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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024031580
(43)【公開日】2024-03-07
(54)【発明の名称】操作画面切替方法、操作判定方法、及び基板処理システム
(51)【国際特許分類】
H01L 21/02 20060101AFI20240229BHJP
H01L 21/304 20060101ALI20240229BHJP
【ＦＩ】
H01L21/02 Z
H01L21/304 643A
H01L21/304 648H
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022135226
(22)【出願日】2022-08-26
(71)【出願人】
【識別番号】000207551
【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス
(74)【代理人】
【識別番号】100168583
【弁理士】
【氏名又は名称】前井 宏之
(72)【発明者】
【氏名】秋田 正史
【テーマコード（参考）】
5F157
【Ｆターム（参考）】
5F157AA03
5F157AB33
5F157AB49
5F157AB90
5F157BB23
5F157BB43
5F157BC53
5F157CE84
5F157CF02
5F157CF14
5F157CF44
5F157CF50
5F157CF52
5F157CF60
5F157CF92
5F157DA01
(57)【要約】
【課題】基板処理装置の近傍で作業をしている作業者の安全をより確保することができる操作画面切替方法を提供する。
【解決手段】操作画面切替方法は、基板処理装置１００を制御する第１操作装置２００にリモート接続する第２操作装置３００を介して、ユーザが第１操作装置２００にログインしたか否かを判定するステップ（Ｓ１）と、ユーザが第１操作装置２００にログインしていないと判定された場合（Ｓ１のＮｏ）に、第１操作画面ＳＧ１を表示させるステップ（Ｓ２）と、ユーザが第１操作装置２００にログインしていると判定された場合（Ｓ１のＹｅｓ）に、第２操作画面ＳＧ２を表示させるステップ（Ｓ５）とを含む。第２操作画面ＳＧ２は、第１操作画面ＳＧ１に含まれる操作対象Ｔの一部の操作が禁止されている。基板処理装置１００は、基板Ｗを搬送する搬送部（ＩＲ、ＣＲ）を備える。禁止されている操作は、搬送部（ＩＲ、ＣＲ）を動作させる操作を含む。
【選択図】図８
【解決手段】操作画面切替方法は、基板処理装置１００を制御する第１操作装置２００にリモート接続する第２操作装置３００を介して、ユーザが第１操作装置２００にログインしたか否かを判定するステップ（Ｓ１）と、ユーザが第１操作装置２００にログインしていないと判定された場合（Ｓ１のＮｏ）に、第１操作画面ＳＧ１を表示させるステップ（Ｓ２）と、ユーザが第１操作装置２００にログインしていると判定された場合（Ｓ１のＹｅｓ）に、第２操作画面ＳＧ２を表示させるステップ（Ｓ５）とを含む。第２操作画面ＳＧ２は、第１操作画面ＳＧ１に含まれる操作対象Ｔの一部の操作が禁止されている。基板処理装置１００は、基板Ｗを搬送する搬送部（ＩＲ、ＣＲ）を備える。禁止されている操作は、搬送部（ＩＲ、ＣＲ）を動作させる操作を含む。
【選択図】図８
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板を処理する基板処理装置を制御する第１操作装置にリモート接続する第２操作装置を介して、ユーザが前記第１操作装置にログインしたか否かを判定するステップと、
前記第２操作装置を介して前記ユーザが前記第１操作装置にログインしていないと判定された場合に、第１操作画面を表示させるステップと、
前記第２操作装置を介して前記ユーザが前記第１操作装置にログインしていると判定された場合に、第２操作画面を表示させるステップと
を含み、
前記第２操作画面は、前記第１操作画面に含まれる操作対象の一部の操作が禁止されており、
前記基板処理装置は、前記基板を搬送する搬送部を備え、
禁止されている前記操作は、前記搬送部を動作させる操作を含む、操作画面切替方法。
前記第２操作装置を介して前記ユーザが前記第１操作装置にログインしていないと判定された場合に、第１操作画面を表示させるステップと、
前記第２操作装置を介して前記ユーザが前記第１操作装置にログインしていると判定された場合に、第２操作画面を表示させるステップと
を含み、
前記第２操作画面は、前記第１操作画面に含まれる操作対象の一部の操作が禁止されており、
前記基板処理装置は、前記基板を搬送する搬送部を備え、
禁止されている前記操作は、前記搬送部を動作させる操作を含む、操作画面切替方法。
【請求項2】
基板を処理する基板処理装置を制御する第１操作装置にリモート接続する第２操作装置を介してユーザが前記第１操作装置にログインしている際に、前記基板処理装置に設けられた検知部が検知対象を検知しているか否かを判定するステップと、
前記検知部が前記検知対象を検知していないと判定された場合に、第１操作画面を表示させるステップと、
前記検知部が前記検知対象を検知していると判定された場合に、第２操作画面を表示させるステップと
を含み、
前記第２操作画面は、前記第１操作画面に含まれる操作対象の一部の操作が禁止されており、
前記基板処理装置は、前記基板を搬送する搬送部を備え、
禁止されている前記操作は、前記搬送部を動作させる操作を含む、操作画面切替方法。
前記検知部が前記検知対象を検知していないと判定された場合に、第１操作画面を表示させるステップと、
前記検知部が前記検知対象を検知していると判定された場合に、第２操作画面を表示させるステップと
を含み、
前記第２操作画面は、前記第１操作画面に含まれる操作対象の一部の操作が禁止されており、
前記基板処理装置は、前記基板を搬送する搬送部を備え、
禁止されている前記操作は、前記搬送部を動作させる操作を含む、操作画面切替方法。
【請求項3】
前記第１操作画面に含まれる各操作対象の実行の可否を示す情報に基づいて、前記第２操作画面を作成するステップを更に含む、請求項１又は請求項２に記載の操作画面切替方法。
【請求項4】
基板を処理する基板処理装置を制御する第１操作装置にリモート接続する第２操作装置を介して、ユーザが前記第１操作装置にログインしている際に、操作画面を表示させるステップと、
前記基板処理装置に設けられた検知部が検知対象を検知しているか否かを判定するステップと、
前記検知部が前記検知対象を検知していると判定された場合に、前記ユーザによる前記操作画面を介した指示が禁止対象の指示であるか否かを判定するステップと、
前記ユーザによる前記操作画面を介した指示が前記禁止対象の指示であると判定された場合に、前記指示の実行を禁止するステップと、
前記ユーザによる前記操作画面を介した指示が前記禁止対象の指示でないと判定された場合に、前記指示を実行するステップと
を含み、
前記基板処理装置は、前記基板を搬送する搬送部を備え、
前記禁止対象の指示は、前記搬送部を動作させる指示を含む、操作判定方法。
前記基板処理装置に設けられた検知部が検知対象を検知しているか否かを判定するステップと、
前記検知部が前記検知対象を検知していると判定された場合に、前記ユーザによる前記操作画面を介した指示が禁止対象の指示であるか否かを判定するステップと、
前記ユーザによる前記操作画面を介した指示が前記禁止対象の指示であると判定された場合に、前記指示の実行を禁止するステップと、
前記ユーザによる前記操作画面を介した指示が前記禁止対象の指示でないと判定された場合に、前記指示を実行するステップと
を含み、
前記基板処理装置は、前記基板を搬送する搬送部を備え、
前記禁止対象の指示は、前記搬送部を動作させる指示を含む、操作判定方法。
【請求項5】
前記操作画面に含まれる各操作対象の実行の可否を示す情報に基づいて、前記禁止対象の指示を設定するステップを更に含む、請求項４に記載の操作判定方法。
【請求項6】
基板を処理する基板処理装置と、
前記基板処理装置を制御する第１操作装置と、
前記第１操作装置にリモート接続可能な第２操作装置と
を備え、
前記基板処理装置は、前記基板を搬送する搬送部を備え、
前記第１操作装置は、
第１ユーザが操作する第１操作画面を表示する第１表示部と、
前記第２操作装置と通信可能に接続する第１通信部と、
第１制御部と
を備え、
前記第２操作装置は、
前記第１通信部と通信可能に接続する第２通信部と、
前記第２通信部を制御して、前記第２操作装置を前記第１操作装置にリモート接続させる第２制御部と、
前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続している際に、第２ユーザが操作する第２操作画面を表示する第２表示部と
を備え、
前記第１制御部は、
前記第２操作装置を介して前記第２ユーザが前記第１操作装置にログインしているか否かを判定し、
前記第２操作装置を介して前記第２ユーザが前記第１操作装置にログインしていないと判定した場合に、前記第１表示部に前記第１操作画面を表示させ、
前記第２操作装置を介して前記第２ユーザが前記第１操作装置にログインしていると判定した場合に、前記第２表示部に前記第２操作画面を表示させ、
前記第２操作画面は、前記第１操作画面に含まれる操作対象の一部の操作が禁止されており、
禁止されている前記操作は、前記搬送部を動作させる操作を含む、基板処理システム。
前記基板処理装置を制御する第１操作装置と、
前記第１操作装置にリモート接続可能な第２操作装置と
を備え、
前記基板処理装置は、前記基板を搬送する搬送部を備え、
前記第１操作装置は、
第１ユーザが操作する第１操作画面を表示する第１表示部と、
前記第２操作装置と通信可能に接続する第１通信部と、
第１制御部と
を備え、
前記第２操作装置は、
前記第１通信部と通信可能に接続する第２通信部と、
前記第２通信部を制御して、前記第２操作装置を前記第１操作装置にリモート接続させる第２制御部と、
前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続している際に、第２ユーザが操作する第２操作画面を表示する第２表示部と
を備え、
前記第１制御部は、
前記第２操作装置を介して前記第２ユーザが前記第１操作装置にログインしているか否かを判定し、
