特開 2024-31581 ログイン画面切替方法、及び基板処理システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024031581

(43)【公開日】2024-03-07

(54)【発明の名称】ログイン画面切替方法、及び基板処理システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/02 20060101AFI20240229BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20240229BHJP

   G06F 15/00 20060101ALI20240229BHJP

【ＦＩ】

H01L21/02 Z

H01L21/304 643A

G06F15/00 420Z

H01L21/304 648Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】14

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022135227

(22)【出願日】2022-08-26

(71)【出願人】

【識別番号】000207551

【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

(74)【代理人】

【識別番号】100168583

【弁理士】

【氏名又は名称】前井 宏之

(72)【発明者】

【氏名】秋田 正史

【テーマコード（参考）】

5F157

【Ｆターム（参考）】

5F157AB33

5F157AB49

5F157AB90

5F157BB22

5F157BB42

5F157BB43

5F157BC53

5F157CB03

5F157CF02

5F157CF14

5F157CF50

5F157CF52

5F157CF60

5F157CF92

(57)【要約】

【課題】作業者の安全を確保できるログイン画面切替方法を提供する。
【解決手段】ログイン画面切替方法は、第１操作装置２００に第１ユーザが直接ログインし、第２操作装置３００を介して第２ユーザが第１操作装置２００にログインする基板処理システム１０００において、ログイン画面を複数種類のログイン画面ＬＧ１、ＬＧ２の間で切り替える方法である。ログイン画面切替方法は、第１操作装置２００に第１ユーザがログインしている際に、第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続したか否かを判定するステップ（Ｓ２０８）と、第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続した場合に、第１ユーザを強制的にログアウトさせるステップ（Ｓ２１０）と、第１ユーザを強制的にログアウトせた後、第１ユーザがログインした際に表示させたログイン画面ＬＧ１とは異なるログイン画面ＬＧ２を表示させるステップ（Ｓ２１１）とを含む。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を処理する基板処理装置を制御する第１操作装置に第１ユーザが直接ログインし、前記第１操作装置にリモート接続可能な第２操作装置を介して第２ユーザが前記第１操作装置にログインする基板処理システムにおいて、前記第１ユーザ及び前記第２ユーザがログインするためのログイン画面を複数種類のログイン画面の間で切り替えるログイン画面切替方法であって、
前記第１操作装置に前記第１ユーザがログインしている際に、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続したか否かを判定するステップと、
前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続したと判定された場合に、前記第１ユーザを強制的にログアウトさせるステップと、
前記第１ユーザを強制的にログアウトせた後、前記第１ユーザがログインした際に表示させたログイン画面とは異なるログイン画面を表示させるステップと
を含む、ログイン画面切替方法。

【請求項2】

前記第１操作装置に前記第１ユーザ及び前記第２ユーザがログインしていない状態において、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続しているか否かを判定するステップと、
前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続していないと判定された場合、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続することを拒否するか否かを選択する拒否選択機能を有効にしたログイン画面を表示させるステップと、
前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続していると判定された場合に、前記拒否選択機能を無効にしたログイン画面を表示させるステップと
を更に含む、請求項１に記載のログイン画面切替方法。

【請求項3】

前記第１ユーザを強制的にログアウトさせた後に表示させる前記ログイン画面は、前記拒否選択機能を無効にしたログイン画面である、請求項２に記載のログイン画面切替方法。

【請求項4】

前記第１ユーザを強制的にログアウトさせた後に表示させる前記ログイン画面は、前記第１ユーザを強制的にログアウトさせたことを通知する画像を含む、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のログイン画面切替方法。

【請求項5】

前記第２操作装置によるリモート接続が許可されているか否かを判定するステップと、
前記リモート接続が許可されていない場合、前記第１操作装置の待機状態に対して第１設定時間を設定するステップと、
前記リモート接続が許可されている場合、前記待機状態に対して、前記第１設定時間よりも短い第２設定時間を設定するステップと、
前記リモート接続が許可されていない場合、前記第１操作装置に前記第１ユーザがログインしている状態において前記待機状態が前記第１設定時間以上継続すると、前記第１ユーザをログアウトさせるステップと、
前記リモート接続が許可されている場合、前記第１操作装置に前記第１ユーザ又は前記第２ユーザがログインしている状態において前記待機状態が前記第２設定時間以上継続すると、前記第１ユーザ又は前記第２ユーザをログアウトさせるステップと
を更に含み、
前記待機状態は、前記第１ユーザが前記第１操作装置にログインした後に前記第１操作装置が操作されていない状態と、前記第２ユーザが前記第１操作装置にログインした後に前記第１操作装置が前記第２操作装置を介して操作されていない状態とを含む、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のログイン画面切替方法。

【請求項6】

前記第１ユーザが特定のユーザであるか否かを判定するステップと、
前記第１ユーザが前記特定のユーザであると判定された場合、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続することを拒否するステップと
を更に含む、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のログイン画面切替方法。

【請求項7】

前記第１操作装置に前記第２ユーザがログインした後、前記第１操作装置及び前記第２操作装置が表示する画面に、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続していることを示す画像を表示させるステップを更に含む、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のログイン画面切替方法。

【請求項8】

基板を処理する基板処理装置と、
前記基板処理装置を制御する第１操作装置と、
前記第１操作装置にリモート接続可能な第２操作装置と
を備え、
前記第１操作装置は、
第１ユーザ又は第２ユーザがログインするためのログイン画面を表示する第１表示部と、
前記第２操作装置と通信可能に接続する第１通信部と、
第１制御部と
を備え、
前記第１ユーザは、前記第１操作装置を操作して前記第１操作装置にログインするユーザであり、
前記第２操作装置は、
前記第１通信部と通信可能に接続する第２通信部と、
前記第２通信部を制御して、前記第２操作装置を前記第１操作装置にリモート接続させる第２制御部と、
前記ログイン画面を表示する第２表示部と
を備え、
前記第２ユーザは、前記第２操作装置を操作して、前記第２操作装置を介して前記第１操作装置にログインするユーザであり、
前記第１制御部は、
前記第１操作装置に前記第１ユーザがログイン中に、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続したか否かを判定し、
前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続したと判定した場合に、前記第１ユーザを強制的にログアウトさせ、
前記第１ユーザを強制的にログアウトせた後、前記第１表示部及び前記第２表示部に、前記第１ユーザがログインした際に表示させたログイン画面とは異なるログイン画面を表示させる、基板処理システム。

【請求項9】

前記第１制御部は、
前記第１操作装置に前記第１ユーザ及び前記第２ユーザがログインしていない状態において、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続しているか否かを判定し、
前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続していないと判定した場合、前記第１表示部に、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続することを拒否するか否かを選択する拒否選択機能を有効にしたログイン画面を表示させ、
前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続していると判定した場合、前記第１表示部及び前記第２表示部に、前記拒否選択機能を無効にしたログイン画面を表示させる、請求項８に記載の基板処理システム。

【請求項10】

前記第１制御部は、前記第１ユーザを強制的にログアウトさせた後、前記第１表示部及び前記第２表示部に、前記拒否選択機能を無効にしたログイン画面を表示させる、請求項９に記載の基板処理システム。

【請求項11】

前記第１制御部は、前記第１ユーザを強制的にログアウトさせた後、前記第１表示部及び前記第２表示部に、前記第１ユーザを強制的にログアウトさせたことを通知する画像を含むログイン画面を表示させる、請求項８から請求項１０のいずれか１項に記載の基板処理システム。

【請求項12】

前記第１制御部は、
前記第２操作装置によるリモート接続が許可されているか否かを判定し、
前記リモート接続が許可されていない場合、前記第１操作装置の待機状態に対して第１設定時間を設定し、
前記リモート接続が許可されている場合、前記待機状態に対して、前記第１設定時間よりも短い第２設定時間を設定し、
前記リモート接続が許可されていない場合、前記第１操作装置に前記第１ユーザがログインしている状態において前記待機状態が前記第１設定時間以上継続すると、前記第１ユーザをログアウトさせ、
前記リモート接続が許可されている場合、前記第１操作装置に前記第１ユーザ又は前記第２ユーザがログインしている状態において前記待機状態が前記第２設定時間以上継続すると、前記第１ユーザ又は前記第２ユーザをログアウトさせ、
前記待機状態は、前記第１ユーザが前記第１操作装置にログインした後に前記第１操作装置が操作されていない状態と、前記第２ユーザが前記第１操作装置にログインした後に前記第１操作装置が前記第２操作装置を介して操作されていない状態とを含む、請求項８から請求項１０のいずれか１項に記載の基板処理システム。

【請求項13】

前記第１制御部は、
前記第１ユーザが特定のユーザであるか否かを判定し、
前記第１ユーザが前記特定のユーザであると判定した場合、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続することを拒否する、請求項８から請求項１０のいずれか１項に記載の基板処理システム。

【請求項14】

前記第１制御部は、前記第１操作装置に前記第２ユーザがログインした後、前記第１表示部及び前記第２表示部が表示する画面に、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続していることを示す画像を表示させる、請求項８から請求項１０のいずれか１項に記載の基板処理システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ログイン画面切替方法、及び基板処理システムに関する。

【背景技術】

【0002】

基板処理装置にネットワークを介して操作装置が接続される基板処理システムが知られている（例えば、特許文献１参照。）。特許文献１の基板処理システムは、基板処理装置と、主操作装置と、外部操作装置とを備える。基板処理装置には、主コントローラと、スイッチングハブとが設けられている。主操作装置は、基板処理装置の近傍に配置され、基板処理装置のスイッチングハブを介して主コントローラに接続される。外部操作装置は、基板処理装置から離れた位置に配置され、スイッチングハブを有するＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）等の通信ネットワークを介して主コントローラに接続される。

【0003】

特許文献１の基板処理システムは、外部操作装置にログインしたユーザが属するグループに応じて、ユーザが操作する機能を制限する。具体的には、外部操作装置にログインしたユーザがメンテナンスグループに属する場合、プロセスレシピに関しては「参照」の権限のみが与えられ、「編集」は禁止される。アラーム条件に関しては、「参照」及び「編集」の両者とも禁止される。メンテナンスに関しては、「参照」及び「編集」の権限が与えられる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１３－１５３２１６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１の基板処理システムは、主操作装置を操作しているユーザが存在する状況の下、他のユーザが外部操作装置にログインする場合と、主操作装置を操作しているユーザが存在しない状況の下、他のユーザが外部操作装置にログインする場合とで、同じログイン画面が表示される。その結果、外部操作装置にログインするユーザは、主操作装置を操作しているユーザが存在しているかどうかを判断することができない。よって、基板処理装置の近傍で作業をしている作業者の安全面を考慮すると、更なる改良の余地がある。

【0006】

本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、基板処理装置の近傍で作業をしている作業者の安全をより確保することができるログイン画面切替方法、及び基板処理システムを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一局面によれば、ログイン画面切替方法は、基板を処理する基板処理装置を制御する第１操作装置に第１ユーザが直接ログインし、前記第１操作装置にリモート接続可能な第２操作装置を介して第２ユーザが前記第１操作装置にログインする基板処理システムにおいて、前記第１ユーザ及び前記第２ユーザがログインするためのログイン画面を複数種類のログイン画面の間で切り替える方法である。当該ログイン画面切替方法は、前記第１操作装置に前記第１ユーザがログインしている際に、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続したか否かを判定するステップと、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続したと判定された場合に、前記第１ユーザを強制的にログアウトさせるステップと、前記第１ユーザを強制的にログアウトせた後、前記第１ユーザがログインした際に表示させたログイン画面とは異なるログイン画面を表示させるステップとを含む。

