特開 2024-31714 ブレーキング装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024031714

(43)【公開日】2024-03-07

(54)【発明の名称】ブレーキング装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20240229BHJP

【ＦＩ】

H01L21/78 T

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022141920

(22)【出願日】2022-09-07

(31)【優先権主張番号】P 2022133864

(32)【優先日】2022-08-25

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】522327359

【氏名又は名称】株式会社ＡＣ－Ｘ Ｔｅｃｈ

(74)【代理人】

【識別番号】100105980

【弁理士】

【氏名又は名称】梁瀬 右司

(74)【代理人】

【識別番号】100121027

【弁理士】

【氏名又は名称】木村 公一

(74)【代理人】

【識別番号】100178995

【弁理士】

【氏名又は名称】丸山 陽介

(72)【発明者】

【氏名】國柄 智章

(72)【発明者】

【氏名】高 楊

(72)【発明者】

【氏名】竹原 尚吾

【テーマコード（参考）】

5F063

【Ｆターム（参考）】

5F063AA25

5F063AA38

5F063CB02

5F063CB06

5F063CB23

5F063CB28

5F063DD26

5F063DD81

(57)【要約】

【課題】簡単な構成の装置により、効率よく基板をブレーキングできるようにする。
【解決手段】保持枠２１の内側に収まる異なる刃長の第１、第２、第３ブレード５ａ，５ｂ，５ｃが用意され、各ブレード５ａ～５ｃを加圧シリンダによりそれぞれ加圧するようにし、刃長の異なる第１～第３ブレード５ａ～５ｃのうち、ブレーキング対象のブレーキング予定線の長さに応じて分けられた基板２０の第１、第２、第３領域Ａ１，Ａ２，Ａ３に応じた刃長のブレードの下方位置に、駆動機構により基板２０を保持枠２１ごと移動させる。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

下面側に格子状に複数のブレーキング予定線が形成されて複数のチップ領域が形成されたほぼ円形の基板を保持枠の内側に配置し、前記保持枠及び前記基板の上面を粘着シートにより覆い、前記基板の下面側に保護シートを貼り付けた状態で、ブレーキング対象の前記ブレーキング予定線に沿って前記基板をブレーキングするブレーキング装置において、
前記ブレーキング対象のブレーキング予定線の上下に位置して前記基板の上面及び下面に接離自在に当接する上、下当接部を有し異なる長さの複数の割断手段と、
前記基板を前記保持枠ごと前記割断手段の位置に移動させる移動手段と、
前記割断手段の前記上、下当接部の当接により前記基板の前記ブレーキング対象のブレーキング予定線上に曲げ応力を付与して前記基板をブレーキングする応力付与手段と
を備えることを特徴とするブレーキング装置。

【請求項2】

前記割断手段は、
前記下当接部として、前記ブレーキング対象のブレーキング予定線を挟んで前記基板の下面側に当接する２つの当接面を有する支持体を更に備え、
前記基板は、
前記支持体の前記２つの当接面の間に位置する前記ブレーキング対象のブレーキング予定線の上方に前記上当接部が位置するように、前記移動手段により移動される
ことを特徴とする請求項１に記載のブレーキング装置。

【請求項3】

前記割断手段の前記上当接部は、
前記保持枠の内寸よりも小さくかつ前記基板の直径よりも長い長さを有し前記保持枠と干渉しない第１の上当接部と、前記保持枠の内寸よりも小さくかつ前記基板の直径よりも短い長さを有し前記保持枠と干渉しない第２の上当接部とが用意され、
前記ブレーキング予定線の長さが、前記基板の直径よりも短い所定長以上である第１の領域、及び、前記所定長よりも短い第２の領域に分けられ、
前記第１の領域の前記ブレーキング予定線のブレーキングには前記第１の上当接部が使用され、
前記第２の領域の前記ブレーキング予定線のブレーキングには前記第２の上当接部が使用される
ことを特徴とする請求項１または２に記載のブレーキング装置。

【請求項4】

前記割断手段の前記下当接部は、
前記保持枠の内寸よりも小さくかつ前記基板の直径よりも長い長さを有し前記保持枠と干渉しない第１の下当接部と、前記保持枠の内寸よりも小さくかつ前記基板の直径よりも短い長さを有し前記保持枠と干渉しない第２の下当接部とが用意され、
前記ブレーキング予定線の長さが、前記基板の直径よりも短い所定長以上である第１の領域、及び、前記所定長よりも短い第２の領域に分けられ、
前記第１の領域の前記ブレーキング予定線のブレーキングには前記第１の下当接部が使用され、
前記第２の領域の前記ブレーキング予定線のブレーキングには前記第２の下当接部が使用される
ことを特徴とする請求項３に記載のブレーキング装置。