前記第２操作装置を介して前記第２ユーザが前記第１操作装置にログインしていないと判定した場合に、前記第１表示部に前記第１操作画面を表示させ、
前記第２操作装置を介して前記第２ユーザが前記第１操作装置にログインしていると判定した場合に、前記第２表示部に前記第２操作画面を表示させ、
前記第２操作画面は、前記第１操作画面に含まれる操作対象の一部の操作が禁止されており、
禁止されている前記操作は、前記搬送部を動作させる操作を含む、基板処理システム。
【請求項7】
基板を処理する基板処理装置と、
前記基板処理装置を制御する第１操作装置と、
前記第１操作装置にリモート接続可能な第２操作装置と
を備え、
前記基板処理装置は、
前記基板を搬送する搬送部と、
検知対象を検知する検知部と
を備え、
前記第１操作装置は、
第１ユーザが操作する第１操作画面を表示する第１表示部と、
前記第２操作装置と通信可能に接続する第１通信部と、
第１制御部と
を備え、
前記第２操作装置は、
前記第１通信部と通信可能に接続する第２通信部と、
前記第２通信部を制御して、前記第２操作装置を前記第１操作装置にリモート接続させる第２制御部と、
前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続している際に、第２ユーザが操作する前記第１操作画面又は第２操作画面を表示する第２表示部と
を備え、
前記第１制御部は、
前記第２操作装置を介して前記第２ユーザが前記第１操作装置にログインしている際に、前記検知部が前記検知対象を検知しているか否かを判定し、
前記検知部が前記検知対象を検知していないと判定した場合に、前記第２表示部に前記第１操作画面を表示させ、
前記検知部が前記検知対象を検知していると判定した場合に、前記第２表示部に前記第２操作画面を表示させ、
前記第２操作画面は、前記第１操作画面に含まれる操作対象の一部の操作が禁止されており、
禁止されている前記操作は、前記搬送部を動作させる操作を含む、基板処理システム。
前記基板処理装置を制御する第１操作装置と、
前記第１操作装置にリモート接続可能な第２操作装置と
を備え、
前記基板処理装置は、
前記基板を搬送する搬送部と、
検知対象を検知する検知部と
を備え、
前記第１操作装置は、
第１ユーザが操作する第１操作画面を表示する第１表示部と、
前記第２操作装置と通信可能に接続する第１通信部と、
第１制御部と
を備え、
前記第２操作装置は、
前記第１通信部と通信可能に接続する第２通信部と、
前記第２通信部を制御して、前記第２操作装置を前記第１操作装置にリモート接続させる第２制御部と、
前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続している際に、第２ユーザが操作する前記第１操作画面又は第２操作画面を表示する第２表示部と
を備え、
前記第１制御部は、
前記第２操作装置を介して前記第２ユーザが前記第１操作装置にログインしている際に、前記検知部が前記検知対象を検知しているか否かを判定し、
前記検知部が前記検知対象を検知していないと判定した場合に、前記第２表示部に前記第１操作画面を表示させ、
前記検知部が前記検知対象を検知していると判定した場合に、前記第２表示部に前記第２操作画面を表示させ、
前記第２操作画面は、前記第１操作画面に含まれる操作対象の一部の操作が禁止されており、
禁止されている前記操作は、前記搬送部を動作させる操作を含む、基板処理システム。
【請求項8】
前記第１制御部は、前記第１操作画面に含まれる各操作対象の実行の可否を示す情報に基づいて、前記第２操作画面を作成する、請求項６又は請求項７に記載の基板処理システム。
【請求項9】
基板を処理する基板処理装置と、
前記基板処理装置を制御する第１操作装置と、
前記第１操作装置にリモート接続可能な第２操作装置と
を備え、
前記基板処理装置は、
前記基板を搬送する搬送部と、
検知対象を検知する検知部と
を備え、
前記第１操作装置は、
第１ユーザが操作する操作画面を表示する第１表示部と、
前記第２操作装置と通信可能に接続する第１通信部と、
第１制御部と
を備え、
前記第２操作装置は、
前記第１通信部と通信可能に接続する第２通信部と、
前記第２通信部を制御して、前記第２操作装置を前記第１操作装置にリモート接続させる第２制御部と、
前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続している際に、第２ユーザが操作する前記操作画面を表示する第２表示部と
を備え、
前記第１制御部は、
前記第２操作装置を介して前記第２ユーザが前記第１操作装置にログインしている際に、前記第２表示部に前記操作画面を表示させ、
前記検知部が前記検知対象を検知しているか否かを判定し、
前記検知部が前記検知対象を検知していると判定した場合に、前記第２ユーザによる前記操作画面を介した指示が禁止対象の指示であるか否かを判定し、
前記第２ユーザによる前記操作画面を介した指示が前記禁止対象の指示であると判定した場合に、前記指示の実行を禁止し、
前記第２ユーザによる前記操作画面を介した指示が前記禁止対象の指示でないと判定した場合に、前記指示を実行し、
前記禁止対象の指示は、前記搬送部を動作させる指示を含む、基板処理システム。
前記基板処理装置を制御する第１操作装置と、
前記第１操作装置にリモート接続可能な第２操作装置と
を備え、
前記基板処理装置は、
前記基板を搬送する搬送部と、
検知対象を検知する検知部と
を備え、
前記第１操作装置は、
第１ユーザが操作する操作画面を表示する第１表示部と、
前記第２操作装置と通信可能に接続する第１通信部と、
第１制御部と
を備え、
前記第２操作装置は、
前記第１通信部と通信可能に接続する第２通信部と、
前記第２通信部を制御して、前記第２操作装置を前記第１操作装置にリモート接続させる第２制御部と、
前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続している際に、第２ユーザが操作する前記操作画面を表示する第２表示部と
を備え、
前記第１制御部は、
前記第２操作装置を介して前記第２ユーザが前記第１操作装置にログインしている際に、前記第２表示部に前記操作画面を表示させ、
前記検知部が前記検知対象を検知しているか否かを判定し、
前記検知部が前記検知対象を検知していると判定した場合に、前記第２ユーザによる前記操作画面を介した指示が禁止対象の指示であるか否かを判定し、
前記第２ユーザによる前記操作画面を介した指示が前記禁止対象の指示であると判定した場合に、前記指示の実行を禁止し、
前記第２ユーザによる前記操作画面を介した指示が前記禁止対象の指示でないと判定した場合に、前記指示を実行し、
前記禁止対象の指示は、前記搬送部を動作させる指示を含む、基板処理システム。
【請求項10】
前記第１制御部は、前記操作画面に含まれる各操作対象の実行の可否を示す情報に基づいて、前記禁止対象の指示を設定する、請求項９に記載の基板処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、操作画面切替方法、操作判定方法、及び基板処理システムに関する。
【背景技術】
【0002】
基板処理装置にネットワークを介して操作装置が接続される基板処理システムが知られている（例えば、特許文献１参照。）。特許文献１の基板処理システムは、基板処理装置と、主操作装置と、外部操作装置とを備える。基板処理装置には、主コントローラと、スイッチングハブとが設けられている。主操作装置は、基板処理装置の近傍に配置され、基板処理装置のスイッチングハブを介して主コントローラに接続される。外部操作装置は、基板処理装置から離れた位置に配置され、スイッチングハブを有するＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）等の通信ネットワークを介して主コントローラに接続される。
【0003】
特許文献１の基板処理システムは、外部操作装置にログインしたユーザが属するグループに応じて、ユーザが操作する機能を制限する。具体的には、外部操作装置にログインしたユーザがメンテナンスグループに属する場合、プロセスレシピに関しては「参照」の権限のみが与えられ、「編集」は禁止される。アラーム条件に関しては、「参照」及び「編集」の両者とも禁止される。メンテナンスに関しては、「参照」及び「編集」の権限が与えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１３－１５３２１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、特許文献１の基板処理システムは、外部操作装置にログインしたユーザが属するグループに応じて、ユーザが操作する機能を制限しているに過ぎない。したがって、ユーザが属するグループによっては、基板処理装置の近傍で作業をしている作業者に危険が及ぶ動作を基板処理装置に実行させるおそれがある。よって、基板処理装置の近傍で作業をしている作業者の安全面を考慮すると、更なる改良の余地がある。
【0006】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、基板処理装置の近傍で作業をしている作業者の安全をより確保することができる操作画面切替方法、操作判定方法、及び基板処理システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の一局面によれば、第１態様の操作画面切替方法は、基板を処理する基板処理装置を制御する第１操作装置にリモート接続する第２操作装置を介して、ユーザが前記第１操作装置にログインしたか否かを判定するステップと、前記第２操作装置を介して前記ユーザが前記第１操作装置にログインしていないと判定された場合に、第１操作画面を表示させるステップと、前記第２操作装置を介して前記ユーザが前記第１操作装置にログインしていると判定された場合に、第２操作画面を表示させるステップとを含む。前記第２操作画面は、前記第１操作画面に含まれる操作対象の一部の操作が禁止されている。前記基板処理装置は、前記基板を搬送する搬送部を備える。禁止されている前記操作は、前記搬送部を動作させる操作を含む。
【0008】