【0008】

ある実施形態において、上記のログイン画面切替方法は、前記第１操作装置に前記第１ユーザ及び前記第２ユーザがログインしていない状態において、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続しているか否かを判定するステップと、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続していないと判定された場合、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続することを拒否するか否かを選択する拒否選択機能を有効にしたログイン画面を表示させるステップと、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続していると判定された場合に、前記拒否選択機能を無効にしたログイン画面を表示させるステップとを更に含む。

【0009】

ある実施形態において、前記第１ユーザを強制的にログアウトさせた後に表示させる前記ログイン画面は、前記拒否選択機能を無効にしたログイン画面である。

【0010】

ある実施形態において、前記第１ユーザを強制的にログアウトさせた後に表示させる前記ログイン画面は、前記第１ユーザを強制的にログアウトさせたことを通知する画像を含む。

【0011】

ある実施形態において、上記のログイン画面切替方法は、前記第２操作装置によるリモート接続が許可されているか否かを判定するステップと、前記リモート接続が許可されていない場合、前記第１操作装置の待機状態に対して第１設定時間を設定するステップと、前記リモート接続が許可されている場合、前記待機状態に対して、前記第１設定時間よりも短い第２設定時間を設定するステップと、前記リモート接続が許可されていない場合、前記第１操作装置に前記第１ユーザがログインしている状態において前記待機状態が前記第１設定時間以上継続すると、前記第１ユーザをログアウトさせるステップと、前記リモート接続が許可されている場合、前記第１操作装置に前記第１ユーザ又は前記第２ユーザがログインしている状態において前記待機状態が前記第２設定時間以上継続すると、前記第１ユーザ又は前記第２ユーザをログアウトさせるステップとを更に含む。前記待機状態は、前記第１ユーザが前記第１操作装置にログインした後に前記第１操作装置が操作されていない状態と、前記第２ユーザが前記第１操作装置にログインした後に前記第１操作装置が前記第２操作装置を介して操作されていない状態とを含む。

【0012】

ある実施形態において、上記のログイン画面切替方法は、前記第１ユーザが特定のユーザであるか否かを判定するステップと、前記第１ユーザが前記特定のユーザであると判定された場合、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続することを拒否するステップとを更に含む。

【0013】

ある実施形態において、上記のログイン画面切替方法は、前記第１操作装置に前記第２ユーザがログインした後、前記第１操作装置及び前記第２操作装置が表示する画面に、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続していることを示す画像を表示させるステップを更に含む。

【0014】

本発明の他の局面によれば、基板処理システムは、基板処理装置と、第１操作装置と、第２操作装置とを備える。前記基板処理装置は、基板を処理する。前記第１操作装置は、前記基板処理装置を制御する。前記第２操作装置は、前記第１操作装置にリモート接続可能である。前記第１操作装置は、第１表示部と、第１通信部と、第１制御部とを備える。前記第１表示部は、第１ユーザ又は第２ユーザがログインするためのログイン画面を表示する。前記第１通信部は、前記第２操作装置と通信可能に接続する。前記第１ユーザは、前記第１操作装置を操作して前記第１操作装置にログインするユーザである。前記第２操作装置は、第２通信部と、第２制御部と、第２表示部とを備える。前記第２通信部は、前記第１通信部と通信可能に接続する。前記第２制御部は、前記第２通信部を制御して、前記第２操作装置を前記第１操作装置にリモート接続させる。前記第２表示部は、前記ログイン画面を表示する。前記第２ユーザは、前記第２操作装置を操作して、前記第２操作装置を介して前記第１操作装置にログインするユーザである。前記第１制御部は、前記第１操作装置に前記第１ユーザがログイン中に、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続したか否かを判定する。前記第１制御部は、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続したと判定した場合に、前記第１ユーザを強制的にログアウトさせる。前記第１制御部は、前記第１ユーザを強制的にログアウトせた後、前記第１表示部及び前記第２表示部に、前記第１ユーザがログインした際に表示させたログイン画面とは異なるログイン画面を表示させる。

【0015】

ある実施形態において、前記第１制御部は、前記第１操作装置に前記第１ユーザ及び前記第２ユーザがログインしていない状態において、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続しているか否かを判定する。前記第１制御部は、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続していないと判定した場合、前記第１表示部に、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続することを拒否するか否かを選択する拒否選択機能を有効にしたログイン画面を表示させる。前記第１制御部は、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続していると判定した場合、前記第１表示部及び前記第２表示部に、前記拒否選択機能を無効にしたログイン画面を表示させる。

【0016】

ある実施形態において、前記第１制御部は、前記第１ユーザを強制的にログアウトさせた後、前記第１表示部及び前記第２表示部に、前記拒否選択機能を無効にしたログイン画面を表示させる。

【0017】

ある実施形態において、前記第１制御部は、前記第１ユーザを強制的にログアウトさせた後、前記第１表示部及び前記第２表示部に、前記第１ユーザを強制的にログアウトさせたことを通知する画像を含むログイン画面を表示させる。

【0018】

ある実施形態において、前記第１制御部は、前記第２操作装置によるリモート接続が許可されているか否かを判定する。前記第１制御部は、前記リモート接続が許可されていない場合、前記第１操作装置の待機状態に対して第１設定時間を設定する。前記第１制御部は、前記リモート接続が許可されている場合、前記待機状態に対して、前記第１設定時間よりも短い第２設定時間を設定する。前記第１制御部は、前記リモート接続が許可されていない場合、前記第１操作装置に前記第１ユーザがログインしている状態において前記待機状態が前記第１設定時間以上継続すると、前記第１ユーザをログアウトさせる。前記第１制御部は、前記リモート接続が許可されている場合、前記第１操作装置に前記第１ユーザ又は前記第２ユーザがログインしている状態において前記待機状態が前記第２設定時間以上継続すると、前記第１ユーザ又は前記第２ユーザをログアウトさせる。前記待機状態は、前記第１ユーザが前記第１操作装置にログインした後に前記第１操作装置が操作されていない状態と、前記第２ユーザが前記第１操作装置にログインした後に前記第１操作装置が前記第２操作装置を介して操作されていない状態とを含む。

【0019】

ある実施形態において、前記第１制御部は、前記第１ユーザが特定のユーザであるか否かを判定する。前記第１制御部は、前記第１ユーザが前記特定のユーザであると判定した場合、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続することを拒否する。

【0020】

ある実施形態において、前記第１制御部は、前記第１操作装置に前記第２ユーザがログインした後、前記第１表示部及び前記第２表示部が表示する画面に、前記第２操作装置が前記第１操作装置にリモート接続していることを示す画像を表示させる。

【発明の効果】

【0021】

本発明に係るログイン画面切替方法、及び基板処理システムによれば、基板処理装置の近傍で作業をしている作業者の安全をより確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】本発明の実施形態に係る基板処理システムを示す図である。

【図2】本発明の実施形態に係る基板処理システムに含まれる基板処理装置の一例を示す模式的な平面図である。

【図3】基板処理装置に含まれる基板処理部の一例を示す模式図である。

【図4】本発明の実施形態に係る基板処理システムに含まれる第１操作装置の構成を示すブロック図である。

【図5】本発明の実施形態に係る基板処理システムに含まれる第２操作装置の構成を示すブロック図である。

【図6】（ａ）は、第１ログイン画面を示す図である。（ｂ）は、第２ログイン画面を示す図である。

【図7】（ａ）は、第１操作画面を示す図である。（ｂ）は、第２操作画面を示す図である。

【図8】本発明の実施形態に係るログイン画面切替方法を示す図である。

【図9】本発明の実施形態に係るログイン画面切替方法を示す図である。

【図10】第１切替処理の流れを示すフロチャートである。

【図11】第１切替処理の流れを示すフロチャートである。

【図12】第１切替処理の流れを示すフロチャートである。

【図13】（ａ）は、第３ログイン画面を示す図である。（ｂ）は、第４ログイン画面を示す図である。（ｃ）は、第５ログイン画面を示す図である。

【図14】第２切替処理の流れを示すフロチャートである。

【図15】第２切替処理の流れを示すフロチャートである。

【図16】第２切替処理の流れを示すフロチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下、図面（図１～図１６）を参照して本発明のログイン画面切替方法、及び基板処理システムに係る実施形態を説明する。但し、本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の態様において実施することが可能である。なお、説明が重複する箇所については、適宜説明を省略する場合がある。また、図中、同一又は相当部分については同一の参照符号を付して説明を繰り返さない。

【0024】

本発明に係るログイン画面切替方法、及び基板処理システムにおいて基板処理の対象となる「基板」には、半導体ウエハ、フォトマスク用ガラス基板、液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示用ガラス基板、ＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、及び光磁気ディスク用基板などの各種の基板を適用可能である。以下では主として、円盤状の半導体ウエハを基板処理の対象とする場合を例に本発明の実施形態を説明するが、本発明に係るログイン画面切替方法、及び基板処理システムは、上記した半導体ウエハ以外の各種の基板に対しても同様に適用可能である。また、基板の形状についても、円盤状に限定されず、本発明に係るログイン画面切替方法、及び基板処理システムは、各種の形状の基板に対して適用可能である。

【0025】

まず、図１を参照して、本実施形態の基板処理システム１０００を説明する。図１は、本実施形態の基板処理システム１０００を示す図である。図１に示すように、基板処理システム１０００は、基板処理装置１００と、第１操作装置２００と、第２操作装置３００とを備える。

【0026】

基板処理装置１００は、基板Ｗを処理する。本実施形態において、基板処理装置１００は、処理液を用いて基板Ｗを処理する。第１操作装置２００は、基板処理装置１００の近傍に配置される。ここで、近傍とは、第１操作装置２００を操作する操作者（ユーザ）が基板処理装置１００を視認可能な位置を示す。例えば、第１操作装置２００は、基板処理装置１００と一体化されていてもよい。以下、第１操作装置２００を、「ローカル端末」と記載する場合がある。

【0027】

第１操作装置２００は、基板処理装置１００を制御する。具体的には、第１操作装置２００にログインしたユーザが、第１操作装置２００に指示を入力すると、その指示に従って第１操作装置２００が基板処理装置１００を動作させる。

【0028】

第１操作装置２００にログインしたユーザは、更に、第１操作装置２００を操作して、基板処理装置１００の各種レシピの編集、基板処理装置１００の各種パラメータの編集、基板処理装置１００の各種条件の編集、及び、基板処理装置１００の状態の確認等を行うことができる。なお、各種レシピは、例えば、基板Ｗの処理内容を示す。各種パラメータは、例えば、チャンバ１ａ（図３参照）から排出される気体の圧力（排気圧）の設定値を含む。条件は、例えば、アラート条件を含む。基板処理装置１００の状態は、例えば、チャンバ１ａ内の様子を含む。チャンバ１ａ内の様子は、撮像装置によって撮像されたチャンバ１ａの内部の映像を表示させることで確認することができる。

【0029】

第２操作装置３００は、基板処理装置１００から離れた位置に配置される。ここで、離れた位置とは、第２操作装置３００を操作する操作者（ユーザ）が基板処理装置１００を視認できない位置を示す。例えば、第２操作装置３００は、操作者（ユーザ）の自宅に配置されてもよい。第２操作装置３００は、例えば、パーソナルコンピュータであってもよい。