【請求項5】

前記移動手段は、前記基板を前記保持枠ごと回転させる回転機能を備えることを特徴とする請求項１または請求項２または請求項１に従属する請求項３または請求項４に記載のブレーキング装置。

【請求項6】

前記下当接部と前記基板との間に、
前記応力付与手段による曲げ応力によりブレーキングした後に前記基板に生じる過剰な応力を吸収するための弾性を有する緩衝層を配置してブレーキングすることを特徴とする請求項１に記載のブレーキング装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板の下面側に縦横に形成された複数のブレーキング予定線のうち、ブレーキング対象のブレーキング予定線に沿って基板をブレーキングするブレーキング装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、基板（ウエハ）を複数の半導体チップにブレーキングするブレーキング装置として、特許文献１に記載のものがある。この種、従来のブレーキング装置では、ブレード周辺を拡大した切断正面図である図８及び平面図である図９に示すように、ほぼ円形の基板５０の下面にはブレーキング予定線５０ａとなる罫書筋がダイヤモンドブレード等により格子状に形成され、これにより基板５０に複数のチップ領域が形成され、基板５０の下面には保護シート５１が貼着される一方、基板５０の上面側には粘着シート５２が貼着され、粘着シート５２は基板５０よりも大きな内寸を有するほぼ円環状の保持枠５３（図９参照）に張設され、粘着シート５２、保護シート５１及び保持枠５３によって基板５０が保持されている。

【0003】

そして、保護シート５１を下向きにして受け部５４上に基板５０が載置され、粘着シート５２の上方から図８中の矢印に示すように、ブレード５５が基板５０のブレーキング対象のブレーキング予定線５０ａ上に押し当てられて曲げ応力が付与されることにより、基板５０がブレーキング対象のブレーキング予定線５０ａに沿って切断され、このような切断作業が全てのブレーキング予定線５０ａに沿って繰り返し行われて基板５０が複数の半導体チップにブレーキングされる。このとき、受け部５４はブレード５５の下方に空間を有し、ブレーキング対象のブレーキング予定線５０ａを挟んで当該ブレーキング予定線５０ａの両側を支持するようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１２－２２２１９８号公報（段落０００２～０００５、図７参照）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかし、従来のブレーキング装置では、図９に示すように、切断時にブレード５５が保持枠５３と干渉することがないように、基板５０の直径よりも大きくかつ保持枠５３の内側直径よりも小さい刃長のブレード５５を使用する必要がある。

【0006】

そのため、図１０に示すように、図９に示す基板５０の直径よりも大きな直径の基板５０’を切断ブレーキングする場合、基板５０’の直径に合わせたブレード５５’を用いる必要があるとともに、保持枠５３の一定サイズであるとブレード５５’と保持枠５３との干渉が生じ得ることから、保持枠としてブレード５５’が干渉しない大きなサイズのものを使用しなければならず、ブレーキング前後のダイシング等の他行程よりも大きな保持枠に基板を保持する付け替えをわざわざ行う必要が生じ、チッピング等の製品不良リスクが高まるという問題がある。また、付け替えを避けるために、ダイシングやエキスパンド等のブレーキングの前後行程で対応できるように保持枠のサイズを大きくした場合、装置が大型化してコスト増を招くという問題もある。

【0007】

本発明は、上記した課題に鑑みてなされたものであり、簡単な構成の装置により、効率よく基板をブレーキングできるようにすることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記した課題を解決するために、本発明に係るブレーキング装置は、下面側に格子状に複数のブレーキング予定線が形成されて複数のチップ領域が形成されたほぼ円形の基板を保持枠の内側に配置し、前記保持枠及び前記基板の上面を粘着シートにより覆い、前記基板の下面側に保護シートを貼り付けた状態で、ブレーキング対象の前記ブレーキング予定線に沿って前記基板をブレーキングするブレーキング装置において、前記ブレーキング対象のブレーキング予定線の上下に位置して前記基板の表面及び裏面に接離自在に当接する上、下当接部を有し異なる長さの複数の割断手段と、前記基板を前記保持枠ごと前記割断手段の位置に移動させる移動手段と、前記割断手段の前記上、下当接部の当接により前記基板の前記ブレーキング対象のブレーキング予定線上に曲げ応力を付与して前記基板をブレーキングする応力付与手段とを備えることを特徴としている。

