特開 2024-32238 持ち上げ装置、及び搬送システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024032238

(43)【公開日】2024-03-12

(54)【発明の名称】持ち上げ装置、及び搬送システム

(51)【国際特許分類】

   B25J 15/06 20060101AFI20240305BHJP

【ＦＩ】

B25J15/06 S

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022135795

(22)【出願日】2022-08-29

(71)【出願人】

【識別番号】599016431

【氏名又は名称】学校法人 芝浦工業大学

(71)【出願人】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107836

【弁理士】

【氏名又は名称】西 和哉

(72)【発明者】

【氏名】長谷川 忠大

(72)【発明者】

【氏名】中島 丈裕

【テーマコード（参考）】

3C707

【Ｆターム（参考）】

3C707AS01

3C707BS09

3C707DS01

3C707FS10

3C707FT07

3C707FU01

3C707FU02

3C707GU01

3C707HS13

3C707HT22

3C707MT05

3C707NS06

3C707NS19

(57)【要約】

【課題】対象物を吸着した状態で、対象物を、より確実に持ち上げることが可能な持ち上げ装置、及び搬送システムを提供すること。
【解決手段】持ち上げ装置２は、四角箱状の対象物１００の一側面１００ｆを吸着する吸着機構２０と、吸着機構２０を対象物１００の底部稜線１００ｂを中心として円弧状に移動させることで対象物１００を持ち上げる移動機構３０と、を備える。吸着機構２０は、ブラケット２１と、吸着パッド２３と、ブラケット２１の上部２１ｔが一側面１００ｆに近づくのを規制する規制部材２６と、を含む。移動機構３０は、ブラケット２１を、吸着パッド２３の吸着方向及び鉛直方向の双方に直交するチルト軸３５の軸まわりに揺動可能に支持するベース部材３２と、ブラケット２１のチルト軸３５よりも上部２１ｔが一側面１００ｆから離れる方向の復元力を付与する弾性部材３４と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

四角箱状の対象物の一側面を吸着する吸着機構と、前記一側面を吸着した前記吸着機構を前記対象物の前記一側面とは反対側の側面における底部稜線を中心として円弧状に移動させることで前記対象物を持ち上げる移動機構と、を備える持ち上げ装置であって、
前記吸着機構は、
ブラケットと、
前記ブラケットに保持され、前記対象物の前記一側面の表面性状に倣って変形可能な吸着面を有する吸着パッドと、
前記吸着パッドによる前記一側面の吸着位置よりも上方の位置で前記一側面に接触することで、前記ブラケットの上部が前記一側面に近づくのを規制する規制部材と、を含み、
前記移動機構は、
前記ブラケットを、前記吸着パッドの吸着方向及び鉛直方向の双方に直交するチルト軸の軸まわりに揺動可能に支持するベース部材と、
前記ブラケットの前記チルト軸よりも上部が前記一側面から離れる方向の復元力を付与する弾性部材と、を備える、持ち上げ装置。

【請求項2】

前記ベース部材に対する前記ブラケットの揺動を、前記ブラケットの前記上部が前記ベース部材に近い第１位置と、前記上部が前記ベース部材から遠い第２位置との範囲に制限する制限部、をさらに備える、請求項１に記載の持ち上げ装置。

【請求項3】

前記ブラケットが前記第１位置である場合、前記吸着パッドの前記吸着面は、持ち上げ前の前記対象物の前記一側面と平行である、請求項２に記載の持ち上げ装置。

【請求項4】

前記復元力によるモーメントは、前記吸着機構の自重により前記チルト軸まわりに前記第２位置に向かう方向に生じるモーメントよりも大きい、請求項３に記載の持ち上げ装置。

【請求項5】

前記弾性部材は、前記対象物を吸着していない場合に、前記ブラケットを前記第１位置に戻すように前記復元力を付与する、請求項４に記載の持ち上げ装置。

【請求項6】

前記吸着機構の重心が、前記チルト軸に一致、又は前記チルト軸の近傍である、請求項５に記載の持ち上げ装置。

【請求項7】

前記規制部材は、
前記吸着パッドよりも上方に延びるアームと、
前記アームから前記対象物側に延び、前記対象物に接触可能な接触部材と、を備える、請求項１に記載の持ち上げ装置。

【請求項8】

前記接触部材は、前記吸着パッドで前記一側面を吸着した状態で、前記一側面に接触する、請求項７に記載の持ち上げ装置。

【請求項9】

請求項１から８のいずれか一項に記載の持ち上げ装置と、
前記持ち上げ装置により前記一側面が持ち上げられた前記対象物の下方に挿入され、前記対象物が載置される支持部材と、を備える、搬送システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、持ち上げ装置、及び搬送システムに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、対象物の表面に倣って変形可能な誘電体からなる接触部材と、接触部材に電圧を印加可能な一対の電極と、を備えた静電吸着装置の構成が開示されている。これらの構成において、一対の電極で接触部材に電圧を印加することによって、接触部材が静電力を発生し、対象物を吸着する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２１－６１６８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、上記の構成では、接触部材が、ダンボール容器等の四角箱状の対象物の一側面を吸着した状態で、対象物を持ち上げようとすると、接触部材が一側面から剥がれてしまう場合がある。

【0005】

本発明は、対象物を吸着した状態で、対象物を、より確実に持ち上げることが可能な持ち上げ装置、及び搬送システムを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一態様に係る持ち上げ装置は、四角箱状の対象物の一側面を吸着する吸着機構と、一側面を吸着した吸着機構を対象物の一側面とは反対側の側面における底部稜線を中心として円弧状に移動させることで対象物を持ち上げる移動機構と、を備える持ち上げ装置であって、吸着機構は、ブラケットと、ブラケットに保持され、対象物の一側面の表面性状に倣って変形可能な吸着面を有する吸着パッドと、吸着パッドによる一側面の吸着位置よりも上方の位置で一側面に接触することで、ブラケットの上部が一側面に近づくのを規制する規制部材と、を含み、移動機構は、ブラケットを、吸着パッドの吸着方向及び鉛直方向の双方に直交するチルト軸の軸まわりに揺動可能に支持するベース部材と、ブラケットのチルト軸よりも上部が一側面から離れる方向の復元力を付与する弾性部材と、を備える。