本発明の他の局面によれば、第２態様の操作画面切替方法は、基板を処理する基板処理装置を制御する第１操作装置にリモート接続する第２操作装置を介してユーザが前記第１操作装置にログインしている際に、前記基板処理装置に設けられた検知部が検知対象を検知しているか否かを判定するステップと、前記検知部が前記検知対象を検知していないと判定された場合に、第１操作画面を表示させるステップと、前記検知部が前記検知対象を検知していると判定された場合に、第２操作画面を表示させるステップとを含む。前記第２操作画面は、前記第１操作画面に含まれる操作対象の一部の操作が禁止されている。前記基板処理装置は、前記基板を搬送する搬送部を備える。禁止されている前記操作は、前記搬送部を動作させる操作を含む。
【0009】
ある実施形態において、上記第１態様及び第２態様の操作画面切替方法は、前記第１操作画面に含まれる各操作対象の実行の可否を示す情報に基づいて、前記第２操作画面を作成するステップを更に含む。
【0010】
本発明の更に他の局面によれば、操作判定方法は、基板を処理する基板処理装置を制御する第１操作装置にリモート接続する第２操作装置を介して、ユーザが前記第１操作装置にログインしている際に、操作画面を表示させるステップと、前記基板処理装置に設けられた検知部が検知対象を検知しているか否かを判定するステップと、前記検知部が前記検知対象を検知していると判定された場合に、前記ユーザによる前記操作画面を介した指示が禁止対象の指示であるか否かを判定するステップと、前記ユーザによる前記操作画面を介した指示が前記禁止対象の指示であると判定された場合に、前記指示の実行を禁止するステップと、前記ユーザによる前記操作画面を介した指示が前記禁止対象の指示でないと判定された場合に、前記指示を実行するステップとを含む。前記基板処理装置は、前記基板を搬送する搬送部を備える。前記禁止対象の指示は、前記搬送部を動作させる指示を含む。
【0011】
ある実施形態において、上記の操作判定方法は、前記操作画面に含まれる各操作対象の実行の可否を示す情報に基づいて、前記禁止対象の指示を設定するステップを更に含む。
【0012】
本発明の更に他の局面によれば、第１態様の基板処理システムは、基板処理装置と、第１操作装置と、第２操作装置とを備える。前記基板処理装置は、基板を処理する。前記第１操作装置は、前記基板処理装置を制御する。前記第２操作装置は、前記第１操作装置にリモート接続可能である。前記基板処理装置は、前記基板を搬送する搬送部を備える。前記第１操作装置は、第１表示部と、第１通信部と、第１制御部とを備える。前記第１表示部は、第１ユーザが操作する第１操作画面を表示する。前記第１通信部は、前記第２操作装置と通信可能に接続する。前記第２操作装置は、第２通信部と、第２制御部と、第２表示部とを備える。前記第２通信部は、前記第１通信部と通信可能に接続する。前記第２制御部は、前記第２通信部を制御して、前記第２操作装置を前記第１操作装置にリモート接続させる。前記第２表示部は、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続している際に、第２ユーザが操作する第２操作画面を表示する。前記第１制御部は、前記第２操作装置を介して前記第２ユーザが前記第１操作装置にログインしているか否かを判定する。前記第１制御部は、前記第２操作装置を介して前記第２ユーザが前記第１操作装置にログインしていないと判定した場合に、前記第１表示部に前記第１操作画面を表示させる。前記第１制御部は、前記第２操作装置を介して前記第２ユーザが前記第１操作装置にログインしていると判定した場合に、前記第２表示部に前記第２操作画面を表示させる。前記第２操作画面は、前記第１操作画面に含まれる操作対象の一部の操作が禁止されている。禁止されている前記操作は、前記搬送部を動作させる操作を含む。
【0013】
本発明の更に他の局面によれば、第２態様の基板処理システムは、基板処理装置と、第１操作装置と、第２操作装置とを備える。前記基板処理装置は、基板を処理する。前記第１操作装置は、前記基板処理装置を制御する。前記第２操作装置は、前記第１操作装置にリモート接続可能である。前記基板処理装置は、搬送部と、検知部とを備える。前記搬送部は、前記基板を搬送する。前記検知部は、検知対象を検知する。前記第１操作装置は、第１表示部と、第１通信部と、第１制御部とを備える。前記第１表示部は、第１ユーザが操作する第１操作画面を表示する。前記第１通信部は、前記第２操作装置と通信可能に接続する。前記第２操作装置は、第２通信部と、第２制御部と、第２表示部とを備える。前記第２通信部は、前記第１通信部と通信可能に接続する。前記第２制御部は、前記第２通信部を制御して、前記第２操作装置を前記第１操作装置にリモート接続させる。前記第２表示部は、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続している際に、第２ユーザが操作する前記第１操作画面又は第２操作画面を表示する。前記第１制御部は、前記第２操作装置を介して前記第２ユーザが前記第１操作装置にログインしている際に、前記検知部が前記検知対象を検知しているか否かを判定する。前記第１制御部は、前記検知部が前記検知対象を検知していないと判定した場合に、前記第２表示部に前記第１操作画面を表示させる。前記第１制御部は、前記検知部が前記検知対象を検知していると判定した場合に、前記第２表示部に前記第２操作画面を表示させる。前記第２操作画面は、前記第１操作画面に含まれる操作対象の一部の操作が禁止されている。禁止されている前記操作は、前記搬送部を動作させる操作を含む。
【0014】
ある実施形態において、前記第１制御部は、前記第１操作画面に含まれる各操作対象の実行の可否を示す情報に基づいて、前記第２操作画面を作成する。
【0015】
本発明の更に他の局面によれば、第３態様の基板処理システムは、基板処理装置と、第１操作装置と、第２操作装置とを備える。前記基板処理装置は、基板を処理する。前記第１操作装置は、前記基板処理装置を制御する。前記第２操作装置は、前記第１操作装置にリモート接続可能である。前記基板処理装置は、搬送部と、検知部とを備える。前記搬送部は、前記基板を搬送する。前記検知部は、検知対象を検知する。前記第１操作装置は、第１表示部と、第１通信部と、第１制御部とを備える。前記第１表示部は、第１ユーザが操作する操作画面を表示する。前記第１通信部は、前記第２操作装置と通信可能に接続する。前記第２操作装置は、第２通信部と、第２制御部と、第２表示部とを備える。前記第２通信部は、前記第１通信部と通信可能に接続する。前記第２制御部は、前記第２通信部を制御して、前記第２操作装置を前記第１操作装置にリモート接続させる。前記第２表示部は、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続している際に、第２ユーザが操作する前記操作画面を表示する。前記第１制御部は、前記第２操作装置を介して前記第２ユーザが前記第１操作装置にログインしている際に、前記第２表示部に前記操作画面を表示させる。前記第１制御部は、前記検知部が前記検知対象を検知しているか否かを判定する。前記第１制御部は、前記検知部が前記検知対象を検知していると判定した場合に、前記第２ユーザによる前記操作画面を介した指示が禁止対象の指示であるか否かを判定する。前記第１制御部は、前記第２ユーザによる前記操作画面を介した指示が前記禁止対象の指示であると判定した場合に、前記指示の実行を禁止する。前記第１制御部は、前記第２ユーザによる前記操作画面を介した指示が前記禁止対象の指示でないと判定した場合に、前記指示を実行する。前記禁止対象の指示は、前記搬送部を動作させる指示を含む。
【0016】
ある実施形態において、前記第１制御部は、前記操作画面に含まれる各操作対象の実行の可否を示す情報に基づいて、前記禁止対象の指示を設定する。
【発明の効果】
【0017】
本発明に係る操作画面切替方法、操作判定方法、及び基板処理システムによれば、基板処理装置の近傍で作業をしている作業者の安全をより確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【0018】
【図1】本発明の実施形態１に係る基板処理システムを示す図である。
【図2】本発明の実施形態１に係る基板処理システムに含まれる基板処理装置の一例を示す模式的な平面図である。
【図3】基板処理装置に含まれる基板処理部の一例を示す模式図である。
【図4】本発明の実施形態１に係る基板処理システムに含まれる第１操作装置の構成を示すブロック図である。
【図5】本発明の実施形態１に係る基板処理システムに含まれる第２操作装置の構成を示すブロック図である。
【図6】（ａ）は、第１操作画面の一例を示す図である。（ｂ）は、操作可否情報テーブルを示す図である。
【図7】（ａ）は、第２操作画面の一例を示す図である。（ｂ）は、第２操作画面の変形例を示す図である。
【図8】本発明の実施形態１に係る操作画面切替方法を示す図である。
【図9】本発明の実施形態２に係る基板処理システムに含まれる基板処理装置の一例を示す模式的な平面図である。
【図10】本発明の実施形態２に係る操作画面切替方法を示す図である。
【図11】本発明の実施形態３に係る操作判定方法を示す図である。
【図12】本発明の実施形態３に係る操作判定方法を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0019】
以下、図面（図１～図１２）を参照して本発明の操作画面切替方法、操作判定方法、及び基板処理システムに係る実施形態を説明する。但し、本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の態様において実施することが可能である。なお、説明が重複する箇所については、適宜説明を省略する場合がある。また、図中、同一又は相当部分については同一の参照符号を付して説明を繰り返さない。
【0020】
本発明に係る操作画面切替方法、操作判定方法、及び基板処理システムにおいて基板処理の対象となる「基板」には、半導体ウエハ、フォトマスク用ガラス基板、液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示用ガラス基板、ＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、及び光磁気ディスク用基板などの各種の基板を適用可能である。以下では主として、円盤状の半導体ウエハを基板処理の対象とする場合を例に本発明の実施形態を説明するが、本発明に係る操作画面切替方法、操作判定方法、及び基板処理システムは、上記した半導体ウエハ以外の各種の基板に対しても同様に適用可能である。また、基板の形状についても、円盤状に限定されず、本発明に係る操作画面切替方法、操作判定方法、及び基板処理システムは、各種の形状の基板に対して適用可能である。