【0009】

このような構成によれば、ほぼ円形の保持枠の内寸よりも小さくかつ基板の直径よりも長い刃長を有し保持枠と干渉しない割断手段と、保持枠の内寸よりも小さくかつ基板の直径よりも短い刃長を有し保持枠と干渉しない割断手段とを用意しておき、移動手段により、基板が保持枠ごと割断手段の位置に移動されるため、サイズの異なる基板をブレーキングする場合であっても、１つのサイズの保持枠を使用して異なるサイズの基板をブレーキングでき、従来のように、わざわざ大きなサイズの保持枠に基板を保持する付け替えを行う必要がなくなり、１つの工程でブレーキング作業を行うことができ、ブレーキングに要するコストの上昇を防止することができ、ブレーキングの作業効率の向上を図ることができる。

【0010】

また、前記割断手段は、前記下当接部として、前記ブレーキング対象のブレーキング予定線を挟んで前記基板の下面側に当接する２つの当接面を有する支持体を更に備え、前記基板は、前記支持体の前記２つの当接面の間に位置する前記ブレーキング対象のブレーキング予定線の上方に前記上当接部が位置するように、前記移動手段により移動されるようにしてもよい。

【0011】

こうすると、ブレーキング対象のブレーキング予定線を挟んで支持体の２つの当接面が基板の下面側に当接した状態で、移動手段により、支持体の２つの当接面の間に位置するブレーキング対象のブレーキング予定線の上方に上当接部が位置するように基板が保持枠ごと移動されるため、基板のブレーキング対象のブレーキング予定線の近傍を３点で支持して曲げ応力を加えることができ、いわゆる３点ブレーキングにより基板をブレーキングすることができる。

【0012】

また、前記割断手段の前記上当接部は、前記保持枠の内寸よりも小さくかつ前記基板の直径よりも長い長さを有し前記保持枠と干渉しない第１の上当接部と、前記保持枠の内寸よりも小さくかつ前記基板の直径よりも短い長さを有し前記保持枠と干渉しない第２の上当接部とが用意され、前記ブレーキング予定線の長さが、前記基板の直径よりも短い所定長以上である第１の領域、及び、前記所定長よりも短い第２の領域に分けられ、前記第１の領域の前記ブレーキング予定線のブレーキングには前記第１の上当接部が使用され、前記第２の領域の前記ブレーキング予定線のブレーキングには前記第２の上当接部が使用されるようにするとよい。さらに、前記割断手段の前記下当接部は、前記保持枠の内寸よりも小さくかつ前記基板の直径よりも長い長さを有し前記保持枠と干渉しない第１の下当接部と、前記保持枠の内寸よりも小さくかつ前記基板の直径よりも短い長さを有し前記保持枠と干渉しない第２の下当接部とが用意され、前記ブレーキング予定線の長さが、前記基板の直径よりも短い所定長以上である第１の領域、及び、前記所定長よりも短い第２の領域に分けられ、前記第１の領域の前記ブレーキング予定線のブレーキングには前記第１の下当接部が使用され、前記第２の領域の前記ブレーキング予定線のブレーキングには前記第２の下当接部が使用されるようにしてもよい。

【0013】

この場合、基板を、ブレーキング予定線の長さによって第１の領域、第２の領域に分けられ、第１の領域には第１の上当接部及び／または第１の下当接部を使用し、第２の領域には第２の上当接部及び／または第２の下当接部を使用するため、使用する割断手段の切り替えにより、ブレーキング作業を効率よく行うことができる。

【0014】

また、前記移動手段は、前記基板を前記保持枠ごと回転させる回転機能を備えるとよい。こうすると、基板を保持枠ごと回転させることができるため、格子状の複数のブレーキング予定線に対して、基板を移動させることができる。

【0015】

また、前記下当接部と前記基板との間に、前記応力付与手段による曲げ応力によりブレーキングした後に前記基板に生じる過剰な応力を吸収するための弾性を有する緩衝層を配置してブレーキングするとよい、この場合、割断手段の下当接部と基板との間に配置された弾性を有する緩衝層により、ブレーキングした後に基板に生じる過剰な応力が吸収されるため、従来のように、過剰な応力によってブレーキングされた基板のエッジに欠け（チッピング）が生じるのを未然に防止することができる。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、長さの異なる複数の割断手段を用意し、サイズの異なる基板をブレーキングする場合であっても、１つのサイズの保持枠を使用して異なるサイズの基板をブレーキングできるため、従来のように、わざわざ大きなサイズの保持枠に基板を保持する付け替えを行う必要がなくなり、１つの工程でブレーキング作業を行うことができ、ブレーキングに要するコストの上昇を防止することができ、ブレーキングの作業効率の向上を図ることが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明に係るブレーキング装置の第１実施形態の正面図である。