【0007】

本発明の一態様に係る搬送システムは、上記したような持ち上げ装置と、持ち上げ装置により一側面が持ち上げられた四角箱状の対象物の下方に挿入され、対象物が載置される支持部材と、を備える。

【発明の効果】

【0008】

上記態様に係る持ち上げ装置及び搬送システムによれば、対象物を持ち上げる際に、吸着パッドによる対象物の吸着位置よりも上方の位置で、規制部材が対象物に接触する。これらの構成により、回転モーメントによる吸着パッドの変形が抑制される。また、移動機構は、対象物を持ち上げる際、対象物を吸着した吸着機構を、底部稜線を中心として対象物を円弧状に移動させる。これらの構成により、吸着パッドに対して、対象物から剥がれる方向の力が発生することが抑制される。その結果、対象物を吸着した状態で、対象物を、より確実に持ち上げることが可能である。

【0009】

また、上記態様に係る持ち上げ装置及び搬送システムにおいて、ベース部材に対するブラケットの揺動を、ブラケットの上部がベース部材に近い第１位置と、上部がベース部材から遠い第２位置との範囲に制限する制限部、をさらに備えてもよい。これらの構成により、対象物を持ち上げる場合において、吸着パッドを保持するブラケットの上部が対象物の一側面に近づく方向に、ブラケットが過度に変位することが抑えられる。

【0010】

また、上記態様に係る持ち上げ装置及び搬送システムにおいて、ブラケットが第１位置である場合、吸着パッドの吸着面は、持ち上げ前の対象物の一側面と平行であってもよい。これらの構成により、対象物の一側面を吸着パッドで吸着する際、吸着パッドの全面を対象物の一側面に容易に沿わせることができる。従って、吸着パッドによる対象物の一側面の吸着を、容易かつ確実に行うことができる。

【0011】

また、上記態様に係る持ち上げ装置及び搬送システムにおいて、復元力によるモーメントは、吸着機構の自重によりチルト軸まわりに第２位置に向かう方向に生じるモーメントよりも大きくてもよい。これらの構成により、対象物を吸着していない場合に、弾性部材が、ブラケットを第１位置に維持させることができる。従って、対象物の一側面を吸着パッドで吸着する際、吸着パッドの吸着面が、対象物の一側面と平行となる。従って、吸着パッドの全面を対象物の一側面に容易に沿わせ、吸着パッドによる対象物の一側面の吸着を、容易かつ確実に行うことができる。

【0012】

また、上記態様に係る持ち上げ装置及び搬送システムにおいて、弾性部材は、対象物を吸着していない場合に、ブラケットを第１位置に戻すように復元力を付与してもよい。これらの構成により、対象物の一側面を吸着パッドで吸着する際、吸着パッドの全面を対象物の一側面に容易に沿わせることができる。従って、吸着パッドによる対象物の一側面の吸着を、容易かつ確実に行うことができる。

【0013】

また、上記態様に係る持ち上げ装置及び搬送システムにおいて、吸着機構の重心が、チルト軸に一致、又はチルト軸の近傍であってもよい。これらの構成により、対象物を持ち上げる際、弾性部材によって付与する復元力をより小さい値に設定することができ、より確実に対象物を持ち上げることができる。

【0014】

また、上記態様に係る持ち上げ装置及び搬送システムにおいて、規制部材は、吸着パッドよりも上方に延びるアームと、アームから対象物側に延び、対象物に接触可能な接触部材と、を備えてもよい。このような構成により、ブラケットの上部が対象物の一側面に近づくことが規制され、吸着パッドの下部が、対象物から剥がれる方向に変位することが抑えられる。

【0015】

また、上記態様に係る持ち上げ装置及び搬送システムにおいて、接触部材は、吸着パッドで対象物の一側面を吸着した状態で、その一側面に接触してもよい。このような構成により、吸着パッドの変形が抑制され、対象物を吸着した状態で、対象物を、より確実に持ち上げることが可能である。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】実施形態に係る搬送システムの一例を示す図である。

【図2】実施形態に係る持ち上げ装置の構成を示す側面図である。

【図3】図２の持ち上げ装置の平面図である。

【図4】図２の持ち上げ装置の吸着機構をチルト軸まわりに回動させた状態を示す図である。

【図5】図３のＩ－Ｉ矢視断面図である。

【図6】実施形態に係る持ち上げ装置の吸着パッドの電極部の一例を示す図である。

【図7】実施形態に係る持ち上げ装置の動作の一例を示す図である。

【図8】実施形態に係る持ち上げ装置の動作の一例を示す図である。

【図9】実施形態に係る持ち上げ装置の動作の一例を示す図である。

【図10】実施形態に係る持ち上げ装置の動作の一例を示す図である。

【図11】実施形態に係る持ち上げ装置の動作の一例を示す図である。

【図12】実施形態に係る対象物を持ち上げた状態における、対象物に作用する力及びモーメントの関係を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこの形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きく又は強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。

【0018】

以下の説明では、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する場合がある。ＸＹＺ座標系は、持ち上げ装置２で対象物１００の一側面１００ｆを吸着する際、一側面１００ｆに平行な平面をＸＹ平面とする。このＸＹ平面において、水平方向に沿う方向をＸ方向と表記し、Ｘ方向に直交する方向をＹ方向と表記する。また、ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。換言すると、Ｚ方向は、一側面１００ｆに直交する方向（法線方向）である。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が＋方向であり、矢印と反対の方向が－方向であるとして説明する。

【0019】

図１は、実施形態に係る搬送システム１の一例を示す図である。図１に示すように、搬送システム１は、持ち上げ装置２と、支持部材７とを備える。搬送システム１は、例えば四角箱状の対象物１００を搬送する。四角箱状の対象物１００は、例えばダンボール容器である。ただし、対象物１００は、ダンボール容器に限定されない。対象物１００の形状は、樹脂系材料、木質系材料、金属系材料などの様々な材料から形成された四角箱状の形態であってもよい。