【0030】

第２操作装置３００は、第１操作装置２００にリモート接続可能である。具体的には、第２操作装置３００は、通信ネットワークを介して第１操作装置２００にリモート接続する。通信ネットワークは、例えば、インターネット回線等の公衆回線網を含んでもよいし、専用の通信回線を含んでもよい。本実施形態では、第２操作装置３００は、サーバＳＥを介して第１操作装置２００にリモート接続する。サーバＳＥは、例えば、クラウドサーバであってもよい。

【0031】

第２操作装置３００を操作する操作者（ユーザ）は、第２操作装置３００を第１操作装置２００にリモート接続させて、第１操作装置２００にログインすることができる。以下、第１操作装置２００を操作して第１操作装置２００にログインするユーザを、「第１ユーザ」と記載する場合がある。また、第２操作装置３００を操作して第１操作装置２００にログインするユーザを、「第２ユーザ」と記載する場合がある。また、第１ユーザと第２ユーザとを区別して説明する必要のないときは、第１ユーザ及び第２ユーザを「ユーザ」と記載することがある。

【0032】

第２ユーザは、第１操作装置２００にログイン後、第２操作装置３００を操作して、第１操作装置２００に指示を入力することができる。第１操作装置２００は、その指示に従って基板処理装置１００を動作させる。また、第２ユーザは、第２操作装置３００を操作して、基板処理装置１００の各種レシピの編集等を第１操作装置２００に実行させることができる。なお、第２ユーザが指示を入力できる操作項目は、第１ユーザが指示を入力できる操作項目の一部に限定されていてもよい。つまり、第２ユーザの権限は制限されていてもよい。以下、第２操作装置３００を、「リモート端末」と記載する場合がある。

【0033】

続いて、図２を参照して、基板処理装置１００を説明する。図２は、本実施形態の基板処理システム１０００に含まれる基板処理装置１００の一例を示す模式的な平面図である。図２に示すように、基板処理装置１００は、インデクサー部Ｕ１と、処理部Ｕ２と、複数の処理液キャビネットＵ３とを備えてもよい。この場合、第１操作装置２００は、インデクサー部Ｕ１、処理部Ｕ２、及び、複数の処理液キャビネットＵ３を制御する。本実施形態において、基板処理装置１００は、洗浄装置又はウェットエッチング装置である。

【0034】

インデクサー部Ｕ１は、複数のロードポートＬＰと、インデクサーロボットＩＲと、第１搬送室ＣＨ１とを含む。インデクサーロボットＩＲは、第１搬送室ＣＨ１に配置される。処理部Ｕ２は、センターロボットＣＲと、複数の基板処理部１と、受渡室ＣＨＡと、第２搬送室ＣＨ２とを含む。センターロボットＣＲは、第２搬送室ＣＨ２に配置される。インデクサー部Ｕ１と処理部Ｕ２とは、受渡室ＣＨＡによって連絡される。受渡室ＣＨＡは、受渡部２を含む。

【0035】

ロードポートＬＰの各々は、複数枚の基板Ｗを積層して収容する。インデクサーロボットＩＲは、ロードポートＬＰとセンターロボットＣＲとの間で基板Ｗを搬送する。具体的には、インデクサーロボットＩＲは、複数のロードポートＬＰのうちのいずれかのロードポートＬＰから基板Ｗを取り出して、基板Ｗを受渡部２に渡す。受渡部２には、ロードポートＬＰから取り出された基板Ｗが載置される。

【0036】

センターロボットＣＲは、インデクサーロボットＩＲと基板処理部１との間で基板Ｗを搬送する。具体的には、センターロボットＣＲは、受渡部２から基板Ｗを受け取って、複数の基板処理部１のうちのいずれかの基板処理部１に基板Ｗを搬入する。

【0037】

基板処理部１は、基板Ｗを処理する。基板処理部１は、基板Ｗを１枚ずつ処理する枚葉型である。複数の処理液キャビネットＵ３の各々から、各基板処理部１に処理液が供給される。本実施形態において、基板処理部１は、処理液によって基板Ｗを処理する。処理液は、基板Ｗに接触する液体である限り、特に限定されない。本実施形態において、処理液は、薬液と、リンス液とを含む。

【0038】

薬液は、例えば、希フッ酸（ＤＨＦ）、フッ酸（ＨＦ）、フッ硝酸（フッ酸と硝酸（ＨＮＯ₃）との混合液）、バファードフッ酸（ＢＨＦ）、フッ化アンモニウム、ＨＦＥＧ（フッ酸とエチレングリコールとの混合液）、燐酸（Ｈ₃ＰＯ₄）、硫酸、酢酸、硝酸、塩酸、アンモニア水、過酸化水素水、有機酸（例えば、クエン酸、シュウ酸）、有機アルカリ（例えば、ＴＭＡＨ：テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド）、硫酸過酸化水素水混合液（ＳＰＭ）、アンモニア過酸化水素水混合液（ＳＣ１）、塩酸過酸化水素水混合液（ＳＣ２）、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）、界面活性剤、又は、腐食防止剤である。

【0039】

リンス液は、例えば、脱イオン水、炭酸水、電解イオン水、水素水、オゾン水、又は、希釈濃度（例えば、１０ｐｐｍ～１００ｐｐｍ程度）の塩酸水である。

【0040】

センターロボットＣＲは、基板処理部１による基板Ｗの処理後に、処理済みの基板Ｗを基板処理部１から取り出して、基板Ｗを受渡部２に渡す。受渡部２には、基板処理部１で処理された基板Ｗが載置される。

【0041】

インデクサーロボットＩＲは、受渡部２から処理済みの基板Ｗを受け取って、複数のロードポートＬＰのうちのいずれかのロードポートＬＰに基板Ｗを収容する。

【0042】

複数の基板処理部１は、平面視においてセンターロボットＣＲを取り囲むように配置された複数のタワーＴＷ（本実施形態では４つのタワーＴＷ）を形成する。各タワーＴＷは、上下に積層された複数の基板処理部１（例えば、３つの基板処理部１）を含む。

【0043】

続いて、図３を参照して、基板処理部１を説明する。図３は、基板処理装置１００に含まれる基板処理部１の一例を示す模式図である。図３に示すように、基板処理部１は、チャンバ１ａと、スピンチャック３と、スピンモータ４と、第１ノズル５と、ノズル移動部６と、第２ノズル８と、ガード１１とを備えてもよい。また、基板処理装置１００は、薬液供給部７と、リンス液供給部９とを更に備えてもよい。この場合、第１操作装置２００は、スピンチャック３、スピンモータ４、ノズル移動部６、薬液供給部７、リンス液供給部９、及びガード１１を制御する。

【0044】

チャンバ１ａは略箱形状を有する。チャンバ１ａは、基板Ｗ、スピンチャック３、スピンモータ４、第１ノズル５、ノズル移動部６の一部、薬液供給部７の一部、第２ノズル８、リンス液供給部９の一部、及びガード１１を収容する。

【0045】

スピンチャック３は、基板Ｗを保持して回転する。具体的には、スピンチャック３は、チャンバ１ａ内で基板Ｗを水平に保持しながら、回転軸線ＡＸの回りに基板Ｗを回転させる。

【0046】

具体的には、スピンチャック３は、スピンベース３１と、複数のチャック部材３２とを備える。複数のチャック部材３２はスピンベース３１に設けられる。複数のチャック部材３２は基板Ｗを水平な姿勢で保持する。スピンベース３１は、略円板状であり、水平な姿勢で複数のチャック部材３２を支持する。

【0047】

スピンモータ４は、スピンベース３１を回転軸線ＡＸの回りに回転させる。したがって、スピンベース３１は回転軸線ＡＸの回りに回転する。その結果、スピンベース３１に設けられた複数のチャック部材３２に保持された基板Ｗが回転軸線ＡＸの回りに回転する。具体的には、スピンモータ４は、モータ本体４１と、シャフト４２とを備える。シャフト４２はスピンベース３１に結合される。モータ本体４１は、シャフト４２を回転させることで、スピンベース３１を回転させる。

【0048】

第１ノズル５は、基板Ｗの回転中に基板Ｗに向けて薬液を吐出する。薬液供給部７は、第１ノズル５に薬液を供給する。具体的には、薬液供給部７は、薬液供給配管７１と、バルブ７２とを備える。薬液供給配管７１は、第１ノズル５まで薬液を流通させる。バルブ７２は、薬液供給配管７１を開閉し、第１ノズル５に対する薬液の供給と供給停止とを切り替える。

【0049】

ノズル移動部６は、略鉛直方向及び略水平方向に第１ノズル５を移動させる。具体的には、ノズル移動部６は、アーム６１と、回動軸６２と、ノズル移動機構６３とを備える。

【0050】

アーム６１は略水平方向に沿って延びる。アーム６１の先端部に第１ノズル５が配置される。アーム６１は回動軸６２に結合される。回動軸６２は、略鉛直方向に沿って延びる。

【0051】

ノズル移動機構６３は、回動軸６２を略鉛直方向に沿った回動軸線ＡＸＳの回りに回動させて、アーム６１を略水平面に沿って回動させる。その結果、第１ノズル５が略水平面に沿って移動する。また、ノズル移動機構６３は、回動軸６２を略鉛直方向に沿って昇降させて、アーム６１を昇降させる。その結果、第１ノズル５が略鉛直方向に沿って移動する。ノズル移動機構６３は、例えば、ボールねじ機構と、ボールねじ機構に駆動力を与える電動モータとを備えてもよい。

【0052】

第２ノズル８は、基板Ｗの回転中に基板Ｗに向けてリンス液を吐出する。第２ノズル８は、固定ノズルである。リンス液供給部９は、第２ノズル８にリンス液を供給する。具体的には、リンス液供給部９は、リンス液供給配管９１と、バルブ９２とを備える。リンス液供給配管９１は、第２ノズル８までリンス液を流通させる。バルブ９２は、リンス液供給配管９１を開閉し、第２ノズル８に対するリンス液の供給と供給停止とを切り替える。

【0053】

ガード１１は略筒形状を有する。ガード１１は、基板Ｗから排出された処理流体を受け止める。ガード１１は、上昇又は下降することが可能である。

【0054】

続いて、図４を参照して、第１操作装置２００を説明する。図４は、本実施形態の基板処理システム１０００に含まれる第１操作装置２００の構成を示すブロック図である。図４に示すように、第１操作装置２００は、第１通信部２０１と、第１入力部２０２と、第１表示部２０３と、第１記憶部２０４と、第１制御部２０５とを備える。

【0055】

第１通信部２０１は、第２操作装置３００と通信可能に接続する。換言すると、第１通信部２０１は、第２操作装置３００との間で通信を行う。本実施形態において、第１通信部２０１は、サーバＳＥを介して第２操作装置３００と通信可能に接続する。具体的には、第１通信部２０１は、ＬＡＮボードのような通信インターフェイス回路を含む。通信インターフェイス回路は、サーバＳＥを介して第２操作装置３００との間で通信を実行する。

【0056】

第１入力部２０２は、第１ユーザが操作するユーザーインターフェース装置である。第１入力部２０２は、第１ユーザの操作に応じた指示（制御信号）を第１制御部２０５に入力する。また、第１入力部２０２は、第１ユーザの操作に応じたデータを第１制御部２０５に入力する。例えば、第１ユーザは、第１入力部２０２を操作して、第１操作装置２００にログインする。具体的には、第１ユーザは、第１入力部２０２を操作してログイン情報を第１制御部２０５に入力する。この結果、第１操作装置２００に第１ユーザがログインされる。ここで、ログイン情報は、ユーザが第１操作装置２００にログインするために必要な情報である。