【図2】図１の一部の平面図である。

【図3】図２正面図である。

【図4】図３の一部を拡大した断面図である。

【図5】動作説明図であり、（ａ）～（ｃ）はそれぞれ異なる状態の平面図である。

【図6】本発明の第２実施形態の一部のある状態における正面図である。

【図7】図６の異なる状態における正面図である。

【図8】従来例の一部の正面図である。

【図9】従来例の平面図である。

【図10】従来例の異なる状態の平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

（第１実施形態）
本発明に係るブレーキング装置の第１実施形態について、図１ないし図５を参照して説明する。

【0019】

（装置構成）
図１は本実施形態のブレーキング装置１を示し、基板が載置される載置台２と、載置台２を左右方向に長尺の一対のガイドレール３に沿って走行させる駆動機構４と、ガイドレール３の長さ方向にわたる３か所に設置され前後方向の刃長が異なる３種類の第１、第２、第３ブレード５ａ，５ｂ，５ｃをそれぞれ上下動自在に支持した第１、第２、第３支持部６ａ，６ｂ，６とを備える。ここで、第１～第３ブレード５ａ～５ｃは前後方向の刃長が異なり、平行に配置されており、第１ブレード５ａの刃長が最も長く、第３ブレード５ｃの刃長が最も短く、本発明における長さの異なる割断手段の「上当接部」に相当し、後述する基板のブレーキング対象のブレーキング予定線の上方に位置して基板の上面に接離自在に当接する。

【0020】

載置台２は、図１、図２に示すように、両ガイドレール３に沿って走行する左右一対の走行体２ａと、両走行体２ａ上にわたり架設された平面視がほぼ矩形を有するベース板２ｂと、ベース板２ｂ上に回転自在に載置された円形板状の回転板２ｃと、回転板２ｃ上に固定され後述する保持枠を支持する支持テーブル２ｄとを備える。ここで、回転板２ｃは、図２に示すように、その周縁に形成されたギヤ２ｃ１と、ベース板２ｂ上に回転板２ｃの周囲に平面視で正三角形の３つの頂点位置に配置されて回転板２ｃの周縁のギヤ２ｃ１に噛合した３個のギヤ２ｃ２と、いずれかのギヤ２ｃ２を回転駆動する図示省略のモータとを備える回転機構により回転され、モータが回転することにより、ギヤ２ｃ２が回転してこのギヤ２ｃ２の回転が回転板２ｃの周縁のギヤ２ｃ１に伝達されて回転板２ｃが回転する。なお、この回転機構は、以下に詳述する駆動 機構４とともに本発明における「移動手段」を構成する。

【0021】

駆動機構４は、左右の両端が軸受１０ａ，１０ｂにより回転自在に支持された左右に長尺のボールねじ１１と、ベース板２ｂの下面中央部に固着されボールねじ１１の外周の雄ねじが螺合した雌ねじを有する固定部１２と、ボールねじ１１の右端にカップリング１３を介してその回転軸が連結されたモータ１４とを備える。そして、両走行体２ａは、例えば側面視コ字状を有し、基部がベース板２ｂの下面に固着され、基部の前後両端から下方に垂下した脚部が左右のガイドレール３それぞれに沿って移動可能に係合するように配置され、モータ１４の回転によってボールねじ１１が回転することにより、両走行体２ａの脚部に内蔵のローラがガイドレール３を転動して、両ガイドレール３に沿って走行体２ａ及びベース板２ｂが一体となって走行する。なお、モータ１４の双方向への回転に応じて両走行体２ａがベース板２ｂとともに左、右方向に走行し、後述する基板を所定のブレードの下方位置に移動させる。

【0022】

載置台２に載置される基板は、図３、図４に示すように保持枠に保持されている。すなわち、下面側に格子状に複数のブレーキング予定線２０ａが形成されて複数のチップ領域が形成されたほぼ円形の半導体基板（ウエハ）２０が、ほぼ円環状の保持枠２１の内側に配置され、特に図４に示されるように、保持枠２１及び基板２０の上面を粘着シート２２により覆われるとともに、基板２０の下面側に保護シート２３が貼り付けられた状態で保持枠２１に保持されている。そして、図３に示すように、回転板２ｃ上に固定された支持テーブル２ｄ上に保持枠２１の周縁部が載置されて固定支持されている。

【0023】

ここで、粘着シート２２には、例えばポリ塩化ビニルやポリオレフィン等の透過性及び伸縮性を有する合成樹脂を用いるとよく、その粘着面にアクリル系の粘着剤を塗布するとよい。こうすると、表面（上面）側からブレーキング予定線２０ａを視認し易くなる。また、保護シート２３にはポリエチレン等の透明な樹脂を用いるとよく、平面視でほぼ正方形に形成するのが望ましい。