【0020】

持ち上げ装置２及び支持部材７は、搬送ユニット５に備えられる。搬送ユニット５は、例えば、搬送システム１に備えられた軌条又は軌道（図示無し）に沿って移動可能に構成される。搬送ユニット５は、軌条又は軌道に沿って移動可能なユニット本体（図示無し）と、ユニット本体に設けられたホイスト５ａとを備える。ホイスト５ａは、例えば、多軸のロボットアームである。持ち上げ装置２及び支持部材７は、搬送ユニット５のホイスト５ａの先端部に備えられる。なお、搬送ユニット５は、軌条に沿って移動可能な構成に限定されない。

【0021】

持ち上げ装置２は、載置面２００に載置された四角箱状の対象物１００を、載置面２００から持ち上げる。持ち上げ装置２は、対象物１００の一側面１００ｆを吸着した状態で、対象物１００を持ち上げる。持ち上げ装置２は、持ち上げた対象物１００を、支持部材７に載せる。搬送システム１は、対象物１００が支持部材７に載置した状態で、対象物１００を搬送する。

【0022】

図２は、持ち上げ装置２の構成を示す側面図である。図３は、図２の持ち上げ装置２の平面図である。図４は、図２の持ち上げ装置２の吸着機構２０をチルト軸３５まわりに回動させた状態を示す図である。図５は、図３のＩ－Ｉ矢視断面図である。図２～図５に示すように、持ち上げ装置２は、吸着機構２０と、移動機構３０とを備える。

【0023】

吸着機構２０は、対象物１００の一側面１００ｆを吸着する。吸着機構２０は、ブラケット２１と、吸着部材２２と、規制部材２６とを含む。ブラケット２１は、移動機構３０のベース部材３２に支持される。ブラケット２１は、例えば、上方から見てコ字状に形成される。ブラケット２１は、板状のプレート部２１ａと、一対の端壁部２１ｂとを一体に備える。プレート部２１ａは、ＸＹ平面に沿った板状に形成される。一対の端壁部２１ｂは、プレート部２１ａのＸ方向両端部から、Ｚ方向に立ち上がる。

【0024】

吸着部材２２は、吸着パッド２３と、パッド保持部材２４とを備える。吸着パッド２３は、誘電体により形成される。吸着パッド２３は、対象物１００の一側面１００ｆに対向する側に、一側面１００ｆに接触する吸着面２３ｆを有する。吸着パッド２３は、Ｚ方向から見て、例えば、一辺が１０ｍｍ～５００ｍｍの矩形状に設定される。吸着パッド２３は、Ｚ方向から見て、円形状であってもよい。この場合、吸着パッド２３は、例えば外径が１０ｍｍ～５００ｍｍ程度に設定されてもよい。吸着パッド２３の厚みは、特に限定されないが、例えば、厚さ０．０５ｍｍ～１０ｍｍ程度に設定される。

【0025】

吸着パッド２３は、少なくとも吸着面２３ｆが対象物１００の一側面１００ｆの表面性状に倣って変形可能である。本実施形態では、吸着パッド２３は、その全体が、対象物１００の一側面１００ｆに倣って変形可能であるが、この形態に限定されない。例えば、吸着パッド２３の吸着面２３ｆ側の一部のみが、対象物１００の一側面１００ｆに倣って変形可能とされていてもよい。

【0026】

吸着パッド２３は、誘電体材料により形成され、誘電体としての性質と絶縁体としての性質とを兼ね備える。本実施形態における絶縁体は、例えば、約１０^１２Ω・ｃｍより大きな抵抗率を有する材料として定義されてもよい。本実施形態における導電体は、例えば、約１０^１２Ω・ｃｍより小さな抵抗率として定義されてもよい。吸着パッド２３は、例えば、対象物１００の一側面１００ｆに倣って変形可能となる弾性及び柔軟性を有する誘電体材料で形成される。

【0027】

なお、上記の誘電体材料は、形成された吸着パッド２３を弾性的に変形可能とする材料に限定されない。例えば、吸着パッド２３を形成する上記の誘電体材料は、屈曲可能であるが実質的に弾性的に伸縮しない薄膜、層状体を形成するための材料が用いられてもよい。また、吸着パッド２３を形成する上記の誘電体材料は、例えば、１０ＭＰａ未満の弾性率、特に１ＭＰａ未満の弾性率を有する柔軟性を有するのが好ましい。

【0028】

このような誘電体材料としては、例えば、ゴム系材料、樹脂系材料等が挙げられる。より具体的には、吸着パッド２３を形成する誘電体材料としては、架橋性のゴム、非架橋性の熱可塑性エラストマ、軟質樹脂等が挙げられる。吸着パッド２３を形成する誘電体材料として用いられる架橋性のゴムには、例えば、天然ゴム（ＮＲ）、イソプレンゴム（ＩＲ）、ブタジエンゴム（ＢＲ）、スチレンブタジエンゴム（ＳＢＲ）、ブチルゴム（ＩＩＲ）、アクリロニトリルブタジエンゴム（ＮＢＲ）、エチレンプロピレンジエンゴム（ＥＰＤＭ）、クロロプレンゴム（ＣＲ）、アクリルゴム（ＡＣＭ）、クロロスルホルン化ポリエチレンゴム（ＣＳＭ）、ウレタンゴム（Ｕ）、シリコーンゴム（Ｑ）、フッ素ゴム（ＦＫＭ）、エピクロルヒドリンゴム（ＣＯ）、多硫化ゴム（Ｔ）、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）等がある。

【0029】

また、吸着パッド２３を形成する誘電体材料として用いられる非架橋性の熱可塑性エラストマには、例えば、スチレン系、オレフィン系、ウレタン系、ポリエステル系、ポリアミド系、塩ビ系、フッ素系、アクリル系等の各種の熱可塑性エラストマ等が挙げられる。また、吸着パッド２３を形成する誘電体材料として用いられる軟質樹脂には、例えば、エチレン酢酸ビニル樹脂（ＥＶＡ）、軟質ポリエステル樹脂、低密度ポリエチレン、ポリウレタン（ＰＵ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、アクリル樹脂等の、それ自体が軟質である樹脂が挙げられ、さらに、各種の樹脂に可塑剤を添加して軟質化したもの等、種々の軟質樹脂等が適用可能である。また、吸着パッド２３を形成する誘電体材料には、ガラス繊維又は炭素繊維等を用いた繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）をはじめとする各種の複合材料、ガラス、セラミック等を含ませてもよい。