【0057】

第１入力部２０２は、例えば、キーボード及びマウスを含む。なお、第１入力部２０２は、タッチセンサーを含んでもよい。タッチセンサーは、第１表示部２０３の表示面に重畳されて、第１ユーザの表示面に対するタッチ操作を示す信号を生成する。第１ユーザは、タッチ操作により、第１操作装置２００に対して各種の指示及びデータを入力することができる。

【0058】

第１表示部２０３は、各種の画面を表示する。例えば、第１表示部２０３は、第１操作装置２００に第１ユーザがログインするためのログイン画面（例えば、図６（ａ）を参照して説明する第１ログイン画面ＬＧ１）を表示する。第１表示部２０３は、例えば、液晶表示装置又は有機ＥＬ（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置のような表示装置を含む。

【0059】

第１記憶部２０４は、記憶装置を含み、データ及びコンピュータプログラムを記憶する。例えば、第１記憶部２０４は、各種のレシピや、予め登録されたログイン情報を記憶する。第１記憶部２０４は、記憶装置として、半導体メモリのような主記憶装置を含む。第１記憶部２０４は、記憶装置として、補助記憶装置を更に含んでもよい。補助記憶装置は、例えば、半導体メモリ、ソリッドステートドライブ、及び／又は、ハードディスクドライブを含み得る。第１記憶部２０４は、記憶装置として、リムーバブルメディアを更に含んでもよい。

【0060】

第１制御部２０５は、基板処理装置１００、第１通信部２０１、第１表示部２０３、及び、第１記憶部２０４を制御する。第１入力部２０２がタッチセンサーを含む場合、第１制御部２０５は、タッチセンサーを更に制御する。

【0061】

具体的には、第１制御部２０５は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）のようなプロセッサを含む。プロセッサは、第１記憶部２０４に記憶されたデータ及びコンピュータプログラムに基づいて各種の処理を実行する。

【0062】

例えば、第１制御部２０５は、第１ユーザにより第１入力部２０２が操作されてログイン情報が入力されると、第１記憶部２０４に記憶されているログイン情報のうちのいずれかのログイン情報と一致するか否かを判定する。そして、一致する場合に、第１ユーザのログインを許可する。この結果、第１ユーザは、第１操作装置２００（第１制御部２０５）に各種の指示及びデータを入力できるようになる。例えば、第１ユーザは、基板処理装置１００による基板処理の実行を指示することができる。第１制御部２０５は、第１ユーザが入力した指示に基づいて基板処理装置１００を制御する。

【0063】

続いて、図４及び図５を参照して、第２操作装置３００を説明する。図５は、本実施形態の基板処理システム１０００に含まれる第２操作装置３００の構成を示すブロック図である。図５に示すように、第２操作装置３００は、第２通信部３０１と、第２入力部３０２と、第２表示部３０３と、第２記憶部３０４と、第２制御部３０５とを備える。

【0064】

第２通信部３０１は、第１操作装置２００と通信可能に接続する。換言すると、第２通信部３０１は、第１操作装置２００との間で通信を行う。本実施形態において、第２通信部３０１は、サーバＳＥを介して第１操作装置２００と通信可能に接続する。具体的には、第２通信部３０１は、第１通信部２０１（図４）と通信可能に接続する。第２通信部３０１は、ＬＡＮボードのような通信インターフェイス回路を含む。

【0065】

第２入力部３０２は、第２ユーザが操作するユーザーインターフェース装置である。第２入力部３０２は、例えば、キーボード及びマウスを含む。なお、第２入力部３０２は、タッチセンサーを含んでもよい。タッチセンサーは、第２表示部３０３の表示面に重畳されて、第２ユーザの表示面に対するタッチ操作を示す信号を生成する。

【0066】

第２入力部３０２は、第２ユーザの操作に応じた指示（制御信号）を第２制御部３０５に入力する。また、第２入力部３０２は、第２ユーザの操作に応じたデータを第２制御部３０５に入力する。例えば、第２ユーザは、第２入力部３０２を操作して、第２操作装置３００を第１操作装置２００にリモート接続させることができる。

【0067】

第２表示部３０３は、例えば、液晶表示装置又は有機ＥＬ表示装置のような表示装置を含む。第２表示部３０３は、各種の画面を表示する。例えば、第２表示部３０３は、第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続している際に、第２操作装置３００を介して第１操作装置２００に第２ユーザがログインするためのログイン画面（例えば、図６（ａ）を参照して説明する第１ログイン画面ＬＧ１）を表示する。

【0068】

具体的には、第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続中に、第１制御部２０５（図４）は、第１表示部２０３（図４）に表示させる画面を示す画像情報を第２操作装置３００に送信する。この結果、第２制御部３０５が、第１表示部２０３に表示中の画面と同じ画面を第２表示部３０３に表示させる。つまり、第１操作装置２００（第１表示部２０３）と第２操作装置３００（第２表示部３０３）との間で画面が共有される。但し、画面を操作する権限は、ログインしたユーザに与えられる。

【0069】

第２記憶部３０４は、記憶装置を含み、データ及びコンピュータプログラムを記憶する。例えば、第２記憶部３０４は、第１操作装置２００とリモート接続するためのアプリケーションプログラムを記憶する。第２記憶部３０４は、記憶装置として、半導体メモリのような主記憶装置を含む。第２記憶部３０４は、記憶装置として、補助記憶装置を更に含んでもよい。第２記憶部３０４は、記憶装置として、リムーバブルメディアを更に含んでもよい。

【0070】

第２制御部３０５は、第２通信部３０１、第２表示部３０３、及び、第２記憶部３０４を制御する。第２入力部３０２がタッチセンサーを含む場合、第２制御部３０５は、タッチセンサーを更に制御する。

【0071】

具体的には、第２制御部３０５は、ＣＰＵのようなプロセッサを含む。プロセッサは、第２記憶部３０４に記憶されたデータ及びコンピュータプログラムに基づいて各種の処理を実行する。

【0072】

例えば、第２制御部３０５は、第２通信部３０１を制御して、第２操作装置３００を第１操作装置２００にリモート接続させる。また、第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続して、第２表示部３０３がログイン画面（例えば、図６（ａ）を参照して説明する第１ログイン画面ＬＧ１）を表示している際に、第２ユーザが第２入力部３０２を操作してログイン情報を入力すると、第２制御部３０５は、第２通信部３０１を介して、第１操作装置２００へログイン情報を送信する。この結果、第１通信部２０１（図４）により受信されたログイン情報が第１制御部２０５（図４）に入力される。

【0073】

第１制御部２０５は、第１通信部２０１により受信されたログイン情報が、第１記憶部２０４に記憶されているログイン情報のうちのいずれかのログイン情報と一致するか否かを判定する。そして、一致する場合に、第２ユーザのログインを許可する。この結果、第２ユーザは、第２入力部３０２を操作して、第１操作装置２００（第１制御部２０５）に各種の指示及びデータを入力できるようになる。但し、既に説明したように、第２ユーザが指示を入力できる操作項目は、第１ユーザが指示を入力できる操作項目の一部に限定されていてもよい。

【0074】

続いて、図４、図５、図６（ａ）及び図６（ｂ）を参照して、第１ログイン画面ＬＧ１及び第２ログイン画面ＬＧ２を説明する。図６（ａ）は、第１ログイン画面ＬＧ１を示す図である。図６（ｂ）は、第２ログイン画面ＬＧ２を示す図である。

【0075】

図６（ａ）に示すように、第１ログイン画面ＬＧ１は、ユーザ名入力欄Ｒ１と、パスワード入力欄Ｒ２と、ログインボタンＢ１と、キャンセルボタンＢ２とを含む。換言すると、第１ログイン画面ＬＧ１は、ユーザ名入力欄Ｒ１と、パスワード入力欄Ｒ２と、ログインボタンＢ１と、キャンセルボタンＢ２とを表示する。第１ログイン画面ＬＧ１は、例えば、第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続している際に、第１表示部２０３及び第２表示部３０３に表示される。

【0076】

本実施形態において、ログイン情報は、ユーザ名と、パスワードとを含む。ユーザ名入力欄Ｒ１はユーザ名を入力するための入力欄であり、パスワード入力欄Ｒ２はパスワードを入力するための入力欄である。第１ユーザは、第１入力部２０２を操作して、ユーザ名入力欄Ｒ１にユーザ名を入力することができる。また、第１ユーザは、第１入力部２０２を操作して、パスワード入力欄Ｒ２に、ユーザ名に対応するパスワードを入力することができる。同様に、第２ユーザは、第２入力部３０２を操作して、ユーザ名入力欄Ｒ１にユーザ名を入力することができる。また、第２ユーザは、第２入力部３０２を操作して、パスワード入力欄Ｒ２に、ユーザ名に対応するパスワードを入力することができる。

【0077】

ログインボタンＢ１は、ログインを実行するためのボタン画像である。第１ユーザは、第１入力部２０２を操作して、ログインボタンＢ１を押下する指示を入力することができる。同様に、第２ユーザは、第２入力部３０２を操作して、ログインボタンＢ１を押下する指示を入力することができる。

【0078】

例えば、第１ユーザが、ユーザ名入力欄Ｒ１及びパスワード入力欄Ｒ２にログイン情報を入力後、ログインボタンＢ１を押下することにより、第１操作装置２００に第１ユーザがログインする。詳しくは、ログインボタンＢ１が押下されると、第１制御部２０５が、ユーザ名入力欄Ｒ１及びパスワード入力欄Ｒ２に入力されたログイン情報と、第１記憶部２０４に予め記憶されているログイン情報とを照合する。第１制御部２０５は、ユーザ名入力欄Ｒ１及びパスワード入力欄Ｒ２に入力されたログイン情報と一致するログイン情報が第１記憶部２０４に記憶されている場合に、第１ユーザをログインさせる。

【0079】

キャンセルボタンＢ２は、ログインをキャンセルするためのボタン画像である。第１ユーザは、第１入力部２０２を操作して、キャンセルボタンＢ２を押下する指示を入力することができる。同様に、第２ユーザは、第２入力部３０２を操作して、キャンセルボタンＢ２を押下する指示を入力することができる。ユーザ名入力欄Ｒ１及びパスワード入力欄Ｒ２にログイン情報が入力された後、キャンセルボタンＢ２が押下されると、第１制御部２０５は、入力されたログイン情報を消去する。

【0080】

続いて、図６（ｂ）を参照して、第２ログイン画面ＬＧ２を説明する。図６（ｂ）に示すように、第２ログイン画面ＬＧ２は、ユーザ名入力欄Ｒ１と、パスワード入力欄Ｒ２と、ログインボタンＢ１と、キャンセルボタンＢ２と、第１通知画像Ｎ１とを含む。換言すると、第２ログイン画面ＬＧ２は、ユーザ名入力欄Ｒ１と、パスワード入力欄Ｒ２と、ログインボタンＢ１と、キャンセルボタンＢ２と、第１通知画像Ｎ１とを表示する。図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、第２ログイン画面ＬＧ２は、第１通知画像Ｎ１を含む点で、第１ログイン画面ＬＧ１と異なる。

【0081】

第２ログイン画面ＬＧ２は、第１ユーザが第１操作装置２００から強制的にログオフされた後に第１表示部２０３及び第２表示部３０３に表示される。強制的なログオフは、第１ユーザがログイン中に第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続した場合に実行される。第１通知画像Ｎ１は、第１ユーザを強制的にログアウトさせたことを通知する画像を含む。