【0024】

また、基板２０のブレーキング予定線２０ａは、粘着シート２２及び保護シート２３を貼着する前の段階において、例えばレーザ光を基板２０の下面側から内部に向けてレーザ光を照射することにより、ブレーキング予定線２０ａとなる改質層が格子状に形成されてブレーキング予定線２０ａが形成される。そのほかに、例えばダイヤモンドスクライブまたはダイシングブレードなどの手法によりケガキ溝を加工することによりブレーキング予定線２０ａを形成することができるが、ブレーキング予定線２０ａの形成手法は、これらに限定されるものではない。

【0025】

ところで、基板２０の下方には、図１に示すように、走行体２ａと一緒にガイドレール３に沿って移動する基板２０を下方から支える支持体２５が配置され、この支持体２５は走行体２ａ及びベース板２ｂに連結・分離自在に連結されている。そして、支持体２５の上面には直線状の溝２５ａが形成され、支持体２５の上面であって溝２５ａの両側の面が当接面２５ｂ，２５ｂとして、基板２０の下面に当接する。このとき、溝２５ａは各ブレード５ａ～５ｃの刃長方向に平行に形成されている。この支持体２５が、本発明における割断手段の「下当接部」に相当する。

【0026】

さらに、支持体２５は、走行体２ａ及びベース板２ｂに連結された状態で、第１ないし第３ブレード５ａ～５ｃのうちブレーキングに使用するいずれかのブレードの下方位置まで走行体２ａ及びベース板２ｂと一緒に移動すると、その位置において支持体２５が走行体２ａ及びベース板２ｂとの連結状態が解除されて、支持体２５は走行体２ａ及びベース板２ｂと一緒に移動しない状態に分離される。このとき、支持体２５が走行体２ａ及びベース板２ｂと分離された状態では、支持体２５の溝２５ａの方向は当該ブレードの下方位置で当該ブレードな刃長方向に平行に配置されている。なお、基板２０の下面側を支持する支持体２５は上記した構成に限定されるものではなく、要するに基板２０のブレーキング予定線２０ａを挟んで２つの当接面を有して２点支持できるものであればよい。

【0027】

ところで、第１、第２、第３ブレード５ａ，５ｂ，５ｃをそれぞれ支持する第１、第２、第３支持部６ａ，６ｂ，６は、図１に示すように、固定された架台３０ａ，３０ｂ，３０ｃ及びこれら架台３０ａ，３０ｂ，３０ｃに設けられた上下動機構３１ａ，３１ｂ，３１ｃにより構成されている。

【0028】

そして、上下動機構３１ａは、図１に示すように、ボールねじの回転により一緒に上下動する上下２つのガイド体３１ａ１，３１ａ２と、下方のガイド体３１ａ２に取り付けられ第１ブレード５ａに下向きの加圧力を加える加圧シリンダ３２ａとを備え、下方のガイド体３１ａ２は、上方のガイド体３１ａ１とは別に上下動可能に構成されている。なお、上下動機構３１ｂも上下動機構３１ａと同様、図１に示すように、上下２つのガイド体３１ｂ１，３１ｂ２と、第２ブレード５ｂに下向きの加圧力を加える加圧シリンダ３２ｂとを備えるとともに、上下動機構３１ｃも上下動機構３１ａと同様、図１に示すように、上下２つのガイド体３１ｃ１，３１ｃ２と、第３ブレード５ｃに下向きの加圧力を加える加圧シリンダ３２ｃとを備える。ここで、加圧シリンダ３２ａ，３２ｂ，３２ｃが、本発明における「応力付与手段」に相当し、基板２０のブレーキング対象のブレーキング予定線２０ａ上に曲げ応力を付与する。

【0029】

ところで、本発明の最大の特徴として、図５に示すように、基板２０のブレーキング予定線２０ａが、その長さに応じて第１、第２、第３領域Ａ１，Ａ２，Ａ３の３つに分けられ、各領域Ａ１，Ａ２，Ａ３のブレーキングに刃長の異なる第１、第２、第３ブレード５ａ，５ｂ，５ｃそれぞれが使用される。

【0030】

具体的には、基板２０の直径よりも短い所定長である第１基準長以上の長さを有するブレーキング予定線２０ａを含む図５（ａ）中の斜線部分の第１領域Ａ１（本発明における「第１の領域」に相当）、第１基準長よりもの長さを有するブレーキング予定線２０ａを含む図５（ｂ）中の斜線部分の第２領域Ａ２（本発明における「第２の領域」に相当）、第２基準長よりも短い長さを有するブレーキング予定線２０ａを含む図５（ｃ）中の斜線部分の第３領域Ａ３（本発明における「第２の領域」に相当）に分けられる。