【0030】

吸着パッド２３の吸着面２３ｆには、複数の凸部（図示無し）を形成してもよい。当該凸部は、吸着面２３ｆの面方向に対して垂直方向に突出する。上記凸部は、吸着面２３ｆの全面にわたって、吸着面２３ｆの面方向に適宜の間隔をあけて複数形成されてもよい。吸着面２３ｆに直交する方向から見たときの上記の凸部形状、吸着面２３ｆからの上記凸部の突出寸法は、何ら限定されず、対象物１００の一側面１００ｆの粗面状態又は一側面１００ｆの材質に応じて適宜設定されてもよい。上記の凸部は、吸着面２３ｆの面方向に沿って規則的に連続して形成されていてもよいし、不規則（ランダム）に形成されてもよい。

【0031】

上記において、吸着面２３ｆに上記の凸部（図示無し）を備えるようにしたが、これに限らない。吸着面２３ｆに、凸部に代えて凹部を備えるようにしてもよい。当該凹部は、吸着面２３ｆの面方向に対して垂直方向に窪んでいる。さらに、吸着面２３ｆに、上記の凸部と上記の凹部とを備えるようにしてもよい。

【0032】

吸着パッド２３は、電極部４０を備える。図６は、本実施形態に係る電極部４０の一例を示す平面図である。電極部４０は、吸着パッド２３に電圧を印加可能である。電極部４０は、第１電極４２と、第２電極４３とを備える。第１電極４２及び第２電極４３は、吸着面２３ｆと平行な面に沿って設けられる。

【0033】

第１電極４２及び第２電極４３のそれぞれは、例えば櫛形の電極である。第１電極４２は、電極幅方向Ｄａに延びる電極基部４２ａと、電極基部４２ａから電極幅方向Ｄａに直交する電極長方向Ｄｂに延びる複数の電極延伸部４２ｂとを有する。複数の電極延伸部４２ｂは、電極幅方向Ｄａに間隔をあけて配置される。第２電極４３は、電極幅方向Ｄａに延びる電極基部４３ａと、電極基部４３ａから電極幅方向Ｄａに直交する電極長方向Ｄｂに延びる複数の電極延伸部４３ｂとを有する。複数の電極延伸部４３ｂは、電極幅方向Ｄａに間隔をあけて配置される。

【0034】

第１電極４２及び第２電極４３は、平面視において互いに間隔をあけて対向するように配置されている。第１電極４２の各部と、第２電極４３の各部とは、絶縁部材４４を介して配置されている。電極延伸部４２ｂは、電極基部４２ａから、第２電極４３の電極基部４３ａに向かって電極長方向Ｄｂに延びる。電極延伸部４２ｂは、第２電極４３において電極幅方向Ｄａで互いに隣り合う２つの電極延伸部４３ｂの間に配置される。電極延伸部４３ｂは、電極基部４３ａから、第１電極４２の電極基部４２ａに向かって電極長方向Ｄｂに延びる。電極延伸部４３ｂは、第１電極４２において電極幅方向Ｄａで互いに隣り合う２つの電極延伸部４２ｂの間に配置される。電極延伸部４２ｂと電極延伸部４３ｂとは、電極幅方向Ｄａに間隔をあけて交互に配置される。

【0035】

第１電極４２及び第２電極４３において、電極幅方向Ｄａで隣り合う電極延伸部４２ｂと電極延伸部４３ｂとが複数組設けられることが好ましい。また、第１電極４２及び第２電極４３において、電極幅方向Ｄａにおいて互いに隣り合う電極延伸部４２ｂと電極延伸部４３ｂとを３組以上備えることが好ましい。また、第１電極４２及び第２電極４３において、電極幅方向Ｄａにおいて互いに隣り合う電極延伸部４２ｂと電極延伸部４３ｂとを６組以上備えることが特に好ましい。なお、第１電極４２及び第２電極４３において、電極幅方向Ｄａで隣り合う電極延伸部４２ｂと電極延伸部４３ｂとの数（組数）は、吸着パッド２３の外形寸法、対象物である対象物１００の重量、一側面１００ｆの粗さ等に応じて適宜に選択される。

【0036】

第１電極４２及び第２電極４３は、吸着面２３ｆに直交する方向に、間隔をあけて複数層に積層して備えるようにしてもよい。その場合、複数層の第１電極４２及び第２電極４３は、積層方向から見て、それぞれ重なる。積層方向から見て、複数層の第１電極４２及び第２電極４３は、それぞれ同極のものが積層される。各層における第１電極４２及び各層における第２電極４３は、同一又はほぼ同一形状であり、積層方向から見て、複数の第１電極４２及び複数の第２電極４３の外周縁は、それぞれ合致する。

【0037】

電極部４０は、吸着パッド２３において、吸着面２３ｆとは反対側に、吸着パッド２３に接触して設けてもよい。電極部４０は、少なくとも一部を吸着パッド２３中に埋没されていてもよい。電極部４０は、吸着パッド２３とともに変形可能とされる。このため、電極部４０は、例えば、カーボンブラック、各種の金属材料を含む導電性材料が膜厚２００μｍ以下に形成された薄膜状であることが好ましい。電極部４０をカーボンブラックにより形成する場合、その膜厚は、例えば２０μｍ程度とされる。

【0038】

図５に示すように、電極部４０は、配線４７を介して、外部の電圧印加部４５に接続される。電圧印加部４５は、配線４７を介して所定の電圧を電極部４０の第１電極４２及び第２電極４３に印加する。電圧印加部４５は、コントローラ５０により、その動作が制御される。電極部４０は、電圧印加部４５により印加される電圧により、吸着パッド２３の吸着面２３ｆに静電吸着力を発生させる。

【0039】

吸着面２３ｆは、電極部４０に電圧を印加することで発生する静電吸着力によって、対象物１００の一側面１００ｆを吸着する。なお、吸着面２３ｆが対象物１００の一側面１００ｆを吸着した状態において、対象物１００と吸着面２３ｆとの間に生じるせん断摩擦力が、予め設定した基準値以上となるように、吸着パッド２３の材料、凸部の数、大きさ、突出寸法、材質等が設定されることが好ましい。