【0021】
［実施形態１］
まず、図１を参照して、本実施形態の基板処理システム１０００を説明する。図１は、本実施形態の基板処理システム１０００を示す図である。図１に示すように、基板処理システム１０００は、基板処理装置１００と、第１操作装置２００と、第２操作装置３００とを備える。
まず、図１を参照して、本実施形態の基板処理システム１０００を説明する。図１は、本実施形態の基板処理システム１０００を示す図である。図１に示すように、基板処理システム１０００は、基板処理装置１００と、第１操作装置２００と、第２操作装置３００とを備える。
【0022】
基板処理装置１００は、基板Ｗを処理する。本実施形態において、基板処理装置１００は、処理液を用いて基板Ｗを処理する。第１操作装置２００は、基板処理装置１００の近傍に配置される。ここで、近傍とは、第１操作装置２００を操作する操作者（ユーザ）が基板処理装置１００を視認可能な位置を示す。例えば、第１操作装置２００は、基板処理装置１００と一体化されていてもよい。以下、第１操作装置２００を、「ローカル端末」と記載する場合がある。
【0023】
第１操作装置２００は、基板処理装置１００を制御する。具体的には、第１操作装置２００にログインしたユーザが、第１操作装置２００に指示を入力すると、その指示に従って第１操作装置２００が基板処理装置１００を動作させる。
【0024】
第１操作装置２００にログインしたユーザは、更に、第１操作装置２００を操作して、基板処理装置１００の各種レシピの編集、基板処理装置１００の各種パラメータの編集、基板処理装置１００の各種条件の編集、及び、基板処理装置１００の状態の確認等を行うことができる。なお、各種レシピは、例えば、基板Ｗの処理内容を示す。各種パラメータは、例えば、チャンバ１ａ（図３参照）から排出される気体の圧力（排気圧）の設定値を含む。条件は、例えば、アラート条件を含む。基板処理装置１００の状態は、例えば、チャンバ１ａ内の様子を含む。チャンバ１ａ内の様子は、撮像装置によって撮像されたチャンバ１ａの内部の映像を表示させることで確認することができる。
【0025】
第２操作装置３００は、基板処理装置１００から離れた位置に配置される。ここで、離れた位置とは、第２操作装置３００を操作する操作者（ユーザ）が基板処理装置１００を視認できない位置を示す。例えば、第２操作装置３００は、操作者（ユーザ）の自宅に配置されてもよい。第２操作装置３００は、例えば、パーソナルコンピュータであってもよい。
【0026】
第２操作装置３００は、第１操作装置２００にリモート接続可能である。具体的には、第２操作装置３００は、通信ネットワークを介して第１操作装置２００にリモート接続する。通信ネットワークは、例えば、インターネット回線等の公衆回線網を含んでもよいし、専用の通信回線を含んでもよい。本実施形態では、第２操作装置３００は、サーバＳＥを介して第１操作装置２００にリモート接続する。サーバＳＥは、例えば、クラウドサーバであってもよい。
【0027】
第２操作装置３００を操作する操作者（ユーザ）は、第２操作装置３００を第１操作装置２００にリモート接続させて、第１操作装置２００にログインすることができる。以下、第１操作装置２００を操作して第１操作装置２００にログインするユーザを、「第１ユーザ」と記載する場合がある。また、第２操作装置３００を操作して第１操作装置２００にログインするユーザを、「第２ユーザ」と記載する場合がある。また、第１ユーザと第２ユーザとを区別して説明する必要のないときは、第１ユーザ及び第２ユーザを「ユーザ」と記載することがある。
【0028】
第２ユーザは、第１操作装置２００にログイン後、第２操作装置３００を操作して、第１操作装置２００に指示を入力することができる。第１操作装置２００は、その指示に従って基板処理装置１００を動作させる。また、第２ユーザは、第２操作装置３００を操作して、基板処理装置１００の各種レシピの編集等を第１操作装置２００に実行させることができる。本実施形態において、第２ユーザが指示を入力できる操作項目は、第１ユーザが指示を入力できる操作項目の一部に限定されている。つまり、第２ユーザの権限は制限されている。以下、第２操作装置３００を、「リモート端末」と記載する場合がある。
【0029】
続いて、図２を参照して、基板処理装置１００を説明する。図２は、本実施形態の基板処理システム１０００に含まれる基板処理装置１００の一例を示す模式的な平面図である。図２に示すように、基板処理装置１００は、インデクサー部Ｕ１と、処理部Ｕ２と、複数の処理液キャビネットＵ３とを備えてもよい。この場合、第１操作装置２００は、インデクサー部Ｕ１、処理部Ｕ２、及び、複数の処理液キャビネットＵ３を制御する。本実施形態において、基板処理装置１００は、洗浄装置又はウェットエッチング装置である。
【0030】
インデクサー部Ｕ１は、複数のロードポートＬＰと、インデクサーロボットＩＲと、第１搬送室ＣＨ１とを含む。インデクサーロボットＩＲは、第１搬送室ＣＨ１に配置される。処理部Ｕ２は、センターロボットＣＲと、複数の基板処理部１と、受渡室ＣＨＡと、第２搬送室ＣＨ２とを含む。センターロボットＣＲは、第２搬送室ＣＨ２に配置される。インデクサー部Ｕ１と処理部Ｕ２とは、受渡室ＣＨＡによって連絡される。受渡室ＣＨＡは、受渡部２を含む。インデクサーロボットＩＲ及びセンターロボットＣＲは「搬送部」の一例に相当する。
【0031】
ロードポートＬＰの各々は、複数枚の基板Ｗを積層して収容する。インデクサーロボットＩＲは、ロードポートＬＰとセンターロボットＣＲとの間で基板Ｗを搬送する。具体的には、インデクサーロボットＩＲは、複数のロードポートＬＰのうちのいずれかのロードポートＬＰから基板Ｗを取り出して、基板Ｗを受渡部２に渡す。受渡部２には、ロードポートＬＰから取り出された基板Ｗが載置される。
【0032】
センターロボットＣＲは、インデクサーロボットＩＲと基板処理部１との間で基板Ｗを搬送する。具体的には、センターロボットＣＲは、受渡部２から基板Ｗを受け取って、複数の基板処理部１のうちのいずれかの基板処理部１に基板Ｗを搬入する。
【0033】
基板処理部１は、基板Ｗを処理する。基板処理部１は、基板Ｗを１枚ずつ処理する枚葉型である。複数の処理液キャビネットＵ３の各々から、各基板処理部１に処理液が供給される。本実施形態において、基板処理部１は、処理液によって基板Ｗを処理する。処理液は、基板Ｗに接触する液体である限り、特に限定されない。本実施形態において、処理液は、薬液と、リンス液とを含む。
【0034】
薬液は、例えば、希フッ酸（ＤＨＦ）、フッ酸（ＨＦ）、フッ硝酸（フッ酸と硝酸（ＨＮＯ3）との混合液）、バファードフッ酸（ＢＨＦ）、フッ化アンモニウム、ＨＦＥＧ（フッ酸とエチレングリコールとの混合液）、燐酸（Ｈ3ＰＯ4）、硫酸、酢酸、硝酸、塩酸、アンモニア水、過酸化水素水、有機酸（例えば、クエン酸、シュウ酸）、有機アルカリ（例えば、ＴＭＡＨ：テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド）、硫酸過酸化水素水混合液（ＳＰＭ）、アンモニア過酸化水素水混合液（ＳＣ１）、塩酸過酸化水素水混合液（ＳＣ２）、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）、界面活性剤、又は、腐食防止剤である。
【0035】
リンス液は、例えば、脱イオン水、炭酸水、電解イオン水、水素水、オゾン水、又は、希釈濃度（例えば、１０ｐｐｍ～１００ｐｐｍ程度）の塩酸水である。
【0036】
センターロボットＣＲは、基板処理部１による基板Ｗの処理後に、処理済みの基板Ｗを基板処理部１から取り出して、基板Ｗを受渡部２に渡す。受渡部２には、基板処理部１で処理された基板Ｗが載置される。
【0037】
インデクサーロボットＩＲは、受渡部２から処理済みの基板Ｗを受け取って、複数のロードポートＬＰのうちのいずれかのロードポートＬＰに基板Ｗを収容する。
【0038】
複数の基板処理部１は、平面視においてセンターロボットＣＲを取り囲むように配置された複数のタワーＴＷ（本実施形態では４つのタワーＴＷ）を形成する。各タワーＴＷは、上下に積層された複数の基板処理部１（例えば、３つの基板処理部１）を含む。
【0039】
続いて、図３を参照して、基板処理部１を説明する。図３は、基板処理装置１００に含まれる基板処理部１の一例を示す模式図である。図３に示すように、基板処理部１は、チャンバ１ａと、スピンチャック３と、スピンモータ４と、第１ノズル５と、ノズル移動部６と、第２ノズル８と、ガード１１とを備えてもよい。また、基板処理装置１００は、薬液供給部７と、リンス液供給部９とを更に備えてもよい。この場合、第１操作装置２００は、スピンチャック３、スピンモータ４、ノズル移動部６、薬液供給部７、リンス液供給部９、及びガード１１を制御する。
【0040】
チャンバ１ａは略箱形状を有する。チャンバ１ａは、基板Ｗ、スピンチャック３、スピンモータ４、第１ノズル５、ノズル移動部６の一部、薬液供給部７の一部、第２ノズル８、リンス液供給部９の一部、及びガード１１を収容する。
【0041】
スピンチャック３は、基板Ｗを保持して回転する。具体的には、スピンチャック３は、チャンバ１ａ内で基板Ｗを水平に保持しながら、回転軸線ＡＸの回りに基板Ｗを回転させる。
【0042】
具体的には、スピンチャック３は、スピンベース３１と、複数のチャック部材３２とを備える。複数のチャック部材３２はスピンベース３１に設けられる。複数のチャック部材３２は基板Ｗを水平な姿勢で保持する。スピンベース３１は、略円板状であり、水平な姿勢で複数のチャック部材３２を支持する。
【0043】
スピンモータ４は、スピンベース３１を回転軸線ＡＸの回りに回転させる。したがって、スピンベース３１は回転軸線ＡＸの回りに回転する。その結果、スピンベース３１に設けられた複数のチャック部材３２に保持された基板Ｗが回転軸線ＡＸの回りに回転する。具体的には、スピンモータ４は、モータ本体４１と、シャフト４２とを備える。シャフト４２はスピンベース３１に結合される。モータ本体４１は、シャフト４２を回転させることで、スピンベース３１を回転させる。
【0044】