【0082】

本実施形態によれば、第１ユーザが第１操作装置２００にログイン中に第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続した場合、第１ログイン画面ＬＧ１と異なるログイン画面（第２ログイン画面ＬＧ２）が第２表示部３０３に表示される。したがって、第２操作装置３００（リモート端末）を操作するユーザ（第２ユーザ）は、第２ログイン画面ＬＧ２を視認することにより、第１操作装置２００（ローカル端末）の近傍に作業者が存在することを認識できる。その結果、第２ユーザは、基板処理装置１００の近傍に作業者が存在していることに注意して、基板処理装置１００を動作させることができる。よって、基板処理装置１００の近傍で作業をしている作業者の安全をより確保することができる。

【0083】

また、本実施形態によれば、第１ユーザが第１操作装置２００にログイン中に第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続した場合、第１ログイン画面ＬＧ１と異なるログイン画面（第２ログイン画面ＬＧ２）が第１表示部２０３に表示される。したがって、第１操作装置２００（ローカル端末）を操作していたユーザ（第１ユーザ）は、第２ログイン画面ＬＧ２を視認することにより、第２操作装置３００（リモート端末）が第１操作装置２００（ローカル端末）にリモート接続したことを認識できる。その結果、基板処理装置１００の近傍で作業をしている作業者は、基板処理装置１００を視認できないユーザ（第２ユーザ）が基板処理装置１００を動作させる可能性があることに注意することができる。よって、基板処理装置１００の近傍で作業をしている作業者の安全をより確保することができる。

【0084】

更に、本実施形態では、第２ログイン画面ＬＧ２は、第１通知画像Ｎ１を表示する。したがって、第２ユーザは、第１操作装置２００（ローカル端末）の近傍に作業者が存在することを、より明確に認識できる。また、基板処理装置１００の近傍で作業をしている作業者は、基板処理装置１００を視認できないユーザ（第２ユーザ）が基板処理装置１００を動作させる可能性があることを、より明確に認識できる。したがって、基板処理装置１００の近傍で作業をしている作業者の安全をより確保することができる。

【0085】

続いて、図４、図５、図７（ａ）、及び、図７（ｂ）を参照して、第１操作画面ＳＧ１及び第２操作画面ＳＧ２を説明する。図７（ａ）は、第１操作画面ＳＧ１を示す図である。図７（ｂ）は、第２操作画面ＳＧ２を示す図である。

【0086】

図７（ａ）に示す第１操作画面ＳＧ１は、第１操作装置２００に第１ユーザがログインした後に第１表示部２０３及び第２表示部３０３に表示される画面の一例である。

【0087】

図７（ａ）に示す第１操作画面ＳＧ１は、ログアウトボタンＢ３と、複数の操作対象項目欄ＴＫと、複数の実行ボタンＢＲとを含む。換言すると、図７（ａ）に示す第１操作画面ＳＧ１は、ログアウトボタンＢ３と、複数の操作対象項目欄ＴＫと、複数の実行ボタンＢＲとを表示する。

【0088】

ログアウトボタンＢ３は、ログアウトを実行するためのボタン画像である。第１ユーザは、第１入力部２０２を操作して、ログアウトボタンＢ３を押下する指示を入力することができる。同様に、第２ユーザは、第２入力部３０２を操作して、ログアウトボタンＢ３を押下する指示を入力することができる。ログアウトボタンＢ３が押下されると、第１制御部２０５は、ログアウトを実行する。

【0089】

複数の操作対象項目欄ＴＫはそれぞれ操作対象を示す。操作対象は、例えば、基板処理開始、シャットダウン、レシピ編集、ログ確認、及びアラーム状況確認を含む。実行ボタンＢＲは、操作対象項目欄ＴＫごとに設けられている。第１ユーザは、第１入力部２０２を操作して、実行ボタンＢＲを押下する指示を入力することができる。同様に、第２ユーザは、第２入力部３０２を操作して、実行ボタンＢＲを押下する指示を入力することができる。実行ボタンＢＲが押下されると、第１制御部２０５は、押下された実行ボタンＢＲに対応する処理を実行する。

【0090】

例えば、基板処理開始に対応する実行ボタンＢＲが押下されると、第１制御部２０５は、基板処理装置１００に基板処理を実行させる。シャットダウンに対応する実行ボタンＢＲが押下されると、第１制御部２０５は、基板処理装置１００の電源をシャットダウンする。レシピ編集に対応する実行ボタンＢＲが押下されると、第１制御部２０５は、第１表示部２０３及び第２表示部３０３にレシピ編集画面を表示させる。ログ確認に対応する実行ボタンＢＲが押下されると、第１制御部２０５は、ログの一覧画面を第１表示部２０３及び第２表示部３０３に表示させる。アラーム状況確認に対応する実行ボタンＢＲが押下されると、第１制御部２０５は、アラーム状況の一覧画面を第１表示部２０３及び第２表示部３０３に表示させる。

【0091】

続いて、図７（ｂ）を参照して、第２操作画面ＳＧ２を説明する。図７（ｂ）に示す第２操作画面ＳＧ２は、第２通知画像Ｎ２と、ログアウトボタンＢ３と、複数の操作対象項目欄ＴＫと、複数の実行ボタンＢＲとを含む。換言すると、図７（ｂ）に示す第２操作画面ＳＧ２は、第２通知画像Ｎ２と、ログアウトボタンＢ３と、複数の操作対象項目欄ＴＫと、複数の実行ボタンＢＲとを表示する。

【0092】

図７（ｂ）に示す第２操作画面ＳＧ２は、第１操作装置２００に第２ユーザがログインした後に第１表示部２０３及び第２表示部３０３に表示される画面の一例である。図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、第２操作画面ＳＧ２は、第２通知画像Ｎ２を含む点で、第１操作画面ＳＧ１と異なる。第２通知画像Ｎ２は、第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続していることを示す画像を含む。

【0093】

本実施形態によれば、第１表示部２０３を視認した作業者は、第２通知画像Ｎ２により、第２操作装置３００（リモート端末）が第１操作装置２００（ローカル端末）にリモート接続していることを確認することができる。したがって、基板処理装置１００の近傍で作業をしている作業者の安全をより確保することができる。

【0094】

続いて、図１～図１６を参照して、本実施形態のログイン切替方法及び基板処理システム１０００を説明する。図８及び図９は、本実施形態のログイン画面切替方法を示す図である。詳しくは、図８及び図９は、第１制御部２０５が実行するログイン画面表示処理の流れを示すフロチャートである。図８及び図９に示すように、本実施形態のログイン画面切替方法（ログイン画面表示処理）は、ステップＳ１～ステップＳ１０、ステップＳ２００、及びステップＳ３００を含む。ログイン画面表示処理は、例えば、第１操作装置２００が起動することによって開始する。

【0095】

図８に示すように、第１制御部２０５は、まず、リモート接続が許可されているか否かを判定する（ステップＳ１）。具体的には、第１記憶部２０４に、リモート接続が許可されているか否かを示す情報が予め記憶されており、第１制御部２０５は、その情報を第１記憶部２０４から読み出して、リモート接続が許可されているか否かを判定する。リモート接続が許可されているか否かを示す情報は、例えば、フラグである。

【0096】

リモート接続が許可されていないと判定した場合（ステップＳ１のＮｏ）、第１制御部２０５は、第１設定時間ＳＴ１を設定する（ステップＳ２）。第１設定時間ＳＴ１は、第１操作装置２００の待機状態に対して設定される。ここで、第１操作装置２００の待機状態は、第１ユーザが第１操作装置２００にログインした後に第１操作装置２００が操作されていない状態と、第２ユーザが第２操作装置３００を介して第１操作装置２００にログインした後に、第２操作装置３００を介して第１操作装置２００が操作されていない状態とを含む。第１設定時間ＳＴ１は、例えば、１０分である。第１設定時間ＳＴ１は、第１記憶部２０４に予め記憶されている。第１設定時間ＳＴ１は、任意の値に変更可能であってもよい。

【0097】

第１設定時間ＳＴ１の設定後、第１制御部２０５は、図６（ａ）を参照して説明した第１ログイン画面ＬＧ１を第１表示部２０３に表示させる（ステップＳ３）。

【0098】

第１ログイン画面ＬＧ１を表示させた後、第１制御部２０５は、ログイン情報が入力されたか否かを判定する（ステップＳ４）。詳しくは、第１制御部２０５は、第１ログイン画面ＬＧ１のログインボタンＢ１が押下されたか否かを判定する。図４及び図６（ａ）を参照して説明したように、第１ユーザは、第１入力部２０２を操作して、第１ログイン画面ＬＧ１にログイン情報（ユーザ名及びパスワード）を入力することができる。

【0099】

ログイン情報が入力されると（ステップＳ４のＹｅｓ）、第１制御部２０５は、入力されたログイン情報と、第１記憶部２０４に予め記憶されているログイン情報とを照合する。第１制御部２０５は、入力されたログイン情報と一致するログイン情報が第１記憶部２０４に記憶されている場合に、第１ユーザをログインさせる（ステップＳ５）。ここでは、第１操作装置２００（ローカル端末）を操作しているユーザがログインする。

【0100】

第１ユーザのログイン後、第１制御部２０５は、第１表示部２０３に表示させる画面を、第１ログイン画面ＬＧ１から他の画面に切り替える。例えば、第１制御部２０５は、第１ユーザのログイン後、図７（ａ）を参照して説明した第１操作画面ＳＧ１を第１表示部２０３に表示させる。ユーザのログイン後に表示される画面には、図７（ａ）に示す第１操作画面ＳＧ１と同様に、ログアウトボタンＢ３が含まれる。

【0101】

第１制御部２０５は、第１表示部２０３に表示させる画面を、第１ログイン画面ＬＧ１から他の画面に切り替えた後、第１ユーザがログアウトボタンＢ３を押下する操作を実行したか否かを判定する（ステップＳ６）。以下、ログアウトボタンＢ３を押下する操作を、「ログアウト操作」と記載する場合がある。

【0102】

ログアウト操作が実行されたと判定された場合（ステップＳ６のＹｅｓ）、処理はステップＳ３に戻り、第１制御部２０５は、第１表示部２０３に第１ログイン画面ＬＧ１を表示させる。

【0103】

ログアウト操作が実行されていないと判定した場合（ステップＳ６のＮｏ）、第１制御部２０５は、第１操作装置２００に第１ユーザがログインしている状態において第１操作装置２００の待機状態が第１設定時間ＳＴ１以上継続しているか否かを判定する（ステップＳ７）。

【0104】

第１操作装置２００の待機状態が第１設定時間ＳＴ１以上継続していないと判定された場合（ステップＳ７のＮｏ）、処理はステップＳ６に戻る。第１操作装置２００の待機状態が第１設定時間ＳＴ１以上継続していると判定した場合（ステップＳ７のＹｅｓ）、第１制御部２０５は、第１ユーザをログアウトさせる（ステップＳ８）。その結果、処理がステップＳ３に戻り、第１制御部２０５は、第１表示部２０３に第１ログイン画面ＬＧ１を表示させる。

【0105】

続いて、リモート接続が許可されている場合について説明する。第１制御部２０５は、リモート接続が許可されていると判定した場合（ステップＳ１のＹｅｓ）、図９に示すように、第２設定時間ＳＴ２を設定する（ステップＳ９）。第２設定時間ＳＴ２は、第１設定時間ＳＴ１と同様に、第１操作装置２００の待機状態に対して設定される。第２設定時間ＳＴ２は、第１設定時間ＳＴ１より短い時間を示す。第２設定時間ＳＴ２は、例えば、５分である。第２設定時間ＳＴ２は、第１記憶部２０４に予め記憶されている。第２設定時間ＳＴ２は、任意の値に変更可能であってもよい。