【0040】

吸着パッド２３において、吸着面２３ｆとの反対側には、取付ボス２３ｂが形成される。取付ボス２３ｂは、吸着パッド２３をＺ方向から見た際に、吸着パッド２３の中央部に配置される。取付ボス２３ｂは、－Ｚ方向（一側面１００ｆから離間する方向）に突出する。取付ボス２３ｂは、パッド保持部材２４に支持される。パッド保持部材２４によって保持される取付ボス２３ｂの部分においては、取付ボス２３ｂに対して外周側の部分に比較すると、吸着パッド２３の変形量が少ない。

【0041】

パッド保持部材２４は、吸着パッド２３に対し、Ｚ方向において、一側面１００ｆとは反対側に配置される。パッド保持部材２４は、Ｚ方向から見て、例えば矩形の板状に形成される。パッド保持部材２４は、樹脂等の絶縁性材料又は非導電性の金属材料により形成される。パッド保持部材２４が導電性の金属材料で形成された場合、パッド保持部材２４と吸着パッド２３との間に絶縁性材料を介在させることが好ましい。

【0042】

図３に示すように、パッド保持部材２４は、取付部材２５を介してブラケット２１に取り付けられる。パッド保持部材２４は、取付部材２５に対し、Ｚ方向に沿って相対移動が可能に支持される。パッド保持部材２４は、一対のガイドシャフト２４２を有する。一対のガイドシャフト２４２のそれぞれは、パッド保持部材２４から－Ｚ方向に突出する。取付部材２５は、一対のガイドシャフト２４２が挿通される挿通孔２５ｈを有する。一対のガイドシャフト２４２は、挿通孔２５ｈを通して、取付部材２５に対して－Ｚ方向に突出して延びる。一対のガイドシャフト２４２は、挿通孔２５ｈの内側でＺ方向に移動可能とされる。一対のガイドシャフト２４２における－Ｚ方向の先端部と、取付部材２５との間には、コイルスプリング２４１が挟み込まれる。コイルスプリング２４１は、一対のガイドシャフト２４２を、－Ｚ方向に押圧するように（パッド保持部材２４を＋Ｚ方向に押圧するように）弾性力を付与する。この構成により、吸着パッド２３及びパッド保持部材２４は、対象物１００の一側面１００ｆに接触する際に、－Ｚ方向に変位可能に構成される。

【0043】

図３及び図５に示すように、パッド保持部材２４には、配線スリーブ２４ｗが設けられる。配線スリーブ２４ｗは、パッド保持部材２４において、吸着パッド２３とは反対側に配置される。配線スリーブ２４ｗは、－Ｚ方向に筒状に延びる。配線スリーブ２４ｗは、取付部材２５及びブラケット２１を貫通し、－Ｚ方向に突出する。一端が電極部４０に接続された配線４７は、配線スリーブ２４ｗ内を通して、－Ｚ方向に導出される。

【0044】

図５に示すように、規制部材２６は、パッド保持部材２４の上部に設けられる。本実施形態において、規制部材２６は、Ｘ方向に間隔をあけて２個設けられる。ただし、規制部材２６の数は、２つに限定されず、１つのみでもよいし、３つ以上であってもよい。各規制部材２６は、アーム２７と、接触部材２８とを備える。アーム２７の下端部は、パッド保持部材２４に固定される。アーム２７は、パッド保持部材２４から上方に突出する。アーム２７は、吸着パッド２３よりも上方に延びる。

【0045】

接触部材２８は、アーム２７の上端部に設けられる。接触部材２８は、アーム２７からＺ方向に沿って対象物１００側に延びる。接触部材２８の先端は、吸着パッド２３で対象物１００の一側面１００ｆを吸着した際に、対象物１００の一側面１００ｆに接触可能である。本実施形態において、接触部材２８の先端は、Ｚ方向において、吸着パッド２３の吸着面２３ｆと同一位置に配置される。これにより、接触部材２８の先端は、吸着パッド２３で対象物１００の一側面１００ｆを吸着した際に、対象物１００の一側面１００ｆに接触する。

【0046】

なお、接触部材２８の先端は、吸着パッド２３で対象物１００の一側面１００ｆを吸着した際に、対象物１００の一側面１００ｆに対し、僅かな隙間を隔ててもよい。この場合、一側面１００ｆに対し、吸着機構２０の上部が一側面１００ｆに接近する方向に変位した場合に、接触部材２８の先端と一側面１００ｆとの隙間が狭まり、接触部材２８の先端が一側面１００ｆに接触する。このような規制部材２６は、吸着パッド２３による一側面１００ｆの吸着位置よりも上方の位置で一側面１００ｆに接触することで、ブラケット２１の上部２１ｔが一側面１００ｆに近づくのを規制する。

【0047】

移動機構３０は、一側面１００ｆを吸着した吸着機構２０を移動させることで、対象物１００を持ち上げる。移動機構３０は、一側面１００ｆを吸着した吸着機構２０を移動させることで、対象物１００の一側面１００ｆとは反対側の側面１００ｇにおける底部稜線１００ｂ（図１参照）を中心として、対象物１００を円弧状に移動させる。図２及び図４に示すように、移動機構３０は、ベース部材３２と、制限部３６と、弾性部材３４とを備える。

【0048】

ベース部材３２は、ホイスト５ａの先端部に取り付けられる。ベース部材３２は、例えば、上方から見てコ字状に形成される。ベース部材３２は、板状のプレート部３２ａと、一対の端壁部３２ｂとを一体に備える。プレート部３２ａは、ＸＹ平面に沿った板状に形成される。一対の端壁部３２ｂは、プレート部３２ａのＸ方向両端部から、Ｚ方向に立ち上がる。ブラケット２１は、一対の端壁部３２ｂの内側に配置される。

【0049】

ベース部材３２は、ブラケット２１を、Ｚ方向に沿った吸着パッド２３の吸着方向とＹ方向（鉛直方向）との双方に直交するチルト軸３５の軸まわりに揺動可能に支持する。このため、ベース部材３２とブラケット２１は、チルト軸３５を介して連結される。チルト軸３５は、Ｘ方向の両側で、ベース部材３２の端壁部３２ｂと、ブラケット２１の端壁部２１ｂとを、Ｘ方向に延びる軸まわりに回動自在に連結する。この構成により、吸着機構２０は、チルト軸３５の軸まわりに回動自在に支持される。このとき、吸着機構２０の重心の位置（重心位置）ｃｄは、チルト軸３５に一致、又はチルト軸３５の近傍に配置されるのが好ましい。ここで、チルト軸３５の近傍とは、チルト軸３５の中心から、半径１０ｍｍ程度の範囲を指す。

