスク４３ＡがワークＷ１の面に沿って密着しなかったとしても、マスク４３ＡをワークＷ１に密着させることができる。

【0106】

また、本実施の形態によれば、当接部５５ａが弾性部５５ｂによりＺ方向に移動可能であるため、マスク４３ＡやワークＷ１の高さ方向（Ｚ方向）の位置にばらつきがある場合にも当接部５５ａがマスク４３ＡをワークＷ１に押圧することができる。また、マスク４３ＡをワークＷ１の変形や破損を防止することができる。

【0107】

なお、本実施の形態では、押圧部材５５が平板状の当接部５５ａ及び取付部５５ｃを有し、平板状の弾性部５５ｂでこれらを連結したが、押圧部材５５の形態はこれに限られない。図１４は、変形例にかかる押圧部材５５Ａの概略を示す図である。押圧部材５５Ａは、主として、ブリッジ５４に設けられている取付部５５ｃと、弾性部（本発明の第２弾性部材に相当）５５ｅとを有する。

【0108】

弾性部５５ｅは円弧状であり、弾性部５５ｅのブリッジ５４から最も遠い点である頂部５５ｆがマスク４３Ａに当接する当接部（本発明の第２当接部に相当）である。弾性部５５ｅは、弾性変形して板ばねとして機能する。弾性部５５ｅが弾性変形することで頂部５５ｆがＺ方向に移動する。押圧部材５５Ａは頂部５５ｆが平板状でないため、頂部５５ｆとマスク４３Ａとが点で接触する。そのため、頂部５５ｆとマスク４３Ａが擦れてマスク４３Ａが傷つくことを防ぐことができる。また、弾性部５５ｅの弾性力を効率的にマスク４３Ａに伝えることができる。

【0109】

また、本実施の形態では、押圧部材５５が当接部５５ａ及び弾性部５５ｂを有し、弾性部５５ｂにより当接部５５ａをＺ方向に移動可能にしたが、当接部５５ａをＺ方向に移動可能にする形態はこれに限られない。例えば、ブリッジ５４に複数の棒状の押圧部材を突出させ、ブリッジ５４とマスクプッシャ５１Ｃとの間に弾性部材を設けることで、押圧部材をＺ方向に移動可能にしてもよい。また、ブリッジ５４に複数の棒状の押圧部材を突出させ、押圧部材の少なくとも一部を変形が容易な発泡樹脂等で形成することで、マスク４３の高さに応じて押圧部材を変形させ（押圧部材の先端をＺ方向に移動させ）てもよい。

【0110】

＜第４の実施の形態の変形例＞
本実施の形態では、矩形形状のワークＷ１（ガラス基板）を用いた場合を例に説明したが、円形状のワークＷ（ウェハ）を用いる場合にもブリッジや押圧部材を用いてマスクの周縁以外の位置でマスクをワークに押圧させることができる。図１５は、変形例にかかる押圧部５０Ｄを有する蒸着装置４Ａの概略を示す斜視図である。

【0111】

蒸着装置４Ａは、主として、真空容器１０（図１５では図示省略）と、蒸着源２０（図１５では図示省略）と、ワーク保持部３０（図１５では図示省略）と、マスク組立体４０と、押圧部５０Ｄとを備える。蒸着源２０、ワーク保持部３０、マスク組立体４０及び押圧部５０Ｄは、真空容器１０の内部に設けられている。

【0112】

押圧部５０Ｄは、主として、マスクプッシャ５１Ｄと、マスクプッシャ５１Ｄに設けられた当接部５２（図１５では図示省略）と、昇降部５３と、マスクプッシャ５１Ｄに設けられたブリッジ５４Ａ、５４Ｂと、ブリッジ５４Ａ、５４Ｂにそれぞれ設けられた押圧部材５５Ａ、５５Ｂとを有する。マスクプッシャ５１Ｄは、ブリッジ５４Ａ、５４Ｂが設けられている点でマスクプッシャ５１と異なり、その他はマスクプッシャ５１と同様である。

【0113】

ブリッジ５４Ａ、５４Ｂは、ブリッジ５４と同様に、棒状であり、中空部５１ａを横切るようにマスクプッシャ５１Ｄに設けられている。また、ブリッジ５４Ａ、５４Ｂは、対向面５１ｂ（図３、４参照）よりもマスク４３から離れている。

【0114】

押圧部材５５Ａ、５５Ｂは、押圧部材５５と同様に、金属の板状部材を折り曲げて形成されており、当接部５５ａと、弾性部５５ｂと、取付部５５ｃ（図１５では図示省略）とを有する。当接部５５ａは、対向面５１ｂよりもマスク４３側に位置する。したがって、マスクプッシャ５１Ｄを＋Ｚ方向に移動させると、当接部５５ａがマスク４３を押圧する。

【0115】

この変形例によれば、ワークＷがウェハであり撓みにくい場合であっても、当接部５２及び当接部５５ａによりマスク４３をワークＷに当接させるため、マスク４３とワークＷとを確実に当接させることができる。

【0116】

以上、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。

【0117】

また、本発明において、「略」とは、厳密に同一である場合のみでなく、同一性を失わない程度の誤差や変形を含む概念である。例えば、略平行、略直交とは、厳密に平行、直交の場合には限られない。また、例えば、単に平行、直交等と表現する場合においても、厳密に平行、直交等の場合のみでなく、略平行、略直交等の場合を含むものとする。また、本発明において「近傍」とは、例えばＡの近傍であるときに、Ａの近くであって、Ａを含んでも含まなくてもよいことを示す概念である。

【符号の説明】

【0118】

１、２、３、４、４Ａ：蒸着装置
１０ ：真空容器
２０ ：蒸着源
２１ ：収容部
２２ ：ノズル
３０、３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ：ワーク保持部
３０ａ、３０ｂ、３０ｃ：当接面
３０ｄ ：突起
４０、４０Ａ、４０Ｂ：マスク組立体
４１、４１Ａ：マスクフレーム
４１ａ ：中空部
４１ｂ ：上面
４１ｃ、４１ｄ：棒状部
４１ｅ ：中空部
４１ｆ ：上面
４２、４２Ａ、４２Ｂ：マスクステージ
４２ａ ：中空部
４２ｂ ：孔
４２ｃ ：穴
４２ｄ ：中空部
４３、４３Ａ：マスク
４４ ：棒状部材
５０、５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃ、５０Ｄ：押圧部
５１、５１Ａ、５１Ｂ、５１Ｃ、５１Ｄ：マスクプッシャ
５１ａ ：中空部
５１ｂ ：対向面
５１ｃ ：溝
５１ｄ ：孔
５１ｅ ：穴
５１ｆ ：中空部
５１ｇ ：対向面
５１ｈ ：溝
５１ｉ、５１ｊ：棒状部
５２、５２Ａ、５２Ｂ：当接部
５３、５３Ａ：昇降部
５４、５４Ａ、５４Ｂ：ブリッジ
５５、５５Ａ、５５Ｂ：押圧部材
５５ａ ：当接部
５５ｂ ：弾性部
５５ｃ ：取付部
５５ｄ ：折り曲げ部
５３１ ：ガイドシャフト
５３１ａ ：フランジ部
５３２ ：昇降軸
５３２ａ ：穴
５３３ ：弾性部材
５３４ ：直動ベアリング
５３５ ：球面軸受
５３５ａ ：球状部
５３５ｂ ：ハウジング
５３７ ：固定部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】