【0106】

第２設定時間ＳＴ２の設定後、第１制御部２０５は、拒否選択機能が有効か否かを判定する（ステップＳ１０）。ここで、拒否選択機能は、第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続することを拒否するか否かを選択する機能を示す。具体的には、第１記憶部２０４に、拒否選択機能の有効／無効を示す情報が予め記憶されており、第１制御部２０５は、その情報を第１記憶部２０４から読み出して、拒否選択機能が有効か否かを判定する。拒否選択機能の有効／無効を示す情報は、例えば、フラグである。

【0107】

拒否選択機能が無効の場合（ステップＳ１０のＮｏ）、第１制御部２０５は、第１切替処理を実行する（ステップＳ２００）。拒否選択機能が有効の場合（ステップＳ１０のＹｅｓ）、第１制御部２０５は、第２切替処理を実行する（ステップＳ３００）。なお、拒否選択機能が無効の場合、第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続することを拒否できない。したがって、リモート接続は常に許可される。

【0108】

続いて、図１～図７及び図１０～図１２を参照して、第１切替処理（ステップＳ２００）を説明する。図１０～図１２は、第１切替処理の流れを示すフロチャートである。

【0109】

図１０に示すように、第１制御部２０５は、第１切替処理を開始すると、第１表示部２０３に、図６（ａ）を参照して説明した第１ログイン画面ＬＧ１を表示させる（ステップＳ２０１）。

【0110】

第１ログイン画面ＬＧ１を表示させた後、第１制御部２０５は、第１操作装置２００に第２操作装置３００がリモート接続したことを検知したか否かを判定する（ステップＳ２０２）。以下、第１操作装置２００に第２操作装置３００がリモート接続することを、「リモート接続」と記載する場合がある。具体的には、第１制御部２０５は、第１通信部２０１（図４）と第２通信部３０１（図５）とが通信可能に接続することにより、リモート接続を検知する。

【0111】

リモート接続を検知していない場合（ステップＳ２０２のＮｏ）、第１制御部２０５は、ログイン情報が入力されたか否かを判定する（ステップＳ２０３）。

【0112】

ログイン情報が入力されていないと判定した場合（ステップＳ２０３のＮｏ）、処理はステップＳ２０２に戻り、第１制御部２０５は、リモート接続を検知したか否かを判定する。

【0113】

ログイン情報が入力されると（ステップＳ２０３のＹｅｓ）、第１制御部２０５は、入力されたログイン情報と、第１記憶部２０４に予め記憶されているログイン情報とを照合する。第１制御部２０５は、入力されたログイン情報と一致するログイン情報が第１記憶部２０４に記憶されている場合に、第１ユーザをログインさせる（ステップＳ２０４）。ここでは、第１操作装置２００（ローカル端末）を操作しているユーザがログインする。

【0114】

第１ユーザのログイン後、第１制御部２０５は、第１操作装置２００にログインしたユーザ（第１ユーザ）が特定のユーザであるか否かを判定する（ステップＳ２０５）。具体的には、第１記憶部２０４に、特定のユーザを示す情報が予め記憶されており、第１制御部２０５は、その情報を第１記憶部２０４から読み出して、今回入力されたログイン情報と特定のユーザのログイン情報とが一致するか否かを判定する。

【0115】

また、第１制御部２０５は、第１ユーザのログイン後、第１表示部２０３に表示させる画面を、第１ログイン画面ＬＧ１から他の画面に切り替える。例えば、第１制御部２０５は、第１ユーザのログイン後、図７（ａ）を参照して説明した第１操作画面ＳＧ１を第１表示部２０３に表示させる。ユーザのログイン後に表示される画面には、図７（ａ）に示す第１操作画面ＳＧ１と同様に、ログアウトボタンＢ３が含まれる。

【0116】

第１制御部２０５は、第１ユーザが特定のユーザでないと判定した場合（ステップＳ２０５のＮｏ）、図１１に示すように、ログアウト操作が実行されたか否かを判定する（ステップＳ２０６）。

【0117】

ログアウト操作が実行されたと判定された場合（ステップＳ２０６のＹｅｓ）、処理はステップＳ２０１（図１０）に戻り、第１制御部２０５は、第１表示部２０３に第１ログイン画面ＬＧ１を表示させる。

【0118】

図１１に示すように、第１制御部２０５は、ログアウト操作が実行されていないと判定した場合（ステップＳ２０６のＮｏ）、第１操作装置２００に第１ユーザがログインしている状態において第１操作装置２００の待機状態が第２設定時間ＳＴ２以上継続しているか否かを判定する（ステップＳ２０７）。

【0119】

第１操作装置２００の待機状態が第２設定時間ＳＴ２以上継続していないと判定した場合（ステップＳ２０７のＮｏ）、第１制御部２０５は、リモート接続を検知したか否かを判定する（ステップＳ２０８）。

【0120】

第１操作装置２００の待機状態が第２設定時間ＳＴ２以上継続していると判定した場合（ステップＳ２０７のＹｅｓ）、図１０に示すように、第１制御部２０５は、第１ユーザをログアウトさせる（ステップＳ２０９）。その結果、処理がステップＳ２０１に戻り、第１制御部２０５は、第１表示部２０３に第１ログイン画面ＬＧ１を表示させる。

【0121】

図１１に示すように、第１制御部２０５がリモート接続を検知していない場合（ステップＳ２０８のＮｏ）、処理はステップＳ２０６に戻る。その結果、第１制御部２０５は、ログアウト操作が実行されたか否かを判定する。一方、第１制御部２０５は、リモート接続を検知した場合（ステップＳ２０８のＹｅｓ）、第１ユーザを強制的にログアウトさせる（ステップＳ２１０）。

【0122】

図１２に示すように、第１制御部２０５は、第１ユーザを強制的にログアウトさせた後、第１表示部２０３及び第２表示部３０３に、図６（ｂ）を参照して説明した第２ログイン画面ＬＧ２を表示させる（ステップＳ２１１）。

【0123】

第２ログイン画面ＬＧ２を表示させた後、第１制御部２０５は、ログイン情報が入力されたか否かを判定する（ステップＳ２１２）。詳しくは、第１制御部２０５は、第２ログイン画面ＬＧ２のログインボタンＢ１が押下されたか否かを判定する。図５及び図６（ｂ）を参照して説明したように、第２ユーザは、第２入力部３０２を操作して、第２ログイン画面ＬＧ２にログイン情報（ユーザ名及びパスワード）を入力することができる。

【0124】

ログイン情報が入力されると（ステップＳ２１２のＹｅｓ）、第１制御部２０５は、入力されたログイン情報と、第１記憶部２０４に予め記憶されているログイン情報とを照合する。第１制御部２０５は、入力されたログイン情報と一致するログイン情報が第１記憶部２０４に記憶されている場合に、ユーザをログインさせる（ステップＳ２１３）。ここでは、第２操作装置３００（リモート端末）を操作しているユーザ（第２ユーザ）がログインする。

【0125】

第２ユーザのログイン後、第１制御部２０５は、第１表示部２０３及び第２表示部３０３に表示させる画面を、第２ログイン画面ＬＧ２から他の画面に切り替える。例えば、第１制御部２０５は、第２ユーザのログイン後、図７（ｂ）を参照して説明した第２操作画面ＳＧ２を第１表示部２０３及び第２表示部３０３に表示させる。第２ユーザのログイン後に表示される画面には、図７（ｂ）に示す第２操作画面ＳＧ２と同様に、第２通知画像Ｎ２と、ログアウトボタンＢ３とが含まれる。つまり、第１制御部２０５は、第２操作装置３００を介して第１操作装置２００にユーザ（第２ユーザ）がログインした後、第１表示部２０３及び第２表示部３０３に第２通知画像Ｎ２を表示させる（ステップＳ２１４）。

【0126】

第１制御部２０５は、第１表示部２０３及び第２表示部３０３に表示させる画面を、第２ログイン画面ＬＧ２から他の画面に切り替えた後、ログアウト操作が実行されたか否かを判定する（ステップＳ２１５）。

【0127】

ログアウト操作が実行されたと判定された場合（ステップＳ２１５のＹｅｓ）、処理はステップＳ２０１（図１０）に戻り、第１制御部２０５は、第１表示部２０３及び第２表示部３０３に第１ログイン画面ＬＧ１を表示させる。

【0128】

ログアウト操作が実行されていないと判定した場合（ステップＳ２１５のＮｏ）、第１制御部２０５は、第１操作装置２００に第２ユーザがログインしている状態において第１操作装置２００の待機状態が第２設定時間ＳＴ２以上継続しているか否かを判定する（ステップＳ２１６）。

【0129】

第１操作装置２００の待機状態が第２設定時間ＳＴ２以上継続していないと判定された場合（ステップＳ２１６のＮｏ）、処理はステップＳ２１５に戻る。第１操作装置２００の待機状態が第２設定時間ＳＴ２以上継続していると判定した場合（ステップＳ２１６のＹｅｓ）、図１０に示すように、第１制御部２０５は、第２ユーザをログアウトさせる（ステップＳ２０９）。その結果、処理がステップＳ２０１に戻り、第１制御部２０５は、第１表示部２０３及び第２表示部３０３に第１ログイン画面ＬＧ１を表示させる。

【0130】

続いて、図１０及び図１１を参照して、第１ユーザが特定のユーザである場合の処理を説明する。図１０及び図１１に示すように、第１制御部２０５は、第１ユーザが特定のユーザであると判定した場合（ステップＳ２０５のＹｅｓ）、リモート接続を拒否する機能を有効にする（ステップＳ２１７）。

【0131】

第１制御部２０５は、リモート接続を拒否する機能を有効にした後、ステップＳ２０６と同様に、ログアウト操作が実行されたか否かを判定する（ステップＳ２１８）。

【0132】

ログアウト操作が実行されたと判定された場合（ステップＳ２１８のＹｅｓ）、処理はステップＳ２０１（図１０）に戻り、第１制御部２０５は、第１表示部２０３に第１ログイン画面ＬＧ１を表示させる。

【0133】

図１１に示すように、第１制御部２０５は、ログアウト操作が実行されていないと判定した場合（ステップＳ２１８のＮｏ）、ステップＳ２０７と同様に、第１操作装置２００の待機状態が第２設定時間ＳＴ２以上継続しているか否かを判定する（ステップＳ２１９）。

【0134】

第１操作装置２００の待機状態が第２設定時間ＳＴ２以上継続していないと判定された場合（ステップＳ２１９のＮｏ）、処理はステップＳ２１８に戻り、第１制御部２０５は、ログアウト操作が実行されたか否かを判定する。

【0135】

第１操作装置２００の待機状態が第２設定時間ＳＴ２以上継続していると判定した場合（ステップＳ２１９のＹｅｓ）、図１０に示すように、第１制御部２０５は、第１ユーザをログアウトさせる（ステップＳ２０９）。その結果、処理がステップＳ２０１に戻り、第１制御部２０５は、第１表示部２０３に第１ログイン画面ＬＧ１を表示させる。

【0136】

本実施形態によれば、第１ユーザが特定のユーザである場合、第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続できなくなるため、第１表示部２０３と第２表示部３０３との間で画面が共有されることを回避できる。よって、第２操作装置３００（リモート端末）を操作するユーザにより、特定のユーザに対してのみ公開されるべき情報（非公開情報）が覗き見されることを回避できる。