【0031】

そして、図５（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す第１、第２、第３領域Ａ１，Ａ２，Ａ３に応じて、順次刃長が短くなる第１、第２、第３ブレード５ａ，５ｂ，５ｃそれぞれが使用されるが、第１ブレード５ａの刃長は、図５（ａ）に示すように、第１領域Ａ１の範囲内において、ほぼ円形の保持枠２１の内寸よりも小さくかつ基板２０の外寸よりも長い刃長を有し、本発明における「第１の上当接部」に相当する。

【0032】

また、第３ブレード５ｃは、図５（ｃ）に示すように、第３領域Ａ３の範囲内において、ほぼ円形の保持枠２１の内寸よりも小さくかつ基板２０の外寸よりも短い刃長を有し、本発明における「第２の上当接部」に相当する。さらに、第２ブレード５ｂは、図３（ｂ）に示すように、ほぼ円形の保持枠２１の内寸よりも小さくかつ基板２０の外寸よりも短い刃長を有するので、これも本発明における「第２の上当接部」に相当する。

【0033】

（ブレーキング動作）
続いて、基板２０のブレーキング動作について説明する。上記したように、第１～第３ブレード５ａ～５ｃのうちブレーキングに使用するいずれかのブレードの下方位置まで支持体２５が移動され、所定位置までの移動が完了すると、支持体２５が走行体２ａ及びベース板２ｂから分離され、図４に示すように、第１～第３ブレード５ａ～５ｃのうちの当該ブレードと支持体２５との間に保持枠２１に保持された基板２０が配置された状態となり、その状態でブレーキング対象であるブレーキング予定線２０ａが、当該ブレードの下方でかつ支持体２５の溝２５ａの上方に位置するように、走行体２ａ及びベース板２ｂの移動、及び、上記した回転機構による回転板２ｃの回転により基板２０の位置が微調整され、溝２５ａの両側の支持体２５の上面である当接面２５ｂ，２５ｂの２つの支持点において基板２０の下面側が支持される。

【0034】

このように、当接面２５ｂ，２５ｂの２つの支持点において基板２０の下面側が支持された状態で、例えば図５（ａ）に示す第１領域Ａ１のブレーキング予定線２０ａのブレーキングを行う場合、支持部６ａの上下動機構３１ａの下方のガイド体３１ａ２が下動して第１ブレード５ａの下端が基板２０を覆う粘着シート２２の上面に接触され、さらにガイド体３１ａ２の下動により所定の小さな圧力が付加され、この状態でシリンダ３２ａが作動されて基板２０に曲げ応力が加えられ、第１ブレード５ａが下方に一気に加圧される。

【0035】

このとき、図４に示すように、ブレーキング対象のブレーキング予定線２０ａを挟んで基板２０の下面側に支持体２５の溝２５ａを挟む２つの上面の当接面２５ｂ，２５ｂが基板２０の下面側に当接した状態で支持された状態で、図４中の矢印に示すような加圧力が加圧シリンダにより加えられることにより、基板２０に対し当該ブレーキング予定線２０ａにおいて曲げ応力が加えられて基板２０の当該ブレーキング予定線２０ａが破断し、いわゆる３点ブレーキングが行われる。

【0036】

そして、１つのブレーキング予定線２０ａのブレーキングが終了すると、走行体２ａ及びベース板２ｂが移動されて次のブレーキング予定線２０ａが第１ブレード５ａの下方位置に移動されて、上記したブレーキング動作が繰り返される。また、格子状のブレーキング予定線２０ａの例えば横方向のブレーキング予定線２０ａの切断が終了して縦方向のブレーキング予定線２０ａのブレーキングを行う場合、上記した回転機構により回転板２ｃが９０°回転されて、縦方向のブレーキング予定線２０ａが第１ブレード５ａの刃長方向に平行に配置されてブレーキングが行われる。

【0037】

さらに、他の第２、第３領域Ａ２，Ａ３のブレーキング予定線２０ａのブレーキングを行う場合、走行体２ａ及びベース板２ｂが第２ブレード５ｂ、第３ブレード３ｃの下方位置まで適宜移動され、上記した第１領域Ａ１のブレーキングと同様の動作により、各領域Ａ２，Ａ３のブレーキング予定線２０ａのブレーキングが繰り返し行われる。その後、全てのブレーキング予定線２０ａでのブレーキングが終了すると、基板２０は複数のチップ領域に切断分離され、粘着シート２２及び保護シート２３から切断分離されたチップが剥離されて回収される。