第１ノズル５は、基板Ｗの回転中に基板Ｗに向けて薬液を吐出する。薬液供給部７は、第１ノズル５に薬液を供給する。具体的には、薬液供給部７は、薬液供給配管７１と、バルブ７２とを備える。薬液供給配管７１は、第１ノズル５まで薬液を流通させる。バルブ７２は、薬液供給配管７１を開閉し、第１ノズル５に対する薬液の供給と供給停止とを切り替える。
【0045】
ノズル移動部６は、略鉛直方向及び略水平方向に第１ノズル５を移動させる。具体的には、ノズル移動部６は、アーム６１と、回動軸６２と、ノズル移動機構６３とを備える。
【0046】
アーム６１は略水平方向に沿って延びる。アーム６１の先端部に第１ノズル５が配置される。アーム６１は回動軸６２に結合される。回動軸６２は、略鉛直方向に沿って延びる。
【0047】
ノズル移動機構６３は、回動軸６２を略鉛直方向に沿った回動軸線ＡＸＳの回りに回動させて、アーム６１を略水平面に沿って回動させる。その結果、第１ノズル５が略水平面に沿って移動する。また、ノズル移動機構６３は、回動軸６２を略鉛直方向に沿って昇降させて、アーム６１を昇降させる。その結果、第１ノズル５が略鉛直方向に沿って移動する。ノズル移動機構６３は、例えば、ボールねじ機構と、ボールねじ機構に駆動力を与える電動モータとを備えてもよい。
【0048】
第２ノズル８は、基板Ｗの回転中に基板Ｗに向けてリンス液を吐出する。第２ノズル８は、固定ノズルである。リンス液供給部９は、第２ノズル８にリンス液を供給する。具体的には、リンス液供給部９は、リンス液供給配管９１と、バルブ９２とを備える。リンス液供給配管９１は、第２ノズル８までリンス液を流通させる。バルブ９２は、リンス液供給配管９１を開閉し、第２ノズル８に対するリンス液の供給と供給停止とを切り替える。
【0049】
ガード１１は略筒形状を有する。ガード１１は、基板Ｗから排出された処理流体を受け止める。ガード１１は、上昇又は下降することが可能である。
【0050】
続いて、図４を参照して、第１操作装置２００を説明する。図４は、本実施形態の基板処理システム１０００に含まれる第１操作装置２００の構成を示すブロック図である。図４に示すように、第１操作装置２００は、第１通信部２０１と、第１入力部２０２と、第１表示部２０３と、第１記憶部２０４と、第１制御部２０５とを備える。
【0051】
第１通信部２０１は、第２操作装置３００と通信可能に接続する。換言すると、第１通信部２０１は、第２操作装置３００との間で通信を行う。本実施形態において、第１通信部２０１は、サーバＳＥを介して第２操作装置３００と通信可能に接続する。具体的には、第１通信部２０１は、ＬＡＮボードのような通信インターフェイス回路を含む。通信インターフェイス回路は、サーバＳＥを介して第２操作装置３００との間で通信を実行する。
【0052】
第１入力部２０２は、第１ユーザが操作するユーザーインターフェース装置である。第１入力部２０２は、第１ユーザの操作に応じた指示（制御信号）を第１制御部２０５に入力する。また、第１入力部２０２は、第１ユーザの操作に応じたデータを第１制御部２０５に入力する。
【0053】
例えば、第１ユーザは、第１入力部２０２を操作して、第１操作装置２００にログインするために必要な情報（ログイン情報）を第１制御部２０５に入力することができる。第１ユーザは、ログイン情報を入力することにより、第１操作装置２００にログインすることができる。ログイン後、第１ユーザは、第１入力部２０２を操作して、第１操作装置２００からのログアウトや、各種レシピの編集等を行うことができる。ログイン情報は、例えば、ユーザ名と、そのユーザ名に対応するパスワードとを含む。
【0054】
また、第１ユーザは、ログイン後、第１入力部２０２を操作して、基板処理装置１００を動作させる指示を第１制御部２０５に入力することができる。第１制御部２０５は、第１入力部２０２を介して入力された指示に基づいて基板処理装置１００を制御する。指示には、図２を参照して説明したインデクサーロボットＩＲ及びセンターロボットＣＲの少なくとも一方を動作させる指示が含まれる。例えば、第１ユーザは、第１入力部２０２を操作して、基板処理装置１００による基板処理の実行を指示することができる。第１制御部２０５は、第１ユーザが入力した指示に基づいて基板処理装置１００に基板処理を実行させる。インデクサーロボットＩＲ及びセンターロボットＣＲは、基板処理の実行時に動作する。以下、インデクサーロボットＩＲ及びセンターロボットＣＲの少なくとも一方を動作させる指示を、「ロボット搬送関連指示」と記載する場合がある。
【0055】
第１入力部２０２は、例えば、キーボード及びマウスを含む。なお、第１入力部２０２は、タッチセンサーを含んでもよい。タッチセンサーは、第１表示部２０３の表示面に重畳されて、第１ユーザの表示面に対するタッチ操作を示す信号を生成する。第１ユーザは、タッチ操作により、第１操作装置２００に対して各種の指示及びデータを入力することができる。
【0056】
第１表示部２０３は、各種の画面を表示する。例えば、第１表示部２０３は、第１ユーザが操作する第１操作画面ＳＧ１（例えば、図６（ａ）に示す第１操作画面ＳＧ１）を表示する。第１表示部２０３は、例えば、液晶表示装置又は有機ＥＬ（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置のような表示装置を含む。
【0057】
第１記憶部２０４は、記憶装置を含み、データ及びコンピュータプログラムを記憶する。例えば、第１記憶部２０４は、各種のレシピや、予め登録されたログイン情報を記憶する。第１記憶部２０４は、記憶装置として、半導体メモリのような主記憶装置を含む。第１記憶部２０４は、記憶装置として、補助記憶装置を更に含んでもよい。補助記憶装置は、例えば、半導体メモリ、ソリッドステートドライブ、及び／又は、ハードディスクドライブを含み得る。第１記憶部２０４は、記憶装置として、リムーバブルメディアを更に含んでもよい。
【0058】
第１制御部２０５は、基板処理装置１００、第１通信部２０１、第１表示部２０３、及び、第１記憶部２０４を制御する。第１入力部２０２がタッチセンサーを含む場合、第１制御部２０５は、タッチセンサーを更に制御する。
【0059】
具体的には、第１制御部２０５は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）のようなプロセッサを含む。プロセッサは、第１記憶部２０４に記憶されたデータ及びコンピュータプログラムに基づいて各種の処理を実行する。
【0060】
例えば、第１制御部２０５は、第１ユーザにより第１入力部２０２が操作されてログイン情報が入力されると、第１記憶部２０４に記憶されているログイン情報のうちのいずれかのログイン情報と一致するか否かを判定する。そして、一致する場合に、第１ユーザのログインを許可する。この結果、第１ユーザは、第１操作装置２００（第１制御部２０５）に各種の指示及びデータを入力できるようになる。例えば、第１ユーザは、基板処理装置１００による基板処理の実行を指示することができる。第１制御部２０５は、第１ユーザが入力した指示に基づいて基板処理装置１００を制御する。また、第１ユーザは、第１入力部２０２を操作して、レシピの編集等を行うことができる。
【0061】
続いて、図４及び図５を参照して、第２操作装置３００を説明する。図５は、本実施形態の基板処理システム１０００に含まれる第２操作装置３００の構成を示すブロック図である。図５に示すように、第２操作装置３００は、第２通信部３０１と、第２入力部３０２と、第２表示部３０３と、第２記憶部３０４と、第２制御部３０５とを備える。
【0062】
第２通信部３０１は、第１操作装置２００と通信可能に接続する。換言すると、第２通信部３０１は、第１操作装置２００との間で通信を行う。本実施形態において、第２通信部３０１は、サーバＳＥを介して第１操作装置２００と通信可能に接続する。具体的には、第２通信部３０１は、第１通信部２０１（図４）と通信可能に接続する。第２通信部３０１は、ＬＡＮボードのような通信インターフェイス回路を含む。
【0063】
第２入力部３０２は、第２ユーザが操作するユーザーインターフェース装置である。第２入力部３０２は、例えば、キーボード及びマウスを含む。なお、第２入力部３０２は、タッチセンサーを含んでもよい。タッチセンサーは、第２表示部３０３の表示面に重畳されて、第２ユーザの表示面に対するタッチ操作を示す信号を生成する。
【0064】
第２入力部３０２は、第２ユーザの操作に応じた指示（制御信号）を第２制御部３０５に入力する。また、第２入力部３０２は、第２ユーザの操作に応じたデータを第２制御部３０５に入力する。例えば、第２ユーザは、第２入力部３０２を操作して、第２操作装置３００を第１操作装置２００にリモート接続させることができる。第２ユーザは、第２操作装置３００を第１操作装置２００にリモート接続させた後、第２入力部３０２を操作して、第１操作装置２００にログインすることができる。第２ユーザのログインは、第２操作装置３００を介して行われる。第２ユーザは、ログイン後、第２入力部３０２を操作して、第１操作装置２００からのログアウトや、各種レシピの編集等を行うことができる。
【0065】
第２表示部３０３は、例えば、液晶表示装置又は有機ＥＬ表示装置のような表示装置を含む。第２表示部３０３は、各種の画面を表示する。例えば、第２表示部３０３は、第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続している際に、第２ユーザが操作する第２操作画面ＳＧ２（例えば、図７（ａ）に示す第２操作画面ＳＧ２）を表示する。
【0066】
具体的には、第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続中に、第１制御部２０５（図４）は、第１表示部２０３（図４）に表示させる画面を示す画像情報を第２操作装置３００に送信する。この結果、第２制御部３０５が、第１表示部２０３に表示中の画面と同じ画面を第２表示部３０３に表示させる。つまり、第１操作装置２００（第１表示部２０３）と第２操作装置３００（第２表示部３０３）との間で画面が共有される。但し、画面を操作する権限は、ログインしたユーザに与えられる。
【0067】
第２記憶部３０４は、記憶装置を含み、データ及びコンピュータプログラムを記憶する。例えば、第２記憶部３０４は、第１操作装置２００とリモート接続するためのアプリケーションプログラムを記憶する。第２記憶部３０４は、記憶装置として、半導体メモリのような主記憶装置を含む。第２記憶部３０４は、記憶装置として、補助記憶装置を更に含んでもよい。第２記憶部３０４は、記憶装置として、リムーバブルメディアを更に含んでもよい。