【0050】

制限部３６は、ベース部材３２に対するブラケット２１の揺動範囲を制限する。制限部３６は、ガイドスリット３６ａと、ガイドピン３６ｂとを有する。ガイドスリット３６ａは、ベース部材３２の端壁部３２ｂに形成される。ガイドスリット３６ａは、チルト軸３５を中心とした円弧状に延びる。ガイドピン３６ｂは、ブラケット２１の端壁部２１ｂに設けられる。ガイドピン３６ｂは、ガイドスリット３６ａ内に挿入される。ブラケット２１がチルト軸３５の軸まわりに回動すると、ガイドピン３６ｂが、ガイドスリット３６ａに沿って移動する。ガイドピン３６ｂが、ガイドスリット３６ａの両端部に突き当たることで、ブラケット２１のチルト軸３５の軸まわりの揺動範囲が制限される。

【0051】

制限部３６は、ベース部材３２に対するブラケット２１の揺動を、ブラケット２１の上部２１ｔがベース部材３２に近い第１位置Ｐ１（図２参照）と、上部２１ｔがベース部材３２から遠い第２位置Ｐ２（図４参照）との間の範囲に制限する。図２に示すように、第１位置Ｐ１は、ガイドピン３６ｂが、ガイドスリット３６ａの一方の端部に突き当たった状態であり、ブラケット２１の上部２１ｔがベース部材３２に近い状態とされる。本実施形態において、第１位置Ｐ１では、ブラケット２１は、吸着パッド２３の吸着面２３ｆが、ＸＹ平面に沿い、持ち上げ前の対象物１００の一側面１００ｆと平行となる。図４に示すように、第２位置Ｐ２は、ガイドピン３６ｂが、ガイドスリット３６ａの他方の端部に突き当たった状態であり、ブラケット２１の上部２１ｔが、ベース部材３２から遠い状態とされる。本実施形態において、ブラケット２１は、吸着パッド２３の吸着面２３ｆが、最大限に持ち上げた状態の対象物１００の一側面１００ｆと平行となる。

【0052】

図２及び図４に示すように、弾性部材３４は、ブラケット２１においてチルト軸３５よりも上部２１ｔに対して、一側面１００ｆから離れる方向の復元力（弾性力）を付与する。弾性部材３４は、対象物１００を吸着していない場合に、ブラケット２１を第１位置Ｐ１に戻すように復元力を付与する。このような構成により、吸着機構２０が対象物１００に接触していない状態、すなわちブラケット２１が第１位置Ｐ１である場合に、吸着パッド２３の吸着面２３ｆは、持上げ前の対象物１００の一側面１００ｆと平行に維持することが可能となる。なお、一例として、弾性部材３４は、ベース部材３２の端壁部３２ｂに設けられたピン３２ｐと、ブラケット２１の端壁部２１ｂに設けられたピン２１ｐとに係止される。

【0053】

本実施形態において、弾性部材３４は、チルト軸３５に対して上方に配置され、ブラケット２１のチルト軸３５よりも上部２１ｔを、一側面１００ｆから離れる方向に引き寄せる。なお、弾性部材３４は、チルト軸３５よりも下側に配置し、ブラケット２１のチルト軸３５よりも下部２１ｄを、一側面１００ｆに接近する方向に押し付けるようにしてもよい。

【0054】

ここで、ブラケット２１に作用する弾性部材３４の復元力によるモーメントは、吸着機構２０の自重によりチルト軸３５の軸まわりに第２位置Ｐ２に向かう方向に生じるモーメント（以下、「自重によるモーメント」という。）よりも大きい。なお、上記の復元力によるモーメントは、自重によるモーメントよりも大きいことを条件としてなるべく小さい方が好ましい。例えば、上記の復元力によるモーメントは、自重によるモーメントに対し、２０％以下であるのが好ましい。

【0055】

図１に示すように、支持部材７は、搬送ユニット５において、持ち上げ装置２の下方に配置される。支持部材７は、トレー７１と、進退機構（図示無し）とを備える。トレー７１は、例えば平面視矩形の板状である。トレー７１は、対象物１００を下方から支持する。トレー７１は、持ち上げ装置２により持ち上げられた対象物１００の下方に挿入される。トレー７１には、持ち上げ装置２により持ち上げられた対象物１００が載置される。

【0056】

進退機構（図示無し）は、トレー７１をＺ方向に沿って進退させる。進退機構は、例えば、ガイドレールに沿ってトレー７１を進退させる機構、エアシリンダ、及び油圧シリンダによってトレー７１を進退させる機構と、ラック・アンド・ピニオン機構とによってトレー７１を進退させる機構が適宜採用されてもよい。上記の進退機構の動作は、コントローラ５０により制御される。

【0057】

図７は、持ち上げ装置２の動作の一例を示す図である。図８は、図７に続いて、持ち上げ装置２の動作の一例を示す図である。図９は、図８に続いて、持ち上げ装置２の動作の一例を示す図である。図１０は、図９に続いて、持ち上げ装置２の動作の一例を示す図である。図１１は、図１０に続いて、持ち上げ装置２の動作の一例を示す図である。

【0058】

搬送システム１で、対象物１００を持ち上げるには、まず、図７に示すように、搬送ユニット５を、対象物１００の一側面１００ｆに対し、Ｚ方向で対向する位置に配置する。次に、図８に示すように、ホイスト５ａにより、持ち上げ装置２をＺ方向に移動させ、吸着パッド２３の吸着面２３ｆを、対象物１００の一側面１００ｆに接触させる。この際、図８に例示する場合には、規制部材２６の接触部材２８は、吸着パッド２３の上側で、一側面１００ｆに接触する。