【0137】

続いて、図１０及び図１２を参照して、第１ユーザがログインする前に第２ユーザがログインする場合の処理を説明する。図１０に示すように、第１制御部２０５は、リモート接続を検知した場合（ステップＳ２０２のＹｅｓ）、ログイン情報が入力されたか否かを判定する（ステップＳ２２０）。詳しくは、第１制御部２０５は、第１ログイン画面ＬＧ１のログインボタンＢ１が押下されたか否かを判定する。図５及び図６（ａ）を参照して説明したように、第２ユーザは、第２入力部３０２を操作して、第１ログイン画面ＬＧ１にログイン情報（ユーザ名及びパスワード）を入力することができる。

【0138】

ログイン情報が入力されると（ステップＳ２２０のＹｅｓ）、第１制御部２０５は、入力されたログイン情報と、第１記憶部２０４に予め記憶されているログイン情報とを照合する。第１制御部２０５は、入力されたログイン情報と一致するログイン情報が第１記憶部２０４に記憶されている場合に、ユーザをログインさせる（ステップＳ２２１）。ここでは、第２操作装置３００（リモート端末）を操作しているユーザ（第２ユーザ）がログインする。

【0139】

第２ユーザのログイン後、処理はステップＳ２１４（図１２）に進む。したがって、第１制御部２０５は、第１表示部２０３及び第２表示部３０３に表示させる画面を、第１ログイン画面ＬＧ１から他の画面に切り替えて、第１表示部２０３及び第２表示部３０３に第２通知画像Ｎ２を表示させる。

【0140】

続いて、図１～図５、図７（ａ）、図７（ｂ）、図１３（ａ）～図１３（ｃ）、及び図１４～図１６を参照して、第２切替処理（ステップＳ３００）を説明する。

【0141】

まず、図１３（ａ）～図１３（ｃ）を参照して、第３ログイン画面ＬＧ３～第５ログイン画面ＬＧ５を説明する。図１３（ａ）は、第３ログイン画面ＬＧ３を示す図である。図１３（ｂ）は、第４ログイン画面ＬＧ４を示す図である。図１３（ｃ）は、第５ログイン画面ＬＧ５を示す図である。第３ログイン画面ＬＧ３～第５ログイン画面ＬＧ５は、第２切替処理に用いられる。

【0142】

図１３（ａ）に示すように、第３ログイン画面ＬＧ３は、ユーザ名入力欄Ｒ１と、パスワード入力欄Ｒ２と、ログインボタンＢ１と、キャンセルボタンＢ２と、拒否ボタンＢ４とを含む。換言すると、第３ログイン画面ＬＧ３は、ユーザ名入力欄Ｒ１と、パスワード入力欄Ｒ２と、ログインボタンＢ１と、キャンセルボタンＢ２と、拒否ボタンＢ４とを表示する。第３ログイン画面ＬＧ３は、例えば、第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続していないとき、第１表示部２０３に表示される。図６（ａ）及び図１３（ａ）に示すように、第３ログイン画面ＬＧ３は、拒否ボタンＢ４を含む点で、第１ログイン画面ＬＧ１と異なる。

【0143】

拒否ボタンＢ４は、第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続することを拒否するか否かを選択するためのボタン画像である。つまり、拒否ボタンＢ４は、リモート接続を拒否するためのボタン画像である。第３ログイン画面ＬＧ３において拒否ボタンＢ４は有効である。つまり、第３ログイン画面ＬＧ３は、拒否選択機能を有効にしたログイン画面である。したがって、第１ユーザは、第１入力部２０２を操作して、拒否ボタンＢ４を押下する指示を入力することができる。

【0144】

第１制御部２０５は、拒否ボタンＢ４が押下された状態で第１ユーザがログインすると、リモート接続を拒否する機能を有効にする。この結果、第２操作装置３００は第１操作装置２００にリモート接続できなくなる。一方、拒否ボタンＢ４が押下されていない状態で第１ユーザがログインした場合、第２操作装置３００は第１操作装置２００にリモート接続することができる。

【0145】

続いて、図１３（ｂ）を参照して、第４ログイン画面ＬＧ４を説明する。図１３（ｂ）に示すように、第４ログイン画面ＬＧ４は、ユーザ名入力欄Ｒ１と、パスワード入力欄Ｒ２と、ログインボタンＢ１と、キャンセルボタンＢ２と、拒否ボタンＢ４と、第１通知画像Ｎ１とを含む。換言すると、第４ログイン画面ＬＧ４は、ユーザ名入力欄Ｒ１と、パスワード入力欄Ｒ２と、ログインボタンＢ１と、キャンセルボタンＢ２と、拒否ボタンＢ４と、第１通知画像Ｎ１とを表示する。第４ログイン画面ＬＧ４は、図６（ｂ）を参照して説明した第２ログイン画面ＬＧ２と同様に、第１ユーザが第１操作装置２００から強制的にログオフされた後に第１表示部２０３及び第２表示部３０３に表示される。

【0146】

図１３（ａ）及び図１３（ｂ）に示すように、第４ログイン画面ＬＧ４では、第３ログイン画面ＬＧ３と異なり、拒否ボタンＢ４がグレイアウトしている。したがって、第４ログイン画面ＬＧ４において拒否ボタンＢ４は無効である。つまり、第４ログイン画面ＬＧ４は、拒否選択機能を無効にしたログイン画面である。したがって、ユーザは拒否ボタンＢ４を押下することができない。

【0147】

また、第４ログイン画面ＬＧ４は、図６（ｂ）を参照して説明した第２ログイン画面ＬＧ２と同様に、第１通知画像Ｎ１を含む点で、第３ログイン画面ＬＧ３と異なる。

【0148】

本実施形態によれば、第１ユーザが第１操作装置２００にログイン中に第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続した場合、第３ログイン画面ＬＧ３と異なるログイン画面（第４ログイン画面ＬＧ４）が第２表示部３０３に表示される。よって、基板処理装置１００の近傍で作業をしている作業者の安全をより確保することができる。

【0149】

また、本実施形態によれば、第１ユーザが第１操作装置２００にログイン中に第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続した場合、第３ログイン画面ＬＧ３と異なるログイン画面（第４ログイン画面ＬＧ４）が第１表示部２０３に表示される。よって、基板処理装置１００の近傍で作業をしている作業者の安全をより確保することができる。

【0150】

更に、本実施形態では、第４ログイン画面ＬＧ４は、第１通知画像Ｎ１を表示する。したがって、基板処理装置１００の近傍で作業をしている作業者の安全をより確保することができる。

【0151】

また、第４ログイン画面ＬＧ４に含まれる拒否ボタンＢ４は無効化されている。したがって、第２ユーザが誤って拒否ボタンＢ４を押下することを回避できる。詳しくは、第４ログイン画面ＬＧ４に含まれる拒否ボタンＢ４が有効である場合、第２ユーザが誤って拒否ボタンＢ４を押下する可能性がある。既に説明したように、拒否ボタンＢ４が押下されると、第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続できなくなる。本実施形態によれば、第４ログイン画面ＬＧ４に含まれる拒否ボタンＢ４を無効化することで、第２ユーザが誤ってリモート接続を拒否する機能を有効にすることを回避できる。

【0152】

続いて、図１３（ｃ）を参照して、第５ログイン画面ＬＧ５を説明する。図１３（ｃ）に示すように、第５ログイン画面ＬＧ５は、ユーザ名入力欄Ｒ１と、パスワード入力欄Ｒ２と、ログインボタンＢ１と、キャンセルボタンＢ２と、拒否ボタンＢ４とを含む。換言すると、第４ログイン画面ＬＧ４は、ユーザ名入力欄Ｒ１と、パスワード入力欄Ｒ２と、ログインボタンＢ１と、キャンセルボタンＢ２と、拒否ボタンＢ４とを表示する。第５ログイン画面ＬＧ５は、第２操作装置３００が第１操作装置２００にリモート接続している際に第１表示部２０３及び第２表示部３０３に表示される。

【0153】

図１３（ａ）及び図１３（ｃ）に示すように、第５ログイン画面ＬＧ５は、第３ログイン画面ＬＧ３と異なり、拒否ボタンＢ４がグレイアウトしている。したがって、ユーザは拒否ボタンＢ４を押下することができない。よって、第４ログイン画面ＬＧ４と同様に、第２ユーザが誤って拒否ボタンＢ４を押下することを回避できる。

【0154】

図１４～図１６は、第２切替処理の流れを示すフロチャートである。図１４に示すように、第１制御部２０５は、第２切替処理を開始すると、リモート接続を検知したか否かを判定する（ステップＳ３０１）。

【0155】

リモート接続を検知していない場合（ステップＳ３０１のＮｏ）、第１制御部２０５は、図１３（ａ）を参照して説明した第３ログイン画面ＬＧ３を第１表示部２０３に表示させる（ステップＳ３０２）。

【0156】

第１制御部２０５は、第３ログイン画面ＬＧ３を表示させた後、ログイン情報が入力されたか否かを判定する（ステップＳ３０３）。

【0157】

ログイン情報が入力されていないと判定した場合（ステップＳ３０３のＮｏ）、処理はステップＳ３０１に戻り、第１制御部２０５は、リモート接続を検知したか否かを判定する。

【0158】

ログイン情報が入力されると（ステップＳ３０３のＹｅｓ）、第１制御部２０５は、入力されたログイン情報と、第１記憶部２０４に予め記憶されているログイン情報とを照合する。第１制御部２０５は、入力されたログイン情報と一致するログイン情報が第１記憶部２０４に記憶されている場合に、第１ユーザをログインさせる（ステップＳ３０４）。ここでは、第１操作装置２００（ローカル端末）を操作しているユーザがログインする。

【0159】

第１ユーザのログイン後、第１制御部２０５は、第１操作装置２００にログインしたユーザ（第１ユーザ）が特定のユーザであるか否かを判定する（ステップＳ３０５）。

【0160】

第１制御部２０５は、第１ユーザが特定のユーザでないと判定した場合（ステップＳ３０５のＮｏ）、第３ログイン画面ＬＧ３の拒否ボタンＢ４が押下された状態でログインしたか否かを判定する（ステップＳ３０６）。

【0161】

第３ログイン画面ＬＧ３の拒否ボタンＢ４が押下された状態でログインした場合（ステップＳ３０６のＹｅｓ）、第１制御部２０５は、リモート接続を拒否する機能を有効にする。

【0162】

また、第１制御部２０５は、第１ユーザのログイン後、第１表示部２０３に表示させる画面を、第３ログイン画面ＬＧ３から他の画面に切り替える。例えば、第１制御部２０５は、第１ユーザのログイン後、図７（ａ）を参照して説明した第１操作画面ＳＧ１を第１表示部２０３に表示させる。ユーザのログイン後に表示される画面には、図７（ａ）に示す第１操作画面ＳＧ１と同様に、ログアウトボタンＢ３が含まれる。

【0163】

また、第１制御部２０５は、第３ログイン画面ＬＧ３の拒否ボタンＢ４が押下された状態でログインした場合（ステップＳ３０６のＹｅｓ）、図１５に示すように、ログアウト操作が実行されたか否かを判定する（ステップＳ３０７）。

【0164】

ログアウト操作が実行されたと判定された場合（ステップＳ３０７のＹｅｓ）、処理はステップＳ３０１（図１４）に戻り、第１制御部２０５は、リモート接続を検知したか否かを判定する。

【0165】

図１５に示すように、第１制御部２０５は、ログアウト操作が実行されていないと判定した場合（ステップＳ３０７のＮｏ）、第１操作装置２００に第１ユーザがログインしている状態において第１操作装置２００の待機状態が第２設定時間ＳＴ２以上継続しているか否かを判定する（ステップＳ３０８）。