【0068】
第２制御部３０５は、第２通信部３０１、第２表示部３０３、及び、第２記憶部３０４を制御する。第２入力部３０２がタッチセンサーを含む場合、第２制御部３０５は、タッチセンサーを更に制御する。
【0069】
具体的には、第２制御部３０５は、ＣＰＵのようなプロセッサを含む。プロセッサは、第２記憶部３０４に記憶されたデータ及びコンピュータプログラムに基づいて各種の処理を実行する。
【0070】
例えば、第２制御部３０５は、第２通信部３０１を制御して、第２操作装置３００を第１操作装置２００にリモート接続させる。また、第２制御部３０５は、リモート接続後、第２ユーザのログイン情報が入力されると、第２通信部３０１を介して第１操作装置２００へ第２ユーザのログイン情報を送信する。この結果、第１通信部２０１（図４）により受信されたログイン情報が第１制御部２０５（図４）に入力される。
【0071】
第１制御部２０５は、第１通信部２０１により受信されたログイン情報が、第１記憶部２０４に記憶されているログイン情報のうちのいずれかのログイン情報と一致するか否かを判定する。そして、一致する場合に、第２ユーザのログインを許可する。この結果、第２ユーザは、第２入力部３０２を操作して、第１操作装置２００（第１制御部２０５）に各種の指示及びデータを入力できるようになる。
【0072】
第２ユーザが第２入力部３０２を操作して、各種の指示及びデータを入力すると、第２制御部３０５が、第２通信部３０１を介して、第１操作装置２００へ各種の指示及びデータを送信する。この結果、第１通信部２０１（図４）により受信された各種の指示及びデータが第１制御部２０５（図４）に入力されて、第１制御部２０５が第２ユーザの指示に基づいて各種の制御を実行する。但し、既に説明したように、第２ユーザが指示を入力できる操作項目は、第１ユーザが指示を入力できる操作項目の一部に限定される。
【0073】
続いて、図６（ａ）を参照して、第１操作画面ＳＧ１を説明する。図６（ａ）は、第１操作画面ＳＧ１の一例を示す図である。第１操作画面ＳＧ１は、第１操作装置２００に第１ユーザがログインした後に表示される。詳しくは、第１操作画面ＳＧ１は、第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続していない場合、第１表示部２０３に表示される。第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続している場合、第１操作画面ＳＧ１は、第１表示部２０３及び第２表示部３０３に表示される。
【0074】
本実施形態において、第１操作画面ＳＧ１を操作する権限は、第１入力部２０２を操作して第１操作装置２００にログインしたユーザ（第１ユーザ）にのみ与えられる。換言すると、第１操作画面ＳＧ１を操作する権限は、第１操作装置２００に直接ログインしたユーザ（第１ユーザ）にのみ与えられる。
【0075】
図６（ａ）に示す第１操作画面ＳＧ１は、ログアウトボタンＢ１と、画面切替ボタンＢ２と、複数の操作対象項目欄ＴＫと、複数の実行ボタンＢＲとを含む。換言すると、図６（ａ）に示す第１操作画面ＳＧ１は、ログアウトボタンＢ１と、画面切替ボタンＢ２と、複数の操作対象項目欄ＴＫと、複数の実行ボタンＢＲとを表示する。
【0076】
ログアウトボタンＢ１は、ログアウトを実行するためのボタン画像である。第１ユーザは、第１入力部２０２を操作して、ログアウトボタンＢ１を押下する指示を入力することができる。ログアウトボタンＢ１が押下されると、第１制御部２０５は、ログアウトを実行する。
【0077】
画面切替ボタンＢ２は、画面を切り替えるためのボタン画像である。第１ユーザは、第１入力部２０２を操作して、画面切替ボタンＢ２を押下する指示を入力することができる。画面切替ボタンＢ２が押下されると、第１制御部２０５は、画面を切り替える。例えば、図６（ａ）に示す第１操作画面ＳＧ１の画面切替ボタンＢ２が押下されると、第１制御部２０５は、画面を第１操作画面ＳＧ１から他の第１操作画面ＳＧ１に切り替える。
【0078】
なお、他の第１操作画面ＳＧ１には、図６（ａ）に示す第１操作画面ＳＧ１と同様に、ログアウトボタンＢ１及び画面切替ボタンＢ２が含まれる。但し、他の第１操作画面ＳＧ１において、ログアウトボタンＢ１及び画面切替ボタンＢ２の位置は、図６（ａ）に示す第１操作画面ＳＧ１と異なっていてもよい。
【0079】
複数の操作対象項目欄ＴＫはそれぞれ操作対象Ｔを示す。操作対象Ｔは、例えば、基板処理開始、シャットダウン、レシピ編集、ログ確認、及びアラーム状況確認を含む。実行ボタンＢＲは、操作対象項目欄ＴＫごとに設けられている。第１ユーザは、第１入力部２０２を操作して、実行ボタンＢＲを押下する指示を入力することができる。実行ボタンＢＲが押下されると、第１制御部２０５は、押下された実行ボタンＢＲに対応する処理を実行する。
【0080】
例えば、基板処理開始に対応する実行ボタンＢＲが押下されると、第１制御部２０５は、基板処理装置１００に基板処理を実行させる。シャットダウンに対応する実行ボタンＢＲが押下されると、第１制御部２０５は、基板処理装置１００の電源をシャットダウンする。レシピ編集に対応する実行ボタンＢＲが押下されると、第１制御部２０５は、第１表示部２０３、又は第１表示部２０３及び第２表示部３０３にレシピ編集画面を表示させる。ログ確認に対応する実行ボタンＢＲが押下されると、第１制御部２０５は、第１表示部２０３、又は第１表示部２０３及び第２表示部３０３にログの一覧画面を表示させる。アラーム状況確認に対応する実行ボタンＢＲが押下されると、第１制御部２０５は、第１表示部２０３、又は第１表示部２０３及び第２表示部３０３にアラーム状況の一覧画面を表示させる。
【0081】
なお、他の第１操作画面ＳＧ１にも、図６（ａ）に示す第１操作画面ＳＧ１と同様に、少なくとも一つの操作対象項目欄ＴＫと、その操作対象項目欄ＴＫに対応する実行ボタンＢＲとが含まれる。但し、他の第１操作画面ＳＧ１において、操作対象項目欄ＴＫ及び実行ボタンＢＲの表示形式、位置、及びサイズは、図６（ａ）に示す第１操作画面ＳＧ１と異なっていてもよい。
【0082】
続いて、図６（ｂ）を参照して、操作可否情報テーブルＴＡを説明する。図６（ｂ）は、操作可否情報テーブルＴＡを示す図である。操作可否情報テーブルＴＡは、第１記憶部２０４に記憶されている。操作可否情報テーブルＴＡは、操作可否情報を示す。操作可否情報は、全ての第１操作画面ＳＧ１に含まれる全ての操作対象Ｔの実行の可否を示す。例えば、操作可否情報には、図６（ａ）に示す第１操作画面ＳＧ１に含まれる各操作対象Ｔの実行の可否を示す情報が含まれる。
【0083】
図６（ｂ）に示すように、操作可否情報テーブルＴＡは、各操作対象Ｔと、各操作対象Ｔの実行の可否を示す可否データＡＮとの関係を示す。可否データＡＮは、例えば、フラグである。図６（ｂ）に示す例において、「可」の可否データＡＮは、対応する操作対象Ｔの実行が許可されていることを示し、「否」の可否データＡＮは、対応する操作対象Ｔの実行が禁止されていることを示す。詳しくは、複数の操作対象Ｔのうち、図２を参照して説明したインデクサーロボットＩＲとセンターロボットＣＲとのうちの少なくとも一方が動作する操作対象Ｔに対して、「否」の可否データＡＮが付与される。
【0084】
なお、本実施形態では、更に、シャットダウンに対して「否」の可否データＡＮが付与される。第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続中に基板処理装置１００の電源がシャットダウンすると、リモート接続が切断される。本実施形態によれば、シャットダウンに対して「否」の可否データＡＮを付与することで、第１操作装置２００にログインした第２ユーザがリモート接続を切断することを回避できる。
【0085】
続いて、図７（ａ）を参照して、第２操作画面ＳＧ２を説明する。図７（ａ）は、第２操作画面ＳＧ２の一例を示す図である。第２操作画面ＳＧ２は、第１操作装置２００に第２ユーザがログインした後に第１表示部２０３及び第２表示部３０３に表示される。
【0086】
本実施形態において、第２操作画面ＳＧ２を操作する権限は、第２入力部３０２を操作して第１操作装置２００にログインしたユーザ（第２ユーザ）にのみ与えられる。換言すると、第２操作画面ＳＧ２を操作する権限は、第２操作装置３００を介して第１操作装置２００にログインしたユーザ（第２ユーザ）にのみ与えられる。
【0087】
図７（ａ）に示す第２操作画面ＳＧ２は、ログアウトボタンＢ１と、画面切替ボタンＢ２と、複数の操作対象項目欄ＴＫと、複数の実行ボタンＢＲとを含む。換言すると、図７（ａ）に示す第２操作画面ＳＧ２は、ログアウトボタンＢ１と、画面切替ボタンＢ２と、複数の操作対象項目欄ＴＫと、複数の実行ボタンＢＲとを表示する。
【0088】
図７（ａ）に示す第２操作画面ＳＧ２は、図６（ａ）に示す第１操作画面ＳＧ１と対応している。図６（ａ）及び図７（ａ）に示すように、第２操作画面ＳＧ２では、第１操作画面ＳＧ１と異なり、一部の実行ボタンＢＲがグレイアウトしている。したがって、第２操作画面ＳＧ２において一部の実行ボタンＢＲは無効である。つまり、第２操作画面ＳＧ２では、第１操作画面ＳＧ１に含まれる操作対象Ｔの一部の操作が禁止されている。よって、第２ユーザは、一部の操作を実行することができない。詳しくは、複数の実行ボタンＢＲのうち、図２を参照して説明したインデクサーロボットＩＲとセンターロボットＣＲとのうちの少なくとも一方が動作する操作対象Ｔの実行ボタンＢＲがグレイアウトしている。更に、本実施形態では、シャットダウンの実行ボタンＢＲがグレイアウトしている。
【0089】
第２操作画面ＳＧ２は、図６（ｂ）を参照して説明した操作可否情報に基づいて作成される。具体的には、第１制御部２０５が、第２ユーザのログイン後、第１記憶部２０４から操作可否情報テーブルＴＡを読み出し、操作可否情報テーブルＴＡを参照して第２操作画面ＳＧ２を作成する。具体的には、第１制御部２０５は、「非」の可否データＡＮが与えられた操作対象Ｔの実行ボタンＢＲをグレイアウトさせる。
【0090】
本実施形態によれば、第２操作装置３００（リモート端末）を介して第１操作装置２００（ローカル端末）にログインしたユーザ（第２ユーザ）は、インデクサーロボットＩＲとセンターロボットＣＲとのうちの少なくとも一方が動作する指示（ロボット搬送関連指示）を入力することができない。したがって、基板処理装置１００の近傍で作業をしている作業者の安全をより確保することができる。