【0059】

持ち上げ装置２は、初期状態において、ブラケット２１が、制限部３６の第１位置Ｐ１に位置する。第１位置Ｐ１では、吸着パッド２３の吸着面２３ｆが、持ち上げ前の対象物１００の一側面１００ｆと平行となる。従って、持ち上げ装置２をＺ方向に移動させれば、吸着パッド２３の吸着面２３ｆの全体が一側面１００ｆに容易に接触する。

【0060】

図８に示すように、吸着パッド２３の吸着面２３ｆと、接触部材２８とが一側面１００ｆに接触している状態で、電圧印加部４５は、第１電極４２及び第２電極４３にそれぞれ逆位相の電圧を印加する。すると、第１電極４２及び第２電極４３からの電界により、吸着パッド２３が接触している対象物１００の内部に誘電分極が発生して帯電する。このため、吸着パッド２３と対象物１００との間にクーロン力が発生し、吸着面２３ｆに、対象物１００の一側面１００ｆが静電吸着される。

【0061】

次に、持ち上げ装置２は、図９に示すように、静電吸着した対象物１００を持ち上げる。このとき、移動機構３０は、ホイスト５ａを動作させ、一側面１００ｆを吸着した吸着機構２０を移動させることで、対象物１００を持ち上げる。この際、本実施形態に係る移動機構３０は、一側面１００ｆを吸着した吸着機構２０を、底部稜線１００ｂを中心として円弧状に移動させることで対象物１００を持ち上げる。換言すれば、移動機構３０は、一側面１００ｆを吸着した吸着機構２０を、真上、すなわち＋Ｙ方向に移動させるのではなく、＋Ｙ方向から対象物１００側に傾いた斜め方向に吸着機構２０を移動させる。これにより、吸着機構２０は、図９に例示されるように、円弧状の軌跡ＭＬを描くように移動する。

【0062】

ここで、対象物１００を持ち上げる際に吸着機構２０を＋Ｙ方向に移動させると、対象物１００を－Ｚ方向に引き出す力が発生し、結果として吸着パッド２３に対して、対象物１００から剥がれる方向の力が発生してしまう。そのため、対象物１００を持ち上げようとすると、吸着パッド２３が一側面１００ｆから剥がれてしまう場合が起こり得る。一方、本実施形態に係る持ち上げ装置２は、対象物１００を持ち上げる際には、底部稜線１００ｂを中心として円弧状に吸着機構２０を移動させることで、対象物１００を－Ｚ方向に引き出す力を抑制し、吸着パッド２３に対して対象物１００から剥がれる方向に力が発生することを抑制することができる。その結果、持ち上げ装置２は、吸着パッド２３が一側面１００ｆから剥がれることを抑制することができる。

【0063】

持ち上げ装置２によって対象物１００が持ち上げられると、搬送システム１は、図１０に示すように、持ち上げ装置２で対象物１００の一側面１００ｆ側を持ち上げた状態で、トレー７１を進退機構（図示無し）により前進させ、対象物１００の下方に差し込む。

【0064】

対象物１００を下方に差し込んだ後、図１１に示すように、移動機構３０により、吸着機構２０を下降させる。このときも、移動機構３０は、一側面１００ｆを吸着した吸着機構２０を下方に移動させることで、対象物１００を、底部稜線１００ｂを中心として円弧状に下向きに移動させる。これにより、対象物１００がトレー７１によって下方から支持される。その後、搬送ユニット５を、軌条又は軌道上で移動させることにより、対象物１００を搬送する。

【0065】

図１２は、対象物１００を持ち上げた状態における、対象物１００に作用する力とモーメントとの関係を示す図である。図１２に示すように、持ち上げ装置２は、吸着パッド２３で対象物１００の一側面１００ｆを吸着した状態で、移動機構３０により対象物１００を持ち上げる。ここで、持ち上げ装置２によって対象物１００が持ち上げられている状態において、吸着パッド２３で一側面１００ｆが吸着された部分に作用するＹ方向の力をＦ１、対象物１００の底部稜線１００ｂの部分に作用するＹ方向の力をＦ２とした場合、下式（１）の関係が成り立つ。なお、ｍが対象物１００の質量であり、ｇが重力加速度である。

【0066】

Ｆ１＋Ｆ２ｙ＝ｍｇ …（１）

【0067】

対象物１００の重心位置１１０に作用する重力ｍｇの分力をＦ３、底部稜線１００ｂから重心位置ｃｄまでの寸法をＬ１、吸着パッド２３で一側面１００ｆが吸着された部分に作用する力Ｆ１の分力をＦ１ｙ、底部稜線１００ｂから吸着パッド２３で一側面１００ｆが吸着された部分までの寸法をＬ２とした場合、対象物１００に作用するモーメントのつり合いは、下式（２）で表される。

【0068】

Ｆ３×Ｌ１＝Ｆ１ｙ×Ｌ２ …（２）

【0069】

ここで、式（２）は、吸着パッド２３が剛体である場合には成立する。ただし、吸着パッド２３が剛体ではなく柔軟性を有する場合には、式（２）は、成立しない場合が起こり得る。吸着パッド２３は、吸着パッド２３で一側面１００ｆを吸着した状態で、対象物１００の一側面１００ｆ側を持ち上げると、吸着パッド２３に対して、吸着パッド２３を対象物１００から引き剥がす方向にモーメント（以下、「回転モーメント」という。）が発生する場合がある。従来において、上記の回転モーメントが発生すると、柔軟性のある吸着パッドが変形し、対象物１００に吸着する吸着パッドの接触面が減少する場合がある。その結果、吸着パッドが対象物１００から剥がれてしまう場合が起こり得る。そこで、本実施形態の持ち上げ装置２は、規制部材２６を備えることで、上記の回転モーメントによる吸着パッド２３の変形を抑制する。

【0070】

より具体的には、上記の回転モーメントによって、吸着パッド２３を保持するブラケット２１の上部２１ｔが対象物１００の一側面１００ｆに近づく方向にブラケット２１が変位しようとした場合、吸着パッド２３による一側面１００ｆの吸着位置よりも上方の位置で、規制部材２６が一側面１００ｆに接触する。この構成により、ブラケット２１の上部２１ｔが対象物１００の一側面１００ｆに近づくことが規制される。結果として、吸着パッド２３の下部が、対象物１００から剥がれる方向に変位することが抑えられる。従って、吸着パッド２３が対象物１００から剥がれることが抑制される。

