特開2024-32464集束イオンビーム装置

発明の名称　集束イオンビーム装置

出願人　日本電子株式会社　（識別番号 4271）

　　　　特許公開件数ランキング 647 位（40件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 691 位（34件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-32464

公報発行日　2024年3月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-32464

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