【0091】
詳しくは、基板処理装置１００の近傍で作業をしている作業者がメンテナンス担当者である場合、その作業者が第１搬送室ＣＨ１（図２）又は第２搬送室ＣＨ２（図２）に入ってメンテナンスを行う可能性がある。一方、第２ユーザは基板処理装置１００を視認できないため、基板処理装置１００の近傍に作業者が存在しているか否かを判断できない。よって、第２ユーザがロボット搬送関連指示を入力できる場合、基板処理装置１００の近傍で作業をしている作業者に危険が及ぶ動作を基板処理装置１００に実行させるおそれがある。これに対し、本実施形態によれば、第２ユーザはロボット搬送関連指示を入力できない。したがって、第２ユーザが第１操作装置２００にログインして、第２操作装置３００を介して第１操作装置２００を操作する場合であっても、基板処理装置１００の近傍で作業をしている作業者の安全をより確保することができる。
【0092】
続いて、図７（ｂ）を参照して、第２操作画面ＳＧ２の変形例を説明する。図７（ｂ）は、第２操作画面ＳＧ２の変形例を示す図である。図７（ｂ）に示す第２操作画面ＳＧ２では、図７（ａ）に示す第２操作画面ＳＧ２においてグレイアウト表示されていた実行ボタンＢＲが削除されている。したがって、図７（ｂ）に示す第２操作画面ＳＧ２においても、図７（ａ）に示す第２操作画面ＳＧ２と同様に、第１操作画面ＳＧ１に含まれる操作対象Ｔの一部の操作が禁止されている。
【0093】
詳しくは、複数の実行ボタンＢＲのうち、インデクサーロボットＩＲとセンターロボットＣＲとのうちの少なくとも一方が動作する操作対象Ｔの実行ボタンＢＲが削除されている。よって、図７（ａ）に示す第２操作画面ＳＧ２と同様に、基板処理装置１００の近傍で作業をしている作業者の安全をより確保することができる。なお、本実施形態では、シャットダウンの実行ボタンＢＲも削除される。
【0094】
続いて、図１～図８を参照して、本実施形態の操作画面切替方法及び基板処理システム１０００を説明する。図８は、本実施形態の操作画面切替方法を示す図である。詳しくは、図８は、第１制御部２０５が実行する操作画面切替処理の流れを示すフロチャートである。図８に示すように、本実施形態の操作画面切替方法（操作画面切替処理）は、ステップＳ１～ステップＳ５を含む。操作画面切替処理は、第１操作装置２００にユーザがログインしたことに応じて開始する。
【0095】
図８に示すように、第１制御部２０５は、第１操作装置２００にユーザがログインすると、ログインしたユーザが第２ユーザであるか否かを判定する（ステップＳ１）。換言すると、第１制御部２０５は、第２操作装置３００を介して第１操作装置２００にユーザ（第２ユーザ）がログインしたか否かを判定する（ステップＳ１）。
【0096】
ログインしたユーザが第２ユーザでない場合（ステップＳ１のＮｏ）、すなわち、ログインしたユーザが第１ユーザである場合、第１制御部２０５は、第１操作画面ＳＧ１を第１表示部２０３に表示させる（ステップＳ２）。あるいは、第１制御部２０５は、第１表示部２０３及び第２表示部３０３に第１操作画面ＳＧ１を表示させる。詳しくは、第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続している場合に、第１制御部２０５は、第１表示部２０３及び第２表示部３０３に第１操作画面ＳＧ１を表示させる。
【0097】
第１操作画面ＳＧ１を表示させた後、第１制御部２０５は、第１ユーザがログアウトしたか否かを判定する（ステップＳ３）。そして、第１ユーザがログアウトすると（ステップＳ３のＹｅｓ）、第１制御部２０５は、図８に示す処理を終了する。
【0098】
また、第１制御部２０５は、ログインしたユーザが第２ユーザであると判定した場合（ステップＳ１のＹｅｓ）、図６（ｂ）を参照して説明した操作可否情報テーブルＴＡを参照して、第２操作画面ＳＧ２を作成する（ステップＳ４）。つまり、第１制御部２０５は、操作可否情報に基づいて第２操作画面ＳＧ２を作成する。そして、第１制御部２０５は、第２操作画面ＳＧ２を第１表示部２０３及び第２表示部３０３に表示させる（ステップＳ５）。
【0099】
第２操作画面ＳＧ２を表示させた後、第１制御部２０５は、第２ユーザがログアウトしたか否かを判定する（ステップＳ３）。そして、第２ユーザがログアウトすると（ステップＳ３のＹｅｓ）、第１制御部２０５は、図８に示す処理を終了する。
【0100】
以上、図１～図８を参照して、本発明の実施形態１を説明した。本実施形態によれば、既に説明したように、第２ユーザは、ロボット搬送関連指示を入力することができない。したがって、基板処理装置１００の近傍で作業をしている作業者の安全をより確保することができる。
【0101】
［実施形態２］
続いて、図１、図３～図７、図９及び図１０を参照して、本発明の実施形態２について説明する。但し、実施形態１と異なる事項を説明し、実施形態１と同じ事項についての説明は割愛する。実施形態２は、基板処理装置１００の構成と、操作画面切替処理（操作画面切替方法）とが実施形態１と異なる。
続いて、図１、図３～図７、図９及び図１０を参照して、本発明の実施形態２について説明する。但し、実施形態１と異なる事項を説明し、実施形態１と同じ事項についての説明は割愛する。実施形態２は、基板処理装置１００の構成と、操作画面切替処理（操作画面切替方法）とが実施形態１と異なる。
【0102】
図９は、本実施形態の基板処理システム１０００に含まれる基板処理装置１００の一例を示す模式的な平面図である。図９に示すように、実施形態２は、基板処理装置１００が検知部１２を備える点で、実施形態１と異なる。
【0103】
検知部１２は検知対象を検知する。図４に示す第１制御部２０５は、検知部１２が検知対象を検知しているか否かを判定する。本実施形態において、検知部１２は、第１撮像装置１２１と、第２撮像装置１２２とを含む。本実施形態において、検知対象は、人である。
【0104】
第１撮像装置１２１は、第１搬送室ＣＨ１内に配置されて、第１搬送室ＣＨ１の内部の様子を撮像し、撮像結果を示す第１撮像信号を第１制御部２０５へ送信する。第２撮像装置１２２は、第２搬送室ＣＨ２内に配置されて、第２搬送室ＣＨ２の内部の様子を撮像し、撮像結果を示す第２撮像信号を第１制御部２０５へ送信する。以下、第１撮像信号と第２撮像信号とを区別する必要がないときには、第１撮像信号及び第２撮像信号を「撮像信号」と記載する場合がある。
【0105】
第１制御部２０５は、第１撮像信号に基づいて、第１搬送室ＣＨ１内に人が居るか否かを判定する。また、第１制御部２０５は、第２撮像信号に基づいて、第２搬送室ＣＨ２内に人が居るか否かを判定する。より詳しくは、第１制御部２０５は、第１撮像信号を画像処理し、第１搬送室ＣＨ１内において、第１搬送室ＣＨ１内の構造物以外の物体が動いているか否かを判定する。同様に、第１制御部２０５は、第２撮像信号を画像処理し、第２搬送室ＣＨ２内において、第２搬送室ＣＨ２内の構造物以外の物体が動いているか否かを判定する。なお、第１搬送室ＣＨ１内の構造物には、インデクサーロボットＩＲが含まれる。第２搬送室ＣＨ２内の構造物には、センターロボットＣＲが含まれる。
【0106】
続いて、図１、図３～図７、図９及び図１０を参照して、本実施形態の操作画面切替方法及び基板処理システム１０００を説明する。図１０は、本実施形態の操作画面切替方法を示す図である。詳しくは、図１０は、第１制御部２０５が実行する操作画面切替処理の流れを示すフロチャートである。図１０に示すように、本実施形態の操作画面切替方法（操作画面切替処理）は、ステップＳ１１～ステップＳ２０を含む。操作画面切替処理は、第１操作装置２００にユーザがログインしたことに応じて開始する。
【0107】
【0108】
第１制御部２０５は、ログインしたユーザが第２ユーザであると判定した場合（ステップＳ１１のＹｅｓ）、検知部１２が検知対象を検知したか否かを判定する（ステップＳ１４）。具体的には、第１制御部２０５は、撮像信号に基づいて、第１搬送室ＣＨ１内、又は第２搬送室ＣＨ２内に人が居るか否かを判定する。
【0109】
検知部１２が検知対象を検知していないと判定した場合（ステップＳ１４のＮｏ）、第１制御部２０５は、第１表示部２０３及び第２表示部３０３に第１操作画面ＳＧ１を表示させる（ステップＳ１５）。
【0110】
第２操作画面ＳＧ２を表示させた後、第１制御部２０５は、第２ユーザがログアウトしたか否かを判定する（ステップＳ１６）。第２ユーザがログアウトすると（ステップＳ１６のＹｅｓ）、第１制御部２０５は、図１０に示す処理を終了する。
【0111】
第２ユーザがログアウトしていない場合（ステップＳ１６のＮｏ）、第１制御部２０５は、検知部１２が検知対象を検知したか否かを判定する（ステップＳ１７）。
【0112】
検知部１２が検知対象を検知していない場合（ステップＳ１７のＮｏ）、処理はステップＳ１６に戻り、第１制御部２０５は、第２ユーザがログアウトしたか否かを判定する。
【0113】
一方、第１制御部２０５は、検知部１２が検知対象を検知していると判定した場合（ステップＳ１７のＹｅｓ）、図６（ｂ）を参照して説明した操作可否情報テーブルＴＡを参照して、第２操作画面ＳＧ２を作成する（ステップＳ１８）。そして、第１制御部２０５は、第２操作画面ＳＧ２を第１表示部２０３及び第２表示部３０３に表示させる（ステップＳ１９）。
【0114】
また、第１制御部２０５は、ステップＳ１４において、検知部１２が検知対象を検知していると判定した場合（ステップＳ１４のＹｅｓ）、操作可否情報テーブルＴＡを参照して、第２操作画面ＳＧ２を作成し（ステップＳ１８）、第２操作画面ＳＧ２を第１表示部２０３及び第２表示部３０３に表示させる（ステップＳ１９）。
【0115】
第２操作画面ＳＧ２を表示させた後、第１制御部２０５は、第２ユーザがログアウトしたか否かを判定する（ステップＳ２０）。そして、第２ユーザがログアウトすると（ステップＳ２０のＹｅｓ）、第１制御部２０５は、図１０に示す処理を終了する。
【0116】
以上、図１、図３～図７、図９及び図１０を参照して、本発明の実施形態２を説明した。本実施形態によれば、検知部１２が検知対象を検知した場合に、第２ユーザは、ロボット搬送関連指示を入力することができない。したがって、基板処理装置１００の近傍で作業をしている作業者の安全をより確保することができる。詳しくは、インデクサーロボットＩＲが動作する空間（第１搬送室ＣＨ１）内又はセンターロボットＣＲが動作する空間（第２搬送室ＣＨ２）内に人が居ることが検知されると、ロボット搬送関連指示の操作が制限される。したがって、基板処理装置１００の近傍で作業をしている作業者の安全をより確保することができる。