【0166】

第１操作装置２００の待機状態が第２設定時間ＳＴ２以上継続していないと判定された場合（ステップＳ３０８のＮｏ）、処理はステップＳ３０７に戻り、第１制御部２０５は、ログアウト操作が実行されたか否かを判定する。

【0167】

第１操作装置２００の待機状態が第２設定時間ＳＴ２以上継続していると判定した場合（ステップＳ３０８のＹｅｓ）、第１制御部２０５は、第１ユーザをログアウトさせる（ステップＳ３０９）。その結果、処理がステップＳ３０１（図１４）に戻り、第１制御部２０５は、リモート接続を検知したか否かを判定する。

【0168】

なお、図１４に示すように、第１制御部２０５は、第１ユーザが特定のユーザであると判定した場合（ステップＳ３０５のＹｅｓ）、拒否ボタンＢ４が押下された場合と同様に、リモート接続を拒否する機能を有効にする（ステップＳ３１０）。その後、処理は、図１５に示すステップＳ３０７に進む。

【0169】

本実施形態によれば、リモート接続を拒否する機能が有効な場合に、第１設定時間ＳＴ１よりも短い時間で第１ユーザをログアウトさせることができる。その結果、第１操作装置２００が待機状態となった後に、第２ユーザがより短い時間で第１操作装置２００にログインできるようになる。詳しくは、リモート接続を拒否する機能が有効な場合、第１操作装置２００が待機状態である間も第２ユーザは第１操作装置２００にログインすることができない。本実施形態では、第２設定時間ＳＴ２を設定することにより、第１操作装置２００が待機状態となった後に、第１設定時間ＳＴ１よりも短い時間でリモート接続を拒否する機能を無効にすることができる。

【0170】

続いて、図１４～図１６を参照して、拒否ボタンＢ４が押下されなかった場合を説明する。図１４及び図１５に示すように、第１制御部２０５は、第３ログイン画面ＬＧ３の拒否ボタンＢ４が押下されなかった場合（ステップＳ３０６のＮｏ）、ステップＳ３０７と同様に、ログアウト操作が実行されたか否かを判定する（ステップＳ３１１）。

【0171】

ログアウト操作が実行されたと判定された場合（ステップＳ３１１のＹｅｓ）、処理はステップＳ３０１（図１４）に戻り、第１制御部２０５は、リモート接続を検知したか否かを判定する。

【0172】

図１５に示すように、第１制御部２０５は、ログアウト操作が実行されていないと判定した場合（ステップＳ３１１のＮｏ）、ステップＳ３０８と同様に、第１操作装置２００の待機状態が第２設定時間ＳＴ２以上継続しているか否かを判定する（ステップＳ３１２）。

【0173】

第１操作装置２００の待機状態が第２設定時間ＳＴ２以上継続していないと判定した場合（ステップＳ３１２のＮｏ）、第１制御部２０５は、リモート接続を検知したか否かを判定する（ステップＳ３１３）。

【0174】

第１操作装置２００の待機状態が第２設定時間ＳＴ２以上継続していると判定した場合（ステップＳ３１２のＹｅｓ）、第１制御部２０５は、第１ユーザをログアウトさせる（ステップＳ３１４）。その結果、処理がステップＳ３０１（図１４）に戻り、第１制御部２０５は、リモート接続を検知したか否かを判定する。

【0175】

図１５に示すように、第１制御部２０５がリモート接続を検知していない場合（ステップＳ３１３のＮｏ）、処理はステップＳ３１１に戻る。その結果、第１制御部２０５は、ログアウト操作が実行されたか否かを判定する。一方、第１制御部２０５は、リモート接続を検知した場合（ステップＳ３１３のＹｅｓ）、図１６に示すように、第１ユーザを強制的にログアウトさせる（ステップＳ３１５）。

【0176】

第１制御部２０５は、第１ユーザを強制的にログアウトさせた後、第１表示部２０３及び第２表示部３０３に、図１３（ｂ）を参照して説明した第４ログイン画面ＬＧ４を表示させる（ステップＳ３１６）。

【0177】

第４ログイン画面ＬＧ４を表示させた後、第１制御部２０５は、ログイン情報が入力されたか否かを判定する（ステップＳ３１７）。詳しくは、第１制御部２０５は、第４ログイン画面ＬＧ４のログインボタンＢ１が押下されたか否かを判定する。

【0178】

ログイン情報が入力されると（ステップＳ３１７のＹｅｓ）、第１制御部２０５は、入力されたログイン情報と、第１記憶部２０４に予め記憶されているログイン情報とを照合する。第１制御部２０５は、入力されたログイン情報と一致するログイン情報が第１記憶部２０４に記憶されている場合に、ユーザをログインさせる（ステップＳ３１８）。ここでは、第２操作装置３００（リモート端末）を操作しているユーザ（第２ユーザ）がログインする。

【0179】

第２ユーザのログイン後、第１制御部２０５は、第１表示部２０３及び第２表示部３０３に表示させる画面を、第４ログイン画面ＬＧ４から他の画面に切り替える。例えば、第１制御部２０５は、第２ユーザのログイン後、図７（ｂ）を参照して説明した第２操作画面ＳＧ２を第１表示部２０３及び第２表示部３０３に表示させる。第２ユーザのログイン後に表示される画面には、図７（ｂ）に示す第２操作画面ＳＧ２と同様に、第２通知画像Ｎ２と、ログアウトボタンＢ３とが含まれる。つまり、第１制御部２０５は、第２操作装置３００を介して第１操作装置２００にユーザ（第２ユーザ）がログインした後、第１表示部２０３及び第２表示部３０３に第２通知画像Ｎ２を表示させる（ステップＳ３１９）。

【0180】

第１制御部２０５は、第１表示部２０３及び第２表示部３０３に表示させる画面を、第４ログイン画面ＬＧ４から他の画面に切り替えた後、ログアウト操作が実行されたか否かを判定する（ステップＳ３２０）。

【0181】

ログアウト操作が実行されたと判定された場合（ステップＳ３２０のＹｅｓ）、処理はステップＳ３０１（図１４）に戻り、第１制御部２０５は、リモート接続を検知したか否かを判定する。

【0182】

ログアウト操作が実行されていないと判定した場合（ステップＳ３２０のＮｏ）、第１制御部２０５は、第１操作装置２００に第２ユーザがログインしている状態において第１操作装置２００の待機状態が第２設定時間ＳＴ２以上継続しているか否かを判定する（ステップＳ３２１）。

【0183】

第１操作装置２００の待機状態が第２設定時間ＳＴ２以上継続していないと判定された場合（ステップＳ３２１のＮｏ）、処理はステップＳ３２０に戻る。第１操作装置２００の待機状態が第２設定時間ＳＴ２以上継続していると判定した場合（ステップＳ３２１のＹｅｓ）、第１制御部２０５は、第２ユーザをログアウトさせる（ステップＳ３２２）。その結果、処理がステップＳ３０１（図１４）に戻り、第１制御部２０５は、リモート接続を検知したか否かを判定する。

【0184】

続いて、図１４及び図１６を参照して、第１ユーザがログインする前に第２ユーザがログインする場合の処理を説明する。図１４及び図１６に示すように、第１制御部２０５は、リモート接続を検知した場合（ステップＳ３０１のＹｅｓ）、図１３（ｃ）を参照して説明した第５ログイン画面ＬＧ５を第１表示部２０３及び第２表示部３０３に表示させる（ステップＳ３２３）。

【0185】

第５ログイン画面ＬＧ５を表示させた後、第１制御部２０５は、ログイン情報が入力されたか否かを判定する（ステップＳ３２４）。詳しくは、第１制御部２０５は、第５ログイン画面ＬＧ５のログインボタンＢ１が押下されたか否かを判定する。

【0186】

ログイン情報が入力されると（ステップＳ３２４のＹｅｓ）、第１制御部２０５は、入力されたログイン情報と、第１記憶部２０４に予め記憶されているログイン情報とを照合する。第１制御部２０５は、入力されたログイン情報と一致するログイン情報が第１記憶部２０４に記憶されている場合に、ユーザをログインさせる（ステップＳ３２５）。ここでは、第２操作装置３００（リモート端末）を操作しているユーザ（第２ユーザ）がログインする。その後、処理はステップＳ３１９に進む。

【0187】

以上、図面（図１～図１６）を参照して本発明の実施形態について説明した。ただし、本発明は、上記の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の態様において実施できる。また、上記の実施形態に開示される複数の構成要素は適宜改変可能である。例えば、ある実施形態に示される全構成要素のうちのある構成要素を別の実施形態の構成要素に追加してもよく、又は、ある実施形態に示される全構成要素のうちのいくつかの構成要素を実施形態から削除してもよい。

【0188】

図面は、発明の理解を容易にするために、それぞれの構成要素を主体に模式的に示しており、図示された各構成要素の厚さ、長さ、個数、間隔等は、図面作成の都合上から実際とは異なる場合もある。また、上記の実施形態で示す各構成要素の構成は一例であって、特に限定されるものではなく、本発明の効果から実質的に逸脱しない範囲で種々の変更が可能であることは言うまでもない。

【0189】

例えば、図１～図１６を参照して説明した実施形態において、基板処理装置１００は洗浄装置又はウェットエッチング装置であったが、基板処理装置１００は洗浄装置及びウェットエッチング装置に限定されない。基板処理装置１００は、基板Ｗを処理する装置であればよい。例えば、基板処理装置１００は、ドライエッチング装置、ベーク装置、塗布装置、又は現像装置であってもよい。

【0190】

また、図１～図１６を参照して説明した実施形態において、基板処理装置１００は枚葉式であったが、基板処理装置１００はバッチ式であってもよい。

【0191】

また、図１３（ｂ）を参照して説明した第４ログイン画面ＬＧ４において、拒否ボタンＢ４はグレイアウトしたが、拒否ボタンＢ４は消去されてもよい。つまり、拒否ボタンＢ４は表示されなくてもよい。同様に、図１３（ｃ）を参照して説明した第５ログイン画面ＬＧ５において、拒否ボタンＢ４はグレイアウトしたが、拒否ボタンＢ４は消去されてもよい。つまり、拒否ボタンＢ４は表示されなくてもよい。

【産業上の利用可能性】

【0192】

本発明は、基板を処理する装置に利用可能である。

【符号の説明】

【0193】

１００ ：基板処理装置
２００ ：第１操作装置
２０１ ：第１通信部
２０３ ：第１表示部
２０５ ：第１制御部
３００ ：第２操作装置
３０１ ：第２通信部
３０３ ：第２表示部
３０５ ：第２制御部
１０００ ：基板処理システム
Ｂ１ ：ログインボタン
Ｂ２ ：キャンセルボタン
Ｂ３ ：ログアウトボタン
Ｂ４ ：拒否ボタン
ＢＲ ：実行ボタン
ＬＧ１ ：第１ログイン画面
ＬＧ２ ：第２ログイン画面
ＬＧ３ ：第３ログイン画面
ＬＧ４ ：第４ログイン画面
ＬＧ５ ：第５ログイン画面
Ｎ１ ：第１通知画像
Ｎ２ ：第２通知画像
Ｒ１ ：ユーザ名入力欄
Ｒ２ ：パスワード入力欄
ＳＴ１ ：第１設定時間
ＳＴ２ ：第２設定時間
ＴＫ ：操作対象項目欄
Ｗ ：基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】