【0071】

また、移動機構３０の弾性部材３４により、ブラケット２１のチルト軸３５よりも上部２１ｔが一側面１００ｆから離れる方向の復元力を付与される。この構成により、吸着パッド２３が対象物１００に接触していない場合でも、吸着パッド２３を一側面１００ｆに対して平行、又は平行に近い状態に維持することができる。ここで、吸着機構２０の重心位置ｃｄと、チルト軸３５とが大きく離れていると、吸着パッド２３を一側面１００ｆに対して平行、又は平行に近い状態に維持するために必要な復元力も大きくなる。そのため、吸着機構２０の重心位置ｃｄとチルト軸３５とが大きく離れていると、上記の復元力によって、吸着パッドが対象物１００から剥がれてしまうことが起こり得る。そこで、本実施形態の持ち上げ装置２では、吸着機構２０の重心位置ｃｄをチルト軸３５に一致させる、又は吸着機構２０の重心位置ｃｄをチルト軸３５の近傍に配置させることで、吸着機構２０の重心位置ｃｄをチルト軸３５に可能な限り近づける。この構成により、上記復元力を可能な限り小さくすることができ、吸着パッドが対象物１００から剥がれることを抑制することができる。

【0072】

なお、持ち上げ装置２によって静電吸着した対象物１００を持ち上げる際に、接触部材２８は、吸着パッド２３の上側で、一側面１００ｆに接触する。ここで、一例として、吸着パッド２３の吸着面２３ｆが一側面１００ｆに接触した場合に、接触部材２８が一側面１００ｆに接触する場合について説明した。ただし、これに限定されず、吸着面２３ｆに一側面１００ｆが静電吸着した場合に、接触部材２８が一側面１００ｆに接触してもよい。すなわち、持ち上げ装置２によって対象物１００が持ち上げられる場合に接触部材２８が一側面１００ｆに接触していればよく、接触部材２８が一側面１００ｆに接触するタイミングには特に限定されない。

【0073】

なお、本実施形態は、以下の構成を開示する。
（構成１）
四角箱状の対象物１００の一側面１００ｆを吸着する吸着機構２０と、一側面１００ｆを吸着した吸着機構２０を対象物１００の一側面１００ｆとは反対側の側面における底部稜線１００ｂを中心として円弧状に移動させることで対象物１００を持ち上げる移動機構３０と、を備える持ち上げ装置２であって、
吸着機構２０は、
ブラケット２１と、
ブラケット２１に保持され、対象物１００の一側面１００ｆの表面性状に倣って変形可能な吸着面２３ｆを有する吸着パッド２３と、
吸着パッド２３による一側面１００ｆの吸着位置よりも上方の位置で一側面１００ｆに接触することで、ブラケット２１の上部２１ｔが一側面１００ｆに近づくのを規制する規制部材２６と、を含み、
移動機構３０は、
ブラケット２１を、吸着パッド２３の吸着方向及び鉛直方向の双方に直交するチルト軸３５の軸まわりに揺動可能に支持するベース部材３２と、
ブラケット２１のチルト軸３５よりも上部が一側面１００ｆから離れる方向の復元力を付与する弾性部材３４と、を備える、持ち上げ装置。
（構成２）
ベース部材３２に対するブラケット２１の揺動を、ブラケット２１の上部２１ｔがベース部材３２に近い第１位置Ｐ１と、上部２１ｔがベース部材３２から遠い第２位置Ｐ２との範囲に制限する制限部、をさらに備える、構成１に記載の持ち上げ装置。
（構成３）
ブラケット２１が第１位置Ｐ１である場合、吸着パッド２３の吸着面２３ｆは、持ち上げ前の対象物１００の一側面１００ｆと平行である、構成２に記載の持ち上げ装置。
（構成４）
上記復元力によるモーメントは、吸着機構２０の自重によりチルト軸３５まわりに第２位置Ｐ２に向かう方向に生じるモーメントよりも大きい、構成２又は構成３に記載の持ち上げ装置。
（構成５）
弾性部材３４は、対象物１００を吸着していない場合に、ブラケット２１を第１位置Ｐ１に戻すように上記復元力を付与する、構成２から構成４のいずれかの構成に記載の持ち上げ装置。
（構成６）
吸着機構２０の重心が、チルト軸３５に一致、又はチルト軸３５の近傍である、構成１から構成５のいずれかの構成に記載の持ち上げ装置。
（構成７）
規制部材２６は、
吸着パッド２３よりも上方に延びるアーム２７と、
アーム２７から対象物１００側に延び、対象物１００に接触可能な接触部材２８と、を備える、構成１から構成６のいずれかの構成に記載の持ち上げ装置。
（構成８）
接触部材２８は、吸着パッド２３で一側面１００ｆを吸着した状態で、一側面１００ｆに接触する、構成１から構成７のいずれかの構成に記載の持ち上げ装置。
（構成９）
構成１から構成８のいずれかの構成に記載の持ち上げ装置と、
持ち上げ装置２により一側面１００ｆが持ち上げられた対象物１００の下方に挿入され、対象物１００が載置される支持部材７と、を備える、搬送システム１。

【0074】

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の技術的範囲は、上記した実施形態に限定されない。上記した実施形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることは当業者において明らかである。また、そのような変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれる。また、上記した実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上記した実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。また、本実施形態において示した各処理の実行順序は、前の処理の出力を後の処理で用いるものでない限り、任意の順序で実現可能である。また、上記した実施形態における動作に関して、便宜上「まず」、「次に」、「続いて」等を用いて説明したとしても、この順序で実施することが必須ではない。

【符号の説明】

【0075】

１・・・搬送システム
２・・・持ち上げ装置
７・・・支持部材
２０・・・吸着機構
２１・・・ブラケット
２１ｔ・・・上部
２３・・・吸着パッド
２３ｆ・・・吸着面
２６・・・規制部材
２７・・・アーム
２８・・・接触部材
３０・・・移動機構
３２・・・ベース部材
３４・・・弾性部材
３５・・・チルト軸
３６・・・制限部
１００・・・対象物
１００ｂ・・・底部稜線
１００ｆ・・・一側面
１００ｇ・・・側面
Ｐ１・・・第１位置
Ｐ２・・・第２位置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】