【0117】
なお、本実施形態では、第１撮像装置１２１及び第２撮像装置１２２により基板処理装置１００の内部が撮像されたが、基板処理装置１００の内部に人が出入するための出入り口付近が撮像されてもよい。あるいは、基板処理装置１００の近傍（外部）が撮像されてもよい。
【0118】
また、本実施形態では、検知部１２として第１撮像装置１２１及び第２撮像装置１２２が使用されたが、検知部１２は、第１撮像装置１２１及び第２撮像装置１２２に限定されない。例えば、検知部１２は、人感センサあるいは赤外線サーモグラフィであってもよい。
【0119】
［実施形態３］
続いて、図１、図３～図７、図９、図１１及び図１２を参照して、本発明の操作判定方法及び基板処理システムに係る実施形態を説明する。但し、実施形態１、２と異なる事項を説明し、実施形態１、２と同じ事項についての説明は割愛する。実施形態３は、第１制御部２０５が、操作画面切替処理に替えて、操作判定処理を実行する点が実施形態１、２と異なる。
続いて、図１、図３～図７、図９、図１１及び図１２を参照して、本発明の操作判定方法及び基板処理システムに係る実施形態を説明する。但し、実施形態１、２と異なる事項を説明し、実施形態１、２と同じ事項についての説明は割愛する。実施形態３は、第１制御部２０５が、操作画面切替処理に替えて、操作判定処理を実行する点が実施形態１、２と異なる。
【0120】
実施形態３では、実施形態２と同様に、基板処理装置１００は検知部１２を備える。詳しくは、基板処理装置１００は、第１撮像装置１２１と、第２撮像装置１２２とを備える。
【0121】
図１１及び図１２は、本実施形態の操作判定方法を示す図である。詳しくは、図１１及び図１２は、第１制御部２０５が実行する操作判定処理の流れを示すフロチャートである。図１１及び図１２に示すように、本実施形態の操作判定方法（操作判定処理）は、ステップＳ３１～ステップＳ４３を含む。操作判定処理は、第１操作装置２００にユーザがログインしたことに応じて開始する。
【0122】
図１１に示すように、第１制御部２０５は、第１操作装置２００にユーザがログインすると、ログインしたユーザが第２ユーザであるか否かを判定する（ステップＳ３１）。
【0123】
ログインしたユーザが第２ユーザでない場合（ステップＳ３１のＮｏ）、すなわち、ログインしたユーザが第１ユーザである場合、第１制御部２０５は、第１操作画面ＳＧ１を第１表示部２０３に表示させる（ステップＳ３２）。あるいは、第１制御部２０５は、第１表示部２０３及び第２表示部３０３に第１操作画面ＳＧ１を表示させる。
【0124】
第１操作画面ＳＧ１を表示させた後、第１制御部２０５は、第１ユーザがログアウトしたか否かを判定する（ステップＳ３３）。そして、第１ユーザがログアウトすると（ステップＳ３３のＹｅｓ）、第１制御部２０５は、図１１及び図１２に示す処理を終了する。
【0125】
第１ユーザがログアウトしていない場合（ステップＳ３３のＮｏ）、第１制御部２０５は、第１ユーザが第１入力部２０２を操作して指示を入力したか否かを判定する（ステップＳ３４）。詳しくは、第１制御部２０５は、図６（ａ）を参照して説明した実行ボタンＢＲを押下する指示が入力されたか否かを判定する。
【0126】
指示が入力されていない場合（ステップＳ３４のＮｏ）、処理はステップＳ３３に戻り、第１制御部２０５は、第１ユーザがログアウトしたか否かを判定する。
【0127】
指示が入力された場合（ステップＳ３４のＹｅｓ）、第１制御部２０５は、その指示を実行する（ステップＳ３５）。その結果、処理はステップＳ３３に戻る。詳しくは、第１制御部２０５は、押下された実行ボタンＢＲに対応する操作対象Ｔを実行する。例えば、操作対象Ｔが基板処理の開始である場合、第１制御部２０５は、基板処理装置１００を制御して、基板処理装置１００に基板処理を実行させる。
【0128】
第１制御部２０５は、ログインしたユーザが第２ユーザであると判定した場合（ステップＳ３１のＹｅｓ）、図１２に示すように、禁止対象の指示を設定する（ステップＳ３６）。
【0129】
詳しくは、第１制御部２０５は、図６（ｂ）を参照して説明した操作可否情報に基づいて禁止対象の指示を設定する。具体的には、第１制御部２０５は、第１記憶部２０４に記憶されている操作可否情報テーブルＴＡを参照し、「否」の可否データＡＮが関連付けれた操作対象Ｔを、禁止対象の指示に設定する。
【0130】
第１制御部２０５は、禁止対象の指示を設定した後、第１表示部２０３及び第２表示部３０３に第１操作画面ＳＧ１を表示させる（ステップＳ３７）。第１操作画面ＳＧ１を表示させた後、第１制御部２０５は、第２ユーザがログアウトしたか否かを判定する（ステップＳ３８）。
【0131】
第２ユーザがログアウトしていない場合（ステップＳ３８のＮｏ）、第１制御部２０５は、第２ユーザが第２入力部３０２を操作して指示を入力したか否かを判定する（ステップＳ３９）。指示が入力されていない場合（ステップＳ３９のＮｏ）、処理はステップＳ３８に戻り、第１制御部２０５は、第２ユーザがログアウトしたか否かを判定する。
【0132】
指示が入力された場合（ステップＳ３９のＹｅｓ）、第１制御部２０５は、検知部１２が検知対象を検知したか否かを判定する（ステップＳ４０）。具体的には、第１制御部２０５は、撮像信号に基づいて、第１搬送室ＣＨ１内、又は第２搬送室ＣＨ２内に人が居るか否かを判定する。
【0133】
検知部１２が検知対象を検知していると判定した場合（ステップＳ４０のＹｅｓ）、第１制御部２０５は、入力された指示が禁止対象の指示であるか否かを判定する（ステップＳ４１）。
【0134】
入力された指示が禁止対象の指示でない場合（ステップＳ４１のＮｏ）、第１制御部２０５は、入力された指示を実行する（ステップＳ４２）。また、第１制御部２０５は、検知部１２が検知対象を検知していないと判定した場合（ステップＳ４０のＮｏ）、入力された指示を実行する（ステップＳ４２）。詳しくは、第１制御部２０５は、押下された実行ボタンＢＲに対応する操作対象Ｔを実行する。例えば、操作対象Ｔがレシピの編集である場合、第１制御部２０５は、レシピ編集画面を第１表示部２０３及び第２表示部３０３に表示させる。指示の実行後、処理はステップＳ３８に戻り、第１制御部２０５は、第２ユーザがログアウトしたか否かを判定する。
【0135】
入力された指示が禁止対象の指示である場合（ステップＳ４１のＹｅｓ）、第１制御部２０５は、入力された指示の実行を禁止する（ステップＳ４３）。すなわち、第１制御部２０５は、入力された指示を実行しない。指示の実行の禁止後、処理はステップＳ３８に戻り、第１制御部２０５は、第２ユーザがログアウトしたか否かを判定する。
【0136】
【0137】
以上、図１、図３～図７、図９、図１１及び図１２を参照して、本発明の実施形態３を説明した。実施形態３によれば、実施形態２と同様に、検知部１２が検知対象を検知した場合に、第２ユーザは、ロボット搬送関連指示を入力することができない。したがって、基板処理装置１００の近傍で作業をしている作業者の安全をより確保することができる。
【0138】
以上、図面（図１～図１２）を参照して本発明の実施形態について説明した。ただし、本発明は、上記の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の態様において実施できる。また、上記の実施形態に開示される複数の構成要素は適宜改変可能である。例えば、ある実施形態に示される全構成要素のうちのある構成要素を別の実施形態の構成要素に追加してもよく、又は、ある実施形態に示される全構成要素のうちのいくつかの構成要素を実施形態から削除してもよい。
【0139】
図面は、発明の理解を容易にするために、それぞれの構成要素を主体に模式的に示しており、図示された各構成要素の厚さ、長さ、個数、間隔等は、図面作成の都合上から実際とは異なる場合もある。また、上記の実施形態で示す各構成要素の構成は一例であって、特に限定されるものではなく、本発明の効果から実質的に逸脱しない範囲で種々の変更が可能であることは言うまでもない。
【0140】
例えば、図１～図１２を参照して説明した実施形態において、基板処理装置１００は洗浄装置又はウェットエッチング装置であったが、基板処理装置１００は洗浄装置及びウェットエッチング装置に限定されない。基板処理装置１００は、基板Ｗを処理する装置であればよい。例えば、基板処理装置１００は、ドライエッチング装置、ベーク装置、塗布装置、又は現像装置であってもよい。
【0141】
【0142】
また、図１～図１２を参照して説明した実施形態において、検知対象は人であったが、検知対象は人に限定されない。例えば、基板処理装置１００は、検知部１２として、ガスセンサ、湿度センサ、又は圧力センサを備えてもよい。ガスセンサは、基板処理装置１００内部のガスを検知する。湿度センサは、基板処理装置１００内部の湿度を検知する。圧力センサは、基板処理装置１００内部の圧力を検知する。
【産業上の利用可能性】
【0143】
本発明は、基板を処理する装置に利用可能である。
【符号の説明】
【0144】
１００ ：基板処理装置
２００ ：第１操作装置
２０１ ：第１通信部
２０３ ：第１表示部
２０５ ：第１制御部
３００ ：第２操作装置
３０１ ：第２通信部
３０３ ：第２表示部
３０５ ：第２制御部
１０００ ：基板処理システム
ＡＮ ：可否データ
ＢＲ ：実行ボタン
ＣＲ ：センターロボット
ＩＲ ：インデクサーロボット
ＳＧ１ ：第１操作画面
ＳＧ２ ：第２操作画面
Ｔ ：操作対象
ＴＡ ：操作可否情報テーブル
Ｗ ：基板
２００ ：第１操作装置
２０１ ：第１通信部
２０３ ：第１表示部
２０５ ：第１制御部
３００ ：第２操作装置
３０１ ：第２通信部
３０３ ：第２表示部
３０５ ：第２制御部
１０００ ：基板処理システム
ＡＮ ：可否データ
ＢＲ ：実行ボタン
ＣＲ ：センターロボット
ＩＲ ：インデクサーロボット
ＳＧ１ ：第１操作画面
ＳＧ２ ：第２操作画面
Ｔ ：操作対象
ＴＡ ：操作可否情報テーブル
Ｗ ：基板
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】