【0038】

このとき、刃長の異なるブレードを切り替えて使用し、基板２０の各領域Ａ１～Ａ３のブレーキング予定線２０ａのブレーキングを行うため、サイズの異なる基板２０をブレーキングする場合であっても、１つのサイズの保持枠２１を使用して異なるサイズの基板をブレーキングすることができ、従来のように、わざわざ大きなサイズの保持枠に基板を保持する付け替えを行う必要がない。

【0039】

したがって、上記した実施形態によれば、保持枠２１の内側に収まる異なる刃長の第１～第３ブレード５ａ，５ｂ，５ｃが用意され、各ブレード５ａ～５ｃを加圧シリンダ３２ａ～３２ｃによりそれぞれ加圧するようにし、ブレーキング対象のブレーキング予定線２０ａの長さに応じた刃長のブレードの下方位置に、移動手段である駆動機構４により基板２０を保持枠２１ごと移動させるため、サイズの異なる基板２０をブレーキングする場合であっても、１つのサイズの保持枠２１を使用して異なるサイズの基板２０をブレーキングすることができる。

【0040】

そのため、従来のように、大きなサイズの保持枠に基板を保持する付け替えを行う必要がなくなり、１つの工程でブレーキング作業を行うことができ、ブレーキングに要するコストの上昇を招くことを防止でき、ブレーキングの作業効率の向上を図ることができる。

【0041】

また、ブレーキング対象のブレーキング予定線２０ａを挟んで支持体２５の２つの当接面２５ｂ，２５ｂが基板２０の下面側に当接した状態で、支持体２５の２つの当接面２５ｂ，２５ｂの間の溝２５ａの上方にブレーキング予定線２０ａを位置させ、さらにそのブレーキング予定線２０ａの上方に使用予定のブレードが位置するように基板２０が保持枠２１ごと移動されるため、基板２０のブレーキング対象のブレーキング予定線２０ａの近傍を３点で支持して曲げ応力を加えることができ、いわゆる３点ブレーキングにより基板２０を容易にブレーキングすることができる。

【0042】

また、基板２０を、ブレーキング予定線２０ａの長さによって第１～第３領域Ａ１～Ａ３の３つに分け、各領域に応じて刃長の異なるブレードを使い分けてブレーキングを行うため、使用するブレードの切り替えにより、ブレーキング作業を効率よく行うことができる。

【0043】

また、格子状のブレーキング予定線２０ａのブレーキングの際に、回転板２ｃの回転により基板２０を保持枠２１ごと回転させるため、縦、横のブレーキング予定線２０ａのブレーキングを行うことができる。

【0044】

（第２実施形態）
本発明に係るブレーキング装置の第２実施形態について、図６、図７を参照して説明する。なお、本実施形態における装置構成は、上記した第１実施形態とほぼ同じであるため、以下では図１ないし図５も参照しつつ主として第１実施形態と相違する点について説明することとする。

【0045】

本実施形態では、図６に示すように、上記した第１実施形態における支持体２５に代えて、上面に１つの当接面を有する支持体２５’を用い、支持体２５’の上面に、弾性を有する緩衝シートＳＡを貼り付けて緩衝層を形成し、ブレーキングに使用するブレード５ａ，５ｂ，５ｃのいずれかと支持体２５’との間に、保持枠２１に保持された基板２０を配置するとともに、ブレーキング対象であるブレーキング予定線２０ａが、ブレーキングに使用するブレード５ａ，５ｂ，５ｃのいずれかの先端と支持体２５’との間に位置するように、走行体２ａ及びベース板２ｂの移動、及び、上記した回転機構による回転板２ｃの回転により基板２０の位置を微調整し、支持体２５’による下１点とブレードによる上１点の２つの支持点において、基板２０をブレーキング対象であるブレーキング予定線２０ａで支持しつつブレーキングを行うようにした点が、上記した第１実施形態と異なる。

【0046】

なお、緩衝シートＳＡは、例えば厚さ１００μｍのＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）のベース材の下面に厚さ１８０μｍの例えばアクリル系粘着剤から成る粘着層が形成され、粘着層が支持体２５’の上面に貼り付けられている。なお、緩衝シートＳＡは、シリコンゴムをはじめ、ニトリルゴム、クロロプレンゴム、ＥＰＤＭ、フッ素ゴム、ウレタンゴム、アクリルゴムなどのゴムシートに粘着層を形成したものや、ＰＰ（ポロプロピレン）、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ＰＥ（ポロエチレン）、ポリオレフィン、アクリル、ポリイミドなどの樹脂製のベース板に粘着層を形成したものであるのが望ましい。

【0047】

本実施形態では、ブレーキングの際、支持体２５’と基板２０との間に弾性を有する緩衝シートＳＡが配置されるため、ブレーキングした基板２０に生じる過剰な応力が緩衝シートＳＡにより吸収され、その結果、ブレーキングに使用する加圧シリンダ３２ａ，３２ｂ，３２ｃのいずれかの加圧力による過剰な応力によって、ブレーキングされた後の基板２０のエッジに欠け（チッピング）が生じることを未然に防止できる。

【0048】

また、格子状のブレーキング予定線２０ａのうち基板２０の周縁に近いブレーキング予定線２０ａをブレーキングする場合には、図７に示すように、基板２０の周縁に近いブレーキング予定線２０ａがブレード５ａ，５ｂ，５ｃの長さ方向に平行で、かつ、ブレーキングに使用するブレード５ａ，５ｂ，５ｃのいずれかの先端と支持体２５’との間に配置されてブレーキングが行われるが、その際、左側の当接体２７ｂが基板２０の外方にずれてはみ出すことがなく、基板２０の当該ブレーキング予定線２０ａの下方に支持体２５’が位置して基板２０を下から支えつつ、支持体２５’と基板２０との間に弾性を有する緩衝シートＳＡが配置された状態でブレーキングされる。

【0049】

そのため、基板２０の周縁に近いブレーキング予定線２０ａをブレーキングする場合であってもブレーキングに使用する加圧シリンダ３２ａ，３２ｂ，３２ｃのいずれかの加圧力による過剰な応力によって、ブレーキングされた後の基板２０のエッジに欠け（チッピング）が生じることを未然に防止できる。

【0050】

したがって、第２実施形態によれば、上記した第１実施形態が奏する効果に加えて、支持体２５’と基板２０との間に介在した弾性を有する緩衝シートＳＡにより、ブレーキングした後に基板２０のエッジに生じる過剰な応力を吸収できるため、従来のように、過剰な応力によってブレーキングされた基板のエッジに欠け（チッピング）が生じるのを未然に防止することができる。

【0051】

なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。

【0052】

例えば、上記した実施形態では、基板２０を、ブレーキング予定線２０ａの長さに応じて第１～第３領域Ａ１～Ａ３の３つに分けた場合について説明したが、２つの領域或いは４つ以上の領域に分けてもよい。それに伴い、使用するブレードとして２種類或いは４種類以上の刃長の異なるものを用意するとよい。

【0053】

また、本発明の割断手段である下当接部としての支持体２５が、上記した第１～第３ブレード５ａ，５ｂ，５ｃの刃長のように、複数の異なる長さのものであってもよい。この場合、第１ブレード５ａが「第１の上当接部」に、第２、第３ブレード５ｂ，５ｃが「第２の上当接部」に相当するように、長さによって各支持体が「第１の下当接部」、「第２の下当接部」に相当する。

【0054】

また、上記した実施形態では、基板２０のブレーキング対象のブレーキング予定線２０ａ上に曲げ応力を付与する応力付与手段を加圧シリンダ３２ａ，３２ｂ，３２ｃとして説明したが、応力付与手段はこのような加圧シリンダ３２ａ，３２ｂ，３２ｃに限定されるものではない。

【0055】

また、基板２０を保持枠２１ごと移動させる移動手段である駆動機構４は、記した構成に限定されるものではない。

【0056】

また、ブレード５ａ，５ｂ，５ｃ及び支持体２５から成る割断手段は、上記した構成に限定されるものではなく、ブレーキング対象のブレーキング予定線２０ａの上下に位置して基板２０の上面及び下面に接離自在に当接する上、下当接部を有するものであって、応力付与手段により基板に対して曲げ応力を付与し得る構成であればよい。

【0057】

また、上記した第２実施形態では、支持体２５’の上面に乾燥シートＳＡ（緩衝層）を設けた場合について説明したが、保護シート２３を貼り付けない基板２０の下面に緩衝シーＳＡを貼り付けるようにしてもよい。

【0058】

そして、本発明は、基板の下面側に縦横に形成された複数のブレーキング予定線のうち、ブレーキング対象のブレーキング予定線に沿って基板をブレーキングするブレーキング装置に適用することができる。

【符号の説明】

【0059】

１ …ブレーキング装置
２ｃ１，２ｃ２…ギヤ（回転機構）
４ …駆動機構（移動手段）
５ａ，５ｂ，５ｃ …第１、第２、第３ブレード（割断手段、上当接部）
２０ …基板
２０ａ …ブレーキング予定線
２５，２５’ …支持体（割断手段、下当接部）
Ａ１，Ａ２，Ａ３…第１、第２、第３領域
ＳＡ …緩衝シート（緩衝層）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】